JP3553320B2 - 流量制御装置 - Google Patents
流量制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3553320B2 JP3553320B2 JP16155397A JP16155397A JP3553320B2 JP 3553320 B2 JP3553320 B2 JP 3553320B2 JP 16155397 A JP16155397 A JP 16155397A JP 16155397 A JP16155397 A JP 16155397A JP 3553320 B2 JP3553320 B2 JP 3553320B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- pump
- flow
- control device
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Flow Control (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
【0002】
この発明は、流体の流量を、小流量から大流量まで広い流量範囲に渡って高精度に制御することのできる流量制御装置に関する。
【従来の技術】
【0003】
従来、流体の流量を制御しつつ管路に流体を送流させる手段としては、ポンプが用いられるのが一般的である。
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、上記ポンプは制御できる流量範囲が狭く、最も制御流量範囲が広いとされるギヤポンプでさえその吐出比(制御可能となる最小流量と最大流量の比率)は1:10程度であり、流量をもっと広範囲にかつ高精度に可変制御しなければならない分野、用途においては到底適用することができないものであった。
【0005】
一方、繊維製品を染色する分野においては、そのデザインの多様性に対応させるべく、低濃度のものから高濃度のものまで極めて幅広い濃度範囲にわたる染料液を高精度に調整して各供給タンクに送液することが要請されるのであるが、従来は粉体染料を正確に秤量し、その複数種類を混合状態に溶解して所望の各濃度の染液に個々に調整したものを各供給タンクに充填するといういわゆるバッチ方式で行われていた。しかし、このようなバッチ方式では、多色染色における調整染料液の種類や濃度のバリエーションの数が増えれば増える程これら調液作業に要する時間は多大なものとなることから、生産効率の面から染料液の調液作業の時間の短縮化が希求の課題となっていた。
【0006】
そこで、染料液の自動調液システムの開発が急がれるところであり、前述のように低濃度のものから高濃度のものまで極めて広い濃度範囲にわたる複数種の染料液を高精度に調整して各供給タンクに送液することが要請されるが、1つのポンプで制御可能となる吐出比は最大でも1:10程度であるので、このような広い濃度範囲に対応できるシステムを構築しようとする場合、低濃度の染液から高濃度の染液まで複数の濃度領域に分けて各濃度領域に対応させて個々にポンプを用意すれば理論上は構築し得るものであり、特開昭63−35873号公報にはこのような構成が記載されているが、しかしながらポンプは必要とされる濃度領域の数と同数必要となり、設備コストが高くつくのみならず、このような多数のポンプを装備して置く設備スペースも膨大なものとなることから、到底工業生産に適したシステムとなり得るものではなかった。従って1つのポンプにて広い流量範囲に渡って液体の流量を高精度に制御できる装置が必要とされていた。
【0007】
この発明は、かかる技術的背景に鑑みてなされたものであって、単一のポンプにて、流体の流量を、小流量から大流量まで広い流量範囲に渡って高精度に可変制御することのできる流量制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
請求項1の発明にかかる流量制御装置は、一端に流体を取り込む吸入口と他端に流体の吐出口とを有する主管路と、該主管路中に設けられた所定の吐出流量範囲を有する単一のポンプと、前記主管路中におけるポンプより吐出口側の位置から分岐して吐出口に至るバイパス管路と、前記分岐部に設けられた切替バルブと、前記バイパス管路中に設けられた流量計及び調節弁とからなり、該調節弁の制御流量範囲が、前記ポンプの所定の吐出流量範囲よりも低流量側の流量範囲を包含するとともに、前記流量計により検知された計測値に基づいて調節弁の開度調整が行われるようになされていることを特徴とするものである。
【0009】
主管路のみを流路として、ポンプのみを開度調整することでポンプ自体の制御可能な吐出流量範囲内で高精度に流量制御しつつ大流量で流体が送流される。一方、ポンプにより一旦低流量に制御されて送流された流体をバイパス管路に送流して調節弁の開度を調整して更に絞り込み制御すれば、ポンプ自体の制御可能な吐出流量範囲の下限領域をはるかに超える低流量で流体が送流される。
【0010】
請求項2の発明は、上記請求項1の流量制御装置において、バイパス管路における流量計より吸入口側の位置と、主管路のうちポンプより吸入口側の位置とを連通接続する戻り管路が設けられている構成を採用したものである。
【0011】
調節弁の絞り込みにより余分となる流体が無駄にされることなく戻り管路を通じて再度主管路に戻されて再利用されるから、経済的である。
【発明の実施の形態】
【0012】
以下、この発明の一実施形態を図示例とともに説明する。
【0013】
図1は、この発明にかかる流量制御装置(1)の構成を示す系統図、図2(イ)は流体を大流量で送流する場合の流路を示す説明図、同図(ロ)は流体を小流量で送流する場合の流路を示す説明図である。
【0014】
これらの図において、(2)はポンプ、(3)はバイパス管路流量計、(4)は調節弁、(5)は管路であり、該管路(5)は主管路(5a)、バイパス管路(5b)、戻り管路(5c)より構成される。
【0015】
主管路(5a)は、一端に流体を取り込む吸入口(10)と他端に流体の吐出口(11)とを有し、該主管路(5a)の吸入口(10)側の位置にポンプ(2)が設けられている。ポンプ(2)としては、吐出比が大きく精度に優れる点から、容積式ポンプ、中でもギヤポンプが好適に用いられる。
【0016】
更に、前記主管路(5a)には、ポンプ(2)より吐出口(11)側の位置に主管路流量計(6)が設けられている。前記流量計(6)としては、レンジアビリティーが大きく精度に優れる点から、電磁流量計が好適に用いられる。この流量計(6)により検知された流量計測値は制御装置(20)に送信され、この計測値に基づき該制御装置(20)によりポンプ(2)からの吐出量の調整が行われるようになされている。なお、この主管路流量計(6)は必ずしも設ける必要はないものであるが、より流量制御の精度を高める観点からは、設けるものとするのが望ましい。
【0017】
また、前記主管路(5a)中における主管路流量計(6)より吐出口(11)側の位置からバイパス管路(5b)が分岐し、該分岐部には切替バルブ(12)が設けられる一方、前記バイパス管路(5b)の他端は吐出口(11)に至る手前で主管路(5a)と合流するものとなされている。この切替バルブ(12)の切替により、ポンプ(2)を通過して主管路(5a)を流れて前記分岐部に到達した流体を、そのまま主管路(5a)に送流するか、またはバイパス管路(5b)に送流するかの選択がなされるのであるが、この切替バルブ(12)の切替制御は前記制御装置(20)により行われるようになされている。
【0018】
前記バイパス管路(5b)には、バイパス管路流量計(3)及び調節弁(4)が設けられている。
【0019】
バイパス管路流量計(3)としては、レンジアビリティーが大きく精度に優れる点から、電磁流量計が好適に用いられる。そして、この流量計(3)により検知された流量計測値が制御装置(20)に送信されるとともに、この計測値に基づき該制御装置(20)により調節弁(4)の開度調整が行われるようになされている。
【0020】
調節弁(4)としては、少なくとも前記ポンプ(2)の制御可能な吐出流量範囲よりも低流量側の流量範囲を制御しうるものを用いる。この時、ポンプ(2)の制御可能な吐出流量範囲の下限領域と、調節弁(4)の制御可能な流量範囲の上限領域とが、図5(イ)に示されるように一部重なるように設定されるか、もしくは図5(ロ)に示されるようにポンプ(2)の制御可能下限値と、調節弁(4)の制御可能上限値とがほぼ一致するように設定されているのが良い。このように設定すれば、ポンプ(2)の制御可能な流量範囲と、調節弁(4)の制御可能な流量範囲との間に制御不可能な領域が存在しないから、小流量から大流量まで制御不可能領域を存在させることなく、広い流量範囲に渡って高精度に可変制御することが可能となる。もちろん、ポンプ(2)および調節弁(4)のそれぞれの制御可能な流量範囲の重なり領域が、図5(イ)に示される重なり範囲よりももっと大きくなされていても良いが、この場合には高精度に可変制御可能となる流量範囲が前者よりも減縮されることとなる。
【0021】
更に、前記バイパス管路(5b)における流量計(3)より吸入口(10)側の位置と、前記主管路(5a)のうちポンプ(2)より吸入口(10)側の位置とを連通接続する態様で、戻り管路(5c)が設けられている。この戻り管路(5c)は、バイパス管路(5b)に流体を流す場合において、調節弁(4)により流量制御がなされることにより余分となる流体を、主管路(5a)のポンプ(2)設置位置より吸入口(10)側の位置で、吸入口(10)から供給されてくる流体と合流させて、再度主管路(5a)に戻すことによって、流体を無駄にすることなく有効利用するために設けられたものである。
【0022】
前記戻り管路(5c)には、該戻り管路(5c)の流路を開閉するニードル弁(13)が設けられている。このニードル弁(13)は制御装置(20)により開閉操作が行われるようになされており、主管路(5a)のみに流体を通じる場合には、該ニードル弁(13)は流体が戻り管路(5c)に逆流することのないよう閉じられるようになされている。
【0023】
しかして、上記構成の流量制御装置(1)を用いて流体をその流量を制御しつつ送流するに際しては、まず予め制御装置(20)に所望の流量値あるいは流量設定プログラムを入力する。制御装置(20)は、前記設定流量値がポンプ(2)のみにより流量制御できる大流量範囲にあるものか、あるいはポンプ(2)及び調節弁(4)の協働により流量制御可能となる小流量範囲にあるものかを判断して、前者の場合には切替バルブ(12)を主管路(5a)に通じるように切替えを行い、一方後者の場合には切替バルブ(12)をバイパス管路(5b)に通じるように切替えを行うようになされている。
【0024】
図2(イ)は流体を大流量で送流する場合の流路を示す図である。前述の通り制御装置(20)により、切替バルブ(12)が主管路(5a)に通じるように切替制御される一方、戻り管路(5c)に配設されたニードル弁(13)は閉じられる。従って、ポンプ(2)の駆動により吸入口(10)より吸入された流体は、図2(イ)に示すように主管路(5a)のみを流過して吐出口(11)より吐出される。この時、ポンプ(2)により送流される流量は、主管路流量計(6)により逐一モニターされるとともに、モニターされた流量値が所望の流量値を逸脱しているような場合には制御装置(20)からの信号によりポンプ(2)の開度調整が行われるようになされているから、常に精度高く流量制御を行いつつ大流量で流体を送流することができる。
【0025】
一方、図2(ロ)は流体を小流量で送流する場合の流路を示す図である。制御装置(20)により、切替バルブ(12)がバイパス管路(5b)に通じるように切替制御される一方、戻り管路(5c)に配設されたニードル弁(13)は全開状態に設定される。かつ制御装置(20)により、ポンプ(2)は高精度に制御し得る範囲内で最小流量または低流量になるよう開度調整が行われる一方、調節弁(4)は吐出される流量が所望の流量値となるよう、前記ポンプ(2)の開度との相関関係に基づいて開度調整がなされる。従って、ポンプ(2)の駆動により吸入口(10)より吸入された流体は、図2(ロ)に示すように主管路(5a)を流過して切替バルブ(12)に到達し、ここからバイパス管路(5b)に流入し、調節弁(4)により流量制御された後、更にバイパス管路(5b)を流過して吐出口(11)より吐出される。この時、バイパス管路(5b)を送流される流量は、バイパス管路流量計(3)により逐一モニターされるとともに、モニターされた流量値が所望の流量値を逸脱しているような場合には制御装置(20)からの信号により調節弁(4)の開度調整が行われるようになされているから、常に精度高く流量制御を行いつつ小流量で流体を送流することができる。
【0026】
なお、前記調節弁(4)の絞り込みにより余分となる流体は戻り管路(5c)を流過して、主管路(5a)のポンプ(2)設置位置より吸入口(10)側の位置で、吸入口(10)から供給されてくる流体と合流する。このような戻り管路(5c)を設けることで、余分となった流体を無駄にすることなく再度主管路(5a)に戻すことが可能となり、経済的である。
【0027】
この発明に係る流量制御装置(1)によれば、大流量で流体を送流する場合には、主管路(5a)のみを流路とし、ポンプ(2)のみを開度調整することにより、ポンプ(2)本来の制御可能な吐出流量範囲内で、高精度に流量制御しつつ大流量で送流することができる。
【0028】
一方、小流量で流体を送流する場合には、ポンプ(2)により一旦低流量に制御されて送流された流体をバイパス管路(5b)に送流し、該バイパス管路(5b)において更に調節弁(4)の開度調整をすることで更に絞り込み制御して吐出するから、ポンプ(2)本来の制御可能な吐出流量範囲の下限領域をはるかに超える低流量で送流することができる。
【0029】
このようにこの発明の流量制御装置(1)によれば、単一のポンプにて、ポンプ(2)自体が有する制御可能な吐出流量範囲の上限領域にあたる高流量から、調節弁(4)の制御可能な流量範囲の下限領域にあたる小流量に至るまで高精度に流量制御することが可能となる。また、複数のポンプを装備させる必要がないので、低コスト、省設備スペース化を達成することができる。
【0030】
この発明の流量制御装置は、上記のように小流量から大流量まで広い流量範囲に渡って高精度に流量を可変制御することができるから、例えば繊維製品を染色するための染料液の調整に好適に使用される。
【0031】
即ち、繊維製品を染色する染料液としては、そのデザインの多様性等に対応させるべく、低濃度のものから高濃度のものまで極めて幅広い濃度範囲にわたる染料液を高精度に調整して各供給タンクに送液することが要求されるが、図3に示すような調液システムの染料原液供給管(32)にこの発明の流量制御装置(1)を組み込めば、染料原液(30)を小流量から大流量まで広い流量範囲に渡って高精度に制御して、染料原液供給管(32)を介して、一定流量の水(31)が供給されてくる主供給管(33)に吐出することができるから、その結果単一の染料原液(30)を用いて低濃度のものから高濃度のものまで極めて幅広い濃度範囲にわたる染料液を高精度に調整して供給することが可能となる。なお、上記供給水は、ポンプ(34)、流量計(35)及び制御装置(36)の協働により一定流量に制御されるようになされている。
【0032】
なお、この発明の流量制御装置のバイパス管路(5b)に更に第2バイパス管路(5d)を設けるものとしても良い。すなわち、例えば図4に示すように、バイパス管路(5b)のうちバイパス管路流量計(3)及び調節弁(4)が設けられた位置よりも吐出口側の位置から第2切替バルブ(12d)を介して第2バイパス管路(5d)が分岐され、該第2バイパス管路(5d)に第2バイパス管路流量計(3d)及び第2バイパス管路調節弁(4d)が設けられ、該第2バイパス管路(5d)の他端が吐出口(11)の手前で主管路(5a)に合流するものとなされるとともに、前記第2バイパス管路(5d)における第2バイパス管路流量計(3d)より吸入口(10)側の位置と、前記戻り管路(5c)とを連通接続する態様で、第2ニードル弁(13d)を備えた第2戻り管路(5e)が設けられている。このようにバイパス管路が2段階で構成されているから、即ちバイパス管路(5b)で低流量に制御された流体を第2バイパス管路(5d)に送流し、該第2バイパス管路(5d)の第2バイパス管路調節弁(4d)により更に低流量に絞り込むことが可能となるから、前述したバイパス管路(5b)が1段で構成されているものよりも、一層広い流量範囲に渡って高精度に流量を可変制御することが可能となる。
【0033】
もちろん、前記第2バイパス管路に対して前記同様の態様で更に第3バイパス管路を設けるものとしても良い。これにより、より一層広い流量範囲に渡って高精度に流量を可変制御することが可能となる。
【実施例】
【0034】
次に、この発明の具体的実施例について説明する。
【0035】
<実施例1>
上述した図1に示す構成を有する流量制御装置を用いて、染料原液の流量制御を行った。すなわち、流量制御装置の主管路の吸入口を、染料原液が貯留された染料原液タンクの底部に連通接続し、表1に示す各設定流量に設定して流量制御装置を駆動させ、染料原液をそれぞれ1時間送流した時の実際の流量を、大流量(2〜20L/分)で送流する場合には主管路流量計からの流量値出力をA/D変換ボードを介し、パソコンでモニターし、データ処理、記録し、一方、小流量(0.2〜2L/分)で送流する場合にはバイパス管路流量計からの流量値出力を同じくA/D変換ボードを介し、パソコンでモニターし、データ処理、記録した。そして、これらより、実際の流量の変動率((実際の流量−設定流量)÷設定流量×100)の最大値を求めた。これらの結果を表1に示す。
【0036】
上記流量制御装置を構成するポンプとしてはギヤポンプ(制御可能流量範囲2〜20L/分)を用い、また調節弁として山武ハネウエル社製調節弁(調節弁:型番HLS ACT.HA1R、単動形HEP電気−空気式バルブポジショナ:型番HEP15−114、制御可能流量範囲0.2〜2L/分)を、バイパス管路流量計として電磁流量計(検出可能流量範囲0.2〜2L/分)を、主管路流量計として電磁流量計(検出可能流量範囲2〜20L/分)を用いた。
【0037】
なお、流体を大流量(2〜20L/分)で送流する場合には、切替バルブの切替えにより主管路のみを流路として用いた。一方、流体を小流量(0.2〜2L/分)で送流する場合には、切替バルブの切替えにより主管路からバイパス管路を経由する流路を用いるとともに、ギヤポンプの開度はいずれの場合にも流量が2L/分となるように設定して行った。
【0038】
【表1】
【0039】
<比較例1>
1本の管路(101) と、該管路(101) に設けられたポンプ(102) とからなる、図6に示す構成を有する流量制御装置(100) を用いて、染料原液の流量制御を行った。すなわち、流量制御装置(100) の管路の吸入口(103) を、染料原液が貯留された染料原液タンクの底部に連通接続し、表1に示す各設定流量に設定して流量制御装置(100) を駆動させ、染料原液をそれぞれ1時間送流した時の実際の流量を、管路の吐出口(104) 側に設けた流量計を用いて実施例1と同様にしてパソコンでモニターし、データ処理、記録した。そして、これらより実際の流量の変動率の最大値を求めた。結果を表2に示す。なお、ポンプは実施例1と同一のギヤポンプを用いた。
【0040】
【表2】
【0041】
<評価結果>
表1から明らかなように、この発明の実施例1の流量制御装置によれば、0.2〜20L/分という幅広い流量範囲にわたって最大変動率がほぼ±0.5%以内となっており、幅広い流量範囲にわたって極めて高精度に流量を制御しつつ染料原液を送流することができる。
【0042】
これに対し、この発明の範囲を逸脱する比較例1の流量制御装置では、0.2〜2L/分の小流量範囲においては最大変動率が大きく流量制御の精度が悪くなっており、このように0.2〜20L/分という幅広い流量範囲においては精度良く流量を制御して染料原液を送流することができなかった。
【発明の効果】
【0043】
請求項1の発明によれば、主管路のみを流路とし、ポンプのみを開度調整することにより、ポンプ本来の吐出流量範囲内で高精度に流量制御しつつ大流量で送流することができる一方、ポンプにより一旦低流量に制御して送流した流体をバイパス管路に送流し、調節弁の開度調整により更に絞り込み制御することにより、ポンプ本来の吐出流量範囲の下限領域をはるかに超える低流量で送流することができる。このように小流量から大流量まで広い流量範囲に渡って高精度に流量を可変制御することができるとともに、これが単一のポンプにて成し得るものであり、複数のポンプを装備させる必要がないので、低コスト、省設備スペース化を図ることができる。
【0044】
請求項2の発明によれば、調節弁の絞り込みにより余分となる流体を無駄にすることなく戻り管路を通じて再度主管路に戻して再利用することができるから、流体を経済的に送流することができる。
【図面の簡単な説明】
【0045】
【図1】この発明の一実施形態にかかる流量制御装置の構成を示す系統図である。
【図2】流体の流路を示す説明図であって、同図(イ)は大流量で送流する場合、同図(ロ)は小流量で送流する場合をそれぞれ示すものである。
【図3】自動調液システムの構成の一例を示す系統図である。
【図4】別の実施形態にかかる流量制御装置の構成を示す系統図である。
【図5】ポンプの吐出流量範囲と調整弁の制御流量範囲の相対関係の例を示す説明図である。
【図6】比較例にかかる流量制御装置の構成を示す系統図である。
【符号の説明】
【0046】
1…流量制御装置
2…ポンプ
3…流量計
4…調節弁
5…管路
5a…主管路
5b…バイパス管路
5c…戻り管路
10…吸入口
11…吐出口
Claims (2)
- 一端に流体を取り込む吸入口と、他端に流体の吐出口とを有する主管路と、
該主管路中に設けられた所定の吐出流量範囲を有する単一のポンプと、
前記主管路中におけるポンプより吐出口側の位置から分岐して吐出口に至るバイパス管路と、
前記分岐部に設けられた切替バルブと、
前記バイパス管路中に設けられた流量計及び調節弁とからなり、
該調節弁の制御流量範囲が、前記ポンプの所定の吐出流量範囲よりも低流量側の流量範囲を包含するとともに、前記流量計により検知された計測値に基づいて調節弁の開度調整が行われるようになされていることを特徴とする流量制御装置。 - 前記バイパス管路における流量計より吸入口側の位置と、前記主管路のうちポンプより吸入口側の位置とを連通接続する戻り管路が設けられている請求項1に記載の流量制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16155397A JP3553320B2 (ja) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | 流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16155397A JP3553320B2 (ja) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | 流量制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH117323A JPH117323A (ja) | 1999-01-12 |
JP3553320B2 true JP3553320B2 (ja) | 2004-08-11 |
Family
ID=15737308
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16155397A Expired - Fee Related JP3553320B2 (ja) | 1997-06-18 | 1997-06-18 | 流量制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3553320B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104681470A (zh) * | 2015-03-10 | 2015-06-03 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 化学药液分配系统及其流量控制方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3615438B2 (ja) | 1999-11-04 | 2005-02-02 | 住江織物株式会社 | 自動調色検定装置及び染液の自動調液システム |
EP3295977B1 (en) * | 2016-09-16 | 2020-02-26 | Dentsply IH AB | Motorized irrigation system with improved flow control |
-
1997
- 1997-06-18 JP JP16155397A patent/JP3553320B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104681470A (zh) * | 2015-03-10 | 2015-06-03 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 化学药液分配系统及其流量控制方法 |
CN104681470B (zh) * | 2015-03-10 | 2017-08-22 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 化学药液分配系统及其流量控制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH117323A (ja) | 1999-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0962846B1 (en) | Flow control device | |
US5246026A (en) | Fluid measuring, dilution and delivery system | |
EP0909610B1 (en) | Liquid dispensing apparatus and method | |
US11839860B2 (en) | On-demand in-line-blending and supply of chemicals | |
CN109695599A (zh) | 变量液压系统、泵输出流量控制方法、工程机械 | |
CN110325479A (zh) | 水净化和施配系统及方法 | |
JP3553320B2 (ja) | 流量制御装置 | |
US4873057A (en) | Apparatus for carrying out a titration procedure for the chemical analysis of a sample | |
CA1339908C (en) | Dye color control system | |
AU2013341306B2 (en) | Fluid injection system | |
CN101273317A (zh) | 使用点工艺控制搅拌机系统及相应方法 | |
CN108593522A (zh) | 一种自动在线加标净水滤芯测试线及加标方法 | |
CN104681470A (zh) | 化学药液分配系统及其流量控制方法 | |
CN109029965A (zh) | 一种中央回转接头测试用液压系统 | |
CN117448146A (zh) | 基因测序仪、液路系统及控制方法 | |
JP2022160142A (ja) | クーラント供給装置 | |
CN106168234B (zh) | 一种定量泵变量液压系统 | |
CN215333705U (zh) | 一种用于智能灌桩机用多功能新型阀组 | |
JPH0947121A (ja) | 薬液混入装置 | |
WO1999024155A2 (en) | Batch mixing control method and apparatus | |
JP2652693B2 (ja) | 流量調節弁の制御方法 | |
KR100586439B1 (ko) | 반도체 제조용 케미컬의 혼합 시스템 및 그 방법 | |
CN217736461U (zh) | 智能调节装置 | |
JP7454448B2 (ja) | 液肥混合システム | |
JP7446166B2 (ja) | 液肥供給システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20031216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20031224 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040406 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040428 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090514 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090514 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100514 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110514 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |