JP3521532B2 - Magnetic head - Google Patents
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- JP3521532B2 JP3521532B2 JP06424995A JP6424995A JP3521532B2 JP 3521532 B2 JP3521532 B2 JP 3521532B2 JP 06424995 A JP06424995 A JP 06424995A JP 6424995 A JP6424995 A JP 6424995A JP 3521532 B2 JP3521532 B2 JP 3521532B2
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- G11B5/1877—"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers including at least one magnetic thin film
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- G11B5/53—Disposition or mounting of heads on rotating support
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばテープレコーダ
ーやビデオテープレコーダー等の磁気記録再生装置に搭
載して好適な磁気ヘッドに関し、さらに詳しくは、コイ
ルが巻回される巻線溝を一方にのみ有する、いわゆる片
窓タイプの磁気ヘッドの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気記録の分野においては、記録
信号の高密度化が進行しており、高い抗磁力と高い残留
磁束密度を有する磁気記録媒体が使用されるようになっ
ている。これに伴って、磁気ヘッドのコア材料には高飽
和密度を有するとともに高透磁率を有することが要求さ
れている。
【０００３】しかしながら、コア材料として最も広く使
用されている酸化物磁性材料であるフェライトでは、飽
和磁束密度が不十分である。そこで、例えばフェライト
を補助コア材料とし、磁気ギャップ部に高い飽和磁束密
度を有する金属磁性材料より成る薄膜を主コア材として
設けた、いわゆるメタル・イン・ギャップ型の磁気ヘッ
ドが提案され、既に実用化されている。
【０００４】例えば、このメタル・イン・ギャップ型の
磁気ヘッドとして、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の磁性酸化
物により形成される一対の磁気コア半体の突き合わせ面
に磁性金属薄膜形成面を形成し、この磁性金属薄膜形成
面上に真空薄膜形成技術によりセンダスト等の磁性金属
薄膜を被着形成し、これら磁性金属薄膜を当接すること
により磁気ギャップを構成し、さらにトラック幅規制溝
内に融着ガラスを充填してなる磁気ヘッドが、既に種々
提供されている。
【０００５】そして、このような磁気ヘッドとしては、
ヘッド出力等を考慮し、図１５に示すように、コイルが
巻回される巻線溝１０８を一対の磁気コア半体１０２，
１０３のうちの両方ともに有する、いわゆる両窓タイプ
のものと、図１６に示すように、一対の磁気コア半体の
うちの片方のみに上記巻線溝１０８を有する、いわゆる
片窓タイプのものとが存在する。
【０００６】上記図１６に示す磁気ヘッドは、上記片窓
タイプの磁気ヘッドを組み合わせたいわゆるダブルアジ
マスヘッド１１１と言われるものである。このダブルア
ジマスヘッド１１１では、高記録密度に対応するため
に、ベース基板１１２上に２つのヘッドチップ１１３，
１１４を隣接して設置するものである。そして、隣接す
るヘッドギャップＧ１，Ｇ２の間隔が狭いために、上記
各ヘッドチップ１１３，１１４のセンター側の隣接する
側のヘッドコア半体１１３Ａ，１１４Ａには巻線溝１０
８は形成されてはいない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の両窓
タイプの磁気ヘッドの磁性金属薄膜は、成膜条件などに
より磁気異方性を有するが、その磁化困難軸の方向は上
記磁気ヘッドの特性が良好となるように設定され、両磁
気コア半体の磁化困難軸の方向は同じ方向とするのが一
般的である。
【０００８】そこで、従来の片窓タイプの磁気ヘッドに
おいても、磁性金属薄膜の磁気異方性は、これに対応す
る上記両窓タイプの磁気ヘッドの磁磁気異方性の方向を
そのまま用いるというのが通例である。
【０００９】しかしながら、両窓タイプの磁気ヘッドの
磁性金属薄膜の磁気異方性をそのまま利用したのでは、
必ずしも、十分な特性が得られないことが分かってき
た。
【００１０】そこで、本発明は、いわゆる片窓タイプの
磁気ヘッドにおいて、一対のコア半体の各々に対して磁
性金属薄膜の磁気異方性を適正なものとすることで、記
録再生特性を向上させることを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気ヘッド
は、コイルが巻回される巻線溝を有する第１の磁気コア
半体と上記巻線溝を有しない第２の磁気コア半体が互い
に突き合わされて接合一体化され、その突き合わせ面間
に磁気ギャップが構成されてなる磁気ヘッドであり、各
磁気コア半体の突き合わせ面に磁性金属薄膜が成膜され
るとともに、第１の磁気コア半体の磁性金属薄膜の磁化
困難軸の方向がトラック幅方向と略一致され、かつ、第
２の磁気コア半体の磁性金属薄膜の磁化困難軸の方向が
磁気ギャップのデプス方向と略一致されていることによ
り、磁気記録再生出力が向上する。
【００１２】
【作用】本発明に係る磁気ヘッドは、薄膜成膜の磁気異
方性が各々の磁気コアの形状に適した方向に設定されて
いるために、片窓タイプの磁気ヘッドの記録再生特性を
向上させることができる。
【００１３】すなわち、巻線溝を有しない磁気コア半体
の記録再生効率は、磁化困難軸の方向がギャップデプス
方向に略一致する場合の方が高くなる。他方、巻線溝を
有する磁気コアにおいては、磁性金属薄膜の磁化困難軸
の方向がヘッドチップのトラック幅方向に略一致する場
合の方が高くなる。
【００１４】したがって、上記第１の磁気コア半体の磁
性金属薄膜の磁化困難軸の方向をヘッドチップのトラッ
ク幅方向と略一致させ、かつ、上記第２の磁気コア半体
の磁性金属薄膜の磁化困難軸の方向が磁気ギャップのデ
プス方向と略一致させることで、片窓タイプの磁気ヘッ
ドの磁気記録再生出力が大幅に向上する。
【００１５】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１６】作製される磁気ヘッドの構成
本実施例の磁気ヘッド１は、図１に示すように一対の磁
気コア半体２，３を突き合わせて接合一体化され、その
突き合わせ面間に記録又は再生あるいは両方として機能
する磁気ギャップｇが構成されてなる。
【００１７】上記磁気ギャップｇは、例えば、磁気テー
プ等の磁気媒体を磁化したり、該磁気テープの磁束を拾
って再生出力を得る部分であり、上記一対の磁気コア半
体２，３の突き合わせ面に、ＳｉＯ2 等のギャップ膜が
各々成膜されている。
【００１８】また、上記第１の磁気コア半体２には、巻
線溝８が設けられている。この巻線溝８は、第１の磁気
コア半体２の突き合わせ面側に形成され、磁気ギャップ
ｇ側に設けられる傾斜面８ａによって磁気ギャップｇの
デプス（深さ）を規制するとともに、図示しないコイル
が巻回されるもので、上記第１の磁気コア半体２の突き
合わせ面の中途部で略台形状の孔として磁気ヘッド１の
厚さ方向に貫通して形成されている。なお、上記第２の
磁気コア半体３には、巻線溝８は設けられていない。
【００１９】そして特に、上記第１の磁気コア半体２の
突き合わせ面側と第２の磁気コア半体３の突き合わせ面
側には、図２、図３に示すように、磁性金属薄膜形成面
が形成し、この磁性金属薄膜形成面上に真空薄膜形成技
術によりセンダスト等の磁性金属薄膜を被着形成し、磁
性金属薄膜６，７が形成されている。
【００２０】上記第１の磁気コア半体２の磁性金属薄膜
６の磁化困難軸Ｆの方向は、図２に示すように、ヘッド
チップのトラック幅方向（図中矢印Ｘ）と略一致させて
なる。他方、上記第２の磁気コア半体３の磁性金属薄膜
７の磁化困難軸Ｆの方向は、図３に示すように、磁気ギ
ャップｇのデプス方向（図中矢印Ｙ）と略一致させてな
る。
【００２１】このように、本実施例の各磁気コア半体
２、３における磁性金属薄膜６、７の磁化困難軸Ｆの方
向が互いに直交するようになされている。
【００２２】磁気ヘッドの製造方法
次に、上記構成の磁気ヘッドの製造方法について説明す
る。
【００２３】先ず、図４に示すように、フェライト材よ
りなる基板２１を用意する。そして、図５に示すよう
に、フェライト基板２１の主面にガラス充填溝２３と巻
線溝８を長手方向に形成する。
【００２４】次に、図６及び図７に示すように、上記フ
ェライト基板２１に上記両溝２３，８と直交するように
トラック幅規制溝２５を形成する。次に、上記フェライ
ト基板２１を切断し、図８に示すように、第１のフェラ
イト基板３２と第２のフェライト基板３３を作製する。
そして、上記両フェライト基板３２，３３に鏡面加工を
施す。
【００２５】次いで、図９（ａ），（ｂ）に示すよう
に、上記第１のフェライト基板３２及び第２のフェライ
ト基板３３に磁性金属薄膜２６を成膜する。
【００２６】すなわち、上記のようにして構成された第
１のフェライト基板３２と第２のフェライト基板３３
を、スパッタ成膜装置の回転台２９の上に設置する。す
なわち、本実施例では、図９（ｂ）に示すように、上記
巻線溝８を有しない第１のフェライト基板３２と巻線溝
８を有する第２のフェライト基板３３とを回転方向（θ
方向）と半径方向（Ｒ方向）に分けて設置する。する
と、磁性材のスパッタターゲット２７によって、上記ス
パッタ成膜装置２８の回転台２９ごと回転しながら磁性
金属薄膜２６が上記フェライト基板３２，３３に成膜さ
れていく。
【００２７】このとき、回転台２９の回転方向（θ方
向）と半径方向（Ｒ方向）とで成膜された磁性金属薄膜
２６に磁気異方性が現れる。このように、本実施例の製
造方法は、従来のヘッドチップの作成プロセスをほとん
ど変更するものではなく、上記のように回転台２９に設
置する方向だけを変更するするものである。
【００２８】次いで、図１０及び図１１に示すように、
上記第１のフェライト基板３２と第２のフェライト基板
３３の上述したトラック幅規制溝２５の形成により突出
した突出部２８にギャップ膜を形成する。
【００２９】そして、図１２に示すように、上記第１の
フェライト基板３２と第２のフェライト基板３３とを融
着ガラス３０を介して突き合わせ接合一体化する。
【００３０】次に、図１３に示すように、記録媒体摺動
面３１を円弧状に研磨する。最後に、図１４に示すよう
に、複数のヘッドチップにチップ切断して、図１に示す
ような片窓タイプの磁気ヘッド１が完成する。
【００３１】実験結果
ところで、一方の磁気コアに巻線溝を有しない片窓タイ
プの磁気ヘッドにおいて、特に、巻線溝を有しない磁気
コア半体の記録再生効率は、磁化困難軸の方向がギャッ
プデプス方向に略一致する場合の方が高くなるとする実
験結果を得た。
【００３２】すなわち、磁気記録の高密度化にともない
記録再生波長の短波長化が進んでいるが、こうした短波
長記録再生においては、磁気ヘッドの磁化は回転磁化が
支配的になるために、磁気コアの磁路方向が磁化困難軸
の方向に略一致するのが望ましい。したがって、一方の
磁気コアに巻線溝を有しない片窓タイプの磁気ヘッドに
おいては、特に巻線溝を有しない磁気コア半体の記録再
生効率は、磁化困難軸の方向が磁気ギャップｇのデプス
方向に略一致する場合の方が高くなると考えられる。
【００３３】しかしながら、Ｆｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ系
磁性材を白金（Ｐｔ）層を挟んで積層した磁性金属薄膜
をギャップ部に有する磁気ヘッドにおいては、磁性金属
薄膜の磁化困難軸の方向がヘッドチップのトラック幅方
向に略一致する場合の方が、ギャップデプス方向に略一
致する自己記録再生出力が高くなるとする実験結果が得
られている。表１がその実験結果である。
【００３４】なお、この表１は、磁化困難軸の方向が磁
気ギャップｇのデプス方向と略一致するヘッドの出力を
０ｄＢとしたものである。
【００３５】
【表１】
【００３６】これは、磁性金属薄膜が巻線溝により分断
されているために、トラック幅規制溝部分でギャップ近
傍に集まる磁束に影響を与えるトラック幅方向の透磁率
がギャップのデプス方向の透磁率よりヘッド特性に与え
る影響が支配的であるためと考えられる。一方、上記の
ように、スパッタ成膜装置の回転台２９ごと回転しなが
ら製膜された磁性金属薄膜２６の磁気異方性の方向は、
成膜する磁性材料や成膜条件等により決定される。実際
に、短柵状の結晶化ガラス基板を上述のＲ方向とθ方向
に設置し、上記回転台２９を回転させながら成膜したＦ
ｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ系の磁性金属薄膜の保磁力と比透
磁率の違いを調べた。その結果を示したものが表２であ
る。
【００３７】
【表２】
【００３８】この磁性金属薄膜２６の場合、θ方向の透
磁率がＲ方向の透磁率に比べて大きく、磁化困難軸Ｆの
方向がθ方向を向いていることが分かる。
【００３９】以上のことを踏まえて、巻線溝８を有しな
い第１のフェライト基板３２と巻線溝８を有する第２の
フェライト基板３３にＦｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ系の磁性
金属薄膜２６を成膜し、このときヘッドチップ完成時に
磁化困難軸Ｆの方向（θ方向）がトラック幅方向（表
中、「ＴＷ．」で表す。）と略一致するものと、磁気ギ
ャップｇのデプス方向（表中、「Ｇ．Ｄ．」で表す。）
に略一致するものとの各々２種類ずつ磁性金属薄膜２６
を成膜した。
【００４０】そして、（１）巻線溝８を有する第１の磁
気コア半体２と巻線溝８を有しないの第２の磁気コア半
体３との両方の磁性金属薄膜６，７の磁化困難軸Ｆの方
向がトラック幅方向に略一致したものと、（２）両方の
磁性金属薄膜６，７の磁化困難軸Ｆの方向が磁気ギャッ
プｇのデプス方向に略一致したものと、（３）巻線溝８
を有する第１の磁気コア半体２の磁性金属薄膜６の磁化
困難軸Ｆの方向がトラック幅方向に略一致して且つ巻線
溝８を有しない第２の磁気コア半体３との磁性金属薄膜
の磁化困難軸Ｆの方向が磁気ギャップｇのデプス方向に
略一致したものと、（４）巻線溝８を有する第１の磁気
コア半体２の磁性金属薄膜６の磁化困難軸Ｆの方向が磁
気ギャップｇのデプス方向に略一致して且つ巻線溝８を
有しない第２の磁気コア半体３との磁性金属薄膜の磁化
困難軸Ｆの方向がトラック幅方向に略一致したもの、合
計４種類のヘッドチップを作製した。
【００４１】上記４種類の磁気ヘッドチップを用いて作
製した磁気ヘッドの磁気記録再生出力の違いを実験し
た。その結果を表３に示す。なお、この表３は、第１及
び第２の磁気コア半体２，３の磁化困難軸Ｆの方向を磁
気ギャップｇのデプス方向を０ｄＢとしたものである。
【００４２】
【表３】
【００４３】この表３に示すように、上記４種類のうち
の（１）の場合は、−２．５ｄＢであり、（２）の場合
は、０ｄＢであり、（３）の場合は、＋０．８ｄＢであ
り、上記（４）の場合は、−３ｄＢであった。したがっ
て、片窓タイプの磁気ヘッド１においては、図１に示す
ように、巻線溝８を有する第１の磁気コア半体２の磁性
金属薄膜６の磁化困難軸Ｆの方向がトラック幅方向（図
１中矢印Ｘ）に略一致して、且つ、巻線溝８を有しない
第２の磁気コア半体３との磁性金属薄膜６，７の磁化困
難軸Ｆの方向が磁気ギャップｇのデプス方向（図１中矢
印Ｙ）に略一致したものが、磁化異方性が各々の磁気コ
ア半体２、３の形状に最適であることが明らかである。
【００４４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る磁気ヘッドは、各磁気コア半体における磁性金属
薄膜の磁化困難軸の方向が互いに直交するようになされ
ていることにより、従来のヘッドチップの作成プロセス
をほとんど変更することなく、磁性金属薄膜の磁気異方
性が各々の磁気コアの形状に適した方向に設定され、磁
気ヘッドの記録再生特性を向上させることができる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head suitable for mounting on a magnetic recording / reproducing apparatus such as a tape recorder or a video tape recorder, and more particularly, to a magnetic head having a coil. The present invention relates to an improvement of a so-called single window type magnetic head having only one winding groove to be wound. [0002] In recent years, in the field of magnetic recording, the density of recording signals has been increasing, and magnetic recording media having high coercive force and high residual magnetic flux density have been used. I have. Accordingly, the core material of the magnetic head is required to have a high saturation density and a high magnetic permeability. However, ferrite, which is the most widely used oxide magnetic material as a core material, has insufficient saturation magnetic flux density. Therefore, a so-called metal-in-gap type magnetic head in which, for example, ferrite is used as an auxiliary core material and a thin film made of a metal magnetic material having a high saturation magnetic flux density is provided as a main core material in a magnetic gap portion has been proposed, and is already in practical use. Has been For example, as a metal-in-gap type magnetic head, a magnetic metal thin film forming surface is formed on a mating surface of a pair of magnetic core halves formed of a magnetic oxide such as Mn-Zn ferrite. A magnetic metal thin film such as sendust is formed on the magnetic metal thin film forming surface by a vacuum thin film forming technique, and a magnetic gap is formed by abutting the magnetic metal thin films, and a fused glass is formed in the track width regulating groove. Various filled magnetic heads have already been provided. [0005] As such a magnetic head,
In consideration of the head output and the like, as shown in FIG. 15, a winding groove 108 around which the coil is wound is formed with a pair of magnetic core halves 102,
103, so-called double-window type, and as shown in FIG. 16, a so-called single-window type having only one of the pair of magnetic core halves having the winding groove 108. Exists. The magnetic head shown in FIG. 16 is a so-called double azimuth head 111 in which the single-window type magnetic head is combined. In this double azimuth head 111, two head chips 113,
114 are installed adjacent to each other. Since the interval between the adjacent head gaps G1 and G2 is small, the winding grooves 10 are formed in the adjacent head core halves 113A and 114A on the center side of the head chips 113 and 114.
8 is not formed. [0007] The magnetic metal thin film of the conventional double-window type magnetic head has magnetic anisotropy depending on film forming conditions and the like. In general, the head characteristics are set to be good, and the directions of the hard axes of the two magnetic core halves are generally the same. Therefore, even in the conventional single-window type magnetic head, the magnetic anisotropy of the magnetic metal thin film uses the direction of the magnetic anisotropy of the corresponding double-window type magnetic head as it is. Is customary. However, if the magnetic anisotropy of the magnetic metal thin film of the double-window type magnetic head is used as it is,
It has been found that sufficient characteristics cannot always be obtained. Therefore, the present invention provides a so-called single-window type magnetic head in which the magnetic anisotropy of the magnetic metal thin film is made appropriate for each of a pair of core halves, thereby improving the recording / reproducing characteristics. The purpose is to make A magnetic head according to the present invention has a first magnetic core half having a winding groove around which a coil is wound, and a second magnetic core having no winding groove. A magnetic head in which core halves are abutted and joined together, and a magnetic gap is formed between the abutting surfaces.A magnetic metal thin film is formed on the abutting surfaces of the magnetic core halves . Magnetization of magnetic metal thin film of half magnetic core
The direction of the hard axis is approximately the same as the track width direction, and
The direction of the hard axis of the magnetic metal thin film of the magnetic core half
Since the depth substantially coincides with the depth direction of the magnetic gap , the magnetic recording / reproducing output is improved. In the magnetic head according to the present invention, since the magnetic anisotropy of the thin film formation is set in a direction suitable for the shape of each magnetic core, recording / reproducing of a single window type magnetic head is performed. Characteristics can be improved. That is, the recording / reproducing efficiency of the magnetic core half having no winding groove becomes higher when the direction of the hard axis substantially coincides with the gap depth direction. On the other hand, in a magnetic core having a winding groove, the case where the direction of the hard axis of the magnetic metal thin film substantially coincides with the track width direction of the head chip is higher. Therefore, the direction of the hard axis of the magnetic metal thin film of the first magnetic core half is made substantially coincident with the track width direction of the head chip, and the magnetic metal thin film of the second magnetic core half is formed. By making the direction of the hard magnetization axis substantially coincide with the depth direction of the magnetic gap, the magnetic recording / reproducing output of the single window type magnetic head is greatly improved. Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. The magnetic head 1 according to this embodiment has a pair of magnetic core halves 2 and 3 which are joined and integrated as shown in FIG. 1, and recording or reproduction is performed between the mating surfaces. Alternatively, a magnetic gap g functioning as both is formed. The magnetic gap g is a portion for magnetizing a magnetic medium such as a magnetic tape or for obtaining a reproduction output by picking up a magnetic flux of the magnetic tape. The magnetic gap g abuts the pair of magnetic core halves 2 and 3. A gap film such as SiO 2 is formed on each surface. Further, the first magnetic core half 2 is provided with a winding groove 8. The winding groove 8 is formed on the abutting surface side of the first magnetic core half 2, and controls the depth (depth) of the magnetic gap g by an inclined surface 8 a provided on the magnetic gap g side, and is not shown. The coil is wound, and is formed as a substantially trapezoidal hole in the middle of the abutting surface of the first magnetic core half 2 so as to penetrate in the thickness direction of the magnetic head 1. The winding groove 8 is not provided in the second magnetic core half 3. In particular, as shown in FIGS. 2 and 3, the abutting surface of the first magnetic core half 2 and the abutting surface of the second magnetic core half 3, as shown in FIGS. A magnetic metal thin film such as Sendust is formed on the magnetic metal thin film forming surface by a vacuum thin film forming technique to form magnetic metal thin films 6 and 7. As shown in FIG. 2, the direction of the hard axis F of the magnetic metal thin film 6 of the first magnetic core half 2 substantially coincides with the track width direction of the head chip (arrow X in the figure). Become. On the other hand, the direction of the hard axis F of the magnetic metal thin film 7 of the second magnetic core half 3 substantially coincides with the depth direction of the magnetic gap g (arrow Y in the figure) as shown in FIG. . As described above, the directions of the hard magnetization axes F of the magnetic metal thin films 6 and 7 in the magnetic core halves 2 and 3 of the present embodiment are set to be orthogonal to each other. Next, a method of manufacturing the magnetic head having the above-described structure will be described. First, as shown in FIG. 4, a substrate 21 made of a ferrite material is prepared. Then, as shown in FIG. 5, the glass filling groove 23 and the winding groove 8 are formed in the main surface of the ferrite substrate 21 in the longitudinal direction. Next, as shown in FIGS. 6 and 7, a track width regulating groove 25 is formed in the ferrite substrate 21 so as to be orthogonal to the grooves 23 and 8. Next, the ferrite substrate 21 is cut to form a first ferrite substrate 32 and a second ferrite substrate 33 as shown in FIG.
Then, the two ferrite substrates 32 and 33 are mirror-finished. Next, as shown in FIGS. 9A and 9B, a magnetic metal thin film 26 is formed on the first ferrite substrate 32 and the second ferrite substrate 33. That is, the first ferrite substrate 32 and the second ferrite substrate 33 configured as described above
Is set on a rotating table 29 of a sputtering film forming apparatus. That is, in the present embodiment, as shown in FIG. 9B, the first ferrite substrate 32 having no winding groove 8 and the second ferrite substrate 33 having the winding groove 8 are rotated in the rotational direction (θ
Direction) and the radial direction (R direction). Then, the magnetic metal thin film 26 is formed on the ferrite substrates 32 and 33 by rotating the rotary table 29 of the sputtering film forming apparatus 28 by the magnetic material sputtering target 27. At this time, magnetic anisotropy appears in the magnetic metal thin film 26 formed in the rotation direction (θ direction) of the turntable 29 and the radial direction (R direction). As described above, the manufacturing method according to the present embodiment hardly changes the conventional head chip manufacturing process, but changes only the direction in which the head chip is installed on the turntable 29 as described above. Next, as shown in FIGS. 10 and 11,
A gap film is formed on the protruding portion 28 of the first ferrite substrate 32 and the second ferrite substrate 33 formed by the formation of the track width regulating groove 25 described above. Then, as shown in FIG. 12, the first ferrite substrate 32 and the second ferrite substrate 33 are butt-joined and integrated through the fusion glass 30. Next, as shown in FIG. 13, the recording medium sliding surface 31 is polished in an arc shape. Finally, as shown in FIG. 14, the chip is cut into a plurality of head chips to complete the single-window type magnetic head 1 as shown in FIG. Experimental Results By the way, in a single-window type magnetic head having no winding groove in one of the magnetic cores, the recording / reproducing efficiency of the magnetic core half having no winding groove, in particular, depends on the direction of the hard axis. An experimental result was obtained that it was higher in the case of substantially matching in the gap depth direction. That is, the recording / reproducing wavelength has been shortened with the increase in the density of the magnetic recording. In such a short-wavelength recording / reproducing, the magnetization of the magnetic head is dominated by the rotational magnetization. It is desirable that the direction of the magnetic path of the core substantially coincides with the direction of the hard axis. Therefore, in a single-window type magnetic head having no winding groove in one magnetic core, the recording / reproducing efficiency of the magnetic core half having no winding groove is particularly difficult because the direction of the hard axis is the depth of the magnetic gap g. It is considered that the case where the directions substantially coincide with each other is higher. However, in a magnetic head having a gap in which a magnetic metal thin film in which a Fe--Ru--Ga--Si magnetic material is laminated with a platinum (Pt) layer interposed therebetween, the direction of the hard axis of the magnetic metal thin film is There has been obtained an experimental result that the self-recording / reproducing output substantially coincident with the gap depth direction becomes higher when the coincidence substantially coincides with the track width direction of the chip. Table 1 shows the experimental results. In Table 1, the output of the head in which the direction of the hard magnetization axis substantially coincides with the depth direction of the magnetic gap g is set to 0 dB. [Table 1] Since the magnetic metal thin film is divided by the winding groove, the magnetic permeability in the track width direction which affects the magnetic flux gathering near the gap in the track width regulating groove portion is determined by the magnetic permeability in the depth direction of the gap. It is considered that the influence on the head characteristics is more dominant. On the other hand, as described above, the direction of the magnetic anisotropy of the magnetic metal thin film 26 formed while rotating the turntable 29 of the sputtering film forming apparatus is:
It is determined by a magnetic material to be formed, film forming conditions, and the like. Actually, a short fence-shaped crystallized glass substrate was placed in the above-mentioned R direction and θ direction, and F was formed while rotating the turntable 29.
The difference between the coercive force and the relative magnetic permeability of the e-Ru-Ga-Si-based magnetic metal thin film was examined. Table 2 shows the results. [Table 2] In the case of the magnetic metal thin film 26, the magnetic permeability in the θ direction is larger than the magnetic permeability in the R direction, and it can be seen that the direction of the hard axis F is oriented in the θ direction. In view of the above, the first ferrite substrate 32 having no winding groove 8 and the second ferrite substrate 33 having the winding groove 8 are provided on the Fe-Ru-Ga-Si based magnetic metal thin film 26. At this time, when the head chip is completed, the direction (θ direction) of the hard axis F substantially matches the track width direction (represented by “TW.” In the table), and the depth direction of the magnetic gap g. (In the table, it is represented by "GD.")
Two kinds of magnetic metal thin films 26 each of which substantially matches
Was formed. (1) The magnetic metal thin films 6, 7 of both the first magnetic core half 2 having the winding groove 8 and the second magnetic core half 3 having no winding groove 8 (2) a case where the direction of the hard magnetization axis F substantially coincides with the track width direction, and (2) a case where the direction of the hard magnetization axis F of both magnetic metal thin films 6 and 7 substantially coincides with the depth direction of the magnetic gap g. 3) winding groove 8
The direction of the hard magnetic axis F of the magnetic metal thin film 6 of the first magnetic core half 2 having the shape substantially coincides with the track width direction and the magnetic properties of the second magnetic core half 3 having no winding groove 8. The direction of the hard magnetic axis F of the metal thin film substantially coincides with the depth direction of the magnetic gap g; and (4) the hard magnetic axis F of the magnetic metal thin film 6 of the first magnetic core half 2 having the winding groove 8. Direction substantially coincides with the depth direction of the magnetic gap g, and the direction of the axis of hard magnetization F of the magnetic metal thin film with the second magnetic core half 3 having no winding groove 8 substantially coincides with the track width direction. And a total of four types of head chips were produced. An experiment was conducted on the difference in magnetic recording / reproducing output of a magnetic head manufactured using the above four types of magnetic head chips. Table 3 shows the results. In Table 3, the direction of the hard axis F of the first and second magnetic core halves 2 and 3 is set such that the depth direction of the magnetic gap g is 0 dB. [Table 3] As shown in Table 3, of the four types (1), the value is -2.5 dB, (2) is 0 dB, and (3) is +0 dB. 0.8 dB, and in the case of the above (4), it was -3 dB. Therefore, in the single-window type magnetic head 1, as shown in FIG. 1, the direction of the hard magnetization axis F of the magnetic metal thin film 6 of the first magnetic core half 2 having the winding groove 8 is in the track width direction ( The direction of the hard axis F of the magnetic metal thin films 6, 7 substantially coincident with the arrow X) in FIG. 1 and the second magnetic core half 3, which does not have the winding groove 8, is the depth of the magnetic gap g. It is clear that the magnetization anisotropy that is substantially coincident with the direction (arrow Y in FIG. 1) is optimal for the shape of each of the magnetic core halves 2 and 3. As is apparent from the above description, in the magnetic head according to the present invention, the directions of the hard axes of the magnetic metal thin films in the respective magnetic core halves are made to be orthogonal to each other. Thereby, the magnetic anisotropy of the magnetic metal thin film can be set in a direction suitable for the shape of each magnetic core without substantially changing the conventional head chip manufacturing process, and the recording / reproducing characteristics of the magnetic head can be improved. it can.
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの一実施例を示す斜視
図である。
【図２】上記磁気ヘッドの第１の磁気ヘッド半体を示す
斜視図である。
【図３】上記磁気ヘッドの第２の磁気ヘッド半体を示す
斜視図である。
【図４】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、用意するフェライト基板を示す斜視図である。
【図５】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、フェライト基板に巻線溝とガラス溝を施す工程
を示す斜視図である。
【図６】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、フェライト基板にトラック幅規制溝を施す工程
を示す斜視図である。
【図７】上記図６の拡大斜視図である。
【図８】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、第１及び第２のフェライト基板に鏡面加工を施
す工程を示す斜視図である。
【図９】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、（ａ）はスパッタ成膜装置の回転台に置かれた
フェライト基板にスパッタリングする状態を示す模式的
側面図であり、（ｂ）はフェライト基板に磁気異方向性
を付与する状態を示す模式的平面図である。
【図１０】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示
すもので、ギャップ膜を形成する工程を示す斜視図であ
る。
【図１１】上記図１０の拡大斜視図である。
【図１２】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示
すもので、第１のフェライト基板と第２のフェライト基
板とを融着ガラスを介して突き合わせ接合一体化する工
程を示す斜視図である。
【図１３】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示
すもので、記録媒体摺動面を円弧状に研磨する工程を示
す斜視図である。
【図１４】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示
すもので、チップを切断する工程を示す斜視図である。
【図１５】従来の両窓タイプの磁気ヘッドを示す斜視図
である。
【図１６】従来のダブルアジマスヘッドを示す斜視図で
ある。
【符号の説明】
１ 磁気ヘッド
２ 巻線溝を有する第１の磁気コア半体
３ 巻線溝を有しない第２の磁気コア半体
６，７，２６ 磁性金属薄膜
８ 巻線溝
２１ フェライト基板
３０ 融着ガラス
３１ 磁気記録媒体の摺動方向
３２ 第１のフェライト基板
３３ 第２のフェライト基板
Ｆ 磁化困難軸
Ｘ 第１の磁気コア半体の磁性金属薄膜の磁化困難軸の
方向
Ｙ 第２の磁気コア半体の磁性金属薄膜の磁化困難軸の
方向BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view showing one embodiment of a magnetic head according to the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing a first magnetic head half of the magnetic head. FIG. 3 is a perspective view showing a second magnetic head half of the magnetic head. FIG. 4 is a perspective view showing a manufacturing process of the magnetic head according to the embodiment and showing a prepared ferrite substrate. FIG. 5 is a perspective view showing a manufacturing process of the magnetic head according to the embodiment, showing a process of forming a winding groove and a glass groove on a ferrite substrate. FIG. 6 is a perspective view showing a manufacturing process of the magnetic head according to the embodiment, showing a process of forming a track width regulating groove on the ferrite substrate. FIG. 7 is an enlarged perspective view of FIG. 6; FIG. 8 is a perspective view showing a process of manufacturing the magnetic head according to the embodiment, and showing a process of mirror-finishing the first and second ferrite substrates. FIG. 9 is a schematic side view showing a manufacturing process of the magnetic head according to the embodiment, in which (a) shows a state in which sputtering is performed on a ferrite substrate placed on a turntable of a sputtering film forming apparatus; (b) is a schematic plan view showing a state in which magnetic anisotropy is imparted to the ferrite substrate. FIG. 10 is a perspective view illustrating a step of forming a gap film, illustrating a step of manufacturing the magnetic head according to the embodiment. FIG. 11 is an enlarged perspective view of FIG. 10; FIG. 12 is a perspective view showing a manufacturing process of the magnetic head according to the embodiment, and showing a process of butt-joining and integrating a first ferrite substrate and a second ferrite substrate via a fusion glass. . FIG. 13 is a perspective view showing a step of manufacturing the magnetic head according to the embodiment, and showing a step of polishing the sliding surface of the recording medium into an arc shape. FIG. 14 is a perspective view illustrating a step of cutting a chip, illustrating a step of manufacturing the magnetic head according to the embodiment. FIG. 15 is a perspective view showing a conventional double-window type magnetic head. FIG. 16 is a perspective view showing a conventional double azimuth head. [Description of Signs] 1 Magnetic head 2 First magnetic core half having a winding groove 3 Second magnetic core half 6, 7, 26 having no winding groove Magnetic metal thin film 8 Winding groove 21 Ferrite substrate Reference Signs List 30 fused glass 31 sliding direction of magnetic recording medium 32 first ferrite substrate 33 second ferrite substrate F hard magnetization axis X direction of hard magnetization axis of magnetic metal thin film of first magnetic core half Y second Direction of hard axis of magnetic metal thin film of magnetic core half
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/127 - 5/255 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 5/127-5/255
Claims (1)
の磁気コア半体と上記巻線溝を有しない第２の磁気コア
半体が互いに突き合わされて接合一体化され、その突き
合わせ面間に磁気ギャップが構成されてなる磁気ヘッド
において、 上記各磁気コア半体の突き合わせ面に磁性金属薄膜が成
膜されるとともに、上記第１の磁気コア半体の磁性金属薄膜の磁化困難軸の
方向がトラック幅方向と略一致され、かつ、上記第２の
磁気コア半体の磁性金属薄膜の磁化困難軸の方向が磁気
ギャップのデプス方向と略一致されている ことを特徴と
する磁気ヘッド。(57) [Claim 1] A first having a winding groove around which a coil is wound.
The magnetic core half and the second magnetic core half having no winding groove are abutted and joined and integrated, and a magnetic gap is formed between the abutting surfaces. A magnetic metal thin film is formed on the abutting surface of the halves, and the hard magnetic axis of the magnetic metal thin film of the first magnetic core halves is
Direction substantially coincides with the track width direction, and the second
The direction of the hard axis of the magnetic metal thin film of the magnetic core half is magnetic.
A magnetic head characterized by being substantially coincident with a depth direction of a gap .
Priority Applications (1)
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| JPH08263806A JPH08263806A (en) | 1996-10-11 |
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