JP3513737B2 - Head slider and magnetic recording device - Google Patents
Head slider and magnetic recording deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はヘッドスライダおよ
び磁気記録装置に係り、特に、磁気ディスクや光磁気デ
ィスク等の情報記録媒体上を摺動する摺動子（ヘッドス
ライダ）に、磁気−電気変換素子（磁気ヘッド）を搭載
して、情報の記録または読み出しを行うのに好適なヘッ
ドスライダおよび磁気記録装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a head slider and a magnetic recording device, and more particularly to a slider (head slider) that slides on an information recording medium such as a magnetic disk or a magneto-optical disk, and a magnetic-electric conversion. The present invention relates to a head slider and a magnetic recording device that are suitable for recording or reading information by mounting an element (magnetic head).
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の磁気記録装置としては、磁気記録
媒体である磁気ディスク（以下、ディスクという）上
に、磁気ヘッド素子（以下、磁気ヘッドという）を、所
定の間隔を保って情報の記録再生を行うエアーベアリン
グ浮上タイプの磁気ディスク装置（以下浮上型磁気ディ
スク装置）が知られている。従来の浮上型磁気ディスク
装置における磁気ヘッドスライダ、およびこの磁気ヘッ
ドを支持するヘッド支持機構は、特開昭５５−２２２９
６号公報に開示されているように、スライダにディスク
への押しつけ荷重を与える支持ア−ムに、荷重点となる
ピボットと、このピボットを回転中心として、スライダ
をそのピッチングおよびロ−リング方向に回転可能に支
持する回転バネとを持つジンバル部が接続され、このジ
ンバル部にスライダの上面が取り付けられている。2. Description of the Related Art As a conventional magnetic recording device, a magnetic head element (hereinafter referred to as a magnetic head) is recorded on a magnetic disk (hereinafter referred to as a disk) which is a magnetic recording medium at a predetermined interval. An air bearing levitation type magnetic disk device (hereinafter, levitation type magnetic disk device) for reproducing is known. A magnetic head slider in a conventional floating magnetic disk device and a head support mechanism for supporting this magnetic head are disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-2229.
As disclosed in Japanese Patent Publication No. 6, a supporting arm that applies a load to the disk to press the slider, a pivot serving as a load point, and the slider in the pitching and rolling directions with the pivot as the center of rotation. A gimbal portion having a rotatable spring rotatably supported is connected, and the upper surface of the slider is attached to the gimbal portion.
【０００３】また、従来の磁気記録装置の他の方式とし
ては、磁気ヘッドまたはスライダをディスクと接触摺動
させながら記録再生を行うコンタクトレコーディング方
式の磁気ディスク装置がある。この磁気ディスク装置で
は、磁気ヘッドまたはスライダとディスクとが定常的に
接触している。このような摺動型すなわちコンタクト型
磁気ディスク装置は、特開平３−１７８０１７号公報に
開示されているように、可撓性を有する片持ちはり状の
ヘッド支持機構の先端に、磁気ヘッドを内蔵した摺動部
を有する形状となっている。本公報には、この摺動部と
ヘッド支持機構が一体で形成される例が示されている。As another method of the conventional magnetic recording apparatus, there is a contact recording type magnetic disk apparatus for recording / reproducing while sliding a magnetic head or a slider in contact with a disk. In this magnetic disk device, the magnetic head or slider and the disk are in constant contact. In such a sliding type or contact type magnetic disk device, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 178017/1993, a magnetic head is built in at the tip of a flexible cantilever type head supporting mechanism. It has a shape with a sliding part. This publication shows an example in which the sliding portion and the head support mechanism are integrally formed.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】コンタクト方式の磁気
ディスク装置において、従来の浮上型に用いられている
ような上記のヘッド支持機構を用いた場合には、スライ
ダのピッチング方向の回転中心がスライダの摺動面より
上方にある。そのため、スライダが前述したようなディ
スクとの摺動動作によって摩擦力を受けるとき、スライ
ダのディスク回転方向上流側において、ディスクとの接
触力が非常に大きくなる状態、つまり、ディスク回転方
向上流側に向かってつんのめる状態になる。このとき、
スライダは不安定に振動したり、前述した局部的に発生
する非常に大きな接触力により、ディスク表面およびス
ライダ表面の損傷を引き起こす恐れがある。In the contact type magnetic disk device, when the above head supporting mechanism used in the conventional flying type is used, the center of rotation of the slider in the pitching direction is the slider. It is above the sliding surface. Therefore, when the slider receives a frictional force due to the sliding motion with respect to the disc as described above, the contact force with the disc becomes extremely large on the upstream side in the disc rotation direction of the slider, that is, to the upstream side in the disc rotation direction. It will be in a state of struggling towards. At this time,
The slider may vibrate in an unstable manner, and the extremely large locally generated contact force may cause damage to the disk surface and the slider surface.
【０００５】一方、コンタクト型磁気ディスク装置に用
いる特開平３−１７８０１７号公報に示されるＨＧＡで
は、摺動部が狭面積の一点で接触させるために、設定が
困難であるという問題点がある。また、摺動部とヘッド
支持機構を一体にする構成では、従来の浮上型磁気ディ
スク装置のヘッド移動機構（アクチュエータ）に直接取
り付けることができない。例えば、アクチュエータの回
転中心とヘッド位置の距離等は、データフォーマット等
の他の要因と関連しているため容易に変更できない。し
たがって、ヘッド支持機構とアクチュエータの間に、さ
らに支持部材を設けるなどするため、大幅な設計変更が
必要となる。On the other hand, the HGA used in the contact type magnetic disk device disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-178017 has a problem that it is difficult to set because the sliding portion is brought into contact with the narrow area at one point. Further, in the structure in which the sliding portion and the head support mechanism are integrated, it cannot be directly attached to the head moving mechanism (actuator) of the conventional floating magnetic disk device. For example, the distance between the rotation center of the actuator and the head position cannot be easily changed because it is related to other factors such as the data format. Therefore, since a supporting member is further provided between the head supporting mechanism and the actuator, a great design change is required.
【０００６】この問題に対しては、なるべく従来の浮上
型磁気ディスク装置に用いられているヘッド支持機構を
使用するか、あるいは、その改造のみで用いることがで
きるようにすることが望ましい。しかし、前述のよう
に、従来のヘッド支持機構では、摩擦力が作用すること
によって、ヘッドスライダを安定に摺動させることは困
難である。To solve this problem, it is desirable to use the head supporting mechanism used in the conventional floating magnetic disk device, or to use it only by modifying it. However, as described above, it is difficult for the conventional head support mechanism to stably slide the head slider due to the frictional force.
【０００７】本発明は、記録媒体上を摺動する磁気ヘッ
ドの摺動面において、局部的な接触力の増大を抑制する
のに好適なヘッドスライダを備えた磁気記録装置を提供
することを目的とする。さらには、従来のヘッド支持機
構を利用することにより、安価で、かつ開発の容易な磁
気記録装置を提供することを目的とする。[0007] The present onset Ming, magnetic heads that slides on the recording medium
An object of the present invention is to provide a magnetic recording device equipped with a head slider suitable for suppressing an increase in local contact force on a sliding surface of a magnetic disk. Furthermore, by utilizing the head support mechanism of the past, and to provide easy magnetic recording apparatus inexpensive, and development.
【０００８】上記目的は、以下のように達成される。記
録媒体の表面上を摺動する少なくとも一つの摺動部を有
し、摺動部の少なくとも一つは磁気ヘッドを搭載する摺
動型のヘッドスライダにおいて、磁気ヘッドを搭載した
摺動部は、記録媒体移動方向の上流側から、第１の変形
可能部、第１の剛体部、第２の変形可能部を順に介して
摺動面を有する第２の剛体部が片持ちで支持され、摺動
面の記録媒体移動方向の上流端は、記録媒体が停止した
状態で、第１および第２の変形可能部を結ぶ延長線と記
録媒体との交点より下流側に設けられてなることを特徴
とするものである。このような構成によれば、摩擦力が
働くと、第１、第２変形可能部が変形し、第２変形可能
部は記録媒体から離れる方向に変位するため、摺動面に
かかる荷重が低減するとともに、摺動面の記録媒体移動
方向上流側（以下、前方という）が持ち上がる方向に摺
動面も微小変位する。記録媒体と摺動面は互いに弾性変
形しながら接触しており、摺動面の変位により摺動面の
面圧分布は前方が小さく、後方が大きくなるような状態
となる。これによりつんのめりが回避でき、それに伴う
不安定振動も回避できる。また、記録媒体の表面上を摺
動する摺動部を有し、摺動部の少なくとも一つは磁気ヘ
ッドを搭載する摺動型のヘッドスライダにおいて、摺動
部は独立して変形する支持手段により支持され、支持手
段は、記録媒体の移動方向上流側から順に、第１の変形
可能部、第１の剛体部、第２の変形可能部を備え、支持
手段により摺動部の摺動面を有する第２の剛体部が記録
媒体移動方向の上流側から片持ちで支持されてなり、摺
動面の記録媒体移動方向の上流端は、記録媒体が停止し
た状態で、第１および第２の変形可能部を結ぶ延長線と
記録媒体との交点より下流側に設けられてなることを特
徴とする。これにより、各摺動部に作用する摩擦力の状
態によってスライダの姿勢安定性が損なわれるというよ
うなことがなく、結果として磁気ヘッドを有する摺動部
も安定に摺動できる状態となる。また、前述のように、
各摺動部の摩擦力の相違にもかかわらず、局部的な接触
力の増大を防止または低減することが可能になる。上記
の場合において、第１の変形可能部および第２の変形可
能部が、母材の除去加工で形成されることにより、製作
が容易で、コストも低くなる。また、摺動部に設けられ
た磁気記録素子を、摺動面に垂直な方向に薄膜を積層す
るプロセスによって形成された薄型ヘッド素子とするこ
とにより、薄型化によって高さ方向の空間効率を高める
ことができる。また、第１および第２の変形可能部並び
に第１の剛体部の一部を、第２の剛体部に設けられる磁
気ヘッドへの配線によって構成し、第２の剛体部、磁気
ヘッドおよび配線は、薄膜の積層プロセスによって形成
することにより、薄型のヘッドスライダの生産効率が向
上する。また、記録媒体の移動方向下流側の第２の変形
可能部の剛性が、上流側の第１の変形可能部の剛性より
低くなるようにする。すなわち、摺動面により近い側の
ヒンジ（変形可能部）の剛性が、遠い側のヒンジの剛性
より低いことにより、外力による曲げモーメントのバラ
ンスがとられ、確実な摺動安定性を得ることが可能にな
る。また、磁気ヘッドは、少なくとも記録媒体から情報
の再生を行う磁気抵抗効果再生素子からなるため、記録
密度の向上した磁気ヘッドが得られる。また、記録媒体
の表面上を摺動する少なくとも一つの摺動部を有し、摺
動部の少なくとも一つは磁気ヘッドを搭載する摺動型の
ヘッドスライダにおいて、前記摺動部の少なくとも一つ
が、回転可能な第１のピンおよび第２のピンと、それら
２つのピンを繋ぐ連結部材によって支持され、摺動部の
摺動面の記録媒体移動方向上流端は、記録媒体が停止し
た状態で、第１および第２のピンの回転中心部を結ぶ延
長線と記録媒体との交点より下流側に設けられているこ
とを特徴とする。すなわち、ピンを関節とするリンク機
構とすることにより、動作抵抗が小さく、摺動面に作用
する摩擦力に対して敏感に作動しやすくなる。また、記
録媒体の表面上を摺動する少なくとも一つの摺動部を有
し、摺動部の少なくとも一つは磁気ヘッドを搭載する摺
動型のヘッドスライダを備えた磁気記録装置において、
ヘッドスライダは、記録媒体の移動方向上流側から、第
１の変形可能部、第１の剛体部、第２の変形可能部を順
に介して摺動面を有する第２の剛体部が片持ちで支持さ
れ、摺動面の記録媒体移動方向上流端は、記録媒体が停
止した状態で、第１および第２の変形可能部を結ぶ延長
線と記録媒体との交点より下流側に設けられてなること
を特徴とする。このような構成の磁気記録装置によれ
ば、スライダの各摺動部がディスクと接触摺動による摩
擦力を受けたとき、摺動面はディスクに対する局所的な
押し付け荷重の増加を招くことなくその前方をディスク
面から離れる方向に変位させることができる。したがっ
て、つんのめりによる不安定振動および局所的な接触力
の増大を防止または低減することができ、磁気ヘッドお
よび記録媒体の損傷を極力低減し、信頼性の高いヘッド
・ディスクインタフェースを提供できるとともに、高記
録密度の磁気ディスク装置を得ることができる。The above object is achieved as follows. At least one of the sliding portion slides on the surface of the recording medium, at least one of the sliding portion in sliding type head slider mounting a magnetic head, the sliding portion provided with the magnetic head , from the upstream side of the record medium moving direction, the first deformable portion, the first rigid portion, via the second deformable portion in order
Second rigid portion having a sliding surface is supported in a cantilever, the upstream end of the recording medium moving direction of the sliding sliding surface, in a state where record medium is stopped, connecting the first and second deformable portions extension be provided downstream of intersection of the the serial <br/> recording medium is characterized in. With such a configuration, when the frictional force acts, the first and second deformable portions are deformed, and the second deformable portion is displaced in the direction away from the recording medium, so that the load applied to the sliding surface is reduced. At the same time, the sliding surface is also slightly displaced in the direction in which the upstream side (hereinafter, referred to as the front) of the sliding surface in the recording medium moving direction is lifted. Recording medium and sliding surface is in contact with elastically deformed relative to one another, the surface pressure distribution of the sliding surface by the displacement of the sliding surface is small in front, a state as the rear is increased. As a result, slipping can be avoided, and accompanying unstable vibration can be avoided. Also has a sliding portion you slide over the surface of the record medium, at least one of the sliding portion in sliding type head slider mounting a magnetic head, the sliding parts can be independent deformation Ri by the support hand-stage is supported, support hand to
The steps are the first deformation in order from the upstream side in the moving direction of the recording medium.
A movable portion, a first rigid body portion, and a second deformable portion are provided and supported.
The second rigid body portion having the sliding surface of the sliding portion is recorded by the means.
It is supported by a cantilever from the upstream side in the medium moving direction,
The recording medium stops at the upstream end of the moving surface in the recording medium movement direction.
And an extension line connecting the first and second deformable parts
It is specially provided on the downstream side of the intersection with the recording medium.
To collect. As a result , the posture stability of the slider is not impaired by the state of the frictional force acting on each sliding portion, and as a result, the sliding portion having the magnetic head can also slide stably. In addition, as before mentioned,
Despite the difference in the frictional force of each sliding portion, it is possible to prevent or reduce the local increase of the contact force. the above
In the case of the deformable portion of the first deformable portion and the second is by Rukoto formed by removal processing of the base material, easy manufacture, cost also becomes low. Further, provided on the sliding portion
The magnetic recording element is a thin head element formed by a process of stacking thin films in a direction perpendicular to the sliding surface .
As a result , the space efficiency in the height direction can be improved by reducing the thickness. Further, a portion of the first and second deformable portion and the first rigid part, constituted by wiring to the magnetic head provided on the second rigid portion, Oyo second rigid portions, magnetic head fine wiring is formed by a lamination process of a thin film
By doing so , the production efficiency of the thin head slider is improved. Further, the rigidity of the second deformable portion of the downstream side in the movement direction of the record medium, <br/> than the rigidity of the first deformable portion of the upstream side to the low Kunar so. That is, the rigidity of the near side of the hinge by the sliding surface (deformable portion), a low Ikoto than the rigidity <br/> far side of the hinge, the balance of the bending moment due to an external force is taken, reliable sliding stability It becomes possible to acquire the sex. Further, magnetic heads, to become a magnetoresistive read element for reproducing information from at least a recording medium, improved magnetic head of the recording density. Further, at least one of the sliding portion slides on the surface of the record medium, at least one sliding <br/> moving parts in sliding type head slider mounting a magnetic head, the sliding At least one section is a first pin and a second pin rotatable, is supported by a connecting member connecting the two pins, the recording medium moving direction upstream end of the sliding surface of the sliding portion, the recording medium in stop state, and it is provided from the intersection between the extended line and the record medium connecting the rotation center of the first and second pins on the downstream side. That is, by a link mechanism to the pin with joint, small dynamic resistance, ease sensitively activated for frictional force acting on the sliding surface Kunar. Further, at least one of the sliding portion slides on the surface of serial <br/> recording medium, at least one of the sliding portion is a magnetic recording in which a sliding type head slider mounting a magnetic head In the device ,
F Ddosuraida from upstream side in the movement direction of the record medium, the first deformable portion, the first rigid portion, the second deformable portion forward
Second rigid portion is supported in a cantilever manner having a sliding surface through the recording medium moving direction upstream end of the sliding sliding surface, in a state where record medium is stopped, the first and second deformable portions it characterized by being provided from the downstream point of intersection of an extension and the record medium connecting. According to the magnetic recording device having such a configuration, when each sliding portion of the slider receives a frictional force due to contact sliding with the disk, the sliding surface does not increase the local pressing load against the disk. The front can be displaced in the direction away from the disk surface. Therefore, it is possible to prevent or reduce unstable vibration and local increase in contact force due to the pinching, minimize damage to the magnetic head and the recording medium, and provide a highly reliable head-disk interface. A magnetic disk device having a recording density can be obtained.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形
態に係わるヘッドスライダの斜視図である。図１は、ス
ライダ１のディスク表面に接する面を、媒体（ディス
ク）移動方向上流側から見た図であり、相対的に、スラ
イダ１は、図１に図示しないディスク２上を、矢印３の
方向に移動することに相当する。また、図１１は、第１
の実施形態のスライダ１を、ディスク移動方向下流側か
ら見た素子パッド付近の詳細図である。以下の説明で
は、矢印３の指す方向を媒体移動方向上流、逆方向を下
流と呼ぶ。また、スライダのディスクに対向する側、お
よびその反対側をそれぞれ下面および上面と呼び、ディ
スク回転方向の上流側および下流側を、それぞれ前方お
よび後方と呼ぶ。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of a head slider according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a view of the surface of the slider 1 in contact with the disk surface as seen from the upstream side in the medium (disk) moving direction. In comparison, the slider 1 is on the disk 2 not shown in FIG. It is equivalent to moving in the direction. In addition, FIG.
FIG. 6 is a detailed view of the vicinity of an element pad when the slider 1 of the embodiment is viewed from the downstream side in the disk moving direction. In the following description, the direction indicated by the arrow 3 is called upstream of the medium moving direction and the opposite direction is called downstream. The side of the slider facing the disk and the side opposite thereto are called the lower surface and the upper surface, respectively, and the upstream side and the downstream side in the disk rotating direction are called the front side and the rear side, respectively.
【００１０】スライダ１は、磁気ヘッド素子４を備えた
１つの摺動パッド５がスライダ後端に設けられ、前端付
近に２つの摺動パッド６、７を設けている。ここでパッ
ドとは、スライダ１のディスクに対向する面において、
ディスク面に向かって突出している部材である。各パッ
ドには摺動面１０５、１０６、１０７が有り、この部分
だけでスライダ１はディスク２に接することになる。素
子パッド５の基部には、磁気ヘッド４のコイルや磁極等
を収めた剛体部８があり、この剛体部８は、ヒンジ９、
中間剛体部１０、ヒンジ１１等を介してスライダベース
１２から片持ちで支持されている。In the slider 1, one sliding pad 5 having a magnetic head element 4 is provided at the rear end of the slider, and two sliding pads 6 and 7 are provided near the front end. Here, the pad means a surface of the slider 1 facing the disk,
It is a member protruding toward the disk surface. Each pad has sliding surfaces 105, 106 and 107, and the slider 1 contacts the disk 2 only at this portion. At the base of the element pad 5, there is a rigid body portion 8 containing the coils, magnetic poles, etc. of the magnetic head 4, and the rigid body portion 8 has a hinge 9,
It is cantilevered from the slider base 12 via the intermediate rigid body portion 10, the hinge 11, and the like.
【００１１】同様に、各摺動パッド６、７も剛体部１３
に取り付けられ、ヒンジ１４、中間剛体部１５、ヒンジ
１６等を介してスライダベース１２から片持ちに支持さ
れている。剛体部８、１３および中間剛体部１０は、ヒ
ンジ９、１１、１４、１６に比較して、厚みがあるため
に十分剛性が高いので、素子パッド５および摺動パッド
６、７に力が作用する場合には、ヒンジ９、１１、１
４、１６のみにおいて、変形が生じると考えてよい。ま
た、素子パッド５については、ヒンジ９、１１および中
間剛体部１０の一部に配線層１７がある。これらの配線
１７は、スライダベース１２の、図１では見えない側の
上面に形成された端子１８に繋がっている。Similarly, each of the sliding pads 6 and 7 also has a rigid body portion 13.
And is supported in a cantilever manner from the slider base 12 via a hinge 14, an intermediate rigid body portion 15, a hinge 16, and the like. Since the rigid body portions 8 and 13 and the intermediate rigid body portion 10 are thick enough as compared with the hinges 9, 11, 14, and 16 and have sufficiently high rigidity, a force acts on the element pad 5 and the sliding pads 6, 7. Hinges 9, 11, 1
It may be considered that the deformation occurs in only 4 and 16. Further, regarding the element pad 5, the wiring layers 17 are provided in a part of the hinges 9 and 11 and the intermediate rigid body portion 10. These wirings 17 are connected to terminals 18 formed on the upper surface of the slider base 12 which is not visible in FIG.
【００１２】ここでは磁気ヘッド４の再生に磁気抵抗効
果（ＭＲ）ヘッドを使用することによって、より高い線
記録密度を得ている。この場合の配線数は、書き込みヘ
ッド用２本とＭＲ再生ヘッド用２本の合せて４本にな
る。しかしヒンジ９、１１や剛体部１０の幅が十分であ
るので、２本の配線で済むインダクティブヘッドを使用
する場合と比べて、配線数の増加はなんら問題にならな
い。Here, by using a magnetoresistive (MR) head for reproducing the magnetic head 4, a higher linear recording density is obtained. In this case, the total number of wirings is four, two for the write head and two for the MR reproducing head. However, since the hinges 9 and 11 and the rigid portion 10 have a sufficient width, an increase in the number of wirings does not pose any problem as compared with the case of using an inductive head that requires only two wirings.
【００１３】図２は、第１の実施形態の素子パッド５付
近の媒体移動方向に沿った側面図である。また、図３
は、図２の状態から変形した後の素子パッド５付近の側
面図である。これら図２および図３を用いて、本実施形
態の素子パッド５の動作を説明する。図３（ａ）に、ス
ライダ２を記録媒体であるディスク２１上に設定し、図
３には図示しないばね部４によって、スライダ２をディ
スクに押し付ける荷重Ｗをかけた状態を示す。この状態
で、ヒンジ９と１１の曲げ中心Ｍ１、Ｍ２を結ぶ仮想線
の延長線１９と、ディスク２の表面との交点Ｐが、摺動
面１０５よりも摺動方向（記録媒体移動方向）の上流側
にある。ここで、曲げ中心とは、ヒンジ９または１１が
曲げ変形をするとき、短い梁と考えたヒンジの両端部に
おける曲げ中心線の接線の交点と定義する。しかし通
常、ヒンジの曲げ変形は微小なので、ヒンジの厚さが一
様であれば、ヒンジ中央の曲げ中心線上に曲げ中心があ
るとしても差し支えない。FIG. 2 is a side view along the medium moving direction in the vicinity of the element pad 5 of the first embodiment. Also, FIG.
FIG. 3 is a side view of the vicinity of the element pad 5 after being deformed from the state of FIG. 2. The operation of the element pad 5 of this embodiment will be described with reference to FIGS. 2 and 3. FIG. 3A shows a state in which the slider 2 is set on the disk 21 which is a recording medium, and a load W for pressing the slider 2 against the disk is applied by the spring portion 4 not shown in FIG. In this state, an intersection point P between an extension line 19 of an imaginary line connecting the bending centers M1 and M2 of the hinges 9 and 11 and the surface of the disk 2 is closer to the sliding direction (recording medium moving direction) than the sliding surface 105. It is on the upstream side. Here, the bending center is defined as the intersection of the tangents of the bending center lines at both ends of the hinge, which are considered as short beams when the hinge 9 or 11 is bent and deformed. However, since the bending deformation of the hinge is usually small, the bending center may be located on the bending center line at the center of the hinge as long as the thickness of the hinge is uniform.
【００１４】摺動面１０５の上流側端を摺動点２０とみ
なすと、スライダの瞬間回転中心Ｑは、ヒンジの曲げ中
心Ｍ１とＭ２を結ぶ線の延長線１９と、摺動点２０を通
って摺動面に対する垂線２１との交点であり、図に示す
ように、摺動面１０５よりディスク内部側にある。この
状態で装置を起動させ、ディスクが矢印２２の方向に回
転し摩擦力が働くと、図３の状態になる。図３におい
て、点線２３で示した状態は図２の状態を示している。
剛体８〜ヒンジ１１からなる支持部は、全体的に摺動方
向下流に伸張しながら、ヒンジ９がディスク面から離れ
る方向に変位し、摺動面１０５の上流側端２０がディス
ク面から離れる方向に変位することになる。このときの
押し付け荷重Ｗ’は、初期設定荷重Ｗよりも小さくな
る。すなわち、摺動面１０５は、スライダの瞬間回転中
心Ｑのまわりに、上流側端２０が持ち上がる方向に変位
する。When the upstream end of the sliding surface 105 is regarded as the sliding point 20, the instantaneous center of rotation Q of the slider passes through an extension line 19 connecting the bending centers M1 and M2 of the hinge and the sliding point 20. Is an intersection with the perpendicular 21 to the sliding surface, and is on the inner side of the disk from the sliding surface 105 as shown in the figure. When the apparatus is started in this state and the disc rotates in the direction of arrow 22 and a frictional force acts, the state shown in FIG. 3 is obtained. In FIG. 3, the state shown by the dotted line 23 shows the state of FIG.
The support portion composed of the rigid body 8 to the hinge 11 is displaced in the direction in which the hinge 9 moves away from the disk surface while extending downstream in the sliding direction as a whole, and the upstream end 20 of the sliding surface 105 moves away from the disk surface. Will be displaced. The pressing load W ′ at this time is smaller than the initial setting load W. That is, the sliding surface 105 is displaced around the instantaneous rotation center Q of the slider in the direction in which the upstream end 20 is lifted.
【００１５】実際には、ディスク媒体２および摺動面１
０５の弾性変形があるため、摺動面１０５の上流側端２
０が完全に離れるのではなく、流入側から流出側にかけ
て大きくなる面圧分布が発生すると考えてもよい。この
面圧分布は、剛体部８、１０の摺動方向に沿った長さ
と、ヒンジ９、１１の剛性により任意に設計することが
可能である。また、押し付け荷重は、ＷからＷ’に低減
しているため、流出側の面圧も、当初の平均面圧より大
きくなることはない。これにより、摺動面のつんのめり
（上流側端がディスク内部方向に沈み込む状態）が回避
でき、それに伴う不安定振動も回避できる。In practice, the disk medium 2 and the sliding surface 1
05 due to elastic deformation, the upstream end 2 of the sliding surface 105
It may be considered that 0 does not completely separate but a surface pressure distribution that increases from the inflow side to the outflow side occurs. This surface pressure distribution can be arbitrarily designed by the length of the rigid bodies 8 and 10 along the sliding direction and the rigidity of the hinges 9 and 11. Further, since the pressing load is reduced from W to W ′, the surface pressure on the outflow side does not become larger than the initial average surface pressure. As a result, it is possible to avoid the slippage of the sliding surface (the state in which the upstream end sinks toward the inside of the disk), and the accompanying unstable vibration can be avoided.
【００１６】また、上述の動作により、摺動時に大きな
摩擦力が入力されれば荷重の減少も大きく、その結果、
摩擦力が下げられることになる。すなわち、ディスク２
の一周において摩擦力変動が存在する場合、本実施形態
のスライダ１を備えたヘッド・ジンバルアセンブリを用
いれば、大きな摩擦力に対しては大きく、小さな摩擦力
に対しては小さく摩擦力を減少させることとなり、その
結果、摩擦力の均一化が達成される。この効果は、特に
常時摺動しているコンタクトレコーディングにおいて安
定接触を実現するのに有効となる。同様に、摺動パッド
６、７においても、剛体部１３、１５、ヒンジ１４、１
６が、素子パッド４とまったく同様の動作をすることに
よって、摺動面１０６、１０７に働く摩擦力に応じて変
形し、それぞれの摺動パッドが安定にディスク上を摺動
できる。Further, by the above operation, if a large frictional force is input during sliding, the load is greatly reduced, and as a result,
The frictional force will be reduced. That is, disk 2
When there is a fluctuation in the frictional force in one round, if the head / gimbal assembly including the slider 1 of the present embodiment is used, the large frictional force is large and the small frictional force is small. As a result, uniform frictional force is achieved. This effect is particularly effective for realizing stable contact in contact recording in which sliding is always performed. Similarly, also in the sliding pads 6 and 7, the rigid body portions 13 and 15, the hinges 14 and 1
By performing exactly the same operation as the element pad 4, the element 6 is deformed according to the frictional force acting on the sliding surfaces 106 and 107, and the respective sliding pads can slide on the disk stably.
【００１７】本実施形態のスライダ１では、ディスクと
の接触面は、素子パッド１個に摺動パッド２個の計３個
である。摺動面の大きさはディスク２全体から見れば一
点に等しいので、これを３点接触型コンタクト記録用ス
ライダと呼称する。このスライダでは、３つのパッドに
よってディスク表面に倣った平面が規定され、初期姿勢
が決定される。このとき、後述するヘッド支持機構（サ
スペンション）のジンバル機構によって、大きな初期設
定角誤差を補正している。In the slider 1 of this embodiment, there are a total of three contact surfaces with the disk, one element pad and two sliding pads. Since the size of the sliding surface is equal to one point when viewed from the entire disk 2, this is called a three-point contact type contact recording slider. In this slider, a plane that follows the disk surface is defined by the three pads, and the initial posture is determined. At this time, a large initial setting angle error is corrected by the gimbal mechanism of the head support mechanism (suspension) described later.
【００１８】スライダ本体に固定された複数の摺動部を
持つヘッドスライダでは、実際にディスク上を摺動させ
る場合、スライダの姿勢変化、微小な摩擦係数の相違等
により、各摺動部に作用する摩擦力の状態は異なる。し
たがって、仮に磁気ヘッドを有する摺動部が安定に摺動
できる状態であったとしても、他の摺動部において入力
された摩擦力によって、スライダの姿勢安定性が損なわ
れ、結果として磁気ヘッドを有する摺動部も安定に摺動
できない状態となる。In a head slider having a plurality of sliding parts fixed to the slider body, when actually sliding on the disk, the sliders act on each sliding part due to changes in the posture of the slider, minute differences in friction coefficient, and the like. The state of frictional force is different. Therefore, even if the sliding portion having the magnetic head is able to slide stably, the frictional force input in the other sliding portion impairs the posture stability of the slider, and as a result, The sliding part that it has cannot be stably slid.
【００１９】しかし、スライダベース１２から、本発明
の実施形態に示すような形状の支持機構を介して、各摺
動パッドあるいは素子パッドを支持することにより、各
摺動パッドは互いに独立して、その摺動面に入力される
摩擦力に応じて上記の変形を行うため、安定して摺動す
ることが可能となる。However, by supporting the respective sliding pads or element pads from the slider base 12 via the supporting mechanism having the shape as shown in the embodiment of the present invention, the respective sliding pads are independent of each other. Since the above deformation is performed according to the frictional force input to the sliding surface, stable sliding is possible.
【００２０】実際には、接触点が３点あれば面が規定で
きるので、摺動パッド２つに素子パッド１つという構成
が最小かつ合理的であるが、この摺動パッドの数は３つ
以上であってもよいし、素子パッドも２つ以上であって
も、上記の実施形態と同様の支持方法で支持されていれ
ば、同様に各摺動面の摩擦に応じて変形することによ
り、安定に摺動できる。十分にトラック間隔が狭く、一
箇のスライダ１に複数の磁気ヘッド４を搭載することに
よって情報の転送速度を上げるような場合に、この複数
の素子パッド５を持つ構成は有効となる。In practice, since the surface can be defined if there are three contact points, the configuration of one element pad for two sliding pads is the smallest and rational, but the number of sliding pads is three. Even if there are two or more element pads, if they are supported by the same supporting method as in the above-described embodiment, they are similarly deformed according to the friction of each sliding surface. , Can slide stably. The configuration having a plurality of element pads 5 is effective when the track spacing is sufficiently narrow and a plurality of magnetic heads 4 are mounted on one slider 1 to increase the information transfer rate.
【００２１】上記の実施形態では、ヒンジ９、１１、あ
るいは１４、１６の部分のみが変形して動作する。この
部分の剛性はヒンジの厚さ、幅、長さによって設計可能
である。この実施形態ではヒンジ１１よりもヒンジ９の
方が、また、ヒンジ１６よりもヒンジ１４の方が、主要
な変形方向に関して剛性が低くなっている。すなわち、
より摺動面に近い側のヒンジが遠い側のヒンジより剛性
を低くしている。このようにすることで、摺動面に作用
する外力によって、各ヒンジに作用する曲げモーメント
のバランスをとることができ、より上記の動作が確実に
作用して摺動安定性を向上させることが可能である。In the above embodiment, only the hinges 9, 11 or 14, 16 are deformed and operate. The rigidity of this portion can be designed by the thickness, width and length of the hinge. In this embodiment, the hinge 9 has lower rigidity than the hinge 11 and the hinge 14 has lower rigidity in the main deformation direction than the hinge 16. That is,
The hinge closer to the sliding surface has a lower rigidity than the hinge farther away. By doing so, the bending moment acting on each hinge can be balanced by the external force acting on the sliding surface, and the above-described operation can be more reliably performed to improve the sliding stability. It is possible.
【００２２】次に、図１２を参照して、第１の実施形態
のスライダ１の加工方法について述べる。スライダベー
スの母材となるアルミナチタンカーバイト（Ａｌ2Ｏ3Ｔ
ｉＣ）の基板２４上に、断面図（Ａ−Ａ′）に示すよう
に、剛体部８、１０や、ヒンジ９、１１となるアルミナ
（Ａｌ2Ｏ3）層を、スパッタリング法等で形成した後、
ＬＩＧＡ等の高アスペクト深堀加工の可能なプロセス
で、配線１７となる金属層２５を形成する。Next, with reference to FIG. 12, a method of processing the slider 1 of the first embodiment will be described. Alumina titanium carbide (Al 2 O 3 T, which is the base material of the slider base)
On the substrate 24 of (iC), as shown in the cross-sectional view (A-A '), the rigid body portions 8 and 10 and the alumina (Al 2 O 3 ) layer to be the hinges 9 and 11 are formed by the sputtering method or the like. rear,
The metal layer 25 to be the wiring 17 is formed by a process such as LIGA which enables high aspect deep trench processing.
【００２３】この上面に銅製あるいはアルミニウム合金
製のコイル２６、および鉄−ニッケル合金のパーマロイ
軟磁性膜で形成した磁極２７、再生用素子として、磁気
抵抗効果の大きいパーマロイの磁気抵抗効果素子２８、
および鉄−ニッケル合金のパーマロイ軟磁性膜で形成し
た磁極２９、電極３１には銅あるいは金、これら素子部
品を取り囲む部分には、絶縁膜および保護膜の働きをす
るＡｌ2Ｏ3を形成した。これらのヘッド素子部は全てス
パッタリング、蒸着、エッチング、メッキなどの薄膜形
成加工技術により順次形成した。再生用磁気抵抗効果素
子２８にはパーマロイとＣｏ合金との積層膜、パーマロ
イやＣｏ合金とＮｉＯなどの反強磁性膜との積層膜、磁
極４３は、Ｆｅ−Ｎｉ合金の他、Ｃｏ−Ｆｅ系合金、Ｆ
ｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金などの軟磁性材料でもよい。A coil 26 made of copper or aluminum alloy, a magnetic pole 27 formed of an iron-nickel alloy permalloy soft magnetic film on the upper surface, a magnetoresistive element 28 of permalloy having a large magnetoresistive effect as a reproducing element,
Also, a magnetic pole 29 formed of a permalloy soft magnetic film of an iron-nickel alloy, copper or gold was formed on the electrode 31, and Al 2 O 3 functioning as an insulating film and a protective film was formed on the portion surrounding these element parts. All of these head element portions were sequentially formed by thin film forming processing techniques such as sputtering, vapor deposition, etching and plating. The reproducing magnetoresistive effect element 28 has a laminated film of permalloy and Co alloy, a laminated film of permalloy or Co alloy and antiferromagnetic film such as NiO, and the magnetic pole 43 is not only Fe—Ni alloy but also Co—Fe system. Alloy, F
A soft magnetic material such as an e-Al-Si alloy may be used.
【００２４】次に各スライダを切り出し、ディスクに対
向する面の研磨およびパッドの形成と、その表面への保
護膜３２の形成を行う。また、素子パッド５の幅を素子
が収納されるのに十分なだけ残して両側を削り落とす。
最後に矢印３３〜３６の方向から深堀エッチング加工に
よって、ヒンジや中間剛体部を形成する。ここでは高ア
スペクト比加工の可能な、ＲＩＥ（反応性イオンエッチ
ング）プロセスやＬＩＧＡ等を使用すると、さらに形状
設計の自由度が上がる。また、収束イオンビームやレー
ザーによる除去加工でもよい。Next, each slider is cut out, the surface facing the disk is polished, the pad is formed, and the protective film 32 is formed on the surface. In addition, the width of the element pad 5 is left enough to accommodate the element, and both sides are scraped off.
Finally, a hinge or an intermediate rigid body portion is formed by deep etching processing in the directions of arrows 33 to 36. If a RIE (reactive ion etching) process, LIGA, or the like that enables high aspect ratio processing is used, the degree of freedom in shape design is further increased. Further, removal processing by a focused ion beam or laser may be used.
【００２５】図４は第１の実施形態を他の加工法によっ
て形成した例を示す断面図である。図１は、ヒンジや剛
体部を母材の除去加工により形成したが、これらを摺動
面に垂直な方向に薄膜を積層するプロセスによって形成
し、さらに、磁気ヘッドも同様のプロセスで形成させた
薄型ヘッドとした例である。摩擦力が働いた際の動作に
ついては、図２および図３で説明した場合と同様であ
る。FIG. 4 is a sectional view showing an example in which the first embodiment is formed by another processing method. In FIG. 1, the hinge and the rigid body are formed by removing the base material, but these are formed by a process of laminating thin films in a direction perpendicular to the sliding surface, and the magnetic head is also formed by the same process. This is an example of a thin head. The operation when the frictional force acts is the same as that described with reference to FIGS. 2 and 3.
【００２６】図４において、スライダ母材を矢印３７方
向に、順にＡｌ2Ｏ3等のスパッタリングによる薄膜形成
によって積層し、エッチングによってヒンジ９、１１、
１４、１６等の形状を形成する。ヘッド素子部は、図１
２の場合と同様の材料を用いて、スパッタリング、蒸
着、エッチング、メッキなどの薄膜形成加工技術により
順次形成する。このとき、コイル２６を剛体部８中で摺
動面に平行な平面内に形成すれば、スライダ全体をロー
プロファイル化でき、装置の小型化に適するという利点
もある。ＭＲ素子２８や磁極２７など一部分は、媒体移
動方向に平行な方向への積層プロセスを必要とするが、
これらはスライダ１を切り出した後に行う。In FIG. 4, slider base materials are laminated in order in the direction of arrow 37 by forming a thin film of Al 2 O 3 or the like by sputtering, and the hinges 9 and 11 are formed by etching.
The shapes of 14, 16 and the like are formed. The head element part is shown in FIG.
The same material as in the case of 2 is used to sequentially form by thin film forming processing techniques such as sputtering, vapor deposition, etching, and plating. At this time, if the coil 26 is formed in the rigid body portion 8 in a plane parallel to the sliding surface, the slider as a whole can have a low profile, which is also advantageous in downsizing the device. Some parts such as the MR element 28 and the magnetic pole 27 require a lamination process in a direction parallel to the medium moving direction.
These are performed after cutting out the slider 1.
【００２７】素子パッドを支持するヒンジ９は配線を兼
ねるため、銅あるいは金の薄膜を、それ単体またはＡｌ
2Ｏ3等の絶縁膜で挟んだサンドイッチ構造膜３８で形成
する。図中３９は、中間剛体部１０に張り出したサンド
イッチ構造膜３８と、スライダベース１２との間を、電
気的に接続するための銅、あるいは金等で形成した導電
膜である。この導電膜３９は、スライダベース上面にス
パッタリングによって形成した端子１８とはスルーホー
ル４０で連結されている。最後に、摺動面に摩耗を防止
する等の目的で、媒体対向面保護膜３２を形成した後、
エッチング加工技術により、素子パッド５および摺動パ
ッド６、７を形成している。Since the hinge 9 supporting the element pad also serves as wiring, a thin film of copper or gold is used alone or as Al.
It is formed of a sandwich structure film 38 sandwiched between insulating films such as 2 O 3 . Reference numeral 39 in the drawing denotes a conductive film formed of copper, gold or the like for electrically connecting the sandwich structure film 38 protruding to the intermediate rigid body portion 10 and the slider base 12. The conductive film 39 is connected to the terminal 18 formed by sputtering on the upper surface of the slider base through a through hole 40. Finally, after forming the medium facing surface protection film 32 for the purpose of preventing abrasion on the sliding surface,
The element pad 5 and the sliding pads 6 and 7 are formed by the etching processing technique.
【００２８】以上のような加工法によって、第１の実施
形態のスライダを構成することにより、薄型のスライダ
を作ることができ、さらに摺動安定性を高めるととも
に、ヘッド・ジンバルアセンブリの高さを抑えて、装置
全体の高さ方向の空間効率を高めることができる。By constructing the slider of the first embodiment by the above-described processing method, a thin slider can be manufactured, the sliding stability is further enhanced, and the height of the head / gimbal assembly is increased. The space efficiency in the height direction of the entire device can be improved by suppressing the above.
【００２９】図５は、本発明の第２の実施形態であるス
ライダの斜視図である。複数の摺動パッドを持つスライ
ダでは、各摺動パッドが各々に入力される摩擦力に対し
て、その変動に対する影響を受けないように動作するこ
とによって、安定に摺動できることを既に述べた。この
ように、各摺動パッドが独立して安定摺動を行う構成と
して、スライダ１に設けられた摺動パッド全てに、上記
のヒンジ、剛体部等からなる支持機構を備えることもで
きるが、次のような構成でも十分に上記の作用が可能で
ある。FIG. 5 is a perspective view of a slider which is a second embodiment of the present invention. It has already been described that a slider having a plurality of sliding pads can be stably slid by operating each sliding pad so as not to be affected by the fluctuation of the frictional force input to each slider. As described above, as a structure in which each sliding pad independently and stably slides, all the sliding pads provided on the slider 1 can be provided with the supporting mechanism including the hinge, the rigid body portion, and the like. The above-described operation is sufficiently possible with the following configuration.
【００３０】すなわち、図５に示すように、磁気ヘッド
４を搭載した素子パッド５のみに、上記のヒンジ９、１
１および中間剛体部１０からなる支持機構を備え、他の
摺動パッド６、７はスライダベース１２に固定とする。
図５はこのような構成とした実施形態である。That is, as shown in FIG. 5, only the element pads 5 on which the magnetic head 4 is mounted have the hinges 9 and 1 mentioned above.
1 and an intermediate rigid body portion 10 are provided, and the other sliding pads 6 and 7 are fixed to the slider base 12.
FIG. 5 shows an embodiment having such a configuration.
【００３１】この場合、磁気ヘッド４を持たない摺動パ
ッド６、７に入力された摩擦力によって、スライダベー
ス１２全体の姿勢が変化しても、最も安定摺動が要求さ
れる磁気ヘッド４を有する素子パッド５は、その影響か
ら遮断されているので、信号の読み取り／書き込み動作
を安定して行うことができる。このような構成のスライ
ダは、図１２に示す第１の実施形態の加工方法におい
て、最後の摺動パッド６、７とその支持機構１３〜１６
を、除去加工によって形成する工程を省くことができる
ので、生産効率が高くなるという利点がある。In this case, even if the posture of the entire slider base 12 changes due to the frictional force input to the sliding pads 6 and 7 that do not have the magnetic head 4, the magnetic head 4 that requires the most stable sliding is selected. Since the element pad 5 included therein is shielded from the influence thereof, the signal read / write operation can be stably performed. In the slider having such a configuration, in the processing method of the first embodiment shown in FIG. 12, the last sliding pads 6 and 7 and their supporting mechanisms 13 to 16 are provided.
Since it is possible to omit the step of forming by removing processing, there is an advantage that the production efficiency is increased.
【００３２】図６は、本発明の第３の実施形態であるス
ライダの斜視図である。図６では、図５の場合とは逆
に、磁気ヘッド４を搭載した素子パッド５は、スライダ
ベース１２に固定とし、他の摺動パッド６、７に、上記
のヒンジ１４、１６および中間剛体部１５からなる支持
機構を備える構成である。FIG. 6 is a perspective view of a slider which is the third embodiment of the present invention. Contrary to the case of FIG. 5, in FIG. 6, the element pad 5 on which the magnetic head 4 is mounted is fixed to the slider base 12, and the other sliding pads 6 and 7 are attached to the hinges 14 and 16 and the intermediate rigid body. This is a configuration including a support mechanism including the portion 15.
【００３３】磁気ヘッド４を搭載した素子パッド５が一
つの場合、この構成は、従来のコンタクト型ヘッド・ジ
ンバルアセンブリのように、一つの狭面積の摺動パッド
を持つ構成に、磁気ヘッドを持たない摺動パッドを付加
した構成に相当する。すなわち、設定時には複数の摺動
パッドを有することにより設定を容易にする一方で、実
際にディスク上を摺動時には、磁気ヘッド４を持たない
摺動パッドに入力される摩擦力の影響を、スライダベー
ス１２、ひいては素子パッド５に伝達しないようにする
ことができる。In the case where the number of the element pads 5 having the magnetic head 4 is one, this configuration has a magnetic head in the configuration having one narrow area sliding pad like the conventional contact type head / gimbal assembly. This is equivalent to the structure in which a sliding pad is added. That is, while having a plurality of sliding pads at the time of setting, the setting is facilitated, while at the time of actually sliding on the disk, the influence of the frictional force input to the sliding pad without the magnetic head 4 is reduced by the slider. It is possible to prevent transmission to the base 12, and thus to the element pad 5.
【００３４】このような構成では、図１の構成に比べ
て、素子パッド５を支持する部分８〜１１の除去加工を
行う必要がない。さらには、その部分に配線１７となる
金属部を埋設する必要がなく、従来の浮上型スライダの
ように、ヘッド素子４の形成された後端面に端子１８を
形成することができる。したがって、工程が大幅に省略
できるという利点を持つ。In such a configuration, it is not necessary to remove the portions 8 to 11 supporting the element pad 5 as compared with the configuration of FIG. Further, it is not necessary to bury a metal portion to be the wiring 17 in that portion, and the terminal 18 can be formed on the rear end face on which the head element 4 is formed unlike the conventional flying slider. Therefore, there is an advantage that the steps can be largely omitted.
【００３５】図７は、本発明の第４の実施形態に係わる
素子パッドの斜視図である。この実施形態では、ヒンジ
９、１１と中間剛体部１０はそれぞれ２つに別れてい
る。すなわち、図中の符号で、９ａ−１０ａ−１１ａと
繋がる列（以下、右側支持列）と、９ｂ−１０ｂ−１１
ｂと繋がる列（以下、左側支持列）である。この構成で
は、右側支持列と左側支持列とは独立に動作するため、
摺動パッド５にローリング方向（図中矢印４１）の傾き
があった場合には、剛体部８と、各列のヒンジ９ａおよ
び９ｂとの接続部分の高さの差になって現れる。しか
し、この場合にも、各列は独立に変形することにより姿
勢が設定されるので、その結果、素子パッド５のローリ
ング方向の変動を吸収することができるという利点を持
つ。素子パッド５が、ローリング方向４１に傾かない場
合には、右側支持列、左側支持列ともに同じ角度で設定
され、動作についてもまったく同様となり、図１で示し
た第１の実施形態と同様の動作をする。FIG. 7 is a perspective view of an element pad according to the fourth embodiment of the present invention. In this embodiment, each of the hinges 9 and 11 and the intermediate rigid body portion 10 is divided into two. That is, with the reference numerals in the figure, a row connected to 9a-10a-11a (hereinafter, right side support row) and 9b-10b-11
It is a row connected to b (hereinafter, left side support row). In this configuration, the right side support row and the left side support row operate independently,
When the sliding pad 5 is tilted in the rolling direction (arrow 41 in the figure), it appears due to the difference in height between the rigid body portion 8 and the hinges 9a and 9b in each row. However, also in this case, the posture is set by independently deforming each row, and as a result, there is an advantage that the fluctuation of the element pad 5 in the rolling direction can be absorbed. When the element pad 5 is not tilted in the rolling direction 41, both the right side support row and the left side support row are set at the same angle, and the operation is exactly the same, and the same operation as that of the first embodiment shown in FIG. do.
【００３６】この第４の実施形態の各支持列を形成する
ためには、図中矢印４２〜４５の各方向からの除去加工
が必要となる。また磁気ヘッド４からの信号配線は、ス
ルーホール４６によって表面に露出させ、形状加工後に
メッキ法等により形成された配線１７を通って、スライ
ダベース１２の上面にある端子１８に接続する。磁気ヘ
ッドにＭＲ素子を使用すれば、配線は４本となるが、図
７中では右側支持列を通る２本のみを示した。In order to form each of the support rows of the fourth embodiment, it is necessary to carry out a removal process in each direction of arrows 42 to 45 in the figure. Further, the signal wiring from the magnetic head 4 is exposed on the surface by the through hole 46, and is connected to the terminal 18 on the upper surface of the slider base 12 through the wiring 17 formed by a plating method or the like after the shape processing. If an MR element is used for the magnetic head, the number of wirings becomes four, but in FIG. 7, only two wirings are shown passing through the right side support row.
【００３７】また、磁気ヘッド４を持たない摺動パッド
６、７についても、同様に、摺動方向に平行な軸につい
て、左右対称に２列の支持構造を持つことで、図７に示
す素子パッド５と同様の効果を持つことも可能である。
ただし、第４の実施形態では、図１の第１の実施形態と
同様に、摺動パッドは摺動方向平行軸について対称に２
つ設けている。これは、素子パッド５に比べて、摺動パ
ッド６、７のローリング方向の変動が、記録再生性能に
直接影響しにくいことと、各摺動パッド６、７がそれぞ
れ左側支持列、右側支持列に相当する動作をすること
で、ローリング方向の変動を吸収できると考えられるこ
とによるものである。Similarly, the sliding pads 6 and 7 having no magnetic head 4 also have a two-row support structure symmetrically about an axis parallel to the sliding direction, so that the element shown in FIG. It is also possible to have the same effect as the pad 5.
However, in the fourth embodiment, as in the first embodiment of FIG. 1, the sliding pad is symmetrical with respect to the parallel axis in the sliding direction.
One is provided. This is because variations in the rolling direction of the sliding pads 6 and 7 are less likely to directly affect the recording / reproducing performance as compared with the element pad 5, and the sliding pads 6 and 7 have a left side support row and a right side support row, respectively. This is because it is considered that the fluctuation in the rolling direction can be absorbed by performing the operation corresponding to.
【００３８】図８は、本発明の第６の実施形態であるス
ライダにおける摺動パッドの斜視図である。この実施形
態では、摺動パッド７の上部において、スライダベース
１２の一部が半円形断面を有する溝４７を有し、この中
で回転可能なピン４８が嵌まっている。また、摺動パッ
ド６および７のディスク面に対向する面側に、同様の溝
４９とそれに嵌まるピン５０が有る。ピン４８とピン５
０は長手方向に沿う軸が互いに平行で、片側を連結部材
５１で連結されている。摺動パッド７の上面とスライダ
ベース１２の下面は、わずかな隙間で隔てられており、
また、スライダベース１２下面の摺動パッド７より上流
側にはストッパ５２があり、摺動パッド７の上流方向へ
の移動を阻止している。また溝４７の内部はピン４８の
抜けを防止する目的で、高粘性流体５４が盛られてい
る。さらに、摺動パッド７に設けられた摺動面１０７の
記録媒体移動方向上流端５３は、ディスクが停止した状
態で、前記のピン４８とピン５０のそれぞれの回転中心
部を結ぶ延長線とディスク表面との交点から、記録媒体
移動方向下流側にある。FIG. 8 is a perspective view of a sliding pad in a slider which is a sixth embodiment of the present invention. In this embodiment, on the upper part of the sliding pad 7, a part of the slider base 12 has a groove 47 having a semicircular cross section, in which a rotatable pin 48 is fitted. Further, on the surface side of the sliding pads 6 and 7 facing the disk surface, there is a similar groove 49 and a pin 50 fitted therein. Pin 48 and pin 5
The axes 0 are parallel to each other in the longitudinal direction, and one side is connected by the connecting member 51. The upper surface of the sliding pad 7 and the lower surface of the slider base 12 are separated by a slight gap,
A stopper 52 is provided on the lower surface of the slider base 12 upstream of the sliding pad 7 to prevent the sliding pad 7 from moving in the upstream direction. A highly viscous fluid 54 is placed inside the groove 47 for the purpose of preventing the pin 48 from coming off. Further, the upstream end 53 of the sliding surface 107 provided on the sliding pad 7 in the recording medium moving direction is an extension line connecting the center of rotation of each of the pins 48 and 50 with the disc stopped, and the disc. It is on the downstream side in the moving direction of the recording medium from the intersection with the surface.
【００３９】摺動面１０７において、矢印５５方向に作
用する摩擦力によって、摺動パッド５は矢印５５方向に
引張られる。この構成は、ピン４８および５０を関節と
してリンク機構を構成しているので、図１の第１の実施
形態と同様に、摺動面１０７の上流端５３を持ち上げる
方向へ変位可能となる。ピンと溝の部分は粘性流体５４
による抵抗が多少あるとしても、基本的に滑動であるの
で動作抵抗が小さく、摺動面１０７に作用する摩擦力に
対して敏感に作動しやすい。ディスク回転起動時あるい
は停止時などに、ディスク２と摺動パッド７の相対移動
方向が、瞬間的に通常と逆になったとしても、ストッパ
５２により摺動パッド７が脱落することはない。On the sliding surface 107, the sliding pad 5 is pulled in the direction of arrow 55 by the frictional force acting in the direction of arrow 55. In this configuration, since the link mechanism is configured with the pins 48 and 50 as joints, it is possible to displace the upstream end 53 of the sliding surface 107 in the direction of lifting, as in the first embodiment of FIG. Pins and grooves are viscous fluid 54
Even if there is some resistance due to, the motion resistance is small because it is basically sliding, and it is easy to operate sensitively to the frictional force acting on the sliding surface 107. Even if the relative movement direction of the disk 2 and the sliding pad 7 momentarily becomes opposite to the normal direction at the time of starting or stopping the rotation of the disk, the stopper 52 does not drop the sliding pad 7.
【００４０】溝４７、４９や摺動パッド７の加工はエッ
チングで行う。これとは別にピン４８、５０および連結
部材５１は一体で形成され、最後に組み立てられる。本
実施形態では２つの摺動パッド６、７が、図８に示す構
造で支持され、素子パッド５は、図１と同様の構成とな
っている。素子パッド５についても、図８に示す構成と
することも可能であるが、例えば非常に細い配線で、素
子パッド５とスライダベース１２上の端子１８とを結ぶ
か、あるいは溝とピン、連結部材の表面を導電性被膜で
覆う等の、信号配線を引き回す手段が必要となる。The grooves 47, 49 and the sliding pad 7 are processed by etching. Apart from this, the pins 48, 50 and the connecting member 51 are integrally formed and finally assembled. In this embodiment, the two sliding pads 6 and 7 are supported by the structure shown in FIG. 8, and the element pad 5 has the same structure as that in FIG. The element pad 5 can also be configured as shown in FIG. 8, but for example, by connecting the element pad 5 and the terminal 18 on the slider base 12 with a very thin wiring, or by using a groove, a pin, or a connecting member. A means for arranging the signal wiring, such as covering the surface of the with a conductive film, is required.
【００４１】図９は、サスペンションに取り付けた本発
明の実施形態を示す図である。サスペンション５６は先
端にジンバル機構５７を備え、ピッチング方向およびロ
ーリング方向に、ヘッドスライダ１を回転可能としてい
る。また、サスペンション基部には、ヘッドスライダ１
をディスク２に押し付けるための押し付け荷重を発生す
るばね部５８がある。さらに、ヘッドスライダと、この
サスペンションを合せた部品を、ヘッド・ジンバルアセ
ンブリ（ＨＧＡ）と呼称することにする。FIG. 9 is a diagram showing an embodiment of the present invention attached to a suspension. The suspension 56 is provided with a gimbal mechanism 57 at its tip, and allows the head slider 1 to rotate in the pitching direction and the rolling direction. Further, the head slider 1 is attached to the suspension base.
There is a spring portion 58 that generates a pressing load for pressing the disk 2 against the disk 2. Further, a component including the head slider and this suspension will be referred to as a head gimbal assembly (HGA).
【００４２】図１０は、本発明を用いた磁気ディスク装
置の斜視図である。本発明の第１の実施形態のスライダ
１を取り付けた、図９に示すサスペンション５６が、支
持アーム６０に取り付けられている。さらに支持アーム
５６はピボット軸６１回わりに回転し、支持アーム６０
とピボット軸６１について反対側にボイスコイルモータ
（ＶＣＭ）６２が取り付けられている。このＶＣＭ６２
により、スライダ１およびこれに設けられたヘッド素子
４は、磁気ディスク２の半径方向に移動可能である。磁
気ディスク２は、図中に表示しないスピンドルモータに
取り付けられており、５４００ｒｐｍ〜１００００ｒｐ
ｍで回転する。スピンドルモータ、その他の性能が許せ
ば、これ以上の回転数で回転することも可能であるし、
さらに低回転数側で用いても良い。ディスクは多数枚搭
載されており、その各面に上述のスライダを搭載したサ
スペンションが配置されている。上述した薄形スライダ
を用いればディスク間隔を狭めることが容易で、ディス
ク装置の薄型化に好適である。FIG. 10 is a perspective view of a magnetic disk device using the present invention. The suspension 56 shown in FIG. 9 to which the slider 1 of the first embodiment of the present invention is attached is attached to the support arm 60. Further, the support arm 56 rotates about the pivot shaft 61, and the support arm 60 rotates.
A voice coil motor (VCM) 62 is attached to the opposite side of the pivot shaft 61. This VCM62
As a result, the slider 1 and the head element 4 provided on the slider 1 can move in the radial direction of the magnetic disk 2. The magnetic disk 2 is attached to a spindle motor not shown in the figure, and is 5400 rpm to 10000 rp.
Rotate at m. If the spindle motor and other performance allow it, it is possible to rotate at a higher rotation speed,
Further, it may be used on the low rotation speed side. A large number of disks are mounted, and the suspension on which the above-mentioned slider is mounted is arranged on each surface thereof. If the thin slider described above is used, it is easy to narrow the disk interval, which is suitable for thinning the disk device.
【００４３】また、この例のほかにも、同様の構成で上
述の各実施形態で説明した本発明に係わるスライダを用
いた磁気ディスク装置ができることは、言うまでもな
い。以上、本発明に係る実施形態を、図を参照して説明
した。いずれの実施形態を用いても、スライダの各摺動
パッドが、ディスクとの摺動による摩擦力を受けたと
き、摺動面はディスクに対する局所的な押し付け荷重の
増加を招くことなく、その前方をディスク面から離れる
方向に変位させることができる。したがって、つんのめ
りによる不安定振動、および局所的な接触力の増大を、
防止または低減することができ、磁気ヘッドおよび記録
媒体の損傷を極力低減し、信頼性の高いヘッド・ディス
クインタフェースを提供することができる。In addition to this example, it goes without saying that a magnetic disk device using the slider according to the present invention described in each of the above-described embodiments can be formed with the same structure. The embodiments of the present invention have been described above with reference to the drawings. In any of the embodiments, when each sliding pad of the slider receives a frictional force caused by sliding with the disk, the sliding surface does not cause a local pressing load to the disk and increases in front of the sliding surface. Can be displaced away from the disk surface. Therefore, unstable vibrations due to slippage and an increase in local contact force
The damage to the magnetic head and the recording medium can be prevented or reduced as much as possible, and a highly reliable head-disk interface can be provided.
【００４４】また、本発明をコンタクトレコーディング
方式に用いれば、不安定振動および局所的な接触力の増
大を防止または低減することができるため、信頼性の高
い磁気記録装置が提供できるという効果もある。また、
本発明によるヘッドスライダは、それ自体だけで、摩擦
による摺動部における摺動状態の不安定化を防止するこ
とができるので、これを従来の浮上スライダ方式のヘッ
ド支持機構に取り付けるだけで、接触スライダ方式のヘ
ッド支持機構とすることが可能である。この場合、スラ
イダの押し付け荷重が所望の値になるように、支持アー
ムのばね部の剛性等を変えた設計とする必要があるが、
ヘッド支持機構系の全長等を同じにすることができるの
で、磁気ディスク装置設計において、その他の設計を変
える部分は非常に少なくて済むという利点がある。Further, when the present invention is applied to the contact recording system, unstable vibration and local increase of contact force can be prevented or reduced, so that there is an effect that a highly reliable magnetic recording device can be provided. . Also,
Since the head slider according to the present invention can prevent the sliding state of the sliding portion from becoming unstable due to friction by itself, the head slider can be attached to the head supporting mechanism of the conventional flying slider system to make contact. A slider-type head support mechanism can be used. In this case, it is necessary to change the rigidity of the spring part of the support arm so that the pressing load of the slider becomes a desired value.
Since the head supporting mechanism system can have the same overall length and the like, there is an advantage that in the design of the magnetic disk device, other design changes can be very small.
【００４５】また、上述の各実施形態において、磁気ヘ
ッドとして、磁気抵抗効果素子を含んだ記録再生素子を
用いても良いし、インダクティブヘッドのみ、またはそ
の他の磁気ヘッド、さらには光学素子を用いたものを用
いることも可能である。上述の各実施形態の説明におい
て、ピッチングとは、記録媒体に平行で、記録媒体の移
動方向に垂直な方向に回転軸を持つ回転運動を言い、ロ
ーリングとは、記録媒体の移動方向に回転軸を持つ回転
運動を言う。なお、以上の説明で用いた図面は、説明の
関係上、縦横比、各部の寸法比などは必ずしも正しくな
い。In each of the above-described embodiments, a recording / reproducing element including a magnetoresistive effect element may be used as the magnetic head, or only an inductive head or another magnetic head, or an optical element is used. It is also possible to use one. In the description of each of the above-mentioned embodiments, pitching refers to a rotational movement having a rotation axis in a direction parallel to the recording medium and perpendicular to the moving direction of the recording medium, and rolling means a rotating axis in the moving direction of the recording medium. Say a rotating movement with. In the drawings used in the above description, the aspect ratio, the dimensional ratio of each part, and the like are not necessarily correct for the sake of explanation.
【００４６】[0046]
【発明の効果】本発明の各実施形態によれば、磁気ヘッ
ドが磁気記録媒体と接触摺動する際、摩擦力が働くと、
荷重が減ると共に、摺動面の前方が持ち上がる方向に変
位することから、つんのめりによる不安定振動、および
局所的な応力の発生を回避できるという効果があり、ま
た、摩擦力の均一化という効果もある。そして、本発明
を用いることで、コンタクトレコーディング方式による
高密度、大容量の磁気記録装置が提供できるという効果
もある。According to each of the embodiments of the present invention, when a magnetic head is brought into contact with and slides on a magnetic recording medium, a frictional force acts,
Since the load is reduced and the front of the sliding surface is displaced in the lifting direction, there is the effect of avoiding unstable vibration and local stress generation due to slipping, and also the effect of equalizing the frictional force. is there. Further, by using the present invention, there is also an effect that it is possible to provide a high-density and large-capacity magnetic recording device by the contact recording method.
【図１】本発明の第１の実施形態を表すスライダの斜視
図である。FIG. 1 is a perspective view of a slider that represents a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第１の実施形態における素子パッドの
側面図である。FIG. 2 is a side view of an element pad according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第１の実施形態の動作を表す素子パッ
ドの側面図である。FIG. 3 is a side view of the element pad showing the operation of the first embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第１の実施形態を他の加工法によって
形成した例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example in which the first embodiment of the present invention is formed by another processing method.
【図５】本発明の第２の実施形態であるスライダの斜視
図である。FIG. 5 is a perspective view of a slider that is a second embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第３の実施形態であるスライダの斜視
図である。FIG. 6 is a perspective view of a slider that is a third embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第４の実施形態に係わる素子パッドの
斜視図である。FIG. 7 is a perspective view of an element pad according to a fourth embodiment of the present invention.
【図８】本発明の第５の実施形態であるスライダの斜視
図である。FIG. 8 is a perspective view of a slider that is a fifth embodiment of the present invention.
【図９】サスペンションに取り付けた本発明のの実施形
態を示す図である。FIG. 9 illustrates an embodiment of the present invention attached to a suspension.
【図１０】本発明を用いた磁気ディスク装置の斜視図で
ある。FIG. 10 is a perspective view of a magnetic disk device using the present invention.
【図１１】本発明の第１の実施形態のスライダにおける
素子パッドの詳細図である。FIG. 11 is a detailed view of element pads in the slider according to the first embodiment of the present invention.
【図１２】本発明の第１の実施形態のスライダの加工法
を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a slider processing method according to the first embodiment of the present invention.
１ スライダ ２ ディスク ３ ディスク移動方向 ４ 磁気ヘッド素子 ５ 素子摺動パッド ６、７ 摺動パッド ８ 剛体部 ９ ヒンジ １０ 中間剛体部 １１ ヒンジ １２ スライダベース １３ 剛体部 １４ ヒンジ １５ 中間剛体部 １６ ヒンジ １７ 配線層 １８ 端子 １９ 仮想線延長線 ２０ 摺動点 ２１ 垂線 ２２ ディスク回転方向 ２３ 点線 ２４ 基板 ２５ 金属層 ２６ コイル ２７ 磁極 ２８ 磁気抵抗効果素子 ２９ 磁極 ３１ 電極 ３２ 保護膜 ３３、３４、３５、３６ 深堀エッチング加工方向 ３７ スパッタリングによる薄膜形成方向 ３８ サンドイッチ構造膜 ３９ 導電膜 ４０ スルーホール ４１ ローリング方向 ４２、４３、４４、４５ 除去加工方向 ４６ スルーホール ４７ 溝 ４８ ピン ４９ 溝 ５０ ピン ５１ 連結部材 ５２ ストッパ ５３ 記録媒体移動方向上流端 ５４ 高粘性流体 ５５ 摩擦力作用方向 ５６ サスペンション ５７ ジンバル機構 ５８ ばね部 ５９ マウント ６０ 支持アーム ６１ ピボット軸 ６２ ボイスコイルモータ（ＶＣＭ） １０５、１０６、１０７ 摺動面 1 slider 2 discs 3 Disc movement direction 4 Magnetic head element 5 element sliding pad 6, 7 Sliding pad 8 rigid body 9 hinges 10 Intermediate rigid body part 11 hinges 12 Slider base 13 Rigid part 14 Hinge 15 Intermediate rigid body 16 hinges 17 Wiring layer 18 terminals 19 Virtual line extension 20 sliding points 21 perpendicular 22 Disc rotation direction 23 dotted line 24 substrates 25 metal layers 26 coils 27 magnetic poles 28 Magnetoresistive effect element 29 magnetic poles 31 electrodes 32 Protective film 33, 34, 35, 36 Deep etching direction 37 Thin film formation direction by sputtering 38 Sandwich structure membrane 39 Conductive film 40 through hole 41 rolling direction 42, 43, 44, 45 Removal processing direction 46 through hole 47 groove 48 pins 49 groove 50 pin 51 Connection member 52 Stopper 53 upstream end of moving direction of recording medium 54 Highly viscous fluid 55 Direction of friction force 56 suspension 57 Gimbal mechanism 58 Spring part 59 mount 60 support arm 61 pivot axis 62 Voice coil motor (VCM) 105, 106, 107 Sliding surface
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清水 利彦 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社 日立製作所 機械研究所内 (56)参考文献 特開 平７−57419（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−234296（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−282823（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−203053（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−36851（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−187626（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−21069（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/56 - 5/60 G11B 21/16 - 21/26 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toshihiko Shimizu 502 Jinrachicho, Tsuchiura City, Ibaraki Prefecture Machinery Research Laboratory, Hitachi, Ltd. (56) Reference JP-A-7-57419 (JP, A) JP-A-5- 234296 (JP, A) JP-A-5-282823 (JP, A) JP-A-8-203053 (JP, A) JP-A-8-36851 (JP, A) JP-A-6-187626 (JP, A) Actual Development Sho 61-21069 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 5/56-5/60 G11B 21/16-21/26
Claims (9)
一つの摺動部を有し、前記摺動部の少なくとも一つは磁
気ヘッドを搭載する摺動型のヘッドスライダにおいて、
前記磁気ヘッドを搭載した摺動部は、前記記録媒体移動
方向上流側から、第１の変形可能部、第１の剛体部、第
２の変形可能部を順に介して摺動面を有する第２の剛体
部が片持ちで支持され、前記摺動面の記録媒体移動方向
上流端は、前記記録媒体が停止した状態で、前記第１お
よび第２の変形可能部を結ぶ延長線と前記記録媒体との
交点より下流側に設けられてなることを特徴とするヘッ
ドスライダ。1. A sliding-type head slider having at least one sliding portion that slides on a surface of a recording medium, wherein at least one of the sliding portions has a magnetic head mounted thereon.
A sliding portion on which the magnetic head is mounted has a sliding surface from the upstream side in the recording medium moving direction through a first deformable portion, a first rigid body portion, and a second deformable portion in this order. Rigid body
Parts are cantilevered, the recording medium moving direction upstream end of the previous Kisuridomen, in a state where the recording medium is stopped, the extended line connecting the first and second deformable portion and the recording medium head slider, characterized by comprising provided from the intersection point to the downstream side.
し、前記摺動部の少なくとも一つは磁気ヘッドを搭載す
る摺動型のヘッドスライダにおいて、前記摺動部は、独
立して変形する支持手段により支持され、前記支持手段
は、前記記録媒体の移動方向上流側から順に、第１の変
形可能部、第１の剛体部、第２の変形可能部を備え、該
支持手段により前記摺動部の摺動面を有する前記第２の
剛体部が前記記録媒体移動方向上流側から片持ちで支持
されてなり、前記摺動面の記録媒体移動方向上流端は、
前記記録媒体が停止した状態で、前記第１および第２の
変形可能部を結ぶ延長線と前記記録媒体との交点より下
流側に設けられてなることを特徴とするヘッドスライ
ダ。2. A has a sliding portion you slide on the surface of the recording medium, at least one of the sliding portion in sliding type head slider mounting a magnetic head, the sliding portion, The support means is supported by a support means that independently deforms.
Is the first variable in order from the upstream side in the moving direction of the recording medium.
A deformable portion, a first rigid body portion, and a second deformable portion,
The second portion having a sliding surface of the sliding portion by a supporting means.
The rigid body is supported by a cantilever from the upstream side in the moving direction of the recording medium.
The upstream end of the sliding surface in the recording medium moving direction is
With the recording medium stopped, the first and second
Below the intersection of the extension line connecting the deformable part and the recording medium
A head slider, characterized in that it is provided on the flow side .
ダにおいて、前記第１および第２の変形可能部が、母材
の除去加工により形成されてなることを特徴とするヘッ
ドスライダ。3. A head slider according to claim 1 or 2, the head slider second deformable portion and the first contact, characterized in that formed by formed by removal processing of the base material.
ダにおいて、前記摺動部に設けられた磁気記録素子は、
摺動面に垂直な方向に薄膜を積層するプロセスによって
形成された薄型ヘッド素子であることを特徴とするヘッ
ドスライダ。4. The head slider according to claim 1 or 2 , wherein the magnetic recording element provided on the sliding portion comprises:
A head slider, which is a thin head element formed by a process of laminating thin films in a direction perpendicular to a sliding surface.
ダにおいて、前記第１および第２の変形可能部並びに第
１の剛体部の一部を、前記第２の剛体部に設けられる磁
気ヘッドへの配線によって構成し、前記第２の剛体部、
前記磁気ヘッドおよび前記配線は、薄膜の積層プロセス
によって形成されたことを特徴とするヘッドスライダ。 5. The head slider according to claim 1 or 2 , wherein the first and second deformable portions and the first and second deformable portions are provided.
1 of a part of the rigid portion is constituted by the wiring to the magnetic head provided on the second rigid portion, the second rigid part,
The head slider, wherein the magnetic head and the wiring are formed by a thin film laminating process.
ダにおいて、前記第２の変形可能部の剛性が、第１の変
形可能部の剛性より低いことを特徴とするヘッドスライ
ダ。6. A head slider according to claim 1 or 2, wherein the stiffness of the second deformable portion, the head slider, wherein the lower than the rigidity of the first deformable section.
ダにおいて、前記磁気ヘッドは、少なくとも記録媒体か
ら情報の再生を行う磁気抵抗効果再生素子からなること
を特徴とするヘッドスライダ。7. A head slider according to claim 1 or 2, wherein the magnetic head, the head slider, comprising the magnetoresistive read element for reproducing information from at least the recording medium.
一つの摺動部を有し、前記摺動部の少なくとも一つは磁
気ヘッドを搭載する摺動型のヘッドスライダにおいて、
前記摺動部の少なくとも一つが、回転可能な第１のピン
および第２のピンと、それら２つのピンを繋ぐ連結部材
によって支持され、前記摺動部の摺動面の記録媒体移動
方向上流端は、前記記録媒体が停止した状態で、前記第
１および第２のピンの回転中心部を結ぶ延長線と前記記
録媒体との交点より下流側に設けられてなることを特徴
とするヘッドスライダ。8. A sliding-type head slider having at least one sliding portion that slides on a surface of a recording medium, wherein at least one of the sliding portions has a magnetic head mounted thereon.
At least one of the sliding parts is supported by a rotatable first pin and a second pin and a connecting member connecting the two pins, and a sliding surface of the sliding part has an upstream end in a recording medium moving direction. the state in which the recording medium is stopped, the head slider, characterized by comprising provided from the intersection of the first and second pin extension and the recording medium connecting the rotation center of the downstream side.
一つの摺動部を有し、前記摺動部の少なくとも一つは磁
気ヘッドを搭載する摺動型のヘッドスライダを備えた磁
気記録装置において、前記ヘッドスライダは、前記記録
媒体の移動方向上流側から、第１の変形可能部、第１の
剛体部、第２の変形可能部を順に介して摺動面を有する
第２の剛体部が片持ちで支持され、前記摺動面の記録媒
体移動方向上流端は、前記記録媒体が停止した状態で、
前記第１および第２の変形可能部を結ぶ延長線と前記記
録媒体との交点より下流側に設けられてなることを特徴
とする磁気記録装置。9. A magnetic recording apparatus having at least one sliding portion that slides on the surface of a recording medium, wherein at least one of the sliding portions includes a sliding head slider on which a magnetic head is mounted. In the head slider, the head slider has a sliding surface from the upstream side in the moving direction of the recording medium through the first deformable portion, the first rigid body portion, and the second deformable portion in this order.
Second rigid portion is supported in a cantilever manner, the recording medium moving direction upstream end of the pre Kisuridomen, in a state where the recording medium is stopped,
The magnetic recording apparatus characterized by comprising provided from downstream intersection between the first and the extension line and the recording medium that connects the second deformable portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24536997A JP3513737B2 (en) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | Head slider and magnetic recording device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
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| Country | Link |
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Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1997
- 1997-09-10 JP JP24536997A patent/JP3513737B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1186484A (en) | 1999-03-30 |
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