JP3366175B2 - CdS/CdTe太陽電池の製造方法 - Google Patents
CdS/CdTe太陽電池の製造方法Info
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- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、CdS/CdTe
太陽電池の製造方法に関するもので、特に、CdTeの
電極であるカーボン膜の形成に関するものである。
太陽電池の製造方法に関するもので、特に、CdTeの
電極であるカーボン膜の形成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、炭酸ガスによる地球温暖化、オゾ
ン層の破壊等、地球環境問題がクローズアップされる
中、新エネルギー開発、とりわけ太陽電池の早期実用化
に対する期待はますます大きくなってきている。しかし
ながら、太陽電池の早期実用化のためにはまだまだ解決
しなければならない課題が多々残っている。特に、太陽
電池の変換効率の向上と低コスト化は避けては通れない
重要な課題である。
ン層の破壊等、地球環境問題がクローズアップされる
中、新エネルギー開発、とりわけ太陽電池の早期実用化
に対する期待はますます大きくなってきている。しかし
ながら、太陽電池の早期実用化のためにはまだまだ解決
しなければならない課題が多々残っている。特に、太陽
電池の変換効率の向上と低コスト化は避けては通れない
重要な課題である。
【0003】そのような中で、CdS/CdTe太陽電
池は、光吸収層として最適な禁制帯幅に近い1.4eV
のCdTeを用いており、また使用する材料も安価なこ
とから、低コスト高効率太陽電池の本命の一つとして期
待されている。
池は、光吸収層として最適な禁制帯幅に近い1.4eV
のCdTeを用いており、また使用する材料も安価なこ
とから、低コスト高効率太陽電池の本命の一つとして期
待されている。
【0004】CdS/CdTe太陽電池の作製法には、
種々の方法が試みられているが、印刷・焼結法は使用す
る装置も安価であり、すでに同手法で製造された太陽電
池は電卓用などとして広く使用されている。
種々の方法が試みられているが、印刷・焼結法は使用す
る装置も安価であり、すでに同手法で製造された太陽電
池は電卓用などとして広く使用されている。
【0005】以下に従来のCdS/CdTe太陽電池の
製造方法の代表例として、印刷・焼結法について説明す
る。
製造方法の代表例として、印刷・焼結法について説明す
る。
【0006】太陽電池の構成は、例えば、バリウムホウ
珪酸ガラス等の基板にCdS膜、CdTe膜、カーボン
電極を順次形成させたものであり、各膜は以下の方法で
形成される。
珪酸ガラス等の基板にCdS膜、CdTe膜、カーボン
電極を順次形成させたものであり、各膜は以下の方法で
形成される。
【0007】CdS膜
粒径2μm〜3μmの高純度(5N)の硫化カドミウム
(CdS)の粉末に12wt%の塩化カドミウム(CdC
l2)の粉末と適当量のプロピレングリコールを加え、
混練することによりCdSペーストを作製する。次に、
このペーストをガラス基板上に印刷する。これを120
℃で1時間乾燥後、アルミナ製焼成ケースに入れ、小さ
な孔が多数開いている焼成用蓋を被せて、窒素雰囲気の
ベルト炉で690℃で90分間焼成する。
(CdS)の粉末に12wt%の塩化カドミウム(CdC
l2)の粉末と適当量のプロピレングリコールを加え、
混練することによりCdSペーストを作製する。次に、
このペーストをガラス基板上に印刷する。これを120
℃で1時間乾燥後、アルミナ製焼成ケースに入れ、小さ
な孔が多数開いている焼成用蓋を被せて、窒素雰囲気の
ベルト炉で690℃で90分間焼成する。
【0008】CdTe膜
カドミウム(Cd)の粉末(5N)とテルル(Te)の
粉末(6N)を等モル量ずつ加え、水とともにボールミ
ルで1μm以下の粒径になるまで粉砕する。乾燥後この
微粉末に、適量のCdCl2を加え、プロピレングリコ
ールを粘結剤として混練し、ペーストを作製する。次に
ペーストをCdS膜上に印刷し、120℃で1時間乾燥
後、CdS膜と同様に所定の容器を用いて600℃〜7
00℃で1時間焼成し、テルル化カドミウム(CdT
e)の焼結膜を得る。
粉末(6N)を等モル量ずつ加え、水とともにボールミ
ルで1μm以下の粒径になるまで粉砕する。乾燥後この
微粉末に、適量のCdCl2を加え、プロピレングリコ
ールを粘結剤として混練し、ペーストを作製する。次に
ペーストをCdS膜上に印刷し、120℃で1時間乾燥
後、CdS膜と同様に所定の容器を用いて600℃〜7
00℃で1時間焼成し、テルル化カドミウム(CdT
e)の焼結膜を得る。
【0009】カーボン電極
CdTe側の電極の作製には、カーボンペーストを用い
る。このカーボンペーストは、カーボンブラックと黒鉛
質粉末に有機質粘結剤を加えて作製する。この中に微量
のCu粉末を加えたものをCdTe膜上に印刷後、12
0℃で1時間乾燥し、窒素雰囲気中で350℃で熱処理
を行いカーボン電極を形成する。微量のCuはCdTe
中へ拡散し、アクセプタとして働くとともに、カーボン
との接触面をp+−CdTe層とし、良好なオーミック
接触を可能にする。
る。このカーボンペーストは、カーボンブラックと黒鉛
質粉末に有機質粘結剤を加えて作製する。この中に微量
のCu粉末を加えたものをCdTe膜上に印刷後、12
0℃で1時間乾燥し、窒素雰囲気中で350℃で熱処理
を行いカーボン電極を形成する。微量のCuはCdTe
中へ拡散し、アクセプタとして働くとともに、カーボン
との接触面をp+−CdTe層とし、良好なオーミック
接触を可能にする。
【0010】また、カーボンペースト中にCuイオンを
添加し、アクセプタとして作用させることについては、
特公昭56−33870号公報で提案されているがCu
成分の具体的な方法に関しては記述されていない。
添加し、アクセプタとして作用させることについては、
特公昭56−33870号公報で提案されているがCu
成分の具体的な方法に関しては記述されていない。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、CdT
e側の電極の作製には、一般的にCuの微粉末と導電材
としての炭素粉末を添加して分散させたカーボンペース
トが用いられている。この場合には、Cuの微粉末をカ
ーボンペースト中に均一に分散させることは非常に難し
い。仮に均一に分散させたペーストを均一に塗布した膜
を形成した場合でも、膜中のCu成分は通常、粒径0.
3μm程度のCu粒として存在するため微視的にはCu
成分が偏在することを回避出来ない。このため、Cu微
粉末をアクセプタのソースとした場合は均一にCdTe
中へCuを拡散させることは不可能である。その結果、
CdTe中のアクセプターが不足な部分と、逆にアクセ
プターとして作用しない過剰のCuが存在する部分が生
じる。この過剰のCuはCdTeの結晶性を低下させ、
さらには、CdS層にまで拡散して到達しCdS層の抵
抗を増大させる結果となる。その結果、太陽電池の高効
率化の大きな妨げとなっていた。
e側の電極の作製には、一般的にCuの微粉末と導電材
としての炭素粉末を添加して分散させたカーボンペース
トが用いられている。この場合には、Cuの微粉末をカ
ーボンペースト中に均一に分散させることは非常に難し
い。仮に均一に分散させたペーストを均一に塗布した膜
を形成した場合でも、膜中のCu成分は通常、粒径0.
3μm程度のCu粒として存在するため微視的にはCu
成分が偏在することを回避出来ない。このため、Cu微
粉末をアクセプタのソースとした場合は均一にCdTe
中へCuを拡散させることは不可能である。その結果、
CdTe中のアクセプターが不足な部分と、逆にアクセ
プターとして作用しない過剰のCuが存在する部分が生
じる。この過剰のCuはCdTeの結晶性を低下させ、
さらには、CdS層にまで拡散して到達しCdS層の抵
抗を増大させる結果となる。その結果、太陽電池の高効
率化の大きな妨げとなっていた。
【0012】本発明はこのような課題を解決するもの
で、Cuを均一にCdTe中へ拡散させることにより、
高効率なCdS/CdTe太陽電池が得られる製造方法
を提供するものである。
で、Cuを均一にCdTe中へ拡散させることにより、
高効率なCdS/CdTe太陽電池が得られる製造方法
を提供するものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】これらの課題を解決する
ため、本発明は、ガラス基板上にCdS膜とCdTe膜
とを積層して形成した後、炭素粉末とCuの有機化合
物、およびこのCuの有機化合物を可溶な粘結剤とを含
むカーボンペーストをCdTe膜上に塗布し、粘結剤成
分を蒸発させて除去した後、熱処理することにより、C
uの有機化合物を熱分解し、分解して得られたCuをC
dTe膜中へアクセプタ不純物として熱拡散させ、同時
にカーボン電極膜を形成することにより、Cuイオンを
均一にCdTe中へドーピングさせることができ、高効
率なCdS/CdTe太陽電池が得られる。
ため、本発明は、ガラス基板上にCdS膜とCdTe膜
とを積層して形成した後、炭素粉末とCuの有機化合
物、およびこのCuの有機化合物を可溶な粘結剤とを含
むカーボンペーストをCdTe膜上に塗布し、粘結剤成
分を蒸発させて除去した後、熱処理することにより、C
uの有機化合物を熱分解し、分解して得られたCuをC
dTe膜中へアクセプタ不純物として熱拡散させ、同時
にカーボン電極膜を形成することにより、Cuイオンを
均一にCdTe中へドーピングさせることができ、高効
率なCdS/CdTe太陽電池が得られる。
【0014】
【発明の実施の形態】この手段によれば、Cuの有機化
合物がカーボンペースト中の粘結剤に溶解するため、C
uの有機化合物をペースト中に均一な濃度で存在させる
ことができる。そしてこのペーストをCdTe膜上に塗
布した後、粘結剤成分を蒸発させて除去して形成した塗
膜中にCuの有機化合物を均一に存在させることができ
る。次いで、熱処理を行ってこの膜中のCuの有機化合
物を熱分解することにより、均一な濃度分布でCuが生
成し、このCuがCdTe中に拡散することによって、
CdTe中にCuを均一にドーピングすることが可能と
なる。そして、適正量のアクセプターが均一にドーピン
グできることにより、前記の従来の問題点を解決でき、
太陽電池の変換効率を大幅に向上させることができる。
合物がカーボンペースト中の粘結剤に溶解するため、C
uの有機化合物をペースト中に均一な濃度で存在させる
ことができる。そしてこのペーストをCdTe膜上に塗
布した後、粘結剤成分を蒸発させて除去して形成した塗
膜中にCuの有機化合物を均一に存在させることができ
る。次いで、熱処理を行ってこの膜中のCuの有機化合
物を熱分解することにより、均一な濃度分布でCuが生
成し、このCuがCdTe中に拡散することによって、
CdTe中にCuを均一にドーピングすることが可能と
なる。そして、適正量のアクセプターが均一にドーピン
グできることにより、前記の従来の問題点を解決でき、
太陽電池の変換効率を大幅に向上させることができる。
【0015】さらに、カーボンペースト中の炭素粉末の
重量に対するCu成分の含有量が40ppm以上、40
0ppm以下となるようにCuの有機化合物を添加して
調製したカーボンペーストを用いることにより、適正量
のCuをCdTe中にアクセプターとして均一にドーピ
ングでき、ドーピング効果が大きくなる。
重量に対するCu成分の含有量が40ppm以上、40
0ppm以下となるようにCuの有機化合物を添加して
調製したカーボンペーストを用いることにより、適正量
のCuをCdTe中にアクセプターとして均一にドーピ
ングでき、ドーピング効果が大きくなる。
【0016】また、Cuの有機化合物としてはナフテン
酸銅を用いることが好ましく、この場合には325℃以
上、450℃以下の温度範囲で熱処理することにより、
変換効率がより優れた太陽電池が得られ、カーボンペー
ストの調製に用いる粘結剤としては、ナフテン酸銅を溶
解し、ペーストとしての塗行性を確保するための適度の
粘性を有するジエチレングリコールモノブチルエーテル
或いはテルピネオールを用いることが好ましい。
酸銅を用いることが好ましく、この場合には325℃以
上、450℃以下の温度範囲で熱処理することにより、
変換効率がより優れた太陽電池が得られ、カーボンペー
ストの調製に用いる粘結剤としては、ナフテン酸銅を溶
解し、ペーストとしての塗行性を確保するための適度の
粘性を有するジエチレングリコールモノブチルエーテル
或いはテルピネオールを用いることが好ましい。
【0017】
【実施例】以下、本発明を実施例により詳細に説明す
る。
る。
【0018】実施例として作製した太陽電池の構造は図
1に示す様に、ガラス基板1の上にCdS膜2、CdT
e膜3、カーボン電極4を順次積層して形成したもので
あり、CdTe膜3の形成までのプロセスは(従来の技
術)の項で記載した方法と同様な方法で作製した。
1に示す様に、ガラス基板1の上にCdS膜2、CdT
e膜3、カーボン電極4を順次積層して形成したもので
あり、CdTe膜3の形成までのプロセスは(従来の技
術)の項で記載した方法と同様な方法で作製した。
【0019】カーボン電極4の形成法に関しては、ま
ず、カーボンブラックと黒鉛粉末に第1の粘結剤として
のジエチレングリコールモノブチルエーテルを加えて練
合し、これにCuの有機化合物としてのナフテン酸銅を
第2の粘結剤としてのターミネオールに溶解させたもの
を添加して混合することにより、Cuの有機化合物を均
一に分散させたカーボンペーストを調製した。このナフ
テン酸銅の分解温度は約240℃であった。カーボンペ
ースト中の炭素粉末(カーボンブラックと黒鉛粉末を
1:6の重量比で混合したもの)に対して、Cu成分の
含有量が20、40、80、200、400、800p
pmとなるようにナフテン酸銅の添加量を変えてカーボ
ンペーストを調製した。
ず、カーボンブラックと黒鉛粉末に第1の粘結剤として
のジエチレングリコールモノブチルエーテルを加えて練
合し、これにCuの有機化合物としてのナフテン酸銅を
第2の粘結剤としてのターミネオールに溶解させたもの
を添加して混合することにより、Cuの有機化合物を均
一に分散させたカーボンペーストを調製した。このナフ
テン酸銅の分解温度は約240℃であった。カーボンペ
ースト中の炭素粉末(カーボンブラックと黒鉛粉末を
1:6の重量比で混合したもの)に対して、Cu成分の
含有量が20、40、80、200、400、800p
pmとなるようにナフテン酸銅の添加量を変えてカーボ
ンペーストを調製した。
【0020】一方、比較例として前記の従来法により、
Cu微粉末(粒径0.3μm)を用いてCuの含有量が
炭素粉末の重量に対して、200、400、800pp
mのカーボンペーストを作製した。
Cu微粉末(粒径0.3μm)を用いてCuの含有量が
炭素粉末の重量に対して、200、400、800pp
mのカーボンペーストを作製した。
【0021】これらの本発明法の実施例および従来法に
よる比較例ペーストをCdTe膜3の上に印刷し、12
0℃で1時間加熱して粘結剤を蒸発させて除去した後、
ベルト式電気炉で300℃〜500℃の範囲で温度を変
化させて、30分間の熱処理を行った。その後、CdS
のオーミック電極5としてAgIn膜を形成し、太陽電
池を作製した。 次に作製した太陽電池の変換効率をソ
ーラシミュレータを用いて測定し,その結果として本実
施例を表1に、比較例を表2に示した。
よる比較例ペーストをCdTe膜3の上に印刷し、12
0℃で1時間加熱して粘結剤を蒸発させて除去した後、
ベルト式電気炉で300℃〜500℃の範囲で温度を変
化させて、30分間の熱処理を行った。その後、CdS
のオーミック電極5としてAgIn膜を形成し、太陽電
池を作製した。 次に作製した太陽電池の変換効率をソ
ーラシミュレータを用いて測定し,その結果として本実
施例を表1に、比較例を表2に示した。
【0022】
【表1】
【0023】
【表2】
【0024】表1、表2から明らかなように、Cuの有
機化合物をアクセプタ源として使用した本発明の実施例
の場合、Cu微粉末を用いた比較例の場合よりも高い変
換効率が得られた。中でもCu成分の含有量が40pp
mから400ppm、熱処理温度が325℃から450
℃の場合に変換効率が高く、とりわけ、Cu成分の含有
量が80ppmから200ppm、熱処理温度が375
℃から425℃に最適条件があり、10%以上の変換効
率が得られた。尚、熱処理温度が500℃ではカーボン
ブラックが焼失したために、CdTeとの電気的接触が
得られず、300℃ではCu成分の拡散が不十分なため
十分なドーピング効果が得られず、変換効率が低くなる
ことがわかった。
機化合物をアクセプタ源として使用した本発明の実施例
の場合、Cu微粉末を用いた比較例の場合よりも高い変
換効率が得られた。中でもCu成分の含有量が40pp
mから400ppm、熱処理温度が325℃から450
℃の場合に変換効率が高く、とりわけ、Cu成分の含有
量が80ppmから200ppm、熱処理温度が375
℃から425℃に最適条件があり、10%以上の変換効
率が得られた。尚、熱処理温度が500℃ではカーボン
ブラックが焼失したために、CdTeとの電気的接触が
得られず、300℃ではCu成分の拡散が不十分なため
十分なドーピング効果が得られず、変換効率が低くなる
ことがわかった。
【0025】尚、Cuの有機化合物の一種であるナフテ
ン酸銅はナフテン酸の銅塩であり、ナフテン酸はシクロ
ペンタン環またはシクロヘキサン環のメチレン側鎖の末
端にカルボキシル基をもつ環状飽和脂肪酸を総称するも
のである。上記の実施例では分解温度が約240℃のも
のを用いたが、ナフテン酸の種類によりナフテン酸銅の
分解温度などの性質は若干異なるものもある。しかし、
これらも本実施例と同様の方法で本発明に適用して同様
の効果が得られる。また、本実施例では粘結剤としてジ
エチレングリコールモノブチルエーテルとテルピネオー
ルを併用して用いたが、何れにもナフテン酸銅が可溶性
なので、これらの溶剤を単独に粘結剤として用いること
もできる。
ン酸銅はナフテン酸の銅塩であり、ナフテン酸はシクロ
ペンタン環またはシクロヘキサン環のメチレン側鎖の末
端にカルボキシル基をもつ環状飽和脂肪酸を総称するも
のである。上記の実施例では分解温度が約240℃のも
のを用いたが、ナフテン酸の種類によりナフテン酸銅の
分解温度などの性質は若干異なるものもある。しかし、
これらも本実施例と同様の方法で本発明に適用して同様
の効果が得られる。また、本実施例では粘結剤としてジ
エチレングリコールモノブチルエーテルとテルピネオー
ルを併用して用いたが、何れにもナフテン酸銅が可溶性
なので、これらの溶剤を単独に粘結剤として用いること
もできる。
【0026】Cuの有機化合物としては、ナフテン酸銅
以外に銅アルコキサイトあるいはジケトネート類、銅カ
ルボン酸誘導体或いは有機塩類、有機銅化合物などに分
類される多くの化合物がある。これらの中から分解温度
や熱分解によるCuの生成の可能性、取扱い中の化学
的、熱的な安定性、有機性の粘結剤との相溶性などに配
慮して、本発明の実施に適用できる物質を検討して選択
すればよく、検討対象として、例えば、銅エチルアセト
アセテート(C12H18O6Cu)、銅ベンゾイルアセト
ネート(C20H18O4Cu)、さらに、銅 -2-エチルヘ
キサノエート(C6H30O4Cu)などが挙げられる。
以外に銅アルコキサイトあるいはジケトネート類、銅カ
ルボン酸誘導体或いは有機塩類、有機銅化合物などに分
類される多くの化合物がある。これらの中から分解温度
や熱分解によるCuの生成の可能性、取扱い中の化学
的、熱的な安定性、有機性の粘結剤との相溶性などに配
慮して、本発明の実施に適用できる物質を検討して選択
すればよく、検討対象として、例えば、銅エチルアセト
アセテート(C12H18O6Cu)、銅ベンゾイルアセト
ネート(C20H18O4Cu)、さらに、銅 -2-エチルヘ
キサノエート(C6H30O4Cu)などが挙げられる。
【0027】また、粘結剤としては、上記以外にCuの
有機化合物を溶解しやすいが粘性が少ないエタノールや
メタノール、キシレン等の溶剤と前記のジエチレングリ
コールモノブチルエーテル、テルピネオール、或いはプ
ロピレングリコールなどの粘性の溶剤を併用して粘結剤
として用い、カーボンペーストを調製することもでき
る。
有機化合物を溶解しやすいが粘性が少ないエタノールや
メタノール、キシレン等の溶剤と前記のジエチレングリ
コールモノブチルエーテル、テルピネオール、或いはプ
ロピレングリコールなどの粘性の溶剤を併用して粘結剤
として用い、カーボンペーストを調製することもでき
る。
【0028】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、CdS/
CdTe太陽電池の製造において、CdTeのアクセプ
タ源としてCuの有機化合物を用い、これを粘結剤に溶
解したカーボンペーストをCdTe上に塗布、乾燥後、
熱処理してカーボン電極を形成し、同時にCdTe中に
Cuが均一に拡散させることにより、変換効率の高い太
陽電池を製造することができる。
CdTe太陽電池の製造において、CdTeのアクセプ
タ源としてCuの有機化合物を用い、これを粘結剤に溶
解したカーボンペーストをCdTe上に塗布、乾燥後、
熱処理してカーボン電極を形成し、同時にCdTe中に
Cuが均一に拡散させることにより、変換効率の高い太
陽電池を製造することができる。
【図1】本発明の一実施例によるCdS/CdTe太陽
電池の断面図
電池の断面図
1 ガラス基板
2 CdS膜
3 CdTe膜
4 カーボン電極
5 AgIn電極
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 室園 幹夫
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電
器産業株式会社内
(56)参考文献 特開 平5−347424(JP,A)
特開 昭63−213975(JP,A)
特開 昭63−213973(JP,A)
特開 昭55−117287(JP,A)
特開 昭55−102279(JP,A)
特開 平9−148596(JP,A)
特開 平9−148595(JP,A)
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
H01L 31/04 - 31/078
Claims (5)
- 【請求項1】 ガラス基板上にCdS膜とCdTe膜と
を積層して形成した後、炭素粉末と銅の有機化合物と銅
の有機化合物を可溶な粘結剤を含有するカーボンペース
トをCdTe膜上に塗布し、粘結剤成分を蒸発させたの
ち、熱処理することにより、銅の有機化合物を熱分解
し、分解して得られた銅をCdTe膜中へアクセプタ不
純物として熱拡散させると同時に、CdTe膜上にカー
ボン電極膜を形成することを特徴とするCdS/CdT
e太陽電池の製造方法。 - 【請求項2】 銅の有機化合物中の銅成分が炭素粉末の
重量に対し、40ppm以上、400ppm以下の含有
量となるように調合したカーボンペーストを用いること
を特徴とする請求項1に記載のCdS/CdTe太陽電
池の製造方法。 - 【請求項3】 銅の有機化合物がナフテン酸銅であるこ
とを特徴とする請求項1に記載のCdS/CdTe太陽
電池の製造方法。 - 【請求項4】 熱処理温度が325℃以上、450℃以
下であることを特徴とする請求項3に記載のCdS/C
dTe太陽電池の製造方法。 - 【請求項5】 粘結剤としてジエチレングリコールモノ
ブチルエーテル、テルピネオールから選ばれた一種また
は二種を含むカーボンペーストを用いることを特徴とす
る請求項3に記載のCdS/CdTe太陽電池の製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03156096A JP3366175B2 (ja) | 1996-02-20 | 1996-02-20 | CdS/CdTe太陽電池の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03156096A JP3366175B2 (ja) | 1996-02-20 | 1996-02-20 | CdS/CdTe太陽電池の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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