JP3480073B2 - Two axis actuator - Google Patents

Two axis actuator

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JP3480073B2
JP3480073B2 JP25302094A JP25302094A JP3480073B2 JP 3480073 B2 JP3480073 B2 JP 3480073B2 JP 25302094 A JP25302094 A JP 25302094A JP 25302094 A JP25302094 A JP 25302094A JP 3480073 B2 JP3480073 B2 JP 3480073B2
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lens holder
slide base
stroke
actuator
adjustment plate
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【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は、例えばCD,LD,M
O,MD等の光ディスク記録再生装置の光学ピックアッ
プ用の二軸アクチュエータに関するものである。 【0002】 【従来の技術】従来、このような光学ピックアップ用の
二軸アクチュエータは、例えばCD,LD,MO,MD
等の光ディスクの信号を記録再生するために使用されて
いる。そして、このアクチュエータは、支持部材に設け
られた対物レンズを、フォーカシング方向及びトラッキ
ング方向の二方向に対して移動させるようになってい
る。 【0003】このような二軸アクチュエータは、例えば
図2に示すように構成されている。すなわち、図2にお
いて、二軸アクチュエータ1は、基準軸2に支持された
スライドベース3と、このスライドベース3に対して揺
動可能に取り付けられた傾角調整板4と、この傾角調整
板4上に支持されたXY調整板5と、このXY調整板5
に支持されたレンズホルダー6と、このレンズホルダー
6を側方及び上方から覆うように配設されたアクチュエ
ータカバー7とを備えている。 【0004】スライドベース3は、基準軸2に沿って移
動可能に支持されている。これにより、レンズホルダー
6に支持された対物レンズ6aが、光ディスクの半径方
向に沿って移動するようになっている。 【0005】傾角調整板4は、図示の場合、下方に突出
した凸部4aが、スライドベース3の上面に設けられた
凹陥部3a内に嵌入すると共に、この凸部4aが凹陥部
3a内で摺動する。これにより、傾角調整板4はスライ
ドベース3に対して、任意の方向に揺動され、傾斜角度
が調整されるようになっている。 【0006】XY調整板5は、傾角調整板4上におい
て、この傾角調整板4に対する水平二方向、すなわちX
Y方向に移動可能に配置されている。 【0007】レンズホルダー6は、サスペンション6b
を介して、XY調整板5へ向かう方向に対して垂直な二
方向、すなわちトラッキング方向及びフォーカシング方
向に移動可能に支持されている。 【0008】アクチュエータカバー7は、XY調整板5
に対して固定保持されていると共に、レンズホルダー6
のトラッキング方向及びフォーカシング方向の移動を妨
げないように、このレンズホルダー6を側方及び上方か
ら覆うようになっている。 【0009】このように構成された二軸アクチュエータ
1によれば、外部から、レンズホルダー6に備えられた
駆動用コイルに駆動電圧が供給されることにより、各駆
動用コイルに発生する磁束が、XY調整板5上に固定保
持されたヨーク及びマグネット(図示せず)による磁束
と相互に作用する。そして、これにより、レンズホルダ
ー6に取り付けられた対物レンズ6aが、フォーカシン
グ方向及びトラッキング方向に対して適宜に移動するよ
うになっている。 【0010】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな二軸アクチュエータ調整装置においては、レンズホ
ルダー6のフォーカシング方向のストロークは、以下の
ように制限を受けることになる。 【0011】すなわち、レンズホルダー6において、そ
の上方へのストローク(上ストローク)Pは、レンズホ
ルダー6の上部が、アクチュエータカバー7の内面に当
接することにより制限される。また、レンズホルダー6
における、その下方へのストローク(下ストローク)Q
は、レンズホルダー6の下部が、XY調整板5の上面に
当接することにより、制限されることになる。 【0012】ところで、アクチュエータカバー7の内面
の位置は、図2に示すように、基準軸2の中心に対する
スライドベース3の寸法A,傾角調整板4の寸法B,X
Y調整板5の寸法C及びアクチュエータカバー7の寸法
Dによって決まる。したがって、アクチュエータカバー
7の内面の位置、すなわち、レンズホルダー6の上スト
ロークPは、上記各部材の寸法A,B,C,Dの寸法精
度に基づいて、寸法バラツキを有することになる。 【0013】また、XY調整板5の上面の位置は、図2
に示すように、基準軸2の中心に対しするスライドベー
ス3の寸法A,傾角調整板4の寸法B及びXY調整板5
の寸法Cによって決まる。したがって、XY調整板5の
上面の位置、すなわち、レンズホルダー6の下ストロー
クQは、上記各部材の寸法A,B,Cの寸法精度に基づ
いて、寸法バラツキを有することになる。 【0014】かくして、各部材、すなわちスライドベー
ス3,傾角調整板4,XY調整板5,アクチュエータカ
バー7の寸法精度によって、レンズホルダー6の上スト
ロークP及び下ストロークQに、比較的大きなバラツキ
が生ずるという問題があった。 【0015】さらに、レンズホルダー6がXY調整板5
に対して斜めに取り付けられている場合には、図3に示
すように、このレンズホルダー6の傾斜は、傾角調整板
4により、補正されるが、レンズホルダー6は、XY調
整板5及びアクチュエータカバー7により画成される空
間内で傾斜しているので、レンズホルダー6がXY調整
板5にほぼ水平に取り付けられている場合に比較して、
上ストロークP及び下ストロークQが、それぞれ小さく
制限されてしまうという問題があった。 【0016】本発明は、以上の点に鑑み、レンズホルダ
ーのフォーカシング方向のストロークのバラツキが低減
されると共に、レンズホルダーが斜めに取り付けられた
場合でも、レンズホルダーのストロークが制限されてし
まうようなことのない、二軸アクチュエータを提供する
ことを目的としている。 【0017】 【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、スライドベースと、このスライドベース上に該ス
ライドベースに対して平行な状態で固定される固定板
と、レンズホルダーと、固定板上に支持されレンズホル
ダーをスライドベースに対して略水平方向であるXY方
向及び/又は傾斜角方向に調整する調整板と、レンズホ
ルダーを側方及び上方から覆うように設けられ、かつ固
定板に固定されるアクチュエータカバーとを有し、スラ
イドベースはレンズホルダーが下方に移動したときに該
レンズホルダーが当接する当接面を有し、固定板はスラ
イドベースの当接面に対応する部分が開口部になって
る二軸アクチュエータにより、達成される。 【0018】 【0019】 【0020】 【0021】 【0022】 【作用】上記構成によれば、レンズホルダーの上ストロ
ークは、アクチュエータカバーの下面により制限され、
このアクチュエータカバーが、スライドベースに対して
直接にまたは固定板を介して固定保持されている。この
ため、レンズホルダーの上ストロークを限定するアクチ
ュエータカバーの下面の位置は、スライドベースとアク
チュエータカバー、そして固定板の寸法によって決まる
ことになる。したがって、従来のXY調整板に固定保持
されたアクチュエータカバーの場合に比較して、レンズ
ホルダーの上ストロークは、バラツキが低減されること
になる。 【0023】これに対して、レンズホルダーの下ストロ
ークは、直接にスライドベースの上面によって制限され
るので、レンズホルダーの下ストロークを限定するスラ
イドベースの上面の位置は、スライドベースの寸法によ
って決まることになる。したがって、従来の傾角調整板
を介して支持されたXY調整板の場合に比較して、レン
ズホルダーの下ストロークは、バラツキが低減されるこ
とになる。 【0024】さらに、レンズホルダーのストロークは、
アクチュエータカバー及びスライドベースによって制限
されるので、レンズホルダーが斜めに取り付けられた場
合であっても、レンズホルダーのストロークは、傾斜し
ていることにより、あまり小さくなるようなことはな
い。 【0025】 【実施例】以下、この発明の好適な実施例を図1を参照
しながら、詳細に説明する。尚、以下に述べる実施例
は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好まし
い種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下
の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限
り、これらの態様に限られるものではない。 【0026】図1は、本発明による光ディスク記録再生
装置の光学ピックアップ用の二軸アクチュエータの一実
施例を示している。図1において、二軸アクチュエータ
10は、基準軸11に支持されたスライドベース12
と、このスライドベース12に対して固定保持された固
定板13と、この固定板上に支持された調整板14と、
この調整板14にサスペンション15bを介して支持さ
れているレンズホルダー15と、このレンズホルダー1
5を側方及び上方から覆うように配設されたアクチュエ
ータカバー16とを備えている。 【0027】スライドベース12は、基準軸11に沿っ
て移動可能に支持されている。これにより、レンズホル
ダー15に支持された対物レンズ15aが、光ディスク
の半径方向に沿って移動するようになっている。 【0028】固定板13は、スライドベース12の上面
に固定保持されていると共に、レンズホルダー15が下
方に移動したとき、このレンズホルダー15の移動を妨
げないように、切欠部13aを備えている。 【0029】調整板14は、上記固定板13の上面に対
して、任意の方向に傾斜角度が調整されると共に、この
固定板13の上面に対して水平な二方向、すなわちXY
方向に移動可能に支持されている。 【0030】レンズホルダー15は、サスペンション1
5bを介して、調整板14に向かう方向に対して互いに
垂直な二方向、すなわちトラッキング方向及びフォーカ
シング方向に移動可能なように支持されている。 【0031】アクチュエータカバー16は、前記固定板
13に対して固定されていると共に、レンズホルダー1
5のトラッキング方向及びフォーカシング方向の移動を
妨げないように、このレンズホルダー15を側方及び上
方から覆っている。 【0032】本発明による二軸アクチュエータ10は、
以上のように構成されており、外部から、レンズホルダ
ー15に備えられた駆動用コイルに駆動電圧が供給され
ることにより、各駆動用コイルに発生する磁束が、固定
保持されたヨーク及びマグネット(図示せず)による磁
束と相互に作用する。そして、これにより、レンズホル
ダー15に取り付けられた対物レンズ15aが、フォー
カシング方向及びトラッキング方向に対して適宜に移動
するようになっている。 【0033】レンズホルダー15の上ストロークPは、
レンズホルダー15の上部が、アクチュエータカバー1
6の内面に当接することにより、制限される。また、そ
の下ストロークQは、レンズホルダー15の下部が、ス
ライドベース12の上面に当接することにより、制限さ
れることになる。 【0034】ここで、アクチュエータカバー16の内面
の位置は、図1に示すように、基準軸11の中心に対し
て、スライドベース12の寸法A,固定板13の寸法E
及びアクチュエータカバー16の寸法Dによって決ま
る。したがって、アクチュエータカバー16の内面の位
置、すなわち、レンズホルダー15の上ストロークP
は、上記各部材の寸法A,E,Dの寸法精度に基づい
て、寸法バラツキを有することになる。 【0035】また、スライドベース12において、レン
ズホルダー15が当接する位置12aは、基準軸11の
中心に対して、スライドベース12の寸法Fのみによっ
て決まる。したがって、スライドベース12の位置12
a、すなわち、レンズホルダー15の下ストロークQ
は、上記スライドベース12の寸法Fの寸法精度に基づ
いて、寸法バラツキを有することになる。 【0036】かくして、各部材、すなわちスライドベー
ス12,固定板13,アクチュエータカバー16の寸法
精度A,D,E,Fによって寸法バラツキが決定される
ので、レンズホルダー15の上ストロークP及び下スト
ロークQにおけるバラツキが従来と比べ、著しく低減さ
れることになる。 【0037】さらに、レンズホルダー15が斜めに取り
付けられている場合には、このレンズホルダー15の傾
斜は、調整板14により補正される。しかし、この場
合、レンズホルダー15は、スライドベース12の位置
12aとアクチュエータカバー16の下面により画成さ
れるストロークを有する。したがって、従来と異なり、
レンズホルダー15が、固定板13の上面に対して略水
平な位置で、調整板14に取付けられた場合に比較して
も、上ストロークP及び下ストロークQが、著しく小さ
く制限されてしまうようなことはない。 【0038】なお、上述の実施例においては、単に光デ
ィスク記録再生装置の光学ピックアップ用の二軸アクチ
ュエータについて説明しているが、例えばCD,LD,
MO,MD等の光ディスク記録再生装置や光ディスク再
生装置の光学ピックアップ用の二軸アクチュエータに、
本発明を適用しることは明らかである。 【0039】 【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、レ
ンズホルダーのフォーカシング方向のストロークのバラ
ツキが低減されると共に、レンズホルダーが斜めに取り
付けられた場合でも、レンズホルダーのストロークが制
限されてしまうようなことのない、二軸アクチュエータ
を提供することができる。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention
The present invention relates to a biaxial actuator for an optical pickup of an optical disk recording / reproducing apparatus such as an O / MD. 2. Description of the Related Art Conventionally, such a biaxial actuator for an optical pickup has been used, for example, for a CD, LD, MO, MD.
Etc. are used for recording and reproducing signals of an optical disk. The actuator moves the objective lens provided on the support member in two directions, a focusing direction and a tracking direction. [0003] Such a two-axis actuator is configured, for example, as shown in FIG. That is, in FIG. 2, the biaxial actuator 1 includes a slide base 3 supported by the reference shaft 2, a tilt adjustment plate 4 swingably attached to the slide base 3, and a tilt adjustment plate 4 on the slide base 3. XY adjustment plate 5 supported by the XY adjustment plate 5
, And an actuator cover 7 disposed to cover the lens holder 6 from the side and above. [0004] The slide base 3 is supported movably along the reference axis 2. Thereby, the objective lens 6a supported by the lens holder 6 moves along the radial direction of the optical disk. In the tilt adjusting plate 4, in the case shown in the figure, a convex portion 4 a protruding downward fits into a concave portion 3 a provided on the upper surface of the slide base 3, and the convex portion 4 a is formed inside the concave portion 3 a. Slide. Thereby, the tilt angle adjusting plate 4 is swung in an arbitrary direction with respect to the slide base 3 so that the tilt angle is adjusted. The XY adjustment plate 5 is provided on the inclination adjustment plate 4 in two horizontal directions with respect to the inclination adjustment plate 4, that is, X direction.
It is arranged movably in the Y direction. The lens holder 6 includes a suspension 6b
Are supported so as to be movable in two directions perpendicular to the direction toward the XY adjustment plate 5, ie, the tracking direction and the focusing direction. The actuator cover 7 includes an XY adjustment plate 5
And the lens holder 6
The lens holder 6 is covered from the side and above so as not to hinder the movement in the tracking direction and the focusing direction. According to the biaxial actuator 1 configured as described above, when a drive voltage is externally supplied to the drive coils provided in the lens holder 6, the magnetic flux generated in each drive coil is reduced. It interacts with the magnetic flux from the yoke and magnet (not shown) fixed and held on the XY adjustment plate 5. Thus, the objective lens 6a attached to the lens holder 6 is appropriately moved in the focusing direction and the tracking direction. However, in such a two-axis actuator adjusting device, the stroke of the lens holder 6 in the focusing direction is limited as follows. That is, the upward stroke (upward stroke) P of the lens holder 6 is limited by the contact of the upper part of the lens holder 6 with the inner surface of the actuator cover 7. Also, the lens holder 6
, The downward stroke (lower stroke) Q
Is limited by the lower part of the lens holder 6 abutting on the upper surface of the XY adjustment plate 5. As shown in FIG. 2, the position of the inner surface of the actuator cover 7 is determined by the dimension A of the slide base 3 with respect to the center of the reference shaft 2 and the dimensions B and X of the inclination adjusting plate 4.
It is determined by the dimension C of the Y adjustment plate 5 and the dimension D of the actuator cover 7. Therefore, the position of the inner surface of the actuator cover 7, that is, the upper stroke P of the lens holder 6, has a dimensional variation based on the dimensional accuracy of the dimensions A, B, C, and D of the above members. The position of the upper surface of the XY adjustment plate 5 is shown in FIG.
As shown in the figure, the dimension A of the slide base 3 with respect to the center of the reference shaft 2, the dimension B of the inclination adjusting plate 4 and the XY
Is determined by the dimension C. Therefore, the position of the upper surface of the XY adjustment plate 5, that is, the lower stroke Q of the lens holder 6, has a dimensional variation based on the dimensional accuracy of the dimensions A, B, and C of each of the above members. Thus, a relatively large variation occurs in the upper stroke P and the lower stroke Q of the lens holder 6 due to the dimensional accuracy of each member, ie, the slide base 3, the inclination adjusting plate 4, the XY adjusting plate 5, and the actuator cover 7. There was a problem. Further, the lens holder 6 is provided with the XY adjustment plate 5.
3, the inclination of the lens holder 6 is corrected by the inclination adjustment plate 4, but the lens holder 6 is fixed to the XY adjustment plate 5 and the actuator as shown in FIG. Since the lens holder 6 is inclined in the space defined by the cover 7, compared with the case where the lens holder 6 is attached to the XY adjustment plate 5 almost horizontally,
There is a problem that the upper stroke P and the lower stroke Q are each limited to a small value. In view of the above, the present invention reduces the variation in the stroke of the lens holder in the focusing direction, and limits the stroke of the lens holder even when the lens holder is installed at an angle. It is an object of the present invention to provide a two-axis actuator that does not have any problem. According to the present invention, there is provided a slide base and the slide base on the slide base.
Fixed plate fixed parallel to ride base
And the lens holder and the lens holder supported on the fixed plate
XY direction that is almost horizontal to the slide base
An adjustment plate for adjusting the orientation and / or tilt angle
Is provided so as to cover the
And an actuator cover fixed to the plate.
When the lens holder moves down,
It has a contact surface with which the lens holder comes in contact, and the fixing plate is
This is achieved by a biaxial actuator in which a portion corresponding to the contact surface of the id base is an opening . According to the above structure, the upper stroke of the lens holder is limited by the lower surface of the actuator cover.
The actuator cover is fixedly held to the slide base directly or via a fixing plate. For this reason, the position of the lower surface of the actuator cover that limits the upper stroke of the lens holder is determined by the dimensions of the slide base, the actuator cover, and the fixing plate. Therefore, the upper stroke of the lens holder is reduced in variation as compared with the case of the conventional actuator cover fixedly held on the XY adjustment plate. On the other hand, since the lower stroke of the lens holder is directly limited by the upper surface of the slide base, the position of the upper surface of the slide base that limits the lower stroke of the lens holder is determined by the dimensions of the slide base. become. Therefore, the variation in the lower stroke of the lens holder is reduced as compared with the case of the XY adjustment plate supported via the conventional tilt angle adjustment plate. Further, the stroke of the lens holder is
Since the stroke is limited by the actuator cover and the slide base, even when the lens holder is installed at an angle, the stroke of the lens holder does not become too small due to the inclination. Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to FIG. In addition, since the Examples described below are preferred specific examples of the present invention, various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention particularly limits the present invention in the following description. The embodiment is not limited to these embodiments unless otherwise stated. FIG. 1 shows an embodiment of a biaxial actuator for an optical pickup of an optical disk recording / reproducing apparatus according to the present invention. In FIG. 1, a biaxial actuator 10 includes a slide base 12 supported on a reference shaft 11.
A fixed plate 13 fixedly held to the slide base 12, an adjustment plate 14 supported on the fixed plate,
A lens holder 15 supported by the adjustment plate 14 via a suspension 15b;
And an actuator cover 16 disposed so as to cover 5 from the side and above. The slide base 12 is movably supported along the reference axis 11. Thereby, the objective lens 15a supported by the lens holder 15 moves along the radial direction of the optical disc. The fixing plate 13 is fixed and held on the upper surface of the slide base 12, and has a cutout portion 13a so as not to hinder the movement of the lens holder 15 when the lens holder 15 moves downward. . The tilt angle of the adjusting plate 14 is adjusted in an arbitrary direction with respect to the upper surface of the fixed plate 13 and two directions horizontal to the upper surface of the fixed plate 13, that is, XY.
It is movably supported in the direction. The lens holder 15 includes the suspension 1
5b, it is supported so as to be movable in two directions perpendicular to each other toward the adjustment plate 14, that is, in the tracking direction and the focusing direction. The actuator cover 16 is fixed to the fixing plate 13 and the lens holder 1.
The lens holder 15 is covered from the side and above so as not to hinder the movement of the lens 5 in the tracking direction and the focusing direction. The two-axis actuator 10 according to the present invention comprises:
The drive voltage supplied from the outside to the drive coil provided in the lens holder 15 causes the magnetic flux generated in each drive coil to be fixed and held by the yoke and the magnet ( (Not shown). Thus, the objective lens 15a attached to the lens holder 15 is appropriately moved in the focusing direction and the tracking direction. The upper stroke P of the lens holder 15 is
The upper part of the lens holder 15 is the actuator cover 1
6 is limited by abutting on the inner surface. Further, the lower stroke Q is limited by the lower part of the lens holder 15 abutting on the upper surface of the slide base 12. Here, the position of the inner surface of the actuator cover 16 is, as shown in FIG. 1, the dimension A of the slide base 12 and the dimension E of the fixing plate 13 with respect to the center of the reference shaft 11.
And the dimension D of the actuator cover 16. Therefore, the position of the inner surface of the actuator cover 16, that is, the upper stroke P of the lens holder 15
Will have dimensional variations based on the dimensional accuracy of the dimensions A, E, and D of each of the above members. In the slide base 12, the position 12a where the lens holder 15 comes into contact is determined only by the dimension F of the slide base 12 with respect to the center of the reference shaft 11. Therefore, the position 12 of the slide base 12
a, that is, the lower stroke Q of the lens holder 15
Has a dimensional variation based on the dimensional accuracy of the dimension F of the slide base 12. Thus, the dimensional variation is determined by the dimensional accuracy A, D, E, F of each member, ie, the slide base 12, the fixing plate 13, and the actuator cover 16, so that the upper stroke P and the lower stroke Q of the lens holder 15 are determined. Is significantly reduced as compared with the conventional case. Further, when the lens holder 15 is mounted obliquely, the inclination of the lens holder 15 is corrected by the adjusting plate 14. However, in this case, the lens holder 15 has a stroke defined by the position 12 a of the slide base 12 and the lower surface of the actuator cover 16. Therefore, unlike before,
Even when the lens holder 15 is attached to the adjustment plate 14 at a position substantially horizontal to the upper surface of the fixed plate 13, the upper stroke P and the lower stroke Q are significantly reduced. Never. In the above embodiment, the two-axis actuator for the optical pickup of the optical disk recording / reproducing apparatus has been described.
For two-axis actuators for optical disk recording / reproducing devices such as MO and MD and optical pickups for optical disk reproducing devices
Obviously, the present invention applies. As described above, according to the present invention, the variation in the stroke of the lens holder in the focusing direction can be reduced, and even when the lens holder is mounted obliquely, the stroke of the lens holder can be reduced. Is not limited, and a two-axis actuator can be provided.

【図面の簡単な説明】 【図1】本発明による二軸アクチュエータの一実施例を
示す概略断面図である。 【図2】従来の二軸アクチュエータの一例を示す概略断
面図である。 【図3】図2の二軸アクチュエータにおけるレンズホル
ダーが斜めに取り付けられた場合の概略図である。 【符号の説明】 10 二軸アクチュエータ 11 基準軸 12 スライドベース 12a 当接面 13 固定板 13a 切欠部 14 調整板 15 レンズホルダー 15a 対物レンズ 15b サスペンション 16 アクチュエータカバー
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic sectional view showing one embodiment of a biaxial actuator according to the present invention. FIG. 2 is a schematic sectional view showing an example of a conventional biaxial actuator. FIG. 3 is a schematic view of a case where a lens holder in the biaxial actuator of FIG. 2 is attached obliquely. [Description of Signs] 10 Biaxial actuator 11 Reference axis 12 Slide base 12a Contact surface 13 Fixed plate 13a Notch 14 Adjustment plate 15 Lens holder 15a Objective lens 15b Suspension 16 Actuator cover

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−28510(JP,A) 特開 平6−44574(JP,A) 特開 平7−14188(JP,A) 特開 平7−334855(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 7/08 - 7/085 Continuation of front page (56) References JP-A-5-28510 (JP, A) JP-A-6-44574 (JP, A) JP-A-7-14188 (JP, A) JP-A-7-334855 (JP) , A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G11B 7/ 08-7/085

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 スライドベースと、上記スライドベース上に該スライドベースに対して平行
な状態で固定される固定板と、 レンズホルダーと、 上記固定板上に支持され上記レンズホルダーを上記スラ
イドベースに対して略水平方向であるXY方向及び/又
は傾斜角方向に調整する調整板と、 上記レンズホルダーを側方及び上方から覆うように設け
られ、かつ上記固定板に固定されるアクチュエータカバ
ーとを有し、 上記スライドベースは上記レンズホルダーが下方に移動
したときに該レンズホルダーが当接する当接面を有し、 上記固定板は上記スライドベースの上記当接面に対応す
る部分が開口部になって いることを特徴とする二軸アク
チュエータ。
(57) [Claims 1] A slide base , and a slide base parallel to the slide base.
The fixing plate fixed in a state, the lens holder, and the lens holder supported on the fixing plate
XY directions that are substantially horizontal to the id base and / or
Is provided to cover the lens holder from the side and above, and an adjustment plate to adjust in the tilt angle direction
Actuator cover fixed to the fixing plate
And a chromatography, the slide base moves the lens holder downwards
Has an abutment surface which the lens holder when the abut, the fixing plate to correspond to the contact surface of the slide base
A two-axis actuator characterized in that an opening is formed at the part where the shaft moves .
JP25302094A 1994-08-25 1994-09-21 Two axis actuator Expired - Lifetime JP3480073B2 (en)

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