JP3487001B2 - Optical head, light irradiation method, recording medium driving device - Google Patents
Optical head, light irradiation method, recording medium driving deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光ヘッド、光照射方
法、記録媒体駆動装置に関し、例えば光磁気ディスクに
情報を記録または再生する光磁気ディスク装置に用いて
好適な光ヘッド、光照射方法、記録媒体駆動装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical head, a light irradiating method, and a recording medium driving device. , A recording medium driving device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ディスクに、光学的に情報を記録または
再生する場合において、ディスクの記録録密度を上げる
には、できるだけ記録再生に用いる光の波長を短くする
か、ディスクに対して光を収束する対物レンズの開口数
（ＮＡ）を大きくする必要がある。2. Description of the Related Art In the case of optically recording or reproducing information on a disc, in order to increase the recording recording density of the disc, the wavelength of light used for recording and reproduction is shortened as much as possible or the light is converged on the disc. It is necessary to increase the numerical aperture (NA) of the objective lens used.
【０００３】光の波長自身を短くするには、より波長の
短いレーザ光を発生する半導体レーザなどを開発する必
要があるが、そのような新たな半導体レーザを開発する
ことは容易ではない。In order to shorten the wavelength of light itself, it is necessary to develop a semiconductor laser or the like which emits laser light of a shorter wavelength, but it is not easy to develop such a new semiconductor laser.
【０００４】また、対物レンズの開口数を大きくするに
は、対物レンズの径を大きくすればよいが、そのように
するとディスクに対して情報を記録再生するための光ヘ
ッドが大型化してしまうことになるばかりではなく、質
量も大きくなるため、フォーカス制御やトラッキング制
御を行うことが困難になる。Further, in order to increase the numerical aperture of the objective lens, the diameter of the objective lens may be increased. However, when this is done, the optical head for recording / reproducing information on / from the disc becomes large. Not only that, but also the mass increases, which makes it difficult to perform focus control and tracking control.
【０００５】そこで、ソリッドイマージョンレンズ（Ｓ
ｏｌｉｄ Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｅｎｓ）を用いて、
ディスクに対して記録または再生用の光を照射すること
が、Ｇ．Ｓ． Ｋｉｎｏ氏によって提案されている（Ｄ
ｉｇｅｓｔ ｏｆ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｄａｔａ Ｓｔｏ
ｒａｇｅ，Ｄａｎａ Ｐｏｉｎｔ（１９９４）に、ＵＬ
ＴＲＡ ＨＩＧＨ ＤＥＮＳＩＴＹ ＲＥＣＯＲＤＩＮ
Ｇ ＵＳＩＮＧ ＡＳＯＬＩＤ ＩＭＭＥＲＳＩＯＮ
ＬＥＮＳと題して紹介されている（文献１））。Therefore, the solid immersion lens (S
using the Solid Immersion Lens)
Irradiating the disc with recording or reproducing light is described in G. S. Proposed by Kino (D
igest of Optical Data Sto
Rage, Dana Point (1994), UL
TRA HIGH DENSITY RECORD
G USING ASOLID IMMERSION
It is introduced under the title LENS (Reference 1)).
【０００６】この提案は、例えばＭａｎｓｆｉｅｌｄ氏
等によって提案されている光学顕微鏡の解像度を高める
手法（Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒ
ｓ５７，２６１５−２６１６（１９９０）において、Ａ
ＳＯＬＩＤ ＩＭＭＥＲＳＩＯＮ ＭＩＣＲＯＳＣＯ
ＰＥ ＷＩＴＨ ＮＥＡＲ ＦＩＥＬＤ ＩＭＡＧＩＮ
Ｇ ＣＡＰＡＢＩＬＩＴＩＥＳと題する論文（文献２）
や、ＯｐｔｉｃｓＬｅｔｔｅｒ １８，３０５−３０７
（１９９３）において、ＨＩＧＨ ＮＵＭＥＲＩＣＡＬ
ＡＰＥＲＴＵＲＥ ＨＥＡＤ ＦＯＲ ＯＰＴＩＣＡ
Ｌ ＳＴＯＲＡＧＥと題する論文（文献３）に紹介され
ている）を、光学的に情報を記録または再生する場合に
応用したものである。This proposal is a method (Applied Physics Letter) for improving the resolution of an optical microscope proposed by Mansfield et al., For example.
s57, 2615-2616 (1990), A
SOLID IMMERSION MICROSCO
PE WITH NEAR FIELD IMAGIN
Paper entitled G CAPABILITIES (reference 2)
And OpticsLetter 18, 305-307
(1993), HIGH NUMERICAL
APERTURE HEAD FOR OPTICA
This is an application of a paper entitled L STORAGE (introduced in a reference 3) for optically recording or reproducing information.
【０００７】すなわちこの提案においては、図４（ａ）
に示すように、対物レンズ１０１でレーザ光を収束し、
入射面側が球面状とされ、出射面側が平面とされている
ソリッドイマージョンレンズ１０２に入射させる。対物
レンズ１０１からの入射光は、ソリッドイマージョンレ
ンズ１０２の球面に対して垂直に入射されるため、その
光は、出射側の平面の中心に収束する。このようにする
ことにより、ソリッドイマージョンレンズ１０２の屈折
率をｎとするとき、対物レンズの開口数を実質的にｎ倍
にすることができる。That is, in this proposal, FIG.
, The objective lens 101 converges the laser beam,
The light is incident on a solid immersion lens 102 having a spherical surface on the incident surface side and a flat surface on the emitting surface side. Since the incident light from the objective lens 101 is incident perpendicularly on the spherical surface of the solid immersion lens 102, the light converges on the center of the plane on the emitting side. By doing so, when the refractive index of the solid immersion lens 102 is n, the numerical aperture of the objective lens can be substantially multiplied by n.
【０００８】ただし実際には、ソリッドイマージョンレ
ンズ１０２より出射された光を図示せぬ記録媒体上に収
束させる必要があるため、その実際の収束点が記録媒体
上に位置するように、図４（ｂ）に示すように、対物レ
ンズ１０１より出射された光を、ソリッドイマージョン
レンズ１０２の球面で若干屈折させるようにして用いら
れる。However, in practice, the light emitted from the solid immersion lens 102 needs to be converged on a recording medium (not shown), so that the actual converging point is located on the recording medium as shown in FIG. As shown in b), the light emitted from the objective lens 101 is used by being slightly refracted by the spherical surface of the solid immersion lens 102.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこの提案
においては、対物レンズ１０１とソリッドイマージョン
レンズ１０２を一体的に構成し、これらを浮上ヘッド
（フライングヘッド）に搭載し、浮上ヘッドと記録媒体
（ディスク）との距離を浮上量によって制御するように
している。その結果、浮上量がディスクの線速度によっ
て変化してしまう。However, in this proposal, the objective lens 101 and the solid immersion lens 102 are integrally formed, and these are mounted on a flying head (flying head), and the flying head and the recording medium (disk). The distance to and is controlled by the flying height. As a result, the flying height changes depending on the linear velocity of the disk.
【００１０】また、ディスクの厚さや、ソリッドイマー
ジョンレンズ１０２の厚みにばらつきがあるため、その
ばらつきにより生じる球面収差を補正することができ
ず、結局、正確に情報を記録再生することが困難になる
課題があった。Further, since there are variations in the thickness of the disc and the thickness of the solid immersion lens 102, it is impossible to correct the spherical aberration caused by the variations, and eventually it becomes difficult to accurately record and reproduce information. There were challenges.
【００１１】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、記録媒体の厚みや、ソリッドイマージョン
レンズの厚みのばらつきにかかわらず、正確に情報を記
録または再生することができるようにするものである。The present invention has been made in view of such circumstances, and makes it possible to accurately record or reproduce information regardless of variations in the thickness of the recording medium or the thickness of the solid immersion lens. It is a thing.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の光ヘッ
ドは、第１の調整手段による対物レンズと記録媒体との
光軸方向の相対的距離の調整とは独立に、ソリッドイマ
ージョンレンズの光軸方向の位置を調整する第２の調整
手段を備え、第１の調整手段および第２の調整手段はと
もに少なくとも一部が導電性を有する材料からなり、第
２の調整手段は、対物レンズとソリッドイマージョンレ
ンズとの相対距離に対応して変化する静電容量、および
記録媒体とソリッドイマージョンレンズとの相対距離に
対応して変化する静電容量に基づいて、ソリッドイマー
ジョンレンズの光軸方向の位置を調整することを特徴と
する。An optical head according to a first aspect of the present invention is a solid immersion lens independent of the adjustment of the relative distance between the objective lens and the recording medium in the optical axis direction by the first adjusting means. A second adjusting means for adjusting the position in the optical axis direction is provided, and the first adjusting means and the second adjusting means are
At least partly made of a conductive material,
The second adjusting means is an objective lens and a solid immersion lens.
Capacitance that changes according to the relative distance from the lens, and
For the relative distance between the recording medium and the solid immersion lens
Solid Immersion based on correspondingly changing capacitance
It is characterized by adjusting the position of the John lens in the optical axis direction.
To do .
【００１３】 請求項３に記載の光照射方法は、対物レ
ンズと記録媒体との光軸方向の相対的距離の調整とは独
立に、対物レンズとソリッドイマージョンレンズとの相
対的距離に対応して変化する静電容量、および記録媒体
とソリッドイマージョンレンズとの相対的距離に対応し
て変化する静電容量に基づいて、ソリッドイマージョン
レンズの光軸方向の位置を調整するようになされてい
る。In the light irradiation method according to the third aspect , the phase of the objective lens and the solid immersion lens is adjusted independently of the adjustment of the relative distance between the objective lens and the recording medium in the optical axis direction.
Capacitance that changes according to relative distance, and recording medium
And the relative distance between the solid immersion lens and
The position of the solid immersion lens in the optical axis direction is adjusted based on the changing electrostatic capacitance .
【００１４】 請求項４に記載の記録媒体駆動装置は、
第１の調整手段による調整とは独立に、対物レンズとソ
リッドイマージョンレンズとの相対距離に対応して変化
する静電容量、および記録媒体とソリッドイマージョン
レンズとの相対距離に対応して変化する静電容量に基づ
いて、ソリッドイマージョンレンズの光軸方向の位置を
調整する第２の調整手段を備えている。A recording medium driving device according to a fourth aspect is
Independently of the adjustment by the first adjusting means, the objective lens and the
Changes according to the relative distance from the lid immersion lens
Capacitance, recording medium and solid immersion
Based on the capacitance that changes according to the relative distance to the lens
In addition, a second adjusting means for adjusting the position of the solid immersion lens in the optical axis direction is provided.
【００１５】[0015]
【作用】請求項１に記載の光ヘッド、請求項３に記載の
光照射方法、および請求項４に記載の記録媒体駆動装置
においては、いずれも対物レンズと記録媒体との光軸方
向の相対的距離の調整とは独立に、対物レンズとソリッ
ドイマージョンレンズとの相対距離に対応して変化する
静電容量、および記録媒体とソリッドイマージョンレン
ズとの相対距離に対応して変化する静電容量に基づい
て、ソリッドイマージョンレンズの光軸方向の位置が調
整される。[Action] The optical head according to claim 1, the light irradiation method according to claim 3, and the recording medium drive according to claim 4 are both in the optical axis direction between the objective lens and the recording medium relative Objective lens and solid
It changes according to the relative distance to the immersion lens
Capacitance, recording medium and solid immersion lens
Based on the capacitance that changes according to the relative distance
Thus, the position of the solid immersion lens in the optical axis direction is adjusted.
【００１６】[0016]
【実施例】図１は、本発明の記録媒体駆動装置を応用し
た光磁気ディスク装置の構成例を表している。光磁気デ
ィスク１は、モータ２によリ所定の速度で回転されるよ
うになされている。ヘッド３は、後述するように、基本
的に光ヘッド３１と磁気ヘッド３２（図２）により構成
されている。図示せぬ回路から供給される記録信号がヘ
ッド３に供給されるとともに、ヘッド３が光磁気ディス
ク１から再生出力したＭＯ再生信号が、図示せぬ回路に
供給されるようになされている。1 shows an example of the configuration of a magneto-optical disk device to which a recording medium driving device of the present invention is applied. The magneto-optical disk 1 is rotated by a motor 2 at a predetermined speed. The head 3 is basically composed of an optical head 31 and a magnetic head 32 (FIG. 2) as described later. A recording signal supplied from a circuit (not shown) is supplied to the head 3, and an MO reproduction signal reproduced and output from the magneto-optical disk 1 by the head 3 is supplied to a circuit (not shown).
【００１７】また、ヘッド３が出力したサーボ用信号
は、ヘッドアンプ４を介してフォーカスマトリックス回
路５とトラッキングマトリックス回路８に供給されるよ
うになされている。フォーカスマトリックス回路５は、
入力された信号からフォーカスエラー信号を生成し、ト
ラッキングマトリックス回路８は、入力された信号から
トラッキングエラー信号を生成する。The servo signal output from the head 3 is supplied to the focus matrix circuit 5 and the tracking matrix circuit 8 via the head amplifier 4. The focus matrix circuit 5 is
A focus error signal is generated from the input signal, and the tracking matrix circuit 8 generates a tracking error signal from the input signal.
【００１８】フォーカスマトリックス回路５より出力さ
れたフォーカスエラー信号は、位相補償回路６により位
相補償がなされた後、アンプ７を介してヘッド３のフォ
ーカスアクチュエータ４５（図３）に供給されるように
なされている。また、トラッキングマトリックス回路８
より出力されたトラッキングエラー信号も、位相補償回
路９によリ位相補償された後、アンプ１０を介してヘッ
ド３のトラッキングアクチュエータ４６（図３）に供給
されるようになされている。The focus error signal output from the focus matrix circuit 5 is phase-compensated by the phase compensation circuit 6 and then supplied to the focus actuator 45 (FIG. 3) of the head 3 via the amplifier 7. ing. In addition, the tracking matrix circuit 8
The output tracking error signal is also subjected to phase compensation by the phase compensation circuit 9, and then supplied to the tracking actuator 46 (FIG. 3) of the head 3 via the amplifier 10.
【００１９】また、ヘッド３が出力したソリッドイマー
ジョンレンズ４３（図３参照）の光軸方向の相対的位置
に対応する静電容量を表す信号が、電圧制御発振器（Ｖ
ＣＯ（Ｖｏｌｔａｇｅ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ Ｏｓｃ
ｉｌｌａｔｏｒ））に供給される。このＶＣＯ１１は、
ＬＣ発振回路により構成されており、ヘッド３より供給
される静電容量信号よりなる制御電圧の値に対応する位
相と周波数の信号を発生し、位相周波数比較器１２に供
給する。この位相周波数比較器１２には、水晶発振器１
３より供給される基準の位相と周波数を有する信号も供
給されている。位相周波数比較器１２は、ＶＣＯ１１の
出力と、水晶発振器１３の出力の位相と周波数を比較
し、その誤差信号を出力する。Further, a signal representing the electrostatic capacitance corresponding to the relative position in the optical axis direction of the solid immersion lens 43 (see FIG. 3) output from the head 3 is a voltage controlled oscillator (V
CO (Voltage Controlled Osc)
illator)). This VCO 11 is
It is composed of an LC oscillating circuit, generates a phase and frequency signal corresponding to the value of the control voltage composed of the electrostatic capacitance signal supplied from the head 3, and supplies it to the phase frequency comparator 12. The phase frequency comparator 12 includes a crystal oscillator 1
A signal having the reference phase and frequency supplied from the No. 3 is also supplied. The phase frequency comparator 12 compares the phase and frequency of the output of the VCO 11 and the output of the crystal oscillator 13 and outputs an error signal thereof.
【００２０】位相周波数比較器１２の出力する信号は、
位相補償回路１４により位相補償された後、アンプ１５
を介してヘッド３のＳＩＬアクチュエータ４８（図３）
に供給されるようになされている。The signal output from the phase frequency comparator 12 is
After the phase is compensated by the phase compensation circuit 14, the amplifier 15
Via the SIL actuator 48 of the head 3 (FIG. 3)
It is designed to be supplied to.
【００２１】図２はヘッド３の構成例を表している。同
図に示すように、ヘッド３は基本的に、光ヘッド３１と
磁気ヘッド３２により構成されており、両者は、光磁気
ディスク１を挟んで対向するように配置されている。磁
気ヘッド３２には、アンプ８６を介して記録信号が供給
されるようになされている。磁気ヘッド３２は、入力さ
れた記録信号に対応する極性の磁界を発生し、その磁界
を光磁気ディスク１に印加するようになされている。FIG. 2 shows an example of the structure of the head 3. As shown in the figure, the head 3 is basically composed of an optical head 31 and a magnetic head 32, which are arranged so as to face each other with the magneto-optical disk 1 interposed therebetween. A recording signal is supplied to the magnetic head 32 via an amplifier 86. The magnetic head 32 generates a magnetic field having a polarity corresponding to the input recording signal and applies the magnetic field to the magneto-optical disk 1.
【００２２】光ヘッド３１は、半導体レーザ６１を備
え、半導体レーザより出射されたレーザ光が、レンズ６
２を介してＳＨＧ（Ｓｅｃｏｎｄ Ｈａｒｍｏｎｉｃ
Ｇｅｎｅｒａｔｏｒ）ユニット６３に入射され、ＳＨＧ
ユニット６３をポンピングするようになされている。Ｎ
ｄ．ＹＡＧ ＫＴＰよりなるＳＨＧユニット６３は、例
えば、５３２nmの波長のレーザ光を発生するようになさ
れている。The optical head 31 comprises a semiconductor laser 61, and the laser light emitted from the semiconductor laser is reflected by the lens 6
2 via SHG (Second Harmonic)
(Generator) is incident on the unit 63, and SHG
It is adapted to pump the unit 63. N
d. The SHG unit 63 made of YAG KTP is adapted to generate a laser beam having a wavelength of 532 nm, for example.
【００２３】ＳＨＧユニット６３の発生するレーザ光
は、レンズ６４を介して、音響光学変調器６５に入射さ
れ、強度制御回路８５からの信号に対応して変調される
ようになされている。音響光学変調器６５より出射され
たレーザ光は、ミラー６６により反射された後、ビーム
エキスパンダ６７により、平行光に変換されるようにな
されている。ビームエキスパンダ６７より出射されたレ
ーザ光は、グレーティング６８により、実質的に３本の
光に分割される。この３本の光は、偏光ビームスプリッ
タ６９を介して可動部３１Ａに入射され、さらに可動部
３１Ａを構成する対物レンズ４１、プレート４２、およ
びソリッドイマージョンレンズ４３を介して光磁気ディ
スク１に照射されるようになされている。The laser light generated by the SHG unit 63 enters the acousto-optic modulator 65 via the lens 64 and is modulated according to the signal from the intensity control circuit 85. The laser light emitted from the acousto-optic modulator 65 is reflected by a mirror 66 and then converted into parallel light by a beam expander 67. The laser light emitted from the beam expander 67 is substantially divided into three lights by the grating 68. These three lights are incident on the movable portion 31A via the polarization beam splitter 69, and are further irradiated onto the magneto-optical disk 1 via the objective lens 41, the plate 42, and the solid immersion lens 43 which constitute the movable portion 31A. It is designed to be.
【００２４】また、偏光ビームスプリッタ６９に入射さ
れた光のうちの一部は、レンズ７０に向けて偏光ビーム
スプリッタ６９の面６９Ａで反射され、レンズ７０を介
してホトディテクタ７１に入射されるようになされてい
る。そしてホトディテクタ７１により検出された光に対
応する信号が、強度制御回路８５に入射され、強度制御
回路８５は、ホトディテクタ７１より入力された信号の
レベルを予め設定されている所定の基準値と比較し、そ
の誤差が０となるように音響光学変調器６５を制御する
ようになされている。すなわち、これにより、いわゆる
ＡＰＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｐｏｗｅｒ Ｃｏｎｔｒ
ｏｌ）制御が行われるようになされている。A part of the light incident on the polarization beam splitter 69 is reflected by the surface 69 A of the polarization beam splitter 69 toward the lens 70 and is incident on the photodetector 71 via the lens 70. Has been done. Then, a signal corresponding to the light detected by the photodetector 71 is incident on the intensity control circuit 85, and the intensity control circuit 85 sets the level of the signal input from the photodetector 71 to a preset reference value. By comparison, the acousto-optic modulator 65 is controlled so that the error becomes zero. That is, as a result, the so-called APC (Automatic Power Controller)
ol) control is performed.
【００２５】一方、光磁気ディスク１によリ反射された
光は、ソリッドイマージョンレンズ４３、プレート４
２、および対物レンズ４１を介して、偏光ビームスプリ
ッタ６９に再び入射される。偏光ビームスプリッタ６９
の面６９Ａは、反射光のうち、例えばＰ偏光成分の３０
％を反射し、Ｓ偏光成分のほぼ１００％を反射するよう
に形成されている。On the other hand, the light reflected by the magneto-optical disk 1 is reflected by the solid immersion lens 43 and the plate 4.
2, and again enters the polarization beam splitter 69 via the objective lens 41. Polarizing beam splitter 69
Of the reflected light, for example, the surface 69A of
%, And almost 100% of the S-polarized component is reflected.
【００２６】この偏光ビームスプリッタ６９の面６９Ａ
で反射された光は、偏光ビームスプリッタ７２に入射さ
れ、その一部の光は、面７２Ａで反射された後、レンズ
７３とコンケーブレンズ７４を介して、ホトディテクタ
７５に入射されるようになされている。そして、ホトデ
ィテクタ７５が入射された光に対応する信号を発生し、
サーボ用の信号として、ヘッドアンプ４に出力するよう
になされている。The surface 69A of the polarization beam splitter 69
The light reflected by is incident on the polarization beam splitter 72, and a part of the light is reflected on the surface 72A and then incident on the photodetector 75 via the lens 73 and the concave lens 74. ing. Then, the photo detector 75 generates a signal corresponding to the incident light,
The signal is output to the head amplifier 4 as a servo signal.
【００２７】一方、偏光ビームスプリッタ６９より出射
された光のほとんどは、偏光ビームスプリッタ７２の面
７２Ａを透過して、１／２波長板７６を介して偏光ビー
ムスプリッタ７７に入射されるようになされている。そ
して、偏光ビームスプリッタ７７においては、その面７
７Ａにおいて一部の光が反射され、面７７Ｂでさらに反
射された後、レンズ８１とコンケーブレンズ８２を介し
てホトディテクタ８３に入射されるようになされてい
る。また、面７７Ａを透過した光は、レンズ７８とコン
ケーブレンズ７９を介してホトディテクタ８０に入射さ
れるようになされている。差動アンプ８４は、ホトディ
テクタ８０と８３より出力された信号の差を演算し、Ｍ
Ｏ再生信号として出力するようになされている。On the other hand, most of the light emitted from the polarization beam splitter 69 passes through the surface 72A of the polarization beam splitter 72 and is incident on the polarization beam splitter 77 via the ½ wavelength plate 76. ing. Then, in the polarization beam splitter 77, the surface 7
Part of the light is reflected at 7A, further reflected at the surface 77B, and then incident on the photodetector 83 via the lens 81 and the concave lens 82. The light transmitted through the face 77A, the lens 78 and con
The light is incident on the photodetector 80 via the cave lens 79. The differential amplifier 84 calculates the difference between the signals output from the photo detectors 80 and 83, and outputs M
An O reproduction signal is output.
【００２８】図３は、光ヘッド３１の可動部３１Ａのよ
り詳細な構成例を表している。同図に示すように、対物
レンズ４１とプレート４２は、ホルダ４４により一体的
に保持されている。このホルダ４４の外周には、フォー
カスアクチュエータ４５とトラッキングアクチュエータ
４６が設けられており、図１のアンプ７が出力したフォ
ーカスエラー信号とアンプ１０が出力したトラッキング
エラー信号が、それぞれ供給されるようになされてい
る。これにより、ホルダ４４（従って対物レンズ４１と
プレート４２）が光磁気ディスク１に対して光軸方向に
（図３において上下方向に）フォーカス制御されるとと
もに、光磁気ディスク１に形成したトラック（図示せ
ず）に対して垂直な方向にトラッキング制御されるよう
になされている。FIG. 3 shows a more detailed structural example of the movable portion 31A of the optical head 31. As shown in the figure, the objective lens 41 and the plate 42 are integrally held by a holder 44. A focus actuator 45 and a tracking actuator 46 are provided on the outer periphery of the holder 44, and the focus error signal output by the amplifier 7 and the tracking error signal output by the amplifier 10 in FIG. ing. As a result, the holder 44 (and hence the objective lens 41 and the plate 42) is focus-controlled with respect to the magneto-optical disk 1 in the optical axis direction (vertical direction in FIG. 3), and the track formed on the magneto-optical disk 1 (see FIG. Tracking control is performed in a direction perpendicular to (not shown).
【００２９】プレート４２はこの実施例の場合、１．２
mmの厚さに形成されている。これは対物レンズ４１とし
て、厚さ１．２mmのディスクに対して情報を記録または
再生するためのものを用いているためである。すなわ
ち、対物レンズ４１は、非球面レンズとされており、そ
の表面（非球面度）は、対物レンズ４１より出射された
収束光が平行平板である厚さ１．２mmのディスクを通過
したとき、無収差の光となるように設計されている。こ
のため、対物レンズ４１より出射された直後の光は、収
差を有する光となっている。そこでこの光を１．２mmの
厚さのガラスよりなるプレート４２を透過させること
で、無収差のコーンケーブの光を得るようにしているの
である。従って、対物レンズ４１を専用の対物レンズと
して所定の特性のものに設計した場合においては、プレ
ート４２は不要となる。The plate 42 is 1.2 in this embodiment.
It is formed with a thickness of mm. This is because the objective lens 41 is used for recording or reproducing information on a disc having a thickness of 1.2 mm. That is, the objective lens 41 is an aspherical lens, and its surface (asphericity) is such that when the convergent light emitted from the objective lens 41 passes through a parallel flat plate having a thickness of 1.2 mm, It is designed to be aberrated light. Therefore, the light immediately after being emitted from the objective lens 41 is light having an aberration. Therefore, this light is transmitted through the plate 42 made of glass having a thickness of 1.2 mm to obtain aberration-free cone-cave light. Therefore, when the objective lens 41 is designed as a dedicated objective lens having a predetermined characteristic, the plate 42 becomes unnecessary.
【００３０】ソリッドイマージョンレンズ４３は、ホル
ダ４７により保持されており、このホルダ４７の外周に
は、ＳＩＬ（Ｓｏｌｉｄ Ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｌｅｎ
ｓ）アクチュエータ４８が設けられている。このＳＩＬ
アクチュエータ４８により、ソリッドイマージョンレン
ズ４３を光軸方向（図中上下方向（すなわちフォーカス
方向））にその位置を移動調整することができるように
なされている。これにより、ソリッドイマージョンレン
ズ４３と光磁気ディスク１の間のエアギャップＧの幅
（距離）が、所定の値に調整されるようになされてい
る。The solid immersion lens 43 is held by a holder 47, and the SIL (Solid Immersion Lens) is attached to the outer periphery of the holder 47.
s) An actuator 48 is provided. This SIL
The actuator 48 can move and adjust the position of the solid immersion lens 43 in the optical axis direction (vertical direction in the figure (that is, focus direction)). As a result, the width (distance) of the air gap G between the solid immersion lens 43 and the magneto-optical disc 1 is adjusted to a predetermined value.
【００３１】対物レンズ４１を保持しているホルダ４４
と、ソリッドイマージョンレンズ４３を保持しているホ
ルダ４７は、それぞれ、例えばアルミニウムなどにより
形成されている。この実施例においては、このホルダ４
７と４４により、一種のコンデンサが形成されるように
なされている。これらを構成する材料は、この他、軽量
で導電性を有するもの（両者によりコンデンサを形成す
ることができるもの）であれば、他の素材を用いること
も可能である。A holder 44 holding the objective lens 41
And the holder 47 holding the solid immersion lens 43 are formed of, for example, aluminum. In this embodiment, this holder 4
7 and 44 form a kind of capacitor. In addition to these, other materials can be used as long as they are lightweight and have conductivity (capacitor can be formed by both).
【００３２】ホルダ４４と４７により構成されるコンデ
ンサの静電容量の値Ｃは、ホルダ４４と４７の対向する
面積をＳ、間隔（距離）をｄで表すと、次式で表され
る。
Ｃ＝ε0εrＳ／ｄ
ここでε0は、真空誘電率を表し、ほぼ８．８５５×１
０-12（Ｆ／ｍ）となる。また、εrは比誘電率を表し、
空気中においては、ほぼ１となる。The electrostatic capacitance value C of the capacitor constituted by the holders 44 and 47 is expressed by the following formula, where S is the area where the holders 44 and 47 face each other and d is the distance (distance). C = ε 0 ε r S / d Here, ε 0 represents a vacuum dielectric constant, which is approximately 8.855 × 1.
It becomes 0-12 (F / m). Also, ε r represents the relative permittivity,
It becomes almost 1 in the air.
【００３３】面積Ｓを１０mm2とし、間隔ｄを１０μmと
すると、静電容量Ｃは、約９ＰＦとなり、１μmの間隔
変動に対して、０．９ＰＦの容量変化を生じることにな
る。この容量変化に対応する信号が、上述したように、
図１のＶＣＯ１１に供給されるようになされている。When the area S is 10 mm 2 and the distance d is 10 μm, the electrostatic capacitance C becomes about 9 PF, and a capacitance change of 0.9 PF occurs with respect to a 1 μm distance variation. The signal corresponding to this capacitance change is, as described above,
It is adapted to be supplied to the VCO 11 of FIG.
【００３４】ソリッドイマージョンレンズ４３は、原理
的に、対物レンズ４１からの光が入射側の面に対してほ
ぼ垂直に入射され、出射側の平面の中心に収束するよう
に用いられるものであるため、対物レンズ４１の入射側
の面は、ほぼ球面状に形成され、光磁気ディスク１と対
向する出射側の面は平面に形成されている。ただし、こ
の実施例においては、光磁気ディスク１の情報記録層１
Ａが所定の厚さの基板１Ｂ上に形成されており、光はこ
の基板１Ｂを介して、記録層１Ａに照射される。このた
め光は、記録層１Ａ上に収束するように用いられる。The solid immersion lens 43 is used in principle so that the light from the objective lens 41 is incident substantially perpendicularly to the incident side surface and is converged on the center of the exit side plane. The surface of the objective lens 41 on the incident side is formed into a substantially spherical shape, and the surface of the emission side facing the magneto-optical disk 1 is formed into a flat surface. However, in this embodiment, the information recording layer 1 of the magneto-optical disc 1 is used.
A is formed on a substrate 1B having a predetermined thickness, and light is applied to the recording layer 1A via the substrate 1B. Therefore, the light is used so as to converge on the recording layer 1A.
【００３５】また、上記した文献３にも示されているよ
うに、エアギャップＧによって生ずる球面収差の係数Ｗ
４０は、次式により表される。
Ｗ４０＝−（ｈ／８）ｎ２（ｎ２−１）sin４θ０
なお、ここでｈは、エアギャップＧの間隔を表し、sin
θ０は、対物レンズ４１の開口数ＮＡ（但し、角度によ
る表記）を表し、ｎはソリッドイマージョンレンズ４３
の屈折率を表している。上記式におけるｈを５０μmと
し、ｎを１．５とし （ソリッドイマージョンレンズ４
３をガラスで形成した場合）、sinθ０を０．５５とす
ると、球面収差の量を、波長λ（＝５３２nm）に対する
倍数で表すと、その値は、最大約３λとなる。Further, as shown in the above-mentioned document 3, the coefficient W of the spherical aberration caused by the air gap G is W.
40 is represented by the following equation. W 40 = − (h / 8) n 2 (n 2 −1) sin 4 θ 0 where h represents the interval of the air gap G, and sin
θ 0 represents the numerical aperture NA of the objective lens 41 (however, notation by angle), and n is the solid immersion lens 43.
Represents the refractive index of. In the above equation, h is 50 μm and n is 1.5 (solid immersion lens 4
3 is formed of glass), and assuming sin θ 0 to be 0.55, when the amount of spherical aberration is expressed as a multiple of the wavelength λ (= 532 nm), the maximum value is about 3λ.
【００３６】そこで、対物レンズ４１の非球面度、また
はソリッドイマージョンレンズ４３の非球面度を所定の
値に設定することで、エアギャップＧの幅ｈが５０μm
となる場合において、無収差となる光学系（対物レンズ
群）を得ることができる。Therefore, the width h of the air gap G is set to 50 μm by setting the asphericity of the objective lens 41 or the asphericity of the solid immersion lens 43 to a predetermined value.
In such a case, an optical system (objective lens group) having no aberration can be obtained.
【００３７】エアギャップＧの幅ｈが変化すると、球面
収差が発生する。波面収差の許容値を±λ／４とした場
合、エアギャップＧの幅ｈは、±４．２μmの範囲内に
なるように制御すればよいことになる。When the width h of the air gap G changes, the spherical surface
Aberration occurs. When the allowable value of the wavefront aberration is ± λ / 4, the width h of the air gap G should be controlled to be within the range of ± 4.2 μm.
【００３８】次に、その動作について説明する。光磁気
ディスク１に情報を記録するとき（記録モードのと
き）、その記録信号をアンプ８６で増幅して、磁気ヘッ
ド３２に供給する。これにより磁気ヘッド３２により、
記録信号に対応する極性の磁界が光磁気ディスク１に印
可されることになる。Next, the operation will be described. When information is recorded on the magneto-optical disk 1 (in the recording mode), the recording signal is amplified by the amplifier 86 and supplied to the magnetic head 32. This causes the magnetic head 32 to
A magnetic field having a polarity corresponding to the recording signal is applied to the magneto-optical disk 1.
【００３９】一方、半導体レーザ６１より出射されたレ
ーザ光によりポンピングされたＳＨＧユニット６３が出
射するレーザ光が、音響光学変調器６５を介してミラー
６６に入射され、そこで反射された後、ビームエキスパ
ンダ６７で平行光に変換される。さらに、グレーティン
グ６８で３本に分割された光は、偏光ビームスプリッタ
６９、対物レンズ４１、プレート４２、およびソリッド
イマージョンレンズ４３を介して光磁気ディスク１の記
録層１Ａ上に収束される。これにより、光磁気ディスク
１上に光磁気的に情報が記録される。On the other hand, the laser light emitted from the SHG unit 63, which is pumped by the laser light emitted from the semiconductor laser 61, is incident on the mirror 66 via the acousto-optic modulator 65, is reflected there, and is then beam extracted. It is converted into parallel light by the panda 67. Further, the light divided into three by the grating 68 is converged on the recording layer 1A of the magneto-optical disc 1 via the polarization beam splitter 69, the objective lens 41, the plate 42, and the solid immersion lens 43. As a result, information is magneto-optically recorded on the magneto-optical disk 1.
【００４０】なお、このとき、光磁気ディスク１への入
射光の一部が偏光ビームスプリッタ６９の面６９Ａで反
射され、レンズ７０を介してホトディテクタ７１で検出
される。そして、その検出結果が強度制御回路８５に供
給される。強度制御回路８５は、ホトディテクタ７１よ
り供給される信号のレベルを予め設定してある所定の基
準値と比較し、その誤差に対応する信号を音響光学変調
器６５に出力する。これにより、いわゆるＡＰＣサーボ
がかかり、光磁気ディスク１に照射される光の強度が一
定となる。At this time, a part of the incident light on the magneto-optical disk 1 is reflected by the surface 69A of the polarization beam splitter 69 and detected by the photo detector 71 via the lens 70. Then, the detection result is supplied to the intensity control circuit 85. The intensity control circuit 85 compares the level of the signal supplied from the photodetector 71 with a preset reference value, and outputs a signal corresponding to the error to the acousto-optic modulator 65. As a result, so-called APC servo is applied, and the intensity of light applied to the magneto-optical disk 1 becomes constant.
【００４１】一方、再生モード時においては、強度制御
回路８５における基準値が、記録モード時における場合
より低い所定の値に設定される。これにより、光磁気デ
ィスク１に照射される光の強度は、記録時における場合
より小さい一定のレベルに制御される。On the other hand, in the reproducing mode, the reference value in the intensity control circuit 85 is set to a predetermined value lower than that in the recording mode. As a result, the intensity of the light applied to the magneto-optical disc 1 is controlled to a constant level that is smaller than that during recording.
【００４２】そして、光磁気ディスク１で反射された光
が、ソリッドイマージョンレンズ４３、プレート４２、
対物レンズ４１を介して偏光ビームスプリッタ６９に入
射される。偏光ビームスプリッタ６９は、光磁気ディス
ク１からの光を面６９Ａで反射し、偏光ビームスプリッ
タ７２に入射させる。The light reflected by the magneto-optical disc 1 is reflected by the solid immersion lens 43, the plate 42,
It is incident on the polarization beam splitter 69 via the objective lens 41. The polarization beam splitter 69 reflects the light from the magneto-optical disk 1 on the surface 69A and makes it enter the polarization beam splitter 72.
【００４３】偏光ビームスプリッタ７２により、その面
７２Ａで反射された光は、レンズ７３、コンケーブレン
ズ７４を介してホトディテクタ７５に入射される。そし
て、ホトディテクタ７５より出力された信号が、ヘッド
アンプ４を介してフォーカスマトリックス回路５と、ト
ラッキングマトリックス回路８に供給される。フォーカ
スマトリックス回路５は、入力された信号からフォーカ
スエラー信号を生成し、生成したフォーカスエラー信号
を位相補償回路６、アンプ７を介してフォーカスアクチ
ュエータ４５に供給する。これにより、対物レンズ４１
とプレート４２がフォーカス方向（光軸方向）に移動調
整される。The light reflected by the surface 72A of the polarization beam splitter 72 is reflected by the lens 73 and the concave lens.
Is incident on the photodetector 75 via the Figure 74. Then, the signal output from the photo detector 75 is supplied to the focus matrix circuit 5 and the tracking matrix circuit 8 via the head amplifier 4. The focus matrix circuit 5 generates a focus error signal from the input signal, and supplies the generated focus error signal to the focus actuator 45 via the phase compensation circuit 6 and the amplifier 7. Thereby, the objective lens 41
The plate 42 is moved and adjusted in the focus direction (optical axis direction).
【００４４】同様に、トラッキングマトリックス回路８
により生成されたトラッキングエラー信号が、位相補償
回路９、アンプ１０を介してトラッキングアクチュエー
タ４６に供給される。これにより、対物レンズ４１とプ
レート４２がトラッキング方向に調整される。Similarly, the tracking matrix circuit 8
The tracking error signal generated by is supplied to the tracking actuator 46 via the phase compensation circuit 9 and the amplifier 10. As a result, the objective lens 41 and the plate 42 are adjusted in the tracking direction.
【００４５】対物レンズ４１とプレート４２を保持する
ホルダ４４が、フォーカス方向に調整されると、ソリッ
ドイマージョンレンズ４３を保持しているホルダ４７と
の間隔が相対的に変化する。その結果、ホルダ４４と４
７により形成されるコンデンサの静電容量が変化する。
ＶＣＯ１１は、この静電容量に対応する位相の信号を発
生する。位相周波数比較器１２は、ＶＣＯ１１が出力す
る信号の位相と水晶発振器１３が出力する信号の位相と
を比較し、その誤差に対応する信号を出力する。この位
相誤差信号は、位相補償回路１４、アンプ１５を介して
ＳＩＬアクチュエータ４８に供給される。これによりＳ
ＩＬアクチュエータ４８は、ホルダ４７（したがってソ
リッドイマージョンレンズ４３）を光軸方向に移動調整
する。When the holder 44 holding the objective lens 41 and the plate 42 is adjusted in the focus direction, the distance between the holder 47 holding the solid immersion lens 43 changes relatively. As a result, holders 44 and 4
The capacitance of the capacitor formed by 7 changes.
The VCO 11 generates a signal having a phase corresponding to this electrostatic capacity. The phase frequency comparator 12 compares the phase of the signal output by the VCO 11 with the phase of the signal output by the crystal oscillator 13, and outputs a signal corresponding to the error. This phase error signal is supplied to the SIL actuator 48 via the phase compensation circuit 14 and the amplifier 15. This makes S
The IL actuator 48 moves and adjusts the holder 47 (and thus the solid immersion lens 43) in the optical axis direction.
【００４６】その結果、ホルダ４７が、ホルダ４４との
距離が一定となるように制御される。上述したように、
フォーカス制御動作により、対物レンズ４１（ホルダ４
４）と光磁気ディスク１との距離が一定となるように制
御される。そして、ＳＩＬサーボ動作により、ホルダ４
７とホルダ４４の間が一定の距離になるように調整され
る。従って、結局、ホルダ４７（ソリッドイマージョン
レンズ４３）と光磁気ディスク１とのエアギャップＧの
間隔ｈが、一定となるように制御されることになる。As a result, the holder 47 is controlled so that the distance from the holder 44 is constant. As mentioned above,
By the focus control operation, the objective lens 41 (holder 4
The distance between 4) and the magneto-optical disk 1 is controlled to be constant. Then, by the SIL servo operation, the holder 4
The distance between 7 and the holder 44 is adjusted to be a constant distance. Therefore, after all, the distance h of the air gap G between the holder 47 (solid immersion lens 43) and the magneto-optical disc 1 is controlled to be constant.
【００４７】対物レンズ４１として開口数が０．５５の
ものを用い、ソリッドイマージョンレンズ４３として、
屈折率ｎが１．５であるものを用いることにより、対物
レンズ４１の実質的な開口数を約０．８３（＝０．５５
×１．５）とすることができる。これにより、記録密度
を従来の場合の約２．２５倍（＝（０．８３／０．５
５）2）にすることができる。As the objective lens 41, one having a numerical aperture of 0.55 is used, and as the solid immersion lens 43,
By using one having a refractive index n of 1.5, the substantial numerical aperture of the objective lens 41 is about 0.83 (= 0.55).
× 1.5). As a result, the recording density is approximately 2.25 times (= (0.83 / 0.5
5) It can be set to 2 ).
【００４８】[0048]
【００４９】偏光ビームスプリッタ７２は、入射された
光のほとんどを１／２波長板７６を介して偏光ビームス
プリッタ７７に入射させる。偏光ビームスプリッタ７７
においては、入射された光の一部が面７７Ａで反射され
た後、さらに面７７Ｂで反射され、レンズ８１とコンケ
ーブレンズ８２を介してホトディテクタ８３に入射され
る。また、面７７Ａを透過した光が、レンズ７８とコン
ケーブレンズ７９を介してホトディテクタ８０に入射さ
れる。再生モード時、ホトディテクタ８０の出力と８３
の出力の差が、差動アンプ８４により演算され、ＭＯ再
生信号として出力される。The polarization beam splitter 72 causes most of the incident light to enter the polarization beam splitter 77 via the half-wave plate 76. Polarizing beam splitter 77
In FIG. 7, after a part of the incident light is reflected by the surface 77A, it is further reflected by the surface 77B, and the lens 81 and the contact lens are contacted.
The light is incident on the photodetector 83 via the lens 82. The light transmitted through the surface 77A is, the lens 78 and con
It is incident on the photodetector 80 via the cave lens 79. In playback mode, output of photo detector 80 and 83
The difference between the outputs of the above is calculated by the differential amplifier 84 and output as the MO reproduction signal.
【００５０】なお、上記実施例においては、ホルダ４７
とホルダ４４の間に形成されるコンデンサの静電容量に
対応して、ＳＩＬアクチュエータ４８を制御するように
したが、ホルダ４７と光磁気ディスク１との間に形成さ
れる静電容量に対応して、ＳＩＬアクチュエータ４８を
駆動するようにすることもできる。この場合、光磁気デ
ィスク１とソリッドイマージョンレンズ４３との間のエ
アギャップＧの幅ｈが一定になるように、直接制御され
る。In the above embodiment, the holder 47
Although the SIL actuator 48 is controlled according to the electrostatic capacity of the capacitor formed between the holder 44 and the holder 44, the SIL actuator 48 is controlled according to the electrostatic capacity formed between the holder 47 and the magneto-optical disk 1. It is also possible to drive the SIL actuator 48. In this case, the width h of the air gap G between the magneto-optical disc 1 and the solid immersion lens 43 is directly controlled so as to be constant.
【００５１】また、磁界変調方式ではなく、光変調方式
にする場合は、記録信号を音響光学変調器６５に供給す
るようにする。When the optical modulation method is used instead of the magnetic field modulation method, the recording signal is supplied to the acousto-optic modulator 65.
【００５２】さらに、上記実施例においては、光磁気デ
ィスク１に情報を記録再生する場合を例としたが、本発
明は、光磁気ディスク以外に、光ディスク、光カード、
その他の記録媒体に情報を記録または再生する場合に応
用することが可能である。Further, in the above-mentioned embodiment, the case where the information is recorded / reproduced on / from the magneto-optical disc 1 is taken as an example, but the present invention is not limited to the magneto-optical disc, but an optical disc, an optical card,
It can be applied to the case of recording or reproducing information on other recording media.
【００５３】[0053]
【発明の効果】以上の如く請求項１に記載の光ヘッド、
請求項３に記載の光照射方法、および請求項４に記載の
記録媒体駆動装置によれば、対物レンズと記録媒体との
光軸方向の相対的距離の調整とは独立して、ソリッドイ
マージョンレンズの光軸方向の位置を調整するようにし
たので、記録媒体や、ソリッドイマージョンレンズの厚
みのばらつきにかかわらず、記録媒体とソリッドイマー
ジョンレンズとの間のエアギャップに起因する球面収差
の発生を抑制することが可能となる。As described above, the optical head according to claim 1,
Light irradiation method according to claim 3, and according to the recording medium drive according to claim 4, independently of the adjustment of the relative distance in the optical axis direction between the objective lens and the recording medium, solid immersion lens Since the position of the optical axis is adjusted, the occurrence of spherical aberration due to the air gap between the recording medium and the solid immersion lens is suppressed regardless of variations in the thickness of the recording medium or solid immersion lens. It becomes possible to do.
【図１】本発明の記録媒体駆動装置を応用した光磁気デ
ィスク装置の構成例を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration example of a magneto-optical disk device to which a recording medium driving device of the present invention is applied.
【図２】図１のヘッド３の構成例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a configuration example of a head 3 in FIG.
【図３】図２のヘッド３の可動部の構成例を示す図であ
る。FIG. 3 is a diagram showing a configuration example of a movable portion of the head 3 of FIG.
【図４】ソリッドイマージョンレンズの使用状態を説明
する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a usage state of a solid immersion lens.
１ 光磁気ディスク ２ モータ ３ ヘッド ５ フォーカスマトリックス回路 ８ トラッキングマトリックス回路 １１ 電圧制御発振器 １２ 位相周波数比較器 １３ 水晶発振器 ３１ 光ヘッド ３２ 磁気ヘッド ６１ 半導体レーザ ４１ 対物レンズ ４２ プレート ４３ ソリッドイマージョンレンズ ４５ フォーカスアクチュエータ ４６ トラッキングアクチュエータ 1 Magneto-optical disk 2 motor 3 heads 5 Focus matrix circuit 8 Tracking matrix circuit 11 Voltage controlled oscillator 12 Phase frequency comparator 13 Crystal oscillator 31 Optical head 32 magnetic head 61 Semiconductor laser 41 Objective lens 42 plates 43 Solid Immersion Lens 45 Focus actuator 46 Tracking actuator
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大里 潔 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソ ニー株式会社内 (72)発明者 山本 健二 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソ ニー株式会社内 (56)参考文献 特開 平５−189796（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−3441（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−285235（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 7/135 G11B 7/09 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (72) Inventor Kiyoshi Osato 6-735 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation (72) Kenji Yamamoto 6-7-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo In Sony Corporation (56) Reference JP-A-5-189796 (JP, A) JP-A-62-3441 (JP, A) JP-A-62-285235 (JP, A) (58) Fields investigated ( Int.Cl. 7 , DB name) G11B 7/135 G11B 7/09
Claims (4)
ンズを含む第１の光学手段と、 前記対物レンズと前記記録媒体との光軸方向の相対的距
離を調整する第１の調整手段と、 前記対物レンズにより収束された光を前記記録媒体に照
射するソリッドイマージョンレンズを含む第２の光学手
段と、 前記第１の調整手段による調整とは独立に、前記ソリッ
ドイマージョンレンズの光軸方向の位置を調整する第２
の調整手段とを備え、 前記第１の調整手段および前記第２の調整手段はともに
少なくとも一部が導電性を有する材料からなり、 前記第２の調整手段は、前記対物レンズと前記ソリッド
イマージョンレンズとの相対距離に対応して変化する静
電容量、および前記記録媒体と前記ソリッドイマージョ
ンレンズとの相対距離に対応して変化する静電容量に基
づいて、前記ソリッドイマージョンレンズの光軸方向の
位置を調整する ことを特徴とする光ヘッド。1. A first optical unit that includes an objective lens that converges light that irradiates a recording medium, and a first adjusting unit that adjusts a relative distance between the objective lens and the recording medium in an optical axis direction. A second optical unit including a solid immersion lens for irradiating the recording medium with the light converged by the objective lens; and an adjustment in the optical axis direction of the solid immersion lens independently of the adjustment by the first adjusting unit. Second to adjust the position
And a adjusting means, the first adjusting means and the second adjustment means are both
At least a part is made of a conductive material, and the second adjusting means includes the objective lens and the solid.
Static that changes according to the relative distance from the immersion lens
Capacitance, and the recording medium and the solid immersion
Based on the capacitance that changes according to the relative distance from the lens
Then, in the optical axis direction of the solid immersion lens
An optical head characterized by adjusting its position .
応して変化する静電容量に基づいて少なくとも位相が変
化する信号を発生する信号発生手段と、 前記信号発生手段が発生した信号の位相と所定の基準信
号の位相との差を検出する位相差検出手段と、 前記位相差検出手段の出力に対応して前記ソリッドイマ
ージョンレンズを光軸方向に駆動するレンズ駆動手段と
を備えることを特徴とする請求項１に記載の光ヘッド。2. The second adjusting means includes a signal generating means for generating a signal having at least a phase change based on a capacitance that changes corresponding to a position of the solid immersion lens in the optical axis direction, Phase difference detecting means for detecting the difference between the phase of the signal generated by the signal generating means and the phase of the predetermined reference signal, and driving the solid immersion lens in the optical axis direction corresponding to the output of the phase difference detecting means. The optical head according to claim 1 , further comprising a lens driving unit.
めに、前記記録媒体に光を照射する光照射方法におい
て、 前記記録媒体に照射する光を収束する対物レンズと前記
記録媒体との光軸方向の相対的距離を、少なくとも一部
が導電性を有する第１の調整手段により調整させ、 前記対物レンズにより収束された光をソリッドイマージ
ョンレンズを介して前記記録媒体に照射し、前記第１の調整手段による 前記対物レンズと前記記録媒
体との光軸方向の相対的距離の調整とは独立に、前記対
物レンズと前記ソリッドイマージョンレンズとの相対的
距離に対応して変化する静電容量、および前記記録媒体
と前記ソリッドイマージョンレンズとの相対的距離に対
応して変化する静電容量に基づいて、前記ソリッドイマ
ージョンレンズの光軸方向の位置を、少なくとも一部が
導電性を有する第２の調整手段により調整させることを
特徴とする光照射方法。3. A light irradiation method for irradiating the recording medium with light for recording or reproducing information on the recording medium, wherein an optical axis between an objective lens for converging the light irradiating the recording medium and the recording medium. The relative distance of the direction , at least in part
The first is adjusted by adjusting means, the light converged by the objective lens via the solid immersion lens is irradiated on the recording medium, wherein the first said by adjusting means objective lens and the recording medium having but conductivity independently, the pair with the adjustment of the relative distance in the optical axis direction between
Object lens and the solid immersion lens
Capacitance that changes according to distance, and the recording medium
And the relative distance between the solid immersion lens and
Based on the capacitance that changes accordingly, the solid image
At least a part of the position of the lens in the optical axis direction
A light irradiation method characterized in that it is adjusted by a second adjusting means having conductivity .
的に情報を記録または再生する記録媒体駆動装置におい
て、 前記記録媒体を駆動する記録媒体駆動手段と、 前記記録媒体に照射する光を収束する対物レンズを含む
第１の光学手段と、 前記対物レンズと前記記録媒体との光軸方向の相対的距
離を調整する第１の調整手段と、 前記対物レンズにより収束された光を前記記録媒体に照
射するソリッドイマージョンレンズを含む第２の光学手
段と、 前記第１の調整手段による調整とは独立に、前記ソリッ
ドイマージョンレンズの光軸方向の位置を調整する第２
の調整手段と、 前記記録媒体を経た光を検出する検出手段とを備え、 前記第１の調整手段および前記第２の調整手段はともに
少なくとも一部が導電性を有する材料からなり、 前記第２の調整手段は、前記対物レンズと前記ソリッド
イマージョンレンズとの相対距 離に対応して変化する静
電容量、および前記記録媒体と前記ソリッドイマージョ
ンレンズとの相対距離に対応して変化する静電容量に基
づいて、前記ソリッドイマージョンレンズの光軸方向の
位置を調整する を備えることを特徴とする記録媒体駆動
装置。4. A recording medium driving device for driving a recording medium to optically record or reproduce information on the recording medium, and recording medium driving means for driving the recording medium, and light for irradiating the recording medium. First optical means including an objective lens that converges; first adjusting means that adjusts a relative distance between the objective lens and the recording medium in the optical axis direction; and the light converged by the objective lens is recorded by the first optical means. Second optical means including a solid immersion lens for irradiating the medium, and a second optical means for adjusting the position of the solid immersion lens in the optical axis direction independently of the adjustment by the first adjusting means.
And adjusting means, and detecting means for detecting the light having passed through the recording medium, wherein the first adjusting means and the second adjustment means are both
At least a part is made of a conductive material, and the second adjusting means includes the objective lens and the solid.
Static which changes corresponding to the relative distance between the immersion lens
Capacitance, and the recording medium and the solid immersion
Based on the capacitance that changes according to the relative distance from the lens
Then, in the optical axis direction of the solid immersion lens
A recording medium drive device, comprising: adjusting a position .
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