JP3398226B2 - Metal film adherend - Google Patents

Metal film adherend

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JP3398226B2
JP3398226B2 JP21956194A JP21956194A JP3398226B2 JP 3398226 B2 JP3398226 B2 JP 3398226B2 JP 21956194 A JP21956194 A JP 21956194A JP 21956194 A JP21956194 A JP 21956194A JP 3398226 B2 JP3398226 B2 JP 3398226B2
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/07Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing
    • H05K2203/0756Uses of liquids, e.g. rinsing, coating, dissolving
    • H05K2203/0773Dissolving the filler without dissolving the matrix material; Dissolving the matrix material without dissolving the filler

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、基体上に接着剤を硬
化処理してなる接着剤層を設け、その接着剤層に形成し
た粗化面上に金属膜を被覆形成してなる金属膜被着体に
関し、特に、耐熱性、電気絶縁性、および化学的安定性
を低下させることなく、靱性に優れる接着剤および接着
剤層を提供し、被覆金属との密着性に優れる各種金属膜
被着体を安定して提供するための技術について提案す
る。
The present invention relates to a method for hardening an adhesive on a substrate.
The adhesive layer is formed by the chemical treatment, and is formed on the adhesive layer.
Metal film on the roughened surface
In particular, it provides an adhesive and an adhesive layer having excellent toughness without deteriorating heat resistance, electrical insulation, and chemical stability, and various metal film adherends having excellent adhesion to a coated metal. We propose the technology to provide it stably.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、プリント基板やLSIを実装する
配線板は、電子工業の進歩にともない電子機器の小型化
あるいは高速化に対応したファインパターンによる高密
度化および高い信頼性のものが求められている。
2. Description of the Related Art In recent years, printed circuit boards and wiring boards on which LSIs are mounted have been required to have high densities and high reliability by fine patterns corresponding to the miniaturization or high speed of electronic equipment with the progress of the electronics industry. ing.

【0003】このため、最近では、配線板に導体を形成
する方法として、接着剤を基板表面に塗布して接着剤層
を形成し、この接着剤層の表面を粗化した後、無電解め
っきを施して導体を形成するアディティブ法が注目を浴
びている。この方法によれば、レジスト形成後に無電解
めっきを施して導体を形成するため、エッチングにより
パターン形成を行うエッチドフォイル方法(サブトラク
ティブ法)よりも、高密度でパターン精度の高い配線を
低コストで作製し得る特徴がある。
[0003] For this reason, recently, as a method of forming a conductor on a wiring board, an adhesive is applied to a substrate surface to form an adhesive layer, and the surface of the adhesive layer is roughened. The additive method of forming a conductor by applying a method has attracted attention. According to this method, a conductor is formed by performing electroless plating after forming a resist, so that wiring with high density and high pattern accuracy can be manufactured at a lower cost than an etched foil method (subtractive method) in which pattern formation is performed by etching. There is a feature that can be manufactured with.

【0004】このようなアディティブ法において、導体
と接着剤層との密着性(以下、「ピール強度」にて説明
する。)を改善する手段として、従来、接着剤層の導体
形成面側に、化学的エッチングによる微細な凹凸を設け
る方法が知られている。
In such an additive method, as a means for improving the adhesion between the conductor and the adhesive layer (hereinafter, referred to as "peel strength"), a method for improving the adhesion between the conductor and the adhesive layer is described below. A method of providing fine unevenness by chemical etching is known.

【0005】しかしながら、より高密度でパターン精度
の高い配線が要求される最近のアディティブ型プリント
配線板では、レジストの微小パターンを精度良く形成す
るために、接着剤層の表面粗化によって形成されるアン
カーをさらに小さくすることが必要となる。そのため、
アンカーを小さくすると、破壊面積が小さくなる結果、
ピール強度が著しく低下するという問題を生じた。
However, in recent additive type printed wiring boards requiring higher density wiring with high pattern accuracy, in order to form a fine resist pattern with high precision, it is formed by roughening the surface of an adhesive layer. It is necessary to make the anchor even smaller. for that reason,
As the anchor becomes smaller, the fracture area becomes smaller,
There was a problem that the peel strength was significantly reduced.

【0006】一方、自動車・輸送機器関連分野、電機・
電子部品、機械関連分野、家庭用品関連分野、土木建築
分野、医療分野では、近年、エンジニアリングプラスチ
ックの改良により、金属製の部品が樹脂製のものに置き
換わりつつある。例えば、ポリカーボネートを用いたカ
メラのハウジングや固定リング、あるいはポリアセター
ル製のベアリングが挙げられる。さらには、超高分子量
ポリエチレン製のギアなども開発されている。
On the other hand, in the field of automobiles and transportation equipment,
In the fields of electronic components, machinery, household goods, civil engineering and construction, and medical care, metal parts have been replaced with resin parts in recent years due to improvements in engineering plastics. For example, a camera housing and a fixing ring made of polycarbonate, or a bearing made of polyacetal may be used. Furthermore, gears made of ultra-high molecular weight polyethylene have also been developed.

【0007】ところが、これらの樹脂製部品は、意匠性
や耐腐食性、耐摩耗性などの点からその部品の表面を金
属膜で被覆することが必要となる場合があった。このよ
うな場合に、樹脂表面に金属膜を被覆する手段として、
従来、樹脂基体の表面に接着剤層を設け、この接着剤層
の表面を粗化した後、金属膜を被覆する方法が提案され
ている。例えば、特公昭58−44709 号公報には、絶縁基
板の表面に、アクリロニトリルブタジエンゴムとエポキ
シ樹脂からなる無電解めっき用接着剤を塗布し、次いで
接着剤層表面のエポキシ樹脂部分を溶解除去して表面粗
化した後、無電解めっきを施して金属膜被覆体を得る方
法が開示されている。また、特開昭61−276875号公報に
は、基板上に、耐熱性樹脂マトリックス中に耐熱性樹脂
微粉末を分散してなる無電解めっき用接着剤を塗布し、
次いで耐熱性樹脂微粉末を酸化剤で処理して表面を粗化
した後、無電解めっきする方法が開示されている。
However, these resin parts sometimes need to be coated with a metal film on the surface of the parts in terms of design, corrosion resistance, wear resistance and the like. In such a case, as a means for coating the metal surface on the resin surface,
Conventionally, there has been proposed a method in which an adhesive layer is provided on the surface of a resin substrate, and the surface of the adhesive layer is roughened, and then a metal film is coated. For example, Japanese Patent Publication No. 58-44709 discloses an electroless plating adhesive composed of acrylonitrile butadiene rubber and an epoxy resin applied to the surface of an insulating substrate, and then dissolving and removing the epoxy resin portion on the surface of the adhesive layer. A method of obtaining a metal film coating by performing electroless plating after surface roughening is disclosed. In addition, JP-A-61-276875 discloses that an adhesive for electroless plating is prepared by dispersing a heat-resistant resin fine powder in a heat-resistant resin matrix on a substrate.
Next, a method is disclosed in which a heat-resistant resin fine powder is treated with an oxidizing agent to roughen the surface, and then electrolessly plated.

【0008】しかしながら、接着剤層を介して金属膜を
被覆したエンジニアリングプラスチック(基体樹脂)
は、ヒートサイクル時に、基体樹脂と接着剤層との熱膨
張率差に伴ってクラックが発生したり、応力発生時に、
接着剤層自体にクラックが生じたりするという問題が見
られた。
However, an engineering plastic (base resin) coated with a metal film via an adhesive layer
During the heat cycle, cracks occur due to the difference in thermal expansion coefficient between the base resin and the adhesive layer,
There has been a problem that cracks occur in the adhesive layer itself.

【0009】このような各種問題を解消するには、被覆
金属、あるいは接着剤を構成する耐熱性樹脂マトリック
スの強度を大きくする方法がある。しかるに、発明者ら
の実験によれば、被覆金属として銅を用い、接着剤を構
成する耐熱性樹脂マトリックスとして熱硬化性樹脂や感
光性樹脂を用いる従来技術では、被覆金属を形成する無
電解めっき膜の剥離は、耐熱性樹脂マトリックスの破壊
によって生じることが判った。すなわち、上記密着強度
の低下の原因が、接着剤を構成する耐熱性樹脂マトリッ
クスの強度不足にあることに気づいたのである。さら
に、ヒートサイクル時に生じるクラックや応力発生時に
生じるクラックの原因もまた、耐熱性樹脂マトリックス
側の強度不足にあることがわかった。
In order to solve such various problems, there is a method of increasing the strength of a coated metal or a heat-resistant resin matrix constituting an adhesive. However, according to experiments conducted by the inventors, copper is used as a coating metal, and a thermosetting resin or a photosensitive resin is used as a heat-resistant resin matrix constituting an adhesive. It was found that the peeling of the film was caused by the destruction of the heat resistant resin matrix. That is, they have found that the cause of the decrease in the adhesion strength is insufficient strength of the heat-resistant resin matrix constituting the adhesive. Furthermore, it was found that the cause of cracks generated during the heat cycle and cracks generated during the stress generation was also due to insufficient strength on the heat-resistant resin matrix side.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】そこで、従来技術が抱
えている上記各種問題を解消するため、この発明の主た
る目的は、耐熱性、電気絶縁性、および化学的安定性を
低下させることなく、強靭化された耐熱性樹脂マトリッ
クスを有する接着剤を開発し、そのような接着剤を硬化
処理してなる接着剤層と金属膜との密着性を向上させて
なる金属膜被着体を提供することにある。この発明のさ
らに他の目的は、高密度でパターン精度の高い配線にお
いてもピール強度に優れるプリント配線板やその他の産
業部品のための各種金属膜被着体を安定して提供できる
技術を確立することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, in order to solve the above-mentioned various problems in the prior art, the main object of the present invention is to reduce heat resistance, electrical insulation and chemical stability without reducing the stability. Toughened heat-resistant resin matrix
Develop an adhesive with a coating and cure such an adhesive
Improve the adhesion between the treated adhesive layer and the metal film
To provide a metal film adherend . Still another object of the present invention is to establish a technology capable of stably providing various metal film adherends for printed wiring boards and other industrial parts having excellent peel strength even in high-density wiring with high pattern accuracy. It is in.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】発明者らは、上記目的の
実現に向け、接着剤を構成する耐熱性樹脂マトリックス
の強度改善に関し鋭意研究を行った結果、接着剤を構成
する耐熱性樹脂マトリックスとして、官能基の一部が感
光基で置換された樹脂を含む未硬化の熱硬化性樹脂およ
び/または未硬化の感光性樹脂と熱可塑性樹脂との混合
樹脂を用い、さらにこれを硬化処理してなる樹脂複合体
を接着剤層として用いることにより、粗化処理によって
形成されるアンカー深さが小さくても、導体金属との接
着強度に優れるプリント配線板等の金属膜被着体を提供
できることを見出し、この発明に想到した。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present inventors have conducted intensive studies on the improvement of the strength of the heat resistant resin matrix constituting the adhesive, and as a result, the heat resistant resin matrix constituting the adhesive has been obtained. As an uncured thermosetting resin containing a resin in which a part of the functional group is substituted by a photosensitive group, and / or a mixed resin of an uncured photosensitive resin and a thermoplastic resin, and further subjected to a curing treatment. By using the resin composite formed as the adhesive layer, even if the anchor depth formed by the roughening treatment is small, it is possible to provide a metal film adherend such as a printed wiring board having excellent adhesive strength with a conductor metal even when the anchor depth is small. And found the present invention.

【0012】すなわち、 (1) この発明に用いられる接着剤の構成は、未硬化の耐
熱性樹脂マトリックス中に、分解可能な粒子状物質、あ
るいは、無機粒子、金属粒子、エラストマー粒子、アル
カリに可溶性の樹脂粒子および溶剤に可溶性の樹脂粒子
から選ばれる少なくとも1種の溶解除去可能な粒子状物
質を分散してなる接着剤において、前記耐熱性樹脂マト
リックスは、官能基の一部が感光基で置換された樹脂を
含む未硬化の熱硬化性樹脂(以下、単に「未硬化の熱硬
化性樹脂」という)および/または未硬化の感光性樹脂
と熱可塑性樹脂との樹脂混合物からなり、その樹脂混合
物は、硬化処理により擬似均一相溶構造、共連続構造あ
るいは球状ドメイン構造のいずれか1つの樹脂構造を有
する樹脂複合体を形成するように、その相溶性が調整さ
れてなることを特徴とする。上記樹脂混合物は、溶媒中
に溶解して相溶状態もしくは非相溶状態になることが好
ましい。上記樹脂混合物が相溶状態にある時は、これを
硬化する際に、相分離速度と硬化速度を調整することに
より、後述する疑似均一相溶構造、共連続構造、球状ド
メイン構造を得ることができる。一方、この樹脂混合物
が非相溶状態にある時は、これをそのまま硬化させるこ
とにより、球状ドメイン構造を得ることができる。ここ
で、上記分解除去可能な粒子状物質としては、懸濁重合
させた低架橋度のアミノ樹脂などを用いることが望まし
い。なお、この発明において、「分解除去」とは、加熱
や加圧、湿度調整などの粗化液を使用しない雰囲気調整
により、粒子状物質の分解を生じせしめるものであり、
また「溶解除去」とは、酸やアルカリ、酸化剤、水、有
機溶剤などの粗化液を使用して化学的作用により、粒子
状物質の溶解、分解を生じせしめるものである。また、
この発明において、「熱硬化性樹脂および/または感光
性樹脂と熱可塑性樹脂との樹脂混合物」とは、.硬化
性樹脂と熱可塑性樹脂との樹脂混合物、.感光性樹脂
と熱可塑性樹脂との樹脂混合物、あるいは.熱硬化性
樹脂と感光性樹脂と熱可塑性樹脂との樹脂混合物、を意
味する
That is, (1) The composition of the adhesive used in the present invention is as follows: an uncured heat-resistant resin matrix contains a decomposable particulate substance, or an inorganic, metal, elastomer, or alkali-soluble material. In the adhesive obtained by dispersing at least one kind of dissolvable and removable particulate material selected from resin particles and resin particles soluble in a solvent, the heat-resistant resin matrix has a part of functional groups substituted by photosensitive groups. Thermosetting resin containing a cured resin (hereinafter simply referred to as “uncured thermosetting resin”) and / or a resin mixture of an uncured photosensitive resin and a thermoplastic resin. Has a compatibility that forms a resin composite having one of a quasi-homogeneous compatible structure, a bicontinuous structure and a spherical domain structure by a curing treatment. Characterized by comprising the integer. The resin mixture is preferably dissolved in a solvent to be in a compatible state or an incompatible state. When the resin mixture is in a compatible state, when curing it, by adjusting the phase separation rate and the curing rate, it is possible to obtain a pseudo-homogeneous compatible structure, a bicontinuous structure, and a spherical domain structure described below. it can. On the other hand, when the resin mixture is in an incompatible state, it can be cured as it is to obtain a spherical domain structure. Here, as the particulate substance that can be decomposed and removed, it is desirable to use an amino resin having a low degree of cross-linking, which has been subjected to suspension polymerization. Note that, in the present invention, "decomposition removal" is to cause decomposition of the particulate matter by adjusting the atmosphere without using a roughening liquid such as heating, pressurization, and humidity adjustment,
The term "dissolve and remove" means that a particulate substance is dissolved and decomposed by a chemical action using a roughening liquid such as an acid, an alkali, an oxidizing agent, water, and an organic solvent. Also,
In the present invention, the term “resin mixture of a thermosetting resin and / or a photosensitive resin and a thermoplastic resin” refers to. A resin mixture of a curable resin and a thermoplastic resin,. A resin mixture of a photosensitive resin and a thermoplastic resin, or. It means a resin mixture of a thermosetting resin, a photosensitive resin and a thermoplastic resin.

【0013】(2) この発明に用いられる接着剤の他
の構成は、未硬化の耐熱性樹脂マトリックス中に、硬化
前は該マトリックスとは相溶せず、かつ硬化後には溶解
除去可能な樹脂液を分散してなる接着剤において、前記
耐熱性樹脂マトリックスが、未硬化の熱硬化性樹脂およ
び/または未硬化の感光性樹脂と熱可塑性樹脂との相溶
性を調整した樹脂混合物からなることを特徴とする。(3) この発明に用いられる接着剤のさらに他の構成
は、未硬化の耐熱性樹脂マトリックス中に、硬化前は該
マトリックスとは相溶し、かつ硬化後には相分離して溶
解除去可能となる樹脂液を混合してなる接着剤におい
て、前記耐熱性樹脂マトリックスが、未硬化の熱硬化性
樹脂および/または未硬化の感光性樹脂と熱可塑性樹脂
との相溶性を調整した樹脂混合物からなることを特徴と
する。このような樹脂混合物が相溶状態にある時は、こ
れを硬化する際に、相分離速度と硬化速度を調整するこ
とにより、後述する疑似均一相溶構造、共連続構造、球
状ドメイン構造を得ることができる。一方、このような
樹脂混合物が非相溶状態にある時は、これをそのまま硬
化させることにより、球状ドメイン構造を得ることがで
きる。
(2) Another constitution of the adhesive used in the present invention is that a resin which is not compatible with the matrix before curing and which can be dissolved and removed after curing in an uncured heat-resistant resin matrix In an adhesive obtained by dispersing a liquid, the heat-resistant resin matrix may be formed of a resin mixture in which the compatibility between an uncured thermosetting resin and / or an uncured photosensitive resin and a thermoplastic resin is adjusted. Features. (3) Still another configuration of the adhesive used in the present invention is that an uncured heat-resistant resin matrix is compatible with the matrix before curing, and can be separated and dissolved and removed after curing after curing. In the adhesive obtained by mixing the resin liquids, the heat-resistant resin matrix is made of a resin mixture in which the compatibility between the uncured thermosetting resin and / or the uncured photosensitive resin and the thermoplastic resin is adjusted. It is characterized by the following. When such a resin mixture is in a compatible state, when curing it, by adjusting the phase separation speed and the curing speed, a pseudo-homogeneous compatible structure, a bicontinuous structure, and a spherical domain structure, which will be described later, are obtained. be able to. On the other hand, when such a resin mixture is in an incompatible state, it can be cured as it is to obtain a spherical domain structure.

【0014】(4) この発明に用いられる接着剤層の構
成は、基体上に形成された粗化面を有する接着剤層であ
って、この層は、上記(1)〜(3)に記載の接着剤を硬化
処理して形成されることを特徴とする。すなわち、分解
除去可能な粒子状物質、あるいは、無機粒子、金属粒
子、エラストマー粒子、アルカリに可溶性の樹脂粒子お
よび溶剤に可溶性の樹脂粒子から選ばれる少なくとも1
種の溶解除去可能な粒子状物質が、熱硬化性樹脂および
/または感光性樹脂と熱可塑性樹脂との樹脂混合物を硬
化処理して形成した疑似均一相溶構造、共連続構造もし
くは球状ドメイン構造のいずれかの樹脂構造を有する樹
脂複合体からなる耐熱性樹脂マトリックス中に分散した
ものである。
(4) The configuration of the adhesive layer used in the present invention is an adhesive layer having a roughened surface formed on a base, and this layer is described in (1) to (3) above. Characterized in that the adhesive is formed by curing the adhesive. That is, at least one selected from a particulate substance that can be decomposed and removed, or at least one selected from inorganic particles, metal particles, elastomer particles, alkali-soluble resin particles, and solvent-soluble resin particles.
Kinds of particles that can be dissolved and removed are formed into a pseudo-homogeneous compatible structure, a co-continuous structure or a spherical domain structure formed by curing a thermosetting resin and / or a resin mixture of a photosensitive resin and a thermoplastic resin. It is dispersed in a heat-resistant resin matrix composed of a resin composite having any of the resin structures.

【0015】(5) この発明に用いられる接着剤層の
他の構成は、基体上に形成された粗化面を有する接着剤
層であって、この層は、溶解除去可能な樹脂が、熱硬化
性樹脂および/または感光性樹脂と熱可塑性樹脂との樹
脂複合体からなる硬化処理された耐熱性樹脂マトリック
スの海の中に島状に分散して、海−島構造を形造ってい
ることを特徴とし、前記樹脂複合体は、疑似均一相溶構
造,共連続構造もしくは球状ドメイン構造を形成してい
ることが好ましい。ここで、上記の溶解除去可能な樹脂
としては、硬化前は未硬化の耐熱性樹脂マトリックスと
は相溶せず、硬化後には該樹脂マトリックスと不均一な
状態で「海−島構造」を形成する樹脂と、硬化前は未硬
化の耐熱性樹脂マトリックスと相溶し、硬化の過程で該
樹脂マトリックスと相分離して、硬化後には該樹脂マト
リックスと不均一な状態で「海−島構造」を形成する樹
脂を用いることが望ましい。硬化の過程で相分離すると
は、.マトリックス樹脂の硬化により、相分離を生じ
るもの、.マトリックスと溶解除去する樹脂双方の硬
化により相分離を生じるもの、.硬化の際に加える熱
(温度)により相分離し、硬化により相が固定されるも
の、とがある。なお、この発明において、「海−島構
造」とは、耐熱性樹脂マトリックスを海とし、この海の
中に、溶解除去可能な樹脂の濃度が高い部分が島状に存
在している濃度の不均一な状態を意味し、海と島の境界
が不明瞭なものである。この島は、海の中で独立してい
てもよく、島同志が連続していてもよい。
(5) Another configuration of the adhesive layer used in the present invention is an adhesive layer having a roughened surface formed on a substrate, and this layer is made of a resin that can be dissolved and removed by heat. A cured, heat-resistant resin matrix comprising a resin composite of a curable resin and / or a photosensitive resin and a thermoplastic resin is dispersed in the form of islands in the sea to form a sea-island structure. It is preferable that the resin composite forms a pseudo-homogeneous compatible structure, a bicontinuous structure, or a spherical domain structure. Here, as the resin that can be dissolved and removed, the resin is not compatible with the uncured heat-resistant resin matrix before curing, and forms an “sea-island structure” in an uneven state with the resin matrix after curing. The resin to be cured is compatible with the uncured heat-resistant resin matrix before curing, and is phase-separated from the resin matrix in the course of curing, and after curing, is in a non-uniform state with the resin matrix “sea-island structure” It is desirable to use a resin that forms Phase separation in the process of curing means. Those which cause phase separation by curing of the matrix resin,. A phase separation is caused by curing of both the matrix and the resin to be dissolved and removed,. There is a type in which a phase is separated by heat (temperature) applied at the time of curing and a phase is fixed by curing. In the present invention, the “sea-island structure” refers to a sea having a heat-resistant resin matrix in which a portion having a high concentration of a resin that can be dissolved and removed is present in an island shape. It means a uniform state and the boundary between the sea and the island is unclear. This island may be independent in the sea, or the islands may be continuous.

【0016】このような接着剤層において、粗化面は、
接着剤層表面に存在する分解除去可能なあるいは、溶解
除去可能な粒子状物質、または島構造を持つ溶解除去可
能な樹脂を、分解または溶解除去することにより形成さ
れる。なお、上記基体としては、導体回路が形成された
プリント配線板を含む基板や、繊維状、棒状、球状をは
じめとして、産業上使用できる各種形状のものを使用す
ることができる。
In such an adhesive layer, the roughened surface is
It is formed by decomposing or dissolving and removing the particulate material which can be decomposed and removed or which can be dissolved and removed, or the resin which has an island structure and which can be dissolved and removed, which is present on the surface of the adhesive layer. The substrate may be a substrate including a printed wiring board on which a conductor circuit is formed, or a substrate having various shapes that can be used industrially, such as a fiber, a bar, and a sphere.

【0017】この発明にかかる金属膜被着体は、基体上
に、金属を被覆する側が粗化された接着剤層を有し、か
つその接着剤層の粗化面上に金属膜を設けてなるものに
おいて、この接着剤層は、前記(4)に記載された樹脂複
合体から形成されることを特徴とする。すなわち、上記
接着剤層は、分解除去可能な粒子状物質、あるいは、無
機粒子、金属粒子、エラストマー粒子、アルカリに可溶
性の樹脂粒子および溶剤に可溶性の樹脂粒子から選ばれ
る少なくとも1種の溶解除去可能な粒子状物質を、熱硬
化性樹脂および/または感光性樹脂と熱可塑性樹脂との
樹脂混合物を硬化処理して形成した疑似均一相溶構造、
共連続構造もしくは球状ドメイン構造のいずれかの樹脂
構造を有する樹脂複合体からなる耐熱性樹脂マトリック
ス中に分散したものである。
The metal film-coated body according to the present invention has an adhesive layer having a roughened metal coating side on a substrate, and a metal film provided on the roughened surface of the adhesive layer. In this case, the adhesive layer is formed from the resin composite described in the above (4) . That is, the adhesive layer is capable of dissolving and removing at least one kind of particulate matter that can be decomposed and removed, or at least one selected from inorganic particles, metal particles, elastomer particles, resin particles soluble in alkali and resin particles soluble in a solvent. Quasi-homogeneous compatible structure formed by hardening a particulate mixture of a thermosetting resin and / or a resin mixture of a photosensitive resin and a thermoplastic resin,
It is dispersed in a heat-resistant resin matrix composed of a resin composite having either a bicontinuous structure or a spherical domain structure.

【0018】この発明の金属膜被着体の他の構成は、基
体上に、金属を被覆する側が粗化された接着剤層を有
し、かつその接着剤層の粗化面上に金属膜を設けてなる
ものにおいて、前記接着剤層は、前記(5)に記載された
ような、樹脂複合体から形成されることを特徴とする。
すなわち、上記接着剤層は、溶解除去可能な樹脂を、硬
化処理がされた、熱硬化性樹脂および/または感光性樹
脂と熱可塑性樹脂との樹脂複合体からなる耐熱性樹脂マ
トリックスの海の中に島状に分散して、海−島構造を形
造っていることを特徴とする。この樹脂複合体は、疑似
均一相溶構造,共連続構造もしくは球状ドメイン構造を
形成していることが好ましい。ここで、上記の溶解除去
可能な樹脂としては、硬化前は未硬化の耐熱性樹脂マト
リックスとは相溶せず、硬化後には該樹脂マトリックス
と不均一な状態で「海−島構造」を形成する樹脂と、硬
化前は未硬化の耐熱性樹脂マトリックスと相溶し、硬化
の過程で該樹脂マトリックスと相分離して、硬化後には
該樹脂マトリックスと不均一な状態で「海−島構造」を
形成する樹脂を用いることが望ましい。なお、上記基体
としては、導体回路が形成されたプリント配線板を含む
基板や、繊維状、棒状、球状をはじめとして、産業上使
用できる各種形状のものを使用することができる。
Another structure of the metal film-coated body according to the present invention comprises an adhesive layer having a roughened metal coating side on a base, and a metal film coated on the roughened surface of the adhesive layer. In what is provided, the adhesive layer is described in (5) above
It is characterized by being formed from such a resin composite.
That is, the adhesive layer is formed by curing a resin capable of being dissolved and removed in a sea of a heat-resistant resin matrix formed of a cured resin composition of a thermosetting resin and / or a photosensitive resin and a thermoplastic resin. It is characterized by being dispersed in an island shape to form a sea-island structure. The resin composite preferably forms a pseudo-homogeneous compatible structure, a co-continuous structure or a spherical domain structure. Here, as the resin that can be dissolved and removed, the resin is not compatible with the uncured heat-resistant resin matrix before curing, and forms an “sea-island structure” in an uneven state with the resin matrix after curing. The resin to be cured is compatible with the uncured heat-resistant resin matrix before curing, and is phase-separated from the resin matrix in the course of curing, and after curing, is in a non-uniform state with the resin matrix “sea-island structure” It is desirable to use a resin that forms The substrate may be a substrate including a printed wiring board on which a conductor circuit is formed, or a substrate having various shapes that can be used industrially, such as a fiber, a bar, and a sphere.

【0019】この発明に係る上記の金属膜被着体におい
て、基体として基板を使用し、被覆金属を必要に応じて
エッチングしたり、あるいは金属をパターン形状で被覆
したものは、プリント配線板となる。このようなプリン
ト配線板は、例えば、基板上に、溶解除去あるいは分解
除去可能な粒子状物質を、硬化処理が施された耐熱性樹
脂マトリックス中に分散してなる接着剤層が設けられて
おり、この接着剤層の導体形成面には粗化面が形成され
ており、さらにその粗化面上には導体回路が設けられて
いるプリント配線板であって、前記耐熱性樹脂マトリッ
クスが、熱硬化性樹脂および/または感光性樹脂と熱可
塑性樹脂との樹脂複合体で構成され、この樹脂複合体
は、疑似均一相溶構造、共連続構造もしくは球状ドメイ
ン構造のいずれかの樹脂構造を有して形成されている。
プリント配線板の他の構成は、基板上に、溶解除去可能
な樹脂を、熱硬化性樹脂および/または感光性樹脂と熱
可塑性樹脂との樹脂複合体からなる硬化処理された耐熱
性樹脂マトリックスの海の中に島状に分散して、海−島
構造を形造っている接着剤層が設けられており、この接
着剤層の導体形成面には粗化面が形成されており、さら
にその粗化面上には導体回路が設けられたものであり、
前記耐熱性樹脂マトリックスが、熱硬化性樹脂および/
または感光性樹脂と熱可塑性樹脂との樹脂複合体で構成
されていることを特徴とし、この樹脂複合体は、疑似均
一相溶構造、共連続構造もしくは球状ドメイン構造のい
ずれかの樹脂構造を有して形成されている。
In the above-mentioned metal film-coated body according to the present invention, a substrate using a substrate as a substrate and etching the coated metal as necessary or coating the metal in a pattern shape becomes a printed wiring board. . Such a printed wiring board is provided with, for example, an adhesive layer formed by dispersing a particulate substance that can be dissolved and removed or decomposed and removed in a cured heat-resistant resin matrix on a substrate. A roughened surface is formed on the conductor forming surface of the adhesive layer, and a printed circuit board further provided with a conductor circuit on the roughened surface, wherein the heat-resistant resin matrix is formed by heat. It is composed of a resin composite of a curable resin and / or a photosensitive resin and a thermoplastic resin, and the resin composite has any one of a pseudo-homogeneous compatible structure, a bicontinuous structure, and a spherical domain structure. It is formed.
Another configuration of the printed wiring board is that a resin which can be dissolved and removed on a substrate is made of a thermosetting resin and / or a cured heat-resistant resin matrix composed of a resin composite of a photosensitive resin and a thermoplastic resin. An adhesive layer dispersed in the form of an island in the sea to form a sea-island structure is provided, and a conductor-formed surface of the adhesive layer is formed with a roughened surface. A conductor circuit is provided on the roughened surface,
The heat-resistant resin matrix comprises a thermosetting resin and / or
Alternatively, it is characterized by being composed of a resin composite of a photosensitive resin and a thermoplastic resin, and the resin composite has a resin structure of any of a pseudo-homogeneous compatible structure, a bicontinuous structure and a spherical domain structure. It is formed.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】(1) この発明の金属膜被着体の
特徴は、基体上に形成される接着剤層をなす接着剤の
脂マトリックスが、未硬化の熱硬化性樹脂および/また
は未硬化の感光性樹脂と熱可塑性樹脂との樹脂混合物か
ら構成され、その樹脂混合物は、硬化処理により擬似均
一相溶構造、共連続構造あるいは球状ドメイン構造のい
ずれかの樹脂構造を有する樹脂複合体を形成するよう
に、その相溶性が調整され、その未硬化の耐熱性樹脂マ
トリックス中には、分解可能な粒子状物質、あるいは無
機粒子、金属粒子、エラストマー粒子、アルカリに可溶
性の樹脂粒子および溶剤に可溶性の樹脂粒子から選ばれ
る少なくとも1種の溶解除去可能な粒子状物質、あるい
は溶解除去な樹脂が分散されている点にある。特に、こ
の発明に用いる接着剤は、上記樹脂混合物が、相溶状態
で均質に混合されていることが望ましい。これにより、
耐熱性、電気絶縁性および化学的安定性を低下させるこ
となく、上記接着剤の樹脂マトリックスを強靱化するこ
とができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (1) The metal film adherend of the present invention
The feature is that the resin matrix of the adhesive forming the adhesive layer formed on the substrate is an uncured thermosetting resin and / or a resin mixture of an uncured photosensitive resin and a thermoplastic resin. The resin mixture has a quasi-homogeneous compatible structure by a curing treatment, its compatibility is adjusted so as to form a resin composite having a resin structure of either a bicontinuous structure or a spherical domain structure. In the uncured heat-resistant resin matrix, decomposable particulate matter, or at least one of inorganic particles, metal particles, elastomer particles, alkali-soluble resin particles and solvent-soluble resin particles is removed. The point is that a particulate material that can be dissolved or a resin that can be dissolved and removed is dispersed. In particular, in the adhesive used in the present invention , it is desirable that the resin mixture is homogeneously mixed in a compatible state. This allows
The resin matrix of the adhesive can be toughened without lowering heat resistance, electrical insulation and chemical stability.

【0021】ここで、接着剤の耐熱性樹脂マトリックス
として、上述したような相溶状態の樹脂混合物を用いる
理由は、硬化によって得られる熱硬化性樹脂および/ま
たは感光性樹脂と熱可塑性樹脂とからなる樹脂複合体の
樹脂構造を、その硬化条件によって容易に制御できるか
らである。
The reason why the above-mentioned resin mixture in a compatible state is used as the heat-resistant resin matrix of the adhesive is that a thermosetting resin and / or a photosensitive resin obtained by curing and a thermoplastic resin are used. This is because the resin structure of the resulting resin composite can be easily controlled by the curing conditions.

【0022】未硬化の熱硬化性樹脂および/または未硬
化の感光性樹脂と熱可塑性樹脂とを、相溶状態で均質に
混合分散させるための方法としては、溶媒中に樹脂を溶
解させる方法、加熱により熱可塑性樹脂を溶融させたの
ち、熱硬化性樹脂あるいは感光性樹脂を混合する方法な
どがある。なかでも、溶媒中に樹脂を溶解させる方法が
好適に用いられる。この理由は、作業性がよく、低温で
樹脂を相溶させることができるからである。上記溶媒と
しては、例えば、ジメチルホルムアミド(DMF)、ノ
ルマルメチルピロリンドン(NMP)、塩化メチレン、
ジエチレングリコールジメチルエーテル(DMDG)等
がある。
As a method for uniformly mixing and dispersing an uncured thermosetting resin and / or an uncured photosensitive resin and a thermoplastic resin in a compatible state, a method in which the resin is dissolved in a solvent, There is a method of melting a thermoplastic resin by heating and then mixing a thermosetting resin or a photosensitive resin. Among them, a method in which a resin is dissolved in a solvent is suitably used. This is because the workability is good and the resin can be dissolved at a low temperature. Examples of the solvent include dimethylformamide (DMF), normal methylpyrrolidone (NMP), methylene chloride,
And diethylene glycol dimethyl ether (DMDG).

【0023】この発明に用いる接着剤において、耐熱性
樹脂マトリックスは、未硬化の熱硬化性樹脂および/ま
たは未硬化の感光性樹脂と熱可塑性樹脂との配合比が、
熱可塑性樹脂の含有量で15〜50wt%であることが望まし
い。この理由は、熱可塑性樹脂の含有量が15wt%未満で
は、接着剤層の靱性を向上させることができず、一方、
50wt%を超えると、塗布することが困難で、平滑で均一
な接着剤層を形成することが困難になるためである。
[0023] In the adhesive used in the present invention, the heat-resistant resin matrix, the compounding ratio of the photosensitive resin and the thermoplastic resin of the thermosetting resin and / or uncured uncured,
It is desirable that the content of the thermoplastic resin is 15 to 50% by weight. The reason is that if the content of the thermoplastic resin is less than 15 wt%, the toughness of the adhesive layer cannot be improved, while
If it exceeds 50% by weight, it is difficult to apply, and it is difficult to form a smooth and uniform adhesive layer.

【0024】この発明に用いる接着剤の粘度は、25℃の
測定で、0.5 〜10Pa・sであることが望ましい。この理
由は、10Pa・sを超えると、レベリング性が低下して平
滑な接着面を得ることができず、一方、0.5 Pa・s未満
では、溶解除去あるいは分解除去可能な粒子状物質の沈
降を招き、十分な粗化面を得ることができず、被覆金属
との密着性が低下してしまうからである。
The viscosity of the adhesive used in the present invention is desirably 0.5 to 10 Pa · s when measured at 25 ° C. The reason for this is that if it exceeds 10 Pa · s, the leveling property decreases and a smooth adhesive surface cannot be obtained. This is because a sufficient roughened surface cannot be obtained, and the adhesion to the coated metal decreases.

【0025】(2) この発明に用いる接着剤層の特徴
は、上記(1)に記載の接着剤を適切な硬化条件のもとで
硬化させて形成した樹脂複合体を用いる点にある。これ
により、被覆金属との密着性に優れる接着剤層を安定し
て提供することができる。
(2) The feature of the adhesive layer used in the present invention resides in that a resin composite formed by curing the adhesive described in (1) above under appropriate curing conditions is used. This makes it possible to stably provide an adhesive layer having excellent adhesion to the coated metal.

【0026】ここで、接着剤層の耐熱性樹脂マトリック
スとして、熱硬化性樹脂および/または感光性樹脂と熱
可塑性樹脂の樹脂複合体を用いる理由は、樹脂複合体に
すると、熱硬化性樹脂あるいは感光性樹脂が示す特有の
物性と、熱可塑性樹脂特有の靱性をともに発現すること
が可能となる結果、耐熱性、弾性率、電気絶縁性および
化学的安定性を低下させることなく、樹脂マトリックス
全体の強靱化を図ることができるからである。
Here, the reason why a thermosetting resin and / or a resin composite of a photosensitive resin and a thermoplastic resin is used as the heat-resistant resin matrix of the adhesive layer is that when the resin composite is used, the thermosetting resin or the thermosetting resin is used. As a result of being able to express both the unique physical properties of the photosensitive resin and the toughness of the thermoplastic resin, the entire resin matrix can be produced without reducing heat resistance, elastic modulus, electrical insulation and chemical stability. It is because toughness can be improved.

【0027】この発明に用いる接着剤層は、その表面は
粗化されているが、その粗化面は、分解除去可能な粒子
状物質、溶解除去可能な粒子状物質、あるいは、島状に
分散する溶解除去可能な樹脂が、分解または溶解除去さ
れてできる、所謂たこ壺状の凹部によって形成されてい
る。それ故に、この凹部は、無電解めっきなどの金属被
膜が析出してアンカーとなり、しかもこの凹部を構成す
る樹脂マトリックスは、靱性が大きく容易に樹脂破壊が
おこらないため、金属被膜が接着剤層の粗化面から剥離
することなく、密着強度(ピール強度)を高く維持する
ことができる。また、上記耐熱性樹脂マトリックスは靱
性に優れるため、接着剤層自体が変形を受けても破壊さ
れにくく、基体が変形や応力を受ける場合でも使用でき
る。
Although the surface of the adhesive layer used in the present invention is roughened, the roughened surface is dispersed in the form of a particulate material that can be decomposed and removed, a particulate material that can be dissolved and removed, or an island shape. The resin which can be dissolved and removed is formed by a so-called octopus pot-shaped recess formed by decomposition or dissolution and removal. Therefore, in the recess, a metal film such as electroless plating is deposited to serve as an anchor, and the resin matrix constituting the recess has high toughness and does not easily break down the resin. The adhesion strength (peel strength) can be maintained high without peeling off from the roughened surface. Further, since the heat resistant resin matrix is excellent in toughness, it is hard to be broken even if the adhesive layer itself is deformed, and can be used even when the substrate is deformed or stressed.

【0028】この発明に用いる接着剤層における樹脂複
合体は、疑似均一相溶構造、共連続構造もしくは球状ド
メイン構造のいずれかの樹脂構造を有して形成されてい
る。ここに、 (a).疑似均一相溶構造とは、いわゆるLCST型(Low
Critical Solution Temperature )の相図を示す熱硬化
性樹脂あるいは感光性樹脂と、熱可塑性樹脂との樹脂複
合体において、構成樹脂粒子の粒子径が透過型電子顕微
鏡観察による測定値で0.1 μm以下であり、動的粘弾性
測定による樹脂のガラス転移温度ピーク値が1つである
状態を意味する。この状態は、樹脂の理想的な混合状態
に近いものであり、発明者が、独自に考え出した新しい
概念である。ここに、この発明における動的粘弾性測定
の条件は、振動周波数6.28 rad/sec 、昇温速度5℃/
分である。すなわち、この疑似均一相溶構造は、エポキ
シ樹脂などの熱硬化性樹脂あるいはアクリル樹脂などの
感光性樹脂特有の物性を維持しつつ、ポリエーテルスル
ホン(PES)などの熱可塑性樹脂特有の物性を越えた
導入効果を示す、より均質な構造であり、熱硬化性樹脂
あるいは感光性樹脂と、熱可塑性樹脂との相互作用が極
めて強いものである。かかる樹脂複合体の構造は、それ
の破面を、熱可塑性樹脂を溶解させる溶媒を用いてエッ
チングしても、その表面状態はエッチング前とほとんど
変化が無く均質であることから判る。このような疑似均
一相溶構造を形成する樹脂複合体は、それの破壊強度と
引張り強度はいずれも、それぞれの構成樹脂単独の場合
よりも高い値を示す。
The resin composite in the adhesive layer used in the present invention has a resin structure of any of a pseudo-homogeneous compatible structure, a co-continuous structure and a spherical domain structure. Here, (a). The pseudo-homogeneous compatible structure is a so-called LCST type (Low
Critical Solution Temperature) The resin composite of thermoplastic resin and thermosetting resin or photosensitive resin showing phase diagram has particle diameter of 0.1 μm or less as measured by transmission electron microscope observation. , Meaning that the resin has one glass transition temperature peak value by dynamic viscoelasticity measurement. This state is close to the ideal mixing state of the resin, and is a new concept originally conceived by the inventor. Here, the conditions of the dynamic viscoelasticity measurement in the present invention are as follows: vibration frequency 6.28 rad / sec, heating rate 5 ° C. /
Minutes. In other words, this pseudo-homogeneous compatible structure surpasses the physical properties of a thermoplastic resin such as polyethersulfone (PES) while maintaining the physical properties of a thermosetting resin such as an epoxy resin or a photosensitive resin such as an acrylic resin. It has a more homogenous structure showing the effect of introduction, and has a very strong interaction between the thermosetting resin or the photosensitive resin and the thermoplastic resin. The structure of such a resin composite can be seen from the fact that even if the fractured surface is etched using a solvent that dissolves the thermoplastic resin, the surface state is substantially unchanged from that before etching and is homogeneous. Resin composites that form such a pseudo-homogeneous compatible structure show higher values of fracture strength and tensile strength than those of the respective constituent resins alone.

【0029】このような樹脂複合体の構造による効果
は、前記複合体における熱可塑性樹脂(例えば、PE
S)の含有量が固形分で15〜50wt%である場合に特に顕
著となる。この理由は、熱可塑性樹脂の含有量が15wt%
未満では、樹脂成分の網目に絡み合う熱可塑性樹脂分子
が少ないため強靱化の効果が十分に発揮されず、一方、
熱可塑性樹脂の含有量が50wt%を超えると、架橋点の減
少によって熱硬化性樹脂あるいは感光性樹脂と熱可塑性
樹脂間との相互作用が小さくなるからである。
The effect of the structure of the resin composite is as follows. The thermoplastic resin (for example, PE
This is particularly noticeable when the content of S) is 15 to 50 wt% in solid content. The reason is that the content of thermoplastic resin is 15wt%
If it is less, the effect of toughening is not sufficiently exhibited because the number of thermoplastic resin molecules entangled in the network of the resin component is small.
If the content of the thermoplastic resin exceeds 50 wt%, the interaction between the thermosetting resin or the photosensitive resin and the thermoplastic resin becomes small due to the decrease in the number of crosslinking points.

【0030】このような疑似均一相溶構造は、未硬化の
熱硬化性樹脂あるいは未硬化の感光性樹脂と、熱可塑性
樹脂を必要に応じて溶剤に溶解して均一に混合し、その
後、硬化速度を速くすること、および/または相分離速
度を遅くすることにより、構成樹脂粒子の粒子径を透過
型電子顕微鏡観察による測定値で0.1 μm以下にするこ
とにより、形成される。
Such a pseudo-homogeneous compatible structure is obtained by dissolving an uncured thermosetting resin or an uncured photosensitive resin and a thermoplastic resin in a solvent as necessary and mixing them uniformly. It is formed by increasing the speed and / or reducing the phase separation speed so that the particle diameter of the constituent resin particles is 0.1 μm or less as measured by transmission electron microscopy.

【0031】具体的には、第1の方法として、熱硬化性
樹脂を用いる場合は、熱硬化性樹脂の硬化温度、硬化剤
の種類、および感光性付与の有無のうちから選ばれる1
種または2種以上の因子によって決定される擬似均一相
形成点を超える硬化速度で、一方、感光性樹脂を用いる
場合は、感光性樹脂の光硬化因子,例えば開始剤や増感
剤,感光性モノマー,露光条件などによって決定される
擬似均一相形成点を超える硬化速度で硬化させる方法が
ある。ここでの擬似均一相形成点とは、複合体を構成す
る樹脂粒子の粒径がTEM観察による測定値で0.1 μm
以下である疑似均一相溶構造を得ることができる,硬化
速度の下限値を意味する。
Specifically, as a first method, when a thermosetting resin is used, one selected from the curing temperature of the thermosetting resin, the type of curing agent, and the presence or absence of photosensitivity.
At a curing rate exceeding the quasi-homogeneous phase formation point determined by the species or two or more factors, on the other hand, when a photosensitive resin is used, the photocuring factors of the photosensitive resin, such as an initiator, a sensitizer, There is a method of curing at a curing speed exceeding a quasi-homogeneous phase formation point determined by monomers, exposure conditions, and the like. Here, the quasi-homogeneous phase formation point means that the particle size of the resin particles constituting the composite is 0.1 μm as measured by TEM observation.
It means the lower limit of the curing rate at which the following pseudo-homogeneous compatible structure can be obtained.

【0032】また、第2の方法として、未硬化の熱硬化
性樹脂あるいは未硬化の感光性樹脂の1分子中の官能基
数または分子量のいずれか1種以上の因子によって決定
される擬似均一相形成点を超えない相分離速度で硬化さ
せる方法がある。ここでの擬似均一相形成点とは、複合
体を構成する樹脂粒子の粒径がTEM観察による測定値
で 0.1μm以下である擬似均一相溶構造を得ることがで
きる,相分離速度の上限値を意味する。
As a second method, the formation of a quasi-homogeneous phase determined by at least one of the number of functional groups or the molecular weight in one molecule of an uncured thermosetting resin or an uncured photosensitive resin. There is a method of curing at a phase separation rate not exceeding the point. The quasi-homogeneous phase formation point is defined as the upper limit of the phase separation speed at which a quasi-homogeneous compatible structure in which the particle size of the resin particles constituting the composite is 0.1 μm or less as measured by TEM observation can be obtained. Means

【0033】さらに、第3の方法として、上記擬似均一
相形成点を超える硬化速度で、かつ上記擬似均一相形成
点を超えない相分離速度で硬化させる方法がある。これ
は、硬化速度と相分離速度を決定する因子が相互に影響
する場合の方法を意味する。
Further, as a third method, there is a method of curing at a curing speed exceeding the above-mentioned pseudo-homogeneous phase formation point and at a phase separation rate not exceeding the above-mentioned pseudo-homogeneous phase formation point. This means a method in which the factors determining the curing rate and the phase separation rate interact.

【0034】次に、硬化速度または相分離速度を決定す
る上述した種々の因子の相互関係について説明する。ま
ず、硬化速度を決定する因子については、他の因子条件
を一定とすると、熱硬化性樹脂の硬化温度が高いほど
硬化速度は速くなる。従って、擬似均一相形成点を超え
る硬化速度を得るのに必要な硬化温度の下限値を超えて
熱硬化性樹脂を硬化すると、得られる樹脂複合体の構造
は擬似均一相溶構造となる。ゲル化時間が短い硬化剤
ほど硬化速度は速くなる。従って、擬似均一相形成点を
超える硬化速度を得るのに必要なゲル化時間の上限値を
超えないような硬化剤を用いて熱硬化性樹脂を硬化する
と、得られる樹脂複合体の構造は擬似均一相溶構造とな
る。感光性を付与するほど硬化速度は速くなる。従っ
て、他の因子条件が擬似均一相溶構造を形成する組み合
わせにおいては、樹脂に感光性を付与することによっ
て、得られる樹脂複合体はより均質な擬似均一相溶構造
となる。なお、感光性を付与する方法としては、熱硬化
性樹脂あるいは熱可塑性樹脂に感光性基を導入する方
法、感光性モノマーを配合する方法があり、必要に応じ
て光開始剤,光増感剤を配合してもよい。また、アクリ
ル系樹脂などの感光性樹脂を熱硬化性樹脂の代わりに使
用することができる。この場合は、感光性樹脂の、例え
ば開始剤や増感剤、感光性モノマー、露光条件などの光
硬化因子によって決定される擬似均一相形成点を超える
硬化速度で硬化させる必要がある。ただし、熱硬化性樹
脂に感光性を付与する場合や、現像の解像度を向上させ
るために、感光性モノマーを付与する場合には、未硬化
の熱硬化性樹脂および/または未硬化の感光性樹脂と熱
可塑性樹脂との相溶性が低下し、比較的低温でも相分離
を起こしてしまう(図10〜12を参照)。そのため、熱硬
化性樹脂に感光性を付与する場合や感光性モノマーを付
与する場合には、接着剤を低温(30〜60℃)で、必要に
応じて真空乾燥させ、これを一度露光硬化させ、次いで
熱硬化(80〜200 ℃)を行うことにより、疑似均一相溶
構造を得ることができる。
Next, the interrelation of the above-mentioned various factors which determine the curing rate or the phase separation rate will be described. First, as for the factors that determine the curing speed, assuming that other factor conditions are constant, the higher the curing temperature of the thermosetting resin, the faster the curing speed. Therefore, when the thermosetting resin is cured beyond the lower limit of the curing temperature required to obtain a curing speed exceeding the quasi-homogeneous phase formation point, the structure of the obtained resin composite becomes a quasi-homogeneous compatible structure. The shorter the gelling time, the faster the curing speed. Therefore, when the thermosetting resin is cured using a curing agent that does not exceed the upper limit of the gelation time necessary to obtain a curing rate exceeding the quasi-homogeneous phase formation point, the structure of the obtained resin composite becomes pseudo- A homogeneous compatible structure results. The curing speed increases as the photosensitivity increases. Therefore, in a combination in which another factor condition forms a pseudo-homogeneous compatible structure, by imparting photosensitivity to the resin, the obtained resin composite has a more homogeneous pseudo-homogeneous compatible structure. The method of imparting photosensitivity includes a method of introducing a photosensitive group into a thermosetting resin or a thermoplastic resin, and a method of blending a photosensitive monomer. If necessary, a photoinitiator and a photosensitizer may be used. May be blended. Further, a photosensitive resin such as an acrylic resin can be used instead of the thermosetting resin. In this case, it is necessary to cure the photosensitive resin at a curing rate exceeding a pseudo-homogeneous phase formation point determined by a photocuring factor such as an initiator, a sensitizer, a photosensitive monomer, and exposure conditions. However, when photosensitivity is given to the thermosetting resin or when a photosensitive monomer is added to improve the resolution of development, the uncured thermosetting resin and / or the uncured photosensitive resin may be used. And the thermoplastic resin have reduced compatibility and cause phase separation even at relatively low temperatures (see FIGS. 10 to 12). Therefore, when imparting photosensitivity to a thermosetting resin or when imparting a photosensitive monomer, the adhesive is dried at a low temperature (30 to 60 ° C.) and vacuum-dried as necessary, and then exposed and cured once. Then, by performing heat curing (80 to 200 ° C.), a pseudo-homogeneous compatible structure can be obtained.

【0035】このような事実を考慮すると、熱硬化性樹
脂あるいは感光性樹脂と熱可塑性樹脂の複合化に当たっ
て上記変動因子が1種の場合は、擬似均一相形成点に対
応するその因子の値が1点決まる。それ故に、上記変動
因子が2種以上の場合には、擬似均一相形成点に対応す
るその因子の値は種々の組み合わせが考えられる。すな
わち、構成樹脂粒子の粒径がTEM観察による測定値で
0.1μm以下となるような硬化速度を示す組み合わせを
選定することができる。
In view of the above facts, when one kind of the above-mentioned variable factor is involved in the compounding of the thermosetting resin or the photosensitive resin and the thermoplastic resin, the value of the factor corresponding to the quasi-homogeneous phase formation point is One point is decided. Therefore, when there are two or more of the above-mentioned variables, various combinations of the values of the factors corresponding to the pseudo-homogeneous phase formation point can be considered. That is, the particle size of the constituent resin particles is a value measured by TEM observation.
A combination exhibiting a curing speed of 0.1 μm or less can be selected.

【0036】次に、相分離速度を決定する因子について
は、他の因子条件を一定とすると、未硬化熱硬化性樹
脂あるいは未硬化感光性樹脂の1分子中の官能基数が多
いほど相分離は起きにくい(相分離速度は遅くなる)。
従って、擬似均一相形成点を超えない相分離速度を得る
のに必要な1分子中の官能基数の下限値を超える1分子
中の官能基数を有する未硬化熱硬化性樹脂あるいは未硬
化感光性樹脂を用いて硬化すると、得られる樹脂複合体
の構造は擬似均一相溶構造となる。未硬化熱硬化性樹
脂あるいは未硬化感光性樹脂の分子量が大きいほど相分
離は起きにくい(相分離速度は遅くなる)。従って、擬
似均一相形成点を超えない相分離速度を得るのに必要な
分子量の下限値を超える分子量を有する未硬化熱硬化性
樹脂あるいは未硬化感光性樹脂を用いて硬化すると、得
られる樹脂複合体の構造は擬似均一相溶構造となる。
Next, regarding the factors that determine the phase separation rate, assuming that other factors are constant, the larger the number of functional groups in one molecule of the uncured thermosetting resin or the uncured photosensitive resin, the more the phase separation becomes. Less likely to occur (phase separation speed is slower).
Accordingly, an uncured thermosetting resin or an uncured photosensitive resin having a number of functional groups in one molecule exceeding the lower limit of the number of functional groups in one molecule necessary to obtain a phase separation rate not exceeding the quasi-homogeneous phase formation point When the resin composite is cured using, the structure of the obtained resin composite becomes a pseudo-homogeneous compatible structure. As the molecular weight of the uncured thermosetting resin or uncured photosensitive resin increases, phase separation is less likely to occur (the phase separation speed decreases). Therefore, when cured using an uncured thermosetting resin or uncured photosensitive resin having a molecular weight exceeding the lower limit of the molecular weight required to obtain a phase separation rate not exceeding the pseudo-homogeneous phase formation point, the resulting resin composite The body structure is a quasi-homogeneous compatible structure.

【0037】このような事実を考慮すると、熱硬化性樹
脂あるいは感光性樹脂と熱可塑性樹脂の複合化に当たっ
て上記変動因子が1種の場合は、擬似均一相形成点に対
応するその因子の値が1点決まる。それ故に、上記変動
因子が2種の場合には、擬似均一相形成点に対応するそ
の因子の値は種々の組み合わせが考えられる。すなわ
ち、構成樹脂粒子の粒径がTEM観察による測定値で
0.1μm以下となるような相分離速度を示す組み合わせ
を選定することができる。
In consideration of such a fact, when one kind of the above-mentioned variable factor is used in the compounding of the thermosetting resin or the photosensitive resin and the thermoplastic resin, the value of the factor corresponding to the quasi-homogeneous phase formation point is reduced. One point is decided. Therefore, when the above-mentioned variable factors are two kinds, various combinations of the values of the factors corresponding to the quasi-homogeneous phase formation point can be considered. That is, the particle size of the constituent resin particles is a value measured by TEM observation.
A combination that exhibits a phase separation speed of 0.1 μm or less can be selected.

【0038】このような樹脂複合体の疑似均一相溶構造
では、熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を用いることが
できるが、このエポキシ樹脂は、エポキシ当量で100 〜
1000程度のものを使用することが望ましい。この理由
は、エポキシ当量が100 未満のエポキシ樹脂を製造する
ことは難しく、一方、1000を超える場合は、PESなど
の熱可塑性樹脂と混合しにくく、しかも、Tg点の低下
により、硬化のための加熱の際に相分離を起こし易くな
り、疑似均一相溶構造を得にくいからである。また、こ
のエポキシ樹脂の分子量は、200 〜10000 が望ましい。
この理由は、エポキシ樹脂の分子量が200 未満では、充
分な反応率が得られず、また硬化させたとしても硬化物
が硬くて脆くなりすぎてしまい、一方、10000 を超える
と熱可塑性樹脂との相溶性が低下してしまうからであ
る。また、熱可塑性樹脂としてはPESを用いることが
できるが、このPESの分子量は、3000〜100000である
ことが望ましい。この理由は、PESの分子量が3000未
満では、疑似均一相溶構造による靱性向上の効果が得ら
れず、一方、100000を超えると、熱硬化性樹脂や感光性
樹脂との相溶状態が形成できないからである。
In such a quasi-homogeneous compatible structure of the resin composite, an epoxy resin can be used as the thermosetting resin.
It is desirable to use about 1000. The reason is that it is difficult to produce an epoxy resin having an epoxy equivalent of less than 100, while if it exceeds 1,000, it is difficult to mix it with a thermoplastic resin such as PES, and the Tg point is lowered, so that it is harder to cure. This is because phase separation easily occurs during heating, and it is difficult to obtain a pseudo-homogeneous compatible structure. The molecular weight of the epoxy resin is preferably from 200 to 10,000.
The reason is that if the molecular weight of the epoxy resin is less than 200, a sufficient reaction rate cannot be obtained, and even if the epoxy resin is cured, the cured product is too hard and brittle. This is because the compatibility is reduced. PES can be used as the thermoplastic resin, and the molecular weight of PES is desirably 3000 to 100,000. The reason for this is that if the molecular weight of PES is less than 3000, the effect of improving toughness due to the pseudo-homogeneous compatible structure cannot be obtained, while if it exceeds 100000, a compatible state with the thermosetting resin or the photosensitive resin cannot be formed. Because.

【0039】以上説明したように疑似均一相溶構造を示
す樹脂複合体は、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂が示
す特有の物性あるいはアクリル系樹脂などの感光性樹脂
が示す特有の物性を具えると共に、PESなどの熱可塑
性樹脂本来の物性よりもさらに高い物性値を示すことが
できる。すなわち、本発明にかかるPES変性エポキシ
樹脂やPES変成アクリル樹脂は、PES単独の樹脂強
度よりも高くなり、従来にはないエポキシ樹脂あるいは
アクリル樹脂の強靱化効果を有するものである。
As described above, a resin composite exhibiting a quasi-homogeneous compatible structure has specific properties exhibited by a thermosetting resin such as an epoxy resin or specific properties exhibited by a photosensitive resin such as an acrylic resin. At the same time, a physical property value higher than the original physical property of a thermoplastic resin such as PES can be exhibited. That is, the PES-modified epoxy resin or the PES-modified acrylic resin according to the present invention has a higher strength than the resin strength of PES alone, and has an unprecedented toughening effect of the epoxy resin or acrylic resin.

【0040】(b).共連続構造とは、PES等の熱可塑性
樹脂リッチのマトリックス中にエポキシ樹脂等の熱硬化
性樹脂リッチの連結し合った球状粒子が存在している複
合構造を意味する(井上たかし等、POLYMER ,30,p662
(1989)参照)。かかる樹脂複合体の構造は、それの破面
を、熱可塑性樹脂を溶解させる溶媒を用いてエッチング
すると、熱可塑性樹脂リッチのマトリックス部分が溶け
て、連結したエポキシ樹脂等の球状粒子のみが観察され
ることから判る。このような共連続構造を形成する樹脂
複合体は、靱性に優れた熱可塑性樹脂が連続相として存
在するため、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂単独のもの
よりも強靱な樹脂となる。
(B) The bicontinuous structure means a composite structure in which interconnected spherical particles rich in a thermosetting resin such as an epoxy resin exist in a matrix rich in a thermoplastic resin such as PES. (Takashi Inoue, POLYMER, 30, p662
(1989)). In the structure of such a resin composite, when the fracture surface thereof is etched using a solvent that dissolves the thermoplastic resin, the matrix portion rich in the thermoplastic resin is melted, and only spherical particles such as connected epoxy resin are observed. It is understood from that. The resin composite forming such a co-continuous structure is a tougher resin than a single thermosetting resin such as an epoxy resin because a thermoplastic resin having excellent toughness exists as a continuous phase.

【0041】(c).球状ドメイン構造とは、主として、熱
可塑性樹脂の樹脂マトリックス中に、熱硬化性樹脂もし
くは感光性樹脂からなる球状ドメインが互いに独立して
均一分散している状態の構造を指す。かかる樹脂複合体
の構造は、それの破面を、熱可塑性樹脂を溶解させる溶
媒を用いてエッチングすると、熱可塑性樹脂リッチのマ
トリックス部分が溶けて、独立して均一分散している熱
硬化性樹脂の球状粒子のみが観察されることから判る。
このような球状ドメイン構造を形成する樹脂複合体は、
熱可塑性樹脂の"海"の中に、熱硬化性樹脂の球状粒子が
分散しているため、熱硬化性樹脂単独の場合より靱性の
ある樹脂となる。
(C). The spherical domain structure mainly refers to a structure in which spherical domains made of a thermosetting resin or a photosensitive resin are independently and uniformly dispersed in a resin matrix of a thermoplastic resin. Point. The structure of such a resin composite is such that when a fracture surface thereof is etched using a solvent that dissolves a thermoplastic resin, a thermoplastic resin-rich matrix portion is melted and independently and uniformly dispersed in a thermosetting resin. It can be seen from the observation that only spherical particles are observed.
A resin complex forming such a spherical domain structure is:
Since the thermosetting resin spherical particles are dispersed in the “sea” of the thermoplastic resin, the resin becomes tougher than the thermosetting resin alone.

【0042】このような樹脂複合体の共連続構造や球状
ドメイン構造による効果は、前記複合体における熱可塑
性樹脂(例えば、PES)の含有量が固形分で15〜50wt
%である場合に特に顕著となる。この理由は、熱可塑性
樹脂の含有量が15wt%未満では、樹脂成分の網目に絡み
合う熱可塑性樹脂分子が少ないため強靱化の効果が十分
に発揮されず、一方、熱可塑性樹脂の含有量が50wt%を
超えると、架橋点の減少によって熱硬化性樹脂あるいは
感光性樹脂と熱可塑性樹脂間との相互作用が小さくなる
からである。
The effect of the bicontinuous structure and the spherical domain structure of the resin composite is that the content of the thermoplastic resin (eg, PES) in the composite is 15 to 50 wt.
% Is particularly noticeable. The reason is that if the content of the thermoplastic resin is less than 15 wt%, the effect of toughening is not sufficiently exhibited because the number of thermoplastic resin molecules entangled in the network of the resin component is small, while the content of the thermoplastic resin is 50 wt%. %, The interaction between the thermosetting resin or the photosensitive resin and the thermoplastic resin decreases due to the decrease in the number of crosslinking points.

【0043】このような樹脂複合体は、共連続構造もし
くは球状ドメイン構造を構成する球状粒子の平均粒径
が、それぞれ 0.1μmを超え、5μm以下であることが
望ましい。この理由は、前記球状粒子の平均粒径が、
0.1μm以下では、共連続構造や球状ドメイン構造を形
成させることが困難であり、一方、5μmを超えると、
靱性の改善を図ることができず、しかも感光特性や耐熱
性も低下するからである。
In such a resin composite, the average particle diameter of the spherical particles constituting the bicontinuous structure or the spherical domain structure is preferably more than 0.1 μm and 5 μm or less. The reason for this is that the average particle size of the spherical particles is
If it is less than 0.1 μm, it is difficult to form a bicontinuous structure or a spherical domain structure, while if it exceeds 5 μm,
This is because the toughness cannot be improved, and the photosensitive characteristics and heat resistance also decrease.

【0044】なお、上述した共連続構造あるいは球状ド
メイン構造は、熱硬化性樹脂の熱硬化に関与する官能
基と感光基との置換率を制御したり、または感光性樹
脂の種類、分子量を調整したりして、未硬化の熱硬化性
樹脂および/または未硬化の感光性樹脂と、熱可塑性樹
脂とを相溶状態または非相溶状態に混合し、その後、乾
燥条件や硬化条件を調整させることにより、構成する球
状粒子の平均粒径を、0.1μmを超え、5μm以下とす
ることによって形成される。また、上記樹脂マトリック
スとして、熱硬化性樹脂および/または感光性樹脂を用
い、互いに連結または独立した球状ドメインを形成する
樹脂として熱可塑性樹脂を用いてもよい。
The above-mentioned co-continuous structure or spherical domain structure controls the substitution ratio of a functional group involved in thermosetting of a thermosetting resin with a photosensitive group, or adjusts the type and molecular weight of the photosensitive resin. Or mixing the uncured thermosetting resin and / or the uncured photosensitive resin with the thermoplastic resin in a compatible state or incompatible state, and then adjusting the drying conditions and the curing conditions. Thus, the particles are formed by setting the average particle diameter of the spherical particles to be more than 0.1 μm and 5 μm or less. In addition, a thermosetting resin and / or a photosensitive resin may be used as the resin matrix, and a thermoplastic resin may be used as a resin that forms mutually connected or independent spherical domains.

【0045】以上説明したように、この発明に用いる
着剤層は、疑似均一相溶構造、共連続構造もしくは球状
ドメイン構造のいずれかの樹脂構造を有する樹脂複合体
から形成されていることが望ましいが、なかでも、疑似
均一相溶構造から形成されるほうが、共連続構造もしく
は球状ドメイン構造から形成されるよりも、より高い樹
脂強度が得られることから、疑似均一相溶構造を形成さ
せることが接着剤層の樹脂マトリックスとしてより好適
である。
As described above, the adhesive layer used in the present invention is formed of a resin composite having a resin structure of any of a pseudo-homogeneous compatible structure, a bicontinuous structure and a spherical domain structure. However, it is preferable to form a quasi-homogeneous compatible structure because a resin formed from a quasi-homogeneous compatible structure can obtain higher resin strength than a bicontinuous structure or a spherical domain structure. Is more preferable as the resin matrix of the adhesive layer.

【0046】なお、この発明に用いる接着剤層は、その
厚みが10〜200 μmであることが望ましい。この理由
は、接着剤層の厚みが10μm未満の場合では、密着強度
(ピール強度)が低下してしまい、一方、200 μmを超
える場合は、接着剤中の溶剤を除去しにくく、乾燥、硬
化が困難であるからである。
The thickness of the adhesive layer used in the present invention is desirably 10 to 200 μm. The reason for this is that if the thickness of the adhesive layer is less than 10 μm, the adhesion strength (peel strength) decreases, while if it exceeds 200 μm, it is difficult to remove the solvent in the adhesive, and drying and curing occur. Is difficult.

【0047】(3) この発明に係る金属膜被着体の特徴
は、基体表面に粗化された接着剤層を有し、かつその接
着剤層の前記粗化面上に金属膜を設けてなる金属膜被着
体において、前記接着剤層が、上記(2)に記載したよう
な樹脂複合体、すなわち、疑似均一相溶構造、共連続構
造もしくは球状ドメイン構造のいずれかの樹脂構造を有
して形成される点にある。
(3) The feature of the metal film-coated body according to the present invention is that a substrate has a roughened adhesive layer on its surface, and a metal film is provided on the roughened surface of the adhesive layer. In the metal film adherend, the adhesive layer has a resin composite as described in the above (2), that is, any one of a resin structure of a pseudo-homogeneous compatible structure, a bicontinuous structure or a spherical domain structure. It is in the point formed.

【0048】この発明の金属膜被着体における接着剤層
は、その表面は粗化されているが、その粗化面は、分解
除去可能な粒子状物質、無機粒子、金属粒子、エラスト
マー粒子、アルカリに可溶性の樹脂粒子および溶剤に可
溶性の樹脂粒子から選ばれる少なくとも1種の粒子状物
質、あるいは島状に分散する溶解除去可能な樹脂が、分
解除去あるいは溶解除去されてできる、所謂たこ壺状の
凹部によって形成されている。それ故に、この凹部は、
無電解めっきなどの被膜金属が析出してアンカーとな
り、しかもこの凹部を構成する樹脂マトリックスは、靱
性が大きく容易に樹脂破壊がおこらないため、金属被膜
が接着剤層の粗化面から剥離することなく、密着強度
(ピール強度)を高く維持することができる。
The surface of the adhesive layer in the metal film-coated body of the present invention is roughened, but the roughened surface is formed of particulate matter, inorganic particles, metal particles, elastomer particles, which can be decomposed and removed. At least one kind of particulate matter selected from alkali-soluble resin particles and solvent-soluble resin particles, or an island-shaped dissolvable resin, which can be decomposed and removed or dissolved and removed, so-called octopus pot-shaped Are formed. Therefore, this recess is
Since the coating metal such as electroless plating is deposited and serves as an anchor, and the resin matrix that constitutes the concave portion has high toughness and the resin does not easily break down, the metal coating may peel off from the roughened surface of the adhesive layer. Therefore, the adhesion strength (peel strength) can be kept high.

【0049】この発明に係る金属膜被着体において、基
体として基板を使用し、被覆金属をパターン状にエッチ
ングしたり、パターン状に被覆することにより、プリン
ト配線板とすることができる。また、このようなプリン
ト配線板を、多層化することもできる。この場合、前記
粗化面は、Rmax=1〜20μmであることが望まし
い。この理由は、1μm未満では、被覆金属と接着剤層
との密着強度が低下し、20μmを超えると、パターン間
隔100 μm以下のファインパターンのプリント配線板を
製造することが困難になるからである。
In the metal film-coated body according to the present invention, a printed wiring board can be obtained by using a substrate as a substrate and etching or coating the coated metal in a pattern. Further, such a printed wiring board can be formed into a multilayer. In this case, it is preferable that the roughened surface has R max = 1 to 20 μm. The reason for this is that if it is less than 1 μm, the adhesion strength between the coating metal and the adhesive layer decreases, and if it exceeds 20 μm, it becomes difficult to manufacture a fine-pattern printed wiring board with a pattern interval of 100 μm or less. .

【0050】このようなプリント配線板によれば、耐熱
性、弾性率、化学的安定性および電気絶縁性を低下させ
ることなく、接着剤を構成する耐熱性樹脂マトリックス
を強靱化することができるので、より高密度でパターン
精度の高い配線においてもピール強度に優れる配線板を
安定して提供することができる。
According to such a printed wiring board, the heat-resistant resin matrix constituting the adhesive can be toughened without lowering the heat resistance, the elastic modulus, the chemical stability and the electric insulation. In addition, it is possible to stably provide a wiring board having excellent peel strength even in a wiring having a higher density and a higher pattern accuracy.

【0051】以上説明したようなこの発明の接着剤、接
着剤層および金属膜被着体において、耐熱性樹脂マトリ
ックスに用いる熱硬化性樹脂としては、フェノール樹
脂、メラミン樹脂や尿素樹脂などのアミノ樹脂、エポキ
シ樹脂、エポキシ変成ポリイミド樹脂、不飽和ポリエス
テル樹脂、ポリイミド樹脂、ウレタン樹脂、ジアリルフ
タレート樹脂などが使用できる。この理由は、これらの
樹脂が、熱的、電気的特性に優れているからである。こ
の熱硬化性樹脂は、部分的に熱硬化に寄与する官能基の
一部を感光基で置換したものも使用でき、例えば、エポ
キシ樹脂の5〜70%アクリル化物などが好適である。
In the adhesive, adhesive layer and metal film adherend of the present invention as described above, the thermosetting resin used for the heat-resistant resin matrix may be a phenol resin, a melamine resin or an amino resin such as a urea resin. , An epoxy resin, an epoxy-modified polyimide resin, an unsaturated polyester resin, a polyimide resin, a urethane resin, a diallyl phthalate resin, and the like. The reason for this is that these resins have excellent thermal and electrical properties. As the thermosetting resin, a resin in which a part of a functional group that partially contributes to thermosetting is substituted with a photosensitive group can be used. For example, an acrylate of 5 to 70% of an epoxy resin is preferable.

【0052】耐熱性樹脂マトリックスに用いる熱可塑性
樹脂としては、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリ
スルホン(PSF)、フェノキシ樹脂、ポリエーテルイ
ミド(PEI)、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリア
リレート、ポリアミドイミド、ポリフェニレンスルフィ
ド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリオキシベンゾエ
ート、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリアセター
ル、ポリカーボネートなどが使用できる。この理由は、
これらの熱可塑性樹脂は、耐熱性が高く、強靱であり、
しかも、溶媒を用いることによって熱硬化性樹脂と相溶
することができるからである。
The thermoplastic resin used for the heat-resistant resin matrix includes polyethersulfone (PES), polysulfone (PSF), phenoxy resin, polyetherimide (PEI), polystyrene, polyethylene, polyarylate, polyamideimide, polyphenylene sulfide, and the like. Polyether ether ketone, polyoxybenzoate, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate, polyacetal, polycarbonate and the like can be used. The reason for this is
These thermoplastics have high heat resistance, are tough,
In addition, the use of a solvent makes it compatible with the thermosetting resin.

【0053】なかでも、上述した熱硬化性樹脂と熱可塑
性樹脂は、それぞれエポキシ樹脂とポリエーテルスルホ
ン(PES)であることが好適である。この理由は、メ
チレンクロライドやジメチルホルムアミド等の溶媒中で
樹脂マトリックスの成分であるエポキシ樹脂とPESと
を混合分散させ、疑似均一相溶構造や共連続構造、球状
ドメイン構造を容易に形成できるからである。しかも、
エポキシ樹脂とPESの混合系を用いる場合、PES変
性エポキシ樹脂が擬似均一相溶構造を形成することによ
って、マトリックスが強靱化され、引張り強度および引
張り伸び率はいずれも、エポキシ樹脂単独のものよりも
1.5 倍以上に向上することが判った。さらに、この樹脂
マトリックスの強靱化により、アンカー深さが同じ場合
でも、この発明の接着剤もしくは接着剤層を用いたプリ
ント配線板における無電解めっき膜のピール強度は、樹
脂マトリックスとしてエポキシ樹脂のみを用いた場合に
比べて、高くなることを発明者らは確認した。
In particular, the above-mentioned thermosetting resin and thermoplastic resin are preferably epoxy resin and polyether sulfone (PES), respectively. The reason for this is that the epoxy resin, which is a component of the resin matrix, and PES are mixed and dispersed in a solvent such as methylene chloride or dimethylformamide to easily form a quasi-homogeneous compatible structure, a bicontinuous structure, and a spherical domain structure. is there. Moreover,
When a mixed system of an epoxy resin and PES is used, the matrix is toughened by forming a pseudo-homogeneous compatible structure of the PES-modified epoxy resin, and the tensile strength and the tensile elongation are both higher than those of the epoxy resin alone.
It was found that it improved 1.5 times or more. Furthermore, due to the toughness of this resin matrix, even when the anchor depth is the same, the peel strength of the electroless plating film in the printed wiring board using the adhesive or the adhesive layer of the present invention is such that only epoxy resin is used as the resin matrix. The inventors have confirmed that the value is higher than that in the case of using.

【0054】この発明においては、上述した熱硬化性樹
脂および/または熱可塑性樹脂は、それぞれ感光基を付
与した樹脂、または感光性を有する樹脂やモノマーなど
を添加した樹脂を用いることができる。この理由は、疑
似均一相溶構造の樹脂複合体の場合、熱硬化性樹脂など
に感光基を付与させることで、熱硬化性樹脂を露光によ
り短時間で硬化して相分離が進まないうちに複合化させ
ることができ、ひいては、疑似均一相溶構造を容易に形
成することができるからである。一方、共連続構造ある
いは球状ドメイン構造の樹脂複合体の場合、共連続構造
あるいは球状ドメイン構造にある粒子の形状(粒径等)
を制御しやすくなるからである。
In the present invention, as the above-mentioned thermosetting resin and / or thermoplastic resin, a resin to which a photosensitive group is added, or a resin to which a photosensitive resin or a monomer is added can be used. The reason for this is that, in the case of a resin composite having a quasi-homogeneous compatible structure, by imparting a photosensitive group to a thermosetting resin or the like, the thermosetting resin is cured in a short time by exposure and phase separation does not proceed. This is because a composite can be formed and a pseudo-homogeneous compatible structure can be easily formed. On the other hand, in the case of a resin composite having a bicontinuous structure or a spherical domain structure, the shape (particle size, etc.) of the particles having a bicontinuous structure or a spherical domain structure
Is easy to control.

【0055】なお、この発明では、熱硬化性樹脂などに
感光基を付与させる代わりに、感光性樹脂を用いること
ができる。このような感光性樹脂としては、アクリロイ
ル基、メタクリロイル基、アリル基、ビニル基などの不
飽和二重結合を分子内に1〜数個持つものが使用でき、
エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ポ
リエーテルアクリレート、シルコンアクリレート、ポリ
ブタジエンアクリレート、ポリスチルエチルメタクリレ
ート、ビニル/アクリルオリゴマー(分岐した酸、酸無
水物、ヒドロキシ基、グリシジル基を持ったモノマーと
ビニル又はアクリルポリマーと共重合させ、次にアクリ
ルモノマーと反応させたもの)、ポリエチレン/チオー
ル(オレフィンとメルカプタンの共重合物)などが好適
に用いられる。
In the present invention, a photosensitive resin can be used instead of providing a photosensitive group to a thermosetting resin or the like. As such a photosensitive resin, an acryloyl group, a methacryloyl group, an allyl group, those having one to several unsaturated double bonds in the molecule such as a vinyl group can be used,
Epoxy acrylate, polyester acrylate, polyether acrylate, silcon acrylate, polybutadiene acrylate, polystyrene ethyl methacrylate, vinyl / acrylic oligomer (monomers with branched acids, acid anhydrides, hydroxy groups, glycidyl groups and vinyl or acrylic polymers Copolymerized and then reacted with an acrylic monomer), polyethylene / thiol (copolymer of olefin and mercaptan) and the like are preferably used.

【0056】ここで、この感光性樹脂の光硬化因子とし
て重要である光開始剤としては、ベンゾイソブチルエー
テル、ベンジルジメチルケタール、ジエトキシアセトフ
ェノン、アシロキシムエステル、塩素化アセトフェノ
ン、ヒドロキシアセトフェノン等の分子内結合開裂型、
ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、ジベンゾスベロン、
2−エチルアンスラキノン、イソブチルチオキサンソン
等の分子内水素引抜型、のいずれか1種以上が好適に用
いられる。
Here, photoinitiators which are important as photocuring factors of the photosensitive resin include intramolecular molecules such as benzoisobutyl ether, benzyldimethyl ketal, diethoxyacetophenone, acyloxime ester, chlorinated acetophenone, and hydroxyacetophenone. Bond cleavage type,
Benzophenone, Michler's ketone, dibenzosuberone,
Any one or more of intramolecular hydrogen abstraction types such as 2-ethylanthraquinone and isobutylthioxanthone are preferably used.

【0057】光開始助剤としては、トリエタノールアミ
ン、ミヒラーケトン、4,4-ジエチルアミノベンゾフェノ
ン、2−ジメチルアミノエチル安息香酸、4−ジメチル
アミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸
(n-ブトキシ)エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イ
ソアミル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキ
シル、重合性3級アミン等のいずれか1種以上が用いら
れる。
Examples of the photoinitiating aid include triethanolamine, Michler's ketone, 4,4-diethylaminobenzophenone, 2-dimethylaminoethylbenzoic acid, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, and 4-dimethylaminobenzoic acid (n-butoxy). Any one or more of ethyl, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, and polymerizable tertiary amine are used.

【0058】増感剤としては、ミヒラーケトンやイルガ
キュア651 、イソプロピルチオキサンソンなどが好適で
あり、上記の光開始剤のなかには、増感剤として作用す
るものもある。なお、上記光開始剤と増感剤の組成比
は、例えば、感光性樹脂100 重量部に対して、 ベンゾフェノン/ミヒラーケトン=5重量部/0.5 重量部 イルガキュア184 /イルガキュア651=5重量部/0.5 重量部 イルガキュア907 /イソプロピルチオキサンソン=5重量部/0.5 重量部 が好適である。
Suitable sensitizers include Michler's ketone, Irgacure 651, isopropylthioxanthone, and the like. Some of the above photoinitiators act as a sensitizer. The composition ratio of the photoinitiator to the sensitizer is, for example, benzophenone / Michler's ketone = 5 parts by weight / 0.5 parts by weight Irgacure 184 / Irgacure 651 = 5 parts by weight / 0.5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the photosensitive resin. Parts Irgacure 907 / isopropyl thioxanson = 5 parts by weight / 0.5 parts by weight is preferred.

【0059】感光性樹脂を構成する感光性モノマーある
いは感光性オリゴマーとしては、エポキシアクリレート
やエポキシメタクリレート、ウレタンアクリレート、ポ
リエステルアクリレート、ポリスチリルメタクリレート
などが好適に用いられる。
As a photosensitive monomer or a photosensitive oligomer constituting the photosensitive resin, epoxy acrylate, epoxy methacrylate, urethane acrylate, polyester acrylate, polystyryl methacrylate and the like are preferably used.

【0060】また、この発明の樹脂マトリックスの硬化
剤としては、熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を用いる
場合は、イミダゾール系硬化剤やジアミン、ポリアミ
ン、ポリアミド、無水有機酸、ビニルフェノールなどが
使用できる。一方、エポキシ樹脂以外の熱硬化性樹脂を
使用する場合は、周知の硬化剤を使用できる。
When an epoxy resin is used as the thermosetting resin, an imidazole-based curing agent, diamine, polyamine, polyamide, organic acid anhydride, vinyl phenol, or the like can be used as the curing agent for the resin matrix of the present invention. On the other hand, when a thermosetting resin other than the epoxy resin is used, a known curing agent can be used.

【0061】次に、この発明において使用される溶解除
去可能な粒子状物質あるいは分解除去可能な粒子状物質
と、耐熱性樹脂マトリックスの海に島状に分散して用い
られる溶解除去可能な樹脂について詳細に説明する。
.溶解除去可能な粒子状物質は、このような物質とし
て、「無機粒子、金属粒子、エラストマー粒子、アルカ
リに可溶性の樹脂粒子および溶剤に可溶性の樹脂粒子か
ら選ばれるいずれか少なくとも1種以上の溶解除去可能
な粒子状物質」を用いることができる。 (a). 無機粒子としては、シリカ、アルミナ、ジルニ
ア、酸化亜鉛、マグネシア、コージェライト、チタニア
などの酸化物、炭化ケイ素、炭化硼素などの炭化物、窒
化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素などの窒化
物、炭酸カルシウム、炭酸ナトリウムなどの炭酸塩、硫
酸バリウムなどの硫酸塩、タルクなどを用いることがで
きる。このような無機粒子を用いる理由は、耐熱性樹脂
マトリックス(樹脂複合体)の熱膨張率を低減する効果
があり、耐ヒートサイクル特性を向上させることができ
るからである。特に、炭化ケイ素や窒化アルミニウムな
どのように高熱伝導率の無機粒子を使用すると、接着剤
層の熱伝導率を向上させることができる。 (b). 上記金属粒子としては、アルミニウムやニッケ
ル、マグネシウム、銅、亜鉛、鉄などを用いることがで
きる。このような金属粒子を用いる理由は、接着剤層自
体に電磁気的な特性を付与できるからである。 (c). 上記エラストマー粒子としては、ポリブタジエン
ゴム、ブタジエンスチレンゴム、ブタジエンアクリロニ
トリルゴム、ポリクロロプレンゴム、ポリイソプレンゴ
ム、アクリルゴム、多硫系合成ゴム、ウレタンゴム、ふ
っ素ゴム、シリコーンゴムやABS樹脂などのゴム系樹
脂、ポリエステルエラストマー、ポリスチレン−ポリブ
タジエン−ポリスチレン(SBS)熱可塑性エラストマ
ー、ポリオレフィン系熱可塑性エラストマー(TP
O)、ポリ塩化ビニル系熱可塑性エラストマーなどの熱
可塑性エラストマー、などのエラストマーを用いること
ができる。このようなエラストマー粒子を用いる理由
は、非耐熱性粒子で、比較的低価格であり、低コスト化
に有効だからである。 (d). 上記アルカリに可溶性の樹脂粒子としては、硝酸
セルロース、酢酸セルロース、酢酸酪酸セルロース、プ
ロピオン酸セルロース、エチルセルロースなどのセルロ
ース系樹脂を用いることができる。このようなアルカリ
に可溶性の樹脂粒子を用いる理由は、酸化剤に見られる
ような中和処理が不要であり、経済的であり、また、廃
液処理が酸化剤などにくらべて容易で、設備的にも簡単
なものになり、安全性にも優れているからである。(e).
上記溶剤(特に有機溶剤)に溶解する樹脂粒子として
は、スチレン系樹脂、塩化ビニル系樹脂、酢酸ビニル系
樹脂などの熱可塑性樹脂粉末を用いることができる。こ
のような溶剤に溶解する樹脂粒子を用いる理由は、クロ
ム酸などの酸化剤を使用することなく、接着剤層の表面
を粗化処理できるので、廃液を中和処理する必要性がな
く、製造コストを低減できるからである。なお、上記の
無機粒子や金属粒子は、熱硬化性樹脂や感光性樹脂、熱
可塑性樹脂を溶解する希釈溶媒に不溶性であるため、こ
の希釈溶媒によって樹脂溶液の粘度を低減させることに
より、無機粒子や金属粒子が、この樹脂溶液中で均一に
分散される。また、疑似均一相溶構造の樹脂複合体を得
る場合、熱硬化性樹脂あるいは感光性樹脂を熱可塑性樹
脂と相溶状態で混合させるために溶媒を用いるが、この
ような場合でも、無機粒子や金属粒子は、その溶媒に溶
解することがないため、明確なアンカーを形成すること
ができる
Next, the dissolvable particulate material or the dissolvable particulate material used in the present invention and the dissolvable resin used in the form of islands dispersed in the sea of the heat-resistant resin matrix will be described. This will be described in detail.
. The particulate matter that can be dissolved and removed includes, as such a substance, “dissolved and removed at least one or more selected from inorganic particles, metal particles, elastomer particles, alkali-soluble resin particles, and solvent-soluble resin particles. "Possible particulate matter" can be used. (a). Examples of the inorganic particles include oxides such as silica, alumina, zirconia, zinc oxide, magnesia, cordierite, and titania; carbides such as silicon carbide and boron carbide; and nitrides such as aluminum nitride, boron nitride, and silicon nitride. And carbonates such as calcium carbonate and sodium carbonate, sulfates such as barium sulfate, and talc. The reason for using such inorganic particles is that there is an effect of reducing the coefficient of thermal expansion of the heat-resistant resin matrix (resin composite), and the heat cycle resistance can be improved. In particular, when inorganic particles having high thermal conductivity such as silicon carbide and aluminum nitride are used, the thermal conductivity of the adhesive layer can be improved. (b) As the metal particles, aluminum, nickel, magnesium, copper, zinc, iron and the like can be used. The reason why such metal particles are used is that electromagnetic characteristics can be imparted to the adhesive layer itself. (c). Examples of the elastomer particles include polybutadiene rubber, butadiene styrene rubber, butadiene acrylonitrile rubber, polychloroprene rubber, polyisoprene rubber, acrylic rubber, polysulfuric synthetic rubber, urethane rubber, fluorine rubber, silicone rubber and ABS resin. Rubber-based resin, polyester elastomer, polystyrene-polybutadiene-polystyrene (SBS) thermoplastic elastomer, polyolefin-based thermoplastic elastomer (TP
O) and thermoplastic elastomers such as polyvinyl chloride-based thermoplastic elastomers. The reason for using such elastomer particles is that they are non-heat-resistant particles, are relatively inexpensive, and are effective in reducing costs. (d). As the alkali-soluble resin particles, cellulose resins such as cellulose nitrate, cellulose acetate, cellulose acetate butyrate, cellulose propionate, and ethyl cellulose can be used. The reason for using such alkali-soluble resin particles is that there is no need for a neutralization treatment such as that found in an oxidizing agent, and that it is economical. This is because it is easy and safety is excellent. (e).
Thermoplastic resin powders such as styrene-based resins, vinyl chloride-based resins, and vinyl acetate-based resins can be used as the resin particles dissolved in the above-mentioned solvents (particularly, organic solvents). The reason for using resin particles that dissolve in such a solvent is that the surface of the adhesive layer can be roughened without using an oxidizing agent such as chromic acid, so that there is no need to neutralize the waste liquid, and the production is simplified. This is because the cost can be reduced. Since the inorganic particles and the metal particles are insoluble in a diluting solvent that dissolves a thermosetting resin, a photosensitive resin, and a thermoplastic resin, the inorganic particles are reduced by reducing the viscosity of the resin solution with the diluting solvent. And metal particles are uniformly dispersed in the resin solution. Further, when obtaining a resin composite having a quasi-homogeneous compatible structure, a solvent is used to mix a thermosetting resin or a photosensitive resin in a compatible state with a thermoplastic resin. The metal particles do not dissolve in the solvent and can form a distinct anchor

【0062】. 分解除去可能な粒子状物質は、この
ような物質として、エマルジョン重合させた低架橋度の
アミノ樹脂(メラミン樹脂、尿素樹脂、グアナミン樹
脂)を用いることができる。このような分解除去可能な
粒子状物質を用いる理由は、例えば、エマルジョン重合
させた低架橋度のメラミン樹脂粒子は、高湿度、高温、
高圧条件下で分解して、ホルマリンとメラミンモノマー
となる。そのため、接着剤層表面の粗化処理のために、
特別に粗化液に浸漬したりする必要性がなく、生産設備
も簡単なものになり、有利だからである。
[0062] As the particulate substance that can be decomposed and removed, an amino resin (melamine resin, urea resin, guanamine resin) having a low degree of cross-linking and emulsion-polymerized can be used as such a substance. The reason for using such a particulate material that can be decomposed and removed is, for example, that the emulsion-polymerized low-crosslinking melamine resin particles have high humidity, high temperature,
Decomposes under high pressure to form formalin and melamine monomers. Therefore, for the roughening treatment of the adhesive layer surface,
This is because there is no need to specially immerse in the roughening liquid, and the production equipment is simplified, which is advantageous.

【0063】. 耐熱性樹脂マトリックスの海に島状
に分散して用いられる溶解除去可能な樹脂は、このよう
な樹脂として、硬化前は未硬化の耐熱性樹脂マトリック
スと相溶せず、硬化後には樹脂マトリクスと不均一な状
態で「海−島構造」を形成する樹脂と、硬化前は未硬化
の耐熱性樹脂マトリックスと相溶するが、硬化後には樹
脂マトリックスと相分離して樹脂マトリクスと不均一な
状態で「海−島構造」を形成する樹脂、を用いることが
できる。前者のような樹脂には、エポキシ基末端シリコ
ーン樹脂などがある。後者のような樹脂には、前述のブ
タジエンやABS樹脂などのゴム系樹脂、ポリエステル
エラストマーのような熱可塑性樹脂などがある。例え
ば、ゴム系樹脂は、未硬化の耐熱性樹脂マトリックスの
相溶媒に溶けるが未硬化の耐熱性樹脂マトリックス自体
とは相溶せず、ゴム系樹脂の濃度が高い領域(島)を未
硬化の耐熱性樹脂マトリックス(海)の中に形成して濃
度不均一の状態(海−島構造)を呈することになる。こ
のような、「海−島構造」を形成する樹脂液は、「島」
の大きさの制御が困難であり、品質の管理が難しい。こ
の点において、分級などで粒子径を制御でき品質を管理
し易い、予め硬化処理された樹脂、無機や金属粒子のよ
うな硬化処理を必要としないものに比べて、量産的に不
利である。さらに、未硬化の耐熱性樹脂マトリックスを
疑似均一相溶構造とするためには、硬化条件を調整しな
ければならない。この点においても、上記のような未硬
化の樹脂液が存在すると、この樹脂液の硬化条件まで調
整しなければならず、不利である。しかしながら、「海
−島構造」を形成する樹脂液は、予め硬化処理された樹
脂や無機粒子、金属粒子等のように固形成分を含まない
ため、混練の時間が少なくてすみ、接着剤溶液を容易に
調製できる点では優れている。また、低粘度化が容易で
あるため、塗布膜の平滑性、レベリング性にも優れてい
る。なお、上記〜に記載の分解除去可能な粒子状物
質、溶解除去可能な粒子状物質あるいは溶解除去可能な
樹脂に代えて、酸あるいは酸化剤に可溶性の硬化処理済
みの耐熱性樹脂粉末を用いることもできる。この耐熱性
樹脂粉末は、硬化処理によって、熱硬化性樹脂や感光性
樹脂、熱可塑性樹脂を溶解する希釈溶媒に不溶性となる
ため、この希釈溶媒によって樹脂溶液の粘度を低減させ
ることにより、硬化処理済の上記耐熱性樹脂粉末が、こ
の樹脂溶液中で均一に分散されるからである。また、疑
似均一相溶構造の樹脂複合体を得る場合、熱硬化性樹脂
あるいは感光性樹脂を熱可塑性樹脂と相溶状態で混合さ
せるために溶媒を用いるが、このような場合でも、硬化
処理済の上記耐熱性樹脂粉末はその溶媒に溶解すること
がないため、明確なアンカーを形成することができる。
また、酸、酸化剤に可溶性であることが望ましい理由
は、酸化剤は、分解力が強く、短時間で明確なアンカー
を形成することができ、生産性に優れ、しかも、この酸
化剤によって形成されたアンカーを有する接着剤層は、
通常の使用環境下では、溶解したり、劣化することが殆
どないからである。一方、酸は、酸化剤に見られるよう
な中和処理が不要であり、経済的であり、また、廃液処
理が酸化剤などにくらべて容易で、設備的にも簡単なも
のになり、安全性にも優れているからである。上記耐熱
性樹脂粉末としては、エポキシ樹脂、アミノ樹脂(メラ
ミン樹脂、尿素樹脂、グアナミン樹脂)、ポリエステル
樹脂、ビスマレイドートリアジン樹脂などを使用でき
る。
[0063] The resin that can be dissolved and used in the form of islands dispersed in the sea of the heat-resistant resin matrix is not compatible with the uncured heat-resistant resin matrix before curing, and the resin matrix after curing. The resin that forms the "sea-island structure" in an inhomogeneous state is compatible with the uncured heat-resistant resin matrix before curing, but after curing, separates from the resin matrix and becomes inhomogeneous with the resin matrix And a resin that forms a “sea-island structure”. Examples of the former resin include an epoxy-terminated silicone resin. Examples of the latter resin include rubber resins such as the above-mentioned butadiene and ABS resin, and thermoplastic resins such as polyester elastomer. For example, the rubber-based resin is soluble in the compatibilizing solvent of the uncured heat-resistant resin matrix, but is not compatible with the uncured heat-resistant resin matrix itself, and the region (island) where the concentration of the rubber-based resin is high is uncured. It is formed in a heat-resistant resin matrix (sea) and exhibits a non-uniform concentration (sea-island structure). Such a resin liquid forming the “sea-island structure” is called “island”
It is difficult to control the size of the product, and it is difficult to control the quality. In this point, it is disadvantageous in mass production as compared with a resin that does not require a curing treatment such as a resin that has been cured in advance and inorganic or metal particles that can easily control the particle size by controlling the particle size by classification or the like. Furthermore, in order for the uncured heat-resistant resin matrix to have a pseudo-homogeneous compatible structure, curing conditions must be adjusted. Also in this respect, if the uncured resin liquid as described above is present, it is disadvantageous that the conditions for curing the resin liquid must be adjusted. However, the resin liquid that forms the “sea-island structure” does not include solid components such as pre-cured resin, inorganic particles, and metal particles, so that kneading time can be reduced and the adhesive solution can be used. It is excellent in that it can be easily prepared. Further, since the viscosity can be easily reduced, the coating film has excellent smoothness and leveling property. In addition, in place of the above-mentioned decomposable and removable particulate material, dissolvable and removable particulate material or dissolvable and removable resin, use of a cured heat-resistant resin powder soluble in an acid or an oxidizing agent. Can also. The heat-resistant resin powder becomes insoluble in a diluting solvent that dissolves a thermosetting resin, a photosensitive resin, and a thermoplastic resin by a curing process. This is because the used heat-resistant resin powder is uniformly dispersed in the resin solution. When a resin composite having a quasi-homogeneous compatible structure is obtained, a solvent is used to mix a thermosetting resin or a photosensitive resin in a compatible state with a thermoplastic resin. Since the above heat-resistant resin powder is not dissolved in the solvent, a clear anchor can be formed.
In addition, the reason that it is desirable to be soluble in an acid or an oxidizing agent is that the oxidizing agent has a strong decomposing ability, can form a clear anchor in a short time, is excellent in productivity, and is formed by this oxidizing agent. The adhesive layer with the anchors provided is
This is because there is almost no dissolution or deterioration under a normal use environment. On the other hand, acids are economical because they do not require a neutralization treatment as found in oxidizing agents, and are easier to dispose of waste liquid than oxidizing agents, etc. It is because it is also excellent in nature. As the heat-resistant resin powder, epoxy resin, amino resin (melamine resin, urea resin, guanamine resin), polyester resin, bismaleidotriazine resin, and the like can be used.

【0064】この発明において、粒子状物質は、球形
状、中空形状、解砕片状などの各種形状のものを使用で
き、特に(1) 平均粒径10μm以下の粒子、(2) 平均粒径
2μm以下の粉末を凝集させて平均粒径2〜10μmの大き
さとした凝集粒子、(3) 平均粒径2〜10μmの粉末と平
均粒径2μm以下の粉末との混合物、(4) 平均粒径2〜10
μmの粉末の表面に平均粒径2μm以下の粉末もしくは
平均粒径2μm以下の無機粉末から選ばれる少なくとも
1種を付着させてなる擬似粒子から選ばれることが望ま
しい。この理由は、平均粒径10μmを超えると、アンカ
ーが深くなり、100μm以下の所謂ファインパターンを
形成できなくなるからであり、一方上記(2)の凝集粒
子、(3)の混合物もしくは(4)の疑似粒子が望ましい理由
は、複雑なアンカーを形成でき、ピール強度を向上させ
ることができからである。この粒子状物質は、凝集を防
止するために、その表面にシリカゾルなどによるコーテ
ィングがなされていることが望ましい。この粒子状物質
の配合量は、耐熱性樹脂マトリックスの樹脂固形分100
に対して、重量比で5〜100 の割合であることが望まし
い。この理由は、重量比で5未満の場合は、アンカーを
形成することができず、100を超える場合は、混練が難
しくなること、また相対的に耐熱性樹脂マトリックスの
量が減り、接着剤層の強度が低下してしまうためであ
る。
In the present invention, as the particulate matter, various shapes such as a spherical shape, a hollow shape, and a crushed piece shape can be used. In particular, (1) particles having an average particle size of 10 μm or less, (2) average particle size
Agglomerated particles having an average particle size of 2 to 10 μm by agglomerating powder of 2 μm or less; (3) a mixture of powder having an average particle size of 2 to 10 μm and a powder having an average particle size of 2 μm or less; 2-10
It is desirable to select from pseudo particles obtained by adhering at least one selected from powder having an average particle size of 2 μm or less or inorganic powder having an average particle size of 2 μm or less on the surface of the powder having a particle size of μm. The reason for this is that if the average particle size exceeds 10 μm, the anchor becomes deeper and a so-called fine pattern of 100 μm or less cannot be formed.On the other hand, the aggregated particles of the above (2), a mixture of (3) or (4) Pseudo-particles are desirable because they can form complex anchors and improve peel strength. It is desirable that the surface of the particulate matter is coated with silica sol or the like in order to prevent aggregation. The compounding amount of this particulate matter is 100% of the resin solid content of the heat resistant resin matrix.
Is preferably 5 to 100 by weight. The reason is that if the weight ratio is less than 5, an anchor cannot be formed, and if it exceeds 100, kneading becomes difficult, and the amount of the heat resistant resin matrix is relatively reduced, and the adhesive layer This is because the strength of the steel is reduced.

【0065】なお、この発明において、酸や酸化剤など
の粗化液に難溶性の耐熱性樹脂マトリックスを構成する
熱硬化性樹脂成分としてエポキシ樹脂を使用し、一方
で、酸や酸化剤などの粗化液に可溶性の耐熱性樹脂粉末
としてエポキシ樹脂粉末を使用することもできる。この
点について、酸化剤に対する溶解度を例にとり、以下に
説明する。エポキシ樹脂は、それのプレポリマーの種類
(分子量300 〜10000 程度の比較的低分子量のポリマ
ー)、硬化剤の種類、架橋密度を制御することにより、
その物性を大きく異ならしめることができる。この物性
の差は、酸化剤に対する溶解度に対しても例外ではな
く、モノマーの骨格構造と硬化剤、架橋構造、架
橋密度を適宜選択することにより、任意の溶解度のもの
に調整することができる。、が主因子となり、副次
的にを利用する。ここで、モノマーの骨格構造につい
ては、一般に、脂肪族エポキシが最も溶解度が高く、次
いでグリシジルアミン型、グリシジルエーテル型におい
ては溶解度が最も低下する。架橋構造については、例え
ば、エポキシドとアミンの反応により得られるヒドロキ
シエーテル構造は、特に溶解度が高く、エポキシドをイ
ミダゾールを硬化触媒として反応させたエーテル構造で
は溶解性が特に低下する。架橋密度については、エポキ
シ当量が多くなるほど低下し、その結果、溶解度は高く
なる。また、溶解度の低下は、エポキシモノマーを多官
能化することにより達成され、フェノールノボラック型
においては、モノマーの繰り返し単位nが0から1、2
と順次増加するに従い、その溶解度は減少する。従っ
て、上記酸化剤に対する溶解度差に基づき、例えば、耐
熱性樹脂粉末を構成する「酸化剤に可溶性のエポキシ樹
脂」としては、(A)「エポキシプレポリマーとして脂
肪族エポキシを用い、硬化剤として脂肪族アミン硬化剤
を用い、エポキシ当量を265 程度として穏やかに架橋し
たエポキシ樹脂」が用いられる。これに対して、耐熱性
樹脂マトリックスの熱硬化性樹脂成分である「酸化剤に
難溶性(不溶性も含む)のエポキシ樹脂」としては、
(B)「エポキシプレポリマーとしてビスフェノールA
型エポキシ樹脂を用い、硬化剤として芳香族ジアミン系
硬化剤を用い、エポキシ当量を170 前後としたエポキシ
樹脂」や、これよりもさらに溶解度の低い、(C)「エ
ポキシプレポリマーとしてフェノールノボラック型エポ
キシ樹脂を用い、硬化剤としてイミダゾール硬化剤を用
い、エポキシ当量を136 程度としたエポキシ樹脂」が用
いられる。また、前記エポキシ樹脂(B)を、「酸化剤
に可溶性のエポキシ樹脂」として用いることもでき、こ
の場合には、前記エポキシ樹脂(C)を「酸化剤に難溶
性のエポキシ樹脂」として用いる。
In the present invention, an epoxy resin is used as a thermosetting resin component constituting a heat-resistant resin matrix which is hardly soluble in a roughening liquid such as an acid or an oxidizing agent. Epoxy resin powder can also be used as the heat-resistant resin powder soluble in the roughening liquid. This point will be described below by taking solubility in an oxidizing agent as an example. Epoxy resins are controlled by controlling the type of prepolymer (a relatively low molecular weight polymer with a molecular weight of about 300 to 10,000), the type of curing agent, and the crosslinking density.
Their physical properties can differ greatly. This difference in physical properties is no exception to the solubility in the oxidizing agent, and the solubility can be adjusted to an arbitrary value by appropriately selecting the skeleton structure of the monomer, the curing agent, the crosslinked structure, and the crosslink density. , Becomes the main factor, and uses the secondary. Here, regarding the skeleton structure of the monomer, generally, the aliphatic epoxy has the highest solubility, and then the glycidylamine type and the glycidyl ether type have the lowest solubility. Regarding the crosslinked structure, for example, a hydroxyether structure obtained by a reaction of an epoxide and an amine has particularly high solubility, and an ether structure obtained by reacting an epoxide with imidazole as a curing catalyst has particularly low solubility. The crosslink density decreases as the epoxy equivalent increases, resulting in higher solubility. In addition, the decrease in solubility is achieved by polyfunctionalizing the epoxy monomer. In the phenol novolak type, the repeating unit n of the monomer is from 0 to 1, 2
, The solubility decreases. Therefore, based on the solubility difference with respect to the oxidizing agent, for example, as the “epoxy resin soluble in the oxidizing agent” constituting the heat-resistant resin powder, (A) “aliphatic epoxy is used as an epoxy prepolymer, and An epoxy resin which is gently crosslinked with an epoxy equivalent of about 265 using an aromatic amine curing agent "is used. On the other hand, as a thermosetting resin component of the heat-resistant resin matrix, "a hardly soluble (including insoluble) epoxy resin" in an oxidizing agent,
(B) "Bisphenol A as epoxy prepolymer
Epoxy resin with an epoxy equivalent of around 170 using an epoxy resin with an epoxy equivalent of about 170 using an aromatic diamine-based curing agent as a curing agent, and (C) a phenol novolac epoxy as an epoxy prepolymer. An epoxy resin having an epoxy equivalent of about 136 using a resin and an imidazole curing agent as a curing agent ”is used. In addition, the epoxy resin (B) can be used as an “epoxy resin soluble in an oxidizing agent”. In this case, the epoxy resin (C) is used as an “epoxy resin hardly soluble in an oxidizing agent”.

【0066】以上説明した例から理解されるように、酸
や酸化剤などの粗化液に可溶性か難溶性(あるいは不溶
性)かということは、酸や酸化剤などの粗化液に対する
相対的な溶解速度の差を意味している。つまり、酸や酸
化剤などの粗化液に可溶性の樹脂、もしくは不溶性の樹
脂粉末としては、溶解度に差があるものを任意に選択す
ればよい。なお、樹脂に溶解度差をつける手段として
は、プレポリマーの種類、硬化剤の種類、架橋密
度の調整だけに限定されるものではなく、他の手段であ
ってもよい。表1には、前述の各エポキシ樹脂につい
て、そのプレポリマー、硬化剤、エポキシ当量、溶解度
の相対値を列記する。
As can be understood from the above-described examples, whether soluble or hardly soluble (or insoluble) in a roughening solution such as an acid or an oxidizing agent depends on relative to the roughening solution such as an acid or an oxidizing agent. It means the difference in dissolution rate. That is, as a resin soluble in a roughening liquid such as an acid or an oxidizing agent, or an insoluble resin powder, those having a difference in solubility may be arbitrarily selected. The means for giving a difference in solubility to the resin is not limited to the adjustment of the type of prepolymer, the type of curing agent, and the crosslinking density, but may be other means. Table 1 lists the relative values of the prepolymer, curing agent, epoxy equivalent, and solubility for each of the above epoxy resins.

【0067】[0067]

【表1】 [Table 1]

【0068】この発明においては、上述したような各エ
ポキシ樹脂の溶解度差を利用して、一定時間の酸化剤等
による粗化処理を施すのである。このような処理を施す
ことにより、酸化剤等に対する溶解度が最も大きい可溶
性のエポキシ樹脂微粉末の溶解が激しく起こり、大きな
凹部が形成される。同時に酸化剤等に難溶性の熱可塑性
樹脂を含むエポキシ樹脂マトリックスが残存して、図1
に示すような粗化面(アンカー)が形成されるのであ
る。
In the present invention, a roughening treatment with an oxidizing agent or the like is performed for a certain period of time by utilizing the difference in solubility between the epoxy resins as described above. By performing such a treatment, the soluble epoxy resin fine powder having the highest solubility in the oxidizing agent or the like is strongly dissolved, and a large concave portion is formed. At the same time, an epoxy resin matrix containing a thermoplastic resin that is hardly soluble in an oxidizing agent or the like remains, and FIG.
The roughened surface (anchor) shown in FIG.

【0069】なお、この発明では、耐熱性樹脂マトリッ
クスとして、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂にPES
などの熱可塑性樹脂を混合したものを用いており、この
ように熱可塑性樹脂を含有させることにより、酸や酸化
剤等に対する溶解度が低下する傾向が見られた。特に、
疑似均一相溶構造の樹脂複合体を耐熱性樹脂マトリック
スとして採用した場合、その溶解度の低下は顕著であっ
た。
In the present invention, a thermosetting resin such as an epoxy resin is used as a heat-resistant resin matrix.
A mixture of such thermoplastic resins is used, and by including such a thermoplastic resin, a tendency is observed that the solubility in acids, oxidizing agents, and the like is reduced. In particular,
When a resin composite having a quasi-homogeneous compatible structure was used as a heat-resistant resin matrix, the solubility was significantly reduced.

【0070】次に、本願の金属膜被着体の製造方法につ
いて説明する。.まず、基体上に、この発明の接着
剤、いわゆる未硬化の熱硬化性樹脂および/または未硬
化の感光性樹脂と熱可塑性樹脂との樹脂混合物から主と
して構成されている接着剤を塗布し、あるいは前記接着
剤自体を半硬化させてフィルム状にしたものをラミネー
トし、もしくは基体自体を前記接着剤で形成することに
より、接着剤層を設ける。さらに、この接着剤の層を乾
燥硬化して、樹脂マトリックスを構成する樹脂複合体が
疑似均一相溶構造、共連続構造あるいは球状ドメイン構
造のいずれかの樹脂構造を有する接着剤層を形成する。
Next, a method for manufacturing the metal film-coated body of the present invention will be described. . First, the adhesive of the present invention, an adhesive mainly composed of a resin mixture of an uncured thermosetting resin and / or an uncured photosensitive resin and a thermoplastic resin, is applied onto a substrate, or An adhesive layer is provided by laminating a film obtained by semi-curing the adhesive itself, or by forming the substrate itself with the adhesive. Further, the adhesive layer is dried and hardened to form an adhesive layer in which the resin composite constituting the resin matrix has any one of a pseudo-homogeneous compatible structure, a co-continuous structure and a spherical domain structure.

【0071】ここで、上記基体としては、次のような金
属、樹脂、紙製のものが挙げられ、所定の形状に成形さ
れる。 (磁気媒体) ポリエチレンテレフタレートフィルム、ハード磁気ディ
スク (電磁気シールド) 濾紙 (自動車) ディスクブレーキボディ、ディスクブレーキピストン、
クラッチハブ、オイルポンプカム、ミッションギアシャ
フト (産業機械) スクリュー、ベアリング (電気・電子産業) プリント配線板、半導体搭載用基板 (建築素材) フェノール樹脂含浸コアー紙
Here, examples of the base include the following bases made of metal, resin, and paper, and are formed into a predetermined shape. (Magnetic media) Polyethylene terephthalate film, hard magnetic disk (electromagnetic shield) Filter paper (automobile) Disk brake body, disk brake piston,
Clutch hubs, oil pump cams, transmission gear shafts (industrial machinery) Screws, bearings (electrical and electronic industries) Printed wiring boards, semiconductor mounting boards (building materials) Phenolic resin impregnated core paper

【0072】.次に、前記接着剤層の表面に分散して
いる、「分解除去可能な粒子状物質」、「無機粒子、金
属粒子、エラストマー樹脂、アルカリに可溶性の樹脂粒
子および溶剤に可溶性の樹脂粒子から選ばれる少なくと
も1種の粒子状物質」、あるいは「海−島構造における
島状樹脂」の少なくとも一部を、酸や酸化剤、アルカ
リ、水、有機溶剤などの粗化液を用いて溶解除去、もし
くは高温、高湿度、高圧条件下で分解除去する。上記の
粗化液を用いる方法としては、接着剤層を形成した基体
をその粗化液中に浸漬するか、あるいは基体に粗化液を
スプレーするなどの手段によって実施することができ、
その結果、接着剤層の表面を粗化することができる。上
記酸化剤としては、クロム酸やクロム酸塩、過マンガン
酸塩、オゾンなどがよく、酸としては、塩酸、硝酸、フ
ッ酸や硫酸、有機酸などがよい。上記アルカリとして
は、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、水酸化カリウ
ム、アンモニアなどがよい。上記有機溶剤としては、メ
チルエチルケトン、ベンゼン、トルエン、ジオキサン、
アセトン、トリクロロエチレン、エチレンジクロライ
ド、二硫化炭素、酢酸エチル、酢酸ブチル、テトラヒド
ロフラン、シクロヘキサノン、ニトロエタン、ピリジ
ン、クロロホルム、四塩化炭素などがよい。
[0072] Next, dispersed on the surface of the adhesive layer, "decomposable and removable particulate material", "inorganic particles, metal particles, elastomer resin, selected from alkali-soluble resin particles and solvent-soluble resin particles. At least one type of particulate matter ", or at least a part of" island-like resin in a sea-island structure "is dissolved and removed using a roughening liquid such as an acid, an oxidizing agent, an alkali, water, an organic solvent, or Decompose and remove under high temperature, high humidity and high pressure conditions. As a method using the above-mentioned roughening solution, the substrate on which the adhesive layer is formed can be immersed in the roughening solution, or can be carried out by means such as spraying the roughening solution on the substrate.
As a result, the surface of the adhesive layer can be roughened. The oxidizing agent is preferably chromic acid, chromate, permanganate, ozone, or the like, and the acid is preferably hydrochloric acid, nitric acid, hydrofluoric acid, sulfuric acid, or an organic acid. As the alkali, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium hydroxide, ammonia and the like are preferable. Examples of the organic solvent include methyl ethyl ketone, benzene, toluene, dioxane,
Acetone, trichloroethylene, ethylene dichloride, carbon disulfide, ethyl acetate, butyl acetate, tetrahydrofuran, cyclohexanone, nitroethane, pyridine, chloroform, carbon tetrachloride and the like are preferred.

【0073】上記の溶解除去可能な粒子状物質また海−
島構造における島状樹脂とそれらを除去するための粗化
液の関係について説明する。無機粒子のうち、シリカ、
アルミナに対してはフッ酸が、炭酸カルシウムや炭酸ナ
トリウムなどの炭酸塩には塩酸が、また水で分解する窒
化アルミニウムなどに対しては水が、粗化液として好適
である。なお、窒化アルミニウムは、水で分解し、空気
中の酸素により除々に酸化されるため、窒化アルミニウ
ムを使用する金属膜被着体は、窒素やアルゴンで封止し
て使用する必要がある。金属粒子に対しては、クロム酸
やクロム酸塩、過マンガン酸塩、オゾンなどの酸化剤、
塩酸、硝酸、フッ酸や硫酸、有機酸などの酸がよい。特
に、アミノ樹脂は、重金属を含まない塩酸を粗化液とし
て使用できるため、廃液処理が容易であり実用的であ
る。ゴム系樹脂などのエラストマーに対しては、クロム
酸、クロム酸と硫酸の混合液、クロム酸塩、過マンガン
酸塩、オゾンなどの酸化剤が粗化液として好適である。
有機溶剤で溶解除去可能な粒子状物質(熱可塑性樹脂)
のうち、スチレン系樹脂には、メチルエチルケトン、ベ
ンゼン、トルエン、ジオキサン、アセトン、トリクロロ
エチレン、エチレンジクロライド、二硫化炭素、酢酸エ
チル、酢酸ブチルが、塩化ビニル系には、テトラヒドロ
フラン、シクロヘキサノン、ニトロエタン、ピリジンな
どの有機溶剤が、粗化液として好適である。
The particulate matter which can be dissolved and removed as described above or sea-
The relationship between the island-shaped resin in the island structure and the roughening solution for removing them will be described. Among the inorganic particles, silica,
Hydrofluoric acid is suitable for alumina, hydrochloric acid for carbonates such as calcium carbonate and sodium carbonate, and water for aluminum nitride and the like that decompose with water. Since aluminum nitride is decomposed by water and gradually oxidized by oxygen in the air, a metal film adherend using aluminum nitride needs to be sealed with nitrogen or argon before use. For metal particles, oxidizing agents such as chromate, chromate, permanganate, ozone,
Acids such as hydrochloric acid, nitric acid, hydrofluoric acid, sulfuric acid, and organic acids are preferred. In particular, since amino resin can use hydrochloric acid containing no heavy metal as a roughening liquid, waste liquid treatment is easy and practical. For an elastomer such as a rubber-based resin, chromic acid, a mixed solution of chromic acid and sulfuric acid, and an oxidizing agent such as chromate, permanganate, and ozone are preferable as the roughening liquid.
Particulate matter that can be dissolved and removed with an organic solvent (thermoplastic resin)
Among them, styrene resins include methyl ethyl ketone, benzene, toluene, dioxane, acetone, trichloroethylene, ethylene dichloride, carbon disulfide, ethyl acetate, and butyl acetate, and vinyl chloride resins include tetrahydrofuran, cyclohexanone, nitroethane, and pyridine. Organic solvents are suitable as roughening liquids.

【0074】.次に、基体上の表面粗化された接着剤
層に金属膜を被覆する。金属膜を被覆する方法として
は、無電解めっき、電解めっきやスパッタリングなどの
方法がある。この無電解めっきとしては、例えば無電解
銅めっき、無電解ニッケルめっき、無電解スズめっき、
無電解金めっきおよび無電解銀めっきなどを挙げること
ができ、特に無電解銅めっき、無電解ニッケルめっきお
よび無電解金めっき、無電解コバルト−ニッケル−リン
めっき、無電解銅−ニッケル−リンめっきのいずれか少
なくとも一種であることが好適である。なお、前記無電
解めっきを施した上にさらに異なる種類の無電解めっき
あるいは電気めっきを行ったり、ハンダをコートしたり
することもできる。なお、無電解めっきの際、めっきレ
ジスト等を形成することにより、めっきにより種々のパ
ターンを描くことができる。また、全面に無電解めっき
を施し、ついでエッチングしてもよい。さらに、スパッ
タなどの方法で被着させる金属としては、Cu,Ni,
Cr,Ti,Mo、Auまたはこれらの合金などがあ
る。
[0074] Next, a metal film is coated on the surface-roughened adhesive layer on the substrate. As a method of coating the metal film, there are methods such as electroless plating, electrolytic plating, and sputtering. As the electroless plating, for example, electroless copper plating, electroless nickel plating, electroless tin plating,
Examples include electroless gold plating and electroless silver plating, and in particular, electroless copper plating, electroless nickel plating and electroless gold plating, electroless cobalt-nickel-phosphorus plating, and electroless copper-nickel-phosphorous plating. Preferably, at least one of them is used. It should be noted that, after the electroless plating is performed, a different type of electroless plating or electroplating may be performed, or solder may be coated. In the case of electroless plating, various patterns can be drawn by plating by forming a plating resist or the like. Alternatively, the entire surface may be subjected to electroless plating and then etched. Further, as a metal to be deposited by a method such as sputtering, Cu, Ni,
There are Cr, Ti, Mo, Au and alloys thereof.

【0075】このようにして製造された金属膜被着体
は、自動車産業分野では、ディスクブレーキボディ、ク
ラッチハブ、燃料噴射ノズル、燃料輸送パイプ、ギアな
どの各種部品への応用、電気・電子産業分野では、リー
ドフレーム、ハーメチックシール、セラミックパッケー
ジ、コネクター、コンデンサ、抵抗体、ソーラー電極、
ハードディスク等への応用、産業機械産業分野では、ポ
ンプ、バルブ、熱交換器、フィルター、スクリュー、ダ
イス、ベアリング等への応用が可能である。
In the automobile industry, the metal film adherend thus manufactured is applied to various parts such as a disc brake body, a clutch hub, a fuel injection nozzle, a fuel transport pipe, a gear, and the electric and electronic industries. In the field, lead frames, hermetic seals, ceramic packages, connectors, capacitors, resistors, solar electrodes,
Applications to hard disks and the like, and in the industrial machinery industry, applications to pumps, valves, heat exchangers, filters, screws, dies, bearings, etc. are possible.

【0076】次に、この金属膜被着体としてのプリント
配線板を製造する方法について説明する。.まず、基
体として基板を用い、この基板上に、この発明の接着
剤、いわゆる未硬化の熱硬化性樹脂および/または未硬
化の感光性樹脂と熱可塑性樹脂との樹脂混合物から主と
して構成されている接着剤を塗布し、あるいは前記接着
剤自体を半硬化させてフィルム状にしたものをラミネー
トし、もしくは基板自体を前記接着剤で形成することに
より、接着剤の層を設ける。さらに、この接着剤の層を
乾燥硬化して、樹脂マトリックスを構成する樹脂複合体
が疑似均一相溶構造,共連続構造あるいは球状ドメイン
構造を有する接着剤層を形成する。
Next, a method of manufacturing a printed wiring board as the metal film-coated body will be described. . First, a substrate is used as a substrate, and the substrate is mainly composed of an adhesive of the present invention, a so-called uncured thermosetting resin and / or a resin mixture of an uncured photosensitive resin and a thermoplastic resin. An adhesive layer is provided by applying an adhesive, laminating a film obtained by semi-curing the adhesive itself, or forming the substrate itself with the adhesive. Further, the adhesive layer is dried and cured to form an adhesive layer in which the resin composite constituting the resin matrix has a pseudo-homogeneous compatible structure, a co-continuous structure or a spherical domain structure.

【0077】.次に、前記接着剤層の表面に分散して
いる分解除去可能な粒子状物質、溶解除去可能な粒子状
物質、または海−島構造における島状樹脂の少なくとも
一部を、酸や酸化剤、アルカリ、水、有機溶剤などの粗
化液を用いて溶解除去、もしくは高温、高湿度、高圧条
件下で分解除去する。上記の粗化液を用いる方法として
は、前述したものと同様の粗化液を用いて、接着剤層を
形成した基板をその溶液中に浸積するか、あるいは基板
に粗化液をスプレーするなどの手段によって実施するこ
とができ、その結果、接着剤層の表面を粗化することが
できる。
[0077] Next, at least a part of the degradable and removable particulate material dispersed on the surface of the adhesive layer, the dissolvable and removable particulate material, or the island-shaped resin in the sea-island structure, an acid or an oxidizing agent, It is dissolved and removed using a roughening liquid such as an alkali, water and an organic solvent, or decomposed and removed under high temperature, high humidity and high pressure conditions. As a method using the above-mentioned roughening solution, using the same roughening solution as described above, the substrate on which the adhesive layer is formed is immersed in the solution, or the roughening solution is sprayed on the substrate. For example, the surface of the adhesive layer can be roughened.

【0078】.次に、基板上の表面粗化された接着剤
層に無電解めっきを施す。この無電解めっきとしては、
例えば無電解銅めっき、無電解ニッケルめっき、無電解
スズめっき、無電解金めっきおよび無電解銀めっきなど
を挙げることができ、特に無電解銅めっき、無電解ニッ
ケルめっきおよび無電解金めっきのいずれか少なくとも
一種であることが好適である。なお、前記無電解めっき
を施した上にさらに異なる種類の無電解めっきあるいは
電気めっきを行ったり、ハンダをコートしたりすること
もできる。さらに、金属被着層を設けるにあたり、無電
解めっきの他に、電解めっきやスパッタなどの方法でも
よい。被着させる金属としては、Cu,Ni,Cr,T
i,Mo,Au、これらの合金などがある。
[0078] Next, the surface roughened adhesive layer on the substrate is subjected to electroless plating. As this electroless plating,
Examples include electroless copper plating, electroless nickel plating, electroless tin plating, electroless gold plating, and electroless silver plating, and in particular, any one of electroless copper plating, electroless nickel plating, and Preferably, it is at least one. It should be noted that, after the electroless plating is performed, a different type of electroless plating or electroplating may be performed, or solder may be coated. Further, in providing the metal deposition layer, a method such as electrolytic plating or sputtering may be used instead of electroless plating. Cu, Ni, Cr, T
i, Mo, Au, and alloys thereof.

【0079】なお、無電解めっきの際、めっきレジスト
等を形成することにより、めっきによって直接、配線パ
ターンを描くことができる。また、全面に無電解めっき
を施し、ついでエッチングして導体回路を描くこともで
きる。
In the case of electroless plating, by forming a plating resist or the like, a wiring pattern can be drawn directly by plating. Alternatively, the entire surface can be electrolessly plated and then etched to draw a conductor circuit.

【0080】上述のようにして得られるプリント配線板
としては、基板上に上記接着剤層を介してめっきレジ
ストおよび導体回路を形成してなる片面プリント配線
板、基板両面の上記接着剤層とスルホールを介してめ
っきレジストおよび導体回路を形成してなる両面プリン
ト配線板、および導体層を形成させた基板(スルーホ
ールを有していてもよく、多層でもよい)上に、バイア
ホールを有する層間絶縁層(前記接着剤層)を介して導
体回路を多層形成させてなるビルドアップ多層配線板を
挙げることができる。
Examples of the printed wiring board obtained as described above include a single-sided printed wiring board formed by forming a plating resist and a conductive circuit on a substrate via the above-mentioned adhesive layer; Double-sided printed wiring board formed with a plating resist and a conductor circuit through a substrate, and interlayer insulation having via holes on a substrate (may have a through hole or may be a multilayer) on which a conductor layer is formed A build-up multilayer wiring board in which conductive circuits are formed in multiple layers via a layer (the adhesive layer) can be given.

【0081】[0081]

【実施例】(実施例1) (1) クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬
製、商品名;EOCN-104S 、エポキシ当量220 、分子量50
00)65重量部、ポリエーテルスルホン(PES)(IC
I製、商品名;Victrex 、分子量17000 )40重量部、イ
ミダゾール系硬化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)
5重量部およびゴム系樹脂微粉末(日本合成ゴム製)を
平均粒径5.5 μmのものを20重量部、平均粒径0.5 μm
のものを10重量部を混合した後、NMP(ノルマルメチ
ルピロリドン)を添加しながら、ホモディスパー攪拌機
で粘度120CPSに調整し、続いて、3本ロールで混練して
接着剤溶液を得た。この時の室温での粘度は、2〜5Pa
・s であった。 (2) この接着剤溶液をローラーコーター(サーマトロニ
クス貿易製)を使用して銅箔が貼着されていないガラス
エポキシ絶縁板(東芝ケミカル製)上に塗布し、その
後、80℃で2時間、120 ℃で5時間、150 ℃で2時間、
乾燥硬化させて厚さ20μmの接着剤層を形成した。 (3) 接着剤層を形成した上記基板を、クロム酸水溶液
(CrO3,500g/l)に70℃で15分間浸漬して接着剤層の表
面を粗化し、次いで、中和溶液(シプレイ製)に浸漬し
たのち水洗した。粗化面は、JIS-B-0601でRmax =10μ
mであった。 (4) 接着剤層の表面を粗化した基板にパラジウム触媒
(シプレイ製)を付与して接着剤層の表面を活性化さ
せ、次いで、常法に従いめっきレジストを設け、その
後、表2に示す組成のアディティブ用無電解めっき液に
11時間浸積して、めっき膜の厚さが25μmの無電解銅め
っきを施し、プリント配線板を製造した(図1参照)。
EXAMPLES (Example 1) (1) Cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku, trade name; EOCN-104S, epoxy equivalent 220, molecular weight 50)
00) 65 parts by weight, polyether sulfone (PES) (IC
I, product name: Victrex, molecular weight 17000) 40 parts by weight, imidazole-based curing agent (Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN)
5 parts by weight and 20 parts by weight of a rubber-based resin fine powder (manufactured by Nippon Synthetic Rubber) having an average particle size of 5.5 μm, and an average particle size of 0.5 μm
After mixing 10 parts by weight of the above, the viscosity was adjusted to 120 CPS with a homodisper stirrer while adding NMP (normal methylpyrrolidone), followed by kneading with three rolls to obtain an adhesive solution. At this time, the viscosity at room temperature is 2 to 5 Pa
・ S. (2) Using a roller coater (manufactured by Thermotronics Trading), apply this adhesive solution onto a glass epoxy insulating board (manufactured by Toshiba Chemical) on which no copper foil is adhered, and then apply the adhesive at 80 ° C. for 2 hours. 5 hours at 120 ° C, 2 hours at 150 ° C,
After drying and curing, an adhesive layer having a thickness of 20 μm was formed. (3) The substrate on which the adhesive layer is formed is immersed in a chromic acid aqueous solution (CrO 3 , 500 g / l) at 70 ° C. for 15 minutes to roughen the surface of the adhesive layer. ) And washed with water. Roughened surface is, R max = 10 [mu] in JIS-B-0601
m. (4) A palladium catalyst (manufactured by Shipley) is applied to the substrate having the surface of the adhesive layer roughened to activate the surface of the adhesive layer. Then, a plating resist is provided according to a conventional method. For electroless plating solution for additive of composition
It was immersed for 11 hours, and subjected to electroless copper plating with a plating film thickness of 25 μm to produce a printed wiring board (see FIG. 1).

【0082】[0082]

【表2】 [Table 2]

【0083】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを上記条件で熱硬化して得られた
硬化物は、TEM観察したところ、平均粒径 0.1μm以
下の樹脂粒子が見られた。また、上記ゴム系樹脂微粉末
を混合しない樹脂組成の混合物を硬化して得られた硬化
物は、振動周波数6.28 rad/sec 、昇温速度5℃/分の
条件で粘弾性測定試験を行ったところ、ガラス転移温度
Tg のピークが1つであった(図2参照)。従って、本
実施例で用いた接着剤の樹脂マトリックスは、擬似均一
相溶構造を呈していると考えられる(図3参照)。
The cured product obtained by thermosetting only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example under the above conditions was observed by TEM. As a result, resin particles having an average particle size of 0.1 μm or less were found. Was done. A cured product obtained by curing a mixture of a resin composition not mixed with the rubber-based resin fine powder was subjected to a viscoelasticity measurement test under the conditions of a vibration frequency of 6.28 rad / sec and a heating rate of 5 ° C./min. However, there was one peak of the glass transition temperature Tg (see FIG. 2). Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a pseudo-homogeneous compatible structure (see FIG. 3).

【0084】(実施例2) (1) クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬
製、商品名;EOCN-103S )70重量部、ポリエーテルスル
ホン(PES)(ICI製、商品名;Victrex )30重量
部、イミダゾール系硬化剤(四国化成製、商品名;2PHZ
-CN )10重量部およびシリカ球状微粉末(日本触媒工業
製)を平均粒径5.5 μmのものを20重量部、平均粒径0.
5 μmのものを10重量部を混合した後、NMP溶剤を添
加しながら、ホモディスパー攪拌機で粘度120CPSに調整
し、続いて、3本ロールで混練して接着剤溶液を得た。 (2) この接着剤溶液をローラーコーター(サーマトロニ
クス貿易製)を使用して銅箔が貼着されていないガラス
エポキシ絶縁板(東芝ケミカル製)上に塗布し、その
後、80℃で3時間、120 ℃で3時間、150℃で5時間、
乾燥硬化させて厚さ20μmの接着剤層を形成した。 (3) 接着剤層を形成した上記基板を、フッ酸に70℃で15
分間浸漬して接着剤層の表面を粗化し、次いで、中和溶
液(シプレイ製)に浸漬したのち水洗した。 (4) 接着剤層の表面を粗化した基板にパラジウム触媒
(シプレイ製)を付与して接着剤層の表面を活性化さ
せ、次いで、常法に従いめっきレジストを設け、その
後、表2に示す組成のアディティブ用無電解めっき液に
11時間浸漬して、めっき膜の厚さが25μmの無電解銅め
っきを施し、プリント配線板を製造した。
Example 2 (1) 70 parts by weight of cresol novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku, trade name: EOCN-103S), 30 parts by weight of polyether sulfone (PES) (manufactured by ICI, trade name: Victrex) Part, imidazole curing agent (Shikoku Chemicals, trade name: 2PHZ
-CN) 10 parts by weight and 20 parts by weight of silica spherical fine powder (manufactured by Nippon Shokubai Kogyo Co., Ltd.) having an average particle size of 5.5 μm, and an average particle size of 0.
After mixing 10 parts by weight of 5 μm, the viscosity was adjusted to 120 CPS with a homodisper stirrer while adding an NMP solvent, and then kneaded with three rolls to obtain an adhesive solution. (2) Using a roller coater (manufactured by Thermotronics Trading), apply this adhesive solution onto a glass epoxy insulating board (manufactured by Toshiba Chemical) on which no copper foil is adhered, and then at 80 ° C. for 3 hours. 3 hours at 120 ° C, 5 hours at 150 ° C,
After drying and curing, an adhesive layer having a thickness of 20 μm was formed. (3) The substrate on which the adhesive layer is formed is immersed in hydrofluoric acid at 70 ° C for 15 minutes.
The surface of the adhesive layer was roughened by immersion for a minute, and then immersed in a neutralizing solution (made by Shipley) and then washed with water. (4) A palladium catalyst (manufactured by Shipley) is applied to the substrate having the surface of the adhesive layer roughened to activate the surface of the adhesive layer. Then, a plating resist is provided according to a conventional method. For electroless plating solution for additive of composition
It was immersed for 11 hours, and subjected to electroless copper plating with a plating film thickness of 25 μm to produce a printed wiring board.

【0085】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを上記条件で熱硬化して得られた
硬化物は、実施例1と同様にTEM観察したところ、平
均粒径0.05μm以下の樹脂粒子が見られた。また、上記
シリカ微粉末を混合しない樹脂組成の混合物を硬化して
得られた硬化物は、振動周波数6.28 rad/sec 、昇温速
度5℃/分の条件で粘弾性測定試験を行ったところ、ガ
ラス転移温度Tg のピークが1つであった。従って、本
実施例で用いた接着剤の樹脂マトリックスは、擬似均一
相溶構造を呈していると考えられる。
The cured product obtained by thermosetting only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example under the above conditions was observed with a TEM in the same manner as in Example 1, and the average particle size was 0.05 μm. The following resin particles were found. The cured product obtained by curing the mixture of the resin composition without mixing the silica fine powder was subjected to a viscoelasticity measurement test under the conditions of a vibration frequency of 6.28 rad / sec and a heating rate of 5 ° C./min. The glass transition temperature Tg had one peak. Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a pseudo-homogeneous compatible structure.

【0086】(実施例3) (1) ブタジエン−アクリロニトリル共重合体オリゴマー
(CTBN)とビスフェノールA型エポキシ樹脂を混合
した後、160 ℃で2時間加熱し、エポキシ変成CTBN
を得た。 (2) ビスフェノールA型エポキシ樹脂(油化シェル製、
商品名;エピコート828、エポキシ当量190 、分子量380
)70重量部、ポリエーテルスルホン(PES)(IC
I製、商品名;Victrex )30重量部、イミダゾール系硬
化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)10重量部および
前記エポキシ変成CTBNを30重量部を混合した後、N
MP溶剤を添加しながら、ホモディスパー攪拌機で粘度
120CPSに調整し、続いて、3本ロールで混練して接着剤
溶液を得た。 (3) この接着剤溶液をローラーコーター(サーマトロニ
クス貿易製)を使用して銅箔が貼着されていないガラス
エポキシ絶縁板(東芝ケミカル製)上に塗布し、その
後、80℃で1時間、120 ℃で2時間、150 ℃で4時間、
乾燥硬化させて厚さ20μmの接着剤層を形成した。 (4) 接着剤層を形成した上記基板を、クロム酸水溶液
(CrO3,500g/l)に70℃で15分間浸漬して接着剤層の表
面を粗化し、次いで、中和溶液(シプレイ製)に浸漬し
たのち水洗した。 (5) 接着剤層の表面を粗化した基板にパラジウム触媒
(シプレイ製)を付与して接着剤層の表面を活性化さ
せ、次いで、常法に従いめっきレジストを設け、その
後、表2に示す組成のアディティブ用無電解めっき液に
11時間浸漬して、めっき膜の厚さが25μmの無電解銅め
っきを施し、プリント配線板を製造した。
Example 3 (1) A butadiene-acrylonitrile copolymer oligomer (CTBN) and a bisphenol A type epoxy resin were mixed, and the mixture was heated at 160 ° C. for 2 hours to obtain an epoxy-modified CTBN.
Got. (2) Bisphenol A type epoxy resin (made by Yuka Shell,
Product name: Epicoat 828, epoxy equivalent 190, molecular weight 380
) 70 parts by weight, polyether sulfone (PES) (IC
I, 30 parts by weight of Victrex), 10 parts by weight of an imidazole-based curing agent (trade name: 2E4MZ-CN, manufactured by Shikoku Chemicals) and 30 parts by weight of the above-mentioned epoxy-modified CTBN were mixed.
While adding the MP solvent, adjust the viscosity with a homodisper stirrer.
It was adjusted to 120 CPS and then kneaded with three rolls to obtain an adhesive solution. (3) This adhesive solution is applied on a glass epoxy insulating plate (manufactured by Toshiba Chemical) on which no copper foil is stuck, using a roller coater (manufactured by Thermotronics Trading), and then at 80 ° C. for 1 hour. 2 hours at 120 ° C, 4 hours at 150 ° C,
After drying and curing, an adhesive layer having a thickness of 20 μm was formed. (4) The substrate on which the adhesive layer is formed is immersed in a chromic acid aqueous solution (CrO 3 , 500 g / l) at 70 ° C. for 15 minutes to roughen the surface of the adhesive layer. ) And washed with water. (5) A palladium catalyst (manufactured by Shipley) is applied to the substrate having the surface of the adhesive layer roughened to activate the surface of the adhesive layer. Then, a plating resist is provided according to a conventional method. For electroless plating solution for additive of composition
It was immersed for 11 hours, and subjected to electroless copper plating with a plating film thickness of 25 μm to produce a printed wiring board.

【0087】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを上記条件で熱硬化して得られた
硬化物は、実施例1と同様にTEM観察したところ、平
均粒径 0.1μm以下の樹脂粒子が見られた。また、上記
ゴム系樹脂を混合しない樹脂組成の混合物を硬化して得
られた硬化物は、振動周波数6.28 rad/sec 、昇温速度
5℃/分の条件で粘弾性測定試験を行ったところ、ガラ
ス転移温度Tg のピークが1つであった。従って、本実
施例で用いた接着剤の樹脂マトリックスは、擬似均一相
溶構造を呈していると考えられる。さらに、この樹脂マ
トリックスをSEMで観察したところ、硬化した後の樹
脂マトリックスの海の中には、ブタジエン−アクリロニ
トリル共重合体樹脂の「島構造」が観察できた。つま
り、接着剤層の表面を酸化剤で処理すると、この島構造
の部分が溶解除去されて、その表面が粗化されるのであ
る。
The cured product obtained by thermosetting only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example under the above conditions was observed with a TEM in the same manner as in Example 1, and the average particle size was 0.1 μm. The following resin particles were found. A cured product obtained by curing a mixture of a resin composition not mixed with the rubber-based resin was subjected to a viscoelasticity measurement test under the conditions of a vibration frequency of 6.28 rad / sec and a heating rate of 5 ° C./min. The glass transition temperature Tg had one peak. Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a pseudo-homogeneous compatible structure. Further, when this resin matrix was observed by SEM, an “island structure” of a butadiene-acrylonitrile copolymer resin was observed in the sea of the cured resin matrix. That is, when the surface of the adhesive layer is treated with an oxidizing agent, the island structure is dissolved and removed, and the surface is roughened.

【0088】(実施例4) 基本的には実施例1と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。ビスフェノールA型エポキシ樹脂
(油化シェル製、エピコート828 )65重量部、ポリエー
テルスルホン(PES)(ICI製、商品名;Victrex
)35重量部、イミダゾール系硬化剤(四国化成製、商
品名;2E4MZ-CN)5重量部およびゴム系樹脂微粉末(日
本合成ゴム製)を平均粒径5.5 μmのものを20重量部、
平均粒径0.5μmのものを10重量部を混合した後、ジメ
チルホルムアミド/ブチルセロソルブ(1/1)混合溶
剤を添加しながら、ホモディスパー攪拌機で粘度100CPS
に調整し、続いて、3本ロールで混練して得た接着剤溶
液。
Example 4 Basically the same as Example 1 and the following was used as the adhesive solution. Bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell, Epicoat 828) 65 parts by weight, polyether sulfone (PES) (manufactured by ICI, trade name: Victrex)
35 parts by weight, 5 parts by weight of an imidazole-based curing agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN) and 20 parts by weight of a rubber-based resin fine powder (manufactured by Nippon Synthetic Rubber) having an average particle size of 5.5 μm,
After mixing 10 parts by weight of an average particle diameter of 0.5 μm, the mixture is mixed with a dimethylformamide / butyl cellosolve (1/1) mixed solvent with a homodisper stirrer to give a viscosity of 100 CPS.
And then kneading with three rolls to obtain an adhesive solution.

【0089】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを実施例1と同様に硬化して得ら
れた硬化物は、その断面をPESを溶解させる塩化メチ
レンでエッチングしてSEM観察したところ、平均粒径
0.2 〜2μmのエポキシ樹脂リッチと考えられる球状物
の連続構造(共連続構造)が見られた。
A cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example in the same manner as in Example 1 was etched in methylene chloride for dissolving PES, and then subjected to SEM. Observed, average particle size
A continuous structure (co-continuous structure) of spherical objects considered to be rich in epoxy resin of 0.2 to 2 μm was observed.

【0090】(実施例5) 基本的には実施例1と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。ビスフェノールA型エポキシ樹脂
(油化シェル製、エピコート828 )50重量部、ポリエー
テルスルホン(PES)(ICI製、商品名;Victrex
)50重量部、イミダゾール系硬化剤(四国化成製、商
品名;2E4MZ-CN)5重量部およびゴム系樹脂微粉末(日
本合成ゴム製)を平均粒径5.5 μmのものを20重量部、
平均粒径0.5μmのものを10重量部を混合した後、DM
F(ジメチルフォルムアミド)を添加しながら、ホモデ
ィスパー攪拌機で粘度100CPSに調整し、続いて、3本ロ
ールで混練して得た接着剤溶液。
(Example 5) Basically, it is the same as Example 1, and the following was used as an adhesive solution. Bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell, Epicoat 828) 50 parts by weight, polyether sulfone (PES) (manufactured by ICI, trade name: Victrex)
50 parts by weight, 5 parts by weight of an imidazole-based curing agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN) and 20 parts by weight of a rubber-based resin fine powder (manufactured by Nippon Synthetic Rubber) having an average particle size of 5.5 μm,
After mixing 10 parts by weight of an average particle size of 0.5 μm, DM
An adhesive solution obtained by adjusting the viscosity to 100 CPS with a homodisper stirrer while adding F (dimethylformamide), and then kneading with three rolls.

【0091】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを実施例1と同様に硬化して得ら
れた硬化物は、その断面をPESを溶解させる塩化メチ
レンでエッチングしてSEM観察したところ、平均粒径
2〜5μm程度のエポキシ樹脂リッチと考えられる球状
物が見られた。しかも、この樹脂マトリックスは、エポ
キシリッチの球状物がPESリッチのベースに浮かんだ
いわゆる海−島構造(球状ドメイン構造)であった(図
4参照)。
The cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example in the same manner as in Example 1 was etched on its cross section with methylene chloride to dissolve PES, and then subjected to SEM. As a result of observation, a spherical product having an average particle size of about 2 to 5 μm, which is considered to be rich in epoxy resin, was observed. Moreover, the resin matrix had a so-called sea-island structure (spherical domain structure) in which epoxy-rich spheres floated on the PES-rich base (see FIG. 4).

【0092】(実施例6) (1) ガラスエポキシ銅張積層板(東芝ケミカル製)上に
感光性ドライフィルム(デュポン製)をラミネートし、
所望の導体回路パターンが描画されたマスクフィルムを
通して紫外線露光させ画像を焼き付けた。次いで、1,1,
1-トリクロロエタンで現像を行い、塩化第二銅エッチン
グ液を用いて非導体部の銅を除去した後、メチレンクロ
リドでドライフィルムを剥離した。これにより基板上に
複数の導体パターンからなる第1層導体回路を有する配
線板を作成した。 (2) アルミナ粒子(日本軽金属製、商品名;AX34、平
均粒径3.9 μm)200gを、5lのアセトン中に分散させ
て得たアルミナ粒子懸濁液中へ、ヘンシェルミキサー内
で攪拌しながら、アセトン1lに対してエポキシ樹脂
(三井石油化学製)を30g の割合で溶解させたアセトン
溶液中にアルミナ粉末(日本軽金属製、商品名;AX3
4、平均粒径0.5 μm)300gを分散させて得た懸濁液を
滴下することにより、上記アルミナ粒子表面にアルミナ
粉末を付着せしめた後、上記アセトンを除去し、その
後、150 ℃に加熱して、アルミナ疑似粒子を作成した。
この疑似粒子は、平均粒径が約4.3 μmであり、約75重
量%が、平均粒径を中心として±2μmの範囲に存在し
ていた。 (3) クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(油化シェル
製、エポキシ当量210 、分子量2000)の50%アクリル化
物を70重量部、ポリエーテルスルホン(PES)30重量
部、ジアリルテレフタレート15重量部、2-メチル-1-
[4-(メチルチオ)フェニル]-2- モリフォリノプロパ
ノン-1(チバ・ガイギー製)4重量部、イミダゾール系
硬化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)4重量部、お
よび前記(2)で作成したアルミナ疑似粒子50重量部を混
合した後、ブチルセロソルブを添加しながら、ホモディ
スパー攪拌機で粘度250cpsに調整し、続いて、3本ロー
ルで混練して感光性の接着剤溶液を調製した。 (4) この感光性の接着剤溶液を、前記(1) で作成した配
線板上に、ロールコーターを用いて塗布し、水平状態で
20分間放置してから、70℃で乾燥させて厚さ約50μmの
感光性の接着剤層を形成した。 (5) 前記(4) の処理を施した配線板に、100 μmφの黒
円が印刷されたフォトマスクフィルムを密着させ、超高
圧水銀灯500mj /cm2 で露光した。これをDMDG(ジ
エチレングリコールジメチルエーテル)溶液で超音波現
像処理することにより、配線板上に100 μmφのバイア
ホールとなる開口を形成した。さらに、前記配線板を超
高圧水銀灯により約3000mj/cm2 で露光し、100℃で1
時間、150℃で5時間の加熱処理することにより、フォ
トマスクフィルムに相当する寸法精度に優れた開口を有
する接着剤層を形成した。 (6) 前記(5) の処理を施した配線板を、フッ酸で処理し
た後、過マンガン酸カリウム(KMnO4 ,500g/l )に70
℃で15分間浸漬して接着剤層の表面を粗化し、次いで、
中和溶液(シプレイ製)に浸漬した後水洗した。 (7) 接着剤層の表面を粗化した基板にパラジウム触媒
(シプレイ製)を付与して接着剤層の表面を活性化さ
せ、その後、表2に示す組成のアディティブ用無電解め
っき液に11時間浸漬して、めっき膜の厚さが25μmの無
電解銅めっきを施した。 (8) 前記(4) 〜(7) までの工程を2回繰り返した後に、
さらに前記(1) の工程を行うことにより、配線層が4層
のビルドアップ多層配線板を製造した(図5参照)。
Example 6 (1) A photosensitive dry film (manufactured by DuPont) was laminated on a glass epoxy copper-clad laminate (manufactured by Toshiba Chemical).
The image was printed by exposing to ultraviolet light through a mask film on which a desired conductive circuit pattern was drawn. Then, 1,1,
After developing with 1-trichloroethane and removing copper in the non-conductive portion using a cupric chloride etching solution, the dry film was peeled off with methylene chloride. As a result, a wiring board having a first-layer conductor circuit including a plurality of conductor patterns on the substrate was prepared. (2) 200 g of alumina particles (trade name: AX34, manufactured by Nippon Light Metal Co., Ltd., average particle size: 3.9 μm) were stirred into a suspension of alumina particles obtained by dispersing in 5 l of acetone in a Henschel mixer while stirring. Alumina powder (manufactured by Nippon Light Metal Co., Ltd .; trade name: AX3)
4. A suspension obtained by dispersing 300 g of an average particle diameter of 0.5 μm) was added dropwise to adhere the alumina powder to the surface of the alumina particles, the acetone was removed, and then heated to 150 ° C. Thus, alumina pseudo particles were prepared.
The pseudo particles had an average particle size of about 4.3 μm, and about 75% by weight was present in a range of ± 2 μm around the average particle size. (3) 70 parts by weight of a 50% acrylate of a cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell, epoxy equivalent 210, molecular weight 2000), polyethersulfone (PES) 30 parts by weight, diallyl terephthalate 15 parts by weight, 2-methyl -1-
4 parts by weight of [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1 (manufactured by Ciba-Geigy), 4 parts by weight of an imidazole-based curing agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name; 2E4MZ-CN), and After mixing 50 parts by weight of the alumina pseudo particles prepared in (2), while adding butyl cellosolve, the viscosity was adjusted to 250 cps with a homodisper stirrer, and then kneaded with three rolls to obtain a photosensitive adhesive solution. Prepared. (4) This photosensitive adhesive solution is applied to the wiring board prepared in the above (1) using a roll coater, and
After leaving it for 20 minutes, it was dried at 70 ° C. to form a photosensitive adhesive layer having a thickness of about 50 μm. (5) A photomask film on which a black circle of 100 μmφ was printed was brought into close contact with the wiring board subjected to the treatment of (4), and was exposed with an ultrahigh pressure mercury lamp of 500 mj / cm 2 . This was subjected to ultrasonic development treatment with a DMDG (diethylene glycol dimethyl ether) solution to form an opening serving as a 100 μmφ via hole on the wiring board. Further, the wiring board was exposed to light at about 3000 mj / cm 2 by an ultra-high pressure mercury lamp.
By performing a heat treatment at 150 ° C. for 5 hours for 5 hours, an adhesive layer having an opening with excellent dimensional accuracy corresponding to a photomask film was formed. (6) After the wiring board treated in the above (5) is treated with hydrofluoric acid, 70% potassium permanganate (KMnO 4 , 500 g / l) is added.
C. for 15 minutes to roughen the surface of the adhesive layer,
After being immersed in a neutralization solution (manufactured by Shipley), it was washed with water. (7) A palladium catalyst (manufactured by Shipley) is applied to the substrate having the surface of the adhesive layer roughened to activate the surface of the adhesive layer. After immersion for an hour, electroless copper plating with a plating film thickness of 25 μm was performed. (8) After repeating the steps (4) to (7) twice,
Further, by performing the step (1), a build-up multilayer wiring board having four wiring layers was manufactured (see FIG. 5).

【0093】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを上記条件で硬化して得られた硬
化物は、その断面を塩化メチレンでエッチングしてSE
M観察したところ、平均粒径 0.2〜2μmのエポキシ樹
脂リッチと考えられる球状物の連続構造(共連続構造)
が見られた(図6参照)。また、上記アルミナ疑似粒子
を混合しない樹脂組成の混合物を硬化して得られた硬化
物は、振動周波数6.28 rad/sec 、昇温速度5℃/分の
条件で粘弾性測定試験を行ったところ、ガラス転移温度
Tg のピークが2つであった(図7参照)。従って、本
実施例で用いた接着剤の樹脂マトリックスは、共連続構
造を呈していると考えられる。
The cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example under the above conditions was etched by methylene chloride on the cross section, and the SE was removed.
Observation of M revealed that the continuous structure (co-continuous structure) of spherical objects considered to be rich in epoxy resin with an average particle size of 0.2 to 2 μm
(See FIG. 6). The cured product obtained by curing the mixture of the resin composition not mixed with the alumina pseudo particles was subjected to a viscoelasticity measurement test under the conditions of a vibration frequency of 6.28 rad / sec and a heating rate of 5 ° C./min. The glass transition temperature Tg had two peaks (see FIG. 7). Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a bicontinuous structure.

【0094】(実施例7) (1) ガラスエポキシ銅張積層板(東芝ケミカル製)上に
感光性ドライフィルム(デュポン製)をラミネートし、
所望の導体回路パターンが描画されたマスクフィルムを
通して紫外線露光させ画像を焼き付けた。次いで、1,1,
1-トリクロロエタンで現像を行い、塩化第二銅エッチン
グ液を用いて非導体部の銅を除去した後、メチレンクロ
リドでドライフィルムを剥離した。これにより基板上に
複数の導体パターンからなる第1層導体回路を有する配
線板を作成した。 (2) DMDG(ジエチレングリコールジメチルエーテ
ル)に溶解したクレゾールノボラック型エポキシ樹脂の
エポキシ基の25%をアクリル化した感光性付与のエポキ
シオリゴマー(CNA25、分子量4000)、PES(分子
量17000 )、イミダゾール系硬化剤(四国化成製、商品
名;2E4MZ-CN)、感光性モノマーであるアクリル化イソ
チオシアネート(東亜合成製、商品名;アロニックスM
215 )、光開始剤(チバガイギー製、商品名:I-907 )
を用い、下記組成でNMP溶剤を用いて混合し、さらに
この混合物に対してゴム系樹脂微粉末(日本合成ゴム
製)を平均粒径5.5 μmのものを20重量部、平均粒径0.
5 μmのものを10重量部を混合した後、ホモディスパー
攪拌機で粘度120CPSに調整し、続いて、3本ロールで混
練して感光性の接着剤溶液を得た。 樹脂組成:感光化エポキシ/PES /M215 /I-907 /イミダゾール =75/25/10/5/5/5 (3) この感光性の接着剤溶液を、前記(1) で作成した配
線板上に、ロールコーターを用いて塗布し、水平状態で
20分間放置してから、60℃で乾燥を行なった。 (4) 前記(3) の処理を施した配線板に、100 μmφの黒
円が印刷されたフォトマスクフィルムを密着させ、超高
圧水銀灯500mj /cm2 で露光した。これをDMDG溶液
で超音波現像処理することにより、配線板上に100 μm
φのバイアホールとなる開口を形成した。さらに、前記
配線板を超高圧水銀灯により約3000mj/cm2 で露光し、
100 ℃で1時間、150 ℃で5時間の加熱処理することに
より、フォトマスクフィルムに相当する寸法精度に優れ
た開口を有する厚さ50μmの接着剤層を形成した。 (5) 前記(4) の処理を施した配線板を、過マンガン酸カ
リウム(KMnO4 ,500g/l )に70℃で15分間浸漬して接
着剤層の表面を粗化し、次いで、中和溶液(シプレイ
製)に浸漬した後水洗した。 (6) 接着剤層の表面を粗化した基板にパラジウム触媒
(シプレイ製)を付与して接着剤層の表面を活性化さ
せ、その後、表2に示す組成のアディティブ用無電解め
っき液に11時間浸漬して、めっき膜の厚さが25μmの無
電解銅めっきを施した。 (7) 前記(3) 〜(6) までの工程を2回繰り返した後に、
さらに前記(1) の工程を行うことにより、配線層が4層
のビルドアップ多層配線板を製造した。
Example 7 (1) A photosensitive dry film (manufactured by DuPont) was laminated on a glass epoxy copper-clad laminate (manufactured by Toshiba Chemical).
The image was printed by exposing to ultraviolet light through a mask film on which a desired conductive circuit pattern was drawn. Then, 1,1,
After developing with 1-trichloroethane and removing copper in the non-conductive portion using a cupric chloride etching solution, the dry film was peeled off with methylene chloride. As a result, a wiring board having a first-layer conductor circuit including a plurality of conductor patterns on the substrate was prepared. (2) A cresol novolak type epoxy resin dissolved in DMDG (diethylene glycol dimethyl ether) 25% of the epoxy groups of the cresol novolak type epoxy resin is acrylated to impart photosensitivity (CNA25, molecular weight 4000), PES (molecular weight 17000), imidazole-based curing agent ( 2E4MZ-CN, manufactured by Shikoku Chemicals, acrylated isothiocyanate, a photosensitive monomer (trade name, manufactured by Toagosei, Aronix M)
215), photoinitiator (Ciba Geigy, trade name: I-907)
And an NMP solvent having the following composition, and further, 20 parts by weight of a rubber-based resin fine powder (manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.) having an average particle size of 5.5 μm and an average particle size of 0.
After mixing 10 parts by weight of 5 μm, the viscosity was adjusted to 120 CPS with a homodisper stirrer, followed by kneading with three rolls to obtain a photosensitive adhesive solution. Resin composition: photosensitized epoxy / PES / M215 / I-907 / imidazole = 75/25/10/5/5/5/5 (3) Apply this photosensitive adhesive solution to the wiring board prepared in (1) above. And apply it using a roll coater.
After standing for 20 minutes, drying was performed at 60 ° C. (4) A photomask film having a black circle of 100 μmφ printed thereon was brought into close contact with the wiring board subjected to the treatment of (3), and was exposed with an ultrahigh pressure mercury lamp of 500 mj / cm 2 . This is subjected to ultrasonic development processing with a DMDG solution, so that a 100 μm
An opening to be a via hole of φ was formed. Further, the wiring board is exposed at about 3000 mj / cm 2 by an ultra-high pressure mercury lamp,
By performing a heat treatment at 100 ° C. for 1 hour and at 150 ° C. for 5 hours, a 50 μm-thick adhesive layer having openings having excellent dimensional accuracy corresponding to a photomask film was formed. (5) The wiring board subjected to the treatment of (4) is immersed in potassium permanganate (KMnO 4 , 500 g / l) at 70 ° C. for 15 minutes to roughen the surface of the adhesive layer, and then neutralized. After being immersed in a solution (made by Shipley), it was washed with water. (6) A palladium catalyst (manufactured by Shipley) is applied to the substrate having the surface of the adhesive layer roughened to activate the surface of the adhesive layer. After immersion for an hour, electroless copper plating with a plating film thickness of 25 μm was performed. (7) After repeating the steps (3) to (6) twice,
Further, by performing the step (1), a build-up multilayer wiring board having four wiring layers was manufactured.

【0095】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを、上記条件で乾燥、UV硬化、
熱硬化して得られた硬化物は、実施例1と同様にTEM
観察したところ、平均粒径 0.1μm以下の樹脂粒子が見
られた。また、上記ゴム系樹脂微粉末を混合しない樹脂
組成の混合物を硬化して得られた硬化物は、振動周波数
6.28 rad/sec 、昇温速度5℃/分の条件で粘弾性測定
試験を行ったところ、ガラス転移温度Tg のピークが1
つであった。従って、本実施例で用いた接着剤の樹脂マ
トリックスは、擬似均一相溶構造を呈していると考えら
れる(図3参照)。なお、図8および図9には、それぞ
れ硬化前と硬化後の接着剤層のSEM断面写真を示し
た。
Only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example was dried, UV cured,
The cured product obtained by heat curing was subjected to TEM in the same manner as in Example 1.
Upon observation, resin particles having an average particle size of 0.1 μm or less were observed. Further, a cured product obtained by curing a mixture of a resin composition in which the rubber-based resin fine powder is not mixed has a vibration frequency
A viscoelasticity measurement test was conducted under the conditions of 6.28 rad / sec and a heating rate of 5 ° C./min.
Was one. Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a pseudo-homogeneous compatible structure (see FIG. 3). 8 and 9 show SEM cross-sectional photographs of the adhesive layer before and after curing, respectively.

【0096】(実施例8) 基本的には実施例7と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂のエポキシ基の25%をアクリル化した感光性付与のエ
ポキシオリゴマー(CNA25、分子量4000)、PES
(分子量17000 )、イミダゾール系硬化剤(四国化成
製、商品名;2E4MZ-CN)、感光性モノマーであるアクリ
ル化イソチオシアネート(東亜合成製、商品名;アロニ
ックスM215)、光開始剤(チバガイギー製、商品名:I
-907 )を用い、下記組成でNMP(ジメチルホルムア
ミド)を用いて混合し、さらにこの混合物に対してゴム
系樹脂微粉末(日本合成ゴム製)を平均粒径5.5 μmの
ものを20重量部、平均粒径0.5μmのものを10重量部を
混合した後、ホモディスパー攪拌機で粘度120CPSに調整
し、続いて、3本ロールで混練して得た感光性の接着剤
溶液。 樹脂組成:感光化エポキシ/PES/M215/I-907 /イミダゾール =75/25/10/5/5 この接着剤の硬化は、80℃で乾燥を行い、これをUV硬
化させた後、熱硬化して行った。
(Example 8) Basically, it is the same as Example 7, and the following was used as the adhesive solution. Epoxy oligomer with photosensitization (CNA25, molecular weight 4000), in which 25% of epoxy groups of cresol novolac type epoxy resin are acrylated, PES
(Molecular weight: 17000), imidazole-based curing agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN), acrylated isothiocyanate as a photosensitive monomer (manufactured by Toagosei, trade name: ARONIX M215), photoinitiator (manufactured by Ciba Geigy, Product Name: I
-907), using NMP (dimethylformamide) with the following composition, and further adding 20 parts by weight of a rubber-based resin fine powder (manufactured by Nippon Synthetic Rubber) with an average particle size of 5.5 μm to the mixture. A photosensitive adhesive solution obtained by mixing 10 parts by weight of an average particle diameter of 0.5 μm, adjusting the viscosity to 120 CPS with a homodisper stirrer, and kneading with a three-roll mill. Resin composition: photosensitized epoxy / PES / M215 / I-907 / imidazole = 75/25/10/5/5 This adhesive is cured at 80 ° C, UV cured, and then heat cured. I went.

【0097】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを上記条件で乾燥硬化して得られ
た硬化物は、その断面を塩化メチレンでエッチングして
SEM観察したところ、平均粒径0.2 〜2μmのエポキ
シ樹脂リッチと考えられる球状物の連続構造(共連続構
造)が見られた。
The cured product obtained by drying and curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example under the above conditions was etched with methylene chloride, and the cross section thereof was observed by SEM. A continuous structure (co-continuous structure) of spheres having a diameter of 0.2 to 2 μm and considered to be rich in epoxy resin was observed.

【0098】(実施例9) 基本的には実施例7と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂のエポキシ基の25%をアクリル化した感光性付与のエ
ポキシオリゴマー(CNA25、分子量4000)、PES
(分子量17000 )、イミダゾール系硬化剤(四国化成
製、商品名;2E4MZ-CN)、感光性モノマーであるアクリ
ル化イソチオシアネート(東亜合成製、商品名;アロニ
ックスM215)、光開始剤(チバガイギー製、商品名;I
-907 )を用い、下記組成でNMPを用いて混合し、さ
らにこの混合物に対してゴム系樹脂微粉末を平均粒径5.
5μmのものを20重量部、平均粒径0.5 μmのものを10
重量部を混合した後、ホモディスパー攪拌機で粘度120C
PSに調整し、続いて、3本ロールで混練して得た感光性
の接着剤溶液。 樹脂組成:感光化エポキシ/PES/M215/I-907/イミダゾール =75/25/10/5/5 この接着剤の硬化は、100 ℃で乾燥を行い、これをUV
硬化させた後、熱硬化して行った。
Example 9 Basically, it was the same as Example 7, and the following was used as the adhesive solution. Epoxy oligomer with photosensitization (CNA25, molecular weight 4000), in which 25% of epoxy groups of cresol novolac type epoxy resin are acrylated, PES
(Molecular weight: 17000), imidazole-based curing agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN), acrylated isothiocyanate as a photosensitive monomer (manufactured by Toagosei, trade name: ARONIX M215), photoinitiator (manufactured by Ciba Geigy, Product name; I
-907) and NMP with the following composition, and further, fine rubber-based resin powder was added to this mixture with an average particle size of 5.
20 parts by weight for 5 μm, 10 for average particle size 0.5 μm
After mixing parts by weight, the viscosity is 120C with a homodisper stirrer.
A photosensitive adhesive solution obtained by adjusting to PS and then kneading with three rolls. Resin composition: photosensitized epoxy / PES / M215 / I-907 / imidazole = 75/25/10/5/5/5 This adhesive is cured at 100 ° C and dried by UV.
After curing, heat curing was performed.

【0099】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを上記条件で乾燥硬化して得られ
た硬化物は、その断面をPESを溶解させる塩化メチレ
ンでエッチングしてSEM観察したところ、平均粒径2
〜5μm程度のエポキシ樹脂リッチと考えられる球状物
が見られた。しかも、この樹脂マトリックスは、エポキ
シリッチの球状物がPSFリッチのベースに浮かんだい
わゆる海ー島構造(球状ドメイン構造)であった。
The cured product obtained by drying and curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in the present example under the above conditions was etched with methylene chloride for dissolving PES and observed by SEM. However, the average particle size 2
Epoxy resin-rich spheres of about 5 μm were observed. Moreover, the resin matrix had a so-called sea-island structure (spherical domain structure) in which epoxy-rich spheres floated on the PSF-rich base.

【0100】上述した実施例7〜実施例9のように、乾
燥条件を変えることにより、同じ組成の接着剤から疑似
均一相溶解構造、共連続構造、球状ドメイン構造の硬化
物が得られることが判った。この理由は、感光性の接着
剤の場合は、乾燥時点で均一構造であれば、光硬化で迅
速に硬化が行われるため、その後の熱硬化による相分離
が比較的発生しにくいからである。なお、参考までに相
図を図10〜12に示す。これらの相図は、実施例7〜9と
は接着剤の作成条件が異なり、感光化エポキシ/PES /
TMPTA /I-907 /イミダゾール=75/25/20/5/5で行
ったものである。
As in Examples 7 to 9 described above, by changing the drying conditions, a cured product having a quasi-homogeneous phase dissolved structure, a bicontinuous structure, and a spherical domain structure can be obtained from an adhesive having the same composition. understood. The reason for this is that in the case of a photosensitive adhesive, if it has a uniform structure at the time of drying, it is quickly cured by light curing, and phase separation due to subsequent thermal curing is relatively unlikely to occur. The phase diagrams are shown in FIGS. 10 to 12 for reference. These phase diagrams are different from those in Examples 7 to 9 in that the conditions for forming the adhesive are different, and that the sensitized epoxy / PES /
TMPTA / I-907 / imidazole = 75/25/20/5/5.

【0101】(実施例10) 基本的には実施例7と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂(油化シェル製)のエポキシ基の 100%アクリル化し
た感光性エポキシオリゴマー、PES、イミダゾール系
硬化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)、感光性モノ
マーであるアクリル化イソチオシアネート(東亜合成
製、商品名;アロニックスM215 )、光開始剤(チバガ
イギー製、商品名;I-907 )を用い、下記組成でNMP
を用いて混合し、さらにこの混合物に対してゴム系樹脂
微粉末(日本合成ゴム製)を平均粒径5.5 μmのものを
20重量部、平均粒径0.5 μmのものを10重量部を混合し
た後、ホモディスパー攪拌機で粘度120CPSに調整し、続
いて、3本ロールで混練して得た感光性の接着剤溶液。 樹脂組成:感光化エポキシ/PES/M215/I-907/イミダゾール =80/20/10/5/5
(Example 10) Basically, it is the same as Example 7, and the following was used as the adhesive solution. 100% acrylated photosensitive epoxy oligomer of cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell), PES, imidazole-based curing agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN), photosensitive monomer acrylic NMP with the following composition, using fluorinated isothiocyanate (trade name, manufactured by Toagosei Co., Aronix M215) and photoinitiator (trade name, manufactured by Ciba Geigy; trade name: I-907)
, And then finely powder rubber-based resin (Nippon Synthetic Rubber) with an average particle size of 5.5 μm.
A photosensitive adhesive solution obtained by mixing 20 parts by weight and 10 parts by weight having an average particle size of 0.5 μm, adjusting the viscosity to 120 CPS with a homodisper stirrer, and then kneading with three rolls. Resin composition: Photosensitized epoxy / PES / M215 / I-907 / imidazole = 80/20/10/5/5

【0102】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを実施例7と同様に硬化して得ら
れた樹脂は、実施例1と同様にTEM観察したところ、
平均粒径0.1 μm以下の樹脂粒子が見られた。また、上
記ゴム系樹脂微粉末を混合しない樹脂組成の混合物を硬
化して得られた硬化物は、振動周波数6.28 rad/sec 、
昇温速度5℃/分の条件で粘弾性測定試験を行ったとこ
ろ、ガラス転移温度Tg のピークが1つであった。従っ
て、本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリックスは、擬
似均一相溶構造を呈していると考えられる(図3参
照)。
The resin obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example in the same manner as in Example 7 was observed with a TEM in the same manner as in Example 1.
Resin particles having an average particle size of 0.1 μm or less were found. A cured product obtained by curing a mixture of a resin composition not mixed with the rubber-based resin fine powder has a vibration frequency of 6.28 rad / sec,
When a viscoelasticity measurement test was conducted under the condition of a temperature rising rate of 5 ° C./min, one peak of the glass transition temperature Tg was found. Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a pseudo-homogeneous compatible structure (see FIG. 3).

【0103】(実施例11) 基本的には実施例7と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂(油化シェル製)のエポキシ基の 100%アクリル化し
た感光性エポキシオリゴマー、フェノキシ樹脂、イミダ
ゾール系硬化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)、感
光性モノマーであるアクリル化イソチオシアネート(東
亜合成製、商品名;アロニックスM215 )、光開始剤
(チバガイギー製、商品名;I-907 )を用い、下記組成
でDMFを用いて混合し、さらにこの混合物に対して平
均粒径3.5 μmの凝集ゴム系樹脂微粉末(特開平1−30
1775号公報の実施例1に製造方法が開示されているので
参照)を30重量部、混合した後、DMF溶剤を添加しな
がら、ホモディスパー攪拌機で粘度120CPSに調整し、続
いて、3本ロールで混練して得た感光性の接着剤溶液。 樹脂組成:感光化エポキシ/フェノキシ/M215/I-907
/イミダゾール=79/30/10/5/5
(Example 11) Basically the same as in Example 7, the following was used as the adhesive solution. It is a photosensitive epoxy oligomer, phenoxy resin, imidazole-based curing agent (trade name: 2E4MZ-CN), a cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell), which is 100% acrylated. Using acrylated isothiocyanate (trade name; Aronix M215, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) and photoinitiator (trade name: I-907, manufactured by Ciba Geigy), DMF was mixed with the following composition, and the mixture was further averaged. Agglomerated rubber-based resin fine powder having a particle size of 3.5 μm (JP-A-1-30
After mixing 30 parts by weight of the production method disclosed in Example 1 of Japanese Patent Publication No. 1775), the mixture was adjusted to a viscosity of 120 CPS with a homodisper stirrer while adding a DMF solvent. A photosensitive adhesive solution obtained by kneading with Resin composition: photosensitized epoxy / phenoxy / M215 / I-907
/ Imidazole = 79/30/10/5/5

【0104】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを実施例7と同様に硬化して得ら
れた硬化物は、その断面をフェノキ樹脂を溶解させる2
−ブタノンでエッチングしてSEM観察したところ、平
均粒径0.2 〜2μmのエポキシ樹脂リッチと考えられる
球状物の連続構造(共連続構造)が見られた。
The cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example in the same manner as in Example 7 has a cross section in which the phenoxy resin is dissolved.
-Etching with butanone and observation by SEM showed a continuous structure (co-continuous structure) of an epoxy resin-rich spherical material having an average particle size of 0.2 to 2 µm.

【0105】(実施例12) 基本的には実施例7と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂(油化シェル製)のエポキシ基の 100%アクリル化し
た感光性エポキシオリゴマー、PSF、イミダゾール系
硬化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)、感光性モノ
マーであるアクリル化イソチオシアネート(東亜合成
製、商品名;アロニックスM215 )、光開始剤(チバガ
イギー製、商品名;I-907 )を用い、下記組成でDMF
を用いて混合し、さらにこの混合物に対して平均粒径3.
5 μmの凝集ゴム系樹脂微粉末(特開平1−301775号公
報の実施例1に製造方法が開示されているので参照)を
30重量部、混合した後、DMF溶剤を添加しながら、ホ
モディスパー攪拌機で粘度120CPSに調整し、続いて、3
本ロールで混練して得た感光性の接着剤溶液。 樹脂組成:感光化エポキシ/PSF /M215 /I-907 /イミダゾール =60/40/10/5/5
(Example 12) Basically, it is the same as Example 7, and the following was used as the adhesive solution. 100% acrylated photosensitive epoxy oligomer of cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell), PSF, imidazole-based curing agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN), photosensitive monomer acrylic Isothiocyanate (trade name, manufactured by Toagosei Co., Aronix M215), photoinitiator (trade name: I-907, manufactured by Ciba Geigy) and DMF having the following composition
And further mixed with the average particle size of 3.
5 μm agglomerated rubber-based resin fine powder (see the production method disclosed in Example 1 of JP-A-1-301775)
After mixing 30 parts by weight, the viscosity was adjusted to 120 CPS with a homodisper stirrer while adding a DMF solvent.
A photosensitive adhesive solution obtained by kneading with this roll. Resin composition: Photosensitized epoxy / PSF / M215 / I-907 / imidazole = 60/40/10/5/5

【0106】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを実施例7と同様に硬化して得ら
れた硬化物は、その断面をPSFを溶解させる塩化メチ
レンでエッチングしてSEM観察したところ、平均粒径
2〜5μm程度のエポキシ樹脂リッチと考えられる球状
物が見られた。しかも、この樹脂マトリックスは、エポ
キシリッチの球状物がPSFリッチのベースに浮かんだ
いわゆる海−島構造(球状ドメイン構造)であった。
The cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example in the same manner as in Example 7 was etched on its cross section with methylene chloride to dissolve PSF and then subjected to SEM. As a result of observation, spheres thought to be rich in epoxy resin having an average particle size of about 2 to 5 μm were found. Moreover, this resin matrix had a so-called sea-island structure (spherical domain structure) in which epoxy-rich spheres floated on the PSF-rich base.

【0107】(実施例13) 基本的には実施例5と同様であり、ゴム系樹脂微粉末を
ジルコニア(日本触媒化学工業製、商品名;NS−OY−S
)とし、粗化液をフッ酸とした。なお、本実施例で用
いた接着剤の樹脂マトリックスの樹脂構造は、球状ドメ
イン構造であった。 (実施例14) 基本的には実施例8と同様であり、ゴム系樹脂微粉末を
マグネシア(岩谷化学工業製、商品名;MTK-30)とし、
粗化液を6N塩酸とした。なお、本実施例で用いた接着
剤の樹脂マトリックスの樹脂構造は、共連続構造であっ
た。 (実施例15) 基本的には実施例9と同様であり、ゴム系樹脂微粉末を
水酸化アルミニウム(日本軽工業社製、商品名;B103・
T )とし、粗化液をアンモニア水溶液とした。なお、本
実施例で用いた接着剤の樹脂マトリックスの樹脂構造
は、球状ドメイン構造であった。
(Example 13) Basically, it is the same as Example 5, except that zirconia (trade name: NS-OY-S, manufactured by Nippon Shokubai Chemical Industry Co., Ltd.) was used.
), And the roughened liquid was hydrofluoric acid. The resin structure of the resin matrix of the adhesive used in this example was a spherical domain structure. (Example 14) It is basically the same as Example 8, except that the rubber-based resin fine powder is magnesia (trade name: MTK-30, manufactured by Iwatani Chemical Industry Co., Ltd.)
The crude solution was 6N hydrochloric acid. The resin structure of the resin matrix of the adhesive used in this example was a co-continuous structure. (Example 15) Basically, it is the same as Example 9, except that the rubber-based resin fine powder was converted to aluminum hydroxide (trade name; manufactured by Nippon Light Industries Co., Ltd .;
T), and the roughening solution was an aqueous ammonia solution. The resin structure of the resin matrix of the adhesive used in this example was a spherical domain structure.

【0108】(実施例16) 基本的には実施例4と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。ブタジエン−アクリロニトリル共重
合体オリゴマー(CTBN)とビスフェノールA型エポ
キシ樹脂を混合した後、160 ℃で2時間加熱し、エポキ
シ変成CTBNを得、この樹脂液30重量部を、ビスフェ
ノールA型エポキシ樹脂(油化シェル製、エピコート82
8 )65重量部、ポリエーテルスルホン(PES)(IC
I製、商品名;Victrex )35重量部、イミダゾール系硬
化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)5重量部と混合
した後、ジメチルホルムアミド/ブチルセロソルブ(1
/1)混合溶剤を添加しながら、ホモディスパー攪拌機
で粘度100CPSに調整し、続いて、3本ロールで混練して
得た接着剤溶液。
(Example 16) Basically, it is the same as Example 4, and the following was used as an adhesive solution. After mixing a butadiene-acrylonitrile copolymer oligomer (CTBN) and a bisphenol A type epoxy resin, the mixture is heated at 160 ° C. for 2 hours to obtain an epoxy-modified CTBN. Shell, Epicoat 82
8) 65 parts by weight, polyether sulfone (PES) (IC
I, 35 parts by weight of Victrex) and 5 parts by weight of an imidazole-based curing agent (trade name: 2E4MZ-CN, manufactured by Shikoku Chemicals), and then mixed with dimethylformamide / butyl cellosolve (1)
/ 1) An adhesive solution obtained by adjusting the viscosity to 100 CPS with a homodisper stirrer while adding a mixed solvent, and then kneading with three rolls.

【0109】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを実施例4と同様に硬化して得ら
れた硬化物は、その断面をPESを溶解させる塩化メチ
レンでエッチングしてSEM観察したところ、平均粒径
0.2 〜2μmのエポキシ樹脂リッチと考えられる球状物
の連続構造(共連続構造)が見られた。また、この樹脂
マトリックスをSEMで観察したところ、樹脂マトリッ
クスの海の中には、ブタジエン−アクリロニトリル共重
合体ゴム樹脂の「島構造」が観察された。
A cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example in the same manner as in Example 4 was etched in methylene chloride for dissolving PES, and subjected to SEM. Observed, average particle size
A continuous structure (co-continuous structure) of spherical objects considered to be rich in epoxy resin of 0.2 to 2 μm was observed. When this resin matrix was observed by SEM, an “island structure” of a butadiene-acrylonitrile copolymer rubber resin was observed in the sea of the resin matrix.

【0110】(実施例17) 基本的には実施例5と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。ブタジエン−アクリロニトリル共重
合体オリゴマー(CTBN)とビスフェノールA型エポ
キシ樹脂を混合した後、160 ℃で2時間加熱し、エポキ
シ変成CTBNを得、この樹脂液30重量部を、ビスフェ
ノールA型エポキシ樹脂(油化シェル製、エピコート82
8 )50重量部、ポリエーテルスルホン(PES)(IC
I製、商品名;Victrex )50重量部、イミダゾール系硬
化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)5重量部を混合
した後、DMFを添加しながら、ホモディスパー攪拌機
で粘度100CPSに調整し、続いて、3本ロールで混練して
得た接着剤溶液。
(Example 17) Basically, it is the same as Example 5, and the following was used as the adhesive solution. After mixing a butadiene-acrylonitrile copolymer oligomer (CTBN) and a bisphenol A type epoxy resin, the mixture is heated at 160 ° C. for 2 hours to obtain an epoxy-modified CTBN. Shell, Epicoat 82
8) 50 parts by weight of polyethersulfone (PES) (IC
I, 50 parts by weight of Victrex) and 5 parts by weight of an imidazole-based curing agent (trade name: 2E4MZ-CN, manufactured by Shikoku Chemicals Co.) Then, an adhesive solution obtained by kneading with three rolls.

【0111】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを実施例5と同様に硬化して得ら
れた硬化物は、その断面をPESを溶解させる塩化メチ
レンでエッチングしてSEM観察したところ、平均粒径
2〜5μm程度のエポキシ樹脂リッチと考えられる球状
物が見られた。しかも、この樹脂マトリックスは、エポ
キシリッチの球状物がPESリッチのベースに浮かんだ
いわゆる海ー島構造(球状ドメイン構造)であった(図
4参照)。また、この樹脂マトリックスをSEMで観察
したところ、樹脂マトリックスの海の中には、ブタジエ
ン−アクリロニトリル共重合体ゴム樹脂の「島構造」が
観察された。
The cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example in the same manner as in Example 5 was etched on the cross section with methylene chloride to dissolve PES, and then subjected to SEM. As a result of observation, a spherical product having an average particle size of about 2 to 5 μm, which is considered to be rich in epoxy resin, was observed. Moreover, the resin matrix had a so-called sea-island structure (spherical domain structure) in which epoxy-rich spheres floated on the PES-rich base (see FIG. 4). When this resin matrix was observed by SEM, an “island structure” of a butadiene-acrylonitrile copolymer rubber resin was observed in the sea of the resin matrix.

【0112】(実施例18) 基本的には実施例7と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。ブタジエン−アクリロニトリル共重
合体オリゴマー(CTBN)とビスフェノールA型エポ
キシ樹脂を混合した後、160 ℃で2時間加熱し、エポキ
シ変成CTBNを得、この樹脂液30重量部を、DMDG
に溶解したクレゾールノボラック型エポキシ樹脂のエポ
キシ基の25%をアクリル化した感光性付与のエポキシオ
リゴマー(CNA25、分子量4000)、PES(分子量17
000 )、イミダゾール硬化剤(四国化成製、商品名;2E
4MZ-CN)、感光性モノマーであるアクリル化イソチオシ
アネート(東亜合成製、商品名;アロニックスM215
)、光開始剤ベンゾフェノン(BP)(関東化学
製)、光増感剤ミヒラーケトン(関東化学製)を用い、
下記組成でNMPを用いて混合しホモディスパー攪拌機
で粘度120CPSに調整し、続いて、3本ロールで混練して
得た接着剤溶液。 樹脂組成:感光化エポキシ/PES /M215/BP/イミダゾール =75/25/10/5/0.5 /5
(Example 18) Basically, it is the same as Example 7, and the following was used as the adhesive solution. After mixing a butadiene-acrylonitrile copolymer oligomer (CTBN) and a bisphenol A type epoxy resin, the mixture was heated at 160 ° C. for 2 hours to obtain an epoxy-modified CTBN.
Epoxy oligomer (CNA25, molecular weight 4000), sensitized with 25% of the epoxy groups of the cresol novolak type epoxy resin dissolved in water, PES (molecular weight 17)
000), imidazole curing agent (Shikoku Chemicals, trade name; 2E)
4MZ-CN), an acrylated isothiocyanate that is a photosensitive monomer (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd .; Aronix M215)
), A photoinitiator benzophenone (BP) (manufactured by Kanto Chemical), a photosensitizer Michler's ketone (manufactured by Kanto Chemical),
An adhesive solution obtained by mixing with NMP using the following composition, adjusting the viscosity to 120 CPS with a homodisper stirrer, and then kneading with three rolls. Resin composition: Photosensitized epoxy / PES / M215 / BP / imidazole = 75/25/10/5 / 0.5 / 5

【0113】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを、実施例7と同様に硬化して得
られた硬化物は、実施例1と同様にTEM観察したとこ
ろ、平均粒径 0.1μm以下の樹脂粒子が見られた。ま
た、上記ゴム系樹脂を混合しない樹脂組成の混合物を硬
化して得られた硬化物は、振動周波数6.28 rad/sec 、
昇温速度5℃/分の条件で粘弾性測定試験を行ったとこ
ろ、ガラス転移温度Tgのピークが1つであった。従っ
て、本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリックスは、擬
似均一相溶構造を呈していると考えられる(図3参
照)。さらに、この樹脂マトリックスをSEMで観察し
たところ、樹脂マトリックスの海の中には、ブタジエン
−アクリロニトリル共重合体ゴム樹脂の「島構造」が観
察された。
The cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example in the same manner as in Example 7 was observed with a TEM in the same manner as in Example 1. Resin particles having a diameter of 0.1 μm or less were observed. A cured product obtained by curing a mixture of a resin composition not mixed with the rubber-based resin has a vibration frequency of 6.28 rad / sec,
When a viscoelasticity measurement test was performed under the condition of a temperature rising rate of 5 ° C./min, one peak of the glass transition temperature Tg was found. Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a pseudo-homogeneous compatible structure (see FIG. 3). Further, when this resin matrix was observed by SEM, an “island structure” of a butadiene-acrylonitrile copolymer rubber resin was observed in the sea of the resin matrix.

【0114】(実施例19) 基本的には実施例8と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。ブタジエン−アクリロニトリル共重
合体オリゴマー(CTBN)とビスフェノールA型エポ
キシ樹脂を混合した後、160 ℃で2時間加熱し、エポキ
シ変成CTBNを得、この樹脂液30重量部を、DMDG
に溶解したクレゾールノボラック型エポキシ樹脂のエポ
キシ基の25%をアクリル化した感光性付与のエポキシオ
リゴマー(CNA25、分子量4000)、PES(分子量17
000 )、イミダゾール系硬化剤(四国化成製、商品名;
2E4MZ-CN)、感光性モノマーであるアクリル化イソチオ
シアネート(東亜合成製、商品名;アロニックスM215
)、光開始剤(チバガイギー製、商品名;I-907 )を
用い、下記組成でDMFを用いて混合し、ホモディスパ
ー攪拌機で粘度120CPSに調整し、続いて、3本ロールで
混練して得た接着剤溶液。 樹脂組成:感光化エポキシ/PES /M215 /I-907 /イミダゾール =75/25/10/5/5
(Example 19) Basically, it is the same as Example 8, and the following was used as the adhesive solution. After mixing a butadiene-acrylonitrile copolymer oligomer (CTBN) and a bisphenol A type epoxy resin, the mixture was heated at 160 ° C. for 2 hours to obtain an epoxy-modified CTBN.
Epoxy oligomer (CNA25, molecular weight 4000), sensitized with 25% of the epoxy groups of the cresol novolak type epoxy resin dissolved in water, PES (molecular weight 17)
000), imidazole-based curing agent (Shikoku Chemicals, trade name;
2E4MZ-CN), a photosensitive monomer acrylated isothiocyanate (Toagosei Co., Ltd., trade name; ARONIX M215)
), Using a photoinitiator (Ciba Geigy, trade name; I-907), mixing with DMF with the following composition, adjusting the viscosity to 120 CPS with a homodisper stirrer, and kneading with a three-roll mill. Adhesive solution. Resin composition: Photosensitized epoxy / PES / M215 / I-907 / imidazole = 75/25/10/5/5

【0115】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを実施例8と同様に硬化して得ら
れた硬化物は、その断面を塩化メチレンでエッチングし
てSEM観察したところ、平均粒径0.2 〜2μmのエポ
キシ樹脂リッチと考えられる球状物の連続構造(共連続
構造)が見られた。また、この樹脂マトリックスをSE
Mで観察したところ、樹脂マトリックスの海の中には、
ブタジエン−アクリロニトリル共重合体ゴム樹脂の「島
構造」が観察された。
The cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example in the same manner as in Example 8 was etched with methylene chloride and its section was observed by SEM. A continuous structure (co-continuous structure) of spheres thought to be rich in epoxy resin having an average particle size of 0.2 to 2 μm was observed. In addition, this resin matrix is
Observed at M, in the sea of resin matrix,
An "island structure" of the butadiene-acrylonitrile copolymer rubber resin was observed.

【0116】(実施例20) 基本的には実施例9と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。ブタジエン−アクリロニトリル共重
合体オリゴマー(CTBN)とビスフェノールA型エポ
キシ樹脂を混合した後、160 ℃で2時間加熱し、エポキ
シ変成CTBNを得、この樹脂液30重量部を、クレゾー
ルノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の25%をアク
リル化した感光性付与のエポキシオリゴマー(CNA2
5、分子量4000)、PES(分子量17000 )、イミダゾ
ール系硬化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)、感光
性モノマーであるアクリル化イソチオシアネート(東亜
合成製、商品名;アロニックスM215 )、光開始剤(チ
バガイギー製、商品名;I-907 )を用い、下記組成でD
MFを用いて混合し、ホモディスパー攪拌機で粘度120C
PSに調整し、続いて、3本ロールで混練して得た接着剤
溶液。 樹脂組成:感光化エポキシ/PES /M215 /I-907 /イミダゾール =75/25/10/5/5
(Example 20) Basically, it is the same as Example 9, and the following was used as the adhesive solution. After mixing a butadiene-acrylonitrile copolymer oligomer (CTBN) and a bisphenol A type epoxy resin, the mixture is heated at 160 ° C. for 2 hours to obtain an epoxy-modified CTBN. Epoxy oligomer with photosensitization (CNA2
5, molecular weight 4000), PES (molecular weight 17000), imidazole curing agent (Shikoku Chemicals, trade name; 2E4MZ-CN), photosensitive monomer acrylated isothiocyanate (Toa Gosei, trade name; Aronix M215), Using a photoinitiator (Ciba Geigy, trade name; I-907), D
Mix using MF, and homogenize with a homodisper stirrer.
An adhesive solution obtained by adjusting to PS and then kneading with three rolls. Resin composition: Photosensitized epoxy / PES / M215 / I-907 / imidazole = 75/25/10/5/5

【0117】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを実施例9と同様に硬化して得ら
れた硬化物は、その断面をPESを溶解させる塩化メチ
レンでエッチングしてSEM観察したところ、平均粒径
2〜5μm程度のエポキシ樹脂リッチと考えられる球状
物が見られた。しかも、このマトリックス樹脂は、エポ
キシリッチの球状物がPSFリッチのベースに浮かんだ
いわゆる海ー島構造(球状ドメイン構造)であった。ま
た、この樹脂マトリックスをSEMで観察したところ、
樹脂マトリックスの海の中には、ブタジエン−アクリロ
ニトリル共重合体ゴム樹脂の「島構造」が観察された。
The cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in the present embodiment in the same manner as in the ninth embodiment was subjected to SEM by etching the cross section with methylene chloride for dissolving PES. As a result of observation, spheres thought to be rich in epoxy resin having an average particle size of about 2 to 5 μm were found. Moreover, this matrix resin had a so-called sea-island structure (spherical domain structure) in which epoxy-rich spheres floated on the PSF-rich base. Also, when this resin matrix was observed by SEM,
An "island structure" of butadiene-acrylonitrile copolymer rubber resin was observed in the sea of the resin matrix.

【0118】(実施例21) 基本的には実施例7と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂のエポキシ基の25%をアクリル化した感光性付与のエ
ポキシオリゴマー(CNA25、分子量4000)、PES
(分子量17000 )、イミダゾール硬化剤(四国化成製、
商品名;2E4MZ-CN)、感光性モノマーであるアクリル化
イソチオシアネート(東亜合成製、商品名;アロニック
スM215 )、光開始剤(チバガイギー製、商品名;I-90
7 )を用い、下記組成でDMFを用いて混合し、さらに
この混合物に対してエポキシ基末端シリコーン樹脂を25
重量部を混合した後、ホモディスパー攪拌機で粘度120C
PSに調整し、続いて、3本ロールで混練して接着剤溶液
を得た。 樹脂組成:感光化エポキシ/PES /M215 /I-907 /イミダゾール =70/30/10/5/5
(Example 21) Basically, it is the same as Example 7, and the following was used as the adhesive solution. Epoxy oligomer with photosensitization (CNA25, molecular weight 4000), in which 25% of epoxy groups of cresol novolac type epoxy resin are acrylated, PES
(Molecular weight 17000), imidazole curing agent (Shikoku Chemicals,
Trade name: 2E4MZ-CN), photosensitive monomer acrylated isothiocyanate (Toagosei, trade name; Aronix M215), photoinitiator (Chiba Geigy, trade name; I-90)
7), using DMF with the following composition and mixing, and further adding an epoxy group-terminated silicone resin to this mixture.
After mixing parts by weight, the viscosity is 120C with a homodisper stirrer.
It was adjusted to PS, and then kneaded with three rolls to obtain an adhesive solution. Resin composition: Photosensitized epoxy / PES / M215 / I-907 / imidazole = 70/30/10/5/5

【0119】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを実施例7と同様に硬化して得ら
れた硬化物は、実施例1と同様にTEM観察したとこ
ろ、平均粒径 0.1μm以下の樹脂粒子が見られた。ま
た、上記エポキシ基末端シリコーン樹脂を混合しない樹
脂組成の混合物を硬化して得られた硬化物は、振動周波
数6.28 rad/sec 、昇温速度5℃/分の条件で粘弾性測
定試験を行ったところ、ガラス転移温度Tg のピークが
1つであった。従って、本実施例で用いた接着剤の樹脂
マトリックスは、擬似均一相溶構造を呈していると考え
られる。
The cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example in the same manner as in Example 7 was observed with a TEM in the same manner as in Example 1. Resin particles of 0.1 μm or less were observed. A cured product obtained by curing a mixture of a resin composition not mixed with the epoxy group-terminated silicone resin was subjected to a viscoelasticity measurement test under the conditions of a vibration frequency of 6.28 rad / sec and a heating rate of 5 ° C./min. However, there was one peak of the glass transition temperature Tg. Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a pseudo-homogeneous compatible structure.

【0120】(実施例22) (1) クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬
製、商品名;EOCN-104S 、エポキシ当量220 、分子量50
00)65重量部、ポリエーテルスルホン(PES)(IC
I製、商品名;Victrex 、分子量17000 )40重量部、イ
ミダゾール系硬化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)
5重量部および低架橋度のメラミン樹脂粉末を平均粒径
5.5 μmのものを20重量部、平均粒径0.5 μmのものを
10重量部を混合した後、NMPを添加しながら、ホモデ
ィスパー攪拌機で粘度120CPSに調整し、続いて、3本ロ
ールで混練して接着剤溶液を得た。この時の室温での粘
度は、2〜5Pa・s であった。 (2) 接着剤溶液をガラスエポキシ基板の両面に塗布し
て、水平状態で20分間放置してから60℃で乾燥し、100
℃で1時間、150 ℃で5時間、加熱硬化させて厚さ約50
μmの樹脂接着剤層を形成した。 (3) この両面接着剤層を持つ基板を、121 ℃、2気圧、
飽和水蒸気中で2時間放置して、接着剤層表面のメラミ
ン樹脂粉末を分解除去させた。この分解除去前後の電子
顕微鏡(SEM)写真を、図13、14に示す。これらの写
真から明らかなように、分解によって、メラミン樹脂が
小さくなっている。 (4) 樹脂絶縁層の表面を粗化した基板にパラジウム触媒
(シプレイ社製)を付与して絶縁層の表面を活性化さ
せ、その後、無電解銅めっき液に11時間浸漬し、めっき
膜の厚さが25μm無電解銅めっきを施して、両面銅張り
積層板を得た。 (5) この両面銅張り積層板に、スルホールを開けた。 (6) パラジウム核(シプレイ社製)付与した後、フォト
レジストを貼付、露光、現像してめっきレジストを形成
した。 (7) 常法に従い、無電解銅めっきを施し、さらに電解銅
めっきを行い、導体回路部分を形成した。 (8) めっきレジストを剥離した後、塩化第二鉄でエッチ
ングして、パターン間の銅膜を除去してプリント配線板
を製造した。
Example 22 (1) Cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku, trade name; EOCN-104S, epoxy equivalent 220, molecular weight 50)
00) 65 parts by weight, polyether sulfone (PES) (IC
I, product name: Victrex, molecular weight 17000) 40 parts by weight, imidazole-based curing agent (Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN)
5 parts by weight and low cross-linking melamine resin powder average particle size
20 parts by weight of 5.5 μm and 0.5 μm average particle size
After mixing 10 parts by weight, the viscosity was adjusted to 120 CPS with a homodisper stirrer while adding NMP, and then kneaded with three rolls to obtain an adhesive solution. At this time, the viscosity at room temperature was 2 to 5 Pa · s. (2) Apply the adhesive solution to both sides of the glass epoxy board, leave it in a horizontal state for 20 minutes, and dry at 60 ° C.
1 hour at 150 ° C and 5 hours at 150 ° C to a thickness of about 50
A μm resin adhesive layer was formed. (3) The substrate having the double-sided adhesive layer is heated at 121 ° C. and 2 atm.
It was left in saturated steam for 2 hours to decompose and remove the melamine resin powder on the surface of the adhesive layer. FIGS. 13 and 14 show electron microscope (SEM) photographs before and after the decomposition and removal. As is clear from these photographs, the melamine resin is reduced due to the decomposition. (4) A palladium catalyst (manufactured by Shipley Co., Ltd.) is applied to the substrate having the surface of the resin insulating layer roughened to activate the surface of the insulating layer. Then, the substrate is immersed in an electroless copper plating solution for 11 hours to form a plating film. Electroless copper plating having a thickness of 25 μm was performed to obtain a double-sided copper-clad laminate. (5) Through holes were made in this double-sided copper-clad laminate. (6) After applying a palladium nucleus (manufactured by Shipley), a photoresist was stuck, exposed and developed to form a plating resist. (7) According to a conventional method, electroless copper plating was performed, and further, electrolytic copper plating was performed to form a conductor circuit portion. (8) After the plating resist was stripped off, etching was performed with ferric chloride to remove the copper film between the patterns to produce a printed wiring board.

【0121】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを、上記条件で熱硬化して得られ
た硬化物は、実施例1と同様にTEM観察したところ、
平均粒径 0.1μm以下の樹脂粒子が見られた。また、上
記メラミン樹脂粉末を混合しない樹脂組成の混合物を硬
化して得られた硬化物は、振動周波数6.28 rad/sec、
昇温速度5℃/分の条件で粘弾性測定試験を行ったとこ
ろ、ガラス転移温度Tg のピークが1つであった。従っ
て、本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリックスは、擬
似均一相溶構造を呈していると考えられる(図3参
照)。
A cured product obtained by thermosetting only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example under the above conditions was observed by TEM in the same manner as in Example 1.
Resin particles having an average particle size of 0.1 μm or less were observed. The cured product obtained by curing the mixture of the resin composition without mixing the melamine resin powder has a vibration frequency of 6.28 rad / sec,
When a viscoelasticity measurement test was conducted under the condition of a temperature rising rate of 5 ° C./min, one peak of the glass transition temperature Tg was found. Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a pseudo-homogeneous compatible structure (see FIG. 3).

【0122】(実施例23) 基本的には実施例7と同様であり、接着剤溶液として以
下のものを用いた。DMDGに溶解したクレゾールノボ
ラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の25%をアクリル化
した感光性付与のエポキシオリゴマー(CNA25、分子
量4000)、PES(分子量17000 )、イミダゾール系硬
化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)、感光性モノマ
ーであるアクリル化イソチオシアネート(東亜合成製、
商品名;アロニックスM215 )、光開始剤ベンゾフェノ
ン(BP)(関東化学製)、光増感剤ミヒラーケトン(関
東化学製)を用い、さらに酢酸酪酸セルロースの粉末を
加え、下記組成でNMPを用いて混合しホモディスパー
攪拌機で粘度120CPSに調整し、続いて、3本ロールで混
練して得た接着剤溶液。 樹脂組成:感光化エポキシ/PES /M215 /BP /イミダゾール =75/25/10/5/0.5 /5 また、本実施例の粗化条件は、80℃の1M水酸化ナトリ
ウム水溶液に浸漬して、酢酸酪酸セルロースを加水分解
することにより行った。
(Example 23) Basically, it is the same as Example 7, and the following was used as the adhesive solution. A sensitizing epoxy oligomer (CNA 25, molecular weight 4,000), PES (molecular weight 17,000), imidazole-based curing agent (trade name, manufactured by Shikoku Chemicals) in which 25% of epoxy groups of a cresol novolac type epoxy resin dissolved in DMDG are acrylated. 2E4MZ-CN), an acrylated isothiocyanate that is a photosensitive monomer (manufactured by Toa Gosei,
Trade name: Aronix M215), photoinitiator benzophenone (BP) (Kanto Chemical), photosensitizer Michler's ketone (Kanto Chemical), and further powdered cellulose acetate butyrate, mixed with NMP with the following composition An adhesive solution obtained by adjusting the viscosity to 120 CPS with a homodisper stirrer and then kneading with three rolls. Resin composition: photosensitized epoxy / PES / M215 / BP / imidazole = 75/25/10/5 / 0.5 / 5 The roughening conditions in this example are as follows. The reaction was performed by hydrolyzing cellulose acetate butyrate.

【0123】本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スに相当する樹脂のみを実施例7と同様に硬化して得ら
れた硬化物は、実施例1と同様にTEM観察したとこ
ろ、平均粒径 0.1μm以下の樹脂粒子が見られた。ま
た、上記ゴム樹脂を混合しない樹脂組成の混合物を硬化
して得られた硬化物は、振動周波数6.28 rad/sec 、昇
温速度5℃/分の条件で粘弾性測定試験を行ったとこ
ろ、ガラス転移温度Tg のピークが1つであった。従っ
て、本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリックスは、擬
似均一相溶構造を呈していると考えられる。
The cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example in the same manner as in Example 7 was observed with a TEM in the same manner as in Example 1. Resin particles of 0.1 μm or less were observed. A cured product obtained by curing a mixture of a resin composition not mixed with the rubber resin was subjected to a viscoelasticity measurement test under the conditions of a vibration frequency of 6.28 rad / sec and a heating rate of 5 ° C./min. There was one peak of the transition temperature Tg. Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a pseudo-homogeneous compatible structure.

【0124】実施例1〜23にて製造したプリント配線板
における無電解銅めっき膜のピール強度、ならびに層間
樹脂絶縁層の絶縁抵抗とガラス転移温度Tg を測定し
た。さらに、−65℃×30min 〜125 ℃×30min のヒート
サイクル試験を行った。その結果を表3に示す。この表
に示す結果から明らかなように、疑似均一相溶解構造、
共連続構造、球状ドメイン構造を示す樹脂複合体を樹脂
マトリックスとする本発明の接着剤を用いることによ
り、接着強度、絶縁性、耐熱性およびヒートサイクル特
性が従来のものに比べ著しく向上したプリント配線板を
製造することができる。
The peel strength of the electroless copper plating film on the printed wiring boards manufactured in Examples 1 to 23, the insulation resistance of the interlayer resin insulating layer, and the glass transition temperature Tg were measured. Further, a heat cycle test of -65 ° C × 30 min to 125 ° C. × 30 min was performed. Table 3 shows the results. As is clear from the results shown in this table, the quasi-homogeneous phase dissolution structure,
Printed wiring with significantly improved adhesive strength, insulation, heat resistance and heat cycle characteristics by using the adhesive of the present invention using a resin composite of a resin composite exhibiting a bicontinuous structure and a spherical domain structure as compared with the conventional one. Boards can be manufactured.

【0125】[0125]

【表3】 [Table 3]

【0126】なお、上記ピール強度、絶縁抵抗、ガラス
転移温度Tg およびヒートサイクル試験の方法または評
価方法を説明する。 (1) ピール強度 JIS−C−6481 (2) 絶縁抵抗 基板に層間絶縁層を形成し、粗化したのち触媒付与を行
い、次いで、めっきレジストを形成してレジストパター
ンを作成した。その後、無電解めっきを施し、パターン
間の絶縁抵抗を測定した。なお、パターン間絶縁性は、
L/S =75/75μmのくしばパターンにて、80℃/85%/
24V,1000時間後の値を測定した。 (3) ガラス転移温度Tg 動的粘弾性測定により測定した。 (4) ヒートサイクル試験 −65℃×30min 〜125 ℃×30min のヒートサイクル試験
を行い、クラックの発生と層間絶縁層の剥離の有無を調
べ、その耐久サイクル数で評価した。
The above-described peel strength, insulation resistance, glass transition temperature Tg and heat cycle test method or evaluation method will be described. (1) Peel strength JIS-C-6481 (2) An interlayer insulating layer was formed on an insulation resistance substrate, and after roughening, a catalyst was applied, and then a plating resist was formed to form a resist pattern. Thereafter, electroless plating was performed, and the insulation resistance between the patterns was measured. The insulation between patterns is
L / S = 75 ° C / 85% /
The value after 24 hours and 1000 hours was measured. (3) Glass transition temperature Tg Measured by dynamic viscoelasticity measurement. (4) Heat cycle test A heat cycle test was performed at −65 ° C. × 30 min to 125 ° C. × 30 min to check for the occurrence of cracks and peeling of the interlayer insulating layer.

【0127】(実施例24);金属調メラミン化粧板 実施例1〜23では、プリント配線板に関する実施例を
記載したが、本実施例は、この発明の化粧板への応用例
である。 (1) 坪量が10〜80g/m2 の木材パルプ繊維抄造紙に、
メラミン樹脂を含浸させて、これを乾燥させ、厚さ100
μmの含浸紙とした。 (2) クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬
製、商品名;EOCN-104S 、エポキシ当量220 、分子量50
00)65重量部、ポリエーテルスルホン(PES)(IC
I製、商品名;Victrex 、分子量17000 )40重量部、イ
ミダゾール系硬化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)
5重量部および炭酸カルシウム微粉末を平均粒径5.5 μ
mのものを20重量部、平均粒径0.5 μmのものを10重量
部を混合した後、ジメチルホルムアミド/ブチルセロソ
ルブ(1/1)混合溶剤を添加しながら、ホモディスパ
ー攪拌機で粘度120CPSに調整し、続いて、3本ロールで
混練して接着剤溶液を得た。この時の室温での粘度は、
2〜5Pa・s であった。 (3) 合板ボードの表面に前記(2) で得られた接着剤を塗
布し、その後、30℃で真空乾燥し、80℃で2時間、120
℃で5時間、150 ℃で2時間、加熱硬化して厚さ20μm
の接着剤層を形成した。 (4) この接着剤層を6N塩酸に70℃で15分間浸漬して接
着剤層の表面を粗化し、次いで、中和溶液(シプレイ
製)に浸漬したのち水洗して、Rmax =10±5μmの接
着剤層を得た。 (5) 接着剤層の表面を粗化した基板に、パラジウム触媒
(シプレイ製)を付与して接着剤層の表面を活性化さ
せ、常法に従い、無電解銀めっきを行い、表面に厚さ60
μmの銀層を形成した。 (6) この銀層の表面に、前記(1) で得られたメラミン樹
脂含浸紙をオーバーレイ紙として積層した。 (7) さらに、このオーバーレイ紙の上に1〜60μmの凹
凸が設けられた賦型板を積層し、30〜80kg/cm2 の圧力
下で130 〜170 ℃で熱圧着することにより、オーバーレ
イ紙を設けるとともに、その表面にエンボス加工を施し
て、金属光沢を持つメラミン化粧板を得た。
(Example 24): Metallic melamine decorative board In Examples 1 to 23, the embodiments relating to the printed wiring board were described, but this embodiment is an application example of the present invention to a decorative board. (1) Wood pulp fiber paper with a basis weight of 10 to 80 g / m 2
Impregnated with melamine resin, dried it, thickness 100
μm impregnated paper. (2) Cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku, trade name: EOCN-104S, epoxy equivalent 220, molecular weight 50)
00) 65 parts by weight, polyether sulfone (PES) (IC
I, product name: Victrex, molecular weight 17000) 40 parts by weight, imidazole-based curing agent (Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN)
5 parts by weight and fine calcium carbonate powder with an average particle size of 5.5 μm
After mixing 20 parts by weight of m and 10 parts by weight of an average particle diameter of 0.5 μm, the mixture was adjusted to a viscosity of 120 CPS with a homodisper stirrer while adding a mixed solvent of dimethylformamide / butyl cellosolve (1/1). Subsequently, the mixture was kneaded with three rolls to obtain an adhesive solution. At this time, the viscosity at room temperature is
It was 2 to 5 Pa · s. (3) The adhesive obtained in the above (2) is applied to the surface of the plywood board, and then dried in vacuum at 30 ° C, and then dried at 80 ° C for 2 hours.
5 hours at 150 ° C, 2 hours at 150 ° C, cured to 20μm
Was formed. (4) The adhesive layer was immersed in 6N hydrochloric acid at 70 ° C. for 15 minutes to roughen the surface of the adhesive layer, and then immersed in a neutralizing solution (manufactured by Shipley), washed with water, and R max = 10 ± An adhesive layer of 5 μm was obtained. (5) Apply a palladium catalyst (manufactured by Shipley) to the substrate whose surface has been roughened to activate the surface of the adhesive layer. 60
A μm silver layer was formed. (6) On the surface of the silver layer, the melamine resin impregnated paper obtained in the above (1) was laminated as an overlay paper. (7) Further, a shaping plate provided with irregularities of 1 to 60 μm is laminated on the overlay paper, and thermocompression-bonded at 130 to 170 ° C. under a pressure of 30 to 80 kg / cm 2 , to thereby form the overlay paper. And embossing the surface to obtain a melamine decorative plate having a metallic luster.

【0128】このようにして得られたメラミン化粧板
は、表面が透光性で凹凸を持つメラミン樹脂層で形成さ
れているため、この凹凸がレンズの役割を果たして下層
の銀層を浮き上がらせ、銀の光沢が映えて、意匠性に優
れるものであった。しかも、この化粧板に対して、−65
℃×30min 〜125 ℃×30min のヒートサイクル試験を行
ったところ、クラックも剥離も見られなかった。
Since the melamine decorative board thus obtained is formed of a melamine resin layer having a light-transmitting and uneven surface, the unevenness serves as a lens to lift the lower silver layer. The silver luster was shining and the design was excellent. Moreover, for this decorative board, -65
When a heat cycle test was carried out at 30 ° C. × 30 min to 125 ° C. × 30 min, neither crack nor peeling was observed.

【0129】なお、本実施例で用いた接着剤の樹脂マト
リックスに相当する樹脂のみを上記条件で熱硬化して得
られた硬化物は、実施例1と同様にTEM観察したとこ
ろ、平均粒径 0.1μm以下の樹脂粒子が見られた。ま
た、上記炭酸カルシウム微粉末を混合しない樹脂組成の
混合物を硬化して得られた硬化物は、振動周波数6.28 r
ad/sec 、昇温速度5℃/分の条件で粘弾性測定試験を
行ったところ、ガラス転移温度Tg のピークが1つであ
った。従って、本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリッ
クスは、擬似均一相溶構造を呈していると考えられる。
The cured product obtained by thermosetting only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example under the above conditions was observed with a TEM in the same manner as in Example 1. Resin particles of 0.1 μm or less were observed. The cured product obtained by curing the mixture of the resin composition without mixing the calcium carbonate fine powder has a vibration frequency of 6.28 r.
When a viscoelasticity measurement test was performed under the conditions of ad / sec and a heating rate of 5 ° C./min, one peak of the glass transition temperature Tg was found. Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a pseudo-homogeneous compatible structure.

【0130】(実施例25);めっき被覆ギア 本実施例は、この発明のめっき被覆ギアへの応用例であ
る。 (1) ポリイミドを使用して常法に従い、ギア形状の成形
体を作製した。 (2) DMDGに溶解させたクレゾールノボラック型エポ
キシ樹脂のエポキシ基の25%をアクリル化した感光性付
与のエポキシオリゴマー(CNA25、分子量4000)、P
ES(分子量17000 )、イミダゾール系硬化剤(四国化
成製、商品名;2E4MZ-CN)、感光性モノマーであるカプ
ロラクトン変性トリスイソシアヌレート(東亜合成製、
商品名;アロニックスM315 )、光開始剤ベンゾフェノ
ン(BP)、光増感剤ミヒラーケトンを用い、下記組成で
NMPを用いて混合し、さらにこれに加えて、ゴムフィ
ラー(日本合成製)を平均粒径5.0 μmのものを30重量
部混合した後、ホモディスパー攪拌器で粘度1000CPS に
調整し、続いて3本ロールで混練して接着剤溶液を得
た。 樹脂組成:感光化エポキシ/PES /M315 /BP/イミダゾール =70/30/10/5/0.5 /5 (3) 前記(1) で作製したギア形状の成形体に、前記(2)
で調製した接着剤を塗布した後、25℃で真空乾燥を行
い、これをUV硬化し、さらに、熱硬化し、疑似均一相
溶構造を示す樹脂マトリックスからなる接着剤層を形成
した。 (4) 次いで、クロム酸水溶液(CrO3,500g/l)に70℃で
15分間浸漬して接着剤層の表面を粗化し、中和溶液(シ
プレイ製)に浸漬したのち水洗した。粗化面は、JIS-B-
0601 Rmax =10μmであった。 (5) 接着剤層の表面を粗化した基板にパラジウム触媒
(シプレイ製)を付与して接着剤層の表面を活性化させ
た後、常法に従い、ニッケル−リンめっきを行い、金属
光沢を持つギアを製造した。
(Embodiment 25); Plating Gear This embodiment is an application of the present invention to a plating gear. (1) A gear-shaped molded body was produced by using a polyimide according to a conventional method. (2) Photosensitizing epoxy oligomer (CNA25, molecular weight 4000) in which 25% of epoxy groups of cresol novolac type epoxy resin dissolved in DMDG are acrylated, P
ES (molecular weight 17000), imidazole-based curing agent (manufactured by Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN), caprolactone-modified tris isocyanurate as a photosensitive monomer (manufactured by Toa Gosei,
Product name: Aronix M315), photoinitiator benzophenone (BP), photosensitizer Michler's ketone, mixed with NMP with the following composition, and in addition, rubber filler (manufactured by Nippon Gosei) was added. After mixing 30 parts by weight of 5.0 μm, the viscosity was adjusted to 1000 CPS with a homodisper stirrer and then kneaded with three rolls to obtain an adhesive solution. Resin composition: photosensitized epoxy / PES / M315 / BP / imidazole = 70/30/10/5 / 0.5 / 5 (3) The gear-shaped molded body prepared in (1) above was added to (2)
After applying the adhesive prepared in the above, vacuum drying was performed at 25 ° C., this was UV-cured, and further heat-cured to form an adhesive layer composed of a resin matrix having a pseudo-homogeneous compatible structure. (4) Then, the solution was added to chromic acid aqueous solution (CrO 3 , 500 g / l)
The surface of the adhesive layer was roughened by immersion for 15 minutes, immersed in a neutralizing solution (made by Shipley), and then washed with water. The roughened surface is JIS-B-
[0601] R max = 10 µm. (5) After activating the surface of the adhesive layer by applying a palladium catalyst (manufactured by Shipley) to the substrate having the surface of the adhesive layer roughened, nickel-phosphorus plating is performed according to a conventional method to obtain a metallic luster. Made gear with.

【0131】このようにして得られたギアは、酸などの
薬品にも強く、また表面が固いため耐摩耗性に優れてお
り、ギアの使用により表面のニッケル層が剥離すること
もなかった。しかも、ギアの使用に伴う応力によって
も、接着剤層にクラックが発生することもなく、ニッケ
ルめっきが剥がれることもなかった。
The gear thus obtained was resistant to chemicals such as acid, and had excellent abrasion resistance due to its hard surface. The use of the gear did not cause the nickel layer on the surface to peel off. Moreover, cracks did not occur in the adhesive layer due to the stress caused by the use of the gear, and the nickel plating did not peel off.

【0132】なお、本実施例で用いた接着剤の樹脂マト
リックスに相当する樹脂のみを上記条件で硬化して得ら
れた硬化物は、実施例1と同様にTEM観察したとこ
ろ、平均粒径 0.1μm以下の樹脂粒子が見られた。ま
た、上記ゴムフィラーを混合しない樹脂組成の混合物を
硬化して得られた硬化物は、振動周波数6.28 rad/sec
、昇温速度5℃/分の条件で粘弾性測定試験を行った
ところ、ガラス転移温度Tgのピークが1つであった。
従って、本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリックス
は、擬似均一相溶構造を呈していると考えられる。
The cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example under the above conditions was observed with a TEM in the same manner as in Example 1. Resin particles of μm or less were observed. The cured product obtained by curing the mixture of the resin composition without mixing the rubber filler has a vibration frequency of 6.28 rad / sec.
When a viscoelasticity measurement test was conducted under the condition of a temperature rising rate of 5 ° C./min, one peak of the glass transition temperature Tg was found.
Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a pseudo-homogeneous compatible structure.

【0133】(実施例26);ヒートシンク付半導体搭載
基板 本実施例は、この発明のヒートシンク付半導体搭載基板
への応用例である。(1) DMDGに溶解させたクレゾー
ルノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の25%をアク
リル化した感光性付与のエポキシオリゴマー(CNA2
5、分子量4000)、PES(分子量17000 )、イミダゾ
ール系硬化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)、感光
性モノマーであるカプロラクトン変性トリスイソシアヌ
レート(東亜合成製、商品名;アロニックスM315 )、
光開始剤ベンゾフェノン(BP)、光増感剤ミヒラーケト
ンを用い、下記組成でNMPを用いて混合し、さらにこ
れに加えて、窒化アルミニウム粉末を平均粒径5.0 μm
のものを30重量部混合した後、ホモディスパー攪拌器で
粘度1000CPS に調整し、続いて3本ロールで混練して接
着剤溶液を得た。 樹脂組成:感光化エポキシ/PES /M315 /BP/イミダゾール =70/30/10/5/0.5 /5 (2) アルミニウム基板とリードフレームよりなる半導体
搭載用基板の基材に、前記(1) の接着剤溶液を塗布し
て、25℃で真空乾燥を行い、これをUV硬化させた後、
熱硬化し、アルミニウム基板を接着剤層で覆うと同時に
アルミニウム基板とリードフレームを一体化して、疑似
均一相溶構造を示す樹脂マトリックスからなる接着剤層
を形成した。 (3) 接着剤層を形成した上記半導体搭載用基板を水に浸
漬することにより、接着剤層の表面に存在する窒化アル
ミニウム粉末を溶解除去して接着剤層を粗化した。 (4) めっきレジストフィルムを貼付して、露光現像して
めっきレジストを形成し、無電解銅めっきを行ない、表
面に導体回路を形成するとともに、その導体回路により
リードフレームとの電気的接続を行った。 (5) ICチップを搭載した後、ポッティングにより樹脂
封止し、ケーシングすることにより、ヒートシンク付半
導体搭載基板を製造した。
(Embodiment 26): Semiconductor mounting board with heat sink This embodiment is an application example of the present invention to a semiconductor mounting board with heat sink. (1) A photosensitized epoxy oligomer (CNA2) in which 25% of the epoxy groups of a cresol novolak type epoxy resin dissolved in DMDG is acrylated.
5, molecular weight 4000), PES (molecular weight 17000), imidazole curing agent (Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN), caprolactone-modified tris isocyanurate as a photosensitive monomer (Toagosei, trade name; ARONIX M315) ,
Using a photoinitiator benzophenone (BP) and a photosensitizer Michler's ketone, mixing using NMP with the following composition and further adding aluminum nitride powder with an average particle size of 5.0 μm
After mixing 30 parts by weight of the above, the viscosity was adjusted to 1000 CPS with a homodisper stirrer, followed by kneading with three rolls to obtain an adhesive solution. Resin composition: photosensitized epoxy / PES / M315 / BP / imidazole = 70/30/10/5 / 0.5 / 5 (2) The base material of the semiconductor mounting substrate composed of an aluminum substrate and a lead frame was subjected to the above-mentioned (1). Apply the adhesive solution, perform vacuum drying at 25 ° C, and after UV curing,
The aluminum substrate was covered with an adhesive layer by thermosetting, and at the same time, the aluminum substrate and the lead frame were integrated to form an adhesive layer made of a resin matrix having a pseudo-homogeneous compatible structure. (3) The substrate for mounting a semiconductor having the adhesive layer formed thereon was immersed in water to dissolve and remove the aluminum nitride powder present on the surface of the adhesive layer to roughen the adhesive layer. (4) Attach a plating resist film, expose and develop a plating resist to form a plating resist, perform electroless copper plating, form a conductor circuit on the surface, and make an electrical connection with the lead frame using the conductor circuit. Was. (5) After mounting the IC chip, the package was sealed with a resin by potting and then casingd to produce a semiconductor mounting substrate with a heat sink.

【0134】このようにして得られたヒートシンク付半
導体搭載基板は、窒化アルミニウムの熱伝導率が高いこ
とから、放熱性が良好であった。しかも、本実施例の樹
脂マトリックスは、高温、高湿度、高圧条件下で、末端
官能基が分解して酢酸やギ酸などの有機酸を発生する
が、一方で、窒化アルミニムが前記条件下でアンモニア
を発生しながら分解するため、酸を中和でき、被着金属
の腐食を抑制できる。
The semiconductor mounting substrate with a heat sink thus obtained had good heat dissipation because of the high thermal conductivity of aluminum nitride. In addition, the resin matrix of the present example is such that the terminal functional group is decomposed to generate organic acids such as acetic acid and formic acid under high temperature, high humidity and high pressure conditions, while aluminum nitride forms ammonia under the above conditions. The acid is decomposed while generating, so that the acid can be neutralized and the corrosion of the adhered metal can be suppressed.

【0135】なお、本実施例で用いた接着剤の樹脂マト
リックスに相当する樹脂のみを上記条件で硬化して得ら
れた硬化物は、実施例1と同様にTEM観察したとこ
ろ、平均粒径 0.1μm以下の樹脂粒子が見られた。ま
た、上記窒化アルミニウムを混合しない樹脂組成の混合
物を硬化して得られた硬化物は、振動周波数6.28 rad/
sec 、昇温速度5℃/分の条件で粘弾性測定試験を行っ
たところ、ガラス転移温度Tg のピークが1つであっ
た。従って、本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリック
スは、擬似均一相溶構造を呈していると考えられる。
The cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example under the above conditions was observed with a TEM in the same manner as in Example 1. Resin particles of μm or less were observed. The cured product obtained by curing the mixture of the resin composition not mixed with aluminum nitride has a vibration frequency of 6.28 rad /
When a viscoelasticity measurement test was conducted under the conditions of sec and a heating rate of 5 ° C./min, there was one peak of the glass transition temperature Tg. Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a pseudo-homogeneous compatible structure.

【0136】(実施例27);電磁妨害波(EMI)めっ
き被膜シールド 本実施例は、この発明の電磁妨害波(EMI)めっき被
膜シールドへの応用例である。 (1) クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬
製、商品名;EOCN-104S 、エポキシ当量220 、分子量50
00)65重量部、ポリエーテルスルホン(PES)(IC
I製、商品名;Victrex 、分子量17000 )40重量部、イ
ミダゾール系硬化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)
5重量部およびニッケル微粉末を平均粒径5.5 μmのも
のを20重量部、平均粒径0.5 μmのものを10重量部を混
合した後、ジメチルホルムアミド/ブチルセロソルブ
(1/1)混合溶剤を添加しながら、ホモディスパー攪
拌機で粘度120CPSに調整し、続いて、3本ロールで混練
して接着剤溶液を得た。この時の室温での粘度は、2〜
5Pa・s であった。 (2) この接着剤溶液をローラーコーター(サーマトロニ
クス貿易製)を使用して濾紙に塗布し、その後、80℃で
2時間、120 ℃で5時間、150 ℃で2時間、乾燥硬化し
て厚さ20μmの接着剤層を形成した。 (3) 接着剤層を形成した上記濾紙を、塩酸に70℃で15分
間浸漬して接着剤層の表面を粗化し、次いで、中和溶液
(シプレイ製)に浸漬したのち水洗した。粗化面は、JI
S-B-0601 Rmax =10μmであった。 (4) 接着剤層の表面を粗化した基板にパラジウム触媒
(シプレイ製)を付与して接着剤層の表面を活性化さ
せ、次いで常法に従い、ニッケルめっきを行った。
(Embodiment 27) Electromagnetic Interference (EMI) Plating Shield This embodiment is an application of the present invention to an electromagnetic interference (EMI) plating shield. (1) Cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku, trade name: EOCN-104S, epoxy equivalent 220, molecular weight 50)
00) 65 parts by weight, polyether sulfone (PES) (IC
I, product name: Victrex, molecular weight 17000) 40 parts by weight, imidazole-based curing agent (Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN)
After mixing 5 parts by weight and 20 parts by weight of nickel fine powder having an average particle size of 5.5 μm and 10 parts by weight having an average particle size of 0.5 μm, a mixed solvent of dimethylformamide / butyl cellosolve (1/1) was added. While adjusting the viscosity to 120 CPS with a homodisper stirrer, the mixture was kneaded with three rolls to obtain an adhesive solution. At this time, the viscosity at room temperature is 2 to
It was 5 Pa · s. (2) This adhesive solution was applied to filter paper using a roller coater (manufactured by Thermotronics Trading), and then dried and cured at 80 ° C for 2 hours, 120 ° C for 5 hours, and 150 ° C for 2 hours. An adhesive layer having a thickness of 20 μm was formed. (3) The filter paper on which the adhesive layer was formed was immersed in hydrochloric acid at 70 ° C. for 15 minutes to roughen the surface of the adhesive layer, and then immersed in a neutralizing solution (manufactured by Shipley) and then washed with water. The rough surface is JI
SB-0601 R max = 10 μm. (4) A palladium catalyst (manufactured by Shipley) was applied to the substrate whose surface was roughened to activate the surface of the adhesive layer, and then nickel plating was performed according to a conventional method.

【0137】このようにして得られた電磁妨害波(EM
I)シールド材は、接着剤自体にもニッケルが含有され
ており、めっき膜にもシールド効果があり、これらが多
重構造になっているのでシールド特性に優れている。し
かも、シールド材を曲げても接着剤層にクラックが発生
することがなく、シールド材の加工も容易になる。
The thus obtained electromagnetic interference wave (EM
I) The shielding material also contains nickel in the adhesive itself, has a shielding effect on the plating film, and has a multi-layered structure, so that it has excellent shielding characteristics. Moreover, even if the shield material is bent, no crack is generated in the adhesive layer, and the processing of the shield material is facilitated.

【0138】なお、本実施例で用いた接着剤の樹脂マト
リックスに相当する樹脂のみを上記条件で硬化して得ら
れた硬化物は、実施例1と同様にTEM観察したとこ
ろ、平均粒径 0.1μm以下の樹脂粒子が見られた。ま
た、上記ニッケル微粉末を混合しない樹脂組成の混合物
を硬化して得られた硬化物は、振動周波数6.28 rad/se
c、昇温速度5℃/分の条件で粘弾性測定試験を行った
ところ、ガラス転移温度Tg のピークが1つであった。
従って、本実施例で用いた接着剤の樹脂マトリックス
は、擬似均一相溶構造を呈していると考えられる。
The cured product obtained by curing only the resin corresponding to the resin matrix of the adhesive used in this example under the above conditions was observed with a TEM in the same manner as in Example 1. Resin particles of μm or less were observed. A cured product obtained by curing a mixture of a resin composition not mixed with the nickel fine powder has a vibration frequency of 6.28 rad / se.
c) When a viscoelasticity measurement test was conducted under the condition of a temperature rising rate of 5 ° C./min, there was one peak of the glass transition temperature Tg.
Therefore, it is considered that the resin matrix of the adhesive used in this example has a pseudo-homogeneous compatible structure.

【0139】(実施例28);スクリュー (1) ポリカーボーネートにてスクリュー形状の基体を
成形した。 (2) クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬
製、商品名;EOCN-104S、エポキシ当量220 、分子量500
0)65重量部、ポリエーテルスルホン(PES)(IC
I製、商品名;Victrex 、分子量17000 )40重量部、イ
ミダゾール系硬化剤(四国化成製、商品名;2E4MZ-CN)
5重量部および塩化ビニル樹脂粉末を平均粒径5.5 μm
のものを20重量部、平均粒径0.5 μmのものを10重量部
を混合した後、ホモディスパー攪拌機で攪拌、続いて、
3本ロールで混練して接着剤溶液を得た。 (3) この接着剤溶液に前記(1) のスクリュー形状の基体
を浸漬して、その後、80℃で2時間、120 ℃で5時間、
150 ℃で2時間、乾燥硬化して厚さ20μmの接着剤層を
形成した。この硬化された接着剤層は、その破面を塩化
メチレンによりエッチングしてSEM観察した結果、球
状ドメイン構造となっていた。 (4) 次に、アセトン中に浸漬して、接着剤層表面の塩化
ビニル樹脂粉末を溶解除去して、接着剤層の表面を粗化
した。 (5) この接着剤層の表面にパラジウム触媒(シプレイ
製)を付与して接着剤層の表面を活性化させ、次いで常
法に従い、無電解銀めっきをおこない、スクリューを製
造した。
Example 28: Screw (1) A screw-shaped substrate was formed from polycarbonate. (2) Cresol novolak type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku, trade name: EOCN-104S, epoxy equivalent 220, molecular weight 500)
0) 65 parts by weight, polyether sulfone (PES) (IC
I, product name: Victrex, molecular weight 17000) 40 parts by weight, imidazole-based curing agent (Shikoku Chemicals, trade name: 2E4MZ-CN)
5 parts by weight and vinyl chloride resin powder with an average particle size of 5.5 μm
After mixing 20 parts by weight and 10 parts by weight of an average particle size of 0.5 μm, the mixture was stirred with a homodisper stirrer.
The mixture was kneaded with three rolls to obtain an adhesive solution. (3) The screw-shaped substrate of the above (1) is immersed in the adhesive solution, and then at 80 ° C. for 2 hours and at 120 ° C. for 5 hours.
It was dried and cured at 150 ° C. for 2 hours to form an adhesive layer having a thickness of 20 μm. The cured adhesive layer had a spherical domain structure as a result of etching the fractured surface with methylene chloride and performing SEM observation. (4) Next, the surface of the adhesive layer was roughened by dissolving and removing the vinyl chloride resin powder on the surface of the adhesive layer by immersion in acetone. (5) A palladium catalyst (manufactured by Shipley) was applied to the surface of the adhesive layer to activate the surface of the adhesive layer, and then electroless silver plating was performed according to a conventional method to produce a screw.

【0140】このようにして得られたスクリューは、表
面が銀であるため、銀の殺菌作用のため藻等が付着しに
くく、また、基体がポリカーボネートの一体成形である
ため、回転の遠心力による破断が生じにくい。しかも、
通常のスクリューは、金属塊から切削により削り出すた
め、コストが嵩むが、本実施例のスクリューは、樹脂で
一体成形できるため、コストも低減できる。さらに、接
着剤層に靱性があるため、回転による歪みによってクラ
ックが発生することがない。
The screw thus obtained has a silver surface, so that it is difficult for algae or the like to adhere due to the sterilizing effect of silver. Further, since the substrate is integrally formed of polycarbonate, the screw is rotated by centrifugal force. Hard to break. Moreover,
A normal screw is cut out from a metal lump by cutting, so that the cost is increased. However, the screw of the present embodiment can be integrally molded with resin, so that the cost can be reduced. Further, since the adhesive layer has toughness, no crack is generated by distortion due to rotation.

【0141】[0141]

【発明の効果】以上説明したように、この発明の接着剤
は、その耐熱性樹脂マトリックスとして、熱硬化性樹脂
および/または感光性樹脂と熱可塑性樹脂との樹脂混合
物であり、硬化処理により擬似均一相溶構造、共連続構
造もしくは球状ドメイン構造のいずれかの樹脂構造を有
する樹脂複合体を形成するように、その相溶状態が調整
されてなるものを用い、かつ、その樹脂混合物に、分解
可能な粒子状物質、無機粒子、金属粒子、エラストマー
粒子、アルカリに可溶性の樹脂粒子および溶剤に可溶性
の樹脂粒子から選ばれる少なくとも1種からなる溶解除
去可能な粒子状物質、あるいは溶解除去可能な樹脂を分
散させたものから構成し、そのような接着剤を適切な硬
化条件のもとで硬化処理して、海−島構造、擬似均一相
溶構造、共連続構造もしくは球状ドメイン構造のいずれ
かの樹脂構造を有する樹脂複合体を形成することができ
るので、耐熱性、電気絶縁性および化学的安定性を低下
させることなく、樹脂マトリックスを強靱化し、接着剤
層と被覆金属との密着性を著しく改善することができ
る。これにより、より高密度でパターン精度の高い配線
においてもピール強度に優れるプリント配線板やその他
の産業部品のための各種金属膜被着体を安定して提供す
ることができる。すなわち、プリント配線板だけでな
く、自動車産業分野では、ディスクブレーキボディ、ク
ラッチハブ、燃料噴射ノズル、燃料輸送パイプ、ギアな
どの各種部品への応用、電気・電子産業分野では、リー
ドフレーム、ハーメチックシール、セラミックパッケー
ジ、コネクター、コンデンサ、抵抗体、ソーラー電極、
ハードディスク等への応用、産業機械産業分野では、ポ
ンプ、バルブ、熱交換器、フィルター、スクリュー、ダ
イス、ベアリング、化粧板などの建築材等への応用が可
能であるなど、金属膜が被覆された各種構造材、部品へ
の応用ができ、産業上有益である。
As described above, the adhesive of the present invention is a thermosetting resin and / or a resin mixture of a photosensitive resin and a thermoplastic resin as its heat-resistant resin matrix. Use a resin complex whose state of compatibility is adjusted so as to form a resin composite having a resin structure of either a homogeneous compatible structure, a co-continuous structure or a spherical domain structure, and decompose into a resin mixture. Dissolvable particulate material comprising at least one selected from the group consisting of particulate matter, inorganic particles, metal particles, elastomer particles, alkali-soluble resin particles and solvent-soluble resin particles, or dissolvable resin The adhesive is cured under appropriate curing conditions to form a sea-island structure, a quasi-homogeneous compatible structure, and a co-continuous structure. Alternatively, it is possible to form a resin composite having a resin structure of any one of a spherical domain structure, so that the resin matrix is toughened without lowering heat resistance, electrical insulation and chemical stability, and the adhesive layer and Adhesion with the coated metal can be significantly improved. This makes it possible to stably provide various types of metal film adherends for printed wiring boards and other industrial components that are excellent in peel strength even in wiring with higher density and higher pattern accuracy. In other words, not only for printed wiring boards, but also in the automotive industry, application to various parts such as disc brake bodies, clutch hubs, fuel injection nozzles, fuel transport pipes, gears, and in the electrical and electronic industries, lead frames, hermetic seals , Ceramic package, connector, capacitor, resistor, solar electrode,
Application to hard disks, etc., in the industrial machinery industry, it is possible to apply to building materials such as pumps, valves, heat exchangers, filters, screws, dies, bearings, decorative boards, etc. It can be applied to various structural materials and parts, and is industrially useful.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】発明にかかるプリント配線板の一実施例を示す
製造工程図である。
FIG. 1 is a manufacturing process diagram showing one embodiment of a printed wiring board according to the present invention.

【図2】発明にかかる擬似均一相溶構造を示す樹脂複合
体の動的粘弾性測定結果を示す図である。
FIG. 2 is a view showing the results of dynamic viscoelasticity measurement of a resin composite having a pseudo-homogeneous compatible structure according to the present invention.

【図3】発明にかかる樹脂複合体の擬似均一相溶構造を
示す結晶構造のTEM写真である。
FIG. 3 is a TEM photograph of a crystal structure showing a quasi-homogeneous compatible structure of the resin composite according to the present invention.

【図4】発明にかかる樹脂複合体の球状ドメイン構造を
示す結晶構造のSEM写真である。
FIG. 4 is an SEM photograph of a crystal structure showing a spherical domain structure of a resin composite according to the present invention.

【図5】発明にかかるプリント配線板の一実施例を示す
他の製造工程図である。
FIG. 5 is another manufacturing process diagram showing one embodiment of the printed wiring board according to the present invention.

【図6】発明にかかる樹脂複合体の共連続構造を示す結
晶構造のSEM写真である。
FIG. 6 is an SEM photograph of a crystal structure showing a bicontinuous structure of the resin composite according to the present invention.

【図7】発明にかかる共連続構造を示す樹脂複合体の動
的粘弾性測定結果を示す図である。
FIG. 7 is a view showing the results of dynamic viscoelasticity measurement of a resin composite having a bicontinuous structure according to the present invention.

【図8】乾燥後硬化前の接着剤層断面の結晶構造を示す
SEM写真である。
FIG. 8 shows a crystal structure of a cross section of the adhesive layer before drying and before curing.
It is a SEM photograph.

【図9】硬化後の接着剤層断面の結晶構造を示すSEM写
真である。
FIG. 9 is an SEM photograph showing a crystal structure of a cross section of an adhesive layer after curing.

【図10】CNA25/PES/TMPTA系混合物の乾燥温度と硬化
後の樹脂複合体の状態との関係を示す相図である。
FIG. 10 is a phase diagram showing the relationship between the drying temperature of the CNA25 / PES / TMPTA-based mixture and the state of the cured resin composite.

【図11】CNA25/PES系混合物の乾燥温度と硬化後の樹
脂複合体の状態との関係を示す相図である。
FIG. 11 is a phase diagram showing the relationship between the drying temperature of a CNA25 / PES-based mixture and the state of the resin composite after curing.

【図12】エポキシ/PES系混合物の乾燥温度と硬化後の
樹脂複合体の状態との関係を示す相図である。
FIG. 12 is a phase diagram showing the relationship between the drying temperature of the epoxy / PES-based mixture and the state of the resin composite after curing.

【図13】分解可能な粒子(低重合度メラミン樹脂)の
分解前の状態を示す接着剤層断面の結晶構造を示すSEM
写真である。
FIG. 13 is a SEM showing a crystal structure of a cross section of an adhesive layer showing a state before decomposition of decomposable particles (melamine resin having a low degree of polymerization).
It is a photograph.

【図14】分解可能な粒子(低重合度メラミン樹脂)の
分解後の状態を示す接着剤層断面の結晶構造を示すSEM
写真である。
FIG. 14 is an SEM showing a crystal structure of a cross section of an adhesive layer showing a state after decomposition of decomposable particles (melamine resin having a low degree of polymerization).
It is a photograph.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 接着剤層 3 レジスト 31 ドライフィルム 4、6、8、10 導体 5 バイアホール 1 substrate 2 adhesive layer 3 Resist 31 Dry film 4, 6, 8, 10 conductors 5 Via Hole

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−25650(JP,A) 特開 平5−29761(JP,A) 特開 平4−325590(JP,A) 特開 昭61−34085(JP,A) 特開 平5−214548(JP,A) 特表 平5−506691(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 3/38 C09J 4/00 C09J 201/00 C23C 18/20 H05K 1/03 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-5-25650 (JP, A) JP-A-5-29761 (JP, A) JP-A-4-325590 (JP, A) JP-A-61-1 34085 (JP, A) JP-A-5-214548 (JP, A) JP-A-5-5066691 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H05K 3/38 C09J 4 / 00 C09J 201/00 C23C 18/20 H05K 1/03

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 基体上に、金属を被覆する側の表面が粗
化された接着剤層を有し、かつその接着剤層の前記粗化
面上に金属膜を設けてなる金属膜被着体において、 前記接着剤層は、熱硬化性樹脂および/または感光性樹
脂と熱可塑性樹脂との樹脂混合物からなる未硬化の耐熱
性樹脂マトリックス中に、分解除去可能な粒子状物質を
分散してなる接着剤を硬化処理することによって形成さ
れ、前記粗化面は、硬化された接着剤層の表面に存在す
る前記分解除去可能な粒子状物質を分解除去することに
よって形成され、 前記樹脂混合物は、硬化処理により擬似均一相溶構造、
共連続構造あるいは球状ドメイン構造のいずれか1つの
樹脂構造を有する樹脂複合体を形成するように、その相
溶性が調整されてなることを特徴とする金属膜被着体
(1)If the surface to be coated with metal has a rough surface
Having a roughened adhesive layer, and the roughening of the adhesive layer
In a metal film adherend having a metal film provided on a surface, The adhesive layer may include a thermosetting resin and / or a photosensitive resin.
Uncured heat resistance consisting of a resin mixture of fat and thermoplastic resin
Particulate matter that can be decomposed and removed in the conductive resin matrix
Formed by curing the dispersed adhesive
The roughened surface is present on the surface of the cured adhesive layer.
Decomposing and removing the particulate matter that can be decomposed and removed.
Thus formed, The resin mixture has a pseudo-homogeneous compatible structure by a curing treatment,
One of co-continuous structure or globular domain structure
In order to form a resin composite having a resin structure,
A metal film adherend characterized in that solubility is adjusted. .
【請求項2】 基体上に、金属を被覆する側の表面が粗
化された接着剤層を有し、かつその接着剤層の前記粗化
面上に金属膜を設けてなる金属膜被着体において、 前記接着剤層は、熱硬化性樹脂および/または感光性樹
脂と熱可塑性樹脂との樹脂混合物からなる未硬化の耐熱
性樹脂マトリックス中に、無機粒子、金属粒子、エラス
トマー粒子、アルカリに可溶性の樹脂粒子および溶剤に
可溶性の樹脂粒子から選ばれる少なくとも1種の溶解除
去可能な粒子状物質を分散してなる接着剤を硬化処理す
ることによって形成され、 前記粗化面は、硬化された接着剤層の表面に存在する前
記溶解除去可能な粒子状物質を溶解除去することによっ
て形成され、 前記樹脂混合物は、硬化処理により擬似均一相溶構造、
共連続構造あるいは球状ドメイン構造のいずれか1つの
樹脂構造を有する樹脂複合体を形成するように、その相
溶性が調整されてなることを特徴とする金属膜被着体。
(2)If the surface to be coated with metal has a rough surface
Having a roughened adhesive layer, and the roughening of the adhesive layer
In a metal film adherend having a metal film provided on a surface, The adhesive layer may include a thermosetting resin and / or a photosensitive resin.
Uncured heat resistance consisting of a resin mixture of fat and thermoplastic resin
Inorganic particles, metal particles, elas
For tomer particles, alkali-soluble resin particles and solvents
At least one kind of dissolution removal selected from soluble resin particles
Cures an adhesive made of dispersible particulate matter
Formed by Before the roughened surface is present on the surface of the cured adhesive layer
Dissolving and removing particulate matter that can be dissolved and removed
Formed The resin mixture has a pseudo-homogeneous compatible structure by a curing treatment,
One of co-continuous structure or globular domain structure
In order to form a resin composite having a resin structure,
A metal film adherend characterized in that solubility is adjusted.
【請求項3】 基体上に、金属を被覆する側の表面が粗
化された接着剤層を有し、かつその接着剤層の前記粗化
面上に金属膜を設けてなる金属膜被着体において、 前記接着剤層は、熱硬化性樹脂および/または感光性樹
脂と熱可塑性樹脂との 樹脂混合物からなる未硬化の耐熱
性樹脂マトリックス中に、硬化前は該耐熱性樹脂マトリ
ックスとは相溶せず、硬化後には溶解除去可能となる樹
脂液を分散してなる接着剤を硬化処理することによって
形成され、 前記樹脂混合物は、硬化処理により樹脂複合体を形成す
るとともに、前記溶解除去可能な樹脂がその硬化された
樹脂複合体からなる耐熱性樹脂マトリクスの海の中に島
状に分散して海−島構造を形造るように、その相溶性が
調整されてなり、 前記粗化面は、硬化された接着剤層の表面に存在する前
記島状の溶解除去可能な樹脂を溶解除去することによっ
て形成されることを特徴とする金属膜被着体
(3)If the surface to be coated with metal has a rough surface
Having a roughened adhesive layer, and the roughening of the adhesive layer
In a metal film adherend having a metal film provided on a surface, The adhesive layer may include a thermosetting resin and / or a photosensitive resin.
Between fat and thermoplastic resin Uncured heat resistance consisting of resin mixture
Before curing, the heat-resistant resin matrix
Wood that is incompatible with
By curing the adhesive made by dispersing the fat liquid
Formed, The resin mixture forms a resin composite by a curing treatment.
And the resin which can be dissolved and removed is cured.
Island in the sea of heat resistant resin matrix composed of resin composite
To form a sea-island structure
Has been adjusted, Before the roughened surface is present on the surface of the cured adhesive layer
By dissolving and removing the island-like dissolvable resin
Metal film adherend characterized by being formed by .
【請求項4】 基体上に、金属を被覆する側の表面が粗
化された接着剤層を有し、かつその接着剤層の前記粗化
面上に金属膜を設けてなる金属膜被着体において、 前記接着剤層は、熱硬化性樹脂および/または感光性樹
脂と熱可塑性樹脂との樹脂混合物からなる未硬化の耐熱
性樹脂マトリックス中に、硬化前は該耐熱性樹脂マトリ
ックスと相溶し、硬化後には該耐熱性樹脂マトリックス
と相分離し、かつ溶解除去可能となる樹脂液を混合して
なる接着剤を硬化処理することによって形成され、 前記樹脂混合物は、硬化処理により樹脂複合体を形成す
るとともに、前記溶解除去可能な樹脂がその硬化された
樹脂複合体からなる耐熱性樹脂マトリクスの海の中に島
状に分散して海−島構造を形造るように、その相溶性が
調整されてなり、 前記粗化面は、硬化された接着剤層の表面に存在する前
記島状の溶解除去可能な樹脂を溶解除去することによっ
て形成されることを特徴とする金属膜被着体
(4)If the surface to be coated with metal has a rough surface
Having a roughened adhesive layer, and the roughening of the adhesive layer
In a metal film adherend having a metal film provided on a surface, The adhesive layer may include a thermosetting resin and / or a photosensitive resin.
Uncured heat resistance consisting of a resin mixture of fat and thermoplastic resin
Before curing, the heat-resistant resin matrix
And heat-resistant resin matrix after curing
And a resin solution that can be separated and dissolved and removed
Formed by hardening the adhesive, The resin mixture forms a resin composite by a curing treatment.
And the resin which can be dissolved and removed is cured.
Island in the sea of heat resistant resin matrix composed of resin composite
To form a sea-island structure
Has been adjusted, Before the roughened surface is present on the surface of the cured adhesive layer
By dissolving and removing the island-like dissolvable resin
Metal film adherend characterized by being formed by .
【請求項5】 上記感光性樹脂は、熱硬化性樹脂の官能
基の一部を感光基で置換した樹脂であることを特徴とす
る請求項1〜4のいずれか1に記載の金属膜被着体。
5. The photosensitive resin according to claim 1, wherein said photosensitive resin is a functional compound of a thermosetting resin.
Characterized in that it is a resin in which some of the groups have been replaced with photosensitive groups.
The metal film adherend according to claim 1.
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