JP2004316440A

JP2004316440A - Scroll pressure reducing machine

Info

Publication number: JP2004316440A
Application number: JP2003107503A
Authority: JP
Inventors: Ryusuke Muto; 龍介武藤
Original assignee: Anest Iwata Corp
Current assignee: Anest Iwata Corp
Priority date: 2003-04-11
Filing date: 2003-04-11
Publication date: 2004-11-11
Anticipated expiration: 2023-04-11
Also published as: JP4256197B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve durability of a scroll pressure reducing machine by automatically sucking air with using generated low pressure zone and cooling an eccentric shaft integrated with a drive shaft and a bearing thereof and other peripheral members. <P>SOLUTION: The drive shaft 8 is provided with a vent hole 21 going in an axial direction and a valve hole 22 extending in a radial direction form the vent hole and provided with a check valve 25 closed when the drive shaft 8 does not rotate and opened by centrifugal force due to rotation when the drive shaft 8 rotates therein. The outer end of the valve hole 22 in the radial direction is opened in the low pressure zone of a compression chamber 2 formed by meshing of a fixed scroll 3c and a turning scroll 5. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハウジング内に設けた固定スクロールにおける固定ラップと、駆動軸と一体をなす偏心軸に枢支した旋回スクロールにおける旋回ラップとを噛み合わせ、駆動軸をもって、旋回スクロールを一定の偏心量で旋回させることにより、ハウジングの外周部より吸入した気体を、その中心方向へ行くに従って、圧縮して排出させるようにしたスクロール真空ポンプを含むスクロール減圧機械に関する。
【０００２】
【従来の技術】
前項に記載したようなスクロール減圧機械自体は、関係技術者には周知である。
【０００３】
このようなスクロール減圧機械において、運転時間が長期に及ぶと、駆動軸と一体をなす偏心軸、並びにそれを支持している軸受やパッキンの温度が上昇し、遂には軸受やパッキンが損傷されて、使用に耐えなくなることがある。
【０００４】
従って、スクロール減圧機械において、その耐久性を高めるためには、長時間運転しても、駆動軸と一体をなす偏心軸が過度に高温とならないようにすることが、必須の要件である。
【０００５】
このような要求に応えるために、従来、次のような手段が採られていることは参考文献を挙げるまでもなく、関係技術者であればよく知悉しているところである。
【０００６】
（１）スクロール減圧機械における圧縮部に、低温もしくは常温の空気もしくは窒素を導入して、この部分を冷却するとともに、圧縮部内の気体の毒性を希釈する。
【０００７】
（２）駆動軸に軸線方向の通気孔をあけ、低温もしくは常温の空気または窒素を、通気孔から吐出させ、軸受部を通過させた後、圧縮部内へ送入し、この部分を冷却させた後、吐出気体とともに排出させる。
【０００８】
（３）駆動軸と一体をなす偏心軸を中空とし、その中に、冷温もしくは常温の空気を送り込んで、偏心軸を冷却する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記した従来の各技術的手段には、次のような問題がある。
圧縮部に、低温もしくは常温の空気もしくは窒素を導入するためには、内部に、そのための導入路を設けるとともに、外部に、それらを供給するための手段を設けなければならない。そのため、構造が複雑となるとともに、装置全体が大型化し、かつ価格も大となる。
【００１０】
駆動軸を回転させると、遠心力によって、駆動軸に設けた通気孔より、低温もしくは常温の空気または窒素が吐出されて、軸受部等は冷却されるが、駆動軸を停止させると、圧縮部における、時として有毒ガスや不純物を含む気体が逆流し、通気孔を経て大気中へ放出されるので、周囲が汚染される。
【００１１】
本発明は、このような従来技術における問題点に鑑み、運転に伴い、ハウジング内に低圧の領域が生成されるスクロール真空ポンプを含むスクロール減圧機械において、生成される低圧の領域を利用して、大気を自動的に吸引させることにより、駆動軸と一体をなす偏心軸、並びにその軸受その他の周辺部材を冷却させて、耐久性を高めるようにすることを目的とするもので、その具体的手段は次の通りである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
（１）ハウジング内に設けた固定スクロールにおける固定ラップと、駆動軸と一体をなす偏心軸に枢支した旋回スクロールにおける旋回ラップとを噛み合わせ、駆動軸をもって、旋回スクロールを一定の偏心量で旋回させることにより、ハウジングの外周部より吸入した気体を、その中心方向へ行くに従って、圧縮して排出させるようにしたスクロール減圧機械において、駆動軸に、軸線方向を向く通気孔と、この通気孔から径方向に延出し、内部に、駆動軸の非回転時には閉じているが、駆動軸が回転すると、それに伴う遠心力によって開弁する逆止弁を備える弁孔を設け、かつこの弁孔の径方向の外端を、前記固定スクロールと旋回スクロールの噛み合わせによって形成されている圧縮室における低圧領域に開口させる。
【００１３】
（２）上記（１）項において、旋回スクロールにおける旋回端板に、径方向の内端が前記弁孔の径方向の外端と連動し、かつ径方向の外端が、前記圧縮室における低圧領域に開口する送気孔を設ける。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１は、ハウジング内で旋回スクロールを一定の偏心量をもって旋回させることにより、ハウジングの外周部から吸入した気体を、旋回スクロールと固定スクロールを組み合わせて形成した圧縮部へ吸引させ、その中心方向を行くに従って圧縮した後、中心部より吐出させるようにしたスクロール真空ポンプもしくはスクロール減圧機械に本発明を適用した一例を示す縦断側面図である。
【００１５】
（１）は、密閉された円盤状の圧縮室（２）を備えるハウジングで、筐体（３）と蓋体（４）とからなり、かつ外周部に吸入孔（１ａ）が設けられている。
【００１６】
筐体（３）および蓋体（４）は、それぞれ、圧縮室（２）の両側に対向して位置する固定端板（３ａ）（４ａ）を有し、それらの圧縮室（２）側を向く面には、それぞれ渦巻状の固定ラップ（３ｂ）（４ｂ）が立設されて、固定スクロール（３ｃ）（４ｃ）が形成されている。
【００１７】
両固定端板（３ａ）（４ａ）の間において、圧縮室（２）内には、旋回スクロール（５）が、圧縮室（２）の軸線まわりに旋回しうるようにして設けられている。
【００１８】
旋回スクロール（５）は、旋回端板（５ａ）の両面に、それぞれ前記固定スクロール（３ｃ）（４ｃ）と１８０°ずらせて嵌入して噛み合う旋回ラップ（５ｂ）（５ｂ）を立設したもので、ハウジング（１）の中心部にベアリング（６）（７）を介して嵌設した駆動軸（８）の偏心軸部（８ａ）に、ベアリング（９）（１０）を介して枢支されている。
【００１９】
旋回端板（５ａ）は、互いに等間隔をもって同一円周上に配設された、図１には示されていない公知の３個のピンクランク式自転防止機構を介して、固定端板（３ａ）に連係され、駆動軸（８）が回転すると、旋回端板（５ａ）は、圧縮室（２）内において偏心公転運動をし、互いに噛み合う固定ラップ（３ｂ）（４ｂ）と旋回ラップ（５ｂ）との間の空間の径方向の寸法が変化するようになっている。
【００２０】
なお、前記ピンクランク式自転防止機構は、図２に示すように、ピンクランク（１１）の主軸（１１ａ）を、ボールベアリング（１２）を介して固定端板（３ａ）に枢支し、かつ同じくクランク軸（１１ｂ）を、旋回端板（５ａ）の外周付近に穿設した支持孔（１３）に嵌合した適宜の軸受（１４）をもって枢支したものである。
【００２１】
筐体（４）の中心に近い個所には、軸線方向を向き、かつ内側端が、前記圧縮室（２）の中心に近い個所に開口し、外側端が塞栓（１５）で閉じられた通孔（１６）が設けられている。
【００２２】
また、筐体（４）には、その外周面より前記通孔（１６）に至る径方向の導出孔（１７）が設けられ、導出孔（１７）の径方向の外端には、排気ジョイント（１８）が嵌合されている。
駆動軸（８）は、図示しないモータをもって駆動されるようになっており、かつ筐体（３）と蓋体（４）の外側至近の位置において、駆動軸（８）にはそれぞれ冷却ファン（１９）（２０）が取付けられている。
【００２３】
また、筐体（３）および蓋体（４）の外側面には、適宜の冷却フィン（３ｄ）（４ｄ）が突設されている。
さらに、この実施の形態においては、本発明の新規な特徴として、駆動軸（８）の中心に、その全長に亘り、かつ端部が外気に通ずる通気孔（２１）を貫設し、かつ駆動軸（８）と一体をなす偏心軸（８ａ）の厚肉部の軸線方向の中央に、前記通気孔（２１）より外周面に至る弁孔（２２）をあけてある。
【００２４】
さらに、旋回端板（５ａ）に、前記通気孔（２１）の径方向の外端から、環状の連通路（２４ａ）を介して径方向に延び、固定ラップ（３ｂ）（４ｂ）と旋回ラップ（５ｂ）が噛み合って形成されている圧縮室（２）の径方向の中間部である低圧領域に、小径の出口孔（２３）を介して開口する送気孔（２４）を設けてある。
【００２５】
前記弁孔（２２）内には、径方向の外方へは開くが内方へは開かない適宜の逆止弁（２５）が嵌設されている。
【００２６】
逆止弁（２５）の形態は任意であるが、その一例を図３に示してある。
弁孔（２２）の径方向の内端に、小径の弁座（２２ａ）を形成し、かつその外端部に、外方が大径となる段孔（２２ｂ）を設けてある。
【００２７】
弁孔（２２）内における弁座（２２ａ）の外側に円板弁（２６）を設け、段孔（２２ｂ）の外側に、適宜の吐出孔（２７ａ）を有する受支板（２７）を係止してある。
【００２８】
円板弁（２６）の中心より径方向の外方へ向けて突設した弁軸（２８）を、受支板（２７）の中心へ遊嵌するとともに、円板弁（２６）と受支板（２７）の間において、弁軸（２８）に圧縮コストばね（２９）を嵌合してある。
【００２９】
このような構成のスクロール減圧機械において、逆止弁（２５）の圧縮コイルばね（２９）の強さを、後記する目的を達成しうるように所要に定めて、円板弁（２６）を閉じさせた状態で、吸入孔（１ａ）を減圧もしくは真空にしようとする密閉容器（図示略）に接続するとともに、駆動軸（８）に設けた通気孔（２１）を外気に連通させた状態で駆動軸（８）を駆動する。
【００３０】
駆動軸（８）の回転に伴い、それに枢支されている旋回スクロール（５）は、固定スクロール（３ｃ）（４ｃ）と噛合したまま、一定の偏心量で旋回運動をし、これに伴い、吸入孔（１ａ）に接続された密閉容器内は逐次減圧され、ハウジング（１）内におけるスクロール（３ｃ）（４ｃ）（５）の噛合い部の中心に近い部分に、低圧領域が生成される。
【００３１】
しかしてこの際、駆動軸（８）の回転速度が一定値以上となると、逆止弁（２５）の円板弁（２６）は、それに伴う遠心力を設け、圧縮コイルばね（２９）に抗して径方向に移動して開く。
【００３２】
従って外気は、ハウジング（１）内の固定・旋回両スクロール（３ｃ）（４ｃ）（５）の噛合部に生成される低圧領域に吸引されて、通気孔（２１）、逆止弁（２５）、および環状の連通路（２４ａ）を経て、送気孔（２４）へ流入し、その末端の出口孔（２３）より吐出する。
【００３３】
従って、駆動軸（８）の偏心軸（８ａ）、およびその外周に設けられているベアリング（９）（１０）やパッキン等は冷却され、その耐久年数は長くなる。
【００３４】
また運転を止めると、逆止弁（２５）は自動的に閉じるので、前記低圧領域に溜っている有害の可能性のある気体が外部へ放出されて環境を汚染することはない。
【００３５】
なお実施の形態における固定スクロールおよび旋回スクロールは両面式のものであるが、本発明は、各スクロールが片面式のものに対しても等しく適用しうることは言うまでもない。
【００３６】
【発明の効果】
運転に伴い、逆止弁は開き、低温もしくは常温の外気が、自動的に圧縮室における低圧領域へ吸引され、駆動軸およびその周辺の軸受その他の部材は効果的に冷却されるので耐用年数は延びる。
【００３７】
運転を止めれば、逆止弁（２５）は自動的に閉じるので、前記低圧領域に溜まっている有害の可能性のある気体が外部へ放出されて環境を汚染することはない。
【００３８】
さらに、逆止弁を通って圧縮室へ流入した気体により、圧縮室内部の水分や、運転により発生した摩耕粉等が、圧縮気体とともに排出される利点もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す縦断側面図である。
【図２】ピンクランク式自転防止機構を、分解して略示する縦断面図である。
【図３】逆止弁を例示する拡大縦断面図である。
【符号の説明】
（１）ハウジング
（１ａ）吸入孔
（２）圧縮室
（３）筐体
（３ａ）固定端板
（３ｂ）固定ラップ
（３ｃ）固定スクロール
（３ｄ）冷却フィン
（４）蓋体
（４ａ）固定端板
（４ｂ）固定ラップ
（４ｃ）固定スクロール
（４ｄ）冷却フィン
（５）旋回スクロール
（５ａ）旋回端板
（５ｂ）旋回ラップ
（６）（７）ベアリング
（８）駆動軸
（８ａ）偏心軸
（９）（１０）ベアリング
（１１）ピンクランク
（１１ａ）主軸
（１１ｂ）クランク軸
（１２）ボールベアリング
（１３）支持孔
（１４）軸受
（１５）塞栓
（１６）通孔
（１７）導出孔
（１８）排気ジョイント
（１９）（２０）冷却フィン
（２１）通気孔
（２２）弁孔
（２２ａ）弁座
（２２ｂ）段孔
（２３）出口孔
（２４）送気孔
（２４ａ）連通路
（２５）逆止弁
（２６）円板弁
（２７）受支板
（２７ａ）吐出孔
（２８）弁軸
（２９）圧縮コイルばね[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention meshes a fixed wrap in a fixed scroll provided in a housing with a turning wrap in a turning scroll pivotally supported on an eccentric shaft integral with the drive shaft, and with the driving shaft, the turning scroll has a constant eccentric amount. The present invention relates to a scroll decompression machine including a scroll vacuum pump configured to discharge a gas sucked from an outer peripheral portion of a housing by turning the gas toward a center of the housing.
[0002]
[Prior art]
The scroll decompression machine itself as described in the preceding paragraph is well known to those skilled in the art.
[0003]
In such a scroll decompression machine, when the operation time is long, the temperature of the eccentric shaft integrated with the drive shaft, and the temperature of the bearings and packings supporting the eccentric shaft rise, and finally the bearings and packing are damaged. , May endure use.
[0004]
Therefore, in order to increase the durability of the scroll decompression machine, it is an essential requirement that the eccentric shaft integrated with the drive shaft does not become excessively hot even after a long operation.
[0005]
Conventionally, the following means have been adopted in order to meet such a request, without mentioning references, as well as those skilled in the related art.
[0006]
(1) Low-temperature or normal-temperature air or nitrogen is introduced into the compression section of the scroll decompression machine to cool this section and dilute the toxicity of the gas in the compression section.
[0007]
(2) An axial ventilation hole was formed in the drive shaft, and low-temperature or room-temperature air or nitrogen was discharged from the ventilation hole, passed through the bearing portion, and then sent into the compression portion to cool this portion. Thereafter, the gas is discharged together with the discharged gas.
[0008]
(3) The eccentric shaft which is integral with the drive shaft is made hollow, and cool or normal temperature air is fed into the hollow to cool the eccentric shaft.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, the above-mentioned conventional technical means have the following problems.
In order to introduce low-temperature or normal-temperature air or nitrogen into the compression section, an introduction path for the air or nitrogen must be provided inside, and a means for supplying them must be provided outside. Therefore, the structure becomes complicated, the entire device becomes large, and the price becomes large.
[0010]
When the drive shaft is rotated, low-temperature or room-temperature air or nitrogen is discharged from the vent hole provided in the drive shaft by centrifugal force, and the bearings and the like are cooled. In some cases, a toxic gas or a gas containing impurities flows backward and is released into the atmosphere through a vent, so that the surroundings are polluted.
[0011]
The present invention has been made in view of such a problem in the related art, and in operation, in a scroll decompression machine including a scroll vacuum pump in which a low pressure region is generated in a housing, utilizing a low pressure region generated, The purpose is to cool the eccentric shaft, which is integral with the drive shaft, as well as its bearings and other peripheral members by automatically sucking the atmosphere, and to increase the durability. Is as follows.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
(1) The fixed wrap of the fixed scroll provided in the housing meshes with the orbiting wrap of the orbiting scroll pivotally supported by the eccentric shaft integral with the drive shaft, and the orbiting scroll is turned with a constant eccentric amount by the drive shaft. By doing so, in a scroll decompression machine that compresses and inhales gas sucked from the outer peripheral portion of the housing toward the center thereof, the drive shaft is provided with an air hole directed in the axial direction, The valve hole extends radially and is closed inside when the drive shaft is not rotating, but is provided with a check valve that opens when the drive shaft rotates due to the centrifugal force accompanying the drive shaft. The outer end in the direction is opened to a low pressure region in the compression chamber formed by the engagement of the fixed scroll and the orbiting scroll.
[0013]
(2) In the above item (1), in the orbiting end plate of the orbiting scroll, the radial inner end is linked with the radial outer end of the valve hole, and the radial outer end is connected to the low pressure in the compression chamber. An air supply opening is provided in the region.
[0014]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
FIG. 1 shows that a gas sucked from an outer peripheral portion of a housing is sucked into a compression portion formed by combining a orbiting scroll and a fixed scroll by turning a orbiting scroll in a housing with a constant eccentric amount, and the center direction thereof is changed. It is a longitudinal side view which shows an example which applied this invention to the scroll vacuum pump or scroll decompression machine which made it discharge from a center part after compressing as it goes.
[0015]
(1) is a housing having a closed disk-shaped compression chamber (2), which is composed of a housing (3) and a lid (4), and provided with a suction hole (1a) on the outer periphery. .
[0016]
The housing (3) and the lid (4) have fixed end plates (3a) and (4a) located on both sides of the compression chamber (2), respectively. The fixed scrolls (3c) and (4c) are formed on the facing surfaces, respectively, with fixed spiral wraps (3b) and (4b) standing upright.
[0017]
An orbiting scroll (5) is provided in the compression chamber (2) between the fixed end plates (3a) and (4a) so as to be able to orbit around the axis of the compression chamber (2).
[0018]
The orbiting scroll (5) has upright orbiting wraps (5b) and (5b) which are fitted on and engaged with the fixed scrolls (3c) and (4c) by 180 ° on both surfaces of the orbiting end plate (5a). The eccentric shaft (8a) of the drive shaft (8) fitted to the center of the housing (1) via bearings (6) and (7) is pivotally supported via bearings (9) and (10). I have.
[0019]
The revolving end plate (5a) is fixed to the fixed end plate (3a) via three well-known pin-crank type anti-rotation mechanisms (not shown in FIG. 1) arranged on the same circumference at equal intervals. ), And when the drive shaft (8) rotates, the revolving end plate (5a) makes an eccentric revolving motion in the compression chamber (2) and engages with the fixed wraps (3b) (4b) and the revolving wrap (5b). ) Is changed in the radial direction of the space between them.
[0020]
As shown in FIG. 2, the pin crank type rotation prevention mechanism pivotally supports a main shaft (11a) of a pin crank (11) to a fixed end plate (3a) via a ball bearing (12), and Similarly, the crankshaft (11b) is pivotally supported by an appropriate bearing (14) fitted in a support hole (13) formed near the outer periphery of the turning end plate (5a).
[0021]
At a location near the center of the housing (4), the passage is oriented in the axial direction, the inner end is open at a location near the center of the compression chamber (2), and the outer end is closed with an embolus (15). A hole (16) is provided.
[0022]
The housing (4) is provided with a radial outlet hole (17) extending from the outer peripheral surface to the through hole (16), and an exhaust joint is provided at a radial outer end of the outlet hole (17). (18) is fitted.
The drive shaft (8) is driven by a motor (not shown). At a position near the outside of the housing (3) and the lid (4), the drive shaft (8) includes a cooling fan ( 19) and (20) are attached.
[0023]
Appropriate cooling fins (3d) (4d) protrude from the outer surfaces of the housing (3) and the lid (4).
Further, in this embodiment, a novel feature of the present invention is that a drive hole (21) is provided at the center of the drive shaft (8) through the entire length of the drive shaft (8). A valve hole (22) extending from the ventilation hole (21) to the outer peripheral surface is formed at the axial center of the thick portion of the eccentric shaft (8a) integral with the shaft (8).
[0024]
Further, the turning end plate (5a) extends radially from the radially outer end of the ventilation hole (21) through an annular communication path (24a), and is fixed to the fixed wraps (3b) and (4b). An air supply hole (24) that opens through a small-diameter outlet hole (23) is provided in a low-pressure region that is a radially intermediate portion of the compression chamber (2) formed by meshing with the compression chamber (5).
[0025]
A suitable check valve (25) that opens outward in the radial direction but does not open inward is fitted in the valve hole (22).
[0026]
Although the form of the check valve (25) is arbitrary, an example is shown in FIG.
A small-diameter valve seat (22a) is formed at a radially inner end of the valve hole (22), and a step hole (22b) having a larger diameter on the outer side is provided at an outer end thereof.
[0027]
A disk valve (26) is provided outside the valve seat (22a) in the valve hole (22), and a support plate (27) having an appropriate discharge hole (27a) is provided outside the step hole (22b). It has stopped.
[0028]
A valve shaft (28) protruding radially outward from the center of the disc valve (26) is loosely fitted into the center of the receiving plate (27), and is supported by the disc valve (26). Between the plates (27), a compression cost spring (29) is fitted to the valve shaft (28).
[0029]
In the scroll decompression machine having such a configuration, the strength of the compression coil spring (29) of the check valve (25) is determined as required so as to achieve the object described later, and the disc valve (26) is closed. In this state, the suction port (1a) is connected to an airtight container (not shown) for reducing or evacuating the pressure, and the air hole (21) provided in the drive shaft (8) is connected to the outside air. The drive shaft (8) is driven.
[0030]
As the drive shaft (8) rotates, the orbiting scroll (5) pivotally supported by the drive shaft (8) orbits with a constant eccentric amount while meshing with the fixed scrolls (3c) and (4c). The pressure in the closed container connected to the suction hole (1a) is sequentially reduced, and a low-pressure region is generated in a portion near the center of the meshing portion of the scrolls (3c), (4c), and (5) in the housing (1). .
[0031]
However, at this time, when the rotation speed of the drive shaft (8) exceeds a certain value, the disc valve (26) of the check valve (25) provides a centrifugal force associated therewith and resists the compression coil spring (29). And move in the radial direction to open.
[0032]
Therefore, outside air is sucked into the low-pressure region generated at the meshing portion between the fixed and orbiting scrolls (3c), (4c), and (5) in the housing (1), and the vent hole (21) and the check valve (25). , And through the annular communication passage (24a), flows into the air supply hole (24), and is discharged from the terminal outlet hole (23).
[0033]
Therefore, the eccentric shaft (8a) of the drive shaft (8) and the bearings (9) (10), packings, etc. provided on the outer periphery thereof are cooled, and the service life thereof is increased.
[0034]
Further, when the operation is stopped, the check valve (25) is automatically closed, so that the potentially harmful gas accumulated in the low pressure area is not released to the outside and pollutes the environment.
[0035]
Although the fixed scroll and the orbiting scroll in the embodiment are of the double-sided type, it is needless to say that the present invention can be equally applied to the scrolls of the single-sided type.
[0036]
【The invention's effect】
With the operation, the check valve opens, the low-temperature or normal-temperature outside air is automatically sucked into the low-pressure area in the compression chamber, and the drive shaft and its surrounding bearings and other members are effectively cooled, so that the service life is extended. Extend.
[0037]
When the operation is stopped, the check valve (25) is automatically closed, so that the potentially harmful gas accumulated in the low pressure region is not released to the outside and pollutes the environment.
[0038]
Further, there is also an advantage that the gas flowing into the compression chamber through the check valve causes moisture in the compression chamber, dusts generated by operation, and the like to be discharged together with the compressed gas.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal sectional side view showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded and schematic cross-sectional view of a pin crank type anti-rotation mechanism.
FIG. 3 is an enlarged vertical sectional view illustrating a check valve.
[Explanation of symbols]
(1) Housing (1a) Suction hole (2) Compression chamber (3) Housing (3a) Fixed end plate (3b) Fixed wrap (3c) Fixed scroll (3d) Cooling fin (4) Lid (4a) Fixed end Plate (4b) fixed wrap (4c) fixed scroll (4d) cooling fin (5) orbiting scroll (5a) orbiting end plate (5b) orbiting wrap (6) (7) bearing (8) drive shaft (8a) eccentric shaft ( 9) (10) Bearing (11) Pin crank (11a) Main shaft (11b) Crank shaft (12) Ball bearing (13) Support hole (14) Bearing (15) Embolus (16) Through hole (17) Outlet hole (18) ) Exhaust joint (19) (20) Cooling fin (21) Vent hole (22) Valve hole (22a) Valve seat (22b) Step hole (23) Outlet hole (24) Air supply hole (24a) Communication passage (25) Reverse Stop valve (26) Disc valve (27) Support plate 27a) discharge hole (28) valve shaft (29) a compression coil spring

Claims

By engaging the fixed wrap of the fixed scroll provided in the housing with the orbiting wrap of the orbiting scroll pivotally supported on the eccentric shaft integral with the drive shaft, and turning the orbiting scroll with a constant eccentric amount with the drive shaft. In a scroll decompression machine that compresses and discharges gas inhaled from the outer peripheral portion of the housing toward the center thereof, a drive shaft has an axially-oriented ventilation hole, and a radial direction extending from the ventilation hole. The drive shaft is extended and closed inside when the drive shaft is not rotating, but is provided with a check valve provided with a check valve which opens when the drive shaft rotates due to the centrifugal force accompanying the drive shaft. A scroll end having an open end in a low-pressure region of a compression chamber formed by meshing the fixed scroll and the orbiting scroll. Le vacuum machine.

The orbiting end plate of the orbiting scroll has an air supply hole whose radial inner end communicates with the radial outer end of the valve hole and whose radial outer end opens to a low-pressure region in the compression chamber. The scroll decompression machine according to claim 1, wherein: