JP3479017B2 - 固体粉末原料容器 - Google Patents
固体粉末原料容器Info
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- JP3479017B2 JP3479017B2 JP2000007539A JP2000007539A JP3479017B2 JP 3479017 B2 JP3479017 B2 JP 3479017B2 JP 2000007539 A JP2000007539 A JP 2000007539A JP 2000007539 A JP2000007539 A JP 2000007539A JP 3479017 B2 JP3479017 B2 JP 3479017B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜など基板に形
成するＣＶＤ装置にキャリアガスとともに固体昇華ガス
である原料ガスを供給する固体粉末原料容器に関する。
成するＣＶＤ装置にキャリアガスとともに固体昇華ガス
である原料ガスを供給する固体粉末原料容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の固体粉末原料容器は、顆
粒状の固体粉末原料を貯える容器と、キャリアガスであ
る窒素ガスを容器の底部から噴き出すキャリアガス配管
と、キャリアガスによって昇華された原料ガスを装置に
供給する供給管とを備える構造が単純な装置であった。
粒状の固体粉末原料を貯える容器と、キャリアガスであ
る窒素ガスを容器の底部から噴き出すキャリアガス配管
と、キャリアガスによって昇華された原料ガスを装置に
供給する供給管とを備える構造が単純な装置であった。
【０００３】通常、ＣＶＤ成膜法では、ある程度の蒸気
圧をもつ温度に容器を維持し固体粉末原料にキャリアガ
スを供給し、キャリアガス中に固体粉末原料を飽和させ
る。そして、原料が飽和したキャリアガスをＣＶＤ装置
に供給管を介して供給していた。
圧をもつ温度に容器を維持し固体粉末原料にキャリアガ
スを供給し、キャリアガス中に固体粉末原料を飽和させ
る。そして、原料が飽和したキャリアガスをＣＶＤ装置
に供給管を介して供給していた。
【０００４】また、長時間安定に原料ガスを供給するに
は、キャリアガスに原料が充分飽和させることが必要で
ある。しかしながら、固体粉末原料は高温中で長期間保
管されることにより、原料中の水分や、キャリアガス中
の水分、または、原料同士の反応によって原料が固まる
現象（固化）が起きる。すなわち、図５に示すように、
固体粉末原料の容器１５内に固化した塊１６ができる。
は、キャリアガスに原料が充分飽和させることが必要で
ある。しかしながら、固体粉末原料は高温中で長期間保
管されることにより、原料中の水分や、キャリアガス中
の水分、または、原料同士の反応によって原料が固まる
現象（固化）が起きる。すなわち、図５に示すように、
固体粉末原料の容器１５内に固化した塊１６ができる。
【０００５】その結果、図６に示すように、固化した塊
の中心部１６ａは、原料の組成を保っているものの、表
面部１６ｂは変質し、キャリアガスに飽和しない。この
ため、キャリアガスを固体粉末原料の容器１５内に供給
しても、表面が変質し固化した塊１５内の原料に接触す
ることができず飽和しなくなり、装置に原料ガスが送れ
なくなるという問題がある。その結果、図７に示すよう
に、２０００時間以上は原料を容器に貯蔵できず、原料
利用率が低く、それだけ生産コストが高くなるという問
題も生じた。
の中心部１６ａは、原料の組成を保っているものの、表
面部１６ｂは変質し、キャリアガスに飽和しない。この
ため、キャリアガスを固体粉末原料の容器１５内に供給
しても、表面が変質し固化した塊１５内の原料に接触す
ることができず飽和しなくなり、装置に原料ガスが送れ
なくなるという問題がある。その結果、図７に示すよう
に、２０００時間以上は原料を容器に貯蔵できず、原料
利用率が低く、それだけ生産コストが高くなるという問
題も生じた。
【０００６】かかる問題を解消する固体粉末原料容器
が、例えば、特開平８−２７９４９７号公報に半導体製
造装置として開示されている。このＣＶＤ装置の原料供
給機構は、原料容器内に多数の孔の開いたプレ−トを数
枚設置し、その上に固体粉末を載せ、底から供給される
キャリアガスと固体粉末との接触面積を広くとることが
可能となり、固体粉末を十分原料ガスに飽和させるでき
ることを特徴としている。
が、例えば、特開平８−２７９４９７号公報に半導体製
造装置として開示されている。このＣＶＤ装置の原料供
給機構は、原料容器内に多数の孔の開いたプレ−トを数
枚設置し、その上に固体粉末を載せ、底から供給される
キャリアガスと固体粉末との接触面積を広くとることが
可能となり、固体粉末を十分原料ガスに飽和させるでき
ることを特徴としている。
【０００７】また、この原料供給機構は、固体粉末同士
の接触面積を小さくすることで、前述した固化による固
まり形成を抑制することが可能よなり、キャリアガスと
接触できなくなる固体粉末を少なくすることができ、長
時間安定した原料ガスをＣＶＤ装置に供給できる。
の接触面積を小さくすることで、前述した固化による固
まり形成を抑制することが可能よなり、キャリアガスと
接触できなくなる固体粉末を少なくすることができ、長
時間安定した原料ガスをＣＶＤ装置に供給できる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た原料供給機構では、プレ−ト間に隙間を設ける必要が
あるため固体粉末を多く充填することができないという
問題点がある。また、プレ−ト上の孔は固体粉末の粒径
より小さく、孔以外の面に固体粉末が重なって積み重ね
られるので、固化しやがては孔を塞ぐことになる。そし
て、この部分が固まりとなるキャリアガスが通過しなく
なるという問題がある。その結果、未反応の固体粉末が
残ってしまい使用効率が悪くなるという問題もある。
た原料供給機構では、プレ−ト間に隙間を設ける必要が
あるため固体粉末を多く充填することができないという
問題点がある。また、プレ−ト上の孔は固体粉末の粒径
より小さく、孔以外の面に固体粉末が重なって積み重ね
られるので、固化しやがては孔を塞ぐことになる。そし
て、この部分が固まりとなるキャリアガスが通過しなく
なるという問題がある。その結果、未反応の固体粉末が
残ってしまい使用効率が悪くなるという問題もある。
【０００９】さらに、各プレ−ト上に固体粉末を充填す
るのに、上段のプレ−トに充填するのには、フランジを
取り外せば、できるものの中段のプレ−トや下段プレ−
トに固体粉末を充填することが困難である。
るのに、上段のプレ−トに充填するのには、フランジを
取り外せば、できるものの中段のプレ−トや下段プレ−
トに固体粉末を充填することが困難である。
【００１０】従って、本発明の目的は、固体粉末の固化
を抑制し長時間安定して原料ガスを供給できるとともに
固体粉末原料の詰め替えを容易にできる固体粉末原料容
器を提供することにある。
を抑制し長時間安定して原料ガスを供給できるとともに
固体粉末原料の詰め替えを容易にできる固体粉末原料容
器を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、固体粉
末原料を収納する断面が方形状の容器と、この容器にキ
ャリアガスを導入するキャリアガス導入管と、前記固体
粉末原料が昇華した気体を前記キャリアガスとともに処
理装置に供給する供給管と、前記容器の両側面に対向し
て配置される一対の電磁石と、前記容器の上部と底部と
に配設されるとともに前記容器の内部に電気を導入する
一対の導入端子と、上部の前記導入端子と一端部を第１
のばねを介して接続するとともに前記容器の内周壁に沿
って前記一端部から導電性部材が這って伸びかつ前記内
周壁を少なくとも３回転して下方に前記導電性部材が延
在し底部の前記導入端子と第２のばねを介して前記導電
性部材の他端部と接続するコイル状部材と、前記容器の
前後に差し渡して配設されるとともに前記導電性部材の
１回転で形成される枠状部材のそれぞれが回転し得る回
転軸とを備える固体粉末原料容器である。
末原料を収納する断面が方形状の容器と、この容器にキ
ャリアガスを導入するキャリアガス導入管と、前記固体
粉末原料が昇華した気体を前記キャリアガスとともに処
理装置に供給する供給管と、前記容器の両側面に対向し
て配置される一対の電磁石と、前記容器の上部と底部と
に配設されるとともに前記容器の内部に電気を導入する
一対の導入端子と、上部の前記導入端子と一端部を第１
のばねを介して接続するとともに前記容器の内周壁に沿
って前記一端部から導電性部材が這って伸びかつ前記内
周壁を少なくとも３回転して下方に前記導電性部材が延
在し底部の前記導入端子と第２のばねを介して前記導電
性部材の他端部と接続するコイル状部材と、前記容器の
前後に差し渡して配設されるとともに前記導電性部材の
１回転で形成される枠状部材のそれぞれが回転し得る回
転軸とを備える固体粉末原料容器である。
【００１２】なお、前記導電性部材は水平方向に幅をも
たせた板部材であることが望ましい。また、前記枠状部
材のそれぞれに張り付けられる絶縁材のメッシュを備え
ることが望ましい。そして、より好ましくは、前記枠状
部材のメッシュの穴は下方に行くほど小さくなることで
ある。
たせた板部材であることが望ましい。また、前記枠状部
材のそれぞれに張り付けられる絶縁材のメッシュを備え
ることが望ましい。そして、より好ましくは、前記枠状
部材のメッシュの穴は下方に行くほど小さくなることで
ある。
【００１３】一方、前記容器においては、収納された前
記固体粉末原料を観察する窓を備えることが望ましい。
そして、より前記容器に前記固体粉末原料を充填するた
めに、前記固体粉末原料を恒温状態に保ち貯蔵するとと
もに前記容器に前記固体粉末原料を供給するホッパ−と
該ホッパ−の供給口を開閉するゲ−トバルブとを備える
ことが望ましい。
記固体粉末原料を観察する窓を備えることが望ましい。
そして、より前記容器に前記固体粉末原料を充填するた
めに、前記固体粉末原料を恒温状態に保ち貯蔵するとと
もに前記容器に前記固体粉末原料を供給するホッパ−と
該ホッパ−の供給口を開閉するゲ−トバルブとを備える
ことが望ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１５】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施
の形態における固体粉末原料容器を示す上面図および側
面図である。この固体紛末原料容器は、図１に示すよう
に、固体粉末１３を収納する断面が方形状の原料容器１
と、この原料容器１にキャリアガスを導入する導入管５
と、固体粉末原料１４が昇華しキャリアガスに飽和した
原料ガスを処理装置に供給する供給管６と、原料容器１
の両側に配置されるとともに交流磁場を印加する一対の
電磁石２と、交流磁場の作用とコイル３に流される電流
とによってコイル３が矢印に示すように振動し収納され
た固体紛末１４を攪拌する攪拌機構とを備えている。
の形態における固体粉末原料容器を示す上面図および側
面図である。この固体紛末原料容器は、図１に示すよう
に、固体粉末１３を収納する断面が方形状の原料容器１
と、この原料容器１にキャリアガスを導入する導入管５
と、固体粉末原料１４が昇華しキャリアガスに飽和した
原料ガスを処理装置に供給する供給管６と、原料容器１
の両側に配置されるとともに交流磁場を印加する一対の
電磁石２と、交流磁場の作用とコイル３に流される電流
とによってコイル３が矢印に示すように振動し収納され
た固体紛末１４を攪拌する攪拌機構とを備えている。
【００１６】図２は図１のコイルを抽出して示す斜視図
である。この攪拌機構を構成するコイル３は、図２に示
すように、上部の導入端子４ａと導電性の帯板１３の一
端部をばね７を介して接続するとともに原料容器１の内
周壁に沿って帯板１３が這って伸びかつ原料容器１の内
周壁を帯板１３が３回転して下方に延在し底部の導入端
子４ｂとばね７を介して枠板１３の他端と接続され構成
されている。
である。この攪拌機構を構成するコイル３は、図２に示
すように、上部の導入端子４ａと導電性の帯板１３の一
端部をばね７を介して接続するとともに原料容器１の内
周壁に沿って帯板１３が這って伸びかつ原料容器１の内
周壁を帯板１３が３回転して下方に延在し底部の導入端
子４ｂとばね７を介して枠板１３の他端と接続され構成
されている。
【００１７】また、帯板の１回転で構成される枠部材３
ａ、３ｂおよび３ｃが図１の矢印に示す方向に振動し得
るように、原料容器１の内部の前後に差し渡しそれぞれ
の枠部材３ａ，３ｂ，３ｃの中心にある軸受けを貫通す
る回転軸８を備えている。
ａ、３ｂおよび３ｃが図１の矢印に示す方向に振動し得
るように、原料容器１の内部の前後に差し渡しそれぞれ
の枠部材３ａ，３ｂ，３ｃの中心にある軸受けを貫通す
る回転軸８を備えている。
【００１８】また、このコイル３は、帯板１３を四角形
状に回転させ形成しているが、四角断面の容器内の固体
粉末を効率良く攪拌させるためである。もし、図１の原
料容器１が円筒状であれば、帯板を円形コイルに形成す
れば良い。
状に回転させ形成しているが、四角断面の容器内の固体
粉末を効率良く攪拌させるためである。もし、図１の原
料容器１が円筒状であれば、帯板を円形コイルに形成す
れば良い。
【００１９】さらに、攪拌効果を高める観点からそれぞ
れの枠部材３ａ，３ｂ，３ｃ構成する帯板１３は、ある
程度の幅をもつ必要がある。しかしより多くの固体粉末
を収納するために、原料容器１の大きさを大きくするな
らば、後述の効果を得るたねに、絶縁材のメッシュ９
ａ，９ｂ，９ｃを張ることが望ましい。
れの枠部材３ａ，３ｂ，３ｃ構成する帯板１３は、ある
程度の幅をもつ必要がある。しかしより多くの固体粉末
を収納するために、原料容器１の大きさを大きくするな
らば、後述の効果を得るたねに、絶縁材のメッシュ９
ａ，９ｂ，９ｃを張ることが望ましい。
【００２０】そして、このメッシュ９ａ，９ｂ、９ｃの
材料は、摩擦係数が小さく耐熱性があって耐薬品性の高
いポリテトラフルオロエチレンが望ましい。そして、上
段のメッシュ９ａのメッシュ穴が最も大きくし下段に行
く程小さくする。例えば、固体粉末の粒径の３乃至５倍
とし、中段のメッシュ穴は、２乃至３倍に、下段のメッ
シュ穴は１乃至１．５倍にすることが望ましい。
材料は、摩擦係数が小さく耐熱性があって耐薬品性の高
いポリテトラフルオロエチレンが望ましい。そして、上
段のメッシュ９ａのメッシュ穴が最も大きくし下段に行
く程小さくする。例えば、固体粉末の粒径の３乃至５倍
とし、中段のメッシュ穴は、２乃至３倍に、下段のメッ
シュ穴は１乃至１．５倍にすることが望ましい。
【００２１】なお、この原料容器１は、立方体であっ
て、電磁石２に対向する側面は、石英板である。その他
はステンレス鋼で製作され気密に組立られている。そし
て、図面には示していないが、原料容器１内の固体粉末
を加熱するヒ−タを備えている。また、キャリアガスと
しては、例えば、窒素ガスを用いている。
て、電磁石２に対向する側面は、石英板である。その他
はステンレス鋼で製作され気密に組立られている。そし
て、図面には示していないが、原料容器１内の固体粉末
を加熱するヒ−タを備えている。また、キャリアガスと
しては、例えば、窒素ガスを用いている。
【００２２】次に、図１および図２を参照して原料供給
動作を説明する。まず、原料容器１の蓋を開け、固体粉
末１４であるＳｒ（ＤＰＭ）２（ディ−バロイメタネ−
ト−ストロンチュ−ム）、ＤＰＭの正式名称であるｂｉ
Ｓ−ｄｉｐｉｖａｌｏｙｍｅｔｈａ−ｎａｔｅを原料容
器１に入れる。
動作を説明する。まず、原料容器１の蓋を開け、固体粉
末１４であるＳｒ（ＤＰＭ）２（ディ−バロイメタネ−
ト−ストロンチュ−ム）、ＤＰＭの正式名称であるｂｉ
Ｓ−ｄｉｐｉｖａｌｏｙｍｅｔｈａ−ｎａｔｅを原料容
器１に入れる。
【００２３】このことにより、原料容器１内に落とし込
まれた固体粉末１４は、上段のメッシュ穴と中段のメッ
シュ穴と下段のメッシュ穴を通過し、原料容器１の底部
から上方に積み重ね貯えられる。そして、固体粉末１４
がコイル３の上に達したら、蓋を締める。
まれた固体粉末１４は、上段のメッシュ穴と中段のメッ
シュ穴と下段のメッシュ穴を通過し、原料容器１の底部
から上方に積み重ね貯えられる。そして、固体粉末１４
がコイル３の上に達したら、蓋を締める。
【００２４】次に、ヒ−タで固体粉末１３を加熱する。
このとき原料容器１はほぼ摂氏２００度Ｃになる。そし
て、キャリアガスである窒素ガスを導入管５に導入し、
底部に這わされた導入管５の吹き出し口から固体粉末１
４に窒素ガスを噴き付ける。
このとき原料容器１はほぼ摂氏２００度Ｃになる。そし
て、キャリアガスである窒素ガスを導入管５に導入し、
底部に這わされた導入管５の吹き出し口から固体粉末１
４に窒素ガスを噴き付ける。
【００２５】この状態で、電磁石２により、例えば、３
００ガウスの交流磁場を発生させ、コイル３に導入端子
４ａ，４ｂを介して、例えば、コイル３に５Ａの電流を
流す。このことによりフレミングの法則にしだがい、枠
部材３ａ，３ｂ，３ｃは回転軸８を中心にし振動する。
この振動により固体粉末１４が攪拌され窒素ガスと接触
する回数が飛躍的に増加する。
００ガウスの交流磁場を発生させ、コイル３に導入端子
４ａ，４ｂを介して、例えば、コイル３に５Ａの電流を
流す。このことによりフレミングの法則にしだがい、枠
部材３ａ，３ｂ，３ｃは回転軸８を中心にし振動する。
この振動により固体粉末１４が攪拌され窒素ガスと接触
する回数が飛躍的に増加する。
【００２６】このように効率良く昇華しキャリアガスに
飽和した原料ガスは供給管６から成膜室に送られる。ま
た、固体粉末１４は常にコイル３の振動によって攪拌さ
れているので互いに接着し固化することもなく、接着し
難いメッシュにも付着することがない。最終には、下段
の枠部材３ｃのメッシュ９ｃから抜け落ち原料容器１の
底部に溜まる僅かな量の小さな粒径の固体粉末が残る。
飽和した原料ガスは供給管６から成膜室に送られる。ま
た、固体粉末１４は常にコイル３の振動によって攪拌さ
れているので互いに接着し固化することもなく、接着し
難いメッシュにも付着することがない。最終には、下段
の枠部材３ｃのメッシュ９ｃから抜け落ち原料容器１の
底部に溜まる僅かな量の小さな粒径の固体粉末が残る。
【００２７】図３は原料供給量の持続時間を示すグラフ
である。ちなみに、攪拌手段の無い従来技術の原料容器
と本発明の原料容器と比べてみると、図３に示すよう
に、従来技術では、２０００時間しか持続できなかった
ものが、本発明の原料容器は、５０００時間以上持続し
得た。また、固体粉末１４の残量も１０％以下であり、
使用効率が飛躍的に向上した。
である。ちなみに、攪拌手段の無い従来技術の原料容器
と本発明の原料容器と比べてみると、図３に示すよう
に、従来技術では、２０００時間しか持続できなかった
ものが、本発明の原料容器は、５０００時間以上持続し
得た。また、固体粉末１４の残量も１０％以下であり、
使用効率が飛躍的に向上した。
【００２８】図４は図１の固体粉末原料容器の変形例を
示す斜視図である。この固体粉末原料容器は、図４に示
すように、原料容器１の内部を覗く観察窓１２と、原料
容器１に固体粉末を投入するホッパ−１０と、ホッパ−
１０の投入口を開閉するゲ−トバルブ１１を設けたこと
である。それ以外の導入端子４ａや電磁石２などは、図
１の固体粉末原料容器と同じである。
示す斜視図である。この固体粉末原料容器は、図４に示
すように、原料容器１の内部を覗く観察窓１２と、原料
容器１に固体粉末を投入するホッパ−１０と、ホッパ−
１０の投入口を開閉するゲ−トバルブ１１を設けたこと
である。それ以外の導入端子４ａや電磁石２などは、図
１の固体粉末原料容器と同じである。
【００２９】このように、観察窓１２を設ければ、固体
粉末の攪拌状態や固体粉末の残量などを観察できる。ま
た、ホッパ−１１を設けることにより固体粉末の原料容
器１への充填が極めて短時間で簡単に行えるという利点
がある。
粉末の攪拌状態や固体粉末の残量などを観察できる。ま
た、ホッパ−１１を設けることにより固体粉末の原料容
器１への充填が極めて短時間で簡単に行えるという利点
がある。
【００３０】また、ホッパ−１０の大きさは、原料容器
１への１回の固体粉末の充填で済むように固体粉末が収
納する大きさであることが望ましい。さらに、長時間貯
蔵できるように乾燥窒素を封入することが望ましい。そ
して、必要ならば、ホッパ−１０の周囲に冷却管を巻き
付け低温保管することが望ましい。
１への１回の固体粉末の充填で済むように固体粉末が収
納する大きさであることが望ましい。さらに、長時間貯
蔵できるように乾燥窒素を封入することが望ましい。そ
して、必要ならば、ホッパ−１０の周囲に冷却管を巻き
付け低温保管することが望ましい。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、固体粉末
を攪拌しキャリアガスとの接触を頻繁にすることと容器
自体を大きくすることによって、大量の固体粉末を収納
できるとともに固体粉末どうしの付着による固化現象が
無くなり昇華率が向上し、原料ガスの供給を長時間維持
できるという効果がある。
を攪拌しキャリアガスとの接触を頻繁にすることと容器
自体を大きくすることによって、大量の固体粉末を収納
できるとともに固体粉末どうしの付着による固化現象が
無くなり昇華率が向上し、原料ガスの供給を長時間維持
できるという効果がある。
【００３２】また、最下段にメッシュ穴の小さいメッシ
ュを配置することによって、原料容器の底部に溜まる固
体粉末を少なくすることができ、固体粉末の使用効率を
高めコストの低減が図れるという効果がある。
ュを配置することによって、原料容器の底部に溜まる固
体粉末を少なくすることができ、固体粉末の使用効率を
高めコストの低減が図れるという効果がある。
【図１】本発明の一実施の形態における固体粉末原料容
器を示す上面図および側面図である。
器を示す上面図および側面図である。
【図２】図１のコイルを抽出して示す斜視図である。
【図３】原料供給量の持続時間を示すグラフである。
【図４】図１の固体粉末原料容器の変形例を示す斜視図
である。
である。
【図５】従来の固体粉末の容器の一例を説明するための
模式図である。
模式図である。
【図６】固体粉末の塊の断面を示す図である。
【図７】従来の原料供給量の持続時間を示すグラフであ
る。
る。
１ 原料容器
２ 電磁石
３ コイル
４ａ，４ｂ 導入端子
５ 導入管
６ 供給管
７ ばね
８ 回転軸
９ａ，９ｂ，９ｃ メッシュ
１０ ホッパ−
１１ ゲ−トバルブ
１２ 観察窓
１３ 帯板
１４ 固体粉末
１５ 容器
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平４−293777（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−223540（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−214537（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−321040（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−278818（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−299778（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−279497（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C23C 16/00 - 16/56
H01L 21/205
H01L 21/31
H01L 21/316
B65D 88/66
B01F 11/00
B01F 13/08
Claims (6)
- 【請求項１】 固体粉末原料を収納する断面が方形状の
容器と、この容器にキャリアガスを導入するキャリアガ
ス導入管と、前記固体粉末原料が昇華した気体を前記キ
ャリアガスとともに処理装置に供給する供給管と、前記
容器の両側面に対向して配置される一対の電磁石と、前
記容器の上部と底部とに配設されるとともに前記容器の
内部に電気を導入する一対の導入端子と、上部の前記導
入端子と一端部を第１のばねを介して接続するとともに
前記容器の内周壁に沿って前記一端部から導電性部材が
這って伸びかつ前記内周壁を少なくとも３回転して下方
に前記導電性部材が延在し底部の前記導入端子と第２の
ばねを介して前記導電性部材の他端部と接続するコイル
状部材と、前記容器の前後に差し渡して配設されるとと
もに前記導電性部材の１回転で形成される枠状部材のそ
れぞれが回転し得る回転軸とを備えることを特徴とする
固体粉末原料容器。 - 【請求項２】 前記導電性部材は水平方向に幅をもたせ
た板部材であることを特徴とする請求項１記載の固体粉
末原料容器。 - 【請求項３】 前記枠状部材のそれぞれに張り付けられ
る絶縁材のメッシュを備えることを特徴とする請求項１
または請求項２記載の固体粉末原料容器。 - 【請求項４】 前記枠状部材のメッシュの穴は下方に行
くほど小さくなることを特徴とする請求項３記載の固体
粉末原料容器。 - 【請求項５】 前記容器に収納された前記固体粉末原料
を観察する窓を備えることを特徴とする請求項１、請求
項２、請求項３または請求項４記載の固体粉末原料容
器。 - 【請求項６】 前記固体粉末原料を恒温状態に保ち貯蔵
するとともに前記容器に前記固体粉末原料を供給するホ
ッパ−と該ホッパ−の供給口を開閉するゲ−トバルブと
を備えることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項
３、請求項４または請求項５記載の固体粉末原料容器。
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Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000007539A JP3479017B2 (ja) | 2000-01-17 | 2000-01-17 | 固体粉末原料容器 |
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