JP3458003B2 - 走査型レーザ顕微鏡 - Google Patents
走査型レーザ顕微鏡Info
- Publication number
- JP3458003B2 JP3458003B2 JP15637894A JP15637894A JP3458003B2 JP 3458003 B2 JP3458003 B2 JP 3458003B2 JP 15637894 A JP15637894 A JP 15637894A JP 15637894 A JP15637894 A JP 15637894A JP 3458003 B2 JP3458003 B2 JP 3458003B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- objective lens
- image
- laser microscope
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、走査型レーザ顕微
鏡、特にステージの移動を伴うことなく広視野の観察を
可能とする走査型レーザ顕微鏡に関する。
鏡、特にステージの移動を伴うことなく広視野の観察を
可能とする走査型レーザ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ光を微小な光点に集束さ
せ、その光点を試料上において２次元的に走査させて、
試料を透過した光あるいは反射した光を検出器で検出し
て、試料の顕微鏡像に対応した画像信号を得るようにし
た走査型レーザ顕微鏡が知られている。
せ、その光点を試料上において２次元的に走査させて、
試料を透過した光あるいは反射した光を検出器で検出し
て、試料の顕微鏡像に対応した画像信号を得るようにし
た走査型レーザ顕微鏡が知られている。
【０００３】かかる走査型レーザ顕微鏡においては、ｘ
又はｙ方向に走査領域の中心を移動させて広視野の観察
を行うようにしているが、ｘ又はｙ方向に走査領域の中
心を移動させた時、移動後の走査範囲が対物レンズの視
野外になる場合には、ステージを移動させることによっ
て、所望の領域を対物レンズの視野内に移動させて、観
測を行うようにしている。このように、ステージを移動
させて広視野の観測を可能にした走査型顕微鏡として
は、例えば特開平３−２０９４１５号公報に開示された
ものがあり、この公報開示のものは、試料を移動させて
隣接する複数領域の画像信号を得て観察領域を広げるよ
うにしたものである。
又はｙ方向に走査領域の中心を移動させて広視野の観察
を行うようにしているが、ｘ又はｙ方向に走査領域の中
心を移動させた時、移動後の走査範囲が対物レンズの視
野外になる場合には、ステージを移動させることによっ
て、所望の領域を対物レンズの視野内に移動させて、観
測を行うようにしている。このように、ステージを移動
させて広視野の観測を可能にした走査型顕微鏡として
は、例えば特開平３−２０９４１５号公報に開示された
ものがあり、この公報開示のものは、試料を移動させて
隣接する複数領域の画像信号を得て観察領域を広げるよ
うにしたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ステージを
移動させて所望領域を観察する従来の方法を用いると、
観察試料が生物細胞等の場合には、溶液中に細胞を配置
して観察することが多く、試料の作成の状態及び溶液の
種類等により、ステージの移動の影響を受け、観察時に
試料へのダンピングが生じ、ノイズのある画像が観察さ
れるという問題点がある。
移動させて所望領域を観察する従来の方法を用いると、
観察試料が生物細胞等の場合には、溶液中に細胞を配置
して観察することが多く、試料の作成の状態及び溶液の
種類等により、ステージの移動の影響を受け、観察時に
試料へのダンピングが生じ、ノイズのある画像が観察さ
れるという問題点がある。
【０００５】本発明は、上記問題点を解消するためにな
されたもので、ｘ又はｙ方向に走査の中心を移動させて
所望の領域を走査したときに走査範囲が対物レンズの視
野外になっても、ステージを移動させることなく広範囲
の領域の観察を行なうことができる走査型レーザ顕微鏡
を提供することを目的とする。
されたもので、ｘ又はｙ方向に走査の中心を移動させて
所望の領域を走査したときに走査範囲が対物レンズの視
野外になっても、ステージを移動させることなく広範囲
の領域の観察を行なうことができる走査型レーザ顕微鏡
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び作用】上記問題点を解
決するため、本発明の走査型レーザ顕微鏡は、レーザ光
を試料上の一領域においてｘｙ方向に２次元的に走査さ
せて顕微鏡像に対応する画像信号を得たのち、ｘ又はｙ
方向に走査の中心を移動させて他の領域の顕微鏡像に対
応する画像信号を得るようにした走査型レーザ顕微鏡に
おいて、ｘ又はｙ方向に走査の中心を移動させて所望領
域を走査したとき走査範囲が対物レンズの視野外になる
場合に低倍の対物レンズに切替える対物レンズ切替手段
と、対物レンズの切替えに応じて走査範囲を補正するた
めの走査系ズーム倍率補正手段とを備えていることを特
徴とする。さらに、前記走査型レーザ顕微鏡は、対物レ
ンズ切替手段による対物レンズの切替えに応じて走査系
の走査の中心を補正する手段を備えていることが好まし
い。 また、本発明の走査型レーザ顕微鏡は、レーザ光を
試料上の一領域においてｘｙ方向に２次元的に走査させ
て画像信号を得るようにした走査型レーザ顕微鏡におい
て、レボルバに取付けられた各対物レンズ毎に軸の中心
位置ずれ量を記憶させておき、対物レンズを交換した時
に前記軸の中心位置ずれ量を基に画像取得位置を補正す
る補正手段を備えていることを特徴とする。
決するため、本発明の走査型レーザ顕微鏡は、レーザ光
を試料上の一領域においてｘｙ方向に２次元的に走査さ
せて顕微鏡像に対応する画像信号を得たのち、ｘ又はｙ
方向に走査の中心を移動させて他の領域の顕微鏡像に対
応する画像信号を得るようにした走査型レーザ顕微鏡に
おいて、ｘ又はｙ方向に走査の中心を移動させて所望領
域を走査したとき走査範囲が対物レンズの視野外になる
場合に低倍の対物レンズに切替える対物レンズ切替手段
と、対物レンズの切替えに応じて走査範囲を補正するた
めの走査系ズーム倍率補正手段とを備えていることを特
徴とする。さらに、前記走査型レーザ顕微鏡は、対物レ
ンズ切替手段による対物レンズの切替えに応じて走査系
の走査の中心を補正する手段を備えていることが好まし
い。 また、本発明の走査型レーザ顕微鏡は、レーザ光を
試料上の一領域においてｘｙ方向に２次元的に走査させ
て画像信号を得るようにした走査型レーザ顕微鏡におい
て、レボルバに取付けられた各対物レンズ毎に軸の中心
位置ずれ量を記憶させておき、対物レンズを交換した時
に前記軸の中心位置ずれ量を基に画像取得位置を補正す
る補正手段を備えていることを特徴とする。
【０００７】このように構成した走査型レーザ顕微鏡に
おいては、ｘ又はｙ方向に走査の中心を移動させて所望
領域を走査したときに走査範囲が対物レンズの視野外に
なった場合、自動的に対物レンズを低倍のものに切り換
えて走査範囲を対物レンズの視野内に取り込むことで、
走査領域が試料上において対物レンズの切り換え前と同
じサイズになるようにされる。これにより、ステージを
移動させることなく、連続的にあるいは任意の広範囲の
領域の観察が可能となる。
おいては、ｘ又はｙ方向に走査の中心を移動させて所望
領域を走査したときに走査範囲が対物レンズの視野外に
なった場合、自動的に対物レンズを低倍のものに切り換
えて走査範囲を対物レンズの視野内に取り込むことで、
走査領域が試料上において対物レンズの切り換え前と同
じサイズになるようにされる。これにより、ステージを
移動させることなく、連続的にあるいは任意の広範囲の
領域の観察が可能となる。
【０００８】
【実施例】次に実施例について説明する。図１は本発明
に係る走査型レーザ顕微鏡の実施例を示すブロック構成
図である。図１においては、１はレーザ光を試料上にお
いて２次元的に走査させるための走査ユニット、２はコ
ントローラで、走査パネル３からの指令により画像の入
力開始信号を送出し、走査ユニット１を駆動してレーザ
ビームを走査させ、またレーザビームの走査と同時に画
像メモリ４に画像データを転送させる機能を備えてい
る。５は画像モニタで、画像メモリ４から読み出された
画像データに基づく観察像を表示するものである。７は
倍率の異なる複数の対物レンズを保持したレボルバで、
コントローラ２からの制御信号で制御されるレボルバ駆
動回路６により駆動されるようになっている。なお、コ
ントローラ２は、各対物レンズ毎に走査系のズーム倍率
に応じた走査範囲を算出し記憶する手段を備えていて、
走査ユニット１による走査範囲が、その時にセットされ
ている対物レンズの視野外になる場合には、レボルバ駆
動回路６へ自動的に対物レンズを交換させるための制御
信号を送出するようになっている。
に係る走査型レーザ顕微鏡の実施例を示すブロック構成
図である。図１においては、１はレーザ光を試料上にお
いて２次元的に走査させるための走査ユニット、２はコ
ントローラで、走査パネル３からの指令により画像の入
力開始信号を送出し、走査ユニット１を駆動してレーザ
ビームを走査させ、またレーザビームの走査と同時に画
像メモリ４に画像データを転送させる機能を備えてい
る。５は画像モニタで、画像メモリ４から読み出された
画像データに基づく観察像を表示するものである。７は
倍率の異なる複数の対物レンズを保持したレボルバで、
コントローラ２からの制御信号で制御されるレボルバ駆
動回路６により駆動されるようになっている。なお、コ
ントローラ２は、各対物レンズ毎に走査系のズーム倍率
に応じた走査範囲を算出し記憶する手段を備えていて、
走査ユニット１による走査範囲が、その時にセットされ
ている対物レンズの視野外になる場合には、レボルバ駆
動回路６へ自動的に対物レンズを交換させるための制御
信号を送出するようになっている。
【０００９】次に、このように構成されている走査型レ
ーザ顕微鏡の動作を、図２に示すフローチャートを参照
しながら説明する。まず処理開始ステップ11において、
コントローラ２から走査ユニット１に対して１画面の画
像入力信号を送出する。これにより走査ユニット１は１
画面のｘｙ方向の２次元走査を行い、１画面の走査を終
了すると、走査終了信号をコントローラ２に送出する。
複数の画面を連続してｘｙ２次元走査を行うときは、ス
テップ12において、走査終了信号を受けた後にコントロ
ーラ２は、次の１画面の画像データの取り込みのための
走査範囲を求め、ステップ13において、その走査範囲の
値と、その時用いている対物レンズの視野の範囲を比較
する。そしてその比較結果、次の走査範囲が対物レンズ
の視野内に入っている場合には、次の走査範囲の走査開
始位置を設定し、ルート（ａ）を通ってステップ16で次
の走査を実行し、ステップ17で処理を終了する。
ーザ顕微鏡の動作を、図２に示すフローチャートを参照
しながら説明する。まず処理開始ステップ11において、
コントローラ２から走査ユニット１に対して１画面の画
像入力信号を送出する。これにより走査ユニット１は１
画面のｘｙ方向の２次元走査を行い、１画面の走査を終
了すると、走査終了信号をコントローラ２に送出する。
複数の画面を連続してｘｙ２次元走査を行うときは、ス
テップ12において、走査終了信号を受けた後にコントロ
ーラ２は、次の１画面の画像データの取り込みのための
走査範囲を求め、ステップ13において、その走査範囲の
値と、その時用いている対物レンズの視野の範囲を比較
する。そしてその比較結果、次の走査範囲が対物レンズ
の視野内に入っている場合には、次の走査範囲の走査開
始位置を設定し、ルート（ａ）を通ってステップ16で次
の走査を実行し、ステップ17で処理を終了する。
【００１０】一方、前記ステップ13において、次の走査
範囲が対物レンズの視野外にはみ出している場合には、
ルート（ｂ）を通ってステップ14において、対物レンズ
を低倍のものに切り替えるために、レボルバ駆動回路６
にコントローラ２から制御信号を送出し、対物レンズレ
ボルバ７を駆動し低倍の対物レンズに切り替える。更
に、ステップ16に示すように、対物レンズの切り替えに
伴って、試料上の走査領域を対物レンズの切り換え前と
同一サイズにするために走査系のズーム倍率を上げると
共に、走査開始位置を算出し設定した後に、ステップ16
に示すように次の走査を実行する。
範囲が対物レンズの視野外にはみ出している場合には、
ルート（ｂ）を通ってステップ14において、対物レンズ
を低倍のものに切り替えるために、レボルバ駆動回路６
にコントローラ２から制御信号を送出し、対物レンズレ
ボルバ７を駆動し低倍の対物レンズに切り替える。更
に、ステップ16に示すように、対物レンズの切り替えに
伴って、試料上の走査領域を対物レンズの切り換え前と
同一サイズにするために走査系のズーム倍率を上げると
共に、走査開始位置を算出し設定した後に、ステップ16
に示すように次の走査を実行する。
【００１１】次に、更に具体的な動作例について説明す
る。具体例として、20倍の対物レンズを用いて、走査ズ
ーム倍率４倍でｘｙ走査を行い、走査領域を各走査終了
毎に横方向に移動させながら観察する場合を示す。図３
において、実線で囲んだ領域21は、20倍の対物レンズに
おける視野範囲（走査ズーム倍率１倍）を示し、点線で
囲んだ各領域，，は走査ズーム倍率を４倍とした
場合の走査範囲を示している。図３に示すように、対物
レンズの視野範囲の中心に第１の走査領域を設定し、
第２，第３の走査領域，を右方向へ順次移動させて
行くものとする。第１の走査領域の走査が終了した後
に、次の走査開始位置を求めると共に、第２の走査領域
の走査範囲が対物レンズの視野範囲内か否かのチェッ
クを行う。すなわち、この場合は、まず視野範囲の中心
に設定した第１の走査領域の走査開始位置から走査領
域の横方向の大きさ分だけシフトさせた位置を、第２の
走査領域の走査開始位置とする。この際、その走査開
始位置から第２の走査を行っても、20倍の対物レンズの
視野範囲から、はみ出すことはないことを確認してお
く。
る。具体例として、20倍の対物レンズを用いて、走査ズ
ーム倍率４倍でｘｙ走査を行い、走査領域を各走査終了
毎に横方向に移動させながら観察する場合を示す。図３
において、実線で囲んだ領域21は、20倍の対物レンズに
おける視野範囲（走査ズーム倍率１倍）を示し、点線で
囲んだ各領域，，は走査ズーム倍率を４倍とした
場合の走査範囲を示している。図３に示すように、対物
レンズの視野範囲の中心に第１の走査領域を設定し、
第２，第３の走査領域，を右方向へ順次移動させて
行くものとする。第１の走査領域の走査が終了した後
に、次の走査開始位置を求めると共に、第２の走査領域
の走査範囲が対物レンズの視野範囲内か否かのチェッ
クを行う。すなわち、この場合は、まず視野範囲の中心
に設定した第１の走査領域の走査開始位置から走査領
域の横方向の大きさ分だけシフトさせた位置を、第２の
走査領域の走査開始位置とする。この際、その走査開
始位置から第２の走査を行っても、20倍の対物レンズの
視野範囲から、はみ出すことはないことを確認してお
く。
【００１２】第２の走査領域の走査が終了した後に、
同様にして次の走査開始位置を求めると共に、第３の走
査領域の走査範囲が対物レンズの視野範囲内か否かの
チェックを行う。図３に示した例では、３回目の走査範
囲、すなわち第３の走査領域の走査範囲は、20倍の対
物レンズの視野範囲から、はみ出すようになっている。
このように走査範囲が視野範囲からはみ出す場合は、従
来はステージを移動させ、その走査範囲を視野の中に入
れるような操作を行っていたが、本発明においては、こ
の時点で次のような処理動作が行われる。
同様にして次の走査開始位置を求めると共に、第３の走
査領域の走査範囲が対物レンズの視野範囲内か否かの
チェックを行う。図３に示した例では、３回目の走査範
囲、すなわち第３の走査領域の走査範囲は、20倍の対
物レンズの視野範囲から、はみ出すようになっている。
このように走査範囲が視野範囲からはみ出す場合は、従
来はステージを移動させ、その走査範囲を視野の中に入
れるような操作を行っていたが、本発明においては、こ
の時点で次のような処理動作が行われる。
【００１３】まず第１に、コントローラ２からの制御信
号によりレボルバ駆動回路６を介して対物レンズレボル
バ７が駆動され、10倍の対物レンズに自動的に切り替え
られる。これにより、20倍の対物レンズの視野外にあた
る領域に対する走査を可能にする。次に、走査系のズー
ム倍率を８倍にする。これは、それまでの20倍の対物レ
ンズでの走査領域と、10倍の対物レンズに切り換えて行
う走査での走査領域とが、同じサイズとなるようにする
ためである。次いで、走査の開始位置を求めて、その開
始位置から次の走査を行うようにする。
号によりレボルバ駆動回路６を介して対物レンズレボル
バ７が駆動され、10倍の対物レンズに自動的に切り替え
られる。これにより、20倍の対物レンズの視野外にあた
る領域に対する走査を可能にする。次に、走査系のズー
ム倍率を８倍にする。これは、それまでの20倍の対物レ
ンズでの走査領域と、10倍の対物レンズに切り換えて行
う走査での走査領域とが、同じサイズとなるようにする
ためである。次いで、走査の開始位置を求めて、その開
始位置から次の走査を行うようにする。
【００１４】対物レンズの交換に際して、理想的な場合
には、対物レンズの交換を行っても、各対物レンズ間の
軸の中心位置が合っているので、視野の中心からの縦及
び横方向のオフセット量は、対物レンズの交換による影
響を受けず一定である。したがって走査領域の大きさ分
だけ走査開始位置をシフトさせるだけでよい。しかしな
がら一般的には、レボルバで対物レンズを交換したとき
には、対物レンズ間で軸の中心位置にずれが生じるた
め、このずれ分の補正を行う必要がある。この補正を行
うに際しては、予め対物レンズ間毎に計測を行ってお
き、その数値を記憶させておいて、その記憶されている
数値に基づいて補正量を設定するようにしておくものと
する。したがって、対物レンズ間での軸の中心位置のず
れに基づく補正を考慮した場合、連続した次の走査領域
の走査開始位置は、（走査領域の大きさ＋補正量）分だ
けシフトさせた位置に設定されることになる。このよう
にして次の走査の走査開始位置を設定した後、次の走査
を行う。
には、対物レンズの交換を行っても、各対物レンズ間の
軸の中心位置が合っているので、視野の中心からの縦及
び横方向のオフセット量は、対物レンズの交換による影
響を受けず一定である。したがって走査領域の大きさ分
だけ走査開始位置をシフトさせるだけでよい。しかしな
がら一般的には、レボルバで対物レンズを交換したとき
には、対物レンズ間で軸の中心位置にずれが生じるた
め、このずれ分の補正を行う必要がある。この補正を行
うに際しては、予め対物レンズ間毎に計測を行ってお
き、その数値を記憶させておいて、その記憶されている
数値に基づいて補正量を設定するようにしておくものと
する。したがって、対物レンズ間での軸の中心位置のず
れに基づく補正を考慮した場合、連続した次の走査領域
の走査開始位置は、（走査領域の大きさ＋補正量）分だ
けシフトさせた位置に設定されることになる。このよう
にして次の走査の走査開始位置を設定した後、次の走査
を行う。
【００１５】次に、更に詳細に対物レンズ間での軸の中
心位置のずれを考慮した走査開始位置の補正について説
明する。図４は、20倍の対物レンズと10倍の対物レンズ
での軸の中心位置のずれの一例を示す図である。図４に
おいて、実線31が20倍の対物レンズの視野範囲で、点線
32が10倍の対物レンズの視野範囲であり、それぞれの中
心軸を併せて示している。この図４からわかるように、
対物レンズを20倍のものから10倍のものに切り替えた場
合、横方向にＸs ，縦方向にＹs の補正が必要となる。
この補正量を実際に求めるためには、予め形状のわかっ
ているサンプルを用いて対物レンズ毎に画像を取り込
み、それらを比較することによって、対物レンズ間でど
の程度画像がずれているかを調べればよい。
心位置のずれを考慮した走査開始位置の補正について説
明する。図４は、20倍の対物レンズと10倍の対物レンズ
での軸の中心位置のずれの一例を示す図である。図４に
おいて、実線31が20倍の対物レンズの視野範囲で、点線
32が10倍の対物レンズの視野範囲であり、それぞれの中
心軸を併せて示している。この図４からわかるように、
対物レンズを20倍のものから10倍のものに切り替えた場
合、横方向にＸs ，縦方向にＹs の補正が必要となる。
この補正量を実際に求めるためには、予め形状のわかっ
ているサンプルを用いて対物レンズ毎に画像を取り込
み、それらを比較することによって、対物レンズ間でど
の程度画像がずれているかを調べればよい。
【００１６】次に、具体的な対物レンズ間でのずれを考
慮した走査開始位置の設定について説明する。次回に走
査を行う走査領域が対物レンズの視野範囲内にあり、し
たがって走査開始位置の変更が対物レンズの交換なしで
行える場合には、対物レンズの倍率を20倍、走査ズーム
倍率を４倍とすると、連続した次の走査領域の走査開始
位置の座標ＸＹは、次のように表される。 Ｘ＝Ｘ0 ＋Ｘ20／４ Ｙ＝Ｙ0
慮した走査開始位置の設定について説明する。次回に走
査を行う走査領域が対物レンズの視野範囲内にあり、し
たがって走査開始位置の変更が対物レンズの交換なしで
行える場合には、対物レンズの倍率を20倍、走査ズーム
倍率を４倍とすると、連続した次の走査領域の走査開始
位置の座標ＸＹは、次のように表される。 Ｘ＝Ｘ0 ＋Ｘ20／４ Ｙ＝Ｙ0
【００１７】一方、走査開始位置の変更が対物レンズの
交換を必要とし、対物レンズの倍率を10倍、走査ズーム
倍率を８倍とした場合は、次回の走査開始位置の座標
Ｘ′Ｙ′は、次のように表される。 Ｘ′＝Ｘ0 ＋Ｘ10／８＋Ｘs Ｙ′＝Ｙ0 ＋Ｙs ここで、Ｘ0 ，Ｙ0 は変更前の現時点の走査開始位置の
座標、Ｘ20は20倍の対物レンズを用いた場合における横
方向の最大走査範囲（走査ズーム倍率１倍で走査できる
範囲）、Ｘ10は同じく10倍の対物レンズを用いた場合に
おける横方向の最大走査範囲、Ｘs ，Ｙs は20倍と10倍
の対物レンズ間の横方向及び縦方向の軸のずれの補正量
である。
交換を必要とし、対物レンズの倍率を10倍、走査ズーム
倍率を８倍とした場合は、次回の走査開始位置の座標
Ｘ′Ｙ′は、次のように表される。 Ｘ′＝Ｘ0 ＋Ｘ10／８＋Ｘs Ｙ′＝Ｙ0 ＋Ｙs ここで、Ｘ0 ，Ｙ0 は変更前の現時点の走査開始位置の
座標、Ｘ20は20倍の対物レンズを用いた場合における横
方向の最大走査範囲（走査ズーム倍率１倍で走査できる
範囲）、Ｘ10は同じく10倍の対物レンズを用いた場合に
おける横方向の最大走査範囲、Ｘs ，Ｙs は20倍と10倍
の対物レンズ間の横方向及び縦方向の軸のずれの補正量
である。
【００１８】図３においては、走査領域すなわち走査開
始位置を各走査毎に横方向へ順次移動させて行く場合を
例示したが、同様に、縦方向、あるいは縦横両方向に同
時に移動させて行く場合にも、本発明を適用することが
でき、有用である。
始位置を各走査毎に横方向へ順次移動させて行く場合を
例示したが、同様に、縦方向、あるいは縦横両方向に同
時に移動させて行く場合にも、本発明を適用することが
でき、有用である。
【００１９】また、図３においては、走査領域を連続的
に移動させるようにした場合を示したが、次に連続しな
い任意の位置に走査領域を移動させる場合を、図５に基
づいて説明する。例えば、20倍の対物レンズを用いて走
査ズーム倍率１倍で走査を行い、画像を取り込んだと
し、次にこの画像の中で任意の領域に着目し、その着目
領域のみを更に詳細に観察する場合を想定する。図５に
おいて、点線41は20倍の対物レンズを用い走査ズーム倍
率１倍で走査を行って取り込んだ画像を示している。次
に図５において、画像41の中心部よりややずれた位置に
ある画像部分ａについて更に詳細に観察を行いたい場合
には、走査の中心位置をＸ１，Ｙ１だけ移動させ、走査
ズーム倍率を２倍にして走査範囲42の走査を行えばよ
い。また図５において、画像41の端部にある画像部分ｂ
について更に詳細に観察を行いたい場合に、走査の中心
位置をＸ２，Ｙ２だけ移動させ、走査ズーム倍率を２倍
にして走査を開始すると、走査範囲43は20倍の対物レン
ズの視野（画像41の領域）から、はみ出してしまう。こ
のため対物レンズを10倍のものに切り替えると共に、走
査中心位置を、20倍の対物レンズと10倍の対物レンズで
の軸ずれの補正量Ｘs ，Ｙs を考慮して、Ｘ２＋Ｘs ，
Ｙ２＋Ｙs に移動させ、ズーム倍率を４倍にして走査を
行うことによって、目的の画像部分ｂの詳細な観察が可
能となる。
に移動させるようにした場合を示したが、次に連続しな
い任意の位置に走査領域を移動させる場合を、図５に基
づいて説明する。例えば、20倍の対物レンズを用いて走
査ズーム倍率１倍で走査を行い、画像を取り込んだと
し、次にこの画像の中で任意の領域に着目し、その着目
領域のみを更に詳細に観察する場合を想定する。図５に
おいて、点線41は20倍の対物レンズを用い走査ズーム倍
率１倍で走査を行って取り込んだ画像を示している。次
に図５において、画像41の中心部よりややずれた位置に
ある画像部分ａについて更に詳細に観察を行いたい場合
には、走査の中心位置をＸ１，Ｙ１だけ移動させ、走査
ズーム倍率を２倍にして走査範囲42の走査を行えばよ
い。また図５において、画像41の端部にある画像部分ｂ
について更に詳細に観察を行いたい場合に、走査の中心
位置をＸ２，Ｙ２だけ移動させ、走査ズーム倍率を２倍
にして走査を開始すると、走査範囲43は20倍の対物レン
ズの視野（画像41の領域）から、はみ出してしまう。こ
のため対物レンズを10倍のものに切り替えると共に、走
査中心位置を、20倍の対物レンズと10倍の対物レンズで
の軸ずれの補正量Ｘs ，Ｙs を考慮して、Ｘ２＋Ｘs ，
Ｙ２＋Ｙs に移動させ、ズーム倍率を４倍にして走査を
行うことによって、目的の画像部分ｂの詳細な観察が可
能となる。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ｘ又はｙ
方向に走査の中心を移動させて所望の領域を走査したと
きに走査範囲が対物レンズの視野外になっても、ステー
ジを移動させることなく広範囲の領域の観察を行なうこ
とができる。
方向に走査の中心を移動させて所望の領域を走査したと
きに走査範囲が対物レンズの視野外になっても、ステー
ジを移動させることなく広範囲の領域の観察を行なうこ
とができる。
【図１】本発明に係る走査型レーザ顕微鏡の実施例を示
すブロック構成図である。
すブロック構成図である。
【図２】図１に示した実施例の動作を説明するためのフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図３】図１に示した実施例の具体的な動作を説明する
ための説明図である。
ための説明図である。
【図４】対物レンズ間での軸ずれを考慮した走査開始位
置の補正を説明するための説明図である。
置の補正を説明するための説明図である。
【図５】走査位置を任意の位置に移動させて走査を行わ
せる場合の態様を示す説明図である。
せる場合の態様を示す説明図である。
１ 走査ユニット
２ コントローラ
３ 操作パネル
４ 画像メモリ
５ 画像モニタ
６ レボルバ駆動回路
７ 対物レンズレボルバ
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ光を試料上の一領域においてｘｙ
方向に２次元的に走査させて顕微鏡像に対応する画像信
号を得た後、ｘ又はｙ方向に走査の中心を移動させて他
の領域の顕微鏡像に対応する画像信号を得るようにした
走査型レーザ顕微鏡において、 ｘ又はｙ方向に走査の中心を移動させて所望領域を走査
したとき走査範囲が対物レンズの視野外になる場合に低
倍の対物レンズに切替える対物レンズ切替手段と、 対物レンズの切替えに応じて走査範囲を補正するための
走査系ズーム倍率補正手段と、 を備えていることを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。 - 【請求項２】 前記走査型レーザ顕微鏡は、 前記対物レンズ切替手段による対物レンズの切替えに応
じて走査系の走査の中心を補正する手段をさらに備えて
いることを特徴とする請求項１記載の走査型レーザ顕微
鏡。 - 【請求項３】 レーザ光を試料上の一領域においてｘｙ
方向に２次元的に走査させて画像信号を得るようにした
走査型レーザ顕微鏡において、 レボルバに取付けられた各対物レンズ毎に軸の中心位置
ずれ量を記憶させておき、対物レンズを交換した時に前
記軸の中心位置ずれ量を基に画像取得位置を補正する補
正手段を備えていることを特徴とする走査型レーザ顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15637894A JP3458003B2 (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | 走査型レーザ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15637894A JP3458003B2 (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | 走査型レーザ顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085928A JPH085928A (ja) | 1996-01-12 |
| JP3458003B2 true JP3458003B2 (ja) | 2003-10-20 |
Family
ID=15626447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15637894A Expired - Lifetime JP3458003B2 (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | 走査型レーザ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3458003B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006123641A1 (ja) | 2005-05-16 | 2006-11-23 | Olympus Corporation | 走査型観察装置 |
-
1994
- 1994-06-16 JP JP15637894A patent/JP3458003B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006123641A1 (ja) | 2005-05-16 | 2006-11-23 | Olympus Corporation | 走査型観察装置 |
| US7804642B2 (en) | 2005-05-16 | 2010-09-28 | Olympus Corporation | Scanning examination apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH085928A (ja) | 1996-01-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1830217B1 (en) | Image acquiring apparatus, image acquiring method, and image acquiring program | |
| EP1830216B1 (en) | Image acquiring apparatus, image acquiring method, and image acquiring program | |
| JP2925647B2 (ja) | 顕微鏡変倍装置 | |
| US7253946B2 (en) | Microscope with extended field of vision | |
| JPS6394544A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP3458003B2 (ja) | 走査型レーザ顕微鏡 | |
| US6795240B2 (en) | Microscope system | |
| JPH09218355A (ja) | 走査型レーザ顕微鏡 | |
| JP5730696B2 (ja) | 画像処理装置および画像表示システム | |
| JP5856824B2 (ja) | 光走査装置および走査型顕微鏡装置 | |
| JP4245869B2 (ja) | 走査画像の補正方法、そのプログラム、及びレーザ走査型顕微鏡 | |
| JP4563643B2 (ja) | 顕微鏡用焦点検出装置およびそれを備えた顕微鏡 | |
| JP2005148584A (ja) | 共焦点レーザ顕微鏡 | |
| JP3955115B2 (ja) | 共焦点型顕微鏡の合焦装置及びその合焦方法 | |
| JPH0756787B2 (ja) | 走査電子顕微鏡の自動焦点制御装置 | |
| US11635582B2 (en) | Microscope apparatus and program | |
| JP2004170573A (ja) | カラー共焦点顕微鏡システムとその調整に使用される二次元テストパターン | |
| JPH10161038A (ja) | 顕微鏡 | |
| JP2001154104A (ja) | 顕微鏡装置 | |
| WO2019093186A1 (ja) | 顕微鏡装置及びプログラム | |
| JP4822920B2 (ja) | ３次元像構築方法および透過電子顕微鏡 | |
| JP2002090633A (ja) | 顕微鏡 | |
| JPH04341740A (ja) | 自動傾斜補正装置 | |
| JPH0843040A (ja) | 共焦点走査型光学顕微鏡による測定方法 | |
| JPS58154153A (ja) | 荷電粒子線装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030715 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080801 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090801 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100801 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100801 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120801 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130801 Year of fee payment: 10 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |