JP3357731B2 - Thermal printer head, heat treatment apparatus therefor, and method of manufacturing thermal printer head - Google Patents

Thermal printer head, heat treatment apparatus therefor, and method of manufacturing thermal printer head

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JP3357731B2
JP3357731B2 JP31017493A JP31017493A JP3357731B2 JP 3357731 B2 JP3357731 B2 JP 3357731B2 JP 31017493 A JP31017493 A JP 31017493A JP 31017493 A JP31017493 A JP 31017493A JP 3357731 B2 JP3357731 B2 JP 3357731B2
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thermal printer
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は薄膜からなる発熱抵抗
体によって形成されるサ−マルプリンタヘッドおよびそ
の熱処理装置とサーマルプリンタヘッドの製造方法に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thermal printer head formed by a heating resistor made of a thin film, a heat treatment apparatus for the same, and a method for manufacturing a thermal printer head .

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、サ−マルプリンタヘッドは基板
に発熱抵抗体を設け、この発熱抵抗体の所定方向両端部
にリ−ド線が接続されてなる。このようなサ−マルプリ
ンタヘッドは、発熱抵抗体の材料としてTa−SiO
2 、Nb−SiO2 、Zr−SiO2 、Cr−SiO2
などの金属とSiO2 を組み合わせたものをタ−ゲット
材とし、スパッタリング法により膜厚200〜5000
オングストロ−ムの上記発熱抵抗体が形成される。
2. Description of the Related Art Generally, a thermal printer head is provided with a heating resistor on a substrate, and leads are connected to both ends of the heating resistor in a predetermined direction. Such a thermal printer head uses Ta-SiO as a material of a heating resistor.
2, Nb-SiO 2, Zr -SiO 2, Cr-SiO 2
Data a combination of metal and SiO 2 such as - the target material, the film thickness by a sputtering method 200-5000
An Angstrom heating resistor is formed.

【0003】上記発熱抵抗体は、スパッタリングしたま
まの状態ではサ−マルプリンタヘッドとしての使用時に
発熱温度で抵抗値が低下して流れる電流が増加し、その
電流によりさらに発熱量が増えるため、さらに電流が過
大に流れる。その結果、最終的には発熱抵抗体がそれ自
体の発熱により破壊されるに至りることがある。
When the heating resistor is used as a thermal printer head in a sputtered state, the resistance value decreases at the heating temperature and the flowing current increases, and the current further increases the calorific value. Current flows excessively. As a result, the heating resistor may eventually be destroyed by its own heat generation.

【0004】このような現象は発熱抵抗体の結晶構造の
微細粒子の組織が使用による経時変化を起こし、その発
熱抵抗体の抵抗値が低下するためであると考えられてい
る。そのため、上記発熱抵抗体を上述した方法で形成し
たならば、その発熱抵抗体の結晶化状態をより安定化さ
せるために、通電エ−ジングまたは加熱炉内でのアニ−
リングまたはレ−ザ光照射によるレ−ザアニ−ルなどの
熱処理を行うようにしている。それによって、発熱抵抗
体は発熱により抵抗値が低下するのをなくすことができ
る。
It is considered that such a phenomenon is caused by the aging of the structure of the fine particles of the crystal structure of the heating resistor caused by use, and the resistance value of the heating resistor decreases. Therefore, if the heating resistor is formed by the above-described method, in order to further stabilize the crystallization state of the heating resistor, current aging or annealing in a heating furnace is performed.
A heat treatment such as a laser annealing by ring or laser light irradiation is performed. As a result, it is possible to prevent the resistance value of the heating resistor from decreasing due to heat generation.

【0005】ところで、サ−マルプリンタヘッドの動作
時、従来の発熱抵抗体は温度上昇がその所定方向におい
て一様であった。そのため、発熱抵抗体からの熱は、そ
の所定方向両端部に接続されたリ−ド線に伝導し易いた
め、サ−マルプリンタヘッドの動作が長時間にわたるよ
うな場合、上記リ−ド線の蓄熱量が増大し、その熱で発
熱抵抗体の、上記リ−ド線が接続された所定方向両端部
が早期に劣化し易いということがあった。発熱抵抗体の
両端部が劣化すると、印字品質の低下を招いたり、印字
速度を向上させることができないなどのことが生じる。
During the operation of the thermal printer head, the temperature rise of the conventional heating resistor is uniform in a predetermined direction. Therefore, heat from the heating resistor is easily conducted to the lead wires connected to both ends of the heating resistor in a predetermined direction. In some cases, the heat storage amount increases, and the heat tends to cause early deterioration of both ends of the heating resistor in the predetermined direction to which the lead wires are connected. If the both ends of the heating resistor are deteriorated, the printing quality is lowered, and the printing speed cannot be improved.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このように、従来は発
熱抵抗体の周辺部、とくにリ−ド線が接続された所定方
向両端部の温度が他の部分に比べて上昇し易いため、そ
の部分が早期に劣化し易いということがあった。
As described above, conventionally, the temperature of the peripheral portion of the heating resistor, especially both ends in the predetermined direction to which the lead wire is connected is more likely to rise than those of other portions. In some cases, the part was easily deteriorated early.

【0007】この発明の第1の目的は、発熱抵抗体のリ
−ド線が接続された両端部分が発熱しずらいようにした
サ−マルプリンタヘッドを提供することにある。第2の
目的は、発熱抵抗体のリ−ド線が接続された両端部分が
発熱しずらいようにサ−マルプリンタヘッドを熱処理す
るための熱処理装置を提供することにある。
A first object of the present invention is to provide a thermal printer head in which heat is hardly generated at both ends of a heating resistor connected to a lead wire. A second object of the present invention is to provide a heat treatment apparatus for heat-treating a thermal printer head so that heat is hardly generated at both ends of a heating resistor to which lead wires are connected.

【0008】第3の目的は、発熱抵抗体のリード線が接
続された両端部分が発熱しずらいように熱処理するサー
マルプリンタヘッドの製造方法を提供することにある。
A third object of the present invention is to provide a method of manufacturing a thermal printer head in which heat treatment is performed so that heat is hardly generated at both ends of a heating resistor to which lead wires are connected.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載された第
1の発明は、基板と、この基板に設けられた発熱抵抗体
と、この発熱抵抗体の所定方向両端部に接続されたリ−
ド線とを有するサーマルプリンタヘッドにおいて、 上記
発熱抵抗体の電気伝導率は、前記両端部よりも中央部分
の方が小さくなっていることを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a substrate, a heating resistor provided on the substrate, and a resistor connected to both ends of the heating resistor in a predetermined direction. −
In the thermal printer head and a word line, the
The electric conductivity of the heating resistor is more centrally located than both ends.
Is characterized by being smaller .

【0010】請求項2に記載された第2の発明は、基板
に発熱抵抗体を有するとともにこの発熱抵抗体の所定方
向両端部にリ−ド線が接続されたサ−マルプリンタヘッ
ドの、上記発熱抵抗体にレ−ザ光を照射してその電気抵
抗値を設定するサーマルプリンタヘッドの熱処理装置に
おいて、上記レ−ザ光を出力するレ−ザ発振器と、この
レ−ザ発振器から出力されたレ−ザ光が入射し出射側に
おけるそのパタ−ンの強度分布を中央部分が両端部分よ
りも低くなるよう変調する光学手段とを具備し、この光
学手段から出射したレ−ザ光はそのパタ−ンの強度の低
い部分が上記発熱抵抗体の所定方向中央部分を照射する
よう設定されてなることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a thermal printer head having a heating resistor on a substrate and lead wires connected to both ends of the heating resistor in a predetermined direction. In a heat treatment apparatus for a thermal printer head, which irradiates a heating resistor with laser light to set its electric resistance value, a laser oscillator for outputting the laser light, and a laser oscillator for outputting the laser light. Optical means for modulating the intensity distribution of the pattern on the emission side upon incidence of the laser light so that the central portion is lower than both end portions, and the laser light emitted from this optical means is provided with the pattern. It is characterized in that a portion having a low intensity of the pin is set so as to irradiate a central portion of the heating resistor in a predetermined direction.

【0011】請求項4に記載された第3の発明は、基板
に発熱抵抗体を設ける工程と、この発熱抵抗体の所定方
向両端部にリ−ド線を接続する工程と、上記発熱抵抗体
にレ−ザ光を照射して熱処理を加えてその電気抵抗値を
設定する工程とを具備するサーマルプリンタヘッドの製
造方法において、 この電気抵抗値を設定する工程は、上
記発熱抵抗体の所定方向中央部分を両端部分よりも強度
の低いレ−ザ光で照射することを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, a substrate is provided.
Providing a heating resistor in the heater,
Connecting a lead wire to both ends of the heating resistor;
Is irradiated with laser light and heat-treated to reduce its electrical resistance.
Manufacturing a thermal printer head including a setting step.
In the fabrication method, the step of setting the electric resistance value
The center of the heating resistor in the specified direction is stronger than the ends.
Irradiating with laser light having a low density.

【0012】[0012]

【作用】第1の発明によれば、発熱抵抗体のリ−ド線が
接続された両端部に比べて中央部分の電気抵抗値が高く
設定されることで、両端部の発熱を中央部分に比べて低
く押さえることができる。
According to the first aspect of the invention, the electric resistance of the central portion is set to be higher than that of both ends to which the lead wires of the heating resistor are connected, so that the heat generated at both ends is reduced to the central portion. It can be kept lower than that.

【0013】第2、第3の発明によれば、発熱抵抗体の
リ−ド線が接続された両端部に比べて中央部分の電気抵
抗値が高くなるよう、上記発熱抵抗体を熱処理すること
ができる。
According to the second and third aspects of the present invention, the heat-generating resistor is heat-treated so that the central portion has a higher electric resistance than both ends to which the lead wires of the heat-generating resistor are connected. Can be.

【0014】[0014]

【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。図1はこの発明の熱処理装置を示し、この熱
処理装置はYAGレ−ザなどのレ−ザ発振器1を備えて
いる。このレ−ザ発振器1から出力されたレ−ザ光Lは
ミラ−2で反射して光ファイバ3の一端に設けられた入
射光学系4に入射する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a heat treatment apparatus according to the present invention. The heat treatment apparatus includes a laser oscillator 1 such as a YAG laser. The laser light L output from the laser oscillator 1 is reflected by the mirror 2 and enters the incident optical system 4 provided at one end of the optical fiber 3.

【0015】なお、上記光ファイバ3には、図示しない
がレ−ザ光Lとともに、He−Neレ−ザなどから出力
された目視可能なガイド光が光軸を同じにして入射する
ようになっている。
Although not shown, laser light L and visible guide light output from a He-Ne laser or the like are incident on the optical fiber 3 with the same optical axis. ing.

【0016】上記光ファイバ3の出射端には出射光学系
5が設けられ、この出射光学系5から出射したレ−ザ光
Lはガラスなどの透光材によって形成された角柱部材6
の入射端面6aに入射する。角柱部材6に入射したレ−
ザ光Lはその内部で反射を繰り返すことで強度分布が均
一化され、その出射端面6bから角柱部材6の断面形状
に対応した矩形状のパタ−ンに成形されて出射する。
An emission optical system 5 is provided at an emission end of the optical fiber 3, and a laser beam L emitted from the emission optical system 5 is a prism member 6 made of a transparent material such as glass.
At the incident end face 6a. Ray incident on prism member 6
The light L is repeatedly reflected in the inside thereof, whereby the intensity distribution is made uniform, and the light L is shaped into a rectangular pattern corresponding to the cross-sectional shape of the prism member 6 and emitted from the emission end face 6b.

【0017】上記角柱部材6の出射端面6bには、その
所定方向中心部分に、その方向と直交する方向の全長に
わたって帯状の遮光体7が設けられている。この遮光体
7は上記角柱部材6の出射端面6bから出射するレ−ザ
光Lの光量を制限するためのもので、たとえばスリガラ
スなどのような光を散乱したり、半透明膜などのような
透過光量を制限する物質によって形成されている。
A band-shaped light shield 7 is provided on the emission end face 6b of the prism member 6 at a central portion in a predetermined direction over the entire length in a direction orthogonal to the direction. The light shield 7 is used to limit the amount of laser light L emitted from the emission end face 6b of the prism member 6. The light shield 7 scatters light such as ground glass or a semi-transparent film. It is formed of a substance that limits the amount of transmitted light.

【0018】上記角柱部材6の出射端面6b側には対物
光学系8が設けられている。上記出射端面6bから出射
したレ−ザ光Lは上記対物光学系8によって集束されて
サ−マルプリンタヘッド9を照射する。このサ−マルプ
リンタヘッド9はYテ−ブル11上に載置されている。
このYテ−ブル11はXテ−ブル12上にY方向に沿っ
て移動自在に設けられ、Y駆動源13によってY方向に
駆動されるようになっている。上記Xテ−ブル12はX
方向に沿って移動自在に設けられ、X駆動源14によっ
てX方向に駆動されるようになっている。
An objective optical system 8 is provided on the exit end face 6b side of the prism member 6. The laser light L emitted from the emission end face 6b is focused by the objective optical system 8 and irradiates the thermal printer head 9. The thermal printer head 9 is mounted on a Y table 11.
The Y table 11 is provided on the X table 12 so as to be movable along the Y direction, and is driven by the Y drive source 13 in the Y direction. The X table 12 is X
It is provided movably along the direction, and is driven in the X direction by the X drive source 14.

【0019】上記サ−マルプリンタヘッド9は、図3に
示すようにアルミナなどの絶縁性の基板9a上に帯状の
多数の発熱抵抗体9bが所定の間隔で形成されていて、
その長手方向両端部にはそれぞれアルミニウム製のリ−
ド線9cが接続されてなる。上記発熱抵抗体9bはエ−
ジングあるいはアニ−リングなどによって結晶が安定化
処理されている。
As shown in FIG. 3, the thermal printer head 9 has a large number of strip-shaped heating resistors 9b formed at predetermined intervals on an insulating substrate 9a such as alumina.
Aluminum leads are provided at both ends in the longitudinal direction.
Line 9c is connected. The heating resistor 9b is an air heater.
The crystal is stabilized by zing or annealing.

【0020】上記対物光学系8から出射したレ−ザ光L
は、上記発熱抵抗体9bの長さ方向ほぼ全長を照射す
る。その状態で、上記Xテ−ブル12によってYテ−ブ
ル11上に載置されたサ−マルプリンタヘッド9を図3
に矢印で示すX方向に駆動することで、多数の発熱抵抗
体9bが順次照射されることになる。
The laser light L emitted from the objective optical system 8
Irradiates substantially the entire length of the heating resistor 9b in the length direction. In this state, the thermal printer head 9 placed on the Y table 11 by the X table 12 is moved to the position shown in FIG.
By driving in the X direction indicated by the arrow, a large number of heating resistors 9b are sequentially irradiated.

【0021】なお、角柱部材6は、その出射端面6bに
設けられた遮光体7がXテ−ブル12の駆動方向であ
る、X方向に沿って配置されている。それによって、レ
−ザ光Lのパタ−ンの遮光体7により強度分布が低下さ
せられた部分は、発熱抵抗体9bの所定方向中央部分を
照射することになる。
The prism member 6 has a light-shielding member 7 provided on an emission end face 6b thereof arranged along the X direction, which is the driving direction of the X table 12. As a result, the portion of the pattern of the laser light L, the intensity distribution of which is reduced by the light-shielding member 7, illuminates the central portion of the heating resistor 9b in the predetermined direction.

【0022】上記レ−ザ光Lによる発熱抵抗体9bの照
射部近傍は、図1に示すようにCCDカメラ15によっ
て撮像される。このCCDカメラ15からの撮像信号は
CRT16に表示されるとともに、コントロ−ラ17に
入力される。このコントロ−ラ17は上記CCDカメラ
15からの撮像信号によって上記レ−ザ光Lによるサ−
マルプリンタヘッド9の照射位置を制御するようになっ
ている。
As shown in FIG. 1, an image of the vicinity of the irradiated portion of the heating resistor 9b by the laser light L is picked up by a CCD camera 15. The image signal from the CCD camera 15 is displayed on the CRT 16 and input to the controller 17. The controller 17 receives a laser light L based on an image signal from the CCD camera 15 to perform a search.
The irradiation position of the multi-printer head 9 is controlled.

【0023】つぎに、上記構成の装置の作動について説
明する。まず、レ−ザ発振器1を作動させてレ−ザ光L
を出力する。このときのレ−ザ光Lの強度分布は図2
(b)にP1 で示すように、中心部分が高く、周辺部に
ゆくにしたがって低下する、ガウシアン分布となってい
る。
Next, the operation of the apparatus having the above configuration will be described. First, the laser oscillator 1 is operated, and the laser light L
Is output. The intensity distribution of the laser light L at this time is shown in FIG.
In as shown by P 1 (b), high center portion, decreases as yuku the peripheral portion, and has a Gaussian distribution.

【0024】レ−ザ発振器1から出力されたレ−ザ光L
は、光ファイバ3を伝播して角柱部材6に入射する。こ
の角柱部材6に入射したレ−ザ光Lはその内部で反射を
繰り返すことで強度分布が均一化される。ついで、均一
化されたレ−ザ光Lは、その出射端面6bから矩形状の
パタ−ンで出射する。出射端面6bには遮光体7が設け
られているから、出射端面6bから出射するレ−ザ光L
の強度分布は、図2(c)にP2 で示すように、遮光体
7に対応する部分の強度が他の部分に比べて低下した分
布状態となる。
The laser light L output from the laser oscillator 1
Propagates through the optical fiber 3 and enters the prism member 6. The intensity distribution of the laser light L incident on the prism member 6 is made uniform by repeating reflection inside the laser light L. Next, the uniformed laser light L is emitted from the emission end face 6b in a rectangular pattern. Since the light-shielding body 7 is provided on the emission end face 6b, the laser light L emitted from the emission end face 6b
Intensity distribution, as shown by P 2 in FIG. 2 (c), the intensity of the portion corresponding to the light shielding body 7 is reduced distribution than the other portion.

【0025】上記角柱部材6から出射して対物光学系8
で集束されたレ−ザ光Lは、Yテ−ブル11上に載置さ
れたサ−マルプリンタヘッド9の発熱抵抗体9bを照射
する。つまり、レ−ザ光Lは、遮光体7によって強度分
布が低く変調された図2(c)にP2 で示すパタ−ンで
発熱抵抗体9bを照射する。
The light emitted from the prism member 6 and the objective optical system 8
The laser beam L converged at (1) irradiates the heating resistor 9b of the thermal printer head 9 mounted on the Y table 11. That is, the laser light L irradiates the heating resistor 9b in a pattern indicated by P2 in FIG.

【0026】それによって、発熱抵抗体9bは、両端部
にリ−ド線9cが接続された長さ方向中央部分がレ−ザ
光Lのパタ−ンP2 の強度分布が低い部分で照射され、
両端部分が高い部分で照射される。
[0026] Thereby, the heating resistor 9b is re both ends - a length direction central portion lead wire 9c is connected to Les - pattern of laser light L - intensity distribution of emission P 2 is illuminated at a lower portion ,
Both ends are irradiated in a high part.

【0027】上記発熱抵抗体9bの抵抗値は温度依存性
をもっており、照射されるレ−ザ光Lの温度が高い程、
低くなる特性がある。そのため、P2 のパタ−ンで照射
された発熱抵抗体9bの抵抗値Rは、図4(b)に示す
ようにその長さ方向中央部分の抵抗値がリ−ド線9cが
接続された両端部分に比べて低くなる。つまり、発熱抵
抗体9bは、図3に矢印Fで示す印字される紙の進行方
向における前後方向よりも中央部分の抵抗が高く設定さ
れることになる。
The resistance value of the heating resistor 9b has a temperature dependency, and the higher the temperature of the laser light L to be irradiated, the higher the resistance value.
There is a characteristic that becomes lower. Therefore, the pattern P 2 - resistance value R of the heat generating resistor 9b irradiated with down, the resistance of the lengthwise center portion as shown in FIG. 4 (b) Li - lead wire 9c is connected Lower than at both ends. That is, the resistance of the heating resistor 9b is set to be higher at the center portion than in the front-rear direction in the traveling direction of the paper to be printed as indicated by the arrow F in FIG.

【0028】このような熱処理が行われたサ−マルプリ
ンタヘッド9によれば、動作時に通電されると、その発
熱抵抗体9bは抵抗値が高い長さ方向中央部分が、抵抗
値の低い両端部分に比べて発熱量が大きくなる。つま
り、発熱抵抗体9bはリ−ド線9cが接続された長さ方
向両端部分の温度上昇が抑制されることになるから、そ
の両端部分の早期劣化が防止される。それによって、サ
−マルプリンタヘッド9は、長期にわたり高品質の印字
性能と印字速度の高速化とを維持することができる。
According to the thermal printer head 9 which has been subjected to such a heat treatment, when a current is supplied during operation, the heating resistor 9b has a central portion in the length direction having a high resistance value at both ends having a low resistance value. The calorific value is larger than the portion. That is, since the temperature rise of the heating resistor 9b at both ends in the longitudinal direction to which the lead wire 9c is connected is suppressed, early deterioration of the both ends is prevented. Thus, the thermal printer head 9 can maintain high quality printing performance and high printing speed for a long period of time.

【0029】なお、この発明は上記一実施例に限定され
ず、要旨を逸脱しない範囲内で種々変形可能である。た
とえば、レ−ザ光のパタ−ンを矩形状に成形し、その強
度分布を均一化する手段は、中実な角柱部材に代わり、
内面が反射面に形成された角筒状の部材(カライドスコ
−プ)であっても差支えない。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be variously modified without departing from the gist. For example, a means for forming a laser beam pattern into a rectangular shape and making the intensity distribution uniform is a substitute for a solid prismatic member.
A rectangular tube-shaped member (callide scope) having an inner surface formed on a reflection surface may be used.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上述べたように請求項1に記載された
第1の発明によれば、所定方向両端部にリード線が接続
された発熱抵抗体の電気伝導率を、両端部分よりの中央
部分の方が小さくなるよう設定されたサーマルプリンタ
ヘッドを提供することができる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the electric conductivity of the heating resistor having the lead wires connected to both ends in the predetermined direction is set at the center from the both ends.
It is possible to provide a thermal printer head set so that the portion is smaller .

【0031】請求項2に記載された第2の発明と、請求
項4に記載された第3の発明によれば、サ−マルプリン
タヘッドの所定方向両端部にリ−ド線が接続された発熱
抵抗体の電気抵抗値を、上記所定方向の中央部分が両端
部分よりも高くなるよう熱処理する熱処理装置および
ーマルプリンタヘッドの製造方法を提供することができ
る。
According to the second invention described in claim 2 and the third invention described in claim 4, lead wires are connected to both ends of the thermal printer head in a predetermined direction. the electrical resistance of the heating resistor, a heat treatment apparatus and support the central portion of the predetermined direction to heat treatment to be higher than both end portions
A method for manufacturing a thermal printer head can be provided.

【0032】そのため、これらの発明によれば、動作時
に上記発熱抵抗体に通電されると、リ−ド線が接続され
た両端部分の発熱量が中央部分に比べて低下するから、
その両端部分の早期劣化を防止し、印字品質の向上や印
字速度の高速化を計ることができるサ−マルプリンタヘ
ッドおよびその熱処理装置とサーマルプリンタヘッドの
製造方法が提供される。
Therefore, according to these inventions, when the heating resistor is energized during operation, the amount of heat generated at both ends to which the lead wire is connected is reduced as compared with the central portion.
A thermal printer head, a thermal printer head, and a thermal printer head capable of preventing early deterioration of both end portions and improving printing quality and increasing printing speed .
A manufacturing method is provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施例の熱処理装置の全体構成を
示す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing the overall configuration of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】同じくレ−ザ光の強度分布を変調するための角
柱部材の斜視図およびその入射端面と出射端面における
レ−ザ光の強度分布図。
FIG. 2 is a perspective view of a prism member for modulating an intensity distribution of laser light, and an intensity distribution diagram of laser light at an incident end face and an emission end face thereof.

【図3】同じくサ−マルプリンタヘッドの一部分の拡大
変面図。
FIG. 3 is an enlarged deformation view of a part of the thermal printer head.

【図4】同じくサ−マルプリンタヘッドの発熱抵抗体を
照射するレ−ザ光の強度分布とそのレ−ザ光によって照
射された発熱抵抗体の所定方向に沿う抵抗値を示す説明
図。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing an intensity distribution of laser light radiating the heating resistor of the thermal printer head and a resistance value of the heating resistor irradiated by the laser light along a predetermined direction.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…レ−ザ発振器、6…角柱部材、7…遮光体、9…サ
−マルプリンタヘッド、9a…基板、9b…発熱抵抗
体、9…リ−ド線。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser oscillator, 6 ... Prismatic member, 7 ... Light shield, 9 ... Thermal printer head, 9a ... Substrate, 9b ... Heating resistor, 9 ... Lead wire.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/345 B41J 2/335 H01S 3/00 B23K 26/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) B41J 2/345 B41J 2/335 H01S 3/00 B23K 26/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 基板と、この基板に設けられた発熱抵抗
体と、この発熱抵抗体の所定方向両端部に接続されたリ
−ド線とを有するサーマルプリンタヘッドにおいて、 上記発熱抵抗体の電気伝導率は、前記両端部よりも中央
部分の方が小さくなっていること を特徴とするサ−マル
プリンタヘッド。
And 1. A substrate, a heating resistor provided on the substrate, connected re in a predetermined direction end portions of the heating resistor - in the thermal printer head and a lead wire, electrical of the heating resistor Conductivity is more central than the ends
A thermal printer head characterized in that the portion is smaller .
【請求項2】 基板に発熱抵抗体を有するとともにこの
発熱抵抗体の所定方向両端部にリ−ド線が接続されたサ
−マルプリンタヘッドの、上記発熱抵抗体にレ−ザ光を
照射してその電気抵抗値を設定するサーマルプリンタヘ
ッドの熱処理装置において、 上記レ−ザ光を出力するレ−ザ発振器と、このレ−ザ発
振器から出力されたレ−ザ光が入射し出射側におけるそ
のパタ−ンの強度分布を中央部分が両端部分よりも低く
なるよう変調する光学手段とを具備し、この光学手段か
ら出射したレ−ザ光はそのパタ−ンの強度の低い部分が
上記発熱抵抗体の所定方向中央部分を照射するよう設定
されてなることを特徴とするサ−マルプリンタヘッドの
熱処理装置。
2. A thermal printer head having a heating resistor on a substrate and having lead wires connected to both ends of the heating resistor in a predetermined direction, irradiating the heating resistor with laser light. A thermal oscillator for a thermal printer head for setting the electric resistance value thereof, comprising: a laser oscillator for outputting the laser light; and a laser beam output from the laser oscillator, which is incident on the emission side. Optical means for modulating the intensity distribution of the pattern so that the central portion is lower than both end portions. The laser light emitted from this optical means is such that the low intensity portion of the pattern is generated by the heating resistor. A thermal processing apparatus for a thermal printer head, wherein the thermal processing apparatus is set to irradiate a central portion of a body in a predetermined direction.
【請求項3】 上記光学手段は、断面矩形状の導光体か
らなり、その一端面から入射するレ−ザ光を矩形状のパ
タ−ンに成形するとともに、出射側にはそのパタ−ンの
所定方向中央部分におけるレ−ザ光の透過量を規制する
遮光体が設けられてなることを特徴とする請求項2記載
のサ−マルプリンタヘッドの熱処理装置。
3. The optical means comprises a light guide having a rectangular cross section, and forms laser light incident from one end face into a rectangular pattern, and the pattern is formed on the emission side. 3. A thermal processing apparatus for a thermal printer head according to claim 2, further comprising a light-shielding member for restricting a transmission amount of laser light at a central portion of said thermal printer in a predetermined direction.
【請求項4】 基板に発熱抵抗体を設ける工程と、この
発熱抵抗体の所定方向両端部にリ−ド線を接続する工程
と、上記発熱抵抗体にレ−ザ光を照射して熱処理を加え
てその電気抵抗値を設定する工程とを具備するサーマル
プリンタヘッドの製造方法において、 この電気抵抗値を設定する工程は、上記発熱抵抗体の所
定方向中央部分を両端部分よりも強度の低いレ−ザ光で
照射することを特徴とするサ−マルプリンタヘッドの製
造方法。
4. A step of providing a heating resistor on a substrate, a step of connecting lead wires to both ends of the heating resistor in a predetermined direction, and a step of irradiating the heating resistor with laser light to perform heat treatment. In addition, in the method of manufacturing a thermal printer head, the method further comprises the step of setting the electric resistance value. The step of setting the electric resistance value includes the step of setting the center of the heating resistor in a predetermined direction at a lower strength than both ends. -A method for manufacturing a thermal printer head, characterized by irradiating with the light.
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