JP3388333B2 - Light beam scanning device - Google Patents

Light beam scanning device

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JP3388333B2
JP3388333B2 JP27387795A JP27387795A JP3388333B2 JP 3388333 B2 JP3388333 B2 JP 3388333B2 JP 27387795 A JP27387795 A JP 27387795A JP 27387795 A JP27387795 A JP 27387795A JP 3388333 B2 JP3388333 B2 JP 3388333B2
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一 森脇
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光ビーム走査装置に
関し、特に光源からの光をシリンドリカルレンズ及び光
偏向器を介して被照射体へ走査照射する光ビーム走査装
置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light beam scanning device, and more particularly, to a light beam scanning device for scanning and irradiating light from a light source onto an irradiation object through a cylindrical lens and an optical deflector.

【0002】[0002]

【従来の技術】上位装置からの送出データを、直接OP
C(Organic Photoconductio
n:有機光導電体)にレーザ描画して刷板を作成するた
めに、光ビーム走査装置が用いられる。この場合、記録
方式は電子写真方式が採用されており、その工程の中で
帯電,描画処理が行われるが、その記録光学系として平
面走査光学系が設けられている。
2. Description of the Prior Art Data sent from a host device is directly OP
C (Organic Photoconductio
A light beam scanning device is used to create a printing plate by laser drawing on (n: organic photoconductor). In this case, an electrophotographic method is adopted as the recording method, and charging and drawing processing are performed in the process, and a plane scanning optical system is provided as the recording optical system.

【0003】この様な平面走査光学系の例を図5に示し
ている。図5において、半導体体レーザによる光源1か
らの光はコリメータレンズ2,シリンドリカルレンズ3
を介して光偏向器であるポリゴンミラー4へ照射され、
水平偏向がなされる。この偏向された光はfθレンズ5
を介してシリンダミラー6へ照射され、垂直偏向がなさ
れる。こうして二次元走査された光は感材13上へ照射
されることになる。
An example of such a plane scanning optical system is shown in FIG. In FIG. 5, the light from the light source 1 by the semiconductor laser is a collimator lens 2 and a cylindrical lens 3.
It is irradiated to the polygon mirror 4 which is an optical deflector via
Horizontal deflection is performed. This deflected light is reflected by the fθ lens 5
The light is emitted to the cylinder mirror 6 via the and is vertically deflected. The light that has been two-dimensionally scanned in this way is irradiated onto the photosensitive material 13.

【0004】図6は特開平3−2817号公報に開示の
光ビーム走査装置を示しており、図5と同等部分は同一
符号により示している。図6を参照すると、光源1から
の光は、回転自在なコリメートビーム径絞り板14と、
光減衰のためのNDフィルタ15と、シリンドリカルレ
ンズ3とを介してポリゴンミラー4へ照射され、水平偏
向がなされる。この偏向された光は複数のfθレンズ5
を介して感材13へ照射されるのである。
FIG. 6 shows a light beam scanning device disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-2817, and the same parts as those in FIG. 5 are designated by the same reference numerals. Referring to FIG. 6, the light from the light source 1 is generated by a rotatable collimated beam diameter diaphragm plate 14,
The polygon mirror 4 is irradiated with light through the ND filter 15 for attenuating light and the cylindrical lens 3, and is horizontally deflected. The deflected light is transmitted to the plurality of fθ lenses 5
The light is applied to the photosensitive material 13 via.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】新聞社等で使用される
画像の線密度としては、低密度の454LPI(Lin
e per Inch)と、高密度の909LPIとが
混在する。
As a linear density of an image used in a newspaper company or the like, a low density of 454 LPI (Lin) is used.
e per Inch) and high density 909 LPI are mixed.

【0006】このために、図5の例では、低密度時には
高密度時のビーム径で一ラインデータ幅になる様に二度
走査(図4(B)参照)を行って、低密度と高密度との
解像力が同一になるように画像品質を保証する必要があ
る。すなわち、低密度時には二度走査を行うために、実
行スピードが1/2となり、記録時間が大きくなるとい
う問題がある。
For this reason, in the example of FIG. 5, when the density is low, the scanning is performed twice so that the beam diameter at the time of high density has one line data width (see FIG. 4B), and the low density and high density are obtained. It is necessary to guarantee the image quality so that the resolution is the same as the density. That is, when the density is low, scanning is performed twice, so that the execution speed is halved and the recording time becomes long.

【0007】図6の例では、記録密度を切換えるときに
は、感材13上の光スポットの水平走査方向(主走査方
向)径はポリゴンミラー4の回転速度と光源1の発光タ
イミングとにより変更させ、垂直走査方向(副走査方
向)径は絞り板14の傾斜量により変更させる様になっ
ている。
In the example of FIG. 6, when the recording density is switched, the diameter of the light spot on the photosensitive material 13 in the horizontal scanning direction (main scanning direction) is changed by the rotation speed of the polygon mirror 4 and the light emission timing of the light source 1. The diameter in the vertical scanning direction (sub-scanning direction) is changed according to the tilt amount of the diaphragm plate 14.

【0008】すなわち、高密度記録時には、絞り板14
の傾斜量を小として光遮断量を減少させると共に、ND
フィルタ15により光を減衰させ、低密度記録時には、
絞り板14の傾斜量を大として光遮断量を増大させると
共に、NDフィルタ15を光路上から除去して光を通過
させるようになっている。
That is, at the time of high density recording, the diaphragm plate 14
The amount of light blocking is reduced by reducing the tilt amount of
Light is attenuated by the filter 15, and when recording at low density,
The amount of light blocking is increased by increasing the tilt amount of the diaphragm plate 14, and the ND filter 15 is removed from the optical path to allow light to pass.

【0009】この様な方式の場合、半導体レーザを用い
たときその素子の発散角のバラツキにより、一定の絞り
では副走査方向のビーム径が同一とはならず、絞り板の
幅を調整することが必要である。また、絞りによる光量
の変動に対しても一定値とはならないので、NDフィル
タ15を適切なものとすることが必要であるという問題
もある。
In the case of such a system, when a semiconductor laser is used, the beam diameters in the sub-scanning direction are not the same at a fixed diaphragm due to variations in the divergence angle of the element, and the width of the diaphragm plate must be adjusted. is necessary. In addition, the ND filter 15 needs to be appropriate because it does not have a constant value even when the amount of light varies due to the diaphragm.

【0010】更に、絞り板14を用いるということは、
高密度と低密度との結像位置でのビーム径が変化するこ
とになるので、低密度の解像力が低下するという欠点が
ある。
Further, using the diaphragm plate 14 means that
Since the beam diameters at the high-density and low-density image forming positions are changed, there is a drawback that the resolution of the low density is reduced.

【0011】本発明の目的は、走査スピードや解像力の
低下をなくすことが可能な光ビーム走査装置を提供する
ことである。
An object of the present invention is to provide a light beam scanning device capable of eliminating a decrease in scanning speed and resolution.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、光源か
らの光をシリンドリカルレンズ及び光偏向器を介して被
照射体へ走査照射する光ビーム走査装置であって、前記
光源と前記シリンドリカルレンズとの間に設けられλ/
2板と光減衰器とを外部駆動により切換え自在な可動フ
ィルタ手段と、前記シリンドリカルレンズと前記光偏向
器との間に設けられた複屈折板とを含むことを特徴とす
る光ビーム走査装置が得られる。
According to the present invention, there is provided a light beam scanning device for scanning and irradiating an object to be irradiated with light from a light source through a cylindrical lens and an optical deflector, the light source and the cylindrical lens. Is provided between and
An optical beam scanning device comprising: a movable filter means capable of switching between two plates and an optical attenuator by an external drive; and a birefringent plate provided between the cylindrical lens and the optical deflector. can get.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の作用について述べる。半
導体レーザは直線偏光であり、位相が揃っていることに
着目したものであり、光学現象を利用してλ/2板と複
屈折板とによりビームを二つに分離し、低密度の二度走
査を一度の走査で可能としている。高密度走査時、ND
フィルタをλ/2板の代りに光路上に挿入して偏光方向
を元に戻して一つのビームとする。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The operation of the present invention will be described. The semiconductor laser is a linearly polarized light, and its attention is paid to the fact that the phases are aligned. The beam is separated into two by a λ / 2 plate and a birefringent plate by using an optical phenomenon, and a low density double beam is used. Scanning is possible with a single scan. ND during high-density scanning
A filter is inserted in the optical path instead of the λ / 2 plate and the polarization direction is restored to one beam.

【0014】この場合、NDフィルタとして透過率50
%のものを用いると、二ビームに分離した時と同等の感
材面での像画エネルギが得られることになり、透過率5
0%NDフィルタ一種を用いれば良いものである。
In this case, the ND filter has a transmittance of 50.
%, It is possible to obtain an image energy on the surface of the photosensitive material which is equivalent to that when the beam is split into two beams, and the transmittance is 5
It is sufficient to use one type of 0% ND filter.

【0015】以下、図面を用いて本発明の実施例につい
て説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0016】図1は本発明の実施例の構成を示す図であ
り、図5と同等部分は同一符号により示されている。図
1において、図5と異なる部分についてのみ説明する。
コリメータレンズ2とシリンドリカルレンズ3との間
に、可動フィルタ部7を設け、またシリンドリカルレン
ズ3とポリゴンミラー4との間に複屈折板8を設けてい
る。他の構成は図5のそれと同一であり、その説明は省
略する。
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention, and the same portions as those in FIG. 5 are designated by the same reference numerals. In FIG. 1, only parts different from those in FIG. 5 will be described.
A movable filter unit 7 is provided between the collimator lens 2 and the cylindrical lens 3, and a birefringent plate 8 is provided between the cylindrical lens 3 and the polygon mirror 4. The other structure is the same as that of FIG. 5, and the description thereof is omitted.

【0017】可動フィルタ7は光軸に対して直交する面
内で矢印Aの方向に移動自在であり、図2(A),
(B)に示す如く、λ/2板9とNDフィルタ(透過率
50%)10とが取付けられている。
The movable filter 7 is movable in the direction of arrow A in a plane orthogonal to the optical axis, as shown in FIG.
As shown in (B), a λ / 2 plate 9 and an ND filter (transmittance 50%) 10 are attached.

【0018】半導体レーザ1よりの出射光はコリメータ
レンズ2により平行光束となる。レーザ光は光源として
偏光方向が定まっており、便宜上光学ベース100の面
に対して垂直方向の振動波をP波,水平方向の振動波を
S波として扱う。
The light emitted from the semiconductor laser 1 becomes a parallel light flux by the collimator lens 2. The polarization direction of the laser light is fixed as a light source, and for convenience sake, the vibration wave in the direction perpendicular to the surface of the optical base 100 is treated as a P wave and the vibration wave in the horizontal direction is treated as an S wave.

【0019】コリメータレンズ2を出た光P波は可動フ
ィルタ部7で選択されたλ/2板9を通過する(図2
(A)の状態)。このλ/2板9はλ/2の偏光方向を
変える作用を有し、よって、光学ベース100に対して
45゜偏光する様にλ/2板9はP波に対して22.5
゜傾く様に配置されている。
The light P wave emitted from the collimator lens 2 passes through the λ / 2 plate 9 selected by the movable filter portion 7 (see FIG. 2).
(State of (A)). The λ / 2 plate 9 has a function of changing the polarization direction of λ / 2, and therefore, the λ / 2 plate 9 is polarized by 45 ° with respect to the optical base 100, and thus the λ / 2 plate 9 is 22.5 with respect to the P wave.
It is arranged to tilt.

【0020】このλ/2板9を通過した光はシリンドリ
カルレンズ3を通過後、複屈折効果の大きい水晶や方解
石等の複屈折板8へ入射して透過する。この過程におい
て、45゜に偏光された光は、複屈折現象による異常光
線11と常光線12とに平行に分離される。よって、平
行なP波,S波の二つの分離ビームとなって出力され
る。
The light that has passed through the λ / 2 plate 9 passes through the cylindrical lens 3 and then enters the birefringent plate 8 such as quartz or calcite having a large birefringence effect and is transmitted therethrough. In this process, the light polarized at 45 ° is split into the extraordinary ray 11 and the ordinary ray 12 due to the birefringence phenomenon. Therefore, it is outputted as two separated beams of P wave and S wave which are parallel to each other.

【0021】この時、複屈折板8は副走査方向(ポリゴ
ンミラー4による主走査方向に直交する方向)に二つの
波が分離する様に配置されるものとする。
At this time, the birefringent plate 8 is arranged so that two waves are separated in the sub-scanning direction (direction orthogonal to the main scanning direction by the polygon mirror 4).

【0022】この分離された二つのビームはポリゴンミ
ラー4で偏向され、fθレンズ5とシリンドリカルミラ
ー6とを介して感材13上の感光面である結像面に集光
することになる。
The two separated beams are deflected by the polygon mirror 4 and are focused on the image forming surface which is the photosensitive surface on the photosensitive material 13 via the fθ lens 5 and the cylindrical mirror 6.

【0023】ここで、複屈折板8における二つの分離光
の分離距離dは、図3を参照して、 d=[(1/n 2−1/ne 2)/{2(sin 2φ/ne 2 +cos 2φ/n0 2)}](sin 2φ)t…(1) と表される。
Here, the separation distance d of the two separated lights in the birefringent plate 8 is as shown in FIG. 3, d = [(1 / n 2 −1 / ne 2 ) / {2 (sin 2 φ / ne 2 + cos 2 φ / n 0 2 )}] (sin 2 φ) t ... (1).

【0024】ここに、n0 は常光線12に対する屈折
率,ne は異常光線11に対する屈折率,tは複屈折板
8の厚さ,φは複屈折板8の光学軸の角度である。
Here, n0 is the refractive index for the ordinary ray 12, ne is the refractive index for the extraordinary ray 11, t is the thickness of the birefringent plate 8, and φ is the angle of the optical axis of the birefringent plate 8.

【0025】また、上記dはfθレンズ5とシリンドリ
カルミラー6の倍率でも決定されることになる。結果的
に、結像面上での二つの分離ビーム17(図1参照)の
分離距離dは(1)式により複屈折坂8の板厚tと定め
れば決定されることになる。
Further, the above d is also determined by the magnification of the fθ lens 5 and the cylindrical mirror 6. As a result, the separation distance d of the two separated beams 17 (see FIG. 1) on the image plane is determined by setting the plate thickness t of the birefringent slope 8 by the equation (1).

【0026】この分離された二つの光は、偏光方向のみ
違うので、結像面上のビーム形状もエネルギー密度も同
一となりツインビーム17となる。従って、低密度の4
54LPIを走査する時は、可動フィルタ部7のλ/2
板9と複屈折板8が光軸上に配置されることで2ビーム
ができ、高密度の909LPIを走査する時は、可動フ
ィルタ部7を図示しない駆動系により移動させ、λ/2
板9からNDフィルタ10に切換えることで、出射され
るP波がそのまま複屈折板8を常光線12として通過す
るので、ビームは分離されずポリゴンミラー4に入射
し、fθレンズ5,シリンドリカルミラー6を介して結
像位置に集光する。
Since the two separated lights differ only in the polarization direction, they have the same beam shape and energy density on the image plane, and become a twin beam 17. Therefore, low density 4
When scanning 54 LPI, λ / 2 of the movable filter unit 7
By arranging the plate 9 and the birefringent plate 8 on the optical axis, two beams are formed, and when scanning the high-density 909 LPI, the movable filter unit 7 is moved by a drive system (not shown) to obtain λ / 2.
By switching from the plate 9 to the ND filter 10, the emitted P wave passes through the birefringent plate 8 as an ordinary ray 12 as it is, so that the beam is not separated and enters the polygon mirror 4, and the fθ lens 5 and the cylindrical mirror 6 The light is focused on the image forming position via.

【0027】ここで、NDフィルタ10は完全に光量は
二つに分離されるので、50%透過するものを設定し、
2ビームに分離した時の各パワーと分離しない時のパワ
ーを同一になるようにしてある。
Here, since the ND filter 10 completely separates the light amount into two, a filter that transmits 50% is set,
The power when splitting into two beams and the power when not splitting are the same.

【0028】図4(A)は本実施例による1回走査によ
る2ビーム走査を示し、(B)は従来の図5の方式の2
回走査による1ビーム走査を示しており、共に454L
PI幅の系を得る場合である。
FIG. 4A shows two-beam scanning by one-time scanning according to the present embodiment, and FIG.
1-beam scanning by one time scanning is shown, both are 454L
This is a case of obtaining a PI width system.

【0029】[0029]

【発明の効果】このような構成をとることで、画像品質
を変えずに従来の2倍のスピードで走査することが可能
となり、可動フィルタ部7のλ/2板9,NDフィルタ
10を選択することで、2ビーム,1ビームの切替えが
可能となり高密度の909LPIの走査も従来通り可能
となる。
By adopting such a configuration, it becomes possible to scan at a speed twice that of the conventional one without changing the image quality, and the λ / 2 plate 9 and the ND filter 10 of the movable filter section 7 are selected. By doing so, switching between 2 beams and 1 beam becomes possible, and high-density 909 LPI scanning becomes possible as in the conventional case.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an exemplary embodiment of the present invention.

【図2】(A)はλ/2板透過時の光ビームの様子を示
し、(B)はNDフィルタ透過時の光ビームの様子を示
す図である。
FIG. 2A is a diagram showing a state of a light beam when transmitted through a λ / 2 plate, and FIG. 2B is a diagram showing a state of a light beam when transmitted through an ND filter.

【図3】複屈折板通過の光線図である。3 is a ray diagram of light passing through a birefringent plate.

【図4】(A)は本発明の実施例の走査ビームを示し、
(B)は従来の走査ビームを示す図である。
FIG. 4A shows a scanning beam of an embodiment of the present invention,
(B) is a diagram showing a conventional scanning beam.

【図5】従来の光ビーム走査装置の一例を示す図であ
る。
FIG. 5 is a diagram showing an example of a conventional light beam scanning device.

【図6】従来の光ビーム走査装置の他の例を示す図であ
る。
FIG. 6 is a diagram showing another example of a conventional light beam scanning device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光源(半導体レーザ) 2 コリメータレンズ 3 シリンドリカルレンズ 4 ポリゴンミラー 5 fθレンズ 6 シリンドリカルミラー 7 可動フィルタ部 8 複屈折板 9 λ/2板 10 NDフィルタ 11 異常光線 12 常光線 13 感材 100 光学ベース 1 Light source (semiconductor laser) 2 Collimator lens 3 Cylindrical lens 4 polygon mirror 5 fθ lens 6 Cylindrical mirror 7 Movable filter section 8 Birefringent plate 9 λ / 2 plate 10 ND filter 11 extraordinary rays 12 ordinary rays 13 Sensitive materials 100 optical base

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光源からの光をシリンドリカルレンズ及
び光偏向器を介して被照射体へ走査照射する光ビーム走
査装置であって、前記光源と前記シリンドリカルレンズ
との間に設けられλ/2板と光減衰器とを外部駆動によ
り切換え自在な可動フィルタ手段と、前記シリンドリカ
ルレンズと前記光偏向器との間に設けられた複屈折板と
を含むことを特徴とする光ビーム走査装置。
1. A light beam scanning device for scanning and irradiating light from a light source onto an object to be irradiated through a cylindrical lens and an optical deflector, the λ / 2 plate being provided between the light source and the cylindrical lens. And a light attenuator that can be switched by an external drive, and a birefringence plate provided between the cylindrical lens and the light deflector.
【請求項2】 前記可動フィルタ手段のλ/2板を選択
するように切換えることにより低密度走査を行い、前記
可動フィルタ手段の光減衰器を選択するように切換える
ことにより高密度走査を行うようにしたことを特徴とす
る請求項1記載の光ビーム走査装置。
2. A low density scan is performed by switching to select a λ / 2 plate of the movable filter means, and a high density scan is performed by switching to select an optical attenuator of the movable filter means. The light beam scanning device according to claim 1, wherein
【請求項3】 前記光減衰器は50%の減衰量を有する
ことを特徴とする請求項2記載の光ビーム走査装置。
3. The light beam scanning device according to claim 2, wherein the optical attenuator has an attenuation amount of 50%.
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