JP3429686B2 - Feeding device for long strips - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置に使用
されるＴＡＢ（tape automated bonding）テープ等の長
尺帯状体に電気めっき用の電流を供給する給電装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a power supply device for supplying a current for electroplating to a long strip such as a TAB (tape automated bonding) tape used in a semiconductor device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、半導体装置に使用されるＴＡ
Ｂテープや連続プレス成型品であるリードフレーム等の
長尺帯状体に対する電気めっきは、被めっき物である長
尺帯状体をめっき液（めっき浴）内を移動させつつ行う
連続めっき法が一般的である。その長尺帯状体に対して
連続めっきを行うめっき装置１０の一般的な構成につい
て図１を用いて説明する。なお、長尺帯状体の一例とし
て一方の面に電気めっきを施す配線パターンが形成され
た面１２ａ（以下、パターン形成面とも言う）を有する
ＴＡＢテープ１２を用いて説明する。ＴＡＢテープ１２
は予め巻き出しリール１４に巻かれた状態で保持され、
巻き取りリール１６に巻き取られることによって、所定
の搬送経路を搬送される。2. Description of the Related Art TAs conventionally used for semiconductor devices
For electroplating long strips such as B tapes and lead frames that are continuous press-molded products, a continuous plating method is generally used in which long strips that are objects to be plated are moved in a plating solution (plating bath). Is. A general configuration of a plating apparatus 10 that performs continuous plating on the long strip will be described with reference to FIG. Note that, as an example of the long strip, a TAB tape 12 having a surface 12a (hereinafter also referred to as a pattern forming surface) having a wiring pattern on which electroplating is formed on one surface will be described. TAB tape 12
Is held in a state of being wound on the unwind reel 14 in advance,
By being wound on the take-up reel 16, it is transported on a predetermined transport path.
【０００３】ＴＡＢテープ１２の搬送経路の途中には、
ＴＡＢテープ１２に対する電気めっき用の電気めっき液
が収納された電気めっき槽１８が配置されている。この
電気めっき槽１８の搬送経路に沿った前後の少なくとも
一方（本例では前後の双方）には、給電ローラ２０を具
備する給電装置２２がそれぞれ配置され、電気めっき槽
１８に設けられためっき電極２４との間で、ＴＡＢテー
プ１２に対してめっき用電流を供給する構成となってい
る。なお、２６は給電装置２２の一部を構成する電源で
ある。電源２６はＴＡＢテープ１２に対する供給電流を
発生するものであり、その陰極２６ａが給電ローラ２０
に電気的に接続され、陽極２６ｂが電気めっき槽１８に
設けられためっき電極２４に電気的に接続されている。In the middle of the transport path of the TAB tape 12,
An electroplating bath 18 in which an electroplating solution for electroplating the TAB tape 12 is stored is arranged. At least one of front and rear (both front and rear in this example) along the transport path of the electroplating tank 18 is provided with a power feeding device 22 including a power feeding roller 20, and a plating electrode provided in the electroplating tank 18 is provided. 24, a plating current is supplied to the TAB tape 12. Incidentally, reference numeral 26 is a power source which constitutes a part of the power supply device 22. The power supply 26 generates a supply current to the TAB tape 12, and its cathode 26 a has a power supply roller 20.
The anode 26b is electrically connected to the plating electrode 24 provided in the electroplating bath 18.
【０００４】次に、給電装置２２について詳細に説明す
る。給電装置２２は、ＴＡＢテープ１２のパターン形成
面１２ａ側に配置された給電ローラ２０と、ＴＡＢテー
プ１２の他方の面側に配置され、給電ローラ２０を挟ん
でＴＡＢテープ１２の搬送経路の前後に設けられた一対
のガイドローラ２８と、電源２６とから構成される。Ｔ
ＡＢテープ１２のパターン形成面１２ａはガイドローラ
２８によって給電ローラ２０の外周面に押しつけられて
給電ローラ２０の外周面と面接触し、それによりＴＡＢ
テープ１２は給電ローラ２０の外周面に沿ってその搬送
経路が曲げられている。Next, the power supply device 22 will be described in detail. The power supply device 22 is disposed on the pattern forming surface 12 a side of the TAB tape 12 and the other surface side of the TAB tape 12, and is arranged before and after the transport path of the TAB tape 12 with the power supply roller 20 interposed therebetween. It is composed of a pair of guide rollers 28 provided and a power supply 26. T
The pattern forming surface 12a of the AB tape 12 is pressed against the outer peripheral surface of the power feeding roller 20 by the guide roller 28 and comes into surface contact with the outer peripheral surface of the power feeding roller 20.
The feeding path of the tape 12 is bent along the outer peripheral surface of the power feeding roller 20.
【０００５】ここで、ＴＡＢテープ１２の場合には（同
じ長尺物であるリードフレームも同様であるが）、図２
に示すように幅方向Ａの中心領域に形成された配線パタ
ーンに電気めっきが施され、ＩＣチップと接続されてモ
ールドされた後にＴＡＢテープ１２から打ち抜かれる。
なお、配線パターンが形成された領域（以下、配線パタ
ーン形成領域とも言う）１２ｂは、ＴＡＢテープ１２の
長手方向に所定間隔を隔てて複数設けられている。そし
て、この配線パターン形成領域１２ｂは微細な配線パタ
ーンが複数本形成された部分であるから、直接給電ロー
ラ２０と接触すると損傷や変形の危険性がある。このた
め、給電ローラ２０は図３に示すように、外周面２０ａ
の両側端部には、配線パターン形成領域１２ｂを逃げて
ＴＡＢテープ１２の長手方向に沿った両側縁部（幅方向
の両側縁部）Ｚと接触し、めっき用電流を供給する大径
部３０が形成されている。In the case of the TAB tape 12 (the same applies to the lead frame which is the same long product), as shown in FIG.
As shown in, the wiring pattern formed in the central region in the width direction A is electroplated, connected to the IC chip, molded, and then punched from the TAB tape 12.
A plurality of areas 12b in which the wiring patterns are formed (hereinafter, also referred to as wiring pattern forming areas) are provided at predetermined intervals in the longitudinal direction of the TAB tape 12. Since the wiring pattern forming area 12b is a portion in which a plurality of fine wiring patterns are formed, there is a risk of damage or deformation if it comes into direct contact with the power feeding roller 20. Therefore, as shown in FIG. 3, the power supply roller 20 has an outer peripheral surface 20a.
The large-diameter portion 30 which escapes the wiring pattern forming region 12b and contacts both side edge portions (both side edge portions in the width direction) Z along the longitudinal direction of the TAB tape 12 and supplies a plating current. Are formed.
【０００６】上記の構成によって、電気めっき槽１８を
挟んでその前後方向に設けられた一対の給電装置２２の
各ガイドローラ２８がそれぞれの給電ローラ２０にＴＡ
Ｂテープ１２を押しつける結果、一対の給電装置２２で
挟まれたＴＡＢテープ１２にはテンションが与えられ、
ＴＡＢテープ１２は撓みの少ない状態で電気めっき槽１
８を通過することができる。With the above structure, the guide rollers 28 of the pair of power feeding devices 22 provided in the front-rear direction with the electroplating tank 18 interposed therebetween are attached to the respective power feeding rollers 20 by TA.
As a result of pressing the B tape 12, the TAB tape 12 sandwiched between the pair of power supply devices 22 is given tension,
The TAB tape 12 is an electroplating tank 1 with little bending.
You can pass 8.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
長尺帯状体用給電装置には次のような課題がある。上述
したようにＴＡＢテープ１２等の長尺帯状体と給電ロー
ラ２０の接触部分は、給電ローラ２０の外周面２０ａの
両側端部に設けられた大径部３０の外周面のみである。
よって、図３において二点鎖線で示すように長尺帯状体
１２が給電ローラ２０の大径部３０へガイドローラ２８
によって押しつけられた際に、長尺帯状体１２の幅方向
の中央部分、つまりＴＡＢテープ１２で言えば配線パタ
ーン形成領域１２ｂには常に大径部３０間に形成される
隙間３２内に撓もうとする矢印Ｂ方向の力が作用する。However, the above-mentioned power supply device for a long strip has the following problems. As described above, the contact portion between the long belt-shaped body such as the TAB tape 12 and the power feeding roller 20 is only the outer peripheral surface of the large diameter portion 30 provided at both ends of the outer peripheral surface 20a of the power feeding roller 20.
Therefore, as shown by the chain double-dashed line in FIG. 3, the long strip 12 is guided to the large diameter portion 30 of the power feeding roller 20 by the guide roller 28.
When it is pressed by, the center portion of the long strip 12 in the width direction, that is, in the TAB tape 12, the wiring pattern forming region 12b always tries to bend into the gap 32 formed between the large diameter portions 30. A force in the direction of arrow B is applied.
【０００８】このため、給電ローラ２０と接触するＴＡ
Ｂテープ１２の幅方向に沿った断面形状がＵ字状やＶ字
状に折れた形状となることから、実際にＴＡＢテープ１
２と接触して、ＴＡＢテープ１２へ電流を供給する給電
ローラ２０の大径部３０とＴＡＢテープ１２の幅方向の
両側縁部との間の密着性が低下し、給電効率が下がると
いう課題がある。また、配線パターン形成領域１２ｂが
撓むことで、配線パターン形成領域１２ｂが損傷すると
いう課題も生じる。特に、長尺帯状体が薄い場合（ＴＡ
Ｂテープの場合：厚さ約５０μｍ〜約８０μｍ程度、リ
ードフレームの場合：厚さ約０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程
度）には、厚い長尺帯状体に比べて剛性が少ないため、
幅方向に沿った中央部分での撓み量が多くなり、この傾
向が顕著である。Therefore, the TA that contacts the power supply roller 20
Since the cross-sectional shape of the B tape 12 along the width direction is a U-shape or a V-shape, the TAB tape 1 is actually used.
However, the adhesion between the large diameter portion 30 of the power feeding roller 20 that supplies current to the TAB tape 12 and both side edges of the TAB tape 12 in the width direction is reduced, and the power feeding efficiency is reduced. is there. Further, the wiring pattern forming region 12b is bent, which causes a problem that the wiring pattern forming region 12b is damaged. Especially when the long strip is thin (TA
In the case of the B tape: about 50 μm to about 80 μm in thickness, and in the case of the lead frame: about 0.1 mm to 0.2 mm in thickness, the rigidity is less than that of the thick long strip,
The amount of bending in the central portion along the width direction increases, and this tendency is remarkable.
【０００９】従って、本発明は上記課題を解決すべくな
され、その目的とするところは、給電ローラ部分での長
尺帯状体の撓み量を低減して、長尺帯状体の損傷を防止
し、かつ給電効率を向上することができる長尺帯状体用
給電装置を提供することにある。Therefore, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to reduce the amount of bending of the long strip at the feeding roller portion to prevent damage to the long strip. Another object of the present invention is to provide a power supply device for a long strip that can improve power supply efficiency.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、請求項１記
載の発明は、長尺帯状体の搬送経路の途中に配置され、
長尺帯状体の長手方向に沿った側縁部と面接触して長尺
帯状体にめっき用電流を供給する大径部が外周面の両側
端部に形成された給電ローラと、前記給電ローラの両側
端部の大径部で挟まれた小径部の外周面と前記長尺帯状
体との間に形成される隙間に向けて給電ローラに液体を
噴射させる噴射手段とを具備することを特徴とする。ま
た、前記噴射手段は、前記長尺帯状体の送り込み側また
は送り出し側の少なくとも一方に備えておく。In order to solve the above problems, the present invention has the following constitution. That is, the invention according to claim 1 is arranged in the middle of the conveyance path of the long strip,
A power feeding roller having a large diameter portion formed on both end portions of the outer peripheral surface in surface contact with a side edge portion along the longitudinal direction of the long strip to supply a plating current to the long strip, and the power feeding roller. And a jetting means for jetting the liquid to the power feeding roller toward the gap formed between the outer peripheral surface of the small diameter portion sandwiched by the large diameter portions of both side ends and the elongated strip. And Further, the jetting means is provided on at least one of the feeding side and the feeding side of the long strip.
【００１１】また、請求項３記載の発明は、長尺帯状体
の搬送経路の途中に配置され、長尺帯状体の長手方向に
沿った側縁部と面接触して長尺帯状体にめっき用電流を
供給する大径部が外周面の両側端部に形成された給電ロ
ーラと、前記給電ローラの両側端部の大径部で挟まれた
小径部の外周面全面に散在して設けられ、長尺帯状体に
向けて液体を噴射させる複数の流体噴射孔と、前記給電
ローラ内部に設けられ、前記複数の流体噴射孔と連通す
る液体流路と、該液体流路へ液体を供給する液体供給手
段とを具備することを特徴とする。Further, the invention according to claim 3 is arranged in the middle of the conveyance path of the long strip, and is in surface contact with the side edge portion along the longitudinal direction of the long strip to plate the long strip. Large-diameter portions for supplying the working current are provided on the entire outer peripheral surface of the power-supply roller formed on both end portions of the outer peripheral surface and the small-diameter portion sandwiched by the large-diameter portions on both end portions of the power-supply roller. , A plurality of fluid ejection holes for ejecting a liquid toward a long strip , a liquid flow path provided inside the power supply roller and communicating with the plurality of fluid ejection holes, and supplying the liquid to the liquid flow path And a liquid supply means.
【００１２】これらによれば、給電ローラの大径部で挟
まれた小径部の外周面と長尺帯状体との間に形成される
隙間内を液体で満たすことが可能となる。よって、テン
ションによって長尺帯状体の幅方向の中央部分が隙間内
に撓もうとしても、液体からの圧力によって撓みを防止
することができ、長尺帯状体と給電ローラとの密着性が
向上すると共に、長尺帯状体に対するダメージを軽減で
きる。また、さらに前記長尺帯状体を介して前記給電ロ
ーラと対向して配置され、給電ローラの両側端部の大径
部との間で前記長尺帯状体を挟むと共に、少なくとも長
尺帯状体と接触する部位の外径は同一径に形成された補
助ローラを設けると、仮に液体からの圧力が強すぎる場
合でも、長尺帯状体が逆に膨らまないように補助ローラ
の外周面で押さえることが可能となる。According to these, it becomes possible to fill the space formed between the outer peripheral surface of the small diameter portion sandwiched by the large diameter portions of the power feeding roller and the long strip with the liquid. Therefore, even if the center portion of the long strip in the width direction tries to be bent into the gap due to the tension, the bending can be prevented by the pressure from the liquid, and the adhesion between the long strip and the power supply roller is improved. At the same time, damage to the long strip can be reduced. Further, the long strip is disposed so as to face the power feeding roller via the long strip, and the long strip is sandwiched between the large diameter portions at both ends of the power feeding roller, and at least the long strip is formed. By providing an auxiliary roller with the same outer diameter at the contacting part, even if the pressure from the liquid is too strong, it can be pressed by the outer peripheral surface of the auxiliary roller to prevent the long strip from bulging. It will be possible.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る長尺帯状体用
給電装置の好適な実施の形態について添付図面と共に説
明する。なお、長尺帯状体用給電装置を有する長尺帯状
体に対する連続めっき装置の構成は従来例で説明した図
１の構成と同じである。
（第１の実施の形態）
〔ＴＡＢテープ１２の片面がパターン形成面の場合〕ま
ず、長尺帯状体用給電装置４０の構成について図４を用
いて説明する。なお、従来例と同じ構成については同じ
符号を付し、詳細な説明は省略する。給電装置４０は、
外周面の両側端部に大径部３０が形成され、ＴＡＢテー
プ１２のパターン形成面１２ａ側に配置された給電ロー
ラ２０と、給電ローラ２０にめっき用電流を供給する電
源２６とから構成される。また、一対のガイドローラ２
８は、給電ローラ２０を挟んでＴＡＢテープ１２の搬送
経路の前後方向に設けられ、ＴＡＢテープ１２を給電ロ
ーラ２０に押しつけるものである。この一対のガイドロ
ーラ２８は、ＴＡＢテープ１２を給電ローラ２０に押し
つけるため、ＴＡＢテープ１２を挟んで給電ローラ２０
が配置された側と反対側に設けられる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of the power feeding device for a long strip according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. The configuration of the continuous plating apparatus for a long strip having the power feeding device for the long strip is the same as that of the conventional example shown in FIG. First Embodiment [When One Side of TAB Tape 12 is a Pattern Forming Surface] First, the configuration of the power feeding device 40 for a long strip will be described with reference to FIG. The same components as those in the conventional example are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. The power supply device 40 is
Large-diameter portions 30 are formed at both ends of the outer peripheral surface, and are composed of a power supply roller 20 arranged on the pattern forming surface 12a side of the TAB tape 12, and a power supply 26 supplying a plating current to the power supply roller 20. . In addition, a pair of guide rollers 2
Reference numeral 8 is provided in the front-rear direction of the transport path of the TAB tape 12 with the power feeding roller 20 interposed therebetween, and presses the TAB tape 12 against the power feeding roller 20. The pair of guide rollers 28 press the TAB tape 12 against the power feeding roller 20, so that the power feeding roller 20 is sandwiched by the TAB tape 12.
Is provided on the side opposite to the side on which is arranged.
【００１４】以上の給電装置４０の構成は従来例と同じ
構成であるが、本実施の形態においては、さらに給電ロ
ーラ２０の外部に、給電ローラ２０の大径部３０で挟ま
れて形成された隙間３２、より詳細には給電ローラ２０
の大径部３０の内側面、給電ローラ２０の大径部３０で
挟まれた小径部３１の外周面２０ａおよびＴＡＢテープ
１２との間で形成される隙間３２に向けてＴＡＢテープ
１２の給電ローラ２０に対する送り込み方向から液体
（例えば水）を噴射する噴射手段４２が設けられてお
り、この構成が特徴部分となっている。噴射手段４２は
給電ローラ２０に対してＴＡＢテープ１２の送り込み側
に設けられている。この噴射手段４２は、液体４３をシ
ャワー状に噴射することが可能なノズル４４と、このノ
ズル４４に液体４３を供給する配管４６と、この配管４
６を介して液体４３をノズル４４へ圧力を加えて送るポ
ンプ（不図示）とから構成されている。The structure of the power feeding device 40 described above is the same as that of the conventional example, but in the present embodiment, it is further formed outside the power feeding roller 20 by being sandwiched by the large diameter portion 30 of the power feeding roller 20. The gap 32, more specifically, the power supply roller 20
Of the TAB tape 12 toward the inner surface of the large-diameter portion 30, the outer surface 20a of the small-diameter portion 31 sandwiched between the large-diameter portion 30 of the power feeding roller 20 and the TAB tape 12. Ejection means 42 for injecting a liquid (for example, water) from the feeding direction with respect to 20 is provided, and this configuration is a characteristic part. The ejection unit 42 is provided on the feeding side of the TAB tape 12 with respect to the power feeding roller 20. The jetting means 42 includes a nozzle 44 capable of jetting the liquid 43 in a shower shape, a pipe 46 for supplying the liquid 43 to the nozzle 44, and the pipe 4.
6 and a pump (not shown) for sending the liquid 43 to the nozzle 44 by applying pressure.
【００１５】また、ノズル４４によって隙間３２内へ噴
射された液体４３は、当該隙間３２を通過してＴＡＢテ
ープ１２の給電ローラ２０に対する送り出し方向から順
次排出されるが、大径部３０の半径と給電ローラ２０の
外周面２０ａの半径との差（クリアランス）Ｄを適当な
距離に設定すると共に、ノズル４４からの液体の噴射量
を調整して排出量と略同じか若干多めに設定することに
よって、図５に示すように隙間３２内が常に液体で満た
された状態を作りだすことができる。なお、一例として
差Ｄは０．２〜０．３ミリメートル程度である。また、
ノズル４４の数は隙間３２が液体で満たされれば１つで
も良いが、大径部３０の間隔が広い等、１つのノズル４
４だけでは液体を隙間３２内に満たすことができない場
合には、複数のノズル４４を配置すると良い。また、１
つのノズル４４に液体を噴射する噴射口を複数設けるよ
うにしても良い。Further, the liquid 43 sprayed into the gap 32 by the nozzle 44 passes through the gap 32 and is sequentially discharged from the feeding direction of the TAB tape 12 to the power feeding roller 20. By setting the difference (clearance) D from the radius of the outer peripheral surface 20a of the power feeding roller 20 to an appropriate distance, and adjusting the injection amount of the liquid from the nozzle 44 to set it to about the same as or slightly larger than the discharge amount. As shown in FIG. 5, it is possible to create a state in which the gap 32 is always filled with the liquid. In addition, as an example, the difference D is about 0.2 to 0.3 mm. Also,
The number of the nozzles 44 may be one as long as the gap 32 is filled with the liquid, but the gap between the large diameter portions 30 is wide, and the number of the nozzles 4 is one.
If the liquid cannot be filled in the gap 32 with only 4 nozzles, a plurality of nozzles 44 may be arranged. Also, 1
A plurality of ejection ports for ejecting the liquid may be provided in one nozzle 44.
【００１６】このように隙間３２内に液体が常に満たさ
れた状態を保持すると、ガイドローラ２８から加えられ
たテンションによってＴＡＢテープ１２の幅方向の中央
部分が隙間３２内に撓もうとしても、液体からの圧力が
ＴＡＢテープ１２に加わって撓みを防止することができ
る。従って、ＴＡＢテープ１２が幅方向に沿って折れ曲
がりにくいことから、給電ローラ２０の大径部３０との
密着性が向上する。また、ＴＡＢテープ１２が隙間３２
内に撓まないから当該中央部分に形成された配線パター
ン形成領域１２ｂの損傷が防止できる。When the gap 32 is kept filled with the liquid as described above, even if the central portion of the TAB tape 12 in the width direction is bent into the gap 32 by the tension applied from the guide roller 28, The pressure can be applied to the TAB tape 12 to prevent the bending. Therefore, since the TAB tape 12 is unlikely to bend in the width direction, the adhesion with the large diameter portion 30 of the power feeding roller 20 is improved. In addition, the TAB tape 12 has a gap 32.
Since it does not bend inward, damage to the wiring pattern forming region 12b formed in the central portion can be prevented.
【００１７】なお、上述した実施の形態では、２つのガ
イドローラ２８によってＴＡＢテープ１２が給電ローラ
２０の外周面の一部に面接触するように給電ローラ２０
方向へ押しつけられる構成であったが、ガイドローラ２
８の数は２つに限定されるものではなく、１つであって
も良いし、３つ、４つ等、さらに多くても良い。In the above-described embodiment, the power feeding roller 20 is so arranged that the TAB tape 12 is in surface contact with a part of the outer peripheral surface of the power feeding roller 20 by the two guide rollers 28.
Although it was configured to be pressed in the direction, the guide roller 2
The number of eight is not limited to two, and may be one, three, four, or more.
【００１８】〔ＴＡＢテープ１２の両面がパターン形成
面の場合〕また、上述した実施の形態では、電気めっき
されるパターン形成面１２ａはＴＡＢテープ１２の片面
のみの場合にであったが、両面に電気めっきされるパタ
ーン形成面１２ａを有するＴＡＢテープ１２に電流を供
給する給電装置４８では、図６に示すように、ＴＡＢテ
ープ１２の他方の面（図６中の上面）側にも給電ローラ
２０と同様の構成の他の給電ローラ５０を配置すると共
に、給電ローラ５０用として噴射手段４２をもう一組用
意すれば良い。なお、他の給電ローラ５０の外周面５０
ａの両側端部に設けられた大径部５２は基本的には給電
ローラ２０の大径部３０と同じピッチで良い。[When both sides of the TAB tape 12 are pattern forming surfaces] In the above-described embodiment, the pattern forming surface 12a to be electroplated is only one side of the TAB tape 12, but In the power feeding device 48 that supplies current to the TAB tape 12 having the pattern-formed surface 12a to be electroplated, as shown in FIG. 6, the power feeding roller 20 is also provided on the other surface side (upper surface in FIG. 6) of the TAB tape 12. It is only necessary to arrange another power feeding roller 50 having the same configuration as the above and to prepare another set of the ejection means 42 for the power feeding roller 50. The outer peripheral surface 50 of the other power feeding roller 50
The large diameter portions 52 provided on both end portions of a may basically have the same pitch as the large diameter portions 30 of the power feeding roller 20.
【００１９】また、上述した実施の形態では、噴射手段
４２（以下、第１噴射手段４２ａとも言う）は各給電ロ
ーラ２０、５０に対するＴＡＢテープ１２の送り込み方
向から液体を隙間３２内に噴射する構成であったが、例
えば図４において点線で示すようにＴＡＢテープ１２の
給電ローラ２０に対する送り出し側にも噴射手段４２
（以下、第２噴射手段４２ｂとも言う）を配置して、送
り出し方向と逆方向に液体を噴射することにより同時に
隙間３２内に液体を噴射する構成とすることも可能であ
る。これによれば、第１噴射手段４２ａの液体の噴射量
Ｍ1 に対する第２噴射手段４２ｂの噴射量Ｍ2 を調節す
ることによって、具体的にはＭ1 ＞Ｍ2 とすることによ
って第１噴射手段４２ａから隙間３２内に供給される液
体の隙間３２からの排出を、第２噴射手段４２ｂから噴
射される液体でもって抑制することができ、第１噴射手
段４２ａから隙間３２内に供給される液体の隙間３２内
での滞留時間を調節することが可能となると考えられ
る。Further, in the above-mentioned embodiment, the jetting means 42 (hereinafter, also referred to as the first jetting means 42a) jets the liquid into the gap 32 from the feeding direction of the TAB tape 12 to the respective feeding rollers 20 and 50. However, for example, as shown by the dotted line in FIG. 4, the ejecting means 42 is also provided on the delivery side of the TAB tape 12 with respect to the power feeding roller 20.
It is also possible to arrange (hereinafter also referred to as the second ejection means 42b) and eject the liquid in the direction opposite to the delivery direction to eject the liquid into the gap 32 at the same time. According to this, by adjusting the injection amount M 2 of the second injection unit 42b with respect to the liquid injection amount M 1 of the first injection unit 42a, specifically, by setting M 1 > M 2 The discharge of the liquid supplied from the means 42a into the gap 32 from the gap 32 can be suppressed by the liquid jetted from the second jetting means 42b, and the liquid is supplied from the first jetting means 42a into the gap 32. It is considered possible to adjust the residence time of the liquid in the gap 32.
【００２０】（第２の実施の形態）本実施の形態につい
て図７と図８を用いて説明する。なお、第１の実施の形
態と同じ構成については同じ符号を付し、詳細な説明は
省略する。本実施の形態の特徴部分は、第１の実施の形
態では隙間３２内を液体で満たすべくこの隙間３２内に
液体を送り込む手段は、噴射手段４２として給電ローラ
２０とは別体に外部に設けられているのに対し、本実施
の給電ローラ２０では給電ローラ２０内部に隙間３２内
に液体を送り込む手段が設けられている点で相違してい
る。(Second Embodiment) This embodiment will be described with reference to FIGS. 7 and 8. The same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. The characteristic part of this embodiment is that, in the first embodiment, the means for feeding the liquid into the gap 32 so as to fill the gap 32 with the liquid is provided outside the feeding roller 20 as the ejecting means 42 outside. In contrast to this, the power feeding roller 20 of the present embodiment is different in that means for feeding the liquid into the gap 32 is provided inside the power feeding roller 20.
【００２１】給電装置５４の詳細な構成について説明す
る。給電装置５４は、外周面５６ａの両側端部に大径部
３０が形成され、ＴＡＢテープ１２のパターン形成面１
２ａ側に配置された給電ローラ５６と、給電ローラ５６
にめっき用電流を供給する電源２６とから構成される。
なお、ＴＡＢテープ１２は第１の実施の形態で述べたよ
うな一対のガイドローラ２８（図７中では省略してい
る）によって給電ローラ５６へ押しつけられている。そ
して、この給電ローラ５６には、給電ローラ５６の大径
部３０で挟まれた小径部３１の外周面５６ａ全面に散在
するように設けられた複数の流体噴射孔５８と、給電ロ
ーラ５６の内部に設けられ、複数の流体噴射孔５８と連
通する液体流路６０とが設けられている。また、液体流
路６０へはポンプ等の液体供給手段（不図示）によって
液体４３が供給される。The detailed structure of the power supply device 54 will be described. In the power feeding device 54, the large diameter portions 30 are formed at both end portions of the outer peripheral surface 56 a, and the pattern forming surface 1 of the TAB tape 12 is formed.
Power feeding roller 56 disposed on the 2a side, and power feeding roller 56
And a power supply 26 for supplying a plating current to the.
The TAB tape 12 is pressed against the power supply roller 56 by the pair of guide rollers 28 (not shown in FIG. 7) as described in the first embodiment. In the power feeding roller 56, a plurality of fluid ejection holes 58 provided so as to be scattered over the entire outer peripheral surface 56a of the small diameter portion 31 sandwiched by the large diameter portion 30 of the power feeding roller 56, and the inside of the power feeding roller 56. And a liquid flow path 60 communicating with the plurality of fluid ejection holes 58. The liquid 43 is supplied to the liquid channel 60 by a liquid supply means (not shown) such as a pump.
【００２２】ここで、流体噴射孔５８は一例として小径
部３１の外周面５６ａに、小径部３１の軸線方向に沿っ
て所定のピッチで等間隔に、かつ小径部３１の周方向に
沿って所定のピッチで等間隔に開口されているが、大径
部３０寄りの部分に比べて折れ曲がり易いＴＡＢテープ
１２の幅方向に沿った中央部分への液体４３の供給量を
多くするために、小径部３１の軸線方向に沿った開口ピ
ッチを小径部３１の両側よりも中央部分において狭くし
て外周面５６ａの中央部分の流体噴射孔５８の密度を高
く設定しても良い。なお、液体供給手段から液体４３が
液体流路６０内へ供給されると、給電ローラ５６の外周
面５６ａ全体から液体４３が吹き出す。このため、ＴＡ
Ｂテープ１２と接触しない部分に位置する流体噴射孔５
８から吹き出した液体が給電ローラ５６の周囲に飛散し
ないように図７のごとく、断面弧状のカバー６２を給電
ローラ５６の周囲に沿って取り付けて給電ローラ５６を
覆う構成としても良い。Here, the fluid injection holes 58 are, for example, on the outer peripheral surface 56a of the small-diameter portion 31 at predetermined intervals along the axial direction of the small-diameter portion 31 at predetermined intervals and along the circumferential direction of the small-diameter portion 31. Are opened at equal intervals, but the small diameter portion is increased in order to increase the supply amount of the liquid 43 to the central portion along the width direction of the TAB tape 12 which is more easily bent than the portion near the large diameter portion 30. The opening pitch along the axial direction of 31 may be narrower in the central portion than on both sides of the small diameter portion 31, and the density of the fluid injection holes 58 in the central portion of the outer peripheral surface 56a may be set high. When the liquid 43 is supplied from the liquid supply means into the liquid flow path 60, the liquid 43 blows out from the entire outer peripheral surface 56a of the power feeding roller 56. Therefore, TA
Fluid ejection hole 5 located in a portion not in contact with B tape 12
A cover 62 having an arc-shaped cross section may be attached along the periphery of the power feeding roller 56 so as to cover the power feeding roller 56, as shown in FIG. 7, so that the liquid spouted from 8 does not splash around the power feeding roller 56.
【００２３】本実施の形態の場合でも、第１の実施の形
態と同様に隙間３２内に液体４３を供給し、隙間３２内
が常に液体４３で満たされた状態を保持できるから、テ
ンションによってＴＡＢテープ１２の幅方向の中央部分
が隙間３２内に撓もうとすることを防止でき、ＴＡＢテ
ープ１２と給電ローラ５６の大径部３０との密着性の向
上や、ＴＡＢテープ１２の中央部分に形成された配線パ
ターン形成領域１２ｂの損傷を有効に防止できる。な
お、上述した各実施の形態において、空気等の気体では
なく水等の液体を噴射させてＴＡＢテープ１２に圧力を
加えるようにしているが、その理由は液体（水等）だと
給電ローラ５６とＴＡＢテープ１２の接触部分に生ずる
隙間に入り込んだ際に、給電ローラ５６とＴＡＢテープ
１２との間の接触抵抗を低減して通電効果を上げる作用
があるからである。In the case of the present embodiment as well, as in the first embodiment, the liquid 43 can be supplied into the gap 32, and the state in which the gap 32 is always filled with the liquid 43 can be maintained. It is possible to prevent the center portion of the tape 12 in the width direction from bending into the gap 32, improve the adhesion between the TAB tape 12 and the large diameter portion 30 of the power feeding roller 56, and form the tape 12 at the center portion of the TAB tape 12. It is possible to effectively prevent damage to the formed wiring pattern formation region 12b. In each of the above-described embodiments, the liquid such as water is sprayed instead of the gas such as air to apply the pressure to the TAB tape 12. The reason is that the liquid is water (such as water) and the power feeding roller 56. This is because, when it enters into a gap generated in the contact portion between the TAB tape 12 and the TAB tape 12, the contact resistance between the power feeding roller 56 and the TAB tape 12 is reduced to enhance the energization effect.
【００２４】また、上述した各実施の形態の場合、液体
の噴射圧が高すぎる場合には、逆にＴＡＢテープ１２が
外側に膨らんでしまうという課題もある。そこで、特に
ＴＡＢテープ１２の片面がパターン形成面の場合のよう
に、もう一方の面が損傷しにくいＴＡＢテープ１２の場
合には、図９や図１０に示すように、ＴＡＢテープ１２
を介して給電ローラ２０（５６）と対向して補助ローラ
６４を配置して、補助ローラ６４の外周面と給電ローラ
２０（５６）の両側端部の大径部３０との間でＴＡＢテ
ープ１２を挟むようにすると良い。なお、補助ローラ６
４は、少なくともＴＡＢテープ１２のもう一方の面（非
パターン形成面）と接触する部位の直径（外径）は同一
径に形成しておく。これによれば、仮に液体からＴＡＢ
テープ１２のパターン形成面１２ａが受ける圧力が強す
ぎる場合でも、ＴＡＢテープ１２は補助ローラ６４の外
周面によって変形が規制されて膨らみにくい。Further, in the case of each of the above-mentioned embodiments, there is also a problem that the TAB tape 12 bulges outward when the liquid jet pressure is too high. Therefore, particularly in the case of the TAB tape 12 in which one surface of the TAB tape 12 is not easily damaged, as in the case where one surface is a pattern forming surface, as shown in FIG. 9 and FIG.
The auxiliary roller 64 is disposed so as to face the power feeding roller 20 (56) via the TAB tape 12 between the outer peripheral surface of the auxiliary roller 64 and the large diameter portions 30 at both end portions of the power feeding roller 20 (56). It is good to sandwich. The auxiliary roller 6
In No. 4, the diameter (outer diameter) of at least the portion in contact with the other surface (non-pattern forming surface) of the TAB tape 12 is formed to be the same. According to this, if the liquid is TAB
Even if the pressure applied to the pattern forming surface 12 a of the tape 12 is too strong, the TAB tape 12 is prevented from swelling because its deformation is restricted by the outer peripheral surface of the auxiliary roller 64.
【００２５】以上、本発明の好適な実施例について種々
述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるので
はなく、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施
し得るのはもちろんである。Although various preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and many modifications can be made without departing from the spirit of the invention. Of course.
【００２６】[0026]
【発明の効果】本発明に係る長尺帯状体用給電装置を用
いると、給電ローラの大径部で挟まれた外周面と長尺帯
状体との間で形成される隙間内を液体で満たすことが可
能となる。よって、テンションによって長尺帯状体の幅
方向の中央部分が隙間内に撓もうとしても、液体からの
圧力によって撓みを防止することができ、長尺帯状体と
給電ローラとの密着性が向上すると共に、長尺帯状体に
対するダメージを軽減できるという効果を奏する。EFFECT OF THE INVENTION By using the power supply device for a long strip according to the present invention, the liquid is filled in the gap formed between the long strip and the outer circumferential surface sandwiched by the large diameter portions of the power supply roller. It becomes possible. Therefore, even if the center portion of the long strip in the width direction tries to be bent into the gap due to the tension, the bending can be prevented by the pressure from the liquid, and the adhesion between the long strip and the power supply roller is improved. At the same time, it is possible to reduce the damage to the long strip.
【図１】長尺帯状体に対して連続めっきを行うめっき装
置の一般的な構成を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a general configuration of a plating apparatus for performing continuous plating on a long strip.
【図２】長尺帯状体の一例としてのＴＡＢテープの構成
を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a structure of a TAB tape as an example of a long strip.
【図３】従来の給電ローラにおいてＴＡＢテープが撓む
様子を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing how a TAB tape bends in a conventional power supply roller.
【図４】本発明に係る長尺帯状体用給電装置の第１の実
施の形態の構成を説明するための説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining the configuration of the first embodiment of the power supply device for a long strip according to the present invention.
【図５】図４の給電ローラとＴＡＢテープとの間に形成
された隙間を説明するためのＥ−Ｅ矢視図である。5 is an EE arrow view for explaining a gap formed between the power supply roller and the TAB tape of FIG. 4. FIG.
【図６】図４において、ＴＡＢテープの両面に給電ロー
ラが設けられた実施の形態を説明するための説明図であ
る。FIG. 6 is an explanatory diagram for describing an embodiment in which power supply rollers are provided on both surfaces of the TAB tape in FIG.
【図７】本発明に係る長尺帯状体用給電装置の第２の実
施の形態の構成を説明するための説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining the configuration of the second embodiment of the power supply device for a long strip according to the present invention.
【図８】図７の給電ローラの構成を説明するための正面
図である。FIG. 8 is a front view for explaining the configuration of the power feeding roller of FIG.
【図９】給電ローラに対向して補助ローラを設けた他の
実施の形態の構成を説明するための説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining a configuration of another embodiment in which an auxiliary roller is provided so as to face the power feeding roller.
【図１０】図９の給電ローラと補助ローラとの関係を示
す正面図である。FIG. 10 is a front view showing the relationship between the power feeding roller and the auxiliary roller of FIG.
１２ ＴＡＢテープ ２０ 給電ローラ ３０ 大径部 ３１ 小径部 ３２ 隙間 ４０ 長尺帯状体用給電装置 ４２ 噴射手段 ４３ 液体 ４４ ノズル ４６ 配管 12 TAB tape 20 power supply roller 30 Large diameter part 31 Small diameter part 32 gap 40 Power supply device for long strips 42 injection means 43 liquid 44 nozzles 46 Piping
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C25D 7/06 C25D 7/12 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) C25D 7/06 C25D 7/12
Claims (4)
れ、長尺帯状体の長手方向に沿った側縁部と面接触して
長尺帯状体にめっき用電流を供給する大径部が外周面の
両側端部に形成された給電ローラと、 前記給電ローラの両側端部の大径部で挟まれた小径部の
外周面と前記長尺帯状体との間に形成される隙間に向け
て給電ローラに液体を噴射させる噴射手段とを具備する
ことを特徴とする長尺帯状体用給電装置。1. A large-diameter portion which is disposed in the middle of a conveyance path of a long strip and is in surface contact with a side edge portion along the longitudinal direction of the long strip to supply a plating current to the long strip. A power feeding roller formed on both end portions of the outer peripheral surface, and a gap formed between the outer peripheral surface of the small diameter portion sandwiched by the large diameter portions of both end portions of the power feeding roller and the long strip. And a jetting means for jetting liquid toward the power feeding roller toward the feeding roller.
込み側または送り出し側の少なくとも一方に備えること
を特徴とする請求項１記載の長尺帯状体用給電装置。2. The power supply device for a long strip according to claim 1, wherein the injection means is provided on at least one of a feeding side and a sending side of the long strip.
長尺帯状体の長手方向に沿った側縁部と面接触して長尺
帯状体にめっき用電流を供給する大径部が外周面の両側
端部に形成された給電ローラと、 前記給電ローラの両側端部の大径部で挟まれた小径部の
外周面全面に散在して設けられ、長尺帯状体に向けて液
体を噴射させる複数の流体噴射孔と、 前記給電ローラ内部に設けられ、前記複数の流体噴射孔
と連通する液体流路と、 該液体流路へ液体を供給する液体供給手段とを具備する
ことを特徴とする長尺帯状体用給電装置。3. Arranged in the middle of the conveyance path of the long strip,
A power feeding roller having large diameter portions formed on both end portions of the outer peripheral surface in surface contact with a side edge portion along the longitudinal direction of the long belt to supply a plating current to the long belt; the entire outer peripheral surface to provided interspersed small diameter portion sandwiched between the large diameter portion of the two side portions, and a plurality of fluid ejection hole for ejecting a liquid toward a long strip, provided within the feed roller A power supply device for a long strip, comprising: a liquid flow path communicating with the plurality of fluid ejection holes; and a liquid supply means for supplying a liquid to the liquid flow path.
と対向して配置され、給電ローラの両側端部の大径部と
の間で前記長尺帯状体を挟むと共に、少なくとも長尺帯
状体と接触する部位の外径は同一径に形成された補助ロ
ーラを具備することを特徴とする請求項１、２または３
記載の長尺帯状体用給電装置。4. The elongated strip-shaped member is disposed so as to face the power feeding roller with the elongated strip-shaped member interposed therebetween, and the elongated strip-shaped member is sandwiched between the large-diameter portions at both end portions of the power feeding roller, and at least the elongated strip-shaped member. 4. An auxiliary roller having the same outer diameter as that of the portion contacting the body is provided.
The power supply device for a long strip described.
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| JP26514098A JP3429686B2 (en) | 1998-09-18 | 1998-09-18 | Feeding device for long strips |
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