JP3408637B2 - Poppet type directional valve - Google Patents

Poppet type directional valve

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JP3408637B2
JP3408637B2 JP20164194A JP20164194A JP3408637B2 JP 3408637 B2 JP3408637 B2 JP 3408637B2 JP 20164194 A JP20164194 A JP 20164194A JP 20164194 A JP20164194 A JP 20164194A JP 3408637 B2 JP3408637 B2 JP 3408637B2
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poppet
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pressure receiving
area setting
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雅晴 中川
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Koganei Corp
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はソレノイドにより作動す
るポペット形方向切換弁に関し、特にソレノイドにより
作動され3ポートを有する2位置切換式の方向切換弁に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solenoid operated poppet type directional control valve, and more particularly to a solenoid operated two position directional control valve having three ports.

【0002】[0002]

【従来の技術】圧縮空気、加圧液体あるいは負圧空気な
どの流体を供給する流体圧供給源と、これらの流体によ
り作動する流体圧作動機器とを結ぶ流体供給路に流体の
流れを切り換える切換弁を設けることにより、流体圧作
動機器の作動を制御するようにしている。
2. Description of the Related Art Switching for switching the flow of a fluid to a fluid supply path connecting a fluid pressure supply source for supplying a fluid such as compressed air, pressurized liquid or negative pressure air and a fluid pressure operating device operated by these fluids. By providing the valve, the operation of the fluid pressure operated device is controlled.

【0003】たとえば、図1(a)に示す流体圧回路
は、空気圧供給源1aとここから供給される圧縮空気に
より作動する流体圧作動機器としての単動形のシリンダ
2aとを結ぶ空気供給路3aを有しており、この空気供
給路3aには切換弁4aが設けられ、この切換弁4aは
ソレノイドに通電がなされないときには、空気供給路3
aが閉塞されるような常閉式となっている。
For example, the fluid pressure circuit shown in FIG. 1 (a) is an air supply path connecting an air pressure supply source 1a and a single-acting cylinder 2a as a fluid pressure operation device operated by compressed air supplied from the air pressure supply source 1a. 3a, and a switching valve 4a is provided in the air supply passage 3a. The switching valve 4a is provided when the solenoid is not energized.
It is a normally closed type in which a is closed.

【0004】図1(b)は薬液供給源1bからの加圧液
体を薬液塗布ノズル2bに薬液供給路3bを介して供給
するようにした流体圧回路を示しており、この薬液供給
路3bに設けられた切換弁4bは常開式となっており、
この切換弁4bのソレノイドに通電がなされないときに
は、薬液供給路3bは開放された状態となって薬液塗布
ノズル2bから薬液が塗布される。
FIG. 1 (b) shows a fluid pressure circuit for supplying a pressurized liquid from a chemical liquid supply source 1b to a chemical liquid coating nozzle 2b via a chemical liquid supply passage 3b, and to this chemical liquid supply passage 3b. The provided switching valve 4b is a normally open type,
When the solenoid of the switching valve 4b is not energized, the chemical liquid supply passage 3b is opened and the chemical liquid is applied from the chemical liquid application nozzle 2b.

【0005】図1(c)は負圧供給源1cとバキューム
カップ2cとこれらを結ぶ負圧供給路3cとを有する流
体圧回路を示す図であり、この負圧供給路3cには常閉
式の切換弁4cが設けられ、この切換弁4cに通電がな
されないときには、負圧供給路3cは閉塞された状態と
なる。図示しないワークをバキュームカップ2cに接触
させた状態でソレノイドに通電すると、ワークは負圧状
態となったバキュームカップ2cに吸着される。
FIG. 1 (c) is a diagram showing a fluid pressure circuit having a negative pressure supply source 1c, a vacuum cup 2c, and a negative pressure supply passage 3c connecting them, and the negative pressure supply passage 3c is of a normally closed type. When the switching valve 4c is provided and the switching valve 4c is not energized, the negative pressure supply passage 3c is closed. When a work (not shown) is brought into contact with the vacuum cup 2c and the solenoid is energized, the work is attracted to the vacuum cup 2c in the negative pressure state.

【0006】図1(a)に示すように、常閉式の切換弁
4aにおける弁体に作用する流体の圧力をバランスさせ
るようにしたタイプのポペット形方向切換弁としては、
たとえば、特公平5−43914号公報に示されるよう
なものがある。この公報に記載された切換弁は、入力ポ
ートに連通された弁室を弁体とダイヤフラムとにより形
成するようにし、しかも弁体の受圧面積とダイヤフラム
の受圧面積とを等しくして弁体に作用する力をバランス
するようにしている。
As shown in FIG. 1 (a), a poppet type directional control valve of the type in which the pressure of the fluid acting on the valve body of the normally closed switching valve 4a is balanced is as follows.
For example, there is one as shown in Japanese Patent Publication No. 5-43914. In the switching valve described in this publication, a valve chamber communicating with the input port is formed by a valve body and a diaphragm, and the pressure receiving area of the valve body and the pressure receiving area of the diaphragm are made equal to act on the valve body. I try to balance the power to do it.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、同一構
造の切換弁を用いて正圧を制御する場合と負圧を制御す
る場合とのいずれにも適用し得るようにするには、使用
される正圧は大気圧に対して大きな圧力差を有する半
面、負圧の制御に使用される場合にはその負圧は大気圧
に比して圧力差があまりないので、弁体に作用する流体
の圧力バランスを相違させてもソレノイドのプランジャ
吸引力を上昇させる必要はない。
However, in order to be applicable to both the case of controlling the positive pressure and the case of controlling the negative pressure by using the switching valve having the same structure, the positive valve used is used. The pressure has a large pressure difference with respect to the atmospheric pressure, but when it is used to control the negative pressure, the negative pressure has less pressure difference than the atmospheric pressure, so the pressure of the fluid acting on the valve body Even if the balance is changed, it is not necessary to increase the plunger attraction force of the solenoid.

【0008】一般に負圧つまり真空の切換弁は高いシー
ル性が要求されるため、負圧側のダイヤフラム受圧径を
大きくし、敢えて主軸のバランスを崩すことで自己シー
ル性を向上させて安定した切り換えを行うことができ
る。このため、前記公報に記載された切換弁では正圧流
体の切り換え制御と負圧流体の切り換え制御との両方を
小さな主軸駆動力で円滑に行うことができない。
In general, a negative pressure, that is, a vacuum switching valve is required to have a high sealing property. Therefore, by increasing the diaphragm pressure receiving diameter on the negative pressure side and intentionally breaking the balance of the main shaft, the self-sealing property is improved and stable switching is performed. It can be carried out. Therefore, the switching valve described in the above publication cannot smoothly perform both positive pressure fluid switching control and negative pressure fluid switching control with a small spindle driving force.

【0009】本発明の目的は、正圧の流れを切り換え制
御する場合でも負圧の流れを切り換え制御する場合で
も、弁の切り換えに必要な主軸駆動力を最小にして、流
体の流れの切り換えを行い得るようにすることにある。
An object of the present invention is to switch the flow of fluid by minimizing the main shaft driving force required for switching the valve regardless of whether the flow of positive pressure is switched or controlled to switch the flow of negative pressure. To be able to do it.

【0010】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
Among the inventions disclosed in the present application, a brief description will be given to the outline of typical ones.
It is as follows.

【0012】すなわち、本発明のポペット形方向切換弁
は、弁軸が軸方向に移動自在に装着された弁孔が形成さ
れた弁ハウジングを有し、この弁ハウジングには弁孔に
連通する機器接続ポートと、弁孔に第1弁室を介して接
続される常開側ポートと第2弁室を介して接続される常
閉側ポートとが形成されている。弁軸の一端部には第1
弁座を開閉する第1ポペット弁と第1弁室を区画する第
1ダイヤフラムが設けられ、他端部には第2弁座を開閉
する第2ポペット弁と第2弁座を区画する第2ダイヤフ
ラムが設けられている。それぞれのダイヤフラムの内側
には負圧用受圧面積設定内周面が設けられ、外側には正
圧用受圧面積設定内周面が設けられている。そして、そ
れぞれの負圧用受圧面積設定内周面の内径はそれぞれの
正圧用受圧面積設定リングの内径よりも大きく形成され
ている。
That is, the poppet type directional control valve of the present invention has a valve housing formed with a valve hole in which a valve shaft is movably mounted in the axial direction, and this valve housing has a device communicating with the valve hole. A connection port, a normally open side port connected to the valve hole via the first valve chamber, and a normally closed side port connected to the valve hole via the second valve chamber are formed. The first on one end of the valve stem
A first poppet valve that opens and closes the valve seat and a first diaphragm that partitions the first valve chamber are provided, and a second poppet valve that opens and closes the second valve seat and a second diaphragm that partitions the second valve seat are provided at the other end. A diaphragm is provided. A negative pressure receiving area setting inner peripheral surface is provided on the inner side of each diaphragm, and a positive pressure receiving area setting inner peripheral surface is provided on the outer side thereof. The inner diameter of each negative pressure receiving area setting inner peripheral surface is formed larger than the inner diameter of each positive pressure receiving area setting ring.

【0013】そして、弁孔の内径をS、それぞれの弁室
内における弁軸の外径をT、それぞれの正圧用受圧面積
設定内周面の内径をdおよびそれぞれの負圧用受圧面積
設定内周面の内径をDとすると、D>d>S>Tとなる
ようにそれぞれの径が設定されている。
The inner diameter of the valve hole is S, the outer diameter of the valve shaft in each valve chamber is T, the inner diameter of the positive pressure receiving area setting inner peripheral surface is d, and the negative pressure receiving area setting inner peripheral surface is d. Letting D be the inner diameter of each, the respective diameters are set so that D>d>S> T.

【0014】[0014]

【作用】前記した構成を有することから、常開側ポート
と常閉側ポートのいずれに正圧の流体を供給するように
しても、それぞれのダイヤフラムとポペット弁には弁軸
を軸方向に作用させるような圧力が加わらないので、高
い正圧の流体を供給させても、円滑に弁軸をソレノイド
への通電により作動させることができ、弁軸を小さな推
力で作動させることができる。
With the above-mentioned structure, the valve shaft acts axially on each diaphragm and poppet valve regardless of whether the positive pressure fluid is supplied to the normally open port or the normally closed port. Since no such pressure is applied, the valve shaft can be smoothly operated by energizing the solenoid even if a high positive pressure fluid is supplied, and the valve shaft can be operated with a small thrust.

【0015】一方、常開側ポートと常閉側ポートのいず
れに負圧の流体を供給するようにしても、それぞれのダ
イヤフラムには正圧の場合に比してより広い面積の部分
に大気圧が作用してこれがポペット弁を弁座に密着させ
る方向の推力となり、密着力を確保することができる。
しかも、負圧が使用される場合には大気圧との差は正圧
の流体が使用される場合に比して小さいので、弁軸をソ
レノイドにより作動させる際の推力を小さくして、安定
したポペット弁の弁座シート力を確保することができ
る。
On the other hand, regardless of whether the negative pressure fluid is supplied to the normally open side port or the normally closed side port, the atmospheric pressure is applied to the respective diaphragms in a wider area as compared with the case of positive pressure. Acts to act as a thrust in the direction of bringing the poppet valve into close contact with the valve seat, and the close contact force can be secured.
Moreover, when negative pressure is used, the difference from the atmospheric pressure is smaller than when positive pressure fluid is used, so the thrust when operating the valve shaft with a solenoid is reduced to stabilize. The seat force of the poppet valve seat can be secured.

【0016】[0016]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0017】図2は本発明の一実施例であるポペット形
方向切換弁を示す図である。この切換弁10はソレノイ
ド部11と弁ハウジング12とを有しており、弁ハウジ
ング12は中央部13とキャップ部14とから構成され
ている。弁ハウジング12内には、弁孔15が形成され
ており、この弁孔15の一端部には第1弁座16が形成
され、他端部には第2弁座17が形成されている。
FIG. 2 is a view showing a poppet type directional control valve which is an embodiment of the present invention. The switching valve 10 has a solenoid portion 11 and a valve housing 12, and the valve housing 12 is composed of a central portion 13 and a cap portion 14. A valve hole 15 is formed in the valve housing 12, a first valve seat 16 is formed at one end of the valve hole 15, and a second valve seat 17 is formed at the other end.

【0018】弁ハウジング12には、図1に示したシリ
ンダ2a、薬液塗布ノズル2bおよびバキュームカップ
2cなどの流体圧作動機器が接続される機器接続ポート
18が形成されており、この機器接続ポート18は弁孔
15にその内周壁の部分で開口されている。
The valve housing 12 is formed with a device connection port 18 to which fluid pressure actuated devices such as the cylinder 2a, the chemical solution coating nozzle 2b and the vacuum cup 2c shown in FIG. 1 are connected. Is opened in the valve hole 15 at the inner peripheral wall thereof.

【0019】弁ハウジング12には、弁孔15に連通す
る第1弁室21が第1弁座16側に位置させて形成され
ており、弁孔15に連通する第2弁室22が第2弁座1
7側に位置させて形成されている。第1弁室21には常
開側ポート23が連通されており、第2弁室22には常
閉側ポート24が連通されている。
A first valve chamber 21 communicating with the valve hole 15 is formed in the valve housing 12 so as to be positioned on the first valve seat 16 side, and a second valve chamber 22 communicating with the valve hole 15 is formed into a second valve chamber 22. Valve seat 1
It is formed so as to be located on the 7 side. The normally open port 23 is in communication with the first valve chamber 21, and the normally closed port 24 is in communication with the second valve chamber 22.

【0020】弁孔15内には弁軸25つまり弁駆動用の
主軸が軸方向に摺動自在に装着されており、この弁軸2
5は第1弁軸部26と第2弁軸部27とにより形成され
ている。第1弁軸部26に形成された嵌合孔26a内に
第2弁軸部27に形成された嵌合突起27aを嵌合させ
ることにより、弁軸25が形成される。ただし、両方の
弁軸部26,27を相互にねじ結合するようにしても良
い。
In the valve hole 15, a valve shaft 25, that is, a valve driving main shaft is mounted so as to be slidable in the axial direction.
5 is formed by the first valve shaft portion 26 and the second valve shaft portion 27. The valve shaft 25 is formed by fitting the fitting protrusion 27a formed in the second valve shaft portion 27 into the fitting hole 26a formed in the first valve shaft portion 26. However, both valve shaft portions 26 and 27 may be screwed to each other.

【0021】キャップ部14と弁軸25との間には圧縮
コイルばね28が装着されており、このばね28によっ
て弁軸25には、これの一端部に向かう方向つまりソレ
ノイド部11に向かう方向のばね力が付勢されている。
A compression coil spring 28 is mounted between the cap portion 14 and the valve shaft 25, and the spring 28 causes the valve shaft 25 to move in the direction toward one end thereof, that is, toward the solenoid portion 11. Spring force is biased.

【0022】弁軸25には第1弁室21と第2弁室22
の位置にそれぞれ環状の突起部26b,27bが形成さ
れており、それぞれの突起部26b,27bにゴムの層
を被覆することにより、第1ポペット弁31と第2ポペ
ット弁32とが形成されている。したがって、ソレノイ
ド部11が作動しないときには、ばね28によって弁軸
25はソレノイド部11側に移動して第2ポペット弁3
2が弁座17に接触し、常閉側ポート24と弁孔15と
の連通が閉じられる。このときには、第1ポペット弁3
1は弁座16から離れて常開側ポート23と弁孔15と
が連通状態となる。
The valve shaft 25 has a first valve chamber 21 and a second valve chamber 22.
The annular protrusions 26b and 27b are formed at the respective positions, and the first poppet valve 31 and the second poppet valve 32 are formed by coating the protrusions 26b and 27b with a rubber layer. There is. Therefore, when the solenoid portion 11 does not operate, the valve shaft 25 moves toward the solenoid portion 11 side by the spring 28 and the second poppet valve 3
2 contacts the valve seat 17, and the communication between the normally closed port 24 and the valve hole 15 is closed. At this time, the first poppet valve 3
1 is away from the valve seat 16 and the normally open port 23 and the valve hole 15 are in communication with each other.

【0023】一方、ソレノイド部11を作動させると、
ばね28のばね力に抗して弁軸25はキャップ部14側
に移動することになり、これにより、第1ポペット弁3
1が第1弁座16に接触して常開側ポート23が閉じら
れ、同時に、第2ポペット弁32が第2弁座17から離
れて常閉側ポート24が開かれる。
On the other hand, when the solenoid 11 is operated,
The valve shaft 25 moves toward the cap portion 14 side against the spring force of the spring 28, whereby the first poppet valve 3
1 contacts the first valve seat 16 to close the normally open side port 23, and at the same time, the second poppet valve 32 separates from the second valve seat 17 to open the normally closed side port 24.

【0024】弁軸25のソレノイド部11側には、ゴム
製の第1ダイヤフラム33が設けられており、このダイ
ヤフラム33は第1ポペット弁31と一体に形成されて
いる。また、弁軸25のキャップ部14側にはゴム製の
第2ダイヤフラム34が設けられており、このダイヤフ
ラム34は第2ポペット弁32と一体に形成されてい
る。それぞれのポペット弁31,32とダイヤフラム3
3,34とを繋ぐ部分は円筒形状となって弁軸25の一
部を構成しており、その部分はそれぞれの弁室21,2
2内に露出している。そして露出した部分が弁軸25の
外周面となっている。
A first diaphragm 33 made of rubber is provided on the solenoid portion 11 side of the valve shaft 25, and the diaphragm 33 is formed integrally with the first poppet valve 31. A second diaphragm 34 made of rubber is provided on the valve shaft 25 on the side of the cap portion 14, and the diaphragm 34 is formed integrally with the second poppet valve 32. Each poppet valve 31, 32 and diaphragm 3
The part connecting the valve shafts 3 and 34 has a cylindrical shape and constitutes a part of the valve shaft 25.
It is exposed in 2. The exposed portion is the outer peripheral surface of the valve shaft 25.

【0025】第1ダイヤフラム33によってその内側の
第1弁室21と外側の大気圧室35とが区画されてお
り、大気圧室35は図示しない流路によって外部に連通
されている。また、第2ダイヤフラム34によってその
内側の第2弁室22と外側の大気圧室36とが区画され
ており、大気圧室36はキャップ部14に形成された流
路37により外部に連通されている。
The first diaphragm 33 defines the inner first valve chamber 21 and the outer atmospheric pressure chamber 35, and the atmospheric pressure chamber 35 is communicated to the outside by a flow path (not shown). Further, the second diaphragm 34 partitions the second valve chamber 22 on the inner side and the atmospheric pressure chamber 36 on the outer side, and the atmospheric pressure chamber 36 is communicated to the outside by a flow path 37 formed in the cap portion 14. There is.

【0026】図示する場合には弁ハウジング12には第
1ダイヤフラム33の内側に位置させて負圧用受圧面積
設定リング41が着脱自在に設けられ、この内周面が負
圧用受圧面積設定内周面41aとなっている。第2ダイ
ヤフラム34の内側に位置させて負圧用受圧面積設定リ
ング42が着脱自在に設けられており、この内周面が負
圧用受圧面積設定内周面42aとなっている。ただし、
これらのリング41,42の部分を弁ハウジング12と
一体に形成するようにしても良い。
In the case shown in the drawing, a negative pressure receiving area setting ring 41 is detachably provided in the valve housing 12 inside the first diaphragm 33, and the inner peripheral surface thereof is a negative pressure receiving area setting inner peripheral surface. 41a. A negative pressure receiving area setting ring 42 is detachably provided inside the second diaphragm 34, and an inner peripheral surface thereof serves as a negative pressure receiving area setting inner peripheral surface 42a. However,
The portions of these rings 41 and 42 may be formed integrally with the valve housing 12.

【0027】また、弁ハウジング12には第1ダイヤフ
ラム33の外側に位置させて正圧用受圧面積設定リング
43が着脱自在に設けられ、第2ダイヤフラム34の外
側に位置させて正圧用受圧面積設定リング44が着脱自
在に設けられており、それぞれのリング43,44の内
周面は正圧用受圧面積設定内周面43a,44aとなっ
ている。
A positive pressure pressure receiving area setting ring 43 is detachably provided on the valve housing 12 outside the first diaphragm 33, and a positive pressure receiving area setting ring is positioned outside the second diaphragm 34. 44 are detachably provided, and the inner peripheral surfaces of the rings 43 and 44 are positive pressure receiving area setting inner peripheral surfaces 43a and 44a.

【0028】それぞれの負圧用受圧面積設定リング4
1,42の内径をφDとし、それぞれの正圧用受圧面積
設定リング43,44の内径をφdとし、弁孔15の内
径をφSとし、弁軸25の弁室21,22内における外
径をφTとすると、これらの寸法は、D>d>S>Tの
関係となるように設定されている。
Each negative pressure receiving area setting ring 4
The inner diameter of 1, 42 is φD, the inner diameter of each positive pressure receiving area setting ring 43, 44 is φd, the inner diameter of the valve hole 15 is φS, and the outer diameter of the valve shaft 25 in the valve chamber 21, 22 is φT. Then, these dimensions are set to have a relationship of D>d>S> T.

【0029】ソレノイド部11にはコイル51が巻き付
けられたボビン52を有し、ボビン52の先端部内には
固定コア53が取り付けられ、ボビン52の後端部には
可動コア54が軸方向に摺動自在に設けられている。こ
の可動コア54には固定コア53を貫通して作動ロッド
55が設けられ、この作動ロッド55によって弁軸25
が駆動されるようになっている。
The solenoid portion 11 has a bobbin 52 around which a coil 51 is wound, a fixed core 53 is attached inside the tip of the bobbin 52, and a movable core 54 is axially slid at the rear end of the bobbin 52. It is movably installed. The movable core 54 is provided with an operating rod 55 penetrating the fixed core 53, and the operating rod 55 causes the valve shaft 25 to move.
Are being driven.

【0030】図2に示す切換弁10を図1(a)に示す
切換弁4aとして用いて、空気圧供給源1aからの圧縮
空気を単動形のシリンダ2aに供給するために使用する
場合には、機器接続ポート18にシリンダ2aを、そし
て常閉側ポート24に空気圧供給源1aをそれぞれ空気
供給路3aを介して接続する。シリンダ2a内のピスト
ンを駆動する際には、ソレノイド部11のコイル51に
通電すると、弁軸25はキャップ部14側に駆動され
て、第2ポペット弁32は第2弁座17から離れ、第1
ポペット弁31は第1弁座16に接触する。これによ
り、空気圧供給源1aからの圧縮空気がシリンダ2a内
に弁孔15および機器接続ポート18を介して供給され
る。
When the switching valve 10 shown in FIG. 2 is used as the switching valve 4a shown in FIG. 1 (a) and the compressed air from the air pressure source 1a is supplied to the single-acting cylinder 2a, The equipment connection port 18 is connected to the cylinder 2a, and the normally closed port 24 is connected to the air pressure supply source 1a via the air supply passage 3a. When the coil 51 of the solenoid portion 11 is energized when driving the piston in the cylinder 2a, the valve shaft 25 is driven toward the cap portion 14 side, the second poppet valve 32 separates from the second valve seat 17, and 1
The poppet valve 31 contacts the first valve seat 16. As a result, compressed air from the air pressure supply source 1a is supplied into the cylinder 2a via the valve hole 15 and the device connection port 18.

【0031】一方、通電を解くと第2弁座17は第2ポ
ペット弁32により閉塞され、第1ポペット弁31が第
1弁座16から離れるので、シリンダ2a内の流体は常
開側ポート23を介して外部に排出される。
On the other hand, when the energization is released, the second valve seat 17 is closed by the second poppet valve 32, and the first poppet valve 31 is separated from the first valve seat 16, so that the fluid in the cylinder 2a is in the normally open port 23. It is discharged to the outside via.

【0032】コイル51に通電して弁軸25を駆動する
際には、第2弁室22内には常閉側ポート24に供給さ
れている空気圧が作用しているが、弁軸25を軸方向に
付勢させる第2弁室22内の流体圧は第2ダイヤフラム
34に作用する面積と第2ポペット弁32により第2弁
座16に作用する面積によって設定されることになり、
その第2ダイヤフラム34に作用する面積が正圧用受圧
面積設定リング44の内周面44aによって設定される
ことから、流体圧により弁軸25に作用する力をバラン
スさせて、常閉側ポート24へのどのような印加圧に対
しても第2弁室22内における流体が第2ポペット弁3
2を第2弁座17から離す方向に作用する推力を小さく
しかつ第2ポペット弁32の閉塞力を充分に確保するこ
とができる。これにより、弁軸25を作動させるには、
ばね28の付勢力に抗して弁軸25を作動させることが
できる程度の推力を加えるようにすれば良く、コイル5
1に大電流を流すことなく、大容量の流体の流れを切換
制御することができる。
When the coil 51 is energized to drive the valve shaft 25, the air pressure supplied to the normally closed port 24 acts in the second valve chamber 22. The fluid pressure in the second valve chamber 22 that is biased in the direction is set by the area acting on the second diaphragm 34 and the area acting on the second valve seat 16 by the second poppet valve 32.
Since the area acting on the second diaphragm 34 is set by the inner peripheral surface 44a of the positive pressure receiving area setting ring 44, the force acting on the valve shaft 25 by the fluid pressure is balanced to the normally closed port 24. The fluid in the second valve chamber 22 is not affected by any applied pressure of the second poppet valve 3
It is possible to reduce the thrust acting on the second valve seat 17 in the direction away from the second valve seat 17 and to sufficiently secure the closing force of the second poppet valve 32. Thereby, in order to operate the valve shaft 25,
It suffices to apply a thrust force that can actuate the valve shaft 25 against the biasing force of the spring 28.
It is possible to switch and control the flow of a large volume of fluid without causing a large current to flow through the unit 1.

【0033】このことは、図1(b)に示すように、薬
液の流れを制御するための切換弁4bとして図2に示す
切換弁10を使用する場合にも同様である。その場合に
は、常開側ポート23に薬液供給源1bを接続するよう
しても良く、常閉側ポート24に接続するようにしても
良い。
This also applies to the case where the switching valve 10 shown in FIG. 2 is used as the switching valve 4b for controlling the flow of the chemical liquid, as shown in FIG. 1 (b). In that case, the chemical solution supply source 1b may be connected to the normally open port 23 or the normally closed port 24.

【0034】また、図2に示す切換弁10を図1(c)
に示すようにバキュームカップ1cの作動を制御するた
めに使用する場合には、たとえば常閉側ポート24に負
圧供給源1cを接続する。この場合には第2ポペット弁
32が第2弁座17を閉じた状態において、大気圧室3
6の大気が第2ダイヤフラム34に対して直径φDの範
囲に作用することから、第2弁室22内の負圧が第2ポ
ペット弁32を閉じる方向に付加的に作用する。
Further, the switching valve 10 shown in FIG. 2 is shown in FIG.
When it is used to control the operation of the vacuum cup 1c as shown in (1), for example, the negative pressure supply source 1c is connected to the normally closed port 24. In this case, with the second poppet valve 32 closing the second valve seat 17, the atmospheric pressure chamber 3
Since the atmosphere of 6 acts on the second diaphragm 34 in the range of the diameter φD, the negative pressure in the second valve chamber 22 additionally acts in the direction of closing the second poppet valve 32.

【0035】使用される負圧は正圧が使用される場合に
比して大気圧との差が小さいので、第2ポペット弁32
を開くために弁軸25を駆動する推力を大きくすること
なく、しかも第2弁室22内の負圧力が第2ポペット弁
32を第2弁座17に圧接する方向に作用することか
ら、負圧空気の漏れを防止することができる。このこと
は、負圧供給源1cを常開側ポート23に接続するよう
にして切換弁を使用する場合も同様である。
Since the negative pressure used has a smaller difference from the atmospheric pressure than the case where positive pressure is used, the second poppet valve 32 is used.
The negative pressure in the second valve chamber 22 acts in the direction of pressing the second poppet valve 32 against the second valve seat 17 without increasing the thrust for driving the valve shaft 25 to open the valve shaft 25. Leakage of compressed air can be prevented. This also applies to the case where the switching valve is used by connecting the negative pressure supply source 1c to the normally open port 23.

【0036】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been concretely described above based on the embodiments, the present invention is not limited to the embodiments and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say.

【0037】[0037]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
The effects obtained by the typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
It is as follows.

【0038】(1).同一の構造の切換弁によって正圧の流
体と負圧の流体のいずれが使用される場合であっても、
流路の切り換えを確実に行うことができる。
(1) Regardless of whether positive pressure fluid or negative pressure fluid is used by the switching valves of the same structure,
It is possible to reliably switch the flow path.

【0039】(2).また、正圧の流体と負圧の流体のいず
れが使用される場合であっても、軸孔の内径を大きくし
て大容量の流体を流しても、弁軸を少ない推力で作動さ
せることができる。
(2) Further, regardless of whether a positive pressure fluid or a negative pressure fluid is used, the valve shaft will not move even if the inner diameter of the shaft hole is increased to flow a large volume of fluid. It can be operated with a small thrust.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a)〜(c)はそれぞれ流体圧作動機器と流
体圧源との接続状態を示す流体圧回路図である。
FIG. 1A to FIG. 1C are fluid pressure circuit diagrams each showing a connection state between a fluid pressure operating device and a fluid pressure source.

【図2】本発明の一実施例であるポペット形方向切換弁
を示す断面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing a poppet type directional control valve which is one embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1a 空気圧供給源(流体圧供給源) 1b 薬液供給源(流体圧供給源) 1c 負圧供給源(流体圧供給源) 2a シリンダ(流体圧作動機器) 2b 薬液塗布ノズル(流体圧作動機器) 2c バキュームカップ(流体圧作動機器) 3a 空気供給路(流体供給路) 3b 薬液供給路(流体供給路) 3c 負圧供給路(流体供給路) 4a,4b,4c 切換弁 10 切換弁 11 ソレノイド部 12 弁ハウジング 13 中央部 14 キャップ部 15 弁孔 16 第1弁座 17 第2弁座 18 機器接続ポート 21 第1弁室 22 第2弁室 23 常開側ポート 24 常閉側ポート 25 弁軸 26 第1弁軸部 27 第2弁軸部 28 ばね 31 第1ポペット弁 32 第2ポペット弁 33 第1ダイヤフラム 34 第2ダイヤフラム 35,36 大気圧室 37 流路 41,42 負圧用受圧面積設定リング 43,44 正圧用受圧面積設定リング 51 コイル 52 ボビン 53 固定コア 54 可動コア 55 作動ロッド 1a Air pressure supply source (fluid pressure supply source) 1b Chemical liquid supply source (fluid pressure supply source) 1c Negative pressure supply source (fluid pressure supply source) 2a Cylinder (fluid pressure operation device) 2b Chemical coating nozzle (fluid pressure actuation device) 2c Vacuum cup (fluid pressure actuated device) 3a Air supply path (fluid supply path) 3b Chemical liquid supply path (fluid supply path) 3c Negative pressure supply path (fluid supply path) 4a, 4b, 4c switching valve 10 switching valve 11 Solenoid part 12 valve housing 13 Central part 14 Cap section 15 valve holes 16 First valve seat 17 Second valve seat 18 Device connection port 21 First valve chamber 22 Second valve chamber 23 Normally open port 24 Normally closed port 25 valve shaft 26 First valve shaft 27 Second valve shaft 28 springs 31 First Poppet Valve 32 Second Poppet Valve 33 First diaphragm 34 Second diaphragm 35,36 Atmospheric chamber 37 channels 41,42 Negative pressure receiving area setting ring 43,44 Positive pressure receiving area setting ring 51 coils 52 Bobbin 53 fixed core 54 Movable core 55 Working rod

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−110876(JP,A) 特開 平6−221464(JP,A) 特開 昭50−135444(JP,A) 実開 平3−175(JP,U) 実開 平6−49872(JP,U) 特公 平5−43914(JP,B2) 特公 昭31−8953(JP,B1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F16K 11/04 F16K 31/06 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP 57-110876 (JP, A) JP 6-221464 (JP, A) JP 50-135444 (JP, A) SAIKAI HEI 3- 175 (JP, U) Actual Kaihei 6-49872 (JP, U) Japanese Patent Publication 5-43914 (JP, B2) Japanese Patent Publication Sho 31-8953 (JP, B1) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) F16K 11/04 F16K 31/06

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 弁孔、この弁孔に連通し流体圧作動機器
が接続される機器接続ポート、前記弁孔に第1弁室を介
して連通自在となった常開側ポートおよび前記弁孔に第
2弁室を介して連通自在となった常閉側ポートを有する
弁ハウジングと、 前記弁孔の一端部に形成された第1弁座を開閉する第1
ポペット弁および前記弁孔の他端部に形成された第2弁
座を開閉する第2ポペット弁を有し、前記弁孔内に軸方
向に移動自在に装着された弁軸と、 前記第1ポペット弁を開き前記第2ポペット弁を閉じる
方向に付勢されたばね力に抗して、前記第1ポペット弁
を閉じ前記第2ポペット弁を開く方向に前記弁軸を作動
するソレノイド部と、 前記弁軸の両端部にそれぞれ設けられ、前記第1弁室を
区画する第1ダイヤフラムおよび前記第2弁室を区画す
る第2ダイヤフラムと、 前記それぞれの第1および第2ダイヤフラムの内側に形
成された負圧用受圧面積設定内周面と、 前記それぞれの第1および第2ダイヤフラムの外側に形
成された正圧用受圧面積設定内周面とを有し、 前記それぞれの負圧用受圧面積設定内周面の内径を前記
それぞれの正圧用受圧面積設定内周面の内径よりも大き
く形成したことを特徴とするポペット形方向切換弁。
1. A valve hole, a device connection port that communicates with the valve hole and is connected to a fluid pressure actuating device, a normally-open port that can communicate with the valve hole via a first valve chamber, and the valve hole. A valve housing having a normally-closed side port that can communicate with each other through a second valve chamber, and a first valve seat that opens and closes a first valve seat formed at one end of the valve hole.
A poppet valve and a second poppet valve that opens and closes a second valve seat formed at the other end of the valve hole, the valve shaft being axially movably mounted in the valve hole; A solenoid portion that operates the valve shaft in a direction that closes the first poppet valve and opens the second poppet valve against a spring force biased to open the poppet valve and close the second poppet valve; A first diaphragm and a second diaphragm, which are respectively provided at both ends of the valve shaft, partition the first valve chamber and partition the second valve chamber, and are formed inside the respective first and second diaphragms. A negative pressure receiving area setting inner peripheral surface and a positive pressure receiving area setting inner peripheral surface formed outside the respective first and second diaphragms. Inner diameter of each of the above The poppet type directional control valve, characterized in that formed larger than the inner diameter of the pressure receiving area set circumference.
【請求項2】 前記弁孔の内径をS、それぞれの前記弁
室内における前記弁軸の外径をT、それぞれの正圧用受
圧面積設定内周面の内径をd、およびそれぞれの負圧用
受圧面積設定内周面の内径をDとすると、D>d>S>
Tとなるようにそれぞれの径を設定したことを特徴とす
る請求項1記載のポペット形方向切換弁。
2. The inner diameter of the valve hole is S, the outer diameter of the valve shaft in each of the valve chambers is T, the inner diameter of each positive pressure receiving area setting inner circumferential surface is d, and each negative pressure receiving area. When the inner diameter of the set inner peripheral surface is D, D>d>S>
The poppet type directional control valve according to claim 1, wherein the respective diameters are set so as to be T.
【請求項3】 前記それぞれの負圧用受圧面積設定内周
面と前記それぞれの正圧用受圧面積設定内周面とを、そ
れぞれリングにより形成し、それぞれを内径が相違した
ものに交換自在に装着するようにしたことを特徴とする
請求項1または2記載のポペット形方向切換弁。
3. The negative pressure receiving area setting inner peripheral surface and the positive pressure receiving area setting inner peripheral surface are each formed by a ring, and are exchangeably attached to those having different inner diameters. The poppet type directional control valve according to claim 1 or 2, characterized in that.
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