JP3353354B2 - Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording method - Google Patents

Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording method

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JP3353354B2 JP34701792A JP34701792A JP3353354B2 JP 3353354 B2 JP3353354 B2 JP 3353354B2 JP 34701792 A JP34701792 A JP 34701792A JP 34701792 A JP34701792 A JP 34701792A JP 3353354 B2 JP3353354 B2 JP 3353354B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光等のスポット
照射により垂直磁化膜に光(熱)磁気記録を行い、その
記録の読出がカー回転角の検出によって行われる光磁気
記録媒体及び光磁気記録方式に係わる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium in which magneto-optical (thermal) magnetic recording is performed on a perpendicular magnetization film by irradiating a spot such as a laser beam, and reading of the recording is performed by detecting a Kerr rotation angle. It relates to the magnetic recording system.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ光照射による局部的加熱によって
情報ピット即ち磁区を形成し、これを光磁気相互作用い
わゆるカー効果によって読み出す光磁気記録媒体におい
ては、記録再生を行う磁性層は例えばディスク状の透明
基板上に設けられて構成され、そのトラッキングサーボ
信号やアドレス信号はこの透明基板に凹凸溝或いは位相
ピットとして形成されてトラッキングサーボ等が行われ
るようになされている。
2. Description of the Related Art In a magneto-optical recording medium in which information pits or magnetic domains are formed by local heating by laser beam irradiation and are read out by magneto-optical interaction, so-called Kerr effect, a magnetic layer for recording and reproducing is, for example, disk-shaped. The tracking servo signal and the address signal are formed on a transparent substrate, and are formed as uneven grooves or phase pits on the transparent substrate so that tracking servo or the like is performed.

【0003】このように従来の光磁気記録媒体では透明
基板にサーボ信号に対応する凹凸を微細なピッチで設け
ることから、例えばガラス基板等の機械的特性の優れた
材料を用いようとすると凹凸の形成に2P(フォトポリ
マー)等を用いなければならず、コスト高を招来すると
いう問題がある。このため従来は基板の機械的特性が比
較的劣るポリカーボネート等の射出成型基板を用いてお
り、面振れ等を回避することができず、フォーカスサー
ボ等のサーボ系に大きな負担となっている。
As described above, in the conventional magneto-optical recording medium, unevenness corresponding to the servo signal is provided at a fine pitch on the transparent substrate. Therefore, when a material having excellent mechanical properties such as a glass substrate is used, the It is necessary to use 2P (photopolymer) or the like for the formation, and there is a problem that the cost is increased. For this reason, conventionally, an injection-molded substrate made of polycarbonate or the like, whose mechanical properties are relatively inferior, is used, and it is not possible to avoid surface runout and the like, which places a heavy burden on a servo system such as a focus servo.

【0004】また、トラッキングサーボ用の信号が記録
再生用ドライブ装置とは別体の装置において形成されて
いることから、偏芯が発生する場合はディスクの高速回
転化に伴ってサーボ系に大きな負担をかけることが避け
られないという問題がある。
Further, since signals for tracking servo are formed in a device separate from the recording / reproducing drive device, if eccentricity occurs, a large load is imposed on the servo system due to the high-speed rotation of the disk. There is a problem that it is unavoidable to apply.

【0005】また、基板上に凹凸溝或いはピットとして
トラッキングサーボ用の信号、アドレス信号やセクター
情報を形成する際には欠陥が生じやすく、またその形状
がトラッキング信号や光磁気信号の品質即ちS/N(信
号対ノイズ比)や変調度に影響を与えやすいことから、
この凹凸を形成する過程が媒体の歩留りを低下させる要
因となっている。
Further, when a tracking servo signal, an address signal or sector information is formed as an uneven groove or pit on a substrate, a defect is likely to occur, and the shape of the signal is the quality of a tracking signal or a magneto-optical signal, that is, S / S. N (signal-to-noise ratio) and modulation degree are easily affected.
The process of forming the irregularities is a factor that lowers the yield of the medium.

【0006】これに対し、例えば特開昭56−6103
1号公開公報には、グルーブ溝に代えて垂直磁化膜を局
所的に結晶化することにより磁気異方性をなくして面内
磁化膜を設け、これによりサーボ信号、アドレス信号を
形成する構成が提案され、また例えば特開昭57−30
132号公開公報には、基板にアモルファスフェリ磁性
体薄膜を形成し、ガイドトラック信号等を予め例えばピ
ット状に結晶化して設けるものが提案されている。
On the other hand, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-6103
Japanese Patent Laid-Open Publication No. 1 (1999) -1995 discloses a configuration in which a perpendicular magnetization film is locally crystallized in place of a groove to eliminate magnetic anisotropy and provide an in-plane magnetization film, thereby forming a servo signal and an address signal. For example, Japanese Patent Laid-Open Publication No.
Japanese Patent Publication No. 132 proposes a method in which an amorphous ferrimagnetic thin film is formed on a substrate, and guide track signals and the like are crystallized in advance, for example, in a pit shape.

【0007】しかしながらこれらの構成による場合、結
晶化のために高出力のレーザが必要となること、またそ
の書換えが不可能であることから、同様にサーボ及びア
ドレス信号の形成過程が媒体の歩留りを左右してしまう
という問題があり、実用的には用いられていないのが現
状である。
However, in the case of these structures, a high-power laser is required for crystallization and rewriting is impossible, so that the process of forming servo and address signals similarly reduces the yield of the medium. There is a problem that it is affected, and at present it is not used practically.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述したよ
うに光磁気記録媒体又は光磁気記録方式において、透明
基板の材料選択の自由度を高めることによって安価で機
械的強度に優れた材料の適用を可能とし、コストの低減
化及びサーボ系の負担の軽減をはかることを目的とす
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a magneto-optical recording medium or a magneto-optical recording system, as described above, in which a material having a low cost and excellent mechanical strength can be obtained by increasing the degree of freedom in selecting a material for a transparent substrate. An object of the present invention is to enable application, to reduce costs and to reduce the load on a servo system.

【0009】本発明は、平坦な透明基板に、少なくとも
第1の垂直磁化膜、切断層、第2の垂直磁化膜及び熱伝
導膜を順次形成して、切断層として非磁性層又は面内磁
化膜を設け、熱伝導膜は、第1及び第2の垂直磁化膜の
熱伝導率に比し高い熱伝導率を有する材料よりなり、第
1及び第2の垂直磁化膜のキュリー温度をそれぞれTc
1 及びTc2 としたときに、 Tc1 <Tc2 として、第2の垂直磁化膜に記録されたトラッキングサ
ーボ用信号を破壊することなく第1の垂直磁化膜に記録
又は消去する構成とする。
According to the present invention, at least a first perpendicular magnetization film, a cutting layer, a second perpendicular magnetization film, and a heat conduction film are sequentially formed on a flat transparent substrate, and a nonmagnetic layer or in-plane magnetization is formed as a cutting layer. A thermal conductive film made of a material having a higher thermal conductivity than the thermal conductivity of the first and second perpendicular magnetic films, and the Curie temperature of the first and second perpendicular magnetic films is set to Tc, respectively.
When Tc 1 and Tc 2 are set, Tc 1 <Tc 2 is set so that recording or erasing is performed on the first perpendicular magnetic film without destroying the tracking servo signal recorded on the second perpendicular magnetic film.

【0010】また本発明は、上述の光磁気記録媒体にお
いて、少なくとも第1の垂直磁化膜、第2の垂直磁化膜
及び熱伝導膜を真空薄膜形成方法により形成して構成す
る。
Further, according to the present invention, in the above-mentioned magneto-optical recording medium, at least the first perpendicular magnetic film, the second perpendicular magnetic film, and the heat conductive film are formed by a vacuum thin film forming method.

【0011】また本発明は、上述の各光磁気記録媒体に
おいて、第1及び第2の垂直磁化膜の記録開始パワーを
それぞれPth1 及びPth2 、最適記録パワーをそれぞれ
Prec1及びPrec2とし、再生パワーをPreadとしたとき
に、 Prec2>Pth2 となるパワーPrec2のレーザを照射してトラッキングサ
ーボ用信号を記録した後、記録磁界Hrec の下で、 Pth2 >Prec1>Pth1 >Pread を満たす記録消去パワーPrec1のレーザを照射して記録
消去を行う構成とする。
Further, according to the present invention, in each of the above-described magneto-optical recording media, the recording start powers of the first and second perpendicular magnetic films are Pth 1 and Pth 2 , respectively, and the optimum recording powers are Prec 1 and Prec 2 , respectively. When the read power is Pread, a laser of power Prec 2 that satisfies Prec 2 > Pth 2 is applied to record a tracking servo signal, and then, under a recording magnetic field Hrec, Pth 2 > Prec 1 > Pth 1 > A configuration is adopted in which recording and erasing are performed by irradiating a laser having a recording and erasing power Prec 1 that satisfies Pread.

【0012】更にまた本発明は、上述の光磁気記録媒体
において、第1の垂直磁化膜の膜厚を、100Å以上6
00Å以下として構成する。
Further, according to the present invention, in the above-mentioned magneto-optical recording medium, the thickness of the first perpendicular magnetization film is set to 100 ° or more and 6 ° or more.
It is configured as 00 ° or less.

【0013】また本発明による光磁気記録方式は、平坦
な透明基板に、少なくとも第1の垂直磁化膜と、切断層
と、第1の垂直磁化膜と異なるキュリー温度を有する第
2の垂直磁化膜と、第1及び第2の垂直磁化膜の熱伝導
率に比し高い熱伝導率を有する熱伝導膜とが形成されて
なる光磁気記録媒体を用いて、 データの記録或いは消
去を行うレーザパワーよりも相対的に高いレーザパワー
でキュリー温度の比較的高い第1又は第2の垂直磁化膜
にトラッキングサーボ用信号を含むプリフォーマット信
号を予め記録する。
According to the magneto-optical recording method of the present invention, at least a first perpendicular magnetic film, a cutting layer, and a second perpendicular magnetic film having a Curie temperature different from that of the first perpendicular magnetic film are formed on a flat transparent substrate. And a laser power for recording or erasing data using a magneto-optical recording medium on which a thermal conductive film having a higher thermal conductivity than the thermal conductivity of the first and second perpendicular magnetic films is formed. A preformat signal including a tracking servo signal is previously recorded on the first or second perpendicular magnetization film having a relatively higher laser power and a relatively higher Curie temperature.

【0014】更に本発明は、上述の光磁気記録方式にお
いて、プリフォーマット信号を予め記録する際に、光磁
気記録媒体をスピンドルモータにチャックした状態で固
定し、このスピンドルモータをスピンドルチャッキング
手段によってプリフォーマット信号記録専用光磁気記録
装置に装着してプリフォーマット信号を記録し、この後
光磁気記録装置に光磁気記録媒体をスピンドルモータご
と組み込むことによって、偏芯を0μm以上10μm以
下とする。また本発明は、上述の光磁気記録方式におい
て、プリフォーマット信号を予め記録する際に、光磁気
記録媒体をスピンドルモータにチャックした状態で固定
し、このスピンドルモータをスピンドルチャッキング手
段によってプリフォーマット信号を記録する機能を有す
る光磁気記録装置に装着して、プリフォーマット信号を
記録することによって、偏芯を0μm以上10μm以下
とする。更にまた本発明は、上述の光磁気記録方式にお
いて、プリフォーマット信号を予め記録する際に、光磁
気記録媒体の中心部に金属円盤より成るボスを固定し、
このボスをスピンドルモータの軸に嵌合することによっ
て、光磁気記録媒体をスピンドルモータに偏芯を0μm
以上10μm以下としてチャッキングするチャッキング
手段を用いる。
Further, according to the present invention, in the above-described magneto-optical recording system, when pre-format signals are recorded in advance, the magneto-optical recording medium is fixed in a state of being chucked by a spindle motor, and this spindle motor is rotated by spindle chucking means. The pre-format signal is recorded by mounting it on a pre-format signal recording-dedicated magneto-optical recording device, and thereafter the eccentricity is set to 0 μm or more and 10 μm or less by incorporating the magneto-optical recording medium with the spindle motor in the magneto-optical recording device. Further, according to the present invention, in the above-described magneto-optical recording method, when a pre-format signal is recorded in advance, a magneto-optical recording medium is fixed in a state where it is chucked by a spindle motor, and the spindle motor is pre-formatted by a spindle chucking means. The eccentricity is set to 0 μm or more and 10 μm or less by mounting the optical recording device in a magneto-optical recording device having a function of recording a preformat signal and recording a preformat signal. Furthermore, the present invention, in the above-described magneto-optical recording method, when pre-recording a preformat signal, fixing a boss made of a metal disk at the center of the magneto-optical recording medium,
By fitting this boss to the spindle motor shaft, the eccentricity of the magneto-optical recording medium to the spindle motor is reduced to 0 μm.
A chucking means for chucking with a thickness of 10 μm or less is used.

【0015】[0015]

【0016】[0016]

【0017】[0017]

【作用】上述したように本発明は、図1に示すようにグ
ルーブやピット等の凹凸が設けられない平坦な透明基板
2を用いて、これの上に真空薄膜形成方法によりキュリ
ー温度の異なる第1及び第2の垂直磁化膜31 及び32
を積層して設ける構成とするものであり、キュリー温度
の相違を利用して、データの記録或いは消去を行うレー
ザパワーよりも相対的に高いレーザパワーで少なくとも
キュリー温度の比較的高い垂直磁化膜にトラッキングサ
ーボ用信号を含むプリフォーマット信号を予め記録する
本発明光磁気記録方式を適用することによって、基板上
に凹凸溝或いはピットを形成するプロセス不要とするこ
とができる。
As described above, the present invention uses a flat transparent substrate 2 having no irregularities such as grooves or pits as shown in FIG. 1 and the second vertical magnetic film 3 1 and 3 2
Are stacked and provided by using a difference in Curie temperature to a perpendicular magnetic film having a relatively high Curie temperature at least with a laser power relatively higher than the laser power for recording or erasing data. By applying the magneto-optical recording method of the present invention in which a preformat signal including a tracking servo signal is recorded in advance, the process of forming an uneven groove or pit on a substrate can be omitted.

【0018】このため、ガラス基板等の比較的安価で機
械的強度に優れた透明基板材料を用いることが可能とな
り、コストの低減化をはかると共にサーボ系の負担を軽
減することができ、また歩留りの向上をはかることがで
きる。
For this reason, it is possible to use a transparent substrate material such as a glass substrate which is relatively inexpensive and has excellent mechanical strength, so that the cost can be reduced and the load on the servo system can be reduced. Can be improved.

【0019】また上述の光磁気記録媒体及び光磁気記録
方式において、光磁気記録媒体の積層された第1及び第
2の垂直磁化膜31 及び32 の間に切断層として一層の
非磁性層又は面内磁化膜を設けることによって、後段の
実施例において詳細に説明するように、第1及び第2の
垂直磁化膜31 及び32 の磁壁エネルギーを低減化する
ことができることから、プリフォーマット信号が書き込
まれた垂直磁化膜の影響を受けることなく、良好なS/
N比をもって情報信号の記録再生を行うことができる。
[0019] In the above magneto-optical recording medium and magneto-optical recording method, more of the non-magnetic layer as the cutting layer to the first and second between the vertical magnetization film 3 1 and 3 2 laminated magneto-optical recording medium or by providing the in-plane magnetization film, since it is possible to reduce the as described in detail in subsequent embodiments, the first and second magnetic wall energy of the perpendicular magnetization film 3 1 and 3 2, preformat A good S / S is obtained without being affected by the perpendicular magnetization film on which the signal is written.
Recording and reproduction of information signals can be performed with the N ratio.

【0020】また更に、上述の光磁気記録媒体におい
て、第1の垂直磁化膜31 の膜厚を100Å以上600
Å以下として構成することにより、同様に後段の実施例
において詳細に説明するように、第1及び第2の垂直磁
化膜31 及び32 の特に基板1から離間する側の磁化膜
2 の磁化状態の変調度を十分大とすることができる。
Further, in the above-described magneto-optical recording medium, the thickness of the first perpendicular magnetic film 31 is set to 100 ° or more and 600 ° or more.
By configuring as Å or less, as well as described in detail in subsequent embodiments, the first and second vertical magnetic film 3 1 and 3 2 of the side, in particular away from the substrate 1 of the magnetic film 3 2 The degree of modulation of the magnetization state can be made sufficiently large.

【0021】また、両垂直磁化膜31 及び/又は32
近接してこれに比し高い熱伝導率を有する熱伝導膜5を
設けることによって、後段の実施例において詳細に説明
するように、各垂直磁化膜31 及び32 の再生閾値電力
の差を大としていわゆるパワーマージンの増大化をはか
り、良好なS/N比をもって記録再生を行うことができ
る。
Further, by providing the heat conducting film 5 having a higher thermal conductivity in proximity to the two perpendicular magnetization films 3 1 and / or 3 2 , as will be described in detail in a later embodiment. By increasing the difference between the reproduction threshold powers of the perpendicular magnetization films 3 1 and 3 2 , the so-called power margin can be increased, and recording and reproduction can be performed with a good S / N ratio.

【0022】更にまた、上述の光磁気記録方式におい
て、プリフォーマット信号及び情報信号の記録を同一の
装置内において行うことによって、偏芯を生じることな
くトラッキングサーボ信号、アドレス信号を書き込むこ
とができることから、サーボ系の負担を軽減することが
できる。
Further, in the above-described magneto-optical recording method, by recording the preformat signal and the information signal in the same apparatus, the tracking servo signal and the address signal can be written without causing eccentricity. Thus, the load on the servo system can be reduced.

【0023】また、上述の光磁気記録方式において、プ
リフォーマット信号記録専用光磁気記録装置を用いてプ
リフォーマット信号を予め記録し、通常の光磁気記録装
置を用いて情報信号の記録再生を行うにあたって、偏芯
が10μm以下となるチャッキング手段を用いることに
より、サーボ系の負担を軽減することができる。
In the above-described magneto-optical recording method, a pre-format signal is recorded in advance using a magneto-optical recording device dedicated for recording a pre-format signal, and information signals are recorded and reproduced using a normal magneto-optical recording device. By using the chucking means having an eccentricity of 10 μm or less, the load on the servo system can be reduced.

【0024】[0024]

【実施例】以下本発明による光磁気記録媒体及び光磁気
記録方式の実施例を詳細に説明する。この例において
は、一例として磁界変調型の光磁気記録媒体及び方式に
本発明を適用した場合を示す。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a magneto-optical recording medium and a magneto-optical recording system according to the present invention will be described below in detail. In this example, a case where the present invention is applied to a magnetic field modulation type magneto-optical recording medium and method is shown as an example.

【0025】図1に示すように、サーボゾーンを含めて
全面的に表面が平坦な、即ち位相ピットやグルーブ溝等
の凹凸が設けられないガラス等より成る円盤状(ディス
ク状)の透明基板1上に、第1の誘電体膜21 、第1の
垂直磁化膜31 、第2の誘電体膜22 、第2の垂直磁化
膜32 、第3の誘電体膜23 、熱伝導膜5を順次真空薄
膜形成方法により積層形成して光磁気記録媒体10を構
成する。
As shown in FIG. 1, a disk-shaped (disk-shaped) transparent substrate 1 made of glass or the like having a surface entirely flat including a servo zone, ie, having no irregularities such as phase pits and groove grooves. above, the first dielectric film 2 1, the first vertical magnetic film 3 1, second dielectric layer 2 2, the second vertical magnetic film 3, second and third dielectric films 2 3, thermal conductivity The magneto-optical recording medium 10 is formed by sequentially laminating the films 5 by a vacuum thin film forming method.

【0026】このような構成の光磁気記録媒体10にお
いて、第1及び第2の垂直磁化膜3 1 及び32 のキュリ
ー温度をそれぞれTc1 、Tc2 とすると、 Tc2 >Tc1 ‥‥‥(1) となる条件を満たすようにその材料を選定し、各磁化膜
の記録開始パワーをそれぞれPth1 及びPth2 、各磁化
膜の最適記録パワーをそれぞれPrec1、Prec2とし、更
に再生パワーをPreadとしたとき、 Prec2>Pth2 ‥‥‥(2) なるパワーのレーザを照射して第2の垂直磁化膜32
トラッキングサーボ用信号を記録した後、記録磁界Hre
c の下で、 Pth2 >Prec1>Pth1 >Pread ‥‥‥(3) を満たす記録消去パワーPrec1を採用することにより、
第2の垂直磁化膜32 に記録されたトラッキングサーボ
用信号を破壊することなく第1の垂直磁化膜31に記録
又は消去を行うことができる。
In the magneto-optical recording medium 10 having such a configuration,
And the first and second perpendicular magnetization films 3 1And 3TwoCurie
-Temperature is Tc1, TcTwoThen, TcTwo> Tc1 The material is selected so as to satisfy the condition of ‥‥‥ (1), and each magnetic film is selected.
Recording start power of Pth1And PthTwo, Each magnetization
The optimum recording power of the film1, PrecTwoAnd then
When the read power is Pread,Two> PthTwo ‥‥‥ (2) Irradiate the laser with power ofTwoTo
After recording the tracking servo signal, the recording magnetic field Hre
Under c, PthTwo> Prec1> Pth1> Pread 記録 (3)1By adopting
Second perpendicular magnetization film 3TwoTracking servo recorded on
First perpendicular magnetization film 3 without destroying the application signal1Recorded in
Alternatively, erasure can be performed.

【0027】具体的には、第1の垂直磁化膜31 とし
て、Tb0.185 (Fe0.95Co0.050.815 、Tc1
180℃の材料を用い、第2の垂直磁化膜32 として、
(Gd0.83Tb0.170.205 (Fe0.70Co0.30
0.795 、Tc2 =360℃の材料を用いて、第1の垂直
磁化膜31 の膜厚を例えば100Å、第2の垂直磁化膜
2の膜厚を50Å以上の例えば100Åとし、また例
えばSiNx より成る誘電体膜21 、22 及び23 の膜
厚をそれぞれ1100Å、400Å、800Åとし、A
l等より成る熱伝導膜5の膜厚を550Åとした場合、
線速10m/sにおけるPth1 、Pth2 はそれぞれ4m
W、8.5mWとなり、Preadを1.5mWとすると、
上述の各式(1)、(2)、(3)を成立させることが
できる。即ち、 360℃>180℃ ‥‥‥(1′) Prec2>8.5mW ‥‥‥(2′) 8.5mW>Prec1>4mW>1.5mW ‥‥‥(3′) となる。この場合、第2の垂直磁化膜32 に記録された
信号は、第1の垂直磁化膜31 に記録された信号のおよ
そ2/3程度の強度で再生することができた。
[0027] Specifically, as the first vertical magnetic film 3 1, Tb 0.185 (Fe 0.95 Co 0.05) 0.815, Tc 1 =
Using 180 ° C. material, as the second vertical magnetic film 3 2,
(Gd 0.83 Tb 0.17 ) 0.205 (Fe 0.70 Co 0.30 )
0.795, with Tc 2 = 360 ° C. of the material, the first vertical magnetic film 3 1 having a thickness of, for example 100 Å, the second vertical magnetic film 3 and second film thickness not less than, for example, 100 Å 50 Å, also for example, SiN the dielectric film 2 1 consisting of x, 2 2 and 2 3 of a thickness of respectively 1100 Å, 400 Å, and 800 Å, a
When the thickness of the heat conductive film 5 made of l or the like is 550 °,
Pth 1 and Pth 2 at a linear velocity of 10 m / s are each 4 m
W, 8.5 mW, and Pread is 1.5 mW,
Equations (1), (2), and (3) described above can be satisfied. That is, 360 ° C.> 180 ° C. (1 ′) Prec 2 > 8.5 mW ‥‥‥ (2 ′) 8.5 mW> Prec 1 > 4 mW> 1.5 mWW (3 ′). In this case, a second signal recorded in the perpendicular magnetic film 3 2 could be reproduced at about approximately 2/3 of the intensity of the first signal recorded on the perpendicular magnetic film 3 1.

【0028】尚、ここで示す各膜の積層構造及び各層の
材料、膜厚等は種々の変形変更が可能であり、例えば、
上述の比較的キュリー温度の低い第1の垂直磁化膜31
の組成をTbx (Fe1-z Coz 1-x とすると、x,
zの範囲はそれぞれ、 0.1≦x≦0.3 0≦z≦0.4 であれば良い。又、比較的キュリー温度の高い第2の垂
直磁化膜32 の組成を、(Gdy Tb1-y x (Fe
1-z Coz 1-x とすると、x,y,zの範囲はそれぞ
れ、 0.1≦x≦0.3 0≦y≦0.95 0.1≦z≦1 であれば良い。
The laminated structure of each film and the material and thickness of each layer shown here can be variously modified and changed.
The above-described first perpendicular magnetization film 3 1 having a relatively low Curie temperature.
Is Tb x (Fe 1 -z Co z ) 1 -x , x,
The range of z may be 0.1 ≦ x ≦ 0.30 ≦ z ≦ 0.4. Moreover, the relatively Curie temperature high second composition of the perpendicular magnetic film 3 2, (Gd y Tb 1 -y) x (Fe
1-z Co z ) Assuming 1-x , the ranges of x, y, and z may be 0.1 ≦ x ≦ 0.30 ≦ y ≦ 0.95 0.1 ≦ z ≦ 1.

【0029】また、磁性材料としては、公知の希土類−
遷移金属アモルファス材料の何れを用いても良く、これ
らに添加元素としてCr、Ti等を加えることもでき
る。
As the magnetic material, a known rare earth element may be used.
Any of transition metal amorphous materials may be used, and Cr, Ti, or the like may be added to these as an additional element.

【0030】また各磁化膜31 及び32 は、異なる組成
の磁化膜が複数層積層された構成とすることもでき、第
2の垂直磁化膜32 は、その全厚さとして上述したよう
に50Å程度以上あれば良い。第1の垂直磁化膜31
厚さは、後段で詳細に説明する。また各磁化膜31 及び
2 のキュリー温度の差は少なくとも50℃以上とする
ことが望ましく、更に第1及び第2の垂直磁化膜31
び32 のキュリー温度を逆に、即ち材料を逆に選定して
構成することもできる。
Further the magnetic film 3 1 and 3 2 are magnetized film of a different composition can also be a plurality of layers stacked configuration, the second vertical magnetic film 3 2, as described above as a total thickness About 50 ° or more. The thickness of the first vertical magnetic film 3 1 will be described in detail later. Further, it is desirable that the difference between the Curie temperatures of the respective magnetic films 3 1 and 3 2 is at least 50 ° C. or more, and that the Curie temperatures of the first and second perpendicular magnetic films 3 1 and 3 2 are reversed. Conversely, it is also possible to select and configure.

【0031】更にまた誘電体膜21 〜23 としてZn
S、AlN等の他の誘電体材料を用いても良く、以下の
各例において特に説明しない場合においても、同様の変
形変更が可能であることはいうまでもない。
[0031] Furthermore Zn as a dielectric film 2 1 to 2 3
Other dielectric materials such as S and AlN may be used, and it is needless to say that similar modifications can be made even in the following examples unless otherwise described.

【0032】このようにして情報信号とトラッキングサ
ーボ信号を記録した場合の模式的な磁化態様を図2及び
図3に示す。先ず、比較的高いパワーで少なくともキュ
リー温度の比較的高い磁化膜、この場合両第1及び第2
の垂直磁化膜31 及び32 にトラッキングサーボ信号9
を形成する。図2はデータゾーンの磁化態様を示し、キ
ュリー温度の比較的低いこの場合第1の垂直磁化膜31
にのみ情報信号が記録される。そして図3に示すよう
に、プリフォーマット信号ゾーンにおいては、第2の垂
直磁化膜32 を含んでこの場合両磁化膜31 及び32
アドレス信号等のプリフォーマット信号が記録される。
FIGS. 2 and 3 show typical magnetization modes when the information signal and the tracking servo signal are recorded in this manner. First, a magnetized film having a relatively high power and at least a relatively high Curie temperature, in this case, the first and second magnetic films.
Tracking the perpendicular magnetization film 3 1 and 3 2 servo signal 9
To form FIG. 2 shows the magnetization mode of the data zone. In this case, the first perpendicular magnetization film 3 1 having a relatively low Curie temperature is used.
The information signal is recorded only in the. Then, as shown in FIG. 3, in the pre-format signal zone, in this case pre-format signal of the address signal or the like to both magnetization film 3 1 and 3 2 are recorded includes a second perpendicular magnetic film 3 2.

【0033】このように、トラッキングサーボ用の信号
として、従来の光磁気記録媒体におけるプリグルーブに
相当する信号を記録しておき、プッシュプル法によって
トラッキングサーボをかけることができる。
As described above, a signal corresponding to a pre-groove in a conventional magneto-optical recording medium is recorded as a signal for tracking servo, and tracking servo can be applied by a push-pull method.

【0034】この本発明方式における信号処理方法を図
4を参照して説明する。この場合、トラッキングサーボ
信号を光磁気信号から得る点において従来の光磁気記録
方式と相違する。半導体レーザ等の光源31から、ハー
フミラー32、対物レンズ33を介して光磁気記録媒体
10に対し光スポットが照射される。ここから読み出さ
れた信号を、ハーフミラー31で反射させて、別のハー
フミラー34で分離する。そして夫々の信号を検光子3
5a、35bを介してフォトディテクタ36a、36b
により検出し、各信号a,b,c,d,e,f,g,h
を得る。そして減算器37a、37b、37c及び37
dにより、A=a−e、B=b−f、C=c−g、D=
d−hの各信号を演算し、更に加算器38a及び38
b、減算器39を用いて(A+D)−(B+C)の信号
を演算してトラッキングエラー信号40を得ることがで
きる。
The signal processing method according to the present invention will be described with reference to FIG. This case differs from the conventional magneto-optical recording system in that the tracking servo signal is obtained from the magneto-optical signal. A light spot is emitted from a light source 31 such as a semiconductor laser to the magneto-optical recording medium 10 via a half mirror 32 and an objective lens 33. The signal read therefrom is reflected by the half mirror 31 and separated by another half mirror 34. Then, each signal is analyzed by the analyzer 3.
Photodetectors 36a, 36b via 5a, 35b
And the signals a, b, c, d, e, f, g, h
Get. And subtracters 37a, 37b, 37c and 37
According to d, A = ae, B = bf, C = cg, D =
d-h, and adders 38a and 38
(b) The tracking error signal 40 can be obtained by calculating the signal of (A + D)-(B + C) using the subtractor 39.

【0035】ちなみに、従来のプリグルーブを形成した
媒体を用いたプッシュプル法を行う場合、1つのフォト
ディテクタによって、(a+d)−(b+c)の信号を
得てトラッキングサーボに用いている。
When a conventional push-pull method using a medium having a pre-groove is used, a signal (a + d)-(b + c) is obtained by one photodetector and used for tracking servo.

【0036】尚、サーボ信号としては、その他ウォブリ
ング信号を用いることも可能であることはいうまでもな
い。
It is needless to say that other wobbling signals can be used as the servo signals.

【0037】上述したように本発明方式においては、比
較的高いレーザパワーと比較的低いレーザパワーをもっ
て第1及び第2の垂直磁化膜31 及び32 に記録消去を
行う必要がある。このようなレーザを備えた光磁気記録
装置を用いて、プリフォーマット信号及び情報信号を記
録することにより、プリフォーマット信号と情報信号と
が互いに偏芯を生じることなくほぼ同心円状に構成さ
れ、サーボ系の負担を軽減することができ、トラッキン
グサーボ帯域及びフォーカスサーボ帯域を共に1/2程
度に抑えることができる。
[0037] In the present invention method as described above, it is necessary to perform recording and erasing to the vertical magnetization film 3 1 and 3 2 relatively with a low laser power of the first and second relatively high laser power. By recording a preformat signal and an information signal using a magneto-optical recording device equipped with such a laser, the preformat signal and the information signal are formed substantially concentrically without eccentricity with each other, and the servo The load on the system can be reduced, and both the tracking servo band and the focus servo band can be suppressed to about 1/2.

【0038】また、プリフォーマット信号記録専用光磁
気記録装置を用いてプリフォーマット信号を予め記録
し、通常の光磁気記録装置を用いて情報信号の記録再生
を行うにあたって、偏芯が10μm以下となるチャッキ
ング手段を用いることによって、同様にフォーカスサー
ボ系の負担を軽減し、この場合においてもトラッキング
サーボ帯域及びフォーカスサーボ帯域を共に1/2程度
に抑えることができる。このようなチャッキング手段の
各例を、図5及び図6を参照して説明する。
In addition, when a preformat signal is recorded in advance by using a magneto-optical recording device exclusively for recording preformat signals and an information signal is recorded and reproduced using a normal magneto-optical recording device, the eccentricity becomes 10 μm or less. By using the chucking means, the load on the focus servo system can be similarly reduced, and in this case, both the tracking servo band and the focus servo band can be suppressed to about 1/2. Each example of such a chucking means will be described with reference to FIGS.

【0039】先ず、プリフォーマット信号記録専用光磁
気記録装置の概略図を図5に示す。光磁気記録媒体10
はスピンドルモータ21にチャックした状態で固定さ
れ、このスピンドルモータ21がスピンドルモータチャ
ッキング手段22にチャックされて装置に装着され、プ
リフォーマット信号の例えばトラッキングサーボ信号、
アドレス信号等、またグルーブ部の記録が行われる。ま
たこの場合トラッキングサーボ信号等のプリフォーマッ
ト信号記録用ピックアップ23を非常に高い精度で移動
させ、この後記録再生装置にスピンドルモータ毎組み込
むことによって、偏芯を殆どゼロとすることが可能にな
る。
First, FIG. 5 is a schematic diagram of a magneto-optical recording apparatus dedicated to preformat signal recording. Magneto-optical recording medium 10
Is fixed in a state where it is chucked to the spindle motor 21. The spindle motor 21 is chucked by the spindle motor chucking means 22 and mounted on the apparatus.
Recording of an address signal and the like and a groove portion is performed. In this case, the eccentricity can be reduced to almost zero by moving the pickup 23 for recording the preformat signal such as the tracking servo signal with very high accuracy and then incorporating the spindle motor into the recording / reproducing apparatus.

【0040】また、このような機能を記録再生装置自体
に持たせることにより、媒体10を組み込んだ後にトラ
ッキング信号等のプリフォーマット信号の記録を行うこ
ともできる。
By providing such a function in the recording / reproducing apparatus itself, it is possible to record a preformat signal such as a tracking signal after the medium 10 is incorporated.

【0041】また、図6に示すように、媒体を装置内に
固定して組み込むいわゆるハードディスクで行われてい
るように、加工精度、取り付け精度共に、通常の光磁気
記録媒体で用いられているハブと比較して非常に高い精
度で偏芯を抑制して取り付けを行い得るいわゆるボスを
用いることによって、偏芯が10μm以下となるチャッ
キング手段25を構成することができる。
As shown in FIG. 6, a hub used in a normal magneto-optical recording medium has both processing accuracy and mounting accuracy, as is performed with a so-called hard disk in which a medium is fixedly mounted in an apparatus. By using a so-called boss capable of performing attachment with very high accuracy while suppressing eccentricity, it is possible to configure the chucking means 25 having eccentricity of 10 μm or less.

【0042】この場合、金属円盤等より成るボス26
は、光磁気記録媒体10の中心部に、接着又はネジ止め
等により固定される。このボスの中心に設けられた開孔
部26aの内径は、この光磁気記録媒体10が装着され
るスピンドルモータの軸の外径にほぼ等しく遊びの生じ
ないように形成され、モータの軸と隙間なく嵌合され
る。これにより、偏芯を10μm以下に抑えることがで
きる。これは、従来の光磁気記録媒体における偏芯量4
0〜50μmに対し、1/4〜1/5程度に相当する。
In this case, the boss 26 made of a metal disk or the like is used.
Is fixed to the center of the magneto-optical recording medium 10 by bonding or screwing. The inner diameter of the aperture 26a provided at the center of the boss is formed so as to be substantially equal to the outer diameter of the shaft of the spindle motor on which the magneto-optical recording medium 10 is mounted, so that play does not occur. It is fitted without. Thereby, the eccentricity can be suppressed to 10 μm or less. This is the amount of eccentricity 4 in the conventional magneto-optical recording medium.
This corresponds to about 4 to 5 of 0 to 50 μm.

【0043】更に、透明基板1の材料として、従来用い
られているPC等の樹脂ではなく、ガラス基板を用いる
ことによって、面振れ即ちディスクの基準面からの変移
を1/10程度に抑えることができる。
Further, by using a glass substrate as a material for the transparent substrate 1 instead of a resin such as a conventionally used PC, it is possible to suppress the surface runout, that is, the displacement from the reference surface of the disk to about 1/10. it can.

【0044】尚、本発明は上述のチャッキング手段に限
定されることなく、その他偏芯量を10μm以下程度に
抑制し得る種々の構成を採り得ることはいうまでもな
い。
It is needless to say that the present invention is not limited to the above-mentioned chucking means, but may adopt various other structures capable of suppressing the amount of eccentricity to about 10 μm or less.

【0045】次に、上述の光磁気記録媒体1において、
第1及び第2の垂直磁化膜31 及び32 の間の第2の誘
電体膜22 を、これら各垂直磁化膜に働く磁気的な相互
作用、即ち交換結合及び静磁結合を小さくすることが可
能な非磁性層、面内磁化膜等の切断層を設ける場合の作
用効果を以下に説明する。
Next, in the magneto-optical recording medium 1 described above,
A second dielectric film 2 2 between the first and second vertical magnetic film 3 1 and 3 2 and magnetic interaction acting on respective perpendicular magnetization film, i.e. the exchange coupling and magnetostatic coupling small The operation and effect when a cutting layer such as a non-magnetic layer and an in-plane magnetized film that can be provided will be described below.

【0046】この場合図7に示すように、第1及び第2
の垂直磁化膜31 及び32 の間に、誘電体膜に代えてF
0.7 Co0.3 等の面内磁化膜を用いて切断層4を設け
て構成し、その他の膜の材料、膜厚を上述の図1におい
て説明した例と同様に選定した。即ち第1の垂直磁化膜
1 をTb0.185 (Fe0.95Co0.050.815 によりT
1 =180℃として、第2の垂直磁化膜32 を(Gd
0.83Tb0.170.205(Fe0.70Co0.300.795 によ
りTc2 =360℃として、またSiNX 等の第1及び
第3の誘電体膜21 及び23 をその膜厚をそれぞれ11
00Å、800Åとし、Al等の熱伝導膜5の膜厚を5
50Åとして光磁気記録媒体を構成した。
In this case, as shown in FIG.
During the vertical magnetization film 3 1 and 3 2, instead of the dielectric film F of
The cutting layer 4 was provided using an in-plane magnetized film of e 0.7 Co 0.3 or the like, and the material and thickness of the other films were selected in the same manner as in the example described in FIG. T that is, the first vertical magnetic film 3 1 by Tb 0.185 (Fe 0.95 Co 0.05) 0.815
As c 1 = 180 ℃, the second vertical magnetic film 3 2 (Gd
0.83 Tb 0.17) 0.205 (Fe 0.70 Co 0.30) 0.795 by the Tc 2 = 360 ° C., also the first and third such SiN X dielectric film 2 1 and 2 3 and the thickness, respectively 11
00 ° and 800 °, and the thickness of the heat conductive film 5 of Al or the like is 5
The magneto-optical recording medium was formed at 50 °.

【0047】このような構成において、切断層の膜厚に
対する各第1及び第2の垂直磁化膜31 及び32 の間の
界面磁壁エネルギーの変化を測定した。この結果を図8
に示す。この図から、切断層の膜厚を50Å程度とする
ことで、磁壁エネルギーを殆どゼロとすることができる
ことがわかる。
[0047] In such a configuration, to measure the change in the interface wall energy between the perpendicular magnetization film 3 1 and 3 2 film of each of the first and second to the thickness of the cutting layer. This result is shown in FIG.
Shown in From this figure, it is understood that the domain wall energy can be made almost zero by setting the thickness of the cutting layer to about 50 °.

【0048】この結果をもとに、切断層の膜厚を40Å
として、その他の構成は上述の実施例と同様に選定した
光磁気記録媒体を作製し、情報の記録を行ったところ、
第2の垂直磁化膜32 の影響を受けることなく良好なS
/Nをもって記録を行うことができた。
Based on the results, the thickness of the cut layer was set to 40 °
As for other configurations, a magneto-optical recording medium selected in the same manner as in the above-described embodiment was manufactured, and information was recorded.
Second good S without being affected by the perpendicular magnetic film 3 2
/ N could be recorded.

【0049】この場合においても、第1及び第2の垂直
磁化膜の構成を逆としたり、又上述の範囲で材料組成を
変更することも可能であり、更に切断層として希土類元
素や他の遷移金属、或いは非磁性層、例えばAl、C
u、Ti等の金属など、磁化膜31 及び32 の間に働く
磁気的相互作用即ち交換結合、静磁結合を小さくする他
の材料を用いることができる。
Also in this case, the constitutions of the first and second perpendicular magnetization films can be reversed, and the material composition can be changed within the above-mentioned range. Metal or non-magnetic layer such as Al, C
u, a metal such as Ti, magnetic interaction i.e. exchange coupling exerted between the magnetic film 3 1 and 3 2, it is possible to use other materials to reduce the magnetostatic coupling.

【0050】また更に、図9に示す如く、切断層として
特に膜を設けることなく、第1の垂直磁化膜31 を被着
した後所定時間放置して、その後第2の垂直磁化膜
2 、第2の誘電体膜22 及び熱伝導膜を設け、第1の
垂直磁化膜31 の表面を変質させることによって切断層
を構成することもできる。この場合、各第1及び第2の
垂直磁化膜31 及び32 、第1及び第3の誘電体膜21
及び23 、熱伝導膜5の膜厚及び材料を上述の図1にお
いて説明した例と同様に選定して、真空薄膜形成方法に
より基板1上に第1の誘電体膜21 及び第1の垂直磁化
膜31 を被着形成し、その後真空チャンバー内にある時
間t〔sec〕放置した後、第2の垂直磁化膜32 、第
2の誘電体膜23 及び熱伝導膜5を成膜し、各放置時間
に対する第1及び第2の垂直磁化膜31 及び32 の間の
界面磁壁エネルギーの変化を測定した。この結果を図1
0に示す。この結果から、放置時間tを100sec程
度とすることで、磁壁エネルギーを殆どゼロとすること
ができることがわかる。
[0050] Furthermore, as shown in FIG. 9, without particularly providing the film as a cutting layer, the first predetermined time left after depositing a perpendicular magnetization film 3 1, then the second vertical magnetic film 3 2 , it is also possible to configure the switching layer by a second dielectric film 2 2 and thermal conductivity film is provided, to alter the first vertical magnetic film 3 first surface. In this case, each of the first and second vertical magnetic film 3 1 and 3 2, the first and third dielectric films 2 1
And 2 3, the thickness and material of the heat conductive film 5 is selected similarly to the example described in FIG. 1 described above, the vacuum thin film forming method on the substrate 1 first dielectric film 2 1 and the first the perpendicular magnetization film 3 1 deposited form, then after the time t (sec) left in the vacuum chamber, the second vertical magnetic film 3 2, the second dielectric film 2 3 and thermal conductivity film 5 formed and films were measured the change in the interface wall energy between the first and second vertical magnetic film 3 1 and 3 2 for each standing time. This result is shown in FIG.
0 is shown. From this result, it is understood that the domain wall energy can be made almost zero by setting the leaving time t to about 100 sec.

【0051】この結果をもとに、放置時間tを100s
ecとして光磁気記録媒体10を形成、情報信号の記録
を行ったところ、第2の垂直磁化膜32 の影響を受ける
ことなく記録を行うことができた。
Based on the result, the leaving time t is set to 100 seconds.
forming a magneto-optical recording medium 10 as ec, was subjected to recording of information signals, it was possible to perform recording without being affected by the second perpendicular magnetic film 3 2.

【0052】この例においては切断層として特に膜を設
けない場合を示したが、第1及び第2の垂直磁化膜31
及び32 の界面にH2 O、N2 、CO2 ガスを吸着させ
たり、O2 ガスを導入することによって第1の垂直磁化
膜31 の表面を酸化するなどして、第1及び第2の垂直
磁化膜31 及び32 の界面を化学変化によって変質させ
る場合においても同様に磁気的相互作用を低減化するこ
とができ、本発明における切断層を設ける構成に相当す
ることとなる。
In this example, the case where no film is provided as the cutting layer is shown, but the first and second perpendicular magnetization films 3 1 are used.
And 3 to second interface H 2 O, or is adsorbed N 2, CO 2 gas, such as by oxidizing the first vertical magnetic film 3 first surface by introducing O 2 gas, first and second In the case where the interface between the two perpendicular magnetization films 3 1 and 3 2 is altered by a chemical change, the magnetic interaction can be similarly reduced, which corresponds to the configuration in which the cutting layer is provided in the present invention.

【0053】この場合においても、第1及び第2の垂直
磁化膜31 及び32 を逆に設けるとか、又その組成を前
述したように変更して構成することもでき、また磁性層
材料を公知の希土類−遷移金属アモルファス材料の何れ
を用いても良く、添加元素としてCr、Tiを加えても
良い。
[0053] In this case, Toka providing the first and second vertical magnetic film 3 1 and 3 2 Conversely, also can be configured to change its composition as described above, also the magnetic layer material Any of the known rare earth-transition metal amorphous materials may be used, and Cr and Ti may be added as additional elements.

【0054】次に、上述の図1、図7及び図9において
説明した光磁気記録媒体10の各構成を採って、各垂直
磁化膜のうち透明基板1に近いこの場合第1の垂直磁化
膜3 1 の膜厚を変化させたときの第2の垂直磁化膜32
の各磁化方向(即ち読み出し側に向かって上向き、下向
き)の信号強度の変化を測定した。各例共に、第1及び
第2の垂直磁化膜31 及び32 をそれぞれ上述の例と同
様にTb0.185 (Fe 0.95Co0.050.815 、(Gd
0.83Tb0.170.205 (Fe0.70Co0.300.79 5 を用
いて膜厚をそれぞれ100Åとして構成し、各誘電体膜
をSiNX 、熱伝導膜をAlにより構成して、熱伝導膜
5の膜厚を550Åとして光磁気記録媒体を構成した。
Next, referring to FIG. 1, FIG. 7 and FIG.
Each configuration of the magneto-optical recording medium 10 described above is adopted, and each
In this case, the first perpendicular magnetization of the magnetized film which is close to the transparent substrate 1
Membrane 3 1Perpendicular magnetization film 3 when the film thickness is changedTwo
Magnetization directions (ie, upward and downward toward the read side)
The change of the signal intensity of the above-mentioned (i) was measured. In each case, the first and
Second perpendicular magnetization film 31And 3TwoIs the same as the above example
Like Tb0.185(Fe 0.95Co0.05)0.815, (Gd
0.83Tb0.17)0.205(Fe0.70Co0.30)0.79 FiveFor
Each dielectric film
To SiNX, The heat conductive film is made of Al, and the heat conductive film
The magneto-optical recording medium was constructed by setting the thickness of No. 5 to 550 °.

【0055】先ず、図1において説明した構成を採っ
て、第1〜第3の各誘電体膜21 〜2 3 の膜厚を110
0Å、400Å、800Åとした場合の測定結果を図1
1に示す。図中実線a1 で示す●は、両垂直磁化膜31
及び32 の磁化が揃って読み出し側に向かって上向きと
なっている平行状態、実線b1 で示す○は、下側の垂直
磁化膜、この場合第2の垂直磁化膜32 の磁化のみが読
み出し側に向かって逆向き即ち下向きとなっている反平
行状態を示す。この場合、第1の垂直磁化膜31の膜厚
が600Å以上になると、読み出し側と反対に位置する
この場合第2の垂直磁化膜32 の磁化状態が変化したと
きの信号の変調度が十分に得られなくなることがわか
る。従ってこの場合基板1に近い膜31 の膜厚は600
Å以下とすることが望ましいことがわかる。
First, the configuration described with reference to FIG.
And the first to third dielectric films 21~ 2 ThreeFilm thickness of 110
FIG. 1 shows the measurement results at 0 °, 400 °, and 800 °.
It is shown in FIG. Solid line a in the figure1The symbol ● indicates both perpendicular magnetization films 31
And 3TwoAnd the magnetization of
Parallel state, solid line b1○ shown by is the lower vertical
Magnetic film, in this case second perpendicular magnetic film 3TwoOnly the magnetization of
The anti-flat that is facing in the opposite direction, that is, facing downward
Indicates the line status. In this case, the first perpendicular magnetization film 31Film thickness
Is more than 600 °, it is located opposite to the reading side
In this case, the second perpendicular magnetization film 3TwoThe magnetization state of
That the modulation of the current signal cannot be obtained sufficiently
You. Therefore, in this case, the film 3 close to the substrate 11Film thickness is 600
わ か る It is understood that it is desirable to set the following.

【0056】次に、図7において説明した構成を採っ
て、第1及び第2の垂直磁化膜31 及び32 の間に誘電
体膜に代えてFe0.7 Co0.3 の面内磁化膜より成る切
断層4を、膜厚40Åとして設け、第1の垂直磁化膜3
1 の膜厚を100〜1000Åまで変化させたときの、
第2の垂直磁化膜32 の信号強度の変化を測定した。こ
の結果を図12に示す。図中●で示す実線a2 及び○で
示す実線b2 は、上述の図11と同様に、それぞれ各垂
直磁化膜31 及び32 の磁化の向きが平行、反平行とな
っている場合を示す。
Next, taking the configuration described in FIG. 7, consisting of the in-plane magnetization film of Fe 0.7 Co 0.3 in place of the dielectric film between the first and second vertical magnetic film 3 1 and 3 2 The cutting layer 4 is provided with a thickness of 40 °, and the first perpendicular magnetization film 3 is formed.
When the film thickness of 1 was changed from 100 to 1000 °,
The change of the second signal strength of the perpendicular magnetic film 3 2 were measured. The result is shown in FIG. The solid line b 2 shown by the solid line a 2 and ○ shows in FIG ●, similar to FIG. 11 described above, a case where each of the perpendicular magnetic film 3 1 and 3 2 of the magnetization directions respectively becomes parallel, antiparallel Show.

【0057】この結果から、このような構成を採る場合
第1の垂直磁化膜31 の膜厚を700Å以上とすると読
み出し側と反対側の記録層即ち第2の垂直磁化膜32
磁化状態が変化したときの信号の変調度が十分に得られ
ないことがわかる。従って、第1の垂直磁化膜31 の膜
厚は700Å以下が望ましいことがわかる。
[0057] From this result, the first vertical magnetic film 3 1 of the film thickness to be at least 700Å and read side opposite the recording layer or second magnetization state of the vertical magnetization film 3 2 When such a configuration It can be understood that the modulation degree of the signal at the time of changing is not sufficiently obtained. Therefore, the first vertical magnetic film 3 1 of the film thickness is found to be less desirable 700 Å.

【0058】次に、図9において説明した構成を採っ
て、第1及び第2の垂直磁化膜31 及び32 の間に切断
層4として特に膜を設けることなく、第1の垂直磁化膜
1 を被着した後、真空チャンバー内に100sec放
置して、この上に第2の垂直磁化膜32 、第2の誘電体
膜22 、熱伝導膜5を構成した場合において、第1の垂
直磁化膜31 の膜厚を100〜1000Åまで変化させ
たときの第2の垂直磁化膜32 の信号強度の変化を測定
した。この結果を図13に示す。図中●で示す実線a3
及び○で示す実線b3 は、上述の図11と同様に、それ
ぞれ各垂直磁化膜31 及び32 の磁化の向きが平行、反
平行となっている場合を示す。
Next, taking the configuration described in FIG. 9, without particularly providing the film as a cutting layer 4 between the first and second vertical magnetic film 3 1 and 3 2, the first vertical magnetic film 3 1 after depositing and then 100sec left in the vacuum chamber, the second vertical magnetic film 3 2 thereon, a second dielectric film 2 2, in case where the heat conducting film 5, the first of measuring a second variation of the signal strength of the perpendicular magnetic film 3 2 when the perpendicular magnetization film 3 1 of the film thickness was varied from 100 to 1000 Å. The result is shown in FIG. Solid line a 3 indicated by ● in the figure
And solid b 3 shown in ○ denotes a case where the same manner as FIG. 11 described above, each magnetization direction of the perpendicular magnetization film 3 1 and 3 2 has parallel, antiparallel.

【0059】この結果から、このような構成を採る場合
は第1の垂直磁化膜31 の膜厚を700Å以上とすると
読み出し側と反対側の記録層即ち第2の垂直磁化膜32
の磁化状態が変化したときの信号の変調度が十分に得ら
れないことがわかる。従って、第1の垂直磁化膜31
膜厚は700Å以下が望ましいことがわかる。
[0059] This result, such an arrangement a first of the perpendicular magnetization film 3 1 of the film thickness and more 700Å and read side opposite the recording layer i.e. the second when taking perpendicular magnetic film 3 2
It can be seen that the degree of modulation of the signal when the magnetization state changes is not sufficient. Therefore, the first vertical magnetic film 3 1 of the film thickness is found to be less desirable 700 Å.

【0060】よって本発明においては、基板1に近い膜
の膜厚を100Å以上600Å以下に選定するものであ
る。
Therefore, in the present invention, the thickness of the film close to the substrate 1 is selected to be not less than 100 ° and not more than 600 °.

【0061】次に、第1及び/又は第2の垂直磁化膜3
1 及び/又は32 に近接してこの第1及び/又は第2の
垂直磁化膜31 及び/又は32 の熱伝導率に比し高い熱
伝導率を有する熱伝導膜5を設ける構成の作用効果を以
下に説明する。
Next, the first and / or second perpendicular magnetization film 3
Close to 1 and / or 3 second configuration providing a thermally conductive film 5 having a high thermal conductivity compared to the first and / or second vertical magnetic film 3 1 and / or 3 2 thermal conductivity The operation and effect will be described below.

【0062】この例においては、図1において説明した
構成を採って光磁気記録媒体10を構成し、熱伝導膜5
の膜厚を変化させて、各垂直磁化膜31 及び32 の記録
開始パワーPth1 及びPth2 を測定した。この結果を図
14に示す。図中○で示す実線cは、第1の垂直磁化膜
1 の記録開始パワー、●で示す実線dは第2の垂直磁
化膜32 の記録開始パワーを示す。
In this example, the magneto-optical recording medium 10 is configured by adopting the configuration described in FIG.
By changing the film thickness was measured recording start power Pth 1 and Pth 2 of the perpendicular magnetization film 3 1 and 3 2. The result is shown in FIG. The solid line c shown in the figure ○ a first vertical magnetic film 3 first recording start power, indicating the solid line d is the second recording start power of the perpendicular magnetization film 3 2 indicated by ●.

【0063】この結果からわかるように、熱伝導膜5を
設ける場合、その膜厚の増加に伴って記録開始パワーP
th1 とPth2 の差が大きくなり、また再生パワーPread
と第1の垂直磁化膜31 の記録開始パワーPth1 との差
が大となることがわかる。即ち熱伝導膜5を設けること
によって、記録再生時のパワーマージンの拡大をはかる
ことができ、特に記録時のマージン拡大に有効である。
As can be seen from the results, when the heat conductive film 5 is provided, the recording start power P
the difference of th 1 and Pth 2 becomes larger, also play power Pread
If the difference between the first and the recording start power Pth 1 perpendicular magnetization film 3 1 it can be seen that a large. That is, by providing the heat conductive film 5, the power margin at the time of recording / reproducing can be expanded, and this is particularly effective for expanding the margin at the time of recording.

【0064】尚、本発明は上述の各例において説明した
構成に限定されることなく、各膜の材料、膜厚等は種々
変形変更が可能であることはいうまでもない。即ち上述
したように、第1及び第2の垂直磁化膜31 及び32
逆の構成としても良く、また誘電体膜21 〜23 の材料
として、SiNX の他例えばZnS等種々の材料を用い
ることが可能である。また、熱伝導膜5の位置は誘電体
膜22 又は23 の後方に限ることなく、例えば第2の垂
直磁化膜32 と誘電体膜との間等、他の位置に設けるこ
とも可能である。更に、磁化膜の材料としては、上述し
たように各元素の組成範囲の変更が可能であると共に、
公知の希土類−遷移金属アモルファス材料の何れを用い
ても良く、これらに添加元素としてCr、Ti、Al等
を加えても良いことはいうまでもない。
It is needless to say that the present invention is not limited to the configuration described in each of the above-described examples, and that the material and thickness of each film can be variously changed and changed. That is, as described above, the first and second vertical magnetic film 3 1 and 3 2 may be a reverse configuration, and as the material of the dielectric film 2 1 to 2 3, of SiN X other example ZnS or the like of various Materials can be used. The position of the heat conductive film 5 is not limited to the rear of the dielectric film 2 2 or 2 3, for example between such a second perpendicular magnetic film 3 2 and the dielectric film, it is also possible to provide the other position It is. Further, as the material of the magnetized film, the composition range of each element can be changed as described above,
Any of the known rare earth-transition metal amorphous materials may be used, and it goes without saying that Cr, Ti, Al, or the like may be added as an additional element.

【0065】[0065]

【発明の効果】上述したように本発明によれば、グルー
ブやピット等の凹凸が設けられない平坦な透明基板2を
用いて、これの上にキュリー温度の異なる第1及び第2
の垂直磁化膜31 及び32 を積層して設ける構成とする
ものであり、キュリー温度の相違を利用して、プリフォ
ーマット信号を予め記録することによって、基板上に凹
凸溝或いはピットを形成するプロセス不要とすることが
できる。このため、ガラス基板等の比較的安価で機械的
強度に優れた透明基板材料を用いることが可能となり、
コストの低減化をはかると共にサーボ系の負担を軽減す
ることができ、また歩留りの向上をはかることができ
る。
As described above, according to the present invention, the first and second transparent substrates 2 having different Curie temperatures are used on the flat transparent substrate 2 having no irregularities such as grooves and pits.
The perpendicular magnetization films 3 1 and 3 2 are laminated and provided, and a preformatted signal is recorded in advance by utilizing a difference in Curie temperature to form an uneven groove or pit on the substrate. Process can be unnecessary. Therefore, it is possible to use a relatively inexpensive transparent substrate material such as a glass substrate having excellent mechanical strength,
The cost can be reduced, the load on the servo system can be reduced, and the yield can be improved.

【0066】また垂直磁化膜31 及び32 の間に切断層
として一層の非磁性層又は面内磁化膜を設けることによ
って、良好なS/N比をもって情報信号の記録再生を行
うことができる。
[0066] Also by providing a further non-magnetic layer or plane magnetization film as a cutting layer between the perpendicular magnetization film 3 1 and 3 2, it is possible to perform recording and reproduction of information signals with good S / N ratio .

【0067】また更に、第1及び第2の垂直磁化膜31
及び32 のうち、透明基板1に近い膜の膜厚を100Å
以上600Å以下として構成することにより、第1及び
第2の垂直磁化膜31 及び32 の特に基板1から離間す
る膜の磁化状態の変調度を十分得ることができる。
Further, the first and second perpendicular magnetization films 3 1
And 3 of 2, 100 Å film thickness close to the transparent substrate 1 film
Or 600Å By configuring as follows, can be a modulation of the magnetization states of the first and second vertical magnetic film 3 1 and 3 2 of the particular film away from the substrate 1 may suffice.

【0068】また、両垂直磁化膜31 及び/又は32
近接してこれに比し高い熱伝導率を有する熱伝導膜5を
設けることによって、パワーマージンの増大化をはか
り、良好なS/N比をもって記録再生を行うことができ
る。
Further, by providing the heat conductive film 5 having a higher thermal conductivity in proximity to the two perpendicular magnetization films 3 1 and / or 3 2 , the power margin can be increased and a good S Recording / reproduction can be performed with the / N ratio.

【0069】更にまた、プリフォーマット信号及び情報
信号の記録を同一の装置内において行うことによって、
偏芯を生じることなくトラッキングサーボ信号、アドレ
ス信号を書き込むことができることから、サーボ系の負
担を軽減し、トラッキングサーボ信号及びフォーカスサ
ーボ信号にサーボ帯域を1/2程度に低減化することが
できる。
Further, by recording the preformat signal and the information signal in the same device,
Since the tracking servo signal and the address signal can be written without causing eccentricity, the load on the servo system can be reduced, and the servo band for the tracking servo signal and the focus servo signal can be reduced to about 1/2.

【0070】また、プリフォーマット信号記録専用光磁
気記録装置を用いてプリフォーマット信号を予め記録
し、通常の光磁気記録装置を用いて情報信号の記録再生
を行うにあたって、偏芯が10μm以下となるチャッキ
ング手段を用いることにより、同様にサーボ系の負担を
軽減し、サーボ帯域を低減化することができる。
Further, when a preformat signal is recorded in advance by using a magneto-optical recording device dedicated to preformat signal recording and recording and reproduction of an information signal are performed by using a normal magneto-optical recording device, the eccentricity becomes 10 μm or less. By using the chucking means, the load on the servo system can be similarly reduced, and the servo band can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の要部断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a main part of an embodiment of the present invention.

【図2】データゾーンの磁化態様の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a magnetization mode of a data zone.

【図3】プリフォーマット信号ゾーンの磁化態様の説明
図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of a magnetization mode of a preformat signal zone.

【図4】光磁気記録方式の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a magneto-optical recording method.

【図5】プリフォーマット信号記録専用光磁気記録装置
の概略図である。
FIG. 5 is a schematic diagram of a magneto-optical recording device dedicated to preformat signal recording.

【図6】チャッキング手段の一例説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of an example of a chucking unit.

【図7】本発明の他の実施例の構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram of another embodiment of the present invention.

【図8】切断層の膜厚に対する界面磁壁エネルギーの変
化を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a change in interface domain wall energy with respect to the thickness of a cutting layer.

【図9】本発明の他の実施例の構成図である。FIG. 9 is a configuration diagram of another embodiment of the present invention.

【図10】放置時間に対する界面磁壁エネルギーの時間
変化を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a time change of the interface domain wall energy with respect to a leaving time.

【図11】垂直磁化膜の膜厚に対する信号強度の変化を
示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing a change in signal intensity with respect to the thickness of a perpendicular magnetization film.

【図12】垂直磁化膜の膜厚に対する信号強度の変化を
示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing a change in signal intensity with respect to the thickness of a perpendicular magnetization film.

【図13】垂直磁化膜の膜厚に対する信号強度の変化を
示す図である。
FIG. 13 is a diagram showing a change in signal intensity with respect to the thickness of a perpendicular magnetization film.

【図14】熱伝導膜の膜厚に対する記録開始パワーの変
化を示す図である。
FIG. 14 is a diagram showing a change in recording start power with respect to the thickness of a heat conductive film.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 透明基板 21 第1の誘電体膜 22 第2の誘電体膜 23 第3の誘電体膜 31 第1の垂直磁化膜 32 第2の垂直磁化膜 4 切断層 5 熱伝導膜 10 光磁気記録媒体DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent substrate 2 1 1st dielectric film 2 2 2nd dielectric film 2 3 3rd dielectric film 3 1 1st perpendicular magnetization film 3 2 2nd perpendicular magnetization film 4 Cutting layer 5 Thermal conductive film 10 Magneto-optical recording medium

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI G11B 11/105 556 G11B 11/105 556C 581 581Z 21/10 21/10 W 23/00 601 23/00 601A (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 11/105 G11B 23/00 G11B 21/10 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI G11B 11/105 556 G11B 11/105 556C 581 581Z 21/10 21/10 W 23/00 601 23/00 601A (58) Field (Int.Cl. 7 , DB name) G11B 11/105 G11B 23/00 G11B 21/10

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 平坦な透明基板に、少なくとも第1の垂
直磁化膜、切断層、第2の垂直磁化膜及び熱伝導膜が順
次形成され、 上記切断層として非磁性層又は面内磁化膜が設けられ、 上記熱伝導膜は、上記第1及び第2の垂直磁化膜の熱伝
導率に比し高い熱伝導率を有する材料よりなり、 上記第1及び第2の垂直磁化膜のキュリー温度をそれぞ
れTc1 及びTc2 としたときに、 Tc1 <Tc2 とされ、上記第2の垂直磁化膜に記録されたトラッキン
グサーボ用信号を破壊することなく上記第1の垂直磁化
膜に記録又は消去することを特徴とする光磁気記録媒
体。
At least a first perpendicular magnetization film, a cutting layer, a second perpendicular magnetization film, and a heat conduction film are sequentially formed on a flat transparent substrate, and a nonmagnetic layer or an in-plane magnetization film is used as the cutting layer. The heat conductive film is made of a material having a higher thermal conductivity than the thermal conductivity of the first and second perpendicular magnetic films, and has a Curie temperature of the first and second perpendicular magnetic films. When Tc 1 and Tc 2 respectively, Tc 1 <Tc 2, and recording or erasing on the first perpendicular magnetic film without destroying the tracking servo signal recorded on the second perpendicular magnetic film. A magneto-optical recording medium.
【請求項2】 少なくとも上記第1の垂直磁化膜、上記
第2の垂直磁化膜及び上記熱伝導膜が真空薄膜形成方法
により形成されてなることを特徴とする請求項1に記載
の光磁気記録媒体。
2. The magneto-optical recording according to claim 1, wherein at least the first perpendicular magnetic film, the second perpendicular magnetic film, and the heat conductive film are formed by a vacuum thin film forming method. Medium.
【請求項3】 上記第1及び第2の垂直磁化膜の記録開
始パワーをそれぞれPth1 及びPth2 、最適記録パワー
をそれぞれPrec1及びPrec2とし、再生パワーをPread
としたときに、 Prec2>Pth2 となるパワーPrec2のレーザを照射してトラッキングサ
ーボ用信号を記録した後、記録磁界Hrec の下で、 Pth2 >Prec1>Pth1 >Pread を満たす記録消去パワーPrec1のレーザを照射して記録
消去を行うことを特徴とするする請求項1又は2に記載
の光磁気記録媒体。
Wherein said first and second vertical magnetic film each Pth 1 and Pth 2 start recording power, the optimum recording power, respectively Prec 1 and Prec 2, Pread the reproducing power
Then, after irradiating a laser of power Prec 2 that satisfies Prec 2 > Pth 2 to record a tracking servo signal, a recording satisfying Pth 2 > Prec 1 > Pth 1 > Pread under a recording magnetic field Hrec. magneto-optical recording medium according would like the to claim 1 or 2, characterized in that performing recording and erasing by irradiating a laser erasing power Prec 1.
【請求項4】 上記第1の垂直磁化膜の膜厚が、100
Å以上600Å以下とされてなることを特徴とする請求
項1、2又は3に記載の光磁気記録媒体。
4. The method according to claim 1, wherein the thickness of the first perpendicular magnetization film is 100
4. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the angle is not less than {not less than 600}.
【請求項5】 平坦な透明基板に、少なくとも第1の垂
直磁化膜と、非磁性層又は面内磁化膜よりなる切断層
と、上記第1の垂直磁化膜より高いキュリー温度を有す
る第2の垂直磁化膜と、上記第1及び第2の垂直磁化膜
の熱伝導率に比し高い熱伝導率を有する熱伝導膜とが形
成されてなる光磁気記録媒体を用いて、 データの記録或いは消去を行うレーザパワーよりも相対
的に高いレーザパワーで、上記第1の垂直磁化膜に比し
てキュリー温度の高い上記第2の垂直磁化膜にトラッキ
ングサーボ用信号を含むプリフォーマット信号を予め記
録し、上記データの記録或いは消去を行うレーザパワーで、上
記第2の垂直磁化膜に記録したプリフォーマット信号を
破壊することなく、上記第1の垂直磁化膜にデータの記
録或いは消去を行うこ とを特徴とする光磁気記録方式。
5. A flat transparent substrate, at least a first and a perpendicular magnetization film, and a switching fault of a non-magnetic layer or plane magnetization film, the second having a higher Curie temperature than the first vertical magnetized film Recording or erasing data using a magneto-optical recording medium having a perpendicular magnetic film and a heat conductive film having a higher thermal conductivity than the first and second perpendicular magnetic films. at relatively high laser power than the laser power for performing, compared to the first vertical magnetized film
A preformat signal including a tracking servo signal is previously recorded in the second perpendicular magnetization film having a high Curie temperature, and the laser power for recording or erasing the data is used.
The preformat signal recorded on the second perpendicular magnetization film is
Data can be written on the first perpendicular magnetization film without destruction.
Recording or a magneto-optical recording method, wherein that you erasing.
【請求項6】 上記プリフォーマット信号を予め記録す
る際に、 光磁気記録媒体をスピンドルモータにチャックした状態
で固定し、上記スピンドルモータをスピンドルチャッキ
ング手段によってプリフォーマット信号記録専用光磁気
記録装置に装着して上記プリフォーマット信号を記録
し、 この後光磁気記録装置に上記光磁気記録媒体を上記スピ
ンドルモータごと組み込むことによって、偏芯を0μm
以上10μm以下とすることを特徴とする請求項5に記
載の光磁気記録方式。
6. When recording the preformat signal in advance, the magnetooptical recording medium is fixed in a state where it is chucked by a spindle motor, and the spindle motor is rotated by a spindle chucking means in a magnetooptical recording apparatus dedicated to preformat signal recording. The pre-format signal is recorded by mounting, and then the eccentricity is reduced to 0 μm by incorporating the magneto-optical recording medium into the magneto-optical recording device together with the spindle motor.
6. The magneto-optical recording method according to claim 5, wherein the thickness is not less than 10 μm.
【請求項7】 上記プリフォーマット信号を予め記録す
る際に、 光磁気記録媒体をスピンドルモータにチャックした状態
で固定し、上記スピンドルモータをスピンドルチャッキ
ング手段によってプリフォーマット信号を記録する機能
を有する光磁気記録装置に装着して、上記プリフォーマ
ット信号を記録することによって、偏芯を0μm以上1
0μm以下とすることを特徴とする請求項5に記載の光
磁気記録方式。
7. A light source having a function of recording a preformat signal by a spindle chucking means by fixing a magneto-optical recording medium to a spindle motor in a state where the preformat signal is recorded in advance by a chuck. The eccentricity is set to 0 μm or more by attaching the magnetic recording device and recording the preformat signal.
6. The magneto-optical recording method according to claim 5, wherein the thickness is set to 0 μm or less.
【請求項8】 上記プリフォーマット信号を予め記録す
る際に、 光磁気記録媒体の中心部に金属円盤より成るボスを固定
し、上記ボスをスピンドルモータの軸に嵌合することに
よって、上記光磁気記録媒体を上記スピンドルモータに
偏芯を0μm以上10μm以下としてチャッキングする
チャッキング手段を用いることを特徴とする請求項5に
記載の光磁気記録方式。
8. When the preformat signal is recorded in advance, a boss made of a metal disk is fixed to a center portion of a magneto-optical recording medium, and the boss is fitted to a spindle motor shaft. 6. The magneto-optical recording system according to claim 5, wherein a chucking means for chucking the recording medium with the spindle motor having an eccentricity of 0 μm or more and 10 μm or less is used.
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