JP3379775B2 - Surface acoustic wave filter - Google Patents
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波共振器とイン
ダクタンス付加素子を具えた共振器型の弾性表面波フィ
ルタに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resonator type surface acoustic wave filter having a surface acoustic wave resonator and an inductance adding element.
【0002】弾性表面波フィルタは従来よりテレビやビ
デオ用のIFフィルタに代表される映像用フィルタに使
用されてきたが、近年、小型で安価である特長を生かし
て自動車電話や携帯電話等の移動通信用フィルタとして
需要が急速に増加している。Surface acoustic wave filters have hitherto been used as image filters represented by IF filters for televisions and videos. In recent years, mobile phones, cell phones, etc. have been moved by taking advantage of their small size and low cost. Demand for communication filters is increasing rapidly.
【0003】弾性表面波フィルタは圧電基板上に形成さ
れた弾性表面波の励振用の櫛形電極と受信用の櫛形電極
とが対をなしており、従来は複数個の櫛形電極が多段に
接続されてなるトランスバーサル型の弾性表面波フィル
タが多く用いられていた。In a surface acoustic wave filter, a comb-shaped electrode for exciting a surface acoustic wave and a comb-shaped electrode for reception which are formed on a piezoelectric substrate make a pair, and conventionally, a plurality of comb-shaped electrodes are connected in multiple stages. The transversal type surface acoustic wave filter that has been used is often used.
【0004】それに対し最近は励振用櫛形電極の両側に
反射器を具えた弾性表面波共振器によって弾性表面波を
共振させることで、挿入損失を大幅に改善すると共に外
部整合回路の付加を不要にした共振器型の弾性表面波フ
ィルタが有望視されている。On the other hand, recently, by resonating a surface acoustic wave with a surface acoustic wave resonator having reflectors on both sides of an exciting comb-shaped electrode, insertion loss is greatly improved and an external matching circuit is not required. Resonator type surface acoustic wave filters are promising.
【0005】特に 800〜 900MHZ 帯において使用され
る現在の自動車電話や携帯電話用の弾性表面波フィルタ
等においては、弾性表面波共振器にインダクタンスを付
加すると低損失を維持し広帯域・高抑圧度化を実現でき
ることが確認されている。In particular 800 to 900MH in the surface acoustic wave filter or the like of the current car phone or cellular phone is used in the Z band, broadband and high degree of suppression maintaining low loss The addition of inductance SAW resonator It has been confirmed that this can be realized.
【0006】しかし、次世代の自動車電話や携帯電話で
は 1.5GHZ や 1.9GHZ の準マイクロ波帯での使用が
検討されており、かかる領域においても低損失を維持し
広帯域・高抑圧度化を実現できる弾性表面波フィルタの
開発が要望されている。[0006] However, in the next-generation car phone and mobile phone has been studied for use in quasi-microwave band of 1.5GH Z and 1.9GH Z, maintaining broadband and high degree of suppression of the low-loss even in such regions There is a demand for the development of a surface acoustic wave filter that can realize the above.
【0007】[0007]
【従来の技術】図6は、特願平4−32270(特開平
5−183380;特許第2800905号)に示され
る共振器型弾性表面波フィルタの一例を示す等価回路
図、図7は弾性表面波共振器の一例を示す平面図、図8
は弾性表面波共振器の周波数特性を定性的に示す図、図
9は2端子対弾性表面波共振器のフィルタ特性を示す
図、図10はインダクタンス付加弾性表面波共振器の特
性を示す図、図11は図6に示される弾性表面波フィル
タをパッケージに収納した状態を示す斜視図である。2. Description of the Related Art FIG. 6 is an equivalent circuit diagram showing an example of a resonator type surface acoustic wave filter disclosed in Japanese Patent Application No. 4-32270 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-183380; Japanese Patent No. 280905). 8 is a plan view showing an example of a wave resonator, FIG.
Is a diagram qualitatively showing the frequency characteristic of the surface acoustic wave resonator, FIG. 9 is a diagram showing the filter characteristic of the two-terminal pair surface acoustic wave resonator, FIG. 10 is a diagram showing the characteristic of the inductance-added surface acoustic wave resonator, FIG. 11 is a perspective view showing a state where the surface acoustic wave filter shown in FIG. 6 is housed in a package.
【0008】図6において共振器型弾性表面波フィルタ
は1端子対弾性表面波共振器(以下弾性表面波共振器と
称する)Rを有し、複数の弾性表面波共振器Rは直列腕
11、並列腕12、インダクタンス素子L等を介して直列ま
たは並列に接続されている。In FIG. 6, the resonator type surface acoustic wave filter has a one-terminal pair surface acoustic wave resonator (hereinafter referred to as surface acoustic wave resonator) R, and the plurality of surface acoustic wave resonators R are series arms.
11, the parallel arm 12, the inductance element L, etc. are connected in series or in parallel.
【0009】弾性表面波共振器Rはそれぞれ図7に示す
如く対をなす励振用の櫛形電極13と受信用の櫛形電極14
で構成されており、櫛形電極14の両側には開放型や短絡
型の櫛形電極、ストリップアレイ状の電極等からなる反
射器16が配設されている。Each of the surface acoustic wave resonators R has a pair of exciting comb-shaped electrodes 13 and a pair of receiving comb-shaped electrodes 14 as shown in FIG.
On both sides of the comb-shaped electrode 14, reflectors 16 composed of open-type or short-circuit type comb-shaped electrodes, strip-array electrodes, etc. are arranged.
【0010】図6に示す共振器型弾性表面波フィルタは
第1の弾性表面波共振器R1 、R2が直列腕11を介して
直列に接続され、並列腕12に接続されてなる第2の弾性
表面波共振器R3 、R4 はそれぞれインダクタンス素子
Lを介して接地されている。In the resonator type surface acoustic wave filter shown in FIG. 6, the first surface acoustic wave resonators R 1 and R 2 are connected in series via the series arm 11 and are connected to the parallel arm 12 in the second direction. The surface acoustic wave resonators R 3 and R 4 are each grounded via an inductance element L.
【0011】弾性表面波共振器はインピーダンスが図8
(a) の如く共振周波数fr において0、反共振周波数f
a において最大、アドミタンスが図8(b) の如く反共振
周波数fa において0、共振周波数fr において最大に
なる2重共振特性を有する。The surface acoustic wave resonator has an impedance of FIG.
As shown in (a), 0 at resonance frequency f r , anti-resonance frequency f
a maximum, 0 admittance at the antiresonance frequency f a, as in FIG. 8 (b), a double resonance characteristic becomes maximum at the resonant frequency f r in a.
【0012】かかる弾性表面波共振器Rを図9(a) に示
す如く直列腕と並列腕に配設して2端子対弾性表面波共
振器を形成し、且つ、並列腕の反共振周波数fapを直列
腕の共振周波数frsにほぼ一致させることによりバンド
パスフィルタを形成できる。Such a surface acoustic wave resonator R is arranged in a series arm and a parallel arm as shown in FIG. 9 (a) to form a two-terminal pair surface acoustic wave resonator, and the anti-resonance frequency f of the parallel arm. ap and a band pass filter can be formed by substantially coincides with the resonance frequency f rs of the series arm.
【0013】図9(b) は直列腕の弾性表面波共振器Rs
の共振周波数frs≒並列腕の弾性表面波共振器Rp の反
共振周波数fapとし、弾性表面波共振器Rs のインピー
ダンス特性曲線と弾性表面波共振器Rp のアドミタンス
特性曲線を重ねた図である。FIG. 9 (b) shows the surface acoustic wave resonator R s of the series arm.
Of the anti-resonance frequency f ap of the resonance frequency f rs ≒ parallel arm SAW resonator R p, overlaid impedance characteristic curve and admittance characteristic curve of the surface acoustic wave resonator R p of the surface acoustic wave resonator R s It is a figure.
【0014】いま、弾性表面波共振器Rs のインピーダ
ンスZ=jx、弾性表面波共振器R p のアドミタンスY
=jbとすると、2端子対弾性表面波共振器のイメージ
伝送量γに関してtanh(γ)=〔bx/(bxー1)〕
1/2 なる式が成立する。Now, the surface acoustic wave resonator RsImpeda
Z = jx, surface acoustic wave resonator R pAdmittance Y
= Jb, image of two-terminal surface acoustic wave resonator
Tanh (γ) = [bx / (bx-1)] for the transmission amount γ
1/2The following expression holds.
【0015】前式で得た値が虚数であれば図9(a) の2
端子対弾性表面波共振器は通過特性を示し実数であれば
減衰特性を示す。即ち、前式において0<bx<1であ
れば虚数になって通過特性を示しbx<0またはbx>
1であれば減衰特性を示す。If the value obtained by the above equation is an imaginary number, then 2 in FIG.
The terminal-pair surface acoustic wave resonator exhibits a pass characteristic, and a real number exhibits an attenuation characteristic. That is, if 0 <bx <1 in the above equation, it becomes an imaginary number and shows the pass characteristic, and bx <0 or bx>
If it is 1, the damping characteristic is shown.
【0016】言い換えれば図9(a) に示す2端子対弾性
表面波共振器は図9(c) に示す如く通過特性を示す領域
では減衰量が小さく、減衰特性を示す領域に入ると減衰
量が急激に増大するバンドパスフィルタとして優れた特
性を具えているといえる。In other words, the two-terminal pair surface acoustic wave resonator shown in FIG. 9 (a) has a small amount of attenuation in the region exhibiting the pass characteristic as shown in FIG. 9 (c), and the amount of attenuation in the region exhibiting the attenuation characteristic. Can be said to have excellent characteristics as a bandpass filter that rapidly increases.
【0017】しかし、前記2端子対弾性表面波共振器に
おける通過領域のバンド幅や減衰領域に到る傾斜の急峻
性、即ち抑圧度は、主としてそれぞれの弾性表面波共振
器が有する共振周波数frsと反共振周波数fapとの差に
よって決まる特性である。However, in the two-terminal SAW resonator, the bandwidth of the passage region and the steepness of the slope reaching the attenuation region, that is, the degree of suppression are mainly the resonance frequency frs of each surface acoustic wave resonator. And the anti-resonance frequency f ap .
【0018】そこで共振器型弾性表面波フィルタでは低
損失を維持しながら通過領域の広帯域化や高抑圧度化を
実現する手段として、図6に示す如く共振器型弾性表面
波フィルタを構成する弾性表面波共振器Rにインダクタ
ンス素子Lを付加している。Therefore, in the resonator type surface acoustic wave filter, as a means for realizing a wide band and high suppression of the pass band while maintaining low loss, an elastic wave forming a resonator type surface acoustic wave filter as shown in FIG. An inductance element L is added to the surface acoustic wave resonator R.
【0019】弾性表面波共振器Rと直列にインダクタン
ス素子Lを付加することによってインピーダンスは図10
(a) に示す如く、元のインピーダンスが+側にωL持ち
上がり共振周波数fr と反共振周波数fa の間隔が拡が
って広帯域化に寄与する。By adding an inductance element L in series with the surface acoustic wave resonator R, the impedance is shown in FIG.
As (a), the contribute to broadband and spacing of the resonant frequency f r and the antiresonance frequency f a lift ωL the original impedance + side is spread.
【0020】一方、弾性表面波共振器Rにインダクタン
ス素子Lを付加することでインピーダンスの逆数である
アドミタンスも、インピーダンスと同様に図10(b) に示
す如く共振周波数fr と反共振周波数fa の間隔が拡が
って広帯域化に寄与する。[0020] On the other hand, the admittance is the reciprocal of the impedance by adding an inductance element L in the surface acoustic wave resonator R, the resonant frequency as shown similarly to the impedance in FIG. 10 (b) f r and the anti-resonance frequency f a The widening of the interval contributes to widening the band.
【0021】また、抑圧度に関しても弾性表面波共振器
Rにインダクタンス素子Lを付加することによりアドミ
タンス値が増大し、図9(b) に示す通過帯域外における
bxがインダクタンス素子Lの無い場合より負方向に増
加し高抑圧度化に寄与する。Regarding the degree of suppression, the admittance value is increased by adding the inductance element L to the surface acoustic wave resonator R, and bx outside the pass band shown in FIG. It increases in the negative direction and contributes to high suppression.
【0022】なお、インダクタンス素子Lを付加するこ
とにより通過帯域外におけるインピーダンス値が逆に小
さくなることもあるが、複数個の同じ弾性表面波共振器
Rを直列に接続することによってインピーダンス値を大
きくすることが可能である。Although the impedance value outside the pass band may be reduced by adding the inductance element L, the impedance value can be increased by connecting a plurality of the same surface acoustic wave resonators R in series. It is possible to
【0023】 図6に示される共振器型弾性
表面波フィルタは、図11に示す如くパッケージ2の中
央凹部にフィルタチップ3が搭載されており、セラミッ
クからなるパッケージ2は中央凹部にアース層21を有
し、周囲には複数の電極22,23、24、25が形成
されている。In the resonator type surface acoustic wave filter shown in FIG. 6, the filter chip 3 is mounted in the central recess of the package 2 as shown in FIG. 11, and the package 2 made of ceramic has the ground layer 21 in the central recess. A plurality of electrodes 22, 23, 24, 25 are formed on the periphery.
【0024】フィルタチップ3は圧電基板31上に例えば
第1の弾性表面波共振器R1 、R2や第2の弾性表面波
共振器R3 、R4 が、直列腕や並列腕を構成する導体や
電極13、14、15、16等と共にAlまたはAlーCu等のAl系合
金によって形成されている。In the filter chip 3, for example, the first surface acoustic wave resonators R 1 and R 2 and the second surface acoustic wave resonators R 3 and R 4 form a series arm or a parallel arm on the piezoelectric substrate 31. It is formed of Al or an Al-based alloy such as Al-Cu together with the conductors and electrodes 13, 14, 15, 16.
【0025】直列腕に接続されてなる第1の弾性表面波
共振器R1 、R2 はそれぞれ一方が電極13および電極14
に接続されており、パッケージ2の電極22、23とフィル
タチップ3上の電極13、14とはボンディングされたワイ
ヤ26を介して接続される。One of the first surface acoustic wave resonators R 1 and R 2 connected to the series arm has electrodes 13 and 14 respectively.
The electrodes 22 and 23 of the package 2 and the electrodes 13 and 14 on the filter chip 3 are connected to each other via the bonded wire 26.
【0026】また、並列腕に接続された第2の弾性表面
波共振器R3 、R4 はそれぞれ一方が電極15および電極
16に接続されており、パッケージ2の電極24、25とフィ
ルタチップ3上の電極15、16とはボンディングされたワ
イヤ27を介して接続される。Further, one of the second surface acoustic wave resonators R 3 and R 4 connected to the parallel arm has an electrode 15 and an electrode, respectively.
The electrodes 24 and 25 of the package 2 and the electrodes 15 and 16 on the filter chip 3 are connected to each other through the bonded wire 27.
【0027】例えば、 800〜 900MHZ 帯で使用される
弾性表面波フィルタにおいて弾性表面波共振器に付加さ
れるインダクタンスは、1〜3nH程度であって電極間
にボンディングされた長さが2mm程度のワイヤが有する
インダクタンスに相当する。[0027] For example, an inductance added to the surface acoustic wave resonators in the surface acoustic wave filter used in 800~ 900MH Z zone length which is bonded between the electrodes is about 1~3nH of about 2mm It corresponds to the inductance of the wire.
【0028】即ち、電極24と電極15、および電極25と電
極16にボンディングされるワイヤ27がインダクタンス素
子Lを兼ねており、かかるワイヤ27の長さを調節するこ
とによって弾性表面波共振器に付加されるインダクタン
スの大きさを調整している。That is, the wire 27 bonded to the electrode 24 and the electrode 15 and the electrode 25 and the electrode 16 also serves as the inductance element L. By adjusting the length of the wire 27, the wire 27 is added to the surface acoustic wave resonator. The size of the inductance is adjusted.
【0029】[0029]
【発明が解決しようとする課題】しかし、通過領域の広
域化に伴って図9に示すbx>1なる領域が増大し通過
領域に到る傾斜の急峻度が悪化する。かかるフィルタ特
性に及ぼす影響は弾性表面波共振器に付加されるインダ
クタンスの値が大きすぎる程顕著になる。However, as the passing area becomes wider, the area of bx> 1 shown in FIG. 9 increases and the steepness of the slope reaching the passing area deteriorates. The influence on the filter characteristics becomes more remarkable as the value of the inductance added to the surface acoustic wave resonator becomes too large.
【0030】特にインダクタンス素子Lのインダクタン
ス値は周波数に比例するため 800〜900MHZ 帯用の弾
性表面波フィルタに比べ、準マイクロ波帯で使用される
共振器型弾性表面波フィルタに及ぼす影響は更に大きく
なるという問題があった。Furthermore, especially the inductance value of the inductance element L is compared with the surface acoustic wave filters for 800~900MH Z band is proportional to the frequency, effect on the resonator-type surface acoustic wave filter used in a quasi-microwave band There was a problem of getting bigger.
【0031】本発明の目的は準マイクロ波帯において低
損失を維持し広帯域・高抑圧度化を実現できる弾性表面
波フィルタを提供することにある。An object of the present invention is to provide a surface acoustic wave filter capable of maintaining a low loss in the quasi-microwave band and realizing a wide band and a high degree of suppression.
【0032】[0032]
【課題を解決するための手段】図1は本発明になる共振
器型弾性表面波フィルタを示す斜視図である。なお全図
を通し同じ対象物は同一記号で表している。FIG. 1 is a perspective view showing a resonator type surface acoustic wave filter according to the present invention. Note that the same object is denoted by the same symbol throughout the drawings.
【0033】上記課題は、圧電基板と、該圧電基板を収
容するパッケージと、該圧電基板上に設けられ所定のバ
ンドパス特性を有するように、直列腕となる第1の弾性
表面波共振器と並列腕となる第2の弾性表面波共振器と
が梯子型に接続された複数の弾性表面波共振器とを有す
る弾性表面波フィルタにおいて、該第2の弾性表面波共
振器のそれぞれと該パッケージのアース電極との接続部
分に、複数のボンディングワイヤが設けられていること
により解決される。 The above-mentioned problem is to store the piezoelectric substrate and the piezoelectric substrate.
Package and a predetermined package provided on the piezoelectric substrate.
The first elasticity that becomes a series arm so that it has a closed path characteristic.
A surface acoustic wave resonator and a second surface acoustic wave resonator serving as a parallel arm;
Have a plurality of surface acoustic wave resonators connected in a ladder shape
In the surface acoustic wave filter, the second surface acoustic wave
Connection between each of the shakers and the ground electrode of the package
Minute, multiple bonding wires are provided
Will be solved by.
【0034】[0034]
【作用】図1において例えばL1 、L2 、L3 なるイン
ダクタンスを有する3本のワイヤが同一電極間に並列に
接続されると、合成されたインダクタンス素子のインダ
クタンスLは1/L=1/L1 +1/L2 +1/L3 な
る式から算出できる。In FIG. 1, when three wires having inductances L 1 , L 2 and L 3 are connected in parallel between the same electrodes, the combined inductance L of the inductance elements is 1 / L = 1 / It can be calculated from the formula L 1 + 1 / L 2 + 1 / L 3 .
【0035】ここで3本のワイヤをボンディングするた
め形成されたパッケージ上の電極とフィルタチップ上の
電極が平行であれば、L1 、L2 、L3 はほぼ等しくな
り合成されたインダクタンス素子のインダクタンスLは
L1 /3に等しくなる。If the electrodes on the package formed for bonding the three wires and the electrodes on the filter chip are parallel to each other, L 1 , L 2 and L 3 are almost equal to each other and the combined inductance element inductance L is equal to L 1/3.
【0036】即ち、インダクタンス素子のインダクタン
スLはワイヤ1本のインダクタンスに比例しワイヤの本
数に反比例する。したがって、ワイヤの本数を変えるこ
とによりインダクタンス素子のインダクタンスを自由に
調整することが可能になる。That is, the inductance L of the inductance element is proportional to the inductance of one wire and inversely proportional to the number of wires. Therefore, the inductance of the inductance element can be freely adjusted by changing the number of wires.
【0037】しかも、インダクタンス素子を構成するそ
れぞれのワイヤが長くインダクタンスの高精度な調整が
可能になる。即ち、準マイクロ波帯において低損失を維
持し広帯域・高抑圧度化を実現できる弾性表面波フィル
タを実現することができる。Moreover, each wire constituting the inductance element is long, and the inductance can be adjusted with high precision. That is, it is possible to realize a surface acoustic wave filter that can maintain a low loss in the quasi-microwave band and realize a wide band and a high degree of suppression.
【0038】[0038]
【実施例】以下添付図により本発明の実施例について説
明する。図2は実施例におけるフィルタ特性を示す図、
図3は本発明の他の実施例を示す斜視図、図4は他の実
施例におけるフィルタ特性を示す図、図5は本発明の変
形例におけるフィルタ特性を示す図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 2 is a diagram showing a filter characteristic in the embodiment,
3 is a perspective view showing another embodiment of the present invention, FIG. 4 is a view showing a filter characteristic in another embodiment, and FIG. 5 is a view showing a filter characteristic in a modification of the present invention.
【0039】本発明になる弾性表面波フィルタの一実施
例は図1に示す如くパッケージ4の中央凹部にフィルタ
チップ5が搭載され、セラミックからなるパッケージ4
は中央凹部にアース層41を有し周囲に複数の電極42、4
3、44、45が形成されている。One embodiment of the surface acoustic wave filter according to the present invention is, as shown in FIG. 1, in which the filter chip 5 is mounted in the central recess of the package 4, and the package 4 made of ceramic is used.
Has a ground layer 41 in the central recess and has a plurality of electrodes 42, 4 around it.
3, 44, 45 are formed.
【0040】フィルタチップ5は圧電基板51上に例えば
第1の弾性表面波共振器R1 、R2や第2の弾性表面波
共振器R3 、R4 が、直列腕や並列腕を構成する導体や
電極52、53、54、55等と共にAlまたはAlーCu等のAl系合
金によって形成されている。In the filter chip 5, for example, the first surface acoustic wave resonators R 1 and R 2 and the second surface acoustic wave resonators R 3 and R 4 form a series arm or a parallel arm on the piezoelectric substrate 51. It is formed of Al or an Al-based alloy such as Al-Cu together with the conductors and electrodes 52, 53, 54, 55 and the like.
【0041】直列碗として接続される第1の弾性表面波
共振器R1,R2は、それぞれ一方が電極52及び電極5
3に接続されており、パッケージ4の電極42、43と
フィルタチップ5上の電極52、53とはボンディング
されたワイヤ56を介して接続される。One of the first surface acoustic wave resonators R 1 and R 2 connected as a series bowl has an electrode 52 and an electrode 5 respectively.
3, the electrodes 42 and 43 of the package 4 and the electrodes 52 and 53 on the filter chip 5 are connected to each other via the bonded wire 56.
【0042】また、並列碗として接続される第2の弾性
表面波共振器R3,R4は、それぞれ一方が電極54及び
電極55に接続されており、複数のワイヤをボンディン
グ可能な細長い電極54、55は、同じく細長いパッケ
ージ4の電極44、45と平行に形成されている。Further, one of the second surface acoustic wave resonators R 3 and R 4 connected in parallel to each other is connected to the electrode 54 and the electrode 55, respectively, and an elongated electrode 54 capable of bonding a plurality of wires thereto. , 55 are formed in parallel with the electrodes 44, 45 of the elongated package 4 as well.
【0043】本実施例では並列碗の弾性表面波共振器R
3,R4がそれぞれインダクタンス素子Lを介して接地さ
れ、平行な電極44、45と電極54、55の間にイン
ダクタンス素子Lとしてそれぞれ複数本のワイヤ57が
ボンディングされている。In this embodiment, a parallel bowl-shaped surface acoustic wave resonator R is used.
3 and R 4 are grounded via the inductance element L, and a plurality of wires 57 are bonded as the inductance element L between the parallel electrodes 44 and 45 and the electrodes 54 and 55.
【0044】弾性表面波共振器Rに1本のワイヤ(イン
ダクタンス約1nH)を付加したときのフィルタの通過
特性を図2(a) に、並列に接続された10本のワイヤ(イ
ンダクタンス約 0.1nH)を付加したときのフィルタの
通過特性を図2(b) に示す。FIG. 2 (a) shows the pass characteristics of the filter when one wire (inductance about 1 nH) is added to the surface acoustic wave resonator R. FIG. 2 (a) shows 10 wires connected in parallel (inductance about 0.1 nH). Figure 2 (b) shows the pass characteristics of the filter when) is added.
【0045】二つのフィルタの通過特性から弾性表面波
共振器Rに1本のワイヤを付加したときに比べ10本のワ
イヤを付加すると、通過領域の帯域幅は若干狭くなり抑
圧度も悪くなるが減衰領域から通過領域に到る立ち上が
り特性が改善されている。According to the pass characteristics of the two filters, when 10 wires are added as compared with the case where one wire is added to the surface acoustic wave resonator R, the bandwidth of the pass region is slightly narrowed and the suppression degree is deteriorated. The rising characteristic from the attenuation region to the pass region is improved.
【0046】また、本発明になる弾性表面波フィルタの
他の実施例は図3に示す如くパッケージ6上にフィルタ
チップ7が搭載され、セラミックからなるパッケージ6
は中央凹部にアース層61を有し周囲に複数の電極62、6
3、64、65が形成されている。Another embodiment of the surface acoustic wave filter according to the present invention is such that the filter chip 7 is mounted on the package 6 as shown in FIG.
Has a ground layer 61 in the central recess and is surrounded by a plurality of electrodes 62, 6
3, 64, 65 are formed.
【0047】フィルタチップ7は圧電基板71上に例えば
第1の弾性表面波共振器R1 、R2や第2の弾性表面波
共振器R3 、R4 が、直列腕や並列腕を構成する導体や
電極72、73、74、75等と共にAlまたはAlーCu等のAl系合
金によって形成されている。In the filter chip 7, for example, the first surface acoustic wave resonators R 1 and R 2 and the second surface acoustic wave resonators R 3 and R 4 form a series arm or a parallel arm on the piezoelectric substrate 71. It is formed of Al or an Al-based alloy such as Al-Cu together with the conductors and electrodes 72, 73, 74, 75 and the like.
【0048】前記実施例とは異なり直列腕に接続される
第1の弾性表面波共振器R1 、R2にインダクタンス素
子Lが付加され、パッケージ6の電極62、63、64、65と
フィルタチップ7の電極72、73、74、75はそれぞれワイ
ヤ56を介して接続される。Unlike the above embodiment, an inductance element L is added to the first surface acoustic wave resonators R 1 and R 2 connected to the series arm, and the electrodes 62, 63, 64 and 65 of the package 6 and the filter chip are added. The seven electrodes 72, 73, 74, 75 are each connected via a wire 56.
【0049】また、直列碗R1,R2と並列碗R3,R4の
間には、平行に形成された電極76、77、78、79
が形成され、電極76、77の間及び電極78、79の
間にインダクタンス素子Lとしてそれぞれ複数本のワイ
ヤ57がボンディングされている。Further, electrodes 76, 77, 78, 79 formed in parallel between the series bowls R 1 and R 2 and the parallel bowls R 3 and R 4.
Is formed, and a plurality of wires 57 are bonded as the inductance element L between the electrodes 76 and 77 and between the electrodes 78 and 79.
【0050】弾性表面波共振器Rに1本のワイヤ(イン
ダクタンス約1nH)を付加したときのフィルタの通過
特性を図4(a) に、並列に接続された10本のワイヤ(イ
ンダクタンス約 0.1nH)を付加したときのフィルタの
通過特性を図4(b) に示す。FIG. 4 (a) shows the pass characteristics of the filter when one wire (inductance of about 1 nH) is added to the surface acoustic wave resonator R. FIG. 4 (a) shows 10 wires connected in parallel (inductance of about 0.1 nH). Figure 4 (b) shows the pass characteristics of the filter when) is added.
【0051】帯域幅は弾性表面波共振器Rに1本のワイ
ヤを付加したときに比べ10本のワイヤを付加したときは
若干狭くなるが、抑圧度は弾性表面波共振器Rに1本の
ワイヤを付加したときに比べ10本のワイヤを付加したと
きに明らかに改善される。The bandwidth is slightly narrower when 10 wires are added than when one wire is added to the surface acoustic wave resonator R, but the degree of suppression is one when the wire is added to the surface acoustic wave resonator R. It is clearly improved when 10 wires are added compared to when the wires are added.
【0052】本発明になる弾性表面波フィルタの変形例
は図1において2個のインダクタンス素子Lのワイヤ57
の本数を変えて、並列腕に接続された弾性表面波共振器
R3、R4 に付加されるインダクタンス素子Lのインダ
クタンスをずらしている。A modification of the surface acoustic wave filter according to the present invention is a wire 57 of two inductance elements L in FIG.
The number of lines is changed to shift the inductance of the inductance element L added to the surface acoustic wave resonators R 3 and R 4 connected to the parallel arm.
【0053】両方の弾性表面波共振器Rに4本のワイヤ
(インダクタンス約0.25nH)を付加したときの通過特
性を図5(a) に、ワイヤ本数が一方は2本で他方は4本
(インダクタンス約 0.5nHと約0.25nH)のときの通
過特性を図5(b) に示す。FIG. 5 (a) shows the pass characteristics when four wires (inductance of about 0.25 nH) are added to both surface acoustic wave resonators R. One wire has two wires and the other wire has four wires ( Figure 5 (b) shows the pass characteristics when the inductance is about 0.5 nH and about 0.25 nH).
【0054】二つのフィルタの通過特性から両方のイン
ダクタンスが等しいとき通過特性の低周波数側の減衰極
が1箇所になるが、二つのインダクタンス素子Lのイン
ダクタンスを変えると低周波数側に2個の減衰極が生じ
て減衰域の範囲が移動する。From the pass characteristics of the two filters, there is only one attenuation pole on the low frequency side of the pass characteristics when the two inductances are equal. However, if the inductance of the two inductance elements L is changed, two attenuation elements on the low frequency side are attenuated. A pole is generated and the range of the attenuation range moves.
【0055】[0055]
【発明の効果】上述の如く本発明によれば準マイクロ波
帯において低損失を維持し広帯域・高抑圧度化を実現で
きる弾性表面波フィルタを提供することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a surface acoustic wave filter capable of maintaining a low loss in the quasi-microwave band and realizing a wide band and a high degree of suppression.
【図1】 本発明になる共振器型弾性表面波フィルタを
示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a resonator type surface acoustic wave filter according to the present invention.
【図2】 実施例におけるフィルタ特性を示す図であ
る。FIG. 2 is a diagram showing filter characteristics in the example.
【図3】 本発明の他の実施例を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing another embodiment of the present invention.
【図4】 他の実施例におけるフィルタ特性を示す図で
ある。FIG. 4 is a diagram showing filter characteristics in another embodiment.
【図5】 本発明の変形例におけるフィルタ特性を示す
図である。FIG. 5 is a diagram showing a filter characteristic in a modified example of the present invention.
【図6】 共振器型弾性表面波フィルタの一例を示す等
価回路図である。FIG. 6 is an equivalent circuit diagram showing an example of a resonator type surface acoustic wave filter.
【図7】 弾性表面波共振器の一例を示す平面図であ
る。FIG. 7 is a plan view showing an example of a surface acoustic wave resonator.
【図8】 弾性表面波共振器の周波数特性を定性的に示
す図である。FIG. 8 is a diagram qualitatively showing frequency characteristics of a surface acoustic wave resonator.
【図9】 2端子対弾性表面波共振器のフィルタ特性を
示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a filter characteristic of a two-terminal pair surface acoustic wave resonator.
【図10】 インダクタンス付加弾性表面波共振器の特性
を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing characteristics of an inductance-added surface acoustic wave resonator.
【図11】図6に示される共振器型弾性表面波フィルタ
をパッケージに収納した状態を示す斜視図である。11 is a perspective view showing a state where the resonator type surface acoustic wave filter shown in FIG. 6 is housed in a package.
4、6 パッケージ 5、7
フィルタチップ
41、61 アース層 42、43、
44、45 電極
51、71 圧電基板 52、53、
54、55 電極
56、57 ワイヤ 62、63、
64、65 電極
72、73、74、75 電極 76、77、
78、79 電極
R1 、R2 、R3 、R4 弾性表面波共振器 L イン
ダクタンス素子4, 6 Package 5, 7
Filter tip 41, 61 Ground layer 42, 43,
44, 45 Electrodes 51, 71 Piezoelectric substrates 52, 53,
54, 55 electrodes 56, 57 wires 62, 63,
64, 65 electrodes 72, 73, 74, 75 electrodes 76, 77,
78, 79 electrodes R 1 , R 2 , R 3 , R 4 surface acoustic wave resonator L inductance element
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 9/00 H03H 9/64 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H03H 9/00 H03H 9/64
Claims (2)
の並列腕と直列腕が梯子型に接続され、所定の帯域幅の
通過特性を有する弾性表面波フィルタであって、該複数
の並列腕の各々に直列に複数のボンディングワイヤを接
続することを特徴とする弾性表面波フィルタ。1. A plurality of surface acoustic wave resonators
The parallel and series arms of are connected in a ladder shape,
A surface acoustic wave filter having pass characteristics, comprising:
Connect multiple bonding wires in series to each of the parallel arms of
A surface acoustic wave filter characterized by being continued .
ンディングワイヤの本数が異なることを特徴とする請求
項1記載の弾性表面波フィルタ。 2. A plurality of buttons provided in each of the parallel bowls.
Claim that the number of bonding wires is different
Item 2. The surface acoustic wave filter according to item 1.
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