JP3469692B2 - Sliding material bonding method - Google Patents

Sliding material bonding method

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JP3469692B2 JP28568395A JP28568395A JP3469692B2 JP 3469692 B2 JP3469692 B2 JP 3469692B2 JP 28568395 A JP28568395 A JP 28568395A JP 28568395 A JP28568395 A JP 28568395A JP 3469692 B2 JP3469692 B2 JP 3469692B2
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Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、超音波アクチュエ
ータの摺動部分に用いる摺動部材を超音波振動子に接着
する接着方法に関する。 【0002】 【従来の技術】図10に、特願平4−321096号公
報に記載された並進運動を発生することができる超音波
アクチュエータの超音波振動子を示す。この超音波振動
子110は、基本弾性体111の上面に3つの保持用弾
性体112がねじによって固定されており、それぞれの
保持用弾性体112の間に積層型圧電素子113が挟持
状態で固定されている。また、基本弾性体111の底面
両端部には、摺動部材115が接着によって固定されて
いる。 【0003】この構造の超音波振動子110は、図11
(a)に示すような1次の共縦振動、及び(b)に示す
ような2次の共振屈曲振動をほぼ同一周波数で励起でき
る。そこで、A相及びB相に30Vの直流電圧を印加し
て積層型圧電素子113に圧縮予圧を加えた上、A相及
びB相に周波数53.5kHz、振幅10Vp−pの交
番電圧を印加する。ここで、A相とB相の位相を同位相
にすると、図11(a)に示すような1次の共振縦振動
が励起される。つぎに、A相とB相の位相を逆位相にす
ると、図11(b)に示すような2次の共振屈曲振動が
励起される。つぎに、A相とB相の位相を90度ずらす
と、摺動部材115付近に超音波楕円振動を励起するこ
とができる。 【0004】図12はこの超音波振動子110を用いた
超音波リニアモータの正面図である。この超音波リニア
モータは超音波振動子110がレール121上を左右に
自走するようになっており、これをガイドするためにレ
ール121の裏面にリニアガイド固定部122を設ける
一方、超音波振動子110の支持機構の下端にリニアガ
イド移動部123を設けている。 【0005】以上の構造の超音波リニアモータでは、積
層型圧電素子を用いて圧電縦効果を利用したので、電機
−機械変換効率が向上し、低電圧駆動が可能となる。ま
た、極めて簡易な構成でコンパクトでありながら、大き
な出力を得ることができると共に、積層型圧電素子に予
圧をかけながら使用するので、耐久性が向上する効果を
有している。 【0006】この超音波振動子110の摺動部材115
の材料を、発明者らは特願平5−222849号で先に
提案した。図13はこの提案を説明する図である。摺動
し合う部材の少なくとも一方(同図では摺動部材11
5)の材料に砥粒を含有させて、研磨性を付与してい
る。このようにすることで、摺動面に移着膜203が付
着しても、これが摺動と共に削り落とされ、摺動部材1
15自体も僅かに削られて、常に新しい面が摺動し合う
ことができる。ここで、磨耗粉が増えることが懸念され
るが、砥粒の硬度を相手材200の硬度と同等か、僅か
に硬い程度にすることで、摺動部材115自体の削り量
は微視的な範囲に留まり、巨視的な発塵は生じないと考
ることができる。従って、このような摺動部材では、駆
動力のムラや食いつきなしに、安定に動作することがで
きる。 【0007】 【発明が解決しようとする課題】しかし上述の摺動部材
115に用いる摺動材料は問題を有していた。図9はこ
の従来の摺動材料の問題点を説明するための概念図であ
る。同図において、1は摺動材料(摺動部材115に対
応)、11はその摺動面、12は摺動材料11を構成す
る砥粒、3は摺動材料1が接着によって固定される振動
子(図10における基本弾性体111に対応)、4はエ
ポキシ樹脂などの接着剤である。なお、摺動材料1はア
ルミナなどの砥粒をフェノール樹脂などの母材で繋いだ
多孔質の材料であるが、同図においては、砥粒の粒径を
誇張して描くと共に、母材の割合を極めて少ないものと
して空孔の割合を多くして描いてある。 【0008】同図から明らかなように、多孔質の摺動材
料1を超音波振動子3に接着するとき、エポキシ樹脂な
どの接着剤4が毛細管現象によって摺動材料1の内部に
吸収される。このため、接着剤の量が少ないと、全ての
接着剤が硬化前に摺動材料1に吸収され、これにより接
着することができない問題を有していた。これを防ぐた
めに充分な量の接着剤を用いる場合には、同図に示すよ
うに、接着剤4が摺動面11にまで達して砥粒を埋めて
しまっていた。 【0009】以上から明らかなように、従来の摺動材料
は砥粒を含んで摺動面を僅かに削るために、常に新鮮な
面が相互に摺動して、摺動面に異物が付着することがな
く、超音波アクチュエータとしての動作が安定するとい
う効果がある反面、摺動材料が多孔質であるので、これ
を振動子に接着する際、接着剤が吸われて満足に接着で
きなかったり、逆に充分な量の接着剤を用いて接着する
と、吸われた接着剤が摺動面に達して、砥粒が埋まって
しまうという問題点があった。 【0010】本発明はこのような従来の問題点を考慮し
てなされたものであり、砥粒を含む多孔質の摺動材料が
接着剤を吸うことなく安定に接着できる方法を提供する
ことを目的とする。 【0011】 【課題を解決するための手段】本発明は、多孔質の摺動
材料を超音波振動子に接着する方法において、前記摺動
材料の接着面付近を加熱溶融することで接着面付近の空
孔を潰して、接着剤の浸透を阻止する層を形成した後、
前記摺動材料の接着面を前記超音波振動子に接着するこ
とを特徴とする。 【0012】 【0013】上記方法によれば、摺動材料を接着剤で超
音波振動子に接着する際に、接着剤が多孔質の摺動材料
に吸収されることなく、安定した接着を行うことができ
る。 【0014】 【発明の実施の形態】 (実施の形態1)図1及び図2は本発明の実施の形態1
の断面を示し、図9と同一の要素は同一の符号を付して
対応させてある。なお、この実施の形態においても、図
9と同様に、砥粒の粒径を誇張して描くと共に、母材の
割合を極めて少ないものとして、空孔の割合を多くして
描いてある。 【0015】この実施の形態では図1に示すように、ま
ず摺動材料1の接着面13に小量の接着剤41を塗布
し、これを硬化させる。しかる後に図2に示すように、
接着剤42によって、摺動材料1を超音波振動子3に接
着する。 【0016】図1に示すように、摺動材料1の接着面1
3に小量の接着剤41を塗布すると、この接着剤41は
毛細管現象によって摺動材料1の内部に吸収されて硬化
する。しかし微量であるので、摺動面11に達すること
はない。しかる後に接着剤42によって摺動材料1を超
音波振動子3に接着すると、硬化した接着剤41が接着
剤42の浸透を阻止する層として作用するため、接着剤
42が摺動材料1に浸透することがない。従って、接着
剤の塗布、硬化工程を2段階に分けるだけで、確実に接
着剤の浸透を防止することができる。 【0017】(実施の形態2)図3〜図5は本発明の実
施の形態2を示す。この実施の形態においても、砥粒の
粒径を誇張して描くと共に、母材の割合を極めて少ない
ものとして、空孔の割合を多くして描いてある。 【0018】この実施の形態では、まず、図3に示すよ
うに、摺動材料1の接着面13付近の空孔を潰す。具体
的には、摺動材料1の接着面13を加熱した金属の平面
に押しつけたり、超音波振動を印加することで、母材を
溶融させ、砥粒の隙間を押し潰す。図4はこの空孔を潰
した後の状態を示す。この空孔を潰した後に、図5に示
すように接着面13をエポキシ樹脂などの接着剤42に
よって超音波振動子3に接着する。 【0019】この実施の形態では、摺動材料1の接着面
13付近の空孔を潰したので、空孔を潰された層が、接
着剤42の浸透を阻止する層として作用し、接着剤42
が摺動材料1に浸透することがなくなる。従って、接着
剤の硬化の工程を増やすことなく、接着剤の振動を阻止
する層を設けることができる。 【0020】(実施の形態3)図6〜図8は実施の形態
3を示し、これらの図においても、砥粒の粒径を誇張し
て描くと共に、母材の割合を極めて少ないものとして、
空孔の割合を多くして描いてある。 【0021】この実施の形態では、まず図6に示すよう
に摺動材料1の接着面13に、樹脂などの膜43を付着
させる。具体的には、粘着テープ形態の膜を貼っても良
いし、粘着材のない膜を加熱したり超音波を印加して接
着面に融着しても良い。図7はこの樹脂などの膜43を
付着させた後の状態を示す。この樹脂などの膜43を付
着した後に、摺動材料1をエポキシ樹脂などの接着剤4
2によって超音波振動子3に接着するが、この接着では
樹脂などの膜43を介して行う。 【0022】このような実施の形態では、摺動材料1の
接着面13に樹脂などの膜43を付着させたので、この
樹脂などの膜43が接着剤42の浸透を阻止する層とし
て作用し、これにより接着剤42が摺動材料1に浸透す
ることがなくなる。この実施の形態では、摺動材料1自
体を融着することなく接着剤42の浸透を阻止する層を
形成できるため、材質の変質が少なく、摺動材料として
の性質が損なわれにくい効果がある。 【0023】 【発明の効果】本発明によれば、砥粒を含有する摺動材
料を超音波アクチュエータの超音波振動子に接着するに
際して、摺動材料の接着面に接着剤の浸透を阻止する層
を設けた後、これを接着するため、接着剤が摺動材料に
吸収されて接着できなくなったり、接着剤が摺動面に達
して砥粒を埋めるということがなく、超音波アクチュエ
ータとして良好な動作ができるという効果がある。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bonding method for bonding a sliding member used for a sliding portion of an ultrasonic actuator to an ultrasonic vibrator. 2. Description of the Related Art FIG. 10 shows an ultrasonic transducer of an ultrasonic actuator capable of generating a translational motion described in Japanese Patent Application No. 4-321096. In the ultrasonic transducer 110, three holding elastic bodies 112 are fixed to the upper surface of a basic elastic body 111 by screws, and a stacked piezoelectric element 113 is fixed between the respective holding elastic bodies 112 in a sandwiched state. Have been. Further, sliding members 115 are fixed to both ends of the bottom surface of the basic elastic body 111 by bonding. [0003] An ultrasonic transducer 110 having this structure is shown in FIG.
It is possible to excite the primary co-longitudinal vibration as shown in (a) and the secondary resonant bending vibration as shown in (b) at almost the same frequency. Therefore, a DC voltage of 30 V is applied to the A phase and the B phase to apply a compression preload to the multilayer piezoelectric element 113, and an alternating voltage having a frequency of 53.5 kHz and an amplitude of 10 Vp-p is applied to the A and B phases. . Here, when the phases of the A phase and the B phase are made the same, the primary resonance longitudinal vibration as shown in FIG. 11A is excited. Next, when the phases of the A phase and the B phase are reversed, a secondary resonance bending vibration as shown in FIG. 11B is excited. Next, when the phases of the A phase and the B phase are shifted by 90 degrees, ultrasonic elliptical vibration can be excited near the sliding member 115. FIG. 12 is a front view of an ultrasonic linear motor using the ultrasonic transducer 110. In this ultrasonic linear motor, the ultrasonic vibrator 110 is self-propelled on the rail 121 to the left and right. A linear guide fixing portion 122 is provided on the back surface of the rail 121 to guide the ultrasonic vibrator. A linear guide moving section 123 is provided at the lower end of the support mechanism of the child 110. [0005] In the ultrasonic linear motor having the above-described structure, since the piezoelectric longitudinal effect is utilized by using the laminated piezoelectric element, the electric-mechanical conversion efficiency is improved, and low-voltage driving is possible. In addition, a large output can be obtained while being compact with an extremely simple configuration, and since the laminated piezoelectric element is used while being preloaded, the durability is improved. The sliding member 115 of the ultrasonic vibrator 110
Have previously proposed in Japanese Patent Application No. 5-222849. FIG. 13 is a diagram illustrating this proposal. At least one of the sliding members (sliding member 11 in FIG.
Abrasiveness is imparted by incorporating abrasive grains into the material of 5). In this way, even if the transfer film 203 adheres to the sliding surface, the transfer film 203 is scraped off with sliding, and the sliding member 1 is removed.
15 itself is also slightly shaved so that a new surface can always slide. Here, there is a concern that the amount of abrasion powder increases, but by setting the hardness of the abrasive grains to be equal to or slightly higher than the hardness of the counterpart material 200, the shaving amount of the sliding member 115 itself is microscopic. It can be considered that there is no macroscopic dusting in the area. Therefore, such a sliding member can operate stably without uneven driving force or biting. [0007] However, the sliding material used for the above-mentioned sliding member 115 has a problem. FIG. 9 is a conceptual diagram for explaining the problem of the conventional sliding material. In the figure, 1 is a sliding material (corresponding to the sliding member 115), 11 is its sliding surface, 12 is abrasive grains constituting the sliding material 11, and 3 is a vibration to which the sliding material 1 is fixed by bonding. Reference numeral 4 (corresponding to the basic elastic body 111 in FIG. 10) denotes an adhesive such as an epoxy resin. The sliding material 1 is a porous material in which abrasive grains such as alumina are connected by a base material such as phenol resin. In FIG. The proportion is extremely small and the proportion of vacancies is increased. As is apparent from FIG. 1, when the porous sliding material 1 is bonded to the ultrasonic vibrator 3, an adhesive 4 such as an epoxy resin is absorbed into the sliding material 1 by a capillary phenomenon. . For this reason, when the amount of the adhesive is small, all the adhesive is absorbed by the sliding material 1 before being cured, so that there is a problem that the adhesive cannot be bonded. When a sufficient amount of adhesive is used to prevent this, the adhesive 4 reaches the sliding surface 11 and fills the abrasive grains as shown in FIG. As is clear from the above, the conventional sliding material includes abrasive grains and slightly cuts the sliding surface, so that fresh surfaces always slide with each other, and foreign matter adheres to the sliding surface. This has the effect of stabilizing the operation as an ultrasonic actuator without doing so, but since the sliding material is porous, the adhesive cannot be satisfactorily adhered when bonding it to the vibrator. On the other hand, when a sufficient amount of adhesive is used for bonding, the sucked adhesive reaches the sliding surface, and the abrasive grains are buried. The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a method for stably bonding a porous sliding material containing abrasive grains without sucking an adhesive. Aim. [0011] Means for Solving the Problems The present invention provides a method of bonding a sliding material porous to the ultrasonic transducer, the slide
By heating and melting the area near the adhesive surface of the material,
After crushing the holes and forming a layer that blocks the penetration of the adhesive ,
The sliding surface of the sliding material is bonded to the ultrasonic vibrator. According to the above method, when the sliding material is bonded to the ultrasonic vibrator with the adhesive, the adhesive is stably bonded without being absorbed by the porous sliding material. be able to. (Embodiment 1) FIGS. 1 and 2 show Embodiment 1 of the present invention.
The same elements as those in FIG. 9 are denoted by the same reference numerals and correspond to each other. Also in this embodiment, as in FIG. 9, the grain size of the abrasive grains is exaggerated, the proportion of the base material is extremely small, and the proportion of the pores is large. In this embodiment, as shown in FIG. 1, first, a small amount of an adhesive 41 is applied to the adhesive surface 13 of the sliding material 1 and is cured. Thereafter, as shown in FIG.
The sliding material 1 is adhered to the ultrasonic vibrator 3 by the adhesive 42. As shown in FIG. 1, an adhesive surface 1 of a sliding material 1 is provided.
When a small amount of the adhesive 41 is applied to 3, the adhesive 41 is absorbed into the inside of the sliding material 1 by the capillary phenomenon and hardens. However, since the amount is small, it does not reach the sliding surface 11. After that, when the sliding material 1 is bonded to the ultrasonic vibrator 3 by the adhesive 42, the cured adhesive 41 acts as a layer for preventing the penetration of the adhesive 42, so that the adhesive 42 permeates the sliding material 1. Never do. Therefore, the permeation of the adhesive can be reliably prevented only by dividing the application and curing steps of the adhesive into two stages. (Embodiment 2) FIGS. 3 to 5 show Embodiment 2 of the present invention. In this embodiment as well, the grain size of the abrasive grains is exaggerated, the proportion of the base material is extremely small, and the proportion of the pores is increased. In this embodiment, first, as shown in FIG. 3, holes near the adhesive surface 13 of the sliding material 1 are crushed. More specifically, the base material is melted by pressing the adhesive surface 13 of the sliding material 1 against the heated metal flat surface or by applying ultrasonic vibration to crush the gap between the abrasive grains. FIG. 4 shows a state after the holes are crushed. After crushing the holes, the bonding surface 13 is bonded to the ultrasonic transducer 3 with an adhesive 42 such as an epoxy resin as shown in FIG. In this embodiment, since the pores near the adhesive surface 13 of the sliding material 1 are crushed, the layer whose pores have been crushed acts as a layer for preventing the adhesive 42 from penetrating. 42
Does not penetrate into the sliding material 1. Therefore, a layer for preventing vibration of the adhesive can be provided without increasing the number of steps of curing the adhesive. (Embodiment 3) FIGS. 6 to 8 show Embodiment 3. In these figures as well, the grain size of the abrasive grains is exaggerated and the ratio of the base material is extremely small.
It is drawn with a high percentage of vacancies. In this embodiment, first, as shown in FIG. 6, a film 43 such as a resin is attached to the bonding surface 13 of the sliding material 1. Specifically, a film in the form of a pressure-sensitive adhesive tape may be adhered, or a film without a pressure-sensitive adhesive may be heated or ultrasonic waves may be applied to fuse the film to the bonding surface. FIG. 7 shows a state after the film 43 such as a resin is attached. After the film 43 such as a resin is attached, the sliding material 1 is coated with an adhesive 4 such as an epoxy resin.
The adhesive is bonded to the ultrasonic vibrator 3 by using a film 43 made of resin or the like. In such an embodiment, since the film 43 such as a resin is adhered to the bonding surface 13 of the sliding material 1, the film 43 such as the resin acts as a layer for preventing the penetration of the adhesive 42. This prevents the adhesive 42 from penetrating into the sliding material 1. In this embodiment, since the layer that blocks the penetration of the adhesive 42 can be formed without fusing the sliding material 1 itself, there is an effect that the quality of the material is small and the properties as the sliding material are not easily deteriorated. . According to the present invention, when a sliding material containing abrasive grains is bonded to an ultrasonic vibrator of an ultrasonic actuator, penetration of an adhesive into a bonding surface of the sliding material is prevented. After the layer is provided, it is bonded, so that the adhesive is absorbed by the sliding material and cannot be bonded, and the adhesive does not reach the sliding surface and bury the abrasive grains, making it a good ultrasonic actuator. There is an effect that a simple operation can be performed.

【図面の簡単な説明】 【図1】実施の形態1における接着剤の塗布工程の断面
図である。 【図2】実施の形態1における超音波振動子への接着工
程の断面図である。 【図3】実施の形態2における摺動材料の断面図であ
る。 【図4】実施の形態2における空孔を潰す工程の断面図
である。 【図5】実施の形態2における超音波振動子への接着工
程の断面図である。 【図6】実施の形態3における樹脂膜付着以前を示す断
面図である。 【図7】実施の形態3における樹脂膜の付着を示す断面
図である。 【図8】実施の形態3における超音波振動子への接着工
程の断面図である。 【図9】従来の摺動材料の接着の問題点を説明する断面
図である。 【図10】超音波振動子の正面図である。 【図11】(a)及び(b)は超音波振動子の作動を示
す斜視図である。 【図12】超音波振動子を用いた超音波リニアモータの
正面図である。 【図13】摺動材料の摺動時の断面図である。 【符号の説明】 1 摺動材料 3 超音波振動子 11 摺動面 12 砥粒 13 接着面 41 接着剤 42 接着剤 43 樹脂などの膜
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a cross-sectional view of a step of applying an adhesive according to a first embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view of a step of bonding to an ultrasonic transducer according to the first embodiment. FIG. 3 is a cross-sectional view of a sliding material according to a second embodiment. FIG. 4 is a cross-sectional view of a step of crushing a hole according to a second embodiment. FIG. 5 is a cross-sectional view of a step of bonding to an ultrasonic transducer according to a second embodiment. FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state before a resin film is attached in a third embodiment. FIG. 7 is a sectional view showing adhesion of a resin film in a third embodiment. FIG. 8 is a cross-sectional view of a step of bonding to an ultrasonic transducer according to a third embodiment. FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating a problem of adhesion of a conventional sliding material. FIG. 10 is a front view of the ultrasonic transducer. FIGS. 11A and 11B are perspective views showing the operation of the ultrasonic transducer. FIG. 12 is a front view of an ultrasonic linear motor using an ultrasonic transducer. FIG. 13 is a cross-sectional view of the sliding material when sliding. [Description of Signs] 1 Sliding material 3 Ultrasonic vibrator 11 Sliding surface 12 Abrasive grain 13 Adhesive surface 41 Adhesive 42 Adhesive 43 Film such as resin

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 津幡 敏晴 東京都渋谷区幡ヶ谷2丁目43番2号 オ リンパス光学工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平7−59368(JP,A) 特開 昭62−281772(JP,A) 特開 昭59−190840(JP,A) 特開 平1−229088(JP,A) 特開 平6−105571(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H02N 2/00 H01L 41/09 C09J 5/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (72) Inventor Toshiharu Tsuhata 2-43-2 Hatagaya, Shibuya-ku, Tokyo Inside Olympus Optical Co., Ltd. (56) References JP-A-7-59368 (JP, A) JP-A-62-281772 (JP, A) JP-A-59-190840 (JP, A) JP-A-1-229088 (JP, A) JP-A-6-105571 (JP, A) (58) Fields investigated (Int) .Cl. 7 , DB name) H02N 2/00 H01L 41/09 C09J 5/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 多孔質の摺動材料を超音波振動子に接着
する方法において、前記摺動材料の接着面付近を加熱溶
融することで接着面付近の空孔を潰して、接着剤の浸透
を阻止する層を形成した後、前記摺動材料の接着面を前
記超音波振動子に接着することを特徴とする摺動材料の
接着方法。
(57) [Claim 1] In a method of adhering a porous sliding material to an ultrasonic vibrator, the vicinity of the adhesive surface of the sliding material is heated and melted.
After squeezing the pores near the bonding surface by melting to form a layer that blocks the penetration of the adhesive , the bonding surface of the sliding material is bonded to the ultrasonic vibrator. Material bonding method.
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