JP3368497B2 - Multi-axis horizontal polishing machine - Google Patents
Multi-axis horizontal polishing machineInfo
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- JP3368497B2 JP3368497B2 JP19846599A JP19846599A JP3368497B2 JP 3368497 B2 JP3368497 B2 JP 3368497B2 JP 19846599 A JP19846599 A JP 19846599A JP 19846599 A JP19846599 A JP 19846599A JP 3368497 B2 JP3368497 B2 JP 3368497B2
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- polishing
- work
- polishing machine
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Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学部品や光ファ
イバー等の被研磨材(「ワーク」と称する)の端面を段
階的な粗さの研磨盤で研磨することにより高精度な研磨
面を得るようにした多軸式横型研磨機に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】例えば、光ファイバーの突合せ接続にお
いては、伝送する光の接続損失をできるだけ小さく抑え
る必要があるため、光ファイバーの端部に設けられたコ
ネクタの端面を高精度に研磨する必要がある。
【0003】このような光ファイバー等のワークに対し
て高精度の端面研磨を行うためには、微小粗さの仕上げ
用研磨盤によって仕上げ研磨を行う必要があるが、作業
効率を向上するためには、その前工程として粗仕上げ研
磨をしておく必要がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の研磨
機において、研磨盤を回転する主軸が1軸に構成されて
いる場合、粗仕上げ用研磨盤による研磨作業を行った後
に、この研磨盤を取り外して仕上げ用研磨盤に交換する
必要があり、その交換作業に手間を要するという欠点が
あった。
【0005】また、従来の研磨機において、研磨盤に対
するワークの取付け位置が固定されている場合、研磨盤
に対するワークの接触箇所の摩耗が集中的に進んでしま
い、研磨盤の使用効率が非常に悪くなるという欠点があ
った。
【0006】さらに、従来の端面研磨機において、上記
と同様に研磨盤に対するワークの取付け位置が固定され
ている場合、ワークの端面に生じる研磨傷が一方向の筋
状に形成され、光の接続損失が大きくなるという欠点が
あった。
【0007】本発明は、上記のような問題点を解消する
ために成されたもので、光学部品等のワークを段階的な
粗さで研磨すると共に、研磨盤の研磨面全体を使用する
ことにより研磨盤の使用効率を向上し、さらにはワーク
の研磨傷を滑らかにすることによって光の接続損失を低
減するようにした多軸式横型研磨機を提供することを目
的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の請求項1の多軸式横型研磨機は、回転駆
動される粗さの異なる複数の研磨盤が並設されると共
に、ワークを取付けるワークセット治具を所定の研磨盤
の前位置に移動する横送り機構と、前記ワークセット治
具を前記研磨盤の研磨面に沿って平行に所定幅で往復移
動させる横揺動機構と、前記ワークセット治具を前記研
磨盤の研磨面に沿って所定の円弧幅で往復移動させる旋
回揺動機構と、前記研磨盤に対する前記ワークセット治
具に取付けられたワークの研磨量を制御する切込送り制
御機構と、前記ワークセット治具に取付けられたワーク
を前記研磨盤の研磨面に所定圧力で押圧する研磨圧力調
整機構とを有する多軸式横型研磨機において、前記研磨
圧力調整機構は、前記研磨盤の研磨面に対して垂直方向
に移動可能な上架台と、該上架台に摺動自在に設けられ
たことによって前記研磨盤の研磨面に対して垂直方向に
前進するフリー架台と、該フリー架台の側面から垂直に
張り出したタッチ板とを有し、前記上架台に設けられた
研磨圧力用モータによって駆動されるヒステリシスクラ
ッチの出力軸に固設されたアームの偏心軸位置に断面丸
形の押圧軸が固設され、該押圧軸は前記タッチ板の後面
に当接されると共に、前記ヒステリシスクラッチは電圧
変化によってクラッチの滑りを変化させることができ、
前記研磨圧力用モータの駆動によって前記ヒステリシス
クラッチが回転すると、前記ヒステリシスクラッチの出
力軸に連結されたアームが回転すると共に、その偏心位
置で前記押圧軸が回転して前記タッチ板を押圧して前記
フリー架台を前進させることができ、これによってワー
クセット治具に取付けられたワークを前記研磨盤の研磨
面に所定圧力で押圧することができ、前記ワークセット
治具のワークを粗さ大から小の研磨盤へと段階的に移動
すると共に、夫々の研磨盤の研磨面に前記ワークの端面
を所定の研磨圧力で押圧しながら所定の研磨量だけ横揺
動しつつ旋回揺動させるようにしたことを特徴とする。
【0009】
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面を参照しながら説明する。
【0011】本発明による多軸式横型研磨機は、図1又
は図2に示すように、回転駆動される粗さの異なる複数
の研磨盤1、1…が並設されてなる多軸式横型研磨機に
おいて、ワーク2を取付けるワークセット治具3を所定
の研磨盤の前位置に移動する横送り機構と、ワークセッ
ト治具3を研磨盤1の研磨面fに沿って平行に所定幅で
往復移動させる横揺動機構と、ワークセット治具3を研
磨盤1の研磨面fに沿って所定の円弧幅で往復移動させ
る旋回揺動機構と、研磨盤1に対するワークセット治具
3に取付けられたワーク2の研磨量を制御する切込送り
制御機構と、ワークセット治具3に取付けられたワーク
2を研磨盤1の研磨面fに所定圧力で押圧する研磨圧力
調整機構とを備えたことにより、ワークセット治具3に
取付けられたワーク2を粗さ大から小の研磨盤1、1…
へと段階的に移動し、夫々の研磨盤1の研磨面fにワー
ク2の端面を所定の研磨圧力で押圧しながら所定の研磨
量だけ横揺動しつつ旋回揺動させることにより研磨する
ようにしたものである。
【0012】また、本実施例において作業台10のベッ
ド11上に設けられた架台5、6、7、8とワークセッ
ト治具3の構成は、複数の研磨盤1、1…が並設された
ハウジング4を立設してなるベッド11上の前方に、図
2に示すように、研磨盤1の研磨面fに沿って平行に移
動される下架台5が設けられ、下架台5の上部には研磨
盤1の研磨面fに沿って平行に往復移動される中架台6
が設けられ、中架台6の上部には研磨盤1の研磨面fに
対して垂直方向に移動される上架台7が設けられ、上架
台7の上部には研磨盤1の研磨面fに対して垂直方向に
案内されるフリー架台8が摺動自在に設けられ、フリー
架台8の上部に設けられた揺動軸受9にワークセット治
具3の揺動軸13が支承され、ワークセット治具3には
揺動軸13と同方向にワーク2が着脱自在に取り付けら
れてなるものである。
【0013】このような多軸式横型研磨機の構成につい
てより詳細に述べると、図1に示すように、作業台10
の上面に水平を成すベッド11が設けられ、ベッド11
の後方に立設された水除けカバー4の横方向に所定間隔
をあけて3台のスピンドル14、14…が設けられ、夫
々のスピンドル14の後部にはプーリ15が接続され、
各プーリ15は作業台10の下方内部に設けられたモー
タ(不図示)の回転軸にベルト16(図5参照)を介し
て連結されている。
【0014】また、図2に示すように、夫々のスピンド
ル14を介して各軸に粗さの異なる3種の研磨盤、即ち
荒仕上研磨盤1aと中荒仕上研磨盤1bと最終仕上研磨
盤1cが交換可能に取り付けられ、図5に示すように、
夫々の研磨盤はベッド11に対して垂直を成し、且つ夫
々の研磨面fが同一面上に設られ、各研磨盤1は作業台
10内の個々のモータ(不図示)によって独立的に回転
されるものである。
【0015】また、夫々の研磨盤1はドーナツ形の研磨
面fを有するものであり、その内径において研磨盤1を
スピンドル14の回転軸15にナット15aで締結する
ことにより取付けるようにしている。
【0016】なお、本発明において、水除けカバー4に
設けられた複数の研磨盤1、1…は、3軸研磨盤に限定
されるものではなく、例えば2軸研磨盤、さらには4軸
研磨盤等の多軸研磨盤にすることも可能である。
【0017】次に、本実施例の横送り機構について説明
すると、図2に示すように、夫々の研磨盤1、1…と平
行を成す2条のガイドレール20、20がベッド11上
に設けられ、これらのガイドレール20、20に下架台
5の下面に固設された断面凹形のガイド21、21が摺
動自在に係合されている。
【0018】また、図3に示すように、両側のガイドレ
ール20、20の中央に沿ってボールネジ22が設けら
れ、このボールネジ22の両端は軸受23、23により
支承され、ボールネジ22の一端はベッド11上に設け
られた減速機を内蔵した横送用サーボモータ24の回転
軸にカップリング25を介して連結されている。
【0019】さらにボールネジ22は、図5に示すよう
に下架台5の下面に固設されたボールナット26に噛合
され、上記の横送用サーボモータ24を駆動することに
より、下架台5を研磨盤1、1…の盤面fに沿って移動
することができ、また図3に示すように横送用サーボモ
ータ24の回転制御によって所定の研磨盤1の研磨面f
の前方にワークセット治具3を停止して待機状態とする
ことができる。
【0020】ここで、本実施例の横揺動機構について説
明すると、図5に示すように、下架台5の上部には研磨
盤1の研磨面fに沿って平行に間隔をあけて二条のガイ
ドレール30、30が固設され、中架台6の下部に固設
された断面凹形のガイド31、31を上記のガイドレー
ル30、30に係合することにより、中架台6を研磨盤
1の研磨面fに沿って平行に摺動することが可能とされ
ている。
【0021】さらに、図6に示すように、中架台6の端
部に設けられた横揺動用モータ33の減速機34の出力
軸を縦方向に向けて中架台6から下方に突出すると共
に、該出力軸の偏心位置に支承された円径の偏心カム3
5を設け、この偏心カム35を下架台5の端部に固設し
た案内溝枠36に係合するようにしている。
【0022】案内溝枠36は断面凹形を成し、水平方向
に上記の偏心カム35の直径を遊嵌する幅の規制枠36
a、36aを形成してあり、研磨盤1の研磨面fに対し
て垂直方向を向く溝方向(図6におけるワークセット治
具3に取り付けられたワーク2の軸方向)には偏心カム
35の遊嵌状態に対して規制のない空間を形成してい
る。
【0023】上記の構成により、横揺動用モータ33を
駆動すると、偏心カム35が回転して案内溝枠36を従
動させることにより、中架台6が研磨盤1の研磨面fに
沿って平行に所定幅で往復移動することができる。
【0024】次に、本実施例による切込送り制御機構に
ついて説明する。図6に示すように中架台6の上部には
研磨盤1の研磨面fに対して垂直方向に間隔をあけてガ
イドレール50、50が設けられ、上架台7の下部に間
隔をあけて固設された断面凹形のガイド51、51を上
記のガイドレール50、50に係合することにより、図
7に示すように上架台7は研磨盤1の研磨面fに対して
垂直方向(図7におけるワークセット治具3に取り付け
られたワーク2の軸方向)に移動可能とされている。
【0025】この上架台7には、図6に示すようにボー
ルネジ52を回転駆動する切込送り用サーボモータ53
が設けられ、ボールネジ52は上架台7の下面に固設さ
れるボールナット54に係合され、切込送り用サーボモ
ータ53が回転駆動されることにより、上架台7を研磨
盤1の研磨面fに対して垂直方向(ワークセット治具3
に取り付けられたワーク2の軸方向)に移動することが
できる。
【0026】このような構成による切込送り制御機構の
作動については後述する。
【0027】次に、本実施例による旋回揺動機構につい
て説明する。図8に示すように上架台7の片側の上部に
は二条のガイドレール40、40を有するガイド板39
が設けられ、ガイド板39のガイドレール40、40の
外側幅をその内側幅とする凹溝41が形成されたフリー
架台8がガイド板39のガイドレール40、40に沿っ
て摺動自在に係合されたことにより、フリー架台8は研
磨盤1の研磨面fに対して垂直方向(ワークセット治具
3に取り付けられたワーク2の軸方向)に前進するよう
にされている。
【0028】また、図8に示すように、フリー架台8の
上部には揺動軸受9が固設され、ワークセット治具受板
42の中心に固設された揺動軸13が揺動軸受9に支承
されると共に、揺動軸13の後端には、断面矩形の揺動
片43の端部が固設されている。
【0029】さらに、揺動片43は、図9に示すよう
に、上架台7に対して引張バネ44で連結され、上架台
7の後方に固設された旋回揺動モータ45の減速機46
の偏心軸位置に固設されたカム47の外周に上記の揺動
片43が当接されている。
【0030】このような構成により、旋回揺動モータ4
5が回転駆動されると、揺動片43が揺動軸13を介し
てワークセット治具受板42に揺動運動を行わせること
により、ワークセット治具受板42の上面に固設された
ワークセット治具3に揺動運動を起こさせることができ
る。
【0031】本実施例におけるワークセット治具3は、
図6に示すように、垂直板3aと水平板3bとが断面L
形を成し、水平板3bがワークセット治具受板42の上
面端部に固設され、垂直板3aの略中心における水平方
向にワーク取付け孔3cが貫通され、このワーク取付け
孔3cに対して垂直上方から取付ネジ3dが螺合され、
ワーク取付け孔3cに挿着したワーク2を取付ネジ3d
の締付けによって固定することができる。
【0032】次に、本実施例における研磨圧力調整機構
について説明する。図9に示すように、フリー架台8の
側面には該フリー架台8の側面から垂直に張り出したタ
ッチ板63が設けられている。また、図8に示すよう
に、上架台7には研磨圧力用モータ64が設けられ、こ
の研磨圧力用モータ64に隣設してヒステリシスクラッ
チ65が設けられ、研磨圧力用モータ64の回転軸に固
設されたプーリ64aとヒステリシスクラッチ65の回
転軸に設けられたプーリ65aとがベルト66で連結さ
れ、ヒステリシスクラッチ65の出力軸に固設されたア
ーム67の偏心軸位置には断面丸形の押圧軸68が固設
され、この押圧軸68はタッチ板63の後面に当接され
ている。
【0033】ヒステリシスクラッチ65は電圧変化によ
ってクラッチの滑りを変化させることができるもので、
図10に示すように、研磨圧力用モータ64の駆動によ
ってヒステリシスクラッチ65が回転すると、ヒステリ
シスクラッチ65の出力軸に連結されたアーム67が回
転すると共に、その偏心位置で押圧軸68が回転してタ
ッチ板63を押圧してフリー架台8を前進させることが
でき、これによってワークセット治具3に取付けられた
ワーク2を研磨盤1の研磨面fに所定圧力で押圧するこ
とができる。
【0034】また、図9に示すように、上架台7にはタ
ッチ板63の前面側に向けてタッチセンサ69が固設さ
れている。このタッチセンサ69は、上記の切込送り用
サーボモータ53に接続され、タッチセンサ69がタッ
チ板63から離れたときに切込送り用サーボモータ53
にOFF信号を与えるようにされている。
【0035】さらに、図8に示すように、上架台7の上
部に設けられたフリー架台8の後部にはストッパシリン
ダ60が固設されている。このストッパシリンダ60は
エアーシリンダによって構成され、ロッド61がフリー
架台8の後部に向けて突出され、フリー架台8の後退を
ストッパシリンダ60のロッド61の弾性によって停止
させるもので、この停止位置がフリー架台8の後退待機
位置となる。
【0036】ここで、上記の構成の多軸式横型研磨機の
動作を切込送り制御機構の動作と研磨圧力調整機構の動
作と併せて説明する。
【0037】図3に示すように、上記の横送り機構の横
送用サーボモータ24の駆動によって下架台5が所定の
研磨盤1の研磨面fの前位置に移動して停止される。
【0038】図10において、フリー架台8はストッパ
シリンダ60のロッド61で停止された待機状態にあ
り、フリー架台8に固設されたタッチ板63の前面にタ
ッチセンサ69が当接すると共にタッチ板63の後面に
ヒステリシスクラッチ65に連結された押圧軸68が接
触した状態にある。
【0039】この状態において、切込送り制御機構の動
作について説明すると、切込送り用サーボモータ53
(図7参照)が駆動すると共に、研磨圧力用モータ64
の駆動によってヒステリシスクラッチ65が作動する
と、図11に示すように、上架台7がフリー架台8と共
に前進してワークセット治具3に取り付けられたワーク
2の端面が所定の研磨盤1に当たる。また、このような
動作と同期して、ストッパシリンダ60のロッド61が
後退される。
【0040】このとき、図12に示すように、フリー架
台8は上架台7に対して研磨盤1の垂直方向にスライド
自在であるため、上架台7だけが前進してタッチ板63
からタッチセンサ69が離れると同時に、タッチセンサ
69のOFF信号によって切込送り用サーボモータ53
が停止される。
【0041】このような動作において、図10の待機状
態からタッチセンサ69がOFF信号を得るまでの距離
を切込送り用サーボモータ53のロータリエンコーダに
よって計測することにより、所定の研磨盤1の研磨面f
までの距離を計測することができ、研磨盤1が摩耗して
いない状態の研磨面fまでの距離と比較することによっ
てその研磨盤1の消耗度を測定することができる。
【0042】また、このような切込送り用サーボモータ
53のロータリエンコーダによる距離測定によって、予
め設定された距離だけ切込送り用サーボモータ53が駆
動されることにより、ワークセット治具3のワーク2の
切込み量、即ち研磨量を得ることができ、この所定の研
磨量を得る距離だけ上架台7が前進する。
【0043】また、図12において、研磨圧力調整機構
について説明すると、上記のようにタッチセンサ69の
OFF信号を得ることによって切込送り用サーボモータ
53が停止された状態にあるが、研磨圧力用モータ64
によるヒステリシスクラッチ65の作動は維持され、ヒ
ステリシスクラッチ65によって回転されるアーム67
と押圧軸68を介してタッチ板63を押圧することによ
り、フリー架台8を研磨盤1の方向に押圧してワーク2
の端面を研磨板1の研磨面fに所定の研磨圧力で押圧す
ることができる。この研磨圧力は、ヒステリシスクラッ
チ65に設定された電圧制御によって調整することがで
きる。
【0044】このような動作において、旋回揺動機構と
横揺動機構とを同時に駆動したとき、図13(a) に示す
ように、ワーク2の端面2aは研磨盤1の研磨面fの略
全幅を移動して研磨されると共に、ワーク2の端面2a
は、図13(b) に示すように研磨盤1の回転による略縦
方向の研磨傷に加えて、旋回揺動機構による旋回方向と
横揺動機構による横揺動方向の研磨傷を同時に得ること
ができるため、図13(c) に示す従来の一方向の研磨傷
に比較して滑らかな研磨面を得ることが可能となる。
【0045】なお、上記の実施例においては、旋回揺動
機構と横揺動機構とを共に備えた構成としてあるが、旋
回揺動機構を設けることなく横揺動機構のみを備えた構
成とすることも可能である。また、横揺動機構と旋回揺
動機構とを共に備えた構成として旋回揺動機構のほうを
駆動することなく、横揺動機構のみの駆動によって、ワ
ークの研磨を行うようにしてもよい。
【0046】このように横揺動機構のみの駆動による場
合でも、研磨盤1の回転による略縦方向の研磨傷に加え
て横揺動機構による横揺動方向の研磨傷を同時に得るこ
とができるため、図13(d) に示すような研磨傷を得る
ことができ、図13(c) に示す従来の一方向の研磨傷に
比較して滑らかな研磨面を得ることが可能となる。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の多軸式横
型研磨機によれば、ワークセット治具を所定の研磨盤の
前位置に移動する横送り機構によってワークセット治具
に取り付けられたワークを段階的な粗さで順次研磨する
ことができる。
【0048】また、ワークセット治具を研磨盤の研磨面
に沿って平行に所定幅で往復移動させる横揺動機構によ
って研磨盤の研磨幅全体を使用することにより研磨盤の
使用効率を向上し、研磨盤の寿命を長期にわたり確保す
ることができる。
【0049】また、ワークセット治具を研磨盤の研磨面
に沿って所定の円弧幅で往復移動させる旋回揺動機構に
よって、研磨盤の回転による略縦方向の研磨傷に加えて
旋回方向の研磨傷を得ることにより滑らかなワークの研
磨面を得ることができ、光学部品の光の接続損失を低減
することができる。
【0050】また、研磨盤に対するワークセット治具に
取付けられたワークの研磨量を制御する切込送り制御機
構によって設定された研磨量によりワークを研磨すると
共に研磨盤の消耗度を測定することができる。
【0051】さらには、ワークセット治具に取付けられ
たワークを研磨盤の研磨面に所定圧力で押圧する研磨圧
力調整機構によって、ワークを設定された所定の研磨圧
力で研磨することができる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION [0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a method of polishing an end surface of a material to be polished (referred to as a "work") such as an optical component or an optical fiber with a polishing disk having a stepwise roughness. The present invention relates to a multi-axis horizontal polishing machine that obtains a highly accurate polished surface by performing the polishing. [0002] For example, in the butt connection of optical fibers, it is necessary to minimize the connection loss of light to be transmitted, so that the end face of a connector provided at the end of the optical fiber must be polished with high precision. There is. [0003] In order to perform highly accurate end face polishing on such a work such as an optical fiber, it is necessary to perform finish polishing using a finishing grinder having a minute roughness. It is necessary to perform rough finish polishing as a pre-process. [0004] However, in a conventional polishing machine, when the main spindle for rotating the polishing machine is configured as a single shaft, after performing a polishing operation using a rough finishing polishing machine, the polishing operation is performed. It is necessary to remove the polishing machine and replace it with a polishing machine for finishing. Further, in a conventional polishing machine, when the position of attachment of the work to the polishing plate is fixed, wear of the contact portion of the work with the polishing plate is intensively performed, and the use efficiency of the polishing plate is extremely high. There was a disadvantage of getting worse. Further, in the conventional end face polishing machine, if the work is fixed to the polishing board in the same manner as described above, polishing flaws formed on the end face of the work are formed in a one-way streak, and light connection is made. There was a disadvantage that the loss was large. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is intended to grind a work such as an optical component with a stepwise roughness and to use the entire polished surface of a grinder. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a multi-axis horizontal polishing machine in which the use efficiency of the polishing machine is improved, and the polishing loss of the work is smoothed to reduce the connection loss of light. [0008] In order to achieve the above object, a multi-shaft horizontal polishing machine according to the first aspect of the present invention comprises a rotary drive.
When multiple polishing machines with different roughness
And a work set jig for mounting the work
Traverse mechanism that moves to the front position of
The tool is reciprocated in a predetermined width in parallel along the polishing surface of the polishing machine.
A horizontal swing mechanism for moving the work set jig,
Rotation to reciprocate with a predetermined arc width along the polishing surface of the polishing machine
A rotating mechanism and a work set jig for the polishing machine.
Cutting feed control to control the amount of polishing of the work attached to the tool
Control mechanism and the work attached to the work set jig
Pressure at a predetermined pressure on the polishing surface of the polishing machine.
A multi-shaft horizontal polishing machine having a polishing mechanism;
The pressure adjusting mechanism is arranged in a direction perpendicular to the polishing surface of the polishing machine.
And a slidably mounted on the upper cradle.
By doing so, in the direction perpendicular to the polishing surface of the polishing machine
A free platform that moves forward and vertically from the side of the free platform
A touch panel that protrudes, and is provided on the upper mount.
Hysteresis class driven by polishing pressure motor
Round section at the position of the eccentric shaft of the arm fixed to the output shaft of the switch.
Shaped pressing shaft is fixedly mounted on the rear surface of the touch plate.
And the hysteresis clutch is
The change can change the slip of the clutch,
The hysteresis is controlled by driving the polishing pressure motor.
When the clutch rotates, the output of the hysteresis clutch is released.
The arm connected to the force shaft rotates and its eccentric position
The pressing shaft rotates at the position to press the touch plate and
The free platform can be moved forward,
Grind the work attached to the cusset jig with the polishing machine
The work set can be pressed against the surface with a predetermined pressure.
Jig work is gradually moved from large roughness to small grinding
And the end face of the work on the polishing surface of each polishing machine.
Squeezing by a specified amount of polishing while pressing at a specified polishing pressure
It is characterized in that it is swiveled while moving. Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIG. 1 or FIG. 2, the multi-axis horizontal polishing machine according to the present invention comprises a plurality of polishing disks 1, 1... In the polishing machine, a traverse mechanism for moving the work set jig 3 for mounting the work 2 to a position in front of a predetermined polishing plate, and the work set jig 3 with a predetermined width in parallel with the polishing surface f of the polishing plate 1. A reciprocating horizontal swing mechanism, a revolving rocking mechanism for reciprocating the work set jig 3 along the polishing surface f of the polishing disc 1 with a predetermined arc width, and a work set jig 3 for the polishing disc 1 A cutting feed control mechanism for controlling the amount of polishing of the work 2 provided; and a polishing pressure adjusting mechanism for pressing the work 2 attached to the work setting jig 3 against the polishing surface f of the polishing board 1 with a predetermined pressure. As a result, the work attached to the work set jig 3 Small of polishing board 2 from the roughness large 1,1 ...
, The end surface of the work 2 is pressed against the polishing surface f of each of the polishing plates 1 with a predetermined polishing pressure, and is swiveled while swinging laterally by a predetermined amount of polishing. It was made. In this embodiment, the frames 5, 6, 7, 8 and the work set jig 3 provided on the bed 11 of the work table 10 include a plurality of polishing disks 1, 1,. As shown in FIG. 2, a lower mount 5 that is moved in parallel along the polishing surface f of the polishing machine 1 is provided in front of the bed 11 on which the housing 4 is erected. The intermediate mount 6 is reciprocated in parallel along the polishing surface f of the polishing machine 1.
Is provided on an upper portion of the intermediate mount 6, and an upper mount 7 which is moved in a direction perpendicular to a polishing surface f of the polishing machine 1 is provided above the intermediate mount 6. Gantry 8 is slidably provided, and swing shaft 13 of work set jig 3 is supported on oscillating bearing 9 provided on free gantry 8. The work 3 is detachably attached to the swing shaft 13 in the same direction as the swing shaft 13. The configuration of such a multi-axis type horizontal polishing machine will be described in more detail. As shown in FIG.
A horizontal bed 11 is provided on the upper surface of the bed.
Are provided at predetermined intervals in the horizontal direction of the drain cover 4 erected at the rear of the vehicle, and three pulleys 15 are connected to the rear of each spindle 14.
Each pulley 15 is connected to a rotating shaft of a motor (not shown) provided inside the worktable 10 via a belt 16 (see FIG. 5). As shown in FIG. 2, three types of polishing machines having different roughnesses on each axis via respective spindles 14, that is, a rough finishing polishing machine 1a, a medium finishing polishing machine 1b, and a final finishing polishing machine. 1c is exchangeably mounted, as shown in FIG.
Each polishing machine is perpendicular to the bed 11 and each polishing surface f is provided on the same surface. Each polishing machine 1 is independently controlled by an individual motor (not shown) in the worktable 10. It is to be rotated. Each of the polishing disks 1 has a donut-shaped polishing surface f. The polishing disks 1 are attached to the rotating shaft 15 of the spindle 14 with nuts 15a at their inner diameters. In the present invention, the plurality of polishing discs 1, 1,... Provided on the drain cover 4 are not limited to three-axis polishing discs. It is also possible to use a multi-axis polishing machine such as a machine. Next, a description will be given of the lateral feed mechanism of this embodiment. As shown in FIG. 2, two guide rails 20, 20 parallel to the respective polishing machines 1, 1,. The guide rails 20 are slidably engaged with guides 21 having a concave cross section fixed to the lower surface of the lower base 5. As shown in FIG. 3, a ball screw 22 is provided along the center of the guide rails 20, 20 on both sides, and both ends of the ball screw 22 are supported by bearings 23, 23. One end of the ball screw 22 is a bed. It is connected via a coupling 25 to a rotating shaft of a transverse feeding servomotor 24 having a built-in speed reducer provided on 11. Further, as shown in FIG. 5, the ball screw 22 is engaged with a ball nut 26 fixed on the lower surface of the lower mount 5, and drives the above-mentioned transverse feed servo motor 24 to polish the lower mount 5. Can be moved along the surface f of the disks 1, 1,..., And as shown in FIG.
, The work set jig 3 can be stopped and brought into a standby state. Here, the horizontal swing mechanism of the present embodiment will be described. As shown in FIG. 5, the upper part of the lower gantry 5 is parallelly spaced along the polishing surface f of the polishing plate 1 with two strips. The guide rails 30, 30 are fixedly mounted, and the guides 31, 31, which are fixed at the lower part of the intermediate mount 6 and have a concave cross section, are engaged with the guide rails 30, 30 to thereby fix the intermediate mount 6 to the polishing machine 1. Can be slid in parallel along the polishing surface f. Further, as shown in FIG. 6, the output shaft of the reduction gear 34 of the transverse swing motor 33 provided at the end of the middle mount 6 projects downward from the middle mount 6 in the vertical direction. Eccentric cam 3 of circular diameter supported at the eccentric position of the output shaft
The eccentric cam 35 is engaged with a guide groove frame 36 fixedly provided at an end of the lower base 5. The guide groove frame 36 has a concave cross-section, and has a width regulating frame 36 to which the diameter of the eccentric cam 35 is loosely fitted in the horizontal direction.
a, 36a are formed, and the eccentric cam 35 is formed in a groove direction (axial direction of the work 2 attached to the work setting jig 3 in FIG. 6) which is perpendicular to the polishing surface f of the polishing machine 1. It forms a space that is not restricted for the loose fit state. With the above configuration, when the lateral swing motor 33 is driven, the eccentric cam 35 rotates and the guide groove frame 36 is driven, so that the intermediate mount 6 is parallel to the polishing surface f of the polishing machine 1. It can reciprocate with a predetermined width. Next, the cut feed control mechanism according to the present embodiment will be described. As shown in FIG. 6, guide rails 50, 50 are provided on the upper portion of the intermediate mount 6 at intervals in the vertical direction with respect to the polishing surface f of the polishing machine 1, and are fixed on the lower portion of the upper mount 7 at intervals. By engaging the provided guides 51, 51 having a concave cross section with the guide rails 50, 50, the upper base 7 is perpendicular to the polishing surface f of the polishing machine 1 as shown in FIG. 7 (in the axial direction of the work 2 attached to the work set jig 3). As shown in FIG. 6, a servo motor 53 for cutting and feeding the ball screw 52 is rotated.
Is provided, and the ball screw 52 is engaged with a ball nut 54 fixed to the lower surface of the upper pedestal 7, and the cut feed servomotor 53 is rotated to drive the upper pedestal 7 to the polishing surface of the polishing machine 1. perpendicular to f (work set jig 3
(In the axial direction of the work 2 attached to the workpiece 2). The operation of the feed control mechanism having such a configuration will be described later. Next, the turning swing mechanism according to the present embodiment will be described. As shown in FIG. 8, a guide plate 39 having two guide rails 40, 40 is provided on an upper portion on one side of the upper mount 7.
Is provided, and the free base 8 having a concave groove 41 having an inner width corresponding to the outer width of the guide rails 40, 40 of the guide plate 39 is slidably engaged along the guide rails 40, 40 of the guide plate 39. Due to the combination, the free gantry 8 advances in the direction perpendicular to the polishing surface f of the polishing machine 1 (the axial direction of the work 2 attached to the work setting jig 3). As shown in FIG. 8, a swing bearing 9 is fixed on the upper part of the free mount 8, and a swing shaft 13 fixed on the center of the work set jig receiving plate 42 has a swing bearing. At the rear end of the swing shaft 13, an end of a swing piece 43 having a rectangular cross section is fixedly mounted. Further, as shown in FIG. 9, the swinging piece 43 is connected to the upper pedestal 7 by a tension spring 44, and a reduction gear 46 of a swing oscillating motor 45 fixed behind the upper pedestal 7.
The rocking piece 43 is in contact with the outer periphery of a cam 47 fixed at the position of the eccentric shaft. With such a configuration, the swing oscillation motor 4
When the rotary member 5 is driven to rotate, the swinging piece 43 is caused to swing on the work set jig receiving plate 42 via the swing shaft 13, thereby being fixed on the upper surface of the work set jig receiving plate 42. The work set jig 3 can be caused to swing. The work set jig 3 in this embodiment is
As shown in FIG. 6, the vertical plate 3a and the horizontal plate 3b
The horizontal plate 3b is fixed to the upper end of the work set jig receiving plate 42, and the work mounting hole 3c is penetrated in the horizontal direction substantially at the center of the vertical plate 3a. The mounting screw 3d is screwed from above vertically,
The work 2 inserted into the work mounting hole 3c is attached with the mounting screw 3d.
Can be fixed by tightening. Next, the polishing pressure adjusting mechanism in this embodiment will be described. As shown in FIG. 9, a touch plate 63 is provided on a side surface of the free gantry 8 so as to project vertically from the side surface of the free gantry 8. As shown in FIG. 8, a polishing pressure motor 64 is provided on the upper mount 7, and a hysteresis clutch 65 is provided adjacent to the polishing pressure motor 64. A fixed pulley 64a and a pulley 65a provided on the rotation shaft of the hysteresis clutch 65 are connected by a belt 66, and an eccentric shaft position of an arm 67 fixed on the output shaft of the hysteresis clutch 65 has a round cross section. A pressing shaft 68 is fixedly provided, and the pressing shaft 68 is in contact with the rear surface of the touch plate 63. The hysteresis clutch 65 can change the slip of the clutch by changing the voltage.
As shown in FIG. 10, when the hysteresis clutch 65 is rotated by the driving of the polishing pressure motor 64, the arm 67 connected to the output shaft of the hysteresis clutch 65 is rotated, and the pressing shaft 68 is rotated at the eccentric position. The free base 8 can be advanced by pressing the touch plate 63, whereby the work 2 attached to the work setting jig 3 can be pressed against the polishing surface f of the polishing plate 1 with a predetermined pressure. As shown in FIG. 9, a touch sensor 69 is fixed to the upper base 7 toward the front side of the touch plate 63. This touch sensor 69 is connected to the above-mentioned cut feed servomotor 53, and when the touch sensor 69 is separated from the touch plate 63, the cut feed servomotor 53 is turned on.
Is supplied with an OFF signal. Further, as shown in FIG. 8, a stopper cylinder 60 is fixedly provided at a rear portion of the free mount 8 provided on the upper mount 7. The stopper cylinder 60 is formed by an air cylinder, and a rod 61 is projected toward the rear part of the free mount 8 to stop the retreat of the free mount 8 by the elasticity of the rod 61 of the stopper cylinder 60. The gantry 8 is in a retreat standby position. Here, the operation of the multi-axis type horizontal polishing machine having the above configuration will be described together with the operation of the cutting feed control mechanism and the operation of the polishing pressure adjusting mechanism. As shown in FIG. 3, the lower pedestal 5 is moved to a position in front of the polishing surface f of the predetermined polishing table 1 by the driving of the traverse servo motor 24 of the traverse mechanism and stopped. In FIG. 10, the free mount 8 is in a standby state stopped by the rod 61 of the stopper cylinder 60, and the touch sensor 69 contacts the front surface of the touch plate 63 fixed to the free mount 8 and the touch plate 63. The pressing shaft 68 connected to the hysteresis clutch 65 is in contact with the rear surface of the vehicle. The operation of the cut feed control mechanism in this state will be described.
(See FIG. 7) is driven and the polishing pressure motor 64 is driven.
When the hysteresis clutch 65 is actuated by the drive of, the upper pedestal 7 advances together with the free pedestal 8 and the end face of the work 2 attached to the work setting jig 3 hits the predetermined polishing plate 1 as shown in FIG. Further, in synchronization with such an operation, the rod 61 of the stopper cylinder 60 is retracted. At this time, as shown in FIG. 12, the free mount 8 is slidable in the vertical direction of the polishing machine 1 with respect to the upper mount 7, so that only the upper mount 7 advances and the touch plate 63
When the touch sensor 69 separates from the servomotor 53, the cut-off feed servo motor 53
Is stopped. In such an operation, the distance from the standby state in FIG. 10 to the time when the touch sensor 69 obtains the OFF signal is measured by the rotary encoder of the servo motor 53 for cutting and feeding. Face f
Can be measured, and the degree of wear of the polishing disk 1 can be measured by comparing with the distance to the polishing surface f where the polishing disk 1 is not worn. Further, by the distance measurement by the rotary encoder of the cut feed servo motor 53, the cut feed servo motor 53 is driven by a preset distance, so that the work of the work set jig 3 is moved. A cutting amount of 2, that is, a polishing amount can be obtained, and the upper base 7 advances by a distance to obtain the predetermined polishing amount. Referring to FIG. 12, the polishing pressure adjusting mechanism will be described. The cutting feed servomotor 53 is stopped by obtaining the OFF signal of the touch sensor 69 as described above. Motor 64
The operation of the hysteresis clutch 65 is maintained, and the arm 67 rotated by the hysteresis clutch 65 is maintained.
By pressing the touch plate 63 through the pressing shaft 68 and the pressing shaft 68, the free mount 8 is pressed in the direction of the polishing machine 1 to
Can be pressed against the polishing surface f of the polishing plate 1 with a predetermined polishing pressure. This polishing pressure can be adjusted by voltage control set in the hysteresis clutch 65. In such an operation, when the turning swing mechanism and the horizontal swing mechanism are simultaneously driven, the end surface 2a of the work 2 is substantially the same as the polishing surface f of the polishing plate 1, as shown in FIG. The entire width is polished and the end face 2a of the work 2 is polished.
As shown in FIG. 13 (b), in addition to the polishing scratches in the substantially vertical direction due to the rotation of the polishing plate 1, polishing scratches in the turning direction by the turning rocking mechanism and in the horizontal rocking direction by the horizontal rocking mechanism are simultaneously obtained. Therefore, it is possible to obtain a smooth polished surface as compared with the conventional one-way polishing scratch shown in FIG. In the above embodiment, the swing swing mechanism and the horizontal swing mechanism are both provided. However, the swing swing mechanism is not provided, and only the horizontal swing mechanism is provided. It is also possible. Alternatively, the work may be polished by driving only the horizontal swinging mechanism without driving the swinging and swinging mechanism as a configuration including both the horizontal swinging mechanism and the swinging and swinging mechanism. As described above, even when only the horizontal swing mechanism is driven, polishing scratches in the horizontal swing direction by the horizontal swing mechanism can be simultaneously obtained in addition to polishing damage in the substantially vertical direction due to rotation of the polishing plate 1. Therefore, a polishing flaw as shown in FIG. 13D can be obtained, and a smoother polished surface can be obtained as compared with the conventional one-way polishing flaw shown in FIG. 13C. As described above, according to the multi-axis horizontal polishing machine of the present invention, the work set jig is moved by the lateral feed mechanism for moving the work set jig to a position in front of a predetermined polishing plate. Can be sequentially polished with stepwise roughness. Further, the use efficiency of the polishing machine is improved by using the entire polishing width of the polishing machine by a horizontal swinging mechanism for reciprocating the work set jig in parallel with a predetermined width along the polishing surface of the polishing machine. In addition, the life of the polishing machine can be ensured for a long time. Further, in addition to the polishing scratches in the substantially vertical direction caused by the rotation of the polishing machine, the polishing in the turning direction is performed by a revolving rocking mechanism for reciprocating the work set jig along the polishing surface of the polishing machine with a predetermined arc width. By obtaining the scratch, a smooth polished surface of the work can be obtained, and the connection loss of light of the optical component can be reduced. It is also possible to polish the work with the amount of polishing set by a cutting feed control mechanism for controlling the amount of polishing of the work attached to the work set jig with respect to the polishing machine and to measure the degree of wear of the polishing machine. it can. Further, the workpiece can be polished at a predetermined predetermined polishing pressure by a polishing pressure adjusting mechanism for pressing the workpiece attached to the work set jig against a polishing surface of the polishing board at a predetermined pressure.
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による多軸式横型研磨機の全体斜視図で
ある。
【図2】本発明による多軸式横型研磨機のベッド上の全
体斜視図である。
【図3】本発明による多軸式横型研磨機のベッド上の平
面図である。
【図4】本発明による多軸式横型研磨機のベッド上の正
面図である。
【図5】本発明による多軸式横型研磨機のベッド上の側
面図である。
【図6】本発明による多軸式横型研磨機の下架台上の後
方斜めから見た分解斜視図である。
【図7】本発明による多軸式横型研磨機の下架台上を後
方斜めから見た斜視図である。
【図8】本発明による多軸式横型研磨機の下架台上を前
方斜めから見た斜視図である。
【図9】本発明による多軸式横型研磨機の下架台上を別
方向の前方斜めから見た斜視図である。
【図10】本発明による多軸式横型研磨機の待機状態を
示す部分平面図である。
【図11】本発明による多軸式横型研磨機のワークを研
磨盤に当てた状態を示す部分平面図である。
【図12】本発明による多軸式横型研磨機の研磨作動時
の状態を示す部分平面図である。
【図13】(a) は本発明の多軸式横型研磨機による研磨
盤の研磨面に対するワークの移動状態を示す図であり、
(b) 及び(c) は本発明によるワーク端面の研磨状況を示
す図であり、(d) は従来のワーク端面の研磨状況を示す
図である。
【符号の説明】
1…研磨盤、f…研磨面、2…ワーク、3…ワークセッ
ト治具、3c…ワーク取付け孔、3d…取付ネジ、4…
水除けカバー、5…下架台、6…中架台、7…上架台、
8…フリー架台、9…揺動軸受、10…作業台、11…
ベッド、13…揺動軸、20…ガイドレール、21…ガ
イド、22…ボールネジ、23…軸受、24…横送用サ
ーボモータ、26…ボールナット、30…ガイドレー
ル、31…ガイド、33…横揺動用モータ、35…偏心
カム、36…案内溝枠、40…ガイドレール、41…凹
溝、42…ワークセット治具受板、43…揺動片、44
…引張バネ、45…旋回揺動モータ、46…カム、50
…ガイドレール、51…ガイド、52…ボールネジ、5
3…切込送り用サーボモータ、54…ボールナット、6
0…ストッパシリンダ、61…ロッド、63…タッチ
板、64…研磨圧力用モータ、65…ヒステリシスクラ
ッチ、67…アーム、68…押圧軸、69…タッチセン
サ。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an overall perspective view of a multi-axis horizontal polishing machine according to the present invention. FIG. 2 is an overall perspective view on a bed of the multi-axis horizontal polishing machine according to the present invention. FIG. 3 is a plan view on a bed of the multi-axis horizontal polishing machine according to the present invention. FIG. 4 is a front view on a bed of the multi-axis horizontal polishing machine according to the present invention. FIG. 5 is a side view on a bed of the multi-axis horizontal polishing machine according to the present invention. FIG. 6 is an exploded perspective view of the lower stand of the multi-axis horizontal polishing machine according to the present invention, viewed obliquely from the rear. FIG. 7 is a perspective view of a lower stand of the multi-axis horizontal polishing machine according to the present invention, as viewed obliquely from the rear. FIG. 8 is a perspective view of the lower stand of the multi-axis horizontal polishing machine according to the present invention, as viewed obliquely from the front. FIG. 9 is a perspective view of a lower stand of the multi-axis horizontal polishing machine according to the present invention as viewed obliquely from the front in another direction. FIG. 10 is a partial plan view showing a standby state of the multi-axis horizontal polishing machine according to the present invention. FIG. 11 is a partial plan view showing a state in which a work of a multi-axis horizontal polishing machine according to the present invention is applied to a polishing machine. FIG. 12 is a partial plan view showing a state during a polishing operation of the multi-axis horizontal polishing machine according to the present invention. FIG. 13 (a) is a view showing a moving state of a workpiece with respect to a polishing surface of a polishing machine by the multi-axis horizontal polishing machine of the present invention,
(b) and (c) are views showing a polishing state of the work end face according to the present invention, and (d) is a view showing a conventional polishing state of the work end face. [Description of Signs] 1 ... polishing machine, f ... polishing surface, 2 ... work, 3 ... work set jig, 3c ... work mounting hole, 3d ... mounting screw, 4 ...
Drain cover, 5: Lower mount, 6: Middle mount, 7: Upper mount,
8 ... Free mount, 9 ... Swing bearing, 10 ... Work table, 11 ...
Bed, 13: swing shaft, 20: guide rail, 21: guide, 22: ball screw, 23: bearing, 24: servo motor for lateral feed, 26: ball nut, 30: guide rail, 31: guide, 33: horizontal Rocking motor, 35 eccentric cam, 36 guide groove frame, 40 guide rail, 41 concave groove, 42 work set jig receiving plate, 43 rocking piece, 44
... Tension spring, 45 ... Swing and swing motor, 46 ... Cam, 50
... Guide rail, 51 ... Guide, 52 ... Ball screw, 5
3: Servo motor for cutting feed, 54: Ball nut, 6
0: stopper cylinder, 61: rod, 63: touch plate, 64: polishing pressure motor, 65: hysteresis clutch, 67: arm, 68: pressing shaft, 69: touch sensor.
Claims (1)
が並設されると共に、ワークを取付けるワークセット治
具を所定の研磨盤の前位置に移動する横送り機構と、前
記ワークセット治具を前記研磨盤の研磨面に沿って平行
に所定幅で往復移動させる横揺動機構と、前記ワークセ
ット治具を前記研磨盤の研磨面に沿って所定の円弧幅で
往復移動させる旋回揺動機構と、前記研磨盤に対する前
記ワークセット治具に取付けられたワークの研磨量を制
御する切込送り制御機構と、前記ワークセット治具に取
付けられたワークを前記研磨盤の研磨面に所定圧力で押
圧する研磨圧力調整機構とを有する多軸式横型研磨機に
おいて、 前記研磨圧力調整機構は、前記研磨盤の研磨面に対して
垂直方向に移動可能な上架台と、該上架台に摺動自在に
設けられたことによって前記研磨盤の研磨面に対して垂
直方向に前進するフリー架台と、該フリー架台の側面か
ら垂直に張り出したタッチ板とを有し、前記上架台に設
けられた研磨圧力用モータによって駆動されるヒステリ
シスクラッチの出力軸に固設されたアームの偏心軸位置
に断面丸形の押圧軸が固設され、該押圧軸は前記タッチ
板の後面に当接されると共に、前記ヒステリシスクラッ
チは電圧変化によってクラッチの滑りを変化させること
ができ、前記研磨圧力用モータの駆動によって前記ヒス
テリシスクラッチが回転すると、前記ヒステリシスクラ
ッチの出力軸に連結されたアームが回転すると共に、そ
の偏心位置で前記押圧軸が回転して前記タッチ板を押圧
して前記フリー架台を前進させることができ、これによ
ってワークセット治具に取付けられたワークを前記研磨
盤の研磨面に所定圧力で押圧することができ、前記ワー
クセット治具のワークを粗さ大から小の研磨盤へと段階
的に移動すると共に、夫々の研磨盤の研磨面に前記ワー
クの端面を所定の研磨圧力で押圧しながら所定の研磨量
だけ横揺動しつつ旋回揺動させるようにしたことを特徴
とする多軸式横型研磨機 。(57) [Claims] [Claim 1] A plurality of polishing machines which are rotationally driven and have different roughnesses.
Are installed side by side and work set
A traverse mechanism for moving the tool to the front position of the predetermined polishing machine;
Parallel the work set jig along the polishing surface of the polishing machine
A horizontal swing mechanism for reciprocating the work
Set the jig with a predetermined arc width along the polishing surface of the polishing machine.
A reciprocating swinging mechanism and a front for the polishing machine
The grinding amount of the work attached to the work set jig is controlled.
The feed control mechanism to be controlled and the work set jig
The attached work is pressed against the polishing surface of the polishing machine with a predetermined pressure.
Multi-axis horizontal polishing machine with a polishing pressure adjustment mechanism
In the polishing pressure adjusting mechanism, the polishing surface of the polishing machine
An upper mount that can be moved vertically and slidable on the upper mount
By being provided, it is perpendicular to the polishing surface of the polishing machine.
A free mount that moves forward in the vertical direction and the side of the free mount
And a touch panel that projects vertically from the
Hysteresis driven by a raked polishing pressure motor
Eccentric shaft position of arm fixed to output shaft of sysclutch
A pressing shaft having a round cross section is fixedly mounted on the touch panel.
Abuts against the rear surface of the
H to change clutch slip by voltage change
The hiss by driving the polishing pressure motor.
When the hysteresis clutch rotates, the hysteresis clutch
When the arm connected to the output shaft of the switch rotates,
The pressing shaft rotates at the eccentric position of and presses the touch plate
And the free mount can be advanced.
Polishing the work attached to the work set jig
It can be pressed against the polishing surface of the board with a predetermined pressure.
The work of the Kuset jig is changed from large to small polishing machine
As well as moving the work on the polishing surface of each polishing machine.
A predetermined polishing amount while pressing the end face of the
It is characterized by turning and swinging while only swinging sideways
Multi-axis horizontal polishing machine .
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WO2013107030A1 (en) * | 2012-01-19 | 2013-07-25 | 大连理工大学 | Multifunctional substrate polishing and burnishing device and polishing and burnishing method thereof |
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Publication number | Publication date |
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JP2001025951A (en) | 2001-01-30 |
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