JP3422583B2 - Processing equipment - Google Patents
Processing equipmentInfo
- Publication number
- JP3422583B2 JP3422583B2 JP32932994A JP32932994A JP3422583B2 JP 3422583 B2 JP3422583 B2 JP 3422583B2 JP 32932994 A JP32932994 A JP 32932994A JP 32932994 A JP32932994 A JP 32932994A JP 3422583 B2 JP3422583 B2 JP 3422583B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- processing container
- gas
- processed
- gas supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体ウエハ、
液晶ディスプレイ用ガラス基板などの被処理体を例えば
成膜処理、エッチング処理するための処理装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a semiconductor wafer,
The present invention relates to a processing apparatus for performing a film forming process or an etching process on an object to be processed such as a glass substrate for a liquid crystal display .
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体素子の製造工程にあっては、気密
な処理容器内において、被処理体、例えば半導体ウエ
ハ、液晶ディスプレイ用ガラス基板などが、プラズマを
用いて成膜処理、エッチング処理される。2. Description of the Related Art In the process of manufacturing a semiconductor element, an object to be processed, such as a semiconductor wafer or a glass substrate for a liquid crystal display, is subjected to film formation processing or etching processing using plasma in an airtight processing container. .
【０００３】プラズマを生起する手段として誘導手段、
例えば平面状のコイルを用いることが、特開平２−２３
５３３２号公報「プラズマ処理装置」、特開平３−７９
０２５号公報「磁器結合された平面状のプラズマを生成
するための装置並びにこのプラズマ物品を処理する方法
及び装置」、特開平４−２９０４２８号公報「ＵＨＦ／
ＶＨＦ共振アンテナ供給源を用いたプラズマリアクタ及
びその方法」、特開平５−２０６０７２号公報「誘導Ｒ
Ｆ結合を用いたプラズマ加工装置とその方法」に開示さ
れている。Inducing means as means for generating plasma,
For example, using a planar coil is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2-23.
No. 5,332, "Plasma processing apparatus", Japanese Patent Laid-Open No. 3-79
No. 025, "Apparatus for producing porcelain-coupled planar plasma and method and apparatus for treating this plasma article", Japanese Patent Laid-Open No. 4-290428, "UHF /
Plasma reactor using VHF resonant antenna supply source and its method ", Japanese Patent Laid-Open No. 5-206072" Induction R "
Plasma processing apparatus and method using F coupling ".
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】前記の様な誘導手段に
より、気密な処理容器内においてプラズマを生成させる
為には、前記誘導手段に対向した前記処理容器の壁面の
少なくとも一部を誘電体、例えば石英により構成するこ
とが必要となる。しかし、このように内壁面を誘電体に
より構成すると、プラズマ処理に伴う反応生成物が内壁
面に付着し、前記誘導手段によるプラズマ生成の効率が
低下するといった問題を生ずる。In order to generate plasma in the airtight processing container by the above-mentioned guiding means, at least a part of the wall surface of the processing container facing the guiding means is made of a dielectric material, For example, it is necessary to use quartz. However, when the inner wall surface is made of a dielectric material as described above, a reaction product accompanying the plasma treatment adheres to the inner wall surface, which causes a problem that the efficiency of plasma generation by the guiding means is reduced.
【０００５】また、前記反応生成物が前記誘電体の内壁
面へ付着することによって、前記誘導手段によるプラズ
マ生成の分布が、反応生成物が付着していない時に較べ
て変化し、その結果、前記処理容器内でプラズマ処理さ
れる被処理体の処理条件が、被処理体ごとに異なってし
まい、均一な処理が行えなくなるという問題を起こす。
特にこれらの問題は、プラズマにより被処理体への半導
体膜又は導電体膜の成膜処理を行う時に著しく発生して
いた。Further, since the reaction product adheres to the inner wall surface of the dielectric, the distribution of plasma generation by the inducing means changes as compared with the case where the reaction product is not adhered, and as a result, The processing conditions of the object to be plasma-processed in the processing container vary depending on the object to be processed, which causes a problem that uniform processing cannot be performed.
In particular, these problems have occurred remarkably when the semiconductor film or the conductor film is formed on the object by plasma.
【０００６】本発明は、誘導手段によるプラズマ処理に
伴う処理ガスや反応生成物が、処理容器の壁面に形成さ
れた誘電体面に付着することを防止できる処理装置を提
供することを目的とする。The present invention, process gases and reaction products due to plasma treatment by induction means, and an object thereof is to provide a can Ru processor prevented from adhering to the wall surface which is formed on dielectric surface of the processing chamber .
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のある観点によれば、気密な処理容器の壁面
の少なくとも一部が誘電体面で形成され、該誘電体面の
処理容器外方に配置された誘電手段に高周波電圧が印加
されることにより、処理容器内において処理ガス供給手
段から供給された処理ガスがプラズマ化され、処理容器
内において載置台上に載置された被処理体が処理される
誘導式の処理装置において、処理容器内の誘電体面と処
理ガス供給手段との間には、矩形状に配管され複数の噴
出孔が内側に穿設された非堆積性ガス供給管が配設され
ており、非堆積性ガス供給管内には非堆積性ガスが供給
され、噴出孔から噴出された非堆積性ガスが処理容器内
に供給されることを特徴とする処理装置が提供される。
上記誘導手段は、被処理体に対向して配置されたコイル
であってもよく、平面状の渦巻型であってもよい。上記
誘導手段には、１ＭHz〜２００ＭHzの高周波電圧が印加
され、載置台には、１ＫHz〜５００ＫHzの高周波電圧が
印加されるようにしてもよい。 [Means for Solving the Problems ] To solve the above problems
According to one aspect of the present invention, the wall surface of the airtight processing container is
Of at least a part of the dielectric surface,
High-frequency voltage is applied to the dielectric means located outside the processing container.
As a result, the process gas supply
The processing gas supplied from the stage is turned into plasma and the processing container
The object to be processed placed on the mounting table is processed inside
In the induction type processing equipment, the dielectric surface in the processing container
A plurality of jets are connected to the physical gas supply means by piping in a rectangular shape.
A non-sedimentary gas supply pipe with an outlet bored inside is provided
The non-depositing gas supply pipe supplies non-depositing gas.
The non-depositing gas that has been ejected from the ejection holes is inside the processing container.
There is provided a processing device characterized by being supplied to
The guiding means is a coil arranged so as to face the object to be processed.
Or may be a planar spiral type. the above
A high frequency voltage of 1 MHz to 200 MHz is applied to the induction means.
The mounting table receives a high frequency voltage of 1 KHz to 500 KHz.
It may be applied.
【０００８】上記課題を解決するために、本発明の別の
観点によれば、気密な処理容器の壁面の少なくとも一部
が誘電体面で形成され、該誘電体面の処理容器外方に配
置された誘電手段に高周波電圧が印加されることによ
り、処理容器内において処理ガス供給手段から供給され
た処理ガスがプラズマ化され、処理容器内において載置
台上に載置された被処理体が処理される誘導式の処理装
置において、処理容器内の誘電体面と処理ガス供給手段
の間には、格子状に配管され複数の噴出孔が上側に穿設
された非堆積性ガス供給管が配設されており、非堆積性
ガス供給管内には非堆積性ガスが供給され、該噴出孔か
ら噴出された非堆積性ガスが処理容器内に供給されるこ
とを特徴とする処理装置が提供される。 また上記誘導手
段に高周波電圧が印加されることにより、処理容器内に
おいて非堆積性ガスがプラズマ化されるようにしてもよ
い。またプラズマ化された非堆積性ガスにより、処理容
器内において処理ガス供給手段から供給された処理ガス
がプラズマ化されるようにしてもよい。さらに上記被処
理体の処理は、アモルファスシリコン膜、ポリシリコン
膜、酸化シリコン（ＳiＯ ２ ）膜、窒化シリコン（ＳiＮ
x）膜の何れかを成膜するようにしてもよい。 In order to solve the above problems, another object of the present invention is to
From a perspective, at least a part of the wall of the airtight processing vessel
Are formed on the dielectric surface, and are placed outside the processing container on the dielectric surface.
By applying a high-frequency voltage to the placed dielectric means,
Is supplied from the processing gas supply means in the processing container.
The processed gas is turned into plasma and placed in the processing container.
Induction type processing equipment for processing the object to be processed placed on the table
In the processing chamber, the dielectric surface in the processing container and the processing gas supply means.
Between them, a plurality of ejection holes are piped in a grid pattern and are formed on the upper side.
Non-depositing gas supply pipe is installed,
Non-depositing gas is supplied into the gas supply pipe,
The non-sedimentary gas ejected from the
There is provided a processing device characterized by: Also the above guiding hands
By applying a high frequency voltage to the stage,
The non-depositing gas may be turned into plasma
Yes. In addition, the processing volume is changed by the non-depositing gas turned into plasma
Processing gas supplied from the processing gas supply means in the chamber
May be turned into plasma. Furthermore, the above
Physical body processing is amorphous silicon film, polysilicon
Film, silicon oxide (SiO 2 ) film, silicon nitride (SiN)
x) Any of the films may be formed.
【０００９】上記課題を解決するために、本発明の別の
観点によれば、気密な処理容器の壁面の少なくとも一部
が誘電体面で形成され、該誘電体面の処理容器外方に配
置された誘電手段に高周波電圧が印加されることによ
り、処理容器内において処理ガス供給手段から供給され
た処理ガスがプラズマ化され、処理容器内において載置
台上に載置された被処理体が処理される誘導式の処理装
置において、処理容器内の誘電体面と処理ガス供給手段
との間には、複数本並列に配管され複数の噴出孔が上側
に穿設された非堆積性ガス供給管が配設されており、非
堆積性ガス供給管内には非堆積性ガスが供給され、噴出
孔から噴出された非堆積性ガスが処理容器内に供給され
ることを特徴とする処理装置が提供される。 また上記誘
導手段に高周波電圧が印加されることにより、処理容器
内において非堆積性ガスがプラズマ化されるようにして
もよい。またプラズマ化された非堆積性ガスにより、処
理容器内において処理ガス供給手段から供給された処理
ガスがプラズマ化されるようにしてもよい。さらに被処
理体の処理は、アモルファスシリコン膜、ポリシリコン
膜、酸化シリコン（ＳiＯ ２ ）膜、窒化シリコン（ＳiＮ
x）膜の何れかを成膜するようにしてもよい。 上記課題
を解決するために、本発明の別の観点によれば、気密な
処理容器の壁面の少なくとも一部が誘電体面で形成さ
れ、該誘電体面の処理容器外方に配置された誘電手段に
高周波電圧が印加されることにより、処理容器内におい
て処理ガス供給手段から供給された処理ガスがプラズマ
化され、処理容器内において載置台上に載置された被処
理体が処理される誘導式の処理装置において、誘電体面
と処理ガス供給手段の間に非堆積性ガスを供給する非堆
積性ガス供給手段が、処理容器内に配設されており、誘
導手段は、被処理体に対向して配置された平面状の渦巻
型コイルであることを特徴とする処理装置が提供され
る。 また上記誘導手段には、１ＭHz〜２００ＭHzの高周
波電圧が印加され、載置台には、１ＫHz〜５００ＫHzの
高周波電圧が印加されるようにしてもよい。 In order to solve the above problems, another object of the present invention is to
From a perspective, at least a part of the wall of the airtight processing vessel
Are formed on the dielectric surface, and are placed outside the processing container on the dielectric surface.
By applying a high-frequency voltage to the placed dielectric means,
Is supplied from the processing gas supply means in the processing container.
The processed gas is turned into plasma and placed in the processing container.
Induction type processing equipment for processing the object to be processed placed on the table
In the processing chamber, the dielectric surface in the processing container and the processing gas supply means.
Between them, multiple pipes are installed in parallel and multiple ejection holes are on the upper side.
A non-sedimentary gas supply pipe is drilled in the
Non-sedimentary gas is supplied into the sedimentary gas supply pipe and ejects
The non-depositing gas ejected from the holes is supplied to the processing vessel.
A processing device is provided. Also the above invitation
By applying a high frequency voltage to the conducting means, the processing container
So that the non-depositing gas is turned into plasma
Good. In addition, the non-depositing gas turned into plasma causes
Processing supplied from the processing gas supply means in the processing container
The gas may be turned into plasma. Further subject
Physical body processing is amorphous silicon film, polysilicon
Film, silicon oxide (SiO 2 ) film, silicon nitride (SiN)
x) Any of the films may be formed. The above issues
According to another aspect of the present invention,
At least a part of the wall surface of the processing container is made of a dielectric surface.
The dielectric means disposed outside the processing container on the dielectric surface.
When a high frequency voltage is applied, the
The processing gas supplied from the processing gas supply means is plasma
That has been digitized and placed on the mounting table in the processing container
In an induction type processing device that processes physical bodies, the dielectric surface
And non-depositing gas that supplies non-sedimentary gas between the processing gas supply means
The volatile gas supply means is installed in the processing container and
The guiding means is a flat spiral that is arranged facing the object to be processed.
Type processing coil is provided
It The guiding means has a high frequency of 1 MHz to 200 MHz.
Wave voltage is applied, and the mounting table is 1 KHz to 500 KHz
A high frequency voltage may be applied.
【００１０】上記課題を解決するために、本発明の別の
観点によれば、気密な処理容器と、処理容器内に設けら
れ、被処理体を載置する載置台と、処理容器内で載置台
の上方に設けられ処理ガスを供給するシャワーヘッド
と、処理容器内で処理ガスを供給するシャワーヘッドの
上方に設けられ非堆積性ガスを供給するシャワーヘッド
と、処理容器の上壁部を構成する誘電体と、処理容器外
で載置台上の被処理体に対向して誘電体上に設けられ、
高周波電圧が印加されるコイルと、を設けたことを特徴
とする処理装置が提供される。また上記コイルは、平面
状であってもよく、渦巻型であってもよい。 In order to solve the above problems, another object of the present invention is to
From a viewpoint, the airtight processing container and the inside of the processing container are provided.
The mounting table on which the object to be processed is mounted and the mounting table inside the processing container
Shower head installed above the chamber to supply processing gas
And the shower head that supplies the processing gas in the processing container
Shower head installed above to supply non-depositing gas
And the dielectric that constitutes the upper wall of the processing container and the outside of the processing container.
Is provided on the dielectric so as to face the object to be processed on the mounting table,
It is characterized by providing a coil to which a high frequency voltage is applied
A processing device is provided. The coil is a plane
It may have a shape or a spiral shape.
【００１１】[0011]
【作用】本発明によれば、非堆積性ガスが供給されるこ
とにより、被処理体の処理に伴って発生した反応生成物
が誘電体面に付着することを防止できる。従って、本発
明によれば、誘導手段による前記処理容器内へのエネル
ギー導入が安定して行われ、効率の高い処理を維持でき
る。According to the present invention, by supplying the non-depositing gas, it is possible to prevent the reaction product generated by the processing of the object to be processed from adhering to the dielectric surface. Therefore, according to the present invention, the energy can be stably introduced into the processing container by the guiding means, and highly efficient processing can be maintained.
【００１２】[0012]
【実施例】本願発明の処理装置の一実施例について、図
面を用いて説明を行う。図１に、処理装置の縦断面図を
示す。処理容器１は、気密に構成される。処理容器１
は、導電体、例えばアルミニウムにより構成され、電気
的にシールドされる。前記処理容器１の少なくとも内壁
面に絶縁膜、例えば酸化膜が形成され、前記処理容器１
内で行われる処理に際して、内壁面に、コンタミの原因
となる、特に重金属による汚染物質が付着するのを防止
している。前記処理容器１は、電気的な配線により直流
電源へ接続される。この直流電源電位を設定することに
より、内部に形成されるプラズマの直流電圧成分の値が
所定の値に安定される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the processing apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a vertical sectional view of the processing apparatus. The processing container 1 is airtightly configured. Processing container 1
Is made of a conductor such as aluminum and is electrically shielded. An insulating film, for example, an oxide film is formed on at least the inner wall surface of the processing container 1,
At the time of internal processing, it is prevented that contaminants, particularly heavy metal contaminants, which cause contamination, adhere to the inner wall surface. The processing container 1 is connected to a DC power source by electrical wiring. By setting this DC power supply potential, the value of the DC voltage component of the plasma formed inside is stabilized at a predetermined value.
【００１３】前記処理容器１の側壁には、被処理体２を
搬入・搬出する為のゲートバルブ３’が設けられる。こ
のゲートバルブ３’の開閉により、前記処理容器１は、
図示しない真空予備室、例えばロードロック室と連通可
能に設けられている。このロードロック室内には、前記
被処理体２を保持して搬送する図示しない搬送装置が設
けられている。前記搬送装置は、前記処理容器１内に前
記被処理体２を搬入し、載置台３の上に位置決めし、仮
固定する。A gate valve 3'for loading and unloading the object 2 to be processed is provided on the side wall of the processing container 1. By opening and closing the gate valve 3 ', the processing container 1
It is provided so as to be able to communicate with a vacuum spare chamber (not shown), for example, a load lock chamber. A transfer device (not shown) for holding and transferring the object 2 is provided in the load lock chamber. The transfer device carries in the object 2 to be processed into the processing container 1, positions it on the mounting table 3, and temporarily fixes it.
【００１４】この載置台３は、導電体、例えばアルミニ
ウムにより形成され、載置台３は、電極として機能す
る。前記載置台３の表面には、絶縁膜、例えば酸化膜の
アルミナ膜（Ａl2Ｏ3）が形成され、前記被処理体２の
反応処理から保護される。The mounting table 3 is made of a conductor such as aluminum, and the mounting table 3 functions as an electrode. An insulating film, for example, an alumina film (Al 2 O 3 ) which is an oxide film is formed on the surface of the mounting table 3 and is protected from the reaction process of the object 2 to be processed.
【００１５】前記載置台３の内部には、載置した前記被
処理体２の温度を調整するための、温度調整機構４が設
けられている。この温度調整機構４の具体的構成の一例
は、前記被処理体２を加熱する場合は、前記載置台３と
電気的に絶縁して設けられた図示しない電源と接続され
るヒータを前記載置台３の内部に埋設した構成であり、
前記被処理体２を冷却する場合は、所定の温度の媒体、
例えば５℃に温調されたクーラントが循環されるパイプ
を前記載置台３の内部に埋設した構成である。このよう
に加熱と冷却の両方が行える前記温度調整機構４を設け
ることで、精度の高い温度制御ができるようになる。A temperature adjusting mechanism 4 for adjusting the temperature of the mounted object 2 is provided inside the placing table 3. An example of a specific configuration of the temperature adjusting mechanism 4 is that when the object 2 is heated, a heater that is electrically insulated from the mounting table 3 and that is connected to a power source (not shown) is connected to the mounting table. It is a structure embedded inside 3,
When the object to be processed 2 is cooled, a medium having a predetermined temperature,
For example, a pipe in which a coolant whose temperature is adjusted to 5 ° C. is circulated is embedded in the mounting table 3 described above. By providing the temperature adjusting mechanism 4 capable of both heating and cooling in this manner, highly accurate temperature control can be performed.
【００１６】前記載置台３と前記処理容器１とは、絶縁
台５を介して電気的に絶縁されている。前記載置台３に
は、前記被処理体２に対する処理の内容に応じて、高周
波電圧、例えば１ＭHz〜２００ＭHzの高周波電圧が印加
される。前記被処理体２には、高周波電源６の一端がマ
ッチング回路７を介して接続されている。前記被処理体
２の処理速度は調整可能であり、例えば速めたり、遅く
したりすることができる。前記高周波電源６の他端は、
電気的に接地され、前記高周波の電圧の基準を前記処理
容器１と同電位に設定することによって、処理容器１内
で発生する処理、例えばプラズマによる処理の電気的基
準としている。The mounting table 3 and the processing container 1 are electrically insulated via an insulating table 5. A high frequency voltage, for example, a high frequency voltage of 1 MHz to 200 MHz is applied to the mounting table 3 according to the content of the processing on the object 2 to be processed. One end of a high frequency power source 6 is connected to the object to be processed 2 through a matching circuit 7. The processing speed of the object 2 can be adjusted, and can be increased or decreased, for example. The other end of the high frequency power source 6 is
It is electrically grounded and the reference of the high-frequency voltage is set to the same potential as that of the processing container 1, so that it is used as an electrical reference for the processing generated in the processing container 1, for example, the processing by plasma.
【００１７】前記載置台３に位置決めされ、載置された
前記被処理体２に対向する、前記処理容器１の壁面の少
なくとも一部は、誘電体面８に形成される。該誘電体面
８は、例えば耐熱性、耐薬品性を有する石英により形成
される。この誘電体面８は、電磁場に対し、導電性金属
の如くエネルギーの伝播を妨げたり、電磁場を歪めたり
することが無い。なお、この誘電体面８を形成する材料
は、電磁場を通過させる材料であれば何れでもよい。At least a part of the wall surface of the processing container 1, which is positioned on the mounting table 3 and faces the object 2 to be processed, is formed on the dielectric surface 8. The dielectric surface 8 is made of, for example, quartz having heat resistance and chemical resistance. The dielectric surface 8 does not interfere with the propagation of energy or distort the electromagnetic field, unlike a conductive metal, with respect to the electromagnetic field. The material forming the dielectric surface 8 may be any material as long as it allows passage of an electromagnetic field.
【００１８】また、前記誘電体面８の処理容器１の外方
には、予め定められたプラズマ生成領域に対して電磁場
を供給伝播させる誘導手段９が、前記被処理体２に対向
配置して設けられる。この誘導手段９は、例えば平面状
の渦巻型コイルが用いられる。渦巻型コイルは、導電性
材料、例えばＣu（銅）により形成され、前記被処理体
２の被処理面よりも５〜５０％面積が広く、被処理体２
の上方全体を覆う様に配置される。前記誘導手段９には
高周波電圧、例えば１ＭHz〜２００ＭHzの高周波電圧が
印加される。前記誘導手段９には、アンテナとして機能
させる高周波電源１０の一端がマッチング回路１１を介
して配線１２より電気的に接続されている。なお、上記
渦巻型コイルは平面状に限らず上下方向にスクリュー状
に構成しても良く、また、ピッチを変化させるなど必要
に応じて設計変更できる。前記高周波電源１０の他端
は、例えば電気的に接地され、前記誘導手段９に印加さ
れる高周波の振幅の中心は、前記処理容器１と共にグラ
ンドレベルとなるように設定される。勿論この結果は逆
でもよく、複数の高周波、位相を変えるなど適宜変更さ
れる。これにより、前記誘導手段９によって生起される
プラズマの電位の基準が設定され、安定した処理が行わ
れる。Further, an induction means 9 for supplying and propagating an electromagnetic field to a predetermined plasma generation region is provided outside the processing container 1 on the dielectric surface 8 so as to face the object 2 to be processed. To be As the guiding means 9, for example, a flat spiral coil is used. The spiral coil is made of a conductive material, such as Cu (copper), and has an area 5 to 50% larger than the surface to be processed of the object 2 to be processed.
Is arranged so as to cover the entire upper part of the. A high frequency voltage, for example, a high frequency voltage of 1 MHz to 200 MHz is applied to the induction means 9. One end of a high frequency power source 10 that functions as an antenna is electrically connected to the guiding means 9 via a wiring 12 via a matching circuit 11. The spiral coil is not limited to a flat coil, but may be formed in a screw shape in the vertical direction, and the design can be changed as necessary such as changing the pitch. The other end of the high frequency power supply 10 is electrically grounded, for example, and the center of the amplitude of the high frequency applied to the induction means 9 is set to the ground level together with the processing container 1. Of course, this result may be reversed, and is appropriately changed by changing a plurality of high frequencies and phases. As a result, the reference of the electric potential of the plasma generated by the guiding means 9 is set, and stable processing is performed.
【００１９】前記処理容器１の内部において前記誘電体
面８の近傍には、非堆積性ガスを供給する非堆積性ガス
供給手段としての、シャワーヘッド５０が設けられる。
この非堆積性ガスの種類については、後に説明する。こ
のシャワーヘッド５０には、マスフローコントローラ１
５とバルブ１４を備える配管５３を介して、非堆積性ガ
ス供給源１６から、非堆積性ガスが供給される。このマ
スフローコントローラ１５は、非堆積性ガスの供給量
を、例えばガスを２０SCCMだけ供給するといったよう
に、自由に設定可能であり、このようにガスの供給量を
調整することにより、処理容器１内で生起されるプラズ
マの密度が制御される。このシャワーヘッド５０は、誘
電体、例えば石英からなる非堆積性ガス供給管５１に複
数の噴出孔５２が穿設された構成を有する。前記シャワ
ーヘッド５０は、誘電体により構成されることで、前記
誘導手段９による電磁場をみだすことなく、プラズマ生
成の分布を歪めないといった利点を有する。このシャワ
ーヘッド５０より供給される非堆積性ガスは、前記誘導
手段９によってプラズマ化され、誘電体面８に、後述す
る処理ガスや反応生成物が付着することを防止する。A shower head 50 as a non-depositing gas supply means for supplying the non-depositing gas is provided in the vicinity of the dielectric surface 8 inside the processing container 1.
The type of non-depositing gas will be described later. The shower head 50 includes a mass flow controller 1
The non-depositing gas is supplied from the non-depositing gas supply source 16 through the pipe 53 including the valve 5 and the valve 14. The mass flow controller 15 can freely set the supply amount of the non-depositing gas, for example, by supplying only 20 SCCM of gas, and by adjusting the supply amount of the gas in this way, the inside of the processing container 1 can be adjusted. The density of the plasma generated in is controlled. The shower head 50 has a structure in which a plurality of ejection holes 52 are formed in a non-depositing gas supply pipe 51 made of a dielectric material such as quartz. Since the shower head 50 is made of a dielectric material, it has the advantages of not generating an electromagnetic field by the guiding means 9 and not distorting the plasma generation distribution. The non-depositing gas supplied from the shower head 50 is turned into plasma by the inducing means 9 and prevents the processing gas and reaction products described later from adhering to the dielectric surface 8.
【００２０】次に図２〜４を用いて、シャワーヘッド５
０の具体的な構造について説明を行う。先ず、図２に示
すシャワーヘッド５０は、前記非堆積性ガス供給管５１
が前記処理容器１の内部において矩形状に配管され、前
記複数の噴出孔５２が非堆積性ガス供給管５１の内側に
穿設された構成を有する。誘電体、例えば石英からなる
前記非堆積性ガス供給管５１の外径は、例えば１mm〜５
mmであり、その内側表面に、複数の噴出孔５２が略等間
隔に開口する。各噴出孔５２の径は、０.１mm〜３.０mm
程度のサイズ径より供給ガス量と、非堆積性ガスの種類
に応じて選択的に決められる。そして、この噴出孔５２
全体は前記載置台３上に位置決めされた前記被処理体２
を覆う様に配置される。Next, referring to FIGS. 2 to 4, the shower head 5 will be described.
A specific structure of 0 will be described. First, the shower head 50 shown in FIG. 2 has the non-depositing gas supply pipe 51.
Is formed in a rectangular shape inside the processing container 1, and the plurality of ejection holes 52 are formed inside the non-depositing gas supply pipe 51. The outer diameter of the non-depositing gas supply pipe 51 made of a dielectric material such as quartz is, for example, 1 mm to 5 mm.
mm, and a plurality of ejection holes 52 are opened on the inner surface thereof at substantially equal intervals. The diameter of each ejection hole 52 is 0.1 mm to 3.0 mm.
It is selectively determined according to the amount of supplied gas and the type of non-depositing gas from the size diameter. And this ejection hole 52
The whole object 2 to be processed is positioned on the mounting table 3 as a whole.
It is arranged so as to cover.
【００２１】次に、図３に示すシャワーヘッド５０は、
前記非堆積性ガス供給管５１が前記処理容器１内におい
て格子状に配管され、前記複数の噴出孔５２は非堆積性
ガス供給管５１の上側に穿設されている構成を有する。
図２のものと同様に、誘電体、例えば石英からなる前記
非堆積性ガス供給管５１の外径は、例えば１mm〜５mmで
ある。図示のものは、前記非堆積性ガス供給管５１の交
差点の上側に、前記各噴出孔５２がそれぞれ開口する。
図２のものと同様に、前記各噴出孔５２の径は、０.１m
m〜３.０mm程度のサイズ径より供給ガス量と、非堆積性
ガスの種類に応じて選択的に決められる。また、この噴
出孔５２全体は載置台３上に位置決めされた前記被処理
体２を覆う様に配置される。Next, the shower head 50 shown in FIG.
The non-sedimentary gas supply pipe 51 is arranged in a grid in the processing container 1, and the plurality of ejection holes 52 are formed above the non-sedimentary gas supply pipe 51.
As in the case of FIG. 2, the non-depositing gas supply pipe 51 made of a dielectric material such as quartz has an outer diameter of, for example, 1 mm to 5 mm. In the illustrated case, each of the ejection holes 52 is opened above the intersection of the non-depositing gas supply pipe 51.
As in the case of FIG. 2, the diameter of each ejection hole 52 is 0.1 m.
It is selectively determined depending on the amount of supply gas and the type of non-depositing gas from the size diameter of about m to 3.0 mm. Further, the entire ejection holes 52 are arranged so as to cover the object to be processed 2 positioned on the mounting table 3.
【００２２】次に、図４に示すシャワーヘッド５０は、
前記非堆積性ガス供給管５１が前記処理容器１内におい
て複数本並列に配管され、前記複数の噴出孔５２は非堆
積性ガス供給管５１の上側に穿設されている構成を有す
る。先に説明した図２、３のものと同様に、誘電体、例
えば石英からなる前記非堆積性ガス供給管５１の外径
は、例えば１mm〜５mmであり、その上側表面に、複数の
前記噴出孔５２が略等間隔に開口する。前記各噴出孔５
２の径は、０.１mm〜３.０mm程度のサイズ径より供給ガ
ス量と、非堆積性ガスの種類に応じて選択的に決められ
る。また、この噴出孔５２全体は前記載置台３上に位置
決めされた前記被処理体２を覆う様に配置される。Next, the shower head 50 shown in FIG.
A plurality of the non-depositing gas supply pipes 51 are arranged in parallel in the processing container 1, and the plurality of ejection holes 52 are formed above the non-depositing gas supply pipe 51. As in the case of FIGS. 2 and 3 described above, the outer diameter of the non-depositing gas supply pipe 51 made of a dielectric material such as quartz is, for example, 1 mm to 5 mm, and a plurality of the jets are formed on the upper surface thereof. The holes 52 open at substantially equal intervals. Each of the ejection holes 5
The diameter of 2 is selectively determined from the size diameter of about 0.1 mm to 3.0 mm according to the amount of supply gas and the type of non-depositing gas. Further, the entire ejection holes 52 are arranged so as to cover the object to be processed 2 positioned on the mounting table 3.
【００２３】但し、図２〜４の何れのシャワーヘッド５
０も、前記シャワーヘッド５０を構成する前記非堆積性
ガス供給管５１の間が大きく、空間５４が開いており、
その空間５４を介して、プラズマ化された非堆積性ガス
が、前記被処理体２の方向に移動できる構造となってい
る。なお、前記シャワーヘッド５０は、図２〜４に示す
構成とするほか、円形の被処理体に対しては、前記シャ
ワーヘッド５０の外形を円形にすることも可能である。However, any of the shower heads 5 shown in FIGS.
0 also has a large space between the non-depositing gas supply pipes 51 forming the shower head 50 and an open space 54,
Through the space 54, the non-depositing gas turned into plasma can move in the direction of the object 2. The shower head 50 may have the configuration shown in FIGS. 2 to 4, and the outer shape of the shower head 50 may be circular for a circular object to be processed.
【００２４】かくして、このシャワーヘッド５０より前
記処理容器１内に供給された非堆積性ガスは、前記誘導
手段９により励起されてプラズマ化し、前記処理容器１
内の前記誘電体面８と前記被処理体２に挟まれた空間を
中心に分布する。この場合のプラズマは前記誘電体面８
の内表面のクリーニング効果および処理用プラズマの生
成としての作用を奏する。一般にプラズマの分布は、誘
導手段９の近く、即ち、処理容器１内において前記誘電
体面８の近傍で密度が高く、ここから遠ざかるに従っ
て、即ち前記被処理体２に近づくに従って密度が粗とな
る。Thus, the non-depositing gas supplied from the shower head 50 into the processing container 1 is excited by the inducing means 9 into plasma, and the processing container 1 is processed.
It is distributed around a space sandwiched between the dielectric surface 8 and the object 2 to be processed. The plasma in this case is the dielectric surface 8
Has the effect of cleaning the inner surface of the and the generation of processing plasma. Generally, the plasma distribution has a high density near the induction means 9, that is, in the vicinity of the dielectric surface 8 in the processing container 1, and becomes coarser as the distance from the plasma is increased, that is, the density becomes coarser as the object 2 is approached.
【００２５】また、前記誘導手段９を動作させない場合
は、プラズマ化されていない非堆積性ガスが前記誘電体
面８の内側に沿って供給されることにより、反応生成物
などの付着を防止する効果を奏することができる。この
場合は、前記誘電体面８に膜状のガスの流れを供給でき
るように、前記噴出孔５２をスリット状に形成すること
も可能である。その他、多数のノズルを配置することも
可能である。When the guiding means 9 is not operated, the non-deposited non-plasma gas is supplied along the inside of the dielectric surface 8 to prevent reaction products from adhering. Can be played. In this case, it is possible to form the ejection holes 52 in a slit shape so that a film-like gas flow can be supplied to the dielectric surface 8. In addition, it is possible to arrange a large number of nozzles.
【００２６】前記処理容器１内の前記シャワーヘッド５
０と前記被処理体２との間には、前記処理容器１内に処
理ガスを供給する処理ガス供給手段としてのシャワーヘ
ッド２２が、前記被処理体２に対向配置して設けられ
る。処理ガスの種類については、後に説明する。このシ
ャワーヘッド２２には、マスフローコントローラ２５と
バルブ２４を備える配管４０を介して、処理ガス供給源
２６から、処理ガスが供給される。このマスフローコン
トローラ２５は、処理ガスの供給量を、例えば２０SCCM
だけ供給するといったように、自由に設定可能である。
この処理ガスの種類、流量、温度などは、被処理体２の
被処内容に応じて、適宜選択する。The shower head 5 in the processing container 1
A shower head 22 as a processing gas supply means for supplying a processing gas into the processing container 1 is provided between 0 and the object 2 to be processed so as to face the object 2 to be processed. The type of processing gas will be described later. A processing gas is supplied to the shower head 22 from a processing gas supply source 26 via a pipe 40 including a mass flow controller 25 and a valve 24. The mass flow controller 25 controls the supply amount of the processing gas to, for example, 20 SCCM.
It can be set freely, such as supplying only.
The type, flow rate, temperature, etc. of the processing gas are appropriately selected according to the processing content of the processing object 2.
【００２７】先に説明した非堆積性ガス供給手段として
のシャワーヘッド５０と同様に、このシャワーヘッド２
２は、誘電体、例えば石英からなる処理ガス供給管３１
に複数の噴出孔２３が穿設された構成を有する。前記シ
ャワーヘッド２２は、誘電体により構成されることで、
前記誘導手段９による電磁場をみだすことなく、プラズ
マ生成の分布を歪めないといった利点を有する。このシ
ャワーヘッド２２より供給される処理ガスは、前記処理
容器１内において、前記プラズマ化された非堆積性ガス
によりプラズマ化される。This shower head 2 is similar to the shower head 50 as the non-depositing gas supply means described above.
2 is a processing gas supply pipe 31 made of a dielectric material such as quartz.
It has a structure in which a plurality of ejection holes 23 are formed. Since the shower head 22 is made of a dielectric material,
There is an advantage that the distribution of plasma generation is not distorted without generating an electromagnetic field by the guiding means 9. The processing gas supplied from the shower head 22 is converted into plasma by the plasma-converted non-depositing gas in the processing container 1.
【００２８】次に、前記シャワーヘッド２２の具体的な
構造について説明を行う。先ず、図５に示すシャワーヘ
ッド２２は、前記処理ガス供給管３１が前記処理容器１
内において格子状に配管され、前記複数の噴出孔２３は
処理ガス供給管３１の下側に穿設されている構成を有す
る。誘電体、例えば石英からなる前記処理ガス供給管３
１の外径は、例えば１mm〜５mmである。図示のものは、
前記処理ガス供給管３１のそれぞれの交差点の上側に、
前記各噴出孔２３が開口する。前記各噴出孔２３の径
は、０.１mm〜３.０mm程度のサイズ径より供給ガス量
と、処理ガスの種類に応じて選択的に決められる。ま
た、この噴出孔２３全体は前記載置台３上に位置決めさ
れた被処理体２を覆う様に対向配置される。Next, a specific structure of the shower head 22 will be described. First, in the shower head 22 shown in FIG. 5, the processing gas supply pipe 31 is provided in the processing container 1
The plurality of ejection holes 23 are arranged in a lattice shape inside, and the plurality of ejection holes 23 are formed below the processing gas supply pipe 31. The processing gas supply pipe 3 made of a dielectric material such as quartz
The outer diameter of 1 is, for example, 1 mm to 5 mm. The one shown is
Above each intersection of the processing gas supply pipes 31,
Each of the ejection holes 23 opens. The diameter of each of the ejection holes 23 is selectively determined from the size diameter of about 0.1 mm to 3.0 mm according to the amount of supply gas and the type of processing gas. Further, the entire ejection holes 23 are arranged opposite to each other so as to cover the object to be processed 2 positioned on the mounting table 3.
【００２９】ここで、図５に示す如く、前記処理ガス供
給管３１を格子状に配管した前記シャワーヘッド２２に
ついて、前記各噴出孔２３から噴出されるガスの流量分
布を調査した結果を示す。Here, as shown in FIG. 5, the results of investigation of the flow rate distribution of the gas ejected from each of the ejection holes 23 with respect to the shower head 22 in which the processing gas supply pipe 31 is arranged in a lattice form are shown.
【００３０】［計算の概要］計算の対象とする前記シャ
ワーヘッド２２（図５参照）は、１／４インチ（内径φ
４.２）の石英管（処理ガス供給管３１）を格子状に組
み合わせて構成した。各交差点上に、直径ｄの前記噴出
孔２３をｘ方向にＩ＝７、ｙ方向にＪ＝６、合計［Ｉ×
Ｊ＝］４２個設けた。ガスは４ヶ所に接続した前記配管
４０より矢印方向に供給される。本計算では、圧力
Ｐr，温度Ｔrの反応室内に置かれた前記シャワーヘッド
２２を想定した。解析には熱流体解析ソフトウェアＦＬ
ＵＥＮＴを使用したが、円管の組み合わせを定義するこ
とは困難であるため、各円管を流路断面積の１辺が４ｍ
ｍの正四角柱であるとした。そのため、流路断面積は実
際よりも１.１５倍大きい。この流路断面積の増加は、
解析結果において吟味されなければならない。また、Ｆ
ＬＵＥＮＴでは、流入するガスの流量を境界条件として
規定することができないので、反応室内圧力Ｐrとシャ
ワーのガス導入口における圧力の差Ｐs△Ｐ［＝Ｐs−Ｐ
r］を境界条件とし、得られた結果より流量を求めた。
前記噴出孔２３はシャワー全体に比べ非常に小さいた
め、計算格子数が多くなる。そこで、計算の負荷を減ず
るため以下のようなモデル化を行った。
（ｉ）前記シャワー２２の形状は（図５に示す）破線に
対し対称なので、シャワー２２全体の１／４に対し解析
を行う。
（ｉｉ）前記シャワー２２の噴出孔２３にはＰｏｒｏｕ
ｓ Ｍｅｄｉａ ｍｏｄｅｌを使用し、穴径に応じた圧
力降下を発生させる。
ここで、本計算に使用した条件を表１に示す。[Summary of Calculation] The shower head 22 (see FIG. 5) to be calculated is 1/4 inch (inner diameter φ).
The quartz pipe (process gas supply pipe 31) of 4.2) was combined in a lattice shape. On each intersection, the ejection holes 23 of diameter d are I = 7 in the x direction and J = 6 in the y direction, for a total of [I ×
J =] 42 pieces were provided. Gas is supplied in the direction of the arrow from the pipe 40 connected to four places. In this calculation, the shower head 22 placed in the reaction chamber having a pressure P r and a temperature T r is assumed. Thermo-fluid analysis software FL for analysis
Although UENT was used, it is difficult to define a combination of circular pipes.
It was assumed to be a square prism of m. Therefore, the flow path cross-sectional area is 1.15 times larger than it actually is. This increase in the flow passage cross-sectional area is
Must be examined in the analysis results. Also, F
In LUENT, it is not possible to define the flow rate of the inflowing gas as a boundary condition, the difference in pressure in the gas inlet of the reaction chamber pressure P r and showers P s △ P [= P s -P
r ] was used as the boundary condition, and the flow rate was calculated from the obtained results.
Since the ejection holes 23 are much smaller than the entire shower, the number of calculation grids is large. Therefore, the following modeling was performed in order to reduce the calculation load. (I) Since the shape of the shower 22 is symmetric with respect to the broken line (shown in FIG. 5), analysis is performed on 1/4 of the shower 22 as a whole. (Ii) Porou in the ejection hole 23 of the shower 22.
s Media model is used to generate a pressure drop depending on the hole diameter. Table 1 shows the conditions used for this calculation.
【００３１】［結果と考察］各ＣＡＳＥの条件に対して
得られた流量分布Ｇij／Ｇmを図６〜８に、また、その
ときの総流量Ｇおよび流量分布の均一性を表２に示す。
ただし、Ｇijは各噴出孔からの流量、Ｇm［＝Ｇ／（Ｉ
・Ｊ）］は平均流量を表す。ＣＡＳＥ−１と２の比較よ
り、噴出孔２３の直径ｄが小さいほど流量分布の均一性
は良い。ＣＡＳＥ−２と３の比較より、Ｇを増すことで
更に均一性を良くすることができるが、流量分布の均一
性向上には、Ｇよりもｄの寄与が大きい。すなわち、均
一な流量分布を得るためには、ｄをできるだけ小さくす
ればよい。しかしながら、ｄを小さくすることで、基板
上に噴出孔の位置が転写されたように膜が堆積するとい
う問題も起こり得る。その場合、シャワー２２と基板間
２の距離を増大させる等の対策が必要である。[Results and Discussion] The flow rate distribution G ij / G m obtained for each CASE condition is shown in FIGS. 6 to 8, and the total flow rate G and the uniformity of the flow rate distribution are shown in Table 2. Show.
However, G ij is the flow rate from each ejection hole, and G m [= G / (I
・ J)] represents the average flow rate. From the comparison between CASE-1 and CASE-2, the smaller the diameter d of the ejection hole 23, the better the uniformity of the flow distribution. As compared with CASE-2 and CASE3, the uniformity can be further improved by increasing G, but the contribution of d is larger than that of G for improving the uniformity of the flow rate distribution. That is, d can be made as small as possible in order to obtain a uniform flow rate distribution. However, if d is reduced, a problem may occur in that the film is deposited on the substrate as if the positions of the ejection holes were transferred. In that case, it is necessary to take measures such as increasing the distance between the shower 22 and the substrate 2.
【００３２】その他、図９に示す前記シャワーヘッド２
２は、前記処理ガス供給管３１が前記処理容器１内にお
いて複数本並列に配管され、前記複数の噴出孔２３は処
理ガス供給管３１の下側に穿設されている構成を有す
る。先に説明した図５のものと同様に、誘電体、例えば
石英からなる前記処理ガス供給管３１の外径は、例えば
１mm〜５mmであり、その下側表面に、複数の前記噴出孔
２３が略等間隔に開口する。前記各噴出孔２３の径は、
０.１mm〜３.０mm程度のサイズ径より供給ガス量と、処
理ガスの種類に応じて選択的に決められる。また、この
噴出孔２３全体は前記載置台３上に位置決めされた被処
理体２を覆う様に配置される。In addition, the shower head 2 shown in FIG.
2 has a configuration in which a plurality of the processing gas supply pipes 31 are arranged in parallel in the processing container 1, and the plurality of ejection holes 23 are formed below the processing gas supply pipe 31. As in the case of FIG. 5 described above, the outer diameter of the processing gas supply pipe 31 made of a dielectric material such as quartz is, for example, 1 mm to 5 mm, and the plurality of ejection holes 23 are formed on the lower surface thereof. Open at approximately equal intervals. The diameter of each ejection hole 23 is
The size diameter of about 0.1 mm to 3.0 mm is selectively determined according to the amount of supply gas and the type of processing gas. Further, the entire ejection holes 23 are arranged so as to cover the object 2 to be processed positioned on the mounting table 3.
【００３３】但し、図５及び図９の何れのシャワーヘッ
ド２２も、前記シャワーヘッド２２を構成する前記処理
ガス供給管３１同士の間が大きく、空間３２が開いてお
り、その空間３２を介して、プラズマ化された非堆積性
ガスが、前記被処理体２の方向に移動できる構造となっ
ている。なお、このシャワーヘッド２２も、前記シャワ
ーヘッド５０と同様に、円形の被処理体に対しては、前
記シャワーヘッド２２の外形を円形にすることも可能で
ある。However, in both of the shower heads 22 shown in FIGS. 5 and 9, the space between the processing gas supply pipes 31 constituting the shower head 22 is large, and the space 32 is open. The non-deposited gas turned into plasma can move toward the object 2 to be processed. As with the shower head 50, the shower head 22 may have a circular outer shape for the circular object to be processed.
【００３４】そして、前記シャワーヘッド５０及び前記
シャワーヘッド２２において適宜選択された、非堆積性
ガスの種類、流量、温度などの選択内容と、処理ガスの
種類、流量、温度などの選択内容は、操作パネルに表示
し、操作者が制御確認可能に構成できる。一実施例とし
て、ガラス基板上に薄膜型トランジスター（Thin Film
Transistor）を形成して、このトランジスターの駆動に
より、画素電極と対向電極との間に封入された液晶をＯ
Ｎ／ＯＦＦして表示する液晶表示装置の前記薄膜型トラ
ンジスターの製造工程における成膜処理とその成膜の種
類と処理ガスとの一覧表を表３に示す。The selection contents such as the type, flow rate and temperature of the non-depositing gas and the selection contents such as type, flow rate and temperature of the processing gas, which are appropriately selected in the shower head 50 and the shower head 22, are as follows: It can be displayed on the operation panel so that the operator can confirm the control. As an example, a thin film transistor (Thin Film) is formed on a glass substrate.
Transistor) is formed, and by driving this transistor, the liquid crystal enclosed between the pixel electrode and the counter electrode becomes O
Table 3 shows a list of film forming processes in the manufacturing process of the thin film transistor of the liquid crystal display device which is turned on / off and the types of film forming and process gases.
【００３５】[0035]
【表３】 [Table 3]
【００３６】又、前記液晶表示装置の前記薄膜型トラン
ジスタの製造工程におけるエッチング処理の対象とその
処理ガスの一覧表を表４に示す。Table 4 shows a list of etching targets and processing gases in the manufacturing process of the thin film transistor of the liquid crystal display device.
【００３７】[0037]
【表４】 [Table 4]
【００３８】次に、前記処理容器１の底面には排気口２
７が設けられ、この排気口２７は、配管２８により、開
閉可能なバルブ２９を介して、排気手段３０へ接続され
る。この排気手段３０は、例えばロータリポンプによ
り、所定の真空圧力、例えば１×１０-3Torrまでの粗排
気を行い、それ以上の低い圧力領域を高真空ポンプに切
り換えて、例えば１×１０-6Torrまで排気する様に構成
されている。以上の様に、処理装置は構成されている。Next, an exhaust port 2 is provided on the bottom surface of the processing container 1.
7 is provided, and this exhaust port 27 is connected to an exhaust means 30 by a pipe 28 via a valve 29 that can be opened and closed. The evacuation means 30 performs rough evacuation to a predetermined vacuum pressure, for example, 1 × 10 −3 Torr by, for example, a rotary pump, and switches the lower pressure region to a high vacuum pump, for example, 1 × 10 −6. It is configured to exhaust to Torr. The processing device is configured as described above.
【００３９】次に、この処理装置の動作について説明を
行う。前記ゲートバルブ３’を介して隣接したロードロ
ック室より搬入された被処理体２は、前記載置台３の上
に位置決めされ、仮固定される。前記排気手段３０によ
り所定の圧力、例えば１×１０-3Torrまで真空排気され
た処理容器１内へ、前記シャワーヘッド５０により、非
堆積性ガスが導入される。Next, the operation of this processing apparatus will be described. The object to be processed 2 carried in from the adjacent load lock chamber via the gate valve 3'is positioned on the mounting table 3 and temporarily fixed. The showerhead 50 introduces a non-depositing gas into the processing chamber 1 that has been evacuated to a predetermined pressure, for example, 1 × 10 −3 Torr by the evacuation unit 30.
【００４０】前記誘導手段９により、前記非堆積性ガス
がプラズマ化されると、前記誘電体面８は、非堆積性ガ
ス及びそのプラズマの阻止作用およびクリーニング作用
によって、ほとんど成膜されることなく、したがって前
記誘導手段９による処理容器１内へのエネルギーの導入
（電磁波によるプラズマの生成）は、安定して行うこと
ができる。この安定によって、被処理体の同一条件によ
る処理の継続、歩留りの向上を得ることができる。非堆
積性ガスのプラズマにより、前記シャワーヘッド２２を
介して導入された処理ガスが活性化され、前記被処理体
２の処理が行われる。前記シャワーヘッド２２は、プラ
ズマ化した非堆積性ガスが通過するのに十分な隙間を有
しているので、前記シャワーヘッド２２より供給された
処理ガスの活性化の役割を円滑にはたすことが出来る。When the non-depositing gas is turned into plasma by the guiding means 9, the dielectric surface 8 is hardly formed by the non-depositing gas and its plasma blocking and cleaning actions. Therefore, the introduction of energy into the processing container 1 (generation of plasma by electromagnetic waves) by the guiding means 9 can be stably performed. Due to this stability, it is possible to continue the processing of the object to be processed under the same conditions and improve the yield. The processing gas introduced through the shower head 22 is activated by the plasma of the non-depositing gas, and the processing of the object 2 is performed. Since the shower head 22 has a sufficient gap for passing the plasma-deposited non-depositing gas, the process gas supplied from the shower head 22 can be smoothly activated. .
【００４１】ここで、前記シャワーヘッド５０より前記
処理容器１内に供給される非堆積性ガスの種類と、前記
シャワーヘッド２２より処理容器１内に供給される処理
ガスの種類は、例えば次のように選択される。
・前記被処理体２にアモルファスシリコン膜を成膜する
場合は、前記非堆積性ガスは、アルゴンガス、水素ガ
ス、ヘリウムガスの何れかであり、処理ガスはシラン
（ＳiＨ4）を用いる。
・前記被処理体２にポリシリコン膜、酸化シリコン（Ｓ
iＯ2）膜を成膜する場合は、前記非堆積性ガスは、酸素
ガスであり、処理ガスはシラン（ＳiＨ4）ガスを用い
る。
・前記被処理体２に窒化シリコン（ＳiＮx）膜を成膜す
る場合は、前記非堆積性ガスは、窒素ガスであり、処理
ガスはシラン（ＳiＨ4）ガスを用いる。The types of non-depositing gas supplied from the shower head 50 into the processing container 1 and the types of processing gas supplied from the shower head 22 into the processing container 1 are, for example, as follows. To be selected. When forming an amorphous silicon film on the object 2 to be processed, the non-depositing gas is any one of argon gas, hydrogen gas and helium gas, and the processing gas is silane (SiH 4 ). -A polysilicon film, silicon oxide (S
When forming an iO 2 ) film, the non-depositing gas is oxygen gas, and the processing gas is silane (SiH 4 ) gas. When forming a silicon nitride (SiNx) film on the object 2, the non-depositing gas is nitrogen gas, and the processing gas is silane (SiH 4 ) gas.
【００４２】かくして、前記シャワーヘッド２２より供
給された活性化された処理ガス及び反応生成物は、前記
処理容器１内に一部は拡散してゆくが、大部分は前記排
気口２７を介して排気される。仮に、これらの処理ガス
又は反応生成物が、前記誘電体面８の内壁面に付着した
としても、非堆積性ガスのプラズマにより常時前記誘電
体面８の内壁面はプラズマクリーニングされるので、前
記誘導手段９により導入されるエネルギーは、コンスタ
ントに所定値から低下することなく、処理を継続してゆ
くことが出来る。以上の様に処理装置は動作する。Thus, the activated processing gas and reaction products supplied from the shower head 22 are partially diffused into the processing container 1, but most of them are discharged through the exhaust port 27. Exhausted. Even if these processing gases or reaction products adhere to the inner wall surface of the dielectric surface 8, the inner wall surface of the dielectric surface 8 is always plasma-cleaned by the plasma of the non-depositing gas. The energy introduced by 9 can continue processing without constantly lowering from a predetermined value. The processing device operates as described above.
【００４３】この様な処理装置は、前記誘導手段９に対
向配置した前記誘電体面８の内壁面に、処理の結果、導
電性の膜又は半導体の膜が付着した場合に、前記誘導手
段９によるエネルギー導入が低下して生成されるプラズ
マ密度が粗となってゆく問題が生じる。又、前記誘電体
面８の内壁面に付着する導電体膜、例えば金属膜や、半
導体膜は、付着の仕方によってプラズマの生成分布を変
える為、処理結果が被処理体２の被処理面で不均一にな
るという問題がある。これらの問題を、図１に述べた構
成と動作する処理装置では解決することが出来る。Such a processing device uses the guiding means 9 when a conductive film or a semiconductor film is attached to the inner wall surface of the dielectric surface 8 facing the guiding means 9 as a result of the processing. There is a problem that the plasma density generated by the decrease of energy introduction becomes coarse. In addition, since a conductive film, such as a metal film or a semiconductor film, that adheres to the inner wall surface of the dielectric surface 8 changes the plasma generation distribution depending on how it is adhered, the processing result may be different on the surface to be processed of the object 2 to be processed. There is a problem that it becomes uniform. These problems can be solved by the processing device that operates with the configuration described in FIG.
【００４４】以上の様な構成の処理装置において、前記
被処理体２として、シリコンウエハ上に半導体を形成す
る工程中の成膜処理として、金属膜、例えばＷ（タング
ステン）膜や、ＴiＮ（チタンナイトライド）膜を成膜
するプロセスを行うと、前記シャワーヘッド５０により
不活性ガスを前記誘電体面８に向けて供給することで、
これらの成膜が前記誘電体面８に付着することを防止
し、前記誘導手段９による前記処理容器１内へのエネル
ギー導入が枚葉処理ごとに低下せず、成膜処理能力の維
持を達成出来る。更に、金属系膜や、半導体系膜の前記
誘電体面８への付着は、処理ガスのプラズマ分布をしだ
いに変化させ、前記被処理体２の面内均一処理を困難に
するので、前記不活性ガスの供給とプラズマ化により防
止することが出来る。上記実施例において、処理ガスと
してエッチングガス、スパッタガス、ＣＶＤ等の成膜ガ
スを用いれば夫々の成膜が可能であるが、処理に限ら
ず、イオン源、Ｘ線源、プラズマ源として用いてもよ
い。In the processing apparatus having the above-described structure, a metal film such as a W (tungsten) film or TiN (titanium) is used as a film forming process in the step of forming a semiconductor on the silicon wafer as the object 2 to be processed. When a process for forming a nitride film is performed, an inert gas is supplied toward the dielectric surface 8 by the shower head 50,
These film formations are prevented from adhering to the dielectric surface 8, and the energy introduction into the processing container 1 by the guiding means 9 does not decrease for each single-wafer processing, and the film forming processing ability can be maintained. . Further, the adhesion of the metal-based film or the semiconductor-based film to the dielectric surface 8 gradually changes the plasma distribution of the processing gas, making it difficult to perform in-plane uniform processing of the object 2 to be processed. It can be prevented by supplying gas and making plasma. In the above-described embodiment, each film can be formed by using a film forming gas such as an etching gas, a sputter gas, and a CVD as a process gas, but the present invention is not limited to the process, and can be used as an ion source, an X-ray source, a plasma source Good.
【００４５】次に本願発明の処理装置及び処理方法をク
ラスターツール型処理システムに適用した好適な実施例
について図面を用いて説明する。図１０は、クラスター
ツール型処理システムの断面模式図である。気密な共通
搬送室１００内、例えば真空圧力ｎ×１０-3Torr〜ｎ×
１０-2Torrの圧力に維持され、被処理体を図示しない静
電チャックにより保持して搬送する搬送装置１０１が設
けられている。前記共通搬送室１００の周囲には、側壁
に設けられた複数のゲートバルブ、例えば３個のゲート
バルブ１０２、１０３、１０４が開閉可能に設けられて
いる。更に各々のゲートバルブ１０２、１０３、１０４
には、気密な処理容器１０５、１０６、１０７が接続さ
れ、前記ゲートバルブ１０２、１０３、１０４の開口に
より前記共通搬送室１００と前記処理容器１０５、１０
６、１０７が選択的に各々連通可能に設けられている。Next, a preferred embodiment in which the processing apparatus and the processing method of the present invention are applied to a cluster tool type processing system will be described with reference to the drawings. FIG. 10 is a schematic sectional view of a cluster tool type processing system. In the airtight common transfer chamber 100, for example, vacuum pressure n × 10 −3 Torr to n ×
A transfer device 101 is provided which maintains the pressure of 10 -2 Torr and holds and transfers the object to be processed by an electrostatic chuck (not shown). Around the common transfer chamber 100, a plurality of gate valves provided on the side wall, for example, three gate valves 102, 103, 104 are provided so as to be opened and closed. Further, each gate valve 102, 103, 104
Airtight processing vessels 105, 106, 107 are connected to the common transfer chamber 100 and the processing vessels 105, 10 through the openings of the gate valves 102, 103, 104.
6 and 107 are provided so as to be selectively communicated with each other.
【００４６】これらの処理容器１０５、１０６、１０７
のうち少なくとも一つには、本願発明の処理装置を適用
して構成することが出来る。従って、図１０の処理容器
１０５、１０６、１０７の各々の中央部には模式的に前
記誘導手段１０８、１０９、１１０、例えば平面状の渦
巻型コイルを図示している。又、前記処理容器１０５、
１０６、１０７として従来多く用いられている平行平板
型プラズマ処理装置や、熱ＣＶＤ装置、ＥＣＲ型プラズ
マ処理装置、スパッタリング装置、アッシング装置、エ
ッチング装置等を目的とする処理内容に対応して組み込
むことが出来ることは言うまでもない。These processing vessels 105, 106, 107
At least one of them can be configured by applying the processing apparatus of the present invention. Therefore, the guiding means 108, 109, 110, for example, a planar spiral coil is schematically shown in the central portion of each of the processing vessels 105, 106, 107 in FIG. In addition, the processing container 105,
A parallel plate type plasma processing apparatus, which has been widely used as 106 and 107, a thermal CVD apparatus, an ECR type plasma processing apparatus, a sputtering apparatus, an ashing apparatus, an etching apparatus, etc., can be incorporated in accordance with the intended processing contents. It goes without saying that you can do it.
【００４７】更に、前記処理容器１０５、１０６、１０
７と前記共通搬送室１００との連通は、いずれか一つだ
けのゲートバルブしか同時に開口しない為、互いに処理
内容が他の処理中の被処理体に前記共通搬送室を経由し
て、影響を及ぼさない様に制御されている。更に、前記
処理容器１０５、１０６、１０７の処理内容は、同じ処
理の並列処理、すなわち複数の被処理体に対して同じ処
理を行っても良いし、同一の被処理体に順次、例えば処
理容器の順番を１０５、１０６、１０７と直列的につな
げて処理していっても良い。この直列処理の実施例とし
ては、被処理体としてコーニング社製のガラス基板上に
３層の成膜、ａ−Ｓi膜（アモルファス・シリコン
膜）、ＳiＮx（窒化シリコン膜）、ｎ＋型ａ−Ｓi膜を
形成して薄膜型トランジスターを製造するプラズマＣＶ
Ｄ装置があげられ、このプラズマＣＶＤ装置のプラズマ
源に誘導手段を用いることで、広い面積の被処理体に均
一なプラズマ処理を実施できる。この際に用いられる誘
電体のクリーニング手段に、前に述べた第一実施例及び
第二実施例の不活性ガス又はそのプラズマを用いてクリ
ーニングする手法を適用することが出来る。Further, the processing vessels 105, 106, 10
7 and the common transfer chamber 100 communicate with each other, only one of the gate valves is opened at the same time, so that the processing contents of other objects to be processed are influenced by the common transfer chamber. It is controlled so that it does not reach. Further, the processing contents of the processing containers 105, 106, 107 may be parallel processing of the same processing, that is, the same processing may be performed on a plurality of processing objects, or the same processing objects may be sequentially processed, for example, processing containers. The processing may be performed by connecting the order of 105, 106, and 107 in series. As an example of this series processing, three layers are formed on a glass substrate manufactured by Corning as an object to be processed, a-Si film (amorphous silicon film), SiNx (silicon nitride film), n + type a-Si. Plasma CV for forming a thin film transistor by forming a film
An example of the apparatus is a D apparatus, and by using an induction means as a plasma source of this plasma CVD apparatus, it is possible to perform uniform plasma processing on an object to be processed having a large area. As the dielectric cleaning means used at this time, the above-described method of cleaning using the inert gas or plasma thereof of the first embodiment and the second embodiment can be applied.
【００４８】前記共通搬送室１００の側壁に更に設けら
れたゲートバルブ１１１を介して予備真空室１１２が設
けられ、ゲートバルブ１１１の開口により連通可能に設
けられている。この予備真空室１１２は、処理室での処
理に先立って被処理体を所定の温度まで加熱する予備加
熱処理や処理室で処理に伴って加熱された被処理体をカ
セットに収納したり、所定場所に載置する為に所定温度
まで冷却する処理を行う。A pre-vacuum chamber 112 is provided via a gate valve 111 further provided on the side wall of the common transfer chamber 100, and the pre-vacuum chamber 112 is provided so as to be communicable by an opening of the gate valve 111. The pre-vacuum chamber 112 stores in a cassette the pre-heating treatment for heating the object to be treated to a predetermined temperature prior to the treatment in the treatment chamber, or the object to be treated heated in the treatment chamber in a cassette. A process of cooling to a predetermined temperature is performed in order to place it in a place.
【００４９】前記予備真空室１１２内は、所定の真空圧
力、例えばｎ×１０-3Torr〜ｎ×１０-2Torrの圧力に維
持され予備加熱手段としては、被処理体の載置台に設け
られた電気抵抗体による発熱を利用するものや、ランプ
による被処理体の直接加熱等を利用するものがある。
又、冷却手段としては、被処理体の載置台の内部に冷媒
例えばクーラントや、液体窒素を循環させることにより
所定温度まで冷却可能である。又、真空中での熱伝達に
は、Ｈeガスによるバーククーリングガスが用いられ
る。更にこれらの予備加熱及び冷却を多層の段に組み入
れて複数枚の被処理体を処理することも適宜可能であ
る。The inside of the preliminary vacuum chamber 112 is maintained at a predetermined vacuum pressure, for example, a pressure of n × 10 −3 Torr to n × 10 −2 Torr, and the preliminary heating means is provided on the mounting table of the object to be treated. Some use heat generated by an electric resistor and some use direct heating of an object to be processed by a lamp.
As the cooling means, it is possible to cool to a predetermined temperature by circulating a coolant such as a coolant or liquid nitrogen inside the mounting table of the object to be processed. Further, a bark cooling gas of He gas is used for heat transfer in a vacuum. Furthermore, it is also possible to incorporate these preheating and cooling into a multi-layered stage to treat a plurality of objects.
【００５０】前記共通搬送室１００内に設けられた前記
搬送載置１０１は、前記予備真空室１１２と前記複数の
処理容器１０５、１０６、１０７との間の被処理体の搬
送を行う。更に、前記予備真空室１１２の側壁には、ゲ
ートバルブ１１３が、前記ゲートバルブ１１１と対向配
置されている。前記ゲートバルブ１１３を介して、前記
予備真空室１１２は、気密な第２の搬送室１１４と連通
可能に設けられている。この第２の搬送室１１４内に
は、第２の搬送装置１１５が設けられている。The transfer platform 101 provided in the common transfer chamber 100 transfers an object to be processed between the preliminary vacuum chamber 112 and the plurality of processing vessels 105, 106 and 107. Further, a gate valve 113 is arranged on the side wall of the preliminary vacuum chamber 112 so as to face the gate valve 111. The preliminary vacuum chamber 112 is provided so as to be able to communicate with the airtight second transfer chamber 114 via the gate valve 113. A second transfer device 115 is provided in the second transfer chamber 114.
【００５１】更に、この第２の搬送室１１４の前記ゲー
トバルブ１１３と対向位置にある側壁には、ゲートバル
ブ１１５が設けられている。このゲートバルブ１１５を
介して、前記第２の搬送室１１４は、カセット室１１６
に連通可能に設けられている。このカセット室１１６内
には、複数、例えば２５枚の被処理体を水平位置に収納
可能なカセット１１７を少なくとも１つ載置する図示し
ない載置手段が設けられている。前記カセット室１１６
の前記ゲートバルブの対向位置の側壁にはゲートバルブ
１１８が設けられ、処理システムの外部と開口により連
通可能に設けられている。Further, a gate valve 115 is provided on the side wall of the second transfer chamber 114, which is opposed to the gate valve 113. The second transfer chamber 114 is connected to the cassette chamber 116 via the gate valve 115.
It is provided so that it can communicate with. Inside the cassette chamber 116, a mounting means (not shown) for mounting at least one cassette 117 capable of accommodating a plurality of, for example, 25 objects to be processed in a horizontal position is provided. The cassette chamber 116
A gate valve 118 is provided on a side wall of the gate valve opposite to the gate valve, and is provided so as to communicate with the outside of the processing system through an opening.
【００５２】以上の様に構成された処理システムの動作
について説明する。他の半導体製造工程からロボット
（ＡＧＶ）等の自動搬送システムによりカセットに収納
された被処理体が、カセットごと前記ゲートバルブ１１
８を介して前記カセット室１１６内の所定位置に設けら
れている載置台上に載置される。前記ゲートバルブ１１
８が開口し前記カセット室１１６内が不活性ガス、例え
ばＮ2により置換されると、前記ゲートバルブ１１５が
開口し、隣室の前記第２搬送室１１４内の前記第２の搬
送装置１１５により、前記カセット１１７内の被処理体
が枚葉ごとに搬出され、予備真空室１１２内の予備加熱
手段の所まで搬送される。The operation of the processing system configured as above will be described. The object to be processed stored in the cassette from another semiconductor manufacturing process by an automatic transfer system such as a robot (AGV) is the gate valve 11 together with the cassette.
It is mounted on a mounting table provided at a predetermined position in the cassette chamber 116 via the unit 8. The gate valve 11
When 8 is opened and the inside of the cassette chamber 116 is replaced with an inert gas, for example, N 2 , the gate valve 115 is opened and the second transfer device 115 in the second transfer chamber 114 in the adjacent chamber The objects to be processed in the cassette 117 are unloaded one by one and transferred to the preliminary heating means in the preliminary vacuum chamber 112.
【００５３】次に前記ゲートバルブ１１３が閉じて、前
記予備真空室１１２内が所定圧力まで排気され、被処理
体の予備加熱が完了すれば、前記ゲートバルブ１１１が
開口し、前記搬送装置１０１が前記予備真空室１１２内
に進入して来て被処理体を受け取り、前記共通搬送室１
００内へ搬送し、前記ゲートバルブ１１１が閉じる。Next, when the gate valve 113 is closed and the inside of the preliminary vacuum chamber 112 is exhausted to a predetermined pressure and the preheating of the object to be processed is completed, the gate valve 111 is opened and the transfer device 101 is operated. The common transport chamber 1 is introduced into the preliminary vacuum chamber 112 to receive an object to be processed.
00, and the gate valve 111 is closed.
【００５４】次に前記共通搬送室１０１から、選択され
た前記処理容器１０５、１０６、１０７へ被処理体が前
記搬送装置１０１により搬入され、所定の処理が順次実
施される。次の処理の終了した前記被処理体は以上の逆
のコースをたどって、前記カセット室１１６内の所定の
前記カセット１１７内まで搬送され収納される。以上が
一連の処理動作である。Next, the object to be processed is carried into the selected processing container 105, 106, 107 from the common transfer chamber 101 by the transfer device 101, and predetermined processing is sequentially carried out. The object to be processed which has undergone the next processing is transported to and stored in the predetermined cassette 117 in the cassette chamber 116 following the reverse course. The above is a series of processing operations.
【００５５】以上の様に構成され動作する処理システム
において、処理装置内の誘電体の窓への反応生成物等の
付着に対するクリーニングの実施は、処理システム全体
を停止したり、装置を分解したりすることが少なく、出
来るだけ、処理と並行に実施されることが求められてい
る。本願発明の処理方法をこの処理システムに適用する
ことで、クラスター型処理システムの全体を停止しなく
とも個々の処理装置内で、他の処理装置における被処理
体の処理と並行してクリーニングを実施でき、生産効率
の向上に多大な寄与をすることができる。In the processing system configured and operated as described above, the cleaning for the adhesion of the reaction product or the like to the dielectric window in the processing apparatus is performed by stopping the entire processing system or disassembling the apparatus. It is required to be carried out in parallel with processing as much as possible. By applying the processing method of the present invention to this processing system, cleaning is performed in parallel with the processing of the object to be processed in the other processing apparatus without stopping the entire cluster type processing system. It is possible to make a great contribution to the improvement of production efficiency.
【００５６】[0056]
【発明の効果】本発明によれば、不活性ガス又はそのプ
ラズマによって、処理ガスや処理体の処理に伴って発生
する反応生成物が処理容器の壁面を構成する誘電体面に
付着することを防止できる。本発明によれば、誘導手段
による前記誘電体面を介した前記処理容器内へのエネル
ギー供給が安定し、効率の高い処理を維持出来る。According to the present invention, it is possible to prevent the reaction gas or the reaction product generated by the processing of the processing body from adhering to the dielectric surface forming the wall surface of the processing container due to the inert gas or the plasma thereof. it can. According to the present invention, the energy supply to the inside of the processing container through the dielectric surface by the guiding means is stable, and highly efficient processing can be maintained.
【図１】本発明の処理装置の実施例を示す概略断面図で
ある。FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of a processing apparatus of the present invention.
【図２】非堆積性ガス供給管が矩形状に配管された、非
堆積性ガスを供給するシャワーヘッドの平面図である。FIG. 2 is a plan view of a shower head for supplying a non-depositing gas, in which the non-depositing gas supply pipe is arranged in a rectangular shape.
【図３】非堆積性ガス供給管が前記処理容器内において
格子状に配管された、非堆積性ガスを供給するシャワー
ヘッドの平面図である。FIG. 3 is a plan view of a shower head for supplying a non-depositing gas, in which the non-depositing gas supply pipes are arranged in a lattice in the processing container.
【図４】非堆積性ガス供給管が複数本並列に配管され
た、非堆積性ガスを供給するシャワーヘッドの平面図で
ある。FIG. 4 is a plan view of a shower head for supplying non-depositing gas, in which a plurality of non-depositing gas supply pipes are arranged in parallel.
【図５】処理ガス供給管が前記処理容器内において格子
状に配管された、処理ガスを供給するシャワーヘッドの
平面図である。FIG. 5 is a plan view of a shower head for supplying a processing gas, in which the processing gas supply pipes are arranged in a grid in the processing container.
【図６】処理ガス供給用のシャワーヘッドについて、ガ
スの流量分布を調査した結果を示すグラフ（ＣＡＳＥ
１）である。FIG. 6 is a graph (CASE) showing a result of investigating a gas flow rate distribution of a shower head for supplying a processing gas.
1).
【図７】処理ガス供給用のシャワーヘッドについて、ガ
スの流量分布を調査した結果を示すグラフ（ＣＡＳＥ
２）である。FIG. 7 is a graph (CASE) showing the results of investigating the flow rate distribution of gas in the shower head for supplying the processing gas.
2).
【図８】処理ガス供給用のシャワーヘッドについて、ガ
スの流量分布を調査した結果を示すグラフ（ＣＡＳＥ
３）である。FIG. 8 is a graph (CASE) showing a result of investigating a gas flow rate distribution in a shower head for supplying a processing gas.
3).
【図９】処理ガス供給管が複数本並列に配管された、処
理ガスを供給するシャワーヘッドの平面図である。FIG. 9 is a plan view of a shower head for supplying a processing gas, in which a plurality of processing gas supply pipes are arranged in parallel.
【図１０】本発明の処理装置をクラスターツール型処理
システムに適用した実施例の概略断面図である。FIG. 10 is a schematic sectional view of an example in which the processing apparatus of the present invention is applied to a cluster tool type processing system.
１ 処理容器 ２ 被処理体 ３ 載置台 ８ 誘電体面 ９ 誘導手段 ２２ シャワーヘッド（処理ガス供給手段） ５１ シャワーヘッド（非堆積性ガス供給手段） 1 processing container 2 Object to be processed 3 table 8 Dielectric surface 9 guidance means 22 Shower head (process gas supply means) 51 Shower head (non-depositing gas supply means)
【表１】 [Table 1]
【表２】 [Table 2]
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/302 １０１Ｃ (56)参考文献 特開 昭63−166971（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−114530（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−76777（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−153595（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/205 C23C 16/44 H01L 21/3065 H01L 21/31 H05H 1/46 Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 identification code FI H01L 21/302 101C (56) References JP 63-166971 (JP, A) JP 2-114530 (JP, A) JP JP 7-76777 (JP, A) JP-A-7-153595 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 21/205 C23C 16/44 H01L 21/3065 H01L 21 / 31 H05H 1/46
Claims (17)
が誘電体面で形成され、該誘電体面の前記処理容器外方
に配置された誘電手段に高周波電圧が印加されることに
より、前記処理容器内において処理ガス供給手段から供
給された処理ガスがプラズマ化され、前記処理容器内に
おいて載置台上に載置された被処理体が処理される誘導
式の処理装置において、 前記処理容器内の前記誘電体面と前記処理ガス供給手段
との間には、矩形状に配管され複数の噴出孔が内側に穿
設された非堆積性ガス供給管が配設されており、 前記非堆積性ガス供給管内には非堆積性ガスが供給さ
れ、前記噴出孔から噴出された非堆積性ガスが前記処理
容器内に供給されることを特徴とする処理装置。1. A processing container, wherein at least a part of a wall surface of an airtight processing container is formed of a dielectric surface, and a high-frequency voltage is applied to a dielectric means arranged outside the processing container on the dielectric surface. In the processing apparatus of the induction type in which the processing gas supplied from the processing gas supply means is converted into plasma, and the object to be processed placed on the mounting table in the processing container is processed, Between the dielectric surface and the processing gas supply means, a non-depositing gas supply pipe having a rectangular shape and a plurality of ejection holes bored inside is disposed. A non-depositing gas is supplied to the processing chamber, and the non-depositing gas ejected from the ejection port is supplied into the processing container.
て配置されたコイルであることを特徴とする請求項１に
記載の処理装置。2. The processing apparatus according to claim 1, wherein the guiding unit is a coil arranged to face the object to be processed.
とを特徴とする請求項２に記載の処理装置。3. The processing apparatus according to claim 2, wherein the coil is a flat spiral type coil.
の高周波電圧が印加され、 前記載置台には、１ＫHz〜５００ＫHzの高周波電圧が印
加されることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。4. The guiding means has a frequency of 1 MHz to 200 MHz.
2. The processing apparatus according to claim 1, wherein the high frequency voltage of 1 KHz to 500 KHz is applied to the mounting table.
が誘電体面で形成され、該誘電体面の前記処理容器外方
に配置された誘電手段に高周波電圧が印加されることに
より、前記処理容器内において処理ガス供給手段から供
給された処理ガスがプラズマ化され、前記処理容器内に
おいて載置台上に載置された被処理体が処理される誘導
式の処理装置において、 前記処理容器内の前記誘電体面と前記処理ガス供給手段
の間には、格子状に配管され複数の噴出孔が上側に穿設
された非堆積性ガス供給管が配設されており、 前記非堆積性ガス供給管内には非堆積性ガスが供給さ
れ、該噴出孔から噴出された非堆積性ガスが前記処理容
器内に供給されることを特徴とする処理装置。5. The processing container, wherein at least a part of the wall surface of the airtight processing container is formed of a dielectric surface, and a high-frequency voltage is applied to the dielectric means arranged outside the processing container on the dielectric surface. In the processing apparatus of the induction type in which the processing gas supplied from the processing gas supply means is converted into plasma, and the object to be processed placed on the mounting table in the processing container is processed, Between the dielectric surface and the processing gas supply means, there is arranged a non-depositing gas supply pipe in which a plurality of ejection holes are formed on the upper side in a lattice shape, and in the non-depositing gas supply pipe. Is supplied with a non-depositing gas, and the non-depositing gas ejected from the ejection hole is supplied into the processing container.
ことにより、前記処理容器内において非堆積性ガスがプ
ラズマ化されることを特徴とする請求項５に記載の処理
方法。6. The processing method according to claim 5, wherein the non-depositing gas is plasmatized in the processing container by applying a high frequency voltage to the inducing means.
り、前記処理容器内において前記処理ガス供給手段から
供給された処理ガスがプラズマ化されることを特徴とす
る請求項６に記載の処理方法。7. The processing method according to claim 6, wherein the processing gas supplied from the processing gas supply means is converted into plasma in the processing container by the plasma-converted non-depositing gas. .
リコン膜、ポリシリコン膜、酸化シリコン（ＳiＯ２）
膜、窒化シリコン（ＳiＮx）膜の何れかを成膜すること
を特徴とする請求項５に記載の処理方法。8. The processing of the object to be processed is performed with an amorphous silicon film, a polysilicon film, and silicon oxide (SiO 2 ).
The processing method according to claim 5, wherein any one of a film and a silicon nitride (SiNx) film is formed.
が誘電体面で形成され、該誘電体面の前記処理容器外方
に配置された誘電手段に高周波電圧が印加されることに
より、前記処理容器内において処理ガス供給手段から供
給された処理ガスがプラズマ化され、前記処理容器内に
おいて載置台上に載置された被処理体が処理される誘導
式の処理装置において、 前記処理容器内の前記誘電体面と前記処理ガス供給手段
との間には、複数本並列に配管され複数の噴出孔が上側
に穿設された非堆積性ガス供給管が配設されており、 前記非堆積性ガス供給管内には非堆積性ガスが供給さ
れ、前記噴出孔から噴出された非堆積性ガスが前記処理
容器内に供給されることを特徴とする処理装置。9. The processing container, wherein at least a part of a wall surface of the airtight processing container is formed of a dielectric surface, and a high frequency voltage is applied to a dielectric means arranged outside the processing container on the dielectric surface. In the processing apparatus of the induction type in which the processing gas supplied from the processing gas supply means is converted into plasma, and the object to be processed placed on the mounting table in the processing container is processed, A non-depositing gas supply pipe having a plurality of pipes arranged in parallel and having a plurality of ejection holes formed on the upper side is arranged between the dielectric surface and the processing gas supply means. A non-depositing gas is supplied into the pipe, and the non-depositing gas ejected from the ejection holes is supplied into the processing container.
ることにより、前記処理容器内において非堆積性ガスが
プラズマ化されることを特徴とする請求項９に記載の処
理方法。10. The processing method according to claim 9, wherein the non-depositing gas is plasmatized in the processing container by applying a high frequency voltage to the inducing means.
より、前記処理容器内において処理ガス供給手段から供
給された処理ガスがプラズマ化されることを特徴とする
請求項１０に記載の処理方法。11. The processing method according to claim 10, wherein the processing gas supplied from the processing gas supply means is converted into plasma in the processing container by the plasma-deposited non-depositing gas.
シリコン膜、ポリシリコン膜、酸化シリコン（Ｓi
Ｏ２）膜、窒化シリコン（ＳiＮx）膜の何れかを成膜す
ることを特徴とする請求項９に記載の処理方法。12. The processing of the object to be processed is performed with an amorphous silicon film, a polysilicon film, a silicon oxide (Si
The processing method according to claim 9, wherein any one of an O 2 ) film and a silicon nitride (SiNx) film is formed.
部が誘電体面で形成され、該誘電体面の前記処理容器外
方に配置された誘電手段に高周波電圧が印加されること
により、前記処理容器内において処理ガス供給手段から
供給された処理ガスがプラズマ化され、前記処理容器内
において載置台上に載置された被処理体が処理される誘
導式の処理装置において、 前記誘電体面と前記処理ガス供給手段の間に非堆積性ガ
スを供給する非堆積性ガス供給手段が、前記処理容器内
に配設されており、 前記誘導手段は、前記被処理体に対向して配置された平
面状の渦巻型コイルであることを特徴とする処理装置。13. The processing container, wherein at least a part of a wall surface of the airtight processing container is formed of a dielectric surface, and a high frequency voltage is applied to a dielectric means arranged outside the processing container on the dielectric surface. In the processing apparatus of the induction type in which the processing gas supplied from the processing gas supply means is turned into plasma, and the object to be processed placed on the mounting table in the processing container is processed, wherein the dielectric surface and the processing Non-depositing gas supply means for supplying non-depositing gas between the gas supply means is arranged in the processing container, and the guiding means is a planar shape arranged to face the object to be processed. The spiral coil is a processing device.
Hzの高周波電圧が印加され、 前記載置台には、１ＫHz〜５００ＫHzの高周波電圧が印
加される請求項１３に記載の処理装置。14. The guiding means has a frequency of 1 MHz to 200M.
The processing apparatus according to claim 13, wherein a high frequency voltage of Hz is applied, and a high frequency voltage of 1 KHz to 500 KHz is applied to the mounting table.
と、 前記処理容器内で前記載置台の上方に設けられ処理ガス
を供給するシャワーヘッドと、 前記処理容器内で処理ガスを供給する前記シャワーヘッ
ドの上方に設けられ非堆積性ガスを供給するシャワーヘ
ッドと、 前記処理容器の上壁部を構成する誘電体と、 前記処理容器外で前記載置台上の前記被処理体に対向し
て前記誘電体上に設けられ、高周波電圧が印加されるコ
イルと、 を設けたことを特徴とする処理装置。15. An airtight processing container, a mounting table provided in the processing container for mounting an object to be processed, and a shower head provided in the processing container above the mounting table to supply a processing gas. A shower head provided above the shower head for supplying a processing gas in the processing container and supplying a non-depositing gas, a dielectric constituting an upper wall of the processing container, and outside the processing container. A processing apparatus, comprising: a coil, which is provided on the dielectric and faces the object to be processed on the mounting table, and to which a high-frequency voltage is applied.
徴とする、請求項１５に記載の処理装置。16. The processing device according to claim 15, wherein the coil has a planar shape.
徴とする、請求項１５に記載の処理装置。17. The processing apparatus according to claim 15, wherein the coil is a spiral type.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32932994A JP3422583B2 (en) | 1994-03-23 | 1994-12-01 | Processing equipment |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7672794 | 1994-03-23 | ||
| JP6-76727 | 1994-03-23 | ||
| JP32932994A JP3422583B2 (en) | 1994-03-23 | 1994-12-01 | Processing equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07312348A JPH07312348A (en) | 1995-11-28 |
| JP3422583B2 true JP3422583B2 (en) | 2003-06-30 |
Family
ID=26417862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32932994A Expired - Lifetime JP3422583B2 (en) | 1994-03-23 | 1994-12-01 | Processing equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3422583B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9362137B2 (en) | 2014-08-18 | 2016-06-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Plasma treating apparatus, substrate treating method, and method of manufacturing a semiconductor device |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6200412B1 (en) * | 1996-02-16 | 2001-03-13 | Novellus Systems, Inc. | Chemical vapor deposition system including dedicated cleaning gas injection |
| US5951773A (en) | 1996-03-18 | 1999-09-14 | Hyundai Electronics Industries Co., Ltd. | Inductively coupled plasma chemical vapor deposition apparatus |
| JP4107596B2 (en) * | 1996-10-02 | 2008-06-25 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma processing equipment |
| JP3164019B2 (en) | 1997-05-21 | 2001-05-08 | 日本電気株式会社 | Silicon oxide film, method for forming the same, and film forming apparatus |
| JP3384795B2 (en) | 1999-05-26 | 2003-03-10 | 忠弘 大見 | Plasma process equipment |
| JP4833512B2 (en) | 2003-06-24 | 2011-12-07 | 東京エレクトロン株式会社 | To-be-processed object processing apparatus, to-be-processed object processing method, and to-be-processed object conveyance method |
| JP4781711B2 (en) * | 2005-05-12 | 2011-09-28 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
| JP4597792B2 (en) * | 2005-06-27 | 2010-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | Process gas supply structure and plasma processing apparatus |
| JP5068458B2 (en) | 2006-01-18 | 2012-11-07 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
| JP5005999B2 (en) * | 2006-09-29 | 2012-08-22 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma processing apparatus and method of using plasma processing apparatus |
| KR20110104982A (en) * | 2009-01-09 | 2011-09-23 | 가부시키가이샤 아루박 | Plasma processing apparatus and plasma cvd film forming method |
| US9499905B2 (en) * | 2011-07-22 | 2016-11-22 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for the deposition of materials on a substrate |
| US9388494B2 (en) | 2012-06-25 | 2016-07-12 | Novellus Systems, Inc. | Suppression of parasitic deposition in a substrate processing system by suppressing precursor flow and plasma outside of substrate region |
| TWI469179B (en) * | 2012-11-27 | 2015-01-11 | Ind Tech Res Inst | Plasma apparatus |
| JP6043968B2 (en) | 2013-10-30 | 2016-12-14 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | Plasma processing method and electronic device manufacturing method |
| US9617638B2 (en) | 2014-07-30 | 2017-04-11 | Lam Research Corporation | Methods and apparatuses for showerhead backside parasitic plasma suppression in a secondary purge enabled ALD system |
| US12087573B2 (en) | 2019-07-17 | 2024-09-10 | Lam Research Corporation | Modulation of oxidation profile for substrate processing |
-
1994
- 1994-12-01 JP JP32932994A patent/JP3422583B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9362137B2 (en) | 2014-08-18 | 2016-06-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Plasma treating apparatus, substrate treating method, and method of manufacturing a semiconductor device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07312348A (en) | 1995-11-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3422583B2 (en) | Processing equipment | |
| KR102690416B1 (en) | Film formation method and film formation equipment | |
| KR100283853B1 (en) | Plasma process apparatus | |
| KR100445018B1 (en) | Method and Apparatus for Metallizing High Aspect Ratio Silicon Semiconductor Device Contacts | |
| US6544380B2 (en) | Plasma treatment method and apparatus | |
| TWI469238B (en) | Plasma etching treatment device and plasma etching treatment method | |
| US6579730B2 (en) | Monitoring process for oxide removal | |
| TWI449100B (en) | Method and system for distributing gas for a bevel edge etcher | |
| US5942282A (en) | Method for depositing a titanium film | |
| EP0562035A4 (en) | Minimization of particle generation in cvd reactors and methods | |
| JP5583413B2 (en) | Apparatus and method for depositing on large area substrates | |
| KR20000062671A (en) | Method for forming a barrier layer for use in a copper interconnect | |
| TW201737296A (en) | Symmetric plasma source to generate pie shaped treatment | |
| JPH07335626A (en) | Plasma processing device and method | |
| JP3276514B2 (en) | Plasma processing equipment | |
| TW201729649A (en) | Plasma processing method | |
| CN101106070A (en) | Process gas introducing mechanism and plasma processing device | |
| EP0841838B1 (en) | Plasma treatment apparatus and plasma treatment method | |
| JPH06196421A (en) | Plasma device | |
| US5897740A (en) | Plasma processing system | |
| US6435197B2 (en) | Method of cleaning a semiconductor fabricating apparatus | |
| US6092486A (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing method | |
| EP0749148B1 (en) | Plasma processing apparatus | |
| JP4193255B2 (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing method | |
| JPH07273092A (en) | Plasma treatment apparatus and its cleaning method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030408 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090425 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120425 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120425 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150425 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |