JP3388558B2 - Oilless scroll vacuum pump - Google Patents

Oilless scroll vacuum pump

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JP3388558B2
JP3388558B2 JP15037194A JP15037194A JP3388558B2 JP 3388558 B2 JP3388558 B2 JP 3388558B2 JP 15037194 A JP15037194 A JP 15037194A JP 15037194 A JP15037194 A JP 15037194A JP 3388558 B2 JP3388558 B2 JP 3388558B2
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scroll
vacuum pump
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Anest Iwata Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は、オイルレス・スクロー
ル式真空ポンプに関する。 【従来の技術】従来より、容器を真空にする技術は、ポ
リビニールの袋の中に食物を入れ、空気を抜いて、空気
中に浮かぶ細菌の付着を防止し食物の腐敗を防ぐ真空パ
ック、バキュームカー、採血用試験管、空気の対流によ
る熱伝導を防止するために、魔法瓶、または医療用、工
業用、もしくは実験用の冷却冷媒を収納する容器の外壁
等、一般生活から低温技術に至るまで幅広く利用される
ものである。密閉容器内を真空にするには、真空ポンプ
を密閉容器の吸い出し口に連結し、空気及びその他の気
体を該真空ポンプによって吸い出すことによって行われ
る。 【0002】そして、昨今では真空ポンプとしてオイル
レス・スクロール式が注目されている。オイルレス・ス
クロール式真空ポンプのスクロール作用は図4に示され
ている。図2及び図4を参照して説明すると、周壁11
により囲繞された凹状空間内に第1のラップ13を形成
した固定スクロール10と、前記第1のラップ13に嵌
合可能な第2のラップ21を有する旋回スクロール20
とからなり、前記旋回スクロール20を自転させること
なく固定スクロール10に対して公転させることによ
り、前記両ラップ13、21間に形成される密閉空間2
2の容積を変化可能に構成している。したがって、圧縮
室として機能する前記密閉空間22を形成する両ラップ
間の接点が徐々に中心へ向かって移動するように、旋回
スクロール20を一定の半径で固定スクロール10のラ
ップ2の中心の周りを公転運動させることにより吸入口
より取り込まれた気体は第2のラップ21の巻き終わり
端を回り込みながら、両ラップ13、21、によって形
成される密閉空間22に取り込まれ、旋回スクロール2
0の公転運動とともに徐々にその容積を減小させつつ中
心に向かって移動しながら高圧化されて、該密閉空間2
2が吐出ポート17と導通したときに外部へ排出される
ものである。 【0003】したがって、この実施例の場合は、前記両
ラップ13、21の間に形成される空間22の密閉状態
を確保することが、圧縮効率を高め真空度を上げる上で
極めて重要である。そこで、図3に示すように、前記ラ
ップの軸方向端面に、対面する摺動面間に自己潤滑性樹
脂材料からなるチップシール31A、31Bを介在させ
ている。すなわち、図3に示されるように、固定スクロ
ールもしくは旋回スクロールとして機能するスクロール
部材10(20)の円板状の端板の前面側にインボリュ
ート形状のラップ13(21)を突設するとともに、そ
の端面側に中心から周縁側まで連通するラップ溝13a
(21a)を凹設し、このラップ溝にチップシール31
A、31Bを連設して嵌合したものである。又、スクロ
ール部材10(20)の円板状の端板の外周端面部に
は、外からのエアーを内部に侵入することを防止するた
めに、円環状にダストシール32がとりついている。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】このように、構成され
たオイルレス・スクロール式真空ポンプは、密閉容器内
の気体を吸い出して加圧圧縮しているため発熱とともに
気体内に含まれる水蒸気が液化して、圧縮気体のみが吐
出ポ−トから排出され、残った水分が旋回スクロ−ルと
固定スクロ−ルとで形成する最終空間内の吐出ポ−ト下
方に蓄積される。圧縮気体が前段の密閉空間から最終空
間内に送り込まれるごとに、その蓄積された水分に圧縮
気体が衝突し、その水分は最終空間を形成する旋回スク
ロ−ルと固定スクロ−ルのラップ壁に衝突する。その際
に、異常音が発生しやすい。そのために、ガスバラスト
を設け、密閉容器内に大気圧を導入して、水蒸気分圧を
下げ、液化させず排気する方法を用いているが、真空度
が悪くなるとともに動力を多く必要とするという問題が
あった。本発明は、かかる従来技術の欠点に鑑み、効率
よく水抜きされる真空ポンプを提供することを目的とし
たものである。また、本発明の他の目的は、簡単な構成
でコストがかからない水抜装置を有した真空ポンプを提
供することにある。 【0005】 【課題を解決するための手段】本発明は、固定スクロー
ルに対向してかみ合う旋回スクロールを自公転させなが
ら両スクロール間に形成される閉鎖空間を外周側に設け
られた吸入ポートから中央側に設けられた吐出ポートに
向け徐々に縮小移動させながら排気を行うオイルレス・
スクロール式真空ポンプにおいて、前記吐出ポートを前
記固定スクロールの摺動面の最終スポット容積部に設
け、前記摺動面に前記吐出ポートの下側近傍に大気と連
通する水抜穴を設けて、前記水抜穴は前記摺動面の開口
側から外部に向かって下方に傾斜されていることを特徴
としている。 【0006】 【作用】本発明は、固定スクロールに対向してかみ合う
旋回スクロールを自公転させながら両スクロール間に形
成される閉鎖空間を外周側に設けられた吸入ポートから
中央側に設けられた吐出ポートに向け徐々に縮小移動さ
せながら排気を行うオイルレス・スクロール式真空ポン
プにおいて、前記吐出ポートを前記固定スクロールの摺
動面の最終スポット容積部に設け、前記摺動面に前記吐
出ポートの下側近傍に大気と連通する水抜穴を設けると
ともに、この水抜穴を前記摺動面の開口側から外部に向
かって下方に傾斜させているので、吐出ポ−トの下方に
水分が蓄積されることはなく、その水分により異常音を
発することもない。さらに、良好に排水を行うことがで
きる。 【0007】 【実施例】以下、本発明を図に示した実施例を用いて詳
細に説明する。但し、この実施例に記載される構成部品
の寸法、材質、形状、その相対位置などは特に特定的な
記載が無い限り、この発明の範囲をそれのみに限定する
趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。 【0008】図1は、本発明に係る基本的構成図であ
る。同図において、真空ポンプ本体1は、プーリ42及
びベルト34を介してモータ5の回転軸に連結され、該
モータ5の回転により真空ポンプ本体1内の旋回スクロ
ールを駆動し、配管4を介して密閉容器7内の気体を吸
い出し、該密閉容器7を真空とするものである。図2は
本発明の実施例に係るスクロ−ル式真空ポンプを示し、
前記したように固定スクロ−ル10、旋回スクロ−ル2
0、及びこれらを所定位置に又は旋回可能に支持するフ
レ−ム40からなる。固定スクロ−ル10は、前記フレ
−ム40端面に固定され、吸入口として機能するポ−ト
16を有する周壁11により囲繞された凹状空間内に渦
巻き形状のラップ13を直立して形成するとともに、そ
のほぼ中央に圧縮気体を排出するための吐出ポ−ト17
及び水抜穴15が開設されている。旋回スクロ−ル20
はフレ−ム40内の凹部空間に収納され、固定スクロ−
ル10のラップ13と実質的に同じ形状の渦巻き形のラ
ップ21を、前記周壁11と当接する端板の一面上に直
立して形成するとともに前記ラップ13、21同志を1
80度ずらして嵌合させている。 【0009】なお、前記各スクロ−ル10、20の背面
側には各々冷却フィン33、23が形成され、空冷によ
りスクロ−ル内部を冷却可能に構成されている。そし
て、前記各スクロ−ルのラップ13、21は各々他側ス
クロ−ルと接触する端面に凹設した溝部に、図3で説明
したチップシ−ル31A,31Bで構成される自己潤滑
性シ−ル部材31を嵌入させ、無潤滑で摺動可能に達成
するとともに、前記旋回スクロ−ル20の端板と当接す
る端面に凹設した溝部にリング状の自己潤滑性封止部材
32を嵌入させ、前記凹状空間12内の外部との気密性
の維持を図っている。一方、フレ−ム40は、一端にプ
−リ42を取り付けた主駆動クランク軸41を中心軸上
に沿って軸支させるとともに、該主駆動クランク軸41
を中心として各々120度ずつ偏位させた位置に(3個
所)、従動クランク軸を軸支させている。そして、これ
らのクランク軸41、43はいずれも旋回スクロ−ル2
0と一体化されたハウジング体25を回転可能に軸支さ
れており、前記主駆動クランク軸41の駆動回転によ
り、旋回スクロ−ル20が自転を阻止されながら一定の
半径で固定スクロ−ル10のラップ中心の周りを公転運
動可能に構成されている。吸入ポ−ト16には、配管4
が連設され、その先端部は図1に示される密閉容器7に
連結している。 【0010】図6は、本願の第1実施例である本発明に
係る真空ポンプの固定スクロールと水抜穴の関係を示す
図である。同図において、固定スクロ−ル10の中心に
は吐出ポート17が設けられ、その吐出ポート17を下
から囲むようにラップ13が渦巻き状に摺動面14から
起立している。水抜穴15は、吐出ポート17の下方
に、その開口径をラップ13の内壁に接する形で、摺動
面14の開口から図2に示すように、外部に向かって下
り勾配で傾斜して設けられている。図4は、水抜穴15
を設けた固定スクロールを用いて、スクロールの作用を
示す図であり、図6の裏側から視た図である。 【0011】次に、かかる実施例の動作を図2及び図4
を用いて説明する。図1において、図示しない真空ポン
プ1の電源を入れると、旋回スクロ−ル20が駆動を開
始する。今、図4(A)の空間aにあった気体は旋回ス
クロ−ル20のラップ21の駆動により同図(B)のb
に取り込まれ、以下交互に(A),(B)に示されるよ
うに、c,d,e,f,gで示される密閉空間に取り込
まれるとともに圧縮され、最後に吐出ポ−ト17が開設
されている空間hに至り、吐出ポ−ト17から圧縮気体
は外部に排出されるものである。 【0012】一方、密閉容器から取り込まれた気体は、
圧縮されることによって水滴を液化させる。したがっ
て、圧縮気体から生じる水分は、排水処理がされないと
吐出ポート17の下方のラップ13上に、図6の斜線の
ごとく蓄積されるものであるが、水抜穴15を図示のご
とく設けているので、その傾斜にそって排出される。こ
のように、水分は、最終空間iの下方に開設されている
水抜穴15により真空ポンプ1の外部に排出され、ウオ
ーターハンマとしての異常音は発生しない。 【0013】図7は、他の固定スクロールと水抜穴の関
係を示す図である。この実施例は、圧縮気体吐出用の穴
と、水抜穴とを一体化した吐出ポートとして、固定スク
ロール10の中心からほぼ左下へ40度の角度で偏倚し
た開口中心を有し、ラップ13の内壁とその開口外径と
接する開口を有する吐出ポート24を設けている。この
吐出ポート24は、図8に示すように、摺動面14から
外部に向かって下り勾配で傾斜して設けられている。し
たがって、圧縮気体から生じる水分は吐出ポート24か
ら、圧縮気体の排出とともに、その傾斜にそって排出さ
れるものである。 【0014】次に、この他の実施例の動作を図5を用い
て説明する。なお、図5は、図7の裏面から視た図であ
る。今、図5の(A)の空間aにあった気体は旋回スク
ロール20のラップ21の駆動により同図(B)のbに
取り込まれ、以下交互に(A),(B)に示されるよう
に、c,d,e,f,gで示される密閉空間に取り込ま
れるとともに圧縮され、最後に吐出ポート24が開設さ
れている空間hに至り、吐出ポート24から圧縮気体は
外部に排出されるものである。一方、密閉容器から取り
込まれた気体は、水滴を液化させるが、最終空間iの下
方に開設されている吐出ポート24により、真空ポンプ
の外部に圧縮気体とともに排出される。吐出ポート24
は外部に向かって下り勾配で傾斜しているので、水分は
その傾斜にそって排出されるものである。 【0015】本発明は、上述したように吐出ポートの下
方に水抜穴を設け、あるいは、圧縮気体吐出と水抜穴と
兼用の穴を固定スクロール中心から下方に偏位して設け
ているので、圧縮気体から生じる水分による異常音を発
することがない。 【0016】 【効果】以上記載したごとく、本発明においては、水抜
穴により圧縮気体から生じる水分を排出しているので、
異常音を発生することがなく、耐久性が高いオイルレス
・スクロ−ル式真空ポンプを提供できるものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an oilless scroll vacuum pump. 2. Description of the Related Art Conventionally, a technique of vacuuming a container is to put food in a plastic bag, evacuate the air, prevent the adhesion of bacteria floating in the air, and prevent food from spoiling. From ordinary life to low-temperature technologies, such as vacuum cars, blood collection test tubes, and outer walls of thermos bottles or containers that store medical, industrial, or laboratory cooling refrigerants to prevent heat conduction due to convection of air. It is widely used up to. In order to apply a vacuum to the inside of the closed container, a vacuum pump is connected to a suction port of the closed container, and air and other gases are sucked by the vacuum pump. [0002] Recently, an oilless scroll type has attracted attention as a vacuum pump. The scroll action of the oilless scroll vacuum pump is shown in FIG. Referring to FIGS. 2 and 4, the peripheral wall 11 will be described.
Scroll 10 having a first wrap 13 formed in a concave space surrounded by a fixed wrap 10 and a second wrap 21 capable of being fitted to the first wrap 13
By rotating the orbiting scroll 20 around the fixed scroll 10 without rotating, the closed space 2 formed between the two wraps 13 and 21 is formed.
2 is configured to be variable. Therefore, the orbiting scroll 20 is moved with a constant radius around the center of the wrap 2 of the fixed scroll 10 so that the contact point between the two wraps forming the closed space 22 functioning as a compression chamber gradually moves toward the center. The gas taken in from the suction port by the orbital movement is taken into the closed space 22 formed by the two wraps 13 and 21 while wrapping around the winding end end of the second wrap 21, and the orbiting scroll 2
With the revolution of 0, the pressure is increased while moving toward the center while gradually reducing the volume, and the closed space 2
2 is discharged to the outside when it is electrically connected to the discharge port 17. Therefore, in the case of this embodiment, it is extremely important to secure the sealed state of the space 22 formed between the wraps 13 and 21 in order to increase the compression efficiency and the degree of vacuum. Therefore, as shown in FIG. 3, chip seals 31A and 31B made of a self-lubricating resin material are interposed between the facing sliding surfaces on the axial end surface of the wrap. That is, as shown in FIG. 3, an involute-shaped wrap 13 (21) is protruded from the front side of the disc-shaped end plate of the scroll member 10 (20) functioning as a fixed scroll or an orbiting scroll. Lapping groove 13a communicating from the center to the periphery on the end face side
(21a) is recessed, and the tip seal 31 is
A and 31B are connected and fitted. A dust seal 32 is attached to the outer peripheral end surface of the disk-shaped end plate of the scroll member 10 (20) in an annular shape in order to prevent external air from entering the inside. [0004] The oilless scroll type vacuum pump constructed as described above sucks out the gas in the closed vessel and pressurizes and compresses it, so that it is included in the gas together with heat generation. The water vapor is liquefied, and only the compressed gas is discharged from the discharge port, and the remaining moisture is accumulated below the discharge port in the final space formed by the swirling scroll and the fixed scroll. Each time the compressed gas is sent into the final space from the closed space at the preceding stage, the compressed gas collides with the accumulated moisture, and the moisture is applied to the wrapping wall of the rotating scroll and the fixed scroll forming the final space. collide. At that time, an abnormal sound is likely to occur. For this purpose, gas ballast is provided, the atmospheric pressure is introduced into the closed vessel, the partial pressure of water vapor is reduced, and exhaustion is performed without liquefaction. There was a problem. The present invention has been made in view of the above-described drawbacks of the related art, and has as its object to provide a vacuum pump that efficiently drains water. It is another object of the present invention to provide a vacuum pump having a water draining device with a simple configuration and low cost. According to the present invention, a closed space formed between two scrolls is rotated from the suction port provided on the outer peripheral side to the center while rotating the orbiting scroll meshing with the fixed scroll. Oilless exhaust that gradually reduces and moves toward the discharge port provided on the side
In the scroll type vacuum pump, the discharge port is
In the final spot volume on the sliding surface of the fixed scroll
The sliding surface communicates with the atmosphere near the lower side of the discharge port.
Providing a drain hole through which the drain hole is formed.
It is characterized by being inclined downward from the side toward the outside
And According to the present invention, a closed space formed between both scrolls is rotated from the suction port provided on the outer peripheral side to the discharge center provided on the center side while revolving the orbiting scroll meshing with the fixed scroll. In an oilless scroll type vacuum pump which exhausts while gradually reducing and moving toward a port, the discharge port is slid on the fixed scroll.
It is provided in the final spot volume of the moving surface, and the discharge
If a drain hole communicating with the atmosphere is provided near the lower side of the output port,
In both cases, this drain hole is directed outward from the opening side of the sliding surface.
Since it is tilted downward, no water is accumulated below the discharge port, and no abnormal sound is generated by the water. Furthermore, good drainage can be achieved.
Wear. The present invention will be described below in detail with reference to an embodiment shown in the drawings. However, dimensions, materials, shapes, relative positions, and the like of the components described in this embodiment are not merely intended to limit the scope of the present invention, but are merely illustrative examples, unless otherwise specified. Absent. FIG. 1 is a basic configuration diagram according to the present invention. In the figure, the vacuum pump body 1 is connected to a rotating shaft of a motor 5 via a pulley 42 and a belt 34, and drives the orbiting scroll in the vacuum pump body 1 by the rotation of the motor 5, and via a pipe 4. The gas in the closed container 7 is sucked out, and the closed container 7 is evacuated. FIG. 2 shows a scroll type vacuum pump according to an embodiment of the present invention.
As described above, the fixed scroll 10 and the revolving scroll 2
And a frame 40 for supporting these at a predetermined position or pivotably. The fixed scroll 10 is fixed to the end face of the frame 40 and forms a spiral wrap 13 upright in a concave space surrounded by a peripheral wall 11 having a port 16 functioning as a suction port. And a discharge port 17 for discharging the compressed gas at substantially the center thereof.
A drain hole 15 is provided. Swivel scroll 20
Is housed in the recessed space in the frame 40, and the fixed scroll
A spiral wrap 21 having substantially the same shape as the wrap 13 of the screw 10 is formed upright on one surface of an end plate abutting on the peripheral wall 11 and the wraps 13 and 21 are joined together by one.
The fitting is shifted by 80 degrees. Cooling fins 33 and 23 are formed on the back side of the scrolls 10 and 20, respectively, so that the inside of the scrolls can be cooled by air cooling. The wraps 13 and 21 of the scrolls are respectively provided in the grooves formed in the end surfaces thereof in contact with the scrolls on the other side, and the self-lubricating seals composed of the tip seals 31A and 31B described with reference to FIG. And a ring-shaped self-lubricating sealing member 32 is fitted into a groove recessed in an end surface of the turning scroll 20 which comes into contact with the end plate. The airtightness with the outside in the concave space 12 is maintained. On the other hand, the frame 40 supports a main drive crankshaft 41 having a pulley 42 attached to one end thereof along a center axis, and the main drive crankshaft 41
The driven crankshaft is supported at positions deviated from each other by 120 degrees (three places). Each of these crankshafts 41 and 43 has a revolving scroll 2
The rotating scroll 20 is prevented from rotating by the driving rotation of the main driving crankshaft 41, and the fixed scroll 10 is fixed at a constant radius. Is configured to be able to revolve around the center of the lap. The suction port 16 has a pipe 4
Are connected to each other, and the tip is connected to the sealed container 7 shown in FIG. FIG. 6 is a view showing a relationship between a fixed scroll and a drain hole of the vacuum pump according to the first embodiment of the present invention. In the figure, a discharge port 17 is provided at the center of the fixed scroll 10, and a wrap 13 stands up from the sliding surface 14 in a spiral shape so as to surround the discharge port 17 from below. The drain hole 15 is provided below the discharge port 17 in such a manner that its opening diameter is in contact with the inner wall of the wrap 13 and is inclined downward from the opening of the sliding surface 14 toward the outside as shown in FIG. Have been. FIG.
FIG. 7 is a view showing the operation of the scroll by using a fixed scroll provided with, and viewed from the back side of FIG. 6. Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. In FIG. 1, when the power supply of a vacuum pump 1 (not shown) is turned on, the turning scroll 20 starts to be driven. Now, the gas in the space a in FIG. 4A is driven by the wrap 21 of the orbiting scroll 20 so that the gas b in FIG.
Then, as shown in (A) and (B) alternately below, they are taken into the closed spaces indicated by c, d, e, f, and g and compressed, and finally the discharge port 17 is opened. The compressed gas is discharged to the outside from the discharge port 17 after reaching the space h. On the other hand, the gas taken in from the closed container is
Water droplets are liquefied by being compressed. Therefore, the water generated from the compressed gas is accumulated on the wrap 13 below the discharge port 17 as shown by the oblique line in FIG. 6 unless the drainage treatment is performed. However, since the drainage hole 15 is provided as shown in the figure. Are discharged along the slope. As described above, the water is discharged to the outside of the vacuum pump 1 through the drain hole 15 opened below the final space i, and no abnormal noise as a water hammer is generated. FIG. 7 is a diagram showing a relationship between another fixed scroll and a drain hole. This embodiment has an opening center offset from the center of the fixed scroll 10 by approximately 40 degrees to the lower left as a discharge port in which a hole for discharging compressed gas and a drain hole are integrated. And a discharge port 24 having an opening in contact with the outer diameter of the opening. As shown in FIG. 8, the discharge port 24 is provided to be inclined downward from the sliding surface 14 to the outside. Accordingly, the water generated from the compressed gas is discharged from the discharge port 24 along with the discharge of the compressed gas along with the inclination thereof. Next, the operation of another embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a diagram viewed from the back surface of FIG. Now, the gas in the space a in FIG. 5A is taken into b in FIG. 5B by driving the wrap 21 of the orbiting scroll 20, and as shown in FIGS. 5A and 5B alternately. Then, the compressed gas is taken into the closed spaces indicated by c, d, e, f, and g and compressed, and finally reaches the space h where the discharge port 24 is opened, and the compressed gas is discharged from the discharge port 24 to the outside. Things. On the other hand, the gas taken in from the closed container liquefies the water droplets, and is discharged together with the compressed gas to the outside of the vacuum pump by the discharge port 24 opened below the final space i. Discharge port 24
Is inclined downhill toward the outside, so that moisture is discharged along the slope. According to the present invention, since a drain hole is provided below the discharge port as described above, or a hole which serves both as the compressed gas discharge and the water drain hole is provided deviated downward from the center of the fixed scroll, so that the compression Does not emit abnormal noise due to moisture generated from gas. [0016] As described, according to above, in the present invention, draining
Since the holes discharge the moisture generated from the compressed gas,
It is possible to provide an oil-less scroll type vacuum pump that does not generate abnormal noise and has high durability.

【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の基本構成図である。 【図2】本発明に係るスクロ−ル式真空ポンプの一実施
例図である。 【図3】スクロ−ル部材と密閉要素を示す斜視図であ
る。 【図4】スクロ−ルの作用を示す概略図である。 【図5】他のスクロールの作用を示す概略図である。 【図6】固定スクロールと水抜穴の関係を示す図であ
る。 【図7】他の固定スクロールと水抜穴との関係を示す図
である。 【図8】図7に示した固定スクロールの断面を示す図で
ある。 【符号の説明】 1 オイルレス・スクロ−ル式真空
ポンプ本体 4 配管 5 モータ 7 密閉容器 10 固定スクロ−ル 15 水抜穴 16 吸入ポ−ト 17 吐出ポ−ト 20 旋回スクロ−ル 24 吐出ポート 31 自己潤滑性シ−ル部材 32 ダストシール
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a basic configuration diagram of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing one embodiment of a scroll type vacuum pump according to the present invention. FIG. 3 is a perspective view showing a scroll member and a sealing element. FIG. 4 is a schematic view showing the operation of a scroll. FIG. 5 is a schematic view showing another scroll operation. FIG. 6 is a diagram showing a relationship between a fixed scroll and a drain hole. FIG. 7 is a diagram showing a relationship between another fixed scroll and a drain hole. FIG. 8 is a view showing a cross section of the fixed scroll shown in FIG. 7; [Description of Signs] 1 Oilless scroll type vacuum pump main body 4 Piping 5 Motor 7 Closed vessel 10 Fixed scroll 15 Drain hole 16 Suction port 17 Discharge port 20 Swivel scroll 24 Discharge port 31 Self-lubricating seal member 32 dust seal

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F04C 25/02 F04C 18/02 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) F04C 25/02 F04C 18/02

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 固定スクロールに対向してかみ合う旋回
スクロールを自公転させながら両スクロール間に形成さ
れる閉鎖空間を外周側に設けられた吸入ポートから中央
側に設けられた吐出ポートに向け徐々に縮小移動させな
がら排気を行うオイルレス・スクロール式真空ポンプに
おいて、前記吐出ポートを前記固定スクロールの摺動面の最終ス
ポット容積部に設け、前記摺動面に前記吐出ポートの下
側近傍に大気と連通する水抜穴を設けて、 前記水抜穴は前記摺動面の開口側から外部に向かって下
方に傾斜されていること を特徴とするオイルレス・スク
ロ−ル式真空ポンプ。
(57) [Claims] 1. A revolving gear that meshes with a fixed scroll.
Formed between both scrolls while revolving the scroll
To the center from the suction port provided on the outer peripheral side
Do not gradually reduce and move toward the discharge port provided on the
Oilless scroll type vacuum pump that exhausts air
AndConnect the discharge port to the final slide on the sliding surface of the fixed scroll.
Provided in the pot volume, below the discharge port on the sliding surface
A drain hole communicating with the atmosphere is provided near the side, The drain hole is downward from the opening side of the sliding surface to the outside.
Be tilted toward Oilless disk characterized by
Roll type vacuum pump.
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