JP3502539B2 - Optical memory device - Google Patents

Optical memory device

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JP3502539B2
JP3502539B2 JP04001498A JP4001498A JP3502539B2 JP 3502539 B2 JP3502539 B2 JP 3502539B2 JP 04001498 A JP04001498 A JP 04001498A JP 4001498 A JP4001498 A JP 4001498A JP 3502539 B2 JP3502539 B2 JP 3502539B2
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功史 小出
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、超高密度な情報の
記録/再生が可能なエバネッセント光を利用した光メモ
リ装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical memory device using evanescent light capable of recording / reproducing information of ultra high density.

【0002】[0002]

【従来の技術】エバネッセント光を利用した光メモリ装
置は、顕微鏡の分野から発展してきたので、まず始め
に、エバネッセント波を利用した顕微鏡の技術から、以
下簡単に説明する。
2. Description of the Related Art Since an optical memory device utilizing evanescent light has been developed in the field of microscopes, first, the technique of a microscope using evanescent waves will be briefly described below.

【0003】伝播しないエバネッセント波をプローブ光
に用いて、光の波長以下の分解能を実現する光学式ニア
フィールド顕微鏡がある。これは、光学プローブ上にエ
バネッセント波を生じさせ、試料との相互作用によって
生じる場の変化を検出するか、或いは、試料表面上にエ
バネッセント波を生じさせ、光学プローブを近づけてエ
バネッセント波の状態を検出することによって、高分解
能な試料の形状測定を行うものある。
There is an optical near-field microscope that realizes resolution equal to or less than the wavelength of light by using evanescent waves that do not propagate as probe light. This generates an evanescent wave on the optical probe and detects a change in the field caused by the interaction with the sample, or generates an evanescent wave on the sample surface and brings the optical probe closer to the evanescent wave state. In some cases, the shape of a sample with high resolution is measured by detecting the shape.

【0004】光学式ニアフィールド顕微鏡は、エバネッ
セント波が非伝播光であり、波長程度の距離で減衰する
という性質を利用して、試料の表面形状を高い分解能で
計測することができる。また、エバネッセント波は通常
の伝播光では実現できない短い波長の光波である。光波
の波長が短い程、横方向の分解能が高くできるので、光
学式ニアフィールド顕微鏡は、高解像度測定が可能とな
る。
The optical near-field microscope can measure the surface shape of a sample with high resolution by utilizing the property that the evanescent wave is non-propagating light and is attenuated at a distance of about the wavelength. Further, the evanescent wave is a light wave having a short wavelength that cannot be realized by ordinary propagating light. The shorter the wavelength of the light wave, the higher the resolution in the lateral direction, so that the optical near-field microscope can perform high-resolution measurement.

【0005】エバネッセント波は、高屈折率側から低屈
折率側へ全反射角以上の入射角で光を入射した場合に生
じる。また、波長よりも小さい径のピンホールに光を入
射した時にもピンホール上にエバネッセント波が生じ
る。光学式ニアフィールド顕微鏡は、エバネッセント波
の発生方法によって、二種類に大別することができる。
一方はフォトントンネリング型ニアフィールド顕微鏡
で、他方はピンホール型ニアフィールド顕微鏡である。
The evanescent wave is generated when light is incident from the high-refractive index side to the low-refractive index side at an incident angle equal to or greater than the total reflection angle. Also, when light is incident on a pinhole having a diameter smaller than the wavelength, an evanescent wave is generated on the pinhole. Optical near-field microscopes can be roughly classified into two types according to the method of generating an evanescent wave.
One is a photon tunneling near-field microscope and the other is a pinhole near-field microscope.

【0006】フォトントンネリング型ニアフィールド顕
微鏡では、高屈折率のチップやカバーガラス等に全反射
角以上で光を入射した場合に生じるエバネッセント波を
用いている。フォトントンネリング型ニアフィールド顕
微鏡は、非走査型及び走査型の両方で実現可能である。
The photon tunneling type near-field microscope uses an evanescent wave generated when light is incident on a high refractive index chip or a cover glass at a total reflection angle or more. The photon tunneling near-field microscope can be realized as both a non-scanning type and a scanning type.

【0007】非走査型でフォトントンネリング型ニアフ
ィールド顕微鏡を実現した報告がGuerraによって
なされている(Guerra:Appl.Opt.,2
6,3741,(1990))。これによると、通常の
反射光学顕微鏡を少し改良するだけで、試料を高分解で
直接観察することができる。
Guerra has reported that a non-scanning type photon-tunneling type near-field microscope was realized (Guerra: Appl. Opt., 2).
6,3741, (1990)). According to this, the sample can be directly observed with high resolution by slightly improving the ordinary reflection optical microscope.

【0008】また、走査型のフォトントンネリング型ニ
アフィールド顕微鏡は、Courjon(D.Cour
jon,K Sarayeddine, and M.
Spajer:Optics Commun.,71,
23(1989))、Reddic(R.C.Redd
ick,R.J.Warmack,and T.L.F
errell:Phys.Rev.B,39,767
(1989))、大津(蒋曙東、冨田直幸、大津元一、
光学、第20巻、134(1991))らによって、そ
れぞれ報告されている。
Further, a scanning type photon tunneling type near field microscope is disclosed in Courjon (D. Cour).
Jon, K Sarayeddine, and M.M.
Spajer: Optics Commun. , 71,
23 (1989)), Reddic (RC Redd).
ick, R.I. J. Warmack, and T.W. L. F
errell: Phys. Rev. B, 39,767
(1989)), Otsu (Jiang Shuodong, Naoyuki Tomita, Motoichi Otsu,
Optics, Vol. 20, 134 (1991)).

【0009】ピンホール型ニアフィールド顕微鏡は、波
長より小さいピンホールや波長より小さい面積まで先端
を尖らせた光導波チップに光を入射し、チップ先端に生
じるエバネッセント場を用いている。
The pinhole type near-field microscope uses a pinhole smaller than the wavelength or an evanescent field generated at the tip of the tip by injecting light into an optical waveguide chip whose tip is sharpened to an area smaller than the wavelength.

【0010】チップ先端のエバネッセント場のスポット
拡がりは、エバネッセント波の侵入長程度までは、ほと
んど拡がらないことが知られている。従って、ピンホー
ル型ニアフィールド顕微鏡は、スポット走査顕微鏡の形
式を取る。このアイディアは、1956年O’Keef
eが提案し(J.A.O’Keefe:J.Opt.S
oc.Am.,45,359(1956))、1972
年にAshがマイクロ波を用いた実験を行っている
(E.A.Ash and G.Nicholls:N
ature,237,510(1972))。
It is known that the spot spread of the evanescent field at the tip of the chip hardly spreads up to the penetration length of the evanescent wave. Therefore, pinhole near field microscopes take the form of spot scanning microscopes. This idea came from the 1956 O'Kef
e. (JAO'Keefe: J. Opt. S)
oc. Am. , 45, 359 (1956)), 1972
In 2004, Ash conducted an experiment using microwaves (EA Ash and G. Nicholls: N.
ature, 237, 510 (1972)).

【0011】また、1984年頃Corenell大学
のIssacsonのグループ(E.Betzig,
A.Lewis,A.Harootunian,M.I
ssacson and E.Kratschmer:
Biophys.J.,49,269(1986))
と、IBMチューリッヒのPohlのグループ(D.
W.Pohl,W.Denk,and M.Lazn
z:Appl.Phys.Lett.,44,651
(1984))が独立に実際の装置化と実験等を行っ
た。
Also, around 1984, the Issacson group (E. Betzig,
A. Lewis, A .; Harootunian, M .; I
ssacson and E. Kratschmer:
Biophys. J. , 49, 269 (1986))
And the group of Pohl of IBM Zurich (D.
W. Pohl, W.D. Denk, and M.D. Lazn
z: Appl. Phys. Lett. , 44,651
(1984)) independently carried out actual instrumentation and experiments.

【0012】上述の光学式ニアフィールド顕微鏡では、
表面形状計測における深さ方向の分解能向上には成功し
ているが、横方向の解像度を向上させるのは難しく、あ
まり良い結果は得られていない。これは、従来の光学式
ニアフィールド顕微鏡における光学プローブでは、試料
の相互作用に寄与する光強度の効率が極めて悪く、検出
におけるSN比が低いためである。
In the above optical near-field microscope,
Although we have succeeded in improving the resolution in the depth direction in surface shape measurement, it is difficult to improve the resolution in the lateral direction, and very good results have not been obtained. This is because the optical probe in the conventional optical near-field microscope has extremely low efficiency of the light intensity that contributes to the interaction of the sample and the SN ratio in detection is low.

【0013】また、従来のプローブの位置決め装置とし
ては、ピエゾ素子等を用いて微小な位置決めを行ってい
るが、試料が2次元の広がりを持っている場合、図5に
示すように、アクチュエーターやピエゾ素子等のプロー
ブ走査手段103によリ、プローブ101の先端を試料
面内に沿って正確に位置決めするには高い精度が求めら
れていたが、それぞれのプローブ走査手段103は力学
的に独立になっていないので、精度の高い走査が困難で
あった。また、移動量のダイナミックレンジが狭いの
で、大きな試料の測定はできないという問題点があっ
た。
Further, as a conventional probe positioning device, fine positioning is performed by using a piezo element or the like. However, when the sample has a two-dimensional spread, as shown in FIG. High accuracy is required to accurately position the tip of the probe 101 along the sample surface by the probe scanning means 103 such as a piezo element, but each probe scanning means 103 is mechanically independent. Therefore, it is difficult to perform highly accurate scanning. Further, since the dynamic range of the movement amount is narrow, there is a problem that a large sample cannot be measured.

【0014】一方、光学式情報記録再生装置では光ディ
スクメモリ等の記録密度を向上させることが課題となっ
ている。このためには、記録媒体への書き込み及び読み
出しに用いるプローブ光を小さく集光することが必要で
ある。そこで、プローブ光を小さく集光するために、超
解像現象を利用した光ピックアップが試作されている
(日経エレクトロニクス、第528巻、124(199
1))。超解像現象はプローブ光の干渉を利用して、ス
ポット径を小さくしているが、スポット径の理論限界は
波長の1/2までである。
On the other hand, in the optical information recording / reproducing apparatus, there is a problem to improve the recording density of the optical disk memory or the like. For this purpose, it is necessary to collect the probe light used for writing and reading on the recording medium in a small amount. Therefore, in order to collect the probe light in a small amount, an optical pickup using a super-resolution phenomenon has been prototyped (Nikkei Electronics, Volume 528, 124 (199).
1)). The super-resolution phenomenon utilizes the interference of probe light to reduce the spot diameter, but the theoretical limit of the spot diameter is up to 1/2 of the wavelength.

【0015】この理論限界から、記録密度を上げるに
は、プローブ光の波長を短くする必要がある。しかし、
現実にはプローブ光の短波長化には限界があり、高密度
化にはオーバーヘッドが存在する。すなわち、従来の光
ピックアップの問題点は、スポット径を波長の1/2程
度までしか小さくできないことである。
From this theoretical limit, it is necessary to shorten the wavelength of the probe light in order to increase the recording density. But,
In reality, there is a limit to shortening the wavelength of probe light, and there is an overhead in increasing the density. That is, the problem of the conventional optical pickup is that the spot diameter can be reduced to about 1/2 of the wavelength.

【0016】そこで、上述した光学式ニアフィールド顕
微鏡の手法を用いて、光の波長以下の大きさの領域に信
号を記録することが最近考えられている(例えば、特開
平7−21564号公報参照)が、上記光学式ニアフィ
ールド顕微鏡と同様の問題点により実現されていない。
Therefore, it has recently been considered to record a signal in an area having a size equal to or smaller than the wavelength of light by using the method of the above-mentioned optical near field microscope (for example, see Japanese Patent Laid-Open No. 7-21564). ) Has not been realized due to the same problems as in the above optical near-field microscope.

【0017】ところで、プローブの先端にエバネッセン
ト波を効率よく発生させる1つの手法として、第58回
応用物理学会学術講演会講演予稿集1997年10月
(5a−L−5)には、スリット型のプローブを用いた
ミリ波帯近接場顕微鏡が開示されている。これは、プロ
ーブをスリット型とすることで、発生するエバネッセン
ト波のパワーを増大させるというものであり、実験では
ミリ波を用いている。しかしながら、発生するエバネッ
セント波はスリット型であるので、従来の光メモリ装置
のように小さな記録ピットに記録することはできない。
By the way, as one method for efficiently generating an evanescent wave at the tip of the probe, a slit type method was published in Proceedings of the 58th Annual Meeting of the Applied Physics Society of Japan, October 1997 (5a-L-5). A millimeter-wave band near-field microscope using a probe is disclosed. This is to increase the power of the generated evanescent wave by making the probe a slit type, and the millimeter wave is used in the experiment. However, since the generated evanescent wave is of the slit type, it cannot be recorded in a small recording pit like the conventional optical memory device.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】例えば、特開平7−2
1564号公報等にて提案されているような、フォトン
のトンネル現象により生じるエバネッセント波を利用し
て情報の記録/再生を行う所謂P−STM(フォトン走
査型トンネル顕微鏡)を応用した光メモリ装置(また
は、単にP−STMでフォトン走査型トンネリングメモ
リとも言う)においては、プローブ光の強度が極めて小
さいため、信頼性の高い情報記録/再生を行うことがで
きないという問題があるとともに、プローブの位置決め
精度、及び移動量を確保するのが困難であるという問題
があった。
SUMMARY OF THE INVENTION For example, Japanese Patent Laid-Open No. 7-2
An optical memory device applying a so-called P-STM (photon scanning tunneling microscope) that records / reproduces information by using an evanescent wave generated by a photon tunnel phenomenon as proposed in Japanese Patent No. 1564 (or the like) (or , And also referred to as a photon scanning tunneling memory in P-STM), there is a problem that reliable information recording / reproducing cannot be performed because the intensity of the probe light is extremely small, and the probe positioning accuracy, Also, there is a problem that it is difficult to secure the movement amount.

【0019】本発明は、上述したような点に鑑みてなさ
れたものであり、第1にプローブ光の強度を向上させ、
第2にプローブの位置決めを容易にするとともに、プロ
ーブ移動量のダイナミックレンジを大幅に向上させるこ
とができる光メモリ装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points. First, the intensity of probe light is improved,
Secondly, it is an object of the present invention to provide an optical memory device capable of facilitating the positioning of the probe and greatly improving the dynamic range of the probe movement amount.

【0020】[0020]

【問題を解決するための手段】本願請求項1に記載の発
明に係る光メモリ装置は、フォトンのトンネル現象によ
り生じるエバネッセント光を用いて、光記録媒体に対す
る情報の記録/再生を行う光メモリ装置であって、テー
パー状の先端部分にエバネッセント光を発生させるスリ
ット型の開口部を有する第1のプローブと、テーパー状
の先端部分にエバネッセント光を発生させるスリット型
の開口部を有する第2のプローブとを設け、前記第1及
び第2のプローブを、各々のスリット型の開口部が互い
に交差する状態で、前記光記録媒体を挟んで対向するよ
うに配置し、前記第1のプローブと前記第2のプローブと
から発生するエバネッセント波が交わる領域に位置する
前記記録媒体部を記録ピットとするものである。
An optical memory device according to a first aspect of the present invention is an optical memory device for recording / reproducing information on / from an optical recording medium by using evanescent light generated by a tunnel phenomenon of photons. A first probe having a slit-shaped opening for generating evanescent light at the tapered tip and a second probe having a slit-shaped opening for generating evanescent light at the tapered tip. The first probe and the second probe are arranged so as to face each other with the optical recording medium sandwiched therebetween in a state where the slit-shaped openings intersect each other , and the first probe and the second probe are provided. With probe
Located in the area where the evanescent waves generated from
The recording medium portion is used as a recording pit .

【0021】これによって、第1及び第2のプローブ
を、光記録媒体を挟んだ状態で対向配置しているので、
この第1及び第2のプローブの交点の微小な領域に、パ
ワーの大きいエバネッセント波を集中させることがで
き、プローブ光の強度を向上させることが可能となる。
従って、信頼性の高い情報の記録/再生を保証すること
ができる。
As a result, since the first and second probes are arranged to face each other with the optical recording medium sandwiched therebetween,
The evanescent wave having a large power can be concentrated in a minute area at the intersection of the first and second probes, and the intensity of the probe light can be improved.
Therefore, highly reliable recording / reproducing of information can be guaranteed.

【0022】本願請求項2に記載の発明に係る光メモリ
装置は、前記請求項1に記載の光メモリ装置において、
前記第1及び第2のプローブを、各々のスリット型の開
口部が互いに直交する状態で対向配置したものである。
An optical memory device according to a second aspect of the present invention is the optical memory device according to the first aspect,
The first and second probes are arranged to face each other with their slit-shaped openings orthogonal to each other.

【0023】これによって、前記第1及び第2のプロー
ブを、各々のスリット型の開口部が互いに直交するよう
に対向配置しているので、エバネッセント波の集中領域
(記録ピット)の面積を小さくすることができ、密度の
高い情報の記録/再生を行うことが可能となる。
Since the first and second probes are arranged so as to face each other so that their slit-shaped openings are orthogonal to each other, the area of the concentrated area (recording pit) of the evanescent wave is reduced. Therefore, it is possible to record / reproduce information with high density.

【0024】本願請求項3に記載の発明に係る光メモリ
装置は、前記請求項1又は2に記載の光メモリ装置にお
いて、前記第1及び第2のプローブを、各々のスリット
型の開口部から発生するエバネッセント光がトンネリン
グしない程度のギャップを有する状態で対向配置したも
のである。
An optical memory device according to a third aspect of the present invention is the optical memory device according to the first or second aspect, wherein the first and second probes are generated from each slit type opening. They are arranged so as to face each other with a gap to the extent that evanescent light does not tunnel.

【0025】これによって、第1及び第2のプローブ間
の隙間を、エバネッセント波がトンネリングしない程度
のギャップとしているので、2つのプローブ間の中心に
パワーの大きいエバネッセント波を発生させることがで
き、高密度且つ信頼性の高い情報の記録/再生を行うこ
とが可能となる。
Thus, the gap between the first and second probes is set so that the evanescent wave does not tunnel, so that a large power evanescent wave can be generated at the center between the two probes. It is possible to record / reproduce information with high density and high reliability.

【0026】本願請求項4に記載の発明に係る光メモリ
装置は、前記請求項1乃至3に記載の光メモリ装置にお
いて、前記第1及び第2のプローブには、互いに可干渉
性を有する光がそれぞれ入射してなるものである。
An optical memory device according to a fourth aspect of the present invention is the optical memory device according to any one of the first to third aspects, wherein the first and second probes are provided with coherent light beams, respectively. It is incident.

【0027】これによって、プローブ入射光として、互
いに可干渉性を有する光を使用しているので、第1のプ
ローブと第2のプローブとによって発生したエバネッセ
ント波が互いに干渉し、可干渉性を有さない光を使用す
る場合に比べて、光パワーが増大するため、さらに効率
よくエバネッセント波を発生させることが可能となる。
Thus, since light having coherence with each other is used as the light incident on the probe, the evanescent waves generated by the first probe and the second probe interfere with each other and have coherence. Since the optical power is increased as compared with the case where non-use light is used, it is possible to more efficiently generate the evanescent wave.

【0028】本願請求項5に記載の発明に係る光メモリ
装置は、前記請求項1乃至4に記載の光メモリ装置にお
いて、前記第1及び第2のプローブには、各々のスリッ
ト型の開口部の長手方向と垂直な偏向方向を持つ光を入
射してなるものである。
An optical memory device according to a fifth aspect of the present invention is the optical memory device according to any one of the first to fourth aspects, wherein the first and second probes are provided with a slit-shaped opening having a long length. The light is incident on the light having a deflection direction perpendicular to the direction.

【0029】これによって、プローブ入射光の偏向方向
を、各々のスリット型の開口部の長手方向と垂直な方向
としているので、プローブの先端における透過光の発生
を防止し、エバネッセント波のみを発生させることがで
き、上記従来例のように、読み出し(再生)の際に、プ
ローブと光記録媒体との間の距離を正弦波状に変化さ
せ、それに同期して変化する成分のみを取り出す必要が
なくなるため、S/Nの高い情報の記録/再生を行うこ
とが可能となる。
Since the deflection direction of the incident light of the probe is perpendicular to the longitudinal direction of each slit type opening, the transmitted light is prevented from being generated at the tip of the probe and only the evanescent wave is generated. Since it is not necessary to change the distance between the probe and the optical recording medium in a sinusoidal shape and to extract only the component that changes in synchronization with the distance during reading (reproduction) as in the conventional example described above. , S / N information can be recorded / reproduced.

【0030】本願請求項6に記載の発明に係る光メモリ
装置は、前記請求項1乃至5に記載の光メモリ装置にお
いて、前記第1及び第2のプローブを、それぞれ光記録
媒体に対し、独立して1次元走査させるための走査手段
を設けてなるものである。
An optical memory device according to a sixth aspect of the present invention is the optical memory device according to the first to fifth aspects, wherein the first probe and the second probe are independent of the optical recording medium. A scanning means for one-dimensional scanning is provided.

【0031】これによって、第1及び第2のプローブを
走査させるための走査手段を、それぞれ力学的に独立な
1次元走査するものとしているので、互いの走査手段同
士は干渉されず、精度の高いプローブの位置決めが可能
となるとともに、プローブ走査のダイナミックレンジも
2次元走査に比べて向上させることができる。また、2
次元走査手段に比べて機構が単純であるので、コストダ
ウンにもつながる。
As a result, since the scanning means for scanning the first and second probes are made to be mechanically independent and one-dimensionally scanned, the respective scanning means do not interfere with each other and the accuracy is high. The probe can be positioned, and the dynamic range of probe scanning can be improved as compared with two-dimensional scanning. Also, 2
Since the mechanism is simpler than the dimensional scanning means, it leads to cost reduction.

【0032】[0032]

【発明の実施の形態】以下、本発明の光メモリ装置の第
1実施形態について、図1乃至図3とともに説明する。
ここで、図1は本実施形態の光メモリ装置の概略構成を
示す説明図、図2は本実施形態の光メモリ装置における
プローブを示す概略説明図、図3は本実施形態の光メモ
リ装置における光記録媒体内の記録ピットを示す概略説
明図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION A first embodiment of an optical memory device of the present invention will be described below with reference to FIGS.
Here, FIG. 1 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of the optical memory device of the present embodiment, FIG. 2 is a schematic explanatory diagram showing a probe of the optical memory device of the present embodiment, and FIG. 3 is an optical recording medium in the optical memory device of the present embodiment. It is a schematic explanatory drawing which shows the recording pit inside.

【0033】本実施形態の光メモリ装置は、図1に示す
ように、ガラスファイバー等により形成された2つのプ
ローブ2,3と、それぞれのプローブ2,3を走査させ
るプローブ走査手段(図示せず)と、透明基板上にフォ
トクロミック材料等を含む記録層が形成された光記録媒
体4とから構成される。尚、2つのプローブ2,3は、
図2に示すように、先端形状がテーパー状8,10に形
成されており、その先端にスリット状の開口部9,11
が設けられている。
As shown in FIG. 1, the optical memory device of the present embodiment has two probes 2 and 3 formed of glass fiber or the like, and a probe scanning means (not shown) for scanning the respective probes 2 and 3. And an optical recording medium 4 in which a recording layer containing a photochromic material or the like is formed on a transparent substrate. The two probes 2 and 3 are
As shown in FIG. 2, the tip shape is formed into tapered shapes 8 and 10, and slit-shaped openings 9 and 11 are formed at the tips.
Is provided.

【0034】このような構造のプローブ2,3に入射光
5,6を入射すると、スリット状の開口部9,11付近
にエバネッセント波が発生する。このエバネッセント波
の存在領域は非常に小さく、波長程度の広がりにしかな
っていない。従って、従来のCD(コンパクトディス
ク)、MD(ミニディスク)、DVD(デジタルビデオ
ディスク)のようにレーザ光を集光レンズを用いた場合
のビームウエスト径よりも格段に小さい記録ピットに記
録可能となる。
When incident lights 5 and 6 are incident on the probes 2 and 3 having such a structure, evanescent waves are generated near the slit-shaped openings 9 and 11. The existence region of this evanescent wave is very small, and the spread is only about the wavelength. Therefore, it is possible to record laser light in a recording pit that is significantly smaller than the beam waist diameter when a condenser lens is used, as in the conventional CD (compact disc), MD (mini disc), DVD (digital video disc). Become.

【0035】上述の2つのプローブ2,3は、各々の開
口部9,11が互いに直交する状態で対向配置されてお
り、各プローブ2,3の開口部9,11間の隙間は、そ
れぞれのプローブ2,3の開口部9,11からのエバネ
ッセント波が他方のプローブ3,2に伝播しない限界ま
で近付けている。また、光記録媒体4は、光強度に対し
て反応闇値を有し、前記各プローブ2,3の開口部9,
11の隙間に挿入可能な厚さであることが要求される。
The above-mentioned two probes 2 and 3 are arranged so as to face each other with their openings 9 and 11 orthogonal to each other, and the gap between the openings 9 and 11 of each probe 2 and 3 is different. The evanescent waves from the openings 9 and 11 of the probes 2 and 3 are brought close to the limit where they do not propagate to the other probes 3 and 2. Further, the optical recording medium 4 has a reaction darkness value with respect to the light intensity, and the openings 9, 9 of the probes 2, 3 are
It is required to have a thickness that can be inserted into the gap of 11.

【0036】次に、光記録媒体4への記録メカニズムに
ついて、図3とともに説明する。図3は光記録媒体4の
XY面を表しており、領域12と領域13とはそれぞ
れ、第1のプローブ2によるエバネッセント波発生領域
と第2のプローブ3によるエパネッセント波発生領域を
表している。光記録媒体4は、光強変に対して反応閲値
を有しているので、領域12と領域13の斜線の部分は
感光せず、領域12と領域13の重なる部分14のみが
感光する。
Next, the recording mechanism of the optical recording medium 4 will be described with reference to FIG. FIG. 3 shows the XY plane of the optical recording medium 4, and the regions 12 and 13 represent the evanescent wave generation region by the first probe 2 and the evanescent wave generation region by the second probe 3, respectively. Since the optical recording medium 4 has a response value with respect to the change in light intensity, the shaded portions of the regions 12 and 13 are not exposed, and only the overlapping portion 14 of the regions 12 and 13 is exposed.

【0037】すなわち、2つのプローブ2,3のうち、
どちらか一方によるエパネッセント波パワーでは、光記
録媒体4の材料は変化しないが、他方のプローブ3,2
によるエバネッセント波パワーが加わった状態で、初め
て材料が変化する。尚、ここで言う感光とは、写真技術
における感光のみを表現しているのではなく、材料の光
学定数を変化させたり、光により電子を励起すること等
一般のことを表現するものとする。
That is, of the two probes 2 and 3,
The material of the optical recording medium 4 does not change with the evanescent wave power of either one, but the other probe 3, 2
The material changes only when the evanescent wave power due to is applied. The term "photosensitivity" used herein does not mean only the photosensitivity in photographic technology, but it is a general term such as changing an optical constant of a material or exciting electrons by light.

【0038】尚、本実施形態においては、2つのプロー
ブ2,3に入射する入射光5,6の偏光方向を、スリッ
ト状の開ロ部9,11の長手方向に垂直方向としてい
る。これによって、プローブ2,3の開口部9,11方
向の電場の振動は発生しないので、開口部9,11から
は透過光が生じることなく、エバネッセント波のみが発
生することになる。従って、透過光による光記録媒体4
への不要な記録がなされるのを防ぐことができる。
In the present embodiment, the polarization directions of the incident lights 5 and 6 incident on the two probes 2 and 3 are perpendicular to the longitudinal direction of the slit-shaped open portions 9 and 11. As a result, the electric field does not vibrate in the directions of the openings 9 and 11 of the probes 2 and 3, so that transmitted light is not generated from the openings 9 and 11 and only the evanescent wave is generated. Therefore, the optical recording medium 4 by the transmitted light
It is possible to prevent unnecessary recording on the.

【0039】次に、プローブ2,3の走査による光記録
材料4の記録ピットヘの位置決めについて説明する。上
述したとおり、本実施形態の光メモリ装置では、第1の
プローブ2と第2のプローブ3とから発生するエバネッ
セント波が交わる領域12に位置する記録材料部分が記
録ピットとなる。従って、図5とともに上述した従来例
のように、プローブをXY面内で2次元走査する必要は
ない。
Next, the positioning of the optical recording material 4 in the recording pit by scanning with the probes 2 and 3 will be described. As described above, in the optical memory device of this embodiment, the recording material portion located in the region 12 where the evanescent waves generated from the first probe 2 and the second probe 3 intersect becomes a recording pit. Therefore, unlike the conventional example described above with reference to FIG. 5, it is not necessary to perform two-dimensional scanning of the probe in the XY plane.

【0040】以上のように、本実施形態の光メモリ装置
においては、それぞれのプローブ2,3を、光記録媒体
4に対して1次元に走査させることによって、XY面内
の任意の場所に記録ピットを形成することが可能とな
る。また、本実施形態のプローブ走査手段は、力学的に
独立した2つの1次元走査手段により構成しているの
で、精度が高い信頼性のあるプローブ走査を行うことが
可能である。
As described above, in the optical memory device of the present embodiment, the recording pits are recorded at arbitrary positions in the XY plane by scanning the optical recording medium 4 with the probes 2 and 3 one-dimensionally. Can be formed. Further, since the probe scanning means of the present embodiment is constituted by two mechanically independent one-dimensional scanning means, it is possible to perform highly accurate and reliable probe scanning.

【0041】次に、光記録媒体4からの読み出し(再
生)について説明する。光記録媒体4への情報の書き込
み(記録)時は、上述したように、第1のプローブ2及
び第2のプローブ3に同時に入射光5,6を入射させる
が、光記録媒体4から情報を読み出す場合には、2つの
プローブ2,3のうち、どちらか一方のみに読み出し用
の入射光を入射し、他方のプローブで光記録媒体4の記
録ピットからの光を検出すれば良い。
Next, reading (reproduction) from the optical recording medium 4 will be described. At the time of writing (recording) information on the optical recording medium 4, the incident light 5 and 6 are simultaneously made incident on the first probe 2 and the second probe 3 as described above. In the case of reading, incident light for reading may be incident on only one of the two probes 2 and 3, and the light from the recording pit of the optical recording medium 4 may be detected by the other probe.

【0042】尚、第1のプローブ2及び第2のプローブ
3にそれぞれ入射される入射光5,6は、全く独立なも
のでも良いが、同一のレーザ装置より発生された光を分
割して使用することができる。これについて、本発明の
メモリ装置の第2実施形態として、図4とともに説明す
るが、上述した第1実施形態と同一部分には同一符号を
付し、その説明は省略する。ここで、図4は本実施形態
の光メモリ装置の概略構成を示す説明図である。
The incident lights 5 and 6 respectively incident on the first probe 2 and the second probe 3 may be completely independent, but the lights generated by the same laser device are divided and used. can do. This will be described with reference to FIG. 4 as a second embodiment of the memory device of the present invention. The same parts as those in the first embodiment described above will be denoted by the same reference numerals and description thereof will be omitted. Here, FIG. 4 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of the optical memory device of the present embodiment.

【0043】本実施形態においては、図4に示すよう
に、レーザ装置(光源)21と各々のプローブ2,3と
の間にビームスプリッター22を設け、このビームスプ
リッター22によって2分割された分割光を、それぞれ
のプローブ2,3の入射光5,6としている。尚、23
〜25はビームスプリッター22の一方の出力光をプロ
ーブ3の入射口に導光するミラーである。
In the present embodiment, as shown in FIG. 4, a beam splitter 22 is provided between a laser device (light source) 21 and each of the probes 2 and 3, and a split light beam split by the beam splitter 22 is used. Are incident lights 5 and 6 of the respective probes 2 and 3. Incidentally, 23
Numerals 25 are mirrors for guiding one output light of the beam splitter 22 to the entrance of the probe 3.

【0044】このように構成することで、第1のプロー
ブ2と第2のプローブ3とから発生するエバネッセント
波が、光記録媒体4によって伝播光に変換され、さらに
第1及び第2のプローブ2,3による伝播光は同一光源
21によるものであるので、光記録媒体4の記録領域1
4において干渉し、さらに記録光パワー強度を強めるこ
とが可能となる。
With this structure, the evanescent waves generated from the first probe 2 and the second probe 3 are converted into the propagating light by the optical recording medium 4, and the first and second probes 2 are further converted. , 3 propagates from the same light source 21, the recording area 1 of the optical recording medium 4
4 and the recording light power intensity can be further increased.

【0045】尚、上述した本発明の実施形態において
は、光記録媒体4としてディスク型のものについて説明
したが、この形状に限るものではなく、平面のものであ
れば何でも良い。また、プローブ2,3を走査させるの
ではなく、光記録媒体4を走査させる走査手段を設ける
ことで、光記録媒体4全域にプローブ2,3の先端を走
査するようにしても良いことは明らかである。
In the above-described embodiment of the present invention, the optical recording medium 4 has been described as a disk type, but the shape is not limited to this, and any flat type may be used. Further, it is clear that the tip of the probes 2 and 3 may be scanned over the entire area of the optical recording medium 4 by providing a scanning means for scanning the optical recording medium 4 instead of scanning the probes 2 and 3. Is.

【0046】さらに、上記本発明の実施形態では、第1
及び第2のプローブ2,3として、強度を保持するため
に、テーパー8,10の先端部分にスリット状の開口部
9,11を設けたが、スリット状に分布するエバネッセ
ント波を発生させる構造を有するプローブであれば、こ
れも使用することが可能である。エバネッセント波は、
上述した微小開口によるものの他に、回折格子、全反射
によっても発生することが知られている。
Further, in the above-described embodiment of the present invention, the first
In addition, as the second probes 2 and 3, slit-shaped openings 9 and 11 are provided at the tip end portions of the tapers 8 and 10 in order to maintain the strength, but a structure for generating an evanescent wave distributed in a slit shape is adopted. This can also be used if it has a probe. The evanescent wave is
It is known that in addition to the above-mentioned minute aperture, it is also generated by a diffraction grating and total reflection.

【0047】[0047]

【発明の効果】本願請求項1に記載の発明に係る光メモ
リ装置は、上述したような構成としているので、第1及
び第2のプローブを、光記録媒体を挟んだ状態で対向配
置しているので、この第1及び第2のプローブの交点の
微小な領域に、パワーの大きいエバネッセント波を集中
させることができ、プローブ光の強度を向上させること
が可能となる。従って、信頼性の高い情報の記録/再生
を保証することができる。
Since the optical memory device according to the first aspect of the present invention is configured as described above, the first and second probes are arranged opposite to each other with the optical recording medium sandwiched therebetween. Therefore, the evanescent wave having a large power can be concentrated in the minute area at the intersection of the first and second probes, and the intensity of the probe light can be improved. Therefore, highly reliable recording / reproducing of information can be guaranteed.

【0048】本願請求項2に記載の発明に係る光メモリ
装置は、前記第1及び第2のプローブを、各々のスリッ
ト型の開口部が互いに直交するように対向配置している
ので、エバネッセント波の集中領域の面積を小さくする
ことができ、密度の高い情報の記録/再生を行うことが
可能となる。
In the optical memory device according to the second aspect of the present invention, since the first and second probes are arranged so as to face each other so that their slit-shaped openings are orthogonal to each other, the evanescent wave It is possible to reduce the area of the concentrated region, and it is possible to record / reproduce information with high density.

【0049】本願請求項3に記載の発明に係る光メモリ
装置は、第1及び第2のプローブ間の隙間を、エバネッ
セント波がトンネリングしない程度のギャップとしてい
るので、2つのプローブ間の中心にパワーの大きいエバ
ネッセント波を発生させることができ、高密度且つ信頼
性の高い情報の記録/再生を行うことが可能となる。
In the optical memory device according to the third aspect of the present invention, the gap between the first and second probes is set so that the evanescent wave is not tunneled. It is possible to generate a large evanescent wave, and it is possible to record / reproduce information with high density and high reliability.

【0050】本願請求項4に記載の発明に係る光メモリ
装置は、プローブ入射光として、互いに可干渉性を有す
る光を使用しているので、第1のプローブと第2のプロ
ーブとによって発生したエバネッセント波が互いに干渉
し、可干渉性を有さない光を使用する場合に比べて、光
パワーが増大するため、さらに効率よくエバネッセント
波を発生させることが可能となる。
In the optical memory device according to the fourth aspect of the present invention, since light having coherence with each other is used as the probe incident light, the evanescent light generated by the first probe and the second probe is used. Since the optical power is increased as compared with the case of using light having no coherence, the waves interfere with each other, so that the evanescent wave can be generated more efficiently.

【0051】本願請求項5に記載の発明に係る光メモリ
装置は、プローブ入射光の偏向方向を、各々のスリット
型の開口部の長手方向と垂直な方向としているので、プ
ローブの先端における透過光の発生を防止し、エバネッ
セント波のみを発生させることができ、S/Nの高い情
報の記録/再生を行うことが可能となる。
In the optical memory device according to the fifth aspect of the present invention, since the deflection direction of the probe incident light is the direction perpendicular to the longitudinal direction of each slit type opening, the transmitted light at the tip of the probe is It is possible to prevent the generation and to generate only the evanescent wave, and it is possible to record / reproduce information having a high S / N.

【0052】本願請求項6に記載の発明に係る光メモリ
装置は、第1及び第2のプローブを走査させるための走
査手段を、それぞれ力学的に独立な1次元走査するもの
としているので、互いの走査手段同士は干渉されず、精
度の高いプローブの位置決めが可能となるとともに、プ
ローブ走査のダイナミックレンジも2次元走査に比べて
向上させることができる。また、2次元走査手段に比べ
て機構が単純であるので、コストダウンにもつながる。
In the optical memory device according to the invention of claim 6 of the present application, the scanning means for scanning the first and second probes are made to perform mechanically independent one-dimensional scanning, respectively. The scanning means are not interfered with each other, the probe can be positioned with high accuracy, and the dynamic range of the probe scanning can be improved as compared with the two-dimensional scanning. Further, the mechanism is simpler than that of the two-dimensional scanning means, which leads to cost reduction.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光メモリ装置の第1実施形態の概略構
成を示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of a first embodiment of an optical memory device of the present invention.

【図2】本発明の光メモリ装置の第1実施形態における
プローブを示す概略説明図である。
FIG. 2 is a schematic explanatory view showing a probe in the first embodiment of the optical memory device of the present invention.

【図3】本発明の光メモリ装置の第1実施形態における
光記録媒体内の記録ピットを示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing recording pits in the optical recording medium in the first embodiment of the optical memory device of the present invention.

【図4】本発明の光メモリ装置の第2実施形態の概略構
成を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of a second embodiment of an optical memory device of the present invention.

【図5】従来の光メモリ装置の概略構成を示す説明図で
ある。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of a conventional optical memory device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 第1のプローブ 3 第2のプローブ 4 光記録媒体 5 第1の入射光 6 第2の入射光 8,10 テーパー部 9,11 開口部 12 第1のプローブによるエバネッセント波発生領域 13 第2のプローブによるエバネッセント波発生領域 14 記録領域 21 レーザ装置 22 ビームスプリッタ 23〜25 ミラー 2 First probe 3 Second probe 4 Optical recording medium 5 First incident light 6 Second incident light 8,10 Tapered part 9,11 opening 12 Evanescent wave generation region by the first probe 13 Evanescent wave generation region by the second probe 14 recording areas 21 Laser device 22 Beam splitter 23-25 mirror

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 フォトンのトンネル現象により生じるエ
バネッセント光を用いて、光記録媒体に対する情報の記
録/再生を行う光メモリ装置であって、 テーパー状の先端部分にエバネッセント光を発生させる
スリット型の開口部を有する第1のプローブと、 テーパー状の先端部分にエバネッセント光を発生させる
スリット型の開口部を有する第2のプローブとを設け、 前記第1及び第2のプローブを、各々のスリット型の開
口部が互いに交差する状態で、前記光記録媒体を挟んで
対向するように配置し、前記第1のプローブと前記第2の
プローブとから発生するエバネッセント波が交わる領域
に位置する前記記録媒体部を記録ピットとすることを特
徴とする光メモリ装置。
1. An optical memory device for recording / reproducing information on / from an optical recording medium by using evanescent light generated by a photon tunnel phenomenon, wherein a slit-shaped opening for generating evanescent light at a tapered tip end portion. And a second probe having a slit-shaped opening portion for generating evanescent light at a tapered tip portion, and the first and second probes are provided with slit-shaped openings. In a state where the parts intersect each other, the parts are arranged so as to face each other across the optical recording medium , the first probe and the second
Area where the evanescent wave generated from the probe intersects
An optical memory device, characterized in that the recording medium portion located at is a recording pit .
【請求項2】 前記請求項1に記載の光メモリ装置にお
いて、 前記第1及び第2のプローブは、各々のスリット型の開
口部が互いに直交する状態で、対向配置されたことを特
徴とする光メモリ装置。
2. The optical memory device according to claim 1, wherein the first and second probes are arranged so as to face each other with their slit-shaped openings orthogonal to each other. apparatus.
【請求項3】 前記請求項1又は2に記載の光メモリ装
置において、 前記第1及び第2のプローブは、各々のスリット型の開
口部から発生するエバネッセント光がトンネリングしな
い程度のギャップを有する状態で、対向配置されたこと
を特徴とする光メモリ装置。
3. The optical memory device according to claim 1, wherein the first and second probes have a gap that does not cause tunneling of evanescent light generated from each slit-shaped opening. , An optical memory device arranged opposite to each other.
【請求項4】 前記請求項1乃至3に記載の光メモリ装
置において、 前記第1及び第2のプローブは、互いに可干渉性を有す
る光がそれぞれ入射されるものであることを特徴とする
光メモリ装置。
4. The optical memory device according to any one of claims 1 to 3, wherein the first probe and the second probe are incident with lights having coherence with each other. .
【請求項5】 前記請求項1乃至4に記載の光メモリ装
置において、 前記第1及び第2のプローブは、各々のスリット型の開
口部の長手方向と垂直な偏向方向を持つ光が入射される
ものであることを特徴とする光メモリ装置。
5. The optical memory device according to any one of claims 1 to 4, wherein the first and second probes receive light having a deflection direction perpendicular to a longitudinal direction of each slit-shaped opening. An optical memory device characterized by being a thing.
【請求項6】 前記請求項1乃至5に記載の光メモリ装
置において、 前記第1及び第2のプローブを、それぞれ光記録媒体に
対し、独立して1次元走査させるための走査手段を設け
たことを特徴とする光メモリ装置。
6. The optical memory device according to claim 1, further comprising scanning means for independently one-dimensionally scanning the optical recording medium with each of the first probe and the second probe. An optical memory device characterized by.
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