JP3419776B2 - 遠隔領域真空調節器 - Google Patents
遠隔領域真空調節器Info
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Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は流体、特に気体の流量を調節する装置に関す
る。
る。
背景技術
加熱、換気、空調システム（HVAC）、及び家庭排気シ
ステムにおいては、複数の抵抗体を用いて建造物中の複
数の箇所に出入りする空気の流量を低下させ空気の流れ
を制御するのが一般的である。一つの抵抗体を調節する
と、システム全体の圧力レベルが変化する。システム内
の圧力に変化が起こると、他の全ての抵抗体を通過する
全ての空気の流量に影響を与える。かくして１箇所にお
いて抵抗体を調節すると、他の箇所における抵抗体との
相互干渉（クロストーク）を起こさせる。
ステムにおいては、複数の抵抗体を用いて建造物中の複
数の箇所に出入りする空気の流量を低下させ空気の流れ
を制御するのが一般的である。一つの抵抗体を調節する
と、システム全体の圧力レベルが変化する。システム内
の圧力に変化が起こると、他の全ての抵抗体を通過する
全ての空気の流量に影響を与える。かくして１箇所にお
いて抵抗体を調節すると、他の箇所における抵抗体との
相互干渉（クロストーク）を起こさせる。
空調システム工業が直面する最も複雑な問題の一つは
処理室、すなわち集積回路チップの製造に用いられるク
リーンルーム、又は実験室から吹き出す潜在的な危険性
を回避するため大気圧以下に保たれた医学用又は生物工
学用の実験室を通して流れる空気の流量を制御すること
である。処理装置やヒュームフードを有する他の作業所
を通して処理室から空気が出てゆく場合があり得る。か
かる装置においては、有害煙霧又は危険な微生物が処理
装置又はヒュームフードから漏洩して、その近くの個人
的な作業を危険にさらすことがないよう、通常、部分真
空を保つことが望まれている。製造中の集積回路チップ
のを欠陥を最小にするため処理装置を一定の部分真空に
維持することがしばしば重要となる。処理装置によって
は極く低度の部分真空を維持することが重要となる場合
がある。
処理室、すなわち集積回路チップの製造に用いられるク
リーンルーム、又は実験室から吹き出す潜在的な危険性
を回避するため大気圧以下に保たれた医学用又は生物工
学用の実験室を通して流れる空気の流量を制御すること
である。処理装置やヒュームフードを有する他の作業所
を通して処理室から空気が出てゆく場合があり得る。か
かる装置においては、有害煙霧又は危険な微生物が処理
装置又はヒュームフードから漏洩して、その近くの個人
的な作業を危険にさらすことがないよう、通常、部分真
空を保つことが望まれている。製造中の集積回路チップ
のを欠陥を最小にするため処理装置を一定の部分真空に
維持することがしばしば重要となる。処理装置によって
は極く低度の部分真空を維持することが重要となる場合
がある。
発明の開示
本発明は一定の部分真空を遠隔領域で制御するのに用
いられる調節器の提供を目的としている。この調節器は
周囲環境から或る領域を通って排出装置へ流れる気体の
流量を制御する。この調節器の流体通路は調節器の入口
と出口との間のいずれの箇所においても通気されていな
いことが望ましい。この流体通路はその対向する側面が
第１及び第２板に隣接している。これら第１及び第２板
は概ね互いに平行であり、又なるべく丁番で可動的に取
付けられていることが望ましい。さらにこれら第１及び
第２板の各々は流体通路に面する導管側面と、基準圧力
に面する側面を有する。第１及び第２板の基準圧力側面
は基準圧力を受ける等しい面積を有し、第１及び第２板
の導管側面は通路中の流体圧力を受ける等しい面積を有
することが好ましい。
いられる調節器の提供を目的としている。この調節器は
周囲環境から或る領域を通って排出装置へ流れる気体の
流量を制御する。この調節器の流体通路は調節器の入口
と出口との間のいずれの箇所においても通気されていな
いことが望ましい。この流体通路はその対向する側面が
第１及び第２板に隣接している。これら第１及び第２板
は概ね互いに平行であり、又なるべく丁番で可動的に取
付けられていることが望ましい。さらにこれら第１及び
第２板の各々は流体通路に面する導管側面と、基準圧力
に面する側面を有する。第１及び第２板の基準圧力側面
は基準圧力を受ける等しい面積を有し、第１及び第２板
の導管側面は通路中の流体圧力を受ける等しい面積を有
することが好ましい。
第１及び第２板はそれらが対向して構成した通路中の
流量を可変的に制限する制限体を備えている。第１及び
第２板には、流量に対する制限が減少するような方向に
それらの板が強制的に運動するよう復元力を与える。
流量を可変的に制限する制限体を備えている。第１及び
第２板には、流量に対する制限が減少するような方向に
それらの板が強制的に運動するよう復元力を与える。
制限体は固定格子と可動格子とを含むことが望まし
い。固定格子は流体通路中に固定して動かないように配
設する。可動格子は、旋回可能に取付けられている板
に、その旋回点から離隔した点において丁番で取付けら
れている。そしてこれら固定格子と可動格子は互いに極
く接近して配設されているので、可動格子が固定格子と
の関係で運動すると流量に対する制限が変化する。
い。固定格子は流体通路中に固定して動かないように配
設する。可動格子は、旋回可能に取付けられている板
に、その旋回点から離隔した点において丁番で取付けら
れている。そしてこれら固定格子と可動格子は互いに極
く接近して配設されているので、可動格子が固定格子と
の関係で運動すると流量に対する制限が変化する。
好ましい実施例においては、長い流体通路又は通路の
絞りに起因する、領域と第１及び第２板との間における
圧力低下がある。第１板の基準圧力側面は領域の圧力を
受け、第２板の基準圧力側面は周囲環境の圧力を受け
る。
絞りに起因する、領域と第１及び第２板との間における
圧力低下がある。第１板の基準圧力側面は領域の圧力を
受け、第２板の基準圧力側面は周囲環境の圧力を受け
る。
或る実施例では、第１板は通路の上に設けられ、第２
板は通路の下に設けられ、復元力は第１及び第２板の重
量を含む。又好ましい実施例においては、第１及び第２
板の旋回点を中心とするトルクを発生するように、第１
及び第２板に重りを乗せる。
板は通路の下に設けられ、復元力は第１及び第２板の重
量を含む。又好ましい実施例においては、第１及び第２
板の旋回点を中心とするトルクを発生するように、第１
及び第２板に重りを乗せる。
又或る実施例では、可動格子は翼体の一部を含み、固
定格子は翼体の他の部分を含み、制限体が最小の制限位
置を占めると二つの翼部分が完全な翼体になる。
定格子は翼体の他の部分を含み、制限体が最小の制限位
置を占めると二つの翼部分が完全な翼体になる。
本発明は、数個の領域における部分真空が全て単一の
真空源に接続されて、一つの領域からの流量が変化する
と、他の領域のためにこの真空源の性能が明らかに変化
する場合に特に有用である。各領域用の独立の調節器を
使用することにより、一定の部分真空が各領域で維持さ
れる。
真空源に接続されて、一つの領域からの流量が変化する
と、他の領域のためにこの真空源の性能が明らかに変化
する場合に特に有用である。各領域用の独立の調節器を
使用することにより、一定の部分真空が各領域で維持さ
れる。
図面の簡単な説明
図１は、一対の基準圧力に基づく流量に対する制限を
変化させる調節器の断面を示す。
変化させる調節器の断面を示す。
図２は、ヒュームフードから調節器へ流れる流体中の
圧力低下がある場合、ヒュームフード中の一定の部分真
空を維持するため図１の調節器をどのように使用するか
を示す。
圧力低下がある場合、ヒュームフード中の一定の部分真
空を維持するため図１の調節器をどのように使用するか
を示す。
図３は、流量に対する制限を制御する図１の調節器に
作用する力を表わす。
作用する力を表わす。
図４は、その各々が、一対の基準圧力に基づく流量に
対する制限を変化させる、択一的な設計の二つの調節器
を有するシステムの断面を示す。
対する制限を変化させる、択一的な設計の二つの調節器
を有するシステムの断面を示す。
図５と６はそれぞれ、流体の流量を制限するのに使用
する、単一の２格子構造及び分割−翼体構造を示す。
する、単一の２格子構造及び分割−翼体構造を示す。
図７は、基準圧力と、調節器を流れる流体の圧力に基
づく流量に対する制限を変化させる調節器を示す。
づく流量に対する制限を変化させる調節器を示す。
実施例の説明
図１は本発明による装置を示す。この装置の構造は図
７に示す調節器の構造に類似している。図７の調節器は
米国特許第5,251,654号の図５乃至８に示された装置と
同じである。図１の装置は入口４から出口８へ通じる流
体導管10を有する。この流体導管10の対向側面に板55、
51が位置する。いづれの板も丁番で取付けられ、第１板
55が点85を中心に旋回し、第２板51が点84を中心に旋回
する。各板（55及び51）は共に、導管10に面する１側面
（それぞれ56及び52）を有し、その他の側面（それぞれ
57及び53）は独立の基準室（それぞれ74及び72）に面す
る。
７に示す調節器の構造に類似している。図７の調節器は
米国特許第5,251,654号の図５乃至８に示された装置と
同じである。図１の装置は入口４から出口８へ通じる流
体導管10を有する。この流体導管10の対向側面に板55、
51が位置する。いづれの板も丁番で取付けられ、第１板
55が点85を中心に旋回し、第２板51が点84を中心に旋回
する。各板（55及び51）は共に、導管10に面する１側面
（それぞれ56及び52）を有し、その他の側面（それぞれ
57及び53）は独立の基準室（それぞれ74及び72）に面す
る。
基準圧力側面57、53はそれぞれの基準室74、72に面す
る同じ面積を有することが望ましい。同様に、導管側面
56、52は、導管10に面する同じ面積を有することが望ま
しい。（両板の基準圧力側面57、53及び導管側面56、52
は平らであり、両板の運動方向に対して大体直角である
ことが望ましい。しかし、基準圧力側面57、53及び導管
側面56、52が両板55、51の運動方向に対して直角な平ら
な平面ではない場合は、基準圧力側面の有効面積、すな
わち両板の運動方向に対して直角な平面上の表面の露出
面積は、好ましい実施例においては、等しくすべきであ
り、同様に、導管側面の効果的な露出面積は、好ましい
実施例においては、等しくすべきである。） 可動格子96がヒンジ点87、86において両板55、51に取
付けられ、両板55、51が点85、84を中心に時計方向及び
反時計方向に回転すると、可動格子96が左右に運動す
る。可動格子96は両板55、51の分離を維持する。
る同じ面積を有することが望ましい。同様に、導管側面
56、52は、導管10に面する同じ面積を有することが望ま
しい。（両板の基準圧力側面57、53及び導管側面56、52
は平らであり、両板の運動方向に対して大体直角である
ことが望ましい。しかし、基準圧力側面57、53及び導管
側面56、52が両板55、51の運動方向に対して直角な平ら
な平面ではない場合は、基準圧力側面の有効面積、すな
わち両板の運動方向に対して直角な平面上の表面の露出
面積は、好ましい実施例においては、等しくすべきであ
り、同様に、導管側面の効果的な露出面積は、好ましい
実施例においては、等しくすべきである。） 可動格子96がヒンジ点87、86において両板55、51に取
付けられ、両板55、51が点85、84を中心に時計方向及び
反時計方向に回転すると、可動格子96が左右に運動す
る。可動格子96は両板55、51の分離を維持する。
もう一つの固定格子97が導管10の壁に、可動格子96と
接近して固定されている。両格子はそれらが有する孔が
互いに一致するよう並べることができる。このように並
べると、両格子の孔を通る通路は最も広くなり、流量に
対して最小の制限となる。停止装置33が設けられている
ので、可能格子96がその最小の制限位置から１方向に運
動することができる。可動格子96が固定格子97に関して
運動し、一方の格子の孔が他方の格子の孔に関して運動
すると、格子を通る通路（図５における参照番号88）は
狭くなり、格子による制限は大きくなる。通路88（又は
絞り）が極めて狭くなるまで、又は完全に閉じるまで格
子による制限が増加する。第２の停止装置34は可動格子
96がこの最も制限が大きい位置を通過して運動するのを
防止する。
接近して固定されている。両格子はそれらが有する孔が
互いに一致するよう並べることができる。このように並
べると、両格子の孔を通る通路は最も広くなり、流量に
対して最小の制限となる。停止装置33が設けられている
ので、可能格子96がその最小の制限位置から１方向に運
動することができる。可動格子96が固定格子97に関して
運動し、一方の格子の孔が他方の格子の孔に関して運動
すると、格子を通る通路（図５における参照番号88）は
狭くなり、格子による制限は大きくなる。通路88（又は
絞り）が極めて狭くなるまで、又は完全に閉じるまで格
子による制限が増加する。第２の停止装置34は可動格子
96がこの最も制限が大きい位置を通過して運動するのを
防止する。
格子96、97は図６と図７に示された分割−翼体構造と
して同じ機能を達成する。格子96、97は流れに乱れを与
え、その結果、分割−翼体構造よりも騒音が大きい。騒
音、そして多分制限の大きさを除いて性能上の大きな違
いを伴うことなく、格子を使用する実施例と分割−翼体
構造を使用する実施例において、格子と分割−翼体構造
を互いに入れ替えることができる。図６に示されるよう
な幾分複雑な分割−翼体構造は、図５に示される本質的
に単純な２−格子構造であり、翼体の一部が格子96、97
の各部材に取付けられている。翼体の後部が固定格子97
に、翼体の前部が可動格子96に取付けられている。両構
造共、可動部分96が固定部分97に関して移動すると通路
88を可変的に絞る。図１、２、５、及び６に示される実
施例では可動格子96は固定格子97の上流に位置するが、
固定格子97の下流に取付けてもよい。
して同じ機能を達成する。格子96、97は流れに乱れを与
え、その結果、分割−翼体構造よりも騒音が大きい。騒
音、そして多分制限の大きさを除いて性能上の大きな違
いを伴うことなく、格子を使用する実施例と分割−翼体
構造を使用する実施例において、格子と分割−翼体構造
を互いに入れ替えることができる。図６に示されるよう
な幾分複雑な分割−翼体構造は、図５に示される本質的
に単純な２−格子構造であり、翼体の一部が格子96、97
の各部材に取付けられている。翼体の後部が固定格子97
に、翼体の前部が可動格子96に取付けられている。両構
造共、可動部分96が固定部分97に関して移動すると通路
88を可変的に絞る。図１、２、５、及び６に示される実
施例では可動格子96は固定格子97の上流に位置するが、
固定格子97の下流に取付けてもよい。
左にある板55の基準圧力側面57は基準圧力室74に面
し、基準圧力室74は図２に示すようにヒュームフード20
のような装置の一部に導管73によって装置の一部に取付
けられている。右にある板51の基準圧力側面53は基準圧
力室72に面し、基準圧力室72は図２に示すように開口71
を通って周囲環境の圧力に通気される。
し、基準圧力室74は図２に示すようにヒュームフード20
のような装置の一部に導管73によって装置の一部に取付
けられている。右にある板51の基準圧力側面53は基準圧
力室72に面し、基準圧力室72は図２に示すように開口71
を通って周囲環境の圧力に通気される。
矢印99で表わされる復元トルクは板56、51を強制的に
右側に押す。その方向は通路88を開けるようなものであ
り、流量に対する格子96、97の制限を低下させる。両方
の板及び可動格子96の位置は、基準室74、72における圧
力及び復元トルクによって決定される。導管10の中の流
体の圧力は両方の板及び可動格子96の位置に直接的に影
響を与えない。なぜなら、導管側面56、52は同じ面積を
有し、これに作用する圧力は同じであるがその方向は互
いに反対であるからである。
右側に押す。その方向は通路88を開けるようなものであ
り、流量に対する格子96、97の制限を低下させる。両方
の板及び可動格子96の位置は、基準室74、72における圧
力及び復元トルクによって決定される。導管10の中の流
体の圧力は両方の板及び可動格子96の位置に直接的に影
響を与えない。なぜなら、導管側面56、52は同じ面積を
有し、これに作用する圧力は同じであるがその方向は互
いに反対であるからである。
板56、51間の導管10中の圧力は可動格子96の位置に影
響を与えないから、格子96、97は板56、51の上流（下
方）に位置しても良い。かかる実施例にあっては板56、
51が旋回点84、85から垂れ下がるように、旋回点84、85
がヒンジ点86、87の上方に位置してもよい。格子96、97
を通る通路を開けるように復元トルクを旋回点84、85の
一つの回りに与えるべきである。
響を与えないから、格子96、97は板56、51の上流（下
方）に位置しても良い。かかる実施例にあっては板56、
51が旋回点84、85から垂れ下がるように、旋回点84、85
がヒンジ点86、87の上方に位置してもよい。格子96、97
を通る通路を開けるように復元トルクを旋回点84、85の
一つの回りに与えるべきである。
図３は可動格子96の位置に影響を与えるいろいろな力
を示す。ヒュームフード20又は他の領域の中の圧力（P
REG）が導管73を通して旋回点84、85の回りに時計回り
の方向のトルクを与える。環境の圧力（PENV）が旋回点
84、85の回りに反時計回り方向のトルクを与える。通常
の操作中、流体は環境からヒュームフードに流れ、左に
ある板の基準側面57にかかる圧力は右にある板の基準側
面53にかかる圧力より低い。この圧力差があることと、
両板の面積（Ａ）が同じであることにより、基準圧力
（PREG及びPENV）が正味の反時計回りの方向のトルクを
与え、これは通路88を狭くする。領域20と環境との間の
圧力差が大きいとこのトルクも大きくなる。
を示す。ヒュームフード20又は他の領域の中の圧力（P
REG）が導管73を通して旋回点84、85の回りに時計回り
の方向のトルクを与える。環境の圧力（PENV）が旋回点
84、85の回りに反時計回り方向のトルクを与える。通常
の操作中、流体は環境からヒュームフードに流れ、左に
ある板の基準側面57にかかる圧力は右にある板の基準側
面53にかかる圧力より低い。この圧力差があることと、
両板の面積（Ａ）が同じであることにより、基準圧力
（PREG及びPENV）が正味の反時計回りの方向のトルクを
与え、これは通路88を狭くする。領域20と環境との間の
圧力差が大きいとこのトルクも大きくなる。
この反時計回りの方向のトルクは時計回りの方向のト
ルクＴ（図１において矢印99で表わされている）の分だ
け相殺されている。旋回点84、85のいずれの回りにトル
クを与えても効果は同じである。この時計回りの方向の
復元トルク（真空源が除去された場合仮定される位置、
すなわち最小の制限位置に調節器を復元させるので「復
元」と呼ぶ）を発生させるには多くの方法がある。圧縮
したばねを左にある基準室74内に設けて、左側の板の面
57を押すようにするか、或いは張力を与えたばねを右側
の基準室72内に設けて、右側の板51を右方に引っ張るよ
うにする。トルクを与える他の装置としては、直流電気
モータのストール条件（stalled condition）（本質的
に電磁力を用いる方法）における使用や、空気式又は液
圧式制御装置に見られるピストンとシリンダの使用を含
む。
ルクＴ（図１において矢印99で表わされている）の分だ
け相殺されている。旋回点84、85のいずれの回りにトル
クを与えても効果は同じである。この時計回りの方向の
復元トルク（真空源が除去された場合仮定される位置、
すなわち最小の制限位置に調節器を復元させるので「復
元」と呼ぶ）を発生させるには多くの方法がある。圧縮
したばねを左にある基準室74内に設けて、左側の板の面
57を押すようにするか、或いは張力を与えたばねを右側
の基準室72内に設けて、右側の板51を右方に引っ張るよ
うにする。トルクを与える他の装置としては、直流電気
モータのストール条件（stalled condition）（本質的
に電磁力を用いる方法）における使用や、空気式又は液
圧式制御装置に見られるピストンとシリンダの使用を含
む。
既述の装置の代わりにか、組合わせるか、或いは対照
的なものとして使用してもよい、トルクを与える他の装
置としては、旋回点84、85の一つに取付けた重りを使用
することである。両板の重量がこの方法に利用される。
このような方法の一つに、図７に示される調節器のよう
に、調節器を左側に取付けてもよい。可動格子96及び両
板55、51の重量が通路88を開けて調節器による流量の制
限を低下させる（すなわち、本出願の図１及び２におけ
るその方向から時計回りの方向に90度回った）。両板の
重量は、ばね、直流電気モータ、又は他の装置で相殺し
てよい。
的なものとして使用してもよい、トルクを与える他の装
置としては、旋回点84、85の一つに取付けた重りを使用
することである。両板の重量がこの方法に利用される。
このような方法の一つに、図７に示される調節器のよう
に、調節器を左側に取付けてもよい。可動格子96及び両
板55、51の重量が通路88を開けて調節器による流量の制
限を低下させる（すなわち、本出願の図１及び２におけ
るその方向から時計回りの方向に90度回った）。両板の
重量は、ばね、直流電気モータ、又は他の装置で相殺し
てよい。
本出願の図３に示されるように、釣合い重り90を旋回
点84の下に（板51からの旋回点とは反対の側に）取付け
てトルクを与えるようにしてもよい。重り90によって与
えられたトルクは、可動格子96、及び旋回点85、84の上
の板55、51のこれら部分の重量で発生したトルクとは反
対である。この実施例では、重りで与えられたトルクは
それに反するトルクより大きくなくてはならない。（代
りに重り90は、旋回点84に取付けられその右側から延び
る水平若しくは略水平な棒に取付けられ、板51は旋回点
84から概ね上方に延びるようにしてもよい。） トルクを与えるため如何なる装置の組合わせが利用さ
れようとも、旋回点の回りのトルクの合計は、調節器を
通る流れがないときに、通路88を開けるような値でなけ
れならない。好ましい実施例では、所望の部分真空を維
持するためには小さな復元トルクが要求されるだけであ
る。
点84の下に（板51からの旋回点とは反対の側に）取付け
てトルクを与えるようにしてもよい。重り90によって与
えられたトルクは、可動格子96、及び旋回点85、84の上
の板55、51のこれら部分の重量で発生したトルクとは反
対である。この実施例では、重りで与えられたトルクは
それに反するトルクより大きくなくてはならない。（代
りに重り90は、旋回点84に取付けられその右側から延び
る水平若しくは略水平な棒に取付けられ、板51は旋回点
84から概ね上方に延びるようにしてもよい。） トルクを与えるため如何なる装置の組合わせが利用さ
れようとも、旋回点の回りのトルクの合計は、調節器を
通る流れがないときに、通路88を開けるような値でなけ
れならない。好ましい実施例では、所望の部分真空を維
持するためには小さな復元トルクが要求されるだけであ
る。
好ましい実施例では、重り90は滑動自在に棒に取付け
所望の部分真空の調節が可能になるようにしてもよい。
実際には、ヒュームフード20が据付られる際、ヒューム
フード20用に適切な部分真空を得るため、重り90は一旦
セットされることが予測される。しかしもし制御器が部
分的な真空を変化させることが望ましいなら、ステップ
モータにより、棒に沿って重りを運動させ復元トルクを
変え（米国特許第5,251,654号の図４に示された滑動自
在の重りのように）てもよい。
所望の部分真空の調節が可能になるようにしてもよい。
実際には、ヒュームフード20が据付られる際、ヒューム
フード20用に適切な部分真空を得るため、重り90は一旦
セットされることが予測される。しかしもし制御器が部
分的な真空を変化させることが望ましいなら、ステップ
モータにより、棒に沿って重りを運動させ復元トルクを
変え（米国特許第5,251,654号の図４に示された滑動自
在の重りのように）てもよい。
図２の装置では、調整器はヒュームフード20、又は処
理室又は他の環境に設けた他の処理装置に取付けられて
いる。環境から空気が流れ、ヒュームフード20のドアー
26を通ってヒュームフード20に入り、有害気体、微生
物、又は他の潜在的な危険な汚染物質を吸収する。一般
的には環境からヒュームフード20への流量への制限は変
化する。これはヒュームフード20のドアー26が開閉する
からである。ドアー26が開くと、環境からヒュームフー
ド20への流量に対する制限は減少する。ドアー26が閉じ
られると、ドアーによる流量に対する制限は増加する。
装置を通過した後、空気は抵抗６を通過して引張られ
る。これは流体導管４の狭い部分、或いは調節器に通じ
る導管の長い全長に起因する。抵抗６はそこを通る空気
の実質的な圧力低下を起こさせる。調節器の出口８を通
って流れた後、空気は真空源に引張られる。
理室又は他の環境に設けた他の処理装置に取付けられて
いる。環境から空気が流れ、ヒュームフード20のドアー
26を通ってヒュームフード20に入り、有害気体、微生
物、又は他の潜在的な危険な汚染物質を吸収する。一般
的には環境からヒュームフード20への流量への制限は変
化する。これはヒュームフード20のドアー26が開閉する
からである。ドアー26が開くと、環境からヒュームフー
ド20への流量に対する制限は減少する。ドアー26が閉じ
られると、ドアーによる流量に対する制限は増加する。
装置を通過した後、空気は抵抗６を通過して引張られ
る。これは流体導管４の狭い部分、或いは調節器に通じ
る導管の長い全長に起因する。抵抗６はそこを通る空気
の実質的な圧力低下を起こさせる。調節器の出口８を通
って流れた後、空気は真空源に引張られる。
図２に示された装置は、環境との関連でヒュームフー
ド20内の部分真空を制御する。たとえヒュームフード20
のドアー26が十分開けられても（真空源の強度は十分で
あると仮定して）、一定の部分真空はヒュームフードへ
の一定の空気速度をつくりだす。一定の部分真空、気体
速度を維持するためヒュームフード10への容積流量は変
化しなければならない。図２に示された装置は部分真空
を維持するための変化に迅速に対応する。
ド20内の部分真空を制御する。たとえヒュームフード20
のドアー26が十分開けられても（真空源の強度は十分で
あると仮定して）、一定の部分真空はヒュームフードへ
の一定の空気速度をつくりだす。一定の部分真空、気体
速度を維持するためヒュームフード10への容積流量は変
化しなければならない。図２に示された装置は部分真空
を維持するための変化に迅速に対応する。
もし環境からヒュームフード20又は他の装置への流量
がさらに制限される（ドアー26が閉じられている場合の
ように）と、ヒュームフード20内の圧力（PREG）の一時
的な圧力低下を生じる。ヒュームフード20がもし図１の
調節器なしに真空源に直接取付けられていると、PREGは
低下したままであろう。図２に示された装置では、ヒュ
ームフード20の圧力、PREGにおける圧力低下は基準室74
の圧力低下の原因となる。PREGにおける圧力低下と、環
境の圧力、PENVが同じ値を維持したままであることか
ら、板55、51、及び可動格子96は左側に運動し、これに
より通路88を狭くする。通路88が狭くなると、ヒューム
フード20と真空源間の制限が大きくなり、ヒュームフー
ド20と環境間の増加した制限を相殺し、ヒュームフード
20における一定の部分真空が維持される。
がさらに制限される（ドアー26が閉じられている場合の
ように）と、ヒュームフード20内の圧力（PREG）の一時
的な圧力低下を生じる。ヒュームフード20がもし図１の
調節器なしに真空源に直接取付けられていると、PREGは
低下したままであろう。図２に示された装置では、ヒュ
ームフード20の圧力、PREGにおける圧力低下は基準室74
の圧力低下の原因となる。PREGにおける圧力低下と、環
境の圧力、PENVが同じ値を維持したままであることか
ら、板55、51、及び可動格子96は左側に運動し、これに
より通路88を狭くする。通路88が狭くなると、ヒューム
フード20と真空源間の制限が大きくなり、ヒュームフー
ド20と環境間の増加した制限を相殺し、ヒュームフード
20における一定の部分真空が維持される。
同様に、装置のドアー26が開けられているときのよう
に、環境からヒュームフード20への流れに対する制限が
減少すると、PENVが瞬間的に増加し、順次、板55、51、
及び可動格子96が右側に運動する。この可動格子96の運
動は領域20と真空源間の制限を減少させ、装置内のいか
なる一時的の圧力上昇をも減殺する。
に、環境からヒュームフード20への流れに対する制限が
減少すると、PENVが瞬間的に増加し、順次、板55、51、
及び可動格子96が右側に運動する。この可動格子96の運
動は領域20と真空源間の制限を減少させ、装置内のいか
なる一時的の圧力上昇をも減殺する。
同様に環境の圧力、PENVが増加すると、可動格子96を
左側に運動させ基準圧力室74、72間で一定の圧力差を維
持する。この方向に可動格子96が運動すると、領域20と
真空源間の流量に対する制限が増加し、領域20の圧力を
増加させ、一定の部分真空を維持する。同様に環境の圧
力が低下すると、可動格子96を右側に運動させ基準圧力
室74、72間の一定の圧力差を維持し、これによって領域
20と環境間の一定の圧力差、すなわち装置内の一定の部
分真空を維持する。
左側に運動させ基準圧力室74、72間で一定の圧力差を維
持する。この方向に可動格子96が運動すると、領域20と
真空源間の流量に対する制限が増加し、領域20の圧力を
増加させ、一定の部分真空を維持する。同様に環境の圧
力が低下すると、可動格子96を右側に運動させ基準圧力
室74、72間の一定の圧力差を維持し、これによって領域
20と環境間の一定の圧力差、すなわち装置内の一定の部
分真空を維持する。
図２の装置は、流れ調節器間の「相互干渉」が生じた
とき、すなわち共通の真空ポンプへの他の平行な流体路
における流量が変化する際起り得る真空源の性能の変動
があっても、殆ど一定の部分真空を維持することができ
る。もし調節器が真空源と装置間に取付けられていない
とき、真空源の性能が大きくなると、領域の圧力、PPEG
が低下する。しかし図２の装置では、真空源の性能が大
きくなり始めると、領域20における圧力が僅かに低下
し、可動格子96を左側に運動させ、領域20と真空源間の
流量に対する制限を増加させ、これにより真空源の性能
の増加を相殺する。同様に真空源の性能が低下すると、
可動格子96を右側に運動させ、調節器の流量に対する制
限を減少させ、これにより真空源の性能の減少を相殺す
る。
とき、すなわち共通の真空ポンプへの他の平行な流体路
における流量が変化する際起り得る真空源の性能の変動
があっても、殆ど一定の部分真空を維持することができ
る。もし調節器が真空源と装置間に取付けられていない
とき、真空源の性能が大きくなると、領域の圧力、PPEG
が低下する。しかし図２の装置では、真空源の性能が大
きくなり始めると、領域20における圧力が僅かに低下
し、可動格子96を左側に運動させ、領域20と真空源間の
流量に対する制限を増加させ、これにより真空源の性能
の増加を相殺する。同様に真空源の性能が低下すると、
可動格子96を右側に運動させ、調節器の流量に対する制
限を減少させ、これにより真空源の性能の減少を相殺す
る。
かくして、図２の装置は環境圧力の変動、真空源の性
能、及びヒュームフード20のドアー26の開閉に極めて迅
速に対応することができる。
能、及びヒュームフード20のドアー26の開閉に極めて迅
速に対応することができる。
調節器を正しく機能させるためには一定の条件が必要
である。所望の部分真空を得るためには、真空源は基準
圧力室74、72間で必要な圧力差を得るのに十分な性能を
要する。又環境と装置間の制限な大き過ぎても小さ過ぎ
てもいけない。例えばもし装置が環境から密封されてい
るとき可動格子96は可能な限り左側に押され（その結果
可動格子96は停止装置34に衝突する）、これにより流量
への制限が大きくなる。かかる状況では、右側の基準室
72と導管10を分離する効果的なシール（可撓性薄膜のよ
うな）がない限り、右側の基準室72からの空気は右側の
板51を通過して吸引されるかもしれない。（格子が流量
に対し最大の制限を与える位置として、領域20から真空
源へのある程度の流れがあるように設計するのがよ
い。）もし環境と領域20間の流量の制限が余りに小さい
と可動格子96は右側に押され（その結果可動格子96は停
止装置33に衝突する）、結果として僅かな制限となる。
である。所望の部分真空を得るためには、真空源は基準
圧力室74、72間で必要な圧力差を得るのに十分な性能を
要する。又環境と装置間の制限な大き過ぎても小さ過ぎ
てもいけない。例えばもし装置が環境から密封されてい
るとき可動格子96は可能な限り左側に押され（その結果
可動格子96は停止装置34に衝突する）、これにより流量
への制限が大きくなる。かかる状況では、右側の基準室
72と導管10を分離する効果的なシール（可撓性薄膜のよ
うな）がない限り、右側の基準室72からの空気は右側の
板51を通過して吸引されるかもしれない。（格子が流量
に対し最大の制限を与える位置として、領域20から真空
源へのある程度の流れがあるように設計するのがよ
い。）もし環境と領域20間の流量の制限が余りに小さい
と可動格子96は右側に押され（その結果可動格子96は停
止装置33に衝突する）、結果として僅かな制限となる。
このような状況では、領域20において所望した程の部
分真空度にはならない。（停止装置34、又は33のいずれ
かに衝突するとき信号を発生する電気接点、又は他の形
式のセンサ若しくはスイッチは用いられる。） 上述のように図７は図１の装置の構造に幾分類似する
構造の装置を示す。垂直方向に構成した図１の装置と異
なり、図７の装置は水平方向に構成されている。この装
置は復元トルクを発生するため板51、55の重量を用いて
いる。そして図７の装置は流量に対して制限を与えるた
めに、図１の装置で用いた騒音が大きい制限構造の代わ
りに、分割−翼体構造を使用している。勿論図１の装置
は水平方向の配列を目的とし、分割−翼体による制限構
造を使用している。
分真空度にはならない。（停止装置34、又は33のいずれ
かに衝突するとき信号を発生する電気接点、又は他の形
式のセンサ若しくはスイッチは用いられる。） 上述のように図７は図１の装置の構造に幾分類似する
構造の装置を示す。垂直方向に構成した図１の装置と異
なり、図７の装置は水平方向に構成されている。この装
置は復元トルクを発生するため板51、55の重量を用いて
いる。そして図７の装置は流量に対して制限を与えるた
めに、図１の装置で用いた騒音が大きい制限構造の代わ
りに、分割−翼体構造を使用している。勿論図１の装置
は水平方向の配列を目的とし、分割−翼体による制限構
造を使用している。
図７の装置における下部基準室72は、好ましい実施例
では、図２に示された装置と同様に、開口71を通して環
境の圧力を受けている。しかし、図７の装置における上
部室74は、部分真空が維持されている領域に直接通気さ
れていない。その代わりに上部室74は導管中で流体に通
気されている。上部板の下部側面56にかかる圧力は、下
部板の上部側面52が受けている圧力と同じである。
では、図２に示された装置と同様に、開口71を通して環
境の圧力を受けている。しかし、図７の装置における上
部室74は、部分真空が維持されている領域に直接通気さ
れていない。その代わりに上部室74は導管中で流体に通
気されている。上部板の下部側面56にかかる圧力は、下
部板の上部側面52が受けている圧力と同じである。
可撓性薄膜77が導管10中の流体から下部基準室62を分
離するために用いられる。可撓性薄膜77の外側にかかる
下部板の基準圧力側面53の部分は、上部基準室74にかか
る圧力と同じ圧力を受けている。（可撓性薄膜は図１の
実施例でも導管10から基準室72、72を共に分離するため
使用してよい。図１の装置の二つの基準室間の所望の圧
力差を維持するため、それぞれの基準圧力である、PENV
とPREGを受けている基準圧力側面57、53の面積を殆ど同
じにしなければならない。） 図７の装置の可動格子96の位置は、上部基準室74内の
圧力、下部基準室72内の圧力、下部室72内の圧力を受け
ている下部板の下部面53の面積、及び復元トルク99（こ
れは板55、51の重量、及び分割−翼構造96の可動部分に
起因し、釣合い重り、バネ、又は他の装置により減少又
は増大させ得る）に依存する。可動格子96の位置、すな
わち導管を通る流量に与える制限の大きさは、図１の装
置と異なり導管10中の圧力の影響を受ける。
離するために用いられる。可撓性薄膜77の外側にかかる
下部板の基準圧力側面53の部分は、上部基準室74にかか
る圧力と同じ圧力を受けている。（可撓性薄膜は図１の
実施例でも導管10から基準室72、72を共に分離するため
使用してよい。図１の装置の二つの基準室間の所望の圧
力差を維持するため、それぞれの基準圧力である、PENV
とPREGを受けている基準圧力側面57、53の面積を殆ど同
じにしなければならない。） 図７の装置の可動格子96の位置は、上部基準室74内の
圧力、下部基準室72内の圧力、下部室72内の圧力を受け
ている下部板の下部面53の面積、及び復元トルク99（こ
れは板55、51の重量、及び分割−翼構造96の可動部分に
起因し、釣合い重り、バネ、又は他の装置により減少又
は増大させ得る）に依存する。可動格子96の位置、すな
わち導管を通る流量に与える制限の大きさは、図１の装
置と異なり導管10中の圧力の影響を受ける。
図７の装置では二つの板を用いるのが望ましいが、下
部板だけを備える実施例が可能であることが理解される
であろう。上部板を使用する代わりにガイドを導管の壁
に取付けて、可動格子が落下するのを防止し、導管を通
る流れに対して直角方向に向いた可動格子を維持する。
（この実施例は、可動部が丁番で板に取付けられた分割
−翼構造が米国特許第5,251,654号の図１に示されたピ
ストンの上向き区分の代わりに可変制限装置として用い
られたことを除き、米国特許第5,251,654号の図１に示
された装置に類似している。）かかる単一板の実施例に
おける可動格子の位置は、導管を通る流れによって起こ
るベルヌ−イ効果の影響を受けた、下部板に跨がる圧力
差如何による。かかる実施例は導管10を通る流量を制御
するのに良く適しており、図１及び７に示された実施例
は一定の部分真空を維持するのに良く適している。
部板だけを備える実施例が可能であることが理解される
であろう。上部板を使用する代わりにガイドを導管の壁
に取付けて、可動格子が落下するのを防止し、導管を通
る流れに対して直角方向に向いた可動格子を維持する。
（この実施例は、可動部が丁番で板に取付けられた分割
−翼構造が米国特許第5,251,654号の図１に示されたピ
ストンの上向き区分の代わりに可変制限装置として用い
られたことを除き、米国特許第5,251,654号の図１に示
された装置に類似している。）かかる単一板の実施例に
おける可動格子の位置は、導管を通る流れによって起こ
るベルヌ−イ効果の影響を受けた、下部板に跨がる圧力
差如何による。かかる実施例は導管10を通る流量を制御
するのに良く適しており、図１及び７に示された実施例
は一定の部分真空を維持するのに良く適している。
板51に近接する導管10の圧力が領域20における圧力に
同じような値であるときは、図７に示された装置が領域
20における一定の部分真空を維持するのに良く適してい
る。しかしながら、板55、51と領域20との間の実質的な
圧力低下があるときは、図７の装置は或る領域の部分真
空を維持するための図１の装置のようには良く適しいて
いない。処理装置のなかには真空源への接続のための狭
い出口だけを有するものがある。又調節器のなかには装
置20からかなり下流の真空導管中に取付けなければなら
ないものがある。これらの場合に、大きな圧力低下が装
置と調節器との間に起こるかもしれず、その結果調節器
の内側の導管10内の圧力は装置20内の圧力とは実質的に
異なるかもしれない。図１の装置による流れの制限は導
管10内の圧力とは無関係であるので、上記のような状況
において一定の部分真空を維持するのに良く適してい
る。
同じような値であるときは、図７に示された装置が領域
20における一定の部分真空を維持するのに良く適してい
る。しかしながら、板55、51と領域20との間の実質的な
圧力低下があるときは、図７の装置は或る領域の部分真
空を維持するための図１の装置のようには良く適しいて
いない。処理装置のなかには真空源への接続のための狭
い出口だけを有するものがある。又調節器のなかには装
置20からかなり下流の真空導管中に取付けなければなら
ないものがある。これらの場合に、大きな圧力低下が装
置と調節器との間に起こるかもしれず、その結果調節器
の内側の導管10内の圧力は装置20内の圧力とは実質的に
異なるかもしれない。図１の装置による流れの制限は導
管10内の圧力とは無関係であるので、上記のような状況
において一定の部分真空を維持するのに良く適してい
る。
図７の装置による流量の制限は下部板51に接近してい
る導管10内の圧力に依存するので、もし装置が或る領域
中の一定の部分真空を維持するために使用されるのであ
れば、格子96、97は板51の下流に設けなくてはならな
い。さもなければ、格子96、97は領域と下部板の上面52
との間の変動する圧力低下の原因となり、装置は領域中
の一定の部分真空を環境との関連で維持することができ
なくなるであろう。
る導管10内の圧力に依存するので、もし装置が或る領域
中の一定の部分真空を維持するために使用されるのであ
れば、格子96、97は板51の下流に設けなくてはならな
い。さもなければ、格子96、97は領域と下部板の上面52
との間の変動する圧力低下の原因となり、装置は領域中
の一定の部分真空を環境との関連で維持することができ
なくなるであろう。
しかし、もし調節器を空気供給と領域との間に取付
け、その領域と環境間の一定の圧力差を維持することが
望ましく、しかも領域の圧力が環境の圧力より高い場合
は、格子96、97は板55、51の上流に設けなくてはならな
い。板55、51が旋回する旋回点85、84は板55、51の下流
に設けなくてはならない。加えて、下部室72は導管圧力
に通気されなくてはならず、上部室の圧力は環境に通気
されなくてはならない。導管10は直接この領域に接続さ
れ、その結果、下部板の下面にかかる圧力は前記領域の
圧力、これは環境の圧力より高いが、と同じにならなけ
ればならない。この上部室と下部室との圧力差は板55、
51を上方に押し上げ、これによって格子96、97がさらに
流量を制限する。復元トルクは板55、51と可動格子96の
重量によって簡単に発生し、これが格子96、97を通る通
路を開ける。
け、その領域と環境間の一定の圧力差を維持することが
望ましく、しかも領域の圧力が環境の圧力より高い場合
は、格子96、97は板55、51の上流に設けなくてはならな
い。板55、51が旋回する旋回点85、84は板55、51の下流
に設けなくてはならない。加えて、下部室72は導管圧力
に通気されなくてはならず、上部室の圧力は環境に通気
されなくてはならない。導管10は直接この領域に接続さ
れ、その結果、下部板の下面にかかる圧力は前記領域の
圧力、これは環境の圧力より高いが、と同じにならなけ
ればならない。この上部室と下部室との圧力差は板55、
51を上方に押し上げ、これによって格子96、97がさらに
流量を制限する。復元トルクは板55、51と可動格子96の
重量によって簡単に発生し、これが格子96、97を通る通
路を開ける。
同様に図１に示された装置によって空気源を或る領域
に接続し、この領域の圧力を一定のレベルで環境よりも
高い圧力に維持するようにしてもよい。かかる応用を効
果的にするには、左側の基準室74を環境と通気し、右側
の基準室72をその領域に接続する。装置の頂部は真空源
の代わりに空気源に接続し、装置の底部は或る領域に接
続したままにする。環境の圧力が低下し、或るいは空気
源からの空気の圧力が高くなると、流量に対する制限が
大きくなる。環境の圧力が上昇し、或るいは空気源から
の空気の圧力が低下すると、流量に対する制限が小さく
なる。復元トルクが格子96、97を通る通路を開ける。可
動格子96の位置は導管10内の圧力の直接の影響を受けな
いので、格子96、97は板55、51の上方又は下方に取り付
けてもよい。
に接続し、この領域の圧力を一定のレベルで環境よりも
高い圧力に維持するようにしてもよい。かかる応用を効
果的にするには、左側の基準室74を環境と通気し、右側
の基準室72をその領域に接続する。装置の頂部は真空源
の代わりに空気源に接続し、装置の底部は或る領域に接
続したままにする。環境の圧力が低下し、或るいは空気
源からの空気の圧力が高くなると、流量に対する制限が
大きくなる。環境の圧力が上昇し、或るいは空気源から
の空気の圧力が低下すると、流量に対する制限が小さく
なる。復元トルクが格子96、97を通る通路を開ける。可
動格子96の位置は導管10内の圧力の直接の影響を受けな
いので、格子96、97は板55、51の上方又は下方に取り付
けてもよい。
図４は二つの分離したヒュームフード20、20′の中で
一定の部分真空を維持するよう平行に配設した調節器4
1、42を示す。図２の配置におけるように、抵抗６の型
によっては領域20、20′とそれぞれの調節器41、42との
間における実質的な圧力低下が起こる。この択一的な実
施例においては、板55、51は互いに堅固に結合されてお
り、流量への制限は下部板51のリムによって起こる。板
55、51及びこれらを結合する棒は、流量に対する制限を
減少させる復元力をつくりだす。上部基準室74は抵抗６
の上流の領域20又は20′に直接結合されている。下部基
準室72は環境に通気されており、この環境に対して領域
中の部分真空が維持される。
一定の部分真空を維持するよう平行に配設した調節器4
1、42を示す。図２の配置におけるように、抵抗６の型
によっては領域20、20′とそれぞれの調節器41、42との
間における実質的な圧力低下が起こる。この択一的な実
施例においては、板55、51は互いに堅固に結合されてお
り、流量への制限は下部板51のリムによって起こる。板
55、51及びこれらを結合する棒は、流量に対する制限を
減少させる復元力をつくりだす。上部基準室74は抵抗６
の上流の領域20又は20′に直接結合されている。下部基
準室72は環境に通気されており、この環境に対して領域
中の部分真空が維持される。
以上の構成により、たとへ一つのヒュームフードのド
アー及び他のヒュームフードのドアーガ開閉されても、
各ヒュームフードで一定の部分真空が維持される。ヒュ
ームフード20、20′の各々においては、各々の調節器の
ための異なる復元力、すなわち異なる重量の板55、51、
を与えるだけで異なる部分真空が維持される。
アー及び他のヒュームフードのドアーガ開閉されても、
各ヒュームフードで一定の部分真空が維持される。ヒュ
ームフード20、20′の各々においては、各々の調節器の
ための異なる復元力、すなわち異なる重量の板55、51、
を与えるだけで異なる部分真空が維持される。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F24F 7/04 - 7/06
Claims (21)
- 【請求項１】環境から領域を通って排出装置へ流れる気
体の流量を調節し、前記環境の圧力に関して概ね一定の
部分真空を前記領域中で維持するシステムであって、 前記領域から前記排出装置へ流れる気体が通過する流路
と、 前記流路に近接して設けた基準室と、 前記流路の対向側面に可動的に取付けた第１及び第２板
であって、二つの前記第１及び第２板は互いに概ね平行
関係にあり、両前記板共、前記流路に面する導管側面、
及び基準圧力側面を有し、前記第２板の基準圧力側面は
環境の圧力を受け、前記第１板の基準圧力側面は前記基
準室に面する、両前記板と、 前記領域から両前記板へ通じる前記流路中の実質的な圧
力低下を起こさせる流量制限体と、 前記領域を直接前記基準室に接続して前記流量制限体を
迂回し、前記基準室中の圧力を前記領域の圧力に等しく
させる基準導管と、 両前記板に接続され、前記流路を通過する流量を両前記
板の位置に基づいて可変的に制限する制限装置と、 両前記板を、流量の制限を小さくする方向に運動させる
復元装置と、を含んで成るシステム。 - 【請求項２】前記第１板及び第２板の基準圧力側面はそ
れぞれ前記領域の圧力と前記環境の圧力を受ける有効面
積を有し、前記第１板と第２板の有効面積は概ね互いに
等しい請求項１のシステム。 - 【請求項３】前記第１板及び第２板は丁番で取付けられ
て各番が旋回点回りに回転する請求項１のシステム。 - 【請求項４】前記第１板及び第２板の基準圧力側面はそ
れぞれ前記領域の圧力と前記環境の圧力を受ける有効面
積を有し、前記第１板及び第２板の有効面積は概ね互い
に等しい請求項３のシステム。 - 【請求項５】前記第１板は前記流路の上方に取付けら
れ、前記第２板は前記流路の下方に取付けられ、前記復
元装置は前記両板の重量を含む請求項３のシステム。 - 【請求項６】前記復元装置は前記両板に取付けられた重
りを含み、これにより両前記旋回点回りのトルクを与え
る請求項３のシステム。 - 【請求項７】前記制限装置は、前記流路中に配設され前
記流路に関して不動的である固定格子と、前記第１板及
び第２板に両前記旋回点から離隔したそれぞれの点にて
丁番で取付けられ、前記固定格子に近接して配設された
可動格子を含み、前記可動格子が前記固定格子に関して
運動すると流量への制限が変化する請求項３のシステ
ム。 - 【請求項８】前記第１板及び第２板の基準圧力側面はそ
れぞれ前記領域の圧力と前記環境の圧力を受ける有効面
積を有し、前記第１板と第２板の有効面積は概ね互いに
等しい請求項７のシステム。 - 【請求項９】前記第１板は前記流路の上方に取付けら
れ、前記第２板は前記流路の下方に取付けられ、前記復
元装置は前記両板と前記可動格子の重量を含む請求項７
のシステム。 - 【請求項１０】前記可動格子は翼体の第１部分を含み、
前記固定格子は翼体の第２部分を含み、前記制限装置が
最小の制限を与えるとき２つの前記翼体部分が完全な翼
体を形成する請求項７のシステム。 - 【請求項１１】前記復元装置は前記両板に取付けられた
重りを含み、これにより両前記旋回点回りのトルクを与
える請求項７のシステム。 - 【請求項１２】前記第１板及び第２板の基準圧力側面は
それぞれ前記領域の圧力と前記環境の圧力を受ける有効
面積を有し、前記第１板と第２板の有効面積は概ね互い
に等しい請求項11のシステム。 - 【請求項１３】流体の流量を調節する装置であって、 流体が通過する流路と、 前記流路の対向側面に丁番で取付けた第１及び第２板で
あって、各板は旋回点回りに回転し、第１及び第２板は
概ね互いに平行であり、両前記板共、前記流路に面する
導管側面、及び前記流路の反対側に位置する基準圧力側
面を有し、前記第１板の基準圧力側面は第１基準圧力を
受け、前記第２板の基準圧力側面は第２基準圧力を受け
る、両前記板と、 両前記板に取付けられ、前記流路中の流量を両前記板の
位置に基づいて可変的に制限する制限装置と、を含んで
成る装置。 - 【請求項１４】前記制限装置は、前記流路中に配設さ
れ、前記流路に関して不動的である固定格子と、前記第
１板及び第２板に両前記旋回点から離隔したそれぞれの
点にて丁番で取付けられ、前記固定格子に近接して配設
された可動格子を含み、前記可動格子が前記固定格子に
関して運動すると流量への制限が変化する請求項13の装
置。 - 【請求項１５】前記第１板及び第２板の基準圧力側面は
それぞれの基準圧力を受ける有効面積を有し、前記第１
板と第２板の有効面積は概ね互いに等しい請求項13の装
置。 - 【請求項１６】前記制限装置は、前記流路中に配設され
前記流路に関して不動的である固定格子と、前記第１板
及び第２板に両前記旋回点から離隔したそれぞれの点に
て丁番で取付けられ、前記固定格子に近接して配設され
た可動格子を含み、前記可動格子が前記固定格子に関し
て運動すると流量への制限が変化する請求項15の装置。 - 【請求項１７】両前記板を、流量の制限を小さくする方
向に運動させる復元装置をさらに含む請求項13の装置。 - 【請求項１８】前記復元装置は前記両板に取付けられた
重りを含み、これにより両前記旋回点回りのトルクを与
える請求項17の装置。 - 【請求項１９】前記制限装置は、前記流路中に配設され
前記流路に関して不動的である固定格子と、前記第１板
及び第２板に両前記旋回点から離隔したそれぞれの点に
て丁番で取付けられ、前記固定格子に近接して配設され
た可動格子を含み、前記可動格子が前記固定格子に関し
て運動すると流量への制限が変化する請求項17の装置。 - 【請求項２０】前記第１板及び第２板の基準圧力側面は
それぞれの基準圧力を受ける有効面積を有し、前記第１
板と第２板の有効面積は概ね互いに等しい請求項19の装
置。 - 【請求項２１】環境から第１及び第２領域を通って排出
装置へ流れる気体の流量を調節し、前記環境の圧力に関
して概ね一定の部分真空を前記二つの領域中で維持する
システムであって、 前記第１領域から前記排出装置へ流れる気体が通過する
第１流路と、 前記第２領域から前記排出装置へ流れる気体が通過する
第２流路と、 前記第１領域の対向側面に可動的に取付けた第１及び第
２板であって、２つの前記第１及び第２板は概ね互いに
平行であり、両前記板共、前記第１流路に面する導管側
面、及び基準圧力側面を有し、前記第２板の基準圧力側
面は環境の圧力を受け、前記第１板の基準圧力側面は第
１室に面し、該第１室は前記第１領域に直接接続され、
前記第１室中の圧力は前記第１領域の圧力に等しい、前
記第１及び第２板と、 前記第２流路の対向側面に可動的に取付けた第３及び第
４板であって、２つの前記第３及び第４板は概ね互いに
平行であり、両前記板共、前記第２流路に面する導管側
面、及び基準圧力側面を有し、前記第４板の基準圧力側
面は環境の圧力を受け、前記第３板の基準圧力側面は第
２室に面し、該第２室は前記第２領域に直接接続され、
前記第２室中の圧力は前記第２領域の圧力に等しい、前
記第３及び第４板と、 前記第１及び第２板に取付けられ、前記第１流路中の流
量を前記第１及び第２板の位置に基づいて可変的に制限
する第１制限装置と、 前記第３及び第４板に取付けられ、前記第２流路中の流
量を前記第３及び第４板の位置に基づいて可変的に制限
する第２制限装置と、 前記第１及び第２板を、前記第１流路中の流量への制限
を小さくする方向に運動させる第１復元装置と、 前記第３及び第４板を、前記第２流路中の流量への制限
を小さくする方向に運動させる第２復元装置と、を含ん
で成るシステム。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/965,907 | 1992-10-23 | ||
| US07/965,907 US5320124A (en) | 1988-04-07 | 1992-10-23 | Regulator adaptable for maintaining a constant partial vacuum in a remote region |
| PCT/US1993/010145 WO1994010617A1 (en) | 1992-10-23 | 1993-10-22 | Remote region vacuum regulator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08502813A JPH08502813A (ja) | 1996-03-26 |
| JP3419776B2 true JP3419776B2 (ja) | 2003-06-23 |
Family
ID=25510656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51119594A Expired - Fee Related JP3419776B2 (ja) | 1992-10-23 | 1993-10-22 | 遠隔領域真空調節器 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5320124A (ja) |
| EP (1) | EP0667006B1 (ja) |
| JP (1) | JP3419776B2 (ja) |
| KR (1) | KR100298992B1 (ja) |
| AT (1) | ATE177544T1 (ja) |
| CA (1) | CA2145654C (ja) |
| DE (1) | DE69323891T2 (ja) |
| WO (1) | WO1994010617A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5687760A (en) * | 1988-04-07 | 1997-11-18 | Palmer; David W. | Flow regulator |
| US5597011A (en) * | 1988-04-07 | 1997-01-28 | Palmer; David W. | Flow regulator |
| USRE36637E (en) * | 1988-04-07 | 2000-04-04 | Palmer; David W. | Flow regulator |
| US5873388A (en) * | 1996-06-07 | 1999-02-23 | Atmi Ecosys Corporation | System for stabilization of pressure perturbations from oxidation systems for treatment of process gases from semiconductor manufacturing operations |
| US6192922B1 (en) | 1999-06-01 | 2001-02-27 | Synetics Solutions Inc. | Airflow control valve for a clean room |
| US6688321B2 (en) | 2000-11-06 | 2004-02-10 | David W. Palmer | Method and apparatus for a flow regulator having an integral hinge |
| US7569193B2 (en) | 2003-12-19 | 2009-08-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for controlled combustion of gaseous pollutants |
| US7736599B2 (en) | 2004-11-12 | 2010-06-15 | Applied Materials, Inc. | Reactor design to reduce particle deposition during process abatement |
| WO2007053626A2 (en) * | 2005-10-31 | 2007-05-10 | Applied Materials, Inc. | Process abatement reactor |
| JP5128168B2 (ja) * | 2006-04-24 | 2013-01-23 | 三菱電線工業株式会社 | 排気装置 |
| CN108490844B (zh) * | 2018-05-11 | 2023-05-26 | 湖南众源科技有限公司 | 一种高精度恒压强闭环控制仪 |
| CN113503595B (zh) * | 2021-04-08 | 2022-06-21 | 南京林业大学 | 一种基于微气候的环保建筑 |
| CN113757833B (zh) * | 2021-09-14 | 2022-04-08 | 北京联合大学 | 基于数据驱动的生产模式与值班模式切换方法及系统 |
| CN118208795A (zh) * | 2024-05-21 | 2024-06-18 | 江苏帕珐尼洁净科技有限公司 | 一种新回风混合洁净送风风阀 |
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| US5251654A (en) * | 1988-04-07 | 1993-10-12 | David Palmer | Flow regulator adaptable for use with exhaust from a process chamber |
| DE69232399T2 (de) * | 1991-03-15 | 2002-09-26 | David W Palmer | Durchflussregelungssystem für Prozesskammer |
-
1992
- 1992-10-23 US US07/965,907 patent/US5320124A/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-10-22 AT AT93925005T patent/ATE177544T1/de not_active IP Right Cessation
- 1993-10-22 JP JP51119594A patent/JP3419776B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1993-10-22 DE DE1993623891 patent/DE69323891T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-10-22 WO PCT/US1993/010145 patent/WO1994010617A1/en active IP Right Grant
- 1993-10-22 EP EP19930925005 patent/EP0667006B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-10-22 CA CA 2145654 patent/CA2145654C/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-10-22 KR KR1019950701559A patent/KR100298992B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100298992B1 (ko) | 2001-10-22 |
| DE69323891D1 (de) | 1999-04-15 |
| WO1994010617A1 (en) | 1994-05-11 |
| EP0667006B1 (en) | 1999-03-10 |
| EP0667006A1 (en) | 1995-08-16 |
| CA2145654A1 (en) | 1994-05-11 |
| CA2145654C (en) | 1998-06-30 |
| EP0667006A4 (en) | 1995-10-11 |
| ATE177544T1 (de) | 1999-03-15 |
| KR950704731A (ko) | 1995-11-20 |
| DE69323891T2 (de) | 1999-09-30 |
| JPH08502813A (ja) | 1996-03-26 |
| US5320124A (en) | 1994-06-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |