JP3581726B2 - Waste liquid treatment method and waste liquid treatment device - Google Patents

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Description

【0001】
【産業上の利用分野】
この発明は廃液処理方法および廃液処理装置に関し、更に詳しくは、廃液と処理液とを非動力の下に接触させ、廃液を緩慢に処理することができ、急激な廃液処理により生じる急速な発熱を除去するための冷却装置あるいは急激な廃液処理をするために必要な撹拌動力等を必要としない廃液処理方法およびその方法を実施する廃液処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】
現状では、自然環境保護の観点あるいは公害防止の観点から、工場より排出される廃液はそのまま河川に放流することが許されない。少なくともその廃液が酸性であったり、あるいはアルカリ性であるときには、その廃液を中和処理してから、放流することが必要である。工場等における各種分析操作あるいは測定操作によって発生する廃液も上記廃液と同様に、中和処理をしてから放流しなければならない。
【0003】
廃液処理は上記のような中和処理に限らない。廃液の中には溶解状あるいはコロイド状の物質を含有していて、そのままではその物質は沈殿しないような廃液もある。このような廃液は、凝集剤を添加することにより沈殿可能な物質に変化させ、その御沈殿槽などで沈殿処理をしてからその廃液を放流している。
【0004】
従来の廃液処理においては、廃液を収容した廃液槽中に中和剤、凝集剤あるいはその他の廃液処理剤を所定量づつ供給し、廃液槽中の廃液を撹拌することにより、廃液処理が行われていた。
【0005】
このような廃液処理においては、廃液処理剤を廃液槽中に定量づつ供給するための定量ポンプおよびこれを駆動するための動力源が必要であり、また廃液槽中の廃液を撹拌するための撹拌装置およびその撹拌装置を駆動するための駆動装置が必要である。かくして、従来の廃液処理方法には動力源が必要であることにより多大の電力が消費され、廃液処理に多大のコストがかかるという問題点、および従来の廃液処理装置には駆動装置、廃液処理剤供給装置、撹拌装置等の各種装置を設けなければならないので必然的に装置あるいは処理システムの巨大化という問題点があった。
【0006】
この発明は前記事情に基づいて完成された。この発明の目的は、廃液処理剤を供給する強制送液装置、これを駆動するための駆動源、撹拌装置等の動力装置を必要とせず、したがって廃液処理方法の簡素化を図り、また前記動力装置を必要としないので簡単な装置構成の廃液処理装置を提供することにある。
【0007】
【前記課題を解決するための手段】
前記課題を解決するためのこの発明の廃液処理方法および廃液処理装置は、多孔質部材を通して処理液を廃液中に滲み出させて、廃液を処理液で処理することを原理として成り立つ。
【0008】
この発明の原理によると、処理液を廃液中に直接に投入するものではなく、多孔質部材から滲み出た処理液と廃液とを接触させることになる。多孔質部材を通して廃液側に滲み出てくる処理液の量は、廃液に接触する多孔質部材の浸漬表面積に応じて決定される。
【0009】
このような原理に基づいてこの発明の手段が以下のように提案される。
【0010】
すなわち、請求項1に記載の手段は、液面が一定に保持されるように廃液槽に貯留された廃液に、処理液を収容することができるとともにこの処理液と前記廃液とを多孔質部材で隔絶する処理液供給槽を、浸漬し、処理液供給槽に存在する処理液の液面を前記廃液の液面よりも高い位置となるように処理液量を調整することにより生じる前記処理液の重力に従って前記多孔質部材の廃液側表面から滲み出ると共に、前記多孔質部材の、廃液に接する浸漬表面積との大小に応じて決定される滲み出し量の処理液で廃液を処理することを特徴とする廃液処理方法であり、
請求項2に記載の発明は、前記多孔質部材が、廃液に接する浸漬表面積が可変されるように、処理液供給槽に装着されてなる前記請求項1に記載の廃液処理方法であり、
請求項3に記載の発明は、液面が一定に保持されるように廃液を貯留する廃液槽と、前記廃液槽中の廃液の液面よりも高い位置に液面を有するように処理液を収容することができるとともにこの処理液と前記廃液とを多孔質部材で隔絶するように前記廃液槽中の廃液に浸漬された処理液供給槽とを有することを特徴とする廃液処理装置である。
【0011】
【作用】
この発明においては、処理液が廃液中に直接に投入されないという意味で処理液と廃液とが直接には接触していない。この発明では、処理液と廃液とが多孔質部材で隔てられている。そして処理液が多孔質部材中を通過し、多孔質部材から廃液側に処理液が滲み出ることにより処理液と廃液とが接触する。したがって、直接に大量の処理液が廃液と接触しないので、緩慢な廃液処理が行われることになる。したがって、急激な廃液処理が行われることにより生じる発熱を除去するための冷却装置が先ず不要になる。
【0012】
多孔質部材から滲み出る処理液の量は、廃液に浸漬される多孔質部材の浸漬表面積の多少により決定される。なお、この浸漬表面積は、この多孔質部材が中実の部材であったと仮定したときに、その中実な部材が廃液に接触する面積を言う。
多孔質部材の浸漬表面積を調節することにより多孔質部材から滲み出る処理液の量が調節される。したがって、廃液が例えば廃酸あるいは廃アルカリであるような場合にその廃液中の酸の強さもしくは酸の濃度、または廃液中のアルカリの強さもしくはアルカリの濃度に応じて多孔質部材を選択することにより、廃液処理速度を調整することができるようになる。換言すると、従来のように処理剤をポンプによって廃液中に供給する場合には、ポンプの駆動量を制御することによりその供給量を調整していることにより、従来の廃液処理方法および廃液処理装置には動力源が必ず必要としていたが、この発明においては、そのような動力源が不要となり、多孔質部材の選択によるだけで処理液の廃液中への供給量を調整することができる。つまり動力源なしで処理液の廃液中への供給量を調整することができるのである。
【0014】
ここで、多孔質部材としては、耐薬品性のある部材であり、しかも固形分を通過させずに液成分を通過可能とする多孔質である限りにおいてその材質には特に制限がない。もっとも耐薬品性を要求するといっても、処理されようとする廃液および処理剤に対して侵されないという意味で耐薬品性を有していれば良い。全ての薬品に対して耐薬品性を必要とするのであるというように誤解してはならない。このような多孔質部材を形成するための材料として、例えばセラミック(例えば酸化アルミ、ゼオライト等)、炭素質材料(例えば、アモルファスカーボン、炭素繊維、炭素繊維ウイスカ等)、木質材料(例えば木粉、木片等)、合成樹脂、繊維製品(織物、編み物、不織物)などを挙げることができる。これら材料を廃液および処理液の種類に応じて適切に選択し、選択された材料の応じて多孔質部材に加工するのが良い。例えば、中和処理に適切なセラミックとして酸化アルミを選択した場合には、酸化アルミの粉末を焼結することにより多孔質部材が形成される。
【0015】
なお、多孔質部材における細孔の平均細孔径、細孔分布量等は、処理液の種類に応じて処理液の通過速度等を考慮して適宜に決定することができる。
【0016】
この発明に係る廃液処理方法および廃液処理装置における廃液としては、半導体プロセスで排出される廃液例えばフッ酸含有廃液、メッキ工場等から排出される廃液例えばシアンを分解した後の廃液、その他の工場から排出される廃酸および廃アルカリ、医療現場例えば病院から排出される各種の廃液、写真現像工程で排出される廃液、ならびに大学、研究所、各種の工場、試験場その他の箇所で分析操作されることにより発生する分析後廃液等を挙げることができる。上記の廃液の分類は、廃液発生箇所に主に着目したものである。別の観点から分類すると、多くの廃液は廃酸と廃アルカリとに二分することができる。この発明の廃液処理方法および廃液処理装置は、廃酸または廃アルカリの中和処理に好適である。
【0017】
もっとも、この発明の廃液処理方法および廃液処理装置は、廃酸および廃アルカリの中和処理に限定的に考えられてはならない。廃液中のコロイド状成分を凝集させる廃液処理にも、この発明の廃液処理方法および廃液処理装置が適用され得る。要するに、この発明の廃液処理方法および廃液処理装置は、多孔質部材中を通過し得る処理剤により廃液を処理することのできるような廃液処理に全て適用されることができる。
【0018】
廃液を処理するための処理剤としては、その廃液処理の内容に応じて適宜に選択される。廃液処理が中和処理である場合に、廃液が廃酸であるときには、その処理剤は、アルカリ剤であり、例えば苛性ソーダ、苛性カリ、炭酸ソーダ、アンモニア等を例示することができる。廃液が廃アルカリであるときには、その処理剤は酸であり、例えば、塩酸、硫酸等の無機酸および酢酸などの有機酸等を例示することができる。これらの酸およびアルカリ剤は廃液の種類および酸成分およびアルカリ成分の濃度等に応じて適宜に決定される。
【0019】
この発明においては、処理剤を選択することにより、廃液の中和処理、酸化処理、還元処理、沈殿処理、殺菌処理等の処理が行われる。
【0020】
【実施例】
この発明の一実施例である廃液処理方法をこの発明の一実施例である廃液処理装置を、図面を参照しながら、以下に説明する。
【0021】
図1に示される廃液処理装置1は、廃液槽2と、処理液貯留槽3と、処理液供給槽4とを有する。
【0022】
一般に、廃液槽は廃液を貯留することのできる機能を有する限りその形状および構造等については特に制限がない。この実施例では、廃液槽2は、廃液を供給する廃液供給口5を廃液槽2の側面下部に有し、廃液処理後の液を排出する液排出口6を廃液槽2の側面上部に有するタンクである。この実施例における廃液槽2は、前記廃液供給口5から所定流量で廃液が廃液槽2内に供給され、所定流量で廃液処理済みの液が前記液排出口6から排出されるようになっている。したがって、この実施例における廃液処理装置1は、流通式であると言い得る。
【0023】
この廃液槽2の上部に設けられた蓋には、前記処理液供給槽4を取り付けるための取り付け装置(図示せず。)によって、処理液供給槽4が取り付けられている。
【0024】
一般的なことを言うと、この処理液供給槽4は、処理液を収容することができ、かつこの処理液と廃液とを多孔質部材で隔絶することのできる構造を有するのであれば、その形式、形状および構造等に特に制限があるわけではない。この実施例においては、図3に示すように、略円筒状の槽本体4aと、この槽本体4aの上部周側面と螺合により液密に装着されてこの槽本体4aの上部開口部を閉鎖する蓋部材4bと、この槽本体4aの底部に設けられたセラミック製の多孔質部材4cとを有する。
【0025】
図3に示すように、この蓋部材4bには更に適宜の箇所に処理液供給槽4内に開口する開口部が設けられていて、その開口部にはパイプ7が装着される。このパイプ7は可撓性があり、その他端は前記処理液貯留槽3に結合される。
【0026】
蓋部材4bが液密に槽本体4aの上部開口部に装着されることにより、前記パイプ7を介して処理液貯留槽3内の処理液が、処理液供給槽4内に処理液を充満させることができる。ここで、前記パイプ7が可撓性を有することに意味がある。すなわち、前記パイプ7が可撓性を有しているとこの処理液供給槽4と処理液貯留槽3とをこのパイプ7で結合した状態のままで、処理液貯留槽3の位置を適宜に上下させることができる。処理液供給槽4内の処理液の圧力は、処理液貯留槽3の高さに応じて決定されるから、処理液貯留槽3の高さ位置を適宜に調節することにより処理液供給槽4内の処理液の圧力を適宜に調整することができる。処理液供給槽4内の圧力の調整をすることにより、多孔質部材4cを介して廃液が処理液供給槽4内に逆浸透するのを防止することができ、また、処理液を廃液槽2内に滲み出させる量の調節を図ることができる。
【0027】
もっとも、処理液供給槽4内の処理液の内圧の調整は、可撓性のあるパイプ7に結合された処理液貯留槽3の上下位置の調整によってのみ達成されるものではなく、他の適宜の手段により達成し得ることは言うまでもない。
【0028】
多孔質部材4cは、処理液供給槽4の底面に取り付けられる。図2および図3に示すように、この実施例においては、多孔質部材4cは、略円柱形状をなし、処理液供給槽4の底面に装着部材4dを介して4本取り付けられている。前記装着部材4dは弾性部材で形成され、処理液供給槽4の底面に開設された装着孔4eに取り付けられた環状部材であり。この装着部材4dにおける環状孔に前記多孔質部材4cが貫通され、装着部材4dの有する弾性により前記多孔質部材4cが保持される。多孔質部材4cが装着部材4dの弾性により保持されているので、図5に示すように、多孔質部材4cを押しあげたり、引き下げたりすることにより、処理液供給槽4の底部から露出する多孔質部材4cの露出部分の長さを適宜に調整することができる。
【0029】
この実施例においては、処理液供給槽4の底面に装着された多孔質部材4cの数は5個ではあるけれども、装着される多孔質部材4cの数に制限はなく、また、装着される複数の多孔質部材4cの形状はいずれも同じでなければならないことはない。
【0030】
図4に示す太径の多孔質部材4cと細径の多孔質部材4cとをそれぞれ適宜の数をもって処理液供給槽4の底面に装着するのも良い。
【0031】
要するに、処理液で廃液を処理する規模に応じて、あるいは処理液の種類、廃液の種類等に応じて、多孔質部材4cの形状、大きさ、処理液供給槽4の底面に装着される本数を適宜に決定するのが良い。
【0032】
この処理液供給槽4を廃液槽2の蓋に取り付ける取り付け装置は、処理液供給槽4における前記多孔質部材4cを廃液中に十分に浸漬することのできる深さにこの処理液供給槽4を止めることができるように、仕組まれている限りその構造に特に制限はない。
【0033】
処理液貯留槽3は、前記処理液供給槽4に供給する処理液を貯留する容器あるいはタンクである。
【0034】
前述したように、この実施例では、この処理液貯留槽3は、その上下位置を可変することができるように仕組まれている。上下位置を可変するための装置構成は、当業者により容易に推考することができるから、その詳細な説明を省略する。
【0035】
上記構成の廃液処理装置1の作用について以下に説明する。
【0036】
廃液槽2中には、廃液供給口5から廃液が供給される。廃液の供給量は適宜に設定されている。この場合、廃液は廃酸および廃アルカリのいずれであっても良い。供給された廃液は廃液槽2における液排出口6から排出される。
【0037】
処理液供給槽4の約下半分が廃液槽2中の廃液に浸漬している。処理液供給槽4の底面からは多孔質部材4cが突出し、露出しているので、露出した多孔質部材4cが廃液に浸漬する。
【0038】
処理液貯留槽3に貯留されている処理液は、パイプ7を通じて処理液供給槽4内に充満する。処理液供給槽4内の処理液が、多孔質部材4cを通じて廃液に浸漬している多孔質部材4cの表面から廃液内に滲み出る。
【0039】
滲み出た処理液が廃液と緩慢に反応して廃液処理が行われる。前述したように、廃液が廃酸であるときには処理液はアルカリ液であり、廃液が廃アルカリであるときには処理液は酸性液である。
【0040】
廃液が例えば廃酸である場合を例にすると、廃液発生箇所から発生する廃酸中の酸濃度は通常ほぼ一定であるから、多孔質材料の廃液に浸漬している表面積を一定にしておくだけで、多孔質材料の表面から廃液中に滲み出る処理液の量を一定量にすることができる。また、廃液槽2中に流入する廃酸中の酸濃度が変化して、変化した一定の酸濃度の廃酸が廃液槽2中に流入するようになったときには、処理液供給槽4を廃液槽2から引き上げ、図5に示すように、引き上げられた処理液供給槽4の底面から露出する多孔質部材4cを更に長く引っ張り出したりあるいは押し込んで短くしたりして、多孔質部材4cの処理液供給槽4の底面からの露出表面積を大小適宜に調節するのが良い。そして、露出表面積の調節された多孔質部材4cを有する処理液供給槽4を再び廃液槽2に取り付け、多孔質部材4cを廃液に浸漬すると、新たな酸濃度の廃液の廃液処理、つまり中和処理を適切に行うことができるようになる。
【0041】
多孔質部材4cの表面から滲み出る処理液の量は、廃液槽2中の廃液の圧力と処理液供給槽4内の処理液の圧力との相対的な大小により左右されることがあるから、図6に示すように、処理液貯留槽3の高さHを調整するのも良い。
【0042】
このように、この発明の一実施例に係る廃液処理装置1によると、多孔質部材4cの処理液への浸漬表面積を調節することにより、廃液の酸濃度あるいはアルカリ濃度の変化に容易に対応することができる。
【0043】
また、廃液中に浸漬されている多孔質部材4cが目詰まりを起こした場合には、目詰まりした多孔質部材4cを新たな多孔質部材4cに簡単に交換することにより対応することができるので、保守が極めて簡単である。
【0060】
以上、この発明の実施例について説明したが、この発明は前記実施例に限定されるものではなく、この発明の要旨の範囲内で適宜に変形ないし設計変更を行うことができるのは言うまでもない。
【0061】
【効果】
この発明によると、撹拌装置、処理液供給装置などの駆動源を必要とすることなく、緩慢に廃液処理を行うことができ、廃液中に処理液を直接に投入することによる急激な反応の惹起による発熱を除去するための冷却装置を必要とすることもなく廃液処理を行うことのできる、簡便な廃液処理方法を提供することができる。
【0062】
この発明によると、廃液と処理液との撹拌を行うための撹拌装置、廃液中に強制的に処理液を送り込むための処理液供給装置等を必要としないので、要するに動力を必要とすることなく廃液処理を行うことのできる、装置構成の簡単な廃液処理装置を提供することができる。
【0063】
この発明の廃液処理方法および廃液処理装置は、廃酸あるいは廃アルカリの中和処理に好適であり、また、廃液中の要処理成分の濃度が変化した場合においてもその変化に対応して処理液の供給量ないし処理液中の成分を変化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の一実施例である廃液処理装置を示す概略断面図である。
【図2】図2は図1に示す廃液処理装置における処理液供給槽の底部を示す説明図である。
【図3】図3は図1に示す廃液処理装置における処理液供給槽を示す縦断面説明図である。
【図4】図4は図1に示される廃液処理装置における処理液供給槽とは異なる他の処理液供給槽の底部を示す説明図である。
【図5】図5は図1に示される廃液処理装置における処理液供給槽の作用を示すための説明図である。
【図6】図6は図1に示される廃液処理装置における処理液供給槽内の処理液の圧力が処理液貯留槽の高さにより規定されることを説明するための説明図である。
【符号の簡単な説明】
1・・・廃液処理装置、2・・・廃液槽、3・・・処理液貯留槽、4・・・処理液供給槽、4a・・・槽本体、4b・・・蓋部材、4c・・・多孔質部材、4d・・・装着部材、4e・・・装着孔、5・・・廃液供給口、6・・・液排出口、7・・・パイプ。
[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to a waste liquid treatment method and a waste liquid treatment apparatus. The present invention relates to a waste liquid treatment method that does not require a cooling device for removing or a stirring power required for rapid waste liquid treatment, and a waste liquid treatment device that performs the method.
[0002]
[Prior Art and Problems to be Solved by the Invention]
At present, wastewater discharged from factories cannot be directly discharged into rivers from the viewpoint of protecting the natural environment or preventing pollution. At least when the waste liquid is acidic or alkaline, it is necessary to discharge the waste liquid after neutralizing the waste liquid. The waste liquid generated by various analysis operations or measurement operations in factories or the like must be discharged after neutralization as in the case of the waste liquid.
[0003]
The waste liquid treatment is not limited to the neutralization treatment as described above. Some waste liquids contain dissolved or colloidal substances, and the substances do not precipitate as they are. Such waste liquid is converted into a sedimentable substance by adding a coagulant, and the waste liquid is discharged after performing a precipitation treatment in a settling tank or the like.
[0004]
In the conventional waste liquid treatment, a neutralizing agent, a coagulant or another waste liquid treatment agent is supplied in a predetermined amount into a waste liquid tank containing the waste liquid, and the waste liquid in the waste liquid tank is stirred, thereby performing the waste liquid treatment. I was
[0005]
In such waste liquid treatment, a constant-rate pump for supplying a constant amount of the waste liquid treating agent into the waste liquid tank and a power source for driving the pump are required, and a stirring for stirring the waste liquid in the waste liquid tank is required. A drive for driving the device and its stirring device is required. Thus, the conventional waste liquid treatment method requires a power source, which consumes a large amount of power, and the waste liquid treatment requires a great deal of cost. Since various devices such as a supply device and a stirring device must be provided, there is a problem that the device or the processing system is inevitably enlarged.
[0006]
The present invention has been completed based on the above circumstances. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to eliminate the necessity of a forced liquid sending device for supplying a waste liquid treating agent, a driving source for driving the same, and a power device such as a stirring device. An object of the present invention is to provide a waste liquid treatment device having a simple device configuration because no device is required.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
A waste liquid treatment method and a waste liquid treatment apparatus according to the present invention for solving the above-described problems are based on the principle that the treatment liquid is leached into the waste liquid through a porous member and the waste liquid is treated with the treatment liquid.
[0008]
According to the principle of the present invention, the treatment liquid is not directly introduced into the waste liquid, but the treatment liquid that has oozed from the porous member and the waste liquid are brought into contact. The amount of the treatment liquid that seeps into the waste liquid side through the porous member is determined according to the immersion surface area of the porous member that comes into contact with the waste liquid .
[0009]
Based on such a principle, the means of the present invention is proposed as follows.
[0010]
That is, the means according to claim 1 can store the processing liquid in the waste liquid stored in the waste liquid tank such that the liquid level is kept constant, and combine the processing liquid and the waste liquid with the porous member. The treatment liquid that is generated by immersing the treatment liquid supply tank that is isolated by the treatment liquid and adjusting the amount of the treatment liquid so that the liquid level of the treatment liquid existing in the treatment liquid supply tank is higher than the liquid level of the waste liquid. Leaching from the waste liquid side surface of the porous member according to the gravity of the porous member, and treating the waste liquid with a treatment liquid having a seepage amount determined according to the magnitude of the immersion surface area of the porous member in contact with the waste liquid. Wastewater treatment method,
The invention according to claim 2 is the waste liquid treatment method according to claim 1, wherein the porous member is attached to a treatment liquid supply tank such that an immersion surface area in contact with the waste liquid is variable.
According to a third aspect of the present invention, there is provided a waste liquid tank for storing a waste liquid so that the liquid level is maintained at a constant level, and a treatment liquid having a liquid level higher than the liquid level of the waste liquid in the waste liquid tank. A waste liquid processing apparatus comprising: a processing liquid supply tank that can be accommodated and is immersed in a waste liquid in the waste liquid tank so that the processing liquid and the waste liquid are separated by a porous member.
[0011]
[Action]
In the present invention, the treatment liquid and the waste liquid are not in direct contact with each other in the sense that the treatment liquid is not directly introduced into the waste liquid. In the present invention, the treatment liquid and the waste liquid are separated by the porous member. Then, the processing liquid passes through the porous member, and the processing liquid exudes from the porous member to the waste liquid side, so that the processing liquid and the waste liquid come into contact with each other. Therefore, since a large amount of the processing liquid does not directly come into contact with the waste liquid, slow waste liquid processing is performed. Therefore, a cooling device for removing heat generated due to rapid waste liquid treatment is not required.
[0012]
The amount of the treatment liquid that seeps out of the porous member is determined by the immersion surface area of the porous member immersed in the waste liquid. The immersion surface area refers to an area where the solid member comes into contact with the waste liquid when the porous member is assumed to be a solid member.
By adjusting the immersion surface area of the porous member, the amount of the treatment liquid that seeps out of the porous member is adjusted. Therefore, when the waste liquid is, for example, waste acid or waste alkali, the porous member is selected according to the strength of the acid or the concentration of the acid in the waste liquid, or the strength of the alkali or the concentration of the alkali in the waste liquid. This makes it possible to adjust the waste liquid treatment speed. In other words, when the processing agent is supplied into the waste liquid by the pump as in the related art, by controlling the driving amount of the pump to adjust the supply amount, the conventional waste liquid processing method and the conventional waste liquid processing apparatus are used. However, in the present invention, such a power source is not required, and the supply amount of the processing liquid into the waste liquid can be adjusted only by selecting the porous member. That is, the supply amount of the processing liquid into the waste liquid can be adjusted without a power source.
[0014]
Here, the material of the porous member is not particularly limited as long as it is a member having chemical resistance and is porous so as to allow liquid components to pass therethrough without allowing solid components to pass through. Even if chemical resistance is required, it is only required that it has chemical resistance in the sense that it is not attacked by the waste liquid to be treated and the treating agent. Don't be mistaken as requiring chemical resistance for all chemicals. As a material for forming such a porous member, for example, ceramic (eg, aluminum oxide, zeolite, etc.), carbonaceous material (eg, amorphous carbon, carbon fiber, carbon fiber whisker, etc.), woody material (eg, wood flour, Wood chips, etc.), synthetic resins, and fiber products (woven, knitted, non-woven). Preferably, these materials are appropriately selected according to the types of the waste liquid and the processing liquid, and processed into a porous member according to the selected materials. For example, when aluminum oxide is selected as a ceramic suitable for the neutralization treatment, a porous member is formed by sintering aluminum oxide powder.
[0015]
In addition, the average pore diameter, the pore distribution amount, and the like of the pores in the porous member can be appropriately determined in consideration of the processing liquid passage speed and the like according to the type of the processing liquid.
[0016]
As the waste liquid in the waste liquid treatment method and the waste liquid treatment apparatus according to the present invention, a waste liquid discharged in a semiconductor process, for example, a hydrofluoric acid-containing waste liquid, a waste liquid discharged from a plating plant or the like, for example, a waste liquid after decomposing cyan, a waste liquid from other plants, Waste acid and alkali discharged, various waste liquids discharged from medical sites such as hospitals, waste liquid discharged in the photographic development process, and analyzed and operated at universities, research laboratories, various factories, test sites and other places Waste liquid generated after the analysis. The above classification of the waste liquid mainly focuses on the place where the waste liquid is generated. Classified from another perspective, many waste liquors can be divided into waste acids and waste alkalis. INDUSTRIAL APPLICABILITY The waste liquid treatment method and waste liquid treatment apparatus of the present invention are suitable for neutralizing waste acid or waste alkali.
[0017]
However, the waste liquid treatment method and waste liquid treatment apparatus of the present invention should not be considered to be limited to neutralization treatment of waste acid and waste alkali. The waste liquid treatment method and waste liquid treatment apparatus of the present invention can be applied to waste liquid treatment for aggregating colloidal components in the waste liquid. In short, the waste liquid treatment method and waste liquid treatment apparatus of the present invention can be applied to all waste liquid treatments in which waste liquid can be treated with a treatment agent that can pass through a porous member.
[0018]
The treating agent for treating the waste liquid is appropriately selected according to the content of the waste liquid treatment. When the waste liquid treatment is a neutralization treatment and the waste liquid is a waste acid, the treating agent is an alkaline agent, and examples thereof include caustic soda, caustic potash, sodium carbonate, and ammonia. When the waste liquid is a waste alkali, the treating agent is an acid, and examples thereof include inorganic acids such as hydrochloric acid and sulfuric acid, and organic acids such as acetic acid. These acids and alkali agents are appropriately determined according to the kind of the waste liquid and the concentrations of the acid component and the alkali component.
[0019]
In the present invention, by selecting a treatment agent, treatment such as neutralization treatment, oxidation treatment, reduction treatment, precipitation treatment, and sterilization treatment of the waste liquid is performed.
[0020]
【Example】
A waste liquid treatment method according to one embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0021]
The waste liquid processing apparatus 1 shown in FIG. 1 has a waste liquid tank 2, a processing liquid storage tank 3, and a processing liquid supply tank 4.
[0022]
In general, the shape and structure of the waste liquid tank are not particularly limited as long as they have a function of storing waste liquid. In this embodiment, the waste liquid tank 2 has a waste liquid supply port 5 for supplying a waste liquid at a lower side surface of the waste liquid tank 2, and a liquid discharge port 6 for discharging a liquid after waste liquid treatment is provided at an upper side surface of the waste liquid tank 2. It is a tank. In the waste liquid tank 2 in this embodiment, the waste liquid is supplied from the waste liquid supply port 5 into the waste liquid tank 2 at a predetermined flow rate, and the waste liquid treated liquid is discharged from the liquid discharge port 6 at a predetermined flow rate. I have. Therefore, it can be said that the waste liquid treatment apparatus 1 in this embodiment is of a flow type.
[0023]
The processing liquid supply tank 4 is attached to a lid provided above the waste liquid tank 2 by a mounting device (not shown) for attaching the processing liquid supply tank 4.
[0024]
Generally speaking, if the processing liquid supply tank 4 has a structure capable of storing the processing liquid and separating the processing liquid and the waste liquid with a porous member, the processing liquid supply tank 4 may be used. There is no particular limitation on the type, shape, structure, etc. In this embodiment, as shown in FIG. 3, a substantially cylindrical tank main body 4a and a liquid-tight mounting by screwing the upper peripheral side surface of the tank main body 4a to close an upper opening of the tank main body 4a are closed. And a ceramic porous member 4c provided at the bottom of the tank body 4a.
[0025]
As shown in FIG. 3, the lid member 4b is further provided with an opening that opens into the processing liquid supply tank 4 at an appropriate position, and a pipe 7 is attached to the opening. The pipe 7 is flexible, and the other end is connected to the processing liquid storage tank 3.
[0026]
When the lid member 4b is liquid-tightly mounted on the upper opening of the tank body 4a, the processing liquid in the processing liquid storage tank 3 fills the processing liquid in the processing liquid supply tank 4 via the pipe 7. be able to. Here, it is significant that the pipe 7 has flexibility. That is, when the pipe 7 has flexibility, the position of the processing liquid storage tank 3 is appropriately adjusted while the processing liquid supply tank 4 and the processing liquid storage tank 3 are connected with the pipe 7. Can be moved up and down. Since the pressure of the processing liquid in the processing liquid supply tank 4 is determined according to the height of the processing liquid storage tank 3, the height position of the processing liquid storage tank 3 is appropriately adjusted to thereby adjust the processing liquid supply tank 4. The pressure of the processing solution inside can be appropriately adjusted. By adjusting the pressure in the processing liquid supply tank 4, it is possible to prevent the waste liquid from reversely osmosis into the processing liquid supply tank 4 through the porous member 4 c, and to prevent the processing liquid from flowing into the waste liquid tank 2. It is possible to adjust the amount of bleeding into the inside.
[0027]
However, the adjustment of the internal pressure of the processing liquid in the processing liquid supply tank 4 is not achieved only by adjusting the vertical position of the processing liquid storage tank 3 connected to the flexible pipe 7, and other appropriate adjustments are made. Needless to say, this can be achieved by the means described above.
[0028]
The porous member 4c is attached to the bottom of the processing liquid supply tank 4. As shown in FIGS. 2 and 3, in this embodiment, four porous members 4c have a substantially cylindrical shape, and four porous members 4c are attached to the bottom surface of the processing liquid supply tank 4 via mounting members 4d. The mounting member 4d is an annular member formed of an elastic member and attached to a mounting hole 4e formed on the bottom surface of the processing liquid supply tank 4. The porous member 4c penetrates through the annular hole of the mounting member 4d, and the elasticity of the mounting member 4d holds the porous member 4c. Since the porous member 4c is held by the elasticity of the mounting member 4d, the porous member 4c is pushed up or down as shown in FIG. The length of the exposed portion of the quality member 4c can be appropriately adjusted.
[0029]
In this embodiment, although the number of the porous members 4c mounted on the bottom surface of the processing liquid supply tank 4 is five, the number of the porous members 4c mounted is not limited. The shapes of the porous members 4c need not always be the same.
[0030]
The porous member 4c having a large diameter and the porous member 4c having a small diameter shown in FIG.
[0031]
In short, the shape and size of the porous member 4c and the number of the porous members 4c mounted on the bottom surface of the processing liquid supply tank 4 according to the scale of processing the waste liquid with the processing liquid or the type of the processing liquid and the type of the waste liquid. Is appropriately determined.
[0032]
The mounting device for attaching the processing liquid supply tank 4 to the lid of the waste liquid tank 2 is provided with the processing liquid supply tank 4 at such a depth that the porous member 4c in the processing liquid supply tank 4 can be sufficiently immersed in the waste liquid. There is no particular restriction on the structure so long as it can be stopped.
[0033]
The processing liquid storage tank 3 is a container or a tank that stores the processing liquid supplied to the processing liquid supply tank 4.
[0034]
As described above, in this embodiment, the processing liquid storage tank 3 is designed so that its vertical position can be changed. Since the configuration of the device for changing the vertical position can be easily deduced by those skilled in the art, a detailed description thereof will be omitted.
[0035]
The operation of the waste liquid treatment apparatus 1 having the above configuration will be described below.
[0036]
A waste liquid is supplied from the waste liquid supply port 5 into the waste liquid tank 2. The supply amount of the waste liquid is appropriately set. In this case, the waste liquid may be either a waste acid or a waste alkali. The supplied waste liquid is discharged from a liquid discharge port 6 in the waste liquid tank 2.
[0037]
About the lower half of the processing liquid supply tank 4 is immersed in the waste liquid in the waste liquid tank 2. Since the porous member 4c projects from the bottom surface of the processing liquid supply tank 4 and is exposed, the exposed porous member 4c is immersed in the waste liquid.
[0038]
The processing liquid stored in the processing liquid storage tank 3 fills the processing liquid supply tank 4 through the pipe 7. The processing liquid in the processing liquid supply tank 4 oozes into the waste liquid from the surface of the porous member 4c immersed in the waste liquid through the porous member 4c.
[0039]
The exuded treatment liquid reacts slowly with the waste liquid to perform the waste liquid treatment. As described above, when the waste liquid is waste acid, the processing liquid is an alkaline liquid, and when the waste liquid is waste alkali, the processing liquid is an acidic liquid.
[0040]
If the waste liquid is, for example, waste acid, the acid concentration in the waste acid generated from the waste liquid generation point is usually almost constant, so it is only necessary to keep the surface area of the porous material immersed in the waste liquid constant. Thus, the amount of the treatment liquid that seeps into the waste liquid from the surface of the porous material can be made constant. When the acid concentration in the waste acid flowing into the waste liquid tank 2 changes and waste acid having a changed constant acid concentration flows into the waste liquid tank 2, the processing liquid supply tank 4 is discharged. As shown in FIG. 5, the porous member 4c exposed from the bottom surface of the processing liquid supply tank 4 pulled up from the tank 2 is further pulled out or pushed in to shorten it, thereby processing the porous member 4c. The surface area exposed from the bottom surface of the liquid supply tank 4 is preferably adjusted to be large or small as appropriate. Then, the processing liquid supply tank 4 having the porous member 4c having the adjusted exposed surface area is attached to the waste liquid tank 2 again, and the porous member 4c is immersed in the waste liquid. Processing can be performed appropriately.
[0041]
Since the amount of the processing liquid that seeps out of the surface of the porous member 4c may be influenced by the relative magnitude of the pressure of the waste liquid in the waste liquid tank 2 and the pressure of the processing liquid in the processing liquid supply tank 4, As shown in FIG. 6, the height H of the processing liquid storage tank 3 may be adjusted.
[0042]
As described above, according to the waste liquid treatment apparatus 1 according to the embodiment of the present invention, by adjusting the surface area of the porous member 4c immersed in the treatment liquid, it is possible to easily cope with a change in the acid concentration or the alkali concentration of the waste liquid. be able to.
[0043]
Further, when the porous member 4c immersed in the waste liquid is clogged, it can be dealt with by simply replacing the clogged porous member 4c with a new porous member 4c. Very easy to maintain.
[0060]
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it goes without saying that modifications and design changes can be appropriately made within the scope of the present invention.
[0061]
【effect】
According to the present invention, waste liquid treatment can be performed slowly without the need for a drive source such as a stirring device and a treatment liquid supply device, and a sudden reaction is caused by directly charging the treatment liquid into the waste liquid. It is possible to provide a simple waste liquid treatment method capable of performing waste liquid treatment without requiring a cooling device for removing heat generated by the waste liquid.
[0062]
According to the present invention, since a stirrer for stirring the waste liquid and the processing liquid, a processing liquid supply device for forcibly sending the processing liquid into the waste liquid, and the like are not required, the power is not required. It is possible to provide a waste liquid treatment apparatus that can perform waste liquid treatment and has a simple device configuration.
[0063]
INDUSTRIAL APPLICABILITY The waste liquid treatment method and waste liquid treatment apparatus of the present invention are suitable for neutralization treatment of waste acid or waste alkali. And the components in the processing solution can be changed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a waste liquid processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory view showing a bottom of a processing liquid supply tank in the waste liquid processing apparatus shown in FIG.
FIG. 3 is an explanatory vertical sectional view showing a processing liquid supply tank in the waste liquid processing apparatus shown in FIG. 1;
FIG. 4 is an explanatory view showing the bottom of another processing liquid supply tank different from the processing liquid supply tank in the waste liquid processing apparatus shown in FIG. 1;
FIG. 5 is an explanatory diagram showing an operation of a processing liquid supply tank in the waste liquid processing apparatus shown in FIG.
FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining that the pressure of the processing liquid in the processing liquid supply tank in the waste liquid processing apparatus shown in FIG. 1 is defined by the height of the processing liquid storage tank.
[Brief description of reference numerals]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Waste liquid processing apparatus, 2 ... Waste liquid tank, 3 ... Processing liquid storage tank, 4 ... Processing liquid supply tank, 4a ... Tank body, 4b ... Lid member, 4c ... A porous member, 4d mounting member, 4e mounting hole, 5 waste liquid supply port, 6 liquid discharge port, 7 pipe.

Claims (3)

液面が一定に保持されるように廃液槽に貯留された廃液に、処理液を収容することができるとともにこの処理液と前記廃液とを多孔質部材で隔絶する処理液供給槽を、浸漬し、処理液供給槽に存在する処理液の液面を前記廃液の液面よりも高い位置となるように処理液量を調整することにより生じる前記処理液の重力に従って前記多孔質部材の廃液側表面から滲み出ると共に、前記多孔質部材の、廃液に接する浸漬表面積との大小に応じて決定される滲み出し量の処理液で廃液を処理することを特徴とする廃液処理方法。The treatment liquid can be accommodated in the waste liquid stored in the waste liquid tank so that the liquid level is kept constant, and the treatment liquid supply tank that separates the treatment liquid and the waste liquid by the porous member is immersed in the waste liquid. The waste liquid side surface of the porous member according to the gravity of the processing liquid generated by adjusting the amount of the processing liquid so that the level of the processing liquid present in the processing liquid supply tank is higher than the level of the waste liquid And treating the waste liquid with a treatment liquid having an amount of seepage determined in accordance with the surface area of the porous member in contact with the waste liquid. 前記多孔質部材は、廃液に接する浸漬表面積が可変されるように、処理液供給槽に装着されてなる前記請求項1に記載の廃液処理方法。The waste liquid treatment method according to claim 1, wherein the porous member is attached to a treatment liquid supply tank such that a surface area of the porous member that contacts the waste liquid is varied. 液面が一定に保持されるように廃液を貯留する廃液槽と、前記廃液槽中の廃液の液面よりも高い位置に液面を有するように処理液を収容することができるとともにこの処理液と前記廃液とを多孔質部材で隔絶するように前記廃液槽中の廃液に浸漬された処理液供給槽とを有することを特徴とする廃液処理装置。  A waste liquid tank for storing the waste liquid so that the liquid level is maintained at a constant level, and a processing liquid capable of containing the processing liquid so as to have a liquid level higher than the liquid level of the waste liquid in the waste liquid tank. And a treatment liquid supply tank immersed in the waste liquid in the waste liquid tank so that the waste liquid is separated from the waste liquid by a porous member.
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