JP3640441B2 - Pin electronics circuit for VLSI test system - Google Patents
Pin electronics circuit for VLSI test system Download PDFInfo
- Publication number
- JP3640441B2 JP3640441B2 JP26939295A JP26939295A JP3640441B2 JP 3640441 B2 JP3640441 B2 JP 3640441B2 JP 26939295 A JP26939295 A JP 26939295A JP 26939295 A JP26939295 A JP 26939295A JP 3640441 B2 JP3640441 B2 JP 3640441B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current
- circuit
- dut
- driver
- bias current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明はVLSIテストシステムにおける被測定デバイス(以下「DUT」という)とのI/O (Input/Output) であるピンエレクトロニクス回路、特にドライバ及びプログラマブルロード回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
大規模集積回路(以下、「VLSI」という)はピン数が256ピン、512ピンから1000ピンを越えるようになってきた。このVLSIを試験するVLSIテストシステムはDUTの各ピンに対応してドライバ、コンパレータ及びプログラマブルロード回路の1組のI/Oを有している。つまり、512ピン用のVLSIテストシステムのピンエレクトロニクス回路には512組のドライバ、コンパレータ及びプログラマブルロード回路のI/Oを有し、これらが1つのテストヘッドに組み込まれている。
【0003】
図5に、VLSIテストシステムにおけるDUT10とピンエレクトロニクス回路の1組のI/O14とのブロックダイアグラムを示す。DUT10の各ピンは1組のI/O14と対応し、DUT10の入力ピンにはドライバ15からのテスト信号を入力し、出力ピンからはコンパレータ16に応答信号を出力する。
【0004】
コンパレータ16は電圧比較器であり期待値と比較するが、入力電流は零であるので、DUT10の出力ピンが負荷電流を送出するピンであるときには、その定格負荷電流を取り込む回路が必要となる。そこで、この定格負荷電流を一種の可変定電流源であるプログラマブルロード回路(以下「PL回路」という)17が取り込んでいる。
PL回路17はコンパレータ16と対になって動作するのであるが、コンパレータ16が動作するのはドライバ15が動作しないときであるので、図5に示すように、PL回路17はパターン発生器12からの信号がドライバ15が非動作である信号を受けて動作させるようにしている。
【0005】
図6に従来のドライバ15とPL回路17の概略図を示す。ドライバ15はDRE(ドライバ・イネーブル)信号で動作可能となるが、同時にPL回路17はDRE信号の否定信号を受けて非動作となる。そして図5に示すように、ドライバ15はパターン発生器12からのパターン信号で駆動し、DUT10にテスト信号の電流電圧を送出する。
【0006】
一方、ドライバ15がディセーブル状態(非動作状態)になるとPL回路17が動作するが、PL回路17にもPLE(PL回路イネーブル)信号がありイネーブル(動作)状態、ディセーブル(非動作)状態とに選択することができる。DUT10の出力が、抵抗負荷を必要とするか、定電流負荷を必要とするか、の状況によるからである。また、PL回路17の引き込み電流値はI4 set 電流とI5 set 電流で制御する。
【0007】
図7に、図6の回路図を示す。回路は、±電源のプラス電位VCCとマイナス電位VEEとアース電位とで駆動する。ドライバ15は前半の電流I1 とI2 で駆動するDER制御部と、後半のバイアス電流I3 で駆動する電流電圧出力部とで構成されている。この電流I1 とI2 は共に電圧がVCCとVEE間とで動作しており常に一定電流であるが、バイアス電流I3 は負荷側に電流を流すか流さないかのDRE(ドライバ・イネーブル)の駆動状況により一定値と零値の2値の状態となる。つまり、動作時は一定バイアス電流I3 であるが、非動作時は零である。
【0008】
一方、PL回路17はDUT10の定格出力電流を吸い込むものであるから、DUT10の規格及びテスト条件によりその吸い込み電流値I4 及びI5 は異なってくる。そこで吸い込み電流値は、I4 set及びI5 setの設定電流値でもってDUT10からの出力電流を引き込むが、DUT10あるいはそれぞれの出力ピンにより引き込み電流値が異なっている。
【0009】
このようにして、ドライバ15及びPL回路17はそれぞれ独自に電源電流を用いているので、その都度全電流値が変化する。図8にその状況を示す。DREのイネーブル、ディセーブル、Dr Vin、それにPLEによってテストヘッドのI/O14の電流が流れるが、I4 とI5 の電流値が大きく変化すると、その全電流は大きく上下にシフトしている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
前述のように、テストヘッドに配置されているI/O14の電流がテスト条件によって異なってくる。DUT10のピン数が数十ピンと少ないときには特に問題とならなかったが、段々と多数ピンとなり、例えば512組のI/O14になると電源電流の変化は数十アンペアとなり、数百W(ワット)の変動になってきた。従って状況によりテストヘッドの温度変化が大きくなり、回路動作が安定しなくなってきた。また、電流を供給する電源容量のマージンの設計にも問題が生じてきた。
【0011】
DUT10のピン数が益々多数になり千ピンを越えるとき、この電流変動を最小にし、常に一定近くし、しかも電源容量を最小にする必要がある。
この発明は、ドライバが駆動しても駆動しなくとも、I/O14の電流I(VCC)及びI(VEE)の変化を最小限にし、しかも従来より少なくするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、この発明はDRE信号によりドライバのバイアス電流I3 の断(ディセーブル)時に同量の電流I3aを引き込むバイアス電流補償回路を設けて、この電流I3aをPL回路を動作させる電流として用いるものである。
【0013】
従って、VLSIテストシステムのI/Oの電流値は一定となり、テストヘッドの消費電力は常に一定となり、温度も一定となる。
【0014】
請求項1の発明は、従来のドライバ、コンパレータ及びPL回路に加えて、上記のドライバの電流とPL回路の電流を共通化したバイアス電流補償回路を設けたものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下にこの発明の実施の形態を実施例と共に詳細に説明する。
【0016】
【実施例】
図1にこの発明の一実施例のブロックダイアグラムを、図2にその回路図を、図3に電流波形図を、図4に他の実施例の回路図を示す。ここで、図5、図6、図7の部分と対応する部分には同一符号を付す。
先ず、図1について説明する。図1は従来のブロックダイアグラム図6に対してバイアス電流補償回路20を設けて、このバイアス電流補償回路20からPL回路17用の電流を引き出しているブロックダイアグラムである。
【0017】
図2は図1の回路図であり、図7の従来回路図と対応している。ドライバ15の回路とPL回路17との間にバイアス電流補償回路20が構成されている。
図2について説明する。ドライバ15はイネーブル状態では出力トランジスタQout1とQout2にバイアス電流I3 が流れている。このドライバ15をディセーブル状態にすると、Qout1とQout2は共にカットオフするために、バイアス電流I3 は、0mAになる。
【0018】
そこでディセーブル状態では、バイアス補償回路20にて、I3 =I3a=I3bを生成して、電源電流を一定にさせる。この回路を追加すると、I1aとI2aの電流が増える。そこでI1aとI2aとは十分に小さな値にして、Q5 とQ6 及びQ8 とQ9 のカレントミラー回路でI1aをI3aに、I2aをI3bへと増幅する。
【0019】
更に、I3 aとI3bとをPL回路を動作させる電流として使用することにより、全回路の消費電力を低くすることができる。つまり、バイアス電流I3のオン・オフ電流の補償のみでなく、補償した電流I3aとI3bとを再利用するものである。
【0020】
電流I3aとI4 との関係について説明する。I3bとI5 との関係も全く同じであるので、これは省略する。Q6 により発生した定電流I3aは、ほとんどがPL回路17の電流(I4 +I4a)となり、残りの電流{I3a−(I4 +I4a)}はQ7 のエミッタ電流(IeQ7 )として GNDに流れ込む。
また、PL回路17のオン・オフはトランジスタQ10とQ11とで行う。そしてスイッチ回路電流(I4a)をカレントミラー回路Q12/Q13で増幅してプログラマブルロード電流I4 を得る。
【0021】
この回路の電流波形図を図3に示す。図3AはPLEがオフのときの波形図であり、図3BはPLEがオンのときの波形図である。c、dに示すように、電流のシフトがほとんど無くなっている。
【0022】
(他の実施例)
図4に他の実施例を示す。図4は図2の回路動作を更に安定化するために、若干の回路を付加したものである。つまりPL回路17のノード(A)及び(B)の電位が低下するのを防ぐためのトランジスタQ18とQ19とを付加し、更にQ7 とQ10のトランジスタのエミッタ電流が0mAになることを防ぐためにバイアス用抵抗RXHとRXLとを付加したものである。これらを付加することにより、図2の回路動作はさらに安定化する。
【0023】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、この発明は、VLSIテストシステムにおけるDUT10とのI/O14のピンエレクトロニクス回路において、ドライバ15がオン・オフしても電源電流の変化がほとんど無く、安定に動作する。
【0024】
従って、DUT10のピン数が千ピン以上と益々多くなっている現在、ピンエレクトロニクス回路を安定に動作させるには必ず必要になってくる回路であり、その技術的効果は大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例のブロックダイアグラムである。
【図2】図1の回路図である。
【図3】図1の各部の電流波形図である。
【図4】この発明の他の実施例の回路図である。
【図5】この発明が用いられるVLSIテストシステムのI/Oのブロックダイアグラムである。
【図6】従来のドライバとPL回路の概略図である。
【図7】図6の回路図である。
【図8】図7の電流波形図である。
【符号の説明】
10 DUT(被測定デバイス)
12 パターン発生器
13 パターン比較器
14 I/O (Input/Output)
15 ドライバ
16 コンパレータ
17 PL回路(プログラマブルロード回路)
20 バイアス電流補償回路[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a pin electronics circuit, particularly a driver and a programmable load circuit, which is an I / O (Input / Output) with a device under measurement (hereinafter referred to as “DUT”) in a VLSI test system.
[0002]
[Prior art]
Large scale integrated circuits (hereinafter referred to as “VLSI”) have come to have a pin count of 256 pins, 512 pins to over 1000 pins. The VLSI test system for testing the VLSI has a set of I / Os of a driver, a comparator, and a programmable load circuit corresponding to each pin of the DUT. In other words, the pin electronics circuit of the 512-pin VLSI test system has 512 sets of drivers, comparators, and programmable load circuit I / Os, which are incorporated into one test head.
[0003]
FIG. 5 shows a block diagram of the
[0004]
The comparator 16 is a voltage comparator and compares it with an expected value. However, since the input current is zero, when the output pin of the
The
[0005]
FIG. 6 shows a schematic diagram of a
[0006]
On the other hand, when the
[0007]
FIG. 7 shows a circuit diagram of FIG. The circuit is driven by a plus potential V CC , a minus potential V EE and a ground potential of the ± power supply. The
[0008]
On the other hand, since the
[0009]
In this way, since the
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, the current of the I /
[0011]
When the number of pins of the
The present invention minimizes changes in the currents I (V CC ) and I (V EE ) of the I /
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problem, the present invention provides a bias current compensation circuit that draws the same amount of current I 3a when the bias current I 3 of the driver is disabled (disabled) by the DRE signal, and this current I 3a is supplied to the PL circuit. Is used as a current for operating the.
[0013]
Therefore, the I / O current value of the VLSI test system is constant, the power consumption of the test head is always constant, and the temperature is also constant.
[0014]
The invention of
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail together with examples.
[0016]
【Example】
FIG. 1 is a block diagram of one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram thereof, FIG. 3 is a current waveform diagram, and FIG. 4 is a circuit diagram of another embodiment. Here, the same reference numerals are given to the portions corresponding to the portions of FIGS. 5, 6, and 7.
First, FIG. 1 will be described. FIG. 1 is a block diagram in which a bias
[0017]
FIG. 2 is a circuit diagram of FIG. 1 and corresponds to the conventional circuit diagram of FIG. A bias
With reference to FIG. In the enabled state, the
[0018]
Therefore, in the disabled state, the
[0019]
Further, by using I 3 a and I 3b as currents for operating the PL circuit , the power consumption of the entire circuit can be reduced. That is, not only the compensation of the on / off current of the bias current I 3 but also the compensated currents I 3a and I 3b are reused.
[0020]
The relationship between the currents I 3a and I 4 will be described. Since the relationship between I 3b and I 5 is exactly the same, this is omitted. Most of the constant current I 3a generated by Q 6 is the current (I 4 + I 4a ) of the
The on-off of
[0021]
A current waveform diagram of this circuit is shown in FIG. FIG. 3A is a waveform diagram when PLE is off, and FIG. 3B is a waveform diagram when PLE is on. As shown in c and d, there is almost no current shift.
[0022]
(Other examples)
FIG. 4 shows another embodiment. FIG. 4 is obtained by adding some circuits to further stabilize the circuit operation of FIG. That is, transistors Q 18 and Q 19 are added to prevent the potential of nodes (A) and (B) of the
[0023]
【The invention's effect】
As described in detail above, the present invention operates stably in the pin electronics circuit of the I /
[0024]
Therefore, since the number of pins of the
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a circuit diagram of FIG.
FIG. 3 is a current waveform diagram of each part in FIG. 1;
FIG. 4 is a circuit diagram of another embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a block diagram of I / O of a VLSI test system in which the present invention is used.
FIG. 6 is a schematic diagram of a conventional driver and a PL circuit.
7 is a circuit diagram of FIG. 6. FIG.
FIG. 8 is a current waveform diagram of FIG.
[Explanation of symbols]
10 DUT (device under test)
12
15 Driver 16
20 Bias current compensation circuit
Claims (1)
2電源間に複数のトランジスタが直列接続されて構成された電流電圧出力部を具備し、この電流電圧出力部がDRE信号により動作状態及び非動作状態とに制御され、動作状態で上記電流電圧出力部に一定のバイアス電流が流れ、この一定のバイアス電流が流れている状態で上記電流電圧出力部からDUT(10)の入力ピンに定格電圧のテスト信号を与え、非動作状態では上記電流電圧出力部に流れるバイアス電流は零に制御されるドライバ(15)と、
DUT(10)の出力ピンからの出力電圧を期待値と比較するコンパレータ(16)と、
上記ドライバが非動作状態でDUT(10)の出力ピンに流すプログラマブルロード電流の値を上記一定のバイアス電流の値の範囲内で設定することができるPL回路と、
上記DRE信号により制御され、上記ドライバが非動作状態に制御されると上記ドライバの電流電圧出力部に流れていた上記一定のバイアス電流に等しい値の電流を電源から引き込み、この電流を上記PL回路を動作させる電流として上記PL回路に供給するバイアス電流補償回路と、
を具備することを特徴とするVLSIテストシステム用ピンエレクトロニクス回路。In the I / O (14) with the DUT (10) in the VLSI test system for testing the VLSI,
A current-voltage output unit configured by connecting a plurality of transistors in series between two power sources is provided, and the current-voltage output unit is controlled to be in an operating state and a non-operating state by a DRE signal. A constant bias current flows through the unit, and a test signal of the rated voltage is given from the current voltage output unit to the input pin of the DUT (10) while the constant bias current is flowing. A driver (15) in which the bias current flowing in the section is controlled to zero;
A comparator (16) that compares the output voltage from the output pin of the DUT (10) with an expected value;
A PL circuit capable of setting a value of a programmable load current flowing through the output pin of the DUT (10) in a non-operating state within the range of the constant bias current value;
When controlled by the DRE signal and the driver is controlled to be non-operating, a current having a value equal to the constant bias current flowing in the current voltage output unit of the driver is drawn from the power source, and this current is supplied to the PL circuit. A bias current compensation circuit that supplies the PL circuit as a current for operating
A pin electronics circuit for a VLSI test system.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26939295A JP3640441B2 (en) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | Pin electronics circuit for VLSI test system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26939295A JP3640441B2 (en) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | Pin electronics circuit for VLSI test system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0989987A JPH0989987A (en) | 1997-04-04 |
JP3640441B2 true JP3640441B2 (en) | 2005-04-20 |
Family
ID=17471776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26939295A Expired - Fee Related JP3640441B2 (en) | 1995-09-22 | 1995-09-22 | Pin electronics circuit for VLSI test system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3640441B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ES2903433T3 (en) * | 2017-01-06 | 2022-04-01 | Elevate Semiconductor Inc | Low power active load |
-
1995
- 1995-09-22 JP JP26939295A patent/JP3640441B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0989987A (en) | 1997-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0826167B1 (en) | Circuit arrangement for producing a d.c. current | |
JP3385995B2 (en) | Overcurrent detection circuit and semiconductor integrated circuit incorporating the same | |
JP2002199702A (en) | Power converter with freely adjustable output voltage | |
US4567426A (en) | Current stabilizer with starting circuit | |
US5548227A (en) | Decision circuit operable at a wide range of voltages | |
JP2010160682A (en) | Reference voltage generation circuit | |
KR950006350B1 (en) | Bias voltage generation circuit | |
US6465998B2 (en) | Current source with low supply voltage and with low voltage sensitivity | |
JP3640441B2 (en) | Pin electronics circuit for VLSI test system | |
US6566852B2 (en) | Voltage generator, output circuit for error detector, and current generator | |
JPH04315207A (en) | Power supply circuit | |
US5128564A (en) | Input bias current compensation for a comparator | |
JPH1141040A (en) | Differential amplifier circuit and load drive circuit | |
JP3461276B2 (en) | Current supply circuit and bias voltage circuit | |
JP2003280749A (en) | Power circuit | |
JPH0818352A (en) | Low supply voltage output driver | |
JP2004266809A (en) | Operational amplifier circuit, overheat detection circuit, and comparator circuit | |
JP3894891B2 (en) | High-speed output circuit with high output current and low power consumption | |
EP2096744A1 (en) | H-Bridge circuit and method for operating such circuit | |
JP2000134045A (en) | Voltage-to-current conversion circuit | |
JP3105716B2 (en) | Current mirror circuit | |
KR100571088B1 (en) | Zapping circuit | |
KR0162988B1 (en) | Internal voltage transfer circuit of semiconductor lsi apparatus | |
US20010033239A1 (en) | Electric current switch circuit and D/A converter using same | |
JP2894776B2 (en) | Semiconductor integrated circuit |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040727 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040924 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20041102 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041228 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090128 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |