JP3398824B2 - Degassing device - Google Patents
Degassing deviceInfo
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- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は脱気装置に係り、その
目的は脱気エレメントを介して真空チャンバーと送液パ
イプとを接続させる際に、脱気エレメントが真空チャン
バーの接続口内で空回りや位置ズレ等を起こすことがな
く、シール性やチューブの耐久性に優れた脱気装置を提
供することにある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a degassing device, and an object thereof is to connect a vacuum chamber and a liquid delivery pipe via a degassing element so that the degassing element is free to rotate in a connection port of the vacuum chamber. An object of the present invention is to provide a deaerator having excellent sealing properties and tube durability, which does not cause positional displacement.
【0002】[0002]
【発明の背景】液体クロマトグラフィー等各種分析機器
において、高感度の検出器が創出されてくるに従って、
分析用試薬も高純度のものが要求されてくるようになっ
ている。例えば、液体クロマトグラフィーに用いられる
溶媒の場合、検出器の感度が増加するほど、極微小の気
泡(溶存ガス)でもノイズとなって現れてくるため、完
全に近い状態まで溶媒中の溶存ガスを取り除かなけれ
ば、精度の高い分析結果が得られない。また、薬品、印
刷用インキ、オイル等のように液体中に溶存ガスが含ま
れるとその液体自体が劣化、変質等を起こして好ましく
ないものが多く、液体中の溶存ガスの脱気状態が分析結
果の良し悪しを左右する要因となっている。BACKGROUND OF THE INVENTION With the creation of highly sensitive detectors in various analytical instruments such as liquid chromatography,
High-purity analytical reagents are also required. For example, in the case of a solvent used for liquid chromatography, as the sensitivity of the detector increases, even minute air bubbles (dissolved gas) will appear as noise, so the dissolved gas in the solvent can be almost completely removed. If not removed, highly accurate analysis results cannot be obtained. In addition, when dissolved gas is contained in liquid such as chemicals, printing ink, oil, etc., the liquid itself deteriorates and deteriorates in many cases, which is not desirable, and the degassing state of dissolved gas in liquid is analyzed. It is a factor that determines the quality of the result.
【0003】[0003]
【従来の技術】液体中の溶存ガスを脱気する脱気装置と
しては、例えば図4に示すような長尺な気体透過性の合
成樹脂製チューブaを多数本束ねたチューブ束bと、こ
のチューブ束bの端部に、熱融着性フッ素樹脂粉末を介
して接合される筒状のポリテトラフルオロエチレン製の
嵌合片cとから構成される脱気エレメントDが例示でき
る。このような脱気エレメントDは、図5に示すように
真空ポンプEと接続された真空チャンバーF内部に配設
されて使用される。すなわち、チューブa内に脱気すべ
き液体を送液ポンプGにより流通させて、チューブ壁を
介して液体中の溶存ガスを除去するものであった。2. Description of the Related Art As a degassing device for degassing a dissolved gas in a liquid, for example, a tube bundle b in which a large number of long gas-permeable synthetic resin tubes a are bundled, as shown in FIG. An example is a degassing element D composed of a tubular fitting piece c made of polytetrafluoroethylene that is joined to the end of the tube bundle b via a heat-fusible fluororesin powder. Such a degassing element D is used by being disposed inside a vacuum chamber F connected to a vacuum pump E as shown in FIG. That is, the liquid to be degassed was made to flow through the tube a by the liquid feed pump G, and the dissolved gas in the liquid was removed via the tube wall.
【0004】ここで、脱気エレメントDを真空チャンバ
ーF内部に配設する際には例えば図6に示すような筒状
のアダプターHが使用されていた。このアダプターH
は、外周面に脱気すべき液体を送り込むパイプが接続さ
れるパイプコネクター部iが形成され、且つ先端部内壁
に脱気エレメントの嵌合片cを嵌着させる嵌着部jとが
形成されてなるとともにその中途部にフランジ部k、及
びナットを嵌合させるネジ部yが形成され、図示するよ
うに真空チャンバーFの系内にて脱気エレメントDを嵌
着させて、ネジ部yをナットZにて固定して使用されて
いた。Here, when disposing the deaerating element D inside the vacuum chamber F, for example, a cylindrical adapter H as shown in FIG. 6 has been used. This adapter H
Is formed with a pipe connector portion i to which a pipe for feeding the liquid to be degassed is connected to the outer peripheral surface, and a fitting portion j to which the fitting piece c of the degassing element is fitted to the inner wall of the tip end portion. In addition, a flange portion k and a screw portion y for fitting a nut are formed in the middle thereof, and the degassing element D is fitted in the system of the vacuum chamber F as shown in the drawing to fix the screw portion y. It was used by fixing with nut Z.
【0005】ところが、前記図6に示したアダプターH
を使用してチューブaと真空チャンバーFとを接続した
場合、処理液のホールドアップ量が増加したり、或いは
アダプターHが大きすぎて、真空シャンバーF内に配設
されるチューブaの長さが短くなってしまい、有効膜面
積を大きくとれなくなってしまうという欠点が存在し
た。そこで、このような実情に照らし、図7に示すよう
なフッ素樹脂製アダプターmが創出されている。このフ
ッ素樹脂製アダプターmは、図示するように筒状の胴部
pとこの先端に形成されるフランジ部qとから形成さ
れ、胴部pの外周面にはパイプコネクター部rとネジ部
sとが形成されているものであった。However, the adapter H shown in FIG.
When the tube a is connected to the vacuum chamber F by using, the length of the tube a disposed in the vacuum chamber F is increased because the holdup amount of the processing liquid is increased or the adapter H is too large. There is a drawback that it becomes shorter and the effective film area cannot be made large. Therefore, in light of this situation, a fluororesin adapter m as shown in FIG. 7 has been created. This fluororesin adapter m is formed of a tubular body portion p and a flange portion q formed at the tip thereof as shown in the figure, and a pipe connector portion r and a screw portion s are provided on the outer peripheral surface of the body portion p. Was formed.
【0006】図8は前記フッ素樹脂製アダプターmを用
いた脱気装置Oの部分拡大図で、図9は脱気装置Oの船
体断面図を示す。図示するようにこの脱気装置Oは、フ
ッ素樹脂製チューブ相互を接合一体化してチューブ束l
とし、このチューブ束lの端部に熱融着性フッ素樹脂粉
末を介して筒状のフッ素樹脂製アダプターmを嵌合させ
て脱気エレメントNとし、この脱気エレメントNを真空
チャンバーFにナットzを介して固定させることにより
構成されていた。FIG. 8 is a partially enlarged view of a deaerator O using the fluororesin adapter m, and FIG. 9 is a sectional view of the deaerator O. As shown in the figure, this deaerator O is a tube bundle 1 in which fluororesin tubes are joined and integrated.
A tubular fluororesin adapter m is fitted to the end of the tube bundle 1 via a heat-fusible fluororesin powder to form a degassing element N. The degassing element N is attached to the vacuum chamber F with a nut. It was constructed by fixing via z.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記図
8乃至図9に示した脱気装置Oでは、アダプターmをナ
ットzを介して真空チャンバーFに固定させた後、この
アダプターmのパイプコネクター部rに送液パイプを接
続する際に、アダプターmが真空チャンバーFの接続口
F−1内部で空回りしてしまい、その取り扱いが非常に
困難なものとなってしまうとともに良好なシール性が得
られないという課題が存在した。すなわち、送液パイプ
をパイプコネクター部rに接続させる際に、フランジ部
qが空回りしてしまい、真空チャンバーF内で位置ズレ
を起こしやすくなるため、脱気装置内におけるシール性
が低下したり、さらにはチューブの変形や破損を招きや
すくなってしまうという課題が存在した。However, in the deaerator O shown in FIGS. 8 to 9, the adapter m is fixed to the vacuum chamber F via the nut z and then the pipe connector portion of the adapter m is fixed. When connecting the liquid transfer pipe to r, the adapter m idles inside the connection port F-1 of the vacuum chamber F, which makes handling very difficult and obtains a good sealing property. There was a problem of not being. That is, when connecting the liquid delivery pipe to the pipe connector portion r, the flange portion q idles, and a positional shift easily occurs in the vacuum chamber F, so that the sealing property in the degassing device deteriorates, Further, there is a problem that the tube is likely to be deformed or damaged.
【0008】そこでこの発明は、溶液中の溶存ガスを脱
気する装置において、特に処理液のホールドアップ量を
低減させることができるとともに、有効膜面積を大きく
採ることができ、しかも送液パイプ接続時に脱気エレメ
ントのアダプターの空回りや位置ズレを起こしてしまう
ことなく、シール性が良好でチューブの耐久性にも優れ
た脱気装置の提供を目的としている。Therefore, the present invention is an apparatus for degassing a dissolved gas in a solution, in particular, it can reduce the hold-up amount of the processing liquid, can take a large effective membrane area, and can connect a liquid feed pipe. It is an object of the present invention to provide a deaerator having good sealability and excellent tube durability without causing idling of the deaerator element adapter or displacement of the adapter.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明では、真空チャンバーの接続口に脱
気エレメントが挿通されてなる脱気装置において、前記
脱気エレメントは複数本のフッ素樹脂製チューブからな
るチューブ束とこのチューブ束の端部に嵌合されるフッ
素樹脂製アダプターとからなり、前記フッ素樹脂製アダ
プターは外周面にネジ部とパイプコネクター部が形成さ
れてなると共にこれらが真空チャンバー外部に位置させ
られる筒状の胴部と、この胴部に連続して設けられると
共に真空チャンバー内部に位置させられるフランジ部と
からなり、真空チャンバー内壁には前記フランジ部を固
定する係止突起が形成されてなることを特徴とする脱気
装置を提供する。請求項2の発明では前記チューブ束と
フッ素樹脂製アダプターとが熱融着性フッ素樹脂粉末を
介して接合一体化されてなる脱気装置を提供する。In order to achieve the above object, in the invention of claim 1, in a deaerator in which a deaerating element is inserted through a connection port of a vacuum chamber, the deaerating element has a plurality of elements. It consists of a tube bundle made of fluororesin tubes and a fluororesin adapter fitted to the end of this tube bundle, and the fluororesin adapter has screw parts and pipe connector parts formed on the outer peripheral surface.
And these are located outside the vacuum chamber
And a cylindrical body part that is continuously installed on this body part
A flange part that can be located inside the vacuum chamber
The degassing device is characterized in that a locking projection for fixing the flange portion is formed on the inner wall of the vacuum chamber. The invention of claim 2 provides a deaerator in which the tube bundle and the fluororesin adapter are joined and integrated via a heat-fusible fluororesin powder.
【0010】[0010]
【作用】真空チャンバー内壁に係止突起を設ける構成と
しているから、この係止突起先端部をアダプターのフラ
ンジ部に埋設しておくことにより、アダプターのフラン
ジ部が固定される。従って、送液パイプを脱気エレメン
トのパイプコネクター部に接続させる際に、アダプター
に空回りや位置ズレが生じることがなく、接続作業が良
好となる。しかも、接続時にチューブの破損を招くこと
がないとともに、真空チャンバーのシール性が良好とな
る。Since the locking projection is provided on the inner wall of the vacuum chamber, the flange of the adapter is fixed by burying the tip of the locking projection in the flange of the adapter. Therefore, when connecting the liquid supply pipe to the pipe connector portion of the degassing element, the adapter does not run idle or shift its position, and the connection work becomes good. Moreover, the tube is not damaged at the time of connection, and the sealing property of the vacuum chamber is improved.
【0011】[0011]
【発明の構成】以下、この発明に係る脱気装置の好まし
い構成を図面に基づいて詳述する。図1はこの発明の脱
気装置において使用される脱気エレメント2の一例を示
す断面図である。図示するように、この発明において使
用される脱気エレメント2は、複数本のフッ素樹脂製チ
ューブ10からなるチューブ束11と、前記チューブ束
11の端部に嵌合されるフッ素樹脂製アダプター12と
により形成される。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A preferred structure of the deaerator according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing an example of a degassing element 2 used in the degassing apparatus of the present invention. As shown in the figure, the degassing element 2 used in the present invention includes a tube bundle 11 composed of a plurality of fluororesin tubes 10 and a fluororesin adapter 12 fitted to an end of the tube bundle 11. Is formed by.
【0012】ここで、フッ素樹脂製チューブ10及びフ
ッ素樹脂製アダプター12を構成するフッ素樹脂として
は、具体的にはポリテトラフルオロエチレン(PTF
E)、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキル
ビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフルオロエ
チレン−テトラフルオロプロピレン共重合体(FE
P)、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体(E
TFE)、ポリクロロトリフルオロエチレン共重合体
(PCTFE)等が例示できるが、この発明においては
特に限定はされない。また、フッ素樹脂製チューブ束1
1を構成するフッ素樹脂製チューブ10の本数としては
特に限定はされず、使用目的に応じて数本、数十本、数
百本等の任意の数を適宜選択することができる。Here, as the fluororesin constituting the fluororesin tube 10 and the fluororesin adapter 12, specifically, polytetrafluoroethylene (PTF) is used.
E), tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), tetrafluoroethylene-tetrafluoropropylene copolymer (FE
P), ethylene-tetrafluoroethylene copolymer (E
TFE), polychlorotrifluoroethylene copolymer (PCTFE) and the like can be exemplified, but the invention is not particularly limited. Fluororesin tube bundle 1
The number of the fluororesin tubes 10 constituting one is not particularly limited, and any number such as several tubes, dozens, and hundreds can be appropriately selected according to the purpose of use.
【0013】フッ素樹脂製アダプター12は、筒状の胴
部12bとこの胴部12bの先端に設けられるフランジ
部12cとから形成されており、胴部12b外周面には
ネジ部12d及びパイプコネクター部12eがそれぞれ
形成されている。このようなフッ素樹脂製アダプター1
2は、チューブ束11の端部において、熱融着性を有す
るフッ素樹脂粉末13を介して融着によりチューブ束1
1と接合一体化される。ここで、熱融着性を有するフッ
素樹脂粉末としてはFEP、PTFE、PFA、ETF
E等の粉末が特に限定されることなくいずれのものでも
好適に使用することができる。The fluororesin adapter 12 is composed of a tubular body portion 12b and a flange portion 12c provided at the tip of the body portion 12b. The outer peripheral surface of the body portion 12b has a threaded portion 12d and a pipe connector portion. 12e are formed respectively. Such a fluororesin adapter 1
The tube bundle 1 is a tube bundle 1 which is fused at the end of the tube bundle 11 through a fluororesin powder 13 having a heat fusion property.
It is joined and integrated with 1. Here, as the fluororesin powder having heat fusion property, FEP, PTFE, PFA, ETF
The powder such as E is not particularly limited, and any powder can be preferably used.
【0014】具体的にチューブ束11を形成するには、
例えば小径チューブの多数本を引き揃え、各チューブ1
0の端部の外周面上に前述したような熱融着性フッ素樹
脂粉末を散布し、この散布部分を加熱加圧して各チュー
ブ10相互をフッ素樹脂粉末を介して融着一体化する方
法を例示することができる。尚、この一体化の際には、
チューブの変形を防止するために、チューブ内に金属
線、金属棒のような耐圧芯材を挿入させておいてもよ
く、或いは端部に金型を外挿させておいてもよい。この
ようにして得られたチューブ束11の端部にフッ素樹脂
製アダプター12を挿通し、前記同様のフッ素樹脂製粉
末13を介して接合一体化し、脱気エレメント2とす
る。すなわち、筒状のアダプター12の一方の開口部を
挿入孔12aとし、この挿入孔12aにチューブ束11
の接合端部が位置するよう配設し、このチューブ束11
とアダプター12内壁との間隙にフッ素樹脂製粉末13
を充填して加熱により融着一体化して脱気エレメント2
が形成される。尚、この発明においては、筒状のアダプ
ター12として、熱収縮性を有するものを用い、フッ素
樹脂粉末の熱融着性と、アダプター12の熱収縮力とに
よりチューブ束11とアダプター12とを接合一体化す
る方法も好ましく採用することができる。To specifically form the tube bundle 11,
For example, a large number of small-diameter tubes are aligned and each tube 1
A method of spraying the heat-fusible fluororesin powder as described above on the outer peripheral surface of the end of No. 0, and heating and pressurizing the sprayed part to integrally fuse the tubes 10 with each other via the fluororesin powder. It can be illustrated. In addition, at the time of this integration,
In order to prevent the deformation of the tube, a pressure resistant core material such as a metal wire or a metal rod may be inserted into the tube, or a mold may be externally inserted at the end. A fluororesin adapter 12 is inserted into the end portion of the tube bundle 11 thus obtained, and the degassing element 2 is joined and integrated through the fluororesin powder 13 similar to the above. That is, one opening of the cylindrical adapter 12 is used as the insertion hole 12a, and the tube bundle 11 is inserted into the insertion hole 12a.
The tube bundle 11 is arranged so that the joint end of
Fluororesin powder 13 in the gap between the inner wall of the adapter and the adapter 12
And degassing element 2 by heating and fusing together
Is formed. In the present invention, as the cylindrical adapter 12, one having heat shrinkability is used, and the tube bundle 11 and the adapter 12 are joined by the heat fusion property of the fluororesin powder and the heat shrinkage force of the adapter 12. A method of integration can also be preferably adopted.
【0015】以上のような脱気エレメント2は、図2乃
至図3に示すように真空チャンバー3の接続口30に挿
通されて脱気装置1とされる。具体的に詳述すると、真
空チャンバー3の接続口30に脱気エレメント2のアダ
プター12の胴部12bを挿通させ、アダプター12の
フランジ部12cを真空チャンバー3内部に挿入させ、
ネジ部12d及びパイプコネクター部12eを接続口3
0より真空チャンバー3の系外に突出させるよう配設す
る。また、真空チャンバー3内を真空に保つために、内
壁31とアダプター12との間隙部分にO−リング5・
5を配設し、且つアダプターのネジ部12dにナット4
を嵌合させ、脱気エレメント2を接続口30に固定す
る。The degassing element 2 as described above is inserted into the connection port 30 of the vacuum chamber 3 as shown in FIGS. More specifically, the body 12b of the adapter 12 of the degassing element 2 is inserted through the connection port 30 of the vacuum chamber 3, and the flange 12c of the adapter 12 is inserted into the vacuum chamber 3.
Connect the screw portion 12d and the pipe connector portion 12e to the connection port 3
It is arranged so as to project out of the vacuum chamber 3 from 0. Further, in order to maintain the vacuum inside the vacuum chamber 3, an O-ring 5 is formed in the gap between the inner wall 31 and the adapter 12.
5 is installed, and the nut 4 is attached to the threaded portion 12d of the adapter.
Are fitted and the degassing element 2 is fixed to the connection port 30.
【0016】このような構成からなる脱気装置1では、
脱気装置内の処理液のホールドアップ量を減少させるこ
とができ、しかもチューブ束11を真空チャンバー3に
接続させるためのアダプター12をコンパクト化するこ
とができるため、有効膜面積を大きく採ることができ
る。以上のような脱気装置1において、この発明では真
空チャンバー3の内壁31に、アダプターのフランジ部
12cを固定する係止突起3aが形成され、この係止突
起3aを介してフランジ部12cが内壁31に固定され
る。このように係止突起3aを設けることによって、ア
ダプターのフランジ部12cが固定され、脱気エレメン
ト2に送液パイプ(図示せず)を接続する際に、フラン
ジ部12cが空回りしたり、位置ズレを起こしてしまう
ことがない。In the deaerator 1 having such a structure,
The hold-up amount of the processing liquid in the degassing device can be reduced, and the adapter 12 for connecting the tube bundle 11 to the vacuum chamber 3 can be made compact, so that a large effective film area can be taken. it can. In the degassing apparatus 1 as described above, according to the present invention, the locking projection 3a for fixing the flange portion 12c of the adapter is formed on the inner wall 31 of the vacuum chamber 3, and the flange portion 12c is formed through the locking projection 3a. It is fixed at 31. By providing the locking projection 3a in this way, the flange portion 12c of the adapter is fixed, and when the liquid delivery pipe (not shown) is connected to the degassing element 2, the flange portion 12c runs idle or shifts in position. Will not cause.
【0017】[0017]
【実施例】以下、この発明に係る脱気装置の効果を実施
例を挙げることにより、一層詳細に説明する。但し、こ
の発明は以下の実施例により限定はされない。EXAMPLES The effects of the deaerator according to the present invention will be described below in more detail by giving examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
【0018】(実施例1)内径0.5mm、外径0.8
mm、長さ28cmのPTFEチューブを150本結束
して得られたチューブ束の一端部に金型を外挿すると共
に、各チューブの端部外周面上にPFA粉末を散布し
て、温度370℃で10分間加熱加圧し、前記粉末を介
してチューブ相互を融着一体化することにより、断面円
形のチューブ束を得た。一方、これとは別に図1に示し
たような外周面にネジ部とパイプコネクター部とが形成
された筒状の胴部とこの胴部先端に形成されるフランジ
部とからなるPTFE製アダプターを用意し、このアダ
プターの開口部に前記融着後のチューブ束を図1に示す
ように挿入し、さらにアダプターの開口部上に金型を配
置して、温度370℃で20分間加熱加圧し、チューブ
束とアダプターとを融着一体化して図1に示すような有
効チューブ長さ20cmの脱気エレメントを得た。この
脱気エレメントを図3に示したような真空チャンバーの
接続口に、フランジ部が真空チャンバーの系内に、ネジ
部及びパイプアダプター部とが系外に突出して位置する
よう配設した。また、真空チャンバー内壁には係止突起
を形成し、この形成突起をアダプターのフランジ部に挿
通して、アダプターを固定した。さらに、真空チャンバ
ー内を真空に保つためにO−リングを真空チャンバーと
フランジ部との間隙に設置し、アダプターのネジ部にナ
ットを嵌合して脱気エレメントを固定して脱気装置とし
た。この脱気装置に送液パイプを接続したところ、アダ
プターが空回りせず、容易にパイプの接続を行うことが
できた。さらに、脱気装置内のチューブの破損も認めら
れなかった。(Example 1) Inner diameter 0.5 mm, outer diameter 0.8
A mold is externally attached to one end of a tube bundle obtained by bundling 150 PTFE tubes of 28 mm in length and 28 cm in length, and PFA powder is sprinkled on the outer peripheral surface of the end of each tube at a temperature of 370 ° C. Was heated and pressed for 10 minutes, and the tubes were fused and integrated with each other through the powder to obtain a tube bundle having a circular cross section. On the other hand, separately from this, a PTFE adapter composed of a tubular body portion having a screw portion and a pipe connector portion formed on the outer peripheral surface as shown in FIG. 1 and a flange portion formed at the tip of the body portion is provided. Prepare, insert the tube bundle after fusion bonding into the opening of this adapter as shown in FIG. 1, place a mold on the opening of the adapter, heat and pressurize at a temperature of 370 ° C. for 20 minutes, The tube bundle and the adapter were fused and integrated to obtain a degassing element having an effective tube length of 20 cm as shown in FIG. This degassing element was arranged at the connection port of the vacuum chamber as shown in FIG. 3 so that the flange portion was located inside the system of the vacuum chamber, and the screw portion and the pipe adapter portion were located outside the system. In addition, a locking protrusion was formed on the inner wall of the vacuum chamber, and the formed protrusion was inserted into the flange portion of the adapter to fix the adapter. Further, an O-ring was installed in the gap between the vacuum chamber and the flange to maintain the vacuum in the vacuum chamber, and a nut was fitted in the screw part of the adapter to fix the degassing element to form a degassing device. . When a liquid delivery pipe was connected to this deaerator, the adapter did not run idle and the pipe could be easily connected. Furthermore, the tube inside the deaerator was not damaged.
【0019】[0019]
【発明の効果】以上詳述した如く、この発明は真空チャ
ンバーの接続口に脱気エレメントが挿通されてなる脱気
装置において、前記脱気エレメントは複数本のフッ素樹
脂製チューブからなるチューブ束とこのチューブ束の端
部に嵌合されるフッ素樹脂製アダプターとからなり、前
記フッ素樹脂製アダプターは外周面にネジ部とパイプコ
ネクター部が形成されてなると共にこれらが真空チャン
バー外部に位置させられる筒状の胴部と、この胴部に連
続して設けられると共に真空チャンバー内部に位置させ
られるフランジ部とからなり、真空チャンバー内壁には
前記フランジ部を固定する係止突起が形成されてなるこ
とを特徴とする脱気装置であるから、脱気エレメントを
介して真空チャンバーと送液パイプとを接続させる際
に、脱気エレメントが真空チャンバーの接続口内で空回
りや位置ズレ等を起こすことがなく、作業性が良好で、
しかもシール性及び脱気チューブの耐久性が非常に良好
であるとともに、脱気処理液のホールドアップ量を低減
でき、有効膜面積を大きく採ることができるという優れ
た効果を奏する。As described in detail above, according to the present invention, in a degassing device in which a degassing element is inserted through a connection port of a vacuum chamber, the degassing element is a tube bundle composed of a plurality of fluororesin tubes. A fluororesin adapter fitted to the end of the tube bundle, the fluororesin adapter having a threaded portion and a pipe connector portion formed on the outer peripheral surface thereof and a vacuum chamber.
The cylindrical body that is located outside the bar and the body that is connected to this body.
It is installed continuously and located inside the vacuum chamber.
The degassing device is characterized in that a locking projection for fixing the flange is formed on the inner wall of the vacuum chamber. When connecting and, the degassing element does not run idle or shift in position in the connection port of the vacuum chamber, and workability is good,
Moreover, the sealability and the durability of the degassing tube are very good, the holdup amount of the degassing treatment liquid can be reduced, and a large effective film area can be obtained.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】この発明の脱気装置において使用される脱気エ
レメントの一例を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a degassing element used in a degassing apparatus of the present invention.
【図2】この発明の脱気装置の一実施例における部分拡
大断面図である。FIG. 2 is a partially enlarged sectional view of an embodiment of the deaerator of the present invention.
【図3】この発明の脱気装置の一実施例における断面図
である。FIG. 3 is a sectional view of an embodiment of the deaerator of the present invention.
【図4】従来の脱気装置における脱気エレメントの一例
を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of a degassing element in a conventional degassing device.
【図5】従来の脱気装置の一例を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of a conventional degassing device.
【図6】従来の脱気装置の他の例を示す部分拡大断面図
である。FIG. 6 is a partially enlarged cross-sectional view showing another example of the conventional deaerator.
【図7】従来の脱気装置において使用されていた他のア
ダプターを示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing another adapter used in the conventional deaerator.
【図8】図7に示したアダプターを使用した脱気装置の
一例を示す部分拡大断面図である。8 is a partial enlarged cross-sectional view showing an example of a degassing device using the adapter shown in FIG.
【図9】図7に示したアダプターを使用した脱気装置の
一例を示す断面図である。9 is a cross-sectional view showing an example of a degassing device using the adapter shown in FIG.
1 脱気装置 10 チューブ 11 チューブ束 12 アダプター 12b 胴部 12c フランジ部 12d ネジ部 12e パイプコネクター部 13 熱融着性フッ素樹脂粉末 2 脱気エレメント 3 真空チャンバー 30 接続口 31 内壁 3a 係止突起 1 deaerator 10 tubes 11 tube bundle 12 Adapter 12b torso 12c Flange part 12d screw part 12e Pipe connector part 13 Heat-fusible fluororesin powder 2 degassing element 3 vacuum chamber 30 connection 31 inner wall 3a Locking protrusion
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B01D 19/00 - 19/04 C02F 1/20 B01D 61/00 - 71/82 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) B01D 19/00-19/04 C02F 1/20 B01D 61/00-71/82
Claims (2)
トが挿通されてなる脱気装置において、前記脱気エレメ
ントは複数本のフッ素樹脂製チューブからなるチューブ
束とこのチューブ束の端部に嵌合されるフッ素樹脂製ア
ダプターとからなり、前記フッ素樹脂製アダプターは外
周面にネジ部とパイプコネクター部が形成されてなると
共にこれらが真空チャンバー外部に位置させられる筒状
の胴部と、この胴部に連続して設けられると共に真空チ
ャンバー内部に位置させられるフランジ部とからなり、
真空チャンバー内壁には前記フランジ部を固定する係止
突起が形成されてなることを特徴とする脱気装置。1. A degassing device having a degassing element inserted through a connection port of a vacuum chamber, wherein the degassing element is fitted with a tube bundle made of a plurality of fluororesin tubes and an end portion of the tube bundle. And a fluororesin adapter, wherein the fluororesin adapter has a screw part and a pipe connector part formed on the outer peripheral surface.
Both are cylindrical so that they are located outside the vacuum chamber
The body of the
Consisting of a flange located inside the chamber,
A degassing device, wherein a locking projection for fixing the flange portion is formed on the inner wall of the vacuum chamber.
ーとが熱融着性フッ素樹脂粉末を介して接合一体化され
てなることを特徴とする請求項1に記載の脱気装置。2. The deaerator according to claim 1, wherein the tube bundle and the fluororesin adapter are joined and integrated via a heat-fusible fluororesin powder.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27842194A JP3398824B2 (en) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | Degassing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27842194A JP3398824B2 (en) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | Degassing device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08112502A JPH08112502A (en) | 1996-05-07 |
JP3398824B2 true JP3398824B2 (en) | 2003-04-21 |
Family
ID=17597114
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27842194A Expired - Lifetime JP3398824B2 (en) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | Degassing device |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3398824B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114206479B (en) * | 2019-08-13 | 2024-03-22 | Dic株式会社 | Pipe unit and degassing module |
-
1994
- 1994-10-17 JP JP27842194A patent/JP3398824B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08112502A (en) | 1996-05-07 |
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