JP3370479B2 - Photomask pattern proximity effect correction method and apparatus - Google Patents

Photomask pattern proximity effect correction method and apparatus

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JP3370479B2
JP3370479B2 JP12164095A JP12164095A JP3370479B2 JP 3370479 B2 JP3370479 B2 JP 3370479B2 JP 12164095 A JP12164095 A JP 12164095A JP 12164095 A JP12164095 A JP 12164095A JP 3370479 B2 JP3370479 B2 JP 3370479B2
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、フォトマスクパターン
(X線マスクパターンを含む。)の近接効果を補正する
フォトマスクパターン近接効果補正方法及び装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photomask pattern proximity effect correction method and apparatus for correcting the proximity effect of a photomask pattern (including an X-ray mask pattern).

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体回路の高集積化に伴い、隣接した
レジストパターンの間隔が露光波長程度になり、光(X
線を含む。)の回折及び干渉により、レジストパターン
が所望の形からずれるという近接効果が生ずる。図3
(A)及び(B)の線状マスクパターン(ネガパター
ン)に対応したレジスト上の正規化光強度分布はそれぞ
れ、図4(A)及び(B)に示す如くなる。従来では、
図4(B)の正規化光強度分布I(X)に対し、しきい
値I0を設定し、I(X)=I0となる位置Xの間隔
を、レジストパターン幅とし、この幅が所望の値になる
ように、シミュレーション上でマスクパターン幅を変化
させていた。しきい値I0は、露光条件に応じて変化す
る。
2. Description of the Related Art With the high integration of semiconductor circuits, the distance between adjacent resist patterns becomes about the exposure wavelength, and light (X
Including lines. 2) diffraction and interference cause a proximity effect that the resist pattern is displaced from a desired shape. Figure 3
The normalized light intensity distributions on the resist corresponding to the linear mask patterns (negative patterns) of (A) and (B) are as shown in FIGS. 4 (A) and (B), respectively. Traditionally,
A threshold value I0 is set for the normalized light intensity distribution I (X) in FIG. 4B, and the interval between positions X where I (X) = I0 is set as the resist pattern width, and this width is desired. The mask pattern width was changed on the simulation so as to obtain the value. The threshold value I0 changes according to the exposure conditions.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、経験的にしき
い値I0を決定していたので、露光条件が変わると、最
適なしきい値I0を決定することが容易でなく、人によ
りしきい値I0が異なり、近接効果補正が不正確になる
原因となっていた。本発明の目的は、このような問題点
に鑑み、露光条件が変わっても近接効果補正をより客観
的かつ正確に行うことが可能なフォトマスクパターン近
接効果補正方法及び装置を提供することにある。
However, since the threshold value I0 is empirically determined, it is not easy to determine the optimum threshold value I0 when the exposure condition changes, and the threshold value I0 is determined by a person. , Which caused inaccurate proximity effect correction. In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a photomask pattern proximity effect correction method and apparatus that can perform the proximity effect correction more objectively and accurately even if the exposure conditions change. .

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段及びその作用効果】第1発
明では、第1マスクパターンに第2マスクパターンが隣
接している場合に、第2マスクパターンの第1マスクパ
ターンに対する近接効果の補正を行うフォトマスクパタ
ーン近接効果補正方法において、孤立した第1マスクパ
ターンのみによるレジスト位置での光強度分布Irを算
出し、第2マスクパターン及びエッジの位置を補正した
第1マスクパターンの両方によるレジスト位置での光強
度分布Iiを算出し、IiとIrとの差に対応した値hi
を、所定領域で実質的に積分して、積分値Hiを求め、
求めた積分値Hiのうちの最小値に対応した該補正を、
該第1マスクパターンに対し施す。
According to the first invention, when the second mask pattern is adjacent to the first mask pattern, the proximity effect of the second mask pattern with respect to the first mask pattern is corrected. In the photomask pattern proximity effect correction method to be performed, the light intensity distribution Ir at the resist position only by the isolated first mask pattern is calculated, and the resist position by both the second mask pattern and the first mask pattern whose edge position is corrected is calculated. Of the light intensity distribution Ii at the value h i corresponding to the difference between Ii and Ir
Is substantially integrated in a predetermined area to obtain an integrated value Hi,
The correction corresponding to the minimum value of the obtained integrated value Hi is
This is applied to the first mask pattern.

【0005】この第1発明によれば、孤立した第1マス
クパターンを基準にして非孤立の第1マスクパターンが
補正されるので、従来のような経験的で不確かな、人に
より異なるしきい値を用いる必要がなく、種々の露光条
件に対し近接効果補正をより正確かつ客観的に行うこと
が可能となる。第1発明の第1態様では、上記所定領域
は、上記エッジに対応した位置の付近の領域である。
According to the first aspect of the present invention, the non-isolated first mask pattern is corrected with reference to the isolated first mask pattern. Therefore, it is possible to perform the proximity effect correction more accurately and objectively for various exposure conditions. In the first aspect of the first invention, the predetermined region is a region near a position corresponding to the edge.

【0006】近接効果のレジストパターンに対する影響
は、レジストパターンのエッジ付近の光強度分布により
定り、その他の部分の光強度分布によらないと考えられ
るので、この第1態様によれば、近接効果に無関係な量
の積分値Hiへの寄与が低減され、近接効果補正をより
正確に行うことが可能となり、さらに、部分的に積分す
ればよいので、計算時間を短縮できる。
The influence of the proximity effect on the resist pattern is determined by the light intensity distribution near the edge of the resist pattern, and it is considered that it does not depend on the light intensity distribution of other portions. Therefore, according to the first aspect, the proximity effect is obtained. The contribution to the integrated value Hi of an amount irrelevant to is reduced, the proximity effect correction can be performed more accurately, and since partial integration is sufficient, the calculation time can be shortened.

【0007】第1発明の第2態様では、上記所定領域
は、上記レジストの深さ方向を含む。この第2態様によ
れば、近接効果補正をより正確に行うことが可能であ
る。第1発明の第3態様では、上記値hiは、|Ii−I
r|a であり、aは定数である。この第3態様によれ
ば、aの値により、|Ii−Ir|の大きさによる積分値
Hiへの寄与が異なり、適当なaの値を用いることによ
り、結果として、レジスト感度やレジスト塗布面の光反
射率等によるレジストパターンへの影響を考慮すること
が可能となり、a=1に固定した場合よりも近接効果補
正をより正確に行うことが可能となる。
In the second aspect of the first invention, the predetermined region includes the depth direction of the resist. According to the second aspect, it is possible to perform the proximity effect correction more accurately. In the third aspect of the first aspect of the invention, the value hi is | Ii-I
r | a , where a is a constant. According to this third aspect, the contribution of the magnitude of | Ii-Ir | to the integrated value Hi differs depending on the value of a, and by using an appropriate value of a, as a result, the resist sensitivity and the resist coating surface are It is possible to take into consideration the influence of the light reflectance and the like on the resist pattern, and the proximity effect correction can be performed more accurately than in the case where a = 1 is fixed.

【0008】第1発明の第4態様では、上記第1マスク
パターン及び上記第2マスクパターンは、1図形を分割
したパターンである。この第4態様によれば、同一パタ
ーン内の近接効果補正を行うことができる。第1発明の
第5態様では、上記所定領域内で選定した複数の評価点
について、上記hiの総和を上記Hiとして求めることに
より、実質的に上記積分を行う。この第5態様によれ
ば、通常の積分計算をする場合よりも計算時間を短縮す
ることが可能となる。
In the fourth aspect of the first invention, the first mask pattern and the second mask pattern are patterns obtained by dividing one figure. According to the fourth aspect, it is possible to perform proximity effect correction within the same pattern. In the fifth aspect of the first aspect of the present invention, the integration is substantially performed by obtaining the sum of the hi as the Hi for a plurality of evaluation points selected in the predetermined area. According to the fifth aspect, the calculation time can be shortened as compared with the case of performing the normal integral calculation.

【0009】第2発明では、上記第1発明の処理を行う
計算機を有する。
The second invention has a computer for performing the processing of the first invention.

【0010】[0010]

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。 [第1実施例]図2は、フォトマスクパターンに対する
近接効果補正装置の概略構成を示す。未補正マスクパタ
ーンデータ21に対する近接効果補正値の計算及び補正
は、計算機20により、補正用パラメータ22及び露光
用パラメータ23を用いて行われる。フォトマスクが同
一であっても、レジスト上の光強度分布は、光源波長
λ、投影レンズ開口数NA及びコヒーレンス度σなどの
露光用パラメータ23により異なるので、補正値は露光
用パラメータ23に依存する。未補正マスクパターンデ
ータ21に対し補正を施したパターンは、補正済マスク
パターンデータ24として出力される。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. [First Embodiment] FIG. 2 shows a schematic structure of a proximity effect correction device for a photomask pattern. The calculation and correction of the proximity effect correction value for the uncorrected mask pattern data 21 are performed by the computer 20 using the correction parameter 22 and the exposure parameter 23. Even if the photomask is the same, the light intensity distribution on the resist is different depending on the exposure parameter 23 such as the light source wavelength λ, the projection lens numerical aperture NA and the coherence degree σ, so the correction value depends on the exposure parameter 23. . A pattern obtained by correcting the uncorrected mask pattern data 21 is output as corrected mask pattern data 24.

【0011】なお、計算機20で算出されたパターンと
補正値との関係をパターン/補正値テーブル25として
出力しておき、パターン/補正値テーブル25を参照し
て未補正マスクパターンデータ21に対し補正を施し、
補正済マスクパターンデータ24として出力してもよ
い。図1は、第1実施例のフォトマスクパターン近接効
果補正方法を示す。以下、括弧内の数値は図1中のステ
ップ識別番号を示す。説明の簡単化のために、図3に示
すような、線幅W0〜W3に比し充分長い線状マスクパ
ターンを考える。
The relationship between the pattern calculated by the computer 20 and the correction value is output as a pattern / correction value table 25, and the pattern / correction value table 25 is referenced to correct the uncorrected mask pattern data 21. And
It may be output as the corrected mask pattern data 24. FIG. 1 shows a photomask pattern proximity effect correction method of the first embodiment. Hereinafter, the numerical value in the parentheses indicates the step identification number in FIG. For simplification of description, consider a linear mask pattern as shown in FIG. 3, which is sufficiently longer than the line widths W0 to W3.

【0012】(31)図3(A)に示す孤立線パターン
10に対応した、図4(A)に示すような正規化光強度
分布Ir(X)を、露光用パラメータ23を用いて算出
する。 (32)iに0を初期設定する。 (33)δi=i・Δ−aを算出する。ここに、Δは線
幅Wに比し充分小さな定数であり、−aはδiの最小値
(定数)である。
(31) The normalized light intensity distribution Ir (X) as shown in FIG. 4A corresponding to the isolated line pattern 10 shown in FIG. 3A is calculated by using the exposure parameter 23. . (32) Initially set 0 to i. (33) δi = i · Δ-a is calculated. Here, Δ is a constant that is sufficiently smaller than the line width W, and −a is the minimum value (constant) of δi.

【0013】(34)例えば図3(B)に示すような非
孤立線状パターンに対応した、図4(B)に示すような
正規化光強度分布Ii(X)を、露光用パラメータ23
を用いて上記ステップ31と同様に算出する。この非孤
立線状パターンは、非孤立線パターン11と非孤立線パ
ターン12とが、隣接し且つX軸に直角な方向に延びて
いる。正規化光強度分布Ii(X)は、補正値δi、すな
わち線幅W=W0+δiのパターンに対するものであ
る。また、図3に示す如く、正規化光強度分布Ii
(X)に対応する孤立線パターン10の中心線位置は、
正規化光強度分布Ir(X)に対応する非孤立線パター
ン11の中心線位置と一致している。
(34) For example, the normalized light intensity distribution Ii (X) shown in FIG. 4B corresponding to the non-isolated linear pattern shown in FIG.
Is calculated in the same manner as in step 31 above. In this non-isolated line pattern, a non-isolated line pattern 11 and a non-isolated line pattern 12 are adjacent to each other and extend in a direction perpendicular to the X axis. The normalized light intensity distribution Ii (X) is for a correction value δi, that is, a pattern having a line width W = W0 + δi. Further, as shown in FIG. 3, the normalized light intensity distribution Ii
The center line position of the isolated line pattern 10 corresponding to (X) is
It coincides with the center line position of the non-isolated line pattern 11 corresponding to the normalized light intensity distribution Ir (X).

【0014】(35)補正されたパターンの評価値Hi
を、 Hi= hi(X)dX ・・・(1) として算出する。ここに、光強度差hi(X)は、 hi(X)=w(X)|Ii(X)−Ir(X)|a ・・・(2) である。重み関数w(X)は、図3(A)の孤立線パタ
ーン10のエッジを中心線とし幅がdの範囲に対応す
る、図4中の幅Dの範囲内で1となり、他の部分で0と
なる。重み関数w(X)を用いているので、式(1)の
積分範囲は、(−∞,+∞)とすることができる。強調
因子aは、レジスト感度やレジスト塗布面の光反射率等
によるレジストパターンへの影響を考慮するためのパラ
メータであり、aの値により、|Ii−Ir|の大きさに
よる積分値Hiへの寄与が異なり、適当なaの値を用い
ることにより、結果として、a=1に固定した場合より
も近接効果補正をより正確に行うことが可能となる。強
調因子aは、経験上、0.5〜2.0の範囲内の値が好
ましい。
(35) Evaluation value Hi of the corrected pattern
Is calculated as Hi = hi (X) dX (1). Here, the light intensity difference hi (X) is hi (X) = w (X) | Ii (X) -Ir (X) | a ... (2). The weighting function w (X) becomes 1 within the range of width D in FIG. 4 corresponding to the range of width d with the edge of the isolated line pattern 10 of FIG. It becomes 0. Since the weighting function w (X) is used, the integration range of Expression (1) can be set to (−∞, + ∞). The enhancement factor a is a parameter for considering the influence on the resist pattern due to the resist sensitivity and the light reflectance of the resist coated surface, and the value of a changes the integrated value Hi depending on the magnitude of | Ii-Ir | As a result, the contribution is different, and by using an appropriate value of a, it becomes possible to perform the proximity effect correction more accurately than in the case where a = 1 is fixed. Empirically, the emphasis factor a is preferably a value within the range of 0.5 to 2.0.

【0015】図5(B)及び(C)はそれぞれ、補正値
δが0及び0でないある値の場合の光強度差h(X)を
示す。レジストパターン幅に対する近接効果の影響は、
レジストパターンのエッジ付近の光強度分布により定
り、その他の部分の光強度分布によらないと考えられる
ので、このような評価値Hiは、補正値評価用として好
ましいと言える。
FIGS. 5B and 5C show the light intensity difference h (X) when the correction value δ is 0 and a certain value other than 0, respectively. The influence of the proximity effect on the resist pattern width is
Since it is considered that it is determined by the light intensity distribution near the edge of the resist pattern and not by the light intensity distribution of other portions, such an evaluation value Hi can be said to be preferable for correction value evaluation.

【0016】(36、37)i=i+1とし、i≠nで
あればステップ33へ戻る。i=nとなれば次のステッ
プ38へ進む。 (38)上記ステップ33〜38の繰り返し処理で得ら
れたn+1個の評価値H0〜Hnの中から、最小値Hs
を探し出す。 (39)線幅W0を、評価値Hsに対応したδs=s・
Δ−aだけ補正する。すなわち、線幅WをW=W0+δ
sとする。
(36, 37) When i = i + 1, and i ≠ n, the process returns to step 33. If i = n, the process proceeds to the next step 38. (38) The minimum value Hs from the n + 1 evaluation values H0 to Hn obtained by the iterative process of steps 33 to 38.
Find out. (39) The line width W0 is represented by δs = s · corresponding to the evaluation value Hs.
Correct only Δ-a. That is, the line width W is W = W0 + δ
Let s.

【0017】本第1実施例によれば、孤立線パターン1
0を基準にして非孤立線パターン11が補正されるの
で、従来のような経験的で不確かな、人により異なるし
きい値を用いる必要がなく、種々の露光条件に対し近接
効果補正をより正確かつ客観的に行うことが可能とな
る。図1では、説明の簡単化のために、レジスト膜圧が
0であるというモデルを考えたが、レジスト膜圧を考慮
したモデルであってもよい。この場合、レジスト膜に直
角な軸をZ軸とすると、上記ステップ35の評価値Hi
の計算式を、次式で置き換えればよい。
According to the first embodiment, the isolated line pattern 1
Since the non-isolated line pattern 11 is corrected with 0 as a reference, it is not necessary to use different thresholds that are empirical and uncertain, which differ from person to person, and the proximity effect correction is more accurate for various exposure conditions. And it becomes possible to perform it objectively. In FIG. 1, a model in which the resist film pressure is 0 is considered for simplification of description, but a model in consideration of the resist film pressure may be used. In this case, assuming that the axis perpendicular to the resist film is the Z axis, the evaluation value Hi in step 35 above
The calculation formula of may be replaced with the following formula.

【0018】 Hi= hi(X,Z)dXdZ ・・・(3) ここに、光強度差hi(X,Z)は、 hi(X,Z)=w(X)|Ii(X,Z)−Ir(X,Z)|a ・・・(4) である。Hi = hi (X, Z) dXdZ (3) where the light intensity difference hi (X, Z) is hi (X, Z) = w (X) | Ii (X, Z) -Ir (X, Z) | a ... (4).

【0019】簡単化のために、 Ii(X,Z)=u(Z)Ii(X) ・・・(5) Ir(X,Z)=u(Z)Ir(X) ・・・(6) とすれば、 Hi= u(Z) hi(X)dXdZ ・・・(7) となる。重み関数u(Z)は、例えば、 u(Z)=exp(−β|Z−Z0|) ・・・(8) とする。βは、補正用パラメータ22の1つである。Z
0は、例えば図6(A)に示すように、半導体基板16
上のレジスト膜17のZ方向中心点とする。式(3)及
び(7)のZの積分範囲は、例えばレジスト膜17の範
囲である。
For simplification, Ii (X, Z) = u (Z) Ii (X) (5) Ir (X, Z) = u (Z) Ir (X) (6) ), Hi = u (Z) hi (X) dXdZ (7). The weighting function u (Z) is, for example, u (Z) = exp (−β | Z−Z0 |) (8). β is one of the correction parameters 22. Z
0 indicates the semiconductor substrate 16 as shown in FIG. 6 (A), for example.
The center point of the upper resist film 17 in the Z direction is set. The integral range of Z in equations (3) and (7) is, for example, the range of the resist film 17.

【0020】図7は、図3(B)の非孤立線パターン1
1の、ピッチPに対する補正値δのシミュレーション結
果を示す。補正値δは、図1の方法で算出した値であ
る。ただし、レジスト膜圧を考慮したものは、式(7)
及び(8)を用いた。露光用パラメータ23は、 光源波長λ=0.365μm、投影レンズ開口数NA=0.57 コヒーレンス度σ=0.6 であり、補正用パラメータ11としての強調因子aは
1.6である。
FIG. 7 shows the non-isolated line pattern 1 of FIG.
The simulation result of the correction value δ with respect to the pitch P of 1 is shown. The correction value δ is a value calculated by the method of FIG. However, in consideration of the resist film pressure, equation (7)
And (8) were used. The exposure parameter 23 is a light source wavelength λ = 0.365 μm, the projection lens numerical aperture NA = 0.57, the coherence degree σ = 0.6, and the enhancement factor a as the correction parameter 11 is 1.6.

【0021】図3(C)に示すような、3本の非孤立線
パターン13〜15の場合には、中央の非孤立線パター
ン14と両端の非孤立線パターン13及び15とで、補
正値δが異なる。図7は、互いに平行で、ピッチP及び
補正前の線幅W0が一定のn本の線パターンのうち、最
も端のパターンnE及び中央のパターンnC、n=2、
3、4、9についての、ピッチPに対する補正値δを示
す。補正値δは、図1の方法で算出した。
In the case of the three non-isolated line patterns 13 to 15 as shown in FIG. 3 (C), the correction values of the central non-isolated line pattern 14 and the non-isolated line patterns 13 and 15 at both ends are corrected. δ is different. FIG. 7 shows that among n line patterns which are parallel to each other and have a constant pitch P and a constant line width W0 before correction, the endmost pattern nE and the central pattern nC, n = 2,
The correction value δ with respect to the pitch P for 3, 4, and 9 is shown. The correction value δ was calculated by the method shown in FIG.

【0022】以上では、線パターンについて説明した
が、本第1実施例は任意のパターンに対し適用可能であ
る。例えば、図6(B)に示す如く、パターン18にパ
ターン19が隣接している場合、パターン19の近接効
果補正は、図1に対応して次のように行う。ただし、図
1と同一の処理は説明を省略する。 (31)パターン19の周囲にパターンが存在しない場
合の、孤立パターン19に対応した正規化光強度分布I
r(X,Y)を、露光用パラメータ23を用いて算出す
る。孤立パターン19の光強度分布を基準として近接効
果補正をするので、孤立パターン19は、この孤立パタ
ーン19で所望のレジストパターンが得られるように補
正されているのが好ましい。
Although the line pattern has been described above, the first embodiment can be applied to any pattern. For example, when the pattern 18 is adjacent to the pattern 18 as shown in FIG. 6B, the proximity effect correction of the pattern 19 is performed as follows corresponding to FIG. However, the description of the same processing as in FIG. 1 is omitted. (31) Normalized light intensity distribution I corresponding to the isolated pattern 19 when no pattern exists around the pattern 19
r (X, Y) is calculated using the exposure parameter 23. Since the proximity effect correction is performed based on the light intensity distribution of the isolated pattern 19, the isolated pattern 19 is preferably corrected so that a desired resist pattern can be obtained with this isolated pattern 19.

【0023】(34)非孤立パターン19の辺ABをδ
iだけ辺ABに直角な方向Xへ移動(これに伴い、閉じ
た図形を形成するように辺AG及び辺BCを伸縮)さ
せ、移動させた非孤立パターンに対応した正規化光強度
分布Ii(X,Y)を、露光用パラメータ23を用いて
算出する。 (35)評価値Hiを、 Hi= hi(X,Y)dXdY ・・・(9) として算出する。ここに、光強度差hi(X)は、 hi(X,Y)=w(X,Y)|Ii(X,Y)−Ir(X,Y)|a ・・・(10) である。
(34) Let δ be the side AB of the non-isolated pattern 19.
Only the i is moved in the direction X perpendicular to the side AB (with this, the sides AG and BC are expanded and contracted so as to form a closed figure), and the normalized light intensity distribution Ii (corresponding to the moved non-isolated pattern Ii ( X, Y) is calculated using the exposure parameter 23. (35) The evaluation value Hi is calculated as Hi = hi (X, Y) dXdY (9). Here, the light intensity difference hi (X) is hi (X, Y) = w (X, Y) | Ii (X, Y) -Ir (X, Y) | a ... (10).

【0024】重み関数w(X,Y)は、近接効果補正前
のパターン19の辺ABを中心線とする幅dの矩形に対
応したレジスト上の領域で1になり、それ以外では0に
なる。「対応した」領域とは、好ましくは、所望のレジ
ストパターンの、辺ABに対応したエッジを中心線とす
る幅Dの矩形領域であるが、パターン19と幾何学的に
相似なレジストパターンの、辺ABに対応したエッジを
中心線とする幅Dの矩形領域であってもよい。D/dは
レジストパターンとマスクパターンの相似比で定まる。
The weighting function w (X, Y) becomes 1 in the area on the resist corresponding to the rectangle of width d with the side AB of the pattern 19 before the proximity effect correction as the center line, and becomes 0 otherwise. . The “corresponding” region is preferably a rectangular region having a width D with the edge corresponding to the side AB as the center line of the desired resist pattern, but of a resist pattern geometrically similar to the pattern 19. It may be a rectangular area having a width D with an edge corresponding to the side AB as a center line. D / d is determined by the similarity ratio between the resist pattern and the mask pattern.

【0025】近接効果のレジストパターンに対する影響
は、レジストパターンのエッジ付近の光強度分布により
定り、その他の部分の光強度分布によらないと考えられ
るので、重み関数w(X,Y)を用いることにより、近
接効果に無関係な量の積分値Hiへの寄与が低減され、
近接効果補正をより正確に行うことが可能となり、さら
に、部分的に積分すればよいので、計算時間を短縮でき
る。幅Dは、このような観点から定められる。
The influence of the proximity effect on the resist pattern is determined by the light intensity distribution near the edge of the resist pattern, and it is considered that it does not depend on the light intensity distribution of other portions. Therefore, the weighting function w (X, Y) is used. As a result, the contribution to the integrated value Hi of an amount unrelated to the proximity effect is reduced,
The proximity effect correction can be performed more accurately, and since partial integration is sufficient, the calculation time can be shortened. The width D is determined from such a viewpoint.

【0026】パターン19の他の辺についても、上記同
様にして補正値δを求める。レジスト膜圧を考慮する場
合は、上述と同様に計算式を拡張すればよい。より正確
に補正値を求めるには、パターン19の各辺を分割し又
はパターン18に隣接した辺AB及び辺BCを分割し、
分割された線の各々について、上記同様にして補正値を
求める。
For the other sides of the pattern 19, the correction value δ is obtained in the same manner as above. When considering the resist film pressure, the calculation formula may be expanded in the same manner as described above. In order to obtain the correction value more accurately, the sides of the pattern 19 are divided or the sides AB and BC adjacent to the pattern 18 are divided,
A correction value is obtained for each of the divided lines in the same manner as above.

【0027】[第2実施例]上式(1)の計算におい
て、位置Xを非連続な数値の集合とし、すなわち通常の
数値積分の場合よりも位置Xの刻みを大きくし、通常の
積分の替わりに離散値の総和を求めることにより、計算
時間を短縮させてもよい。そこで、第2実施例のフォト
マスクパターン近接効果補正方法では、図9に示す処理
を行う。ステップ42、43、46〜49はそれぞれ、
図1のステップ32、33、36〜39と同一であるの
で、その他のステップのみを簡単に説明する。
[Second Embodiment] In the calculation of the above equation (1), the position X is set as a discontinuous set of numerical values, that is, the step of the position X is made larger than in the case of normal numerical integration, and the normal integration is performed. Alternatively, the calculation time may be shortened by obtaining the sum of discrete values. Therefore, in the photomask pattern proximity effect correction method of the second embodiment, the processing shown in FIG. 9 is performed. Steps 42, 43, 46-49 are
Since it is the same as steps 32, 33, 36 to 39 in FIG. 1, only the other steps will be briefly described.

【0028】(40)X方向評価点X1、X2、・・・
Xmを選定する。これらの点の間隔は、例えば一定であ
る。 (41)孤立パターンの正規化光強度分布Ir(X
j)、j=1〜mを算出する。 (44)非孤立線状パターンの正規化光強度分布Ii
(Xj)、j=1〜mを算出する。
(40) X-direction evaluation points X1, X2, ...
Select Xm. The distance between these points is constant, for example. (41) Normalized light intensity distribution Ir (X
j), j = 1 to m are calculated. (44) Normalized light intensity distribution Ii of non-isolated linear pattern
(Xj), j = 1 to m are calculated.

【0029】(45)補正されたパターンの評価値Hi
を、 Hi=Σhi(Xj) ・・・(11) として算出する。ここに、Σはj=1〜mについて総和
をとることを意味し、光強度差hi(Xj)は、 hi(Xj)=|Ii(Xj)−Ir(Xj)|a ・・・(12) である。
(45) Evaluation value Hi of the corrected pattern
Is calculated as Hi = Σhi (Xj) (11). Here, Σ means that the sum is taken for j = 1 to m, and the light intensity difference hi (Xj) is hi (Xj) = | Ii (Xj) -Ir (Xj) | a ... (12 ) Is.

【0030】式(11)は、実質的には積分の概念に含
まれる。Y軸方向及びZ軸方向への拡張は、上記第1実
施例での説明から容易に理解できるので、その説明を省
略する。図10は、パターン19の辺ABの近接効果補
正計算における評価点をドットで示している。なお、本
発明には外にも種々の変形例が含まれる。
Expression (11) is substantially included in the concept of integration. The expansion in the Y-axis direction and the Z-axis direction can be easily understood from the description of the first embodiment, and the description thereof will be omitted. In FIG. 10, the evaluation points in the proximity effect correction calculation of the side AB of the pattern 19 are shown by dots. In addition, the present invention includes various modifications.

【0031】例えば、上記実施例では隣接パターンの近
接効果補正を説明したが、例えば図6(B)のパターン
19を矩形ABFGと矩形FCDEとに分割して考える
ことにより、同一パターン内の近接効果補正を行っても
よい。また、式(1)中のdXに対応して、式(11)
中の光強度差hi(Xj)に重みΔXjを乗じ、Xjの
密度を、近接効果補正に寄与する程度に応じて変更する
構成、又は、重みΔXjを乗じることなく同様にXjの
密度を変更する構成であってもよく、これらは実質的に
は積分の概念に含まれるものとする。
For example, although the proximity effect correction of the adjacent patterns has been described in the above embodiment, for example, by considering the pattern 19 of FIG. 6B into a rectangular ABFG and a rectangular FCDE, the proximity effect in the same pattern is considered. Correction may be performed. Also, in correspondence with dX in equation (1), equation (11)
The light intensity difference hi (Xj) in the middle is multiplied by the weight ΔXj, and the density of Xj is changed according to the degree of contribution to the proximity effect correction, or the density of Xj is similarly changed without being multiplied by the weight ΔXj. It may be configured, and these are substantially included in the concept of integration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例のフォトマスクパターン近
接効果補正方法を示すフローチャートである。
FIG. 1 is a flowchart showing a photomask pattern proximity effect correction method according to a first embodiment of the present invention.

【図2】近接効果補正装置の概略ブロック図である。FIG. 2 is a schematic block diagram of a proximity effect correction device.

【図3】孤立及び非孤立の線状マスクパターンを示す図
である。
FIG. 3 is a diagram showing isolated and non-isolated linear mask patterns.

【図4】図3(A)及び(B)のフォトマスクパターン
に対応したレジスト上の正規化光強度分布を示す線図で
ある。
FIG. 4 is a diagram showing a normalized light intensity distribution on a resist corresponding to the photomask patterns of FIGS. 3 (A) and 3 (B).

【図5】重み関数及び光強度差分布を示す線図である。FIG. 5 is a diagram showing a weighting function and a light intensity difference distribution.

【図6】レジスト断面及び非線状マスクパターンを示す
図である。
FIG. 6 is a diagram showing a resist cross section and a non-linear mask pattern.

【図7】図3(B)のパターンのピッチPに対する補正
値δを示す線図である。
7 is a diagram showing a correction value δ with respect to the pitch P of the pattern of FIG. 3 (B).

【図8】線パターン/補正値テーブルである。FIG. 8 is a line pattern / correction value table.

【図9】本発明の第2実施例のフォトマスクパターン近
接効果補正方法を示すフローチャートである。
FIG. 9 is a flowchart showing a photomask pattern proximity effect correction method according to a second embodiment of the present invention.

【図10】マスクパターン上の辺ABに関する評価点を
示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing evaluation points regarding a side AB on a mask pattern.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 孤立線パターン 11〜15 非孤立線パターン 16 半導体基板 17 レジスト膜 18、19 パターン 20 計算機 21 未補正マスクパターンデータ 22 補正用パラメータ 23 露光用パラメータ 24 補正済マスクパターンデータ 25 パターン/補正値テーブル 10 isolated line pattern 11-15 Non-isolated line pattern 16 Semiconductor substrate 17 Resist film 18, 19 patterns 20 calculator 21 Uncorrected mask pattern data 22 Correction parameters 23 Exposure parameters 24 Corrected mask pattern data 25 patterns / correction value table

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−36549(JP,A) 特開 平2−39152(JP,A) 特開 平5−165194(JP,A) 特開 平6−19115(JP,A) 特開 平8−248614(JP,A) 特開 平8−76360(JP,A) 特開 平4−179952(JP,A) 特開 平6−120102(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G03F 1/08 G03F 1/16 H01L 21/027 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-3-36549 (JP, A) JP-A-2-39152 (JP, A) JP-A-5-165194 (JP, A) JP-A-6- 19115 (JP, A) JP 8-248614 (JP, A) JP 8-76360 (JP, A) JP 4-179952 (JP, A) JP 6-120102 (JP, A) (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G03F 1/08 G03F 1/16 H01L 21/027

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 第1マスクパターンに第2マスクパター
ンが隣接している場合に、第2マスクパターンの第1マ
スクパターンに対する近接効果の補正を行うフォトマス
クパターン近接効果補正方法において、 孤立した第1マスクパターンのみによるレジスト位置で
の光強度分布Irを算出し、 第2マスクパターン及びエッジの位置を補正した第1マ
スクパターンの両方によるレジスト位置での光強度分布
Iiを算出し、 IiとIrとの差に対応した値hiを、所定領域で実質的
に積分して、積分値Hiを求め、 求めた積分値Hiのうちの最小値に対応した該補正を、
該第1マスクパターンに対し施すことを特徴とするフォ
トマスクパターン近接効果補正方法。
1. A photomask pattern proximity effect correction method for correcting a proximity effect of a second mask pattern with respect to a first mask pattern when a second mask pattern is adjacent to the first mask pattern. The light intensity distribution Ir at the resist position by only one mask pattern is calculated, and the light intensity distribution Ii at the resist position by both the second mask pattern and the first mask pattern in which the position of the edge is corrected is calculated, and Ii and Ir The value hi corresponding to the difference between and is substantially integrated in a predetermined area to obtain an integrated value Hi, and the correction corresponding to the minimum value of the obtained integrated values Hi is
A method of correcting a photomask pattern proximity effect, which is performed on the first mask pattern.
【請求項2】 前記所定領域は、前記エッジに対応した
位置の付近の領域であることを特徴とする請求項1記載
の方法。
2. The method according to claim 1, wherein the predetermined area is an area near a position corresponding to the edge.
【請求項3】 前記所定領域は、前記レジストの深さ方
向を含むことを特徴とする請求項1又は2記載の方法。
3. The method according to claim 1, wherein the predetermined region includes a depth direction of the resist.
【請求項4】 前記値hiは、|Ii−Ir|a であり、
aは定数であることを特徴とする請求項1乃至3のいず
れか1つに記載の方法。
4. The value hi is | Ii-Ir | a ,
4. The method according to claim 1, wherein a is a constant.
【請求項5】 前記第1マスクパターン及び前記第2マ
スクパターンは、1図形を分割したパターンであること
を特徴とする請求項1乃至4のいずれか1つに記載の方
法。
5. The method according to claim 1, wherein the first mask pattern and the second mask pattern are patterns obtained by dividing one figure.
【請求項6】 前記所定領域内で選定した複数の評価点
について、前記hiの総和を前記Hiとして求めることに
より、実質的に前記積分を行うことを特徴とする請求項
1乃至5のいずれか1つに記載の方法。
6. The integration is substantially performed by obtaining a sum of the hi as the Hi for a plurality of evaluation points selected in the predetermined area. The method according to one.
【請求項7】 第1マスクパターンに第2マスクパター
ンが隣接している場合に、第2マスクパターンの第1マ
スクパターンに対する近接効果の補正を行うフォトマス
クパターン近接効果補正装置において、 孤立した第1マスクパターンのみによるレジスト位置で
の光強度分布Irを算出し、 第2マスクパターン及びエッジの位置を補正した第1マ
スクパターンの両方によるレジスト位置での光強度分布
Iiを算出し、 IiとIrとの差に対応した値hiを、所定領域で実質的
に積分して、積分値Hiを求め、 求めた積分値Hiのうちの最小値に対応した該補正を、
該第1マスクパターンに対し施す計算機を有することを
特徴とするフォトマスクパターン近接効果補正装置。
7. A photomask pattern proximity effect correction device that corrects the proximity effect of a second mask pattern with respect to a first mask pattern when the second mask pattern is adjacent to the first mask pattern. The light intensity distribution Ir at the resist position by only one mask pattern is calculated, and the light intensity distribution Ii at the resist position by both the second mask pattern and the first mask pattern in which the position of the edge is corrected is calculated, and Ii and Ir The value hi corresponding to the difference between and is substantially integrated in a predetermined area to obtain an integrated value Hi, and the correction corresponding to the minimum value of the obtained integrated values Hi is
A photomask pattern proximity effect correction device, comprising a calculator for performing the first mask pattern.
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