JP3442804B2 - Surface acoustic wave device - Google Patents

Surface acoustic wave device

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JP3442804B2
JP3442804B2 JP35779892A JP35779892A JP3442804B2 JP 3442804 B2 JP3442804 B2 JP 3442804B2 JP 35779892 A JP35779892 A JP 35779892A JP 35779892 A JP35779892 A JP 35779892A JP 3442804 B2 JP3442804 B2 JP 3442804B2
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宏司 森島
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、電気信号の直達波を
充分抑制することができる表面弾性波素子に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave device capable of sufficiently suppressing direct waves of electric signals.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7は例えば特開平3−220911号
公報に示された従来の表面弾性波素子を示す平面図であ
り、図において、1は表面弾性波チップ(以下、単にチ
ップと略称する)、2はパッケージであり、このチップ
1はパッケージ2の載置面2a中央部に載置されてい
る。また、3は入力信号端子、4は出力信号端子であ
り、5aは入力側接地端子、5bはチップ1を載置する
載置面2a上に設けられ入力側接地端子5aに接続され
た第1メタライズ部、6aは出力側接地端子、6bは前
記載置面2a上に設けられ出力側接地端子6aに接続さ
れた第2メタライズ部である。
2. Description of the Related Art FIG. 7 is a plan view showing a conventional surface acoustic wave device disclosed in, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 3-220911, in which 1 is a surface acoustic wave chip (hereinafter simply referred to as a chip). ) 2 is a package, and the chip 1 is mounted on the center of the mounting surface 2a of the package 2. Further, 3 is an input signal terminal, 4 is an output signal terminal, 5a is an input side ground terminal, and 5b is a first surface provided on a mounting surface 2a on which the chip 1 is mounted and connected to the input side ground terminal 5a. A metallized portion, 6a is an output side ground terminal, and 6b is a second metallized portion provided on the mounting surface 2a and connected to the output side ground terminal 6a.

【0003】前記チップ1は、入力信号パッド10a、
出力信号パッド11a、入力側接地パッド10b、出力
側接地パッド11bが備えられ、これらのパッドはそれ
ぞれ前記入力信号端子3、出力信号端子4、入力側接地
端子5a、出力側接地端子6aと金属ワイヤ8を介して
電気的に接続されている。また、13aは入力信号パッ
ド及び入力側接地パッドそれぞれに電気的に接続された
複数の電極からなる入力側櫛形電極、13bは出力信号
パッド及び出力側接地パッドそれぞれに電気的に接続さ
れた複数の電極からなる出力側櫛形電極である。なお、
第1のメタライズ部はパッケージ2とチップ1との間に
入力側櫛形電極13aと重なるように設けられ、第2の
メタライズ部は、パッケージ2とチップ1との間に出力
側櫛形電 極13bと重なるように設けられる。
The chip 1 includes an input signal pad 10a,
An output signal pad 11a, an input side ground pad 10b and an output side ground pad 11b are provided, and these pads are respectively the input signal terminal 3, the output signal terminal 4, the input side ground terminal 5a, the output side ground terminal 6a and the metal wire. It is electrically connected via 8. Further, 13a is an input signal pack.
And ground pads on the input side are electrically connected to each
Input side comb-shaped electrode composed of a plurality of electrodes, 13b is an output signal
Electrically connected to each pad and output side ground pad
The output-side comb-shaped electrode is composed of a plurality of electrodes. In addition,
The first metallization part is between the package 2 and the chip 1.
The second comb-shaped electrode 13a is provided so as to overlap with the input-side comb-shaped electrode 13a.
The metallization section outputs between package 2 and chip 1.
It is provided so as to overlap the side comb electrodes 13b.

【0004】次に動作について説明する。この表面弾性
波素子においては、チップ1を載置する載置面2a上
に、接地された第1メタライズ部5b、第2メタライズ
部6bを設けることにより、パッケージ2内のチップ1
をとりまく空間と、パッケージ2外とを電気的に遮断
し、不要な信号の出入りを抑制している。
Next, the operation will be described. In this surface acoustic wave element, the first metallized portion 5b and the second metallized portion 6b, which are grounded, are provided on the mounting surface 2a on which the chip 1 is mounted.
The space surrounding the package and the outside of the package 2 are electrically isolated from each other to prevent unwanted signals from entering and exiting.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の表面弾性波素子
は以上のように構成されているので、第1メタライズ部
5bと第2メタライズ部6bとは隣接せざるをえず、直
達波と呼ばれる静電容量結合等による電気信号の直接伝
達等の不要信号を抑制することができないなどの問題点
があった。
Since the conventional surface acoustic wave device is constructed as described above, the first metallized portion 5b and the second metallized portion 6b must be adjacent to each other and are called direct waves. There is a problem that it is impossible to suppress unnecessary signals such as direct transmission of electric signals due to capacitive coupling.

【0006】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、電気信号の直達波を充分抑制す
ることができる表面弾性波素子を得ることを目的とす
る。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to obtain a surface acoustic wave element capable of sufficiently suppressing direct waves of electric signals.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る表
面弾性波装置は、入力側及び出力側櫛歯電極を有する表
面弾性波素子と、この表面弾性波素子を有するチップ
と、このチップを載置した載置面を有するパッケージ
と、前記チップの両側における前記載置面上にそれぞれ
設けられた一方及び他方の段差部と、この一方の段差部
上に所定間隔を隔てて設けられた入力信号端子及び出力
側接地端子と、前記他方の段差部上に所定間隔を隔てて
設けられ、前記入力信号端子及び前記出力側接地端子に
それぞれ対向配置された入力側接地端子及び出力信号端
子と、前記入力側接地端子から連続的に前記入力信号端
子付近まで延び、前記入力側櫛歯電極に対向して前記載
置面上に設けられた第1メタライズ部と、前記出力側接
地端子から連続的に前記出力信号端子付近まで延び、前
記出力側櫛歯電極に対向して前記載置面上に設けられた
第2メタライズ部と、前記第1メタライズ部と前記第2
メタライズ部との間の前記チップの下面に延在し、前記
載置面上に設けられた第3メタライズ部と、前記一方の
段差部上の前記入力信号端子と前記出力側接地端子との
間及び前記他方の段差部上の前記出力信号端子と前記入
力側接地端子との間にそれぞれ設けられ、前記第3メタ
ライズ部にそれぞれ接続された第3の接地端子と、前記
表面弾性波素子と前記入力信号端子、出力信号端子、入
力側接地端子及び出力側接地端子とをそれぞれ電気的に
接続した接続手段とを備えたものである。
A surface acoustic wave device according to a first aspect of the present invention includes a surface acoustic wave element having input-side and output-side comb-teeth electrodes, a chip including the surface acoustic wave element, and the chip. A package having a mounting surface on which is mounted, one and the other step portions respectively provided on the mounting surface on both sides of the chip, and provided on the one step portion at a predetermined interval. An input signal terminal and an output side ground terminal, and an input side ground terminal and an output signal terminal that are provided at a predetermined interval on the other step portion and are arranged to face the input signal terminal and the output side ground terminal, respectively. , The input signal terminal continuously from the input side ground terminal
It extends to near the child and faces the input side comb-teeth electrode
The first metallization portion provided on the mounting surface and the output side contact
Continuously extend from the ground terminal to the vicinity of the output signal terminal,
It was provided on the mounting surface facing the output side comb-teeth electrode.
A second metallization part, the first metallization part and the second metallization part
Extending to the lower surface of the chip between the metallization ,
Between a third metallization portion provided on the mounting surface, the input signal terminal on the one step portion and the output side ground terminal, and the output signal terminal and the input side on the other step portion. The third metal is provided between the third metal and the ground terminal, respectively.
A third grounding terminal connected to each riser, and a connecting means electrically connecting the surface acoustic wave device to the input signal terminal, the output signal terminal, the input side grounding terminal, and the output side grounding terminal. Be prepared.

【0008】請求項2の発明に係る表面弾性波装置は、
入力側及び出力側櫛歯電極を有する表面弾性波素子と、
この表面弾性波素子を有するチップと、このチップを載
置した載置面を有するパッケージと、前記チップの両側
における前記載置面上に対向して配置された入力信号端
子及び出力信号端子と、これらの入力信号端子及び出力
信号端子の間であって、前記載置面上において、前記入
力信号端子及び出力信号端子の配置方向に対して垂直方
向に延在するとともに、前記入力側及び出力側櫛歯電極
に対応した幅を有し、前記チップの前記垂直方向におけ
両側にそれぞれ形成された幅狭部を有する第3メタラ
イズ部と、この第3メタライズ部の前記垂直方向におけ
る両端にそれぞれ接続された第3の接地端子と、前記入
力信号端子の前記垂直方向における両側の前記載置面上
にそれぞれ設けられた入力側接地端子と、前記第3メタ
ライズ部及び前記第3の接地端子と離隔して前記入力信
号端子を包囲するように前記両入力側接地端子を連続さ
せた第1メタライズ部と、前記出力信号端子の前記垂直
方向における両側の前記載置面上にそれぞれ設けられた
出力側接地端子と、前記第3メタライズ部及び前記第3
接地端子と離隔して前記出力信号端子を包囲するよう
に前記両出力側接地端子を連続させた第2メタライズ部
と、前記表面弾性波素子と前記入力信号端子、出力信号
端子、入力側接地端子及び出力側接地端子とをそれぞれ
電気的に接続した接続手段とを備えたものである。
The surface acoustic wave device according to the invention of claim 2 is
A surface acoustic wave element having input-side and output-side comb-teeth electrodes;
A chip having the surface acoustic wave element, a package having a mounting surface on which the chip is mounted, an input signal terminal and an output signal terminal arranged to face the mounting surface on both sides of the chip, Between the input signal terminal and the output signal terminal, on the mounting surface, while extending in the direction perpendicular to the arrangement direction of the input signal terminal and the output signal terminal, the input side and the output side. It has a width corresponding to the comb-teeth electrode and is located in the vertical direction of the chip.
A third metallized portion having narrow portions formed on both sides thereof, and a third metallized portion in the vertical direction.
Third ground terminals respectively connected to both ends of the input signal terminals, input side ground terminals respectively provided on the mounting surfaces on both sides of the input signal terminal in the vertical direction , the third metallized portion and the third metal terminal . a first metallization which the is continuously both input-side grounding terminal as spaced apart from the ground terminal to surround the input signal terminals of the vertical of the output signal terminal
The output side grounding terminals respectively provided on the mounting surfaces on both sides in the direction , the third metallized portion and the third metallized portion .
Second metallized portion in which both the output side ground terminals are connected so as to surround the output signal terminal while being separated from the ground terminal, and the surface acoustic wave element and the input signal terminal, the output signal terminal, the input side ground And a connection means for electrically connecting the terminal and the output-side ground terminal, respectively.

【0009】請求項3発明に係る表面弾性波装置は、
前記パッケージ導体蓋を設け、その蓋を前記第3の
接地端子に電気的に接続した請求項1又は2に記載のも
のである。
A surface acoustic wave device according to the invention of claim 3 is
Wherein the lid of the conductor provided in the package, but the lid according to claim 1 or 2 and electrically connected to the third ground terminal.

【0010】請求項4発明に係る表面弾性波装置は、
前記チップが入力信号パッド及び出力信号パッドを有
し、これらのパッドの間にシールド電極を設け、この
ールド電極を前記第3の接地端子に電気的に接続したこ
とを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のもの
である。
A surface acoustic wave device according to a fourth aspect of the present invention is
The chip has an input signal pad and an output signal pad .
4. A shield electrode is provided between these pads, and the shield electrode is electrically connected to the third ground terminal. It is a thing.

【0011】[0011]

【作用】請求項1発明における第3メタライズ部は、
前記第1メタライズ部と前記第2メタライズ部との間の
前記載置面上であって、前記チップ下面に延在させたの
で、直達波等の不要信号を抑制する。
According to the third aspect of the present invention ,
Between the first metallized portion and the second metallized portion
It is on the mounting surface described above and is extended to the lower surface of the chip.
Thus, unnecessary signals such as direct waves are suppressed.

【0012】請求項2発明に係る第3のメタライズ部
は幅狭部を形成し、第1のメタライズ部は第3のメタラ
イズ部と離隔して前記入力信号端子を包囲するように両
入力側接地端子を連続させ、第2のメタライズ部は前記
第3のメタライズ部と離隔して前記出力信号端子を包囲
するように両出力側接地端子を連続させたので、直達波
等の不要信号を抑制する。
A third metallized portion according to the invention of claim 2
Form a narrow portion, and the first metallized portion is the third metallized portion.
Separate the input signal terminal from the noise section so that both
The ground terminal on the input side is connected continuously, and the second metallized portion is
Enclose the output signal terminal apart from the third metallized portion
Since both output side grounding terminals are connected continuously,
Suppress unnecessary signals such as.

【0013】また、請求項記載の発明における表面弾
性波素子は、導体からなる蓋を前記第3の接地端子に電
気的に接続したことにより、パッケージ内外の電気的遮
へいがなされ、直達波等の不要信号を抑制する。
In the surface acoustic wave device according to the third aspect of the present invention, since the lid made of a conductor is electrically connected to the third ground terminal, the inside and outside of the package is electrically shielded, and the direct wave or the like is transmitted. Suppresses unnecessary signals.

【0014】また、請求項記載の発明における表面弾
性波素子は、前記チップのシールド電極を第3の接地端
子に電気的に接続したことにより、チップ表面近傍を伝
達する直達波の低減がなされ、不要信号を抑制する。
Further, in the surface acoustic wave device according to the invention as defined in claim 4 , since the shield electrode of the chip is electrically connected to the third ground terminal, the direct wave transmitted near the surface of the chip is reduced. , Suppress unnecessary signals.

【0015】[0015]

【実施例】実施例1. 以下、この発明の実施例1を図について説明する。図1
ないし図3は、この発明の実施例1を示す図であり、こ
れらの図において図7と同一の構成要素には同一の符号
を付し説明を省略する。
EXAMPLES Example 1. Embodiment 1 of the present invention will be described below with reference to the drawings. Figure 1
1 to 3 are views showing a first embodiment of the present invention, and in these figures, the same components as those in FIG. 7 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【0016】パッケージ2には、入力信号端子3、出力
信号端子4、入力側接地端子5a、出力側接地端子6
a、入力側接地端子5a及び出力側接地端子6aと電気
的に絶縁された第3の接地端子7aが設けられており、
これら入力信号端子3、出力信号端子4、入力側接地端
子5a、出力側接地端子6aは、それぞれチップ1上の
対応する入力信号パッド10a、出力信号パッド11
a、入力側接地パッド10b、出力側接地パッド11b
と金属ワイヤ8で接続されている。
The package 2 includes an input signal terminal 3, an output signal terminal 4, an input side ground terminal 5a, and an output side ground terminal 6.
a, a ground terminal 5a on the input side, and a ground terminal 6a on the output side, and a third ground terminal 7a electrically insulated from each other are provided,
The input signal terminal 3, the output signal terminal 4, the input side ground terminal 5a, and the output side ground terminal 6a respectively correspond to the input signal pad 10a and the output signal pad 11 on the chip 1.
a, input side ground pad 10b, output side ground pad 11b
It is connected with a metal wire 8.

【0017】さらに、チップ載置面上には、入力側接地
端子5aに接続された第1のメタライズ部5bと、第1
のメタライズ部と離間して配置されて出力側接地端子6
aに接続された第2のメタライズ部6bとの間に、各メ
タライズ部と隣接させて第3の接地端子7aに接続され
た第3のメタライズ部7bが設けられている。また、同
図からも明らかなように、第1のメタライズ部と第3の
メタライズ部との間の隙間および第2のメタライズ部と
第3のメタライズ部との間の隙間はともにこれら3つの
メタライズ部の幅よりも狭くなっている。また、入力側
接地端子5a、出力側接地端子6a、第3の接地端子7
aは、実際にこの素子が回路基板等に実装されて使用さ
れる際に、パッケージ2の外部において回路の接地端子
と接続される。
Further, a first metallized portion 5b connected to the input side ground terminal 5a and a first metallized portion 5b are provided on the chip mounting surface.
The output side grounding terminal 6 is arranged apart from the metallized portion of
A third metallized portion 7b connected to the third ground terminal 7a is provided adjacent to each metallized portion between the second metallized portion 6b connected to a. Further, as is clear from the figure, the gap between the first metallized portion and the third metallized portion and the gap between the second metallized portion and the third metallized portion are both these three metallized portions. It is narrower than the width of the section. In addition, the input side ground terminal 5a, the output side ground terminal 6a, and the third ground terminal 7
The element a is connected to the ground terminal of the circuit outside the package 2 when the element is actually mounted on a circuit board or the like and used.

【0018】以上のように、この実施例1の表面弾性波
素子によれば、第1のメタライズ部5bと第2のメタラ
イズ部6bとが隣接しなくなり、従来問題となっていた
直達波等の不要信号を抑制することができる。また、第
1のメタライズ部と第3のメタライズ部との間の隙間お
よび第2のメタライズ部と第3のメタライズ部との間の
隙間はともにこれら3つのメタライズ部の幅よりも狭く
しているので、チップ載置面に対応する位置に設けられ
た接地用のメタライズ部を3つに分断してしまっている
にもかかわらず、これらの隙間から漏洩した電磁波が回
り込んでしまうことを防止することができ、これら3つ
のメタライズ部により電磁波を遮蔽することができる。
As described above, according to the surface acoustic wave device of the first embodiment, the first metallized portion 5b and the second metallized portion 6b are no longer adjacent to each other, and the direct wave or the like, which has been a problem in the past, is generated. Unwanted signals can be suppressed. The gap between the first metallized portion and the third metallized portion and the gap between the second metallized portion and the third metallized portion are both narrower than the widths of these three metallized portions. Therefore, even if the metallized portion for grounding provided at the position corresponding to the chip mounting surface is divided into three, electromagnetic waves leaked from these gaps are prevented from wrapping around. The electromagnetic wave can be shielded by these three metallized portions.

【0019】図2は、上記実施例の変形例を示す図であ
って、チップ載置面と入力信号端子等の端子配置面が3
次元的に構成された表面弾性波素子である。この素子に
おいては、チップの載置面に第3のメタライズ部7bを
はさんで第1のメタライズ部5bと第2のメタライズ部
6bが設けられている。この素子においても、上記実施
例と同様の効果を奏する。
FIG. 2 is a view showing a modification of the above embodiment, in which the chip mounting surface and the terminal arrangement surface such as the input signal terminal are three.
It is a surface acoustic wave device that is dimensionally configured. In this element, a first metallized portion 5b and a second metallized portion 6b are provided on the mounting surface of the chip with the third metallized portion 7b interposed therebetween. Also in this element, the same effect as that of the above-mentioned embodiment is obtained.

【0020】図3は、上記実施例の各端子及び各メタラ
イズ部の形状や配置を変化させたものであり、上記実施
例と同様の効果を奏する。
FIG. 3 is a diagram in which the shape and arrangement of each terminal and each metallized portion of the above-mentioned embodiment is changed, and the same effect as that of the above-mentioned embodiment is obtained.

【0021】実施例2. 以下、この発明の実施例2を図について説明する。図4
及び図5は、この発明の実施例2を示す図であり、これ
らの図において図1と同一の構成要素には同一の符号を
付し説明を省略する。
Example 2. Embodiment 2 of the present invention will be described below with reference to the drawings. Figure 4
5 and FIG. 5 are views showing a second embodiment of the present invention. In these figures, the same components as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【0022】図に示すように、第3の接地端子7aと導
体の蓋9を電気的に接続することによって、入出力間の
直接波の防止と共に、パッケージ内外の電気的な遮へい
効果の向上を達成することができ、より一層の不要波の
低減をはかることが可能である。
As shown in the drawing, by electrically connecting the third ground terminal 7a and the conductor lid 9 to each other, the direct wave between the input and the output can be prevented and the electric shielding effect inside and outside the package can be improved. This can be achieved, and it is possible to further reduce unnecessary waves.

【0023】実施例3. 以下、この発明の実施例3を図について説明する。図6
は、この発明の実施例3を示す図であり、図において図
1と同一の構成要素には同一の符号を付し説明を省略す
る。
Example 3. The third embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. Figure 6
3A and 3B are diagrams showing a third embodiment of the present invention, in which the same components as those in FIG.

【0024】図6において、チップ1はシールド電極1
2を有しており、第3の接地端子7aに金属ワイヤ8で
接続させることにより、チップ1表面近傍を伝達する直
接波の低減がなされ、より効果的に不要信号を抑制する
ことができる。
In FIG. 6, the chip 1 is a shield electrode 1.
By connecting the third ground terminal 7a to the third ground terminal 7a with the metal wire 8, the direct wave transmitted near the surface of the chip 1 is reduced, and the unnecessary signal can be suppressed more effectively.

【0025】なお上記実施例において、入力側及び出力
側にそれぞれくし形電極を一つずつ設けたチップ1を示
したが、入力側または出力側にくし形電極を複数設けた
場合、及び入出力くし形電極とシールド電極以外にも例
えばグレーティング反射器等を備えた表面弾性波素子に
ついても適用でき、同様の効果を奏する。
In the above-mentioned embodiment, the chip 1 in which one comb-shaped electrode is provided on each of the input side and the output side is shown, but when a plurality of comb-shaped electrodes are provided on the input side or the output side, In addition to the comb-shaped electrode and the shield electrode, it can be applied to a surface acoustic wave device including a grating reflector or the like, and the same effect can be obtained.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、直達波
等の不要信号を抑制し、高性能な表面弾性波装置を得る
ことができる。
As described above , according to the present invention, the direct wave
Suppress unnecessary signals such as to obtain a high-performance surface acoustic wave device
be able to.

【0027】[0027]

【0028】[0028]

【0029】[0029]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 この発明の実施例1の表面弾性波素子を示す
平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a surface acoustic wave device according to Example 1 of the present invention.

【図2】 この発明の実施例1の変形例の表面弾性波素
子を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a surface acoustic wave device of a modified example of the first embodiment of the present invention.

【図3】 この発明の実施例1の変形例の表面弾性波素
子を示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view showing a surface acoustic wave device of a modified example of the first embodiment of the present invention.

【図4】 この発明の実施例2の表面弾性波素子を示す
平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing a surface acoustic wave device of Example 2 of the present invention.

【図5】 図4のA−A線に沿う断面図である。5 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.

【図6】 この発明の実施例3の表面弾性波素子を示す
平面図である。
FIG. 6 is a plan view showing a surface acoustic wave device of Example 3 of the present invention.

【図7】 従来の表面弾性波素子を示す平面図である。FIG. 7 is a plan view showing a conventional surface acoustic wave element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 表面弾性波チップ(チップ) 2 パッケージ 2a 載置面 3 入力信号端子 4 出力信号端子 5a 入力側接地端子 5b 第1のメタライズ部 6a 出力側接地端子 6b 第2のメタライズ部 7a 第3の接地端子 7b 第3のメタライズ部 9 蓋 10a 入力信号パッド 10b 入力側接地パッド 11a 出力信号パッド 11b 出力側接地パッド 12 シールド電極13a 入力側櫛形電極 13b 出力側櫛形電極 1 surface acoustic wave chip (chip) 2 package 2a mounting surface 3 input signal terminal 4 output signal terminal 5a input side ground terminal 5b first metallized portion 6a output side grounded terminal 6b second metallized portion 7a third grounded terminal 7b Third metallized portion 9 Lid 10a Input signal pad 10b Input side ground pad 11a Output signal pad 11b Output side ground pad 12 Shield electrode 13a Input side comb-shaped electrode 13b Output side comb-shaped electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 幸雄 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電 機株式会社 通信機製作所内 (56)参考文献 特開 昭63−105509(JP,A) 特開 昭63−111713(JP,A) 特開 平3−27611(JP,A) 実開 平3−86623(JP,U)   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Yukio Yoshida               8-1-1 Tsukaguchihonmachi, Amagasaki City Mitsubishi Electric               Machine Co., Ltd., Communications Machine Works                (56) References JP-A-63-105509 (JP, A)                 JP 63-111713 (JP, A)                 JP-A-3-27611 (JP, A)                 Actual Kaihei 3-86623 (JP, U)

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 入力側及び出力側櫛歯電極を有する表面
弾性波素子と、この表面弾性波素子を有するチップと、
このチップを載置した載置面を有するパッケージと、前
記チップの両側における前記載置面上にそれぞれ設けら
れた一方及び他方の段差部と、この一方の段差部上に所
定間隔を隔てて設けられた入力信号端子及び出力側接地
端子と、前記他方の段差部上に所定間隔を隔てて設けら
れ、前記入力信号端子及び前記出力側接地端子にそれぞ
れ対向配置された入力側接地端子及び出力信号端子と
前記入力側接地端子から連続的に前記入力信号端子付近
まで延び、前記入力側櫛歯電極に対向して前記載置面上
に設けられた第1メタライズ部と、前記出力側接地端子
から連続的に前記出力信号端子付近まで延び、前記出力
側櫛歯電極に対向して前記載置面上に設けられた第2メ
タライズ部と、前記第1メタライズ部と前記第2メタラ
イズ部との間の前記チップの下面に延在し、前記載置面
上に設けられた第3メタライズ部と、前記一方の段差部
上の前記入力信号端子と前記出力側接地端子との間及び
前記他方の段差部上の前記出力信号端子と前記入力側接
地端子との間にそれぞれ設けられ、前記第3メタライズ
部にそれぞれ接続された第3の接地端子と、前記表面弾
性波素子と前記入力信号端子、出力信号端子、入力側接
地端子及び出力側接地端子とをそれぞれ電気的に接続し
た接続手段とを備えたことを特徴とする表面弾性波装
置。
1. A surface acoustic wave device having input-side and output-side comb-teeth electrodes, and a chip having the surface acoustic wave device.
A package having a mounting surface on which the chip is mounted, one and the other step portions respectively provided on the mounting surfaces on both sides of the chip, and provided on the one step portion at a predetermined interval. The input signal terminal and the output side ground terminal, and the input side ground terminal and the output signal which are provided on the other step portion at a predetermined interval and are arranged to face the input signal terminal and the output side ground terminal, respectively. Terminals ,
Continuously near the input signal terminal from the input side ground terminal
On the mounting surface facing the input side comb-teeth electrode
First metallization portion provided on the output side and the output side ground terminal
Continuously extends from the output signal terminal to the output
A second member provided on the placement surface facing the side comb-teeth electrode.
And Taraizu portion, extends to the lower surface of the chip between said first metallization and the second metallization, the placing surface
Between the third metallized portion provided above and the input signal terminal and the output side ground terminal on the one step portion, and between the output signal terminal and the input side ground terminal on the other step portion. Between the third metallization
A third grounding terminal connected to each of the parts, and a connecting means electrically connecting the surface acoustic wave element and the input signal terminal, the output signal terminal, the input side grounding terminal, and the output side grounding terminal, respectively. A surface acoustic wave device characterized by the above.
【請求項2】 入力側及び出力側櫛歯電極を有する表面
弾性波素子と、この表面弾性波素子を有するチップと、
このチップを載置した載置面を有するパッケージと、前
記チップの両側における前記載置面上に対向して配置さ
れた入力信号端子及び出力信号端子と、これらの入力信
号端子及び出力信号端子の間であって、前記載置面上に
おいて、前記入力信号端子及び出力信号端子の配置方向
に対して垂直方向に延在するとともに、前記入力側及び
出力側櫛歯電極に対応した幅を有し、前記チップの前記
垂直方向における両側にそれぞれ形成された幅狭部を有
する第3メタライズ部と、この第3メタライズ部の前記
垂直方向における両端にそれぞれ接続された第3の接地
端子と、前記入力信号端子の前記垂直方向における両側
の前記載置面上にそれぞれ設けられた入力側接地端子
と、前記第3メタライズ部及び前記第3の接地端子と離
隔して前記入力信号端子を包囲するように前記両入力側
接地端子を連続させた第1メタライズ部と、前記出力信
号端子の前記垂直方向における両側の前記載置面上にそ
れぞれ設けられた出力側接地端子と、前記第3メタライ
ズ部及び前記第3の接地端子と離隔して前記出力信号端
子を包囲するように前記両出力側接地端子を連続させた
第2メタライズ部と、前記表面弾性波素子と前記入力信
号端子、出力信号端子、入力側接地端子及び出力側接地
端子とをそれぞれ電気的に接続した接続手段とを備えた
ことを特徴とする表面弾性波装置。
2. A surface acoustic wave device having input-side and output-side comb-teeth electrodes, and a chip having the surface acoustic wave device.
A package having a mounting surface on which the chip is mounted, input signal terminals and output signal terminals arranged on both sides of the chip so as to face each other on the mounting surface, and these input signal terminals and output signal terminals And has a width corresponding to the input-side and output-side comb-teeth electrodes while extending in a direction perpendicular to the arrangement direction of the input signal terminal and the output signal terminal on the mounting surface. , said of the chip
A third metallized portion having narrow portions formed on both sides in the vertical direction, and the third metallized portion described above.
Third grounding terminals respectively connected to both ends in the vertical direction , input side grounding terminals respectively provided on the mounting surfaces on both sides of the input signal terminal in the vertical direction , the third metallized portion, and the A first metallized portion in which the input side ground terminals are connected to each other so as to surround the input signal terminal while being separated from a third ground terminal, and on the mounting surface on both sides of the output signal terminal in the vertical direction. And a second metallized section in which the output side ground terminals are connected to each other so as to surround the output signal terminal while being spaced apart from the output side ground terminal and the third metallized section and the third ground terminal. And a connection means for electrically connecting the surface acoustic wave element and the input signal terminal, the output signal terminal, the input side ground terminal and the output side ground terminal, respectively. Acoustic wave device.
【請求項3】 前記パッケージは、導体の蓋を有し、そ
の蓋を前記第3の接地端子に電気的に接続したことを特
徴とする請求項1又は2に記載の表面弾性波装置。
3. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the package has a conductor lid, and the lid is electrically connected to the third ground terminal.
【請求項4】 前記チップは、入力信号パッド及び出力
信号パッドを有し、これらのパッドの間にシールド電極
を設け、このシールド電極を前記第3の接地端子に電気
的に接続したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれ
かに記載の表面弾性波装置。
4. The chip has an input signal pad and an output signal pad, a shield electrode is provided between these pads, and the shield electrode is electrically connected to the third ground terminal. The surface acoustic wave device according to any one of claims 1 to 3.
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