JP3432415B2 - Vibrating tube density meter - Google Patents

Vibrating tube density meter

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JP3432415B2
JP3432415B2 JP11238898A JP11238898A JP3432415B2 JP 3432415 B2 JP3432415 B2 JP 3432415B2 JP 11238898 A JP11238898 A JP 11238898A JP 11238898 A JP11238898 A JP 11238898A JP 3432415 B2 JP3432415 B2 JP 3432415B2
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vibration
vibrating
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frequency
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邦夫 新井
宏 猪股
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Genesis Research Institute Inc
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】振動管内の被測定流体の密度
を測定する振動管密度計、特に光学式の振動検出手段を
有するものに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibrating tube densitometer for measuring the density of a fluid to be measured in a vibrating tube, and more particularly to a vibrating tube densitometer having optical vibration detecting means.

【0002】[0002]

【従来の技術】流体の密度計測は、流体の性状を知る上
で非常に重要なものであり、各種の密度計が利用されて
いる。この密度計の1つとして、振動管密度計がある。
振動管密度計では、被測定流体を収容した振動管の固有
振動数がその質量に依存することを利用して、被測定流
体の密度を計測する。
2. Description of the Related Art The measurement of the density of a fluid is very important to know the properties of the fluid, and various density meters have been used. A vibration tube densitometer is one of the densitometers.
The vibrating tube densitometer measures the density of the fluid to be measured by utilizing the fact that the natural frequency of the vibrating tube containing the fluid to be measured depends on its mass.

【0003】例えば、雑誌「Rev.Sci.Inst
rum.,Vol.55,No.4,April 19
84 P.589〜593」には、このような振動管密
度計が示されている。この振動管密度計では、振動管に
ドライブワイヤ及びピックアップワイヤを取り付けてお
き、これらワイヤを永久磁石による一定磁場内に配置す
る。そして、ドライブワイヤへのドライブ電流によって
振動管を振動させるとともに、ピックアップワイヤに発
生される電流に応じてドライブ電流をフィードバック制
御することで、振動管の振動数を共振振動数(固有振動
数)にあわせる。そして、この共振振動数を計測するこ
とで、密度を求めている。
For example, the magazine “Rev. Sci. Inst”
rum. , Vol. 55, No. 4, April 19
84 P. 589-593 ", such a vibrating tube densitometer is shown. In this vibrating tube densitometer, a drive wire and a pickup wire are attached to the vibrating tube, and these wires are arranged in a constant magnetic field by a permanent magnet. Then, by vibrating the vibrating tube by the drive current to the drive wire and feedback controlling the drive current according to the current generated in the pickup wire, the vibration frequency of the vibrating tube becomes the resonance frequency (natural frequency). Match. Then, the density is obtained by measuring the resonance frequency.

【0004】また、特開平5−142134号公報にこ
のような振動管密度計が示されている。この公報の振動
管密度計では、振動管に磁性体を取り付けておき、駆動
コイルによって振動管を振動させる。そして、ピックア
ップコイルにより、振動管の振動に基づいて発生する電
流を検出する。そして、この検出した電流を駆動コイル
に帰還する(フィードバック制御する)ことによって、
振動管を固有振動数において振動させ、この固有振動数
を求めている。
Further, Japanese Patent Laid-Open No. 5-142134 discloses such a vibrating tube densitometer. In the vibrating tube densitometer of this publication, a magnetic body is attached to the vibrating tube, and the vibrating tube is vibrated by the drive coil. Then, the pickup coil detects the current generated based on the vibration of the vibrating tube. Then, by feeding back the detected current to the drive coil (feedback control),
The vibrating tube is vibrated at the natural frequency, and the natural frequency is obtained.

【0005】このような振動管密度計は、被測定流体を
振動管内に収容したままで、流体の密度が計測できる。
このため、各種のプロセスラインなどでの密度計測に広
く利用されている。特に、各種流体の超臨界状態での密
度計測は、超臨界状態における流体の性状を知る上で非
常に重要であり、これを計測したいという要望は大き
い。振動管密度計では、被測定流体を高温高圧下におい
ての密度計側が行えるため、このような流体の密度計測
に適していると考えられている。
In such a vibrating tube densitometer, the density of the fluid can be measured while the fluid to be measured is contained in the vibrating tube.
Therefore, it is widely used for density measurement in various process lines. In particular, density measurement of various fluids in the supercritical state is very important for knowing the properties of the fluid in the supercritical state, and there is a great demand for measuring this. It is considered that the vibrating tube densitometer is suitable for the density measurement of such a fluid because the fluid to be measured can be measured by the densitometer under high temperature and high pressure.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ここで、従来の振動管
密度計では、振動管の振動数をフィードバック制御によ
り制御している。従って、被測定流体の密度が変化した
時に、振動管の振動を固有振動数にあわせるまでの時間
がかなりかかり、追従性がよくないという問題点があっ
た。また、従来の振動管密度計では、振動数の計測にカ
ウンタを利用している。すなわち、検出電流のゼロクロ
スの回数と、その間の時間間隔から周期を測定し、振動
数を計測する。このため、振動数の計測自体に時間がか
かり、流体の過渡状態における振動数計測は困難であっ
た。
In the conventional vibrating tube densitometer, the frequency of the vibrating tube is controlled by feedback control. Therefore, when the density of the fluid to be measured changes, it takes a considerable time to adjust the vibration of the vibrating tube to the natural frequency, and there is a problem that the followability is poor. Moreover, in the conventional vibrating tube densitometer, a counter is used to measure the frequency. That is, the frequency is measured by measuring the period from the number of zero crosses of the detected current and the time interval therebetween. Therefore, it takes time to measure the frequency itself, and it is difficult to measure the frequency in the transient state of the fluid.

【0007】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
であって、追従性が改善された振動管密度計を提供する
ことを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a vibrating tube densitometer having improved followability.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、振動管内の被
測定流体の密度を測定する振動管密度計であって、振動
に衝撃を与え加振するか、あるいは所定の範囲で加振
振動数を掃引して加振する加振手段と、振動管に光線を
照射してこの反射光を受光し、受光した反射光に基づい
て振動管の振動検出する光学式振動検出手段と、を有
し、検出した振動管の振動に基づき振動管の共振振動数
を求め、この共振振動数に基づいて、被測定流体の密度
を測定することを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a vibrating tube densitometer for measuring the density of a fluid to be measured in a vibrating tube, wherein the vibrating tube is impacted or vibrated, or vibrated within a predetermined range.
Vibrating means for sweeping and vibrating the frequency, and optical vibration detecting means for irradiating the vibrating tube with light rays to receive the reflected light and detecting the vibration of the vibrating tube based on the received reflected light, Resonant frequency of the vibrating tube based on the detected vibration of the vibrating tube
Is obtained, and the density of the fluid to be measured is measured based on this resonance frequency .

【0009】このように、本発明によれば、光学式振動
検出手段により、振動管での反射波に基づいて、振動管
の振動数を検出する。従って、振動管は単に光を反射す
るだけでよく、振動管に余計な部材を取り付ける必要が
ない。そこで、正確な密度測定を行いやすい。また、振
動管近傍に余計な部材(例えば永久磁石等)を設置する
必要がないため、振動管がコンパクトになり恒温槽など
に収容しやすくなる。
As described above, according to the present invention, the vibration frequency of the vibrating tube is detected by the optical vibration detecting means based on the reflected wave at the vibrating tube. Therefore, the vibrating tube need only reflect light, and it is not necessary to attach an extra member to the vibrating tube. Therefore, it is easy to perform accurate density measurement. Moreover, since it is not necessary to install an extra member (for example, a permanent magnet or the like) near the vibrating tube, the vibrating tube becomes compact and can be easily housed in a constant temperature bath or the like.

【0010】また、本発明は、前記光学式振動検出手段
が、レーザ光を照射し、反射光におけるドップラシフト
を検出することによって、振動数を検出することを特徴
とする。このようにレーザ光のドップラシフトを検出す
ると、振動管の速度を瞬時に測定することができ、その
速度に基づいて、比較的短時間で振動数を検出すること
ができる。従って、振動数の測定をすぐに行うことがで
き、測定の追従性が向上する。そこで、被測定流体の密
度が速く変化する場合においても、これに追従すること
ができる。これによって、被測定流体の相変化などに対
しても追従が可能となる。
Further, the present invention is characterized in that the optical vibration detecting means detects the frequency by irradiating a laser beam and detecting a Doppler shift in the reflected light. By detecting the Doppler shift of the laser light in this way, the speed of the vibrating tube can be instantaneously measured, and the frequency can be detected in a relatively short time based on the speed. Therefore, the frequency can be measured immediately, and the followability of the measurement is improved. Therefore, even when the density of the fluid to be measured changes rapidly, it is possible to follow this. This makes it possible to follow the phase change of the fluid to be measured.

【0011】また、本発明は、前記加振手段が、圧電素
子を含み、この圧電素子の振動を振動管に伝えることを
特徴とする。圧電振動素子を利用することで、各種の加
振モード(衝撃波、正弦波、矩形波等)や加振振動数を
容易に変更できる。
Further, the present invention is characterized in that the vibrating means includes a piezoelectric element and transmits the vibration of the piezoelectric element to a vibrating tube. By using the piezoelectric vibrating element, various vibration modes (shock wave, sine wave, rectangular wave, etc.) and vibration frequencies can be easily changed.

【0012】[0012]

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態(以下
実施形態という)について、図面に基づいて説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention (hereinafter referred to as embodiments) will be described below with reference to the drawings.

【0014】図1は、実施形態に係る振動管密度計の全
体構成を示す図である。定流量ポンプ10は、シリンジ
ポンプで構成され、被測定液を定量的に圧送する。この
定流量ポンプ10の吐出端は、供給管12を介し、予熱
部14の一端に接続されており、被測定流体が予熱部1
4に送られる。この予熱部14の他端は振動管16の一
端に接続されている。
FIG. 1 is a diagram showing the overall configuration of a vibrating tube densitometer according to the embodiment. The constant flow rate pump 10 is composed of a syringe pump and quantitatively pumps the liquid to be measured. The discharge end of the constant flow rate pump 10 is connected to one end of the preheating unit 14 via the supply pipe 12, and the fluid to be measured has the preheating unit 1
Sent to 4. The other end of the preheating section 14 is connected to one end of the vibration tube 16.

【0015】この振動管16は、全体としてU字に形成
されており、このU字の2本の管が平行に位置する側の
端部(基部)16aが固定部17に固定されている。固
定部17は、例えばボルトで結合される2枚の板状の部
材により構成し、振動管16を挟み込んで固定する。そ
して、振動管16はその中間部において、U字の先端部
16bが基部16a側に向くように折り曲げられてい
る。従って、振動管16の先端部16bは、自由端とな
っている。このような振動管16では、固定部17によ
って固定されている固定端とU字の先端の自由端の間に
折り曲げ部が存在するため、ここがバネとして作用し、
振動管16の先端の振動が振動管16(被測定流体を含
む)の質量に応じたものになり、密度測定に適した振動
が得られる。
The vibrating tube 16 is formed in a U shape as a whole, and an end portion (base portion) 16a on the side where the two U-shaped tubes are parallel to each other is fixed to a fixing portion 17. The fixing portion 17 is composed of, for example, two plate-shaped members joined by bolts, and sandwiches and fixes the vibrating tube 16. The vibrating tube 16 is bent at an intermediate portion thereof so that the U-shaped tip portion 16b faces the base portion 16a. Therefore, the tip portion 16b of the vibrating tube 16 is a free end. In such a vibrating tube 16, since there is a bent portion between the fixed end fixed by the fixing portion 17 and the free end of the U-shaped tip, this acts as a spring,
The vibration at the tip of the vibrating tube 16 depends on the mass of the vibrating tube 16 (including the fluid to be measured), and vibration suitable for density measurement is obtained.

【0016】振動管16の他端は排出管18に接続され
ており、この排出管18は、冷却部20を通過した後圧
力制御部22に接続されている。この圧力制御部22
は、系内の圧力を所定圧力に維持する。従って、定流量
ポンプ10によって、振動管16内の被測定流体の流量
が決定され、圧力制御部22によって、振動管内の被測
定流体の圧力が決定される。なお、圧力制御部22もシ
リンジポンプで構成することができる。
The other end of the vibrating pipe 16 is connected to a discharge pipe 18, and the discharge pipe 18 is connected to a pressure control unit 22 after passing through a cooling unit 20. This pressure control unit 22
Maintains the pressure in the system at a predetermined pressure. Therefore, the constant flow rate pump 10 determines the flow rate of the fluid to be measured in the vibrating tube 16, and the pressure control unit 22 determines the pressure of the fluid to be measured in the vibrating tube. The pressure control unit 22 can also be composed of a syringe pump.

【0017】また、予熱部14及び振動管16は、恒温
槽24内に収容されており、振動管16内の被測定流体
の温度を所定温度に維持できる。冷却部20は、圧力制
御部22に流入する被測定流体の温度を下げるためのも
のである。また、固定部17は、振動管16の基部を恒
温槽24に固定している。なお、予熱部14は、振動管
16と同じ恒温槽24内に収容する必要はなく、別の予
熱槽を設け、ここに予熱部14を収容することも好適で
ある。
The preheating section 14 and the vibrating tube 16 are housed in a constant temperature bath 24, and the temperature of the fluid to be measured in the vibrating tube 16 can be maintained at a predetermined temperature. The cooling unit 20 is for reducing the temperature of the fluid to be measured flowing into the pressure control unit 22. The fixed portion 17 fixes the base portion of the vibration tube 16 to the constant temperature bath 24. The preheating unit 14 does not have to be housed in the same constant temperature bath 24 as the vibrating tube 16, but it is also preferable to provide another preheating tank and house the preheating unit 14 therein.

【0018】予熱部14の振動管16に接続される直前
の部分には、温度計26が接続されており、振動管16
に導入される被測定流体の温度を計測している。この計
測値に従って、定流量ポンプ10の流量や恒温槽24の
温度を制御することによって、被測定流体の温度を適切
なものに維持できる。特に、予熱槽を別に設けた場合に
は、予熱槽における加温状態を制御することによって、
より好適に温度制御を行うことができる。
A thermometer 26 is connected to a portion of the preheating section 14 immediately before being connected to the vibrating tube 16.
The temperature of the fluid to be measured introduced into the is measured. By controlling the flow rate of the constant flow pump 10 and the temperature of the constant temperature bath 24 according to this measured value, the temperature of the fluid to be measured can be maintained at an appropriate level. In particular, when a preheating tank is provided separately, by controlling the heating state in the preheating tank,
The temperature can be controlled more preferably.

【0019】さらに、排出管18には、圧力計28が設
けられており、振動管16内の圧力を計測することがで
きる。従って、この圧力計28の検出結果に応じ圧力制
御部22を制御することで、振動管16内の被測定流体
の圧力を正確に制御することができる。
Further, the discharge pipe 18 is provided with a pressure gauge 28 so that the pressure in the vibrating pipe 16 can be measured. Therefore, by controlling the pressure controller 22 according to the detection result of the pressure gauge 28, the pressure of the fluid to be measured in the vibrating tube 16 can be accurately controlled.

【0020】また、振動管16の固定部17の近傍に
は、アクチュエータ30の振動伝達部材30aが配置さ
れている。この振動伝達部材30aは、振動管16に上
部から押しつけられており、振動伝達部材30aが振動
することによって、その振動が振動管16に伝達され
る。このように、本実施形態では、振動管16の弾性に
よって、振動伝達部材30aと振動管16が接触される
ようになっている。アクチューエータ30は圧電素子を
有しており、この圧電素子の振動を振動伝達部材30a
へ出力する。
A vibration transmission member 30a of the actuator 30 is arranged near the fixed portion 17 of the vibration tube 16. The vibration transmission member 30a is pressed against the vibration pipe 16 from above, and the vibration is transmitted to the vibration pipe 16 by vibrating the vibration transmission member 30a. As described above, in the present embodiment, the vibration transmitting member 30a and the vibration pipe 16 are brought into contact with each other by the elasticity of the vibration pipe 16. The actuator 30 has a piezoelectric element, and the vibration of the piezoelectric element is transmitted to the vibration transmitting member 30a.
Output to.

【0021】このアクチュエータ30には、ファンクシ
ョンジェネレータ32が接続されている。このファンク
ションジェネレータ32は、アクチュエータ30に所定
の交流電圧を供給し、これによって圧電素子を駆動して
振動伝達部材30aを振動させる。ファンクションジェ
ネレータ32は、出力する交流電圧の振動数を所定の範
囲で変更する。すなわち、ファンクションジェネレータ
32で発生される電圧の振動数に応じてアクチュエータ
32が振動管16を振動させる。
A function generator 32 is connected to the actuator 30. The function generator 32 supplies a predetermined AC voltage to the actuator 30, thereby driving the piezoelectric element to vibrate the vibration transmitting member 30a. The function generator 32 changes the frequency of the output AC voltage within a predetermined range. That is, the actuator 32 vibrates the vibrating tube 16 according to the frequency of the voltage generated by the function generator 32.

【0022】また、振動管16のU字の先端部には、レ
ーザドップラ振動計40からのレーザ光が照射され、振
動管16の表面で反射された反射光がレーザドップラ振
動計40に受光されるようになっている。そして、反射
光は、振動管16のレーザ反射部分の速度(振動)に応
じたドップラシフトを受けている。そこで、レーザドッ
プラ振動計40は、受光した反射光の波長に基づいて、
振動管の速度を検出する。すなわち、速度の時間変化に
ついての信号(振動についての信号)を出力する。振動
管16の反射表面は、反射光がレーザドップラ振動計4
0に入射しやすくなるように、研磨して鏡面としたり平
坦にすることも好適である。なお、速度信号を積分し
て、変位についての信号を出力するようにしてもよい。
The U-shaped tip of the vibrating tube 16 is irradiated with laser light from the laser Doppler vibrometer 40, and the reflected light reflected by the surface of the vibrating tube 16 is received by the laser Doppler vibrometer 40. It has become so. Then, the reflected light undergoes a Doppler shift according to the speed (vibration) of the laser reflection portion of the vibration tube 16. Therefore, the laser Doppler vibrometer 40 calculates, based on the wavelength of the received reflected light,
Detect the speed of the vibrating tube. That is, a signal regarding the time change of the speed (a signal regarding vibration) is output. The reflected surface of the vibrating tube 16 is reflected by the laser Doppler vibrometer 4
It is also preferable to polish it to a mirror surface or flatten it so that it can easily enter 0. The velocity signal may be integrated and a signal regarding the displacement may be output.

【0023】レーザドップラ振動計40において検出さ
れた振動についての信号は、電気信号としてFFTアナ
ライザ42に供給され、ここで振動数解析が行われ、振
動数軸上の強度信号が得られる。ここで、このFFTア
ナライザ42においては、広い振動数範囲で解析が可能
である。そこで、実際の振動数の3倍や5倍の高調波を
検出することも容易である。このような高調波の解析に
より、固有振動数のピークの検出の精度を上昇すること
ができる。すなわち、FFTアナライザ42において、
周波数軸上の解像度は基本的に同一であるため、3倍、
5倍の振動数での解析により、結果的にピークの振動数
解析の精度を高めることができる。
The signal about the vibration detected by the laser Doppler vibrometer 40 is supplied as an electric signal to the FFT analyzer 42, where the frequency analysis is performed and the intensity signal on the frequency axis is obtained. Here, the FFT analyzer 42 can analyze in a wide frequency range. Therefore, it is easy to detect harmonics that are three or five times the actual frequency. The analysis of such harmonics can improve the accuracy of detecting the peak of the natural frequency. That is, in the FFT analyzer 42,
Since the resolution on the frequency axis is basically the same, 3 times,
As a result of the analysis at the frequency of 5 times, the accuracy of the peak frequency analysis can be improved.

【0024】そして、ファンクションジェネレータ32
により、振動数を所定の範囲で、掃引することによっ
て、アクチュエータ30による加振周波数が振動管16
の固有振動数に一致したときに共振する。このため、F
FTアナライザ42において、共振時に固有振動数に大
きなピークが生じる。そこで、振動数解析結果から、ピ
ークの振動数を求めることで、振動管16の固有振動数
を求めることができる。そして、この振動管16の固有
振動数は、振動管16内部の流体の密度の関数であり、
検出した固有振動数から流体の密度を求めることができ
る。
Then, the function generator 32
By sweeping the vibration frequency within a predetermined range, the vibration frequency of the actuator 30 is changed by the vibration tube 16
Resonates when it matches the natural frequency of. Therefore, F
In the FT analyzer 42, a large peak occurs in the natural frequency at the time of resonance. Therefore, the natural frequency of the vibrating tube 16 can be obtained by obtaining the peak frequency from the frequency analysis result. The natural frequency of the vibrating tube 16 is a function of the density of the fluid inside the vibrating tube 16,
The fluid density can be obtained from the detected natural frequency.

【0025】このように、本実施形態の振動管密度計で
は、レーザドップラ振動計40を用い、その出力の振動
数解析から振動管16の固有振動数を求める。振動数解
析において必要な振動についてのデータ量(時間)は、
その振動数解析の範囲(振動数範囲)にもよるが、それ
ほど大きくない。従って、比較的早期に振動数を得るこ
とができ、振動管16内の被測定流体の変化に追従して
密度測定が行える。さらに、振動管16内の被測定流体
の相変化にも追従することができる。
As described above, in the vibrating tube densitometer of the present embodiment, the laser Doppler vibrometer 40 is used, and the natural frequency of the vibrating tube 16 is obtained from the frequency analysis of the output. The amount of data (time) for vibration required for frequency analysis is
Although it depends on the frequency analysis range (frequency range), it is not so large. Therefore, the frequency can be obtained relatively early, and the density can be measured by following the change of the fluid to be measured in the vibrating tube 16. Furthermore, it is possible to follow the phase change of the fluid to be measured in the vibration tube 16.

【0026】また、本実施形態では、FFTアナライザ
42とファンクションジェネレータ32が接続されてい
る。従って、FFTアナライザ42は、ファンクション
ジェネレータ32から出力される電気信号の振動数を認
識している。そこで、ファンクションジェネレータ32
において発生する電気信号の振動数をレーザドップラ振
動計40からの信号に基づいてフィードバック制御する
こともできる。例えば、初期のピークサーチでは、FF
Tアナライザ42における解析対象とする振動数範囲
(ファンクションジェネレータ32の振動数掃引範囲)
を広くしておくことで、ピークが見つけやすくなる。そ
して、ピークが見つかったときに振動数範囲をそのピー
クの近傍に設定することで、解像度を上昇することがで
きる。また、被測定流体の相変化が起こるような密度が
急激に変化する状態では、ファンクションジェネレータ
32における振動数の掃引範囲を広くし、これに対応し
てFFTアナライザ42の解析対象振動数範囲を広くし
ておくことが好適である。
Further, in this embodiment, the FFT analyzer 42 and the function generator 32 are connected. Therefore, the FFT analyzer 42 recognizes the frequency of the electric signal output from the function generator 32. Therefore, the function generator 32
It is also possible to perform feedback control on the frequency of the electric signal generated in the above-mentioned manner based on the signal from the laser Doppler vibrometer 40. For example, in the initial peak search, FF
Frequency range to be analyzed by the T analyzer 42 (frequency sweep range of the function generator 32)
A wider peak makes it easier to find peaks. Then, when the peak is found, the frequency range is set in the vicinity of the peak, so that the resolution can be increased. Further, in a state where the density of the fluid to be measured changes rapidly such that the phase changes, the sweep range of the frequency in the function generator 32 is widened, and the frequency range to be analyzed by the FFT analyzer 42 is widened correspondingly. It is preferable to keep it.

【0027】また、ファンクションジェネレータ32か
ら出力する電気信号は、正弦波の信号であることが好適
である。この電気信号によって、アクチュエータ30の
圧電振動子の振動をなめらかなものにでき、振動管16
における不要な高調波成分の発生を防止することができ
る。さらに、送信振動数の変化も正弦波でなめらかに行
うとよい。すなわち、掃引周波数範囲において、振動数
を正弦波に従い、時間的に変化させることで、アクチュ
エータ30による加振振動数の好適な掃引が行える。
The electric signal output from the function generator 32 is preferably a sine wave signal. With this electric signal, the vibration of the piezoelectric vibrator of the actuator 30 can be made smooth, and the vibration tube 16
It is possible to prevent the generation of unnecessary higher harmonic components. Furthermore, it is advisable to smoothly change the transmission frequency with a sine wave. That is, in the sweep frequency range, the vibration frequency is temporally changed in accordance with the sine wave, so that the vibration frequency of the excitation by the actuator 30 can be appropriately swept.

【0028】ここで、振動管16は、ステンレス(SU
S316)のφ1/8インチ管(焼き入れ加工)などが
利用できるが、その他温度、圧力などに応じて、適切な
ものを採用することができる。例えば、ハステロイ(Ha
stelloy)、インコネル(Inconel)、白金・ロジウム、
チタンなどを使用できる。振動管16の肉厚が径に比し
て小さい程、被測定流体の重量の全体の重量に対する割
合が大きくなり、密度の測定感度を高くできる。これら
の条件を考慮して測定対象、測定条件などに応じて適切
な材質や管径、肉厚を選択することができる。
The vibrating tube 16 is made of stainless steel (SU).
A φ1 / 8 inch tube (quenching process) of S316) or the like can be used, but an appropriate one can be adopted according to other temperature, pressure, and the like. For example, Hastelloy (Ha
stelloy), Inconel, platinum rhodium,
Titanium or the like can be used. As the wall thickness of the vibrating tube 16 is smaller than the diameter, the ratio of the weight of the fluid to be measured to the total weight is larger, and the sensitivity of density measurement can be increased. Considering these conditions, an appropriate material, pipe diameter, and wall thickness can be selected according to the measurement target, measurement conditions, and the like.

【0029】また、アクチュエータ30の振動伝達部材
30aは、恒温槽24内で振動管16に直接接触してい
る。そこで、この振動伝達部材30aも高温に強い物質
で構成する必要があり、かつ圧電振動素子に熱を伝達し
にくいものがよい。振動伝達部材30aは、例えばセラ
ミックで構成することができる。また、ステンレスなど
の金属で構成してた場合には、水などによる冷却装置を
取り付けることが好適である。
The vibration transmitting member 30a of the actuator 30 is in direct contact with the vibrating tube 16 in the constant temperature bath 24. Therefore, the vibration transmitting member 30a also needs to be made of a material that is resistant to high temperatures, and it is preferable that it is difficult to transfer heat to the piezoelectric vibrating element. The vibration transmitting member 30a can be made of, for example, ceramic. Further, when it is made of metal such as stainless steel, it is preferable to attach a cooling device using water or the like.

【0030】さらに、上述の実施形態では、加振手段と
して、圧電素子を利用したアクチュエータ30を利用し
た。しかし、加振手段は、これに限定されることなく、
モータで駆動するクランクなどを利用してもよい。ま
た、ハンマーやエアガンで振動管に衝撃を与え、その後
の振動管16の振動を計測してもよい。すなわち、1回
の強制的な変位により、振動管16を振動させれば、振
動管16の振動数は、固有振動数になる。このため、加
振振動数を掃引して、振動振幅の振動数変化を解析する
ことなく、直接的な振動数解析により、容易に固有振動
数を検出することができる。
Further, in the above embodiment, the actuator 30 using the piezoelectric element is used as the vibrating means. However, the vibrating means is not limited to this,
A crank driven by a motor may be used. Alternatively, the vibration tube 16 may be impacted with a hammer or an air gun, and the vibration of the vibration tube 16 thereafter may be measured. That is, if the vibrating tube 16 is vibrated by one forced displacement, the vibration frequency of the vibrating tube 16 becomes the natural frequency. Therefore, the natural frequency can be easily detected by the direct frequency analysis without sweeping the vibration frequency and analyzing the frequency change of the vibration amplitude.

【0031】次に、このような振動管密度計による実際
の測定について説明する。まず、振動管16の質量(密
度:ρ)とその共振振動数fには、次の式(1)の関係
がある。
Next, actual measurement by such a vibrating tube densitometer will be described. First, the mass (density: ρ) of the vibrating tube 16 and its resonance frequency f have the relationship of the following expression (1).

【0032】 ρ=(k/f2−1)/w ・・・ (1) ここで、k,wは装置定数であり、管の温度、圧力の関
数になる。
Ρ = (k / f 2 −1) / w (1) Here, k and w are device constants, which are functions of the temperature and pressure of the tube.

【0033】そこで、密度が既知の少なくとも2つの流
体を利用して振動測定を行い、検量線を作成する。例え
ば、振動管16の内部にメタノール、水、窒素ガスなど
密度が既知の物質を満たしたり、内部を真空したりして
振動の測定を行う。これによって、装置定数k,wを求
め、検量線を求める。
Therefore, vibration measurement is performed by using at least two fluids of known density, and a calibration curve is created. For example, the vibration is measured by filling the inside of the vibrating tube 16 with a substance having a known density such as methanol, water, or nitrogen gas, or by evacuating the inside. Thus, the device constants k and w are obtained and the calibration curve is obtained.

【0034】そして、被測定流体を振動管密度計に流通
し、固有振動数(共振振動数)を検出することで、
(1)式により被測定流体の密度を計測する。なお、検
量線は、被測定流体を測定したい温度、圧力で行うこと
が好適であるが、必ずしもすべての温度圧力で検量線を
作成する必要はない。例えば、装置定数k,wを所定の
範囲で温度及び圧力の関数として求めておけば、その範
囲における被測定流体の密度測定に利用することができ
る。ここで、検量線を記憶しておき、密度を算出出力す
る機能をFFTアナライザ42に設けておくことが好適
であり、また別のデータ処理装置でこの処理を行っても
よい。
Then, the fluid to be measured is circulated through the vibrating tube densitometer and the natural frequency (resonance frequency) is detected.
The density of the fluid to be measured is measured by the equation (1). The calibration curve is preferably performed at the temperature and pressure at which the fluid to be measured is desired to be measured, but it is not necessary to create the calibration curve at all temperature and pressure. For example, if the device constants k and w are obtained as a function of temperature and pressure in a predetermined range, they can be used for density measurement of the fluid to be measured in that range. Here, it is preferable that the FFT analyzer 42 be provided with a function of storing the calibration curve and calculating and outputting the density, or another data processing device may perform this processing.

【0035】また、本実施形態の振動管密度計では、振
動管16の反射光を振動検出に用いている。従って、非
接触で振動数の検出を行うことができ、また検出用のケ
ーブルなどを取り付ける必要がなく、正確な振動検出が
行える。また、装置を全体として、小型化でき、既設の
装置への組み込みなどが容易となって汎用性が増す。さ
らに、永久磁石を利用していないため、キューリー点以
上の温度でも測定が行え、高温での測定に適している。
また、被測定流体の圧力も振動管16などに適切な強度
のものを選べば、高圧にできる。そこで、本実施形態の
振動管密度計は、超臨界溶媒などの高温高圧の流体の密
度測定に適している。
Further, in the vibrating tube densitometer of this embodiment, the reflected light of the vibrating tube 16 is used for vibration detection. Therefore, the frequency can be detected in a non-contact manner, and there is no need to attach a detection cable or the like, and accurate vibration can be detected. In addition, the device can be downsized as a whole, and it can be easily incorporated into an existing device, thus increasing versatility. Furthermore, since no permanent magnet is used, it is possible to perform measurement even at a temperature above the Curie point, which is suitable for measurement at high temperature.
Also, the pressure of the fluid to be measured can be made high by selecting an appropriate strength for the vibrating tube 16 and the like. Therefore, the vibrating tube densitometer of this embodiment is suitable for measuring the density of a high-temperature and high-pressure fluid such as a supercritical solvent.

【0036】「レーザドップラ振動計」図2には、レー
ザドップラ振動計40の概略構成を示している。このよ
うに、レーザ光源50からのレーザ光は、音響光学変調
器52、レンズ54を介し、振動管16に照射される。
なお、音響光学変調器52は、レンズ54に至る光を変
調せずそのまま通過させる。そして、振動管16による
反射光はレンズ54、ビームスプリッタ56を介し受光
素子58で受光される。音響光学変調器52を通過する
残りの光は変調され、一定振動数シフトした参照光とし
て反射鏡62を介し、ビームスプリッタ56に入射され
る。このため、音響光学変調器52によって、一定振動
数シフトを与えられた参照光と、振動管16においてド
ップラシフトを受けた反射光との干渉光が受光素子58
によって受光される。従って、干渉光のビート振動数
は、音響光学変調器52によるシフト振動数を中心とす
るFM変調波になっている。これを受光素子58で電気
信号に変換し、変換器60においてFM復調することに
よって、振動管16の振動速度に比例した電圧信号が得
られる。ここで、本レーザドップラ振動計40は上述の
ように音響光学変調器52によって所定振動数シフトし
た参照光を利用しているため、正負の符号を持った速度
信号を得ることができ、これを振動管16の振動を示す
信号として出力する。このようなレーザドップラ振動計
は、例えば(小野測器(株)LASERVIBROME
TER LV−1300(商品名))がある。なお、速
度を積分した変位を検出する変位計を利用することもで
き、この場合最大共振状態を示す変位の周波数を検出し
てもよい。
"Laser Doppler Vibrometer" FIG. 2 shows a schematic configuration of the laser Doppler vibrometer 40. In this way, the laser light from the laser light source 50 is applied to the vibrating tube 16 via the acousto-optic modulator 52 and the lens 54.
The acousto-optic modulator 52 allows the light reaching the lens 54 to pass through without being modulated. The light reflected by the vibrating tube 16 is received by the light receiving element 58 via the lens 54 and the beam splitter 56. The remaining light passing through the acousto-optic modulator 52 is modulated and is incident on the beam splitter 56 via the reflecting mirror 62 as reference light having a constant frequency shift. Therefore, the interference light between the reference light, which has been subjected to the constant frequency shift by the acousto-optic modulator 52, and the reflected light, which has undergone the Doppler shift in the vibrating tube 16, receives the light receiving element 58.
Is received by. Therefore, the beat frequency of the interference light is an FM modulated wave centered on the shift frequency by the acousto-optic modulator 52. By converting this into an electric signal by the light receiving element 58 and performing FM demodulation in the converter 60, a voltage signal proportional to the vibration speed of the vibration tube 16 can be obtained. Here, since the present laser Doppler vibrometer 40 uses the reference light that is shifted by the predetermined frequency by the acousto-optic modulator 52 as described above, it is possible to obtain a velocity signal having a positive or negative sign. The signal is output as a signal indicating the vibration of the vibration tube 16. Such a laser Doppler vibrometer is available, for example, from Ono Sokki Co., Ltd. LASERVIBROME.
There is TER LV-1300 (trade name). It should be noted that it is also possible to use a displacement meter that detects the displacement that integrates the velocity, and in this case, the frequency of the displacement exhibiting the maximum resonance state may be detected.

【0037】[0037]

【実施例】実施形態の装置により、行った測定について
説明する。まず、メタノール(CH3OH)及び水(H2
O)を検定物質として採用して、測定を行った。ファン
クションジェネレータ32を用いて、振動数を0〜25
0Hzの範囲で掃引した場合にFFTアナライザ42に
おいて、図3(A),(B)の結果を得た。温度20
℃、大気圧におけるデータである。
EXAMPLES The measurement performed by the apparatus of the embodiment will be described. First, methanol (CH 3 OH) and water (H 2
O) was adopted as a calibrator and the measurement was performed. Using the function generator 32, set the frequency to 0-25
The results of FIGS. 3A and 3B were obtained by the FFT analyzer 42 when the sweep was performed in the range of 0 Hz. Temperature 20
These are the data at ° C and atmospheric pressure.

【0038】この図3(A)、(B)より、水の共振振
動数として、219.7320Hzが得られ、メタノー
ルの共振振動数として、220.8667Hzが得られ
た。このときの水及びメタノールの密度は、文献から、
0.997g/cc、0.792g/ccである。
From FIGS. 3A and 3B, the resonance frequency of water was 219.7320 Hz, and the resonance frequency of methanol was 220.8667 Hz. The density of water and methanol at this time, from the literature,
It is 0.997 g / cc and 0.792 g / cc.

【0039】この値を上述の式(1)に代入することに
よって、k=50814.9、w=0.052616が
得られる。従って、この振動管密度計における密度ρ
と、共振振動数fの関係は、次の式(2)で表される。
By substituting this value into the above equation (1), k = 50814.9 and w = 0.052616 are obtained. Therefore, the density ρ in this vibrating tube densitometer
And the resonance frequency f are expressed by the following equation (2).

【0040】 ρ=(50814.9/f2−1)/0.052616 ・・・ (2) となる。これを検量線として、被測定流体を振動管16
に流通してその密度を測定することができる。
Ρ = (50814.9 / f 2 −1) /0.052616 (2) Using this as a calibration curve, measure the fluid to be measured with the vibrating tube 16
It can be distributed to and its density can be measured.

【0041】n−アミルアルコール(C511OH)の
共振振動数を求めたところ、220.801であり、こ
れより算出密度(測定密度)として0.804が得られ
た。n−アミルアルコールの文献値密度は、0.810
であり、その差は0.006であり、かなりの高精度で
測定が行われていることがわかる。
The resonance frequency of n-amyl alcohol (C 5 H 11 OH) was determined to be 220.801, which gave a calculated density (measured density) of 0.804. The literature value density of n-amyl alcohol is 0.810.
The difference is 0.006, which means that the measurement is performed with considerably high accuracy.

【0042】なお、本実施形態では、FFTアナライザ
42として、2048チャンネルのものを用いた。FF
Tアナライザ42の分解能は、対象振動数範囲/チャン
ネル数であり、上述の例では、0〜250Hzを対象振
動数範囲としたため、分解能0.12207Hzであ
る。一方、実際には、3Hzを対象振動範囲として、上
述の測定を行うこともできる。この場合には、振動数の
分解能は、3Hz/2048=0.00146Hzとな
る。そこで、密度差=0.997g/cc−0.792
g/cc=0.205g/ccにこの振動数分解能を乗
算して、密度分解能は、理論的に概略2.6×10-4
/cc程度まで上昇できるはずである。さらに、本実施
形態の装置は、理論的には、FFTアナライザ42にお
ける解像度を上昇することで分解能を上昇できるはずで
ある。
In this embodiment, the FFT analyzer 42 has 2048 channels. FF
The resolution of the T analyzer 42 is the target frequency range / number of channels, and in the above example, the resolution is 0.12207 Hz because the target frequency range is 0 to 250 Hz. On the other hand, actually, the above-described measurement can be performed with 3 Hz as the target vibration range. In this case, the frequency resolution is 3 Hz / 2048 = 0.00146 Hz. Therefore, the density difference = 0.997 g / cc-0.792
Multiplying this frequency resolution by g / cc = 0.205 g / cc gives a theoretical density resolution of approximately 2.6 × 10 −4 g
It should be able to rise to about / cc. Further, theoretically, the apparatus of the present embodiment should be able to increase the resolution by increasing the resolution in the FFT analyzer 42.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光学式振動検出手段を利用したため、被測定流体の密度
変化への追従性がよく、密度の変化に追従して適切な測
定が行える。
As described above, according to the present invention,
Since the optical vibration detecting means is used, it is possible to follow the change in density of the fluid to be measured, and it is possible to perform appropriate measurement by following the change in density.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 実施形態に係る振動管密度計の全体構成を示
す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a vibrating tube densitometer according to an embodiment.

【図2】 レーザドップラ振動計の構成を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a laser Doppler vibrometer.

【図3】 振動数測定の例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of frequency measurement.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 定流量ポンプ、12 供給管、14 予熱部、1
6 振動管、16a基部、16b 先端部、17 固定
部、18 排出管、20 冷却部、22 圧力制御部、
24 恒温槽、30 アクチュエータ、30a 振動伝
達部材、32ファンクションジェネレータ、40 レー
ザドップラ振動計、42 FFTアナライザ。
10 constant flow pump, 12 supply pipe, 14 preheating section, 1
6 vibration pipe, 16a base, 16b tip, 17 fixing part, 18 discharge pipe, 20 cooling part, 22 pressure control part,
24 constant temperature bath, 30 actuator, 30a vibration transmission member, 32 function generator, 40 laser Doppler vibrometer, 42 FFT analyzer.

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−296910(JP,A) 特開 平9−126851(JP,A) 特開 昭63−262526(JP,A) 実開 昭53−14570(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 9/00 G01F 1/00 G01H 13/00 Continuation of the front page (56) References JP-A-5-296910 (JP, A) JP-A-9-126851 (JP, A) JP-A-63-262526 (JP, A) Actual development Sho-53-14570 (JP , U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01N 9/00 G01F 1/00 G01H 13/00

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 振動管内の被測定流体の密度を測定する
振動管密度計であって、 振動管に衝撃を与えて加振する加振手段と、 振動管に光線を照射してこの反射光を受光し、受光した
反射光に基づいて振動管の振動を検出する光学式振動検
出手段と、 を有し、 検出した衝撃付与後の振動管の自由振動数に基づき振動
管の共振振動数を求め、この共振振動数に基づいて、被
測定流体の密度を測定することを特徴とする振動管密度
計。
1. A vibrating tube densitometer for measuring the density of a fluid to be measured in a vibrating tube, comprising: vibrating means for applying an impact to the vibrating tube to vibrate; And the optical vibration detection means for detecting the vibration of the vibrating tube based on the received reflected light, and the resonance frequency of the vibrating tube based on the detected free frequency of the vibrating tube after the impact is applied. A vibrating tube densimeter, which is characterized in that the density of a fluid to be measured is measured based on the resonance frequency.
【請求項2】 請求項1記載の振動管密度計におい
て、 前記光学式振動検出手段は、レーザ光を照射し、反射光
におけるドップラシフトを検出することによって、振動
を検出することを特徴とする振動管密度計。
2. The vibrating tube densitometer according to claim 1, wherein the optical vibration detecting means detects a vibration by irradiating a laser beam and detecting a Doppler shift in the reflected light. A vibrating tube densitometer.
【請求項3】 請求項1または2に記載の振動管密度計
において、 前記加振手段は、圧電素子を含み、この圧電素子の振動
を振動管に伝えることを特徴とする振動管密度計。
3. The vibrating tube densitometer according to claim 1 or 2 , wherein the vibrating means includes a piezoelectric element, and transmits the vibration of the piezoelectric element to the vibrating tube.
【請求項4】 請求項1〜のいずれか1つに記載の振
動密度計において、 前記振動管はU字管により形成され、このU字管の2本
の平行管からなる基部側を固定し、両平行管を平行な状
態を保ったまま中間部分を半円状に折り曲げ、これによ
ってU字管の閉じた先端部が基部側に向いている形状で
あることを特徴とする振動管密度計。
4. A vibration densitometer according to any one of claims 1-3, wherein the vibrating tube is formed by U-shaped tube, fixing the two proximal consisting parallel tubes of the U-shaped tube Then, the middle portion is bent into a semicircular shape while keeping the parallel tubes in a parallel state, whereby the closed tip of the U-shaped tube is shaped to face the base side. Total.
【請求項5】 動管を、所定の範囲で加振振動数を掃
引して加振する加振手段と、 振動管に光線を照射してこの反射光を受光し、受光した
反射光に基づいて振動管の振動を検出する光学式振動検
出手段と、 を有し、 検出した振動管の振動におけるピーク振動数に基づき振
動管の共振振動数を求め、この共振振動数に基づいて、
被測定流体の密度を測定する振動管密度計であって、 前記振動管はU字管により形成され、このU字管の2本
の平行管からなる基部側を固定し、両平行管を平行な状
態を保ったまま中間部分を半円状に折り曲げ、これによ
ってU字管の閉じた先端部が基部側に向いている形状で
あることを特徴とする振動管密度計。
5. A vibration Dokan, and vibration means for vibrating by sweeping the excitation frequency in a predetermined range, by irradiating a light beam to vibrating tube receives the reflected light, the received reflection light Based on the detected resonance frequency of the vibrating tube based on the peak frequency of the detected vibration of the vibrating tube, the optical vibration detecting means for detecting the vibration of the vibrating tube based on
A vibrating tube densitometer for measuring the density of a fluid to be measured , wherein the vibrating tube is formed by a U-shaped tube, the base side of the two parallel tubes of the U-shaped tube is fixed, and both parallel tubes are parallel. The vibrating tube densitometer, characterized in that the intermediate portion is bent into a semicircular shape while maintaining such a state, whereby the closed front end of the U-shaped tube faces the base side.
【請求項6】 請求項1〜5のいずれか1つに記載の振
動密時計において、 前記振動管の共振振動数を検出する際、基本振動の高調
波を検出することで、被測定流体の密度を測定すること
を特徴とする振動管密度計。
6. The vibration tight timepiece according to claim 1, wherein when detecting the resonance frequency of the vibrating tube, a harmonic of the fundamental vibration is detected to detect the fluid to be measured. A vibrating tube densitometer characterized by measuring density.
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