JP3431777B2 - Particle size distribution analyzer - Google Patents

Particle size distribution analyzer

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JP3431777B2 JP30709096A JP30709096A JP3431777B2 JP 3431777 B2 JP3431777 B2 JP 3431777B2 JP 30709096 A JP30709096 A JP 30709096A JP 30709096 A JP30709096 A JP 30709096A JP 3431777 B2 JP3431777 B2 JP 3431777B2
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Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】この発明は、光源からの光を
試料を収容したセルに対して照射し、そのときの散乱光
を複数の光検出器で検出し、各光検出器からの散乱光強
度信号に基づいて試料中の粒度分布を測定する粒度分布
測定装置に関する。 【0002】 【従来の技術】図4は、従来のレーザ回折/散乱法によ
る粒度分布測定装置の要部を示すもので、この図におい
て、1はHe−Neレーザ光2を発するレーザ管、3は
レーザ光2を適宜拡大するビーム拡大器、4は試料5を
収容するセル、6はセル4の後方に設けられる集光レン
ズ、7は集光レンズ6の後方に設けられるフォトダイオ
ードよりなる複数の光検出器7a〜7nをリング状に配
設したリングディテクタ、8a〜8nは複数の光検出器
7a〜7nに対応して設けられる増幅器、9は各増幅器
8a〜8nを経た各光検出器7a〜7nの出力信号を順
次取り込むマルチプレクサ、10はA/D変換器、11
はA/D変換器10を経て順次入力される光検出器7a
〜7nからの散乱光強度信号に基づいて演算を行い、粒
度分布を求めるためのCPUである。 【0003】前記散乱式粒度分布測定装置においては、
セル4に試料5を収容して、レーザ光2をセル4に対し
て照射すると、レーザ光2の一部がセル4内の試料5中
の粒子12を照射して前方散乱光13となり、残りの光
は粒子12と粒子12との間を通過して透過光14とな
る。そして、これら前方散乱光13および透過光14は
ともに、集光レンズ6を経て光検出器7a〜7nに至
る。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】ところで、上記散乱式
粒度分布測定装置においては、その測定原理上、多数の
回折光強度信号や散乱光強度信号を必要とするところか
ら、上述のように、複数の光検出器7a〜7nをリング
状に配設したリングディテクタ7を設けているが、従来
においては、各光検出器7a〜7nに対応して増幅器8
a〜8nを設け、各光検出器7a〜7nに対応するチャ
ンネル15a〜15nごとに増幅処理した信号をマルチ
プレクサ9を介して一つのA/D変換器10に順次送
り、A/D変換器10において、各光検出器7a〜7n
を出力信号を個々にA/D変換し、これをCPU11に
出力するようにしていたため、信号処理が複雑であり、
それだけ、処理時間を要するといった問題があった。 【0005】そして、この種の粒度分布測定装置におい
ては、近時、小さい粒子、特に0.1μm以下の微粒子
の測定をも要求されるようになってきているが、このよ
うな微粒子の測定は、前方散乱光だけで粒度分布を算出
することは困難で、側方・後方散乱光、偏光散乱光、さ
らには、He−Neレーザ光の波長(632.8nm)
よりも短波長の光を照射したときの散乱光などの情報も
必要になる。 【0006】そのため、前記粒度分布測定装置において
は、上記した各種の散乱光の検出のために多くの光検出
器を設けて、その分解能を向上させるため、テャンネル
数も多くなってきている。このように、多くの光検出器
を設けた粒度分布測定装置において、上述の従来の信号
処理方式では、マルチプレクサ9を経て送られてくる信
号をA/D変換器10において順次A/D変換し、変換
出力をCPU11に送るため、信号処理を短時間で効率
よく行うことが困難となってくる。 【0007】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、信号処理系統を可及的にシンプ
ルなものとし、光検出器の数(チャンネル数)が増大し
ても、信号処理を短時間で効率よく行うことができる粒
度分布測定装置を提供することである。 【0008】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、光源からの光を試料を収容したセル
に対して照射し、そのときの散乱光を複数の光検出器で
検出し、各光検出器からの散乱光強度信号に基づいて試
料中の粒度分布を測定する粒度分布測定装置において、
前記各光検出器の出力を互いに異なった周波数で変調
し、この変調された各信号を加算し、この加算による信
号をA/D変換した後、フーリエ変換するようにしてい
る。 【0009】上述の構成の粒度分布測定装置によれば、
A/D変換器に入力される信号は、多数の光検出器の出
力を加算した一つの信号であるので、信号処理を簡単に
行うことができ、短時間で効率よく信号処理を行うこと
ができる。 【0010】 【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細について図
を参照しながら説明する。以下の図において、図4に示
した符号と同一符号は同一物を示している。 【0011】図1および図2は、この発明の一実施例を
示すもので、図1はこの発明の粒度分布測定装置の光検
出器以降の構成を示し、図2はその動作説明図である。 【0012】図1において、16a〜16nは、複数の
光検出器7a〜7nを有するチャンネル15a〜15n
にそれぞれ設けられる周波数変調器である。これらの周
波数変調器16a〜16nは、増幅器81〜8nを経て
送られてくる光検出器7a〜7nの出力を周波数変調す
るもので、各チャンネル15a〜15nにおける変調周
波数は互いに異ならせてある。そして、この実施例にお
いては、周波数変調器16a〜16nは、変調後の信号
を電圧信号から電流信号に変換する機能をも備えてい
る。 【0013】17は前記周波数変調器16a〜16nか
らそれぞれ電流信号の形態で出力される変調出力どうし
を加算する加算器である。この加算器1からの加算出力
は、A/D変換器10に送られるようにしてある。 【0014】そして、この実施例においては、CPU1
1は、A/D変換器10の出力を高速フーリエ変換(F
FT)するように構成されている。 【0015】次に、上記構成の粒度分布測定装置におけ
る信号処理動作について、図2をも参照しながら説明す
る。各チャンネル15a〜15nの光検出器7a〜7n
からの散乱光強度信号は、増幅器8a〜8nで増幅さ
れ、周波数変調器16a〜16nに入力される。周波数
変調器16a〜16nに入力した光検出器7a〜7nか
らの信号は、各チャンネルごとで相異なる周波数で変調
される。 【0016】図2は、説明の便宜上、チャンネルがa〜
cの3つの場合における信号Sa ,Sb ,Sc の処理状
態を示すもので、チャンネルa〜cにおける光検出器7
a〜7cの出力信号Sa ,Sb ,Sc のそれぞれは、互
いに異なる周波数ωa ,ωb,ωc で変調される。そし
て、この周波数変調の後、各信号Sa ,Sb ,Sc は電
圧信号から電流信号に変換される。このように電圧信号
から電流信号に変換するのは、電流信号どうしの加算の
方がより簡単に行なえるからである。 【0017】前記電流信号に変換された変調出力Sa
b ,Sc は、加算器17において互いに加算されて一
つの信号となる。この信号は、A/D変換器10におい
てA/D変換された後、CPU11に入力され、このC
PU11において、FFT処理される。このFFT処理
によって、図2の右端に示すように、周波数ωa
ωb ,ωc の位置にそれぞれスパイク状の周波数スペク
トルが得られる。このスペクトルの大きさ(縦方向の長
さ)が光検出器7a〜7cの出力信号Sa ,Sb ,Sc
そのものである。CPU11においては、この出力信号
a ,Sb ,Sc すなわち、散乱光強度信号に基づいて
所定の処理を行うのである。 【0018】上述したように、上記粒度分布測定装置に
よれば、A/D変換器10に入力される信号は、多数の
光検出器7a〜7nの出力を加算した一つの信号である
ので、信号処理を簡単に行うことができ、短時間で効率
よく信号処理を行うことができる。 【0019】図3は、この発明の他の実施例を示すもの
で、この実施例においては、光検出器7a〜7n側とC
PU11側とを無線で結合している。すなわち、図3に
おいて、18は加算器17の出力側に設けられる無線通
信の送信部で、内部に加算器17の出力をA/D変換す
るA/D変換器、CPU、高周波送信部およびこれらの
電源部が設けられ、外部にアンテナ18aを備えてい
る。そして、19はCPU11の入力側に設けられる無
線通信の受信部で、内部に高周波送信部、CPUおよび
これらの電源部が設けられ、外部にアンテナ19aを備
えている。 【0020】このようにした粒度分布測定装置において
は、加算器17の出力は、A/D変換された後、無線送
信部18から無線で送信され、この送信された信号は、
無線受信部19で受信された後、CPU11に入力さ
れ、上記実施例と同様に処理することにより、散乱光強
度信号が得られる。 【0021】上述の各実施例においては、加算器17の
出力を、CPU11においてFFT処理するようにして
いるが、他のフーリエ変換によって処理するようにして
もよい。 【0022】 【発明の効果】この発明は、以上のような形態で実施さ
れ、以下のような効果を奏する。 【0023】この発明の粒度分布測定装置においては、
複数の光検出器の出力を互いに異なった周波数で変調
し、この変調された各信号を加算し、この加算による信
号をA/D変換した後、フーリエ変換するようにしてい
るので、信号処理系統が可及的にシンプルなものとな
り、光検出器の数(チャンネル数)が増大しても、信号
処理を短時間で効率よく行うことができる。 【0024】また、伝送される信号が単一であるので、
無線通信を行うことができ、粒度分布測定装置における
測定部と信号処理部とにおける信号伝送をワイヤレス化
することができる。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention irradiates a cell containing a sample with light from a light source, and detects scattered light at that time with a plurality of photodetectors. The present invention also relates to a particle size distribution measuring device for measuring a particle size distribution in a sample based on a scattered light intensity signal from each photodetector. 2. Description of the Related Art FIG. 4 shows a main part of a conventional particle size distribution measuring apparatus by a laser diffraction / scattering method. In this figure, reference numeral 1 denotes a laser tube which emits a He--Ne laser beam 2; Is a beam expander for appropriately expanding the laser beam 2, 4 is a cell for accommodating the sample 5, 6 is a condenser lens provided behind the cell 4, and 7 is a plurality of photodiodes provided behind the condenser lens 6. A ring detector in which the photodetectors 7a to 7n are arranged in a ring shape; 8a to 8n are amplifiers provided corresponding to the plurality of photodetectors 7a to 7n; A multiplexer for sequentially taking in the output signals of 7a to 7n; 10, an A / D converter;
Is a photodetector 7a sequentially input through the A / D converter 10.
Is a CPU for performing calculations based on scattered light intensity signals from .about.7n to obtain a particle size distribution. In the scattering type particle size distribution measuring device,
When the sample 5 is stored in the cell 4 and the laser beam 2 is irradiated to the cell 4, a part of the laser beam 2 irradiates the particles 12 in the sample 5 in the cell 4 to become forward scattered light 13, Light passes between the particles 12 and becomes the transmitted light 14. Then, both the forward scattered light 13 and the transmitted light 14 reach the photodetectors 7a to 7n via the condenser lens 6. [0004] The above-mentioned scattering particle size distribution measuring apparatus requires a large number of diffracted light intensity signals and scattered light intensity signals due to the principle of measurement. Is provided with a ring detector 7 in which a plurality of photodetectors 7a to 7n are arranged in a ring shape, but conventionally, an amplifier 8 is provided corresponding to each of the photodetectors 7a to 7n.
a to 8n are provided, and the signals amplified and processed for each of the channels 15a to 15n corresponding to each of the photodetectors 7a to 7n are sequentially sent to one A / D converter 10 via the multiplexer 9, and the A / D converter 10 In each of the photodetectors 7a to 7n
Are individually A / D converted and output to the CPU 11, so that the signal processing is complicated,
Therefore, there is a problem that processing time is required. [0005] In recent years, this type of particle size distribution measuring apparatus has been required to measure small particles, particularly fine particles of 0.1 µm or less. It is difficult to calculate the particle size distribution using only forward scattered light, and the wavelength of side / backward scattered light, polarized scattered light, and He-Ne laser light (632.8 nm).
Information such as scattered light when irradiating light with a shorter wavelength is also required. [0006] Therefore, in the particle size distribution measuring device, a large number of photodetectors are provided for detecting the various kinds of scattered light, and the number of channels is increasing in order to improve the resolution. As described above, in the particle size distribution measuring device provided with many photodetectors, in the above-described conventional signal processing method, the signal sent through the multiplexer 9 is sequentially A / D converted by the A / D converter 10. Since the converted output is sent to the CPU 11, it becomes difficult to perform signal processing efficiently in a short time. The present invention has been made in consideration of the above-mentioned matters, and has as its object to simplify the signal processing system as much as possible and to increase the number of photodetectors (the number of channels). Another object of the present invention is to provide a particle size distribution measuring device capable of efficiently performing signal processing in a short time. In order to achieve the above object, according to the present invention, a cell containing a sample is irradiated with light from a light source, and scattered light at that time is supplied to a plurality of photodetectors. In the particle size distribution measuring device that detects in the, and measures the particle size distribution in the sample based on the scattered light intensity signal from each photodetector,
The outputs of the photodetectors are modulated at mutually different frequencies, the modulated signals are added, and the added signal is A / D-converted and then Fourier-transformed. According to the particle size distribution measuring device having the above-described structure,
Since the signal input to the A / D converter is one signal obtained by adding the outputs of a large number of photodetectors, signal processing can be performed easily, and signal processing can be performed efficiently in a short time. it can. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following drawings, the same reference numerals as those shown in FIG. 4 indicate the same components. FIGS. 1 and 2 show an embodiment of the present invention. FIG. 1 shows the structure of a particle size distribution measuring apparatus according to the present invention after a photodetector, and FIG. . In FIG. 1, reference numerals 16a to 16n denote channels 15a to 15n having a plurality of photodetectors 7a to 7n.
Are frequency modulators provided respectively. These frequency modulators 16a to 16n frequency-modulate the outputs of the photodetectors 7a to 7n sent through the amplifiers 81 to 8n, and have different modulation frequencies in the respective channels 15a to 15n. In this embodiment, the frequency modulators 16a to 16n also have a function of converting the modulated signal from a voltage signal to a current signal. Reference numeral 17 denotes an adder for adding the modulation outputs outputted in the form of current signals from the frequency modulators 16a to 16n. The addition output from the adder 1 is sent to the A / D converter 10. In this embodiment, the CPU 1
1 is a fast Fourier transform (FF) of the output of the A / D converter 10.
FT). Next, the signal processing operation in the particle size distribution measuring apparatus having the above configuration will be described with reference to FIG. Photodetectors 7a to 7n of each channel 15a to 15n
Are amplified by the amplifiers 8a to 8n and input to the frequency modulators 16a to 16n. The signals from the photodetectors 7a to 7n input to the frequency modulators 16a to 16n are modulated at different frequencies for each channel. FIG. 2 shows channels a to a for convenience of explanation.
3C shows the processing states of the signals S a , S b , and S c in the three cases c.
The output signals S a , S b , S c of a to 7c are respectively modulated at different frequencies ω a , ω b , ω c . After the frequency modulation, the signals S a , S b , and S c are converted from voltage signals to current signals. The reason why the voltage signal is converted to the current signal is that the addition of the current signals can be performed more easily. The modulated outputs S a , converted into the current signals,
S b and S c are added together in an adder 17 to form one signal. This signal is A / D-converted by the A / D converter 10 and then input to the CPU 11, where
The PU 11 performs the FFT processing. This FFT processing, as shown at the right end in FIG. 2, the frequency omega a,
Spike frequency spectra are obtained at the positions of ω b and ω c , respectively. The magnitude (length in the vertical direction) of this spectrum is determined by the output signals S a , S b , and S c of the photodetectors 7a to 7c.
It is itself. The CPU 11 performs a predetermined process based on the output signals S a , S b , and S c, that is, the scattered light intensity signal. As described above, according to the particle size distribution measuring device, the signal input to the A / D converter 10 is one signal obtained by adding the outputs of the many photodetectors 7a to 7n. The signal processing can be easily performed, and the signal processing can be efficiently performed in a short time. FIG. 3 shows another embodiment of the present invention. In this embodiment, the photodetectors 7a to 7n and C
The PU 11 side is wirelessly connected. That is, in FIG. 3, reference numeral 18 denotes a wireless communication transmitting unit provided on the output side of the adder 17, which internally includes an A / D converter for A / D converting the output of the adder 17, a CPU, a high-frequency transmitting unit, , And an external antenna 18a. Reference numeral 19 denotes a wireless communication receiving unit provided on the input side of the CPU 11, which is internally provided with a high-frequency transmitting unit, a CPU, and a power supply unit thereof, and externally provided with an antenna 19a. In such a particle size distribution measuring device, the output of the adder 17 is A / D converted and then transmitted wirelessly from the wireless transmission unit 18, and the transmitted signal is
After being received by the wireless receiving unit 19, the scattered light intensity signal is obtained by being input to the CPU 11 and processed in the same manner as in the above embodiment. In each of the embodiments described above, the output of the adder 17 is subjected to the FFT processing in the CPU 11, but may be processed by other Fourier transform. The present invention is embodied in the form described above and has the following effects. In the particle size distribution measuring device of the present invention,
The outputs of the plurality of photodetectors are modulated at mutually different frequencies, the respective modulated signals are added, and the signals resulting from the addition are A / D-converted and then Fourier-transformed. Becomes as simple as possible, and even if the number of photodetectors (the number of channels) increases, signal processing can be performed efficiently in a short time. Also, since a single signal is transmitted,
Wireless communication can be performed, and signal transmission between the measurement unit and the signal processing unit in the particle size distribution measurement device can be made wireless.

【図面の簡単な説明】 【図1】この発明の粒度分布測定装置における光検出器
の信号を処理するための構成のの一例を概略的に示す図
である。 【図2】前記構成の動作を説明するための図である。 【図3】この発明の他の実施例を示す図である。 【図4】従来技術を説明するための図である。 【符号の説明】 1…光源、2…光、4…セル、5…試料、7a〜7n…
光検出器、11…CPU、13…散乱光、16a〜16
n…周波数変調器、17…加算器。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of a configuration for processing a signal of a photodetector in a particle size distribution measuring device of the present invention. FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the configuration. FIG. 3 is a diagram showing another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a diagram for explaining a conventional technique. [Description of Signs] 1 ... light source, 2 ... light, 4 ... cell, 5 ... sample, 7a-7n ...
Photodetector, 11 CPU, 13 Scattered light, 16a to 16
n: frequency modulator, 17: adder.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 光源からの光を試料を収容したセルに対
して照射し、そのときの散乱光を複数の光検出器で検出
し、各光検出器からの散乱光強度信号に基づいて試料中
の粒度分布を測定する粒度分布測定装置において、前記
各光検出器の出力を互いに異なった周波数で変調し、こ
の変調された各信号を加算し、この加算による信号をA
/D変換した後、フーリエ変換するようにしたことを特
徴とする粒度分布測定装置。
(57) [Claims 1] A cell containing a sample is irradiated with light from a light source, and scattered light at that time is detected by a plurality of photodetectors. In the particle size distribution measuring device for measuring the particle size distribution in the sample based on the scattered light intensity signal, the outputs of the respective photodetectors are modulated at mutually different frequencies, the modulated signals are added, and the addition is performed. Signal from A
A particle size distribution measuring device characterized by performing a Fourier transform after performing a / D conversion.
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