JPH09186550A - Chip mount base, package using it and surface acoustic wave filter - Google Patents

Chip mount base, package using it and surface acoustic wave filter

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Publication number
JPH09186550A
JPH09186550A JP7341686A JP34168695A JPH09186550A JP H09186550 A JPH09186550 A JP H09186550A JP 7341686 A JP7341686 A JP 7341686A JP 34168695 A JP34168695 A JP 34168695A JP H09186550 A JPH09186550 A JP H09186550A
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JP
Japan
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package
chip
comb
electrodes
electrode
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Pending
Application number
JP7341686A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Naonori Uda
尚典 宇田
Taizo Kobayashi
泰三 小林
Tetsuo Sawai
徹郎 澤井
Yasoo Harada
八十雄 原田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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Publication date
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  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a package in which an electric short-circuit is interrupted and noise invasion is prevented by providing individual grounding electrodes apart from each other to the mount base. SOLUTION: A mount substrate 1 is made of an insulation material and usually a package 2 of a SAW filter, various circuits and an IC or the like are mounted, and a common ground electrode 1a is provided to a lower side. The package 2 is made up of a package lower body 11 whose middle part is recessed as a hollow rectangular parallelepiped making of an insulation material such as ceramic, plastic, alumina or BT resin, and of a cover 19. Die pads 12b, 12c apart horizontally independently with a middle surface of a bottom wall 12 as a border are formed to a package lower part 11 by means of metallic plating. Furthermore, the chip 3 of the SAW filter is placed so as to be bridged over both the die pads 12b, 12c.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は無線電話機等に用い
られる弾性波(SAW)フィルタ等のチップを載置する
ためのチップ設置台及びこれを用いたパッケージ及び弾
性波フィルタ装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chip mounting base for mounting a chip such as an elastic wave (SAW) filter used in a wireless telephone or the like, a package using the chip mounting base, and an elastic wave filter device.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7は従来の弾性波フィルタのチップの
構造を示す模式図であり、図中20はLiTaO3 等の
圧電効果を持つ高誘電材料で形成された圧電基板、2
1,22,23,24はIDT(Inter Digital Transd
ucer)を構成する櫛歯状電極を示している。各櫛歯状電
極21,22,23,24は、夫々導電部である幹部2
1a,22a,23a,24aの片側から平行に導電部
である歯部21b,22b,23b,24bを櫛歯状に
多数延設して構成されている。
BACKGROUND ART FIG. 7 is a schematic view showing a structure of a chip of a conventional elastic wave filter, a piezoelectric substrate in the drawing 20 is formed of a high dielectric material having a piezoelectric effect such as LiTaO 3, 2
1, 22, 23, and 24 are IDTs (Inter Digital Transd
ucer) forming comb-shaped electrodes. Each of the comb-shaped electrodes 21, 22, 23, 24 has a trunk portion 2 which is a conductive portion.
A plurality of tooth portions 21b, 22b, 23b, 24b, which are conductive portions, are extended in parallel from one side of 1a, 22a, 23a, 24a in a comb shape.

【0003】櫛歯状電極21と22、櫛歯状電極23と
24とは夫々互いにその歯部21bと22b、23bと
24bを向かい合わせにし、且つ互いに他の歯部間にこ
れらと非接触の状態で位置するよう組合わされており、
矩形をなす圧電基板20の表面に櫛歯状電極21と2
2、23と24をその歯部21b,22b,23b,2
4bの延在方向を互いに平行な向きにし、且つ歯部21
b〜24bの配列方向に所定の間隔を隔てた状態で配設
してある。
The comb-teeth-shaped electrodes 21 and 22 and the comb-teeth-shaped electrodes 23 and 24 face their tooth portions 21b and 22b, 23b and 24b, respectively, and are in non-contact with each other between other tooth portions. It is combined to be located in the state,
Comb-shaped electrodes 21 and 2 are formed on the surface of a rectangular piezoelectric substrate 20.
2, 23 and 24 with their teeth 21b, 22b, 23b, 2
The extending directions of 4b are parallel to each other, and the tooth portion 21
They are arranged at a predetermined interval in the arrangement direction of b to 24b.

【0004】櫛歯状電極21と22とは入力側電極組
を、また櫛歯状電極23と24とは出力側電極組を構成
しており、また櫛歯状電極21はその幹部21aに一端
を接続したリード線の他端Aを介して信号源に、櫛歯状
電極23はその幹部23aに一端を接続したリード線の
他端Cを介して受信部(負荷)に接続され、更に各電極
組の他方の櫛歯状電極22,24はその幹部22a,2
4aに一端を接続したリード線の他端B,Dにて接地用
電極に接続されている。
The comb-teeth electrodes 21 and 22 form an input-side electrode set, and the comb-teeth electrodes 23 and 24 form an output-side electrode set. The comb-teeth electrode 21 has one end at its trunk portion 21a. Is connected to the signal source via the other end A of the lead wire, and the comb-shaped electrode 23 is connected to the receiving portion (load) via the other end C of the lead wire whose one end is connected to the trunk portion 23a. The other comb-teeth-shaped electrodes 22 and 24 of the electrode set are the trunk portions 22a and 2
The other ends B and D of the lead wire, one end of which is connected to 4a, are connected to the ground electrode.

【0005】このようなSAWフィルタにあっては、入
力側の櫛歯状電極21へ信号源から所定周波数帯域の電
気信号を付与すれば、電気信号は櫛歯状電極21,22
の歯部21b,22b間を流れ、この際圧電基板20に
も通電される。これによって、圧電基板20には振動が
発生し、これに伴う音波が圧電基板20の表面を入力側
から出力側に伝播される。伝播されてきた音波が出力側
の櫛歯状電極23,24に達すると音波に対応した電気
信号に変換され、両櫛歯状電極23,24の歯部23
b,24b間に通電され、櫛歯状電極23を通じて負荷
に印加される。
In such a SAW filter, if an electric signal in a predetermined frequency band is applied from the signal source to the comb-teeth-shaped electrode 21 on the input side, the electric signal is obtained.
Flowing between the tooth portions 21b and 22b of the above, and at this time, the piezoelectric substrate 20 is also energized. As a result, vibration is generated in the piezoelectric substrate 20, and a sound wave accompanying this is propagated from the input side to the output side on the surface of the piezoelectric substrate 20. When the propagated sound wave reaches the comb-teeth-shaped electrodes 23 and 24 on the output side, it is converted into an electric signal corresponding to the sound wave, and the tooth portions 23 of both comb-teeth-shaped electrodes 23 and 24.
An electric current is applied between b and 24b, and is applied to the load through the comb-shaped electrode 23.

【0006】このように入力側で電気信号から音波に変
換され、また出力側で音波から電気信号に再変換される
過程で、櫛歯状電極21〜24の特性によるフィルタ作
用により入力された所定周波数帯域の電気信号から、予
め定めた特定周波数帯域の信号のみが選択され、出力さ
れることとなる。
In this way, in the process of converting an electric signal into a sound wave on the input side and re-converting from a sound wave to an electric signal on the output side, a predetermined input is made by the filter action due to the characteristics of the comb-shaped electrodes 21 to 24. From the electric signals in the frequency band, only the signal in the predetermined specific frequency band is selected and output.

【0007】ところで図7に示す如きSAWフィルタの
チップ3は、通常図8,図9に示す如きパッケージ2内
に収容され、図9に示す如き実装基板1に装着して用い
られる。図8はチップ3を載置したパッケージ2の中央
部の断面図、図9はパッケージ2の一端寄りの位置の縦
断面図、図10(a)はパッケージ2及びこれを装着し
た実装基板1の平面図、図10(b)は図10(a)の
X−X線による断面図である。パッケージ2はパッケー
ジ下部体11と蓋19とからなる。パッケージ下部体1
1は、有底の四角筒形をなし、その底壁12の上面には
その略全面にわたって接地用電極たるダイパッド12a
が、例えば金属メッキ等の手段で成形され、固着されて
いる。
By the way, the chip 3 of the SAW filter as shown in FIG. 7 is usually housed in the package 2 as shown in FIGS. 8 and 9 and mounted on the mounting substrate 1 as shown in FIG. 8 is a cross-sectional view of the central portion of the package 2 on which the chip 3 is mounted, FIG. 9 is a vertical cross-sectional view of a position near one end of the package 2, and FIG. 10A is a diagram of the package 2 and the mounting substrate 1 on which the package 2 is mounted. A plan view and FIG. 10B are sectional views taken along line XX of FIG. The package 2 includes a package lower body 11 and a lid 19. Package lower body 1
Reference numeral 1 denotes a bottomed rectangular tube, and the bottom wall 12 has a die pad 12a, which is a grounding electrode, on the entire upper surface thereof.
However, they are molded and fixed by means such as metal plating.

【0008】またパッケージ下部体11の相対応する一
対の側壁13,14には、夫々の中央部及び両端部寄り
の位置に図8,図9に示す如く金属パッド(図8には中
央部のみの、また図9には一端部寄りの金属パッドが現
れている)13a,13b,13d,13e、金属パッ
ド14a,14b,14d,14eが、金属メッキ等の
手段で成形固着され、また各側壁13,14内には、
上,下面の金属パッド13aと13b,13dと13
e、金属パッド14aと14b,14dと14eとの間
を電気的に接続するスルーホール13c,13f、14
c,14fが設けられている。
Further, on the pair of corresponding side walls 13 and 14 of the package lower body 11, metal pads (only the central portion is shown in FIG. 8) are provided at positions near the central portion and both ends thereof, respectively, as shown in FIGS. , And metal pads near one end appear in FIG. 9) 13a, 13b, 13d, 13e, metal pads 14a, 14b, 14d, 14e are molded and fixed by means such as metal plating, and each side wall In 13 and 14,
Upper and lower metal pads 13a and 13b, 13d and 13
e, through holes 13c, 13f, 14 for electrically connecting the metal pads 14a and 14b, 14d and 14e.
c and 14f are provided.

【0009】図7に示した如きSAWフィルタのチップ
3は、図8,図9に示す如く、ダイパッド12a上に載
置され、入力側の電極組を構成する櫛歯状電極21は図
8に示す如くボンディングワイヤ4aを介して金属パッ
ド13aに、また出力側の電極組を構成する櫛歯状電極
23はボンディングワイヤ5aを介して同じく金属パッ
ド14aに、夫々接続されている。また各組の他の櫛歯
状電極22,24も図9に示す如くボンディングワイヤ
4b,5bを介して、側壁13,14の一端部寄りの位
置に設けてある金属パッド13d,14dに接続されて
いる。
The chip 3 of the SAW filter as shown in FIG. 7 is placed on the die pad 12a as shown in FIGS. 8 and 9, and the comb-teeth-shaped electrodes 21 constituting the electrode group on the input side are shown in FIG. As shown, the metal pad 13a is connected to the metal pad 13a via the bonding wire 4a, and the comb-teeth-shaped electrode 23 forming the electrode set on the output side is connected to the metal pad 14a via the bonding wire 5a. Further, the other comb-teeth-shaped electrodes 22 and 24 of each set are also connected to the metal pads 13d and 14d provided at positions near one end of the side walls 13 and 14 via the bonding wires 4b and 5b as shown in FIG. ing.

【0010】金属パッド13a,14aは、図8に示す
如くスルーホール13c,14cを介して金属パッド1
3b,14bに接続され、またこれら金属パッド13
b,14bはパッケージ3下部体11のピン(図示せ
ず)を介して図10(a)に示す如き実装基板1上のマ
イクロストリップライン1d,1eに接続されている。
金属パッド13d,14dは図9に示す如く実装基板1
におけるスルーホール13f,14 fを介して金属パ
ッド13e,14eに接続されると共に、ダイパッド1
2aとも接続されている。金属パッド13e,14e
は、図9に示す如く実装基板1におけるスルーホール1
b,1c(又はピン)を介して実装基板1の下面に形成
したグランド電極1aに接続されている。
The metal pads 13a and 14a are connected to the metal pad 1 through the through holes 13c and 14c as shown in FIG.
3b, 14b, and these metal pads 13
b and 14b are connected to the microstrip lines 1d and 1e on the mounting substrate 1 as shown in FIG. 10A through the pins (not shown) of the package 3 lower body 11.
The metal pads 13d and 14d are mounted on the mounting substrate 1 as shown in FIG.
Is connected to the metal pads 13e and 14e through the through holes 13f and 14f in the die pad 1 and
2a is also connected. Metal pads 13e, 14e
Is the through hole 1 in the mounting substrate 1 as shown in FIG.
It is connected to the ground electrode 1a formed on the lower surface of the mounting substrate 1 via b and 1c (or pins).

【0011】実装基板1は、図10に示す如く絶縁材料
を用いて板状に形成されており、下面にはグランド電極
1aが形成され、また上面には2本のマイクロストリッ
プライン1d,1eが一直線上に配置され、両マイクロ
ストリップライン1d,1eの各一端は所定の間隔を隔
てて対向し、また各他端は図示しない信号源、又は負荷
に夫々接続されている。チップ3はパッケージ2内に収
容され、図8に示すパッケージ2の入力端,出力端をな
すパッド13b,14bが図示しないピンを介して夫々
マイクロストリップライン1d,1eの各一端と接続さ
れ、また図9に示すパッド13d,14dはスルーホー
ル13f,14fを介してダイパッド12aに接続され
ると共に金属パッド13e,14e,パッケージ2のピ
ン(図示せず)及び実装基板1のスルーホール1b,1
cを通じてグランド電極1aに接続されている。
As shown in FIG. 10, the mounting substrate 1 is formed in a plate shape using an insulating material, a ground electrode 1a is formed on the lower surface, and two microstrip lines 1d and 1e are formed on the upper surface. The microstrip lines 1d and 1e are arranged in a straight line, and one ends of the two microstrip lines 1d and 1e face each other with a predetermined gap therebetween, and the other ends are connected to a signal source or a load (not shown). The chip 3 is housed in the package 2, and the pads 13b and 14b forming the input end and the output end of the package 2 shown in FIG. 8 are connected to the respective ends of the microstrip lines 1d and 1e through pins (not shown). The pads 13d and 14d shown in FIG. 9 are connected to the die pad 12a through the through holes 13f and 14f, and also the metal pads 13e and 14e, the pins (not shown) of the package 2 and the through holes 1b and 1 of the mounting substrate 1.
It is connected to the ground electrode 1a through c.

【0012】図11は、従来のSAWフィルタのチップ
3とこれを載置したパッケージ2のダイパッド12aと
実装基板1のグランド電極1aとの間における電気信号
の伝達経路を示す説明図である。信号源から出力された
所定周波数帯域の電気信号は入力端子たる金属パッド1
3bに入力され、スルーホール13c,金属パッド13
a,ボンディングワイヤ4aを通じて図7に示す櫛歯状
電極21,22へ入力される。櫛歯状電極21と22と
の歯部21b,22bは互いに非接触ではあるが、極め
て近接して位置しており、相互の間のインピーダンスは
極めて小さく、電気信号は櫛歯状電極21,22の歯部
21b,22b間を流れ、この際圧電基板20にも通電
される。
FIG. 11 is an explanatory view showing a transmission path of an electric signal between the chip 3 of the conventional SAW filter, the die pad 12a of the package 2 on which the SAW filter is mounted, and the ground electrode 1a of the mounting substrate 1. The electric signal of the predetermined frequency band output from the signal source receives the metal pad 1 as an input terminal.
3b, through hole 13c, metal pad 13
a, through the bonding wire 4a to the comb-teeth electrodes 21 and 22 shown in FIG. The tooth portions 21b and 22b of the comb-teeth electrodes 21 and 22 are not in contact with each other, but are located very close to each other, the impedance between them is extremely small, and the electric signals are comb-teeth electrodes 21 and 22. Flowing between the tooth portions 21b and 22b of the above, and at this time, the piezoelectric substrate 20 is also energized.

【0013】これによって圧電基板20には振動が発生
し、これに伴って生じた音波が圧電基板20の表面を出
力側へ伝播されてゆく。ところが櫛歯状電極21,22
へ流れた電気信号は、ボンディングワイヤ4bを経て、
スルーホール13c,14fを介してダイパッド12a
に流れ、一部はスルーホール13f,14f等を介して
実装基板1の下面のグランド電極1aに流れるが、他の
一部はダイパッド12aを通じて直接出力側に流れ、櫛
歯状電極23,24の歯部23b,24bを経て負荷へ
印加されてしまう。
As a result, vibration is generated in the piezoelectric substrate 20, and the sound wave generated thereby is propagated to the output side on the surface of the piezoelectric substrate 20. However, the comb-shaped electrodes 21 and 22
The electric signal flowing to the
Die pad 12a through through holes 13c and 14f
Flow through the through holes 13f, 14f, etc., to the ground electrode 1a on the lower surface of the mounting substrate 1, while another flow directly through the die pad 12a to the output side. It is applied to the load via the tooth portions 23b and 24b.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】ところで、入力側の櫛
歯状電極21,22に入力され、音波に変換されて圧電
基板20の表面を音波として出力側に伝播され、出力側
の櫛歯状電極23,24にて再び電気信号に変換された
信号はフィルタ処理された状態となっているが、櫛歯状
電極21,22からダイパッド12aを経て櫛歯状電極
23,24へ伝播されてきた電気信号は、フィルタ処理
されておらず十分なフィルタ機能が得られないという問
題があった。
By the way, the comb-teeth-shaped electrodes 21 and 22 on the input side are converted into sound waves and propagated to the output side as sound waves on the surface of the piezoelectric substrate 20. The signals converted into electric signals again by the electrodes 23 and 24 are in a filtered state, but propagated from the comb-shaped electrodes 21 and 22 to the comb-shaped electrodes 23 and 24 through the die pad 12a. There is a problem that the electric signal is not filtered and a sufficient filtering function cannot be obtained.

【0015】本発明者等はこのような問題を解消すべ
く、実験,研究を行った結果、チップにおける接地すべ
き複数の電極夫々について、夫々個別の接地用電極と接
続することがノイズを除去し、高アイソレーションを達
成する上で極めて効果的であることを知見した。
The inventors of the present invention have conducted experiments and studies in order to solve such a problem. As a result, it is possible to eliminate noise by connecting each of a plurality of electrodes to be grounded in the chip to an individual grounding electrode. However, it was found to be extremely effective in achieving high isolation.

【0016】本発明はかかる知見に基づきなされたもの
であって、第1の目的はチップ近傍での接地用電極によ
る電気的短絡路を遮断してノイズの進入を防止し得るよ
うにしたチップ設置台及びこれに用いたパッケージを提
供するにある。
The present invention has been made on the basis of such knowledge. A first object of the present invention is to install a chip capable of preventing an ingress of noise by blocking an electrical short circuit path by a grounding electrode near the chip. It is to provide a base and a package used for the base.

【0017】第2の目的は弾性波フィルタの入力側,出
力側の各一方の櫛歯状電極を設置台に設けた個別の接地
用電極と接続することで高アイソレーションを達成し得
るようにした弾性波フィルタ装置を提供することにあ
る。
The second purpose is to achieve high isolation by connecting one of the comb-teeth-shaped electrodes on the input side and the output side of the acoustic wave filter to an individual grounding electrode provided on the installation table. Another object of the present invention is to provide the elastic wave filter device.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】第1の発明に係るチップ
設置台は、少なくとも2以上の接地すべき電極を備えた
チップを載置するための設置台において、前記設置台
は、前記チップの接地すべき前記各電極夫々を接続すべ
き互いに離間した箇別の接地用電極を備えることを特徴
とする。第1の発明にあっては、接地用電極が空間的に
分離しているので、一の電極から接地用電極を介して他
の電極に不必要な電気信号が伝達され、ノイズとなる等
の不都合が解消される。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a chip mounting table for mounting a chip having at least two electrodes to be grounded, the mounting table comprising: It is characterized in that it is provided with separate grounding electrodes which are separated from each other and which are to be connected to the respective electrodes to be grounded. In the first invention, since the grounding electrodes are spatially separated, an unnecessary electric signal is transmitted from one electrode to the other electrode through the grounding electrode, which causes noise. The inconvenience is eliminated.

【0019】第2の発明に係るチップ設置台の接地用電
極は、前記チップを載置するダイパッドであることを特
徴とする。第2の発明にあってはこれによって、チップ
設置台のダイパッドが空間的に分離しているので、これ
を介して一の電極から他の電極に不必要な電気信号が伝
達され、ノイズとなる等の不都合が解消される。
The grounding electrode of the chip mounting table according to the second invention is a die pad on which the chip is mounted. According to the second aspect of the invention, the die pads of the chip mounting base are spatially separated by this, so that an unnecessary electric signal is transmitted from one electrode to the other electrode via this, and becomes a noise. Inconveniences such as are eliminated.

【0020】第3の発明に係るチップ設置台に載せるチ
ップは、弾性波フィルタからなるチップであることを特
徴とする。第3の発明にあっては、これによって弾性波
フィルタとしての性能の向上を図れる。
The chip mounted on the chip mount according to the third aspect of the invention is characterized by being an elastic wave filter. In the third invention, this can improve the performance as an elastic wave filter.

【0021】第4の発明に係るパッケージは、請求項
1,2又は3記載のチップ設置台を備えたことを特徴と
する。第4の発明にあっては、これによって工数を増大
させることなく、弾性波フィルタのパッケージとして高
アイソレーション化が図れる。
A package according to a fourth aspect of the invention is characterized by including the chip mounting base according to the first, second or third aspect. According to the fourth aspect of the invention, high isolation can be achieved as a package of the acoustic wave filter without increasing man-hours.

【0022】第5の発明に係る弾性被フィルタ装置は、
圧電基板上に、一対の櫛歯状電極を互いにその歯部を他
の歯部間に位置するよう組合せたもの2組を所要の間隔
を隔てて配設してなる弾性波フィルタチップを、互いに
離間した個別の2個の接地用電極を備える設置台上に載
置し、前記各組の一方の櫛歯状電極を夫々前記設置台の
前記箇別の接地用電極に接続せしめたことを特徴とす
る。第5の発明にあっては、電気的に分離された2個の
接地用電極夫々に、入力側,出力側の各組の櫛歯状電極
の一つを接続するから、弾性波フィルタの入力側の一方
の櫛歯状電極から接地電極を介して出力側の一方の櫛
歯状電極に電気信号が直接伝達される不都合を回避出
来、高アイソレーション化を達成し得る。
The elastic filtered device according to the fifth invention is
An acoustic wave filter chip comprising two pairs of comb-teeth-shaped electrodes, which are combined so that their tooth portions are located between other tooth portions, and are arranged at a required interval on a piezoelectric substrate, It is placed on an installation table provided with two separate grounding electrodes, and one comb tooth-shaped electrode of each set is connected to each of the individual grounding electrodes of the installation table. And According to the fifth aspect of the invention, since one of the comb-shaped electrodes on each of the input side and the output side is connected to each of the two electrically separated grounding electrodes, the input of the acoustic wave filter is can avoid a disadvantage that electrical signals from the comb-shaped electrode on the side to the comb-shaped electrode through the grounding electrode output side is directly transmitted, it may achieve high isolation of.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下本発明に係るチップ設置台及
びこれを用いたパッケージ及び弾性波フィルタ装置につ
いて、その実施の形態を示す図面に基づき具体的に説明
する。図1は本発明に係る弾性波フィルタのチップを収
納したパッケージの中央部の模式的縦断面図、図2は図
1のII−II線による横断平面図、図3は図1の III−II
I 線による縦断面図、図4は図2のIV−IV線による部分
破断斜視図であり、図中1は実装基板、2は弾性波(S
AW)フィルタ用のパッケージ、3は弾性波フィルタの
チップを示している。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A chip mounting table, a package and an elastic wave filter device using the same according to the present invention will be specifically described below with reference to the drawings showing the embodiments. 1 is a schematic vertical sectional view of a central portion of a package accommodating a chip of an acoustic wave filter according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional plan view taken along line II-II of FIG. 1, and FIG. 3 is III-II of FIG.
FIG. 4 is a vertical cross-sectional view taken along line I, and FIG. 4 is a partially cutaway perspective view taken along line IV-IV in FIG.
AW) filter package, reference numeral 3 denotes an acoustic wave filter chip.

【0024】実装基板1は、絶縁材料を用いて形成され
ており、通常はSAWフィルタのパッケージ2の他、種
々の回路,IC等が装着され、下面には共通のグランド
電極1aが設けられている。パッケージ2はセラミッ
ク, プラスチック, アルミナ, BTレジン等の絶縁材料
を用いて中央部を凹ませた中空の直方体形をなすパッケ
ージ下部体(設置台)11と蓋19とからなる。
The mounting substrate 1 is formed of an insulating material, and is usually equipped with various circuits, ICs, etc. in addition to the SAW filter package 2, and has a common ground electrode 1a on its lower surface. There is. The package 2 is composed of a package lower body (installation table) 11 and a lid 19 which are hollow rectangular parallelepiped and are made of an insulating material such as ceramic, plastic, alumina, and BT resin.

【0025】パッケージ下部体11は、その底壁12の
表面中央部を境にして左, 右に独立に離反させダイパッ
ド12b,12cが夫々金属メッキ等の手段で形成され
ており、両ダイパッド12b,12cに跨がる態様でS
AWフィルタのチップ3が載置されている。SAWフィ
ルタのチップ3の構成は、図7に示す従来のそれと実質
的に同じであり、高誘電体の圧電材料を用いて直方体形
の板状に形成された圧電基板20の上面に、入力側,出
力側夫々の電極組をなす櫛歯状電極21,22と、2
3,24とを配設して構成されている。各櫛歯状電極2
1〜24は夫々導電性の幹部21a〜24a、及び夫々
から櫛歯状に延設した導電性の多数の歯部21b〜24
bからなる。各櫛歯状電極21〜24の歯部21bと2
2b、23bと24bは互いに向かい合わせ、且つ各歯
部が他の歯部間に非接触状態に位置するよう組み合わ
せ、幹部21aと23aと、22aと24aとを略同一
直線上に位置させた状態で櫛歯状電極21,22と櫛歯
状電極23,24とを歯部21b〜24bの配列方向に
所定の間隔を隔てて配設されている。
In the package lower body 11, the die pads 12b and 12c are formed separately by means of metal plating or the like so as to be separated left and right independently of each other with the center portion of the surface of the bottom wall 12 as a boundary. S in the form of straddling 12c
The chip 3 of the AW filter is mounted. The structure of the chip 3 of the SAW filter is substantially the same as that of the conventional one shown in FIG. 7, and the input side is provided on the upper surface of the piezoelectric substrate 20 formed in the shape of a rectangular parallelepiped plate using a piezoelectric material having a high dielectric constant. , Comb-teeth-shaped electrodes 21 and 22 that form electrode pairs on the output side and 2
3, 24 are arranged. Each comb-shaped electrode 2
Reference numerals 1 to 24 denote conductive trunk portions 21a to 24a, respectively, and a large number of conductive tooth portions 21b to 24 extending from each of them in a comb-like shape.
b. The tooth portions 21b and 2 of each of the comb-shaped electrodes 21 to 24
2b, 23b and 24b face each other, and are combined so that each tooth portion is positioned in a non-contact state between other tooth portions, and the trunk portions 21a and 23a and 22a and 24a are placed on substantially the same straight line. The comb-teeth electrodes 21, 22 and the comb-teeth electrodes 23, 24 are arranged at a predetermined interval in the arrangement direction of the tooth portions 21b to 24b.

【0026】そしてチップ3における入力側の櫛歯状電
極21の幹部21aは、図1に示す如くボンディングワ
イヤ4aを介して側壁13の上面中央に配設されている
金属パッド13aに、また出力側の櫛歯状電極23の幹
部23aはボンディングワイヤ5aを介して側壁14の
上面中央に配設されている金属パッド14aに夫々接続
されている。更に入力側,出力側の他の各櫛歯状電極2
2,24は、その幹部22a,24aに夫々一端を接続
したボンディングワイヤ4b,5bを介して側壁13,
14の一端部寄りの上面に配した金属パッド13d,1
4dに接続されている。前記金属パッド13a,14
a、金属パッド13d,14d以降の電気的接続態様は
図5に示すとおりである。
The stem portion 21a of the comb-tooth-shaped electrode 21 on the input side of the chip 3 is connected to the metal pad 13a arranged at the center of the upper surface of the side wall 13 via the bonding wire 4a as shown in FIG. The trunk portions 23a of the comb-shaped electrodes 23 are connected to the metal pads 14a arranged at the center of the upper surface of the side wall 14 via the bonding wires 5a. Further, each other comb-shaped electrode 2 on the input side and the output side
2, 24 have sidewalls 13 via bonding wires 4b, 5b, one ends of which are connected to the trunks 22a, 24a,
Metal pads 13d, 1 arranged on the upper surface near one end of 14
4d. The metal pads 13a, 14
a, the electrical connection mode after the metal pads 13d and 14d are as shown in FIG.

【0027】図5は、パッケージ2における前述したダ
イパッド12b,12c及び金属パッド13a,14
a,13d,14d,スルーホール等の配置及び電気的
接続態様を示す模式図である。図5から明らかな如くパ
ッケージ2の相対向する一対の側壁13,14には夫々
上面中央に前述した金属パッド13a,14aが、また
これと対向する下面中央には金属パッド13b,14b
が配設され、金属パッド13a,13b間、14a,1
4b間は夫々スルーホール13c,14cにて電気的に
接続されている。
FIG. 5 shows the die pads 12b and 12c and the metal pads 13a and 14 in the package 2 described above.
It is a schematic diagram which shows arrangement | positioning of a, 13d, 14d, a through hole, etc., and an electrical connection mode. As is apparent from FIG. 5, the pair of side walls 13 and 14 of the package 2 facing each other have the above-mentioned metal pads 13a and 14a at the center of the upper surface and the metal pads 13b and 14b at the center of the lower surface facing the side walls 13 and 14 respectively.
Are disposed between the metal pads 13a and 13b, and 14a and 1b.
4b are electrically connected by through holes 13c and 14c, respectively.

【0028】また一対の側壁13,14の一端側寄りの
上面に金属パッド13d,14dが、また夫々と対向す
る下面には金属パッド13e,14eが配設され、両金
属パッド13d,13e間、14d,14e間は夫々ス
ルーホール13f,14fにて電気的に接続されてい
る。更に一対の側壁13,14の他端側寄りの上面に金
属パッド13g,14gが、また夫々と対向する下面に
は金属パッド13h,14hが配設され、両金属パッド
13g,13h間,14g,14h間は夫々スルーホー
ル13i,14iにて電気的に接続されている。
Metal pads 13d and 14d are provided on the upper surfaces of the pair of side walls 13 and 14 near one end side, and metal pads 13e and 14e are provided on the lower surfaces facing each other, and between the metal pads 13d and 13e, 14d and 14e are electrically connected by through holes 13f and 14f, respectively. Further, metal pads 13g and 14g are provided on the upper surfaces of the pair of side walls 13 and 14 near the other ends, and metal pads 13h and 14h are provided on the lower surfaces facing each other, and between the metal pads 13g and 13h, 14g, The 14h are electrically connected through through holes 13i and 14i, respectively.

【0029】また、側壁13,14の両端側寄りに設け
られたスルーホール13f,13iの上,下の略中間部
にはダイパッド12bから張り出した接続片が、またス
ルーホール14f,14iの上,下の略中間部には、前
記ダイパッド12cから張り出した接続片が夫々接触せ
しめてあり、相互に電気的に接続された状態となってい
る。パッケージ2の相対向する側壁13,14の下面に
設けられた金属パッド13b,13e,13h,14
b,14e,14hは夫々図示しないピンと電気的に接
続されており、パッケージ2を実装基板1に装着するこ
とで、金属パッド13b,14bに接続されたピンが実
装基板1表面のマイクロストリップライン1d,1eと
電気的に接続され、また金属パッド13e,13h、金
属パッド14e,14hに接続されたピンは実装基板1
のスルーホール1b,1c(金属パッド14e,14h
に接続されたピンが接続されるスルーホールは表れてい
ない)を介してグランド電極1aと電気的に接続される
ように実装基板1に対して装着される。
Further, connection pieces protruding from the die pad 12b are provided on the through holes 13f and 13i provided on both sides of the side walls 13 and 14 and above and below the through holes 13f and 13i, and on the through holes 14f and 14i. Connection pieces protruding from the die pad 12c are in contact with the lower middle portion, respectively, and are electrically connected to each other. Metal pads 13b, 13e, 13h, 14 provided on the lower surfaces of the side walls 13, 14 of the package 2 facing each other
b, 14e, and 14h are electrically connected to pins (not shown), and when the package 2 is mounted on the mounting board 1, the pins connected to the metal pads 13b and 14b are connected to the microstrip line 1d on the surface of the mounting board 1. , 1e, and the pins electrically connected to the metal pads 13e and 13h and the metal pads 14e and 14h are the mounting substrate 1
Through holes 1b, 1c (metal pads 14e, 14h)
The mounting board 1 is mounted so as to be electrically connected to the ground electrode 1a via a through hole to which the pin connected to is connected.

【0030】従ってパッケージ2が実装基板1に装着さ
れた状態では入力側の櫛歯状電極21は、前述したボン
ディングワイヤ4aと接続された金属パッド13a,ス
ルーホール13c,金属パッド13b及び図示しないピ
ンを介して図10(a)に示す如きマイクロストリップ
ライン1dに電気的に接続され、このマイクロストリッ
プライン1dにて図示しない信号源に接続されることと
なる。また出力側の櫛歯状電極23は、前述したボンデ
ィングワイヤ5aと接続された金属パッド14a,スル
ーホール14c,金属パッド14b及び図示しないピン
を介して図10(a)に示す如きマイクロストリップラ
イン1eに電気的に接続され、このマイクロストリップ
ライン1eにて図示しない受信部(負荷)に接続される
こととなる。
Therefore, when the package 2 is mounted on the mounting substrate 1, the comb-teeth-shaped electrode 21 on the input side has a metal pad 13a, a through hole 13c, a metal pad 13b and a pin (not shown) connected to the bonding wire 4a. It is electrically connected to the microstrip line 1d as shown in FIG. 10 (a) via the, and the microstrip line 1d is connected to a signal source (not shown). Further, the comb-teeth-shaped electrode 23 on the output side is provided with a microstrip line 1e as shown in FIG. 10A via the metal pad 14a connected to the bonding wire 5a, the through hole 14c, the metal pad 14b and a pin (not shown). Is electrically connected to the receiving section (load) (not shown) through the microstrip line 1e.

【0031】一方、入力側の櫛歯状電極22,出力側の
櫛歯状電極24は前述したボンディングワイヤ4b,5
bと接続された金属パッド13d,14d、スルーホー
ル13f,14fを介して相互に分離されたダイパッド
12b,12cに個別に接続され、また前記スルーホー
ル13f,14f、金属パッド13e,14e、これら
金属パッド13e,14eに接続されたピン、実装基板
1のスルーホール1b,1cを介在させてグランド電極
1aに電気的に接続されている。櫛歯状電22,24と
ダイパッド12b,12cとの間は直接ボンディングワ
イヤを介して又はスルーホールを介して電気的に接続す
るようにしてもよい。
On the other hand, the comb-teeth-shaped electrode 22 on the input side and the comb-teeth-shaped electrode 24 on the output side have the above-described bonding wires 4b and 5b.
metal pads 13d and 14d connected to b, and die pads 12b and 12c separated from each other through through holes 13f and 14f, respectively, and the through holes 13f and 14f, metal pads 13e and 14e, and these metals. It is electrically connected to the ground electrode 1a through the pins connected to the pads 13e and 14e and the through holes 1b and 1c of the mounting substrate 1. The comb-shaped electrodes 22 and 24 and the die pads 12b and 12c may be electrically connected directly via a bonding wire or through a through hole.

【0032】図6は、チップ3と、チップ設置台たるパ
ッケージ下部体11におけるダイパッド12b,12c
と実装基板1との間の電気信号の伝播経路を示す説明図
である。信号源から出力された所定周波数帯域の電気信
号はマイクロストリップライン1dから入力端子である
金属パッド13bに入力され、スルーホール13c,金
属パッド13a,ボンディングワイヤ4aを通じてチッ
プ3表面の櫛歯状電極21に電気信号が伝達される。
FIG. 6 shows the chip 3 and the die pads 12b and 12c in the package lower body 11 which is a chip mounting table.
It is explanatory drawing which shows the propagation path of the electric signal between the mounting board 1 and. An electric signal of a predetermined frequency band output from the signal source is input to the metal pad 13b which is an input terminal from the microstrip line 1d, and the comb-teeth electrode 21 on the surface of the chip 3 through the through hole 13c, the metal pad 13a, and the bonding wire 4a. An electric signal is transmitted to.

【0033】入力側の櫛歯状電極21,22の歯部21
b,22bは多数本であり、しかも相互に近接して位置
しているため、相互の間のインピーダンスは極めて小さ
く、櫛歯状電極21へ入力した電気信号は櫛歯状電極2
2へも伝達される。そしてその際、圧電基板20にも通
電され、圧電基板20が振動して音波を発生する。発生
した音波は圧電基板20の表面を出力側に伝播する。
Tooth portion 21 of comb-shaped electrodes 21 and 22 on the input side
Since a large number of b and 22b are located close to each other, the impedance between them is extremely small, and the electric signal input to the comb-shaped electrode 21 is
It is also transmitted to 2. At that time, the piezoelectric substrate 20 is also energized, and the piezoelectric substrate 20 vibrates to generate a sound wave. The generated sound wave propagates to the output side on the surface of the piezoelectric substrate 20.

【0034】この際、前述した如く櫛歯状電極21から
22へ伝達しようとする電気信号の一部は前記櫛歯状電
極22に一端を接続したボンディングワイヤ4b等を介
してダイパッド12bに伝達されるが、ダイパッド12
bと12cとは分離されているから、そのまま実装基板
1のグランド電極1aに流れ、電気信号が直接出力側に
伝達されることが阻止される。つまりチップ3の近傍で
あるダイパッド12bを通じて入力側の電気信号がその
まま出力側と短絡されることが阻止される。
At this time, as described above, a part of the electric signal to be transmitted from the comb-teeth electrodes 21 to 22 is transmitted to the die pad 12b via the bonding wire 4b having one end connected to the comb-teeth electrode 22. But die pad 12
Since b and 12c are separated, they directly flow to the ground electrode 1a of the mounting substrate 1 and are prevented from transmitting an electric signal directly to the output side. That is, the electrical signal on the input side is prevented from being short-circuited to the output side as it is through the die pad 12b near the chip 3.

【0035】一方、出力側では櫛歯状電極23,24間
に達した音波がこれに対応した電気信号に変換され、櫛
歯状電極23に一端が接続されたボンディングワイヤ5
a、金属パッド14a,スルーホール14c、出力端子
である金属パッド14bを経てマイクロストリップライ
ン1eから外部へ出力される。この間、信号源から入力
された所定周波数帯域の電気信号は、電気信号→音波→
電気信号に変換される過程で所定周波数の電気信号のみ
が負荷へ印加される。
On the other hand, on the output side, the sound wave reaching between the comb-teeth electrodes 23, 24 is converted into an electric signal corresponding to the sound wave, and one end of the bonding wire 5 is connected to the comb-teeth electrode 23.
It is output to the outside from the microstrip line 1e via a, the metal pad 14a, the through hole 14c, and the metal pad 14b which is an output terminal. During this time, the electric signal in the predetermined frequency band input from the signal source is the electric signal → sound wave →
In the process of being converted into an electric signal, only an electric signal having a predetermined frequency is applied to the load.

【0036】なお、実装基板1の下面に設けられている
グランド電極1aには、ダイパッド12b,12cが共
に接続されているものの、チップ3から離れた場所での
接続であるため、これによりノイズが櫛歯状電極23,
24を通じて直接出力されることは殆ど生じない。勿
論、必要があれば実装基板1下面のグランド電極1aに
ついてもこれを2分割し、夫々これらを更に他の接地用
電極に接続することとしてもよい。
Although the die pads 12b and 12c are both connected to the ground electrode 1a provided on the lower surface of the mounting substrate 1, since the connection is made at a location distant from the chip 3, this causes noise. Comb-shaped electrode 23,
Rarely is it output directly through 24. Of course, if necessary, the ground electrode 1a on the lower surface of the mounting substrate 1 may be divided into two, and each may be connected to another grounding electrode.

【0037】次に本発明に係る設置台たるパッケージと
従来のパッケージとについての比較試験結果を説明す
る。図1〜図5に示す如き本発明装置と図6〜図11に
示す如き従来装置とについてシミュレーションを実施
し、夫々のアイソレーションを求めた。その結果、本発
明装置にあっては入力側から1.9GHzの周波数信号
を入力すると、入力側と出力側とのアイソレーション強
度は38dBであった。同じ条件で従来装置にあって
は、アイソレーション強度は、29dBであり、本発明
装置に依った場合は従来装置に比較して大幅にアイソレ
ーションが向上することが確認出来た。
Next, the comparison test results of the package as the installation table according to the present invention and the conventional package will be described. Simulations were carried out on the device of the present invention as shown in FIGS. 1 to 5 and the conventional device as shown in FIGS. 6 to 11 to obtain respective isolations. As a result, in the device of the present invention, when the frequency signal of 1.9 GHz was input from the input side, the isolation strength between the input side and the output side was 38 dB. Under the same conditions, the isolation strength of the conventional device was 29 dB, and it was confirmed that the device of the present invention significantly improved the isolation as compared with the conventional device.

【0038】[0038]

【発明の効果】第1,第2,第3の発明に係るチップ設
置台にあっては、接地用電極を通じて入力端側から出力
端側へ直接電気的にノイズが伝達される不都合を防止出
来る。
In the chip mount according to the first, second and third aspects of the present invention, it is possible to prevent the inconvenience that noise is directly transmitted from the input end side to the output end side through the ground electrode. .

【0039】第4の発明にあってはパッケージ作製の工
数増大を招くことなくパッケージの高アイソレーション
化を達成し得ることとなる。
According to the fourth aspect of the invention, high isolation of the package can be achieved without increasing the number of manufacturing steps of the package.

【0040】第5の発明にあっては入力側の櫛歯状電極
から接地用電極を通じて出力側の櫛歯状電極へ電気信号
が直接伝達されて弾性波フィルタとしての機能が低下す
るのを防止し、高アイソレーション化を達成できる。
In the fifth invention, it is prevented that the electric signal is directly transmitted from the comb-teeth electrode on the input side through the grounding electrode to the comb-teeth electrode on the output side and the function as the acoustic wave filter is deteriorated. And high isolation can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る弾性波フィルタのチップを収納し
たパッケージの模式的縦断面図である。
FIG. 1 is a schematic vertical sectional view of a package accommodating a chip of an acoustic wave filter according to the present invention.

【図2】図1のII−II線による横断平面図である。FIG. 2 is a cross-sectional plan view taken along the line II-II of FIG.

【図3】図1の III−III 線による縦断面図である。FIG. 3 is a vertical sectional view taken along the line III-III in FIG.

【図4】図2のIV−IV線による部分破断斜視図である。4 is a partially cutaway perspective view taken along the line IV-IV of FIG.

【図5】パッケージ内におけるダイパッド,金属パッ
ド,スルーホールの配置及び電気的接続関係を示す模式
図である。
FIG. 5 is a schematic view showing the arrangement and electrical connection of die pads, metal pads, through holes in a package.

【図6】本発明の実施の形態における電気信号の伝達経
路を示す説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a transmission path of an electric signal according to the embodiment of the present invention.

【図7】一般的な弾性波フィルタの模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram of a general acoustic wave filter.

【図8】従来の弾性波フィルタのパッケージの中央部の
模式的縦断面図である。
FIG. 8 is a schematic vertical sectional view of a central portion of a package of a conventional acoustic wave filter.

【図9】従来の弾性波フィルタのパッケージの一側寄り
の模式的縦断面図である。
FIG. 9 is a schematic vertical sectional view of a conventional acoustic wave filter package, which is closer to one side.

【図10】パッケージを実装基板上に装着した状態を示
す模式的平面図及び断面図である。
FIG. 10 is a schematic plan view and a cross-sectional view showing a state in which a package is mounted on a mounting board.

【図11】従来の弾性波フィルタのチップ,パッケージ
間における電気信号の伝達経路を示す説明図である。
FIG. 11 is an explanatory view showing a transmission path of an electric signal between a chip and a package of a conventional acoustic wave filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 実装基板 1a グランド電極 2 パッケージ 3 チップ 4a,4b,5a,5b ボンディングワイヤ 11 パッケージ下部体 12 底壁 12b,12c ダイパッド 13,14 側壁 13a,13b,13d,13e,13g,13h 金
属パッド 13c,13f,13i スルーホール 14a,14b,14d,14e,14g,14h 金
属パッド 14c,14f,13i スルーホール 20 圧電基板 21,22,23,24 櫛歯状電極
1 Mounting Substrate 1a Ground Electrode 2 Package 3 Chip 4a, 4b, 5a, 5b Bonding Wire 11 Package Lower Body 12 Bottom Wall 12b, 12c Die Pad 13, 14 Sidewall 13a, 13b, 13d, 13e, 13g, 13h Metal Pad 13c, 13f , 13i Through hole 14a, 14b, 14d, 14e, 14g, 14h Metal pad 14c, 14f, 13i Through hole 20 Piezoelectric substrate 21, 22, 23, 24 Comb-shaped electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原田 八十雄 大阪府守口市京阪本通2丁目5番5号 三 洋電機株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Yatsuo Harada 2-5-5 Keihan Hondori, Moriguchi City, Osaka Sanyo Electric Co., Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも2以上の接地すべき電極を備
えたチップを載置するための設置台において、 前記設置台は、前記チップの接地すべき前記各電極夫々
を接続すべき互いに離間した箇別の接地用電極を備える
ことを特徴とするチップ設置台。
1. An installation table for mounting a chip having at least two electrodes to be grounded, wherein the installation table is a mutually spaced position to which each of the electrodes of the chip to be grounded should be connected. A chip mounting table, which is provided with another grounding electrode.
【請求項2】 前記接地用電極は、前記チップを載置す
るダイパッドであることを特徴とする請求項1記載のチ
ップ設置台。
2. The chip mount base according to claim 1, wherein the ground electrode is a die pad on which the chip is mounted.
【請求項3】 前記チップは弾性波フィルタからなるチ
ップであることを特徴とする請求項1又は2記載のチッ
プ設置台。
3. The chip mount base according to claim 1, wherein the chip is a chip made of an acoustic wave filter.
【請求項4】 請求項1,2又は3記載のチップ設置台
を備えたことを特徴とするパッケージ。
4. A package comprising the chip installation base according to claim 1, 2, or 3.
【請求項5】 圧電基板上に、一対の櫛歯状電極を互い
にその歯部を他の歯部間に位置するよう組合せたもの2
組を所要の間隔を隔てて配設してなる弾性波フィルタチ
ップを、互いに離間した個別の2個の接地用電極を備え
る設置台上に載置し、前記各組の一方の櫛歯状電極を夫
々前記設置台の前記箇別の接地用電極に接続せしめたこ
とを特徴とする弾性波フィルタ装置。
5. A combination of a pair of comb-teeth-shaped electrodes on a piezoelectric substrate such that their tooth portions are located between other tooth portions.
The acoustic wave filter chips, which are formed by arranging the sets at a required interval, are placed on an installation table provided with two separate grounding electrodes, and one of the comb-shaped electrodes of each set is placed. Are connected to the separate grounding electrodes of the installation table, respectively.
JP7341686A 1995-12-27 1995-12-27 Chip mount base, package using it and surface acoustic wave filter Pending JPH09186550A (en)

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JPH09186550A true JPH09186550A (en) 1997-07-15

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6388545B1 (en) 1998-05-29 2002-05-14 Fujitsu Limited Surface-acoustic-wave filter having an improved suppression outside a pass-band
US6720845B2 (en) * 2000-11-09 2004-04-13 Nrs Technologies Inc. Saw filter device and package for accommodating the same
US6750592B2 (en) * 2000-11-09 2004-06-15 Nrs Technologies, Inc. Surface acoustic wave filter and surface acoustic wave filter apparatus
US8981548B2 (en) 2007-05-25 2015-03-17 Stats Chippac Ltd. Integrated circuit package system with relief

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