JP3485749B2 - Organic electroluminescent display - Google Patents

Organic electroluminescent display

Info

Publication number
JP3485749B2
JP3485749B2 JP03198297A JP3198297A JP3485749B2 JP 3485749 B2 JP3485749 B2 JP 3485749B2 JP 03198297 A JP03198297 A JP 03198297A JP 3198297 A JP3198297 A JP 3198297A JP 3485749 B2 JP3485749 B2 JP 3485749B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
stripe
organic electroluminescence
cathode
anode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP03198297A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH10233286A (en
Inventor
卓爾 大野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
Priority to JP03198297A priority Critical patent/JP3485749B2/en
Publication of JPH10233286A publication Critical patent/JPH10233286A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3485749B2 publication Critical patent/JP3485749B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/17Passive-matrix OLED displays
    • H10K59/173Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10Deposition of organic active material
    • H10K71/12Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、有機化合物のエレ
クトロルミネッセンス現象を利用して文字や画像を表示
する有機エレクトロルミネッセンス表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescence display device that displays characters and images by utilizing the electroluminescence phenomenon of organic compounds.

【0002】[0002]

【従来の技術】有機化合物のエレクトロルミネッセンス
現象を利用した有機エレクトロルミネッセンス表示装置
は、日経BP社発行「日経エレクトロニクス:1996
年1月29日号」第99頁〜第103頁に開示されてい
る。
2. Description of the Related Art An organic electroluminescence display device utilizing the electroluminescence phenomenon of an organic compound is disclosed in "Nikkei Electronics: 1996" issued by Nikkei BP.
January 29, 1999, pp. 99-103.

【0003】有機エレクトロルミネッセンス表示装置の
一例として、有機エレクトロルミネッセンス層を介して
互いに立体交差する陽極ストライプ群と陰極ストライプ
群とを備え、前記陽極ストライプ群から選ばれる特定の
陽極ストライプと前記陰極ストライプ群から選ばれる特
定の陰極ストライプとの立体交差部分に介在する有機エ
レクトロルミネッセンス層を発光させるものがある。
As an example of an organic electroluminescence display device, an anode stripe group and a cathode stripe group which are three-dimensionally crossed with each other through an organic electroluminescence layer are provided, and a specific anode stripe selected from the anode stripe group and the cathode stripe group. There is one that causes an organic electroluminescent layer interposed at a three-dimensional intersection with a specific cathode stripe selected from the above to emit light.

【0004】前記陽極ストライプ群は、透明導電材から
なる薄膜パターンとして透明基板上に形成され、前記有
機エレクトロルミネッセンス層は、前記陽極ストライプ
群上を含む前記透明基板上の略全面にわたって形成さ
れ、前記陰極ストライプ群は、導電材からなる薄膜パタ
ーンとして前記有機エレクトロルミネッセンス層上に形
成される。
The anode stripe group is formed as a thin film pattern made of a transparent conductive material on a transparent substrate, and the organic electroluminescence layer is formed over substantially the entire surface of the transparent substrate including the anode stripe group. The cathode stripe group is formed on the organic electroluminescence layer as a thin film pattern made of a conductive material.

【0005】ところが、有機エレクトロルミネッセンス
層を構成する材料は熱や薬品により特性が劣化しやすい
ため、有機エレクトロルミネッセンス層を形成した後
に、陰極ストライプ群となる陰極薄膜層をエッチング法
等によりパターニングすることは非常に難しい。
However, the characteristics of the material forming the organic electroluminescence layer are easily deteriorated by heat or chemicals. Therefore, after forming the organic electroluminescence layer, the cathode thin film layer to be the cathode stripe group is patterned by an etching method or the like. Is very difficult.

【0006】一方、有機エレクトロルミネッセンス層を
形成した後に陰極薄膜層のパターニングを要しない構造
として、有機エレクトロルミネッセンス素子群を薄膜ト
ランジスタスイッチング素子により駆動する有機エレク
トロルミネッセンス表示装置が特開平4−125683
号に開示されている。
On the other hand, as a structure in which the cathode thin film layer is not required to be patterned after the organic electroluminescence layer is formed, an organic electroluminescence display device in which a group of organic electroluminescence elements is driven by a thin film transistor switching element is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-125683.
No.

【0007】薄膜トランジスタスイッチング素子により
表示装置を駆動する技術は、液晶表示装置において多用
されているが、液晶が電界により配向する厚みに比べて
有機エレクトロルミネッセンス層の厚みは極めて薄いた
め、有機エレクトロルミネッセンス層の形成下地となる
薄膜トランジスタスイッチング素子層の上面の凹凸を抑
制しなければ、有機エレクトロルミネッセンス層内での
電界が不均一となるという問題がある。
The technique of driving a display device by a thin film transistor switching element is widely used in a liquid crystal display device. However, since the thickness of the organic electroluminescent layer is extremely smaller than the thickness of the liquid crystal aligned by the electric field, the organic electroluminescent layer is very thin. If the unevenness of the upper surface of the thin film transistor switching element layer, which is the formation base of the, is not suppressed, there is a problem that the electric field in the organic electroluminescence layer becomes nonuniform.

【0008】また、有機エレクトロルミネッセンス層を
高輝度で発光させるためには液晶を配向させるのに比べ
て大電流を要するので、液晶表示装置用の薄膜トランジ
スタスイッチング素子をそのまま流用できない。
Further, in order to make the organic electroluminescence layer emit light with high brightness, a large current is required as compared with aligning the liquid crystal, and therefore the thin film transistor switching element for liquid crystal display cannot be used as it is.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、有機エレク
トロルミネッセンス層を介して互いに立体交差する陽極
ストライプ群と陰極ストライプ群とを備え、前記陽極ス
トライプ群から選ばれる特定の陽極ストライプと前記陰
極ストライプ群から選ばれる特定の陰極ストライプとの
立体交差部分に介在する有機エレクトロルミネッセンス
層を発光させる有機エレクトロルミネッセンス表示装置
において、有機エレクトロルミネッセンス層に熱的、化
学的な損傷を与えることなく陰極ストライプ群を形成す
ることが可能な有機エレクトロルミネッセンス表示装置
の構成を明らかにするものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention comprises an anode stripe group and a cathode stripe group which three-dimensionally cross each other through an organic electroluminescence layer, and a specific anode stripe selected from the anode stripe group and the cathode stripe. In an organic electroluminescent display device that emits light from the organic electroluminescent layer that is present at the crossover with a specific cathode stripe selected from the group, thermal stripes on the organic electroluminescent layer without causing chemical damage to the organic electroluminescent layer. It is intended to clarify the structure of an organic electroluminescence display device that can be formed.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明による有機エレク
トロルミネッセンス表示装置においては、前記陽極スト
ライプ群を、透明導電材からなる薄膜パターンとして透
明基板上に形成し、前記有機エレクトロルミネッセンス
層を、前記陽極ストライプ群上を含む前記透明基板上の
略全面にわたって形成し、前記有機エレクトロルミネッ
センス層上に、前記陽極ストライプ群に対して立体交差
するストライプ状の絶縁樹脂層を形成し、該絶縁樹脂層
上を含む前記有機エレクトロルミネッセンス層上の略全
面にわたって形成された陰極層を、前記絶縁樹脂層上に
おいて該絶縁樹脂層のストライプ長方向に沿って分断す
ることにより、前記陰極ストライプ群を形成する。
In the organic electroluminescence display device according to the present invention, the anode stripe group is formed on a transparent substrate as a thin film pattern made of a transparent conductive material, and the organic electroluminescence layer is formed on the anode. It is formed over substantially the entire surface of the transparent substrate including on the stripe group, and a stripe-shaped insulating resin layer that crosses the anode stripe group is formed on the organic electroluminescent layer, and the insulating resin layer is formed on the insulating resin layer. The cathode layer formed on substantially the entire surface of the organic electroluminescence layer including the above is divided along the stripe length direction of the insulating resin layer on the insulating resin layer to form the cathode stripe group.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態に従った有機
エレクトロルミネッセンス素子を製造するに当たって
は、まず、図1に示すように、ガラス、プラスチック等
の透明な絶縁性材料からなる基板1が準備される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In manufacturing an organic electroluminescence device according to an embodiment of the present invention, first, as shown in FIG. 1, a substrate 1 made of a transparent insulating material such as glass or plastic is used. Be prepared.

【0012】次に、図2に示すように、前記基板上にI
TO(インジウム錫酸化物)等の透明な導電性材料から
なる複数の陽極ストライプ2が形成される。複数の陽極
ストライプをまとめて、陽極ストライプ群と称する。該
陽極ストライプ群を構成する層の厚さは数百nmであ
る。
Next, as shown in FIG.
A plurality of anode stripes 2 made of a transparent conductive material such as TO (indium tin oxide) is formed. A plurality of anode stripes are collectively referred to as an anode stripe group. The layer constituting the anode stripe group has a thickness of several hundreds nm.

【0013】次に、図3に示すように、前記陽極ストラ
イプ群上を含む前記透明基板上の略全面にわたって、正
孔輸送層、発光層及び電子輸送層からなる有機エレクト
ロルミネッセンス層3が蒸着法等により形成される。該
有機エレクトロルミネッセンス層の厚さは数百nmであ
る。
Next, as shown in FIG. 3, an organic electroluminescent layer 3 comprising a hole transport layer, a light emitting layer and an electron transport layer is deposited over substantially the entire surface of the transparent substrate including the anode stripe group by vapor deposition. And the like. The thickness of the organic electroluminescent layer is several hundred nm.

【0014】次に、図4に示すように、前記有機エレク
トロルミネッセンス層上に、前記陽極ストライプ群に対
して立体交差する複数のストライプ状の絶縁樹脂層4が
シルクスクリーン印刷法等により形成される。該絶縁樹
脂層の厚さは数十μmであり、その材料としては紫外線
硬化型インク等が用いられる。紫外線硬化型インクは、
シルクスクリーン印刷した直後の硬化前の時点でも有機
エレクトロルミネッセンス層との反応が少なく、印刷後
ただちに紫外線を照射して硬化させれば、有機エレクト
ロルミネッセンス層に熱的、化学的損傷を与えない。
Next, as shown in FIG. 4, a plurality of stripe-shaped insulating resin layers 4 three-dimensionally intersecting the anode stripe group are formed on the organic electroluminescent layer by a silk screen printing method or the like. . The insulating resin layer has a thickness of several tens of μm, and ultraviolet curable ink or the like is used as the material thereof. UV curable ink
The reaction with the organic electroluminescent layer is small even immediately after the silk screen printing and before the curing, and the organic electroluminescent layer is not thermally or chemically damaged by being irradiated with ultraviolet rays and cured immediately after the printing.

【0015】次に、図5に示すように、前記絶縁樹脂層
上を含む前記有機エレクトロルミネッセンス層上の略全
面にわたってアルミニウム合金やマグネシウム合金から
なる陰極層50を形成する。該陰極層の厚さは数百nm
である。
Next, as shown in FIG. 5, a cathode layer 50 made of an aluminum alloy or a magnesium alloy is formed on substantially the entire surface of the organic electroluminescent layer including the insulating resin layer. The thickness of the cathode layer is several hundred nm
Is.

【0016】次に、図6に示すように、前記陰極層を前
記絶縁樹脂層上において該絶縁樹脂層のストライプ長方
向に沿って分断することにより、複数の陰極ストライプ
5を形成する。複数の陰極ストライプをまとめて、陰極
ストライプ群と称する。
Next, as shown in FIG. 6, a plurality of cathode stripes 5 are formed by dividing the cathode layer on the insulating resin layer along the stripe length direction of the insulating resin layer. A plurality of cathode stripes are collectively referred to as a cathode stripe group.

【0017】前記陰極層の分断には、YAGレーザーや
エキシマレーザー等によるレーザー加工法が用いられ
る。レーザー加工を行うとレーザー照射部が急激に温度
上昇するが、実際には、レーザー照射部と有機エレクト
ロルミネセンス層との間には厚い絶縁樹脂層が介在する
ので、単位時間当たりの照射パルス数をある程度少なく
すれば、有機エレクトロルミネッセンス層が変質するほ
どの温度上昇(約80℃)に至ることはない。また、該
レーザー加工においては、レーザー照射により解離分解
した陰極層物質の再付着を防ぐためにアシストガスが併
用され、このガスも前記温度上昇の抑制に寄与する。
A laser processing method using a YAG laser, an excimer laser, or the like is used to divide the cathode layer. When laser processing is performed, the temperature of the laser irradiation part rises sharply, but since a thick insulating resin layer is actually present between the laser irradiation part and the organic electroluminescence layer, the number of irradiation pulses per unit time If the temperature is reduced to some extent, the temperature rise (about 80 ° C.) to such an extent that the organic electroluminescence layer is deteriorated is not reached. Further, in the laser processing, an assist gas is also used in order to prevent redeposition of the cathode layer substance dissociated and decomposed by laser irradiation, and this gas also contributes to the suppression of the temperature rise.

【0018】なお、図6に示した例では、絶縁樹脂層の
ストライプ幅方向の略中央部において陰極層を分断した
が、絶縁樹脂層のストライプ長方向に沿った端辺部や、
段差側面部において分断してもよい。
In the example shown in FIG. 6, the cathode layer is divided at a substantially central portion in the stripe width direction of the insulating resin layer, but the edge portion along the stripe length direction of the insulating resin layer,
You may divide in a step side part.

【0019】斯くして、有機エレクトロルミネッセンス
層を介して互いに立体交差する陽極ストライプ群と陰極
ストライプ群とを備え、前記陽極ストライプ群から選ば
れる特定の陽極ストライプと前記陰極ストライプ群から
選ばれる特定の陰極ストライプとの立体交差部分に介在
する有機エレクトロルミネッセンス層を発光させる有機
エレクトロルミネッセンス表示装置が完成する。
Thus, a group of anode stripes and a group of cathode stripes that intersect each other via the organic electroluminescence layer are provided, and a specific anode stripe selected from the above-mentioned anode stripe group and a specific anode stripe selected from the above-mentioned cathode stripe group. An organic electroluminescence display device that emits light from the organic electroluminescence layer that is present at the intersection with the cathode stripe is completed.

【0020】[0020]

【発明の効果】本発明によれば、有機エレクトロルミネ
ッセンス層を介して互いに立体交差する陽極ストライプ
群と陰極ストライプ群とを備え、前記陽極ストライプ群
から選ばれる特定の陽極ストライプと前記陰極ストライ
プ群から選ばれる特定の陰極ストライプとの立体交差部
分に介在する有機エレクトロルミネッセンス層を発光さ
せる有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、
有機エレクトロルミネッセンス層に熱的、化学的な損傷
を与えることなく陰極ストライプ群を形成することが可
能となる。
According to the present invention, an anode stripe group and a cathode stripe group which are three-dimensionally crossed with each other through an organic electroluminescence layer are provided, and a specific anode stripe selected from the anode stripe group and the cathode stripe group are selected. In an organic electroluminescence display device that emits light from the organic electroluminescence layer that is present in the three-dimensional intersection with a specific cathode stripe selected,
It is possible to form the cathode stripe group without thermally or chemically damaging the organic electroluminescence layer.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】基板の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a substrate.

【図2】陽極ストライプ群形成工程を示す基板の斜視図
である。
FIG. 2 is a perspective view of a substrate showing an anode stripe group forming step.

【図3】有機エレクトロルミネッセンス層形成工程を示
す基板の斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view of a substrate showing an organic electroluminescence layer forming step.

【図4】絶縁樹脂層形成工程を示す基板の斜視図であ
る。
FIG. 4 is a perspective view of a substrate showing an insulating resin layer forming step.

【図5】陰極層形成工程を示す基板の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a substrate showing a cathode layer forming step.

【図6】陰極層分断工程を示す基板の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a substrate showing a cathode layer dividing step.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 陽極ストライプ 3 有機エレクトロルミネッセンス層 4 絶縁樹脂層 5 陰極ストライプ 1 substrate 2 Anode stripe 3 Organic electroluminescence layer 4 Insulating resin layer 5 cathode stripe

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 有機エレクトロルミネッセンス層を介し
て互いに立体交差する陽極ストライプ群と陰極ストライ
プ群とを備え、前記陽極ストライプ群から選ばれる特定
の陽極ストライプと前記陰極ストライプ群から選ばれる
特定の陰極ストライプとの立体交差部分に介在する有機
エレクトロルミネッセンス層を発光させる有機エレクト
ロルミネッセンス表示装置において、 前記陽極ストライプ群は、透明導電材からなる薄膜パタ
ーンとして透明基板上に形成され、 前記有機エレクトロルミネッセンス層は、前記陽極スト
ライプ群上を含む前記透明基板上の略全面にわたって形
成され、 前記有機エレクトロルミネッセンス層上には、前記陽極
ストライプ群に対して立体交差するストライプ状の絶縁
樹脂層が形成され、 前記陰極ストライプ群は、前記絶縁樹脂層上を含む前記
有機エレクトロルミネッセンス層上の略全面にわたって
形成された陰極層を、前記絶縁樹脂層上において該絶縁
樹脂層のストライプ長方向に沿って分断することにより
形成されたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセ
ンス表示装置。
1. A specific anode stripe selected from the above-mentioned anode stripe group and a specific cathode stripe selected from the above-mentioned cathode stripe group, which comprises an anode stripe group and a cathode stripe group that three-dimensionally intersect each other through an organic electroluminescence layer. In an organic electroluminescence display device that emits light from the organic electroluminescence layer interposed in the three-dimensional intersection with, the anode stripe group is formed on a transparent substrate as a thin film pattern made of a transparent conductive material, the organic electroluminescence layer, A stripe-shaped insulating resin layer is formed over substantially the entire surface of the transparent substrate including the anode stripe group, and a stripe-shaped insulating resin layer that intersects the anode stripe group in a three-dimensional manner is formed on the organic electroluminescent layer. Flock A cathode layer formed over substantially the entire surface of the organic electroluminescence layer including the insulating resin layer, is formed by dividing the cathode layer on the insulating resin layer along the stripe length direction of the insulating resin layer. Characteristic organic electroluminescence display device.
【請求項2】 前記絶縁樹脂層は、スクリーン印刷法に
より形成された光硬化型樹脂からなることを特徴とする
請求項1記載の有機エレクトロルミネッセンス表示装
置。
2. The organic electroluminescence display device according to claim 1, wherein the insulating resin layer is made of a photocurable resin formed by a screen printing method.
JP03198297A 1997-02-17 1997-02-17 Organic electroluminescent display Expired - Fee Related JP3485749B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03198297A JP3485749B2 (en) 1997-02-17 1997-02-17 Organic electroluminescent display

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03198297A JP3485749B2 (en) 1997-02-17 1997-02-17 Organic electroluminescent display

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10233286A JPH10233286A (en) 1998-09-02
JP3485749B2 true JP3485749B2 (en) 2004-01-13

Family

ID=12346153

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03198297A Expired - Fee Related JP3485749B2 (en) 1997-02-17 1997-02-17 Organic electroluminescent display

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3485749B2 (en)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3540584B2 (en) * 1997-12-17 2004-07-07 三洋電機株式会社 Organic electroluminescence device and method of manufacturing the same
JP3807114B2 (en) * 1998-08-25 2006-08-09 カシオ計算機株式会社 Method for manufacturing light emitting device
KR100606668B1 (en) * 1999-05-04 2006-07-31 엘지전자 주식회사 method for fabricating Organic Electroluminescent display Device
TW468283B (en) * 1999-10-12 2001-12-11 Semiconductor Energy Lab EL display device and a method of manufacturing the same
KR20030042074A (en) * 2001-11-20 2003-05-28 씨엘디 주식회사 Organic electroluminescence device and method of making the same
KR100489590B1 (en) * 2002-09-19 2005-05-16 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Transmissive Type Organic Electroluminescent Device and method for fabricating the same
US7498737B2 (en) 2003-08-27 2009-03-03 Osram Opto Semiconductors Gmbh Method of manufacturing an organic electronic device and organic electronic device
KR101420773B1 (en) * 2009-07-15 2014-07-17 주성엔지니어링(주) Electro-optic device and method for manufacturing the same

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3813217B2 (en) * 1995-03-13 2006-08-23 パイオニア株式会社 Method for manufacturing organic electroluminescence display panel
JPH09298090A (en) * 1996-04-30 1997-11-18 Hokuriku Electric Ind Co Ltd El element, its manufacture, and its driving method

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10233286A (en) 1998-09-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6390874B2 (en) Organic electroluminescent display device and method of forming the same using a shadow mask
US8519621B2 (en) Organic light emitting display and method for manufacturing the same
JP5231565B2 (en) Patterning method for light emitting device
JP2000012220A (en) Manufacture of organic el display panel
JP3641963B2 (en) Organic EL device and manufacturing method thereof
US20070264899A1 (en) Display device and manufacturing method thereof
JP2006309994A (en) Base plate for transfer, transfer method, and manufacturing method of display device
JP6800327B2 (en) OLED substrate and its manufacturing method
JP2005518080A (en) Organic semiconductor device and manufacturing method thereof
JP4520997B2 (en) Organic electroluminescence display panel and manufacturing method thereof
JP4313274B2 (en) Inkjet printing substrate and method for manufacturing the same
JP2760347B2 (en) Organic thin film electroluminescent device and method of manufacturing the same
JP3485749B2 (en) Organic electroluminescent display
JP2845233B2 (en) Organic electroluminescence device and method of manufacturing the same
US6352462B2 (en) Organic electroluminescent apparatus and method of fabricating the same
JP2001210469A (en) Manufacturing method of organic electroluminescent element
KR100705315B1 (en) Masking apparatus and method and apparatus for fabricating organic electro luminescence device using the same
JP2005190857A (en) Mask, manufacturing method of mask, manufacturing method of organic electroluminescent device, manufacturing device of organic electroluminescent device, organic electroluminescent device, and electronic equipment
US7023140B2 (en) Organic EL display apparatus and method of driving the same
JP2002343567A (en) Manufacturing method of organic el element, exposure device and light-emission device
TWI301728B (en) Active matrix oled
JP2009215625A (en) Mask member for vapor deposition, mask vapor deposition method, and method of manufacturing organic electroluminescence apparatus
KR100657534B1 (en) An organic electro luminescent display device and a method for producing the same
JP2008181699A (en) Organic electroluminescent display panel and its manufacturing method
JP4795665B2 (en) Organic electroluminescence display panel and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071024

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees