JP3386415B2 - Wire saw - Google Patents
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- JP3386415B2 JP3386415B2 JP24557699A JP24557699A JP3386415B2 JP 3386415 B2 JP3386415 B2 JP 3386415B2 JP 24557699 A JP24557699 A JP 24557699A JP 24557699 A JP24557699 A JP 24557699A JP 3386415 B2 JP3386415 B2 JP 3386415B2
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤを用い
て、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よ
りなるワークを切断加工するようにしたワイヤソーに関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wire saw for cutting a work made of a hard and brittle material such as a semiconductor material, a magnetic material and a ceramic by using a wire.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種のワイヤソーにおいては、ブラケ
ットに複数の加工用ローラが軸受部を介して回転可能に
支持され、それらの加工用ローラ間にワーク切断用のワ
イヤが多数回巻回されている。そして、加工用ローラの
回転により、ワイヤが走行されながら、ワイヤに対して
ワークが押し付けられるとともに、そのワイヤとワーク
との間に遊離砥粒を含むスラリが供給されて、ワークが
切断加工されるようになっている。2. Description of the Related Art In a wire saw of this type, a plurality of working rollers are rotatably supported by a bracket via bearings, and a wire for cutting a work is wound many times between the working rollers. There is. Then, by rotating the processing roller, the work is pressed against the wire while the wire is running, and a slurry containing loose abrasive grains is supplied between the wire and the work to cut the work. It is like this.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところが、ワークの切
断加工が進行するに従って、スラリや、加工用ローラの
軸受部に供給される潤滑油の温度が上昇する。このた
め、ブラケットが熱変位して、各加工用ローラの支持位
置が変化し、この変化によってワイヤの走行軌跡や張力
が変動して、ワークの加工精度が低下するという問題が
あった。However, as the cutting work of the work progresses, the temperature of the slurry and the lubricating oil supplied to the bearing portion of the working roller rises. Therefore, there is a problem that the bracket is thermally displaced and the supporting position of each machining roller is changed, and the traveling locus and the tension of the wire are changed by this change, and the machining accuracy of the work is deteriorated.
【０００４】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、ブラケットの熱変位を抑制することがで
きて、ワークの加工精度が低下するのを防止することが
できるワイヤソーを提供することにある。The present invention has been made by paying attention to the problems existing in such conventional techniques. An object of the invention is to provide a wire saw capable of suppressing the thermal displacement of the bracket and preventing the machining accuracy of the work from being deteriorated.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段及び発明の効果】上記の目
的を達成するために、請求項１に記載の発明では、装置
フレームに一対の支持板部を突出させてブラケットを装
着し、このブラケットの両支持板部間に複数の加工用ロ
ーラを軸受部を介して回転可能に支持し、それらの加工
用ローラ間にワーク切断用のワイヤを多数回巻回したワ
イヤソーにおいて、前記ブラケットの各支持板部に流体
通路を設けて、その流体通路内に温度調節用の流体を流
すように構成したことを特徴とするものである。Means for Solving the Problems and Effects of the Invention In order to achieve the above-mentioned object, in the invention described in claim 1, an apparatus is provided.
Attach the bracket by protruding the pair of support plates on the frame.
In wearing, and a plurality of processing rollers rotatably supported via a bearing portion between the support plates of the bracket, and wound many times wire for work cut between their machining roller wire saw, A fluid passage is provided in each of the support plate portions of the bracket , and a fluid for temperature control is made to flow in the fluid passage.
【０００６】従って、ワークの切断加工時に、ワイヤと
ワークとの間に供給されるスラリの温度が上昇したり、
加工用ローラの軸受部に供給される潤滑油の温度が上昇
したりしても、流体通路内に流れる温度調節用の流体に
より、ブラケットの温度上昇が抑制される。よって、ブ
ラケットが熱変位するのを抑制して、加工用ローラの支
持位置がほとんど変動しないようにすることが可能にな
り、ワークの加工精度を向上させることができる。Therefore, during cutting of the work, the temperature of the slurry supplied between the wire and the work rises,
Even if the temperature of the lubricating oil supplied to the bearing portion of the processing roller rises, the temperature control fluid flowing in the fluid passage suppresses the bracket temperature rise. Therefore, it is possible to suppress thermal displacement of the bracket, and to make the supporting position of the processing roller hardly change, thereby improving the processing accuracy of the work.
【０００７】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載のワイヤソーにおいて、前記流体通路を各加工用ロー
ラの軸受部に近接して配置したことを特徴とするもので
ある。According to a second aspect of the present invention, in the wire saw according to the first aspect, the fluid passage is arranged close to the bearing portion of each processing roller.
【０００８】従って、ブラケットにおける各加工用ロー
ラのための軸受部付近の熱変位を有効に抑制することが
できる。このため、加工用ローラの支持位置の変動をさ
らに防止して、ワークの加工精度が低下するのを効果的
に防止することができる。Therefore, it is possible to effectively suppress the thermal displacement in the vicinity of the bearing portion for each processing roller in the bracket. For this reason, it is possible to further prevent fluctuations in the supporting position of the processing roller, and effectively prevent deterioration of the processing accuracy of the work.
【０００９】請求項３に記載の発明では、請求項１また
は請求項２に記載のワイヤソーにおいて、前記流体通路
を各加工用ローラの軸受部を包囲するように配置したこ
とを特徴とするものである。According to a third aspect of the present invention, in the wire saw according to the first or second aspect, the fluid passage is arranged so as to surround the bearing portion of each processing roller. is there.
【００１０】従って、ブラケットにおける各加工用ロー
ラのための軸受部付近の熱変位をより有効に抑制するこ
とができて、ワークの加工精度が低下するのを一層効果
的に防止することができる。Therefore, it is possible to more effectively suppress the thermal displacement in the vicinity of the bearing portion for each processing roller in the bracket, and it is possible to more effectively prevent the deterioration of the processing accuracy of the work.
【００１１】請求項４に記載の発明では、請求項１〜３
のいずれかに記載のワイヤソーにおいて、前記流体通路
を熱変位の大きい箇所を包囲するように配置したことを
特徴とするものである。According to the invention described in claim 4, claims 1 to 3 are provided.
In the wire saw according to any one of items 1 to 3, the fluid passage is arranged so as to surround a portion having a large thermal displacement .
【００１２】従って、熱変位の大きな箇所の温度変化を
確実に抑制して、熱変位を抑えることができ、高精度加
工に大きく寄与できる。尚、ブラケット全体を包囲する
流体通路によりブラケットの周囲から受けるブラケット
全体への熱影響を少なくできて、ブラケット全体の熱変
位を抑制して、さらに高精度な加工を実現できる。Therefore, it is possible to reduce the temperature change at a location where the thermal displacement is large.
It is possible to suppress it surely, to suppress thermal displacement, and to add high precision.
It can greatly contribute to work. In addition, the fluid passage surrounding the entire bracket can reduce the thermal influence on the entire bracket received from the periphery of the bracket, suppress the thermal displacement of the entire bracket, and realize more accurate processing.
【００１３】請求項５に記載の発明では、請求項１〜４
のいずれかに記載のワイヤソーにおいて、前記ブラケッ
トを鋳造により成形し、その内部に流体通路を形成した
ことを特徴とするものである。According to the invention described in claim 5, claims 1 to 4 are provided.
In the wire saw according to any one of the bracket
Was formed by casting, and a fluid passage was formed inside it.
It is characterized by that.
【００１４】従って、ブラケットを成形する際に、その
内部に流体通路を容易に形成することができる。請求項
６に記載の発明では、請求項１〜５のいずれかに記載の
ワイヤソーにおいて、前記ブラケットの外側に、溝と、
その溝の開放部を閉塞する蓋とを設けて、それらにより
流体通路を形成したことを特徴とするものである。 Therefore, when molding the bracket,
The fluid passage can be easily formed inside. In the invention according to claim 6, in the wire saw according to any one of claims 1 to 5 , a groove is provided outside the bracket,
With a lid that closes the open part of the groove,
It is characterized in that a fluid passage is formed.
【００１５】従って、ブラケットを成形する際に、その
内部に流体通路を容易に形成することができる。請求項
７に記載の発明では、請求項１〜６のいずれかに記載の
ワイヤソーにおいて、前記ワイヤとワークとの間に供給
されるように循環使用される加工液を、本流から分岐さ
せて流体通路に流すようにしたことを特徴とするもので
ある。Therefore, when the bracket is molded, the fluid passage can be easily formed therein. According to a seventh aspect of the invention, in the wire saw according to any of the first to sixth aspects, a working fluid that is circulated and used so as to be supplied between the wire and the work is branched from a main stream to be a fluid. It is characterized in that it is made to flow to the passage.
【００１６】従って、温度調節用の流体のために、加工
液と別の流体循環通路を設ける必要がなく、構成を簡略
化することができる。請求項８に記載の発明では、請求
項１〜７のいずれかに記載のワイヤソーにおいて、前記
ブラケットの温度を検出する検出手段と、その検出手段
の検出結果に基づいて流体の流量または温度の少なくと
もいずれか一方を調節する調節手段とを設けたことを特
徴とするものである。Therefore, it is not necessary to provide a fluid circulation passage separate from the working fluid for the temperature adjusting fluid, and the construction can be simplified. According to the invention described in claim 8, in the wire saw according to any one of claims 1 to 7, at least a detection unit that detects the temperature of the bracket, and at least the flow rate or the temperature of the fluid based on the detection result of the detection unit. An adjusting means for adjusting either one is provided.
【００１７】従って、ブラケットの温度に応じて、流体
通路に流れる流体の流量または温度の少なくともいずれ
か一方を調節して、ブラケットの温度を迅速かつ正確に
調整制御することができる。Therefore, the temperature of the bracket can be quickly and accurately adjusted and controlled by adjusting at least one of the flow rate and the temperature of the fluid flowing through the fluid passage according to the temperature of the bracket.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下に、この発明の一実施形態
を、図面に基づいて詳細に説明する。図１に示すよう
に、装置フレーム１１にはブラケット１２が装着されて
いる。このブラケット１２は基板部１２ａと一対の支持
板部１２ｂとを備え、それらの部分が鋳造により一体に
成形されている。ブラケット１２の両支持板部１２ｂ間
には３本の加工用ローラ１３，１４，１５が軸受部１６
を介して回転可能に支持され、それらの加工用ローラ１
３〜１５間にはワーク切断用のワイヤ１７が複数回巻回
されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, a bracket 12 is attached to the device frame 11. The bracket 12 includes a substrate portion 12a and a pair of support plate portions 12b, and these portions are integrally formed by casting. Between the two support plate portions 12 b of the bracket 12, three processing rollers 13, 14, 15 are provided in the bearing portion 16.
Roller 1 which is rotatably supported via a roller 1 for processing them.
A wire 17 for cutting a work is wound a plurality of times between 3 and 15.
【００１９】前記加工用ローラ１３〜１５間のワイヤ１
７の上方には、図示しないワーク昇降機構を介してワー
ク１８が昇降可能に配設されている。そして、加工用ロ
ーラ１３〜１５の回転により、ワイヤ１７が走行されな
がら、ワーク１８がワーク昇降機構により下降されて、
ワイヤ１７に押し付けられるようになっている。The wire 1 between the processing rollers 13 to 15
A work 18 is arranged above 7 by a work elevating mechanism (not shown) so that the work 18 can be moved up and down. Then, by the rotation of the processing rollers 13 to 15, the work 18 is lowered by the work lifting mechanism while the wire 17 is running.
It is designed to be pressed against the wire 17.
【００２０】前記加工用ローラ１３〜１５間のワイヤ１
７の上方にはスラリ供給パイプ１９が配設され、スラリ
循環路２０に接続されている。そして、このスラリ循環
路２０を通して循環使用される遊離砥粒を含む加工液と
してのスラリが、スラリ供給パイプ１９からワイヤ１７
とワーク１８との間に供給されて、ワーク１８がウェー
ハ状に切断加工されるようになっている。The wire 1 between the processing rollers 13 to 15
A slurry supply pipe 19 is arranged above 7 and is connected to a slurry circulation path 20. Then, a slurry as a working liquid containing loose abrasive grains that is circulated and used through the slurry circulation path 20 is supplied from the slurry supply pipe 19 to the wire 17
Is supplied between the workpiece 18 and the workpiece 18, and the workpiece 18 is cut into a wafer.
【００２１】前記スラリ循環路２０には、加工用ローラ
１３，１４間の下方に位置する上部スラリ回収パン２
１、ブラケット１２の下方に位置する下部スラリ回収パ
ン３１、ポンプ２２、スラリタンク２３及び熱交換器２
４が接続されている。そして、スラリ供給パイプ１９か
らワイヤ１７とワーク１８との間に供給されたスラリ
が、上下のスラリ回収パン２１、３１で一旦回収され、
ポンプ２２によりスラリタンク２３へ回収される。スラ
リタンク２３からポンプ３２によりスラリが熱交換器２
４に導かれて、所定の温度に調整さる。この調整後のス
ラリはポンプ３３によりスラリ循環路２０に送られ、ス
ラリ供給パイプ１９に導入されるようになっている。In the slurry circulation path 20, the upper slurry recovery pan 2 located below the processing rollers 13 and 14 is located.
1. Lower slurry recovery pan 31, pump 22, slurry tank 23, and heat exchanger 2 located below the bracket 12.
4 is connected. Then, the slurry supplied from the slurry supply pipe 19 between the wire 17 and the work 18 is once collected by the upper and lower slurry collecting pans 21 and 31,
It is collected in the slurry tank 23 by the pump 22. The slurry is transferred from the slurry tank 23 to the heat exchanger 2 by the pump 32.
4 and adjust to a predetermined temperature. The adjusted slurry is sent to the slurry circulation path 20 by the pump 33 and introduced into the slurry supply pipe 19.
【００２２】図２及び図３に示すように、前記ブラケッ
ト１２の内部には、その鋳造成形時に複数の管材２５を
埋設することによって、流体通路２６が形成されてい
る。この流体通路２６は、ブラケット１２全体及び熱変
位の多い箇所、例えば各加工用ローラ１３〜１５の軸受
部１６の周囲を包囲するように配置されるとともに、各
加工用ローラ１３〜１５の軸受部１６に近接してそれら
の軸受部１６を包囲するように配置されている。この流
体通路２６の先端は外部に開放されており、流体通路２
６内に供給されたスラリがこの先端開放部から排出され
て、下部回収パン３１により回収される。As shown in FIGS. 2 and 3, a fluid passage 26 is formed inside the bracket 12 by embedding a plurality of pipe members 25 during casting. The fluid passage 26 is arranged so as to surround the entire bracket 12 and a portion having a large amount of thermal displacement, for example, the periphery of the bearing portion 16 of each of the processing rollers 13 to 15, and the bearing portion of each of the processing rollers 13 to 15. 16 are arranged so as to surround the bearing portions 16 in the vicinity thereof. The tip of the fluid passage 26 is open to the outside, and the fluid passage 2
The slurry supplied into 6 is discharged from the open end portion and is recovered by the lower recovery pan 31.
【００２３】図１に示すように、前記スラリ循環路２０
には分岐供給路２７が形成され、その端部がブラケット
１２の流体通路２６に接続されている。そして、ワーク
１８の切断加工中に、スラリ循環路２０内を循環してい
るスラリの一部が、温度調節用の流体として分岐供給路
２７から流体通路２６内に取り込まれ、ブラケット１２
の温度上昇が抑制されるようになっている。As shown in FIG. 1, the slurry circulation passage 20 is provided.
A branch supply passage 27 is formed at the end of the branch supply passage 27, and its end is connected to the fluid passage 26 of the bracket 12. Then, during cutting of the work 18, a part of the slurry circulating in the slurry circulation passage 20 is taken into the fluid passage 26 from the branch supply passage 27 as a temperature adjusting fluid, and the bracket 12
The temperature rise is suppressed.
【００２４】前記上部スラリ回収パン２１には検出手段
としての温度センサ２８が配設され、ワーク１８の切断
加工中に、スラリ回収パン２１内に回収されるスラリの
温度に基づいて、ブラケット１２の温度を検出するよう
になっている。分岐供給路２７には調節手段としての流
量調節器２９及び温度調節器３０が接続され、温度セン
サ２８の検出結果に基づいて、これらの調節器２９，３
０が作動制御されて、流体通路２６内に供給されるスラ
リの流量及び温度が調節されるようになっている。A temperature sensor 28 as a detecting means is provided in the upper slurry recovery pan 21, and the bracket 12 of the bracket 12 is detected based on the temperature of the slurry recovered in the slurry recovery pan 21 during the cutting process of the work 18. It is designed to detect temperature. A flow rate controller 29 and a temperature controller 30 serving as adjusting means are connected to the branch supply path 27, and based on the detection result of the temperature sensor 28, these controllers 29, 3 are provided.
The flow rate and the temperature of the slurry supplied into the fluid passage 26 are adjusted by controlling the operation of 0.
【００２５】次に、前記のように構成されたワイヤソー
の動作を説明する。さて、このワイヤソーの運転時に
は、加工用ローラ１３〜１５の回転により、ワイヤ１７
が走行されながら、ワーク１８がワイヤ１７に押し付け
られる。このとき、スラリがスラリ循環路２０内で循環
されて、スラリ供給パイプ１９からワイヤ１７とワーク
１８との間に供給される。これにより、ワーク１８がウ
ェーハ状に切断加工される。Next, the operation of the wire saw constructed as described above will be described. By the way, during operation of this wire saw, the wire 17 is rotated by the rotation of the processing rollers 13 to 15.
The workpiece 18 is pressed against the wire 17 while traveling. At this time, the slurry is circulated in the slurry circulation passage 20 and supplied from the slurry supply pipe 19 between the wire 17 and the work 18. As a result, the work 18 is cut into a wafer.
【００２６】このワーク１８の切断加工時には、スラリ
循環路２０内を循環しているスラリの一部が、分岐供給
路２７から流体通路２６内に取り込まれて、その流体通
路２６に沿って流される。この場合、温度センサ２８に
より、スラリ回収パン２１内に回収されるスラリの温度
に基づいて、ブラケット１２の温度が検出される。そし
て、その温度検出結果に基づいて、調節器２９，３０が
作動制御されて、流体通路２６内に流されるスラリの流
量及び温度が調節される。During the cutting process of the work 18, a part of the slurry circulating in the slurry circulation passage 20 is taken into the fluid passage 26 from the branch supply passage 27 and flowed along the fluid passage 26. . In this case, the temperature sensor 28 detects the temperature of the bracket 12 based on the temperature of the slurry recovered in the slurry recovery pan 21. Then, based on the temperature detection result, the regulators 29 and 30 are operationally controlled to regulate the flow rate and temperature of the slurry flowing into the fluid passage 26.
【００２７】このため、ワーク１８の切断加工の進行に
伴って、ワイヤ１７とワーク１８との間に供給されるス
ラリの温度が上昇したり、加工用ローラ１３〜１５の軸
受部１６に供給される潤滑油の温度が上昇したりして
も、ブラケット１２の温度が上昇することはほとんどな
く、所定の温度に保持される。従って、ブラケット１２
に熱変位が生じるのを抑制することができて、ワーク１
８を高精度に切断加工することができる。Therefore, as the cutting work of the work 18 progresses, the temperature of the slurry supplied between the wire 17 and the work 18 rises or is supplied to the bearing portion 16 of the working rollers 13-15. Even if the temperature of the lubricating oil increases, the temperature of the bracket 12 hardly increases, and the bracket 12 is maintained at a predetermined temperature. Therefore, the bracket 12
It is possible to suppress the occurrence of thermal displacement in the
8 can be cut with high precision.
【００２８】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。
・ この実施形態のワイヤソーにおいては、ブラケット
１２に複数の加工用ローラ１３，１４，１５が回転可能
に支持され、それらの加工用ローラ１３〜１５間にワー
ク１８を切断するためのワイヤ１７が多数回巻回されて
いる。ブラケット１２には流体通路２６が設けられ、そ
の流体通路２６内に温度調節用の流体が流されるように
なっている。The effects expected from the above embodiment will be described below. In the wire saw of this embodiment, a plurality of processing rollers 13, 14, 15 are rotatably supported by the bracket 12, and a large number of wires 17 for cutting the work 18 are provided between the processing rollers 13 to 15. It has been wound. A fluid passage 26 is provided in the bracket 12, and a temperature adjusting fluid is allowed to flow in the fluid passage 26.
【００２９】このため、ワーク１８の切断加工時に、ワ
イヤ１７とワーク１８との間に供給されるスラリの温度
が上昇したり、加工用ローラ１３〜１５の軸受部１６に
供給される潤滑油の温度が上昇したりしても、流体通路
２６内に流れる温度調節用の流体により、ブラケット１
２の温度上昇が抑制される。よって、ブラケット１２が
熱変位するのを防止することができて、ワーク１８の加
工精度を向上させることができる。Therefore, when the work 18 is cut, the temperature of the slurry supplied between the wire 17 and the work 18 rises, and the lubricating oil supplied to the bearing portions 16 of the working rollers 13 to 15 is increased. Even if the temperature rises, the temperature control fluid flowing in the fluid passage 26 causes the bracket 1 to move.
The temperature rise of 2 is suppressed. Therefore, it is possible to prevent the bracket 12 from being thermally displaced, and it is possible to improve the processing accuracy of the work 18.
【００３０】・ この実施形態のワイヤソーにおいて
は、流体通路２６が各加工用ローラ１３〜１５の軸受部
１６に近接して配置されている。このため、ブラケット
１２における各加工用ローラ１３〜１５のための軸受部
１６付近の熱変位を有効に抑制することができて、ワー
ク１８の加工精度が低下するのを効果的に防止すること
ができる。In the wire saw of this embodiment, the fluid passage 26 is arranged close to the bearing portion 16 of each of the processing rollers 13 to 15. For this reason, thermal displacement in the vicinity of the bearing portion 16 for each of the processing rollers 13 to 15 in the bracket 12 can be effectively suppressed, and the processing accuracy of the work 18 can be effectively prevented from decreasing. it can.
【００３１】・ この実施形態のワイヤソーにおいて
は、流体通路２６が各加工用ローラ１３〜１５の軸受部
１６を包囲するように配置されている。このため、ブラ
ケット１２における各加工用ローラ１３〜１５のための
軸受部１６付近の熱変位をより有効に抑制することがで
きて、ワーク１８の加工精度が低下するのを一層効果的
に防止することができる。In the wire saw of this embodiment, the fluid passage 26 is arranged so as to surround the bearing portion 16 of each of the processing rollers 13 to 15. For this reason, thermal displacement in the vicinity of the bearing portion 16 for each of the processing rollers 13 to 15 in the bracket 12 can be suppressed more effectively, and the processing accuracy of the workpiece 18 can be prevented from being reduced more effectively. be able to.
【００３２】・ この実施形態のワイヤソーにおいて
は、流体通路２６がブラケット１２全体に配置されてい
る。このため、ブラケット１２がその外側から外部の熱
変化の影響を受けるのを全体及び熱変位の多い箇所を有
効に温度調節することができて、ワーク１８の加工精度
が低下するのを効果的に防止することができる。[0032] - In the wire saw of this embodiment, the fluid passage 26 is disposed on the bracket 12 as a whole. Therefore, it is possible to effectively control the temperature of the bracket 12 that is affected by the external heat change from the outside and the position where the thermal displacement is large, effectively reducing the machining accuracy of the work 18. Can be prevented.
【００３３】・ この実施形態のワイヤソーにおいて
は、流体通路２６がブラケット１２の熱変位の多い箇
所、軸受部１６を包囲するように配置されている。この
ため、ブラケット１２の熱変位を有効に抑制して、ワー
ク１８の加工精度が低下するのを確実に防止することが
できて、高い加工精度を維持できる。In the wire saw of this embodiment, the fluid passage 26 is arranged so as to surround the portion of the bracket 12 where the thermal displacement is large, and the bearing portion 16. Therefore, the thermal displacement of the bracket 12 can be effectively suppressed, the deterioration of the machining accuracy of the work 18 can be reliably prevented, and the high machining accuracy can be maintained.
【００３４】・ この実施形態のワイヤソーにおいて
は、ブラケット１２が鋳造により成形され、その内部に
管材２５を埋設することによって流体通路２６が形成さ
れている。このため、ブラケット１２を成形する際に、
鋳造型内に管材２５をセットして、その型内に溶湯を注
入すればよく、流体通路２６を容易に形成することがで
きる。In the wire saw of this embodiment, the bracket 12 is formed by casting, and the pipe member 25 is embedded in the bracket 12 to form the fluid passage 26. Therefore, when molding the bracket 12,
The fluid material 26 can be easily formed by setting the pipe material 25 in the casting mold and injecting the molten metal into the mold.
【００３５】・ この実施形態のワイヤソーにおいて
は、ワイヤ１７とワーク１８との間に供給されるように
循環使用されるスラリが、本流から分岐されて流体通路
２６に流されるようになっている。このため、温度調節
用の流体のために、スラリと別の流体循環通路を設ける
必要がなく、構成を簡略化することができる。In the wire saw of this embodiment, the slurry that is circulated and used so as to be supplied between the wire 17 and the work 18 is branched from the main stream and flowed into the fluid passage 26. Therefore, it is not necessary to provide a fluid circulation passage separate from the slurry for the temperature adjusting fluid, and the configuration can be simplified.
【００３６】・ この実施形態のワイヤソーにおいて
は、温度センサ２８によりブラケット１２の温度が検出
され、その検出結果に基づいて、流量調節器２９及び温
度調節器３０により、流体通路２６に流れる流体の流量
及び温度が調節されるようになっている。このため、ブ
ラケット１２の温度を迅速かつ正確に調整制御すること
ができて、常にワーク１８の高い加工精度を維持するこ
とができる。In the wire saw of this embodiment, the temperature of the bracket 12 is detected by the temperature sensor 28, and the flow rate of the fluid flowing through the fluid passage 26 is determined by the flow rate controller 29 and the temperature controller 30 based on the detection result. And the temperature is adjusted. Therefore, the temperature of the bracket 12 can be quickly and accurately adjusted and controlled, and a high machining accuracy of the work 18 can always be maintained.
【００３７】（変更例）なお、この実施形態は、次のよ
うに変更して具体化することも可能である。
・ ブラケット１２の内部に管材２５を埋設することな
く、ブラケット１２内に流体通路２６を直接形成するこ
と。(Modification) This embodiment can be modified and embodied as follows. -To directly form the fluid passage 26 in the bracket 12 without burying the pipe member 25 inside the bracket 12.
【００３８】・ ブラケット１２の外側に、溝と、その
溝の開放部を閉塞する蓋とを設けて、それらにより流体
通路２６を形成すること。
・ 前記実施形態において、流体通路２６をブラケット
１２の外面に沿って配設すること。A groove and a lid that closes the opening of the groove are provided on the outside of the bracket 12 to form the fluid passage 26. -In the above-mentioned embodiment, disposing the fluid passage 26 along the outer surface of the bracket 12.
【００３９】・ ブラケット１２の流体通路２６に、ス
ラリ循環路２０を循環するスラリとは異なった水等の温
度調節用の流体を流すように構成すること。
・ 温度センサ２８をブラケット１２上に接合配置し
て、ブラケット１２の温度を直接検出するように構成す
ること。A structure for flowing a temperature controlling fluid such as water different from the slurry circulating in the slurry circulating passage 20 into the fluid passage 26 of the bracket 12 -The temperature sensor 28 is jointly arranged on the bracket 12, and the temperature of the bracket 12 is directly detected.
【００４０】・ 分岐供給路２７に流量調節器２９と温
度調節器３０とのいずれか一方のみを設けて、流体通路
２６に流れるスラリの流量または温度のいずれか一方の
みを調節するように構成すること。Only one of the flow rate controller 29 and the temperature controller 30 is provided in the branch supply path 27 so that only one of the flow rate and the temperature of the slurry flowing through the fluid passage 26 is adjusted. thing.
【００４１】・ 加工液としてスラリ以外のものを使用
すること。例えば、ワイヤ１７として砥粒を埋設したも
のを使用し、加工液は砥粒を有せず、切断加工部の冷却
を行うクーラントを使用すること。この場合、ブラケッ
ト１２の温度調節用の流体としても、クーラントを用い
るか、または水等の他の流体を用いること。Use of a working fluid other than slurry. For example, a wire in which abrasive grains are embedded is used as the wire 17, the machining liquid does not have abrasive grains, and a coolant for cooling the cutting processing portion is used. In this case, as the fluid for adjusting the temperature of the bracket 12, use a coolant or another fluid such as water.
【図１】 ワイヤソーの一実施形態を示す概略構成図。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a wire saw.
【図２】 図１のワイヤソーのブラケットを示す断面
図。FIG. 2 is a sectional view showing a bracket of the wire saw of FIG.
【図３】 図２の３−３線における断面図。3 is a sectional view taken along line 3-3 of FIG.
【符号の説明】１１…装置フレーム、
１２…ブラケット、１２ｂ…支持
板部、１３，１４，１５…加工用ローラ、１６…軸受
部、１７…ワイヤ、１８…ワーク、１９…スラリ供給パ
イプ、２０…スラリ循環路、２１…上部スラリ回収パ
ン、２５…管材、２６…流体通路、２７…分岐供給路、
２８…検出手段としての温度センサ、２９…調節手段と
しての流量調節器、３０…調節手段としての温度調節
器、３１…下部回収パン。[Explanation of Codes] 11 ... Device frame, 12 ... Bracket, 12b ... Support
Plate portion, 13 , 14 , 15 ... Processing roller, 16 ... Bearing portion, 17 ... Wire, 18 ... Work piece, 19 ... Slurry supply pipe, 20 ... Slurry circulation path, 21 ... Upper slurry recovery pan, 25 ... Pipe material, 26 ... fluid passage, 27 ... branch supply passage,
28 ... Temperature sensor as detecting means, 29 ... Flow rate controller as adjusting means, 30 ... Temperature controller as adjusting means, 31 ... Lower recovery pan.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 茂雄 神奈川県横須賀市神明町１番地 株式会 社 日平トヤマ 技術センター 内 (72)発明者 福田 紘二 神奈川県横須賀市神明町１番地 株式会 社 日平トヤマ 技術センター 内 (56)参考文献 特開 平10−193249（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−235552（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−85737（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−29343（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 27/06 B24B 55/00 B28D 5/04 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Shigeo Kobayashi 1 Shinmei-cho, Yokosuka-shi, Kanagawa Hirai Toyama Technical Center, Inc. (56) References Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-193249 (JP, A) Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-235552 (JP, A) Japanese Unexamined Patent Publication No. 9-85737 (JP, A) Actual Development No. 4-29343 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) B24B 27/06 B24B 55/00 B28D 5/04
Claims (8)
せてブラケットを装着し、このブラケットの両支持板部
間に複数の加工用ローラを軸受部を介して回転可能に支
持し、それらの加工用ローラ間にワーク切断用のワイヤ
を多数回巻回したワイヤソーにおいて、 前記ブラケットの各支持板部に流体通路を設けて、その
流体通路内に温度調節用の流体を流すように構成したワ
イヤソー。1. A pair of support plates are projected on the apparatus frame.
Then attach the bracket, and attach both brackets to the support plate
In a wire saw in which a plurality of processing rollers are rotatably supported through bearings and a work cutting wire is wound between the processing rollers a number of times , a fluid passage is provided in each support plate of the bracket. And a wire saw configured to flow a temperature adjusting fluid in the fluid passage.
前記流体通路を各加工用ローラの軸受部に近接して配置
したワイヤソー。2. The wire saw according to claim 1,
A wire saw in which the fluid passage is arranged close to the bearing portion of each processing roller.
ソーにおいて、前記流体通路を各加工用ローラの軸受部
を包囲するように配置したワイヤソー。3. The wire saw according to claim 1 or 2, wherein the fluid passage is arranged so as to surround the bearing portion of each processing roller.
ソーにおいて、前記流体通路を熱変位の大きい箇所を包
囲するように配置したワイヤソー。4. The wire saw according to claim 1, wherein the fluid passage is arranged so as to surround a portion having a large thermal displacement .
ソーにおいて、前記ブラケットを鋳造により成形し、そ
の内部に流体通路を形成したワイヤソー。5. The wire saw according to claim 1, wherein the bracket is formed by casting, and
Wire saw with a fluid passage formed inside .
ソーにおいて、前記ブラケットの外側に、溝と、その溝
の開放部を閉塞する蓋とを設けて、それらにより流体通
路を形成したワイヤソー。 6. The wire saw according to claim 1, wherein a groove is provided outside the bracket, and the groove is provided.
A lid that closes the open part of the
Wire saw with a path formed .
ソーにおいて、前記ワイヤとワークとの間に供給される
ように循環使用される加工液を、本流から分岐させて流
体通路に流すようにしたワイヤソー。7. The wire saw according to claim 1, wherein a working fluid that is circulated and used so as to be supplied between the wire and the work is branched from a main stream and flows into a fluid passage. Wire saw
ソーにおいて、前記ブラケットの温度を検出する検出手
段と、その検出手段の検出結果に基づいて流体の流量ま
たは温度の少なくともいずれか一方を調節する調節手段
とを設けたワイヤソー。8. The wire saw according to claim 1, wherein the detection means for detecting the temperature of the bracket and at least one of the flow rate and the temperature of the fluid are detected based on the detection result of the detection means. A wire saw provided with adjusting means for adjusting.
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|---|---|---|---|
| JP24557699A JP3386415B2 (en) | 1999-08-31 | 1999-08-31 | Wire saw |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24557699A JP3386415B2 (en) | 1999-08-31 | 1999-08-31 | Wire saw |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001062698A JP2001062698A (en) | 2001-03-13 |
| JP3386415B2 true JP3386415B2 (en) | 2003-03-17 |
Family
ID=17135789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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Families Citing this family (2)
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|---|---|---|---|---|
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| EP2826582B1 (en) * | 2013-07-17 | 2016-04-06 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Wire saw device and method of manufacturing thereof |
-
1999
- 1999-08-31 JP JP24557699A patent/JP3386415B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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