JP3640441B2 - Pin electronics circuit for VLSI test system - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明はVLSIテストシステムにおける被測定デバイス(以下「DUT」という)とのI/O (Input/Output) であるピンエレクトロニクス回路、特にドライバ及びプログラマブルロード回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
大規模集積回路(以下、「VLSI」という)はピン数が256ピン、512ピンから1000ピンを越えるようになってきた。このVLSIを試験するVLSIテストシステムはDUTの各ピンに対応してドライバ、コンパレータ及びプログラマブルロード回路の1組のI/Oを有している。つまり、512ピン用のVLSIテストシステムのピンエレクトロニクス回路には512組のドライバ、コンパレータ及びプログラマブルロード回路のI/Oを有し、これらが1つのテストヘッドに組み込まれている。
【0003】
図5に、VLSIテストシステムにおけるDUT10とピンエレクトロニクス回路の1組のI/O14とのブロックダイアグラムを示す。DUT10の各ピンは1組のI/O14と対応し、DUT10の入力ピンにはドライバ15からのテスト信号を入力し、出力ピンからはコンパレータ16に応答信号を出力する。
【0004】
コンパレータ16は電圧比較器であり期待値と比較するが、入力電流は零であるので、DUT10の出力ピンが負荷電流を送出するピンであるときには、その定格負荷電流を取り込む回路が必要となる。そこで、この定格負荷電流を一種の可変定電流源であるプログラマブルロード回路(以下「PL回路」という)17が取り込んでいる。
PL回路17はコンパレータ16と対になって動作するのであるが、コンパレータ16が動作するのはドライバ15が動作しないときであるので、図5に示すように、PL回路17はパターン発生器12からの信号がドライバ15が非動作である信号を受けて動作させるようにしている。
【0005】
図6に従来のドライバ15とPL回路17の概略図を示す。ドライバ15はDRE(ドライバ・イネーブル)信号で動作可能となるが、同時にPL回路17はDRE信号の否定信号を受けて非動作となる。そして図5に示すように、ドライバ15はパターン発生器12からのパターン信号で駆動し、DUT10にテスト信号の電流電圧を送出する。
【0006】
一方、ドライバ15がディセーブル状態(非動作状態)になるとPL回路17が動作するが、PL回路17にもPLE(PL回路イネーブル)信号がありイネーブル(動作)状態、ディセーブル(非動作)状態とに選択することができる。DUT10の出力が、抵抗負荷を必要とするか、定電流負荷を必要とするか、の状況によるからである。また、PL回路17の引き込み電流値はI4 set 電流とI5 set 電流で制御する。
【0007】
図7に、図6の回路図を示す。回路は、±電源のプラス電位VCCとマイナス電位VEEとアース電位とで駆動する。ドライバ15は前半の電流I1 とI2 で駆動するDER制御部と、後半のバイアス電流I3 で駆動する電流電圧出力部とで構成されている。この電流I1 とI2 は共に電圧がVCCとVEE間とで動作しており常に一定電流であるが、バイアス電流I3 は負荷側に電流を流すか流さないかのDRE(ドライバ・イネーブル)の駆動状況により一定値と零値の2値の状態となる。つまり、動作時は一定バイアス電流I3 であるが、非動作時は零である。
【0008】
一方、PL回路17はDUT10の定格出力電流を吸い込むものであるから、DUT10の規格及びテスト条件によりその吸い込み電流値I4 及びI5 は異なってくる。そこで吸い込み電流値は、I4 set及びI5 setの設定電流値でもってDUT10からの出力電流を引き込むが、DUT10あるいはそれぞれの出力ピンにより引き込み電流値が異なっている。
【0009】
このようにして、ドライバ15及びPL回路17はそれぞれ独自に電源電流を用いているので、その都度全電流値が変化する。図8にその状況を示す。DREのイネーブル、ディセーブル、Dr in、それにPLEによってテストヘッドのI/O14の電流が流れるが、I4 とI5 の電流値が大きく変化すると、その全電流は大きく上下にシフトしている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
前述のように、テストヘッドに配置されているI/O14の電流がテスト条件によって異なってくる。DUT10のピン数が数十ピンと少ないときには特に問題とならなかったが、段々と多数ピンとなり、例えば512組のI/O14になると電源電流の変化は数十アンペアとなり、数百W(ワット)の変動になってきた。従って状況によりテストヘッドの温度変化が大きくなり、回路動作が安定しなくなってきた。また、電流を供給する電源容量のマージンの設計にも問題が生じてきた。
【0011】
DUT10のピン数が益々多数になり千ピンを越えるとき、この電流変動を最小にし、常に一定近くし、しかも電源容量を最小にする必要がある。
この発明は、ドライバが駆動しても駆動しなくとも、I/O14の電流I(VCC)及びI(VEE)の変化を最小限にし、しかも従来より少なくするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、この発明はDRE信号によりドライバのバイアス電流I3 の断(ディセーブル)時に同量の電流I3aを引き込むバイアス電流補償回路を設けて、この電流I3aをPL回路を動作させる電流として用いるものである。
【0013】
従って、VLSIテストシステムのI/Oの電流値は一定となり、テストヘッドの消費電力は常に一定となり、温度も一定となる。
【0014】
請求項1の発明は、従来のドライバ、コンパレータ及びPL回路に加えて、上記のドライバの電流とPL回路の電流を共通化したバイアス電流補償回路を設けたものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下にこの発明の実施の形態を実施例と共に詳細に説明する。
【0016】
【実施例】
図1にこの発明の一実施例のブロックダイアグラムを、図2にその回路図を、図3に電流波形図を、図4に他の実施例の回路図を示す。ここで、図5、図6、図7の部分と対応する部分には同一符号を付す。
先ず、図1について説明する。図1は従来のブロックダイアグラム図6に対してバイアス電流補償回路20を設けて、このバイアス電流補償回路20からPL回路17用の電流を引き出しているブロックダイアグラムである。
【0017】
図2は図1の回路図であり、図7の従来回路図と対応している。ドライバ15の回路とPL回路17との間にバイアス電流補償回路20が構成されている。
図2について説明する。ドライバ15はイネーブル状態では出力トランジスタQout1とQout2にバイアス電流I3 が流れている。このドライバ15をディセーブル状態にすると、Qout1とQout2は共にカットオフするために、バイアス電流I3 は、0mAになる。
【0018】
そこでディセーブル状態では、バイアス補償回路20にて、I3 =I3a=I3bを生成して、電源電流を一定にさせる。この回路を追加すると、I1aとI2aの電流が増える。そこでI1aとI2aとは十分に小さな値にして、Q5 とQ6 及びQ8 とQ9 のカレントミラー回路でI1aをI3aに、I2aをI3bへと増幅する。
【0019】
更に、I3 とI3bとをPL回路を動作させる電流として使用することにより、全回路の消費電力を低くすることができる。つまり、バイアス電流Iのオン・オフ電流の補償のみでなく、補償した電流I3aとI3bとを再利用するものである。
【0020】
電流I3aとI4 との関係について説明する。I3bとI5 との関係も全く同じであるので、これは省略する。Q6 により発生した定電流I3aは、ほとんどがPL回路17の電流(I4 +I4a)となり、残りの電流{I3a−(I4 +I4a)}はQ7 のエミッタ電流(IeQ7 )として GNDに流れ込む。
また、PL回路17のオン・オフはトランジスタQ10とQ11とで行う。そしてスイッチ回路電流(I4a)をカレントミラー回路Q12/Q13で増幅してプログラマブルロード電流I4 を得る。
【0021】
この回路の電流波形図を図3に示す。図3AはPLEがオフのときの波形図であり、図3BはPLEがオンのときの波形図である。c、dに示すように、電流のシフトがほとんど無くなっている。
【0022】
(他の実施例)
図4に他の実施例を示す。図4は図2の回路動作を更に安定化するために、若干の回路を付加したものである。つまりPL回路17のノード(A)及び(B)の電位が低下するのを防ぐためのトランジスタQ18とQ19とを付加し、更にQ7 とQ10のトランジスタのエミッタ電流が0mAになることを防ぐためにバイアス用抵抗RXHとRXLとを付加したものである。これらを付加することにより、図2の回路動作はさらに安定化する。
【0023】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、この発明は、VLSIテストシステムにおけるDUT10とのI/O14のピンエレクトロニクス回路において、ドライバ15がオン・オフしても電源電流の変化がほとんど無く、安定に動作する。
【0024】
従って、DUT10のピン数が千ピン以上と益々多くなっている現在、ピンエレクトロニクス回路を安定に動作させるには必ず必要になってくる回路であり、その技術的効果は大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例のブロックダイアグラムである。
【図2】図1の回路図である。
【図3】図1の各部の電流波形図である。
【図4】この発明の他の実施例の回路図である。
【図5】この発明が用いられるVLSIテストシステムのI/Oのブロックダイアグラムである。
【図6】従来のドライバとPL回路の概略図である。
【図7】図6の回路図である。
【図8】図7の電流波形図である。
【符号の説明】
10 DUT(被測定デバイス)
12 パターン発生器
13 パターン比較器
14 I/O (Input/Output)
15 ドライバ
16 コンパレータ
17 PL回路(プログラマブルロード回路)
20 バイアス電流補償回路
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a pin electronics circuit, particularly a driver and a programmable load circuit, which is an I / O (Input / Output) with a device under measurement (hereinafter referred to as “DUT”) in a VLSI test system.
[0002]
[Prior art]
Large scale integrated circuits (hereinafter referred to as “VLSI”) have come to have a pin count of 256 pins, 512 pins to over 1000 pins. The VLSI test system for testing the VLSI has a set of I / Os of a driver, a comparator, and a programmable load circuit corresponding to each pin of the DUT. In other words, the pin electronics circuit of the 512-pin VLSI test system has 512 sets of drivers, comparators, and programmable load circuit I / Os, which are incorporated into one test head.
[0003]
FIG. 5 shows a block diagram of the DUT 10 and a set of I / O 14 of the pin electronics circuit in the VLSI test system. Each pin of the DUT 10 corresponds to a set of I / O 14, a test signal from the driver 15 is input to the input pin of the DUT 10, and a response signal is output to the comparator 16 from the output pin.
[0004]
The comparator 16 is a voltage comparator and compares it with an expected value. However, since the input current is zero, when the output pin of the DUT 10 is a pin for sending a load current, a circuit for taking in the rated load current is required. Therefore, a programmable load circuit (hereinafter referred to as “PL circuit”) 17 which is a kind of variable constant current source incorporates this rated load current.
The PL circuit 17 operates as a pair with the comparator 16, but the comparator 16 operates when the driver 15 does not operate. Therefore, as shown in FIG. This signal is operated by receiving a signal indicating that the driver 15 is not operating.
[0005]
FIG. 6 shows a schematic diagram of a conventional driver 15 and a PL circuit 17. The driver 15 can be operated by a DRE (driver enable) signal, but at the same time, the PL circuit 17 is inactivated in response to a negative signal of the DRE signal. As shown in FIG. 5, the driver 15 is driven by the pattern signal from the pattern generator 12 and sends the current voltage of the test signal to the DUT 10.
[0006]
On the other hand, when the driver 15 is in a disabled state (non-operating state), the PL circuit 17 operates. However, the PL circuit 17 also has a PLE (PL circuit enable) signal and is in an enabled (operating) state or a disabled (non-operating) state. And can choose. This is because the output of the DUT 10 depends on whether a resistance load is required or a constant current load is required. The pull-in current value of the PL circuit 17 is controlled by the I 4 set current and the I 5 set current.
[0007]
FIG. 7 shows a circuit diagram of FIG. The circuit is driven by a plus potential V CC , a minus potential V EE and a ground potential of the ± power supply. The driver 15 includes a DER control unit driven by the first half currents I 1 and I 2 and a current / voltage output unit driven by the second half bias current I 3 . Both the currents I 1 and I 2 operate between V CC and V EE and are always constant. However, the bias current I 3 is a DRE (driver It becomes a binary state of a constant value and a zero value depending on the driving state of (enable). That is, the bias current I 3 is constant during operation, but zero during non-operation.
[0008]
On the other hand, since the PL circuit 17 absorbs the rated output current of the DUT 10, the sink current values I 4 and I 5 vary depending on the DUT 10 standard and test conditions. Therefore, the sink current value draws the output current from the DUT 10 with the set current values of I 4 set and I 5 set , but the draw current value differs depending on the DUT 10 or each output pin.
[0009]
In this way, since the driver 15 and the PL circuit 17 each independently use the power supply current, the total current value changes each time. FIG. 8 shows the situation. DRE enabled, disabled, D r V in, it flows a current of I / O 14 of the test head by PLE, the current value of I 4 and I 5 is greatly changed, and shifted up or down the total current is larger Yes.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, the current of the I / O 14 arranged in the test head varies depending on the test conditions. When the number of pins of the DUT 10 is as small as several tens of pins, there was no particular problem. However, the number of pins gradually increased. It has become a fluctuation. Therefore, the temperature change of the test head becomes large depending on the situation, and the circuit operation becomes unstable. There has also been a problem in designing the margin of the power supply capacity for supplying current.
[0011]
When the number of pins of the DUT 10 becomes larger and exceeds 1000 pins, it is necessary to minimize this current fluctuation, always keep it constant, and minimize the power supply capacity.
The present invention minimizes changes in the currents I (V CC ) and I (V EE ) of the I / O 14 regardless of whether the driver is driven or not.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problem, the present invention provides a bias current compensation circuit that draws the same amount of current I 3a when the bias current I 3 of the driver is disabled (disabled) by the DRE signal, and this current I 3a is supplied to the PL circuit. Is used as a current for operating the.
[0013]
Therefore, the I / O current value of the VLSI test system is constant, the power consumption of the test head is always constant, and the temperature is also constant.
[0014]
The invention of claim 1 is provided with a bias current compensation circuit in which the current of the driver and the current of the PL circuit are made common in addition to the conventional driver, comparator and PL circuit.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail together with examples.
[0016]
【Example】
FIG. 1 is a block diagram of one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram thereof, FIG. 3 is a current waveform diagram, and FIG. 4 is a circuit diagram of another embodiment. Here, the same reference numerals are given to the portions corresponding to the portions of FIGS. 5, 6, and 7.
First, FIG. 1 will be described. FIG. 1 is a block diagram in which a bias current compensation circuit 20 is provided with respect to the conventional block diagram of FIG. 6 and a current for the PL circuit 17 is drawn from the bias current compensation circuit 20.
[0017]
FIG. 2 is a circuit diagram of FIG. 1 and corresponds to the conventional circuit diagram of FIG. A bias current compensation circuit 20 is configured between the circuit of the driver 15 and the PL circuit 17.
With reference to FIG. In the enabled state, the driver 15 has a bias current I 3 flowing through the output transistors Q out1 and Q out2 . When the driver 15 is disabled, both Q out1 and Q out2 are cut off, so that the bias current I 3 becomes 0 mA.
[0018]
Therefore, in the disabled state, the bias compensation circuit 20 generates I 3 = I 3a = I 3b to keep the power supply current constant. When this circuit is added, the currents I 1a and I 2a increase. Therefore, I 1a and I 2a are set to sufficiently small values, and I 1a is amplified to I 3a and I 2a is amplified to I 3b by Q 5 and Q 6 and Q 8 and Q 9 current mirror circuits.
[0019]
Further, by using I 3 a and I 3b as currents for operating the PL circuit , the power consumption of the entire circuit can be reduced. That is, not only the compensation of the on / off current of the bias current I 3 but also the compensated currents I 3a and I 3b are reused.
[0020]
The relationship between the currents I 3a and I 4 will be described. Since the relationship between I 3b and I 5 is exactly the same, this is omitted. Most of the constant current I 3a generated by Q 6 is the current (I 4 + I 4a ) of the PL circuit 17, and the remaining current {I 3a − (I 4 + I 4a )} is the emitter current of Q 7 (I eQ7 ). Flows into GND.
The on-off of PL circuit 17 is carried out in the transistor Q 10 and Q 11. The switch circuit current (I 4a ) is amplified by the current mirror circuit Q 12 / Q 13 to obtain a programmable load current I 4 .
[0021]
A current waveform diagram of this circuit is shown in FIG. FIG. 3A is a waveform diagram when PLE is off, and FIG. 3B is a waveform diagram when PLE is on. As shown in c and d, there is almost no current shift.
[0022]
(Other examples)
FIG. 4 shows another embodiment. FIG. 4 is obtained by adding some circuits to further stabilize the circuit operation of FIG. That is, transistors Q 18 and Q 19 are added to prevent the potential of nodes (A) and (B) of the PL circuit 17 from dropping, and the emitter currents of the transistors Q 7 and Q 10 become 0 mA. In order to prevent this, bias resistors R XH and R XL are added. By adding these, the circuit operation of FIG. 2 is further stabilized.
[0023]
【The invention's effect】
As described in detail above, the present invention operates stably in the pin electronics circuit of the I / O 14 with the DUT 10 in the VLSI test system even when the driver 15 is turned on and off with little change in power supply current.
[0024]
Therefore, since the number of pins of the DUT 10 is increasing more and more, more than 1000 pins, this is a circuit that is absolutely necessary for stable operation of the pin electronics circuit, and its technical effect is great.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a circuit diagram of FIG.
FIG. 3 is a current waveform diagram of each part in FIG. 1;
FIG. 4 is a circuit diagram of another embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a block diagram of I / O of a VLSI test system in which the present invention is used.
FIG. 6 is a schematic diagram of a conventional driver and a PL circuit.
7 is a circuit diagram of FIG. 6. FIG.
FIG. 8 is a current waveform diagram of FIG.
[Explanation of symbols]
10 DUT (device under test)
12 pattern generator 13 Pattern comparator 14 I / O (Input / Output)
15 Driver 16 Comparator 17 PL Circuit (Programmable Load Circuit)
20 Bias current compensation circuit

Claims (1)

VLSIを試験するVLSIテストシステムにおけるDUT(10)とのI/O(14)において、
2電源間に複数のトランジスタが直列接続されて構成された電流電圧出力部を具備し、この電流電圧出力部がDRE信号により動作状態及び非動作状態とに制御され、動作状態で上記電流電圧出力部に一定のバイアス電流が流れ、この一定のバイアス電流が流れている状態で上記電流電圧出力部からDUT(10)の入力ピンに定格電圧のテスト信号を与え、非動作状態では上記電流電圧出力部に流れるバイアス電流は零に制御されるドライバ(15)と、
DUT(10)の出力ピンからの出力電圧を期待値と比較するコンパレータ(16)と、
上記ドライバが非動作状態でDUT(10)の出力ピンに流すプログラマブルロード電流の値を上記一定のバイアス電流の値の範囲内で設定することができるPL回路と、
上記DRE信号により制御され、上記ドライバが非動作状態に制御されると上記ドライバの電流電圧出力部に流れていた上記一定のバイアス電流に等しい値の電流を電源から引き込み、この電流を上記PL回路を動作させる電流として上記PL回路に供給するバイアス電流補償回路と、
を具備することを特徴とするVLSIテストシステム用ピンエレクトロニクス回路。
In the I / O (14) with the DUT (10) in the VLSI test system for testing the VLSI,
A current-voltage output unit configured by connecting a plurality of transistors in series between two power sources is provided, and the current-voltage output unit is controlled to be in an operating state and a non-operating state by a DRE signal. A constant bias current flows through the unit, and a test signal of the rated voltage is given from the current voltage output unit to the input pin of the DUT (10) while the constant bias current is flowing. A driver (15) in which the bias current flowing in the section is controlled to zero;
A comparator (16) that compares the output voltage from the output pin of the DUT (10) with an expected value;
A PL circuit capable of setting a value of a programmable load current flowing through the output pin of the DUT (10) in a non-operating state within the range of the constant bias current value;
When controlled by the DRE signal and the driver is controlled to be non-operating, a current having a value equal to the constant bias current flowing in the current voltage output unit of the driver is drawn from the power source, and this current is supplied to the PL circuit. A bias current compensation circuit that supplies the PL circuit as a current for operating
A pin electronics circuit for a VLSI test system.
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