JP3515134B2 - 静電マイクロアクチュエーター - Google Patents
静電マイクロアクチュエーターInfo
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- JP3515134B2 JP3515134B2 JP04734792A JP4734792A JP3515134B2 JP 3515134 B2 JP3515134 B2 JP 3515134B2 JP 04734792 A JP04734792 A JP 04734792A JP 4734792 A JP4734792 A JP 4734792A JP 3515134 B2 JP3515134 B2 JP 3515134B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、静電マイクロアクチ
ュエーターに関するものである。さらに詳しくは、この
発明は、エレクトロニクス、メディカルエレクトロニク
ス等の諸分野におけるマイクロマシン用アクチュエータ
ー等として有用な新しいマイクロアクチュエーターに関
するものである。
ュエーターに関するものである。さらに詳しくは、この
発明は、エレクトロニクス、メディカルエレクトロニク
ス等の諸分野におけるマイクロマシン用アクチュエータ
ー等として有用な新しいマイクロアクチュエーターに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、エレクトロニクス、メディカルエ
レクトロニクス等の諸分野において、マイクロマシンお
よびその微細要素についての研究が精力的に進められて
きている。これらのマイクロマシンの開発においては、
その駆動部等のアクチュエーターをどのように構成する
のかが重要な課題になっており、すでにそのためのいく
つかの提案がなされてもいる。
レクトロニクス等の諸分野において、マイクロマシンお
よびその微細要素についての研究が精力的に進められて
きている。これらのマイクロマシンの開発においては、
その駆動部等のアクチュエーターをどのように構成する
のかが重要な課題になっており、すでにそのためのいく
つかの提案がなされてもいる。
【０００３】このようなアクチュエーターには、より微
細な構造で、大きな変位、変形を簡便に取り出すことの
できる構造が望まれているが、これまでに提案されてい
るものは、いずれも複雑な構造からなるものが多く、単
純化と高性能化、さらにより小型・微細化するとの点に
おいて、いずれも実用的に満足できるものではなかっ
た。
細な構造で、大きな変位、変形を簡便に取り出すことの
できる構造が望まれているが、これまでに提案されてい
るものは、いずれも複雑な構造からなるものが多く、単
純化と高性能化、さらにより小型・微細化するとの点に
おいて、いずれも実用的に満足できるものではなかっ
た。
【０００４】この発明は、以上の通りの事情に鑑みてな
されたものであり、従来のマイクロマシン用のアクチュ
エーターの欠点を解消し、簡便な構造、操作の特徴を有
しつつ、しかも高性能な変位、変形の取出しが可能であ
る新しいマイクロアクチュエーターを提供することを目
的としている。
されたものであり、従来のマイクロマシン用のアクチュ
エーターの欠点を解消し、簡便な構造、操作の特徴を有
しつつ、しかも高性能な変位、変形の取出しが可能であ
る新しいマイクロアクチュエーターを提供することを目
的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するものとして、円筒弾性体と当該円筒弾性体の
外周面に配した円筒形導体と当該円筒形導体の外周面に
配した絶縁体とからなる微細円筒弾性構造体を複数個、
隣り合う互いの絶縁体同士が隣接するように平面的に配
列し、電圧印加時に横方向に隣り合う微細円筒弾性構造
体同士が互いに異なる電荷を有するように、または縦方
向に隣り合う微細円筒弾性構造体同士が互いに異なる電
荷を有するように各微細円筒弾性構造体への電圧印加用
の結線接続を施してなることを特徴とする静電マイクロ
アクチュエーター、および、前記円筒弾性体が弾性ポリ
マーからなるものである静電マイクロアクチュエーター
を提供する。
を解決するものとして、円筒弾性体と当該円筒弾性体の
外周面に配した円筒形導体と当該円筒形導体の外周面に
配した絶縁体とからなる微細円筒弾性構造体を複数個、
隣り合う互いの絶縁体同士が隣接するように平面的に配
列し、電圧印加時に横方向に隣り合う微細円筒弾性構造
体同士が互いに異なる電荷を有するように、または縦方
向に隣り合う微細円筒弾性構造体同士が互いに異なる電
荷を有するように各微細円筒弾性構造体への電圧印加用
の結線接続を施してなることを特徴とする静電マイクロ
アクチュエーター、および、前記円筒弾性体が弾性ポリ
マーからなるものである静電マイクロアクチュエーター
を提供する。
【０００６】また、この発明は、類縁の構造からなるも
のとして、一方向に平面的に連続した複数の円筒弾性体
とその連続表面に配した波形導体と当該波形導体の表面
に配した絶縁体とからなる微細円筒弾性構造体を複数
列、互いに並行するように、且つ隣り合う互いの絶縁体
同士が隣接するように平面的に配列し、電圧印加時に隣
り合う微細円筒弾性構造体同士が互いに異なる電荷を有
するように各微細円筒弾性構造体への電圧印加用の結線
接続を施してなることを特徴とする静電マイクロアクチ
ュエーター、および、波形弾性体と当該波形弾性体の表
面に配した波形導体と当該波形導体の表面に配した波形
絶縁体とからなる微細波形弾性構造体を複数個、互いに
並行するように、且つ隣り合う互いの波形弾性体の波頂
部同士および波形絶縁体の波頂部同士が隣接するように
平面的に配列し、電圧印加時に隣り合う微細波形弾性構
造体同士が互いに異なる電荷を有するように各微細波形
弾性構造体への電圧印加用の結線接続を施してなること
を特徴とする静電マイクロアクチュエーター、ならび
に、前記円筒弾性体または前記波形弾性体が弾性ポリマ
ーからなるものである静電マイクロアクチュエーターを
も提供する。これらの後者の構造は、前記の静電マイク
ロアクチュエーターの実施上の態様としての性格を有し
てもいる。
のとして、一方向に平面的に連続した複数の円筒弾性体
とその連続表面に配した波形導体と当該波形導体の表面
に配した絶縁体とからなる微細円筒弾性構造体を複数
列、互いに並行するように、且つ隣り合う互いの絶縁体
同士が隣接するように平面的に配列し、電圧印加時に隣
り合う微細円筒弾性構造体同士が互いに異なる電荷を有
するように各微細円筒弾性構造体への電圧印加用の結線
接続を施してなることを特徴とする静電マイクロアクチ
ュエーター、および、波形弾性体と当該波形弾性体の表
面に配した波形導体と当該波形導体の表面に配した波形
絶縁体とからなる微細波形弾性構造体を複数個、互いに
並行するように、且つ隣り合う互いの波形弾性体の波頂
部同士および波形絶縁体の波頂部同士が隣接するように
平面的に配列し、電圧印加時に隣り合う微細波形弾性構
造体同士が互いに異なる電荷を有するように各微細波形
弾性構造体への電圧印加用の結線接続を施してなること
を特徴とする静電マイクロアクチュエーター、ならび
に、前記円筒弾性体または前記波形弾性体が弾性ポリマ
ーからなるものである静電マイクロアクチュエーターを
も提供する。これらの後者の構造は、前記の静電マイク
ロアクチュエーターの実施上の態様としての性格を有し
てもいる。
【０００７】 以下、添付した図面に沿ってさらに詳しく
この発明の静電マイクロアクチュエーターの構成、その
作用効果等について詳しく説明する。
この発明の静電マイクロアクチュエーターの構成、その
作用効果等について詳しく説明する。
【０００８】
【実施例】図１は、複数個の微細円筒弾性構造体（１
ａ）を隣接配設し、隣接するこの微細円筒弾性構造体
（１ａ）がｘ方向に異なる電荷を有し、このｘ方向に静
電引力によって伸縮することを可能とした静電マイクロ
アクチュエーターを例示したものである。ｙ方向にも、
結果として伸縮が生じることになる。
ａ）を隣接配設し、隣接するこの微細円筒弾性構造体
（１ａ）がｘ方向に異なる電荷を有し、このｘ方向に静
電引力によって伸縮することを可能とした静電マイクロ
アクチュエーターを例示したものである。ｙ方向にも、
結果として伸縮が生じることになる。
【０００９】この静電マイクロアクチュエーターの結線
接続と、電圧の印加および除去によって生じる静電引力
の有無による変形運動を平面図として示したものが図２
である。この図２に示したように、各微細円筒弾性構造
体（１ａ）への電圧印加用の結線接続は、電圧印加時に
ｘ方向に隣り合う微細円筒弾性構造体（１ａ）同士が互
いに異なる電荷を有するように施す。この場合、電圧を
印加すると、ｘ方向に隣接した微細円筒弾性構造体（１
ａ）に相互に異なる電荷が発生し、静電引力で引合って
変形する。この変形をアクチュエーターの運動として利
用することができる。
接続と、電圧の印加および除去によって生じる静電引力
の有無による変形運動を平面図として示したものが図２
である。この図２に示したように、各微細円筒弾性構造
体（１ａ）への電圧印加用の結線接続は、電圧印加時に
ｘ方向に隣り合う微細円筒弾性構造体（１ａ）同士が互
いに異なる電荷を有するように施す。この場合、電圧を
印加すると、ｘ方向に隣接した微細円筒弾性構造体（１
ａ）に相互に異なる電荷が発生し、静電引力で引合って
変形する。この変形をアクチュエーターの運動として利
用することができる。
【００１０】このような静電マイクロアクチュエーター
を構成する微細円筒弾性構造体（１ａ）については、た
とえば図３に例示したように、最外周面に絶縁体（２
ａ）を配した円筒形導体（３ａ）を有し、たとえばこの
円筒形導体（３ａ）の内側に柔らかい軟質ポリマー等か
らなる弾性体（４ａ）を配設することにより構成するこ
とができる。言い換えると、この微細円筒弾性構造体
（１ａ）は、円筒形の弾性体（４ａ）とこの弾性体（４
ａ）の外周面に配した円筒形導体（３ａ）と円筒形導体
（３ａ）の外周面に配した絶縁体（２ａ）とから構成さ
れる。なお、絶縁体（２ａ）とこの弾性体（４ａ）とは
同一種のものであってもよい。
を構成する微細円筒弾性構造体（１ａ）については、た
とえば図３に例示したように、最外周面に絶縁体（２
ａ）を配した円筒形導体（３ａ）を有し、たとえばこの
円筒形導体（３ａ）の内側に柔らかい軟質ポリマー等か
らなる弾性体（４ａ）を配設することにより構成するこ
とができる。言い換えると、この微細円筒弾性構造体
（１ａ）は、円筒形の弾性体（４ａ）とこの弾性体（４
ａ）の外周面に配した円筒形導体（３ａ）と円筒形導体
（３ａ）の外周面に配した絶縁体（２ａ）とから構成さ
れる。なお、絶縁体（２ａ）とこの弾性体（４ａ）とは
同一種のものであってもよい。
【００１１】このような微細円筒弾性構造体（１ａ）を
配設した構造は、半導体製造に用いられる微細加工手段
等の採用によって簡便に製造することができる。
配設した構造は、半導体製造に用いられる微細加工手段
等の採用によって簡便に製造することができる。
【００１２】図２とは異なった結線接続として、たとえ
ば図４のように接続し、図５の構造とする場合には、電
圧印加時にｙ方向に隣り合う微細円筒弾性構造体（１
ａ）同士が互いに異なる電荷を有し、ｙ方向に静電引力
が生じて変形運動が発生することになる。その結果、ｘ
方向にも伸縮が生じることになる。
ば図４のように接続し、図５の構造とする場合には、電
圧印加時にｙ方向に隣り合う微細円筒弾性構造体（１
ａ）同士が互いに異なる電荷を有し、ｙ方向に静電引力
が生じて変形運動が発生することになる。その結果、ｘ
方向にも伸縮が生じることになる。
【００１３】いずれの構造においても、微細円筒弾性構
造体（１ａ）の単一の変形量が小さいとしても、多数の
変位、変形が合わされて全体として極めて大きな変位、
変形量が発生するような直列構造とすることがこの発明
の大きな特徴である。また、マイクロ構造においては表
面の影響が大きく、摩擦を避けることが必要であるが、
この発明のように、材料そのもののたわみ（変形）を利
用しているため、マイクロアクチュエーターとしては好
適である。
造体（１ａ）の単一の変形量が小さいとしても、多数の
変位、変形が合わされて全体として極めて大きな変位、
変形量が発生するような直列構造とすることがこの発明
の大きな特徴である。また、マイクロ構造においては表
面の影響が大きく、摩擦を避けることが必要であるが、
この発明のように、材料そのもののたわみ（変形）を利
用しているため、マイクロアクチュエーターとしては好
適である。
【００１４】また、以上のこの発明のアクチュエーター
の場合には、極めて単純な構成ではあるが、その変形制
御は静電力のコントロールとして高精度に可能でもあ
る。
の場合には、極めて単純な構成ではあるが、その変形制
御は静電力のコントロールとして高精度に可能でもあ
る。
【００１５】図６は、この発明の別の構造について示し
たものであるが、この例の場合には、上述の隣接微細円
筒弾性構造体（１ａ）の配列構造を一体としたものとな
っている。つまり、一方向に平面的に連続した複数の円
筒弾性体（４ｂ）とその連続表面に配した波形導体（３
ｂ）とその表面に配した絶縁体（２ｂ）とからなる微細
円筒弾性構造体（１ｂ）とし、それを複数列、互いに並
行するように、且つ隣り合う互いの絶縁体（２ｂ）同士
が隣接するように平面的に配列している。波形導体（３
ｂ）の内側の円筒弾性体（４ｂ）は、絶縁体（２ｂ）と
同一または別異の素材からなるものとすることができ
る。そして、図１〜図５の類縁構造であるので、図示し
ていないが当然に図２や図５と同様にして、電圧印加時
に隣り合う微細円筒弾性構造体（１ｂ）同士が互いに異
なる電荷を有するように各微細円筒弾性構造体（１ｂ）
への電圧印加用の結線接続が施されている。
たものであるが、この例の場合には、上述の隣接微細円
筒弾性構造体（１ａ）の配列構造を一体としたものとな
っている。つまり、一方向に平面的に連続した複数の円
筒弾性体（４ｂ）とその連続表面に配した波形導体（３
ｂ）とその表面に配した絶縁体（２ｂ）とからなる微細
円筒弾性構造体（１ｂ）とし、それを複数列、互いに並
行するように、且つ隣り合う互いの絶縁体（２ｂ）同士
が隣接するように平面的に配列している。波形導体（３
ｂ）の内側の円筒弾性体（４ｂ）は、絶縁体（２ｂ）と
同一または別異の素材からなるものとすることができ
る。そして、図１〜図５の類縁構造であるので、図示し
ていないが当然に図２や図５と同様にして、電圧印加時
に隣り合う微細円筒弾性構造体（１ｂ）同士が互いに異
なる電荷を有するように各微細円筒弾性構造体（１ｂ）
への電圧印加用の結線接続が施されている。
【００１６】静電引力による変位、変形をアクチュエー
ターの運動として、この構造においても容易に取出し、
その運動を高精度に制御することができる。
ターの運動として、この構造においても容易に取出し、
その運動を高精度に制御することができる。
【００１７】図７は、この波形導体を有する別の構造に
ついて示したものであり、波形弾性体（４ｃ）とその表
面に配した波形導体（３ｃ）とさらにその表面に配した
波形 絶縁体（２ｃ）とからなる微細波形弾性構造体（１
ｃ）を複数個、互いに並行するように、且つ隣り合う互
いの波形弾性体（４ｃ）の波頂部同士および波形絶縁体
（２ｃ）の波頂部同士が隣接するように平面的に配列し
たものとなっている。そして、図１〜図５の類縁構造で
あるので、図示していないが当然に図２や図５と同様に
して、電圧印加時に隣り合う微細波形弾性構造体（１
ｃ）同士が互いに異なる電荷を有するように各微細波形
弾性構造体（１ｃ）への電圧印加用の結線接続が施され
ている。
ついて示したものであり、波形弾性体（４ｃ）とその表
面に配した波形導体（３ｃ）とさらにその表面に配した
波形 絶縁体（２ｃ）とからなる微細波形弾性構造体（１
ｃ）を複数個、互いに並行するように、且つ隣り合う互
いの波形弾性体（４ｃ）の波頂部同士および波形絶縁体
（２ｃ）の波頂部同士が隣接するように平面的に配列し
たものとなっている。そして、図１〜図５の類縁構造で
あるので、図示していないが当然に図２や図５と同様に
して、電圧印加時に隣り合う微細波形弾性構造体（１
ｃ）同士が互いに異なる電荷を有するように各微細波形
弾性構造体（１ｃ）への電圧印加用の結線接続が施され
ている。
【００１８】以下に、図６の構造を例として、この発明
の静電マイクロアクチュエーターの製造例について説明
する。
の静電マイクロアクチュエーターの製造例について説明
する。
【００１９】すなわち、図８に例示したように、
（ａ） ＵＶポリマー（５０）（紫外線硬化樹脂）等に
よって円筒がｙ方向に連続した構造を形成する。
よって円筒がｙ方向に連続した構造を形成する。
【００２０】（ｂ） 無電解メッキ等により、ＵＶポリ
マー（５０）の円筒の外周面に導体金属膜（５１）を形
成する。この導体金属膜（５１）によって、ｙ方向の電
気的接続が行われる。
マー（５０）の円筒の外周面に導体金属膜（５１）を形
成する。この導体金属膜（５１）によって、ｙ方向の電
気的接続が行われる。
【００２１】（ｃ） たとえばパリレン等の絶縁膜（５
２）を気相でコーティングする。このコーティングによ
り、ｘ方向に機械的に結合する。
２）を気相でコーティングする。このコーティングによ
り、ｘ方向に機械的に結合する。
【００２２】この製造プロセスをより具体的に例示する
と、図９のように示すことができる。
と、図９のように示すことができる。
【００２３】１） たとえば２００μｍ厚のガラス板
（６０）等の基板にレジストを塗布してパターニングす
る。
（６０）等の基板にレジストを塗布してパターニングす
る。
【００２４】２） ガラス板（６０）をエッチングし、
アルミニウム（６１）を蒸着してリフトオフする。
アルミニウム（６１）を蒸着してリフトオフする。
【００２５】３） 感光性ポリマードライフィルム（６
２）を貼付け、ガラス板（６０）の裏側より露光現像す
る。
２）を貼付け、ガラス板（６０）の裏側より露光現像す
る。
【００２６】４） 金属銅（６３）を無電解メッキす
る。
る。
【００２７】５） 絶縁体としてのパリレン（６４）を
コーティングし、次いで、ニッケル（６５）を無電解メ
ッキする。
コーティングし、次いで、ニッケル（６５）を無電解メ
ッキする。
【００２８】６） ガラス板（６０）をエッチング除去
し、さらにＨＣｌによってアルミニウム（６１）をエッ
チングし、銅（６３）の所定部分（Ａ）をＨＮＯ3によ
ってエッチング除去する。
し、さらにＨＣｌによってアルミニウム（６１）をエッ
チングし、銅（６３）の所定部分（Ａ）をＨＮＯ3によ
ってエッチング除去する。
【００２９】７） ニッケル（６５）およびパリレン
（６４）の所要部分をエッチングする。パリレン（６
４）は、Ｏ2プラズマによりエッチング除去する。
（６４）の所要部分をエッチングする。パリレン（６
４）は、Ｏ2プラズマによりエッチング除去する。
【００３０】８） 端子部のパリレンをエキシマレーザ
等により除去して、リード付けを行う。
等により除去して、リード付けを行う。
【００３１】この工程によって、円筒弾性体ユニット
（Ｂ）がパリレン連結部（Ｃ）において連結した構造と
なる。
（Ｂ）がパリレン連結部（Ｃ）において連結した構造と
なる。
【００３２】もちろん、導体としての金属、絶縁体、弾
性体等について各種の材料が使用でき、またその製造プ
ロセスも多様な態様において可能であることはいうまで
もない。
性体等について各種の材料が使用でき、またその製造プ
ロセスも多様な態様において可能であることはいうまで
もない。
【００３３】このようにして製造されたこの発明の静電
マイクロアクチュエーターは筋肉と同じように多数の微
細構成要素からなるが、これらの要素は平面的に配列さ
れており、フォトファブリケーションによるマイクロマ
シニングで一括に容易に実現されるものと言えよう。
マイクロアクチュエーターは筋肉と同じように多数の微
細構成要素からなるが、これらの要素は平面的に配列さ
れており、フォトファブリケーションによるマイクロマ
シニングで一括に容易に実現されるものと言えよう。
【００３４】また、この構造からわかるように、電極間
の静電容量を測定する容量形ストレーンゲージとしてこ
の発明のアクチュエーターは転用することができる。
の静電容量を測定する容量形ストレーンゲージとしてこ
の発明のアクチュエーターは転用することができる。
【００３５】
【発明の効果】この発明によって、以上詳しく説明した
通り、簡便な構造、操作によって、小型微細な、高精度
マイクロアクチュエーターが提供される。
通り、簡便な構造、操作によって、小型微細な、高精度
マイクロアクチュエーターが提供される。
【図１】この発明のアクチュエーターの外観を例示した
斜視図である。
斜視図である。
【図２】図１に対応する結線状態のアクチュエーターの
変位を示した平面図である。
変位を示した平面図である。
【図３】微細円筒弾性構造体の拡大平面図である。
【図４】別の結線状態を示した平面図である。
【図５】図４の変位を示した平面図である。
【図６】アクチュエーターの構造を例示した平面図であ
る。
る。
【図７】アクチュエーターの別の構造を例示した平面図
である。
である。
【図８】図６のアクチュエーターの製造プロセスを示し
た平面図である。
た平面図である。
【図９】図８のプロセスをさらに具体例として示した断
面図である。
面図である。
【符号の説明】１ａ
微細円筒弾性構造体２ａ
絶縁体３ａ
円筒形導体４ａ
弾性体
１ｂ 微細円筒弾性構造体
２ｂ 絶縁体
３ｂ 波形導体
４ｂ 円筒弾性体１ｃ 微細波形弾性構造体 ２ｃ 波形絶縁体 ３ｃ 波形導体 ４ｃ 波形弾性体
５０ ＵＶポリマー
５１ 金属膜
５２ 絶縁膜
６０ ガラス板
６１ アルミニウム
６２ 感光性ポリマードライフィルム
６３ 銅
６４ パリレン
６５ ニッケル
Ａ エッチング部位
Ｂ 円筒弾性体ユニット
Ｃ パリレン連結部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平１−185177（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−95867（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−186179（ＪＰ，Ａ)
特公 昭34−5323（ＪＰ，Ｂ１)
米国特許2975307（ＵＳ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H02N 1/00
B81B 3/00
H01L 49/00
Claims (6)
- 【請求項１】 円筒弾性体と当該円筒弾性体の外周面に
配した円筒形導体と当該円筒形導体の外周面に配した絶
縁体とからなる微細円筒弾性構造体を複数個、隣り合う
互いの絶縁体同士が隣接するように平面的に配列し、電
圧印加時に横方向に隣り合う微細円筒弾性構造体同士が
互いに異なる電荷を有するように、または縦方向に隣り
合う微細円筒弾性構造体同士が互いに異なる電荷を有す
るように各微細円筒弾性構造体への電圧印加用の結線接
続を施してなることを特徴とする静電マイクロアクチュ
エーター。 - 【請求項２】 円筒弾性体が弾性ポリマーからなるもの
である請求項１の静電マイクロアクチュエーター。 - 【請求項３】 一方向に平面的に連続した複数の円筒弾
性体とその連続表面に配した波形導体と当該波形導体の
表面に配した絶縁体とからなる微細円筒弾性構造体を複
数列、互いに並行するように、且つ隣り合う互いの絶縁
体同士が隣接するように平面的に配列し、電圧印加時に
隣り合う微細円筒弾性構造体同士が互いに異なる電荷を
有するように各微細円筒弾性構造体への電圧印加用の結
線接続を施してなることを特徴とする静電マイクロアク
チュエーター。 - 【請求項４】 円筒弾性体が弾性ポリマーからなるもの
である請求項３の静電マイクロアクチュエーター。 - 【請求項５】 波形弾性体と当該波形弾性体の表面に配
した波形導体と当該波形導体の表面に配した波形絶縁体
とからなる微細波形弾性構造体を複数個、互いに並行す
るように、且つ隣り合う互いの波形弾性体の波頂部同士
および波形絶縁体の波頂部同士が隣接するように平面的
に配列し、電圧印加時に隣り合う微細波形弾性構造体同
士が互いに異なる電荷を有するように各微細波形弾性構
造体への電圧印加用の結線接続を施してなることを特徴
とする静電マイクロアクチュエーター。 - 【請求項６】 波形弾性体が弾性ポリマーからなるもの
である請求項５の静電マイクロアクチュエーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04734792A JP3515134B2 (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | 静電マイクロアクチュエーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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