JP3492446B2 - 光ディスク用スタンパ検査機 - Google Patents
光ディスク用スタンパ検査機Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク用スタンパ
検査機に関し、より詳細には、光ディスク用スタンパの
製造過程において、スタンパの凹凸を目視により観察し
検査する検査機に関する。
検査機に関し、より詳細には、光ディスク用スタンパの
製造過程において、スタンパの凹凸を目視により観察し
検査する検査機に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ディスク等の光記録媒体は、記録情報
をレーザ光により案内され読みとられるように形成され
た、微細な凹凸を有するトラック溝を光反射面とし、該
光反射面を有したポリカーボネート樹脂やポリメチルメ
タクル樹脂などの透明な熱可塑性樹脂からなっている。
通常、光ディスクはＮｉ電鋳されたスタンパをマスター
として射出成形機により射出成形される。
をレーザ光により案内され読みとられるように形成され
た、微細な凹凸を有するトラック溝を光反射面とし、該
光反射面を有したポリカーボネート樹脂やポリメチルメ
タクル樹脂などの透明な熱可塑性樹脂からなっている。
通常、光ディスクはＮｉ電鋳されたスタンパをマスター
として射出成形機により射出成形される。
【０００３】スタンパは、一般に次の工程で作成され
る。まず、スタンパを形成するための基板をガラス原盤
として、このガラス原盤を精密研磨し、平坦で高い面粗
度に仕上げられる。次に、研磨完了したガラス基板上
に、スピンコートによりフォトレジストを厚さ一定にな
るようにコーティングしたあと、ベーキングを行い、こ
れに情報に対応して変調されたレーザビームによる露光
が行われたあと、現像を行い、フォトレジスト層による
情報に応じたトラック溝部の微細形状を形成する。微細
形状の上面には、スパッタリング法、真空蒸着法などの
成膜法により、導電性Ｎｉ被膜が施され、更に、導電性
Ｎｉ被膜上にＮｉ電鋳層を形成する。導電性Ｎｉ被膜が
施された原板を電鋳槽内で陰極側に取り付け、電鋳のた
めのＮｉを陽極として、陽極で生じたＮｉイオンを陰極
で還元することによりＮｉ電鋳層が得られ、形成された
Ｎｉ電鋳層をガラス原盤から剥離することによりスタン
パが得られる。
る。まず、スタンパを形成するための基板をガラス原盤
として、このガラス原盤を精密研磨し、平坦で高い面粗
度に仕上げられる。次に、研磨完了したガラス基板上
に、スピンコートによりフォトレジストを厚さ一定にな
るようにコーティングしたあと、ベーキングを行い、こ
れに情報に対応して変調されたレーザビームによる露光
が行われたあと、現像を行い、フォトレジスト層による
情報に応じたトラック溝部の微細形状を形成する。微細
形状の上面には、スパッタリング法、真空蒸着法などの
成膜法により、導電性Ｎｉ被膜が施され、更に、導電性
Ｎｉ被膜上にＮｉ電鋳層を形成する。導電性Ｎｉ被膜が
施された原板を電鋳槽内で陰極側に取り付け、電鋳のた
めのＮｉを陽極として、陽極で生じたＮｉイオンを陰極
で還元することによりＮｉ電鋳層が得られ、形成された
Ｎｉ電鋳層をガラス原盤から剥離することによりスタン
パが得られる。
【０００４】このように形成されたスタンパは、高密度
な光情報が記録された再生用光ディスクを大量生産する
ものであるから高精度であることが要求される。このた
め、上述のような工程で作製されたスタンパは、製造工
程中、各工程毎の検査が行われる。ガラス原盤から剥離
されたスタンパの目視による凹凸検査もその一つであ
る。
な光情報が記録された再生用光ディスクを大量生産する
ものであるから高精度であることが要求される。このた
め、上述のような工程で作製されたスタンパは、製造工
程中、各工程毎の検査が行われる。ガラス原盤から剥離
されたスタンパの目視による凹凸検査もその一つであ
る。
【０００５】図５は、従来の目視による光スタンパの検
査機の構成を説明するための図であり、図中、２１は光
源、２２はレンズ、２３はスリット、２４は反射板、２
５は試料台、２６はスクリーン、２７は目視観察であ
る。
査機の構成を説明するための図であり、図中、２１は光
源、２２はレンズ、２３はスリット、２４は反射板、２
５は試料台、２６はスクリーン、２７は目視観察であ
る。
【０００６】図５に示した従来の光ディスク用スタンパ
検査機は、Ｘｅ（クセイン）ランプ等の光源２１と、光
源２１の光を集光させるコンデンサレンズ（単に、レン
ズと記す）２２と、集光部分に設けられたスリット２３
と、アルミニウムが蒸着された反射板２４と、スタンパ
（図示せず）を載置する試料台（基板）２５と、スタン
パを照射した照射光が反射投影され、投影像が目視され
るスクリーン２７とからなっている。
検査機は、Ｘｅ（クセイン）ランプ等の光源２１と、光
源２１の光を集光させるコンデンサレンズ（単に、レン
ズと記す）２２と、集光部分に設けられたスリット２３
と、アルミニウムが蒸着された反射板２４と、スタンパ
（図示せず）を載置する試料台（基板）２５と、スタン
パを照射した照射光が反射投影され、投影像が目視され
るスクリーン２７とからなっている。
【０００７】光源２１から出射された光は、レンズ２２
を介してスリット２３の位置に集光し、集光された光は
スリット２３により光量が調整され、光軸に対して傾斜
して設置された反射板２４により反射されて試料台２５
上に設置されたスタンパを照射する。スタンパは高精度
に鏡面加工されているので、照射された光は、正反射し
て一様な明るさでスクリーン２６に投影される。もし、
スタンパ面上に所定大きさの欠陥として凹凸があると、
凹凸部分で反射された反射光は、平面部分で反射された
反射光と方向が異なるためスクリーン２６に投影された
投影像は、明点あるいは暗点となって目視観察２７が可
能となる。
を介してスリット２３の位置に集光し、集光された光は
スリット２３により光量が調整され、光軸に対して傾斜
して設置された反射板２４により反射されて試料台２５
上に設置されたスタンパを照射する。スタンパは高精度
に鏡面加工されているので、照射された光は、正反射し
て一様な明るさでスクリーン２６に投影される。もし、
スタンパ面上に所定大きさの欠陥として凹凸があると、
凹凸部分で反射された反射光は、平面部分で反射された
反射光と方向が異なるためスクリーン２６に投影された
投影像は、明点あるいは暗点となって目視観察２７が可
能となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】図５に示した従来の検
査装置によると、前述のようにスタンパ上の凹凸をスク
リーン２６に投影された明暗部として判別するものであ
るが、凹凸が所定より大きい場合は、小さい凹凸状の欠
陥は判別することができず、しかも、これらの判別は、
目視によるものであるから、感度の良い眼をもった人間
が観察するのが好ましいが、その限界が明確でないた
め、同一の欠陥であっても観察者により良否判断のばら
つきが生じてしまう。
査装置によると、前述のようにスタンパ上の凹凸をスク
リーン２６に投影された明暗部として判別するものであ
るが、凹凸が所定より大きい場合は、小さい凹凸状の欠
陥は判別することができず、しかも、これらの判別は、
目視によるものであるから、感度の良い眼をもった人間
が観察するのが好ましいが、その限界が明確でないた
め、同一の欠陥であっても観察者により良否判断のばら
つきが生じてしまう。
【０００９】本発明は、上記課題を解決するために、光
源からの光で照射されたとき、明暗がはっきりしたスタ
ンパの溝の光量を弱くして凹凸状の欠陥により生じた像
を判別し易いようにして観察者による目視差をなくし、
正しい目視検査を行うこと、更には、スタンパに入射す
る光源からの入射角を調整可能とし、欠陥を判別し易く
すること、更にまた、スタンパを載置する基板の高さを
調整可能とし、観察者の視力に適した位置を定めること
により個人差をなくすこと、更にまた、光源からの光量
を調整して、観察者が欠陥を判別しやすくした光ディス
ク用スタンパ検査を提供することを目的とする。
源からの光で照射されたとき、明暗がはっきりしたスタ
ンパの溝の光量を弱くして凹凸状の欠陥により生じた像
を判別し易いようにして観察者による目視差をなくし、
正しい目視検査を行うこと、更には、スタンパに入射す
る光源からの入射角を調整可能とし、欠陥を判別し易く
すること、更にまた、スタンパを載置する基板の高さを
調整可能とし、観察者の視力に適した位置を定めること
により個人差をなくすこと、更にまた、光源からの光量
を調整して、観察者が欠陥を判別しやすくした光ディス
ク用スタンパ検査を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、（１）、ガラス基板上に、順次、フォト
レジスト層による情報を記録した微細形状、導電性Ｎｉ
被膜、およびＮｉ電鋳層を形成後、前記ガラス基板を剥
離して得られた光ディスク用スタンパ面の凹凸を目視に
より検査する目視検査機において、面の凹凸を観察する
ために前記スタンパを載置する基板と、載置された前記
スタンパに対し所定角度で投光する光源とからなり、該
光源の光波長を５００〜７００ｎｍとしたこと、更に
は、（２）、前記（１）において、前記基板の水平面に
対する角度を調整する角度調節手段を有すること、更に
は、（３）、前記（１）又は（２）において、前記基板
の上下位置を調整する上下位置調節手段を有すること、
更には、（４）、前記（１）乃至（３）の何れかにおい
て、前記光源の光量を調整可能とする光量調整手段を有
することを特徴とするものである。
決するために、（１）、ガラス基板上に、順次、フォト
レジスト層による情報を記録した微細形状、導電性Ｎｉ
被膜、およびＮｉ電鋳層を形成後、前記ガラス基板を剥
離して得られた光ディスク用スタンパ面の凹凸を目視に
より検査する目視検査機において、面の凹凸を観察する
ために前記スタンパを載置する基板と、載置された前記
スタンパに対し所定角度で投光する光源とからなり、該
光源の光波長を５００〜７００ｎｍとしたこと、更に
は、（２）、前記（１）において、前記基板の水平面に
対する角度を調整する角度調節手段を有すること、更に
は、（３）、前記（１）又は（２）において、前記基板
の上下位置を調整する上下位置調節手段を有すること、
更には、（４）、前記（１）乃至（３）の何れかにおい
て、前記光源の光量を調整可能とする光量調整手段を有
することを特徴とするものである。
【００１１】
【作用】光源と、スタンパを載置する基台とからなる光
ディスク用スタンパ目視検査機の光源の光波長を５００
〜７００ｎｍ（ナノメータ＝１０-9ｍ）とし、スタンパ
の溝の深さ１０００〜２０００Å（オングストローム＝
１０-10ｍ）に対して溝からの回折効果を弱くすること
によりスタンパ溝の光量を弱くしてスタンパの凹凸によ
る投影光を判別し易くする。更には、光源に対し、スタ
ンパを載置する基台の水平角度、高さ、明るさを調整
し、観察者が欠陥を最も判別しやすい基板の姿勢や光量
調整ができるようにする。
ディスク用スタンパ目視検査機の光源の光波長を５００
〜７００ｎｍ（ナノメータ＝１０-9ｍ）とし、スタンパ
の溝の深さ１０００〜２０００Å（オングストローム＝
１０-10ｍ）に対して溝からの回折効果を弱くすること
によりスタンパ溝の光量を弱くしてスタンパの凹凸によ
る投影光を判別し易くする。更には、光源に対し、スタ
ンパを載置する基台の水平角度、高さ、明るさを調整
し、観察者が欠陥を最も判別しやすい基板の姿勢や光量
調整ができるようにする。
【００１２】
（実施例１）（請求項１に対応）
図１は、本発明による光ディスク用スタンパ検査機の一
例を説明するための図で、図中、１は検査機、２は基
台、３は脚部、４は台座、５はマグネットシート、６は
スタンパ、７は光源、８は目視位置である。
例を説明するための図で、図中、１は検査機、２は基
台、３は脚部、４は台座、５はマグネットシート、６は
スタンパ、７は光源、８は目視位置である。
【００１３】検査機１は、被検査部材であるスタンパ６
を載置する基台２と、基台２を目視しやすい所定高さに
定められて支持し、台座４上に設けられた脚部と、基台
２に向けて所定の角度で光照射する光源７とを有してい
る。スタンパ６は、磁性体のＮｉ電鋳膜で、情報記録表
面と、精密研磨された裏面をもっており精密研磨された
裏面がマグネットシート５に磁気吸引されて基台２上に
載置されている。光源７は、波長が５００〜７００ｎｍ
のコリメートされた光をスタンパ６に向け照射する。
を載置する基台２と、基台２を目視しやすい所定高さに
定められて支持し、台座４上に設けられた脚部と、基台
２に向けて所定の角度で光照射する光源７とを有してい
る。スタンパ６は、磁性体のＮｉ電鋳膜で、情報記録表
面と、精密研磨された裏面をもっており精密研磨された
裏面がマグネットシート５に磁気吸引されて基台２上に
載置されている。光源７は、波長が５００〜７００ｎｍ
のコリメートされた光をスタンパ６に向け照射する。
【００１４】光源７と、スタンパ６を載置する基台２と
からなる光ディスク用スタンパ目視検査機１の光源７の
光波長を５００〜７００ｎｍ（ナノメータ＝１０
‐9 ｍ）とし、一般的なスタンパの溝の深さ１０００〜
２０００Å（オングストローム＝１０ ‐10 ｍ）に対して
溝からの回折効果を弱くすることによりスタンパ溝の光
量を弱くしてスタンパの凹凸による投影光を判別し易く
する。
からなる光ディスク用スタンパ目視検査機１の光源７の
光波長を５００〜７００ｎｍ（ナノメータ＝１０
‐9 ｍ）とし、一般的なスタンパの溝の深さ１０００〜
２０００Å（オングストローム＝１０ ‐10 ｍ）に対して
溝からの回折効果を弱くすることによりスタンパ溝の光
量を弱くしてスタンパの凹凸による投影光を判別し易く
する。
【００１５】（実施例２）（請求項２に対応）
図２は、本発明による光ディスク用スタンパ検査機の第
２実施例を説明するための図で、図２（Ａ）は角度調整
前、図２（Ｂ）は角度調整後の図で、図中、９は角度調
整レバーであり、図１と同様の作用する部分は、図１の
場合と同じ参照番号が付してあり、以下の図３，図４に
おいても同様である。
２実施例を説明するための図で、図２（Ａ）は角度調整
前、図２（Ｂ）は角度調整後の図で、図中、９は角度調
整レバーであり、図１と同様の作用する部分は、図１の
場合と同じ参照番号が付してあり、以下の図３，図４に
おいても同様である。
【００１６】図２（Ａ）に示すように、角度調整レバー
９は、検査機１の基台２に載置されたマグネシート５上
にスタンパ６の記録面を上側にしてマグネチャックして
スタンパ６の水平角度を調整するためのレバーであり、
図示のように矢印で示した反時計式に回動することによ
り基台２を自由に回転することができ、矢印で示した時
計方向に回動することにより基台２に回転位置で固定さ
れる。
９は、検査機１の基台２に載置されたマグネシート５上
にスタンパ６の記録面を上側にしてマグネチャックして
スタンパ６の水平角度を調整するためのレバーであり、
図示のように矢印で示した反時計式に回動することによ
り基台２を自由に回転することができ、矢印で示した時
計方向に回動することにより基台２に回転位置で固定さ
れる。
【００１７】図２（Ｂ）は、角度調整レバー９を操作し
て光源７からの投光軸に対して４５°傾けた場合を示す
図であるが、通常４０〜５０°の範囲の目視位置８に適
した位置で角度調整レバー９を締める。目視位置８と、
反射光とが一致すると観察者の眼にスタンパ６からの光
が直接入光することとなり明る過ぎ、反って観察しにく
いので反射光から２０°程度ずらした角度を目視角度と
する。このように、スタンパ６からの反射光を調整し、
しかも直接観察者の眼に反射光が直接入光するのを避け
たので目視差なく観察することができる。
て光源７からの投光軸に対して４５°傾けた場合を示す
図であるが、通常４０〜５０°の範囲の目視位置８に適
した位置で角度調整レバー９を締める。目視位置８と、
反射光とが一致すると観察者の眼にスタンパ６からの光
が直接入光することとなり明る過ぎ、反って観察しにく
いので反射光から２０°程度ずらした角度を目視角度と
する。このように、スタンパ６からの反射光を調整し、
しかも直接観察者の眼に反射光が直接入光するのを避け
たので目視差なく観察することができる。
【００１８】（実施例３）（請求項３に対応）
図３は、本発明による光ディスク用スタンパ検査機の第
３の実施例を説明するための図で、図３（Ａ）は調整
前、図３（Ｂ）は調整後の図であり、図中、１０は上下
移動ダイヤル、１１はねじ柱である。
３の実施例を説明するための図で、図３（Ａ）は調整
前、図３（Ｂ）は調整後の図であり、図中、１０は上下
移動ダイヤル、１１はねじ柱である。
【００１９】上下移動ダイヤル１０は、脚部３に取り付
けられており、把手１０ａを図の矢印に示す時計方向に
回動したときは、図３（Ｂ）に示すように回転角に比例
して脚部３内のねじ柱１１が上昇し、これに従って、基
台２は上昇し、マグネチャックされたスタンパ６も上昇
する。矢印に示す反時計方向に回動したときは、図３
（Ａ）に示すように基台２は下降し、スタンパ６も下降
する。
けられており、把手１０ａを図の矢印に示す時計方向に
回動したときは、図３（Ｂ）に示すように回転角に比例
して脚部３内のねじ柱１１が上昇し、これに従って、基
台２は上昇し、マグネチャックされたスタンパ６も上昇
する。矢印に示す反時計方向に回動したときは、図３
（Ａ）に示すように基台２は下降し、スタンパ６も下降
する。
【００２０】上下移動ダイヤル１０の回動は、光源７か
らスタンパ６に投光された光を観察者が目視位置８から
目視観察しながら行い、スタンパ６が上昇して、スタン
パ６の面が観察者の眼の焦点に合った位置に達したとき
止める。焦点位置は観察者の個人差により定まるので一
定ではないが、５〜１５ｃｍあれば十分焦点が定まり目
視差なく観察できる。
らスタンパ６に投光された光を観察者が目視位置８から
目視観察しながら行い、スタンパ６が上昇して、スタン
パ６の面が観察者の眼の焦点に合った位置に達したとき
止める。焦点位置は観察者の個人差により定まるので一
定ではないが、５〜１５ｃｍあれば十分焦点が定まり目
視差なく観察できる。
【００２１】（実施例４）（請求項４に対応）
図４は、本発明による光ディスク用スタンパ検査機の第
４の実施例を説明するための図であり、図中、１２は支
柱、１３はＮＤ可変フィルタである。図４に示した検査
機１は、図１，２，３に示した検査機１に対し光源７と
基板２上にマグネチャックされたスタンパ６との間にＮ
Ｄ（Ｎeutral Ｄensity）可変フィルタ１３を設置した
ものである。ＮＤ可変フィルタ１３は、各波長の光を平
均に吸収する中性濃度で濃度可変フィルタで、回転ツマ
ミ１３ａを回動することにより光吸収の量が変化する。
ＮＤ可変フィルタ１３は、その作用の示すように観察者
の眼に投入されるスタンパ６からの反射光の光量を調整
するための光調整手段である。
４の実施例を説明するための図であり、図中、１２は支
柱、１３はＮＤ可変フィルタである。図４に示した検査
機１は、図１，２，３に示した検査機１に対し光源７と
基板２上にマグネチャックされたスタンパ６との間にＮ
Ｄ（Ｎeutral Ｄensity）可変フィルタ１３を設置した
ものである。ＮＤ可変フィルタ１３は、各波長の光を平
均に吸収する中性濃度で濃度可変フィルタで、回転ツマ
ミ１３ａを回動することにより光吸収の量が変化する。
ＮＤ可変フィルタ１３は、その作用の示すように観察者
の眼に投入されるスタンパ６からの反射光の光量を調整
するための光調整手段である。
【００２２】もし、ＮＤ可変フィルタ１３がなく光源７
から出射された光がスタンパ６から反射した反射光の光
量が多く、光が強いと、スタンパ６の僅かな凹凸や、く
もり状の高さのない欠陥が見にくくなる。このため、観
察者は、光源からの光をＮＤ可変フィルタ１３を通して
スタンパ６上に照射し、目視しながら回転ツマミ１３ａ
を回して光量を調整する。調整して出射される光量を１
０〜４０Ｗに変化させると、欠陥の様子が変化し欠陥を
見つけ易くするので目視差なく観察できる。
から出射された光がスタンパ６から反射した反射光の光
量が多く、光が強いと、スタンパ６の僅かな凹凸や、く
もり状の高さのない欠陥が見にくくなる。このため、観
察者は、光源からの光をＮＤ可変フィルタ１３を通して
スタンパ６上に照射し、目視しながら回転ツマミ１３ａ
を回して光量を調整する。調整して出射される光量を１
０〜４０Ｗに変化させると、欠陥の様子が変化し欠陥を
見つけ易くするので目視差なく観察できる。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、下記に示す効果がある。請求項１に対応する
効果：光源から出射された光の波長を５００〜７００ｎ
ｍにすることによって目視差をなくし容易に検査できる
効果がある。請求項２に対応する効果：角度を調整でき
るので、３０〜５０°変化させることにより膜厚の異な
るスタンパ面でも目視差をなくし、確認できる効果があ
る。請求項３に対応する効果：距離が調整できるので、
５〜１５ｃｍ上下移動させることによりスタンパ面との
焦点が定まり、目視差をなくすことができる。請求項４
に対応する効果：ＮＤ可変フィルタを設けたので、出射
される光量を１０〜４０Ｗに変化させることができ目視
差をなくす効果がある。
によれば、下記に示す効果がある。請求項１に対応する
効果：光源から出射された光の波長を５００〜７００ｎ
ｍにすることによって目視差をなくし容易に検査できる
効果がある。請求項２に対応する効果：角度を調整でき
るので、３０〜５０°変化させることにより膜厚の異な
るスタンパ面でも目視差をなくし、確認できる効果があ
る。請求項３に対応する効果：距離が調整できるので、
５〜１５ｃｍ上下移動させることによりスタンパ面との
焦点が定まり、目視差をなくすことができる。請求項４
に対応する効果：ＮＤ可変フィルタを設けたので、出射
される光量を１０〜４０Ｗに変化させることができ目視
差をなくす効果がある。
【図１】 本発明による光ディスク用スタンパ検査機の
一例を説明するための図である。
一例を説明するための図である。
【図２】 本発明による光ディスク用スタンパ検査機の
第２実施例を説明するための図である。
第２実施例を説明するための図である。
【図３】 本発明による光ディスク用スタンパ検査機の
第３の実施例を説明するための図である。
第３の実施例を説明するための図である。
【図４】 本発明による光ディスク用スタンパ検査機の
第４の実施例を説明するための図である。
第４の実施例を説明するための図である。
【図５】 従来の目視による光スタンパの検査機の構成
を説明するための図である。
を説明するための図である。
１…検査機、２…基台、３…脚部、４…台座、５…マグ
ネットシート、６…スタンパ、７…光源、８…目視位
置、９…角度調整レバー、１０…上下移動ダイヤル、１
１…ねじ柱、１２…支柱、１３…ＮＤ可変フィルタ。
ネットシート、６…スタンパ、７…光源、８…目視位
置、９…角度調整レバー、１０…上下移動ダイヤル、１
１…ねじ柱、１２…支柱、１３…ＮＤ可変フィルタ。
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 11/00 - 11/30
G01N 21/84 - 21/958
G11B 7/26
Claims (4)
- 【請求項１】 ガラス基板上に、順次、フォトレジスト
層による情報を記録した微細形状、導電性Ｎｉ被膜、お
よびＮｉ電鋳層を形成後、前記ガラス基板を剥離して得
られた光ディスク用スタンパ面の凹凸を目視により検査
する検査機において、面の凹凸を観察するために前記ス
タンパを載置する基板と、載置された前記スタンパに対
し所定角度で投光する光源とからなり、該光源の光波長
を５００〜７００ｎｍとしたことを特徴とする光ディス
ク用スタンパ検査機。 - 【請求項２】 前記基板の水平面に対する角度を調整す
る角度調節手段を有することを特徴とする請求項１に記
載の光ディスク用スタンパ検査機。 - 【請求項３】 前記基板の上下位置を調整する上下位置
調節手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記
載の光ディスク用スタンパ検査機。 - 【請求項４】 前記光源の光量を調整可能とする光量調
整手段を有することを特徴とする請求項１乃至３項の何
れかに記載の光ディスク用スタンパ検査機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12288795A JP3492446B2 (ja) | 1995-05-22 | 1995-05-22 | 光ディスク用スタンパ検査機 |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP12288795A JP3492446B2 (ja) | 1995-05-22 | 1995-05-22 | 光ディスク用スタンパ検査機 |
Publications (2)
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| JP3492446B2 true JP3492446B2 (ja) | 2004-02-03 |
Family
ID=14847100
Family Applications (1)
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Families Citing this family (2)
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1995
- 1995-05-22 JP JP12288795A patent/JP3492446B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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| JPH08313232A (ja) | 1996-11-29 |
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