JP3575106B2 - Pressure measuring device - Google Patents

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JP3575106B2
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Description

【0001】
【産業上の利用分野】
この発明は、例えば爆発現象などによって生じる急激な圧力変化を測定するための圧力測定器に関するものである。さらに詳しくは、高い圧力、変化の速い圧力、短い周期で繰り返される圧力を測定するために使用される圧力測定器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、用いられていたこの種の圧力測定器においては、一般に、圧力を電気信号に変換するため圧電性を示す水晶、電気石、セラッミックス等の無機物の圧電性結晶が感圧素子として用いられている。この感圧素子は金属容器や樹脂容器内に配置される。そして、外部から金属容器や樹脂容器に加えられた圧力を感圧素子が検出し、圧力に応じた電気信号を外部に導出する。
【0003】
例えば、図13に示すように、水晶よりなる感圧素子31の両側には電極32が取着され、一方の電極32がステンレス鋼製の容器33の内面に密着配置されている。一対のリード線34は両電極32にそれぞれ接続され、その他端は電線35に接続され、感圧素子31に生じた電気信号を外部に導出させる。そして、外部から容器33に圧力が加わると、感圧素子31がその圧力をそれに応じた電気信号に変換し、その電気信号電極が32、リード線34、電線35を介して外部に導出される。さらに、図示しない記録装置により、導出された電気信号が記録される。
【0004】
この圧力測定器を用いることにより、図14に示すような圧力波形が得られる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような従来の圧力測定器では、一方向からの低い圧力の測定には適しているが、水や有機溶媒などの自由流体中における多方向からの高い圧力の測定には適しておらず、圧力を感度良く測定することができなかった。特に、爆発現象等によって生じる急激に変化する高い圧力を測定する場合には、水晶、電気石、セラッミックス、ロッシェル塩等の感圧素子部分が脆性破壊されるため、測定ができないという問題があった。
【0006】
しかも、従来の圧力測定器では、感圧素子として無機の圧電性結晶を使用していることから、周波数特性が悪く、変化の早い圧力や周期の短い圧力を感度良く測定することができないという問題があった。
【0007】
この発明は、以上のような従来技術に存在する問題に着目してなされたものである。その目的とするところは、感圧素子が損傷を受けるのを防止して、急激に変化する高い圧力の測定を行うことができる圧力測定器を提供することにある。その他の目的とするところは、流体中における変化の速い圧力や周期の短い圧力を感度良く測定することができる圧力測定器を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1に記載の圧力測定器の発明では、水中での爆発現象によって生じる急激に変化する高い圧力を測定するための圧力測定器であって、柔軟性を有する容器と、該容器内に1〜50センチポイズの粘度を有するシリコーン系の絶縁油を介して収容され、フッ化ビニリデンとフルオロアルキレンとの共重合体からなる厚さが20μm〜20mmの感圧素子と、該感圧素子の両面に接合された一対の電極と、該電極に接続された一対のリード線とを備えたものである。
【0009】
請求項2に記載の発明では、水中での爆発現象によって生じる急激に変化する高い圧力を測定するための圧力測定器であって、フッ化ビニリデンとフルオロアルキレンとの共重合体からなる厚さが20μm〜20mmの感圧素子と、該感圧素子の両面に接合された一対の電極と、該電極に接続された一対のリード線とを備え、前記感圧素子及び電極を電気絶縁性で弾力性を有し、かつ圧力の伝達が可能な樹脂コーティング層で被覆したものである。
【0010】
請求項3に記載の発明では、請求項1に記載の発明において、前記容器がポリアミド製である
請求項4に記載の発明では、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、前記共重合体は、フッ化ビニリデンがモノマー比で20〜95モル%である。
【0012】
【作用】
請求項1、3に記載の発明においては、圧力測定器が水などの流体中に浸漬された状態で圧力が加えられると、その圧力は感圧素子を構成する有機高分子材料に伝達される。そして、この有機高分子材料により、その圧力に比例した電気信号が発生される。この電気信号を記録することにより、圧力を測定することができる。この圧力測定においては、有機高分子材料のもつ粘弾性などの特性により、感圧素子の損傷を防止しつつ、高い圧力や変化の速い圧力を感度良く測定することができる。また、フッ化ビニリデンとフルオロアルキレンとの共重合体からなる厚さが20μm〜20mmの感圧素子が、1〜50センチポイズの粘度を有するシリコーン系の絶縁油を介して柔軟性を有する容器内に収容されていることから、外部から加えられた圧力は容器、絶縁油を介して感圧素子に伝達される。このため、高い圧力を効率良く測定できると同時に、強い衝撃圧力に対して感圧素子を保護することができる。
【0013】
請求項2に記載の発明では、感圧素子が樹脂コーティング層で被覆され、この樹脂コーティング層が圧力伝達可能に形成されていることから、外部から加えられた高い圧力がこの樹脂コーティング層を介して感圧素子に連続的に伝達される。また、樹脂コーティング層は電気絶縁性であるため、感圧素子で発生した電気信号が樹脂コーティング層を介して漏れるのが防止される。
【0014】
請求項4に記載の発明では、感圧素子を構成する共重合体は、フッ化ビニリデンがモノマー比で20〜95モル%であることから、外部から受ける圧力を感度良く、忠実に電気信号に変換することができる。
【0016】
請求項1、2に記載の発明では、感圧素子を構成する有機高分子材料がフッ化ビニリデンとフルオロアルキレンとの共重合体であるため、外部から受ける圧力を一層感度良く、その圧力に対応した電気信号に変換することができる。
【0017】
【実施例】
(第1実施例)
以下に、この発明を具体化した第1実施例について、図1〜6に基づいて説明する。
【0018】
図1〜3に示すように、感圧素子11は円柱状をなし、周囲から加えられる圧力に比例した電気信号を発生する有機高分子材料により形成されている。この感圧素子11は、圧電性を示す有機高分子であればいずれも使用することができる。例えば、ポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデンの共重合体等の有機フッ素系高分子、シアン系高分子が挙げられる。これらのうち、ポリフッ化ビニリデンの他、フルオロアルキレンとフッ化ビニリデンとの共重合体が、製造が容易であり、また圧電定数、誘電率の大きさから望ましい。
【0019】
フルオロアルキレンとしては、1つの水素をフッ素で置換したモノフルオロエチレンが使用可能であり、1〜2個の水素を残し、他の水素をフッ素で置換したトリフルオロエチレン等が好ましく、全ての水素をフッ素で置換したヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレン等のパーフルオロアルキレンがさらに好ましい。さらに、トリフルオロ塩化エチレン、テトラフルオロアルコキシエチレン等を使用することもできる。
【0020】
加えて、感度が高く感圧素子の小型化が可能な観点から、常法に従い分極処理をしたポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレン等のフルオロアルキレンとの共重合体が好ましい。その共重合体の組成は、通常フッ化ビニリデンがモノマー比で20〜95モル%が好ましく、20〜85モル%がさらに好ましい。
【0021】
この感圧素子11は、板状、塊状、円盤状の物など測定する圧力の大きさに合わせて各種形状のものが用いられる。特に、製造性、加工性及び耐久性の観点から、厚み20mm以下の薄い板状の物が望ましく、厚み10mm以下の薄い板状、円盤状のものがさらに望ましい。その大きさは、測定する圧力に対して十分な分極を生じるサイズが必要である。
【0022】
すなわち、10bar程度以下の圧力ならば、厚さ10μmから10mm、直径1から15mm程度の円盤状、または同程度の大きさの多角形状のものが望ましい。10bar程度以上の圧力ならば、厚さ20μmから20mm、直径3から25mm程度の円盤状、または同程度の大きさの多角形状のものが望ましい。さらに、複数の感圧素子を積層し一つの感圧素子11として使用することもできる。なお、各図における感圧素子11は誇張して大きく描かれている。
【0023】
一対の電極12a,12bは、円板状をなし、感圧素子11の上下両面に接合されている。これらの電極12a,12bは、感圧素子11の表面に密着し、感圧素子11内部に発生した圧力に応じた分極を電気信号として外部に導出できる電気伝導性を持つものであればいずれも使用することができる。例えば、金属、金属酸化物、グラファイトや、ポリアセチレン等の電気伝導性有機物が用いられる。これらのうち、製造性、電気伝導性、感圧素子との密着性の観点から、望ましくはアルミニウム、金、銀、銅、錫などの金属を蒸着、メッキ、溶射した物が用いられる。さらに望ましくは、アルミニウムを蒸着したものが用いられる。
【0024】
一対のリード線13a,13bの一端は前記電極12a,12bに接続され、感圧素子11からの電気信号を導出する。このリード線13a,13bは、電極12a,12bからの電気信号を正確に導通することのできる素材であればいずれも用いられる。そのサイズは、測定する圧力による振動に耐えうる強度が得られるように設定される。望ましくは、直径5mm以下の単線または撚り線、厚み5mm以下の板状体が用いられる。更に望ましくは直径3mm以下の単線、撚り線、厚み2mm以下の板状体が用いられる。最も望ましくは直径1mm以下の単線、撚り線、厚み1mm以下の板状体が用いられる。
【0025】
また、その材質としては、銅、アルミニウム等が望ましい。更に望ましくは、製造性、価格、入手性から、銅または錫、銀をメッキした銅が用いられる。なお、リード線13a,13bは必ずしも2本が同じ形状である必要はなく、一方を板状線とし、他方を単線にしたりして、適宜組み合わせることもできる。
【0026】
ほぼ直方体状をなす容器14は、前記リード線13a,13bが挿通された蓋体15を加熱溶融して接合し一体化した状態で密閉される。この密閉空間内には絶縁油16が収容されるとともに、前記感圧素子11が絶縁油16内に浮かんだ状態で支持される。この容器14は、柔軟性があり、外部から加えられた圧力を内部の絶縁油16に伝達することのできる有機高分子、無機高分子あるいは薄い金属などの素材により形成される。
【0027】
有機高分子としては、ビニル系、ビニリデン系、ポリアミド系、エステル系、パラフィン系、芳香族系等の合成高分子、合成ゴム系、シリコーンゴム系、天然ゴム系高分子が、柔軟性があり、加工も容易なため使用される。これらのうち、特にポリアミド系高分子が望ましい。無機高分子としては、シリコーン樹脂、シリコーンゴムが使用される。薄い金属としては、ステンレス鋼、鉄、青銅、アルミニウム、チタン等が使用される。これらのうち、ステンレス鋼とチタンが耐食性、耐久性が良いことから望ましい。
【0028】
容器14の大きさは、内部に絶縁油16、感圧素子11、電極12a,12b、リード線13a,13bを収納できるものであり、感圧素子11と容器14の間に両者がぶつからない程度の隙間を有することが望ましい、具体的には0.01mm以上の隙間を有することが望ましい
容器14における圧力を内部に伝達する部分の厚みは、測定する圧力が加わっても破裂しない強度を有する厚みである。例えば、金属板にあっては0.01mm以上の厚みを有することが望ましく、0.05mm以上の厚みを有することがさらに望ましい。ポリアミド系高分子にあっては、0.1mm以上の厚みを有することが望ましく、0.3mm以上の厚みを有することがさらに望ましい。
【0029】
容器14は全体が同じ厚みである必要は必ずしもなく、例えば容器14のうち外部からの圧力を内部の絶縁油16に伝達する部分を上記のように圧力の伝達が容易な薄い構造とし、それ以外部分については強度的に有利なように厚い構造とすることができる。
【0030】
前記絶縁油16としては、使用温度で液状からぺースト状の物質であればいずれも使用することができる。通常は、炭化水素系、シリコーン系等の油状物質が使用される。望ましくは、絶縁性、耐久性の良いシリコーン系の絶縁油が良い。さらに望ましくは、100センチポイズ以下の粘度のシリコーン系の絶縁油が良い。最も望ましくは、1〜50センチポイズの粘度で絶縁抵抗が1メガオーム以上のシリコーンオイルが用いられる。
【0031】
図5に示すように、リード線13a,13bの他端は絶縁材17により被覆された電線18に接続され、さらに図示しない記録装置に接続される。この電線18としては、耐電気ノイズ性、入手性の観点からJIS規格の同軸ケーブルが好適である。リード線13a,13bと電線18の接続点はテープ、樹脂等で電気的に絶縁することが望ましく、自己融着テープが好適である。
【0032】
絶縁被覆部19は、絶縁材料により、容器14から導出され電線18に接続されるリード線13a,13bを被覆して絶縁性を確保している。
さて、図5に示すように、水20の中には爆薬21が配置されるとともに、圧力測定器が配置される。そして、爆薬21を爆発させると、その圧力が水20を介して圧力測定器の容器14に加えられる。容器14に加えられたその衝撃圧力は、絶縁油16を介して感圧素子11に伝達される。感圧素子11ではその圧力を感知し、圧力に応じた電気信号を発する。その電気信号は、リード線13a,13b、電線18を介して導出される。
【0033】
この実施例の圧力測定においては、有機高分子材料のもつ粘弾性などの特性に基づいて、感圧素子11が脆性破壊されるのを防止しつつ、高い圧力を測定できるとともに、変化の速い圧力や短い周期で繰り返される圧力を感度良く測定することができる。従って、感圧部分に圧電性結晶を使用した従来の圧力測定器よりも高い圧力まで測定することが可能である。加えて、水中における測定では、有機高分子材料と水との音響インピーダンスが近く、従来の圧力測定器よりも忠実な測定を行うことができる。
【0034】
ここで、この第1実施例においては、容器14として、直径15mm厚み1.0mmのポリアミド製のものを使用した。感圧素子11として、厚み50μmに延伸された適当な大きさのシート状のポリフッ化ビニリデンを使用し、表面にはアルミニウムを両面に蒸着し、常法に従い1MV/cmの電位勾配になる電圧を印加して60〜80℃で所定の圧電性が生じるまで分極処理を行った後、直径10mmに切り出したものを使用した。
【0035】
電極12a,12bとしては、上記の両面に蒸着したアルミニウムを利用した。リード線13a,13bとしては、直径0.5mmの錫メッキ銅線を使用した。絶縁油16としては、20センチポイズの粘度のシリコーンオイルを使用した。リード線13a,13bには市販の同軸ケーブルを接続した後、自己融着テープにて接続部分を絶縁した。
【0036】
そして、図5に示したように、爆薬21として一般の産業用含水爆薬200gと圧力測定器を水20の中にセットし、爆発に伴う圧力波形を1mの距離で測定し記録した。その圧力と時間との関係を図6に示した。図6からわかるように、この実施例の圧力測定器により、良好な圧力波形が得られるとともに、200bar以上の高いピーク圧力を測定することができる。
(第2実施例)
次に、この発明を具体化した第2実施例について、図7,8に従って説明する。
【0037】
図7,8に示したように、容器をコップ型の容器本体14aと厚い蓋体15とで構成し、容器本体14aは直径15mm、厚み1.0mmのポリアミド製、蓋体15の部分にはリード線13a,13bを内部に貫通させた直径13mm、長さ20mmのエポキシ樹脂製のものを使用し、両者を接着剤により結合させた。容器本体14aは外部からの圧力を感圧素子11に伝達するために薄く形成し、蓋体15は強度を保持するために厚く形成した。なお、容器本体14aと蓋体15とを嵌合や溶接などの手段で一体化することもできる。
【0038】
この容器以外は、実施例1と同様にして圧力測定器を製作した。そして、第1実施例と同様の爆薬21を用い、この圧力測定器にて爆発時の衝撃圧力を測定した。その圧力波形は、第1実施例の図6とほぼ同様であった。従って、この実施例の圧力測定器により、200bar以上の高い圧力を測定することができる。また、この実施例では、容器を容器本体14aと厚い蓋体15で構成し、蓋体15を接着剤で容器本体14aに接合したことから、製造および組立が容易になるとともに、薄い容器本体14a部分で圧力の伝達を可能とし、厚い蓋体15部分で容器の強度を保持することができる。
(第3実施例)
次に、この発明を具体化した第3実施例について説明する。
【0039】
感圧素子11として、厚み50μmの適当な大きさのシート状のものを用い、フッ化ビニリデンとフッ化プロピレンのモノマーモル比が1:1の共重合体で形成した。さらに、その両面にはアルミニウムを蒸着し、分極処理を行った後、直径10mmに切り出した。このような感圧素子11以外は、第2実施例と同様にして圧力測定器を製作した。
【0040】
そして、第2実施例と同様の爆薬21を用い、この圧力測定器にて爆発時の衝撃圧力を測定した。その圧力波形を図9に示した。この図9からわかるように、200bar以上の高い圧力の測定ができる上に、爆薬21からの発生圧力に忠実に対応した圧力波形が得られた。従って、感圧素子11として、フッ化ビニリデンとフッ化プロピレンの共重合体を用いた方が、第1実施例のポリフッ化ビニリデンを用いた場合よりも、圧力測定における感度を高めることができる。
(第4実施例)
次に、この発明を具体化した第4実施例について、図10,11に基づいて説明する。
【0041】
樹脂コーティング層22は、感圧素子11および電極12a,12bの外面全体を覆っている。この場合、前記容器14および絶縁油15が省略されている。この樹脂コーティング層22としては、電気絶縁性が良好で弾力性のあるものが使用される。通常、シリコーン系、フッ素系、炭化水素系の物質が使用される。特に、シリコーン系、フッ素系のゴムが耐久性および絶縁性の観点から好ましい。
【0042】
この実施例では、樹脂コーティング層22を、フッ素系ゴムを溶剤に分散させ、これをスプレー塗布により感圧素子11および電極12a,12bの外面に数回吹き付けた後、溶剤を揮散させることにより形成した。この樹脂コーティング層22の厚みは、平均50μm程度である。
【0043】
なお、感圧素子11としては、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとのモノマーのモル比で1:1の共重合体で、厚み50μmのシート状とした。
そして、第1実施例と同様にして、爆薬21の爆発時の衝撃圧力を測定したところ、良好な圧力波形が得られ、200bar以上の高い圧力測定ができ、しかも圧力測定における感度を向上させることができた。。
(比較例)
比較例として、圧力測定器に市販のPCB社102A型圧力センサーを用いた以外は、実施例1と同様に200gの含水爆薬を用い、圧力を爆薬から1mの距離で測定した。しかし、圧力測定器が破損して測定できなかった。
【0044】
そこで、含水爆薬の量を1/2に減じ、圧力測定器に加わる圧力を3/4に減じて再度試験を行い、圧力の変化を測定した。その圧力波形を図14に示す。
図6と図14の比較から明らかなように、第1実施例による圧力測定器は、200気圧という高い圧力の衝撃波まで測定が可能である。しかも、図14では110μsecあたりにV字型の異常な波形が記録されているのに対し、第1実施例の圧力測定器ではそのような異常は見られない。
【0045】
なお、この発明は次のように構成を変更して具体化することも可能である。
(イ)図12(a)に示すように、容器の一端側ほど薄くなるようにテーパ状に構成すること。図12(b)に示すように、容器の一端側ほど薄くなるようにテーパ状にし、端部に一定の厚みを有するように構成すること。図12(c)に示すように、容器を円柱状に構成すること。図12(d)に示すように、容器を球状に構成すること。
(ロ)この発明の圧力測定器で変化の速い圧力、短い周期で繰り返される圧力を測定すること。
(ハ)第4実施例において、感圧素子11としてポリフッ化ビニリデンにより形成したものを用いること。
【0046】
さらに、前記実施例より把握される技術的思想について、以下に記載する。
(1)感圧素子を薄い板状に形成した請求項1に記載の圧力測定器。このように構成すれば、圧力測定器の製造や加工を容易にできるとともに、その耐久性を向上させることができる。
(2)感圧素子に一対の薄い電極を取着するとともに、これら電極にリード線を接続して電気信号を外部へ導出可能に構成した請求項1に記載の圧力測定器。この構成により、感圧素子で発生した電気信号を電極、リード線を介して容易に取り出すことができる。
(3)絶縁油は、粘度1〜50センチポイズのシリコーン系の絶縁油である請求項に記載の圧力測定器。この構成によれば、圧力を感度良く伝達できるとともに、絶縁性と耐久性を向上させることができる。
(4)容器を容器本体と蓋体とにより構成し、蓋体に一対のリード線を貫通支持し、リード線の先端に電極を介して感圧素子を取付けた請求項に記載の圧力測定器。このように構成すれば、感圧素子を容器内に容易に収容することができるとともに、感圧素子を絶縁油中に支持することができる。
【0047】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項1、3に記載の発明によれば、感圧素子が損傷を受けるのを防止して、急激に変化する高い圧力の測定を行うことができる。また、流体中における変化の速い圧力や周期の短い圧力を感度良く測定することができる。
【0048】
請求項2に記載の発明によれば、樹脂コーティング層により感圧素子が損傷を受けるのを防止できるとともに、感圧素子で発生した電気信号が樹脂コーティング層を介して漏れるのを防止することができる。
【0049】
請求項4の発明によれば、外部から受ける高い圧力を感度良く測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例の圧力測定器を示す縦断面図。
【図2】図1の2−2線における断面図。
【図3】圧力測定器を示す斜視図。
【図4】圧力測定器の組立を示す分解斜視図。
【図5】圧力測定器と爆薬を水中に配置し圧力測定する状態の断面図。
【図6】圧力測定器により測定された時間と圧力の関係を示すグラフ。
【図7】第2実施例の圧力測定器を示す縦断面図。
【図8】図7の8−8線における断面図。
【図9】第3実施例における時間と圧力の関係を示すグラフ。
【図10】第4実施例の圧力測定器を示す縦断面図。
【図11】同じく第4実施例の圧力測定器を示す横断面図。
【図12】(a)〜(d)は、この発明の別例を示す容器の斜視図。
【図13】従来の圧力測定器の一例を示す部分縦断面図。
【図14】従来の圧力測定器に基づく時間と圧力の関係を示すグラフ。
【符号の説明】
11…感圧素子、14…容器、16…絶縁油、22…樹脂コーティング層。
[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to a pressure measuring device for measuring a sudden pressure change caused by, for example, an explosion phenomenon. More specifically, the present invention relates to a pressure measuring device used for measuring a high pressure, a pressure that changes rapidly, and a pressure that is repeated in a short cycle.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in this type of pressure measuring device, in general, an inorganic piezoelectric crystal such as quartz, tourmaline, ceramics or the like, which exhibits piezoelectricity for converting pressure into an electric signal, is used as a pressure-sensitive element. I have. This pressure-sensitive element is arranged in a metal container or a resin container. Then, the pressure-sensitive element detects the pressure applied to the metal container or the resin container from the outside, and derives an electric signal corresponding to the pressure to the outside.
[0003]
For example, as shown in FIG. 13, electrodes 32 are attached to both sides of a pressure-sensitive element 31 made of quartz, and one electrode 32 is disposed in close contact with the inner surface of a stainless steel container 33. The pair of lead wires 34 is connected to both electrodes 32, respectively, and the other end is connected to an electric wire 35, and leads an electric signal generated in the pressure-sensitive element 31 to the outside. Then, when pressure is applied to the container 33 from the outside, the pressure-sensitive element 31 converts the pressure into an electric signal corresponding to the pressure, and the electric signal electrode is led out through the lead 32, the lead wire 34, and the electric wire 35. . Further, the derived electric signal is recorded by a recording device (not shown).
[0004]
By using this pressure measuring device, a pressure waveform as shown in FIG. 14 is obtained.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, such a conventional pressure measuring device is suitable for measuring a low pressure from one direction, but is not suitable for measuring a high pressure from multiple directions in a free fluid such as water or an organic solvent. And the pressure could not be measured with high sensitivity. In particular, when measuring a rapidly changing high pressure caused by an explosion phenomenon or the like, there was a problem that the measurement was not possible because the pressure-sensitive element portions such as quartz, tourmaline, ceramics, and Rochelle salt were brittlely broken. .
[0006]
Moreover, the conventional pressure measuring device uses an inorganic piezoelectric crystal as a pressure-sensitive element, so that it has poor frequency characteristics, and cannot measure a pressure that changes rapidly or a pressure with a short cycle with high sensitivity. was there.
[0007]
The present invention has been made by paying attention to the problems existing in the prior art as described above. An object of the present invention is to provide a pressure measuring device capable of preventing a pressure-sensitive element from being damaged and capable of measuring a rapidly changing high pressure. Another object of the present invention is to provide a pressure measuring device capable of measuring a pressure that changes rapidly or a pressure having a short cycle in a fluid with high sensitivity.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the invention of a pressure measuring device according to claim 1, a pressure measuring device for measuring a rapidly changing high pressure caused by an underwater explosion phenomenon has flexibility. A container, a pressure-sensitive element having a thickness of 20 μm to 20 mm, which is contained in the container via a silicone-based insulating oil having a viscosity of 1 to 50 centipoise and is made of a copolymer of vinylidene fluoride and fluoroalkylene; , A pair of electrodes joined to both surfaces of the pressure-sensitive element, and a pair of lead wires connected to the electrodes .
[0009]
The invention according to claim 2 is a pressure measuring device for measuring a rapidly changing high pressure generated by an explosion phenomenon in water, wherein a thickness of a copolymer of vinylidene fluoride and fluoroalkylene is measured. comprising a pressure-sensitive element of 20Myuemu~20mm, and a pair of electrodes joined to both surfaces of the sensitive圧素Ko, and a pair of leads connected to the electrode, elasticity of the pressure sensitive element and the electrodes with an electrically insulating It is covered with a resin coating layer having a property and capable of transmitting pressure.
[0010]
In the invention described in claim 3, in the invention described in claim 1, the container is made of polyamide .
In the invention described in claim 4, in the invention described in any one of claims 1 to 3, the copolymer has a vinylidene fluoride content of 20 to 95 mol% in monomer ratio .
[0012]
[Action]
According to the first and third aspects of the present invention, when pressure is applied while the pressure measuring device is immersed in a fluid such as water, the pressure is transmitted to the organic polymer material constituting the pressure-sensitive element. . The organic polymer material generates an electric signal proportional to the pressure. By recording this electrical signal, the pressure can be measured. In this pressure measurement, a high pressure or a fast-changing pressure can be measured with high sensitivity while preventing the pressure-sensitive element from being damaged due to characteristics such as viscoelasticity of the organic polymer material. Further, a pressure-sensitive element having a thickness of 20 μm to 20 mm made of a copolymer of vinylidene fluoride and fluoroalkylene is placed in a flexible container via a silicone-based insulating oil having a viscosity of 1 to 50 centipoise. Since it is accommodated, the pressure applied from the outside is transmitted to the pressure-sensitive element via the container and the insulating oil. For this reason, a high pressure can be measured efficiently, and at the same time, the pressure-sensitive element can be protected against a strong impact pressure.
[0013]
According to the second aspect of the present invention, since the pressure-sensitive element is covered with the resin coating layer and the resin coating layer is formed so as to be capable of transmitting pressure, a high externally applied pressure is applied via the resin coating layer. To the pressure sensitive element. Further, since the resin coating layer is electrically insulating, it is possible to prevent an electric signal generated in the pressure-sensitive element from leaking through the resin coating layer.
[0014]
According to the fourth aspect of the present invention, since the copolymer constituting the pressure-sensitive element contains vinylidene fluoride at a monomer ratio of 20 to 95 mol%, the pressure received from the outside is highly sensitive and faithfully converted to an electric signal. Can be converted.
[0016]
According to the first and second aspects of the present invention, since the organic polymer material constituting the pressure-sensitive element is a copolymer of vinylidene fluoride and fluoroalkylene, the pressure received from the outside is more sensitive and can respond to the pressure. It can be converted into a converted electric signal.
[0017]
【Example】
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0018]
As shown in FIGS. 1 to 3, the pressure-sensitive element 11 has a columnar shape and is formed of an organic polymer material that generates an electric signal proportional to a pressure applied from the surroundings. As the pressure-sensitive element 11, any organic polymer that exhibits piezoelectricity can be used. For example, an organic fluorine-based polymer such as polyvinylidene fluoride, a copolymer of vinylidene fluoride, and a cyan-based polymer may be used. Among these, in addition to polyvinylidene fluoride, a copolymer of a fluoroalkylene and vinylidene fluoride is preferable because of its ease of production and the large piezoelectric constant and dielectric constant.
[0019]
As the fluoroalkylene, monofluoroethylene in which one hydrogen is substituted by fluorine can be used, and trifluoroethylene or the like in which one or two hydrogens are left and other hydrogens are substituted by fluorine is preferable, and all hydrogens are substituted. Perfluoroalkylene such as hexafluoropropylene and tetrafluoroethylene substituted with fluorine is more preferred. Further, trifluoroethylene chloride, tetrafluoroalkoxyethylene and the like can be used.
[0020]
In addition, from the viewpoint of high sensitivity and miniaturization of the pressure-sensitive element, polyvinylidene fluoride, a copolymer of vinylidene fluoride and a fluoroalkylene such as trifluoroethylene, which is polarized according to a conventional method, is preferred. As for the composition of the copolymer, usually, vinylidene fluoride is preferably 20 to 95 mol% in terms of monomer ratio, and more preferably 20 to 85 mol%.
[0021]
As the pressure-sensitive element 11, those having various shapes according to the magnitude of the pressure to be measured, such as a plate, a lump, and a disk, are used. In particular, from the viewpoint of manufacturability, workability, and durability, a thin plate having a thickness of 20 mm or less is desirable, and a thin plate or disk having a thickness of 10 mm or less is more desirable. The size must be large enough to produce sufficient polarization for the pressure to be measured.
[0022]
That is, if the pressure is about 10 bar or less, it is desirable to use a disc having a thickness of about 10 μm to 10 mm and a diameter of about 1 to 15 mm, or a polygon having the same size. If the pressure is about 10 bar or more, a disc having a thickness of about 20 μm to 20 mm and a diameter of about 3 to 25 mm, or a polygon having a similar size is desirable. Furthermore, a plurality of pressure-sensitive elements can be stacked and used as one pressure-sensitive element 11. In addition, the pressure-sensitive element 11 in each figure is exaggerated and drawn large.
[0023]
The pair of electrodes 12 a, 12 b has a disk shape and is joined to both upper and lower surfaces of the pressure-sensitive element 11. Each of these electrodes 12a and 12b is in close contact with the surface of the pressure-sensitive element 11 and has an electric conductivity capable of deriving a polarization according to the pressure generated inside the pressure-sensitive element 11 to the outside as an electric signal. Can be used. For example, electrically conductive organic substances such as metals, metal oxides, graphite, and polyacetylene are used. Of these, from the viewpoints of manufacturability, electrical conductivity, and adhesion to the pressure-sensitive element, a material obtained by vapor deposition, plating, or spraying a metal such as aluminum, gold, silver, copper, or tin is preferably used. More desirably, a material obtained by evaporating aluminum is used.
[0024]
One ends of a pair of lead wires 13a and 13b are connected to the electrodes 12a and 12b, and lead out an electric signal from the pressure-sensitive element 11. As the lead wires 13a and 13b, any material can be used as long as it can accurately conduct electric signals from the electrodes 12a and 12b. The size is set so as to obtain a strength that can withstand vibration due to the pressure to be measured. Desirably, a single wire or a stranded wire having a diameter of 5 mm or less and a plate having a thickness of 5 mm or less are used. More preferably, a single wire having a diameter of 3 mm or less, a stranded wire, or a plate having a thickness of 2 mm or less is used. Most preferably, a single wire having a diameter of 1 mm or less, a stranded wire, or a plate having a thickness of 1 mm or less is used.
[0025]
Further, as the material thereof, copper, aluminum or the like is desirable. More desirably, copper, tin, or silver-plated copper is used in terms of manufacturability, price, and availability. Note that the two lead wires 13a and 13b do not necessarily have to have the same shape, and one may be a plate-like wire and the other may be a single wire, or may be combined as appropriate.
[0026]
The container 14 having a substantially rectangular parallelepiped shape is sealed in a state where the lid 15 into which the lead wires 13a and 13b are inserted is heated and melted, joined and integrated. Insulating oil 16 is accommodated in this sealed space, and the pressure-sensitive element 11 is supported in a state of floating in the insulating oil 16. The container 14 is made of a material such as an organic polymer, an inorganic polymer, or a thin metal which has flexibility and can transmit pressure applied from the outside to the insulating oil 16 inside.
[0027]
As organic polymers, synthetic polymers such as vinyl, vinylidene, polyamide, ester, paraffin, and aromatic, synthetic rubber, silicone rubber, and natural rubber polymers have flexibility, Used for easy processing. Among these, a polyamide polymer is particularly desirable. As the inorganic polymer, a silicone resin or silicone rubber is used. As the thin metal, stainless steel, iron, bronze, aluminum, titanium or the like is used. Among these, stainless steel and titanium are desirable because of their good corrosion resistance and durability.
[0028]
The size of the container 14 is such that the insulating oil 16, the pressure-sensitive element 11, the electrodes 12 a and 12 b, and the leads 13 a and 13 b can be accommodated inside the container 14. It is desirable to have a gap of, specifically, a thickness of a portion that transmits pressure to the inside of the container 14 that desirably has a gap of 0.01 mm or more is a thickness having a strength that does not burst even when a measured pressure is applied. It is. For example, a metal plate preferably has a thickness of 0.01 mm or more, and more preferably has a thickness of 0.05 mm or more. The polyamide polymer preferably has a thickness of 0.1 mm or more, more preferably 0.3 mm or more.
[0029]
The container 14 does not necessarily have to have the same thickness as a whole. For example, a portion of the container 14 that transmits external pressure to the internal insulating oil 16 has a thin structure that facilitates pressure transmission as described above. The portion may have a thick structure so as to be advantageous in strength.
[0030]
As the insulating oil 16, any substance can be used as long as it is a liquid to pasty substance at the operating temperature. Usually, hydrocarbon-based, silicone-based oily substances and the like are used. Desirably, silicone-based insulating oil having good insulating properties and durability is preferable. More preferably, a silicone insulating oil having a viscosity of 100 centipoise or less is preferable. Most preferably, a silicone oil having a viscosity of 1 to 50 centipoise and an insulation resistance of 1 megaohm or more is used.
[0031]
As shown in FIG. 5, the other ends of the lead wires 13a and 13b are connected to an electric wire 18 covered with an insulating material 17, and further connected to a recording device (not shown). As the electric wire 18, a JIS standard coaxial cable is preferable from the viewpoint of electric noise resistance and availability. It is desirable that the connection point between the lead wires 13a and 13b and the electric wire 18 be electrically insulated with a tape, a resin, or the like, and a self-sealing tape is preferable.
[0032]
The insulating covering portion 19 covers the lead wires 13a and 13b led out of the container 14 and connected to the electric wire 18 with an insulating material to secure insulation.
Now, as shown in FIG. 5, an explosive 21 is disposed in the water 20, and a pressure measuring device is disposed. Then, when the explosive 21 is exploded, the pressure is applied to the container 14 of the pressure measuring device via the water 20. The impact pressure applied to the container 14 is transmitted to the pressure-sensitive element 11 via the insulating oil 16. The pressure sensing element 11 senses the pressure and emits an electric signal corresponding to the pressure. The electric signal is led out via the leads 13 a and 13 b and the electric wire 18.
[0033]
In the pressure measurement of this embodiment, a high pressure can be measured based on the properties of the organic polymer material such as viscoelasticity while preventing the pressure-sensitive element 11 from being brittlely broken. Or a pressure repeated in a short cycle can be measured with high sensitivity. Therefore, it is possible to measure up to a higher pressure than a conventional pressure measuring device using a piezoelectric crystal for the pressure-sensitive portion. In addition, in the measurement in water, the acoustic impedance between the organic polymer material and water is close, and the measurement can be performed more faithfully than the conventional pressure measuring device.
[0034]
Here, in the first embodiment, a container made of polyamide having a diameter of 15 mm and a thickness of 1.0 mm was used as the container 14. As the pressure-sensitive element 11, a sheet-like polyvinylidene fluoride of an appropriate size stretched to a thickness of 50 μm is used, and aluminum is vapor-deposited on both surfaces, and a voltage that causes a potential gradient of 1 MV / cm according to a conventional method. After polarization treatment was performed at 60 to 80 ° C. until a predetermined piezoelectricity was generated by applying the voltage, a material cut to a diameter of 10 mm was used.
[0035]
As the electrodes 12a and 12b, aluminum deposited on both surfaces was used. As the lead wires 13a and 13b, tin-plated copper wires having a diameter of 0.5 mm were used. As the insulating oil 16, silicone oil having a viscosity of 20 centipoise was used. After connecting a commercially available coaxial cable to the lead wires 13a and 13b, the connection portions were insulated with a self-sealing tape.
[0036]
Then, as shown in FIG. 5, 200 g of a general industrial water-containing explosive as an explosive 21 and a pressure measuring instrument were set in the water 20, and a pressure waveform accompanying the explosion was measured and recorded at a distance of 1 m. FIG. 6 shows the relationship between the pressure and time. As can be seen from FIG. 6, a good pressure waveform can be obtained and a high peak pressure of 200 bar or more can be measured by the pressure measuring device of this embodiment.
(Second embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0037]
As shown in FIGS. 7 and 8, the container is composed of a cup-shaped container main body 14 a and a thick lid 15. The container main body 14 a is made of polyamide having a diameter of 15 mm and a thickness of 1.0 mm. An epoxy resin having a diameter of 13 mm and a length of 20 mm and having lead wires 13a and 13b penetrated therein was used, and both were bonded by an adhesive. The container body 14a was formed thin to transmit external pressure to the pressure-sensitive element 11, and the cover 15 was formed thick to maintain strength. The container body 14a and the lid 15 can be integrated by means such as fitting or welding.
[0038]
A pressure measuring device was manufactured in the same manner as in Example 1 except for this container. Then, using the same explosive 21 as in the first example, the impact pressure at the time of the explosion was measured by this pressure measuring device. The pressure waveform was almost the same as FIG. 6 of the first embodiment. Therefore, the pressure measuring device of this embodiment can measure a high pressure of 200 bar or more. Further, in this embodiment, the container is composed of the container main body 14a and the thick lid 15, and the lid 15 is joined to the container main body 14a with an adhesive. The pressure can be transmitted at the portion, and the strength of the container can be maintained at the thick lid 15 portion.
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the invention will be described.
[0039]
As the pressure-sensitive element 11, a sheet-like element having a thickness of 50 μm and an appropriate size was used, and was formed of a copolymer having a monomer molar ratio of vinylidene fluoride and propylene fluoride of 1: 1. Furthermore, aluminum was vapor-deposited on both surfaces thereof, and after a polarization treatment, aluminum was cut out to a diameter of 10 mm. A pressure measuring device was manufactured in the same manner as in the second embodiment except for the pressure-sensitive element 11 described above.
[0040]
Then, using the same explosive 21 as in the second embodiment, the impact pressure at the time of the explosion was measured by this pressure measuring device. FIG. 9 shows the pressure waveform. As can be seen from FIG. 9, a high pressure of 200 bar or more can be measured, and a pressure waveform faithfully corresponding to the pressure generated from the explosive 21 is obtained. Therefore, using the copolymer of vinylidene fluoride and propylene fluoride as the pressure-sensitive element 11 can increase the sensitivity in pressure measurement more than using the polyvinylidene fluoride of the first embodiment.
(Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0041]
The resin coating layer 22 covers the entire outer surfaces of the pressure-sensitive element 11 and the electrodes 12a and 12b. In this case, the container 14 and the insulating oil 15 are omitted. As the resin coating layer 22, a layer having good electric insulation and elasticity is used. Usually, silicone-based, fluorine-based, and hydrocarbon-based substances are used. In particular, silicone-based and fluorine-based rubbers are preferred from the viewpoints of durability and insulating properties.
[0042]
In this embodiment, the resin coating layer 22 is formed by dispersing a fluorine-based rubber in a solvent, spraying the dispersion several times on the outer surfaces of the pressure-sensitive element 11 and the electrodes 12a and 12b, and then volatilizing the solvent. did. The thickness of the resin coating layer 22 is about 50 μm on average.
[0043]
The pressure-sensitive element 11 was a 50 μm-thick sheet made of a copolymer having a molar ratio of monomers of vinylidene fluoride and trifluoroethylene of 1: 1.
When the impact pressure of the explosive 21 at the time of the explosion was measured in the same manner as in the first embodiment, a good pressure waveform was obtained, a high pressure measurement of 200 bar or more was possible, and the sensitivity in the pressure measurement was improved. Was completed. .
(Comparative example)
As a comparative example, a pressure was measured at a distance of 1 m from the explosive using 200 g of a water-containing explosive in the same manner as in Example 1, except that a commercially available 102A type pressure sensor from PCB was used as the pressure measuring device. However, the pressure gauge was damaged and could not be measured.
[0044]
Therefore, the amount of the water-containing explosive was reduced to 、, the pressure applied to the pressure measuring device was reduced to /, and the test was performed again to measure the change in pressure. FIG. 14 shows the pressure waveform.
As is clear from the comparison between FIG. 6 and FIG. 14, the pressure measuring device according to the first embodiment can measure a shock wave having a pressure as high as 200 atm. In addition, in FIG. 14, an abnormal V-shaped waveform is recorded around 110 μsec, but such an abnormality is not observed in the pressure measuring device of the first embodiment.
[0045]
The present invention can be embodied by changing the configuration as follows.
(A) As shown in FIG. 12 (a), the container should be tapered so as to become thinner toward one end. As shown in FIG. 12 (b), the container is tapered so as to become thinner toward one end, and has a constant thickness at the end. As shown in FIG. 12C, the container is formed in a cylindrical shape. As shown in FIG. 12 (d), the container should be spherical.
(B) To measure a pressure that changes rapidly and a pressure that is repeated in a short cycle with the pressure measuring device of the present invention.
(C) In the fourth embodiment, a pressure-sensitive element 11 formed of polyvinylidene fluoride is used.
[0046]
Further, a technical idea grasped from the embodiment will be described below.
(1) The pressure measuring device according to claim 1, wherein the pressure-sensitive element is formed in a thin plate shape. With this configuration, the production and processing of the pressure measuring device can be facilitated, and the durability of the pressure measuring device can be improved.
(2) The pressure measuring device according to claim 1, wherein a pair of thin electrodes are attached to the pressure-sensitive element, and a lead wire is connected to these electrodes so that an electric signal can be led out. With this configuration, an electric signal generated by the pressure-sensitive element can be easily taken out through the electrode and the lead wire.
(3) The pressure measuring device according to claim 1 , wherein the insulating oil is a silicone-based insulating oil having a viscosity of 1 to 50 centipoise. According to this configuration, pressure can be transmitted with high sensitivity, and insulation and durability can be improved.
(4) The pressure measurement according to claim 1 , wherein the container is constituted by a container body and a lid, and a pair of lead wires is supported by penetrating the lid, and a pressure-sensitive element is attached to a tip of the lead wire via an electrode. vessel. With this configuration, the pressure-sensitive element can be easily housed in the container, and the pressure-sensitive element can be supported in the insulating oil.
[0047]
【The invention's effect】
As described in detail above, according to the first and third aspects of the present invention, it is possible to prevent the pressure-sensitive element from being damaged and to measure a rapidly changing high pressure. In addition, a pressure that changes rapidly or a pressure that has a short cycle in a fluid can be measured with high sensitivity.
[0048]
According to the second aspect of the present invention, it is possible to prevent the pressure-sensitive element from being damaged by the resin coating layer and to prevent the electric signal generated by the pressure-sensitive element from leaking through the resin coating layer. it can.
[0049]
According to the fourth aspect of the invention, a high pressure received from the outside can be measured with high sensitivity.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a pressure measuring device according to a first embodiment.
FIG. 2 is a sectional view taken along line 2-2 in FIG. 1;
FIG. 3 is a perspective view showing a pressure measuring device.
FIG. 4 is an exploded perspective view showing the assembly of the pressure measuring device.
FIG. 5 is a cross-sectional view of a state in which a pressure measuring device and an explosive are placed in water and pressure is measured.
FIG. 6 is a graph showing a relationship between time and pressure measured by a pressure measuring device.
FIG. 7 is a longitudinal sectional view showing a pressure measuring device according to a second embodiment.
FIG. 8 is a sectional view taken along line 8-8 in FIG. 7;
FIG. 9 is a graph showing a relationship between time and pressure in the third embodiment.
FIG. 10 is a longitudinal sectional view showing a pressure measuring device according to a fourth embodiment.
FIG. 11 is a cross-sectional view showing a pressure measuring device according to a fourth embodiment.
12 (a) to 12 (d) are perspective views of a container showing another example of the present invention.
FIG. 13 is a partial longitudinal sectional view showing an example of a conventional pressure measuring device.
FIG. 14 is a graph showing a relationship between time and pressure based on a conventional pressure measuring device.
[Explanation of symbols]
11: pressure-sensitive element, 14: container, 16: insulating oil, 22: resin coating layer.

Claims (4)

水中での爆発現象によって生じる急激に変化する高い圧力を測定するための圧力測定器であって、柔軟性を有する容器と、該容器内に1〜50センチポイズの粘度を有するシリコーン系の絶縁油を介して収容され、フッ化ビニリデンとフルオロアルキレンとの共重合体からなる厚さが20μm〜20mmの感圧素子と、該感圧素子の両面に接合された一対の電極と、該電極に接続された一対のリード線とを備えた圧力測定器。 A pressure measuring device for measuring a rapidly changing high pressure generated by an explosion phenomenon in water, comprising a flexible container and a silicone-based insulating oil having a viscosity of 1 to 50 centipoise in the container. A pressure-sensitive element having a thickness of 20 μm to 20 mm made of a copolymer of vinylidene fluoride and fluoroalkylene, a pair of electrodes joined to both surfaces of the pressure-sensitive element, and connected to the electrodes. A pressure measuring device comprising a pair of lead wires . 水中での爆発現象によって生じる急激に変化する高い圧力を測定するための圧力測定器であって、フッ化ビニリデンとフルオロアルキレンとの共重合体からなる厚さが20μm〜20mmの感圧素子と、該感圧素子の両面に接合された一対の電極と、該電極に接続された一対のリード線とを備え、前記感圧素子及び電極を電気絶縁性で弾力性を有し、かつ圧力の伝達が可能な樹脂コーティング層で被覆した圧力測定器。 A pressure measuring device for measuring a rapidly changing high pressure generated by an explosion phenomenon in water, the pressure-sensitive element having a thickness of 20 μm to 20 mm made of a copolymer of vinylidene fluoride and fluoroalkylene, The pressure-sensitive element includes a pair of electrodes joined to both sides of the pressure-sensitive element, and a pair of lead wires connected to the electrode. The pressure-sensitive element and the electrode are electrically insulating and elastic, and transmit pressure. pressure measuring device is coated with a resin coating layer as possible. 前記容器がポリアミド製である請求項1に記載の圧力測定器。The pressure measuring device according to claim 1, wherein the container is made of polyamide . 前記共重合体は、フッ化ビニリデンがモノマー比で20〜95モル%である請求項1〜3のいずれかに記載の圧力測定器。The pressure measuring device according to any one of claims 1 to 3, wherein in the copolymer, vinylidene fluoride has a monomer ratio of 20 to 95 mol% .
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