JP3404682B2 - Photo solder resist mask alignment method - Google Patents

Photo solder resist mask alignment method

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JP3404682B2
JP3404682B2 JP34325193A JP34325193A JP3404682B2 JP 3404682 B2 JP3404682 B2 JP 3404682B2 JP 34325193 A JP34325193 A JP 34325193A JP 34325193 A JP34325193 A JP 34325193A JP 3404682 B2 JP3404682 B2 JP 3404682B2
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明はプリント配線板製造工程
のフォトソルダーレジストマスク合わせ方法に関する。 【0002】 【従来の技術】従来、プリント配線板製造工程のフォト
ソルダーレジストマスク合わせ作業でのプリント配線板
1と焼付け用マスク2の位置合わせ精度の確認は、プリ
ント配線板1上の任意の位置に明けた基準穴(図示せ
ず)と、焼付け用マスク2上の任意の位置に明けた基準
穴(図示せず)に挿入した基準ピン(図示せず)とを整
合した後、焼付け用マスク2上方から目視にて図11
(2)に示すようにプリント配線板1上の任意の位置の
スルーホールランド3との焼付け用マスク2上でのその
位置に対応した乳剤が硬化して黒く残存している部分
(以下クリアランス4と称す)とを合わせ行っている。 【0003】しかし、この方法では焼付け用マスク2上
方から目視にて位置精度を確認する場合、プリント配線
板1上のスルーホールランド3の直径が小さく、ズレの
判断が困難である点と、図11(2)において焼付け用
マスク2上のクリアランス4の直径の方がプリント配線
板1上のスルーホールランド3の直径と等しいかそれ以
上であるためフォトソルダーレジスト露光作業前の状態
では中心位置で整合されているのか確認できない等の欠
点がある。 【0004】従って、図12に示すようにフォトソルダ
ーレジスト現像後にプリント配線板1上のスルーホール
ランド3とクリアランス4等を用いてプリント配線板1
と焼付け用マスク2の位置合わせが適正に行われている
ことを判断している。 【0005】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来例にあっては、プリント配線板1上のスルーホール
ランド3の直径よりも焼付け用マスク2上のクリアラン
ス4の直径の方が大きく、焼付け用マスク2上方からは
プリント配線板1上のスルーホールランド3が、クリア
ランス4を合わせた場合、図11(2)に示すように見
えなくなってしまう。 【0006】そのため、図13(2)に示すようにプリ
ント配線板1上のスルーホールランド3の直径と焼付け
用マスク2上のクリアランス4の直径の差の値間でばら
つく。また、プリント配線板1上のスルーホールランド
3の直径の大きさで目視によって高密度プリント配線板
に要求される位置精度の確認を行うには形状が小さすぎ
て困難かつ不可能に近い。 【0007】本発明は上記欠点を改善するためになされ
たもので、プリント配線板と焼付け用マスクの位置合わ
せ精度が露光作業前に確認及び補正できるプリント配線
板のフォトソルダーレジストマスク合わせ方法を提供す
ることを目的とするものである。 【0008】 【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、プリント配線板上の任意の位置に配線
板側位置精度確認マークを設け、焼付け用マスク上に
記配線板側位置精度確認マークの位置に対応したマスク
側位置精度確認マークを設けて、プリント配線板と焼付
け用マスクの位置合わせ精度の確認及び補正を行う際
に、前記配線板側位置精度確認マークと前記マスク側位
置精度確認マークとを整合させるフォトソルダーレジス
トマスク合わせ方法において、前記マスク側位置精度確
認マークの形状に、前記配線板側位置精度確認マークの
形状を合わせたときの形状をノギス目盛状にしたことを
特徴とする。 【0009】 【作用】かかる方法により、プリント配線板上の配線板
側位置精度確認マークを、焼付け用マスク上のマスク側
位置精度確認マークに整合することで、プリント配線板
と焼付け用マスクの位置合わせ精度が露光作業前に確認
及び補正でき、フォトソルダーレジストマスク合わせ作
業におけるプリント配線板と焼付け用マスクの位置合わ
せ精度確認及び補正の向上につながり、焼付けズレ等の
不良品の発生を防止することができる。 【0010】 【実施例】以下、本発明の実施例を図1乃至図10に示
す図面を参照して詳述する。なお、下記の図面中、従来
例を説明した図11(1)、(2)中のものと同一の、
または対応する部分についてはそれぞれ同一の符号を付
す。 【0011】図面中1はプリント配線板、2は焼付け用
マスク、5はプリント配線板1上の配線板側位置精度確
認マーク(銅箔)、6は焼付け用マスク2上のマスク側
位置精度確認マーク(遮光部、透過部)である。 【0012】焼付け用マスク2上に設けるマスク側位置
精度確認マーク6は図2(1)、(2)に示すように2
種類あり、(1)に示すマスク側位置精度確認マーク6
が横方向用であり、(2)に示すマスク側位置精度確認
マーク6が縦方向用である。そして、マスク側位置精度
確認マーク6の形状は櫛形であり、斜線部は遮光部10
であり、それ以外は光の透過部であってスリット11を
備えている。スリット11の1本の線幅はw1であり、
スリット11の2本間のピッチはp1であり、スリット
11は均等にならんでおり、最初の1本から5本毎に線
長を変えたスリット11aがある。 【0013】プリント配線板1上に設ける配線板側位置
精度マーク5は図3(1)、(2)に示すように2種類
あり、(1)に示す配線板側位置精度確認マーク5が横
方向用であり、(2)に示す配線板側位置精度確認マー
ク5が縦方向用である。そして、配線板側位置精度確認
マーク5は数本の棒12を並べたもので、棒12はプリ
ント配線板1上の銅箔である。棒12の1本の幅はW1
であり、棒12の2本間のピッチはP1であり、棒12
は均一にならんでおり、最初の1本から5本毎に線長を
変えた棒12aがある。 【0014】そして、前記配線板側位置精度確認マーク
5とマスク側位置精度確認マーク6との対比は、w1=
W1,p1×9=P1×10になる。 【0015】図4中7及び7′は焼付け用マスク2及び
プリント配線板1の位置精度マーク形成位置である。
7′は図2及び図3を90度角度を変えた位置精度確認
マーク形成位置である。 【0016】そして、図4に示す位置精度確認マーク形
成位置7、7´に、マスク側位置精度確認マーク6を形
成した焼付け用マスク2と、焼付け用マスク2上のマス
ク側位置精度確認マーク6に対応した位置に配線板側位
置精度確認マーク5を形成したフォトソルダーレジスト
皮膜を施したプリント配線板1を準備する。 【0017】上記の材料を準備して、フォトソルダーレ
ジスト露光作業時にプリント配線板1と焼付け用マスク
2を整合した後、プリント配線板1上の配線板側位置精
度確認マーク5と焼付け用マスク2上のマスク側位置精
度確認マーク6を上方より目視にて位置合わせ精度を確
認するとき、焼付け用マスク2上のマスク側位置精度確
認マーク6の形状と、プリント配線板1上の配線板側位
置精度確認マーク5を合わせたときの形状が、ノギスの
目盛状になっているために、図5に示すように1目盛ず
れている場合は、配線板側位置精度マーク5の棒12a
がマスク側位置精度確認マーク6のスリット11aより
ずれている。この場合は、p1/10のずれ量がある。 【0018】このずれた状態を図6(1)、(2)に示
すように配線板側位置精度マーク5の棒12aがマスク
側位置精度確認マーク6のスリット11aに一致するよ
うに位置補正する。すなわち、図6(1)は横方向用マ
ーク、図6(1)は縦方向用マークの焼付け用マスク2
とプリント配線板1とを整合したときの上方から見える
位置ずれのない状態であり、配線板側位置精度マーク5
の棒12aをマスク側位置精度確認マーク6のスリット
11aに一致させることにより、露光前の状態で、縦方
向と横方向のずれ量を定量的に確認することができ、容
易、迅速に位置補正することができる。 【0019】また、図7乃至図10に本発明の他の実施
例を示す。この場合、焼付け用マスク2上に図7に示す
ようにマスク側位置精度確認マーク6及びプリント配線
板1上に図8に示すような配線板側位置精度マーク5を
図9に示す位置に形成して用いる。 【0020】焼付け用マスク2上に設けるマスク側位置
精度確認マーク6の形状は、光の透過部としての直角状
スリット13を複数備えている。直角状スリット13の
1本の線幅はw1であり、直角状スリット13の2本間
のピッチはp1であり、直角状スリット13は均等にな
らんでおり、最初の1本から5本毎に線長を変えた直角
状スリット13aがある。 【0021】プリント配線板1上に設ける配線板側位置
精度マーク5は図8に示すように数本の直角棒14を並
べたもので、直角棒14はプリント配線板1上の銅箔で
ある。直角棒14の1本の幅はW1であり、直角棒14
の2本間のピッチはP1であり、直角棒14は均一にな
らんでおり、最初の1本から5本毎に線長を変えた直角
棒14aがある。そして、前記配線板側位置精度確認マ
ーク5とマスク側位置精度確認マーク6との対比は、w
1=W1,p1×9=P1×10になる。 【0022】そして、両位置精度マーク5、6を整合す
ると図10のようになり、縦方向のずれ量は、直角棒1
4aの水平部15aと直角状スリット13の水平部16
aとのずれ量から、また、横方向のずれ量は直角棒14
aの垂直部15bと直角状スリット13の垂直部16b
とのずれ量から同時に定量的に確認できる。 【0023】また、このずれた状態を図10に示すよう
に配線板側位置精度マーク5の直角棒14aがマスク側
位置精度確認マーク6の直角スリット13aに一致する
ように位置補正する。 【0024】このように、露光前の状態で、縦方向と横
方向のずれ量を定量的に確認することができ、容易、迅
速に位置補正することができる。 【0025】 【発明の効果】以上詳述したように、本発明は、プリン
ト配線板上の任意の位置に配線板側位置精度確認マーク
を設け、焼付け用マスク上に記配線板側位置精度確認
マークの位置に対応したマスク側位置精度確認マークを
設けて、プリント配線板と焼付け用マスクの位置合わせ
精度の確認及び補正を行う際に、前記配線板側位置精度
確認マークと前記マスク側位置精度確認マークとを整合
させるフォトソルダーレジストマスク合わせ方法におい
て、前記マスク側位置精度確認マークの形状に、前記配
線板側位置精度確認マークの形状を合わせたときの形状
をノギス目盛状にしたことで、プリント配線板と焼付け
用マスクの位置合わせ精度が露光作業前に確認及び補正
でき、フォトソルダーレジストマスク合わせ作業におけ
るプリント配線板と焼付け用マスクの位置合わせ精度確
認及び補正の向上につながり、焼付けズレ等の不良品の
発生を防止することができる。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for aligning a photo solder resist mask in a printed wiring board manufacturing process. 2. Description of the Related Art Conventionally, the alignment accuracy between a printed wiring board 1 and a printing mask 2 in a photo solder resist mask alignment operation in a printed wiring board manufacturing process has been confirmed at an arbitrary position on the printed wiring board 1. After aligning a reference hole (not shown) formed in the reference hole with a reference pin (not shown) inserted in a reference hole (not shown) formed in an arbitrary position on the baking mask 2, the baking mask is used. 2 Visually from above FIG.
As shown in (2), a portion where the emulsion corresponding to that position on the printing mask 2 with the through-hole land 3 at an arbitrary position on the printed wiring board 1 is hardened and remains black (hereinafter referred to as clearance 4) ). However, in this method, when the positional accuracy is visually checked from above the baking mask 2, the diameter of the through-hole land 3 on the printed wiring board 1 is small, and it is difficult to determine the deviation. In 11 (2), the diameter of the clearance 4 on the baking mask 2 is equal to or larger than the diameter of the through-hole land 3 on the printed wiring board 1. There are drawbacks such as not being able to confirm that they are aligned. Therefore, as shown in FIG. 12, after the photo solder resist is developed, the printed wiring board 1 is formed by using the through-hole land 3 and the clearance 4 on the printed wiring board 1.
It is determined that the positioning of the printing mask 2 is properly performed. However, in the above-mentioned conventional example, the diameter of the clearance 4 on the printing mask 2 is larger than the diameter of the through-hole land 3 on the printed wiring board 1. When the clearance 4 is matched with the through-hole land 3 on the printed wiring board 1 from above the baking mask 2, it becomes invisible as shown in FIG. [0008] Therefore, as shown in FIG. 13 (2), the value varies between the diameter of the through hole land 3 on the printed wiring board 1 and the diameter of the clearance 4 on the printing mask 2. Further, it is difficult and almost impossible to confirm the positional accuracy required for a high-density printed wiring board by visual observation based on the diameter of the through-hole land 3 on the printed wiring board 1. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks, and provides a method for aligning a photo solder resist mask on a printed wiring board so that the alignment accuracy between the printed wiring board and a printing mask can be confirmed and corrected before exposure work. It is intended to do so. [0008] To achieve the above object, according to an aspect of the present invention is provided with a wiring board-side position accuracy check mark at any position on the printed circuit board, prior to the baking mask <br/> SL is provided a mask-side position accuracy check mark corresponding to the position of the wiring board-side position accuracy check mark, in performing the printed wiring board and the alignment accuracy of the check and correction of baking mask, the wiring board photo solder Regis aligning and said the side position accuracy check mark mask-side position accuracy check mark
The mask-side position accuracy
Mark on the wiring board side position accuracy confirmation mark
It is characterized in that the shape when the shapes are matched is a caliper scale . With this method, the position accuracy confirmation mark on the wiring board side on the printed wiring board is aligned with the position accuracy confirmation mark on the mask side on the printing mask, so that the positions of the printed wiring board and the printing mask can be adjusted. The alignment accuracy can be checked and corrected before the exposure work, which leads to the improvement of the alignment accuracy between the printed wiring board and the baking mask in the work of aligning the photo solder resist mask and the correction, and prevents the occurrence of defective products such as misprinting. Can be. An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings shown in FIGS. In addition, in the following drawings, the same as those in FIGS.
Or, corresponding portions are denoted by the same reference numerals. In the drawings, reference numeral 1 denotes a printed wiring board, 2 denotes a printing mask, 5 denotes a mark (copper foil) on the printed wiring board 1 on the wiring board side, and 6 denotes a mask-side positional accuracy on the printing mask 2. Mark (light-shielding portion, transmitting portion). As shown in FIGS. 2A and 2B, the mask-side position accuracy confirmation mark 6 provided on the printing mask 2 is
There are types, and the mask-side position accuracy confirmation mark 6 shown in (1)
Are for the horizontal direction, and the mask-side position accuracy confirmation mark 6 shown in (2) is for the vertical direction. The shape of the mask-side position accuracy confirmation mark 6 is comb-shaped, and the hatched portion is
The other portion is a light transmitting portion and has a slit 11. One line width of the slit 11 is w1,
The pitch between the two slits 11 is p1, the slits 11 are evenly arranged, and there is a slit 11a whose line length is changed every five from the first one. There are two types of wiring board side position accuracy marks 5 provided on the printed wiring board 1 as shown in FIGS. 3A and 3B, and the wiring board side position accuracy confirmation mark 5 shown in FIG. For the direction, the wiring board side position accuracy confirmation mark 5 shown in (2) is for the vertical direction. The wiring board side position accuracy confirmation mark 5 is formed by arranging several rods 12, and the rods 12 are copper foil on the printed wiring board 1. One width of the rod 12 is W1
And the pitch between the two bars 12 is P1,
Are uniformly arranged, and there is a bar 12a whose line length is changed every five lines from the first one. The contrast between the wiring board side position accuracy confirmation mark 5 and the mask side position accuracy confirmation mark 6 is expressed as w1 =
W1, p1 × 9 = P1 × 10. In FIG. 4, reference numerals 7 and 7 ′ denote positions at which positional accuracy marks are formed on the printing mask 2 and the printed wiring board 1.
Reference numeral 7 'denotes a position accuracy confirmation mark forming position obtained by changing the angle of FIG. 2 and FIG. 3 by 90 degrees. Then, a printing mask 2 having a mask-side position accuracy confirmation mark 6 formed at the position accuracy confirmation mark forming positions 7 and 7 'shown in FIG. 4, and a mask-side position accuracy confirmation mark 6 on the printing mask 2 A printed wiring board 1 having a photo solder resist film on which a wiring board side position accuracy confirmation mark 5 is formed at a position corresponding to the above is prepared. After preparing the above materials and aligning the printed wiring board 1 and the printing mask 2 during the photo solder resist exposure operation, the wiring board side position accuracy confirmation mark 5 and the printing mask 2 on the printed wiring board 1 are aligned. When visually confirming the alignment accuracy of the upper mask side position accuracy confirmation mark 6 from above, the shape of the mask side position accuracy confirmation mark 6 on the printing mask 2 and the wiring board side position on the printed wiring board 1 When the accuracy check mark 5 is aligned with a vernier caliper as shown in FIG. 5, if the scale is shifted by one scale as shown in FIG.
Is shifted from the slit 11 a of the mask-side position accuracy confirmation mark 6. In this case, there is a shift amount of p1 / 10. As shown in FIGS. 6A and 6B, the shifted state is corrected so that the rod 12a of the wiring board side position accuracy mark 5 coincides with the slit 11a of the mask side position accuracy confirmation mark 6. . That is, FIG. 6A shows a mask for printing a horizontal mark, and FIG.
When the printed wiring board 1 is aligned with the printed wiring board 1, there is no positional deviation seen from above, and the wiring board side position accuracy mark 5
By aligning the rod 12a with the slit 11a of the mask-side position accuracy confirmation mark 6, the amount of displacement in the vertical and horizontal directions can be quantitatively confirmed before exposure, and the position can be corrected easily and quickly. can do. FIGS. 7 to 10 show another embodiment of the present invention. In this case, a mask-side positional accuracy confirmation mark 6 as shown in FIG. 7 on the printing mask 2 and a wiring board-side positional accuracy mark 5 as shown in FIG. 8 on the printed wiring board 1 are formed at the positions shown in FIG. Used. The shape of the mask-side position accuracy confirmation mark 6 provided on the printing mask 2 includes a plurality of rectangular slits 13 as light transmitting portions. The line width of one of the rectangular slits 13 is w1, the pitch between the two of the rectangular slits 13 is p1, and the rectangular slits 13 are evenly arranged. There is a right-angled slit 13a having a different length. The wiring board side position accuracy mark 5 provided on the printed wiring board 1 is formed by arranging several right angle rods 14 as shown in FIG. 8, and the right angle rod 14 is a copper foil on the printed wiring board 1. . The width of one of the right-angled bars 14 is W1,
The pitch between the two rods is P1, the right-angled rods 14 are arranged uniformly, and there is a right-angled rod 14a whose line length is changed every five lines from the first one. The comparison between the wiring board side position accuracy confirmation mark 5 and the mask side position accuracy confirmation mark 6 is w
1 = W1, p1 × 9 = P1 × 10. When the position accuracy marks 5 and 6 are aligned, the result is as shown in FIG.
4a horizontal portion 15a and right angle slit 13 horizontal portion 16
From the amount of deviation from “a”, the amount of deviation in the horizontal direction
a vertical portion 15b and the vertical portion 16b of the rectangular slit 13
Can be quantitatively confirmed at the same time from the amount of deviation. The position of this deviation is corrected so that the right-angle bar 14a of the wiring board-side position accuracy mark 5 coincides with the right-angle slit 13a of the mask-side position accuracy confirmation mark 6, as shown in FIG. As described above, the amount of displacement in the vertical and horizontal directions can be quantitatively confirmed before exposure, and the position can be corrected easily and quickly. [0025] As has been described above in detail, the present invention is provided with a wiring board-side position accuracy check mark at any position on the printed circuit board, before Symbol wiring plate side positioning accuracy on the baking mask provided mask-side position accuracy check mark corresponding to the position of the check marks, when performing the printed wiring board and the alignment accuracy of the check and correction of baking mask, the mask-side position and the wiring board-side position accuracy check mark Photo solder resist mask alignment method to match the accuracy check mark
The shape of the mask-side position accuracy confirmation mark
Shape when matching the shape of the wire plate side position accuracy confirmation mark
The calibration accuracy of the printed wiring board and the baking mask can be confirmed and corrected before the exposure work by making the caliper scale shape of This leads to an improvement in correction, and can prevent occurrence of defective products such as misalignment in printing.

【図面の簡単な説明】 【図1】(1)本発明方法におけるプリント配線板と焼
付け用マスクの位置合わせ精度及び補正方法の実施例の
側面図である。 (2)同平面図である。 【図2】(1)は焼付け用マスクの横方向用のマスク側
位置精度確認マークの説明図である。 (2)は焼付け用マスクの縦方向用のマスク側位置精度
確認マークの説明図である。 【図3】(1)はプリント配線板の横方向用の配線板側
位置精度確認マークの説明図である。 (2)はプリント配線板の縦方向用の配線板側位置精度
確認マークの説明図である。 【図4】焼付け用マスク及びプリント配線板の位置精度
確認マーク形成位置の説明図である。 【図5】焼付け用マスクのマスク側位置精度確認マーク
とプリント配線線板の配線板側位置精度確認マークを合
わせたときのずれている場合の上方から見た状態の説明
図である。 【図6】(1)は焼付け用マスクの横方向用のマスク側
位置精度確認マークとプリント配線板の配線板側位置精
度確認マークを合わせたとき位置ずれのない場合の上方
から見た状態の説明図である。 (2)は焼付け用マスクの縦方向用のマスク側位置精度
確認マークとプリント配線板の配線板側位置精度確認マ
ークを合わせたとき位置ずれのない場合の上方から見た
状態の説明図である。 【図7】焼付け用マスクのマスク側位置精度確認マーク
の他の実施態様の説明図である。 【図8】プリント配線線板の配線板側位置精度確認マー
クの他の実施態様の説明図である。 【図9】焼付け用マスク及びプリント配線線板の位置精
度確認マーク形成位置の他の実施態様の説明図である。 【図10】焼付け用マスクのマスク側位置精度確認マー
クとプリント配線板の配線板側位置精度確認マークを合
わせたときの上方から見た状態の他の実施態様の説明図
である。 【図11】(1)従来のプリント配線線板と焼付け用マ
スクの位置合わせ精度の確認方法の側面図である。 (2)同平面図である。 【図12】フォトソルダーレジスト現像後に位置精度を
確認するスルーホールランドとクリアランスの説明図で
ある。 【図13】(1)、(2)は従来の位置合わせ精度確認
方法によるバラツキの差の説明図である。 【符号の説明】 1 プリント配線板 2 焼付け用マスク 5 配線板側位置精度確認マーク 6 マスク側位置精度確認マーク
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 (1) is a side view of an embodiment of an alignment accuracy and correction method of a printed wiring board and a printing mask in the method of the present invention. (2) It is the same top view. FIG. 2A is an explanatory view of a mask-side position accuracy confirmation mark for a lateral direction of a printing mask. (2) is an explanatory view of a mask-side position accuracy confirmation mark for the vertical direction of the printing mask. FIG. 3 (1) is an explanatory view of a wiring board side position accuracy confirmation mark for a horizontal direction of a printed wiring board. (2) is an explanatory view of a wiring board side position accuracy confirmation mark for the vertical direction of the printed wiring board. FIG. 4 is an explanatory diagram of a position for forming a position accuracy confirmation mark on a printing mask and a printed wiring board. FIG. 5 is an explanatory view of a state when the mask-side position accuracy confirmation mark of the printing mask is aligned with the wiring board-side position accuracy confirmation mark of the printed wiring board, as viewed from above; FIG. 6 (1) shows a state when viewed from above when there is no misalignment when the mask-side positional accuracy confirmation mark for the lateral direction of the printing mask is aligned with the wiring board-side positional accuracy confirmation mark of the printed wiring board. FIG. (2) is an explanatory diagram of a state seen from above when there is no displacement when a vertical position mask-side position accuracy check mark of a printing mask is aligned with a wiring board-side position accuracy check mark of a printed wiring board; . FIG. 7 is an explanatory diagram of another embodiment of a mark for confirming the positional accuracy of a printing mask on the mask side. FIG. 8 is an explanatory view of another embodiment of the position accuracy confirmation mark on the wiring board side of the printed wiring board. FIG. 9 is an explanatory view of another embodiment of a position for forming a position accuracy confirmation mark of a printing mask and a printed wiring board. FIG. 10 is an explanatory view of another embodiment in a state where the mask-side position accuracy confirmation mark of the printing mask and the wiring board-side position accuracy confirmation mark of the printed wiring board are aligned and viewed from above. FIG. 11A is a side view of a conventional method for checking the alignment accuracy between a printed wiring board and a printing mask. (2) It is the same top view. FIG. 12 is an explanatory diagram of through-hole lands and clearance for confirming positional accuracy after developing a photo solder resist. FIGS. 13 (1) and (2) are explanatory diagrams of a difference in variation according to a conventional alignment accuracy checking method. [Description of Signs] 1 Printed wiring board 2 Baking mask 5 Wiring board side position accuracy confirmation mark 6 Mask side position accuracy confirmation mark

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−88380(JP,A) 特開 平4−68591(JP,A) 特開 平5−232714(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 3/00 G03F 9/00 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-5-88380 (JP, A) JP-A-4-68591 (JP, A) JP-A-5-232714 (JP, A) (58) Field (Int.Cl. 7 , DB name) H05K 3/00 G03F 9/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 プリント配線板上の任意の位置に配線板
側位置精度確認マークを設け、焼付け用マスク上に
配線板側位置精度確認マークの位置に対応したマスク側
位置精度確認マークを設けて、プリント配線板と焼付け
用マスクの位置合わせ精度の確認及び補正を行う際に、
前記配線板側位置精度確認マークと前記マスク側位置精
度確認マークとを整合させるフォトソルダーレジストマ
スク合わせ方法において、 前記マスク側位置精度確認マークの形状に、前記配線板
側位置精度確認マークの形状を合わせたときの形状をノ
ギス目盛状に したことを特徴とするフォトソルダーレジ
ストマスク合わせ方法。
(57) provided with a wiring board-side position accuracy check mark at any position Patent Claims 1. A printed circuit board on the position of the front Symbol wiring board-side position accuracy check mark on baking mask A corresponding mark on the mask side position accuracy confirmation mark is provided to confirm and correct the alignment accuracy between the printed wiring board and the printing mask.
Photo solder resist Ma for aligning said mask-side position accuracy check mark and the wiring board-side position accuracy check mark
In the mask alignment method, the shape of the mask-side position accuracy confirmation mark
When the shape of the side position accuracy confirmation mark is
A method for aligning a photo solder resist mask, wherein the mask is formed in a graduated scale .
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