JP3401609B2 - 描画用ジョブの作成装置および描画用ジョブの作成方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は，電子線、レーザ光、イ
オンビーム、Ｘ線等の電離放射線による露光により、該
電離放射線に感光性のあるレジストを選択的に所望の形
状に露光するための露光描画装置において、描画をいか
に行うかを指示する命令仕様データからなるジョブの作
成に関する。特に、ＬＳＩ、超ＬＳＩ、超々ＬＳＩ等の
回路製造に用いられるフオトマスク、レチクル等のマス
クパターンの作成に用いられる露光描画装置におけるジ
ョブの作成に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩの集積度は年々高まってきてお
り、ＬＳＩを作製する際に用いられるパターニング用の
フオトマスク、レチクル等のマスクパターンも益々微細
化が求められてきた。この為、フオトマスクやレチクル
の作製においては、カメラワークを用いた縮小投影によ
るパターンニングに代わり、電子線や紫外線、レーザ光
等を用いた露光描画装置によるパターンニングが主流に
なってきた。中でも、高精度・高品質にレジストをパタ
ーニングするレジストパターンの作製方法として、電子
線を用いた電子線露光描画装置によるパターニング方法
が一般に知られている。この方法は、真空中で電子線を
電磁界により制御し、ＸＹ制御されたステージ上のフオ
トマスク等用の基板上の電子線に感光性のあるレジスト
部へ選択的に露光することにより所定のレジストパター
ン潜像を形成し、これを現像することによりレジストパ
ターンを得るものである。そして、レジストパターンを
耐エッチング性膜として、遮光層をエッチングしてフオ
トマスク等を得る。上記電子線露光描画装置における描
画作業をいかに行うかは、露光描画をどのように実行さ
せるかを指示するための複数の仕様（命令）データから
なるジョブにより決定されている。即ち、上記電子線露
光描画装置においては、マスク材質、マスクサイズ、描
画する電子線の電流値や電流のスポット径、描画するア
ドレス単位、描画するチップデータ、位置合わせパター
ン、配列、座標位置等の仕様データからなるジョブによ
り、露光描画をどのように行うかが指示されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、使用するレジ
ストにも多種あり、電子線に対する感度がそれぞれ異な
り、各電子線露光描画装置にもそれぞれ描画範囲や精度
が異なる場合があり、描画する内容に合わせ、適宜、所
定の描画露光装置を用いて露光描画作業を行っているの
が実際であった。そして、各露光描画に際し、その都
度、描画する内容に合わせ仕様データを入力してジョブ
を作成していた。この為、ジョブ作成の作業自体が煩雑
となり、且つ、人手入力が多く、間違いの発生があり、
その対応が求められていた。また、感度の低いレジスト
を塗布した基板を高感度レジスト用の露光描画装置に入
れて描画してしまったり、広い描画領域を必要とするの
に、狭い描画領域範囲しかない露光描画装置にて描画し
てしまうというトラブルがあり、仕様データが正しいジ
ョブにおいても、露光描画装置に合った仕様データとの
組合せの確認が必要となってきた。本発明は、このよう
な状況のもと、ジョブ作成の煩雑さを解消し、且つ、仕
様データの使用の可否を自動的に判断できるジョブ作成
装置およびジョブ作成方法を提供しようとするものであ
る。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の描画用ジョブ作
成装置は、電離放射線を用いた露光描画装置の露光描画
をどのように実行させるかを指示するための複数の仕様
データからなるジョブを仕様データ入力により作成する
装置であって、少なくとも、所定の仕様データ群を指定
するキーワードないし所定のフオーマットからなる仕様
データを入力する入力部と、入力部にて入力されたデー
タを解析する入力解析部と、入力されたキーワードに対
応する仕様データ群と入力された仕様データとを併せて
蓄積する仕様データ蓄積部と、仕様データ蓄積部に蓄積
された仕様データにもとづき描画用ジョブを生成するジ
ョブ作成部と、仕様データの１群毎にラベルを付け、各
ラベルに対応する描画ジョブ生成用の仕様データ群を格
納するラベル付きデータベースと、入力されたキーワー
ドにもとづき、ラベル付きデータベースから、対応する
仕様データの１群を検索し、前記仕様データ蓄積部へ該
仕様データの１群を引き渡す検索部とを有し、入力解析
部は、入力がキーワード入力か所定のフオーマットから
なる仕様データ入力かを解析し、キーワード入力の場合
にはキーワードを検索部へ送り、仕様データ入力の場合
には、仕様データを仕様データ蓄積部へ送るもので、キ
ーワードと仕様データの入力が終了した後に、仕様デー
タ蓄積部の全仕様データに基づき、ジョブを作成するこ
とを特徴とするものである。そして、上記において、所
定のキーワードと仕様データの組合せを禁止する組合せ
禁止データを蓄積した禁則情報データベースと、入力さ
れたキーワードと入力された仕様データの組合せについ
て、前記禁則情報データベースの組合せ禁止データと比
較して組合せの可否を判断する禁則情報比較判定部とを
備えていることを特徴とするものである。そしてまた、
上記において、所定の仕様データの組合せを禁止する情
報を蓄積した禁則情報データベースと、入力されたキー
ワードに対応する仕様データ群と入力された仕様データ
の組合せについて、前記禁則情報データベースの組合せ
禁止データと比較して組合せの可否を判断する禁則情報
比較判定部とを備えていることを特徴とするものであ
る。

【０００５】本発明の描画用ジョブの作成方法は、電離
放射線を用いた露光描画装置の露光描画をどのように実
行させるかを指示するための複数の仕様データからなる
ジョブを作成する方法であって、ジョブの仕様データう
ち、異なるジョブにおいて、使用頻度の高い、共通の仕
様データを１群として群毎にラベルを付けて分類し、各
ラベルに対応する描画ジョブ生成用の仕様データの群を
格納したラベル対応データベースを作成し、キーワード
指定により検索して得られる、ラベル対応データベース
からの固定的な仕様データ群と、該固定的な仕様データ
群とは異なる、個々に指定するフオトマスク描画用ジョ
ブ作成の為の仕様データから、フオトマスク描画用ジョ
ブを生成することを特徴とするものである。そして、上
記において、キーワードと個々に指定する必要があるフ
オトマスク描画用ジョブ作成の為の仕様データとの組合
せを禁止する禁止データを蓄積した禁則情報データベー
スを予め用意しておき、前記固定的な仕様データ群を指
定するキーワードと、個々に指定するフオトマスク描画
用ジョブ作成の為の仕様データの組合せについて前記禁
則情報データベースの組合せ禁止データに該当する組合
せがある場合に、ジョブを不可とすることを特徴とする
ものである。そしてまた、上記において、ラベル対応デ
ータベースからの固定的な仕様データ群と、個々に指定
する必要があるフオトマスク描画用ジョブ作成の為の仕
様データとからなる仕様データの組合せを禁止する組合
せ禁止データを蓄積した禁則情報データベースを予め用
意しておき、キーワードに対応する仕様データと個々に
指定するフオトマスク描画用ジョブ作成の為の仕様デー
タとの組合せについて、前記禁則情報データベースの組
合せ禁止データに該当する組合せがある場合に、ジョブ
を不可とすることを特徴とするものである。

【０００６】尚、ここでは、電離放射線とは、赤外線、
可視光、紫外線、遠紫外線、レーザ光、Ｘ線、イオンビ
ーム等を言い、電離放射線を用いた露光描画装置とは、
これらの電離線を描画用に用いた装置を総称して言って
いる。一般には、電子線露光描画装置、レーザ光露光描
画装置、イオンビーム露光装置、Ｘ線露光装置等があ
る。また、仕様データとは、上記電離放射線により露光
描画を行う露光描画装置において、露光描画をどのよう
に実行させるかを指示するための仕様データで、その仕
様で実行させる命令データとも言える。通常、フオトマ
スクを電子線露光描画装置において、露光描画を行う場
合には、マスクサイズ、描画アドレス、パターンデータ
名、描画座標、描画電流スポッド径、電流値、マスク材
質（温度補正データ）等の仕様を仕様データとして用い
る。

【０００７】

【作用】本発明の描画用ジョブ作成装置は、このような
構成にすることにより、ジョブ作成の煩雑さを解消し、
且つ、仕様データの使用の可否を自動的に判断できるジ
ョブ作成装置の提供を可能にしている。具体的には、少
なくとも、所定の仕様データ群を指定するキーワードな
いし所定のフオーマットからなる仕様データを入力する
入力部と、入力部にて入力されたデータを解析する入力
解析部と、入力されたキーワードに対応する仕様データ
群と入力された仕様データとを併せて蓄積する仕様デー
タ蓄積部と、仕様データ蓄積部に蓄積された仕様データ
にもとづき描画用ジョブを生成するジョブ作成部と、仕
様データの１群毎にラベルを付け、各ラベルに対応する
描画ジョブ生成用の仕様データ群を格納するラベル付き
データベースと、入力されたキーワードにもとづき、ラ
ベル付きデータベースから、対応する仕様データの１群
を検索し、前記仕様データ蓄積部へ該仕様データの１群
を引き渡す検索部とを有し、入力解析部は、入力がキー
ワード入力か所定のフオーマットからなる仕様データ入
力かを解析し、キーワード入力の場合にはキーワードを
検索部へ送り、仕様データ入力の場合には、仕様データ
を仕様データ蓄積部へ送るもので、キーワードと仕様デ
ータの入力が終了した後に、仕様データ蓄積部の全仕様
データに基づき、ジョブを自動的に作成することにより
ジョブ作成の煩雑さを解消し、人手による仕様データの
入力ミスを少なくしている。また、所定のキーワードと
仕様データの組合せを禁止する組合せ禁止データを蓄積
した禁則情報データベースと、入力されたキーワードと
入力された仕様データの組合せについて、前記禁則情報
データベースの組合せ禁止データと比較して組合せの可
否を判断する禁則情報比較判定部とを備えていることに
より、およびまたは、所定の仕様データの組合せを禁止
する情報を蓄積した禁則情報データベースと、入力され
たキーワードに対応する仕様データ群と入力された仕様
データの組合せについて、前記禁則情報データベースの
組合せ禁止データと比較して組合せの可否を判断する禁
則情報比較判定部とを備えていることにより、仕様デー
タの使用の可否を自動的に判断できるものとしている。
即ち、入力部によりキーワードを入力することにより、
該キーワードに対応する仕様データ群を検索部にてラベ
ル付きデータベースから検索し、これを仕様データ蓄積
部へ送り、入力部より入力された仕様データとともに、
ジョブ作成の仕様データが仕様データ蓄積部にて用意さ
れる。この為、人手による仕様データの入力数を少なく
することができ、ジョブ作成の煩雑さを少なくするとと
もに、誤りの発生を少なくできるものとしている。そし
て、予め、目的に合わない、所定のキーワードと入力さ
れる仕様データの組合せ、ないし所定の仕様データ同志
の組合せを決めておき、これに相当する入力がなされた
場合には、ジョブを不可と自動的に判断でき、自動的に
入力データのチエックを可能としており、人為的なミス
が発生しずらいものなる。

【０００８】本発明の描画用ジョブ作成方法は、上記本
発明の描画用ジョブ作成装置等により実行できるもの
で、このような構成にすることにより、ジョブ作成の煩
雑さを解消し、且つ、仕様データの使用の可否を自動的
に判断できるジョブ作成装置の提供を可能にしている。

【０００９】

【実施例】本発明の描画用ジョブ作成装置の実施例を図
にもとづいて説明する。先ず、本発明の描画用ジョブ作
成装置の実施例１を挙げる。図１は、実施例１の描画用
ジョブ作成装置の図である。図１中、１００は描画用ジ
ョブ作成装置、１１０は入力部、１２０は入力解析部、
１３０は検索部、１４０はラベル付きデータベース、１
５０は仕様データ蓄積部、１６０はジョブ作成部であ
る。本実施例の描画用ジョブ作成装置は、電子線を用い
たフオトマスク、レチクル等をパターンニングするため
の露光描画装置の露光描画をどのように実行させるかを
指示するための複数の仕様（命令）データからなるジョ
ブを作成するための装置であり、図１に示すように、所
定の仕様データ群を指定するキーワードないし所定のフ
オーマットからなる仕様データを入力する入力部１１０
と、入力部１１０にて入力されたデータを解析する入力
解析部１２０と、入力されたキーワードに対応する仕様
データ群と入力された仕様データとを併せて蓄積する仕
様データ蓄積部１５０と、仕様データ蓄積部１５０に蓄
積された仕様データにもとづき描画用ジョブを生成する
ジョブ作成部１６０と、仕様データの１群毎にラベルを
付け、各ラベルに対応する描画ジョブ生成用の仕様デー
タ群を格納するラベル付きデータベース１４０と、入力
されたキーワードにもとづき、ラベル付きデータベース
から、対応する仕様データの１群を検索し、前記仕様デ
ータ蓄積部へ該仕様データの１群を引き渡す検索部１３
０とを有しているもので、入力解析部１２０は、入力が
キーワード入力か所定のフオーマットからなる仕様デー
タ入力かを解析し、キーワード入力の場合にはキーワー
ドを検索部１３０へ送り、仕様データ入力の場合には、
仕様データを仕様データ蓄積部１５０へ送る。そして、
キーワードと仕様データの入力が終了した後に、仕様デ
ータ蓄積部の全仕様データに基づき、ジョブを作成す
る。

【００１０】入力部１１０によりキーワードが入力され
ると、入力解析部１２０は、入力データがキーワードで
あると解析し、このキーワードに対応する１群の仕様デ
ータをラベル付きデータベース１４０から検索し、１群
の仕様データを仕様データ蓄積部１４０へ送る。入力部
１１０により仕様データが直接入力されると、入力解析
部１２０は、入力データが仕様データであることを解析
し、入力された仕様データをそのまま、仕様データ蓄積
部１５０へ蓄積する。このようにして、順次、キーワー
ド入力、仕様データ入力がなされ、これらの入力が終了
した後、ジョブ作成部１６０は、仕様データ蓄積部１５
０に蓄積されている全ての仕様データを読み出し、ジョ
ブを作成する。このように、キーワードに対応する仕様
データ群を検索部１３０にてラベル付きデータベース１
４０から検索し、これを仕様データ蓄積部１５０へ送
り、入力部より入力された仕様データとともに、ジョブ
作成のための仕様データが仕様データ蓄積部１５０にて
用意され、これを基にジョブ作成が行われる為、人手に
よる仕様データの入力数を少なくすることができ、ジョ
ブ作成の煩雑さを少なくするとともに、入力ミスの発生
を少なくできる。

【００１１】次に、本発明の描画用ジョブ作成装置の実
施例２を挙げる。図２は、実施例２の描画用ジョブ作成
装置の図である。図２中、１００は描画用ジョブ作成装
置、１１０は入力部、１２０は入力解析部、１３０は検
索部、１４０はラベル付きデータベース、１５０は仕様
データ蓄積部、１６０はジョブ作成部、１７０は入力デ
ータ蓄積部、１８０は禁則情報データベース、１９０は
禁則情報比較判定部である。本実施例描画用ジョブ作成
装置の場合は、図２に示すように、実施例１のものに、
入力データ蓄積部１７０、禁則情報データベース１８
０、禁則情報比較判定部１９０を備えたものである。入
力されたキーワードと仕様データは全て入力データ蓄積
部へいったん蓄積される。そして、入力終了後、所定の
キーワードと仕様データの組合せを禁止する組合せ禁止
データを蓄積した禁則情報データベース１８０と、入力
されたキーワードと入力された仕様データとを蓄積する
入力データ蓄積部とから、入力されたキーワードと入力
された仕様データの組合せについて、前記禁則情報デー
タベースの組合せ禁止データと比較して組合せの可否を
禁則情報比較判定部１９０にて判断される。組合せと可
と判断された場合には、検索部１３０により、順次キー
ワードによる仕様データ群の検索をラベル付きデータベ
ース１４０から行い、対応する仕様データ群を仕様デー
タ蓄積部１５０へと送る。また、入力された仕様データ
については全て仕様データ蓄積部１５０へと送る。組合
せと不可と判断された場合には、この時点でメッセージ
を出し、ジッブ作成の作業を中止する。このように、キ
ーワードに対応する仕様データ群と入力される仕様デー
タの組合せ不可をジョブ作成の段階でチエックし、入力
データの組合せの不適のものの描画が行われないように
自動的に管理できる。

【００１２】次に、本発明の描画用ジョブ作成装置の実
施例３を挙げる。図３は、実施例３の描画用ジョブ作成
装置の図である。図３中、１００は描画用ジョブ作成装
置、１１０は入力部、１２０は入力解析部、１３０は検
索部、１４０はラベル付きデータベース、１５０は仕様
データ蓄積部、１６０はジョブ作成部、１８０Ａは禁則
情報データベース、１９０Ａは禁則情報比較判定部であ
る。本実施例描画用ジョブ作成装置の場合は、図３に示
すように、実施例１のものに、禁則情報データベース１
８０Ａ、禁則情報比較判定部１９０Ａを備えたものであ
り、実施例１の装置と同様にして、仕様データ蓄積部１
５０にジョブ作成のための全ての仕様データが入力され
るが、この全ての仕様データの組合せについて、禁則情
報比較判定部１９０Ａは、禁則情報データベース１８０
Ａと比較することにより、組合せの可否を判定する。組
合せと可と判断された場合には、仕様データ蓄積部１５
０に蓄積された全ての仕様データに基づきジョブを作成
する。組合せと不可と判断された場合には、この時点で
メッセージを出し、ジッブ作成の作業を中止する。この
ように、全仕様データにたいして、仕様データの組合せ
不可をジョブ作成の段階でチエックし、組合せの不適の
ものの描画が行われないように自動的に管理できる。

【００１３】次に、本発明の描画用ジョブ作成方法を実
施例を挙げ、具体的に説明する。本実施例は、図１に示
す実施例１のジッブ作成装置１００を用い、図４に示す
配列のフオトマスクを描画するためのジョブを作成する
場合である。図４は描画するマスクのパターン配列を示
したものであり、図５はキーワードと対応する仕様デー
タ群を表した一覧である。尚、図４において、Ａ、Ｂは
それそれパターンＡ、パターンＢが配置される領域を示
しており、Ｃは位置合わせ用のパターンを示している。
また、ここでは、図５に示すラベル（識別子）Ｓ１、Ｓ
２、Ｓ３に対応するキーワードはそれぞれＳ１、Ｓ２、
Ｓ３とする。図４に示す７インチサイズのフオトマスク
を描画露光する場合、必要な情報はマスクのサイズ、描
画アドレス、パターンＡ、Ｂ、Ｃにそれぞれ対応するデ
ータ名および描画座標、描画電流スポット径、電流値、
マスク材質（温度補正データ）等である。本実施例にお
いては、図４に示すラベル（識別子）に対応するキーワ
ード入力と、パターンＡ、Ｂ、Ｃにそれぞれ対応するデ
ータ名および描画座標等を入力データとする。尚、予
め、図５に示すラベル（識別子）に対応するデータ群
を、それぞれ図１に示すラベル付きデータベース１４０
に入れておく。そして、先ず、入力部１１０にラベル
（識別子）Ｓ１に対応するキーワードＳ１を入力する
と、入力解析部１２０により、入力データはキーワード
Ｓ１と判断され、キーワードＳ１は検索部１３０へ渡さ
れ、検索部１３０はラベル付きデータベース１４０から
キーワードＳ１対応する仕様データ群を抽出し、抽出さ
れた仕様データ群を仕様データ蓄積部１５０へと送る。
この場合、キーワードＳ１に対応する仕様データ群は、
図５より分かるように、マスクサイズ７インチ、位置合
わせパターンのデータ名ＡＲ１、描画座標（Ｘ１、Ｙ
１）、描画アドレス０．５μｍ、スポット径０．６μ
ｍ、電流値１００ｎＡ等の一群の仕様データである。抽
出された仕様データは仕様データ蓄積部１５０に蓄積さ
れる。次いで、入力部１１０より、キーワードＳ１に対
応した１群の仕様データ以外に必要なデータである、パ
ターンＡ、パターンＢにそれぞれ対応するデータ名およ
び描画座標等を入力データとして入れる。これらの入力
されたデータはそのまま仕様データ蓄積部１５０へ蓄積
される。入力終了後、仕様データ蓄積部１５０に蓄積さ
れた全仕様データから、ジッブ作成部１６０によりジョ
ブの作成を行う。このようにして、キーワードＳ１に対
応する１群の仕様を予めラベル付きデータベース１４０
に蓄積しておき、キーワードＳ１入力により、自動的に
引出し、且つ、他の必要な入力による仕様データと併せ
て、全仕様データを得ている為、必要な全仕様データを
手入力してジッブの作成を行う場合に比べ、手入力が少
なくなり、作業を軽量化するとともに、人手によるミス
をすくなくできる。

【００１４】

【発明の効果】本発明は、上記のように、ジョブ作成の
煩雑さを解消し、作業を軽量化するとともに、人手によ
るミスを少なくできる、描画用ジョブ作成装置および描
画用ジョブ作成方法の提供を可能とするものである。同
時に、仕様データの使用の可否を自動的に判断できるジ
ョブ作成装置およびジョブ作成方法の提供を可能とする
ものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の描画用ジョブ作成装置の構成図

【図２】実施例２の描画用ジョブ作成装置の構成図

【図３】実施例３の描画用ジョブ作成装置の構成図

【図４】マスクのパターン配列を示した図

【図５】キーワードと対応する仕様データ群を表した一
覧の図

【符号の説明】

１００ 描画用ジョブ作成装置 １１０ 入力部 １２０ 入力解析部 １３０ 検索部 １４０ ラベル付きデータベース １５０ 仕様データ蓄積部 １６０ ジョブ作成部 １７０ 入力データ蓄積部 １８０、１８０Ａ 禁則情報データベース １９０、１９０Ａ 禁則情報比較判定部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 1/00 - 1/16 H01L 21/027

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電離放射線を用いた露光描画装置の露光
   描画をどのように実行させるかを指示するための複数の
   仕様（命令）データからなるジョブを仕様データ入力に
   より作成する装置であって、少なくとも、所定の仕様デ
   ータ群を指定するキーワードないし所定のフオーマット
   からなる仕様データを入力する入力部と、入力部にて入
   力されたデータを解析する入力解析部と、入力されたキ
   ーワードに対応する仕様データ群と入力された仕様デー
   タとを併せて蓄積する仕様データ蓄積部と、仕様データ
   蓄積部に蓄積された仕様データにもとづき描画用ジョブ
   を生成するジョブ作成部と、仕様データの１群毎にラベ
   ルを付け、各ラベルに対応する描画ジョブ生成用の仕様
   データ群を格納するラベル付きデータベースと、入力さ
   れたキーワードにもとづき、ラベル付きデータベースか
   ら、対応する仕様データの１群を検索し、前記仕様デー
   タ蓄積部へ該仕様データの１群を引き渡す検索部とを有
   し、入力解析部は、入力がキーワード入力か所定のフオ
   ーマットからなる仕様データ入力かを解析し、キーワー
   ド入力の場合にはキーワードを検索部へ送り、仕様デー
   タ入力の場合には、仕様データを仕様データ蓄積部へ送
   るもので、キーワードと仕様データの入力が終了した後
   に、仕様データ蓄積部の全仕様データに基づき、ジョブ
   を作成することを特徴とする描画用ジョブ作成装置。
2. 【請求項２】 所定のキーワードと仕様データの組合せ
   を禁止する組合せ禁止データを蓄積した禁則情報データ
   ベースと、入力されたキーワードと入力された仕様デー
   タの組合せについて、前記禁則情報データベースの組合
   せ禁止データと比較して組合せの可否を判断する禁則情
   報比較判定部とを備えていることを特徴とする請求項１
   記載の描画用ジョブ作成装置。
3. 【請求項３】 所定の仕様データの組合せを禁止する情
   報を蓄積した禁則情報データベースと、入力されたキー
   ワードに対応する仕様データ群と入力された仕様データ
   の組合せについて、前記禁則情報データベースの組合せ
   禁止データと比較して組合せの可否を判断する禁則情報
   比較判定部とを備えていることを特徴とする請求項１な
   いし２記載の描画用ジョブ作成装置。
4. 【請求項４】 電離放射線を用いた露光描画装置の露光
   描画をどのように実行させるかを指示するための複数の
   仕様データからなるジョブを作成する方法であって、ジ
   ョブの仕様データうち、異なるジョブにおいて、使用頻
   度の高い、共通の仕様データを１群として群毎にラベル
   を付けて分類し、各ラベルに対応する描画ジョブ生成用
   の仕様データの群を格納したラベル対応データベースを
   作成し、キーワード指定により検索して得られる、ラベ
   ル対応データベースからの固定的な仕様データ群と、該
   固定的な仕様データ群とは異なる、個々に指定するフオ
   トマスク描画用ジョブ作成の為の仕様データから、フオ
   トマスク描画用ジョブを生成することを特徴とする描画
   用ジョブの作成方法。
5. 【請求項５】 キーワードと個々に指定する必要がある
   フオトマスク描画用ジョブ作成の為の仕様データとの組
   合せを禁止する禁止データを蓄積した禁則情報データベ
   ースを予め用意しておき、前記固定的な仕様データ群を
   指定するキーワードと、個々に指定するフオトマスク描
   画用ジョブ作成の為の仕様データの組合せについて前記
   禁則情報データベースの組合せ禁止データに該当する組
   合せがある場合に、ジョブを不可とすることを特徴とす
   る請求項４記載の描画用ジョブの作成方法。
6. 【請求項６】 ラベル対応データベースからの固定的な
   仕様データ群と、個々に指定する必要があるフオトマス
   ク描画用ジョブ作成の為の仕様データとからなる仕様デ
   ータの組合せを禁止する組合せ禁止データを蓄積した禁
   則情報データベースを予め用意しておき、キーワードに
   対応する仕様データと個々に指定するフオトマスク描画
   用ジョブ作成の為の仕様データとの組合せについて、前
   記禁則情報データベースの組合せ禁止データに該当する
   組合せがある場合に、ジョブを不可とすることを特徴と
   する請求項４ないし５記載の描画用ジョブの作成方法。