JP3539659B2 - Semiconductor device manufacturing method and lead frame used in the method - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の製造方法およびその方法において用いられるリードフレームに関し、特に、封止体形成領域およびダミー樹脂体形成領域ならびに前記両領域を連結する連結樹脂体形成領域を有するリードフレームに、トランスファモールドによって封止体(パッケージ)およびダミー樹脂体ならびに連結樹脂体を形成した後、前記連結樹脂体および前記ダミー樹脂体をリードフレーム部分の切断によってリードフレームから切断分離する技術に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
IC(集積回路装置)等の半導体装置において、半導体チップやワイヤ等を樹脂(レジン)による封止体によって封止する構造が知られている。
【0003】
樹脂封止型半導体装置は、リードフレームを使用して製造される。半導体チップの固定およびワイヤボンディングが終了したリードフレームは、トランスファモールド装置によって封止領域(封止体形成領域)がモールドされる。その後封止領域から食み出したレジンバリの除去、リードを連結するタイバー(ダム)の切断除去,リード切断,リード成形等が行われ、所望の半導体装置が製造される。
【0004】
日経BP社発行「VLSIパッケージング技術(下)」1993年5月15日発行、P41〜P50には、バリ取り,ダム切断,リード切断,リード成形等の技術について記載されている。
【0005】
また、樹脂封止型半導体装置の製造において、封止体内に気泡(ボイド)を発生させないようにするため、モールド金型にオーバランナ,ダミーキャビティ,フローキャビティ等の樹脂溜まりを設け、空気を多く含む樹脂流の先端部分を前記オーバランナ,ダミーキャビティ,フローキャビティ等に案内するようになっている。
【0006】
前記オーバランナ,ダミーキャビティについては、たとえば工業調査会発行「電子材料」1987年8月号、同年8月1日発行、P73〜P79に記載されている。また、同文献には、パッケージ周りの不要部分(樹脂落とし,タイバーカット,ピンチリードカット,リードカットなど)の処理技術(トリム&フォーム)について記載されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本出願人においては、パッケージ内に気泡が発生しないように、トランスファモールドにおいてダミー樹脂体形成用キャビティ(フローキャビティ)を有するモールド金型を使用している。また、モールド後は前記ダミー樹脂体形成用キャビティに形成されたダミー樹脂体をリードフレームから切断除去するとともに、同時に前記ダミー樹脂体と封止体を連結する連結樹脂体が形成されたリードフレーム部分(以下、この部分を説明の便宜上、特に被切断除去リードフレーム部分と呼称する)を切断して前記連結樹脂体をリードフレームから分離している。前記ダミー樹脂体はリードフレームの表裏面に亘る領域に設けるが、前記連結樹脂体はリードフレームの一面(たとえば下面)に設けられる。
【0008】
図15および図16はトランスファモールドが終了したリードフレーム1であり、いずれもリードフレーム1の表裏に亘る封止体(パッケージ)2およびダミー樹脂体3と、リードフレーム1の裏面(下面)に設けられた連結樹脂体4が示されている。
【0009】
モールド後、図17に示すように、切断装置のダミー樹脂体切断機構10によって、前記ダミー樹脂体3および連結樹脂体4を切断除去してリードフレーム1から分離する。前記ダミー樹脂体切断機構10は、ダイ11上にリードフレーム1を載置した後、パンチガイド12でパンチ13をガイドし、パンチ13の押し下げによってリードフレーム部分を切断して、前記ダミー樹脂体3と連結樹脂体4を切断除去する。
【0010】
図18は前記ダミー樹脂体3と連結樹脂体4を切断除去したリードフレーム1を示す図であり、図19は切断分離されたダミー樹脂体3と連結樹脂体4を示すものである。
【0011】
図15に示すように、前記ダミー樹脂体3はリードフレーム1に穿たれた開口部23内に形成され、かつ前記開口部23内に延在する細い支持部24によって支持される構造となっていることから、パンチ13の窪んだ押下面13aでダミー樹脂体3を押し下げることで前記支持部24の両端は切断されるため、ダミー樹脂体3はリードフレーム1から分離される。
【0012】
また、前記連結樹脂体4は前記ダミー樹脂体3に連なることから、連結樹脂体4を分離するためには、連結樹脂体4が張り付く被切断除去リードフレーム部分9を連結樹脂体4の両側に沿って切断し、かつパッケージ2との界面部分を破断する必要がある。連結樹脂体4を支持するリードフレーム部分の切断、すなわち、被切断除去リードフレーム部分9の切断は、前記ダイ11とパンチ13によって行われる。図17には被切断除去リードフレーム部分9が切断されて小片14となった状態が示されている。
【0013】
また、パッケージ2と連結樹脂体4との界面部分は細く括れているため、前記パンチ13の突出した押下面13bで分離された小片14を押し下げると前記界面で破断する。したがって、パンチ13の押し下げによってダミー樹脂体3および連結樹脂体4等からなる打ち抜き片8は、図19に示すように、リードフレーム1から分離する。
【0014】
しかし、前記小片14はその下面が連結樹脂体4に張り付く構造、あるいは小片14の下面が連結樹脂体4に張り付き、端面が前記ダミー樹脂体3に張り付く構造となっているだけであることから、小片14は連結樹脂体4等から容易に剥離して、図17に示すように、打ち抜き片8から剥離してパンチ13の押下面13bに張り付く現象が発生する。
【0015】
前記小片14はその後の機械の振動等によって容易に脱落する。また、前記小片14には樹脂塊が付着している場合があり、このような場合前記小片14の脱落時等に樹脂塊は分離して落下する。前記小片14や樹脂塊の落下は後続の製品の加工時つぎのような弊害をもたらす。
【0016】
すなわち、前記小片14や樹脂塊が脱落してリードフレーム(リード)やパッケージに付着すると、切断金型では、リードフレームをクランプした際、付着した小片や樹脂塊の介在によって段差が生じ、リードの付け根のパッケージ部分に大きな力が作用してパッケージにクラック(割れ),欠け等が生じる。図20にパッケージ2にクラック15が発生した状態を示す。
【0017】
また、前記応力はパッケージの内部にまで及び、半導体チップにクラックや割れが発生することもある。これらの現象は製品不良の原因となる。
【0018】
また、図21はリードフレーム1のリード5部分に樹脂塊が介在された場合であり、リード5の表面に打痕7が付く。この打痕7は外観不良となる。また、リード5部分に小片14や樹脂塊が介在された状態でダミー樹脂体等の切断を行うと、リード5が曲がる場合がある。
【0019】
また、金型内の搬送レール,装置の搬送レールに小片や樹脂塊が付着すると、搬送不良を引き起こし、金型破損やリードフレーム(半導体装置)破損が発生し、生産不能や歩留り低下等の製造不良を引き起こす。
【0020】
本発明の目的は、リードフレーム小片や樹脂塊の脱落に起因する製品不良や製造不良等の発生を防止できるリードフレームを提供することにある。
【0021】
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであろう。
【0022】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【0023】
(1)封止体形成領域および開口部を有するダミー樹脂体形成領域ならびに前記両領域を連結する連結樹脂体形成領域を有し、さらに前記連結樹脂体形成領域から前記ダミー樹脂体形成領域の開口部に突出する連結片を有するように形成されたリードフレームを用意する工程と、
前記封止体形成領域内に半導体チップを固定するとともに前記半導体チップの電極と前記リードフレームのリードの一部分とを電気的に接続する工程と、
上型と下型からなりそれらにより封止体形成用キャビティ、ダミー樹脂体形成用キャビティおよび通過流路を構成するモールド金型を準備し、前記封止体形成用キャビティと前記封止体形成領域が、前記ダミー樹脂体形成用キャビティと前記ダミー樹脂体形成領域が、前記通過流路と前記連結樹脂体形成領域がそれぞれ対応して位置するように前記金型に前記リードフレームを挟む工程と、
前記金型内に樹脂を充填することにより、前記リードフレームの表裏面を覆う封止体及びダミー樹脂体並びに前記リードフレームの片面を覆い反対側の面は覆わない前記ダミー樹脂体よりも幅の狭い連結樹脂体とを形成する工程と、
前記ダミー樹脂体および前記連結樹脂体を支えるリードフレーム部分を切断して前記ダミー樹脂体および前記連結樹脂体を除去する工程とを有する。
【0024】
前記リードフレームは、表裏面が樹脂で覆われる封止体形成領域と表裏面が樹脂で覆われる開口部を有するダミー樹脂体形成領域を有し、さらに表面又は裏面のどちらか一方の面が樹脂で覆われ前記封止体形成領域とダミー樹脂体形成領域を連結する連結樹脂体形成領域を有し、さらに前記連結樹脂体形成領域から前記ダミー樹脂体形成領域の開口部に突出する連結片を有するように形成された構成になっている。前記ダミー樹脂体形成領域を横切る支持部を有する。リードフレームの切断部分(たとえば、被切断除去リードフレーム部分の両側の切断部分や支持部の切断部分)は、切断され易い形状や断面形状になっている。具体的にはリードフレームの切断部分は不連続な貫通穴が設けられたり、あるいは部分的にまたは全体的に薄くなっている。
【0025】
(2)前記手段(1)の構成において、前記支持部の少なくとも一部は前記連結片を構成している。
【0026】
(3)前記手段(1)および手段(2)の構成において、前記連結片の連結樹脂体形成領域との接続部分は前記ダミー樹脂体形成領域の開口部に突出する部分の幅よりも広くなっている。
【0027】
前記(1)の手段によれば、連結樹脂体形成領域から前記ダミー樹脂体形成領域の開口部に突出する連結片を有していることから、連結樹脂体形成領域を形成する被切断除去リードフレーム部分は連結片を介してダミー樹脂体と一体になる。したがって、不要リードフレーム部分の切断において、ダミー樹脂体を押し下げて支持部の両端部分を破断させ、被切断除去リードフレーム部分の両側を切断した場合、被切断除去リードフレーム部分は分離することなくダミー樹脂体と一体になって除去される。この結果、微小な被切断除去リードフレーム部分がパンチに付着しかつ落下してパッケージやリードフレームに付着することによって発生する製品不良や製造不良の発生を防止することができる。
【0028】
前記(2)の手段によれば、前記支持部の少なくとも一部が前記連結片を構成している構造のリードフレームでも、半導体装置の製造において、被切断除去リードフレーム部分の分離に起因する製品不良や製造不良の発生を防止することができる。
【0029】
前記(3)の手段によれば、前記連結片の連結樹脂体形成領域との接続部分は前記ダミー樹脂体形成領域の開口部に突出する部分の幅よりも広くなっていることから、即ち、前記連結片の連結樹脂体形成領域の付け根部分は分断されないように幅が広くなっていることから、被切断除去リードフレーム部分がダミー樹脂体から分離することがない。したがって、半導体装置の製造において、被切断除去リードフレーム部分の分離に起因する製品不良や製造不良の発生を防止することができる。
【0030】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、発明の実施の形態を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【0031】
(実施形態1)
本実施形態1の半導体装置の製造方法においては、最初に図2に示すようなリードフレーム1が用意される。リードフレーム1は、0.15〜0.2mm程度の厚さの鉄−ニッケル系合金板,銅板,銅合金板等をエッチングまたは精密プレスによってパターニングすることによって形成される。
【0032】
リードフレーム1は、平行に延在する一対の外枠16と、前記一対の外枠16に直交しかつ前記一対の外枠16を連結する内枠17とからなっている。また、前記一対の外枠16と隣接する2本の内枠17とによって形成される枠の中央には、矩形の支持板(タブ)19が位置している。この支持板19は、前記外枠16の内側から延在する支持リード20に支持されている。前記支持リード20は途中で二股となり、二股側が外枠16に固定される構造となっている。また、支持リード20の付け根の裏面には、図示はしないが付け根で分断(破断)が容易となるように、分断線に沿ってV字状の溝(ノッチ)が設けられ薄くなっている。
【0033】
前記支持リード20が延在する外枠16の中央部分は幅が広くなり、この幅広部21の一方には矩形のダミー樹脂体形成領域22が設けられている。このダミー樹脂体形成領域22は、矩形状の開口部23で形成されるとともに、前記開口部23にはその中央を横切るように、かつ前記外枠16に平行に延在する細い支持部24を有している。また、前記支持部24の付け根部分は破断部分となることから、図示はしないが前記支持リード20と同様に裏面に分断線に沿ってV字状の溝が設けられている。
【0034】
前記ダミー樹脂体形成領域22は、モールド金型においてダミー樹脂体形成用キャビティ(フローキャビティ)が位置する領域であり、トランスファモールドによってリードフレームの表裏に亘ってダミー樹脂体が形成される。したがって、前記ダミー樹脂体形成領域22は、リードフレーム1の表裏面に存在する。
【0035】
一方、前記内枠17の内側から枠内に向けて複数のリード5が延在している。これらリード5は前記外枠16に平行になっている。また、リード5は、その途中をタイバー(ダム)25によって支持されている。最も外側のタイバー25の一端は前記外枠16の幅広部21に連結されている。また、一部のリード5は前記タイバー25よりも枠中心側で屈曲し、先端を前記支持板19の近傍に臨ませている。
【0036】
前記幅広部21およびタイバー25の内側の領域が封止体形成領域26となる。この封止体形成領域26はリードフレーム1の表裏面にそれぞれ存在する。
【0037】
また、前記封止体形成領域26と、前記ダミー樹脂体形成領域22との間のリードフレーム部分の裏面(下面)は、一定の幅が連結樹脂体形成領域27となる。この連結樹脂体形成領域27は、トランスファモールド時前記封止体形成領域26から前記ダミー樹脂体形成領域22に溶けた樹脂を案内する領域となる。
【0038】
前記連結樹脂体形成領域27は最終的には切断除去される領域である。この切断除去される部分を被切断除去リードフレーム部分9と呼称する。被切断除去リードフレーム部分9は、前記連結樹脂体形成領域27と一致していてもよく,または前記被切断除去リードフレーム部分9の縁が前記連結樹脂体形成領域27の外側に位置するような連結樹脂体形成領域27よりも大きい形状でもよい。
【0039】
本実施形態1では、切断線に沿って切断が容易になるように切断線に沿って不連続な貫通穴29が設けられている。貫通穴29を配置することは形状的な手法であるが、切断線部分を全体的にあるいは部分的に薄くする断面的な手法でも良い。たとえば前記切断線に沿ってV字状の溝を設ける。
【0040】
なお、図2に示すリードフレーム1において、手前中央の裏面部分が、トランスファモールド時のゲート位置である。
【0041】
他方、これが本発明の特徴の一つであるが、前記支持部24と前記被切断除去リードフレーム部分9は細い連結片30で連結されている。これは被切断除去リードフレーム部分9の両側が切断されて被切断除去リードフレーム部分9がリードフレーム1から分離した後もダミー樹脂体形成領域22に形成されるダミー樹脂体と一体とさせるためである。これにより、微小な被切断除去リードフレーム部分9が単独でリードフレーム1から分離するのが防止でき、除去処理されるダミー樹脂体と一体に廃棄処理されることが可能になる。
【0042】
本発明においては、微小な被切断除去リードフレーム部分9が単独でリードフレーム1から分離するのを防止するために、連結樹脂体形成領域27から前記ダミー樹脂体形成領域22の開口部23に突出する連結片33を設けることである。
【0043】
本実施形態1では支持部24の中間部分と被切断除去リードフレーム部分9の中間部分が連結片30で連結されている。
【0044】
さらに、前記リードフレーム1の外枠16には、ガイド孔35が設けられている。このガイド孔35は、リードフレーム1の移送や位置決め等のガイドとして利用される。なお、前記リードフレーム1は必要に応じて所望個所にメッキが施される。
【0045】
つぎに、このようなリードフレーム1を使用してSOJ型の半導体装置を製造する方法について説明する。
【0046】
図2に示すように、リードフレーム1の支持板19上に半導体チップ36を固定した後、前記半導体チップ36の図示しない電極とリード5の先端を導電性のワイヤ37で接続する。
【0047】
つぎに、図3に示すように、常用のトランスファモールド装置のモールド金型40に、チップボンディングおよびワイヤボンディングが終了したリードフレーム1を挟み(型締め)モールドする。モールド金型40は、下型41と上型42とからなり、型締めによって、それぞれ溶けた樹脂が流れる空間となるランナー43,ゲート44,封止体形成用キャビティ45,通過流路46,ダミー樹脂体形成用キャビティ(フローキャビティ)47等が形成される。
【0048】
モールドによって、前記各部には樹脂が充填されかつキュアーされて固められる。前記ランナー43,ゲート44,通過流路46はリードフレーム1の下面(裏面)に設けられ、前記封止体形成用キャビティ45およびダミー樹脂体形成用キャビティ47はリードフレーム1の表裏面に亘って設けられている。この結果、前記封止体形成用キャビティ45には封止体(パッケージ)2が形成され、前記ダミー樹脂体形成用キャビティ47にはダミー樹脂体3が形成され、前記通過流路46には連結樹脂体4が形成される。
【0049】
図4はモールド後のリードフレーム1を示す斜視図であり、図5は断面図である。リードフレーム1の中央の表裏面にはパッケージ2が形成され、後方の幅広部21にはダミー樹脂体3が形成される。また、被切断除去リードフレーム部分9の裏面には連結樹脂体4が形成される。
【0050】
ダミー樹脂体3内には支持部24が両端部分を除いてモールドされる。この支持部24の中央部分から延在する連結片30も前記ダミー樹脂体3内にモールドされ、その先端は被切断除去リードフレーム部分9に連なる。
【0051】
また、前記トランスファモールドによって、パッケージ2とタイバー25とリード5等によって囲まれる領域には樹脂が漏れ出て、いわゆるレジンバリが発生する。
【0052】
なお、図4および図5は、前記ランナー43部分で硬化した樹脂体は示されていない。前記ランナー43の部分で硬化した樹脂体は、モールド金型からリードフレーム1を取り外す際ゲート部分で破断するため、リードフレーム1の状態では前記樹脂体は付着していない。
【0053】
つぎに、前記リードフレーム1に対して不要なリードフレーム部分の切断除去やリードの切断・成形が行われ、図11に示すような樹脂封止型の半導体装置55が製造される。
【0054】
たとえば、(1)前記ダミー樹脂体3,連結樹脂体4および被切断除去リードフレーム部分9の切断除去、(2)レジンバリ・ダム25の切断除去、(3)支持リード20の切断除去、(4)リード5の切断、(5)リード5の成形と加工処理が進む。
【0055】
図6は切断装置におけるダミー樹脂体切断機構10の一部を示す模式的な分解斜視図である。ダイ11に対して相対的に降下するパンチ13は、パンチガイド12によってガイドされてリードフレーム1のダミー樹脂体3と連結樹脂体4の切断除去を行う。すなわち、パンチ13の一部でダミー樹脂体3を押し下げて支持部24の両端部分を破断させ、ダイ11とパンチ13の一部で被切断除去リードフレーム部分9の両側を切断して連結樹脂体4をリードフレーム1から分離する。
【0056】
図7はダミー樹脂体切断機構10に設定したリードフレーム1を示す一部の断面図、図1および図8はダミー樹脂体切断機構10によってダミー樹脂体3および連結樹脂体4部分を切断分離した状態を示す一部の断面図である。
【0057】
ダイ11は、パッケージ2の底面および連結樹脂体4の外側の幅広部21等を支持し、パンチガイド12は前記幅広部21をダイ11とによって挟む。
【0058】
前記ダミー樹脂体3はリードフレーム1のダミー樹脂体形成領域22に形成される。また、前記ダミー樹脂体形成領域22を横切るように細い支持部24が設けられている。また、この支持部24の中間部分から連結片30が被切断除去リードフレーム部分9に延在している。したがって、モールドによって形成されたダミー樹脂体3は、前記支持部24によって支持される構成となり、強く押し下げられると前記支持部24の両端は破断してダミー樹脂体3は下方に落下する。なお、前記支持部24の分断線に沿ってV字溝が設けられていることから、前記支持部24の破断は容易である。
【0059】
したがって、前記パンチ13の窪んだ押下面13aでダミー樹脂体3を押し下げることで容易に前記支持部は切断される。
【0060】
一方、前記連結樹脂体4は被切断除去リードフレーム部分9に張り付いている。したがって、前記被切断除去リードフレーム部分9の両側部分を前記パンチ13の突出した押下面13bとダイ11によって切断して、被切断除去リードフレーム部分9をリードフレーム1から分離することによって連結樹脂体4の除去が達成される。被切断除去リードフレーム部分9の両端、すなわち、切断部分(切断線部分)には不連続に貫通穴29が設けられていることから、ダイ11とパンチ13(押下面13b)による切断は容易である。
【0061】
なお、この切断は前記連結樹脂体4の両側縁から所定距離離れたリードフレーム部分を切断するようにしてもよい。
【0062】
また、前記被切断除去リードフレーム部分9の切断線に沿ってV字状の溝を設けて被切断除去リードフレーム部分9の切断を容易にしても良い。切断を容易にする手段としては、形状的なものと断面的なものがあるが、前記実施形態以外の構造でも良いことは勿論である。
【0063】
また、パッケージ2と連結樹脂体4との界面部分は細く括れているため、前記パンチ13の突出した押下面13bで被切断除去リードフレーム部分9を押し下げると前記界面で破断する。したがって、パンチ13の押し下げによってダミー樹脂体3および連結樹脂体4等からなる打ち抜き片8は、図1および図8に示すように、リードフレーム1から分離する。
【0064】
図9は連結樹脂体4およびダミー樹脂体3等を切断除去したリードフレーム1の斜視図であり、図10は切断分離された打ち抜き片8を示す斜視図である。
【0065】
リードフレーム1から切断分離された被切断除去リードフレーム部分9は、図1および図10に示すように、連結片30を介してダミー樹脂体3内に延在する支持部24に繋がる。また、被切断除去リードフレーム部分9の一面に接着状態にある連結樹脂体4は被切断除去リードフレーム部分9がダミー樹脂体3から分離しないことと、ダミー樹脂体3と一体になっていることから、従来のように脱落しなくなる。この結果、微小屑のもとになる被切断除去リードフレーム部分9や連結樹脂体4の脱落が発生しなくなるとともに、被切断除去リードフレーム部分9がパンチ13に付着することもなくなる。
【0066】
また、打ち抜かれた打ち抜き片8は、図示しない真空バキューム機構によって所定箇所に排除される。
【0067】
その後、前記リードフレーム1は、前述のようにレジンバリの切断除去,支持リード20およびタイバー25の切断除去,リード5の切断が順次なされる。また、単体となった半導体装置のリードは成形され、図11に示すようなSOJ型半導体装置55が製造される。
【0068】
前記打ち抜き片8から被切断除去リードフレーム部分9の部分(小片)が分離することがない。打ち抜き片8は小片部分に比較して大幅に重く、被切断除去リードフレーム部分9がパンチ13に張り付くようなこともない。したがって、その後の加工処理において小片(被切断除去リードフレーム部分9のみの部分)や小片に付着する樹脂塊の脱落は起きなくなり、前記小片や樹脂塊の落下に起因する製品不良(半導体チップクラック,パッケージクラック,リード曲がり等)が発生しなくなり、品質の安定した半導体装置を高歩留りで製造することができる。
【0069】
また、リードフレーム1の搬送機構の駆動部分や切断・成形金型に樹脂塊等が付着しないことから、リードフレーム1の搬送不良が発生しなくなるとともに、切断・成形金型の破損が防止できるため切断・成形装置の稼働率の低下を引き起こすこともない。これにより、製造歩留りの向上、生産性の向上から製品コストの低減を達成することができる。
【0070】
なお、本実施形態1ではダミー樹脂体切断機構10によってダミー樹脂体3と連結樹脂体4の切断除去を行うが、同時にレジンバリを切断除去するようにしてもよい。
【0071】
また、前記支持部24は他の形状でも良い。また、支持部24から延在する連結片30は複数本でもよい。
【0072】
(実施形態2)
図12は本発明の実施形態2であるリードフレームの斜視図、図13は本実施形態2のリードフレームを使用した半導体装置の製造において分離されたダミー樹脂体等を示す斜視図である。
【0073】
本実施形態2のリードフレーム1は、前記支持部24を内枠17に平行に延在させた構造である。すなわち、前記支持部24の一端は被切断除去リードフレーム部分9の略中央部分に連結された構造になっている。この結果、支持部24はダミー樹脂体3を支持する支持体になるとともに、前記支持部24と被切断除去リードフレーム部分9を連結する連結片30を兼ねることになる。
【0074】
したがって、ダミー樹脂体3および被切断除去リードフレーム部分9の切断除去時、前記実施形態1と同様に被切断除去リードフレーム部分9がパンチ13に付着する現象も発生しなくなり、被切断除去リードフレーム部分の分離に起因する製品不良や製造不良の発生を防止することができる。
【0075】
また、本実施形態2では樹脂注入側の幅広部21(図12において手前側の幅広部21)にも開口部23c,支持部24c,連結片30cを設けたリードフレーム1の例を示す。
【0076】
トランスファモールド時、ランナー内を流れる樹脂の先端部分には空気が巻き込まれやすく、そのまま封止体形成用キャビティに樹脂を流入させると、結果としてパッケージ内に気泡(ボイド)が発生してしまう。そこで、ゲートの手前のランナー部分にダミーキャビティを設け、このダミーキャビティ内に空気を多く含む樹脂流先端部分の樹脂を滞留させ、空気の巻き込みの少ない樹脂を封止体形成用キャビティ内に流入させる。
【0077】
本実施形態2のリードフレーム1はこのような手法に対応するリードフレームである。この場合、前記ダミーキャビティに対応してリードフレーム1の幅広部21に開口部23cが設けられかつ支持部24cが設けられる。
【0078】
前記開口部23cと封止体形成領域26との間のリードフレーム部分(被切断除去リードフレーム部分)9cは、前記被切断除去リードフレーム部分9の場合と同様に単に切断した際ダミー樹脂体から分離し、パンチに付着するおそれがある。
【0079】
そこで、本実施形態2では、前記開口部23cを横切るように設けられる支持部24cと被切断除去リードフレーム部分9cを連結する連結片30cを設け、ダミーキャビティ部分に形成されたダミー樹脂体をパンチの一部で押し下げて支持部24cの両端部分を破断させ、ダイとパンチの一部で被切断除去リードフレーム部分9cの両側を切断した時に、被切断除去リードフレーム部分9cをダミー樹脂体と一体状態で切断除去するようにするものである(図13参照)。
【0080】
なお、前記支持部24cが連結片を兼ねる構造にしても前記実施形態と同様な効果、すなわち小片の発生に起因する製品不良や製造不良の発生を抑えることができる。
【0081】
(実施形態3)
図14は本発明の実施形態3であるリードフレームの一部を示す斜視図である。
【0082】
本実施形態3のリードフレーム1では、被切断除去リードフレーム部分9に連なる連結片30の連結樹脂体形成領域の付け根部分は分断されないように幅が広くなっている。これにより、被切断除去リードフレーム部分9cと連結片30との接続部分の機械的強度が高くなる。また、前記幅広部32もダミー樹脂体3にモールドされるため、被切断除去リードフレーム部分9の両側の切断によって発生した小片が連結片30から破断されることは殆どない。
【0083】
したがって、本実施形態3のリードフレーム1を使用した半導体装置の製造においては、被切断除去リードフレーム部分9の切断除去時の小片の発生がなく、小片に起因する製品不良や製造不良の発生を防止することができる。
【0084】
本実施形態3では、被切断除去リードフレーム部分9の両側の切断線部分には、矩形の貫通穴29と切り欠き64が切断を容易にすべく設けられている。
【0085】
なお、本実施形態3では前記幅広部32は支持部24の長手方向に向かって徐々に幅が変化する形状になっているが、幅が段階的に変化する形状でもよい。
【0086】
以上本発明者によってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0087】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【0088】
(1)リードフレームの封止体形成領域とダミー樹脂体形成領域との間の連結樹脂体形成領域のリードフレーム部分(被切断除去リードフレーム部分)は、前記ダミー樹脂体形成領域に設けられた支持部に連なる連結片によって支持されている。したがって、トランスファモールドによって封止体,ダミー樹脂体,連結樹脂体を形成した後、ダミー樹脂体および被切断除去リードフレーム部分を切断除去した際、被切断除去リードフレーム部分は連結片を介してダミー樹脂体内の支持部に連結支持されていることから、被切断除去リードフレーム部分が単独で分離して小片を発生させることがなく、前記小片に起因する製品不良や製造不良の発生を防止することができる。
【0089】
(2)前記連結片は被切断除去リードフレーム部分との付け根部分が幅広部となっていて機械的強度が高いことから、被切断除去リードフレーム部分は連結片から破断分離し難くなる。この結果、小片の発生に起因する製品不良や製造不良の発生を防止することができる。
【0090】
(3)小片の発生を抑えることができるため、小片の発生,剥離に起因した半導体チップクラック,パッケージクラック,リード曲がり等の不良発生が防止でき、信頼性の高い半導体装置を製造することができる。
【0091】
(4)小片の発生を抑えることができるため、小片の発生,剥離に起因した半導体チップクラック,パッケージクラック,リード曲がり等の不良発生が防止でき、製造歩留りの向上から半導体装置の製造コストの低減を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1であるリードフレームを使用した半導体装置の製造におけるダミー樹脂体および連結樹脂体部分の切断除去状態を示す断面図である。
【図2】本実施形態1のリードフレームを示す斜視図である。
【図3】本実施形態1におけるトランスファモールド状態を示すモールド金型部分の断面図である。
【図4】本実施形態1におけるトランスファモールド後のリードフレームの斜視図である。
【図5】本実施形態1におけるトランスファモールド後のリードフレームの断面図である。
【図6】本実施形態1のリードフレームを使用した半導体装置の製造においてダミー樹脂体等の切断分離を行うダミー樹脂体切断機構を示す模式図である。
【図7】本実施形態1におけるダミー樹脂体切断機構に設定したリードフレームを示す一部の断面図である。
【図8】本実施形態1におけるダミー樹脂体切断機構によってダミー樹脂体および連結樹脂体部分を切断分離した状態を示す一部の断面図である。
【図9】本実施形態1におけるダミー樹脂体および連結樹脂体部分を切断除去したリードフレームの斜視図である。
【図10】本実施形態1における分離されたダミー樹脂体等を示す斜視図である。
【図11】本実施形態1のリードフレームを使用した半導体装置の製造によって製造された半導体装置の斜視図である。
【図12】本発明の実施形態2であるリードフレームの斜視図である。
【図13】本実施形態2のリードフレームを使用した半導体装置の製造において分離されたダミー樹脂体等を示す斜視図である。
【図14】本発明の実施形態3であるリードフレームの一部を示す斜視図である。
【図15】本出願人による半導体装置の製造においてトランスファモールドによって封止体およびダミー樹脂体等を形成したリードフレームを示す斜視図である。
【図16】本出願人による半導体装置の製造においてトランスファモールドによって封止体およびダミー樹脂体等を形成したリードフレームを示す正面図である。
【図17】本出願人による半導体装置の製造においてダミー樹脂体および連結樹脂体部分の切断除去状態を示す一部の断面図である。
【図18】本出願人による半導体装置の製造においてダミー樹脂体および連結樹脂体部分を切断除去したリードフレームの斜視図である。
【図19】本出願人による半導体装置の製造において分離されたダミー樹脂体等を示す斜視図である。
【図20】パッケージ部分にクラックが発生した状態を示すリードフレームの一部の斜視図である。
【図21】リード部分に圧痕が発生した状態を示すリードフレームの一部を示す斜視図である。
【符号の説明】
1…リードフレーム、2…封止体(パッケージ)、3…ダミー樹脂体、4…連結樹脂体、5…リード、7…打痕、8…打ち抜き片、9…被切断除去リードフレーム部分、9c…リードフレーム部分、10…ダミー樹脂体切断機構、11…ダイ、12…パンチガイド、13…パンチ、13a,13b…押下面、14…小片、15…クラック、16…外枠、17…内枠、19…支持板(タブ)、20…支持リード、21…幅広部、22…ダミー樹脂体形成領域、23,23c…開口部、24,24c…支持部、25…タイバー(ダム)、26…封止体形成領域、27…連結樹脂体形成領域、29,29c…貫通穴、30,30c…連結片、32…幅広部、35…ガイド孔、36…半導体チップ、37…ワイヤ、40…モールド金型、41…下型、42…上型、43…ランナー、44…ゲート、45…封止体形成用キャビティ、46…通過流路、47…ダミー樹脂体形成用キャビティ(フローキャビティ)、55…半導体装置、64…切り欠き。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for manufacturing a semiconductor device and a lead frame used in the method, and more particularly, to a lead frame having a sealing body forming area, a dummy resin body forming area, and a connecting resin body forming area connecting the two areas. After forming a sealing body (package), a dummy resin body, and a connection resin body by molding, the present invention is effective when applied to a technique of cutting and separating the connection resin body and the dummy resin body from a lead frame by cutting a lead frame portion. About technology.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In a semiconductor device such as an IC (integrated circuit device), a structure in which a semiconductor chip, a wire, and the like are sealed with a sealing body made of a resin (resin) is known.
[0003]
The resin-encapsulated semiconductor device is manufactured using a lead frame. The sealing region (sealing body formation region) of the lead frame on which the fixing of the semiconductor chip and the wire bonding are completed is molded by the transfer molding device. Thereafter, removal of resin burrs protruding from the sealing region, cutting and removal of tie bars (dams) connecting leads, lead cutting, lead molding, and the like are performed, and a desired semiconductor device is manufactured.
[0004]
"VLSI Packaging Technology (Lower)" issued by Nikkei BP, published on May 15, 1993, P41 to P50, describe technologies such as deburring, dam cutting, lead cutting, and lead molding.
[0005]
In the manufacture of the resin-encapsulated semiconductor device, a resin reservoir such as an overrunner, a dummy cavity, or a flow cavity is provided in the mold to contain a large amount of air in order to prevent air bubbles (voids) from being generated in the encapsulated body. The tip of the resin flow is guided to the overrunner, the dummy cavity, the flow cavity and the like.
[0006]
The overrunner and the dummy cavity are described in, for example, "Electronic Materials" issued by the Industrial Research Institute, August 1987, Aug. 1, pp. 73-79. The document also describes a processing technique (trim & form) for unnecessary parts (resin removal, tie bar cut, pinch lead cut, lead cut, etc.) around the package.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
In the present applicant, a mold having a cavity (flow cavity) for forming a dummy resin body is used in the transfer mold so that air bubbles are not generated in the package. Further, after the molding, the dummy resin body formed in the cavity for forming the dummy resin body is cut off from the lead frame, and at the same time, the lead frame portion where the connection resin body for connecting the dummy resin body and the sealing body is formed. (Hereinafter, for convenience of explanation, this portion is particularly referred to as a cut-and-removed lead frame portion), and the connection resin body is separated from the lead frame. The dummy resin body is provided in a region extending over the front and back surfaces of the lead frame, while the connecting resin body is provided on one surface (for example, the lower surface) of the lead frame.
[0008]
FIGS. 15 and 16 show the
[0009]
After the molding, as shown in FIG. 17, the
[0010]
FIG. 18 is a view showing the
[0011]
As shown in FIG. 15, the
[0012]
Since the
[0013]
Further, since the interface between the
[0014]
However, since the
[0015]
The
[0016]
That is, when the
[0017]
Further, the stress extends to the inside of the package, and cracks and cracks may occur in the semiconductor chip. These phenomena cause product failure.
[0018]
FIG. 21 shows a case where a resin lump is interposed in the
[0019]
Also, if small pieces or resin lumps adhere to the transfer rail in the mold or the transfer rail of the device, a transfer failure is caused, the mold is damaged, and the lead frame (semiconductor device) is damaged. Cause a defect.
[0020]
An object of the present invention is to provide a lead frame that can prevent the occurrence of a product defect, a production defect, or the like due to a lead frame piece or a resin block falling off.
[0021]
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.
[0022]
[Means for Solving the Problems]
The outline of a typical invention among the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
[0023]
(1) a sealing resin body forming region, a dummy resin body forming region having an opening, and a connecting resin body forming region connecting the two regions;AreaPreparing a lead frame formed to have a connecting piece projecting from the opening of the dummy resin body forming region from the
While fixing the semiconductor chip in the sealing body forming region, the electrode of the semiconductor chip andA part of the lead of the lead frame;Electrically connecting;
A mold for forming a sealing body forming cavity, a dummy resin body forming cavity and a passage channel comprising the upper and lower molds is prepared, and the sealing body forming cavity and the sealing body forming region are prepared. However, a step of sandwiching the lead frame in the mold such that the dummy resin body forming cavity and the dummy resin body forming region are positioned so that the passage channel and the connecting resin body forming region respectively correspond to each other.
By filling the mold with resin, the sealing body and the dummy resin body covering the front and back surfaces of the lead frame and the opposite side surface covering the one side of the lead frame and having a width wider than that of the dummy resin body not covering the lead frame. Forming a narrow connecting resin body;
Cutting the dummy resin body and the connecting resin body by cutting the lead frame portion supporting the dummy resin body and the connecting resin body.
[0024]
The lead frame,Both sides are covered with resinSealing body formation areaAnd the front and back are covered with resinDummy resin body forming region having openingHaving a connection resin body formation region that connects the sealing body formation region and the dummy resin body formation region, wherein one of the front surface and the back surface is covered with a resin,Further, the connection resin body forming regionFromIt is configured to have a connecting piece protruding from the opening of the dummy resin body forming region. The dummy resin body forming areaCrossSupportHaving.The cut portion of the lead frame (for example, the cut portion on both sides of the cut / removed lead frame portion and the cut portion of the support portion) has a shape or a cross-sectional shape that is easily cut. Specifically, the cut portion of the lead frame is provided with discontinuous through holes or is partially or entirely thinned.
[0025]
(2) In the configuration of the means (1), at least a part of the support portion constitutes the connection piece.
[0026]
(3) In the configuration of the means (1) and the means (2), a connection resin body forming region of the connection piece.The connection portion with the portion protruding from the opening of the dummy resin body formation regionwidththanIt is getting wider.
[0027]
According to the means (1), since the connecting piece protrudes from the connecting resin body forming area to the opening of the dummy resin body forming area, the cut-to-be-removed lead forming the connecting resin body forming area. The frame part is integrated with the dummy resin body via the connecting piece. Therefore, when cutting the unnecessary lead frame portion, when the dummy resin body is pushed down to break both end portions of the support portion and both sides of the cut / removed lead frame portion are cut, the cut / removed lead frame portion is not separated without separating the dummy. It is removed integrally with the resin body. As a result, it is possible to prevent the occurrence of product defects and manufacturing defects caused by the minute cut-and-removed lead frame portion adhering to the punch and dropping and adhering to the package or the lead frame.
[0028]
According to the means (2), even in a lead frame having a structure in which at least a part of the support portion constitutes the connecting piece, a product resulting from separation of a cut-and-removed lead frame portion in manufacturing a semiconductor device. It is possible to prevent defects and manufacturing defects from occurring.
[0029]
According to the means (3),Because the connection portion of the connection piece with the connection resin body formation region is wider than the width of the portion protruding into the opening of the dummy resin body formation region, that is,Since the base of the connection resin body forming region of the connection piece is widened so as not to be separated, the cut-and-removed lead frame portion does not separate from the dummy resin body. Therefore, in the manufacture of the semiconductor device, it is possible to prevent the occurrence of a product defect or a production defect due to the separation of the cut and removed lead frame portion.
[0030]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In all the drawings for describing the embodiments of the present invention, components having the same functions are denoted by the same reference numerals, and their repeated description will be omitted.
[0031]
(Embodiment 1)
In the method for manufacturing a semiconductor device according to the first embodiment, first, a
[0032]
The
[0033]
The central portion of the
[0034]
The dummy resin
[0035]
On the other hand, a plurality of
[0036]
A region inside the
[0037]
A fixed width of the back surface (lower surface) of the lead frame portion between the sealing
[0038]
The connection resin
[0039]
In the first embodiment, the discontinuous through-
[0040]
Note that, in the
[0041]
On the other hand, this is one of the features of the present invention. The
[0042]
In the present invention, in order to prevent the minute cut-and-removed
[0043]
In the first embodiment, an intermediate portion of the
[0044]
Further, a
[0045]
Next, a method of manufacturing an SOJ type semiconductor device using such a
[0046]
As shown in FIG. 2, after the
[0047]
Next, as shown in FIG. 3, the
[0048]
Each part is filled with a resin and cured and hardened by a mold. The
[0049]
FIG. 4 is a perspective view showing the
[0050]
The
[0051]
In addition, due to the transfer molding, resin leaks into a region surrounded by the
[0052]
4 and 5 do not show the resin body cured at the
[0053]
Next, unnecessary cutting and removal of the lead frame portion and cutting and molding of the lead are performed on the
[0054]
For example, (1) cutting and removing the
[0055]
FIG. 6 is a schematic exploded perspective view showing a part of the dummy resin
[0056]
7 is a partial sectional view showing the
[0057]
The
[0058]
The
[0059]
Therefore, the supporting portion is easily cut by pressing down the
[0060]
On the other hand, the connecting
[0061]
In addition, this cutting may be performed by cutting the lead frame portions separated from the both side edges of the
[0062]
Further, a V-shaped groove may be provided along a cutting line of the cut / removed
[0063]
Further, since the interface between the
[0064]
FIG. 9 is a perspective view of the
[0065]
The
[0066]
Further, the punched
[0067]
Thereafter, in the
[0068]
The portion (small piece) of the
[0069]
In addition, since no resin block or the like adheres to the driving portion of the transport mechanism of the
[0070]
In the first embodiment, the dummy resin
[0071]
Further, the
[0072]
(Embodiment 2)
FIG. 12 is a perspective view of a lead frame according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 13 is a perspective view showing a dummy resin body and the like separated in the manufacture of a semiconductor device using the lead frame of the second embodiment.
[0073]
The
[0074]
Accordingly, when cutting and removing the
[0075]
Further, in the second embodiment, an example of the
[0076]
At the time of transfer molding, air is easily trapped in the tip of the resin flowing in the runner, and if the resin flows into the cavity for forming the sealing body as it is, bubbles (voids) are generated in the package as a result. Therefore, a dummy cavity is provided in the runner portion just before the gate, the resin at the resin flow front end portion containing a large amount of air is retained in the dummy cavity, and the resin with less air entrainment is caused to flow into the cavity for forming the sealing body. .
[0077]
The
[0078]
The lead frame portion (cut-to-be-removed lead frame portion) 9c between the opening 23c and the sealing
[0079]
Therefore, in the second embodiment, a connecting piece 30c is provided to connect the support portion 24c provided across the opening 23c and the lead frame portion 9c to be cut and removed, and the dummy resin body formed in the dummy cavity portion is punched. Part of the support portion 24c to break both end portions of the support portion 24c. When both sides of the cut-and-removed lead frame portion 9c are cut by a part of the die and punch, the cut-and-removed lead frame portion 9c is integrated with the dummy resin body. The cutting and removal are performed in the state (see FIG. 13).
[0080]
Even when the support portion 24c also serves as a connecting piece, the same effect as in the above-described embodiment, that is, the occurrence of a product defect or a manufacturing defect due to the generation of a small piece can be suppressed.
[0081]
(Embodiment 3)
FIG. 14 is a perspective view showing a part of the lead frame according to the third embodiment of the present invention.
[0082]
In the
[0083]
Therefore, in the manufacture of the semiconductor device using the
[0084]
In the third embodiment, a rectangular through-
[0085]
In the third embodiment, the
[0086]
Although the invention made by the inventor has been specifically described based on the embodiment, the present invention is not limited to the above embodiment, and various changes can be made without departing from the gist of the invention. Nor.
[0087]
【The invention's effect】
The effects obtained by the typical inventions among the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
[0088]
(1) The lead frame portion (the lead frame portion to be cut and removed) of the connecting resin body forming region between the sealing body forming region and the dummy resin body forming region of the lead frame is provided in the dummy resin body forming region. It is supported by a connecting piece connected to the support. Therefore, after the sealing body, the dummy resin body, and the connecting resin body are formed by transfer molding, when the dummy resin body and the lead frame portion to be cut and removed are cut and removed, the lead frame portion to be cut and removed is connected to the dummy via the connecting piece. Since the lead frame portion to be cut and removed is isolated and does not generate a small piece because it is connected and supported by the support portion in the resin body, it is possible to prevent the occurrence of a product defect or a manufacturing defect due to the small piece. Can be.
[0089]
(2) Since the connecting piece has a wide portion at the base of the lead frame portion to be cut and removed and has high mechanical strength, the lead frame portion to be cut and removed is less likely to be broken and separated from the connecting piece. As a result, it is possible to prevent the occurrence of product defects and manufacturing defects due to the generation of small pieces.
[0090]
(3) Since the generation of small pieces can be suppressed, defects such as semiconductor chip cracks, package cracks and lead bending caused by the generation and separation of small pieces can be prevented, and a highly reliable semiconductor device can be manufactured. .
[0091]
(4) Since the generation of small pieces can be suppressed, the occurrence of defects such as semiconductor chip cracks, package cracks, and bent leads due to the generation and separation of small pieces can be prevented, and the manufacturing cost can be reduced by improving the manufacturing yield. Can be achieved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a cut and removed state of a dummy resin body and a connecting resin body part in manufacturing a semiconductor device using a lead frame according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing a lead frame of the first embodiment.
FIG. 3 is a cross-sectional view of a mold portion showing a transfer molding state in the first embodiment.
FIG. 4 is a perspective view of the lead frame after transfer molding in the first embodiment.
FIG. 5 is a sectional view of the lead frame after transfer molding in the first embodiment.
FIG. 6 is a schematic diagram showing a dummy resin body cutting mechanism for cutting and separating a dummy resin body and the like in the manufacture of a semiconductor device using the lead frame of the first embodiment.
FIG. 7 is a partial cross-sectional view showing a lead frame set in the dummy resin body cutting mechanism according to the first embodiment.
FIG. 8 is a partial cross-sectional view showing a state where a dummy resin body and a connecting resin body portion are cut and separated by a dummy resin body cutting mechanism according to the first embodiment.
FIG. 9 is a perspective view of the lead frame according to the first embodiment in which a dummy resin body and a connection resin body are cut and removed.
FIG. 10 is a perspective view showing separated dummy resin bodies and the like in the first embodiment.
FIG. 11 is a perspective view of a semiconductor device manufactured by manufacturing a semiconductor device using the lead frame of the first embodiment.
FIG. 12 is a perspective view of a lead frame that is
FIG. 13 is a perspective view showing a dummy resin body and the like separated in the manufacture of a semiconductor device using the lead frame of the second embodiment.
FIG. 14 is a perspective view showing a part of a lead frame according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 15 is a perspective view showing a lead frame in which a sealing body, a dummy resin body, and the like are formed by transfer molding in the manufacture of a semiconductor device by the present applicant.
FIG. 16 is a front view showing a lead frame in which a sealing body, a dummy resin body, and the like are formed by transfer molding in the manufacture of a semiconductor device by the present applicant.
FIG. 17 is a partial cross-sectional view showing a state in which a dummy resin body and a connection resin body are cut and removed in the manufacture of a semiconductor device by the present applicant.
FIG. 18 is a perspective view of a lead frame in which a dummy resin body and a connection resin body are cut and removed in the manufacture of a semiconductor device by the present applicant.
FIG. 19 is a perspective view showing a dummy resin body and the like separated in the manufacture of a semiconductor device by the present applicant.
FIG. 20 is a perspective view of a part of the lead frame showing a state where a crack has occurred in a package portion.
FIG. 21 is a perspective view showing a part of a lead frame showing a state in which an indent is generated in a lead portion.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記封止体形成領域内に半導体チップを固定するとともに前記半導体チップの電極と前記リードフレームのリードの一部分とを電気的に接続する工程と、
上型と下型からなりそれらにより封止体形成用キャビティ、ダミー樹脂体形成用キャビティおよび通過流路を構成するモールド金型を準備し、前記封止体形成用キャビティと前記封止体形成領域が、前記ダミー樹脂体形成用キャビティと前記ダミー樹脂体形成領域が、前記通過流路と前記連結樹脂体形成領域がそれぞれ対応して位置するように前記金型に前記リードフレームを挟む工程と、
前記金型内に樹脂を充填することにより、前記リードフレームの表裏面を覆う封止体及びダミー樹脂体並びに前記リードフレームの片面を覆い反対側の面は覆わない前記ダミー樹脂体よりも幅の狭い連結樹脂体とを形成する工程と、
前記ダミー樹脂体および前記連結樹脂体を支えるリードフレーム部分を切断して前記ダミー樹脂体および前記連結樹脂体を除去する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。A dummy resin body forming area having a sealing body forming area and an opening, and a connecting resin body forming area connecting the two areas, and further projecting from the connecting resin body forming area to the opening of the dummy resin body forming area; Preparing a lead frame formed to have a connecting piece to be formed,
Fixing the semiconductor chip in the sealing body forming region and electrically connecting the electrodes of the semiconductor chip and a part of the leads of the lead frame,
A mold for forming a sealing body forming cavity, a dummy resin body forming cavity and a passage channel comprising the upper and lower molds is prepared, and the sealing body forming cavity and the sealing body forming region are prepared. However, a step of sandwiching the lead frame in the mold such that the dummy resin body forming cavity and the dummy resin body forming region are positioned so that the passage channel and the connecting resin body forming region respectively correspond to each other.
By filling the mold with resin, the sealing body and the dummy resin body covering the front and back surfaces of the lead frame and the opposite side surface covering the one side of the lead frame and having a width wider than that of the dummy resin body not covering the lead frame. Forming a narrow connecting resin body;
Removing the dummy resin body and the connection resin body by cutting a lead frame portion supporting the dummy resin body and the connection resin body.
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