JP3425383B2 - 走査型プローブ顕微鏡及びプローブホルダ - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡及びプローブホルダInfo
- Publication number
- JP3425383B2 JP3425383B2 JP34412898A JP34412898A JP3425383B2 JP 3425383 B2 JP3425383 B2 JP 3425383B2 JP 34412898 A JP34412898 A JP 34412898A JP 34412898 A JP34412898 A JP 34412898A JP 3425383 B2 JP3425383 B2 JP 3425383B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- head
- probe holder
- holder
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
微鏡に関し、試料表面における定点観察を多点で行う表
面検査装置に関する。
業材料の表面観察やあらさの測定、液晶,高分子,蒸着
膜などの薄膜の観察等のために表面検査が行われる。特
に、精密工業の分野では、液晶基板,ハードディスク,
CD,DVD,Siウエハー(CMP),電子素子,ガ
ラス基板,MRヘッド,マスクブランクス等の生産ライ
ンにおいて、試料表面を迅速に検査することが求められ
ている。
て、プローブと試料表面間に働く原子間力を測定する原
子間力顕微鏡(AFM)や、プローブと試料表面との間
に流れるトンネル電流を用いる走査型トンネル顕微鏡
(STM)等の走査型プローブ顕微鏡を用いた装置が知
られている。
針を支持するカンチレバーと、このカンチレバーの曲が
りを検出する変位検出系とを備え、探針と試料との間の
原子間力(引力または斥力)を検出し、この原子間力が
一定となるように制御することによって、試料表面の形
状を観察するものであり、生物,有機分子,絶縁物等の
非導電物質の観察を行うことができる。また、走査型ト
ンネル顕微鏡(STM)は、探針を試料表面に近づけて
探針または試料を3次元方向に移動可能とし、探針と試
料表面との間に流れるトンネル電流が一定となるように
試料表面と探針との間をサブナノメータで制御すること
によって、原子レベルの分解能で3次元形状を測定し、
物質表面の原子配列の観察や、物質表面の表面形状の観
察を行う。
ドに対してプローブを着脱自在とし、プローブの定期的
な交換や、消耗による交換や、異なる特性のプローブへ
の交換が可能な構成を採用している。従来、プローブの
ヘッドに装着するには、プローブを取り付けたプローブ
ホルダを手動によってヘッドに取り付けることによって
行っている。図9,10はプローブのヘッドへの装着を
説明するための概略図である。図9に示す装着例では、
ヘッド102Aに装着用の溝101を設け、この溝10
1内にプローブ105Aが取り付けられたプローブホル
ダ103Aを、操作桿106を用いて差し込むことによ
って取り付けている。
105Bが取り付けられたプローブホルダ103Bを、
取り付け具104とヘッド102Bとの間に把持させる
ことによって取り付けている。上記取り付けでは、操作
桿106や取り付け具104を人手によって操作するこ
とによって行っている。
は上記したように手動で行っているため、人手による操
作を必要とすると共に交換に時間を要するという問題が
ある。また、通常、プローブは微小であり、かつ外部に
露出した構成であるため、プローブの交換時において誤
ってプローブを破損するおそれがあるという問題もあ
る。
解決し、プローブの交換を手動によらず自動で行うこと
ができる走査型プローブ顕微鏡及びプローブホルダを提
供することを目的とする。
に対するプローブホルダの着脱を、プローブホルダとヘ
ッドとの間の直線方向の相対的な移動によって行うもの
であり、プローブとヘッドとの直線方向の相対的な移動
は手動を要さないため、プローブの自動交換が可能とな
る。
鏡であり、プローブホルダに対する直線方向の相対的な
移動によってプローブホルダの着脱を行うヘッド側着脱
機構を備えるヘッドと、ヘッドとプローブホルダとの間
で少なくとも直線方向に相対的な移動を行う移動機構と
を備えた構成とする。
である。プローブはプローブホルダに取り付けられた状
態で、走査型プローブ顕微鏡が備えるヘッドに対する着
脱が行われる。ヘッドが備えるヘッド側着脱機構はプロ
ーブホルダの着脱を行う機構であり、プローブホルダと
間の直線方向の相対的な移動によってプローブホルダの
着脱を行う。ヘッドにプローブホルダを装着する場合に
は、ヘッドとプローブホルダとが互いに接近する方向に
直線方向で相対移動させ、所定位置で保持する。また、
ヘッドからプローブホルダを脱着させる場合には、ヘッ
ドとプローブホルダとが互いに分離する方向に直線方向
で相対移動させる。
ブホルダ側の突起部分を挿入する凹部とプローブホルダ
を保持する保持部とを備える。突起部分の軸方向と凹部
の軸方向とを合わせ、該軸方向とヘッドとプローブホル
ダ移動方向とを合わせて移動させることによって、突起
部分を凹部内に挿入することができる。保持部は、凹部
内に設けたばね材等の保持部材で構成することができ、
突起部分を凹部内に挿入することによって同時に保持を
行うことができる。また、突起部分及び保持部材に電気
的接点を設けることによって、プローブホルダの装着と
同時にプローブとの電気的接続を行うことができる。
ブホルダとの間で磁気的な接合を行う接合部を備える。
接合部は、ヘッドとプローブホルダとを相対的な接近に
よって装着させ、相対的分離によって脱着させることが
できる。また、接合部はプローブホルダを保持する機能
も同時に備える。また、第2の構成においても、接合部
分に電気的接点を設けることによって、プローブホルダ
の装着と同時にプローブとの電気的接続を行うことがで
きる。
用いることによって、プローブホルダの着脱状態の判定
を行うことができる。プローブホルダはヘッドに装着さ
れた状態ではプローブと電気的に接続され、ヘッドから
脱着された状態ではプローブとの電気的に切断されてい
る。接続あるいは切断は、ヘッド側から見たプローブ側
の電気抵抗を測定することによって判定することができ
る。
び又はステージを移動する移動機構を備え、この移動機
構による移動を、プローブとヘッドとの直線方向の相対
的な移動に用いることができる。移動機構は、X,Y方
向の横方向,及びZ方向の縦方向に移動することがで
き、ヘッド側着脱機構は着脱方向を横方向あるいは縦方
向とすることができる。
とステージとの直線方向の相対的な移動によって、ステ
ージに対してプローブホルダの着脱を行うステージ側着
脱機構を備える構成とすることができる。ステージ側着
脱機構は、交換用のプローブを有したプローブホルダを
保持する部分、及び使用済みのプローブを有したプロー
ブホルダを脱着する部分を備え、使用済みのプローブを
有したプローブホルダをヘッドから取り外し、交換用の
プローブを有したプローブホルダを装着する。
ブホルダとの間の直線方向の相対的な移動によってプロ
ーブホルダの着脱を行う。プローブホルダをヘッドに取
り外す場合には、プローブホルダをステージ側着脱機構
に接近させて保持させた後、プローブホルダをステージ
側着脱機構から離し、プローブホルダをステージ側に移
動させる。プローブホルダを取り外した後にプローブホ
ルダをヘッドに取り付ける場合には、ヘッドをステージ
側着脱機構に接近させることによって交換用のプローブ
ホルダを保持させ、プローブホルダをヘッド側に移動さ
せる。
ブをヘッドから取り外す機構として、プローブホルダと
係合する係合部材を備えることができる。
向の相対的な移動によってプローブホルダの着脱を行う
ため、着脱機構は単純な構成とすることができる。本出
願の第2の発明はプローブホルダであり、走査型プロー
ブ顕微鏡のヘッド側着脱機構に対する直線方向の相対的
な移動によって、ヘッドに対する着脱を行う第1のプロ
ーブホルダ側着脱機構と、走査型プローブ顕微鏡のステ
ージ側着脱機構に対する直線方向の相対的な移動によっ
て、ステージに対する着脱を行う第2のプローブホルダ
側着脱機構とを備えた構成とする。
ドに対してプローブホルダを着脱する機構である。第1
のプローブホルダ側着脱機構の第1の構成例は、ピン等
の突起部分で形成することができる。突起部分をプロー
ブホルダ側の凹部に対して直線方向に相対的に移動させ
ることによって着脱を行う。また、突起部分あるいはヘ
ッドと接触する部分に電気的接点を設けることによっ
て、装着と同時にヘッドと電気的接続を行うことができ
る。
接合を行う接合部で形成することができる。接合部をヘ
ッド側に設けた磁気的接合部に対して直線方向に相対的
に移動させることによって着脱を行う。また、第1の構
成と同様に電気的接点を設けることによって、装着と同
時にヘッドと電気的接続を行うことができる。
ブとの信号授受及び着脱確認として用いることができ
る。第2のプローブホルダ側着脱機構は、ステージに対
してプローブホルダを着脱する機構であり、使用済みの
プローブホルダをステージ側に移動させる機構及び交換
用のプローブホルダをステージ側から移動させる機構を
備える。着脱機構の一構成例は肩部等で形成する係止部
とすることができ、係止部をステージ側の係止部と係合
させることによって脱着を行う。また、着脱機構の他の
構成例は磁気的な結合部とすることができ、ステージ側
に設けた磁気的結合部と結合させることによって脱着を
行う。
同様に電気的接点を設け、電気的接続によってプローブ
との信号授受及び着脱確認として用いることができる。
本出願の走査型プローブ顕微鏡及びプローブホルダによ
れば、プローブの着脱をヘッド側とプローブホルダ側と
を直線方向で相対的に移動させることで行えるため、プ
ローブ交換を手動によらず自動で行うことができる。
参照しながら詳細に説明する。図1,2は本発明の走査
型プローブ顕微鏡の第1の構成例の概略構成図及び動作
説明図である。第1の構成例は、プローブ交換をヘッド
とプローブホルダの縦方向(Z方向)の相対移動を利用
して行う例である。
は、ヘッド2とステージ7、ヘッドとステージとを相対
的に移動させる移動機構及び制御機構を備える。ヘッド
2にはプローブホルダ3を介してプローブ5が取り付け
られ、試料S上を走査して測定を行う。ステージ7は試
料Sを支持する。ヘッド2及びステージ7はそれぞれX
YZ方向に移動可能とする移動機構を備えることがで
き、両移動機構によって相対的な位置を変更し、試料S
の走査を行うことができる。移動機構の一例としては、
ヘッド2側に圧電素子を用いた微動機構を設け、ステー
ジ7側に粗動機構を設けることができる。
部12及びステージ制御部13を備える。ヘッド制御部
12はヘッド2の移動制御、及びプローブによる測定制
御を行う。ステージ制御部13はステージ7の移動制御
を行う。ヘッド制御部12及びステージ制御部13は、
走査型プローブ顕微鏡1全体の制御を行う制御部11に
よって制御され、プローブ5と試料Sとの相対的な位置
制御が行われる。
定信号、及びヘッド2とステージ7の移動信号を入力
し、試料Sの三次元データを形成する。プローブ5はプ
ローブホルダ3に取り付けられた状態で、ヘッド2及び
ステージ7に対して着脱を行い、プローブ5の交換を行
う。
保持部71と使用済みプローブホルダ保持部72とを備
える。交換用プローブホルダ保持部71は、交換用のプ
ローブを取り付けたプローブホルダを配置する部分であ
り、使用済みプローブホルダ保持部72は、使用済みの
プローブをプローブホルダに取り付けたままヘッドから
取り外して保持する部分である。使用済みプローブホル
ダ保持部72は、ヘッド2側からプローブホルダ3を取
り外すためのホルダ係止部73を備える。
1及び使用済みプローブホルダ保持部72に対して位置
合わせを行うには、前記した移動機構によってヘッドと
ステージとの相対的位置を調節することによって行うこ
とができる。なお、交換用プローブホルダ保持部71及
び使用済みプローブホルダ保持部72は、必ずしもステ
ージ7に配置する必要はなく、走査型プローブ顕微鏡1
側のベース部分に設けることもできる。
ダを交換可能とし、1個のプローブホルダが交換された
状態を示している。使用済みプローブホルダ保持部72
には、交換されたプローブ3aが保持され、ヘッド2に
は交換用プローブホルダ保持部71から取り出したプロ
ーブホルダ3bが装着されている。交換用プローブホル
ダ保持部71の保持箇所71c〜71eには、交換用の
プローブホルダ3c〜3eが配置されている。なお、保
持箇所71a,71bには、交換前にプローブホルダ3
a,3bが保持されており、使用済みプローブホルダ保
持部72の保持箇所72b〜71eには、交換後にプロ
ーブホルダが保持される。
Sとの相対的な移動によって行うことができ、該相対的
移動はヘッド2あるいは試料Sの移動、あるいはヘッド
2と試料Sとの移動によって行うことができる。次に、
プローブホルダの着脱機構及び着脱動作について図3,
4を用いて説明する。図3に示すプローブホルダ3Aは
着脱機構の第1の構成例である。プローブホルダ3Aは
保持部本体4Aとピン6Aとを備える。保持部本体4A
はプローブ5を保持し、一部に係止部を備える。係止部
は、プローブホルダ3Aをヘッド2Aから取り外して使
用済みプローブホルダ保持部72側に脱着させるための
構成であり、保持部本体4Aの肩部41によって形成す
ることができる。
して着脱可能とすることも、あるいは固定とすることも
できる。ピン6Aはプローブホルダ3Aから突出して形
成される。ヘッド2Aは、内部にばね部材等で形成され
るピン保持部22Aを設けた凹部からなるピン収納部2
1Aを備える。ヘッド2Aとプローブホルダ3Aを相対
的移動によって接近させ、ピン6Aをヘッド2Aのピン
収納部21A内に挿入し、該ピン6Aをピン保持部22
Aで保持することによって、プローブホルダ3Aをヘッ
ド2Aに装着することができる。図3(a)は挿入前の
状態を示し、図3(b)は挿入後の状態を示している。
なお、ピン保持部22Aは、ピン6Aの抜き差しに支障
がなくかつ保持可能な保持力を有する構成とする。
接続し、ピン保持部22Aを電気接点を兼ねる構成とす
ると、プローブホルダ3Aとヘッド2Aとの装着と同時
にプローブ5Aの電気的接続を行うことができる。
の脱着から交換用プローブホルダの装着までの動作を示
している。はじめに、ヘッド2Aを使用済みプローブホ
ルダ保持部72上に位置を合わせた後、ヘッド2Aをホ
ルダ係止部73Aに向けて移動させる(図4(a))。
ヘッド2Aの移動によって、プローブホルダ3Aの係止
部41をホルダ係止部73Aとを係合させる(図4
(a))。係合の後、ヘッド2Aを逆方向に移動させ
る。肩部41とホルダ係止部73Aとは係合しているた
め、プローブホルダ3Aのピン6Aはヘッド2Aのピン
収納部21Aから抜け、プローブホルダ3Aはヘッド2
Aから脱着する。脱着の確認は、ヘッド2Aで検出され
るプローブからの信号により行うことができる。たとえ
ば、プローブホルダの脱着によってプローブ側の電気抵
抗が大きくなることを検出することによって行うことが
できる。これによって、使用済みのプローブホルダ3A
は使用済みプローブホルダ保持部72側に移動する(図
4(c))。
テージとの相対移動によって(図4(c))、ヘッド2
Aを交換用プローブホルダ上に位置を合わせた後(図4
(d))、ヘッド2Aを交換用プローブホルダに向けて
移動させる。ヘッド2Aの移動によって、交換用プロー
ブホルダのピンをヘッド2Aのピン収納部21A内に挿
入する。装着の確認は、ヘッド2Aで検出されるプロー
ブからの信号により行うことができる。たとえば、プロ
ーブホルダの装着によってプローブ側の電気抵抗が小さ
くなることを検出することによって行うことができる。
これによって、ヘッド2Aに交換用プローブホルダを装
着することができる(図4(e))。
動に基づく、直線的な縦方向(Z方向)の相対移動によ
って行うことができ、走査型プローブ顕微鏡が備えるヘ
ッド及びステージの移動機構をそのまま利用して行うこ
とができる。図5,6は本発明の走査型プローブ顕微鏡
の第2の構成例の概略構成図及び動作説明図である。第
2の構成例は、プローブ交換をヘッドとプローブホルダ
の横方向(X,Y向)の相対移動を利用して行う例であ
る。
ルダ3Bの構成、及びステージ7側に設けた交換用プロ
ーブホルダ保持部71とプローブホルダ保持部72の構
成のほかは、第1の構成とほぼ同じである。以下、第1
の構成と相違する部分について説明する。交換用プロー
ブホルダ保持部71とプローブホルダ保持部72は、ヘ
ッド2Bとステージ7との横方向(X,Y方向)の相対
移動に対してプローブホルダ3Bを保持するよう構成す
る。
に対して横方向(X,Y方向)の相対移動によって着脱
を行う構成である。図6の構成図において、プローブホ
ルダ3Bの保持部本体4Bにはプローブ5Bが取り付け
られると共に、横方向(X,Y方向)にピン6Bが突出
して形成される。一方、ヘッド2Bには、内部にばね部
材等で形成されるピン保持部22Bを設けた凹部からな
るピン収納部21Bを横方向(X,Y方向)に備える。
この構成によって、ヘッド2Bとプローブホルダ3Bと
の横方向(X,Y方向)の直線方向の相対移動によって
着脱を行うことができる。なお、ピン保持部22Bは、
ピン6Bの抜き差しに支障がなくかつ横方向滑りを止め
て保持可能とする保持力を有する構成とする。図6
(a)は挿入前の状態を示し、図6(b)は挿入後の状
態を示している。
ヘッド及びステージの移動に基づく、直線的な横方向
(X,Y方向)の相対移動によって行うことができ、走
査型プローブ顕微鏡が備えるヘッド及びステージの移動
機構をそのまま利用して行うことができる。
構成例及び動作について図7,8を用いて説明する。図
7において、ヘッド2C及びプローブホルダ3Cは対向
する位置に磁気的な結合を行う結合部9a,9bを設置
し、磁気力によってヘッド2Cとプローブホルダ3Cの
結合を行う。結合部9a,9bは、両方を磁石材とした
り、一方を磁石材とし他方を磁性材とすることができ
る。また、ヘッド2C及びプローブホルダ3Cの対向す
る位置に電気的接点8a,8bを設け、プローブ5Cと
の電気接続を行うことができる。プローブホルダ3C
は、さらに磁気的な結合を行う結合部9cを備え、ホル
ダ係止部73C側に設けた結合部9cとの結合によって
ステージ側との接合を行う。なお、結合部9cと結合部
9dとの間の結合力は、結合部9aと結合部9bとの間
の結合力よりも強いものとする。
の脱着から交換用プローブホルダの装着までの動作を示
している。はじめに、ヘッド2Cを使用済みプローブホ
ルダ係止部73C上に位置を合わせた後、ヘッド2Cを
ホルダ係止部73Cに向けて移動させる(図8
(a))。ヘッド2Cの移動によって、プローブホルダ
3Cの結合部9cをホルダ係止部73Cの結合部9dと
結合させる(図8(a))。結合の後、ヘッド2Cを逆
方向に移動させる。
は、結合部9aと結合部9bとの間の結合力よりも強く
設定してあるため、プローブホルダ3Cのピンはヘッド
2Cのピン収納部から抜け、プローブホルダ3Cはヘッ
ド2Cから脱着する。これによって、使用済みのプロー
ブホルダ3Cは使用済みプローブホルダ保持部72側に
移動する(図8(c))。
テージとの相対移動によって(図8(c))、ヘッド2
Cを交換用プローブホルダ上に位置を合わせた後(図8
(d))、ヘッド2Cを交換用プローブホルダに向けて
移動させる。ヘッド2Cの移動して、ヘッド2C側の結
合部9aと交換用プローブホルダの結合部9bとを結合
させる。これによって、ヘッド2Cに交換用プローブホ
ルダを装着することができる(図8(e))。
動に基づく、直線的な縦方向(Z方向)の相対移動によ
って行うことができ、走査型プローブ顕微鏡が備えるヘ
ッド及びステージの移動機構をそのまま利用して行うこ
とができる。
ブ顕微鏡が備えるヘッド及びステージの移動機構をその
まま利用してヘッド及びステージを相対的に移動させ、
この移動に基づいて、直線的な横方向(X,Y方向)あ
るいは縦方向(Z方向)の相対移動によって、プローブ
交換を自動で行うことができる。
ダ保持部71,72はステージ7に対して着脱可能とす
ることができ、空となった交換用プローブホルダ保持部
71を交換用のプローブを備えた交換用プローブホルダ
保持部71と保持部ごと交換したり、使用済みのプロー
ブで一杯となった使用済みプローブホルダ保持部72を
空の使用済みプローブホルダ保持部72と保持部ごと交
換することができる。このプローブホルダ保持部71,
72の交換において、交換用のプローブを備えた交換用
プローブホルダ保持部71及び空の使用済みプローブホ
ルダ保持部72とを図示しない保持部ホルダに複数用意
しておくことによって、この保持部ホルダー上のプロー
ブホルダ保持部71,72とステージ上のプローブホル
ダ保持部71,72との自動交換を行うことができ、生
産ライン等の装置を停止させることなく保持部の交換を
行うことができる。
において、交換用のプローブを備えた交換用プローブホ
ルダ保持部71及び空の使用済みプローブホルダ保持部
72と備えた保持部ホルダをクリーンルーム外に設置す
ることによって、装置を停止することなくプローブホル
ダ保持部の交換を行うことができ、また、クリーンルー
ムの清浄度の低下を防止することができる。
ローブ顕微鏡によれば、プローブの交換を手動によらず
自動で行うことができる。
の概略構成図である。
の動作説明図である。
図である。
図である。
の概略構成図である。
の動作説明図である。
成例の概略構成図である。
成例の動作図である。
めの概略図である。
ための概略図である。
ッド、3,3A,3B,3C,3a〜3e…プローブホ
ルダ、4…保持部、4A…保持部本体、5…プローブ、
7…ステージ、8a,8b…接点、9a〜9c…結合
部、11…制御部、12…ヘッド制御部、13…ステー
ジ制御部、14…測定部、21A…ピン収納部、22A
…ピン保持部、41…肩部、71…交換用プローブホル
ダ保持部、72…使用済みプローブホルダ保持部、7
3,73A,73C…ホルダ係止部、S…試料。
Claims (2)
- 【請求項1】 プローブホルダに対する直線方向の相対
的な移動によってプローブホルダの着脱を行うヘッド側
着脱機構を備えるヘッドと、ヘッドとプローブホルダと
の間で少なくとも直線方向に相対的な移動を行う移動機
構とを備え、 前記ヘッド側着脱機構はプローブホルダを保持する保持
部に電気的接点を備えことを特徴とする走査型プローブ
顕微鏡。 - 【請求項2】 走査型プローブ顕微鏡のヘッドに対する
直線方向の相対的な移動によって、ヘッドに対する着脱
を行う第1のプローブホルダ側着脱機構と、走査型プロ
ーブ顕微鏡のステージに対する直線方向の相対的な移動
によって、ステージに対する着脱を行う第2のプローブ
ホルダ側着脱機構とを備え、 前記第1のプローブホルダ側着脱機構はヘッド側の保持
部により保持される被保持部に電気的接点を備えること
を特徴とするプローバホルダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34412898A JP3425383B2 (ja) | 1998-12-03 | 1998-12-03 | 走査型プローブ顕微鏡及びプローブホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34412898A JP3425383B2 (ja) | 1998-12-03 | 1998-12-03 | 走査型プローブ顕微鏡及びプローブホルダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000171472A JP2000171472A (ja) | 2000-06-23 |
JP3425383B2 true JP3425383B2 (ja) | 2003-07-14 |
Family
ID=18366861
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34412898A Expired - Fee Related JP3425383B2 (ja) | 1998-12-03 | 1998-12-03 | 走査型プローブ顕微鏡及びプローブホルダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3425383B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3539922B2 (ja) * | 2000-11-29 | 2004-07-07 | 株式会社東京精密 | 走査型プローブ顕微鏡 |
KR101438472B1 (ko) * | 2011-02-10 | 2014-09-12 | 하이지트론, 인코포레이티드 | 기계적 테스트 기기의 기기 프로브 및 트랜스듀서 응답을 자동으로 검사하는 방법 |
KR20140147589A (ko) | 2013-06-20 | 2014-12-30 | 삼성전자주식회사 | 주사 탐침 현미경 및 그의 구동 방법 |
EP3027365B1 (en) * | 2013-08-01 | 2018-05-23 | Hysitron, Inc. | Instrument changing assembly and methods for the same |
EP3133404A1 (en) * | 2015-08-19 | 2017-02-22 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Device and method for measuring and/or modifying surface features on a surface of a sample |
AT521439A1 (de) * | 2018-05-09 | 2020-01-15 | Anton Paar Gmbh | Aufbewahrungsvorrichtung für Rastermikroskop-Messsonden |
-
1998
- 1998-12-03 JP JP34412898A patent/JP3425383B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000171472A (ja) | 2000-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0847590B1 (en) | A scanning probe microscope having automatic probe exchange and alignment | |
KR101474576B1 (ko) | 스캐닝 탐침 현미경용 탐침 조립체 | |
US5581537A (en) | Information record/reproducing apparatus and information recording medium | |
Magonov et al. | Surface analysis with STM and AFM: experimental and theoretical aspects of image analysis | |
US6093930A (en) | Automatic probe replacement in a scanning probe microscope | |
EP0475564B1 (en) | Fine scanning mechanism for atomic force microscope | |
US8474060B2 (en) | Scanning probe microscope with compact scanner | |
US7137292B1 (en) | Active cantilever for nanomachining and metrology | |
EP0492915B1 (en) | Cantilever probe and apparatus using the same | |
WO1996024946A9 (en) | Scanning probe microscope for use in fluids | |
KR20010032339A (ko) | 전자장치의 표면신호조작용 프로우브 및 그 제조방법 | |
WO1996024946A1 (en) | Scanning probe microscope for use in fluids | |
JP3425383B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡及びプローブホルダ | |
KR100761059B1 (ko) | 오버행 샘플 측정이 가능한 주사 탐침 현미경 | |
KR20170022932A (ko) | 마스터 하중으로 공구 없이 작동 가능하며 측정 프로브를 분리 가능하게 고정하는 주사 탐침 현미경용 고정 메카니즘 | |
US20060043289A1 (en) | Environmental cell for a scanning probe microscope | |
JP3819230B2 (ja) | マルチプローブ型走査プローブ顕微鏡装置およびそれを用いた試料表面評価方法 | |
US9476908B2 (en) | High throughput microscopy device | |
US7253407B1 (en) | Active cantilever for nanomachining and metrology | |
JP2900945B2 (ja) | アトミックプローブ顕微鏡及びこれに用いられるカンチレバーユニット | |
JPH05172507A (ja) | 走査型トンネル顕微鏡における探針交換機構 | |
US8327461B2 (en) | High-speed scanning probe microscope | |
Niedermann et al. | Mounting of micromachined diamond tips and cantilevers | |
CA2031733C (en) | Method for forming probe and apparatus therefor | |
BR102021024519A2 (pt) | Sistema de varredura por sonda |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030418 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080502 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090502 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100502 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100502 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120502 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130502 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130502 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140502 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |