JP3543790B2

JP3543790B2 - Measuring method of surface micro-projections on tubular specimen

Info

Publication number: JP3543790B2
Application number: JP2001191318A
Authority: JP
Inventors: 修三阪上; 諭宮崎
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2001-06-25
Filing date: 2001-06-25
Publication date: 2004-07-21
Anticipated expiration: 2021-06-25
Also published as: JP2003004439A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
チューブ状検査物は、加熱定着装置の加圧ローラに用いられるフッ素系の耐熱樹脂であってもよく、本発明は、外周表面に存在すると印字の妨げになる微小な突起を検出して、これを事前に排除する検査装置の計測方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
加熱定着装置の加圧ローラに用いられるチューブは、離型剤を塗布した芯金に、ワニス、プライマー及び耐熱性のポリイミド樹脂を多層に塗布した後、焼成して、厚さ１ｍｍ以下の薄い円筒に形成される。従来から、塗布原料に不可避的に混入する微粒の異物がチューブの外周表面に露呈し、加熱定着時の印字の妨げになることがあった。これ等は、目視ないしＣＣＤカメラを用いた検査により排除されていたが、見逃しや誤検出により良品を排除することもあって検査結果の信頼性に欠けていた。
【０００３】
そこで、検査物に直にセンサを接触させて検査する方法を検討した。この種の検査方法として特開平９−３０４０２６号公報に、シート状検査物の凸状欠陥と厚さを計測する図５に示すような装置が開示されている。
【０００４】
図５において１０１は、矢印Ｘ方向に受けロール１０２によって移送されるシート状検査物である。受けロール１０２に対抗してタッチロール１０３が、シート状検査物１０１を挟んで配置されている。又、タッチロール１０３の上下動に連動するセンサ１０５がタッチロール１０３の軸受に固定されている。そして、フレーム１０４を介して、タッチロール１０３をシート状検査物１０１から開放する支持装置１０６が設けられている。
【０００５】
ロール１０２によって移送されるシート状検査物１０１は、接触しているタッチロール１０３の動きに連動するセンサ１０５により監視される。センサ１０５の信号は、別途設ける演算装置に入力して合否判定をする。欠陥情報は、別途設けるＣＲＴモニターに表示したり、印字用のプリンターを接続して出力することもできる。
【０００６】
この従来技術によれば、連続的に移送されるシート状検査物を受けロールとタッチロールとで挟み、タッチロールをシート状検査物の厚み及び凸状欠陥に対応して移動可能として、このタッチロールと連動するセンサによりタッチロールの動きに応じてシート状検査物の厚み及び凸状欠陥の検出を行うため、タッチロールはシート状検査物に接触した状態で凸状欠陥を検出することができ、したがってこの検出のための隙間調整などは不要となり、しかも一対のロールでシート状検査物を挟み込むことからロールの撓みによる検出誤差が発生することなく、簡単かつ正確に凸状欠陥を検出することができる。また受けロールとタッチロールとでシート状検査物を挟み込んでいるため、タッチロールの動きにもとづいてシート状検査物の厚みを測定することもできると説明されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
加熱定着装置の加圧ローラの外周に被覆されるチューブの凸状欠陥は、トナーの転写材への定着を妨げる。図６は、定着不良の見本である。図６における転写材２０１に印字された白くボケた個所２０２の中心に凸状欠陥が存在する。この定着不良は、チューブの外周に３０μｍ以上の凸状欠陥があると発生することが経験的に知られている。この様な微小な凸状欠陥は、タッチロールの単なる上下動からでの検出では困難であり、耐熱性のポリイミド樹脂は弾力性を有するのでソフトな接触圧による検出を要求される。従って本発明は、弾力性を有するチューブ状検査物の外周表面に存在する２０μｍ以上の微小突起を正確に検出する計測方法を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
円筒の受けロールの外周にチューブ状検査物を嵌装したところに、ユニバーサルに支持されたタッチロールを並立させて接近させ、前記タッチロールの外周を線接触さし、前記タッチロールの両端部に極板が取付けられ、それに向き合って変位センサを配置し、前記受けロールを一回転させる間に前記タッチロールの挙動を前記変位センサで監視することで、前記チューブ状検査物の表面に存在する微小な突起を検出する。このとき前記タッチロールは両端を軸受けを介してフレームに回転自在に支持され、前記フレームは前記タッチロールの回転軸に対して垂直方向に回転軸を有し、かつ前記受けロールの回転軸に対してほぼ並行に可動できる機構を有する。
【０００９】
タッチロールの両端部に変位センサを配置して、外周にチューブ状検査物を嵌装した受けロールの一回転当りの変位量を演算装置に入力し、双方の変位センサの受けロールとタッチロールの偏心を含む信号波形のうねりを相殺し、予め定める閾値を基準にチューブ状検査物の表面に存在する微小な突起を検出する。
【００１０】
受けロールに接触するタッチロールは、インデックステーブル上を移動してくるチューブ状検査物の検査工程の直前に、粘着ロールによって外周に付着する異物を除去することによって、チューブ状検査物と一体となっている表面微小突起と、これに付着する異物との誤検出を防ぐ。
【００１１】
インデックステーブル上を移動してくるチューブ状検査物の外周は、検査工程の直前に、吹出または吸引ブロアと静電気除去装置を用いて、チューブ状検査物の外周表面に付着する異物が除去して、チューブ状検査物と一体となっている表面微小突起と、これに付着する異物との誤検出を防ぐ。
【００１２】
【発明の実施の形態】
先ず、本発明の検査装置の概要について説明する。検査対象となるチューブは、離型剤を塗布した芯金に、ワニス、プライマー及び耐熱性のポリイミド樹脂を多層に塗布した後、焼成して、厚さ１ｍｍ以下の薄い円筒に形成される。このチューブは、インデックステーブル上の受けロールに自動的に嵌装され、受けロールに適宜設ける微小穴を介して所定位置に真空吸着される。そして定められるステップにおいて、搬送中乃至設備との接触によりチューブの表面に付着した微細なゴミは、静電気除去装置と吹出または吸引ブロアによって除去される。
【００１３】
一方、受けロールに接触するタッチロールは、粘着ゴムの被覆された粘着ロールによって外周に付着している異物が除去される。チューブ状検査物が検査ステーションに移動すると、受けロールの外周に嵌装され、端部に変位センサを配置してユニバーサルに支持されたタッチロールが、所定の測定圧で受けロールに線接触する。この時の受けロールの一回転当りの変位センサが出力する信号を演算装置に入力し、変位センサの受けロールとタッチロールの偏心を含む信号波形のうねりを相殺し、予め定める閾値を基準にチューブ状検査物の表面に存在する微小な突起を検出する。検査終了後チューブは、受けロールから放出され、インデックステーブル上を移動し、合否判定後、取出ステーションにて良品ボックスと不良品ボックスにロボットで仕分けられる。
【００１４】
以下に、本発明のチューブ状検査物の表面微小突起の計測方法（手順）を添付した図面に基づいて詳細に説明する。図１に、受けロールとタッチロールの部分的な相対関係図を示す。インデックステーブル(図示なし)上を移動してくるチューブ状検査物１を嵌装した受けロール２の一端はステップモータ３に連結されて、検査ステーションに到達すると矢印Ａのように一回転する。一方、ユニバーサルに支持されているタッチロール４の両端には、Ｌ字型の極板５が配置され、磁気に反応する変位センサ６と向き合っている。
【００１５】
チューブ状検査物１の微小突起１ａが存在すると、ユニバーサルに支持されているタッチロール４は傾いて、極板５と変位センサ６の距離が変化する。変位センサ６が出力する信号を演算装置７に入力し、予め定める閾値を基準にチューブ状検査物１の微小突起１ａを検出する。
【００１６】
耐熱性のポリイミド樹脂から成るチューブ状検査物１は弾力性を有するので、微小突起１ａがつぶされない程度のソフトな接触圧による検出を要求される。又、微小突起１ａを見逃すことなく検出するためには、タッチロール４は、受けロール２に平行に動くのではなく、微小突起１ａに乗り上げたとき傾斜して、端部に配置された変位センサ６の一方は、実態より見掛け上大きな変位量を示すのが好ましい。従って、タッチロール４はユニバーサルに支持されるのが好ましい。図２に、その実施例としてユニバーサル支持機構を示す。図２（ａ）は側方断面図であり、図２（ｂ）は平面断面図である。
【００１７】
図２（ａ）において、タッチロール４は両端を軸受け８を介してフレーム９に回転自在に支持されている。さらにフレーム９は、ヨーク１０の支持ピンＡ１１の支点Ｏ_１を中心に矢印Ｂの如く揺動する。そしてヨーク１０は、支柱１２と一体となっている二又１２ａに、支持ピンＢ１３の図２（ｂ）に示す支点Ｏ_２を中心にタッチロール４を矢印Ｃの如く揺動できる。極板５の対面には、変位センサ６が支柱１２に固定されている。
【００１８】
図２（ｂ）において、ヨーク１０の動きは、一方をヨーク１０の止まり穴１０ａに、他方を支柱１２の止まり穴１２ｂに支持される圧縮バネ１４により、支点Ｏ_２を中心にタッチロール４が反時計方向に附勢され、ヨーク１０と一体となっているストッパー１０ｂによって規制されている。受けロール２に対するタッチロール４の接触圧を調整する圧縮バネ１４の附勢力は、突起１ａをつぶさないように１４０〜１６０ｇｆに設定するのが好ましい。
【００１９】
図１に示す微小突起１ａがタッチロール４の下方端部からＬ_１のところに存在すると仮定すれば、上方端に配置する変位センサ６の変位量αの測定線Ｍの延長したところに位置するＬ_２を一辺とする三角形ａｄｅと三角形ａｂｃとは相似形だから、微小突起１ａの高さＳ_１は、見掛け上Ｓ_２=Ｌ_２・Ｓ_１／Ｌ_１として検出される。下方端に配置する変位センサ６の変位量はβとして検出される。微小突起１ａの出現は極めてランダムであるため、タッチロール４が傾かず両端の変位センサ６の変位量が同等となることはない。微小突起１ａの高さＳ_１の検出精度は任意に設定可能であるが、本発明では２０μｍ以上に設定してある。
【００２０】
チューブ状検査物１は、インデックステーブル上を移動する間に、チューブ状検査物１の表面に付着するゴミを静電気除去して吸引ブロアによりクリーニングされる。一方、タッチロール４も別途設ける粘着ロールによって、表面に付着するゴミがクリーニングされる。その後、インデックステーブル上を移動して円弧状の軌跡を辿りながら検査ステージに到達したチューブ状検査物１は、受けロール２に嵌装される。次に、受けロール２は、図２に示す支持機構によってユニバーサルに支持されるタッチロール４と所定の接触圧で線接触して、微小突起１ａの計測が開始される。
【００２１】
次に、変位センサ６の出力信号の演算装置７における処理手順について説明する。変位センサ６が捉える変位は、受けロール２やタッチロール４の円筒度、軸受けの偏心等、設備固有の外乱要因を含んでいる。そこで、これ等の外乱要因を除去する必要がある。
【００２２】
図３に、変位センサ６の出力信号をアナログ波形としてパターン化したものを示す。図３では、縦軸に変位量が、横軸にチューブ状検査物１の表面の一回転当りの変動パターンが示されている。図３において（イ）は、図１に示されるように微小突起１ａが上方に偏って存在した場合の下方端の変位センサ６の変位量βをパターン化したものである。同様に（ロ）は、上方端の変位センサ６の変位量αをパターン化したものである。（イ）と（ロ）の信号は同時に演算装置７に入力され、外乱要因を除去するため、（イ）から（ロ）を減じて一本の（ハ）の信号パターンに合成される。さらに、予め定める閾値に準じてうねりをフラットにし、（ニ）の合否判定パターンを得る。（ニ）の特異点の高さＳが、２０μｍを越えていれば不良品と判定する。
【００２３】
これ等一連の計測手順を、図４のフローチャートに従って説明する。別途の製造ラインで形成されたチューブは、本発明の（１）検査装置の投入ステーションにセットされる。次に、（２）ゴミ取りステーションに移動し、（３）ここで搬送中乃至設備との接触によりチューブに付着した微細なゴミは、静電気除去装置と吹出または吸引ブロアによって除去される。（４）クリーニングされたチューブは、検査ステーションに移動した後、（５）チューブは、受けロールに嵌装され、（６）適宜設ける微小穴を介して所定位置に真空吸着される。一方、チューブを受けロールに嵌装中に、他の指令系統によって、検査ステーションから退避している、（７）突起を検出するタッチロールに粘着ロールを接触させる。（８）タッチロールの外周に付着している異物を、粘着ロールによってクリーニングする。（６）、（８）の工程終了後、（９）受けロールとユニバーサルに支持されているタッチロールを線接触させる。（１０）受けロールを一回転させる。（１１）タッチロールの両端に配置する変位センサの信号を演算装置に入力する。（１２）両端の変位センサの信号から外乱要因を除去する。（１３）外乱要因を除去した合成信号を得る。（１４）閾値に照らし、突起の合否判定を行う。（１５）受けロールからチューブを放出する。（１６）取出しステーションに移動する。（１７）良品であれば、ロボットにて良品ボックスに搬送される。（１８）不良品であれば、不良品ボックスに搬送する。
【００２４】
【発明の効果】
本発明の検査工程では、チューブ状検査物の嵌装されている受けロールとタッチロールが線接触する直前に、チューブ状検査物の表面とタッチロールのクリーニング工程を設けたから、チューブ状検査物の表面に付着する異物を突起物と誤検出することはない。
【００２５】
チューブ状検査物の嵌装されている受けロールに、タッチロールを線接触する際、チューブ状検査物の表面に存在する突起がつぶされないように、タッチロールが突起に乗り上げたら傾けるようタッチロールをユニバーサルに支持したから、タッチロールの端部に配置する変位センサの一方が実態より見掛け上大きな変位量を検出して微小な突起を敏感に検出することができる。
【００２６】
変位センサが捉える変位量は、受けロール２やタッチロール４の円筒度、軸受けの偏心等、設備固有の外乱要因を含んでいるので、これ等を合成信号として捉え、閾値以下の信号をフラットにして外乱要因を除去したから、突起を正確に検出できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の受けロールとタッチロールの部分的な相対関係図である。
【図２】本発明のタッチロールのユニバーサル支持機構である。
【図３】本発明の変位センサの信号をアナログ波形に加工したものである
【図４】本発明のフローチャートである。
【図５】従来のシート状検査物の検査装置の概念図である。
【図６】トナーの定着不良の見本である。
【符号の説明】
１チューブ状検査物
１ａ微小突起
２受けロール
３ステップモータ
４タッチロール
５極板
６変位センサ
７演算装置
８軸受け
９フレーム
１０ヨーク
１１支持ピンＡ
１２支柱
１２ａ二又
１３支持ピンＢ
１４圧縮バネ[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The tube-shaped inspection object may be a fluorine-based heat-resistant resin used for a pressure roller of the heat fixing device, and the present invention detects minute projections that interfere with printing if they are present on the outer peripheral surface. The present invention relates to a measurement method of an inspection device that eliminates in advance.
[0002]
[Prior art]
The tube used for the pressure roller of the heat fixing device is a thin cylinder having a thickness of 1 mm or less, after applying a varnish, a primer and a heat-resistant polyimide resin in multiple layers to a core metal coated with a release agent. Formed. Heretofore, fine foreign matter inevitably mixed into the coating material has been exposed on the outer peripheral surface of the tube, which sometimes hinders printing during heating and fixing. These have been excluded by visual inspection or inspection using a CCD camera, but non-existent products have been excluded due to oversight or erroneous detection, and the reliability of inspection results has been lacking.
[0003]
Therefore, a method of inspecting by directly contacting the sensor with the inspection object was examined. As an inspection method of this kind, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-304026 discloses an apparatus as shown in FIG. 5 for measuring a convex defect and a thickness of a sheet-like inspection object.
[0004]
In FIG. 5, reference numeral 101 denotes a sheet-like inspection object transferred by the receiving roll 102 in the direction of arrow X. A touch roll 103 is arranged opposite to the receiving roll 102 with the sheet-like inspection object 101 interposed therebetween. Further, a sensor 105 that is interlocked with the vertical movement of the touch roll 103 is fixed to a bearing of the touch roll 103. Further, a support device 106 that releases the touch roll 103 from the sheet-like inspection object 101 via the frame 104 is provided.
[0005]
The sheet-like inspection object 101 transferred by the roll 102 is monitored by a sensor 105 that is linked to the movement of the touch roll 103 that is in contact. The signal of the sensor 105 is input to a separately provided arithmetic unit to determine whether or not the signal is acceptable. The defect information can be displayed on a separately provided CRT monitor or output by connecting a printing printer.
[0006]
According to this conventional technique, a continuously transferred sheet-like inspection object is sandwiched between a roll and a touch roll, and the touch roll can be moved in accordance with the thickness and the convex defect of the sheet-like inspection object. A sensor linked to the roll detects the thickness and convexity of the sheet-like inspection object according to the movement of the touch roll, so that the touch roll can detect the convexity defect in contact with the sheet-like inspection object. Therefore, it is not necessary to adjust the gap for this detection, etc. In addition, since the sheet-like inspection object is sandwiched between the pair of rolls, the detection of the convex defect can be easily and accurately detected without generating the detection error due to the bending of the roll. Can be. Further, it is described that since the sheet-like inspection object is sandwiched between the receiving roll and the touch roll, the thickness of the sheet-like inspection object can be measured based on the movement of the touch roll.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
The convex defect of the tube that covers the outer periphery of the pressure roller of the heat fixing device prevents the toner from being fixed on the transfer material. FIG. 6 is a sample of the fixing failure. A convex defect exists at the center of the white blurred portion 202 printed on the transfer material 201 in FIG. It is empirically known that this fixing failure occurs when there is a convex defect of 30 μm or more on the outer periphery of the tube. Such a minute convex defect is difficult to detect by merely moving the touch roll up and down, and since a heat-resistant polyimide resin has elasticity, detection by a soft contact pressure is required. Accordingly, an object of the present invention is to provide a measurement method for accurately detecting a minute protrusion of 20 μm or more existing on the outer peripheral surface of a tubular inspection object having elasticity.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
A tubular test object in was fitted to the outer periphery of the cylinder of the receiving rolls, the touch roll which is supported on the universal is close by collateral, the outer periphery of the touch roll pointing line contact, both ends of the touch roll An electrode plate is attached to the surface of the tubular inspection object by monitoring the behavior of the touch roll with the displacement sensor while rotating the receiving roll once. Detect small projections. At this time, the touch roll is rotatably supported at both ends by a frame via bearings, the frame has a rotation axis in a direction perpendicular to the rotation axis of the touch roll, and with respect to the rotation axis of the receiving roll. And a mechanism that can move almost in parallel.
[0009]
Displacement sensors are arranged at both ends of the touch roll, and the amount of displacement per rotation of the receiving roll with the tubular inspection object fitted on the outer periphery is input to the arithmetic unit, and the displacement of the receiving roll of both displacement sensors and the touch roll is input. The undulation of the signal waveform including the eccentricity is canceled, and a minute protrusion existing on the surface of the tubular inspection object is detected based on a predetermined threshold.
[0010]
The touch roll that comes into contact with the receiving roll is integrated with the tubular inspection object by removing foreign substances adhering to the outer periphery by the adhesive roll immediately before the inspection process of the tubular inspection object moving on the index table. This prevents erroneous detection of the minute surface protrusions and foreign matter adhering thereto.
[0011]
Immediately before the inspection process, foreign matter adhering to the outer peripheral surface of the tubular inspection object is removed from the outer periphery of the inspection object using a blowing or suction blower and a static eliminator. This prevents erroneous detection of a surface microprojection integrated with a tubular inspection object and a foreign substance adhering thereto.
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
First, the outline of the inspection apparatus of the present invention will be described. The tube to be inspected is formed into a thin cylinder having a thickness of 1 mm or less after applying a varnish, a primer and a heat-resistant polyimide resin in multiple layers to a core metal coated with a release agent. This tube is automatically fitted to a receiving roll on the index table, and is vacuum-sucked to a predetermined position through a fine hole provided in the receiving roll as appropriate. In a defined step, fine dust adhering to the surface of the tube during transportation or contact with equipment is removed by a static eliminator and a blowing or suction blower.
[0013]
On the other hand, foreign substances adhering to the outer periphery of the touch roll contacting the receiving roll are removed by the adhesive roll coated with adhesive rubber. When the tubular inspection object moves to the inspection station, the touch roll fitted on the outer periphery of the receiving roll and having a displacement sensor disposed at an end thereof and universally supported makes linear contact with the receiving roll at a predetermined measurement pressure. At this time, a signal output from the displacement sensor per one rotation of the receiving roll is input to the arithmetic unit, the undulation of the signal waveform including the eccentricity of the receiving roll and the touch roll of the displacement sensor is canceled, and the tube is set based on a predetermined threshold value. Detects minute projections on the surface of the test object. After the inspection, the tube is released from the receiving roll, moves on the index table, and after a pass / fail judgment, is sorted by the robot into a non-defective box and a defective box at the unloading station.
[0014]
Hereinafter, the method (procedure) of measuring the surface microprojections of the tubular inspection object of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. FIG. 1 shows a partial relative relationship diagram between the receiving roll and the touch roll. One end of a receiving roll 2 fitted with a tubular inspection object 1 moving on an index table (not shown) is connected to a stepping motor 3, and when it reaches an inspection station, makes one rotation as indicated by an arrow A. On the other hand, at both ends of the touch roll 4 supported universally, L-shaped electrode plates 5 are arranged, and face a displacement sensor 6 which reacts to magnetism.
[0015]
When the minute protrusion 1a of the tubular inspection object 1 exists, the touch roll 4 supported universally is inclined, and the distance between the electrode plate 5 and the displacement sensor 6 changes. A signal output from the displacement sensor 6 is input to the arithmetic unit 7, and the minute protrusion 1a of the tubular inspection object 1 is detected based on a predetermined threshold.
[0016]
Since the tubular inspection object 1 made of a heat-resistant polyimide resin has elasticity, detection by a soft contact pressure that does not crush the minute projections 1a is required. In order to detect the minute projection 1a without missing, the touch roll 4 does not move in parallel with the receiving roll 2, but tilts when it rides on the minute projection 1a, and is displaced at the end. It is preferable that one of 6 shows an apparently larger displacement amount than the actual state. Therefore, the touch roll 4 is preferably supported universally. FIG. 2 shows a universal support mechanism as an embodiment thereof. FIG. 2A is a side sectional view, and FIG. 2B is a plan sectional view.
[0017]
In FIG. 2A, both ends of the touch roll 4 are rotatably supported by a frame 9 via bearings 8. Moreover frame 9 is swung as indicated by arrow B about the fulcrum _{O 1} of the supporting pin A11 of the yoke 10. The yoke 10 is bifurcated 12a that is the pillar 12 integrally, a touch roll 4 about the fulcrum _{O 2} shown in FIG. 2 (b) of the support pin B13 can swing as indicated by arrow C. A displacement sensor 6 is fixed to the column 12 on the opposite side of the pole plate 5.
[0018]
In FIG. 2 (b), the movement of the yoke 10, the one to the blind hole 10a of the yoke 10, by a compression spring 14 supported the other to blind hole 12b of the strut 12, a touch roll 4 about the fulcrum _{O 2} It is urged counterclockwise and is regulated by a stopper 10b integrated with the yoke 10. The urging force of the compression spring 14 for adjusting the contact pressure of the touch roll 4 to the receiving roll 2 is preferably set to 140 to 160 gf so as not to crush the projection 1a.
[0019]
Assuming microprojections 1a shown in FIG. 1 is present at the lower end of the touch roll 4 of L _1, is located in place by extending the measurement line M of the displacement amount α of the displacement sensor 6 arranged at the upper end L ₂ and because similar shape is a triangle ade triangle abc to one side, the height _{S 1} microprojection 1a is detected as apparently _{_{_{S 2 = L 2 · S 1}}} / L 1. The displacement amount of the displacement sensor 6 disposed at the lower end is detected as β. Since the appearance of the minute projections 1a is extremely random, the displacement of the displacement sensors 6 at both ends does not become equal because the touch roll 4 does not tilt. The height detection accuracy of the S ₁ microprojection 1a can be arbitrarily set, the present invention is set to more than 20 [mu] m.
[0020]
While moving on the index table, the tubular inspection object 1 removes dust adhering to the surface of the tubular inspection object 1 and is cleaned by a suction blower. On the other hand, dust adhered to the surface is cleaned by a separately provided adhesive roll for the touch roll 4. After that, the tubular inspection object 1 that has reached the inspection stage while moving on the index table and following an arc-shaped trajectory is fitted on the receiving roll 2. Next, the receiving roll 2 comes in line contact with the touch roll 4 universally supported by the support mechanism shown in FIG. 2 at a predetermined contact pressure, and the measurement of the minute protrusion 1a is started.
[0021]
Next, a processing procedure of the output signal of the displacement sensor 6 in the arithmetic unit 7 will be described. The displacement detected by the displacement sensor 6 includes disturbance factors unique to the equipment, such as the cylindricity of the receiving roll 2 and the touch roll 4 and the eccentricity of the bearing. Therefore, it is necessary to remove these disturbance factors.
[0022]
FIG. 3 shows an output signal of the displacement sensor 6 patterned as an analog waveform. In FIG. 3, the vertical axis indicates the displacement amount, and the horizontal axis indicates the fluctuation pattern per rotation of the surface of the tubular inspection object 1. In FIG. 3, (a) shows a pattern of the displacement β of the displacement sensor 6 at the lower end when the minute projections 1a are biased upward as shown in FIG. Similarly, (b) is a pattern of the displacement amount α of the displacement sensor 6 at the upper end. The signals (a) and (b) are simultaneously input to the arithmetic unit 7 and are combined into one signal pattern (c) by subtracting (b) from (a) in order to remove disturbance factors. Further, the swell is flattened according to a predetermined threshold, and the pass / fail judgment pattern of (d) is obtained. If the height S of the singular point in (d) exceeds 20 μm, it is determined to be defective.
[0023]
A series of these measurement procedures will be described with reference to the flowchart of FIG. The tube formed on a separate production line is set in the charging station of the inspection device (1) of the present invention. Next, (2) it moves to a dust removal station, and (3) fine dust adhering to the tube during transportation or contact with equipment is removed by a static eliminator and blowing or suction blower. (4) After the cleaned tube is moved to the inspection station, (5) the tube is fitted on a receiving roll, and (6) vacuum-adsorbed to a predetermined position through a minute hole provided appropriately. On the other hand, while the tube is being fitted to the receiving roll, the adhesive roll is brought into contact with the (7) touch roll that is retracted from the inspection station and detects the protrusion by another command system. (8) Foreign matter adhering to the outer periphery of the touch roll is cleaned by the adhesive roll. After the steps (6) and (8), (9) the receiving roll and the touch roll supported universally are brought into line contact. (10) One rotation of the receiving roll. (11) The signals of the displacement sensors arranged at both ends of the touch roll are input to the arithmetic unit. (12) Disturbance factors are removed from the signals of the displacement sensors at both ends. (13) Obtain a synthesized signal from which disturbance factors have been removed. (14) Pass / fail judgment of the projection is performed in light of the threshold value. (15) Release the tube from the receiving roll. (16) Move to the unloading station. (17) If the product is non-defective, it is transported to a non-defective box by a robot. (18) If the product is defective, it is transported to a defective product box.
[0024]
【The invention's effect】
In the inspection step of the present invention, a cleaning step of the surface of the tubular inspection object and the touch roll is provided immediately before the receiving roll on which the tubular inspection object is fitted and the touch roll are in line contact, so that the inspection of the tubular inspection object is performed. Foreign matter adhering to the surface is not erroneously detected as a protrusion.
[0025]
When the touch roll is in line contact with the receiving roll on which the tubular inspection object is fitted, the touch roll should be tilted so that the projection existing on the surface of the tubular inspection object is not crushed. Since it is universally supported, one of the displacement sensors disposed at the end of the touch roll can detect an apparently larger displacement amount than the actual state, and can sensitively detect minute projections.
[0026]
Since the displacement amount captured by the displacement sensor includes disturbance factors inherent to the equipment, such as the cylindricity of the receiving roll 2 and the touch roll 4 and the eccentricity of the bearing, the displacement amount is captured as a composite signal, and the signal below the threshold is flattened. As a result, the protrusion can be accurately detected.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a partial relative relationship diagram of a receiving roll and a touch roll of the present invention.
FIG. 2 is a universal support mechanism of the touch roll of the present invention.
FIG. 3 shows a signal obtained by processing a signal of the displacement sensor of the present invention into an analog waveform. FIG. 4 is a flowchart of the present invention.
FIG. 5 is a conceptual diagram of a conventional sheet-like inspection object inspection apparatus.
FIG. 6 is a sample of defective toner fixation.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Tubular inspection object 1a Micro projection 2 Receiving roll 3 Step motor 4 Touch roll 5 Electrode plate 6 Displacement sensor 7 Computing device 8 Bearing 9 Frame 10 Yoke 11 Support pin A
12 Support 12a Bifurcated 13 Support pin B
14 Compression spring

Claims

A tubular test object in was fitted to the outer periphery of the cylinder of the receiving rolls, the touch roll which is supported on the universal is close by collateral, the outer periphery of the touch roll pointing line contact, both ends of the touch roll An electrode plate is attached to the surface of the tubular inspection object by monitoring the behavior of the touch roll with the displacement sensor while rotating the receiving roll once. A method for detecting a minute projection , wherein the touch roll is rotatably supported at both ends by a frame via a bearing, the frame has a rotation axis in a direction perpendicular to the rotation axis of the touch roll, A method for measuring minute projections on the surface of a tubular inspection object, comprising a mechanism capable of moving substantially parallel to the rotation axis of the receiving roll .

The displacement sensors are arranged at both ends of the touch roll, and the amount of displacement per rotation of the receiving roll in which a tubular inspection object is fitted on the outer periphery is input to a calculation device, and the receiving amount of both of the displacement sensors is calculated. The undulation of the signal waveform including the eccentricity of the roll and the touch roll is canceled, and a minute protrusion existing on the surface of the tubular inspection object is detected based on a predetermined threshold. A method for measuring microscopic protrusions on the surface of a tubular inspection object.

The foreign matter adhering to the outer periphery of the touch roll that comes into contact with the receiving roll is removed by an adhesive roll immediately before an inspection process of the receiving roll that moves on an index table. 3. The method for measuring microscopic projections on a surface of a tubular inspection object according to 2.

Immediately before the inspection process, the outer periphery of the receiving roll fitted with the tube-like inspection object moving on the index table is blown or suction blower and the static electricity eliminator, and the outer periphery of the tube-like inspection object is used. The method according to any one of claims 1 to 3, wherein a foreign substance adhering to the surface is removed.