JP3466070B2 - Magnetic head device and method of manufacturing the same - Google Patents
Magnetic head device and method of manufacturing the sameInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
や光磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッド装置およ
びその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head device used in a magnetic disk device or a magneto-optical disk device, and a manufacturing method thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、磁気ヘッド装置は、磁気ヘッド
素子が形成された磁気ヘッドスライダをスライダ支持体
（以下，サスペンションという）により支持する構成を
有しており、サスペンションにより磁気ヘッドスライダ
を磁気記録媒体の表面から一定の量だけ浮上させた状態
で、磁気ディスク等の記録媒体からの情報の再生あるい
は情報の記録を行うようになっている。2. Description of the Related Art Generally, a magnetic head device has a structure in which a magnetic head slider having a magnetic head element is supported by a slider support (hereinafter referred to as a suspension), and the magnetic head slider is magnetically recorded by the suspension. Information is reproduced from or recorded on a recording medium such as a magnetic disk in a state of being levitated from the surface of the medium by a certain amount.
【０００３】従来、このような浮上型の磁気ヘッド装置
は、磁気ヘッドスライダをサスペンション上に樹脂接着
剤により接着すると共に、磁気ヘッドスライダ側のボン
ディングパッドとサスペンション側のボンディングパッ
ドとを金（Ａｕ）などを用いたボールボンディングによ
り接続させることにより組み立てられている。また、こ
の種の磁気ヘッド装置では、実際の使用時において、磁
気ヘッドスライダの浮上面とディスク表面との間の摺動
や、高速回転するディスクの表面に対して磁気ヘッドス
ライダの浮上量が非常に小さいこと等に起因して静電気
が発生し、薄膜の磁気ヘッド素子が破壊される虞れがあ
り、これを未然に防止するための静電対策がなされてい
る。しかしながら、従来の磁気ヘッド装置では、これら
ボールボンディングによる電気的接続および静電対策に
起因して以下のような問題が生じていた。これについて
図１５および図１６を参照して具体的に説明する。Conventionally, in such a flying type magnetic head device, a magnetic head slider is bonded onto a suspension with a resin adhesive, and a bonding pad on the magnetic head slider side and a bonding pad on the suspension side are made of gold (Au). It is assembled by connecting by ball bonding using, for example. Further, in this type of magnetic head device, during actual use, sliding between the air bearing surface of the magnetic head slider and the disk surface, and flying height of the magnetic head slider with respect to the surface of the disk rotating at high speed are extremely high. There is a risk that static electricity will be generated due to its small size and the thin-film magnetic head element will be destroyed, and electrostatic countermeasures have been taken to prevent this. However, in the conventional magnetic head device, the following problems have occurred due to the electrical connection by ball bonding and the countermeasure against static electricity. This will be specifically described with reference to FIGS. 15 and 16.
【０００４】図１５は従来の磁気ヘッド装置の具体的な
構成を表し、また、図１６は図１５のＸＶ−ＸＶ線矢視
方向の断面構成を表している。なお、図１６は媒体が図
の下側にある場合の図１５の磁気ヘッド装置の使用時の
状態を示しており、図１５とは上下が反転している。こ
の磁気ヘッド装置１００は、磁気ヘッドスライダ１０１
および磁気ヘッドスライダ１０１を支持するためのサス
ペンション１０２により構成されている。サスペンショ
ン１０２はフレクシャー（弾性支持体）１０２Ａとロー
ドビーム（剛性支持体）１０２Ｂとにより構成されてい
る。FIG. 15 shows a specific structure of a conventional magnetic head device, and FIG. 16 shows a sectional structure taken along line XV-XV in FIG. Note that FIG. 16 shows a state when the magnetic head device of FIG. 15 is used when the medium is on the lower side of the figure, and is upside down from FIG. The magnetic head device 100 includes a magnetic head slider 101.
And a suspension 102 for supporting the magnetic head slider 101. The suspension 102 is composed of a flexure (elastic support) 102A and a load beam (rigid support) 102B.
【０００５】磁気ヘッドスライダ１０１には、その一方
の側端面（素子形成面）１０１ａに磁気ヘッド素子（例
えばＭＲ素子）１０４および信号用のボンディングパッ
ド１０５ａ〜１０５ｄがそれぞれ形成されている。The magnetic head slider 101 has a magnetic head element (for example, an MR element) 104 and signal bonding pads 105a to 105d formed on one side end surface (element forming surface) 101a thereof.
【０００６】サスペンション１０２を構成するフレクシ
ャー１０２Ａは、厚さ約２５μｍの薄いステンレス鋼板
によって形成されると共にロードビーム１０２Ｂの先端
部分に固定されており、磁気ヘッドスライダ１０１と共
にジンバル動作をするようになっている。フレクシャー
１０２Ａ上には、入出力信号線として薄膜パターンによ
る４本のリードパターン１０６ａ〜１０６ｄがほぼその
全長に渡って形成されている。リードパターン１０６ａ
〜１０６ｄ各々の一端部は４つのボンディングパッド１
０７ａ〜１０７ｄにそれぞれ接続されている。リードパ
ターン１０６ａ〜１０６ｄ各々の他端部は外部回路と接
続するための薄膜パターンによる接続端子（図示せず）
に接続されている。ボンディングパッド１０７ａ〜１０
７ｄは磁気ヘッドスライダ１０１側のボンディングパッ
ド１０５ａ〜１０５ｄに固着され電気的に接続されてい
る。The flexure 102A constituting the suspension 102 is formed of a thin stainless steel plate having a thickness of about 25 μm and is fixed to the tip portion of the load beam 102B so as to perform a gimbal operation together with the magnetic head slider 101. There is. On the flexure 102A, four lead patterns 106a to 106d, which are thin film patterns, are formed as input / output signal lines over substantially the entire length thereof. Lead pattern 106a
~ 106d has four bonding pads 1 at one end
07a to 107d, respectively. The other end of each of the lead patterns 106a to 106d is a connection terminal (not shown) formed of a thin film pattern for connecting to an external circuit.
It is connected to the. Bonding pads 107a-10
7d is fixed to and electrically connected to the bonding pads 105a to 105d on the magnetic head slider 101 side.
【０００７】ロードビーム１０２Ｂは、約６２〜７６μ
ｍの厚いステンレス鋼板によって形成されている。フレ
クシャー１０２Ａはこのロードビーム１０２Ｂに対して
レーザ溶接等による複数のスポット溶接点（例えば点１
０８）において固着されている。ロードビーム１０２Ｂ
には磁気ヘッドスライダ１０１の背面を点で押圧するた
めの凸状の突起（ディンプル）１０９が設けられてい
る。ディンプル１０９は磁気ヘッドスライダ１０１の背
面に密着されたフレクシャー１０２Ａに当接し、その後
方への移動を制御している。磁気ヘッドスライダ１０１
の後方側面１０１ｂとフレクシャー１０２Ａとの間には
図１６に示したように銀ペースト等の導電性樹脂１１０
が塗布され、フレクシャー１０２Ａと磁気ヘッドスライ
ダ１０１との間を電気的に接続している。フレクシャー
１０２Ａはその基部が図示しないディスク駆動装置の筺
体に電気的に接続されており、この筺体を介して接地さ
れている。これにより磁気ヘッドスライダ１０１側にお
いて静電気が発生した場合、磁気ヘッドスライダ１０１
の後部からフレクシャー１０２Ａを介して接地されたデ
ィスク駆動装置の筺体側へ静電気を逃がすようになって
いる。The load beam 102B has a size of approximately 62 to 76 μm.
It is formed by a thick stainless steel plate of m. The flexure 102A has a plurality of spot welding points (for example, point 1
It is fixed at 08). Load beam 102B
Is provided with a convex projection (dimple) 109 for pressing the back surface of the magnetic head slider 101 with a point. The dimple 109 is in contact with the flexure 102A closely attached to the back surface of the magnetic head slider 101, and controls its rearward movement. Magnetic head slider 101
Between the rear side surface 101b and the flexure 102A, as shown in FIG. 16, a conductive resin 110 such as silver paste is used.
Is applied to electrically connect the flexure 102A and the magnetic head slider 101. The base of the flexure 102A is electrically connected to a housing of a disk drive device (not shown), and is grounded via this housing. As a result, when static electricity is generated on the magnetic head slider 101 side, the magnetic head slider 101
Static electricity is released from the rear portion to the housing side of the disk drive device, which is grounded via the flexure 102A.
【０００８】この磁気ヘッド装置１００は、（１）磁気
ヘッドスライダ１０１をサスペンショ１０２のフレクシ
ャー１０２Ａ上に樹脂接着剤により接着させる工程、
（２）磁気ヘッドスライダ１０１側のボンディングパッ
ド１０５ａ〜１０５ｄとフレクシャー１０２Ａ側のボン
ディングパッド１０７ａ〜１０７ｄとを金（Ａｕ）ボー
ルボンディングにより接続させる工程、（３）ボールボ
ンディング部を保護するために紫外線硬化樹脂（ＵＶ樹
脂）１１１を塗布する工程、（４）静電対策用の導電性
樹脂１１０を塗布する工程、および（５）紫外線硬化樹
脂１１１に紫外線を照射し加熱する工程などの工程を経
て製造される。In this magnetic head device 100, (1) a step of adhering the magnetic head slider 101 onto the flexure 102A of the suspension 102 with a resin adhesive,
(2) A step of connecting the bonding pads 105a to 105d on the magnetic head slider 101 side and the bonding pads 107a to 107d on the flexure 102A side by gold (Au) ball bonding, (3) UV curing to protect the ball bonding portion. Manufactured through steps such as a step of applying a resin (UV resin) 111, a step of (4) applying a conductive resin 110 as a countermeasure against static electricity, and a step of (5) irradiating the ultraviolet curable resin 111 with ultraviolet rays and heating the resin. To be done.
【０００９】このように従来の磁気ヘッド装置の製造に
おいては、静電気対策を行う必要があるため、磁気ヘッ
ドスライダの接着工程および金ボールボンディングによ
る接続工程に加え、磁気ヘッドスライダの後部とサスペ
ンションとの間への導電性樹脂の塗布工程が必要である
ため、リードタイムがかかり、また、ボンディング工程
において金線を使用しているためコストもかかるという
問題があった。しかも、上述のように多くの工程を経て
製造されるため、その分ハンドリング作業時において、
磁気ヘッド素子の静電気破壊が起こる可能性がある。ま
た、特に、ボールボンディング工程では、金ボールで接
続する際に規定以上の圧力が加わると、サスペンション
へ負荷がかかり変形してしまう。このようにサスペンシ
ョンが変形してしまうと、磁気ヘッドスライダの浮上特
性に影響を及ぼし、歩留りが低下する。As described above, in the manufacture of the conventional magnetic head device, it is necessary to take measures against static electricity. Therefore, in addition to the step of adhering the magnetic head slider and the step of connecting by gold ball bonding, the rear portion of the magnetic head slider and the suspension are connected. There is a problem that a lead time is required because a step of applying a conductive resin between the layers is required, and a cost is required because a gold wire is used in the bonding step. Moreover, since it is manufactured through many steps as described above, during the handling work,
Electrostatic breakdown of the magnetic head element may occur. Further, particularly in the ball bonding process, if a pressure higher than a prescribed value is applied when connecting with gold balls, a load is applied to the suspension and the suspension is deformed. If the suspension is deformed in this way, it will affect the flying characteristics of the magnetic head slider and reduce the yield.
【００１０】ところで、従来、電極端子が形成された絶
縁基板上に異方性導電シートを熱融着し、絶縁基板側の
端子と電気的に接続させた構成のフレキシブルシールド
ワイヤボードが開示されている（特開昭６３−２２６９
９９号公報）。この異方性導電シートを用いることによ
り、ボールボンディング工程等が不要になると考えられ
る。しかし、磁気ヘッドスライダは１．０×１．２ｍｍ
とかなり小さいサイズであるため、磁気ヘッドスライダ
とサスペンションとを異方性導電シートを介して電気的
に接続させることは現状では極めて困難である。By the way, conventionally, there has been disclosed a flexible shielded wire board having a structure in which an anisotropic conductive sheet is heat-fused on an insulating substrate on which electrode terminals are formed and electrically connected to terminals on the insulating substrate side. (Japanese Patent Laid-Open No. 63-2269
99 publication). By using this anisotropic conductive sheet, it is considered that the ball bonding step or the like becomes unnecessary. However, the magnetic head slider is 1.0 x 1.2 mm
Since the size is quite small, it is extremely difficult at present to electrically connect the magnetic head slider and the suspension via the anisotropic conductive sheet.
【００１１】また、ワイヤボンディング工程を不要とし
端子間の短絡を防止するために、磁気ヘッドとサスペン
ションとをフィルム状の異方性導電膜（シート）を用い
て接着させる技術も開示されている（特開平９−１１５
１２５号公報）。Also disclosed is a technique for adhering a magnetic head and a suspension using a film-shaped anisotropic conductive film (sheet) in order to prevent a short circuit between terminals without requiring a wire bonding step. JP-A-9-115
No. 125).
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなフィルム状の異方性導電膜を用いる方法では、異方
性導電膜を貼り付けて磁気ヘッドとサスペンションとを
接続させる際に、高精度の位置合わせ技術が必要であ
る。また、この方法では、仮接着と本接着の２つの工程
が必要であり、リードタイムの短縮には不十分であっ
た。However, in the method using such a film-shaped anisotropic conductive film, when the anisotropic conductive film is attached and the magnetic head and the suspension are connected to each other, high precision is achieved. Alignment technology is required. In addition, this method requires two steps of temporary bonding and main bonding, which is insufficient for shortening the lead time.
【００１３】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、磁気ヘッドスライダの浮上特性の歩
留りが向上すると共に製造工程を簡略化してリードタイ
ムを短縮することができ、かつ、磁気ヘッド素子の静電
破壊も防止することが可能な磁気ヘッド装置およびその
製造方法を提供することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to improve the yield of the flying characteristics of the magnetic head slider, simplify the manufacturing process, and shorten the lead time. An object of the present invention is to provide a magnetic head device capable of preventing electrostatic breakdown of a magnetic head element and a method of manufacturing the same.
【００１４】本発明による磁気ヘッド装置は、磁気ヘッ
ドスライダをスライダ支持体に固定してなる磁気ヘッド
装置であって、前記磁気ヘッドスライダの、前記スライ
ダ支持体との対向面に第１の電極が設けられると共に前
記対向面とは異なる面に磁気ヘッド素子が設けられてな
り、かつ、前記スライダ支持体の磁気ヘッドスライダと
の対向面に第２の電極が設けられており、これら第１の
電極と第２の電極とが異方性導電樹脂により電気的に接
続された構成を有している。[0014] The magnetic head device according to the invention, the magnetic heads
A magnetic head device comprising a slider support fixed to a slider support , wherein the slider of the magnetic head slider is
The first electrode is provided on the surface facing the substrate
Note that the magnetic head element should not be provided on the surface different from the facing surface.
And a magnetic head slider of the slider support
A second electrode is provided on the opposite surface of the
The electrode and the second electrode are electrically connected by the anisotropic conductive resin.
It has the following configuration .
【００１５】この磁気ヘッド装置では、異方性導電樹脂
によって、磁気ヘッドスライダがスライダ支持体に固定
されると共に、磁気ヘッドスライダの第１の電極とスラ
イダ支持体の第２の電極とが電気的に接続される。更
に、第１の電極および第２の電極をそれぞれ複数設け、
そのうちの少なくとも１組の電極を接地用電極とするこ
とにより、磁気ヘッド素子の静電破壊が防止される。In this magnetic head device, the magnetic head slider is fixed to the slider support by the anisotropic conductive resin, and the first electrode of the magnetic head slider and the second electrode of the slider support are electrically connected. Connected to. Furthermore, a plurality of first electrodes and second electrodes are provided,
By using at least one of the electrodes as a ground electrode, electrostatic breakdown of the magnetic head element is prevented.
【００１６】本発明による磁気ヘッド装置の製造方法
は、磁気ヘッドスライダおよびスライダ支持体を含み、
前記磁気ヘッドスライダの、前記スライダ支持体との対
向面に第１の電極を有すると共に前記対向面とは異なる
面に磁気ヘッド素子を有し、かつ、前記スライダ支持体
の磁気ヘッドスライダとの対向面に第２の電極を有する
磁気ヘッド装置の製造方法であって、前記磁気ヘッドス
ライダの前記スライダ支持体との対向面あるいは前記ス
ライダ支持体の前記磁気ヘッドスライダとの対向面の少
なくともいずれか一方に異方性導電樹脂を塗布した後、
前記スライダ支持体上に前記磁気ヘッドスライダを載置
する工程と、前記異方性導電樹脂を硬化させることによ
り、前記磁気ヘッドスライダを前記スライダ支持体に固
定すると共に前記磁気ヘッドスライダの第１の電極と前
記スライダ支持体の第２の電極とを電気的に接続させる
工程とを含むものである。A method of manufacturing a magnetic head device according to the present invention includes a magnetic head slider and a slider support,
A pair of the magnetic head slider and the slider support.
It has a first electrode on the facing surface and is different from the facing surface
Having a magnetic head element on its surface, and said slider support
<br/> A method of manufacturing a magnetic head device, the magnetic head scan of the surface facing the magnetic head slider having a second electrode
After applying an anisotropic conductive resin to at least one of the surface of the rider facing the slider support or the surface of the slider support facing the magnetic head slider ,
A step of placing the magnetic head slider on the slider support by curing the anisotropic conductive resin, a first of the magnetic head slider is fixed to the magnetic head slider on the slider support Electrode and front
And a step of electrically connecting to the second electrode of the slider support.
【００１７】この磁気ヘッド装置の製造方法では、異方
性導電樹脂によって、磁気ヘッドスライダのスライダ支
持体への固着と、磁気ヘッドスライダの第１の電極とス
ライダ支持体の第２の電極との電気的接続とが同時に行
われる。更に、第１の電極および第２の電極をそれぞれ
複数設け、そのうちの少なくとも１組の電極を接地用電
極とすると、これら接地用電極間が異方性導電性樹脂に
よって電気的に接続され、磁気ヘッド素子の静電破壊防
止用の接地がなされる。In this method of manufacturing a magnetic head device, the anisotropic conductive resin fixes the magnetic head slider to the slider support, and the first electrode of the magnetic head slider and the second electrode of the slider support are bonded together. Electrical connection is made at the same time. Further, if a plurality of first electrodes and second electrodes are provided, and at least one set of them is used as a ground electrode, these ground electrodes are electrically connected by an anisotropic conductive resin and magnetic Grounding is performed to prevent electrostatic breakdown of the head element.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
【００１９】図１は本発明の一実施の形態に係る磁気ヘ
ッド装置１の構成を表すものである。また、図２は図１
のＩＩ−ＩＩ線矢視方向の断面構成を表している。この
磁気ヘッド装置１は、磁気ヘッドスライダ１０を異方性
導電樹脂３０によりサスペンション（スライダ支持体）
２０に対して接着し固定させた構成を有している。サス
ペンション２０は、磁気ヘッドスライダ１０を固定支持
するフレクシャー（弾性支持体）２０Ａと、このフレク
シャー２０Ａを支持するためのロードビーム（剛性支持
体）２０Ｂとにより構成されている。FIG. 1 shows the configuration of a magnetic head device 1 according to an embodiment of the present invention. 2 is shown in FIG.
11 shows a cross-sectional structure taken along line II-II of FIG. In this magnetic head device 1, the magnetic head slider 10 is suspended (slider support) by an anisotropic conductive resin 30.
It has a structure in which it is adhered and fixed to 20. The suspension 20 is composed of a flexure (elastic support) 20A for fixedly supporting the magnetic head slider 10 and a load beam (rigid support) 20B for supporting the flexure 20A.
【００２０】図３は磁気ヘッドスライダ１０の背面側、
すなわちフレクシャー２０Ａとの対向面１４の構成を表
すものである。この磁気ヘッドスライダ１０は、その先
端側の側端面（素子形成面１０ａ）に例えばＭＲ（Magn
eto Resistive)素子等の磁気ヘッド素子１１が形成され
ると共に、中間領域に信号用電極１２ａ〜１２ｄ、更に
後端側の領域に接地用電極１３がそれぞれ形成されてい
る。なお、信号用電極１２ａ〜１２ｄおよび接地用電極
１３がそれぞれ本発明の第１の電極に対応している。FIG. 3 shows the back side of the magnetic head slider 10,
That is, it shows the configuration of the facing surface 14 facing the flexure 20A. The magnetic head slider 10 has, for example, an MR (Magnet) on its side end surface (element formation surface 10a) on the tip side.
A magnetic head element 11 such as an eto-resistive element is formed, signal electrodes 12a to 12d are formed in the intermediate region, and a ground electrode 13 is further formed in the region on the rear end side. The signal electrodes 12a to 12d and the ground electrode 13 correspond to the first electrode of the present invention.
【００２１】図４はサスペンション２０を構成するフレ
クシャー２０Ａの磁気ヘッドスライダ１０との対向面２
４側の構成を表すものである。フレクシャー２０Ａは、
例えば厚さ約２５μｍのステンレス鋼板によって構成さ
れている。このフレクシャー２０Ａの磁気ヘッドスライ
ダ１０との対向面２４には、入出力信号線として例えば
銅（Ｃｕ）により形成された薄膜パターンによる４本の
リードパターン２１ａ〜２１ｄがほぼその全長に渡って
形成されている。リードパターン２１ａ〜２１ｄの各々
の一端部は薄膜パターンによる４つの信号用電極２２ａ
〜２２ｄにそれぞれ接続されている。これらリードパタ
ーン２１ａ〜２１ｄは磁気ヘッドスライダ１０の信号用
電極１２ａ〜１２ｄに対して固着される。また、磁気ヘ
ッドスライダ１０の接地用の信号用電極１３に対向する
位置には接地用電極２３が形成されている。なお、信号
用電極２２ａ〜２２ｄおよび接地用電極２３がそれぞれ
本発明の第２の電極に対応している。リードパターン２
１ａ〜２１ｄの各他端部は例えば銅（Ｃｕ）により形成
された薄膜パターンによる接続端子（図示せず）に接続
され、この接続端子を介して外部回路と接続されてい
る。FIG. 4 shows a surface 2 of the flexure 20A constituting the suspension 20 facing the magnetic head slider 10.
4 illustrates a configuration on the four side. Flexure 20A
For example, it is made of a stainless steel plate having a thickness of about 25 μm. On the surface 24 of the flexure 20A facing the magnetic head slider 10, four lead patterns 21a to 21d, which are thin film patterns made of, for example, copper (Cu), are formed as input / output signal lines over substantially the entire length thereof. ing. One end of each of the lead patterns 21a to 21d has four signal electrodes 22a formed of a thin film pattern.
22d, respectively. These lead patterns 21a to 21d are fixed to the signal electrodes 12a to 12d of the magnetic head slider 10. A grounding electrode 23 is formed at a position facing the grounding signal electrode 13 of the magnetic head slider 10. The signal electrodes 22a to 22d and the ground electrode 23 correspond to the second electrode of the present invention. Lead pattern 2
The other end of each of 1a to 21d is connected to a connection terminal (not shown) formed by a thin film pattern made of, for example, copper (Cu), and is connected to an external circuit via this connection terminal.
【００２２】ロードビーム２０Ｂは、例えば約７０μｍ
の厚いステンレス鋼板によって形成されている。フレク
シャー２０Ａはこのロードビーム２０Ｂに対してレーザ
溶接等による複数のスポット溶接点において固着されて
いる。The load beam 20B is, for example, about 70 μm.
It is made of thick stainless steel plate. The flexure 20A is fixed to the load beam 20B at a plurality of spot welding points by laser welding or the like.
【００２３】異方性導電樹脂３０は、接着剤層中に導電
性充填剤を分散させたものである。図５はこの異方性導
電樹脂３０による磁気ヘッドスライダ１０とフレクシャ
ー２０Ａとの接着構造を拡大したものである。これに対
して、図７は一般に用いられる等方性の導電性樹脂によ
る接着構造を比較のために表したものである。等方性導
電樹脂４０では、接着剤層４１中に導電性充填剤４２が
極力多く混入され、この導電性充填剤４２の互いの接触
により導体４３ａと導体４３ｂとが導通される。The anisotropic conductive resin 30 is one in which a conductive filler is dispersed in the adhesive layer. FIG. 5 is an enlarged view of the bonded structure of the magnetic head slider 10 and the flexure 20A by the anisotropic conductive resin 30. On the other hand, FIG. 7 shows, for comparison, an adhesive structure made of a generally used isotropic conductive resin. In the isotropic conductive resin 40, as much conductive filler 42 as possible is mixed in the adhesive layer 41, and the conductor 43a and the conductor 43b are electrically connected by the mutual contact of the conductive filler 42.
【００２４】これに対して異方性導電樹脂３０は、この
ような等方性導電樹脂と異なり、接着剤層３１中の導電
性充填剤３２の量を極力抑え、接着剤層３１を薄くした
ものである。この異方性導電樹脂３０では、厚さ方向で
は導体充填剤３２同士の接触により信号用電極１２ｂ，
２２ａ間，信号用電極１２ｄ，２２ｃ間および接地用電
極１３，２３間をそれぞれ導通させる一方、長手方向
（水平方向）では、導電性充填剤３２同士の接触があま
りないため信号用電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ
相互間、信号用電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ相
互間、更に接地用電極１３と信号用電極１２ａ〜１２ｄ
との間、接地用電極２３と信号用電極２２ａ〜２２ｄと
の間ではそれぞれ非導通の状態とすることができる。On the other hand, the anisotropic conductive resin 30 is different from such an isotropic conductive resin in that the amount of the conductive filler 32 in the adhesive layer 31 is suppressed as much as possible and the adhesive layer 31 is made thin. It is a thing. In this anisotropic conductive resin 30, the signal electrodes 12b,
22a, between the signal electrodes 12d and 22c, and between the ground electrodes 13 and 23, respectively, while the conductive electrodes 32 do not come into contact with each other in the longitudinal direction (horizontal direction), so that the signal electrodes 12a and 12b. , 12c, 12d
Between each other, between the signal electrodes 22a, 22b, 22c, 22d, and further between the grounding electrode 13 and the signal electrodes 12a to 12d.
And the grounding electrode 23 and the signal electrodes 22a to 22d can be made non-conductive.
【００２５】なお、図５の構成では、各電極は、磁気ヘ
ッドスライダ１０およびフレクシャー２０Ａの各対向面
から突出した状態となっているが、例えば図６に示した
ように、磁気ヘッドスライダ１０側の信号電極１２ａ〜
１２ｄおよび接地用電極１３を埋め込み、磁気ヘッドス
ライダ１０の背面が平坦となるように構成した場合も同
様である。In the structure of FIG. 5, each electrode is in a state of protruding from the respective facing surfaces of the magnetic head slider 10 and the flexure 20A. For example, as shown in FIG. 6, the magnetic head slider 10 side is provided. Signal electrodes 12a to
The same applies to the case where the back surface of the magnetic head slider 10 is made flat by embedding 12d and the grounding electrode 13.
【００２６】異方性導電樹脂３０の接着剤層３１の材料
としては、例えば紫外線照射および加熱により硬化する
熱硬化性樹脂、例えばアクリル樹脂が挙げられる。ま
た、導電性充填剤３２として例えば銀（Ａｇ）などの金
属粒子や金属被膜プラスチック粒子を散りばめたものが
挙げられる。導電性充填剤３２の粒子の大きさは、例え
ば銀の場合、平均粒径が３μｍ，最大粒径が１０μｍ程
度が望ましい。The material of the adhesive layer 31 of the anisotropic conductive resin 30 may be, for example, a thermosetting resin which is cured by ultraviolet irradiation and heating, such as an acrylic resin. Further, as the conductive filler 32, for example, those in which metal particles such as silver (Ag) or metal-coated plastic particles are sprinkled are listed. The particle size of the conductive filler 32 is preferably about 3 μm in average particle size and about 10 μm in maximum particle size in the case of silver, for example.
【００２７】アクリル樹脂に銀粉が混入された異方性導
電樹脂は、例えば銀粉、ウレタンアクリレートおよびア
クリル酸エステルを混合することにより作製することが
できる。この異方性導電樹脂は、例えば２．０kg重／ｃ
ｍ2 の荷重をかけた状態で、例えば積算光量３０００ｍ
Ｊ／ｃｍ2 の紫外線照射を行い、更に、例えば温度１２
０°Ｃで３０分加熱することにより硬化する。The anisotropic conductive resin in which silver powder is mixed in acrylic resin can be prepared by mixing silver powder, urethane acrylate and acrylic ester, for example. This anisotropic conductive resin is, for example, 2.0 kgf / c
With a load of m 2 applied, for example, total light intensity 3000 m
UV irradiation of J / cm 2 is performed, and further, for example, a temperature of 12
It is cured by heating at 0 ° C for 30 minutes.
【００２８】図８は接着面積を一定（１．０ｍｍ2 ）と
した場合の異方性導電樹脂の厚さ（μｍ）と剥離強度と
の関係、図９は厚さを一定（２０μｍ）とした場合の異
方性導電樹脂の塗布面積（ｍｍ2 ）と剥離強度との関係
をそれぞれ表したものである。なお、異方性導電樹脂と
してはアクリル樹脂に銀粉が約４０〜６０％混入された
ものを用いた。FIG. 8 shows the relationship between the thickness (μm) of the anisotropic conductive resin and the peel strength when the adhesive area is constant (1.0 mm 2 ), and FIG. 9 shows the thickness constant (20 μm). In this case, the relationship between the coated area (mm 2 ) of the anisotropic conductive resin and the peel strength is shown. As the anisotropic conductive resin, an acrylic resin mixed with about 40 to 60% of silver powder was used.
【００２９】これらの結果により、接着面積を１．０ｍ
ｍ2 とする場合において、所定の規格値（１．０）以上
の剥離強度を得るためには、異方性導電樹脂３０の厚さ
は６．０μｍ以上することが望ましいことが分かる。但
し、異方性導電樹脂３０が厚すぎると、導通抵抗が大き
くなってしまうため、その厚さは２５μｍ以下とするこ
とが望ましく、より望ましくは銀の最大粒径（１０μ
ｍ）以下の厚さである。同じく、厚さを２０μｍとする
場合においては、異方性導電樹脂３０の塗布面積は０．
９５ｍｍ2 以上することが望ましいことが分かる。From these results, the adhesion area is 1.0 m.
When m 2 is set, it is understood that the thickness of the anisotropic conductive resin 30 is preferably 6.0 μm or more in order to obtain the peel strength of a predetermined standard value (1.0) or more. However, if the anisotropic conductive resin 30 is too thick, the conduction resistance increases, so the thickness is preferably 25 μm or less, and more preferably the maximum grain size of silver (10 μm).
m) The following thickness. Similarly, when the thickness is 20 μm, the coated area of the anisotropic conductive resin 30 is 0.
It can be seen that it is desirable to set it to 95 mm 2 or more.
【００３０】次に、本実施の形態の磁気ヘッド装置１の
製造方法について説明する。Next, a method of manufacturing the magnetic head device 1 of this embodiment will be described.
【００３１】先ず、信号電極２２ａ〜２２ｄおよび接地
電極２３が形成されたフレクシャー２０Ａの対向面２４
に異方性導電性樹脂３０を塗布し、そののち対向面２４
と対向面１４とが対向するように磁気ヘッドスライダ１
０を異方性導電性樹脂３０上に載置する。なお、異方性
導電性樹脂３０は磁気ヘッドスライダ１０側に塗布して
もよく、また磁気ヘッドスライダ１０およびフレクシャ
ー２０Ａ側の双方に塗布するようにしてもよい。その
後、磁気ヘッドスライダ１０に所定の荷重（例えば約
２．０Ｋｇｆ／ｃｍ2 ）をかけた状態で、異方性導電性
樹脂３０に対して紫外線を照射し、更に、所定の温度で
加熱することにより異方性導電樹脂３０を硬化させる。
これにより、磁気ヘッドスライダ１０がフレクシャー２
０Ａに固定されると共に、磁気ヘッドスライダ１０の信
号電極１２ａ〜１２ｄと、フレクシャー２０Ａの信号電
極２２ａ〜２２ｄとがそれぞれ電気的に接続され、図１
に示した磁気ヘッド装置１となる。First, the opposing surface 24 of the flexure 20A on which the signal electrodes 22a to 22d and the ground electrode 23 are formed.
1. Anisotropic conductive resin 30 is applied to the
So that the magnetic head slider 1 and the facing surface 14 face each other.
0 is placed on the anisotropic conductive resin 30. The anisotropic conductive resin 30 may be applied to the magnetic head slider 10 side, or may be applied to both the magnetic head slider 10 and the flexure 20A side. After that, in a state where a predetermined load (for example, about 2.0 Kgf / cm 2 ) is applied to the magnetic head slider 10, the anisotropic conductive resin 30 is irradiated with ultraviolet rays and further heated at a predetermined temperature. The anisotropic conductive resin 30 is cured by.
This causes the magnetic head slider 10 to move to the flexure 2
1A, the signal electrodes 12a to 12d of the magnetic head slider 10 and the signal electrodes 22a to 22d of the flexure 20A are electrically connected to each other.
The magnetic head device 1 shown in FIG.
【００３２】このように本実施の形態においては、磁気
ヘッドスライダ１０と、フレクシャー２０Ａとをそれぞ
れ異方性導電樹脂３０で接着させるだけで、磁気ヘッド
スライダ１０をフレクシャー２０Ａに対して固定するこ
とができると同時に、磁気ヘッドスライダ１０側の信号
電極１２ａ〜１２ｄと、フレクシャー２０Ａ側の信号電
極２２ａ〜２２ｄとを電気的に接続させることができ
る。更に、磁気ヘッドスライダ１０において磁気ヘッド
素子１１の反対側（後部）に設けた接地用電極１３と、
フレクシャー２０Ａ側の接地電極２３とを同時に接続さ
せることもでき、これにより磁気ヘッド素子１１の静電
破壊防止用の接地がなされる。As described above, in the present embodiment, the magnetic head slider 10 and the flexure 20A can be fixed to the flexure 20A by simply adhering the magnetic head slider 10 and the flexure 20A with the anisotropic conductive resin 30. At the same time, the signal electrodes 12a to 12d on the magnetic head slider 10 side and the signal electrodes 22a to 22d on the flexure 20A side can be electrically connected. Further, in the magnetic head slider 10, a grounding electrode 13 provided on the opposite side (rear part) of the magnetic head element 11,
It is also possible to connect the ground electrode 23 on the flexure 20A side at the same time, so that the magnetic head element 11 is grounded to prevent electrostatic breakdown.
【００３３】すなわち、本実施の形態では、磁気ヘッド
スライダ１０のフレクシャー２０Ａへの固着工程、並び
に磁気ヘッドスライダ１０側の信号電極１２ａ〜１２ｄ
および接地電極１３とフレクシャー２０Ａ側の信号電極
２２ａ〜２２ｄおよび接地電極２３との電気的接続工程
を、同時に、１の工程で行うことができる。すなわち、
前述した従来の製造工程における（２）および（４）の
工程が不要となり、磁気ヘッド装置１の製造工程の短縮
化を図ることができる。また、異方性導電樹脂３０によ
って電気的接続を行うため、従来のボンディング工程の
ように金（Ａｕ）を使用しなくて済む。従って、製造の
コストダウンも可能となる。しかも、ボンディング工程
が不要であるためフレクシャー２０Ａ等のサスペンショ
ンが変形することがなく、これによって浮上特性の歩留
りが向上する。That is, in the present embodiment, the step of fixing the magnetic head slider 10 to the flexure 20A and the signal electrodes 12a to 12d on the magnetic head slider 10 side.
Also, the process of electrically connecting the ground electrode 13, the signal electrodes 22a to 22d on the side of the flexure 20A, and the ground electrode 23 can be simultaneously performed in one process. That is,
The steps (2) and (4) in the conventional manufacturing process described above are unnecessary, and the manufacturing process of the magnetic head device 1 can be shortened. Moreover, since the electrical connection is made by the anisotropic conductive resin 30, it is not necessary to use gold (Au) as in the conventional bonding process. Therefore, the manufacturing cost can be reduced. Moreover, since the bonding process is unnecessary, the suspension such as the flexure 20A is not deformed, which improves the yield of the floating characteristics.
【００３４】図１０および図１１は、本実施の形態によ
る磁気ヘッド装置１と従来構造の磁気ヘッド装置それぞ
れについて磁気ヘッドスライダの浮上特性を調べた結果
を対比して表したものである。図中、特性Ａは本実施の
形態の装置による結果、特性Ｂは従来例の装置による結
果を示している。なお、図１０は磁気ディスクの測定領
域を内側、中心および外側の３つ領域に分けて、各領域
における浮上量の平均値を求めた結果、また、図１１は
同じく浮上量のばらつき値を求めた結果をそれぞれ表し
たものである。FIGS. 10 and 11 show the results of examining the flying characteristics of the magnetic head slider for the magnetic head device 1 according to the present embodiment and the magnetic head device of the conventional structure, respectively, for comparison. In the figure, characteristic A shows the result of the apparatus of the present embodiment, and characteristic B shows the result of the apparatus of the conventional example. Note that FIG. 10 shows the result of obtaining the average value of the flying height in each region by dividing the measurement area of the magnetic disk into three areas, the inner area, the center, and the outer area, and FIG. The results are shown below.
【００３５】これらの結果によると、浮上量の平均値
（図１０）においては特に大きな差はないが、浮上量の
ばらつき値（図１１）では、各領域において従来品に比
べ本実施の形態の方が小さくなっており、安定した浮上
特性が得られていることが分かる。According to these results, there is no particular difference in the average value of the flying height (FIG. 10), but in the variation value of the flying height (FIG. 11), in each region, in comparison with the conventional product, in the present embodiment. It is smaller, and it can be seen that stable levitation characteristics are obtained.
【００３６】図１２〜図１４は各測定領域での浮上量分
布を比較して表したものである。図１２は磁気ディスク
の内側領域での結果、図１３は同じく中心領域での結
果、また図１４は同じく外側領域での結果をそれぞれ表
している。従来品による特性Ｂは各測定領域を見てもか
なりばらつきがあり、浮上量規格から外れているため歩
留りが低下するのに対して、本実施の形態による特性Ａ
は、各領域においてばらつきが小さく規格内に収まって
いるため、従来品に比べ改善されていることが分かる。FIGS. 12 to 14 show the flying height distributions in each measurement area in comparison. 12 shows the result in the inner area of the magnetic disk, FIG. 13 shows the result in the central area, and FIG. 14 shows the result in the outer area. The characteristic B of the conventional product varies considerably even when viewed in each measurement area, and the yield decreases because it is out of the flying height standard. On the other hand, the characteristic A of the present embodiment
Shows that there is little variation in each region and is within the standard, so it is understood that it is improved compared to the conventional product.
【００３７】このように本実施の形態による磁気ヘッド
装置１では、従来のものに比べて浮上特性が安定してお
り、歩留りが向上する。また、磁気ヘッドスライダ１０
では、接地用電極１３が後部側に設けられ、先端側の磁
気ヘッド素子１１から離れた位置にあるため、静電気が
発生した場合でも磁気ヘッド素子１１に影響を与えるこ
となく、フレクシャー２０Ａ側へ逃がすことができる。As described above, in the magnetic head device 1 according to the present embodiment, the flying characteristics are more stable and the yield is improved as compared with the conventional device. In addition, the magnetic head slider 10
Since the grounding electrode 13 is provided on the rear side and is located away from the magnetic head element 11 on the tip side, even if static electricity is generated, it is released to the flexure 20A side without affecting the magnetic head element 11. be able to.
【００３８】また、本実施の形態では、接着手段として
異方性の導電樹脂を用いるようにしたので、従来の異方
性導電膜（シート）のように予めフィルム状に形成され
たものを用いた場合に仮接着および本接着の２段階の接
着工程が必要であったのに対して、上述のように接着工
程は１回で済み、従って異方性導電シートを用いた場合
に比べてもリードタイムを短縮することができる。Further, in the present embodiment, since the anisotropic conductive resin is used as the adhesion means, the one which is previously formed into a film like the conventional anisotropic conductive film (sheet) is used. In that case, the two-step bonding process of temporary bonding and main bonding was required, but as described above, the bonding process was completed only once, and therefore, compared with the case where the anisotropic conductive sheet was used. Lead time can be shortened.
【００３９】以上実施の形態を挙げて本発明を説明した
が、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく
種々変形可能である。例えば、上記実施の形態において
は、導電性樹脂３０を磁気ヘッドスライダ１０とフレク
シャー２０Ａとの対向面の全面に塗布し、全面で接着固
定させるようにしたが、電極１２ａ〜１２ｄ，２２ａ〜
２２ｄ等の各電極の大きさによっては、電極部分のみに
導電性樹脂３０を塗布することにより十分な強度をもっ
て磁気ヘッドスライダ１０とフレクシャー２０Ａとを接
着させることが可能である。また、スライダ支持体とし
てのサスペンション２０側の構造は上記実施の形態のも
のに限らず、他の構成のものでもよい。Although the present invention has been described with reference to the embodiments, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, but can be variously modified. For example, in the above-described embodiment, the conductive resin 30 is applied to the entire surface of the opposing surface of the magnetic head slider 10 and the flexure 20A, and the entire surface is adhered and fixed, but the electrodes 12a to 12d and 22a to.
Depending on the size of each electrode such as 22d, it is possible to bond the magnetic head slider 10 and the flexure 20A with sufficient strength by applying the conductive resin 30 only to the electrode portion. Further, the structure of the slider 20 on the side of the suspension 20 is not limited to that of the above-described embodiment, but may have another structure.
【００４０】[0040]
【発明の効果】以上説明したように請求項１ないし請求
項９のいずれかに記載の磁気ヘッド装置によれば、異方
性導電樹脂により、磁気ヘッドスライダをスライダ支持
体に固定させると共に、磁気ヘッドスライダの第１の電
極とスライダ支持体の第２の電極とを電気的に接続させ
るようにしたので、磁気ヘッドスライダの浮上特性の歩
留りが向上すると共に、その製造工程が簡略化してリー
ドタイムを短縮することができるという効果を奏する。As described above, according to the magnetic head device of any one of claims 1 to 9, the magnetic head slider is fixed to the slider support by the anisotropic conductive resin, and the magnetic head Since the first electrode of the head slider and the second electrode of the slider support are electrically connected to each other, the yield of the flying characteristics of the magnetic head slider is improved, and the manufacturing process thereof is simplified so that the lead time is shortened. There is an effect that can be shortened.
【００４１】特に、請求項３記載の磁気ヘッド装置によ
れば、第１の電極および第２の電極をそれぞれ複数設け
ると共に、そのうちの少なくとも１組の電極を接地用電
極としたので、磁気ヘッド素子の静電破壊が防止され
る。Particularly, according to the magnetic head device of the third aspect, the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are provided, and at least one of the electrodes is used as a ground electrode. Electrostatic destruction of is prevented.
【００４２】また、請求項１０または請求項１１に記載
の磁気ヘッド装置の製造方法によれば、異方性導電樹脂
を塗布し硬化させることにより、磁気ヘッドスライダを
スライダ支持体に固定すると共に磁気ヘッドスライダの
第１の電極とスライダ支持体の第２の電極とを電気的に
接続させるようにしたので、浮上特性の向上した磁気ヘ
ッド装置を、簡略化された工程で製造することができ、
リードタイムを短縮することができるという効果を奏す
る。According to the tenth or eleventh aspect of the method of manufacturing a magnetic head device of the present invention, the anisotropic conductive resin is applied and cured, so that the magnetic head slider is fixed to the slider support and the magnetic head slider is magnetized. Since the first electrode of the head slider and the second electrode of the slider support are electrically connected, a magnetic head device with improved flying characteristics can be manufactured in a simplified process,
The lead time can be shortened.
【図１】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド装置の
構成を表す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a magnetic head device according to an embodiment of the invention.
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面構成を表す図
である。FIG. 2 is a diagram showing a cross-sectional configuration along line II-II in FIG.
【図３】図１に示した磁気ヘッド装置における磁気ヘッ
ドスライダ側のパターン構成図である。3 is a pattern configuration diagram on a magnetic head slider side in the magnetic head device shown in FIG.
【図４】図１に示した磁気ヘッド装置におけるフレクシ
ャー側のパターン構成図である。FIG. 4 is a pattern configuration diagram on the flexure side in the magnetic head device shown in FIG. 1.
【図５】図１に示した磁気ヘッド装置に用いる異方性導
電樹脂の機能を説明するための断面構成図である。5 is a cross-sectional configuration diagram for explaining a function of an anisotropic conductive resin used in the magnetic head device shown in FIG.
【図６】同じく異方性導電樹脂の機能を説明するための
他の断面構成図である。FIG. 6 is another sectional configuration diagram for similarly explaining the function of the anisotropic conductive resin.
【図７】等方性導電樹脂の機能を説明するための断面構
成図である。FIG. 7 is a cross-sectional configuration diagram for explaining the function of the isotropic conductive resin.
【図８】異方性導電樹脂の膜厚と剥離強度との関係を表
す特性図である。FIG. 8 is a characteristic diagram showing a relationship between a film thickness of anisotropic conductive resin and peel strength.
【図９】異方性導電樹脂の塗布面積と剥離強度との関係
を表す特性図である。FIG. 9 is a characteristic diagram showing the relationship between the application area of anisotropic conductive resin and the peel strength.
【図１０】図１の磁気ヘッド装置における磁気ヘッドス
ライダの浮上量の平均値を従来と比較して表す特性図で
ある。10 is a characteristic diagram showing an average flying height of a magnetic head slider in the magnetic head device of FIG. 1 as compared with a conventional one.
【図１１】図１の磁気ヘッド装置における磁気ヘッドス
ライダの浮上量のばらつき量を従来と比較して表す特性
図である。11 is a characteristic diagram showing a variation amount of the flying height of the magnetic head slider in the magnetic head device of FIG.
【図１２】図１の磁気ヘッド装置における磁気ヘッドス
ライダの浮上量の分布を従来と比較して表す特性図であ
る。FIG. 12 is a characteristic diagram showing the distribution of the flying height of the magnetic head slider in the magnetic head device of FIG.
【図１３】同じく浮上量の分布を従来と比較して表す特
性図である。FIG. 13 is a characteristic diagram similarly showing the distribution of the flying height in comparison with the conventional one.
【図１４】同じく浮上量の分布を従来と比較して表す特
性図である。FIG. 14 is a characteristic diagram similarly showing the distribution of the flying height in comparison with the related art.
【図１５】従来の磁気ヘッド装置の構成を表す斜視図で
ある。FIG. 15 is a perspective view showing a configuration of a conventional magnetic head device.
【図１６】図１５のＸＶ−ＸＶ線に沿った断面構成を表
す図である。16 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration along the line XV-XV in FIG.
１…磁気ヘッド装置、１０…磁気ヘッドスライダ、１１
…磁気ヘッド素子、１２ａ〜１２ｄ…信号電極、１３…
接地用電極、２０…サスペンション（スライダ支持
体）、２０Ａ…フレクシャー、２０Ｂ…ロードビーム、
２２ａ〜２２ｄ…信号電極、２３…接地用電極、３０…
異方性導電樹脂DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic head device, 10 ... Magnetic head slider, 11
... Magnetic head elements, 12a to 12d ... Signal electrodes, 13 ...
Ground electrode, 20 ... Suspension (slider support), 20A ... Flexure, 20B ... Load beam,
22a to 22d ... Signal electrodes, 23 ... Ground electrodes, 30 ...
Anisotropic conductive resin
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−115125（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−111015（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−22518（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−272607（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−287534（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/56 - 5/60 G11B 5/33 - 5/39 G11B 21/16 - 21/26 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (56) References JP-A-9-115125 (JP, A) JP-A-8-111015 (JP, A) JP-A-9-22518 (JP, A) JP-A-4- 272607 (JP, A) JP 8-287534 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 5/56-5/60 G11B 5/33-5/39 G11B 21/16-21/26
Claims (9)
固定してなる磁気ヘッド装置であって、前記磁気ヘッドスライダの、前記スライダ支持体との対
向面に第１の電極が設けられると共に前記対向面とは異
なる面に磁気ヘッド素子が設けられてなり、かつ、前記
スライダ支持体の磁気ヘッドスライダとの対向面に第２
の電極が設けられており、これら第１の電極と第２の電
極とが異方性導電樹脂により電気的に接続されている こ
とを特徴とする磁気ヘッド装置。1. A magnetic head slider as a slider support.
A fixed magnetic head device comprising a pair of the magnetic head slider and the slider support.
The first electrode is provided on the facing surface and is different from the facing surface.
A magnetic head element is provided on the surface
The second surface is provided on the surface of the slider support facing the magnetic head slider.
Of the first electrode and the second electrode.
A magnetic head device characterized in that the poles are electrically connected by an anisotropic conductive resin .
支持体の複数の電極のうちの対向する少なくとも１組の
電極が接地用電極であることを特徴とする請求項１記載
の磁気ヘッド装置。2. A magnetic head device according to claim 1, wherein the at least one pair of electrodes opposing one of the plurality of electrodes of the magnetic head slider and the slider supporting member is characterized in that it is a ground electrode.
ヘッド素子が一方の端部位置に設けられると共に接地用
電極が他方の端部位置に設けられたことを特徴とする請
求項２記載の磁気ヘッド装置。3. The magnetic head device according to claim 2, wherein in the magnetic head slider, the magnetic head element is provided at one end position and the grounding electrode is provided at the other end position. .
ッド素子であることを特徴とする請求項１ないし３のい
ずれか１に記載の磁気ヘッド装置。4. A magnetic head device according to any one of the claims 1, wherein the magnetic head element is a magnetoresistive head element 3.
性充填剤を含むものであることを特徴とする請求項１な
いし４のいずれか１に記載の磁気ヘッド装置。Wherein said anisotropic conductive resin, the magnetic head device according to any one of claims 1 a <br/> stone 4, characterized in that those comprising a conductive filler to the adhesive layer.
性樹脂であることを特徴とする請求項１ないし５のいず
れか１に記載の磁気ヘッド装置。6. The magnetic head device according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the adhesive layer of the anisotropic conductive resin is a thermosetting resin.
ことを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッド装置。7. The magnetic head device according to claim 6, wherein the thermosetting resin is an acrylic resin.
徴とする請求項５または６記載の磁気ヘッド装置。8. The magnetic head device according to claim 5, wherein the conductive filler is silver powder.
体を含み、前記磁気ヘッドスライダの、前記スライダ支
持体との対向面に第１の電極を有すると共に前記対向面
とは異なる面に磁気ヘッド素子を有し、かつ、前記スラ
イダ支持体の 磁気ヘッドスライダとの対向面に第２の電
極を有する磁気ヘッド装置の製造方法であって、 前記磁気ヘッドスライダの前記スライダ支持体との対向
面あるいは前記スライダ支持体の前記磁気ヘッドスライ
ダとの対向面の少なくともいずれか一方に異方性導電樹
脂を塗布した後、前記スライダ支持体上に前記磁気ヘッ
ドスライダを載置する工程と、 前記異方性導電樹脂を硬化させることにより、前記磁気
ヘッドスライダを前記スライダ支持体に固定すると共に
前記磁気ヘッドスライダの第１の電極と前記スライダ支
持体の第２の電極とを電気的に接続させる工程とを含む
ことを特徴とする磁気ヘッド装置の製造方法。9. A magnetic head slider and slider support.
A slider support of the magnetic head slider including a body.
A first electrode is provided on a surface facing the holding body, and the facing surface is provided.
Has a magnetic head element on a surface different from that of
The second electrode is provided on the surface of the lid support facing the magnetic head slider.
A method of manufacturing a magnetic head device having a pole, the magnetic head sliding in the opposite surface or the slider support with the slider support of the magnetic head slider
After applying an anisotropic conductive resin on at least one of the surfaces facing the da, and placing the magnetic head slider on the slider support, by curing the anisotropic conductive resin, with fixing the magnetic head slider on the slider support
Method of manufacturing a magnetic head apparatus which comprises a step of electrically connecting the second electrode of the first electrode and the slider supporting member of the magnetic head slider.
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