JP3413769B2 - Work loading / unloading device - Google Patents
Work loading / unloading deviceInfo
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- JP3413769B2 JP3413769B2 JP6379294A JP6379294A JP3413769B2 JP 3413769 B2 JP3413769 B2 JP 3413769B2 JP 6379294 A JP6379294 A JP 6379294A JP 6379294 A JP6379294 A JP 6379294A JP 3413769 B2 JP3413769 B2 JP 3413769B2
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- Feeding Of Workpieces (AREA)
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Forklifts And Lifting Vehicles (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、高硬度脆性材料、
例えば半導体材料、磁性材料等のワークをワイヤで切断
するワイヤソー切断装置に、このワークを搬出入するワ
ーク搬出入装置に関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a high hardness brittle material,
For example, the present invention relates to a work loading / unloading device that loads / unloads a work such as a semiconductor material or a magnetic material into / from a wire saw cutting device that cuts the work with a wire.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば半導体材料等のワークをウエハ状
に切断する切断装置には、ワークを順次送り込む送り機
構が設けられている。しかし、例えばシリコン等のイン
ゴット部材（ワーク）は最近大径且つ長尺のものが製造
可能となり、その重量も１００Ｋｇ近いもの、或いはそ
れ以上のものが製造されている。2. Description of the Related Art A cutting device for cutting a work such as a semiconductor material into a wafer is provided with a feeding mechanism for sequentially feeding the work. However, for example, ingot members (workpieces) made of silicon or the like have recently been able to be manufactured to have a large diameter and a long length, and the weight thereof has been manufactured to be close to 100 kg or more.
【０００３】したがって、これを直接切断装置に取り付
けるには相当の労力と、時間を浪費し、且つワークが損
傷し易く、時間の浪費は作業能率の低下を招いていた。Therefore, it takes a lot of labor and time to directly attach this to the cutting device, and the work is easily damaged, and the waste of time leads to a reduction in work efficiency.
【０００４】この問題点を解決するものとして特公平５
−３６２０９号公報に開示された技術がある。この開示
技術は、ワークを搭載した受台を搬送台車に載せて、こ
の搬送台車を案内レールに沿って移行し、切断装置に設
けた供給装置に前記受台と一緒にワークを移行させるよ
うにしたものである。As a solution to this problem, Japanese Patent Publication No.
There is a technique disclosed in Japanese Patent Publication No. 36209-36209. In the disclosed technology, a pedestal on which a work is mounted is placed on a transporting trolley, the transporting trolley is moved along a guide rail, and the work is moved together with the cradle to a supply device provided in a cutting device. It was done.
【０００５】[0005]
【発明の解決すべき課題】しかしながら、上記した従来
のワーク搬出入装置にあっては、重量のあるワークの供
給には有効であっても、その構造が複雑であり、ワーク
を搭載した受台を供給装置に移行させるにあたって、こ
の受台と供給装置との間の高さの調整が難しく作業性が
よくないという問題点があった。However, in the above-described conventional work loading / unloading device, even if it is effective for supplying a heavy work, its structure is complicated and the pedestal on which the work is mounted is complicated. There is a problem that it is difficult to adjust the height between the pedestal and the supply device when transferring the device to the supply device, and the workability is not good.
【０００６】本発明は上記の問題点を解消するものであ
り、その目的とするところは、ワークの高さの調整が容
易になり、作業性が向上するワーク搬出入装置を提供す
ることにある。The present invention solves the above problems, and an object of the present invention is to provide a work loading / unloading device in which the height of a work can be easily adjusted and the workability is improved. .
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係わる発明は、ワークが保持されたワー
クプレートとそのワークプレートがセットされるキャリ
アとそのキャリアが搭載されるリフタ本体とを有し、ワ
ークをワイヤで切断する切断装置のワイヤ切断部の上方
に備えられたワーク保持ヘッド部に当該ワークをワーク
プレートに保持された状態で搬出入するワーク搬出入装
置であって、前記キャリアは、左右一対の支持プレート
が互いにその下部で連結部材により連結されてなり、前
記支持プレートそれぞれの上部に形成されワークが保持
されたワークプレートの両端部が着脱自在に懸架される
ワークプレート懸架部と、前記支持プレートそれぞれの
下部の前後に形成された嵌合部と、前記支持プレートそ
れぞれの外面に設けられた吊り下げ用突起部とを備え、
前記リフタ本体は、門型形状でその左右の部位がレール
となっているマスト部と、このマスト部の下部に設けら
れ走行用の車輪により走行可能な走行部と、前記マスト
部のレールに昇降可能に連結された昇降体と、この昇降
体上に水平方向に移動可能に搭載される移動受台と、こ
の移動受台に固着され前記キャリアの嵌合部が着脱可能
に嵌合されるキャリアガイドとを備えたことを特徴とす
る。In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is a work holding machine.
Carrier on which the plate and its work plate are set
A and the lifter body on which the carrier is mounted,
Above the wire cutting part of the cutting device that cuts the wire with the wire
The work is held in the work holding head provided on the
Workpiece loading and unloading equipment that is loaded and unloaded while being held by the plate
The carrier is a pair of left and right support plates.
Are connected to each other at their lower parts by a connecting member,
It is formed on the top of each support plate and holds the work.
Both ends of the assembled work plate are detachably suspended
The work plate suspension and the support plate
Fitting parts formed on the front and rear of the lower part and the support plate
With a hanging protrusion provided on each outer surface,
The lifter body is in the shape of a gate and the left and right parts are rails.
A mast section has a, et al provided in the lower portion of the mast section
It is a drivable driving portion by the wheel for travel, and vertically movably linked lift the rails of the mast part, the lifting
A movable pedestal mounted on the body so that it can move horizontally ,
It is firmly attached to the movable pedestal of and the fitting part of the carrier is removable
Characterized in that a carrier guide that is fitted into.
【０００８】また、上記目的を達成するために、請求項
２に係わる発明は、請求項１記載のワーク搬出入装置に
おいて、前記ワークプレートは、その下面において切断
層を介してワークを保持し、前記ワークプレートの左右
両端部それぞれが前記キャリアのワークプレート懸架部
に引っ掛けて懸架される第１の引っ掛け部と、前記ワー
ク保持ヘッド部の下部の左右に設けられた一対の保持ア
ームに引っ掛けられる第２の引っ掛け部とが二段構成に
突出形成された。In order to achieve the above object, the claims
The invention according to claim 2 is the work loading / unloading device according to claim 1 , wherein the work plate holds the work through a cutting layer on a lower surface thereof, and both left and right end portions of the work plate are the carrier. Of the work plate suspension section and a second hook section hooked on a pair of holding arms provided on the left and right of the lower part of the work holding head section in a two-stage configuration.
Protrudedly formed .
【０００９】また、請求項３に係わる発明にあっては請
求項１または請求項２に記載のワーク搬出入装置におい
て、前記リフタ本体の脚部にガイド用の車輪が設けら
れ、このガイド用の車輪が切断装置に取り付けられたガ
イドに転動可能に保持される。Further, in the invention according to claim 3 , the contract
In the work loading / unloading device according to claim 1 or 2 , a guide wheel is provided on a leg portion of the lifter body, and the guide wheel is rotatably held by a guide attached to the cutting device. To be done.
【００１０】請求項１に係わる発明にあっては、前記昇
降操作機構を操作して前記昇降体を昇降動させて前記ワ
ークを所定高さに位置させ、このワーク搬出入装置を押
して移動させて、切断装置内に挿入し、前記移動操作機
構を操作して前記移動受台を水平移動させて、ワークを
切断装置のワーク保持ヘッド部に移すことができて、こ
のワークの高さの調整が容易になり、作業性が向上す
る。In the invention according to claim 1, the elevating operation mechanism is operated to elevate and lower the elevating body to position the work at a predetermined height, and the work loading / unloading device is pushed to move the work. , The work can be moved to the work holding head portion of the cutting device by inserting it into the cutting device, operating the moving operation mechanism to horizontally move the movable pedestal, and adjusting the height of the work. It will be easier and workability will be improved.
【００１１】また、前記ワークプレートの両端部の引っ
掛け部を前記キャリアのワークプレート懸架部に引っ掛
けることで前記キャリアがワークを懸架することができ
て、ワークのキャリアへの載置およびキャリアから切断
装置のワーク保持ヘッド部へのワークの移行が容易にな
り、作業性が向上する。 Further, the said carrier a hook portion of both end portions of the workpiece plate by hooking the work plate suspending portion of the carrier is able to suspend the workpiece, the cutting device from the mounting and carrier to the work carrier The work can be easily transferred to the work holding head part, and the workability is improved.
【００１２】また、ワークを懸架したキャリアを前記移
動受台に容易に搭載することができて、作業性が向上す
る。Further, the carrier on which the work is suspended can be easily mounted on the movable pedestal, and the workability is improved.
【００１３】また、請求項２に係わる発明にあっては、
前記ワークプレートの第１の引っ掛け部を前記キャリア
のワークプレート懸架部に引っ掛けることで前記キャリ
アがワークを懸架することができ、前記ワークプレート
の第２の引っ掛け部を前記ワーク保持ヘッド部の保持ア
ームに引っ掛けることによりワークをワーク保持ヘッド
部に移行させることができるので、ワークのキャリアへ
の載置およびキャリアから切断装置のワーク保持ヘッド
部へのワークの移行が容易になり、作業性が向上する。Further, according to the invention of claim 2 ,
The carrier can suspend the work by hooking the first hook portion of the work plate on the work plate suspension portion of the carrier, and the second hook portion of the work plate can be held by the holding arm of the work holding head portion. Since the work can be transferred to the work holding head by hooking it on the work, it becomes easy to place the work on the carrier and transfer the work from the carrier to the work holding head of the cutting device, thus improving workability. .
【００１４】また、請求項３に係わる発明にあっては前
記リフタ本体の脚部にガイド用の車輪が設けられ、この
ガイド用の車輪が切断装置に取り付けられたガイドに転
動可能に保持されることにより、ワーク搬出入装置を前
記切断装置の所定位置に保持でき、また切断装置内から
外に引き出す際にはガイド用の車輪が、切断装置に設け
られたガイドに沿って転動し、ワーク搬出入装置を前記
切断装置内から円滑に引き出すことができる。Further, in the invention according to claim 3 , a guide wheel is provided on a leg portion of the lifter body, and the guide wheel is rotatably held by a guide attached to the cutting device. By this, the work loading / unloading device can be held at a predetermined position of the cutting device, and when pulling out from the inside of the cutting device, a guide wheel rolls along a guide provided in the cutting device, The work loading / unloading device can be smoothly pulled out from the cutting device.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
参照して詳述する。図１ の（１）は本発明に係わるワ
ーク搬出入装置の側面図、図１の（２）は同ワーク搬出
入装置のリフタ本体の一部省略した斜視図、図２は図１
のＵ方向からの矢視図、図３は図２のＶ方向からの矢視
図、図４は図２のＷ方向からの矢視図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. 1 (1) is a side view of a work loading / unloading device according to the present invention, FIG. 1 (2) is a perspective view in which a lifter body of the work loading / unloading device is partially omitted, and FIG.
2 is a view from the direction U in FIG. 3, FIG. 3 is a view from the direction V in FIG. 2, and FIG. 4 is a view from the direction W in FIG.
【００１６】本発明に係わるワーク搬出入装置Ａはリフ
タ構成であり、リフタ本体１を備えている。このリフタ
本体１は、マスト部２と、このマスト部２の下部に設け
られた走行部３とを有しており、このマスト部２は正面
視で門型形状をしていて、左右の部位がレール部２ａに
してある。また、前記走行部３は、マスト部２の下端部
に前方に突出するように形成された前側脚部４と、この
前側脚部４に設けられた前側車輪５と、マスト部２の下
端部に後方に突出するように設けられた後側脚部６と、
この後側脚部６に設けられてフートブレーキ作動用のロ
ックペタル７ａを有する後側車輪７とにより構成してあ
る。また前側脚部４の両外側には図１及び図５に示され
るように、外側車輪５ａ・・・が設けられる。The work loading / unloading apparatus A according to the present invention has a lifter structure and includes a lifter body 1. The lifter main body 1 has a mast portion 2 and a running portion 3 provided under the mast portion 2. The mast portion 2 has a gate-like shape in a front view, and the left and right parts Is the rail portion 2a. Further, the traveling portion 3 includes a front leg portion 4 formed at a lower end portion of the mast portion 2 so as to project forward, a front wheel 5 provided on the front leg portion 4, and a lower end portion of the mast portion 2. A rear leg portion 6 provided so as to project rearward,
The rear wheel 6 is provided on the rear leg 6 and has a rear wheel 7 having a lock petal 7a for operating a foot brake. Outer wheels 5a ... Are provided on both outer sides of the front leg 4, as shown in FIGS.
【００１７】前記マスト部２には、昇降体８と、この昇
降体８の昇降動を操作する昇降操作機構９とが設けてあ
る。前記昇降体８は左右のガイドレール１０Ｌ、１０Ｒ
を、その基部側で連結部材１１により互いに連結したも
のであり、平面視で逆コ字形状を成している。この昇降
体８の基部の左右にはローラ保持プレート１２が固着し
てあり、このローラ保持プレート１２にはローラ（図示
せず）が設けてあって、これらのローラが前記マスト部
２の左右のレール部２ａに挿入してあり、昇降体８がマ
スト部２に昇降動可能に取付けてある。また、前記マス
ト部２の左右のレール部２ａには前記昇降体８の上限を
決める上限ストッパピン７０と、昇降体８の下限を決め
る下限ストッパピン７１とが設けてあり、この下限スト
ッパピン７１はレール部２ａに対して抜き差し可能にし
てある。The mast section 2 is provided with an elevating body 8 and an elevating operation mechanism 9 for operating the elevating movement of the elevating body 8. The lifting / lowering body 8 includes left and right guide rails 10L, 10R.
Are connected to each other by a connecting member 11 on the base side thereof and have an inverted U-shape in a plan view. Roller holding plates 12 are fixed to the left and right sides of the base of the lifting body 8, and rollers (not shown) are provided on the roller holding plate 12, and these rollers are provided on the left and right sides of the mast portion 2. It is inserted in the rail portion 2a, and the elevating body 8 is attached to the mast portion 2 so as to be movable up and down. Further, an upper limit stopper pin 70 that determines an upper limit of the lifting body 8 and a lower limit stopper pin 71 that determines a lower limit of the lifting body 8 are provided on the left and right rail portions 2a of the mast portion 2, and the lower limit stopper pin 71 is provided. Can be inserted into and removed from the rail portion 2a.
【００１８】前記昇降操作機構９は前記マスト部２に固
定されたウインチユニット１３を備えており、このウイ
ンチユニット１３の巻取部（図示せず）から繰り出され
たワイヤ１４は前記マスト部２の上側部位２ｂに設けら
れたシーブ１５に掛けられており、このワイヤ１４の端
部は前記昇降体８の連結部材１１に係止してある。前記
ウインチユニット１３は手動式であって、ハンドル１３
Ａを有しており、このハンドル１３Ａを回転することに
より前記巻取部を作動させて前記ワイヤ１４を巻取り、
または繰り出して前記昇降体８を昇降動させるものであ
る。The raising / lowering operation mechanism 9 includes a winch unit 13 fixed to the mast portion 2, and a wire 14 unwound from a winding portion (not shown) of the winch unit 13 has a wire 14 of the mast portion 2. The wire 14 is hooked on a sheave 15 provided on the upper portion 2b, and the end of the wire 14 is locked to the connecting member 11 of the elevating body 8. The winch unit 13 is of a manual type and has a handle 13
A has A, and by rotating the handle 13A, the winding portion is operated to wind up the wire 14,
Alternatively, the lifting / lowering body 8 is moved up and down by moving it out.
【００１９】前記昇降体８の左右のガイドレール１０
Ｌ、１０Ｒには移動受台１６が移動可能に設けてある。
すなわち、この移動受台１６は、底板部１６ａの左右に
側板部１８Ｌ、１８Ｒを立ち上げた受台本体１６Ａを備
えており、底板部１６ａの中央部にはナットハウジング
１７が設けてあり、ナットハウジング１７内にはナット
１９が収容してある。また、受台本体１６Ａ内にはオイ
ルパン２０が設けてある。また、このオイルパン２０の
四隅にはキャリアガイド取付座２１ａが固着してあり、
これらのキャリアガイド取付座２１ａにはキャリアガイ
ド２１が固着してある。左右の側板部１８Ｌ、１８Ｒの
上縁部には、ベアリングから成る縦ガイドローラ２２と
横ガイドローラ２３とが一組になって前後に軸支してあ
る。Left and right guide rails 10 of the lifting body 8
A movable pedestal 16 is movably provided on L and 10R.
That is, the moving pedestal 16 is provided with a pedestal body 16A in which side plate portions 18L and 18R are erected on the left and right of the bottom plate portion 16a, and a nut housing 17 is provided at the center of the bottom plate portion 16a. A nut 19 is housed in the housing 17. An oil pan 20 is provided in the cradle main body 16A. Further, carrier guide mounting seats 21a are fixed to the four corners of the oil pan 20,
The carrier guides 21 are fixed to these carrier guide mounting seats 21a. A pair of vertical guide rollers 22 and horizontal guide rollers 23, which are bearings, are axially supported in the front and rear directions at the upper edges of the left and right side plate portions 18L and 18R.
【００２０】そして、前記移動受台１６は、縦ガイドロ
ーラ２２と横ガイドローラ２３とを前記ガイドレール１
０Ｌ、１０Ｒに載せて前記昇降体８に搭載されている。
この場合、前記縦ガイドローラ２２は前記ガイドレール
１０Ｌ、１０Ｒの水平レール部２４に接しており、横ガ
イドローラ２３は前記ガイドレール１０Ｌ、１０Ｒの垂
直レール部２５に接している。The movable pedestal 16 includes a vertical guide roller 22 and a horizontal guide roller 23, and the guide rail 1
It is mounted on 0L and 10R and mounted on the lifting body 8.
In this case, the vertical guide rollers 22 are in contact with the horizontal rail portions 24 of the guide rails 10L, 10R, and the horizontal guide rollers 23 are in contact with the vertical rail portions 25 of the guide rails 10L, 10R.
【００２１】前記昇降体８には、前記ナット１９を収容
したナットハウジング１７を含め前記移動受台１６を前
後方向に移動させる移動操作機構２６が設けてある。こ
の移動操作機構２６は、前記連結部材１１の中央部の支
持ブラケット３８に設けたギヤボックス２７を備えてお
り、このギヤボックス２７は左右の入力軸２８Ｌ、２８
Ｒと後方に突出する出力軸２９を有しており、その内部
にはベベルギヤ機構（図示せず）が組み込まれていて入
力軸２８Ｌ、２８Ｒの回転を出力軸２９に伝達するよう
にしてある。The elevating body 8 is provided with a movement operation mechanism 26 for moving the movement receiving base 16 including the nut housing 17 accommodating the nut 19 in the front-rear direction. The moving operation mechanism 26 includes a gear box 27 provided on a support bracket 38 at the center of the connecting member 11, and the gear box 27 has left and right input shafts 28L, 28.
It has an R and an output shaft 29 projecting rearward, and a bevel gear mechanism (not shown) is incorporated therein to transmit the rotation of the input shafts 28L and 28R to the output shaft 29.
【００２２】そして、前記昇降体８の基部の左右には、
左右のハンドル３１Ｌ、３１Ｒが、その軸部３０を、前
記昇降体８に固着したケース３２に回転可能に支承され
て設けてある。Then, to the left and right of the base of the lifting body 8,
Left and right handles 31L, 31R are provided with their shafts 30 rotatably supported by a case 32 fixed to the elevating body 8.
【００２３】そして、左のハンドル３１Ｌの軸部３０は
ユニバーサルジョイント３３Ｌ、中間軸３４Ｌ、ユニバ
ーサルジョイント３５Ｌを介して前記入力軸２８Ｌに連
結してあり、右のハンドル３１Ｒの軸部３０はユニバー
サルジョイント３３Ｒ、中間軸３４Ｒ、ユニバーサルジ
ョイント３５Ｒを介して前記入力軸２８Ｒに連結してあ
る。また、前記出力軸２９はジョイント３６を介してボ
ールスクリュー３７の後端部に連結してあり、このボー
ルスクリュー３７の前部は前記ナットハウジング１７の
ナット１９に螺合している。前記ボールスクリュー３７
の後部は、前記支持ブラケット３８に設けた軸受機構３
９に回転可能に保持されている。The shaft portion 30 of the left handle 31L is connected to the input shaft 28L via a universal joint 33L, an intermediate shaft 34L and a universal joint 35L, and the shaft portion 30 of the right handle 31R is a universal joint 33R. , The intermediate shaft 34R and the universal joint 35R are connected to the input shaft 28R. The output shaft 29 is connected to the rear end portion of a ball screw 37 via a joint 36, and the front portion of the ball screw 37 is screwed into the nut 19 of the nut housing 17. The ball screw 37
The rear part is the bearing mechanism 3 provided on the support bracket 38.
It is rotatably held at 9.
【００２４】前記移動受台１６にはキャリア４０が搭載
してある。すなわち、このキャリア４０は左右の支持プ
レート４１Ｌ、４１Ｒを備えており、これらの支持プレ
ート４１Ｌ、４１Ｒの上部にはワークプレート懸架部４
２Ｌ、４２Ｒが形成してあり、また、支持プレート４１
Ｌ、４１Ｒは、その下部の前後で連結部材４３、４４に
より互いに連結されている。また、支持プレート４１
Ｌ、４１Ｒの外面には吊り下げ用突起部４１ａが形成し
てある。そして、前記キャリア４０は、前記支持プレー
ト４１Ｌ、４１Ｒの下部の前後を前記キャリアガイド２
１に着脱可能に嵌合して前記移動受台１６に搭載されて
いる。A carrier 40 is mounted on the movable pedestal 16. That is, the carrier 40 is provided with left and right support plates 41L and 41R, and the work plate suspension portion 4 is provided above the support plates 41L and 41R.
2L and 42R are formed, and the support plate 41
The L and 41R are connected to each other by connecting members 43 and 44 at the front and rear of their lower portions. In addition, the support plate 41
Hanging protrusions 41a are formed on the outer surfaces of L and 41R. Then, the carrier 40 is provided on the front and rear of the lower portions of the support plates 41L and 41R by the carrier guide
1 is detachably fitted and mounted on the movable pedestal 16.
【００２５】前記ワーク８０は、図１１に示すように高
硬度脆性材料、例えば半導体材料の被切断部材であり、
円筒体である。このワーク８０はワークプレート４５に
カーボンの切断層４６を介して接着されている。すなわ
ち、このワークプレート４５は図７および図８に示すよ
うに下面が接着面４７にしてあり、左右には二段構成の
第１、第２の引っ掛け部４８Ｌ、４８Ｒ、４９Ｌ、４９
Ｒが突出形成してある。また、ワークプレート４５の上
部の左右には取付孔４５ａが形成してある。そして、前
記接着面４７には切断層４６の上面部４６ａが接着して
あり、切断層４６の下部に前記ワーク８０が接着してあ
る。As shown in FIG. 11, the work 80 is a member to be cut of a high hardness brittle material, for example, a semiconductor material,
It is a cylinder. The work 80 is bonded to the work plate 45 via a carbon cutting layer 46. That is, as shown in FIGS. 7 and 8, the work plate 45 has an adhesive surface 47 on the lower surface, and the first and second hook portions 48L, 48R, 49L, 49 having a two-stage structure are provided on the left and right.
R is formed to project. Further, mounting holes 45a are formed on the left and right of the upper portion of the work plate 45. The upper surface 46a of the cutting layer 46 is bonded to the bonding surface 47, and the work 80 is bonded to the lower portion of the cutting layer 46.
【００２６】切断装置５０は、図９に示すようにテーブ
ル５１に搭載されたワイヤ切断部５２と、このワイヤ切
断部５２の上方のスライド部材５３に保持されて昇降動
するワーク保持ヘッド部５４とを備えており、ワイヤ切
断部５２は、３個のローラ５５、５６、５７に所定のピ
ッチで以て切断ワイヤ５８を巻き付け、上方のローラ５
５、５６間のワイヤ列を切断刃５９とし、切断ワイヤ５
８を高速走行させつつ加工するワーク８０から多数のウ
エハを切り出すものである。かかる切断装置５０には図
７及び図８に示すように下端部にガイド５０ａ、５０ａ
が取り付けられる。かかるガイド５０ａ、５０ａは前記
ワーク搬出入装置Ａのリフタ本体１のマスト部２の下端
部に前方に突出するように形成された前側脚部４に設け
られた外側車輪５ａ・・・と対応する間隔及び地上高を
有する。As shown in FIG. 9, the cutting device 50 includes a wire cutting part 52 mounted on a table 51, and a work holding head part 54 which is held by a slide member 53 above the wire cutting part 52 and moves up and down. The wire cutting unit 52 winds the cutting wire 58 around the three rollers 55, 56 and 57 at a predetermined pitch, and the upper roller 5
The wire row between 5 and 56 is used as the cutting blade 59, and the cutting wire 5
A large number of wafers are cut out from a workpiece 80 to be processed while the 8 is traveling at high speed. As shown in FIGS. 7 and 8, the cutting device 50 has guides 50a, 50a at its lower end.
Is attached. The guides 50a, 50a correspond to the outer wheels 5a provided on the front leg 4 formed at the lower end of the mast portion 2 of the lifter body 1 of the work loading / unloading device A so as to project forward. Distance and ground clearance.
【００２７】前記ワーク保持ヘッド部５４は図９および
図１１に示すように保持ヘッド６０を有しており、この
保持ヘッド６０にはアームブラケット６１が固着してあ
り、このアームブラケット６１の下部には左右の保持ア
ーム６２Ｌ、６２Ｒが固着してある。これらの保持アー
ム６２Ｌ、６２Ｒの外面にはキャリアガイド６３Ｌ、６
３Ｒが取り付けてある。また、前記アームブラケット６
１には左右の取付用ねじ孔６４が形成してある。The work holding head portion 54 has a holding head 60 as shown in FIGS. 9 and 11, and an arm bracket 61 is fixed to the holding head 60. The left and right holding arms 62L and 62R are fixed. The carrier guides 63L, 6L are provided on the outer surfaces of the holding arms 62L, 62R.
3R is attached. Also, the arm bracket 6
1 has left and right mounting screw holes 64 formed therein.
【００２８】次に、上記のように構成されたワーク搬出
入装置Ａの作動を説明する。前記キャリア４０には前記
ワーク８０が懸架状態でセットされている。すなわち、
前記ワークプレート４５の左右の第１の引っ掛け部４８
Ｌ、４８Ｒが、前記キャリア４０の支持プレート４１
Ｌ、４１Ｒのワークプレート懸架部４２Ｌ、４２Ｒに引
っ掛けられて前記ワーク８０が懸架状態でセットされて
いる。Next, the operation of the work carrying-in / out apparatus A having the above-described structure will be described. The work 80 is set on the carrier 40 in a suspended state. That is,
Left and right first hooks 48 of the work plate 45
L and 48R are support plates 41 of the carrier 40
The work 80 is set in a suspended state by being hooked on the work plate suspension portions 42L and 42R of the L and 41R.
【００２９】このワーク８０がセットされたキャリア４
０は、その支持プレート４１Ｌ、４１Ｒの外面に設けら
れた吊り下げ用突起部４１ａを利用してクレーン等によ
り吊り上げられて、前記ワーク搬出入装置Ａの前記移動
受台１６に、前記支持プレート４１Ｌ、４１Ｒの下部の
前後を前記キャリアガイド２１に着脱可能に嵌合して搭
載される。Carrier 4 in which this work 80 is set
0 is lifted by a crane or the like by using the hanging projections 41a provided on the outer surfaces of the support plates 41L and 41R, and the support plate 41L is attached to the movable receiving base 16 of the work loading / unloading apparatus A. , 41R and the front and rear of the lower part thereof are detachably fitted and mounted on the carrier guide 21.
【００３０】前記ワーク保持ヘッド部５４を最上端まで
上げる。そして、前記ワーク搬出入装置Ａにおいて、前
記ウインチユニット１３のハンドル１３Ａを回転させて
前記巻取部を作動させて前記ワイヤ１４を巻取り、前記
昇降体８を、前記上限ストッパピン７０に当たるまで上
昇させる。次に、前記ワーク搬出入装置Ａを人手により
押して移動させ、このワーク搬出入装置Ａの昇降体８の
先端が前記切断装置５０内のストッパ７２に当たるまで
前進させて、この昇降体８を前記切断装置５０内に位置
決めする。次に、前記ロックペダル７ａを操作して前記
ワーク搬出入装置Ａをロックする。The work holding head portion 54 is raised to the uppermost end. Then, in the work carrying-in / out apparatus A, the handle 13A of the winch unit 13 is rotated to operate the winding section to wind up the wire 14, and the elevating body 8 is lifted until it hits the upper limit stopper pin 70. Let Next, the work loading / unloading device A is manually pushed and moved, and is moved forward until the tip of the elevating body 8 of the work loading / unloading device A hits the stopper 72 in the cutting device 50, and the elevating body 8 is cut. Position in device 50. Then, the lock pedal 7a is operated to lock the work loading / unloading device A.
【００３１】次に、前記移動操作機構２６の左右いずれ
かのハンドル３１Ｌ、３１Ｒ、例えば左のハンドル３１
Ｌを回転操作することによりユニバーサルジョイント３
３Ｌ、中間軸３４Ｌ、ユニバーサルジョイント３５Ｌを
介して前記入力軸２８Ｌを回転し、この回転を前記出力
軸２９からジョイント３６を介してボールスクリュー３
７に伝えて、このボールスクリュー３７の前部に螺合し
ている前記ナットハウジング１７のナット１９をねじ送
りすることにより、前記移動受台１６を前方に移動させ
てキャリア４０をイからロに移動させ、前記ワークプレ
ート４５の左右の第２の引っ掛け部４９Ｌ、４９Ｒを、
前記ワーク保持ヘッド部５４の左右の保持アーム６２
Ｌ、６２Ｒ上に挿入する。Next, one of the left and right handles 31L and 31R of the moving operation mechanism 26, for example, the left handle 31.
Universal joint 3 by rotating L
The input shaft 28L is rotated via 3L, the intermediate shaft 34L, and the universal joint 35L, and this rotation is transmitted from the output shaft 29 via the joint 36 to the ball screw 3
7, the nut 19 of the nut housing 17 screwed to the front portion of the ball screw 37 is screw-fed to move the moving support 16 forward to move the carrier 40 from a to b. By moving the second hook portions 49L and 49R on the left and right of the work plate 45,
Left and right holding arms 62 of the work holding head portion 54
Insert on L, 62R.
【００３２】次に、前記ウインチユニット１３のハンド
ル１３Ａを回転させて前記巻取部を作動させて前記ワイ
ヤ１４を繰り出して前記昇降体８を前記下限ストッパピ
ン７１に当たるまで下降させて、前記ワークプレート４
５の左右の第２の引っ掛け部４９Ｌ、４９Ｒを、前記ワ
ーク保持ヘッド部５４の左右の保持アーム６２Ｌ、６２
Ｒに引っ掛けて、前記ワーク８０を前記ワーク保持ヘッ
ド部５４に移し、固定ボルト６５を、前記ワークプレー
ト４５の取付孔４５ａを挿入させて前記アームブラケッ
ト６１の取付用ねじ孔６４に螺合して前記ワークプレー
ト４５を介してワーク８０をワーク保持ヘッド部５４に
固定する。Next, the handle 13A of the winch unit 13 is rotated to operate the winding portion to pay out the wire 14 and lower the elevating body 8 until it hits the lower limit stopper pin 71, and the work plate. Four
The left and right second hook portions 49L and 49R of the work holding head portion 54 are connected to the left and right holding arms 62L and 62R of the work holding head portion 54.
The work 80 is moved to the work holding head portion 54 by hooking on R, and the fixing bolt 65 is inserted into the attachment hole 45a of the work plate 45 and screwed into the attachment screw hole 64 of the arm bracket 61. The work 80 is fixed to the work holding head portion 54 via the work plate 45.
【００３３】次に、前記ロックペダル７ａをアンロック
し、ワーク搬出入装置Ａを前記切断装置５０内から外に
引き出す。その場合、前記ロックペダル７ａをロックし
た状態では、前記ワーク搬出入装置Ａの前側脚部４の両
外側に設けられた外側車輪５ａ・・・が、切断装置５０
の下端部に設けられたガイド５０ａ、５０ａ間に保持さ
れた状態にあり、前記ロックペダル７ａをアンロック
し、ワーク搬出入装置Ａを前記切断装置５０内から外に
引き出す際には外側車輪５ａ・・・が、切断装置５０の
下端部に設けられたガイド５０ａ、５０ａ側部に沿って
転動し、ワーク搬出入装置Ａを前記切断装置５０内から
円滑に引き出すことができる。Next, the lock pedal 7a is unlocked, and the work loading / unloading device A is pulled out from inside the cutting device 50. In that case, in a state where the lock pedal 7a is locked, the outer wheels 5a provided on both outer sides of the front leg portion 4 of the work loading / unloading device A are connected to the cutting device 50.
Is held between guides 50a, 50a provided at the lower end of the lock pedal 7a, the lock pedal 7a is unlocked, and when the work loading / unloading device A is pulled out from the inside of the cutting device 50, the outer wheel 5a is pressed. ... roll along the guides 50a, 50a side portions provided at the lower end of the cutting device 50, and the work loading / unloading device A can be smoothly pulled out from the cutting device 50.
【００３４】次に、前記ワイヤ切断部５２において切断
ワイヤ５８を高速走行させ、前記ワーク保持ヘッド部５
４を下降させて、前記ワーク８０を切断ワイヤ５８の切
断刃５９に押し付けつつ切断加工を行い、前記ワーク８
０から多数のウエハを切り出す。この場合、切断ワイヤ
５８の切断刃５９は前記ワーク８０を切断した後切断層
４６まで切り込む。そして、切断ワイヤ５８の走行を停
止し、前記固定ボルト６５を外して、前記ワークプレー
ト４５をワーク保持ヘッド部５４から外す。Next, the cutting wire 58 is made to travel at a high speed in the wire cutting section 52, and the work holding head section 5 is moved.
4 is lowered and the cutting work is performed while pressing the work 80 against the cutting blade 59 of the cutting wire 58.
A large number of wafers are cut out from 0. In this case, the cutting blade 59 of the cutting wire 58 cuts the work 80 and then cuts to the cutting layer 46. Then, the traveling of the cutting wire 58 is stopped, the fixing bolt 65 is removed, and the work plate 45 is removed from the work holding head portion 54.
【００３５】次に、前記ワーク保持ヘッド部５４を最上
端まで上げる。ワーク搬出入装置Ａにおいて、前記ウイ
ンチユニット１３のハンドル１３Ａを回転させて前記巻
取部を作動させて前記ワイヤ１４を繰出して前記昇降体
８を下限ストッパピン７１に当たるまで下降させる。次
に、前記ワーク搬出入装置Ａを人手により押して移動さ
せ、このワーク搬出入装置Ａの昇降体８を前記切断装置
５０内に入れる。次に、前記ハンドル３１Ｌを正回転操
作することにより前記ボールスクリュー３７を正回転さ
せて前記移動受台１６を前方に移動してキャリア４０を
イからロに移動させ、前記キャリア４０の支持プレート
４１Ｌ、４１Ｒのワークプレート懸架部４２Ｌ、４２Ｒ
を前記前記ワークプレート４５の第１の引っ掛け部４８
Ｌ、４８Ｒの下方に位置させる。Next, the work holding head portion 54 is raised to the uppermost end. In the work carrying-in / out apparatus A, the handle 13A of the winch unit 13 is rotated to operate the winding section to pay out the wire 14 and lower the elevating body 8 until it hits the lower limit stopper pin 71. Next, the work loading / unloading device A is manually pushed and moved, and the elevating body 8 of the work loading / unloading device A is put into the cutting device 50. Next, the ball screw 37 is rotated in the forward direction by rotating the handle 31L in the forward direction to move the movable pedestal 16 forward to move the carrier 40 from a to b, thereby supporting the support plate 41L of the carrier 40. , 41R work plate suspensions 42L, 42R
The first hook 48 of the work plate 45
It is located below L and 48R.
【００３６】そして、前記ウインチユニット１３のハン
ドル１３Ａを回転させて前記巻取部を作動させて前記ワ
イヤ１４を巻き取り前記昇降体８を上限ストッパピン７
０に当たるまで上昇させて、前記ワークプレート懸架部
４２Ｌ、４２Ｒで前記ワークプレート４５の第１の引っ
掛け部４８Ｌ、４８Ｒに引っ掛けて、前記ワーク８０を
前記キャリア４０に移す。次に、前記ハンドル３１Ｌを
逆回転操作することにより前記ボールスクリュー３７を
逆回転させて前記移動受台１６を後方に移動させてキャ
リア４０をロからイに移動させワーク８０を引き出す。
そして、前記ワーク搬出入装置Ａを前記切断装置５０内
から外に移す。その場合、前記ロックペダル７ａをロッ
クした状態では、前記ワーク搬出入装置Ａの前側脚部４
の両外側に設けられた外側車輪５ａ・・・が、切断装置
５０の下端部に設けられたガイド５０ａ、５０ａ間に保
持された状態にあり、前記ロックペダル７ａをアンロッ
クし、ワーク搬出入装置Ａを前記切断装置５０内から外
に引き出す際には外側車輪５ａ・・・が、切断装置５０
の下端部に設けられたガイド５０ａ、５０ａ側部に沿っ
て転動し、ワーク搬出入装置Ａを前記切断装置５０内か
ら円滑に引き出すことができる。Then, the handle 13A of the winch unit 13 is rotated to operate the winding portion to wind the wire 14 and the lifting body 8 to the upper limit stopper pin 7
The workpiece 80 is moved up to 0 and is hooked on the first hook portions 48L and 48R of the work plate 45 by the work plate suspension portions 42L and 42R, and the work 80 is transferred to the carrier 40. Next, by rotating the handle 31L in the reverse direction, the ball screw 37 is rotated in the reverse direction to move the movable pedestal 16 rearward, move the carrier 40 from the bottom to the end, and pull out the work 80.
Then, the work loading / unloading device A is moved from the inside of the cutting device 50 to the outside. In that case, when the lock pedal 7a is locked, the front leg 4 of the work loading / unloading device A is
Outside wheels 5a provided on both outer sides of the cutting device 50 are held between guides 50a provided at the lower end of the cutting device 50, the lock pedal 7a is unlocked, and the work is loaded and unloaded. When pulling out the device A from the inside of the cutting device 50, the outer wheels 5a ...
The work loading / unloading device A can be smoothly pulled out from the inside of the cutting device 50 by rolling along the guides 50a and 50a side parts provided at the lower end part of the cutting device 50.
【００３７】[0037]
【発明の効果】以上詳述したように、請求項１に係わる
発明は、走行可能なリフタ本体に、マスト部と、このマ
スト部を昇降する昇降体と、この昇降体の昇降動を操作
する昇降操作機構とを設け、前記昇降体に、水平方向に
移動可能な移動受台と、この移動受台の移動を操作する
移動操作機構とを設け、前記移動受台に、ワークを着脱
可能に保持してこのワークを切断装置のワーク保持ヘッ
ド部に移すキャリアを着脱可能に搭載したから、前記昇
降操作機構を操作して前記昇降体を昇降動させて前記ワ
ークを所定高さに位置させ、このワーク搬出入装置を押
して移動させ、切断装置内に挿入し位置決めした後、前
記移動操作機構を操作して前記移動受台を水平移動させ
て、ワークを切断装置のワーク保持ヘッド部に移すこと
ができて、このワークの高さの調整が容易になり、作業
性が良好になる。As described above in detail, in the invention according to claim 1, the movable lifter body controls the mast portion, the elevating body for elevating the mast portion, and the elevating movement of the elevating body. An elevating operation mechanism is provided, a movable pedestal that can move in the horizontal direction is provided on the elevating body, and a movement operation mechanism that operates movement of the movable pedestal is provided, and a work can be attached to and detached from the movable pedestal Since a carrier that holds and transfers this work to the work holding head of the cutting device is detachably mounted, the lifting operation mechanism is operated to move the lifting body up and down to position the work at a predetermined height, After pushing and moving this work loading / unloading device, inserting and positioning in the cutting device, operating the moving operation mechanism to horizontally move the movable pedestal and transferring the work to the work holding head part of the cutting device. This is Adjustment of the height of the click is facilitated, workability is improved.
【００３８】また、前記キャリアを、上部にワークプレ
ート懸架部を形成した左右の支持プレートを、その下部
で連結部材により互いに連結して構成し、前記ワークプ
レート懸架部に、ワークを保持したワークプレートの両
端部の引っ掛け部を引っ掛けて前記キャリアにワークを
懸架するようにしたから、前記ワークプレートの両端部
の引っ掛け部を前記キャリアのワークプレート懸架部に
引っ掛けることで前記キャリアがワークを懸架すること
ができて、ワークのキャリアへの載置およびキャリアか
ら切断装置のワーク保持ヘッド部へのワークの移行を容
易にし、作業性を向上させることができる。Further , the carrier is constructed by connecting left and right support plates having work plate suspensions formed on the upper part thereof to each other by connecting members at the lower parts thereof, and the work plate holding the work on the work plate suspensions. Since the work is suspended on the carrier by hooking the hooks on both ends of the carrier, the carrier can suspend the work by hooking the hooks on both ends of the work plate to the work plate suspension of the carrier. Therefore, it is possible to facilitate the placement of the work on the carrier and the transfer of the work from the carrier to the work holding head portion of the cutting device, thereby improving workability.
【００３９】また、前記キャリアを、前記支持プレート
の下部を前記移動受台に設けたキャリアガイドに着脱可
能に嵌合して前記移動受台に搭載するようにしたから、
ワークを懸架したキャリアを前記移動受台に容易に搭載
することができて、作業性を向上させることができる。Further , the carrier is mounted on the movable pedestal by detachably fitting the lower portion of the support plate to a carrier guide provided on the movable pedestal.
The carrier on which the work is suspended can be easily mounted on the movable pedestal, and the workability can be improved.
【００４０】また、請求項２に係わる発明は、請求項１
または請求項２記載のワーク搬出入装置において、前記
ワークプレートは、その下面において切断層を介してワ
ークを保持し、前記ワークプレートの両端部に、前記キ
ャリアのワークプレート懸架部に引っ掛けられる第１の
引っ掛け部と、前記ワーク保持ヘッド部の保持アームに
引っ掛けられる第２の引っ掛け部とを設けたから、前記
ワークプレートの第１の引っ掛け部を前記キャリアのワ
ークプレート懸架部に引っ掛けることで前記キャリアが
ワークを懸架することができ、前記ワークプレートの第
２の引っ掛け部を前記ワーク保持ヘッド部の保持アーム
に引っ掛けることによりワークをワーク保持ヘッド部に
移行させることができるので、ワークのキャリアへの載
置およびキャリアから切断装置のワーク保持ヘッド部へ
のワークの移行を容易にし、作業性を向上させることが
できる。The invention according to claim 2 is the same as claim 1.
Alternatively, in the work loading / unloading device according to claim 2 , the work plate holds the work through a cutting layer on a lower surface of the work plate, and the work plate is hooked at both end portions of the work plate by a work plate suspension portion of the carrier. And a second hooking part that is hooked on the holding arm of the work holding head part are provided, so that the first hooking part of the work plate is hooked on the work plate suspension part of the carrier, Since the work can be suspended and the work can be transferred to the work holding head by hooking the second hooking portion of the work plate on the holding arm of the work holding head, the work is placed on the carrier. Transfer of workpieces from the table and carrier to the workpiece holding head of the cutting device. To easily, thereby improving the workability.
【００４１】また、請求項３に係わる発明にあっては前
記リフタ本体の脚部にガイド用の車輪が設けられ、この
ガイド用の車輪が切断装置に取り付けられたガイドに転
動可能に保持されることにより、ワーク搬出入装置を前
記切断装置の所定位置に保持でき、また切断装置内から
外に引き出す際にはガイド用の車輪が、切断装置に設け
られたガイドに沿って転動し、ワーク搬出入装置を前記
切断装置内から円滑に引き出すことができる。In the invention according to claim 3 , a guide wheel is provided on the leg of the lifter body, and the guide wheel is rotatably held by the guide attached to the cutting device. By this, the work loading / unloading device can be held at a predetermined position of the cutting device, and when pulling out from the inside of the cutting device, a guide wheel rolls along a guide provided in the cutting device, The work loading / unloading device can be smoothly pulled out from the cutting device.
【図１】 （１）は本発明に係わるワーク搬出入装置の
側面図である。
（２）は同ワーク搬出入装置のリフタ本体の一部省略し
た斜視図である。FIG. 1 (1) is a side view of a work loading / unloading device according to the present invention. FIG. 2B is a perspective view of the lifter body of the workpiece loading / unloading device with a part thereof omitted.
【図２】 図１のＵ方向からの矢視図である。FIG. 2 is a view from the direction U in FIG.
【図３】 図２のＶ方向からの矢視図である。3 is a view from the direction V in FIG.
【図４】 図２のＷ方向からの矢視図である。FIG. 4 is a view as seen from the direction W in FIG.
【図５】 図１Ｘ矢視図である。5 is a view on arrow in FIG. 1X. FIG.
【図６】 切断装置下端部に設けられるガイドの矢視図
である。FIG. 6 is an arrow view of a guide provided at the lower end of the cutting device.
【図７】 ワークプレートの正面図である。FIG. 7 is a front view of a work plate.
【図８】 ワークプレートの側面図である。FIG. 8 is a side view of a work plate.
【図９】 切断装置の概略的な側面図である。FIG. 9 is a schematic side view of a cutting device.
【図１０】 本発明に係わるワーク搬出入装置で切断装
置にワークを搬入する状態の説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of a state where a work is carried in to the cutting device by the work carry-in / carry-out device according to the present invention.
【図１１】 切断装置のワーク保持ヘッド部がワークを
保持した状態の正面図である。FIG. 11 is a front view of a state where a work holding head portion of the cutting device holds a work.
【図１２】同平面図である。FIG. 12 is a plan view of the same.
【図１３】図１１のＸ−Ｘ線に沿う断面図である。13 is a cross-sectional view taken along the line XX of FIG.
【図１４】図１１のＹ−Ｙ線に沿う断面図である。14 is a cross-sectional view taken along the line YY of FIG.
１ リフタ本体 ２ マスト部 ５ 前側車輪（走行用の車輪） ５ａ 外側車輪（ガイド用の車輪） ７ 後側車輪（走行用の車輪） ８ 昇降体 ９ 昇降操作機構 １６ 移動受台 ２６ 移動操作機構 ４０ キャリア ５０ 切断装置 ５０ａ ガイド ５４ ワーク保持ヘッド部 ８０ ワーク 1 Lifter body 2 mast section 5 front wheels (wheels for traveling) 5a Outer wheel (wheel for guide) 7 Rear wheels (wheels for traveling) 8 Lifting body 9 Lifting operation mechanism 16 Moving stand 26 Moving operation mechanism 40 carriers 50 cutting device 50a guide 54 Work holding head 80 work
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｂ６６Ｆ 7/28 Ｂ６６Ｆ 7/28 Ｅ 9/14 9/14 Ｈ (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23Q 7/00 B24B 27/06 B28D 1/22 B28D 7/00 B66F 7/28 B66F 9/14 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 identification code FI B66F 7/28 B66F 7/28 E 9/14 9/14 H (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) B23Q 7/00 B24B 27/06 B28D 1/22 B28D 7/00 B66F 7/28 B66F 9/14
Claims (3)
のワークプレートがセットされるキャリアとそのキャリ
アが搭載されるリフタ本体とを有し、ワークをワイヤで
切断する切断装置のワイヤ切断部の上方に備えられたワ
ーク保持ヘッド部に当該ワークをワークプレートに保持
された状態で搬出入するワーク搬出入装置であって、 前記キャリアは、左右一対の支持プレートが互いにその
下部で連結部材により連結されてなり、前記支持プレー
トそれぞれの上部に形成されワークが保持されたワーク
プレートの両端部が着脱自在に懸架されるワークプレー
ト懸架部と、前記支持プレートそれぞれの下部の前後に
形成された嵌合部と、前記支持プレートそれぞれの外面
に設けられた吊り下げ用突起部とを備え、 前記リフタ本体は、門型形状でその左右の部位がレール
となっている マスト部と、このマスト部の下部に設けら
れ走行用の車輪により走行可能な走行部と、前記マスト
部のレールに昇降可能に連結された昇降体と、この昇降
体上に水平方向に移動可能に搭載される移動受台と、こ
の移動受台に固着され前記キャリアの嵌合部が着脱可能
に嵌合されるキャリアガイドとを備えたことを特徴とす
るワーク搬出入装置。1.The work plate holding the work and its
Carrier and its carrier where the work plate of
With the lifter body on which the
The wire provided above the wire cutting part of the cutting device for cutting.
Holds the work on the work plate in the work holding head
Is a work loading / unloading device for loading / unloading in a state where In the carrier, a pair of left and right support plates are attached to each other.
The lower part is connected by a connecting member,
Work pieces formed on the top of each
Work play with both ends of the plate detachably suspended
Before and after the suspension and the bottom of each of the support plates
The formed fitting part and the outer surface of each of the support plates
And a hanging protrusion provided on the The lifter body is in the shape of a gate and the left and right parts are rails.
Has become Mast part,It is provided under the mast part
ReWheels for travelingByCan runA running section,The mast
DepartmentOn the railLiftConnected possibleLifting body,This lift
On the bodyCan be moved horizontallyMounted onWith a mobile cradle, This
It is firmly attached to the movable pedestal of and the fitting part of the carrier is removable
With a carrier guide that is fitted toToHaving preparedCharacterized by
Work loading / unloading device.
て切断層を介してワークを保持し、前記ワークプレート
の左右両端部それぞれが前記キャリアのワークプレート
懸架部に引っ掛けて懸架される第１の引っ掛け部と、前
記ワーク保持ヘッド部の下部の左右に設けられた一対の
保持アームに引っ掛けられる第２の引っ掛け部とが二段
構成に突出形成された請求項１に記載のワーク搬出入装
置。Wherein said workpiece plate, the workpiece holding through a cutting layer in its lower surface, the first hook portion, each right and left end portions of the work plate is suspended by hooking the work plate suspension part of the carrier When the second hook and bunk to be hooked to a pair of <br/> holding arm provided on the left and right of the lower portion of the workpiece holding head
The work loading / unloading device according to claim 1, wherein the work loading / unloading device is formed to project .
が設けられ、このガイド用の車輪が切断装置に取り付け
られたガイドに転動可能に保持されることを特徴とする
請求項１または請求項２に記載のワーク搬出入装置。3. A wheel guide is provided on the leg portion of the lifter body, according to claim 1 or, characterized in that the wheel for the guide is held rollably in the guide which is attached to the cutting device The work loading / unloading device according to claim 2 .
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