JP3427966B2 - 光導波路回路と入出力光ファイバの調心方法及び光導波路回路実装装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路回路と入
出力光ファイバの調心方法及び光導波路回路実装装置に
係わり、特に、光通信あるいは光情報処理などの分野で
用いられる光導波路回路とその入出力光ファイバと接続
する時の相対位置の設定方法に適用して有効な技術に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、例えば、シリコン基板上に形成し
た石英系光導波路などによって構成されたプレーナ光導
波路回路（ＰＬＣ：Planar Lightwave Circuit）の研究
が盛んに行われている。そのなかで最も重要な回路の一
つとしてアレイ導波路格子型波長合分波器（Arrayed Wa
veguide Grating Multiplexer 、以下、ＡＷＧと称す
る。）がある。

【０００３】ＡＷＧでは、並列に並べられた互いに光路
長がｎ×ΔＬずつ異なる３０〜１００本程度のアレイ導
波路を伝搬した複数の光の干渉により光の波長合分波機
能を実現している。ここで、ｎは導波路の実効屈折率で
あり、ΔＬは１０〜１００μｍ程度の値である。

【０００４】この回路の特徴は、複数の波長の光を一段
の多光束干渉により実現していることである。この結果
として、（イ）回路挿入損失が波長チャンネル数に依存
しない、（ロ）分波される互いのチャンネル波長の間隔
がフォトマスクの精度で定まり、０．１ｎｍ以下の精度
で作製できるという２つの特長を有している。

【０００５】これらの特徴により、将来、多波長の光を
使用する光通信システムにおいて、ＡＷＧは極めて需要
な光回路になることが予測される（H.Takahashi et a
l., "Arrayed-Waveguide Grating for Wavelength Divi
sion Multi/Demultiplexer with Nanometre Resolutio
n," Electron. Lett., vol.26, no.2, pp.87-88, 1990.
参照）。

【０００６】図６は、ＡＷＧ（アレイ導波路格子型波長
合分波器）の一例の概略構成を示す斜視図である。

【０００７】同図に示すように、ＡＷＧ１０は、入力導
波路１１、出力導波路１２、入力側スラブ導波路１３、
出力側スラブ導波路１５、アレイ導波路１４より構成さ
れる。ここで、各光導波路は、シリコン（Ｓｉ）基板１
６上に形成されている。

【０００８】図７は、図６に示すＡＷＧ１０における、
中心入力ポートから中心出力ポートへの透過波長特性の
一例を示すグラフである。

【０００９】図８は、従来の、ＡＷＧ１０と入出力光フ
ァイバの調心方法を使用した光導波路回路実装装置の概
略構成を示す斜視図である。

【００１０】同図に示すように、複数の入力光ファイバ
および出力光ファイバの、ＡＷＧ１０と接続される端子
部は、ファイバ部品２２に固定されて、それぞれ入力光
ファイバアレイ２１および出力光ファイバアレイ２４を
構成する。このファイバ部品２２は、ｘ，ｙ，ｚ，θ方
向において、粗調心および微調心ができる微動台２３に
取り付けられている。なお、同図中の点線は電気的な制
御系を意味する。

【００１１】従来、このＡＷＧ１０と入力光ファイバア
レイ２１および出力光ファイバアレイ２４との接続時の
調心は、波長可変光源２０から特定の波長の光を、入力
光ファイバアレイ２１のある特定の入力光ファイバ２１
ａに入射し、出力光ファイバアレイ２４のある特定の出
力光ファイバ２４ａからの出力光をフォトダイオード２
５で受光する。そのフォトダイオード２５で受光される
出力光が最大になるように、コンピュータ２６により微
動台２３を制御して、入力光ファイバアレイ２１および
出力光ファイバアレイ２４とＡＷＧ１０との位置を決定
し、その後、入力光ファイバアレイ２１および出力光フ
ァイバアレイ２４と、ＡＷＧ１０との界面に充填した紫
外線硬化樹脂を硬化して、接続を行っていた。

【００１２】この場合に、調心に使用される特定の波長
とは、図７の特性を有するＡＷＧ１０に関しては約１５
５４ｎｍの最も透過損失が小さくなる波長を意味する。
なお、この波長の値は、作製するＡＷＧ１０ごとに異な
るものである。

【００１３】ＡＷＧ１０は波長合分波特性を有している
ため、特定の波長しか透過しない。このため、例えば、
光源としてファブリペローレーザーダイオード（ＥＰ−
ＬＤ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）のように広帯域なス
ペクトルを有する光源を使用した場合、入力導波路１１
から出力導波路１２への透過損失が２０ｄＢ程度にまで
大きくなる。この値に、入力光ファイバ２１ａと入力導
波路１１の相対位置が十分に合っていない状態での結合
損失、出力光ファイバ２４ａと出力導波路１２の相対位
置が十分に合っていない状態での結合損失を加算する
と、入力光ファイバ２１ａからＡＷＧ１０を伝搬して、
出力光ファイバ２４ａへ結合する光は、入力光に対して
−５０ｄＢ程度にまで低くなる。

【００１４】一方、入力光ファイバ２１ａから入力導波
路１１に光を入射したときに、結合できなかった一部の
光が光導波路回路のクラッドを伝搬して出力光ファイバ
２４ａに結合する。以下、本明細書では、この入力光フ
ァイバ２１ａから入力導波路１１に光を入射したとき
に、結合できなかった一部の光が光導波路回路のクラッ
ドを伝搬して出力光ファイバ２４ａに結合する光を迷光
と称する。この迷光の大きさは光導波路回路の大きさに
依存しているが、入力光ファイバ２１ａと出力光ファイ
バ２４ａとが対向している場合、入力光に対して−３０
〜−４０ｄＢ程度となる。

【００１５】そのため、入力光ファイバ２１ａからＡＷ
Ｇ１０を伝搬して出力光ファイバ２４ａへ結合する光
が、入力光に対して−５０ｄＢ程度にまで低くなると、
この迷光が無視できなくなり、ＡＷＧ１０と入力光ファ
イバアレイ２１および出力光ファイバアレイ２４との接
続時の調心が困難になる。

【００１６】この問題を解消するため、従来は、ＡＷＧ
１０の透過損失が最も小さくなる波長の光（図７に示す
例では１５５４ｎｍ）のみを用いて、ＡＷＧ１０と、入
力光ファイバアレイ２１および出力光ファイバアレイ２
４との調心を行っていた。

【００１７】ＡＷＧ１０の透過損失が最も小さくなる波
長の光を用いると、入力導波路１１から出力導波路１２
への透過損失が３ｄＢ程度にまで下がるため、入力光フ
ァイバアレイ２１と入力導波路１１の相対位置、および
出力光ファイバアレイ２４と出力導波路１２の相対位置
が概ね合っている場合においては、前記迷光に比べてＡ
ＷＧ１０を伝搬してくる光の強度の方が大きくなるた
め、入力光ファイバアレイ２１と入力導波路１１、およ
び出力光ファイバアレイ２４と出力導波路１２との調心
が可能となる。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】前記説明したように、
入力光ファイバアレイ２１と入力導波路１１、および出
力光ファイバアレイ２４と出力導波路１２との相対位置
が概ね合えば互いの調心が可能であるが、現状では、互
いの相対位置を概ね合わせるために多大の時間がかか
り、かつ、作業者に対して高度の熟練度が要求されると
いう問題点があった。

【００１９】具体的に述べると、初期状態として、入力
光ファイバアレイ２１と入力導波路１１、および出力光
ファイバアレイ２４と出力導波路１２との相対位置が、
それぞれずれていて、その結合損失が、例えば、１５ｄ
Ｂずつある場合、入力光ファイバ２１ａからＡＷＧ１０
を伝搬して出力光ファイバ２４ａへ結合する光が、入力
光に対して−３３ｄＢになり、この時は、前記迷光と同
程度の光強度となるため調心ができなくなる。

【００２０】現状では、光ファイバの動きと損失変動の
関係から作業者の判断で互いの粗調心を行っている。将
来において、ＡＷＧ１０と、入力光ファイバアレイ２１
および出力光ファイバアレイ２４との実装を自動化して
コストを低減することは、ＡＷＧ１０の価格を下げる上
で重要な課題である。

【００２１】そのためには、入力光ファイバと入力導波
路１１との相対位置、および出力光ファイバと出力導波
路１２の相対位置を概ね合わせる粗調心工程と、精度良
く合わせる微調心工程を簡便な方法で実現する方法と装
置が必要であるという問題点があった。

【００２２】本発明は、前記従来技術の問題点を解決す
るためになされたものであり、本発明の目的は、光導波
路回路と入出力光ファイバの調心方法において、入出力
光ファイバと光導波路回路との相対位置を、最適な位置
に容易、かつ、簡易に合わせることが可能となる技術を
提供することにある。

【００２３】本発明の他の目的は、光導波路回路実装装
置において、入出力光ファイバと光導波路回路との相対
位置を、最適な位置に容易、かつ、簡易に合わせること
が可能となる技術を提供することにある。

【００２４】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
にする。

【００２５】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。

【００２６】平面基板上に形成された光導波路回路と、
入力光ファイバあるいは出力光ファイバとの間で最適な
光学接続を得るための光導波路回路と入出力光ファイバ
の調心方法において、前記入出力光ファイバに調心用の
光を入射し、前記光導波路回路と前記入出力光ファイバ
との接続部以外の前記光導波路回路内部で発生する漏れ
光を測定して、その強度が最大となるように前記光導波
路回路と前記入出力光ファイバとの相対位置を制御する
ことを特徴とする。

【００２７】平面基板上に形成された光導波路回路と、
入力光ファイバあるいは出力光ファイバとを接続する光
導波路回路実装装置において、前記入力光ファイバある
いは出力光ファイバに調心用の光を入射する光入射手段
と、前記光入射手段から前記入力光ファイバあるいは出
力光ファイバに入射された光が前記光導波路回路内部を
伝搬する時に生じる漏れ光を測定する測定手段と、前記
測定手段で測定した漏れ光強度が最大となるように前記
光導波路回路と該入出力光ファイバとの相対位置を制御
する位置制御手段とを備えることを特徴とする。

【００２８】即ち、本発明は、入出力光ファイバが接続
される端面に隣接する端面において、光導波路回路の一
部からの漏れ光を検出して入出力光ファイバの粗調心お
よび微調心を行うことを特徴とする。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態を詳細に説明する。

【００３０】なお、実施形態を説明するための全図にお
いて、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰
り返しの説明は省略する。

【００３１】［実施形態１］図１は、本発明の一実施の
形態である光導波路回路と入出力光ファイバの調心方法
を使用した光導波路回路実装装置の概略構成を示す斜視
図である。

【００３２】本実施の形態において、ＡＷＧ１０と入力
光ファイバアレイ２１との接続時の調心は、ファブリペ
ローレーザーダイオード（ＥＰ−ＬＤ）２８からの光
を、チャンネルセレクタ２７を介して、入力光ファイバ
アレイ２１のある特定の入力光ファイバ２１ａに入射す
る。

【００３３】本実施の形態のＡＷＧ１０は、前記図６に
示すＡＷＧ１０と同様、アレイ導波路１４とスラブ導波
路（１３，１５）との接続点を有する回路である。この
アレイ導波路１４とスラブ導波路（１３，１５）との界
面では、互いの光の強度分布が異なるため、入力側スラ
ブ導波路１３と出力側スラブ導波路１５で、各々約０．
５ｄＢ（約１０％）ずつの光が漏れ光としてクラッドに
放射される。入力側スラブ導波路１３で放出された光
は、入力導波路１１が配置された端面に隣接する導波路
端面から外部に放出される。

【００３４】本実施の形態の光導波路回路実装装置で
は、この光をフォトダイオード２５で受光する。そし
て、フォトダイオード２５で受光する光量が最大になる
ように、コンピュータ２６により微動台２３を制御し
て、入力光ファイバアレイ２１とＡＷＧ１０との位置を
決定し、即ち、入力光ファイバアレイ２１をＡＷＧ１０
の入力導波路１１に対して調心した後、入力光ファイバ
アレイ２１とＡＷＧ１０との界面に充填した紫外線硬化
樹脂を硬化して、接着固定する。

【００３５】この場合に、フォトダイオード２５で受光
される迷光は、入力光に対して−７０ｄＢ程度で、アレ
イ導波路１４と入力側スラブ導波路１３との界面で放射
され、フォトダイオード２５に受光される光（−４０〜
−２０ｄＢ）に比べて充分小さい。このため、本実施の
形態では、迷光の影響を受けずに入力光ファイバアレイ
２１とＡＷＧ１０との調心を容易、かつ簡易に行うこと
が可能となる。

【００３６】さらに、本実施の形態では、調心に用いる
光源として、前記図８に示す波長可変光源２０に比べ
て、価格が格段に低いファブリペローレーザーダイオー
ド（ＥＰ−ＬＤ）等を使用することが可能である。即
ち、本実施の形態では、ＡＷＧ１０の入力側スラブ導波
路１３とアレイ導波路１４との界面からの漏れ光を利用
している。この漏れ光は基本的に波長特性を持たないた
め、調心に用いる光源として特定の波長の光を使用する
必要性はない。そのため、ファブリペローレーザーダイ
オード（ＥＰ−ＬＤ）等を使用することができる。

【００３７】また、本実施の形態では、ＡＷＧ１０を取
り外さずに、続けて出力導波路１２と出力光ファイバア
レイ２４との調心を行うことが可能である。

【００３８】即ち、ファブリペローレーザーダイオード
（ＥＰ−ＬＤ）２８からの光を、チャンネルセレクタ２
７を介して、出力光ファイバアレイ２４のある特定の出
力光ファイバ２４ａに入射し、出力側スラブ導波路１５
で放出された光を、フォトダイオード２５で受光する。
そして、フォトダイオード２５で受光する光量が最大に
なるように、コンピュータ２６により微動台２３を制御
して、出力光ファイバアレイ２４をＡＷＧ１０の出力導
波路１２に対して調心した後、出力光ファイバアレイ２
４とＡＷＧ１０との界面に充填した紫外線硬化樹脂を硬
化して、接着固定する。

【００３９】このように、本実施の形態では、入力光フ
ァイバアレイ２１と入力導波路１１との間の調心と、出
力光ファイバアレイ２４と出力導波路１２と間の調心と
を別々に行うことができる。

【００４０】従来の方法では、入力光ファイバアレイ２
１と入力導波路１１との光結合がとれるだけでは調心が
できず、同時に出力光ファイバアレイ２４と出力導波路
１２との光結合がとれて、初めて入力光ファイバアレイ
２１と入力導波路１１との微調心を行うことができる。
このため、初めに入力光ファイバアレイ２１、ＡＷＧ１
０、および出力光ファイバアレイ２４の３つの光結合を
とるために長い時間が必要であった。これに対して、本
実施の形態では、入力光ファイバアレイ２１の入力導波
路１１との調心、および出力光ファイバアレイ２４と出
力導波路１２との調心が別々に行えるため、実装に要す
る時間を大幅に短縮することが可能となる。

【００４１】［実施形態２］図２は、本発明の他の実施
の形態である光導波路回路と入出力光ファイバの調心方
法を使用した光導波路回路実装装置の概略構成を示す斜
視図である。

【００４２】本実施の形態は、フォトダイオード２５
が、弾性のあるシリコーン樹脂で封止されており、ＡＷ
Ｇ１０の端面にシリコーンを密着させて漏れ光を測定す
る点で、前記実施の形態１と相違する。

【００４３】図３は、図２に示す光導波路回路実装装置
の上面を示す平面図である。図３に示すように、ＡＷＧ
１０のスラブ導波路（１３，１５）の角度（θ）は、Ａ
ＷＧ１０の設計に依存しているが、中には角度（θ）が
４４°以上になる場合もある。

【００４４】ＡＷＧ１０のスラブ導波路（１３，１５）
の角度（θ）が４４°以上になるようなＡＷＧ１０にお
いて、前記実施の形態１に記載した方法で、入力光ファ
イバアレイ２１の入力導波路１１との調心、および出力
光ファイバアレイ２４と出力導波路１２との調心を行う
場合に、以下のような問題が生じる。

【００４５】角度（θ）が４４°以上になると、アレイ
導波路１４と入力側スラブ導波路１３との界面、あるい
は、アレイ導波路１４と出力側スラブ導波路１５との界
面でクラッドに漏れだした光は、フォトダイオード２５
が配置された端面に４４°以上の入射角で入射する。Ａ
ＷＧ１０の端面は空気に接しているため、光は端面で全
反射してＡＷＧ１０の外部には放出されない。このた
め、フォトダイオード２５で漏れ光を受光することがで
きない。

【００４６】この問題を解消するために、本実施の形態
では、図２および図３に示すように、フォトダイオード
２５を弾性シリコーン樹脂で封止し、そのシリコーンを
ＡＷＧ１０端面に密着させて、全反射が生じないように
してフォトダイオード２５で漏れ光を受光する。

【００４７】なお、本実施形態では、石英系光導波路を
用いたＡＷＧ１０の実装を前提としているため、ガラス
とほぼ同等の屈折率を持つシリコーンを用いたが、ＡＷ
Ｇ１０の導波路材料がＩｎＰなどの半導体の場合は、シ
リコーンの代わりにより屈折率の高い樹脂を用いる必要
がある。

【００４８】［実施形態３］図４は、本発明の他の実施
の形態である光導波路回路と入出力光ファイバの調心方
法を使用した光導波路回路実装装置の概略構成を示す斜
視図である。

【００４９】本実施の形態は、ＡＷＧ１０の端面から放
射された光をフォトダイオード２５で直接受光するので
はなく、一旦プローブファイバ３０を介してフォトダイ
オード２５で受光している点で、前記実施の形態１と相
違する。

【００５０】前記実施の形態１のように、ＡＷＧ１０端
面近傍に比較的形状の大きなフォトダイオード２５を配
置すると、様々な大きさのＡＷＧ１０に対応する上で障
害となる。そこで、本実施形態では、フォトダイオード
２５に比較して形状が小さいプローブファイバ３０を用
いるようにしたものである。

【００５１】［実施形態４］図５は、本発明の他の実施
の形態である光導波路回路と入出力光ファイバの調心方
法を使用した光導波路回路実装装置の概略構成を示す斜
視図である。

【００５２】ＡＷＧ１０は、それを構成している導波路
に複屈折がある場合、入射偏波状態によって中心波長が
変化する偏波依存性を有する。

【００５３】従来この偏波依存性を解消する方法とし
て、そのＡＷＧ回路１０の中央に１／２波長板を挿入す
る方法が用いられている。これはＡＷＧ回路中央に約２
０〜３０μｍ幅の溝３２をダイシングソーで加工し、ポ
リイミドを基板とする１／２波長板３１を挿入、接着剤
で硬化している（Y.Inoue, Y.Ohmori, M.Kawachi, S.An
do, T.Sawada, and H.Takahashi, "Polarization mode
converter with polyimide half waveplate in silica-
based planar lightwave circuits," IEEE Photon. Tec
hnol. Lett., vol.6, pp.626-628, 1994. 参照）。

【００５４】１／２波長板３１、およびその溝３２部分
では光の閉じ込め構造がないため０．３〜０．４ｄＢ程
度の光がクラッドに放出される。その光は、図５に示す
フォトダイオード２５が設置されている端面から外部に
放射される。本実施形態ではこの光をフォトダイオード
２５で検出して、入力光ファイバアレイ２１と入力導波
路１１との調心を行うようにしたものである。

【００５５】なお、前記各実施の形態では、本発明をＡ
ＷＧ１０に適用した場合について説明したが、本発明は
これに限定されるものではなく、その他の光導波路回路
に適用可能であることはいうまでもない。

【００５６】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、
前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸
脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論で
ある。

【００５７】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。

【００５８】（１）本発明によれば、入出力光ファイバ
と光導波路回路との調心を、入力光ファイバおよび出力
光ファイバ毎に個別に、迷光の影響を受けずに行えるた
め、調心時間を短縮でき、光導波路回路の入出力光ファ
イバ実装に要する時間を大幅に低減することが可能とな
る。

【００５９】（２）本発明によれば、調心用光源とし
て、安価なファブリペローレーザーダイオード等を使用
することができるので、装置全体の価格を安くすること
が可能である。

【００６０】（３）本発明によれば、ファイバ接続する
光導波路回路の回路特性（例えば、透過波長など）を予
め調べておく必要がないため、実装にかかる評価コスト
を低減することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態である光導波路回路と入
出力光ファイバの調心方法を使用した光導波路回路実装
装置の概略構成を示す斜視図である。

【図２】本発明の他の実施の形態である光導波路回路と
入出力光ファイバの調心方法を使用した光導波路回路実
装装置の概略構成を示す斜視図である。

【図３】図２に示す光導波路回路実装装置の上面を示す
平面図である。

【図４】本発明の他の実施の形態である光導波路回路と
入出力光ファイバの調心方法を使用した光導波路回路実
装装置の概略構成を示す斜視図である。

【図５】本発明の他の実施の形態である光導波路回路と
入出力光ファイバの調心方法を使用した光導波路回路実
装装置の概略構成を示す斜視図である。

【図６】アレイ導波路格子型波長合分波器の一例の概略
構成を示す斜視図である。

【図７】図６に示すアレイ導波路格子型波長合分波器に
おける、中心入力ポートから中心出力ポートへの透過波
長特性の一例を示すグラフである。

【図８】従来の光導波路回路と入出力光ファイバの調心
方法を使用した光導波路回路実装装置の概略構成を示す
斜視図である。

【符号の説明】

１０…アレイ導波路格子型波長合分波器（ＡＷＧ）、１
１…入力導波路、１２…出力導波路、１３，１５…スラ
ブ導波路、１４…アレイ導波路、１６…シリコン（Ｓ
ｉ）基板、２０…波長可変光源、２１…入力光ファイバ
アレイ、２１ａ…入力光ファイバ、２２…ファイバ部
品、２３…微動台、２４…出力光ファイバアレイ、２４
ａ…出力光ファイバ、２５…フォトダイオード、２６…
コンピュータ、２７…チャンネルセレクタ、２８…ファ
ブリペローレーザーダイオード（ＦＰ−ＬＤ）、２９…
シリコーン樹脂、３０…プローブファイバ、３１…ポリ
イミド１／２波長板、３２…溝。

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平面基板上に形成された光導波路回路
   と、入力光ファイバあるいは出力光ファイバとの間で最
   適な光学接続を得るための光導波路回路と入出力光ファ
   イバの調心方法において、 前記入出力光ファイバに調心用の光を入射し、前記光導
   波路回路と前記入出力光ファイバとの接続部以外の前記
   光導波路回路内部で発生する漏れ光を測定して、その強
   度が最大となるように前記光導波路回路と前記入出力光
   ファイバとの相対位置を制御することを特徴とする光導
   波路回路と入出力光ファイバの調心方法。
2. 【請求項２】 前記光導波路回路は、対向する端面に入
   出力導波路を有するアレイ導波路格子型波長合分波回路
   であることを特徴とする請求項１に記載の光導波路回路
   と入出力光ファイバの調心方法。
3. 【請求項３】 前記漏れ光を、前記入出力光ファイバを
   接続する端面と隣接する端面で測定することを特徴とす
   る請求項１または請求項２に記載の光導波路回路と入出
   力光ファイバの調心方法。
4. 【請求項４】 前記漏れ光を、屈折率整合材を介したフ
   ォトダイオードを使用して測定することを特徴とする請
   求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の光導波路
   回路と入出力光ファイバの調心方法。
5. 【請求項５】 前記漏れ光は、導波路構造の不整合部か
   らの放射光であることを特徴とする請求項１ないし請求
   項４のいずれか１項に記載の光導波路回路と入出力光フ
   ァイバの調心方法。
6. 【請求項６】 前記漏れ光は、導波路構造を持たない溝
   からの放射光であることを特徴とする請求項１ないし請
   求項４のいずれか１項に記載の光導波路回路と入出力光
   ファイバの調心方法。
7. 【請求項７】 平面基板上に形成された光導波路回路
   と、入力光ファイバあるいは出力光ファイバとを接続す
   る光導波路回路実装装置において、 前記入力光ファイバあるいは出力光ファイバに調心用の
   光を入射する光入射手段と、 前記光入射手段から前記入力光ファイバあるいは出力光
   ファイバに入射された光が前記光導波路回路内部を伝搬
   する時に生じる漏れ光を測定する測定手段と、 前記測定手段で測定した漏れ光強度が最大となるように
   前記光導波路回路と該入出力光ファイバとの相対位置を
   制御する位置制御手段とを備えることを特徴とする光導
   波路回路実装装置。