JP3417885B2 - Aluminum nitride powder - Google Patents

Aluminum nitride powder

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Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は窒化アルミニウム粉
末に関し、特に、電子部品の放熱材料としてグリースや
合成ゴム中に充填するのに好適な、耐水性に優れた窒化
アルミニウム粉末に関する。 【0002】 【従来技術】電子部品の多くは使用中に熱を発生するの
で、その電子部品を適切に機能させるためには、その電
子部品から熱を取り除くことが必要である。そこで、高
熱電導性かつ電気絶縁性を有する窒化アルミニウムを、
電子部品の放熱材料として応用することが期待されてい
る。この場合の使用形態は、成形物として或はグリース
や合成ゴムの充填剤としての形態等多岐に渉っている。 【0003】しかしながら、窒化アルミニウムは耐水性
が悪く、特に粉末の場合には空気中に放置した状態でも
徐々に分解が進み、アンモニアを発生してアルミニウム
の水酸化物に変質する。従って、窒化アルミニウム粉末
を、例えば、樹脂の高放熱化のための充填材として使用
する場合には、耐水性の悪さが問題となる。 【0004】そこで、従来より窒化アルミニウムの耐水
性を改善するために、有機高分子を窒化アルミニウム粉
末表面に被覆したり、窒化アルミニウム粉末表面を酸化
して酸化アルミニウム層を設け、これを保護膜とするな
どの試みがなされている。また、特開平4−32150
6号公報には、オルガノシランオリゴマーとシラノール
基を有するポリオルガノシロキサンとを触媒を用いて反
応させることにより、窒化アルミニウム粉末表面を被覆
する技術も提案されている。しかしながら、これらのい
ずれの方法によっても、窒化アルミニウムの耐水性を十
分なものとすることはできなかった。 【0005】 【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、窒化ア
ルミニウムの耐水性を改善するために鋭意検討した結
果、一定のオルガノシラン又はその部分加水分解縮合物
によって窒化アルミニウムの表面を処理することによ
り、耐水性に優れた窒化アルミニウム粉末を得ることが
できることを見出し本発明に到達した。従って本発明の
目的は、放熱材料を構成する充填剤として好適な、耐水
性に優れた窒化アルミニウム粉末を提供することにあ
る。 【0006】 【課題を解決するための手段】本発明の上記の目的は、
一般式R Si(OR4−a−bで表され
るオルガノシラン及び/又はその部分加水分解縮合物に
よって表面処理されてなることを特徴とする窒化アルミ
ニウム粉末(但し、上式中、Rは、炭素数10〜15
のアルキル基、Rは炭素数1〜8の非置換叉は置換の
1価炭化水素基、Rは炭素数1〜6のアルキル基、a
は1〜3の整数、bは0〜2の整数、a+bは1〜3の
整数である)によって達成された。 【0007】 【発明の実施の形態】本発明において表面処理剤として
用いられるオルガノシランの上記一般式におけるR
具体例としては、例えば、デシル基、ドデシル基、テト
ラデシル基、ペンタデシル基等が挙げられる。炭素数が
10より小さいと処理された窒化アルミニウム粉末の耐
水性が十分でなく、15より大きいとオルガノシランが
常温で固化するので、取り扱いが不便な上、グリースや
合成ゴムに充填した場合には、低温特性が低下する。ま
た、aは1、2あるいは3であるが特に1であることが
好ましい。 【0008】また、上記一般式中のRは、炭素数1〜
8の飽和叉は不飽和の1価の炭化水素基であり、このよ
うな基としては、アルキル基、シクロアルキル基、アル
ケニル基等を挙げることができる。Rの具体例として
は、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ヘキシ
ル基、オクチル基等のアルキル基、シクロペンチル基、
シクロヘキシル基等のシクロヘキシル基、ビニル基、ア
リル基等のアルケニル基、フェニル基等のアリール基、
2−フェニルエチル基、2−メチル−2−フェニルエチ
ル基等のアラルキル基、3,3,3−トリフロロプロピ
ル基、2−(パーフロロブチル)エチル基、p−クロロ
フェニル基等のハロゲン化炭化水素基が挙げられる。本
発明においてはこれらの中でも特にメチル基が好まし
い。また、Rとしては、炭素数1〜6のアルキル基の
うち、特に、メチル基及びエチル基が好ましい。尚、R
、R、Rは、下記の如く、それぞれ2種以上とな
る場合もある。 【0009】前記一般式で表されるオルガノシランの具
体例としては、下記のものを挙げることができる。 C1021Si(OCH、C1225Si
(OCH、C10 21Si(CH)(OCH
、C1021Si(C)(OC
、C1021Si(CH)(COCH
、C1021Si(CH=CH)(OC
、C1021Si(CHCHCF
(OCH 【0010】前記一般式で表されるオルガノシランは、
窒化アルミニウム粉末100重量部に対し0.1〜30
重量部使用することが好ましく、特に0.5〜10重量
部使用することが好ましい。使用量が0.1重量部より
少ないと、耐水性の乏しいものとなるし、30重量部よ
り多くても効果が増大することがなく、不経済である。 【0011】本発明に用いられる窒化アルミニウム粉末
は、一般に六方晶またはウルツ鉱型の結晶構造を有する
III−V族の窒化物であり、外観は白〜灰白色を呈
し、粒子形状は、製法にもよるが不定形〜球状の粉末で
ある。本発明においては、平均粒径が0.1〜100μ
mという幅広い範囲の窒化アルミニウム粉末が使用可能
であるが、均一な成形体、グリース、合成ゴム等を得る
ためには1〜10μmのものを使用することが好まし
く、特に2〜5μmのものを使用することが好ましい。
また、比表面積は0.1〜100m/gの範囲のもの
が使用可能であり、均一な成形体、グリース、合成ゴム
等を得るためには1〜10m/gのものを使用するこ
とが好ましく、特に2〜5m/gのものを使用するこ
とが好ましい。 【0012】かかる窒化アルミニウム粉末の製造方法と
しては、金属アルミニウム粉と窒素あるいはアンモニア
とを直接反応させる直接窒化法、アルミナと炭素の混合
粉末を窒素あるいはアンモニア雰囲気下で加熱し、還元
と窒化を同時に行わせるアルミナ還元法、またはアルミ
ニウムの蒸気と窒素とを直接反応させる方法、AlCl
・NHの熱分解等の製造方法が挙げられる。製法に
より、化学組成(不純物)、粒径や形状及び粒度分布等
の特性が異なってくるが、本発明で用いられる窒化アル
ミニウム粉末は、何れの製法で作られたものでも使用す
ることができ、これらの異なった製法のものを混合して
使用しても良い。 【0013】本発明の表面処理された窒化アルミニウム
は、公知の方法で製造することができる。例えば、窒化
アルミニウムとオルガノシランあるいはその部分加水分
解物を、トリミックス、ツウィンミックス、プラネタリ
ミキサー(何れも井上製作所(株)製混合機の登録商
標)、ウルトラミキサー(みずほ工業(株)製混合機の
登録商標)、ハイビスディスパーミックス(特殊機化工
業(株)製混合機の登録商標)等の混合機を用いて混合
する。 【0014】この場合、必要ならば50〜150℃に加
熱しても良い。尚、混合に際してはトルエン、キシレ
ン、石油エーテル、ミネラルスピリット、イソパラフィ
ン、イソプロピルアルコール、エタノール等の溶剤を用
いても良い。これらの溶剤を用いた場合には、混合後、
真空装置など用いて溶剤を除去することが好ましい。こ
のようにして製造した本発明の窒化アルミニウム粉末
は、グリースやゴムシートの充填剤として、あるいは、
それを焼結させた高純度窒化アルミニウム成形体として
使用することもできる。 【0015】 【発明の効果】本発明の窒化アルミニウムは、大幅に耐
水性が改善され、加水分解反応に伴うアンモニアの発生
が抑制されるので高湿下での使用が可能である上、熱電
導性が良好であるので特に放熱材料の充填剤として好適
である。 【0016】 【実施例】以下、本発明を実施例によって更に詳述する
が、本発明はこれによって限定されるものではない。
尚、窒化アルミニウム粉末の耐湿効果の評価は次のよう
にして行った。 【0017】耐湿試験 栓のできる250mlのポリ容器に窒化アルミニウム粉
末5g及び水95gを入れた後、栓をして振とう機にて
48時間振とう(室温)させた。次いで濾紙を用いて濾
液を採取し、そのpHを(株)堀場製作所のpH測定機
(型式F−15)を用いて測定した。 【0018】実施例1.成分(A−1)のオルガノシラ
ン10gと、窒化アルミニウム粉末(B−1)(不定
形、平均粒子径2.0μm、比表面積4.0m/g)
1000gを5リットルプラネタリーミキサー(井上製
作所(株)製)に投入し、室温で30分間攪拌混合して
表面処理窒化アルミニウム粉末を得た。耐湿試験後のp
Hは7.9であった。 【0019】実施例2及び3.成分(A−1)のオルガ
ノシランの配合量を表1の様にした外は、実施例1と全
く同様にして表面処理窒化アルミニウム粉末を得た。こ
れらの耐湿試験後のpHは表1に示した通りである。 【0020】 【表1】 【0021】実施例4〜6.実施例1で使用した(A−
1)のオルガノシランをそれぞれ(A−2)、(A−
3)及び(A−4)のオルガノシランに変更した外は、
実施例1と全く同様にして表面処理窒化アルミニウム粉
末を得た。これらの耐湿試験後のpHは表1に示した通
りである。 【0022】比較例1.上記実施例で用いた窒化アルミ
ニウム粉末(B−1)について、未処理のまま耐湿試験
を行ったところ、表1に示した如く、pHは11.5で
あった。 【0023】比較例2.窒化アルミニウム粉末(B−
1)を、500℃の酸素雰囲気下で30分間熱処理し、
表面に酸化アルミニウム層を形成させた粉末(B−2)
を得た。得られた窒化アルミニウム粉末について実施例
1と全く同様にして耐湿試験を行ったところ、表1に示
した如く、pHは11.5であった。 【0024】比較例3.4及び5.実施例1で使用した
(A−1)のオルガノシランを、それぞれ(A−5)、
(A−6)及び(A−7)のオルガノシランに変更した
外は、実施例1と全く同様にして表面処理窒化アルミニ
ウム粉末を得た。得られた粉末について耐湿試験を行っ
たところ、表1に示した如く、pHはそれぞれ11.
3、10.5及び9.3であった。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [0001] TECHNICAL FIELD The present invention relates to aluminum nitride powder.
Grease or grease as a heat dissipation material for electronic components.
Nitriding with excellent water resistance, suitable for filling in synthetic rubber
Related to aluminum powder. [0002] 2. Description of the Related Art Many electronic components generate heat during use.
In order for the electronic components to function properly,
It is necessary to remove heat from the child parts. So, high
Aluminum nitride having thermal conductivity and electrical insulation,
It is expected to be applied as a heat dissipation material for electronic components
You. In this case, the form of use is as a molded product or grease.
And various forms such as synthetic rubber fillers. [0003] However, aluminum nitride is water-resistant.
Poor, especially in the case of powder, even when left in the air
Decomposition progresses gradually, producing ammonia and aluminum
To hydroxide. Therefore, aluminum nitride powder
Is used, for example, as a filler for high heat dissipation of resin
In this case, poor water resistance becomes a problem. Therefore, conventionally, the water resistance of aluminum nitride has been improved.
To improve the properties, organic polymer is converted to aluminum nitride powder.
Coating on powder surface or oxidizing aluminum nitride powder surface
To provide an aluminum oxide layer, and do not use this as a protective film.
Which attempts have been made. Also, JP-A-4-32150
No. 6 discloses an organosilane oligomer and a silanol.
Reaction with a polyorganosiloxane having a group using a catalyst
To coat the surface of aluminum nitride powder
A technique to do this has also been proposed. However, these
The water resistance of aluminum nitride can also be improved by the shifting method.
I couldn't make it clear. [0005] SUMMARY OF THE INVENTION The present inventors have found that
Investigations were made to improve the water resistance of luminium.
As a result, certain organosilanes or partially hydrolyzed condensates thereof
By treating the surface of aluminum nitride with
Aluminum nitride powder with excellent water resistance
The inventors have found out what can be done and arrived at the present invention. Therefore, the present invention
The purpose is to be a water-resistant material suitable as a filler
To provide aluminum nitride powder with excellent heat resistance.
You. [0006] SUMMARY OF THE INVENTION The above objects of the present invention are as follows.
General formula R1 aR2 bSi (OR3)4-abRepresented by
Organosilanes and / or their partially hydrolyzed condensates
Therefore, aluminum nitride characterized by being surface-treated
Powder (however, in the above formula, R1Is the carbon number10~ 15
An alkyl group of R2Is unsubstituted or substituted having 1 to 8 carbon atoms
Monovalent hydrocarbon group, R3Is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a
Is an integer of 1-3, b is an integer of 0-2, a + b is an integer of 1-3
Is an integer). [0007] BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION As a surface treatment agent in the present invention,
R in the above general formula of the organosilane used1of
Specific examples include, for example, a decyl group, a dodecyl group,
Radecyl group, pentadecyl group and the like can be mentioned. Carbon number
10Smaller than treated aluminum nitride powder
If the water is not enough and it is larger than 15, the organosilane will
Since it solidifies at room temperature, it is inconvenient to handle, grease and
When filled in a synthetic rubber, the low-temperature characteristics deteriorate. Ma
A is 1, 2 or 3, but especially 1
preferable. Further, R in the above general formula2Has 1 to 1 carbon atoms
8 is a saturated or unsaturated monovalent hydrocarbon group.
Examples of such groups include an alkyl group, a cycloalkyl group, and an alky group.
A kenyl group and the like can be mentioned. R2As a specific example of
Is, for example, methyl, ethyl, propyl, hex
Alkyl group such as octyl group, cyclopentyl group,
Cyclohexyl group such as cyclohexyl group, vinyl group,
An alkenyl group such as a ryl group, an aryl group such as a phenyl group,
2-phenylethyl group, 2-methyl-2-phenylethyl
Aralkyl groups such as
Group, 2- (perfluorobutyl) ethyl group, p-chloro
Halogenated hydrocarbon groups such as a phenyl group are exemplified. Book
Among these, a methyl group is particularly preferred in the invention.
No. Also, R3As an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms
Among them, a methyl group and an ethyl group are particularly preferable. Note that R
1, R2, R3Are two or more as shown below.
In some cases. An organosilane component represented by the above general formula
Examples of the body include the following. C10H21Si (OCH3)3, C12H25Si
(OCH3)3, C10H 21Si (CH3) (OCH
3)2, C10H21Si (C6H5) (OC
H3)2, C10H21Si (CH3) (COCH3)
2, C10H21Si (CH = CH2) (OC
H3)2, C10H21Si (CH2CH2CF3)
(OCH 3)2 The organosilane represented by the above general formula is
0.1 to 30 parts per 100 parts by weight of aluminum nitride powder
It is preferable to use parts by weight, particularly 0.5 to 10 parts by weight
It is preferable to use parts. From 0.1 parts by weight
If less, water resistance will be poor and 30 parts by weight
Even if the amount is large, the effect does not increase and it is uneconomical. [0011] Aluminum nitride powder used in the present invention
Has a generally hexagonal or wurtzite-type crystal structure
It is a group III-V nitride and its appearance is white to off-white.
The particle shape varies depending on the manufacturing method, but it is irregular-shaped to spherical powder.
is there. In the present invention, the average particle size is 0.1 ~ 100μ
Aluminum nitride powder in a wide range of m
However, to obtain a uniform molded body, grease, synthetic rubber, etc.
For this reason, it is preferable to use one with a thickness of 1 to 10 μm.
It is particularly preferable to use one having a size of 2 to 5 μm.
The specific surface area is 0.1-100m2/ G range
Can be used for uniform molding, grease, synthetic rubber
1 to 10m to get2/ G
Is preferred, especially 2 to 5 m2/ G
Is preferred. A method for producing such aluminum nitride powder and
The metal aluminum powder and nitrogen or ammonia
Direct nitridation method that directly reacts with carbon, mixing of alumina and carbon
Heat powder under nitrogen or ammonia atmosphere to reduce
Alumina reduction method that simultaneously performs and nitriding, or aluminum
Direct reaction between nitrogen vapor and nitrogen, AlCl
3・ NH3And a production method such as thermal decomposition. To the manufacturing method
More chemical composition (impurities), particle size and shape, particle size distribution, etc.
Of the aluminum nitride used in the present invention
Minium powder used in any method can be used.
Can mix these different recipes
May be used. The surface-treated aluminum nitride of the present invention
Can be produced by a known method. For example, nitriding
Aluminum and organosilane or its partial water content
Demolition, trimix, twin mix, planetary
Mixers (both are registered trademark of mixers manufactured by Inoue Manufacturing Co., Ltd.)
Mark), Ultra Mixer (mixer manufactured by Mizuho Industry Co., Ltd.)
Registered trademark), Hibis Dispermix (special machine chemical
Mixing using a mixer such as a registered trademark of Mixer Co., Ltd.)
I do. In this case, if necessary, increase the temperature to 50 to 150 ° C.
May be heated. When mixing, toluene and xylene
Oil, petroleum ether, mineral spirit, isoparaffin
Solvent such as isopropyl alcohol, ethanol, etc.
May be. When these solvents are used, after mixing,
It is preferable to remove the solvent using a vacuum device or the like. This
Aluminum nitride powder of the present invention produced as described above
Can be used as filler for grease or rubber sheet, or
As a high-purity aluminum nitride compact
Can also be used. [0015] According to the present invention, the aluminum nitride of the present invention is significantly resistant.
Aqueous solution is improved and ammonia is generated due to hydrolysis reaction
Can be used under high humidity, and thermoelectric
Good conductivity, especially suitable as filler for heat dissipation material
It is. [0016] The present invention will be described in more detail with reference to the following examples.
However, the present invention is not limited by this.
The moisture resistance of aluminum nitride powder was evaluated as follows.
I went. [0017]Moisture resistance test Aluminum nitride powder in a stopperable 250ml plastic container
After adding 5 g of powder and 95 g of water, stopper and shaker
Shake (room temperature) for 48 hours. Then filter using filter paper.
The solution is collected and its pH is measured by Horiba, Ltd.
(Model F-15). Embodiment 1 FIG. Organosila of component (A-1)
10 g of aluminum nitride powder (B-1) (undefined
Shape, average particle size 2.0 μm, specific surface area 4.0 m2/ G)
1000g to 5 liter planetary mixer (made by Inoue
And then stirred and mixed at room temperature for 30 minutes.
A surface-treated aluminum nitride powder was obtained. P after moisture resistance test
H was 7.9. Embodiments 2 and 3 Olga of component (A-1)
Example 1 was the same as Example 1 except that the blending amount of the silane was as shown in Table 1.
In the same manner, a surface-treated aluminum nitride powder was obtained. This
The pH values after these moisture resistance tests are as shown in Table 1. [0020] [Table 1] Embodiments 4-6. Used in Example 1 (A-
The organosilane of 1) was converted to (A-2) and (A-
3) and (A-4) except that the organosilane was changed to
Surface-treated aluminum nitride powder in exactly the same manner as in Example 1.
I got the end. The pH values after these moisture resistance tests were as shown in Table 1.
It is. Comparative Example 1 Aluminum nitride used in the above example
Moisture resistance test of untreated titanium powder (B-1)
Was performed, the pH was 11.5 as shown in Table 1.
there were. Comparative Example 2 Aluminum nitride powder (B-
1) is heat-treated in an oxygen atmosphere at 500 ° C. for 30 minutes,
Powder having an aluminum oxide layer formed on the surface (B-2)
I got Example of the obtained aluminum nitride powder
Table 1 shows the results of a moisture resistance test performed in exactly the same manner as in Example 1.
Thus, the pH was 11.5. Comparative Examples 3.4 and 5. Used in Example 1
(A-1) the organosilane of (A-5),
(A-6) and (A-7) were changed to organosilanes
Outside, the surface-treated aluminum nitride was treated in exactly the same manner as in Example 1.
Powder was obtained. A moisture resistance test was performed on the obtained powder.
As a result, as shown in Table 1, the pH was 11.
3, 10.5 and 9.3.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 磯部 憲一 群馬県碓氷郡松井田町大字人見1番地10 信越化学工業株式会社 シリコーン電 子材料技術研究所 内 (56)参考文献 特開 平4−321506(JP,A) 特開 平3−287654(JP,A) 特開 平7−315813(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C09C 3/12 C08K 3/28 C08K 9/06 C09C 1/40 C01B 21/072 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing from the front page (72) Inventor Kenichi Isobe 1-10 Hitomi, Matsuida-cho, Usui-gun, Gunma Prefecture Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Silicone Electronics Materials Research Laboratory (56) References JP-A-4-321506 (JP, A) JP-A-3-287654 (JP, A) JP-A-7-315813 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C09C 3/12 C08K 3 / 28 C08K 9/06 C09C 1/40 C01B 21/072

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】一般式R Si(OR
4−a−bで表されるオルガノシラン及び/又はその部
分加水分解縮合物によって表面処理されてなることを特
徴とする窒化アルミニウム粉末;但し、上式中、R
は、炭素数10〜15のアルキル基、Rは炭素数1
〜8の非置換叉は置換の1価炭化水素基、Rは炭素数
1〜6のアルキル基、aは1〜3の整数、bは0〜2の
整数、a+bは1〜3の整数である。
(57) [Claims] [Claim 1] The general formula R 1 a R 2 b Si (OR 3 )
An aluminum nitride powder characterized by being surface-treated with an organosilane represented by 4-ab and / or a partial hydrolyzed condensate thereof;
1 is an alkyl group having 10 to 15 carbon atoms, and R 2 is an alkyl group having 1 carbon atom.
An unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group of 8 to 8, R 3 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a is an integer of 1 to 3, b is an integer of 0 to 2, and a + b is an integer of 1 to 3 It is.
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