JP3512249B2 - ヒートシンク - Google Patents
ヒートシンクInfo
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- JP3512249B2 JP3512249B2 JP27357094A JP27357094A JP3512249B2 JP 3512249 B2 JP3512249 B2 JP 3512249B2 JP 27357094 A JP27357094 A JP 27357094A JP 27357094 A JP27357094 A JP 27357094A JP 3512249 B2 JP3512249 B2 JP 3512249B2
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- Japan
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- water
- cooling
- laser diode
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- channel
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- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は水冷構造を有するヒート
シンクに関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来、この種のヒートシンクとしては、
例えば、図３に示す高出力ＬＤ（レーザーダイオード）
アレイ用のヒートシンクがある。ここで、同図（ａ）は
このヒートシンクの断面図、同図（ｂ）は平面図を示し
ている。このＬＤアレイ用ヒートシンクには、ＬＤ発振
波長の動的な変動を抑えることはもちろんのこと、出射
されたレーザビームの空間的なばらつきを最小限に抑制
する機能を果たすことが必要とされる。このため、この
ヒートシンクではＬＤアレイの放熱を円滑に行うために
水冷構造が備えられている。つまり、放熱体１には上面
水路２ａと下面水路２ｂとの２層構造をした水路２が設
けられている。この水路２の注入口３から取り込まれた
冷却水は上面水路２ａにおいて広げられる。広げられた
冷却水はＬＤアレイ４を一様に冷却し、冷却後、下面水
路２ｂを通って排出口５に戻される。放熱体１はシリコ
ン結晶からなり、上面水路２ａおよび下面水路２ｂはこ
のシリコン（Ｓｉ）結晶が微細加工されて形成されてい
る。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のヒートシンクにおいては、上記のように微細加工技
術を用いて上面水路２ａおよび下面水路２ｂを形成して
いるため、ヒートシンクの作製工程が複雑になるという
問題があった。また、Ｓｉは機械的に脆いため、ヒート
シンクの耐久性にも問題があった。 【０００４】本発明はこのような課題を解消するために
なされたもので、棒状に形成されたレーザダイオードア
レイの全体を一様に冷却し、前記レーザダイオードアレ
イを構成する各レーザダイオード素子の間での発振波長
のばらつきを抑えるためのヒートシンクであって、レー
ザダイオードアレイに接触させられる放熱体と、この放
熱体に形成された水路とを備え、この水路に冷却水を流
してレーザダイオードアレイを冷却するヒートシンクに
おいて、水路は、小孔が形成され加圧水が供給される加
圧水路と、小孔から噴射された冷却水が当てられるレー
ザダイオードアレイの近傍に設けられた冷却部と、この
冷却部で用いられた冷却水を排出する排出水路とから構
成されおり、冷却部に凹凸が形成されており、加圧水路
に他の部分よりも加圧水の流れる方向に垂直な断面の径
が大きい水溜部が形成され、この水溜部に小孔が複数形
成されており、放熱体が銅製であることを特徴とするも
のである。 【０００５】 【０００６】 【０００７】 【作用】小孔から噴射された冷却水は冷却部に高圧で噴
きつけられ、発熱体から冷却部に伝わった熱はこの冷却
水によって効果的に奪われる。一方、本構造は脆いシリ
コン結晶を用いなくても構成される。 【０００８】また、冷却部に凹凸が形成されていると、
冷却部の表面積は増大し、冷却水との接触面積は増大す
る。 【０００９】また、加圧水路に水溜部が形成され、この
水溜部に複数の小孔が形成されていると、各小孔から噴
射される高圧の冷却水は冷却部に同時に噴きつけられ
る。 【００１０】 【実施例】図１は本発明の一実施例によるヒートシンク
を示す側面図であり、図２はこのヒートシンクの上面図
である。 【００１１】放熱体１１の上面端部には発熱体であるＬ
Ｄバー１２が載置されている。このＬＤバー１２はＬＤ
が棒状に形成されたものであり、放熱体１１の端部にお
いて図１の紙面に垂直な方向に延びている。ＬＤバー１
２から出射されたレーザービームはマイクロレンズ１３
によって集束されて出射される。放熱体１１の内部には
ＬＤバー１２を冷却するための水路が形成されている。
水路は、加圧水路１４と冷却部１５と排出水路１６とか
ら構成されている。加圧水路１４は円筒状の銅製パイプ
からなり、この加圧水路１４の端部には直角に太めの銅
製パイプが溶接され、水溜部１４ａが形成されている。
この水溜部１４ａには、ＬＤバー１２の配設方向に沿っ
て複数の小孔１７が形成されている。これら加圧水路１
４および水溜部１４ａは放熱体１１の内部に形成された
空洞部に挿入、固定されて構成されている。この空洞部
は、厚さ１ｍｍの銅板からなる放熱体１１の内部が切削
されて形成されている。ＬＤバー１２の下方にある空洞
部は冷却部１５を構成しており、ＬＤバー１２の近傍の
冷却部１５には凹凸面１５ａが形成されている。この凹
凸面１５ａは、各小孔１７から噴射される冷却水が噴き
つけられる位置に形成されている。放熱体１１の残余の
空洞部は排出水路１６を構成している。 【００１２】このような構成において、加圧水路１４に
注入された冷却水は高圧力になり、加圧された冷却水は
各小孔１７から噴射する。噴射した冷却水は凹凸面１５
ａに噴きつけられ、排出水路１６に集められて排出され
る。 【００１３】本実施例によるヒートシンクにおいては、
小孔１７から噴射された冷却水は冷却部１５の内壁に高
圧で噴きつけられ、ＬＤバー１２から冷却部１５に伝わ
った熱はこの冷却水によって効果的に奪われる。一方、
本実施例によるヒートシンクは、耐久性の高い銅板およ
び銅製パイプによって形成され、従来のように脆いシリ
コン結晶を用いなくても構成できる。このため、ヒート
シンクの作製工程に微細で複雑な従来の加工工程が必要
とされなくなり、比較的容易に耐久性の高いヒートシン
クを製造することが可能となる。 【００１４】また、冷却水が噴きつけられる冷却部１５
の内壁に凹凸面１５ａが形成されているため、冷却部１
５の表面積は増大する。よって、冷却部１５と冷却水と
の接触面積が増大するため、ＬＤバー１２から冷却部１
５に伝えられた熱はより効率的に冷却水に奪われ、ヒー
トシンクの熱交換の効率は向上する。 【００１５】また、加圧水路１４に水溜部１４ａが形成
され、この水溜部１４ａに複数の小孔１７が形成されて
いるため、各小孔１７から噴射される高圧の冷却水は冷
却部１５に同時に噴きつけられる。このため、棒状に長
く形成されたＬＤバー１２であっても、多量の冷却水に
よって全体的に効率良く冷却される。 【００１６】 【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、小
孔から噴射された冷却水は冷却部に高圧で噴きつけら
れ、発熱体から冷却部に伝わった熱はこの冷却水によっ
て効果的に奪われる。一方、本構造は脆いシリコン結晶
を用いなくても構成できる。このため、ヒートシンクの
作製工程に微細で複雑な加工工程が必要とされなくな
り、比較的容易に耐久性の高いヒートシンクを製造する
ことが可能となる。 【００１７】また、冷却部に凹凸が形成されていると、
冷却部の表面積は増大し、冷却水との接触面積は増大す
る。このため、発熱体から冷却部に伝えられた熱はより
効率的に冷却水に奪われ、ヒートシンクの熱交換の効率
は向上する。 【００１８】また、加圧水路に水溜部が形成され、この
水溜部に複数の小孔が形成されていると、各小孔から噴
射される高圧の冷却水は冷却部に同時に噴きつけられ
る。このため、発熱体は全体的に効率良く冷却される。
シンクに関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来、この種のヒートシンクとしては、
例えば、図３に示す高出力ＬＤ（レーザーダイオード）
アレイ用のヒートシンクがある。ここで、同図（ａ）は
このヒートシンクの断面図、同図（ｂ）は平面図を示し
ている。このＬＤアレイ用ヒートシンクには、ＬＤ発振
波長の動的な変動を抑えることはもちろんのこと、出射
されたレーザビームの空間的なばらつきを最小限に抑制
する機能を果たすことが必要とされる。このため、この
ヒートシンクではＬＤアレイの放熱を円滑に行うために
水冷構造が備えられている。つまり、放熱体１には上面
水路２ａと下面水路２ｂとの２層構造をした水路２が設
けられている。この水路２の注入口３から取り込まれた
冷却水は上面水路２ａにおいて広げられる。広げられた
冷却水はＬＤアレイ４を一様に冷却し、冷却後、下面水
路２ｂを通って排出口５に戻される。放熱体１はシリコ
ン結晶からなり、上面水路２ａおよび下面水路２ｂはこ
のシリコン（Ｓｉ）結晶が微細加工されて形成されてい
る。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のヒートシンクにおいては、上記のように微細加工技
術を用いて上面水路２ａおよび下面水路２ｂを形成して
いるため、ヒートシンクの作製工程が複雑になるという
問題があった。また、Ｓｉは機械的に脆いため、ヒート
シンクの耐久性にも問題があった。 【０００４】本発明はこのような課題を解消するために
なされたもので、棒状に形成されたレーザダイオードア
レイの全体を一様に冷却し、前記レーザダイオードアレ
イを構成する各レーザダイオード素子の間での発振波長
のばらつきを抑えるためのヒートシンクであって、レー
ザダイオードアレイに接触させられる放熱体と、この放
熱体に形成された水路とを備え、この水路に冷却水を流
してレーザダイオードアレイを冷却するヒートシンクに
おいて、水路は、小孔が形成され加圧水が供給される加
圧水路と、小孔から噴射された冷却水が当てられるレー
ザダイオードアレイの近傍に設けられた冷却部と、この
冷却部で用いられた冷却水を排出する排出水路とから構
成されおり、冷却部に凹凸が形成されており、加圧水路
に他の部分よりも加圧水の流れる方向に垂直な断面の径
が大きい水溜部が形成され、この水溜部に小孔が複数形
成されており、放熱体が銅製であることを特徴とするも
のである。 【０００５】 【０００６】 【０００７】 【作用】小孔から噴射された冷却水は冷却部に高圧で噴
きつけられ、発熱体から冷却部に伝わった熱はこの冷却
水によって効果的に奪われる。一方、本構造は脆いシリ
コン結晶を用いなくても構成される。 【０００８】また、冷却部に凹凸が形成されていると、
冷却部の表面積は増大し、冷却水との接触面積は増大す
る。 【０００９】また、加圧水路に水溜部が形成され、この
水溜部に複数の小孔が形成されていると、各小孔から噴
射される高圧の冷却水は冷却部に同時に噴きつけられ
る。 【００１０】 【実施例】図１は本発明の一実施例によるヒートシンク
を示す側面図であり、図２はこのヒートシンクの上面図
である。 【００１１】放熱体１１の上面端部には発熱体であるＬ
Ｄバー１２が載置されている。このＬＤバー１２はＬＤ
が棒状に形成されたものであり、放熱体１１の端部にお
いて図１の紙面に垂直な方向に延びている。ＬＤバー１
２から出射されたレーザービームはマイクロレンズ１３
によって集束されて出射される。放熱体１１の内部には
ＬＤバー１２を冷却するための水路が形成されている。
水路は、加圧水路１４と冷却部１５と排出水路１６とか
ら構成されている。加圧水路１４は円筒状の銅製パイプ
からなり、この加圧水路１４の端部には直角に太めの銅
製パイプが溶接され、水溜部１４ａが形成されている。
この水溜部１４ａには、ＬＤバー１２の配設方向に沿っ
て複数の小孔１７が形成されている。これら加圧水路１
４および水溜部１４ａは放熱体１１の内部に形成された
空洞部に挿入、固定されて構成されている。この空洞部
は、厚さ１ｍｍの銅板からなる放熱体１１の内部が切削
されて形成されている。ＬＤバー１２の下方にある空洞
部は冷却部１５を構成しており、ＬＤバー１２の近傍の
冷却部１５には凹凸面１５ａが形成されている。この凹
凸面１５ａは、各小孔１７から噴射される冷却水が噴き
つけられる位置に形成されている。放熱体１１の残余の
空洞部は排出水路１６を構成している。 【００１２】このような構成において、加圧水路１４に
注入された冷却水は高圧力になり、加圧された冷却水は
各小孔１７から噴射する。噴射した冷却水は凹凸面１５
ａに噴きつけられ、排出水路１６に集められて排出され
る。 【００１３】本実施例によるヒートシンクにおいては、
小孔１７から噴射された冷却水は冷却部１５の内壁に高
圧で噴きつけられ、ＬＤバー１２から冷却部１５に伝わ
った熱はこの冷却水によって効果的に奪われる。一方、
本実施例によるヒートシンクは、耐久性の高い銅板およ
び銅製パイプによって形成され、従来のように脆いシリ
コン結晶を用いなくても構成できる。このため、ヒート
シンクの作製工程に微細で複雑な従来の加工工程が必要
とされなくなり、比較的容易に耐久性の高いヒートシン
クを製造することが可能となる。 【００１４】また、冷却水が噴きつけられる冷却部１５
の内壁に凹凸面１５ａが形成されているため、冷却部１
５の表面積は増大する。よって、冷却部１５と冷却水と
の接触面積が増大するため、ＬＤバー１２から冷却部１
５に伝えられた熱はより効率的に冷却水に奪われ、ヒー
トシンクの熱交換の効率は向上する。 【００１５】また、加圧水路１４に水溜部１４ａが形成
され、この水溜部１４ａに複数の小孔１７が形成されて
いるため、各小孔１７から噴射される高圧の冷却水は冷
却部１５に同時に噴きつけられる。このため、棒状に長
く形成されたＬＤバー１２であっても、多量の冷却水に
よって全体的に効率良く冷却される。 【００１６】 【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、小
孔から噴射された冷却水は冷却部に高圧で噴きつけら
れ、発熱体から冷却部に伝わった熱はこの冷却水によっ
て効果的に奪われる。一方、本構造は脆いシリコン結晶
を用いなくても構成できる。このため、ヒートシンクの
作製工程に微細で複雑な加工工程が必要とされなくな
り、比較的容易に耐久性の高いヒートシンクを製造する
ことが可能となる。 【００１７】また、冷却部に凹凸が形成されていると、
冷却部の表面積は増大し、冷却水との接触面積は増大す
る。このため、発熱体から冷却部に伝えられた熱はより
効率的に冷却水に奪われ、ヒートシンクの熱交換の効率
は向上する。 【００１８】また、加圧水路に水溜部が形成され、この
水溜部に複数の小孔が形成されていると、各小孔から噴
射される高圧の冷却水は冷却部に同時に噴きつけられ
る。このため、発熱体は全体的に効率良く冷却される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例によるヒートシンクを示す側
面図である。 【図２】本実施例によるヒートシンクを示す上面図であ
る。 【図３】従来のヒートシンクを示す図である。 【符号の説明】 １１…放熱体、１２…ＬＤバー、１３…マイクロレン
ズ、１４…加圧水路、１４ａ…水溜部、１５…冷却部、
１５ａ…凹凸面、１６…排出水路、１７…小孔。
面図である。 【図２】本実施例によるヒートシンクを示す上面図であ
る。 【図３】従来のヒートシンクを示す図である。 【符号の説明】 １１…放熱体、１２…ＬＤバー、１３…マイクロレン
ズ、１４…加圧水路、１４ａ…水溜部、１５…冷却部、
１５ａ…凹凸面、１６…排出水路、１７…小孔。
フロントページの続き
(72)発明者 宮島 博文
静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松
ホトニクス株式会社内
(72)発明者 神崎 武司
静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松
ホトニクス株式会社内
(72)発明者 菅 博文
静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松
ホトニクス株式会社内
(56)参考文献 特開 昭59−168685（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−152659（ＪＰ，Ａ)
実開 昭58−85370（ＪＰ，Ｕ)
実開 平３−79450（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭61−76965（ＪＰ，Ｕ)
実公 昭63−42534（ＪＰ，Ｙ２)
特表 平５−508265（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H05K 7/20
H01L 23/34 - 27/473
H01S 3/18
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 棒状に形成されたレーザダイオードアレ
イの全体を一様に冷却し、前記レーザダイオードアレイ
を構成する各レーザダイオード素子の間での発振波長の
ばらつきを抑えるためのヒートシンクであって、 前記レーザダイオードアレイに接触させられる放熱体
と、この放熱体に形成された水路とを備え、この水路に
冷却水を流して前記レーザダイオードアレイを冷却する
ヒートシンクにおいて、 前記水路は、小孔が形成され加圧水が供給される加圧水
路と、前記小孔から噴射された冷却水が当てられる前記
レーザダイオードアレイの近傍に設けられた冷却部と、
この冷却部で用いられた冷却水を排出する排出水路とか
ら構成されおり、 前記冷却部に凹凸が形成されており、 前記加圧水路に他の部分よりも加圧水の流れる方向に垂
直な断面の径が大きい水溜部が形成され、この水溜部に
前記小孔が複数形成されており、 前記放熱体が銅製であることを特徴とするヒートシン
ク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27357094A JP3512249B2 (ja) | 1994-11-08 | 1994-11-08 | ヒートシンク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27357094A JP3512249B2 (ja) | 1994-11-08 | 1994-11-08 | ヒートシンク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08139479A JPH08139479A (ja) | 1996-05-31 |
| JP3512249B2 true JP3512249B2 (ja) | 2004-03-29 |
Family
ID=17529652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27357094A Expired - Lifetime JP3512249B2 (ja) | 1994-11-08 | 1994-11-08 | ヒートシンク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3512249B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4224217B2 (ja) * | 1998-08-18 | 2009-02-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体レーザスタック装置 |
| DE69936226T2 (de) | 1998-08-18 | 2008-01-24 | Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu | Kühlkörper, und halbleiterlaservorrichtung mit einem solchen kühlkörper |
| JP3878869B2 (ja) | 2002-03-06 | 2007-02-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体発光装置 |
| KR101173320B1 (ko) | 2003-10-15 | 2012-08-10 | 니치아 카가쿠 고교 가부시키가이샤 | 발광장치 |
| JP2005268445A (ja) | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体レーザ装置 |
| JP4074259B2 (ja) | 2004-03-17 | 2008-04-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体レーザ装置 |
-
1994
- 1994-11-08 JP JP27357094A patent/JP3512249B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08139479A (ja) | 1996-05-31 |
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