JP3626014B2 - Gas leak inspection apparatus and gas leak inspection method in process gas supply unit - Google Patents
Gas leak inspection apparatus and gas leak inspection method in process gas supply unit Download PDFInfo
- Publication number
- JP3626014B2 JP3626014B2 JP19433298A JP19433298A JP3626014B2 JP 3626014 B2 JP3626014 B2 JP 3626014B2 JP 19433298 A JP19433298 A JP 19433298A JP 19433298 A JP19433298 A JP 19433298A JP 3626014 B2 JP3626014 B2 JP 3626014B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- inspection
- block
- supply unit
- port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工程で使用され、プロセスガス供給弁、真空弁及びレギュレータ等の各種コンポーネント部品を、予め小型化・集積化された多数のブロック上に個別に取り付けて構成するプロセスガス供給ユニットに関する。更に詳しくは、上記ユニットにおいて各ブロックでのガス漏れを検出するようにしたプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査装置及びガス漏れ検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造工程において、エッチングガス等のプロセスガスを供給するためのプロセスガス供給ユニットが開発されている。そして、半導体製造工程が、複数枚のウェハをバッチ処理する方法から、ウェハを1枚づつ処理する枚葉処理方法に移行するようになり、プロセスガス供給ユニットの小型化がより強く要求されている。
【0003】
プロセスガス供給ユニットを小型化するために、本出願人は、特許第2568365号公報により、マニホールドであるモジュールブロックに供給弁、パージ弁、真空弁を上からボルトにより連結するプロセスガス供給ユニットを提案している。
【0004】
図17に、このマニホールドを用いたプロセスガス供給ユニットを示す。このユニットにおいて、第1の手動弁81は、レギュレータ83及び第2の手動弁91は、それぞれブラケットY1,Y2,Y3を介して取付パネルDに固定されている。マニホールドZ1に取り付けられた入力弁85及びパージ弁86は、マニホールドZ2に取り付けられた真空弁89及び出力弁90は、それぞれプレートX1,X2を介して取付パネルDに固定されている。マスフローコントローラブロックNに固定されたマスフローコントローラ88は、両マニホールドZ1,Z2に接続されている。
第1の手動弁81とレギュレータ83は、配管81b、継手M、逆止弁82、継手M及び配管83aを介して互いに接続されている。第1の手動弁81の上流側は、配管81a及び継手Mを介してプロセスガスの供給源(図示しない)に接続されている。レギュレータ83とマニホールドZ1は、継手M、配管85a及び継手Mを介して互いに接続されている。配管85aの途中には、圧力計84が配管84aを介して接続されている。第2の手動弁91とマニホールドZ2とは、継手M及び配管91aを介して互いに接続されている。第2の手動弁91の下流側は、配管91b及び継手Mを介して真空チャンバ(図示しない)に接続されている。
【0005】
ところが、上記のプロセスガス供給ユニットでは、全ての機器を配管で接続していた時代と比較してユニット全体が小型化されたものの、配管及び継手がなお多く存在するため、その分のスペースが必要になっている。このため、近年のプロセスガス供給ユニットに対する小型化・集積化の要求から見ると、未だ改良が不十分ではあった。
更に、構成要素の全てをブロック化してパイプ接続をなくして小型化することも考えられるが、上部に取り付けられる各種弁等のコンポーネント部品が種々多彩であることから、それらに合わせてブロック内に流路を形成することは煩雑であり、かつコストアップの点で問題があった。
【0006】
そこで、上記の問題点等に鑑み、本願出願人は、特願平10−116631号において、小型化・集積化を実現できると共に、各種コンポーネント部品の組み合わせに対しても複数種類のブロックの組み合わせを変更するだけで、必要なプロセスガス供給ユニットを構成することのできるシステムを提案した。
【0007】
この新システムは、各種構成要素の全てをブロック化してパイプ接続をなくし、全体を小型化・集積化したものである。このシステムは、複数の上部モジュールブロック、複数の流路形成ブロック及び複数の下部流路ブロックを備える。各上部モジュールブロックは、プロセスガス供給に使用されるコンポーネント部品の1つが取り付けられるものである。流路形成ブロックは、上部モジュールブロックがボルトで止められ、コンポーネント部品の間を接続して流路を形成するものである。各下部流路ブロックは、異なる流路形成ブロックの各々の下面に取り付けられ、異なる流路形成ブロックに形成されている各々の流路を接続するための接続流路が形成されるものである。
【0008】
このように構成することで、様々な回路に対して統一した形状、規格のモジュールブロックを使用することができ、安価でコンパクトなプロセスガス供給ユニットが提供できるようになる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の新システムでは、全体を小型化・集積化できる反面、隣接する各ブロックの間に位置する個々のシール部(ガスケット)について、ガス漏れの検査が行い難くなる傾向にあった。
【0010】
即ち、従来のガス漏れ検査方法は、シール箇所にトレーサガスであるヘリウムガスを外から吹きかけ、そのガスを検査機で検査することにより行っていた。上記新システムでは、個々のブロックをコンパクトにして集積していることから、それらのシール箇所が互いに極めて接近することになる。このため、上記ガス漏れ検査方法では、ヘリウムガスを吹きかけても、どのシール部に漏れがあるかを特定することが困難となる。
【0011】
例えば、個々のシール部に対してヘリウムガスを非常に少量づつ吹きかけて、その場所の違いと検査機の反応の違いから、漏れ箇所を推定する方法もあるが、時間がかかる上に、ガス漏れの判断を誤って行うおそれがある。
或いは、プロセスガス供給ユニットを組み立てる過程で、個々のブロックを一つ組み付ける毎に対応する一つのシール部にヘリウムガスを吹きかけてガス漏れ検査を行い、それらの工程を繰り返すことにより全部のシール部の検査を済ませる方法もある。しかし、この方法では、組立工数と時間が増大することになった。
【0012】
この発明は上記の事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、小型化・集積化された多数のブロック上に各種コンポーネント部品を個別に取り付けて構成するプロセスガス供給ユニットにおいて、各ブロックの間のシール部を一つに特定してガス漏れを正確に、かつ短時間で検出することを可能にしたプロセスガス供給ユニットのガス漏れ検査装置及びガス漏れ検査方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項1に記載の発明のガス漏れ検査装置は、小型化・集積化された多数のブロック上に各種コンポーネント部品を取り付け、各ブロックに形成された流路を互いに接続することにより構成されるプロセスガス供給ユニットにおいて、各ブロックのシール部のガス漏れを検査するようにしたガス漏れ検査装置であって、互いに隣接するブロックの間の空間に装着される検査治具と、その検査治具が空間に装着されたときに一つのブロックのシール部に整合するよに検査治具に設けられたガスポートと、検査治具に設けられ、ガスポートに検査用ガスを供給するためのガス通路と、ガスポートに供給された検査用ガスがシール部を通じてプロセスガス供給ユニットの流路に流れたときに、その検査用ガスをガス漏れの存在を示すガスとして検出するための漏れガス検出手段とを備えたことを趣旨とする。
【0014】
上記の構成によれば、小型化・集積化された多数のブロック上に各種コンポーネント部品を取り付けて構成するプロセスガス供給ユニットにおいて、互いに隣接するブロックの間の空間に検査治具を装着し、その一つのブロックのシール部に対して検査治具のガスポートを整合させる。そして、検査治具に設けられたガス通路を通じてガスポートに検査用ガスを供給する。これにより、一つのブロックのシール部が不良でガス漏れを許容する場合には、その検査用ガスがシール部を通じてプロセスガス供給ユニットの流路に流入することになり、その検査用ガスがガス漏れの存在を示すガスとして漏れガス検出手段により検出される。一方、シール部が正常な場合には、その検査用ガスがシール部からプロセスガス供給ユニットの流路に流入することがなく、検査用ガスがガス漏れの存在を示すガスとして漏れガス検出手段により検出されることはない。
従って、隣接するブロックの間で複数のシール部が隣接していても、対象とする一つのシール部を他のシール部と区別してガス漏れの有無を判断することが可能となる。
【0015】
上記の目的を達成するために、請求項2に記載の発明のプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査装置は、請求項1に記載の発明の構成において、各シール部にはガスケットが設けられ、ブロックにはシール部を外部へ連通させる連通路が設けられ、検査治具には、検査治具が空間に装着されたときに、隣接するブロックとの間でガスポートの周囲をシールするためのシール材が設けられることを趣旨とする。
【0016】
上記の構成によれば、請求項1の発明の作用に加え、ガス漏れを許容するシール部の不良として、ガスケットの不良が検出されることになる。ここでは、シール部の連通路に対して検査治具のガスポートを整合させればよく、両者を整合させたときには、ガスポートの周囲がシール材によりシールされることから、検査用ガスの外部への漏れが抑えられる。尚、ガスケットが正常に機能するときには、シール部にガス漏れのおそれがないことから、連通路からガスが漏れることはない。
【0017】
上記の目的を達成するために、請求項3に記載の発明のプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査装置は、請求項2に記載の発明の構成において、検査治具には、シール材を対応するブロックに押し付けるための付勢手段が設けられることを趣旨とする。
【0018】
上記の構成によれば、請求項2の発明の作用に加え、付勢手段により、シール材が対応するブロックに押し付けられることから、検査用ガスの外部への漏れが確実に抑えられる。
【0019】
上記の目的を達成するために、請求項4に記載の発明のプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査装置は、請求項1乃至3の一つに記載の発明の構成において、検査治具には、ガスポートに検査用ガスが供給されていることを示すための表示手段が設けられることを趣旨とする。
【0020】
上記の構成によれば、請求項1乃至3の一つに記載の発明の作用に加え、ガスポートに検査用ガスが供給されているときには、そのことが検査治具における表示手段により示される。このため、検査用ガスの供給が表示手段により表示されているときに、漏れガス検出手段によりガス検出を行うことにより、ガス漏れの有無が誤って判断されることがない。例えば、検査用ガスが供給されていないときに、漏れガス検出手段によるガス検出が行われないことにより、ガス漏れがないという誤った判断がなされることがない。
【0021】
上記の目的を達成するために、請求項5に記載の発明のプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査方法は、小型化・集積化された多数のブロック上に各種コンポーネント部品を取り付け、各ブロックに形成された流路を互いに接続することにより構成されるプロセスガス供給ユニットにおいて、各ブロックのシール部のガス漏れを検査するようにしたガス漏れ検査方法であって、互いに隣接するブロックの間の空間に検査治具を装着し、一つのブロックのシール部に検査治具のガスポートを整合させる検査治具装着工程と、シール部に整合されたガスポートを真空にする真空工程と、真空にされたガスポートに検査用ガスを供給し、その供給された検査用ガスがシール部を通じてプロセスガス供給ユニットの流路に流れたときに、その検査用ガスをガス漏れの存在を示すガスとして検出するための漏れガス検出工程とを備えたことを趣旨とする。
【0022】
上記の構成によれば、検査治具装着工程において、検査治具を、互いに隣接するブロックの間の空間に装着し、一つのブロックのシール部にガスポートを整合させることにより、一つのシール部のみがガス漏れ検査の対象となる。
次に、真空工程において、シール部に整合されたガスポートを真空にすることにより、ガスポート付近の残留ガスが除去される。
次に、漏れガス検出工程において、真空にされたガスポートに検査用ガスを供給することにより、シール部が不良である場合には、供給された検査用ガスがシール部を通じてプロセスガス供給ユニットの流路に流れることになる。そして、その検査用ガスがガス漏れの存在を示すガスとして検出されることになる。
従って、隣接するブロックの間で複数のシール部が隣接していても、対象とする一つのシール部を他のシール部と区別してガス漏れの有無を判断することが可能となる
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査装置及びガス漏れ検査方法を具体化した一実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【0024】
図1に本実施の形態におけるガス漏れ検査装置50及びその検査対象であるプロセスガス供給ユニット70の外観を示す。このプロセスガス供給ユニット70は、基本的には、手動弁1a,1b,1c、レギュレータ3a,3b,3c、圧力計4a,4b,4c、入力弁5a,5b,5c、マスフローコントローラ8a,8b,8c、出力弁10a,10b,10c、フィルタ7a,7b,7c及びパージ弁6a,6b,6c等のコンポーネント部品Eと、各コンポーネント部品Eがそれぞれ取り付けられる複数の上部モジュールブロックAと、各上部モジュールブロックAがそれぞれ上面に取り付けられる複数の流路形成ブロックBと、各流路形成ブロックBがそれぞれ上面に取り付けられる複数の下部流路ブロックCと、各下部流路ブロックCがそれぞれ固定される一つの取付パネルDとを備える。
【0025】
この実施の形態において、上部モジュールブロックAは4つの種類に分けられる。図2にその一例を示す。
上部モジュールブロックAは、全種類において、下面が縦横39mmの寸法を有する同一正方形をなす。このブロックAは、中央に複数のポート13,19を有し、上面に各ポート13,19を内包する円筒形状の接続用ブラケット18を有する。接続用ブラケット18は、取り付けられるコンポーネント部品Eに対応した寸法で形成される。各コンポーネント部品Eは、接続用ブラケット18に対して、ネジ締め等により固定される。このブロックAの各種類の間では、上記ポート13,19等の数と種類が異なる。このブロックAは、その四隅にボルト孔14を有する。各ボルト孔14は、同ブロックAを流路形成ブロックBに固定するためのものである。
【0026】
四つの種類の上部モジュールブロックAにコンポーネント部品Eが取り付けられることにより、コンポーネント部品Eの取付方向に関して16のパターンが得られる。
【0027】
この実施の形態において、各上部モジュールブロックAの上面に取り付けられるコンポーネント部品Eは、5つの種類に分けられる。図3にその一例を示す。この図は入力弁5a〜5c、パージ弁6a〜6c、出力弁10a〜10c及び真空弁9a〜9cとして使用されるエアオペレーション弁を上部モジュールブロックAに取り付けた状態を示す。図3(a)は、前記取り付け状態を上方向から見た斜視図を、図3(b),(c)は全体をひっくり返したときの斜視図をそれぞれ示す。図3(b),(c)は、互いにタイプの違いを示すものである。
【0028】
図4に下部流路ブロックCの斜視図を示す。図5(a)に同ブロックCの平面図を、図5(b)に同ブロックCの側断面図をそれぞれ示す。
下部流路ブロックCは、その上面中央に一対の連通孔22を有する。両連通孔22は、図5(b)に示すように、断面がV字形のV字連通路27により互いに連通される。各連通孔22は、その周囲に、シール部材である金属ガスケットを装着するための座ぐり23を有する。このブロックCは、各連通孔22の両脇に、ボルト孔24を有する。このブロックCは、その長手方向の両端部において、同ブロックCを取付パネルDに取り付けるための一対の取付孔25を有する。各取付孔25は、その上面に座ぐり孔25aを有する。このブロックCは、その長手方向の両端部四隅に、切り欠き逃げ部26を有する。
【0029】
この実施の形態において、流路形成ブロックBは14種類に分けられる。図6にその一例の平面図に示す。図7に同ブロックBの上面を斜視図に示す。図8に同ブロックBの下面を斜視図に示す。
流路形成ブロックBは、上部モジュールブロックAの下面と同じ寸法形状をなした上面及び下面を有する。その上面には、上部モジュールブロックAが取り付けられる。このブロックBは、その上面中央に二つの上面ポート31,33を、その下面二縁に二つの下面ポート32,34をそれぞれ有する。各上面ポート31,33及び各下面ポート32,34は、それらの周囲に座ぐり31a,33a,32a,34aをそれぞれ有する。上面ポート31及び下面ポート32は互いに斜めの連通路により連通する。同様に、上面ポート33及び下面ポート34は互いに斜めの連通路により連通する。各下面ポート32,34は、対応する下部流路ブロックCの連通孔22に整合するものである。各下面ポート32,34の両脇に形成された取付孔35は、同ブロックBを上下に貫通する。各取付孔35は、その周囲に座ぐり36を有する。このブロックBは、その四隅に、上部モジュールブロックAの取付ボルトをねじ止めするためのボルト孔37を有する。
図7,8に示すように、このブロックBは、その下面縁部に、各下面ポート32,34の座ぐり32a,34aに対応して開けられた連通路32b,34bをそれぞれ有する。これら座ぐり32a,34aには、金属製のガスケット40がそれぞれ装着される。そして、流路形成ブロックBの金属製のガスケット40を含む各下面ポート32,34及び座ぐり32a,34a、並びに下部流路ブロックCの連通孔22及び座ぐり23の部分が、本発明のシール部Sを構成する。
【0030】
上記した上部モジュールブロックA、流路形成ブロックB、下部流路ブロックC、取付パネルD及びコンポーネント部品Eをそれぞれ複数互いに組み付けることにより、図1に示すようなプロセスガス供給ユニット70が構成される。
【0031】
即ち、図1に示すように、取付パネルDの上面には、複数の下部流路ブロックCが取り付けられ、各下部流路ブロックCの上面には、複数の流路形成ブロックBが取り付けられ、各流路形成ブロックBの上面には、対応するコンポーネント部品Eを固定してなる複数の上部モジュールブロックAが取り付けられる。
【0032】
図9には、取付パネルDの上面に下部流路ブロックCが取り付けられた状態を示す。図10には、取付パネルD上の下部流路ブロックCの上面に流路形成ブロックBが取り付けられた状態を示す。この流路形成ブロックBの上面に上部モジュールブロックAを含むコンポーネント部品Eが取り付けられることにより、図1に示すようなプロセスガス供給ユニット70が得られる。即ち、小型化・集積化された多数のブロック等A〜D上に各種コンポーネント部品Eが取り付けられ、各ブロック等A〜Dに形成された流路が互いに接続されてなるプロセスガス供給ユニット70が得られる。このユニット70の構成において、各ブロック等A〜Eのポート及び流路が互いに組み合わされて接続され、所定の回路が構成される。図11にはそのユニット70の回路構成を示す。
【0033】
ここで、図1に示すように、互いに隣接する上部モジュールブロックA及び流路形成ブロックBの間には、所定の大きさ(例えば、幅2mm程度)の隙間Gaが形成される。この隙間Gaに対応して、前述した互いに対応する流路形成ブロックB及び下部流路ブロックCの間のシール部Sが配置される。この実施の形態のユニット70において、上記シール部Sは、互いに隣接する二つの流路形成ブロックBの間に形成される隙間Gaに対して二つ存在することになる。
【0034】
次に上記のように構成したプロセスガス供給ユニット70におけるガス漏れ検査装置50について説明する。図1に示すように、ガス漏れ検査装置は、検査治具51と、コントロールボックス52と、ヘリウムセンサ53とを備える。
【0035】
検査治具51は、互いに隣接する上記各ブロックA,Bの間の空間としての隙間Gaに差し込まれて装着されるものである。図12に検査治具51の正面図を、図13に検査治具51の側面図をそれぞれ示す。この検査治具51は、二枚の板材を接合してなる薄板状をなし、その下端両脇に一対の突起51aを有する。検査治具51は、その下部中央に検査用ガスを導出するためのガスポート54を有し、その内部にガスポート54に通じるガス流路55を有する。このガス流路55は、検査治具51の上端に設けられた管継手56に連通する。ガスポート54は、検査治具51が前記隙間Gaに装着されたときに一つの流路形成ブロックBの一つのシール部Sに整合するよに配置されるものである。ガス通路55は、管継手56に導入される検査用ガスをガスポート54に導くためのものである。検査治具51は、そのガスポート54の周囲に取り付けられたシール材としてのゴムライニング57を有する。このゴムライニング57は、検査治具51が前記隙間Gaに装着されたときに、隣接するブロックBとの間でガスポート54の周囲をシールするためのものである。又、検査治具51は、ガスポート54に対応する反対側面に、ゴムライニング57を対応するブロックBに押し付けるための付勢手段としての板バネ58を有する。更に、検査治具51は、その上端部に設けられたLEDランプ59を有する。このLEDランプ59は、ガスポート54に検査用ガスが供給されていることを示すために動作する本発明の表示手段に相当するものである。
【0036】
図1に示すヘリウムセンサ53は、プロセスガス供給ユニット70の出力側に接続されるものであり、ヘリウム分子の存在を検出したときに、ヘリウムガスの検出を示す信号を出力するものである。このセンサ53は、そのハウジングに検出回路(図示しない)を内蔵し、そのハウジングの上壁面にアラームランプ53aを有する。従って、ヘリウムセンサ53がヘリウムガスの検出信号を出力したときに、検出回路が動作してアラームランプ53aが点灯されることになる。ヘリウムセンサ53は、本発明の漏れガス検出手段を構成する。
【0037】
コントロールボックス52は、検査治具51に対する検査用ガスの供給等を制御するためのものである。図14にコントロールボックス52の回路構成を示す。このコントロールボックス52は、負圧を発生させるためのエジェクタEJと、エジェクタEJの入力ポートに接続された第1の電磁弁V1と、エジェクタEJの出力ポートにそれぞれ直列に接続される第2の電磁弁V2、第3の電磁弁V3、レギュレータRG及び手動弁HVとを備える。第1の電磁弁V1の入力ポートは、窒素(N2 )ガスの供給源に接続される。手動弁HVの入力ポートは、ヘリウムガスの供給源に接続される。この実施の形態では、前述した検査用ガスとして、ヘリウムガスが使用される。第2の電磁弁V2と第3の電磁弁V3との間の配管は、チューブ60を介して検査治具51の管継手56に接続される。更に、コントロールボックス52は、第1〜第3の電磁弁V1〜V3等を制御するためのコントローラ61を備える。コントローラ61には、第1〜第3の電磁弁V1〜V3が電気的に接続される。コントローラ61には、検査治具51のLEDランプ59がリード線59aを介して電気的に接続される。コントローラ61には、検査の開始を指示するためのスタートボタン62及び電源がそれぞれ接続される。又、コントローラ61は、外部装置(図示しない)に接続され、必要に応じて制御経過を示す外部信号を外部装置へ出力するようになっている。コントローラ61は、中央処理装置(CPU)、読み出し専用メモリ(ROM)、ランダムアクセスメモリ(RAM)及びバックアップRAM等よりなる周知の構成を備えたものである。ROMは、前述した漏れ検査用の制御に係る所定の制御プログラムを予め記憶している。コントローラ(CPU)61は、この制御プログラムに従って漏れ検査の制御を実行する。この実施の形態において、コントローラ61は、ガス漏れ検査の制御を司るための制御手段を構成する。又、エジェクタEJ、第1〜第3の電磁弁V1〜V3、レギュレータRG及び手動弁HV等よりなる空圧回路は、検査治具51のガスポート54に検査用ガスとしてのヘリウムガスを供給するための検査用ガス供給手段を構成する。
【0038】
次に、上記のように構成したガス漏れ検査装置50を使用して行われる検査方法について説明する。
【0039】
図15にプロセスガス供給ユニット70の隙間Gaに対する検査治具51の装着状態を示す。図15には、便宜上、上部モジュールブロックA及びコンポーネント部品Eを省略して示す。図16に、コントローラ61が実行するガス漏れ検査の制御プログラムの内容を示す。
【0040】
ガス漏れ検査に際して、先ず作業者は、検査治具装着工程において、図15に示すように、プロセスガス供給ユニット70の互いに隣接する流路形成ブロックB1,B2の間の隙間Gaに検査治具51を差し込んで装着し、一つの流路形成ブロックB1及び一つの下部流路ブロックC1の間の一つのシール部S1に検査治具51のガスポート54を整合させる。これにより、一つのシール部S1のみがガス漏れ検査の対象となる。このとき、差し込まれた検査治具51の両突起51aは、下部流路ブロックC1の長手方向両端面を挟み込むかたちで装着されることから、検査治具51が隙間Gaの中を横滑りするようなことはない。又、ガスポート54をシール部S1に対して確実に位置決めすることができる。
【0041】
次に、真空工程において、上記のシール部S1に整合されたガスポート54を真空にすることにより、検知治具51のガス流路55及びガスポート54に残留するヘリウムガス等が排気され除去される。
【0042】
その後、漏れガス検出工程において、上記のように真空にされたガスポート54に検査用ガスであるヘリウムガスを供給することにより、そのシール部S1が不良である場合に、供給されたヘリウムガスがシール部S1を通じてプロセスガス供給ユニット70の流路に流れたときに、そのヘリウムガスをガス漏れの存在を示すガスとしてヘリウムセンサ53により検出させる。
【0043】
この実施の形態では、上記の真空工程及び漏れガス検出工程を、コントロールボックス52のコントローラ61が実行する。
即ち、図16に示すように、ステップ100において、コントローラ61は、スタートボタン62がオンされたか否かを判断する。ここで、作業者は、上記の検査治具装着工程を完了したときにスタートボタン62を操作することになっていることから、コントローラ61は、スタートボタン62のオン操作を待って次ぎのステップ110へ処理を移行することになる。
【0044】
次に、ステップ110において、真空工程を実行するために、第1及び第2の電磁弁V1,V2を開いてエジェクタEJにより、検知治具51のガス流路55内を真空にして残留ガスを排気する。ここで、第1の電磁弁V1に窒素ガスを供給することにより、エジェクタEJが作動してその出力ポートに負圧が発生することになる。この負圧がチューブ60を通じて検査治具51のガス流路55に作用し、同流路55内の残留ガスが排気されることになる。
【0045】
次に、コントローラ61は、ステップ120において、所定時間が経過するのを待って、ステップ130において、第2の電磁弁V2を閉じ、次いで、ステップ140において、第1の電磁弁V1を閉じる。即ち、コントローラ61は、検査治具51のガス流路55内を所定時間だけ真空にした後、第2の電磁弁V2、第1の電磁弁V1の順序で各電磁弁V2,V1をそれぞれ閉じる。
【0046】
次に、ステップ150において、上記漏れガス検出工程を実行するために、コントローラ61は、第3の電磁弁V3を開いて検査治具51のガス流路55内にヘリウムガスを供給する。即ち、ガス流路55内をヘリウムガスで置換する。
【0047】
ステップ160において、コントローラ61は、ガスポート54にヘリウムガスが供給されていることを示すためにLEDランプ59を点灯させる。
【0048】
コントローラ61は、ステップ170において、所定時間の経過を待って、ステップ180において、LEDランプ59を消灯させ、その後の処理を終了する。
【0049】
即ち、ステップ150〜180において、コントローラ61は、検査治具51のガスポート54にヘリウムガスを所定時間だけ供給し、そのヘリウムガスを供給している間だけガス供給中であることを作業者に知らせるためにLEDランプ59を点灯させるのである。
【0050】
そして、作業者は、LEDランプ59が点灯している間にヘリウムセンサ53のアラームランプ53aの点灯の有無に基づいて、ガス漏れの存在を判断するのである。即ち、LEDランプ59が点灯している間にアラームランプ53aが点灯していれば、検査対象であるシール部S1が不良であり、ガス漏れが有ることを判断することができる。一方、LEDランプ59が点灯している間にアラームランプ53aが点灯していなければ、検査対象であるシール部S1が正常であり、ガス漏れが無いことを判断することができる。
【0051】
以上説明したように、本実施の形態のガス漏れ検査装置50及びその装置50を使用したガス漏れ検査方法によれば、小型化・集積化された多数のブロック等A〜D上に各種コンポーネント部品Eを取り付けて構成するプロセスガス供給ユニット70を検査対象としている。このユニット70において、互いに隣接する各ブロックA〜Cの間の隙間Gaに検査治具51を装着し、その一つのブロックB,Cに対応する一つのシール部Sに対して検査治具51のガスポート54を整合させる。そして、検査治具51に設けられたガス通路55を通じてガスポート54に検査用ガスであるヘリウムガスを供給するようにしている。
これにより、それぞれ一つのブロックB,Cのシール部Sが不良でガス漏れを許容する場合には、そのヘリウムガスがシール部Sを通じてプロセスガス供給ユニット70の流路に流入することになり、そのヘリウムガスがガス漏れの存在を示すガスとしてヘリウムセンサ53により検出され、そのアラームランプ53aに表示される。一方、シール部Sが正常な場合には、そのヘリウムガスがシール部Sからプロセスガス供給ユニット70の流路に流入することがなく、ヘリウムガスがガス漏れの存在を示すガスとしてヘリウムセンサ53により検出されることがない。
【0052】
従って、この実施の形態のプロセスガス供給ユニット70のように、隣接する二つの流路形成ブロックBの間で二つのシール部Sが隣接していても、対象とする一つのシール部Sを他のシール部Sと区別してガス漏れの有無を判断することが可能となる。このため、プロセスガス供給ユニット70において、各ブロックA〜Cの間のシール部Sを一つに特定し、そのシール部Sについてのみガス漏れを正確に検出することができ、ガス漏れ検査の所要時間を短縮化することができるようになる。
【0053】
本実施の形態のガス漏れ検査装置50によれば、ガス漏れを許容するシール部Sの不良として、ガスケット40の不良が検出されることになる。ここでは、一つのシール部Sに対応して流路形成ブロックBに形成された一つの連通路32a,34aに対して検査治具51のガスポート54を整合させればよい。そして、両者32a,34a,54を整合させたときには、ガスポート54の周囲がゴムライニング57によりシールされることから、それによってヘリウムガスの外部への漏れが抑えられることになる。尚、ガスケット40が正常に機能するときには、シール部Sにガス漏れのおそれがないことから、連通路32a,34aからガスが外部へ漏れることはない。このように、ヘリウムガスの外部漏れが抑えられることから、ヘリウムガスの分圧を安定化させることができ、検査対象を変える毎にヘリウムガス分圧が変わることがなくなり、複数のシール部Sに関するガス漏れ検査をより正確なものにすることができるようになる。
【0054】
本実施の形態のガス漏れ検査装置50によれば、検査治具51において、板バネ58によりゴムライニング57が対応する一つの流路形成ブロックBに押し付けられることから、ガスポート54からのヘリウムガスの外部漏れがより確実に抑えられる。この意味で、上記ヘリウムガスの分圧を更に安定化させることができ、複数のシール部Sに係るガス漏れ検査の精度を更に高めることができるようになる。
【0055】
本実施の形態のガス漏れ検査装置50によれば、検査治具51において、ガスポート54にヘリウムガスが供給されているときには、そのことが検査治具51におけるLEDランプ59により示される。このため、ヘリウムガスの供給がランプ59により表示されているときに、ヘリウムセンサ53によりガス検出を行うことにより、ガス漏れの有無が誤って判断されることがない。例えば、ガスポート54へヘリウムガスが供給されていないときに、ヘリウムセンサ53のアラームランプ53aが点灯していないことにより、ガス漏れが無いという誤った判断がなされることがない。この意味で、作業者がガス漏れの有無を誤って判断することを未然に防止することができるようになる。
【0056】
この実施の形態のガス漏れ検査装置50によれば、上記のように検査対象である一つのシール部Sを特定してガス漏れを検査できることから、プロセスガス供給ユニット70を組み上げてから、個々のシール部Sを集中的に検査することができるようになる。このことは、従来の検査方法のようにプロセスガス供給ユニットを組み立てる過程で個々のブロックを一つ組み付ける毎にガス漏れ検査を行う場合とは異なり、ユニット70の組立工数を減らすことができ、組立時間を短縮化することができるようになる。
【0057】
尚、この発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で以下のように実施することができる。
【0058】
例えば、前記実施の形態では、検査治具51を薄板形状としたが、これに限定されるものではなく、隣接するブロック間の空間形状に合わせて適宜な形状としてもよい。
【0059】
【発明の効果】
請求項1に記載の発明の構成によれば、小型化・集積化された多数のブロック上に各種コンポーネント部品を個別に取り付けて構成するプロセスガス供給ユニットにおいて、互いに隣接するブロックの間の空間に検査治具を装着し、一つのブロックのシール部に対してガスポートを整合させ、ガス通路を通じてガスポートに検査用ガスを供給するようにしている。そして、一つのブロックのシール部にガス漏れを許容する不良がある場合に、シール部を通じてプロセスガス供給ユニットの流路に流入した検査用ガスをガス漏れの存在を示すガスとして漏れガス検出手段により検出させるようにしている。
従って、隣接するブロックの間で複数のシール部が隣接していても、対象とする一つのシール部を他のシール部と区別してガス漏れの有無を判断することが可能となる。このため、各ブロックの間のシール部を一つに特定してガス漏れを正確に、かつ短時間で検出することができるという効果を発揮する。
【0060】
請求項2に記載の発明の構成によれば、請求項1の発明の作用及び効果に加え、ガス漏れを許容するシール部の不良としてガスケットの不良が検出されることになり、シール部の連通路に対して検査治具のガスポートを整合させたときに、ガスポートの周囲がシール材によりシールされて検査用ガスの外部漏れが抑えられる。このため、検査用ガスの分圧を安定化させることができ、複数のシール部に係るガス漏れ検査をより正確なものにすることができるという効果を発揮する。
【0061】
請求項3に記載の発明の構成によれば、請求項2の発明の作用及び効果に加え、付勢手段により、シール材が対応するブロックに押し付けられることから、検査用ガスの外部への漏れが確実に抑えられる。このため、検査用ガスの分圧を更に安定化させることができ、複数のシール部に係るガス漏れ検査の精度を更に高めることができるという効果を発揮する。
【0062】
請求項4に記載の発明の構成によれば、請求項1乃至3の一つの発明の作用及び効果に加え、ガスポートに検査用ガスが供給されていることが表示手段により示されることから、表示手段が表示しているときに、漏れガス検出手段でガス検出を行うことにより、ガス漏れの有無が誤って判断されることがない。このため、作業者がガス漏れの有無を誤って判断することを未然に防止することができるという効果を発揮する。
【0063】
請求項5に記載の発明の構成によれば、検査治具装着工程において、検査治具を、隣接するブロックの間の空間に装着し、一つのブロックのシール部にガスポートを整合させることにより、一つのシール部のみがガス漏れ検査の対象となる。次に、真空工程において、シール部に整合されたガスポートを真空にすることにより、ガスポート付近の残留ガスが除去される。次に、漏れガス検出工程において、真空のガスポートに検査用ガスを供給することにより、シール部が不良である場合に、検査用ガスをシール部を通じてプロセスガス供給ユニットの流路に流れさせ、その検査用ガスをガス漏れの存在を示すガスとして漏れガス検出手段により検出させるようにしている。
従って、隣接するブロックの間で複数のシール部が隣接していても、対象とする一つのシール部を他のシール部と区別してガス漏れの有無を判断することが可能となる。このため、各ブロックの間のシール部を一つに特定してガス漏れを正確に、かつ短時間で検出することができるという効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】一実施の形態に係るガス漏れ検査装置及びその検査対象であるプロセスガス供給ユニットの外観を示す斜視図である。
【図2】同じく、上部モジュールブロックの一例を示す部分破断斜視図である。
【図3】同じく、(a)〜(c)は、上部モジュールブロッに取り付けられたコンポーネント部品の一例を示す斜視図である。
【図4】同じく、下部流路ブロックを示す斜視図である。
【図5】同じく、(a)は下部流路ブロックを示す平面図であり、(b)は同ブロックの内部を示す側断面図である。
【図6】同じく、流路形成ブロックの一例を示す平面図である。
【図7】同じく、流路形成ブロックの上面を示す斜視図である。
【図8】同じく、流路形成ブロックの下面を示す斜視図である。
【図9】同じく、取付パネル及び下部流路ブロックの組み付け状態を示す斜視図である。
【図10】同じく、取付パネル、下部流路ブロック及び流路形成ブロックの組み付け状態を示す斜視図である。
【図11】同じく、プロセスガス供給ユニットを示す回路図である。
【図12】同じく、検査治具を示す正面図である。
【図13】同じく、検査治具を示す側面図である。
【図14】同じく、コントロールボックス等を示す回路図である。
【図15】同じく、検査治具の装着状態を示す斜視図である。
【図16】同じく、ガス漏れ検査の制御プログラムを示すフローチャートである。
【図17】従来のプロセスガス供給ユニットを示す正面図である。
【符号の説明】
A 上部モジュールブロック
B 流路形成ブロック
C 下部流路ブロック
D 取付パネル
E コンポーネント部品
Ga 隙間
S シール部
32b 連通路
34b 連通路
40 ガスケット
50 ガス漏れ検査装置
51 検査治具
53 ヘリウムセンサ(漏れガス検出手段)
54 ガスポート
55 ガス流路
57 ゴムライニング(シール材)
58 板バネ(付勢手段)
59 LEDランプ(表示手段)
70 プロセスガス供給ユニット[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention is a process gas supply unit which is used in a semiconductor manufacturing process and is configured by individually mounting various component parts such as a process gas supply valve, a vacuum valve and a regulator on a large number of blocks which have been miniaturized and integrated in advance. About. More specifically, the present invention relates to a gas leak inspection apparatus and a gas leak inspection method in a process gas supply unit that detects a gas leak in each block in the unit.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a process gas supply unit for supplying a process gas such as an etching gas has been developed in a semiconductor manufacturing process. Then, the semiconductor manufacturing process shifts from a method of batch processing a plurality of wafers to a single wafer processing method of processing wafers one by one, and there is a strong demand for downsizing the process gas supply unit. .
[0003]
In order to reduce the size of the process gas supply unit, the present applicant has proposed a process gas supply unit in which a supply valve, a purge valve, and a vacuum valve are connected to a module block, which is a manifold, from above with bolts according to Japanese Patent No. 2568365. doing.
[0004]
FIG. 17 shows a process gas supply unit using this manifold. In this unit, the first
The first
[0005]
However, in the process gas supply unit described above, the entire unit has been downsized compared to the era when all devices were connected by piping, but there are still many pipes and joints, so that much space is required. It has become. For this reason, in view of the recent demand for downsizing and integration of the process gas supply unit, the improvement has not been sufficient.
In addition, it is conceivable to make all the components into blocks and eliminate the pipe connection to reduce the size. However, since there are various component parts such as various valves attached to the upper part, they can be flown in the block accordingly. Forming the path is complicated and problematic in terms of cost increase.
[0006]
Accordingly, in view of the above-mentioned problems, the applicant of the present application can realize miniaturization and integration in Japanese Patent Application No. 10-116631, and also combine a plurality of types of blocks with respect to combinations of various component parts. We proposed a system that can configure the necessary process gas supply unit just by changing it.
[0007]
In this new system, all the various components are blocked to eliminate pipe connections, and the entire system is miniaturized and integrated. The system includes a plurality of upper module blocks, a plurality of flow path forming blocks, and a plurality of lower flow path blocks. Each upper module block is one to which one of the component parts used for the process gas supply is attached. In the flow path forming block, the upper module block is fixed with bolts, and the component parts are connected to form a flow path. Each lower flow path block is attached to the lower surface of each of the different flow path forming blocks, and a connection flow path for connecting the respective flow paths formed in the different flow path forming blocks is formed.
[0008]
With this configuration, it is possible to use a module block having a uniform shape and standard for various circuits, and an inexpensive and compact process gas supply unit can be provided.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, the above-mentioned new system can be downsized and integrated as a whole, but tends to make it difficult to inspect gas leaks for individual seal portions (gaskets) located between adjacent blocks.
[0010]
That is, the conventional gas leak inspection method is performed by spraying helium gas, which is a tracer gas, from the outside onto a seal location and inspecting the gas with an inspection machine. In the above-mentioned new system, since the individual blocks are integrated in a compact form, their seal points are very close to each other. For this reason, in the gas leak inspection method, it is difficult to specify which seal portion has a leak even when helium gas is blown.
[0011]
For example, there is a method of injecting very small amounts of helium gas to each seal part and estimating the leak location from the difference in the location and the difference in the reaction of the inspection machine. There is a risk of making a wrong decision.
Or, in the process of assembling the process gas supply unit, every time one block is assembled, helium gas is blown to one corresponding seal part to perform a gas leak test, and by repeating these steps, all the seal parts are There is also a way to complete the inspection. However, this method increases assembly man-hours and time.
[0012]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a process gas supply unit in which various component parts are individually mounted on a large number of blocks that are miniaturized and integrated. It is an object to provide a gas leak inspection apparatus and a gas leak inspection method for a process gas supply unit that can detect a gas leak accurately and in a short time by specifying one seal portion between them.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the gas leak inspection apparatus according to the first aspect of the present invention attaches various component parts to a large number of blocks that are miniaturized and integrated, and the flow path formed in each block is provided. In a process gas supply unit configured by connecting to each other, a gas leak inspection apparatus for inspecting a gas leak at a seal portion of each block, wherein the inspection process is installed in a space between adjacent blocks. And a gas port provided in the inspection jig so that it aligns with the seal part of one block when the inspection jig is installed in the space, and an inspection gas is provided in the inspection jig. When the inspection gas supplied to the gas port and the gas port flows into the flow path of the process gas supply unit through the seal portion, the inspection gas leaks. And purpose that a leak gas detection means for detecting a gas to indicate the presence of.
[0014]
According to the above configuration, in the process gas supply unit configured by mounting various component parts on a large number of miniaturized and integrated blocks, the inspection jig is mounted in the space between adjacent blocks, The gas port of the inspection jig is aligned with the seal portion of one block. Then, the inspection gas is supplied to the gas port through the gas passage provided in the inspection jig. As a result, when the seal part of one block is defective and gas leakage is allowed, the inspection gas flows into the flow path of the process gas supply unit through the seal part, and the inspection gas leaks out of the gas. As a gas indicating the presence of gas, it is detected by the leak gas detection means. On the other hand, when the seal portion is normal, the inspection gas does not flow from the seal portion into the flow path of the process gas supply unit, and the inspection gas is detected by the leak gas detection means as a gas indicating the presence of gas leakage. It will not be detected.
Therefore, even if a plurality of seal portions are adjacent to each other between adjacent blocks, it is possible to distinguish one target seal portion from the other seal portions and determine the presence or absence of gas leakage.
[0015]
In order to achieve the above object, a gas leak inspection apparatus in a process gas supply unit according to a second aspect of the present invention is the block according to the first aspect, wherein each seal portion is provided with a gasket, Is provided with a communication path that communicates the seal part to the outside, and the inspection jig has a seal for sealing the periphery of the gas port with the adjacent block when the inspection jig is installed in the space. The purpose is to provide materials.
[0016]
According to said structure, in addition to the effect | action of invention of Claim 1, the defect of a gasket will be detected as a defect of the seal part which accept | permits a gas leak. Here, the gas port of the inspection jig may be aligned with the communication path of the seal portion, and when both are aligned, the periphery of the gas port is sealed with a sealing material. Leakage is suppressed. When the gasket functions normally, gas does not leak from the communication path because there is no risk of gas leakage at the seal portion.
[0017]
In order to achieve the above object, a gas leak inspection apparatus in a process gas supply unit according to a third aspect of the present invention is the structure of the second aspect of the present invention, wherein the inspection jig corresponds to a sealing material. It is intended that an urging means for pressing against the block is provided.
[0018]
According to the above configuration, in addition to the operation of the invention of claim 2, the sealing member is pressed against the corresponding block by the urging means, so that leakage of the inspection gas to the outside is surely suppressed.
[0019]
In order to achieve the above object, the gas leak inspection apparatus in the process gas supply unit of the invention described in claim 4 is the configuration of the invention described in one of claims 1 to 3, wherein the inspection jig includes It is intended that a display means for indicating that the inspection gas is supplied to the gas port is provided.
[0020]
According to said structure, in addition to the effect | action of the invention of Claim 1 thru | or 3, when the test | inspection gas is supplied to the gas port, that is shown by the display means in a test | inspection jig | tool. For this reason, when the supply of the inspection gas is displayed by the display means, the presence or absence of gas leakage is not erroneously determined by performing the gas detection by the leakage gas detection means. For example, when the inspection gas is not supplied, gas detection by the leakage gas detection means is not performed, so that an erroneous determination that there is no gas leakage is not made.
[0021]
In order to achieve the above object, a gas leak inspection method for a process gas supply unit according to a fifth aspect of the present invention attaches various component parts to a large number of blocks that are miniaturized and integrated, and forms each block. In the process gas supply unit configured by connecting the flow paths to each other, a gas leak inspection method for inspecting the gas leak of the seal portion of each block, in a space between adjacent blocks The inspection jig is mounted, the inspection jig mounting process for aligning the gas port of the inspection jig with the seal part of one block, the vacuum process for evacuating the gas port aligned with the seal part, and the vacuum When the inspection gas is supplied to the gas port and the supplied inspection gas flows into the flow path of the process gas supply unit through the seal portion, The 査用 gas and spirit that a leak gas detection step for detecting a gas to indicate the presence of a gas leak.
[0022]
According to the above configuration, in the inspection jig mounting step, the inspection jig is mounted in the space between the blocks adjacent to each other, and the gas port is aligned with the seal portion of one block, thereby providing one seal portion. Only gas leak inspection is possible.
Next, in the vacuum process, the residual gas in the vicinity of the gas port is removed by evacuating the gas port aligned with the seal portion.
Next, in the leakage gas detection step, when the sealing portion is defective by supplying the inspection gas to the vacuumed gas port, the supplied inspection gas passes through the sealing portion of the process gas supply unit. It will flow to the flow path. Then, the inspection gas is detected as a gas indicating the presence of gas leakage.
Therefore, even if a plurality of seal portions are adjacent to each other between adjacent blocks, it is possible to determine the presence or absence of gas leakage by distinguishing one target seal portion from other seal portions.
[0023]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment embodying a gas leak inspection apparatus and a gas leak inspection method in a process gas supply unit of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0024]
FIG. 1 shows the appearance of a gas
[0025]
In this embodiment, the upper module block A is divided into four types. An example is shown in FIG.
In all types, the upper module block A forms the same square whose bottom surface has dimensions of 39 mm in length and width. The block A has a plurality of
[0026]
By attaching the component part E to the four types of upper module blocks A, 16 patterns are obtained with respect to the mounting direction of the component part E.
[0027]
In this embodiment, the component part E attached to the upper surface of each upper module block A is classified into five types. An example is shown in FIG. This figure shows a state in which the air valves used as the
[0028]
FIG. 4 is a perspective view of the lower flow path block C. FIG. 5A shows a plan view of the block C, and FIG. 5B shows a side sectional view of the block C.
The lower flow path block C has a pair of communication holes 22 at the center of the upper surface. As shown in FIG. 5B, the two
[0029]
In this embodiment, the flow path forming block B is divided into 14 types. FIG. 6 shows a plan view of an example thereof. FIG. 7 is a perspective view showing the top surface of the block B. FIG. FIG. 8 is a perspective view showing the lower surface of the block B.
The flow path forming block B has an upper surface and a lower surface that have the same size and shape as the lower surface of the upper module block A. The upper module block A is attached to the upper surface. This block B has two
As shown in FIGS. 7 and 8, the block B has
[0030]
A process
[0031]
That is, as shown in FIG. 1, a plurality of lower channel blocks C are attached to the upper surface of the mounting panel D, and a plurality of channel forming blocks B are attached to the upper surface of each lower channel block C. On the upper surface of each flow path forming block B, a plurality of upper module blocks A formed by fixing corresponding component parts E are attached.
[0032]
FIG. 9 shows a state in which the lower flow path block C is attached to the upper surface of the attachment panel D. FIG. 10 shows a state where the flow path forming block B is attached to the upper surface of the lower flow path block C on the mounting panel D. By attaching the component part E including the upper module block A to the upper surface of the flow path forming block B, a process
[0033]
Here, as shown in FIG. 1, a gap Ga having a predetermined size (for example, a width of about 2 mm) is formed between the upper module block A and the flow path forming block B adjacent to each other. Corresponding to the gap Ga, the seal portion S between the flow path forming block B and the lower flow path block C corresponding to each other is disposed. In the
[0034]
Next, the gas
[0035]
The
[0036]
The
[0037]
The
[0038]
Next, an inspection method performed using the gas
[0039]
FIG. 15 shows the mounting state of the
[0040]
In the gas leakage inspection, first, in the inspection jig mounting step, the operator places the
[0041]
Next, in the vacuum process, the
[0042]
Thereafter, in the leakage gas detection process, when the helium gas as the inspection gas is supplied to the
[0043]
In this embodiment, the
That is, as shown in FIG. 16, in
[0044]
Next, in
[0045]
Next, the
[0046]
Next, in
[0047]
In
[0048]
The
[0049]
That is, in
[0050]
The operator determines the presence of gas leakage based on whether or not the
[0051]
As described above, according to the gas
As a result, when the seal part S of each of the blocks B and C is defective and allows gas leakage, the helium gas flows into the flow path of the process
[0052]
Therefore, even if two seal portions S are adjacent between two adjacent flow path forming blocks B as in the process
[0053]
According to the gas
[0054]
According to the gas
[0055]
According to the gas
[0056]
According to the gas
[0057]
In addition, this invention is not limited to the said embodiment, In the range which does not deviate from the meaning of invention, it can implement as follows.
[0058]
For example, in the above-described embodiment, the
[0059]
【The invention's effect】
According to the structure of the first aspect of the present invention, in the process gas supply unit configured by individually mounting various component parts on a large number of blocks that are miniaturized and integrated, a space between adjacent blocks is provided. An inspection jig is mounted, the gas port is aligned with the seal portion of one block, and the inspection gas is supplied to the gas port through the gas passage. When there is a defect that allows gas leakage in the seal portion of one block, the leakage gas detection means uses the inspection gas that has flowed into the flow path of the process gas supply unit through the seal portion as a gas indicating the presence of gas leakage. I try to make it detect.
Therefore, even if a plurality of seal portions are adjacent to each other between adjacent blocks, it is possible to distinguish one target seal portion from the other seal portions and determine the presence or absence of gas leakage. For this reason, the seal part between each block is specified as one, and the effect that gas leak can be detected accurately and in a short time is exhibited.
[0060]
According to the configuration of the invention described in claim 2, in addition to the operation and effect of the invention of claim 1, a gasket failure is detected as a failure of the seal portion that allows gas leakage. When the gas port of the inspection jig is aligned with the passage, the periphery of the gas port is sealed with a sealing material, and external leakage of the inspection gas is suppressed. For this reason, the partial pressure of the gas for inspection can be stabilized, and the effect that the gas leak inspection concerning a plurality of seal parts can be made more accurate is exhibited.
[0061]
According to the configuration of the invention described in
[0062]
According to the configuration of the invention described in claim 4, in addition to the operation and effect of one of the inventions of claims 1 to 3, the display means indicates that the inspection gas is supplied to the gas port. By performing gas detection with the leakage gas detection means while the display means is displaying, the presence or absence of gas leakage is not erroneously determined. For this reason, it is possible to prevent the operator from erroneously determining the presence or absence of gas leakage.
[0063]
According to the configuration of the invention described in claim 5, in the inspection jig mounting step, the inspection jig is mounted in the space between adjacent blocks, and the gas port is aligned with the seal portion of one block. Only one seal part is subject to gas leak inspection. Next, in the vacuum process, the residual gas in the vicinity of the gas port is removed by evacuating the gas port aligned with the seal portion. Next, in the leakage gas detection step, by supplying the inspection gas to the vacuum gas port, when the seal portion is defective, the inspection gas is caused to flow through the seal portion to the flow path of the process gas supply unit, The inspection gas is detected by the leakage gas detection means as a gas indicating the presence of gas leakage.
Therefore, even if a plurality of seal portions are adjacent to each other between adjacent blocks, it is possible to distinguish one target seal portion from the other seal portions and determine the presence or absence of gas leakage. For this reason, the seal part between each block is specified as one, and the effect that gas leak can be detected accurately and in a short time is exhibited.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of a gas leak inspection apparatus according to an embodiment and a process gas supply unit that is an inspection target thereof.
FIG. 2 is a partially broken perspective view showing an example of an upper module block.
3A to 3C are perspective views showing examples of component parts attached to an upper module block. FIG.
FIG. 4 is a perspective view similarly showing a lower flow path block;
Similarly, (a) is a plan view showing a lower flow path block, and (b) is a side sectional view showing the inside of the block.
FIG. 6 is a plan view showing an example of a flow path forming block.
FIG. 7 is a perspective view similarly showing the upper surface of the flow path forming block.
FIG. 8 is a perspective view similarly showing the lower surface of the flow path forming block.
FIG. 9 is a perspective view showing the assembled state of the mounting panel and the lower flow path block.
FIG. 10 is a perspective view showing the assembled state of the mounting panel, the lower flow path block, and the flow path forming block.
FIG. 11 is a circuit diagram showing a process gas supply unit in the same manner.
FIG. 12 is a front view showing the inspection jig in the same manner.
FIG. 13 is a side view showing the inspection jig in the same manner.
FIG. 14 is a circuit diagram similarly showing a control box and the like.
FIG. 15 is a perspective view similarly showing a mounting state of the inspection jig.
FIG. 16 is a flowchart showing a control program for a gas leak test in the same manner.
FIG. 17 is a front view showing a conventional process gas supply unit.
[Explanation of symbols]
A Upper module block
B Channel formation block
C Lower channel block
D Mounting panel
E Component parts
Ga gap
S Seal part
32b communication path
34b Communication passage
40 Gasket
50 Gas leak inspection device
51 Inspection jig
53 Helium sensor (leakage gas detection means)
54 Gas Port
55 Gas flow path
57 Rubber lining (sealant)
58 Leaf spring (biasing means)
59 LED lamp (display means)
70 Process gas supply unit
Claims (5)
互いに隣接するブロックの間の空間に装着される検査治具と、
前記検査治具が前記空間に装着されたときに一つのブロックのシール部に整合するよに前記検査治具に設けられたガスポートと、
前記検査治具に設けられ、前記ガスポートに検査用ガスを供給するためのガス通路と、
前記ガスポートに供給された前記検査用ガスが前記シール部を通じて前記プロセスガス供給ユニットの流路に流れたときに、その検査用ガスをガス漏れの存在を示すガスとして検出するための漏れガス検出手段と
を備えたことを特徴とするプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査装置。In a process gas supply unit configured by attaching various component parts on a large number of miniaturized and integrated blocks and connecting the flow paths formed in each block to each other, the gas in the seal portion of each block A gas leak inspection device for inspecting leaks,
An inspection jig mounted in a space between adjacent blocks;
A gas port provided in the inspection jig so as to align with a seal portion of one block when the inspection jig is mounted in the space;
A gas passage provided in the inspection jig for supplying an inspection gas to the gas port;
Leakage gas detection for detecting the inspection gas as a gas indicating the presence of gas leakage when the inspection gas supplied to the gas port flows into the flow path of the process gas supply unit through the seal portion. A gas leak inspection apparatus in a process gas supply unit.
前記各シール部にはガスケットが設けられ、前記ブロックには前記シール部を外部へ連通させる連通路が設けられ、
前記検査治具には、前記検査治具が前記空間に装着されたときに、前記隣接するブロックとの間で前記ガスポートの周囲をシールするためのシール材が設けられる
ことを特徴とするプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査装置。In the gas leak inspection apparatus according to claim 1,
Each seal part is provided with a gasket, and the block is provided with a communication path for communicating the seal part to the outside.
The said inspection jig is provided with the sealing material for sealing the circumference | surroundings of the said gas port between the said adjacent blocks, when the said inspection jig is mounted | worn in the said space. Gas leak inspection device in the gas supply unit.
前記検査治具には、前記シール材を対応するブロックに押し付けるための付勢手段が設けられることを特徴とするプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査装置。In the gas leak inspection apparatus according to claim 2,
The inspection jig is provided with an urging means for pressing the seal material against a corresponding block.
前記検査治具には、前記ガスポートに前記検査用ガスが供給されていることを示すための表示手段が設けられることを特徴とするプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査装置。In the gas leak inspection device according to one of claims 1 to 3,
A gas leak inspection apparatus in a process gas supply unit, wherein the inspection jig is provided with a display means for indicating that the inspection gas is supplied to the gas port.
互いに隣接するブロックの間の空間に検査治具を装着し、一つのブロックのシール部に検査治具のガスポートを整合させる検査治具装着工程と、
前記シール部に整合された前記ガスポートを真空にする真空工程と、
前記真空にされたガスポートに検査用ガスを供給し、その供給された検査用ガスが前記シール部を通じて前記プロセスガス供給ユニットの流路に流れたときに、その検査用ガスをガス漏れの存在を示すガスとして検出するための漏れガス検出工程と
を備えたことを特徴とするプロセスガス供給ユニットにおけるガス漏れ検査方法。In a process gas supply unit configured by attaching various component parts on a large number of miniaturized and integrated blocks and connecting the flow paths formed in each block to each other, the gas in the seal portion of each block A gas leak inspection method for inspecting leaks,
An inspection jig mounting step for mounting an inspection jig in a space between adjacent blocks and aligning a gas port of the inspection jig with a seal portion of one block;
A vacuum step of evacuating the gas port aligned with the seal;
When the inspection gas is supplied to the vacuumed gas port and the supplied inspection gas flows into the flow path of the process gas supply unit through the seal portion, the inspection gas is leaked. A gas leak inspection method in a process gas supply unit, comprising: a leak gas detection step for detecting as a gas indicating
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19433298A JP3626014B2 (en) | 1998-07-09 | 1998-07-09 | Gas leak inspection apparatus and gas leak inspection method in process gas supply unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19433298A JP3626014B2 (en) | 1998-07-09 | 1998-07-09 | Gas leak inspection apparatus and gas leak inspection method in process gas supply unit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000028470A JP2000028470A (en) | 2000-01-28 |
JP3626014B2 true JP3626014B2 (en) | 2005-03-02 |
Family
ID=16322838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19433298A Expired - Fee Related JP3626014B2 (en) | 1998-07-09 | 1998-07-09 | Gas leak inspection apparatus and gas leak inspection method in process gas supply unit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3626014B2 (en) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6634385B2 (en) * | 2001-12-21 | 2003-10-21 | Motorola, Inc. | Apparatus for conveying fluids and base plate |
JP4818835B2 (en) * | 2006-07-04 | 2011-11-16 | 東京エレクトロン株式会社 | Gas supply unit |
US7784497B2 (en) * | 2007-07-12 | 2010-08-31 | Eriksson Mark L | MSM component and associated gas panel assembly |
DE102014105097A1 (en) | 2014-04-10 | 2015-10-15 | Halla Visteon Climate Control Corporation | Valve block assembly for multiple valves |
KR102184964B1 (en) * | 2019-10-29 | 2020-12-01 | 주식회사 화영 | Leakage inspection equipment of fuel supply block |
CN117168709A (en) * | 2023-10-26 | 2023-12-05 | 中科艾尔(北京)科技有限公司 | Tool and method for detecting air tightness of semiconductor base block |
-
1998
- 1998-07-09 JP JP19433298A patent/JP3626014B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000028470A (en) | 2000-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10386861B2 (en) | Pressure type flow control system with flow monitoring, and method for detecting anomaly in fluid supply system and handling method at abnormal monitoring flow rate using the same | |
KR100904189B1 (en) | Purge gas unit and purge gas supply integrated unit | |
KR101152086B1 (en) | Dual pressure sensor | |
KR101349313B1 (en) | Joint member for vacuum pipe capable of sensing leak | |
JP5909213B2 (en) | Vacuum valve external seal structure | |
JP3626014B2 (en) | Gas leak inspection apparatus and gas leak inspection method in process gas supply unit | |
CN110553794A (en) | leak detection for heat exchanger plates | |
JP2010135429A (en) | Method and device for inspecting air leak of electronic component device | |
JP3414155B2 (en) | Leak tester and leak test method | |
EP1458984B1 (en) | Apparatus for conveying fluids and base plate | |
JP2000283879A (en) | Inspection device for waterproofness of electronic equipment | |
KR102046513B1 (en) | Device for checking leak | |
CN115248097A (en) | Inspection system | |
JP2004212373A (en) | Apparatus and method for leakage test | |
JP2007132875A (en) | Air leak inspection device | |
JP2941173B2 (en) | Pipeline clogging inspection device | |
JPH0968474A (en) | Air leak tester | |
JP2649490B2 (en) | Housing watertightness test equipment | |
JP2004117153A (en) | Instrument and method for measuring volume | |
KR20060042617A (en) | Air leakage detecter | |
JP2003065824A (en) | Gas meter, and electric component unit therefor | |
JPH01220788A (en) | Device and method for leak sensing for shutoff valve | |
JP2024094657A (en) | Leak inspection device, controller, program, and leak detection method | |
JP3143817B2 (en) | Inspection device for flow path in molded product | |
JPH0523908Y2 (en) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040922 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071210 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081210 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |