JPH07302444A - Magneto-optical recording medium - Google Patents
Magneto-optical recording mediumInfo
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- JPH07302444A JPH07302444A JP11427294A JP11427294A JPH07302444A JP H07302444 A JPH07302444 A JP H07302444A JP 11427294 A JP11427294 A JP 11427294A JP 11427294 A JP11427294 A JP 11427294A JP H07302444 A JPH07302444 A JP H07302444A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気光学効果を利用し
てレーザー光により情報の記録再生を行なう光磁気記録
媒体に関し、特に再生用レーザービームスポット中の温
度分布により磁区を部分的に消滅させ或いは拡大させる
ようにして情報の再生を行う方式の光磁気記録媒体に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium for recording / reproducing information with a laser beam by utilizing a magneto-optical effect, and in particular, a magnetic domain is partially extinguished by a temperature distribution in a reproducing laser beam spot. The present invention relates to a magneto-optical recording medium of a type in which information is reproduced by causing it to be expanded or enlarged.
【０００２】[0002]
【従来の技術】レーザー光により情報の再生を行う光デ
ィスク等は、記録密度が高いことから、大容量記憶装置
として優れている。2. Description of the Related Art Optical discs and the like for reproducing information by laser light are excellent as large-capacity storage devices because of their high recording density.
【０００３】一般に書換可能な光ディスク等の光記録媒
体としては、磁気力−効果を利用した光磁気方式のもの
が用いられている。Generally, as a rewritable optical recording medium such as an optical disk, a magneto-optical recording medium utilizing a magnetic force effect is used.
【０００４】従来例の代表的な光磁気記録媒体の概略断
面図を、図８に示す（例えば、エス・ピー・アイ・イー
・ブロシーディング第1316巻，81頁〜90頁，1990年；Ｓ
ＰＩＥ Ｖol．1316，ｐ81〜90，1990）。A schematic cross-sectional view of a typical magneto-optical recording medium of a conventional example is shown in FIG. 8 (for example, S.P.I.E.Brosseeding, Vol. 1316, pp. 81-90, 1990; S
PIE Vol. 1316, p81-90, 1990).
【０００５】この図８に示す光磁気記録媒体は、透明基
板１０１の上に透明干渉層１０２、その上にＧd Ｆe Ｃ
o の非晶質合金のフェリ磁性体で高キュリー温度の第１
の光磁気層１０３、その上にＴb Ｆe の非晶質合金のフ
ェリ磁性体で低キュリー温度の垂直磁化可能な第２の光
磁気層１０４、その上に誘電体保護層１０６を順に設け
たものである。In the magneto-optical recording medium shown in FIG. 8, a transparent interference layer 102 is formed on a transparent substrate 101, and Gd Fe C is formed on the transparent interference layer 102.
First of high Curie temperature in ferrimagnetic material of amorphous alloy of o
A magneto-optical layer 103, a second magneto-optical layer 104 of an amorphous alloy of Tb 2 Fe, which is a ferrimagnetic material, and can be perpendicularly magnetized at a low Curie temperature, and a dielectric protective layer 106 provided in that order. Is.
【０００６】第１の光磁気層１０３の膜の保磁力は再生
を行う温度では比較的小さくされ、第２の光磁気層１０
４の膜の保磁力は再生を行う温度では比較的大きいよう
にされ、再生を行う温度では第１の光磁気層１０３と第
２の光磁気層１０４とは交換結合するようにされてい
る。The coercive force of the film of the first magneto-optical layer 103 is made relatively small at the reproducing temperature, and the second magneto-optical layer 10
The coercive force of the film of No. 4 is set to be relatively large at the reproducing temperature, and the first magneto-optical layer 103 and the second magneto-optical layer 104 are exchange-coupled at the reproducing temperature.
【０００７】記録および再生用のレーザー光は透明基板
１０１を通して入射し、第１の光磁気層１０３および第
２の光磁気層１０４の近傍でおよそ直径（以下、φで表
す）１．４〔μｍ〕になるようにフォーカシング・サー
ボにより集束される。レーザー光源としては波長λが８
３００オングストローム前後の半導体レーザーが用いら
れ、対物レンズの開口数ＮＡとしては０．５５前後のも
のが用いられる。The laser light for recording and reproduction enters through the transparent substrate 101, and has a diameter of 1.4 [μm] in the vicinity of the first magneto-optical layer 103 and the second magneto-optical layer 104. ] Is focused by the focusing servo. As a laser light source, the wavelength λ is 8
A semiconductor laser of about 300 Å is used, and a numerical aperture NA of the objective lens is about 0.55.
【０００８】情報の記録は、情報に対応させて、第２の
光磁気層１０４の温度をこの膜のキュリー温度近傍に昇
温させ、この部分を含む領域に記録バイアス磁界をかけ
ておくことにより、キュリー温度近傍に昇温させた部分
の磁化を他の部分とは逆の方向に配向せしめることによ
って行う。温度が下がった状態ではこの記録された反転
磁区は第１の光磁気層１０３に転写される。Information is recorded by raising the temperature of the second magneto-optical layer 104 to near the Curie temperature of this film and applying a recording bias magnetic field to the region including this portion in correspondence with the information. The magnetization of the portion heated to near the Curie temperature is oriented in the direction opposite to that of the other portions. The recorded reversed magnetic domains are transferred to the first magneto-optical layer 103 when the temperature is lowered.
【０００９】情報の再生は、ほぼ直線偏光にしたレーザ
ー光のビームスポットを第１の光磁気層１０３に相対的
に移動させながら照射し、そこからの反射光を検光子を
介して光学的に検出することによる。光磁気膜は磁気力
−効果により反射光の偏光面を回転させる性質がある。
この反射光を偏光面の回転角θｋは、光磁気層の垂直磁
化の向きにより異なるので、反射光が光検出器に入る前
に検光子を通すことにより磁化の向きに対応した情報を
光量変化として再生することができる。Information is reproduced by irradiating the first magneto-optical layer 103 with a beam spot of substantially linearly polarized laser light while moving it relative to the first magneto-optical layer 103, and optically reflecting the reflected light therefrom. By detecting. The magneto-optical film has the property of rotating the plane of polarization of reflected light by the magnetic force effect.
The rotation angle θk of the plane of polarization of this reflected light differs depending on the direction of perpendicular magnetization of the magneto-optical layer. Therefore, the information corresponding to the direction of magnetization is changed by passing the analyzer through the analyzer before the reflected light enters the photodetector. Can be played as.
【００１０】このような光磁気膜の材料は非常に酸化さ
れやすいので、透明干渉層１０２と誘電体保護層１０６
とで挟みこむことにより光磁気膜が酸化することを防ご
うとしている。Since the material of such a magneto-optical film is very likely to be oxidized, the transparent interference layer 102 and the dielectric protective layer 106.
It tries to prevent the magneto-optical film from being oxidized by being sandwiched between and.
【００１１】しかしながら上述した従来の光磁気記録媒
体及びその記録再生方法では、高い記録密度の情報を再
生することには限界があった。However, the above-mentioned conventional magneto-optical recording medium and the recording / reproducing method thereof have a limit in reproducing information of high recording density.
【００１２】この理由は、記録された情報である反転磁
区のパターンを光学的に読み出すことにより得られる再
生信号の分解能は、再生光学系のレーザー光源の波長λ
と対物レンズの開口数ＮＡとで決定され、その検出限界
の反転磁区周期はおよそλ／（２×ＡＮ）である。従っ
て、光磁気記録媒体の記録再生で高密度化を実現するた
めには、再生光学系の光源波長λを短くし、対物レンズ
の開口数ＮＡを大きくする必要がある。The reason is that the resolution of the reproduction signal obtained by optically reading the pattern of the reversed magnetic domain which is the recorded information is the wavelength λ of the laser light source of the reproduction optical system.
And the numerical aperture NA of the objective lens, and the inversion domain period at the detection limit is approximately λ / (2 × AN). Therefore, in order to realize high density recording / reproducing of the magneto-optical recording medium, it is necessary to shorten the light source wavelength λ of the reproducing optical system and increase the numerical aperture NA of the objective lens.
【００１３】一方、短波長のレーザー光源の開発はレー
ザー光源の寿命の観点で難しいものがある。また、対物
レンズの開口数を大きくすることは光磁気記録媒体の反
り等の観点で難しいものがある。On the other hand, it is difficult to develop a short wavelength laser light source from the viewpoint of the life of the laser light source. Further, it is difficult to increase the numerical aperture of the objective lens from the viewpoint of warping of the magneto-optical recording medium.
【００１４】この状況を鑑み、光磁気記録媒体とその再
生方法を工夫することによる高記録密度化の試みもなさ
れている。In view of this situation, attempts have been made to increase the recording density by devising a magneto-optical recording medium and a reproducing method thereof.
【００１５】例えば特開平３−２４２８４５号公報や特
開平４−２２９４３２号公報には、再生用レーザー光照
射による光磁気層の温度上昇を利用し、記録されている
反転磁区パターンを変形して再生を行うことにより、光
学検出限界以下の反転磁区列に対しても充分な再生出力
が得られるような光磁気記録媒体とその再生方法が図８
の改良として提案されている。For example, in JP-A-3-242845 and JP-A-4-229432, the temperature rise of the magneto-optical layer due to the irradiation of the reproducing laser beam is utilized to modify the recorded reversed magnetic domain pattern for reproduction. FIG. 8 shows a magneto-optical recording medium and a reproducing method therefor in which a sufficient reproduction output can be obtained even for a reversed magnetic domain array below the optical detection limit.
Is proposed as an improvement of.
【００１６】即ち、この従来例にあって、光磁気記録媒
体は、図９の概略断面図のように透明基板１１１の上に
透明干渉層１１２，第１の光磁気層１１３，第２の光磁
気層１１４，第３の光磁気層１１５，誘電体保護層１１
６が順次積層されたものである。ここでそれぞれの層の
膜としては以下のように規定されている。That is, in this conventional example, the magneto-optical recording medium has a transparent interference layer 112, a first magneto-optical layer 113, and a second optical layer on a transparent substrate 111 as shown in the schematic sectional view of FIG. Magnetic layer 114, third magneto-optical layer 115, dielectric protection layer 11
6 is sequentially laminated. Here, the film of each layer is defined as follows.
【００１７】第１の光磁気層１１３，第２の光磁気層１
１４，第３の光磁気層１１５はいずれも鉄族遷移金属と
希土類遷移金属との合金の垂直磁化膜であり、第１の光
磁気層１１３と第２の光磁気層１１４と第３の光磁気層
１１５とは室温で交換結合しており、第１の光磁気層１
１３の膜厚は２５０オングストローム以上、第２の光磁
気層１１４の膜厚は５０オングストローム以上が望まし
いとされている。The first magneto-optical layer 113 and the second magneto-optical layer 1
14 and the third magneto-optical layer 115 are both perpendicular magnetization films of an alloy of an iron group transition metal and a rare earth transition metal, and the first magneto-optical layer 113, the second magneto-optical layer 114, and the third photo-magnetic layer The first magneto-optical layer 1 is exchange-coupled with the magnetic layer 115 at room temperature.
It is desirable that the film thickness of 13 is 250 angstroms or more, and the film thickness of the second magneto-optical layer 114 is 50 angstroms or more.
【００１８】具体的開示としては、透明基板１１１はガ
ラス２Ｐ基板，透明干渉層１１２はＳi 3 Ｎ4 膜８００
オングストローム，第１の光磁気層１１３はＧd Ｆe Ｃ
o 膜３００オングストローム，第２の光磁気層１１４は
Ｔb Ｆe 膜１５０オングストローム，第３の光磁気層１
１５はＴb Ｆe Ｃo 膜５５０オングストローム，誘電体
保護層１１６はＳi 3 Ｎ4 膜８００オングストロームと
されている。Specifically, the transparent substrate 111 is a glass 2P substrate, and the transparent interference layer 112 is a Si 3 N 4 film 800.
Angstrom, first magneto-optical layer 113 is Gd Fe C
o Film 300 angstrom, second magneto-optical layer 114 is Tb 2 Fe film 150 angstrom, third magneto-optical layer 1
15 is a Tb 2 Fe Co film of 550 Å, and the dielectric protective layer 116 is a Si 3 N 4 film of 800 Å.
【００１９】このような光磁気記録媒体に従来から周知
の前述した記録方法で反転磁区パターンを形成した場合
の光磁気記録媒体の概略断面図を図１０に示す。この図
１０において膜中の矢印は磁化の向きを表している。再
生用レーザー光のビームスポット径が反転磁区ＭＫのピ
ッチよりも大きいと、図１１に示す透明基板側から見た
光磁気記録媒体の概略平面図のように再生用レーザー光
のビームスポットＬＢ内に複数の反転磁区ＭＫが存在し
てしまい、従来の光磁気記録媒体の再生方法では反転磁
区ＭＫを個々に再生することは不可能となる（図１１に
おいては、磁化の向きが上向きの領域は右傾斜線で示し
ており、その形状は模式的に円形としている）。FIG. 10 shows a schematic sectional view of a magneto-optical recording medium in which an inverted magnetic domain pattern is formed on such a magneto-optical recording medium by the conventionally known recording method described above. In FIG. 10, the arrow in the film indicates the direction of magnetization. When the beam spot diameter of the reproducing laser light is larger than the pitch of the reversed magnetic domain MK, the beam spot LB of the reproducing laser light is inside the beam spot LB of the magneto-optical recording medium as seen from the transparent substrate side shown in FIG. Since there are a plurality of reversed magnetic domains MK, it is impossible to individually reproduce the reversed magnetic domains MK by the conventional reproducing method of the magneto-optical recording medium (in FIG. 11, the region where the magnetization direction is upward is tilted to the right). It is shown with diagonal lines, and its shape is typically circular).
【００２０】これに対して特開平３−２４２８４５号公
報や特開平４−２２９４３２号公報に記載された提案
は、図１２に示すように、光磁気記録媒体の移動の向き
で見てレーザー光の前方部分領域をＨＴ（左傾斜線領
域）の光磁気膜の温度が高くなることを利用している。
即ち、左傾斜線領域ＨＴの温度を第２の光磁気層１１４
のキュリー温度ＴC2以上にすることにより第２の光磁気
層１１４の磁化が失われ、第１の光磁気層１１３と第３
の光磁気層１１５との交換結合は遮断される。この状態
で第１の光磁気層１１３の保磁力よりも大きな外部磁界
ＨPBを印加すると、図１３の光磁気記録媒体の概略断面
図に示すように、前述した左傾斜線領域ＨＴの第１の光
磁気層１１３の磁化の向きは外部磁界ＨPBの向きに揃え
られる。On the other hand, the proposals disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 3-242845 and 4-229432 show that the laser light is viewed in the moving direction of the magneto-optical recording medium as shown in FIG. The fact that the temperature of the magneto-optical film in the HT (region of the left inclined line) becomes high in the front partial region is used.
That is, the temperature of the left inclined line region HT is set to
When the Curie temperature of the second magneto-optical layer 114 is higher than the Curie temperature T C2 of the second magneto-optical layer 114, the magnetization of the second magneto-optical layer 114 is lost.
Exchange coupling with the magneto-optical layer 115 is blocked. When an external magnetic field HPB larger than the coercive force of the first magneto-optical layer 113 is applied in this state, as shown in the schematic sectional view of the magneto-optical recording medium of FIG. The magnetization direction of the magneto-optical layer 113 is aligned with the direction of the external magnetic field H PB .
【００２１】一方この左傾斜線領域ＨＴ以外の領域，即
ち温度がＴC2よりも高くない領域では、第１の光磁気層
１１３と第３の光磁気層１１５との磁気的結合は維持さ
れているので、第３の光磁気層１１５に記録されている
反転磁区は第１の光磁気層１１３にそのまま転写され保
たれている。したがって、図１４の透明基板側から見た
光磁気記録媒体の概略平面図に示されるように、再生用
レーザー光のビーム径内の前方側の反転磁区ＭＫ２はあ
たかもマスクされたかのようになり、この部分に記録さ
れていた反転磁区ＭＫ２は見かけ上消失し、ビーム径内
には１つの反転磁区ＭＫ１しか存在しないかのごとくに
なる。即ち、情報再生時には再生用レーザー光から見た
記録されている反転磁区の空間周波数は、実際よりも低
く見え、再生分解能が向上するというものである。On the other hand, in regions other than the left inclined line region HT, that is, in regions where the temperature is not higher than T C2 , the magnetic coupling between the first magneto-optical layer 113 and the third magneto-optical layer 115 is maintained. Therefore, the reversed magnetic domain recorded in the third magneto-optical layer 115 is directly transferred to the first magneto-optical layer 113 and kept. Therefore, as shown in the schematic plan view of the magneto-optical recording medium as seen from the transparent substrate side of FIG. 14, the inversion domain MK2 on the front side within the beam diameter of the reproducing laser beam is as if masked. The reversed magnetic domain MK2 recorded in the part disappears apparently, and it becomes as if there is only one reversed magnetic domain MK1 within the beam diameter. That is, at the time of reproducing information, the spatial frequency of the recorded reversed magnetic domain viewed from the reproducing laser beam looks lower than it actually is, and the reproducing resolution is improved.
【００２２】[0022]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記各
実施例にあっては、記録密度が高く且つビットエラーレ
イトが良好で，しかも耐候性のよい光磁気記録媒体は見
当たらない。However, in each of the above embodiments, there is no magneto-optical recording medium having a high recording density, a good bit error rate, and good weather resistance.
【００２３】[0023]
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、とくに高い記録密度で且つビットエラーレイ
トが良好で，更に耐候性に優れた実用性ある光磁気記録
媒体を提供することを、その目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a practical magneto-optical recording medium which is improved in the disadvantages of the conventional example and has a particularly high recording density, a good bit error rate and excellent weather resistance. , And its purpose.
【００２４】[0024]
【課題を解決するための手段】本発明は、その請求項１
では、透明基板上に、透明干渉層，第１の光磁気層，第
２の光磁気層，第３の光磁気層および誘電体保護層とが
順次積層され、前記第１の光磁気層は、膜厚が１００〜
４００オングストロームに形成され，５０〔℃〕以上の
キュリー温度を有し，同時に１０〜９０〔℃〕で且つ0.
5 キロエルステッド未満の低保磁力で鉄族遷移金属ドミ
ナントのフェリ磁性を示すＧd Ｆe Ｃoを必須構成元素
とする非晶質合金からなり、集束されたレーザ光を相対
的に移動させながら前記透明基板を通して前記第１の光
磁気層に照射するとともに，外部磁界を印加することに
よって情報の再生を行い得るように構成された光磁気記
録媒体において、第２の光磁気層は、膜厚が１００〜２
００オングストロームに形成され，１００〜１６０
〔℃〕のキュリー温度を有し，同時に１０〜９０〔℃〕
で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化
状態を維持するＴb ＤyＦe Ｔi を必須構成元素とする
非晶質合金からなる。The present invention provides claim 1 thereof.
Then, a transparent interference layer, a first magneto-optical layer, a second magneto-optical layer, a third magneto-optical layer and a dielectric protective layer are sequentially laminated on a transparent substrate, and the first magneto-optical layer is , The film thickness is 100 ~
It is formed to 400 angstroms, has a Curie temperature of 50 ° C or higher, and at the same time is 10 to 90 ° C and 0.
The transparent substrate, which is made of an amorphous alloy containing Gd Fe Co as an essential constituent element that exhibits a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a low coercive force of less than 5 kilo-oersted, while relatively moving a focused laser beam. In the magneto-optical recording medium configured to irradiate the first magneto-optical layer through the magnetic field and to reproduce information by applying an external magnetic field, the second magneto-optical layer has a thickness of 100 to Two
100 Å to 160 Å
It has a Curie temperature of [℃] and at the same time 10-90 [℃]
And an amorphous alloy containing Tb DyFe Ti as an essential constituent element for maintaining the perpendicular magnetization state exhibiting the ferrimagnetism of the iron group transition metal dominant.
【００２５】第３の光磁気層は、膜厚が２５０〜１４０
０オングストロームに形成され，１９０〔℃〕以上のキ
ュリー温度を有し，１００〜１６０〔℃〕で１．０キロ
エルステッド以上の高保磁力で鉄族遷移金属ドミナント
のフェリ磁性を示す垂直磁化状態であり，且つ１０〜９
０〔℃〕で垂直磁化状態を維持するＴb Ｆe Ｃo を含む
少なくとも四つの元素，即ち，Ｔb Ｆe Ｃo Ｔi 或いは
Ｔb Ｆe Ｃo Ｃr 或いはＴb Ｆe Ｃo Ｎi Ｃr 或いはＴ
b Ｆe Ｃo Ｔa 或いはＴb Ｆe Ｃo Ｎb 或いはＴb Ｆe
Ｃo Ｐt を必須構成元素とする非晶質合金非晶質合金か
らなる。The thickness of the third magneto-optical layer is 250 to 140.
It is formed in 0 angstrom, has a Curie temperature of 190 ° C or higher, and exhibits a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or higher at 100 to 160 ° C. , And 10-9
At least four elements containing Tb Fe Co that maintain the perpendicular magnetization state at 0 [° C.], that is, Tb Fe Co Ti or Tb Fe Co Cr or Tb Fe Co Ni Cr or T
b Fe Co Ta or Tb Fe Co Nb or Tb Fe
Amorphous alloy containing Co Pt as an essential constituent element An amorphous alloy.
【００２６】そして、第１の光磁気層と第２の光磁気層
と第３の光磁気層とは、１０〜９０〔℃〕で交換結合
し、第２の光磁気層の磁化がほとんど失われている温度
では，第１の光磁気層と第３の光磁気層とが再生時の外
部磁界で静磁結合しない性質を備えている、という構成
を採っている。Then, the first magneto-optical layer, the second magneto-optical layer and the third magneto-optical layer are exchange-coupled at 10 to 90 [° C.], and the magnetization of the second magneto-optical layer is almost lost. At a given temperature, the first magneto-optical layer and the third magneto-optical layer have a property of not being magnetostatically coupled by an external magnetic field during reproduction.
【００２７】本発明は、その請求項２では、前述した請
求項１における第２の光磁気層の非晶質合金をＴb Ｄy
Ｆe Ｃr を含む構成とした点に特徴を備えている。According to a second aspect of the present invention, the amorphous alloy of the second magneto-optical layer according to the above-mentioned first aspect is Tb Dy.
It is characterized in that it is configured to include Fe Cr.
【００２８】本発明は、その請求項３では、前述した請
求項１における第２の光磁気層の非晶質合金をＴb Ｄy
Ｆe Ｎi Ｃr を含む構成とした点に特徴を備えている。According to a third aspect of the present invention, the amorphous alloy of the second magneto-optical layer according to the above-mentioned first aspect is Tb Dy.
It is characterized in that it is configured to include Fe Ni Cr.
【００２９】本発明は、その請求項４では、前述した請
求項１における第２の光磁気層の非晶質合金をＴb Ｄy
Ｆe Ｔa を含む構成とした点に特徴を備えている。According to a fourth aspect of the present invention, the amorphous alloy of the second magneto-optical layer according to the above-mentioned first aspect is made of Tb Dy.
It is characterized in that it is configured to include Fe Ta.
【００３０】本発明は、その請求項５では、前述した請
求項１における第２の光磁気層の非晶質合金をＴb Ｄy
Ｆe Ｎb を含む構成とした点に特徴を備えている。According to a fifth aspect of the present invention, the amorphous alloy of the second magneto-optical layer according to the above-mentioned first aspect is Tb Dy.
It is characterized in that it is configured to include Fe Nb.
【００３１】本発明は、その請求項６では、前述した請
求項１における第２の光磁気層の非晶質合金をＴb Ｄy
Ｆe Ｐt を含む構成とした点に特徴を備えている。According to a sixth aspect of the present invention, the amorphous alloy of the second magneto-optical layer according to the above-mentioned first aspect is Tb Dy.
It is characterized in that it is configured to include Fe Pt.
【００３２】これによって前述した目的を達成しようと
するものである。This is intended to achieve the above-mentioned object.
【００３３】[0033]
【作 用】情報の記録は、高いパワーのレーザ光を透明
基板１を通して第１の光磁気層１３に集束して照射する
ことにより、少なくとも第１の光磁気層１３にレーザ光
のエネルギを吸収させ、それを熱エネルギに変換させ、
その熱で第３の光磁気層１５をキュリー温度近傍に上昇
させる。この状態のときにこの部分を含む領域に記録バ
イアス磁界を印加しておく。高いパワーのレーザ光の照
射後の温度が下がった状態では、この記録された第３の
光磁気層１５の反転磁区は第２の光磁気層１４を介して
第１の光磁気層１３に転写される。[Operation] To record information, at least the first magneto-optical layer 13 absorbs the energy of the laser light by focusing and irradiating the first magneto-optical layer 13 with a high-power laser beam through the transparent substrate 1. And convert it into heat energy,
The heat raises the temperature of the third magneto-optical layer 15 to near the Curie temperature. In this state, the recording bias magnetic field is applied to the area including this portion. In the state where the temperature after the irradiation of the high power laser beam is lowered, the recorded inversion domain of the third magneto-optical layer 15 is transferred to the first magneto-optical layer 13 via the second magneto-optical layer 14. To be done.
【００３４】情報の再生は、再生用レーザー光照射によ
り第２の光磁気層１４の温度上昇を利用して第３の光磁
気層１５に記録されている反転磁区パターンを第１の光
磁気層１３での磁区パターンでは変形させて旋光性ある
いは円二色性の磁気光学効果により行う。To reproduce information, the reversal magnetic domain pattern recorded on the third magneto-optical layer 15 is applied to the first magneto-optical layer by utilizing the temperature rise of the second magneto-optical layer 14 by irradiation of the reproducing laser beam. The magnetic domain pattern at 13 is deformed to perform optical rotation or circular dichroism magneto-optical effect.
【００３５】また、記録周波数とＣ／Ｎの関係は、実験
的には４４〔ｄＢ〕のＣ／Ｎが得られた（図２の曲線
Ａ）。比較のため再生用外部磁界を印加せずに信号再生
を行うと４０〔ｄＢ〕のＣ／Ｎしか得られなかった（図
２の曲線Ｂ）。この実験例では反転磁区ピッチが１．０
５〔μｍ〕と高密度であるにもかかわらず信号品質の良
好な光磁気記録媒体であることが確認された。また、ビ
ットエラーレイト測定を行っても実用上充分である低い
ビットエラーレイトであることが確認された。更に、こ
の光磁気記録媒体を８０〔℃〕，８０〔％〕の高温高湿
度環境に２００時間保存した後でも情報の記録再生に問
題はなく、実用に供せる光磁気記録媒体であることが確
認された。As for the relationship between the recording frequency and the C / N, a C / N of 44 [dB] was experimentally obtained (curve A in FIG. 2). For comparison, when signal reproduction was performed without applying an external reproducing magnetic field, only C / N of 40 [dB] was obtained (curve B in FIG. 2). In this experimental example, the reversed domain pitch is 1.0.
It was confirmed that the magneto-optical recording medium had a good signal quality despite its high density of 5 [μm]. In addition, it was confirmed that the bit error rate was low enough to be practically used even if the bit error rate was measured. Further, there is no problem in recording / reproducing information even after storing this magneto-optical recording medium in a high temperature and high humidity environment of 80 [° C.], 80 [%] for 200 hours, and it is a magneto-optical recording medium that can be put to practical use. confirmed.
【００３６】[0036]
【実施例】以下、本発明の第１実施例について、図面を
参照して説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００３７】図１は本発明の一実施例を示す光磁気記録
媒体の基本構造を表す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing the basic structure of a magneto-optical recording medium showing an embodiment of the present invention.
【００３８】図１に示す光磁気記録媒体は、透明基板上
１の上に透明干渉層２を設け、その上に、膜厚が１００
〜４００オングストロームであり、２５０℃以上のキュ
リー温度を有し、１０℃以上９０℃以下で０．５キロエ
ルステッド未満の低保磁力で鉄族遷移金属ドミナントの
フェリ磁性を示し、Ｇd Ｆe Ｃo を必須構成元素とする
非晶質合金の第１の光磁気層１３を設ける。In the magneto-optical recording medium shown in FIG. 1, a transparent interference layer 2 is provided on a transparent substrate 1 and a film thickness of 100 is formed on the transparent interference layer 2.
~ 400 angstroms, has a Curie temperature of 250 ℃ or more, exhibits a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a low coercive force of less than 0.5 kilo Oersted at 10 ℃ or more and 90 ℃ or less, and requires Gd Fe Co A first magneto-optical layer 13 made of an amorphous alloy as a constituent element is provided.
【００３９】また、その上に、膜厚が１００〜２００オ
ングストロームであり、１００℃以上１６０℃以下のキ
ュリー温度を有し、１０℃以上９０℃以下で鉄族遷移金
属ドミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化状態であり、
Ｔb Ｄy Ｆe Ｔi を必須構成元素とする非晶質合金の第
２の光磁気層１４を設ける。Further, a film thickness of 100 to 200 Å, a Curie temperature of 100 ° C. to 160 ° C., and a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant at a temperature of 10 ° C. to 90 ° C. Is in a magnetized state,
A second magneto-optical layer 14 of an amorphous alloy containing Tb Dy Fe Ti as an essential constituent element is provided.
【００４０】更に、その上に、膜厚が２５０〜１４００
オングストロームであり、１９０℃以上のキュリー温度
を有し、１００℃以上１６０℃以下で１．０キロエルス
テッド以上の高保磁力で鉄族遷移金属ドミナントのフェ
リ磁性を示す垂直磁化状態であり、１０℃以上９０℃以
下でも垂直磁化状態であり、Ｔb Ｆe Ｃo Ｔi を必須構
成元素とする非晶質合金の第３の光磁気層１５を設け
る。Furthermore, a film thickness of 250 to 1400 is further formed on it.
It is angstrom, has a Curie temperature of 190 ° C or higher, and has a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or higher at 100 ° C or higher and 160 ° C or lower, and is a perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant, and 10 ° C or higher. A third magneto-optical layer 15 made of an amorphous alloy which has a perpendicular magnetization state even at 90 ° C. or lower and has Tb Fe Co Ti as an essential constituent element is provided.
【００４１】そして、その上に誘電体保護層６を順に設
けたものであり、１０℃以上９０℃以下では、第１の光
磁気層１３と第２の光磁気層１４と第３の光磁気層１５
とは交換結合するようにし、第２の光磁気層の磁化がほ
とんど失われている温度では、第１の光磁気層１３と第
３の光磁気層１５とは静磁結合しないようにする。Then, a dielectric protective layer 6 is provided in that order, and at 10 ° C. or higher and 90 ° C. or lower, the first magneto-optical layer 13, the second magneto-optical layer 14 and the third magneto-optical layer are formed. Layer 15
Are exchange-coupled with each other, and the first magneto-optical layer 13 and the third magneto-optical layer 15 are not magnetostatically coupled at a temperature at which the magnetization of the second magneto-optical layer is almost lost.
【００４２】光磁気記録媒体は、図１のような構成のま
まで、レーザー光を透明基板１を通して入射することに
より情報の再生を行う場合もあるが、誘電保護層６の上
にＵＶ硬化樹脂の保護層を設けて情報の再生を行っても
よい。また、そのＵＶ硬化樹脂の保護層の上にホットメ
ルト剤を塗布することにより、２つの光磁気記録媒体を
透明基板が外側になるように貼合わせた状態で情報の再
生を行ってもよい。The magneto-optical recording medium may be reproduced by reproducing the information by injecting a laser beam through the transparent substrate 1 with the structure as shown in FIG. A protective layer may be provided to reproduce information. Further, by applying a hot-melting agent on the protective layer of the UV curable resin, information may be reproduced in a state where the two magneto-optical recording media are attached so that the transparent substrates are on the outside.
【００４３】信頼性をさらに向上させた光磁気記録媒体
としては、透明干渉層２と反対側の主面の透明基板１の
上にＳi Ｏ2 等の透明なバックコート層を設けてもよ
い。As a magneto-optical recording medium with further improved reliability, a transparent back coat layer such as SiO 2 may be provided on the transparent substrate 1 on the main surface opposite to the transparent interference layer 2.
【００４４】透明基板１としては、ポリカーボネイト樹
脂板や、フォトポリマーのついたガラス板や、フォトポ
リマーのついたアクリル樹脂板を用いる。この透明基板
１には、トラッキング・サーボ用に案内溝や案内ビット
を形成しておくことが望ましい。トラックピッチはおよ
そ0.1 〜1.6 〔μｍ〕である。As the transparent substrate 1, a polycarbonate resin plate, a glass plate with a photopolymer, or an acrylic resin plate with a photopolymer is used. It is desirable to form guide grooves and guide bits on the transparent substrate 1 for tracking servo. The track pitch is about 0.1 to 1.6 [μm].
【００４５】透明干渉層２の材料としては、窒化シリコ
ンまたは水素化炭化シリコンまたは酸化タンタルがとく
に望ましい。As the material of the transparent interference layer 2, silicon nitride, hydrogenated silicon carbide or tantalum oxide is particularly desirable.
【００４６】誘電保護層６の材料としても、窒化シリコ
ンまたは水素化炭化シリコンまたは酸化タンタルがとく
に望ましい。As the material of the dielectric protection layer 6, silicon nitride, hydrogenated silicon carbide or tantalum oxide is particularly desirable.
【００４７】記録および再生用のレーザー光は透明基板
１を通して入射し、第１の光磁気層１３から第３の光磁
気層１５の近傍でおよそφ1.0 〜φ1.4 〔μｍ〕になる
ようにフォーカシング・サーボにより集光する。レーザ
光源としては波長５３００〜８３００オングストローム
前後の半導体レーザが用いられている。The laser light for recording and reproducing enters through the transparent substrate 1 and becomes about φ1.0 to φ1.4 [μm] in the vicinity of the first magneto-optical layer 13 to the third magneto-optical layer 15. Focuses by focusing servo. A semiconductor laser having a wavelength of about 5300 to 8300 Å is used as the laser light source.
【００４８】情報の記録は、高いパワーのレーザ光を透
明基板１を通して第１の光磁気層１３に集束して照射す
ることにより、少なくとも第１の光磁気層１３にレーザ
光のエネルギを吸収させ、それを熱エネルギに変換さ
せ、その熱で第３の光磁気層１５をキュリー温度近傍に
上昇させる。この状態のときにこの部分を含む領域に記
録バイアス磁界を印加しておく。高いパワーのレーザ光
の照射後の温度が下がった状態では、この記録された第
３の光磁気層１５の反転磁区は第２の光磁気層１４を介
して第１の光磁気層１３に転写される。For recording information, at least the first magneto-optical layer 13 is made to absorb the energy of the laser light by focusing and irradiating the first magneto-optical layer 13 with a high-power laser beam through the transparent substrate 1. , It is converted into heat energy, and the heat raises the third magneto-optical layer 15 to near the Curie temperature. In this state, the recording bias magnetic field is applied to the area including this portion. In the state where the temperature after the irradiation of the high power laser beam is lowered, the recorded inversion domain of the third magneto-optical layer 15 is transferred to the first magneto-optical layer 13 via the second magneto-optical layer 14. To be done.
【００４９】情報の再生は、再生用レーザー光照射によ
り第２の光磁気層１４の温度上昇を利用して第３の光磁
気層１５に記録されている反転磁区パターンを第１の光
磁気層１３での磁区パターンでは変形させて旋光性ある
いは円二色性の磁気光学効果により行う。To reproduce information, the reversal domain pattern recorded on the third magneto-optical layer 15 is applied to the first magneto-optical layer by utilizing the temperature rise of the second magneto-optical layer 14 by the irradiation of the reproducing laser beam. The magnetic domain pattern at 13 is deformed to perform optical rotation or circular dichroism magneto-optical effect.
【００５０】本発明者らは特開平３−２４２８４５号公
報や特開平４−２２９４３２号公報に記載された提案を
追試し、そこから得た不具合の知見から改良を加えたも
のである。The present inventors supplemented the proposals disclosed in JP-A-3-242845 and JP-A-4-229432, and made improvements based on the knowledge of the defects obtained from the proposals.
【００５１】本発明者らは、高い記録密度で且つビット
エラーレイトが良好でかつ高温高湿度保存耐性を良好な
ものとするための第１の光磁気層の材料と第２の光磁気
層の材料と第３の光磁気層の材料との組合せ，およびそ
れらの膜特性の条件が最適なものを見いだした。The inventors of the present invention have made the material of the first magneto-optical layer and the second magneto-optical layer to have a high recording density, a good bit error rate and a good high temperature and high humidity storage resistance. The optimum combination of the material and the material of the third magneto-optical layer and the conditions of their film characteristics were found.
【００５２】第１の光磁気層１３としては、再生時のθ
ｋを大きくするための膜のキュリー温度は２５０〔℃〕
以上とする必要がある。また、その保磁力は、１０
〔℃〕以上９０〔℃〕以下で０．５キロエルステッド未
満と低くないと、第３の光磁気層１５に記録された反転
磁区パターンが良好に転写されなくなり、ビットエラー
レイトが悪くなり実用に供しなくなる。As the first magneto-optical layer 13, θ during reproduction is used.
The Curie temperature of the film for increasing k is 250 [° C]
It is necessary to be above. The coercive force is 10
Unless it is as low as 0.5 kilo Oersted and below [° C.] and below 90 [° C.], the reversed magnetic domain pattern recorded in the third magneto-optical layer 15 cannot be satisfactorily transferred and the bit error rate deteriorates, making it practical. I will not serve you.
【００５３】この転写のためと記録後ノイズを小さくす
るためには、鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示
すＧd Ｆe Ｃo を必須構成元素とする非晶質合金がよ
い。この場合、その膜厚は、１００オングストロームよ
りも薄くすると、再生したときの信号振幅が小さくなり
実用に供せなくなる。また、４００オングストロームよ
りも厚くすると、良好な形状の反転磁区を形成できなく
なるので、信号対雑音比（Ｃ／Ｎ）が悪くなり実用に供
せなくなる。良好な形状の反転磁区を形成するために
は、Ｇd Ｆe Ｃo 膜それ自身としては、垂直磁化膜では
なく面内磁化膜でなければならない。For this transfer and in order to reduce noise after recording, an amorphous alloy containing Gd Fe Co which exhibits ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant as an essential constituent element is preferable. In this case, if the film thickness is less than 100 angstroms, the signal amplitude upon reproduction becomes small and it cannot be used for practical use. On the other hand, if the thickness is more than 400 angstroms, it is impossible to form a reversed magnetic domain having a good shape, so that the signal-to-noise ratio (C / N) is deteriorated and it cannot be put to practical use. In order to form a reversed magnetic domain having a good shape, the Gd Fe Co film itself must be an in-plane magnetization film, not a perpendicular magnetization film.
【００５４】第２の光磁気層１４としては、第３の光磁
気層１５に記録された反転磁区パターンの第１の光磁気
層１３での転写磁区パターンを比較的低い再生用レーザ
ー光パワーで変形可能とするために、膜のキュリー温度
は１００〔℃〕以上１６０〔℃〕以下とする必要があ
る。As the second magneto-optical layer 14, the transferred magnetic domain pattern of the inverted magnetic domain pattern recorded in the third magneto-optical layer 15 on the first magneto-optical layer 13 is used with a relatively low reproducing laser light power. In order to be deformable, the Curie temperature of the film needs to be 100 ° C. or higher and 160 ° C. or lower.
【００５５】膜材料としては、第３の光磁気層１５に記
録された反転磁区パターンが第１の光磁気層１３に良好
に転写されるためと、光磁気記録媒体の高温高湿度保存
耐性を良好なものとするためとには、１０〔℃〕以上９
０〔℃〕以下で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を
示す垂直磁化状態であり、Ｔb Ｄy Ｆe Ｔi を必須構成
元素とする非晶質合金がよい。その膜厚は、１００オン
グストロームよりも薄くすると、再生用レーザー光パワ
ー照射で第２の光磁気層１４の磁化を失わせたときに第
３の光磁気層１５に記録されている反転磁区パターンが
静磁結合により第１の光磁気層１３の反転磁区パターン
の変形に悪影響を与えビットエラーレイトが悪くなり実
用に供せなくなる。As the film material, the reversed magnetic domain pattern recorded in the third magneto-optical layer 15 is satisfactorily transferred to the first magneto-optical layer 13, and the high temperature and high humidity storage resistance of the magneto-optical recording medium is used. To be good, 10 [° C] or more 9
An amorphous alloy having a perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant at 0 ° C. or less and having Tb Dy Fe Ti as an essential constituent element is preferable. If the film thickness is less than 100 angstroms, the reversal domain pattern recorded in the third magneto-optical layer 15 is lost when the magnetization of the second magneto-optical layer 14 is lost by irradiation with the reproducing laser light power. The magnetostatic coupling adversely affects the deformation of the inverted magnetic domain pattern of the first magneto-optical layer 13 and deteriorates the bit error rate, making it unusable for practical use.
【００５６】第３の光磁気層１５としては、記録されて
いる反転磁区パターンが再生用レーザー光パワー照射で
変形しないようにするためと、記録される反転磁区形状
が良好となるためと、第１の光磁気層１３に良好に転写
されるためと、光磁気記録媒体の高温高湿度保存耐性を
良好なものとするためとには、キュリー温度は１９０
〔℃〕以上であり、１００〔℃〕以上１６０〔℃〕以下
で1.0 キロエルステッド以上の高保磁力で鉄族遷移金属
ドミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化状態であり、１
０〔℃〕以上９０〔℃〕以下でも垂直磁化状態であり、
Ｔb Ｆe Ｃo Ｔi，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｃｒ，或いはＴb
Ｆe Ｃo Ｎi Ｃｒ，或いはＴb Ｆe ＣoＴ，a 或いはＴ
b Ｆe Ｃo Ｎb ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｐt を必須構成元
素とする非晶質合金がよい。その膜厚は、良好なビット
エラーレイトを確保する意味で２５０〜１４００オング
ストロームがよい。As the third magneto-optical layer 15, the recorded reversed magnetic domain pattern is prevented from being deformed by the irradiation of the reproducing laser beam power, and the recorded reversed magnetic domain shape is improved. The Curie temperature is 190 for good transfer to the magneto-optical recording layer 13 of No. 1 and for good resistance to high temperature and high humidity storage of the magneto-optical recording medium.
It is a perpendicular magnetization state showing a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or more at 100 ° C. or more and 160 ° C. or more and 100 ° C. or more and 160 ° C. or less.
Perpendicular magnetization is maintained at 0 ° C or higher and 90 ° C or lower,
Tb Fe Co Ti, or Tb Fe Co Cr, or Tb
Fe Co Ni Cr, or Tb Fe Co T, a or T
Amorphous alloys having b Fe Co Nb or Tb Fe Co Pt as an essential constituent element are preferable. The film thickness is preferably 250 to 1400 angstrom in order to secure a good bit error rate.
【００５７】良好な信号品質を得るためには、第１の光
磁気層１３と第２の光磁気層１４と第３の光磁気層１５
とは、１０〔℃〕以上９０〔℃〕以下で交換結合してい
る必要がある。In order to obtain good signal quality, the first magneto-optical layer 13, the second magneto-optical layer 14 and the third magneto-optical layer 15 are used.
Must be exchange-coupled at 10 ° C. or higher and 90 ° C. or lower.
【００５８】次に、図１を参照して、更に具体的に説明
する。Next, a more specific description will be given with reference to FIG.
【００５９】いま、1.1 〔μｍ〕ピッチの案内溝が形成
されている直径130 〔ｍｍ〕，厚さ1.2 〔ｍｍ〕のポリ
カーボネイト樹脂製ディスク状透明基板１を、案内溝と
反対側の主面にハードコート処理した後にスパッタ装置
内に載置し、３×１０-7〔Ｔｏｒｒ〕以下に真空排気し
た。しかる後、案内溝が形成されている側の表面をおよ
を２オングストローム程度アルゴンガスで逆スパッタ
し、しかる後、シリコンターゲットをアルゴンと窒素と
の混合ガスでスパッタすることにより８００オングスト
ローム厚の窒化シリコンの透明干渉層２を設けた。A polycarbonate resin disk-shaped transparent substrate 1 having a diameter of 130 [mm] and a thickness of 1.2 [mm] in which guide grooves of 1.1 [μm] pitch are formed is provided on the main surface opposite to the guide grooves. After the hard coat treatment, it was placed in a sputtering apparatus and evacuated to 3 × 10 −7 [Torr] or less. Then, the surface on the side where the guide groove is formed is reverse-sputtered with an argon gas for about 2 angstroms, and then a silicon target is sputtered with a mixed gas of argon and nitrogen to form a nitride film having a thickness of 800 angstroms. A transparent interference layer 2 of silicon was provided.
【００６０】次に、Ｇd Ｆe Ｃo ターゲット（Ｇd ：Ｆ
e ：Ｃo ＝20.5：65.0：14.5原子％）をアルゴンガスで
スパッタすことにより３００オングストローム厚のＧd
ＦeＣo の非晶質の第１の光磁気層１３を設け、ひきつ
づきＴb Ｄy Ｆe Ｔi ターゲット（Ｔb ：Ｄy ：Ｆe ：
Ｔi ＝9.3 ：9.3 ：79.4：2.0 原子％）をアルゴンガス
でスパッタすることにより、１５０オングストローム厚
のＴb Ｄy Ｆe Ｔi の非晶質の第２の光磁気層１４を設
け、引き続きＴb Ｆe Ｃo Ｔi ターゲット（Ｔb ：Ｆe
：Ｃo ：Ｔi ＝23.0：61.0：13.0：3.0 原子％）をア
ルゴンガスでスパッタすることによって４００オングス
トローム厚のＴb Ｆe Ｃo Ｔi の非晶質の0第３の光磁
気層１５を設けた。その上に、シリコンターゲットをア
ルゴンガスと窒素との混合ガスでスパッタすることによ
り８００オングストローム厚の窒化シリコンの誘電体保
護層６を設け、図１のような構成にした。Next, the Gd Fe Co target (Gd: F
e: Co = 20.5: 65.0: 14.5 atomic%) by sputtering with Ar gas to obtain a Gd of 300 angstroms.
An amorphous first magneto-optical layer 13 of FeCo is provided, and the Tb Dy Fe Ti target (Tb: Dy: Fe:
Ti = 9.3: 9.3: 79.4: 2.0 atom%) is sputtered with an argon gas to provide a 150 angstrom thick Tb Dy Fe Ti amorphous second magneto-optical layer 14 and subsequently a Tb Fe Co Ti target. (Tb: Fe
: Co: Ti = 23.0: 61.0: 13.0: 3.0 atomic%) was sputtered with an argon gas to form a 400 angstrom thick amorphous third magneto-optical layer 15 of Tb 2 Fe Co Ti. On top of this, a silicon target was sputtered with a mixed gas of argon gas and nitrogen to provide a silicon nitride dielectric protective layer 6 having a thickness of 800 angstroms, and the structure as shown in FIG. 1 was obtained.
【００６１】その後、スパッタ装置から大気中に取り出
し、誘電体保護層６の上にＵＶ硬化樹脂をスピンコート
してＵＶ照射することにより、ＵＶ硬化樹脂の１０〔μ
ｍ〕厚の保護層を設けた。更にその後、このようなディ
スク２枚を、ＵＶ硬化樹脂の保護層の上にホットメルト
剤を塗布することにより貼り合わせて機械的強度を補強
して光磁気記録媒体とした。After that, the dielectric protective layer 6 was taken out of the sputtering apparatus into the atmosphere, and a UV curable resin was spin-coated on the dielectric protective layer 6 and irradiated with UV light.
m] was provided with a thick protective layer. After that, two such discs were pasted together by applying a hot-melting agent on the protective layer of the UV curable resin to reinforce the mechanical strength to obtain a magneto-optical recording medium.
【００６２】この光磁気記録媒体を３６００〔ｒｐｍ〕
で回転させ、開口数０．５５の対物レンズを用いて波長
６８００オングストロームの半導体レーザー光を透明基
板１を通して第１の光磁気層１３上でおよそφ1.2 〔μ
ｍ〕に絞って照射した。半径30.7〔ｍｍ〕のところで記
録周波数11〔ＭＨｚ〕の信号をデューティ26〔％〕の光
変調で、記録パワー11〔ｍＷ〕，記録バイアス磁界３０
０エルステッドで信号を記録した後、同じ光ヘッドを用
いて再生用レーザー光のパワーを2.0 〔ｍＷ〕とし、再
生用外部磁界を３００エルステッドとして信号を再生を
試みた。This magneto-optical recording medium was recorded at 3600 [rpm]
And a semiconductor laser beam having a wavelength of 6800 angstroms is passed through the transparent substrate 1 by using an objective lens having a numerical aperture of 0.55 and is about φ1.2 [μ].
m] for irradiation. At a radius of 30.7 [mm], a signal with a recording frequency of 11 [MHz] is subjected to optical modulation with a duty of 26 [%], a recording power of 11 [mW], and a recording bias magnetic field 30.
After recording a signal at 0 Oersted, an attempt was made to reproduce the signal by using the same optical head with a reproducing laser beam power of 2.0 [mW] and an external reproducing magnetic field of 300 Oersted.
【００６３】図２に、記録周波数とＣ／Ｎの関係の測定
結果を示す。これより明らかのように、４４〔ｄＢ〕の
Ｃ／Ｎが得られた（図２の曲線Ａ）。比較のため再生用
外部磁界を印加せずに信号再生を行うと４０〔ｄＢ〕の
Ｃ／Ｎしか得られなかった（図２の曲線Ｂ）。即ち、反
転磁区ピッチが１．０５〔μｍ〕と高密度であるにもか
かわらず信号品質の良好な光磁気記録媒体であることが
確認された。また、ビットエラーレイト測定を行っても
実用上充分である低いビットエラーレイトであることが
確認された。FIG. 2 shows the measurement result of the relationship between the recording frequency and the C / N. As is clear from this, a C / N of 44 [dB] was obtained (curve A in FIG. 2). For comparison, when signal reproduction was performed without applying an external reproducing magnetic field, only C / N of 40 [dB] was obtained (curve B in FIG. 2). That is, it was confirmed that the magneto-optical recording medium had a good signal quality even though the reversed magnetic domain pitch was as high as 1.05 [μm]. In addition, it was confirmed that the bit error rate was low enough to be practically used even if the bit error rate was measured.
【００６４】この光磁気記録媒体を８０〔℃〕，８０
〔％〕の高温高湿度環境に２００時間保存した後でも情
報の記録再生に問題はなく、実用に供せる光磁気記録媒
体であることが確認された。This magneto-optical recording medium was heated to 80 [° C.], 80
It was confirmed that there was no problem in recording / reproducing information even after storage in a high temperature and high humidity environment of [%] for 200 hours, and the magneto-optical recording medium could be put to practical use.
【００６５】ここで、第３の光磁気層をＴb Ｆe Ｃo Ｃ
ｒ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｎi Ｃｒ，或いはＴb Ｆe Ｃo
Ｔa ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｎb ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｐ
t にした場合にも、前述と同様に実用に供せる光磁気記
録媒体が得ることができた。Here, the third magneto-optical layer is made of Tb Fe Co C o.
r, or Tb Fe Co Ni Cr, or Tb Fe Co
Ta, or Tb Fe Co Nb, or Tb Fe Co P
Even when t was set, a magneto-optical recording medium that could be put to practical use could be obtained in the same manner as described above.
【００６６】また、比較のために他の例を一部開示する
と、第２の光磁気層をＴb Ｆe ，第３の光磁気層をＴb
Ｆe Ｃo にした場合には、高温高湿度保存耐性が良好で
はなかった。また、高密度記録再生を行う時のビットエ
ラーレイトも良好ではなかった。この原因は明確には分
かっていないが、反転磁区を高密度に記録しようとする
と第１の光磁気層と第２の光磁気層と第３の光磁気層と
の磁化のバランスが適切でないために反転磁区形状を良
好にできないためと思われる。For comparison, a part of another example will be disclosed. The second magneto-optical layer is Tb Fe and the third magneto-optical layer is Tb Fe.
When Fe Co was used, the high temperature and high humidity storage resistance was not good. In addition, the bit error rate during high-density recording / reproduction was not good. The cause of this is not clearly known, but when attempting to record the reversed magnetic domain at a high density, the magnetization balance between the first magneto-optical layer, the second magneto-optical layer and the third magneto-optical layer is not appropriate. This is probably because the shape of the reversed domain cannot be improved.
【００６７】次に、第２実施例を図３に基づいて説明す
る。Next, a second embodiment will be described with reference to FIG.
【００６８】この図３に示す光磁気記録媒体は、図１に
示す実施例とは次の点で異なっている。The magneto-optical recording medium shown in FIG. 3 is different from the embodiment shown in FIG. 1 in the following points.
【００６９】第１の光磁気層２３の膜材料はＧd Ｆe Ｃ
o であり、第２の光磁気層２４の膜材料はＴb Ｄy Ｆe
Ｃｒである。第３の光磁気層２５の膜材料は、Ｔb Ｆe
ＣoＣｒ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｔi ，或いはＴb Ｆe Ｃo
Ｎi Ｃｒ，或いはＴb ＦeＣo Ｔa ，或いはＴb Ｆe Ｃ
o Ｎb ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｐt である。The film material of the first magneto-optical layer 23 is Gd Fe C
and the film material of the second magneto-optical layer 24 is Tb Dy Fe
It is Cr. The film material of the third magneto-optical layer 25 is Tb 2 Fe.
CoCr or Tb Fe Co Ti or Tb Fe Co
Ni Cr or Tb FeCo Ta or Tb Fe C
o Nb or Tb Fe Co Pt.
【００７０】第１の光磁気層２３と第２の光磁気層２４
と第３の光磁気層２５との関係は、第１の光磁気層２３
は、膜厚が１００〜４００オングストロームであり、２
５０〔℃〕以上のキュリー温度を有し、１０〔℃〕以上
９０〔℃〕以下で０．５キロエルステッド未満の低保磁
力で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示す非晶質
合金であり、第２の光磁気層２４は、膜厚が１００〜２
００オングストロームであり、１００〔℃〕以上１６０
〔℃〕以下のキュリー温度を有し、１０〔℃〕以上９０
〔℃〕以下で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示
す垂直磁化状態の非晶質合金である。The first magneto-optical layer 23 and the second magneto-optical layer 24
And the relationship between the third magneto-optical layer 25 and the first magneto-optical layer 23
Has a film thickness of 100 to 400 angstroms, and
An amorphous alloy having a Curie temperature of 50 ° C. or higher and a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a low coercive force of less than 0.5 kilo Oersted at 10 ° C. or higher and 90 ° C. or lower. , The second magneto-optical layer 24 has a thickness of 100 to 2
00 angstrom, 100 [° C] or more 160
Curie temperature of [° C] or lower and 10 [° C] or higher of 90
It is an amorphous alloy in the perpendicular magnetization state showing ferrimagnetism of iron group transition metal dominant at [° C] or less.
【００７１】また、第３の光磁気層２５は、膜厚が２５
０〜１４００オングストロームであり、１９０〔℃〕以
上のキュリー温度を有し、１００〔℃〕以上１６０
〔℃〕以下で１．０キロエルステッド以上の高保磁力で
鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化状
態であり、１０〔℃〕以上９０〔℃〕以下でも垂直磁化
状態の非晶質合金である。The third magneto-optical layer 25 has a film thickness of 25.
0 to 1400 angstroms, having a Curie temperature of 190 [° C] or higher, and 100 [° C] or higher of 160
Amorphous alloy in a perpendicular magnetization state exhibiting a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant at a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or more at [° C.] or less, and a perpendicular magnetization state even at 10 [° C.] or more and 90 [° C.] or less Is.
【００７２】そして、第１の光磁気層２３と前記第２の
光磁気層２４と第３の光磁気層２５とは、１０〔℃〕以
上９０〔℃〕以下で交換結合し、第２の光磁気層２４の
磁化がほとんど失われている温度では、第１の光磁気層
２３と第３の光磁気層２５とは再生時外部磁界で静磁結
合しないように構成する。Then, the first magneto-optical layer 23, the second magneto-optical layer 24, and the third magneto-optical layer 25 are exchange-coupled at 10 ° C. or more and 90 ° C. or less to form the second magneto-optical layer 23. At a temperature at which the magnetization of the magneto-optical layer 24 is almost lost, the first magneto-optical layer 23 and the third magneto-optical layer 25 are configured so as not to be magnetostatically coupled by an external magnetic field during reproduction.
【００７３】次に、第３実施例を図４に基づいて説明す
る。Next, a third embodiment will be described with reference to FIG.
【００７４】この図４に示す光磁気記録媒体は、図１に
示す実施例とは次の点で異なっている。The magneto-optical recording medium shown in FIG. 4 differs from the embodiment shown in FIG. 1 in the following points.
【００７５】第１の光磁気層３３の膜材料はＧd Ｆe Ｃ
o であり、第２の光磁気層３４の膜材料は、Ｔb Ｄy Ｆ
e Ｎi Ｃｒである。また、第３の光磁気層３５の膜材料
は、Ｔb Ｆe Ｃo Ｎi Ｃｒ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｔi ，
或いはＴb Ｆe Ｃo Ｃｒ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｔa ，或
いはＴb Ｆe Ｃo Ｎb ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｐt であ
る。The film material of the first magneto-optical layer 33 is Gd Fe C
and the film material of the second magneto-optical layer 34 is Tb Dy F
eNiCr. The film material of the third magneto-optical layer 35 is Tb Fe Co Ni Cr or Tb Fe Co Ti,
Alternatively, it is Tb Fe Co Cr, or Tb Fe Co Ta, or Tb Fe Co Nb, or Tb Fe Co Pt.
【００７６】第１の光磁気層３３と第２の光磁気層３４
と第３の光磁気層３５との関係は、第１の光磁気層３３
は、膜厚が１００〜４００オングストロームであり、２
５０〔℃〕以上のキュリー温度を有し、１０〔℃〕以上
９０〔℃〕以下で０．５キロエルステッド未満の低保磁
力で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示す非晶質
合金であり、第２の光磁気層３４は、膜厚が１００〜２
００オングストロームであり、１００〔℃〕以上１６０
〔℃〕以下のキュリー温度を有し、１０〔℃〕以上９０
〔℃〕以下で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示
す垂直磁化状態の非晶質合金である。The first magneto-optical layer 33 and the second magneto-optical layer 34
And the relationship between the third magneto-optical layer 35 and the first magneto-optical layer 33.
Has a film thickness of 100 to 400 angstroms, and
An amorphous alloy having a Curie temperature of 50 ° C. or higher and a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a low coercive force of less than 0.5 kilo Oersted at 10 ° C. or higher and 90 ° C. or lower. , The second magneto-optical layer 34 has a film thickness of 100 to 2
00 angstrom, 100 [° C] or more 160
Curie temperature of [° C] or lower and 10 [° C] or higher of 90
It is an amorphous alloy in the perpendicular magnetization state showing ferrimagnetism of iron group transition metal dominant at [° C] or less.
【００７７】また、第３の光磁気層３５は、膜厚が２５
０〜１４００オングストロームであり、１９０〔℃〕以
上のキュリー温度を有し、１００〔℃〕以上１６０
〔℃〕以下で１．０キロエルステッド以上の高保磁力で
鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化状
態の非晶質合金である。The third magneto-optical layer 35 has a film thickness of 25.
0 to 1400 angstroms, having a Curie temperature of 190 [° C] or higher, and 100 [° C] or higher of 160
It is an amorphous alloy in a perpendicular magnetization state that exhibits ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant at a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or more at [° C.] or less.
【００７８】第１の光磁気層３３と第２の光磁気層３４
と第３の光磁気層３５とは、１０〔℃〕以上９０〔℃〕
以下で交換結合し、第２の光磁気層３４の磁化がほとん
ど失われている温度では、第１の光磁気層３３と第３の
光磁気層３５とは再生時外部磁界で静磁結合しないよう
に構成する。The first magneto-optical layer 33 and the second magneto-optical layer 34
And the third magneto-optical layer 35 have a temperature of 10 [° C.] or more and 90 [° C.]
At the temperature at which the second magneto-optical layer 34 is exchange-coupled below and the magnetization of the second magneto-optical layer 34 is almost lost, the first magneto-optical layer 33 and the third magneto-optical layer 35 are not magnetostatically coupled by an external magnetic field during reproduction. To configure.
【００７９】次に、第４実施例を図５に基づいて説明す
る。Next, a fourth embodiment will be described with reference to FIG.
【００８０】この図５に示す光磁気記録媒体は、図１に
示す実施例とは次の点で異なっている。The magneto-optical recording medium shown in FIG. 5 differs from the embodiment shown in FIG. 1 in the following points.
【００８１】第１の光磁気層４３の膜材料はＧd Ｆe Ｃ
o であり、第２の光磁気層４４の膜材料はＴb Ｄy Ｆe
Ｔa である。また、第３の光磁気層４５の膜材料は、Ｔ
b Ｆe Ｃo Ｔa ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｔi ，或いはＴb
Ｆe Ｃo Ｃｒ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｎi Ｃｒ、或いはＴ
b Ｆe Ｃo Ｎb 、或いはＴb Ｆe Ｃo Ｐt である。The film material of the first magneto-optical layer 43 is Gd Fe C
and the film material of the second magneto-optical layer 44 is Tb Dy Fe
It is Ta. The material of the third magneto-optical layer 45 is T
b Fe Co Ta, or Tb Fe Co Ti, or Tb
Fe Co Cr or Tb Fe Co Ni Cr or T
It is b Fe Co Nb or Tb Fe Co Pt.
【００８２】第１の光磁気層４３と第２の光磁気層４４
と第３の光磁気層４５との関係は、第１の光磁気層４３
は、膜厚が１００〜４００オングストロームであり、２
５０〔℃〕以上のキュリー温度を有し、１０〔℃〕以上
９０〔℃〕以下で０．５キロエルステッド未満の低保磁
力で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示す非晶質
合金であり、第２の光磁気層４４は、膜厚が１００〜２
００オングストロームであり、１００〔℃〕以上１６０
〔℃〕以下のキュリー温度を有し、１０〔℃〕以上９０
〔℃〕以下で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示
す垂直磁化状態の非晶質合金であり、第３の光磁気層４
５は、膜厚が２５０〜１４００オングストロームであ
り、１９０〔℃〕以上のキュリー温度を有し、１００
〔℃〕以上１６０〔℃〕以下で１．０キロエルステッド
以上の高保磁力で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性
を示す垂直磁化状態であり、１０〔℃〕以上９０〔℃〕
以下でも垂直磁化状態の非晶質合金である。The first magneto-optical layer 43 and the second magneto-optical layer 44.
And the relationship between the third magneto-optical layer 45 and the first magneto-optical layer 43
Has a film thickness of 100 to 400 angstroms, and
An amorphous alloy having a Curie temperature of 50 ° C. or higher and a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a low coercive force of less than 0.5 kilo Oersted at 10 ° C. or higher and 90 ° C. or lower. , The second magneto-optical layer 44 has a thickness of 100 to 2
00 angstrom, 100 [° C] or more 160
Curie temperature of [° C] or lower and 10 [° C] or higher of 90
It is an amorphous alloy in the perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of iron group transition metal dominant at [° C.] or less, and the third magneto-optical layer 4
No. 5 has a film thickness of 250 to 1400 angstroms, has a Curie temperature of 190 [° C.] or higher, and 100
A perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or more at a temperature of [° C] or more and 160 [° C] or less, and 10 [° C] or more and 90 [° C] or more
Even below, it is an amorphous alloy in a perpendicular magnetization state.
【００８３】第１の光磁気層４３と第２の光磁気層４４
と第３の光磁気層４５とは、１０〔℃〕以上９０〔℃〕
以下で交換結合し、第２の光磁気層４４の磁化がほとん
ど失われている温度では、第１の光磁気層４３と第３の
光磁気層４５とは再生時外部磁界で静磁結合しないよう
に構成する。The first magneto-optical layer 43 and the second magneto-optical layer 44.
And the third magneto-optical layer 45 have a temperature of 10 [° C.] or more and 90 [° C.]
At the temperature at which the second magneto-optical layer 44 is exchange-coupled below and the magnetization of the second magneto-optical layer 44 is almost lost, the first magneto-optical layer 43 and the third magneto-optical layer 45 are not magnetostatically coupled by the external magnetic field during reproduction. To configure.
【００８４】次に、第５実施例を図６に基づいて説明す
る。Next, a fifth embodiment will be described with reference to FIG.
【００８５】この図６に示す光磁気記録媒体は、図１に
示す実施例とは次の点で異なっている。The magneto-optical recording medium shown in FIG. 6 is different from the embodiment shown in FIG. 1 in the following points.
【００８６】第１の光磁気層５３の膜材料はＧd Ｆe Ｃ
o であり、第２の光磁気層５４の膜材料はＴb Ｄy Ｆe
Ｎb である。また、第３の光磁気層５５の膜材料は、Ｔ
b Ｆe Ｃo Ｎb ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｔi ，或いはＴb
Ｆe Ｃo Ｃｒ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｎi Ｃｒ，或いはＴ
b Ｆe Ｃo Ｔa ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｐt である。第１
の光磁気層５３と第２の光磁気層５４と第３の光磁気層
５５との関係は、第１の光磁気層５３は、膜厚が１００
〜４００オングストロームであり、２５０〔℃〕以上の
キュリー温度を有し、１０〔℃〕以上９０〔℃〕以下で
０．５キロエルステッド未満の低保磁力で鉄族遷移金属
ドミナントのフェリ磁性を示す非晶質合金であり、第２
の光磁気層５４は、膜厚が１００〜２００オングストロ
ームであり、１００〔℃〕以上１６０〔℃〕以下のキュ
リー温度を有し、１０〔℃〕以上９０〔℃〕以下で鉄族
遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化状態の
非晶質合金である。The film material of the first magneto-optical layer 53 is Gd Fe C
and the film material of the second magneto-optical layer 54 is Tb Dy Fe
Nb. The film material of the third magneto-optical layer 55 is T
b Fe Co Nb, or Tb Fe Co Ti, or Tb
Fe Co Cr or Tb Fe Co Ni Cr or T
It is b Fe Co Ta or Tb Fe Co Pt. First
The relationship among the magneto-optical layer 53, the second magneto-optical layer 54, and the third magneto-optical layer 55 is that the first magneto-optical layer 53 has a film thickness of 100.
Is 400 angstroms, has a Curie temperature of 250 [° C.] or higher, and exhibits a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a low coercive force of less than 0.5 kilo Oersted at 10 [° C.] or higher and 90 [° C.] or lower. Amorphous alloy, second
The magneto-optical layer 54 has a thickness of 100 to 200 angstroms, has a Curie temperature of 100 [° C.] or more and 160 [° C.] or less, and is 10 [° C.] or more and 90 [° C.] or less. Is an amorphous alloy in a perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism.
【００８７】また、第３の光磁気層５５は、膜厚が２５
０〜１４００オングストロームであり、１９０〔℃〕以
上のキュリー温度を有し、１００〔℃〕以上１６０
〔℃〕以下で１．０キロエルステッド以上の高保磁力で
鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化状
態であり、１０〔℃〕以上９０〔℃〕以下でも垂直磁化
状態の非晶質合金である。The third magneto-optical layer 55 has a film thickness of 25.
0 to 1400 angstroms, having a Curie temperature of 190 [° C] or higher, and 100 [° C] or higher of 160
Amorphous alloy in a perpendicular magnetization state exhibiting a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant at a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or more at [° C.] or less, and a perpendicular magnetization state even at 10 [° C.] or more and 90 [° C.] or less Is.
【００８８】第１の光磁気層５３と第２の光磁気層５４
と第３の光磁気層５５とは、１０〔℃〕以上９０〔℃〕
以下で交換結合し、第２の光磁気層５４の磁化がほとん
ど失われている温度では、第１の光磁気層５３と第３の
光磁気層５５とは再生時外部磁界で静磁結合しないよう
に構成する。The first magneto-optical layer 53 and the second magneto-optical layer 54
And the third magneto-optical layer 55 have a temperature of 10 [° C.] or higher and 90 [° C.]
At the temperature at which the second magneto-optical layer 54 is exchange-coupled below and the magnetization of the second magneto-optical layer 54 is almost lost, the first magneto-optical layer 53 and the third magneto-optical layer 55 are not magnetostatically coupled by an external magnetic field during reproduction. To configure.
【００８９】次に、第６実施例を図７に基づいて説明す
る。Next, a sixth embodiment will be described with reference to FIG.
【００９０】この図７に示す光磁気記録媒体は、図１に
示す実施例とは次の点で異なっている。The magneto-optical recording medium shown in FIG. 7 is different from the embodiment shown in FIG. 1 in the following points.
【００９１】第１の光磁気層６３の膜材料はＧd Ｆe Ｃ
o であり、第２の光磁気層６４の膜材料はＴb Ｄy Ｆe
Ｐt である。又、第３の光磁気層６５の膜材料は、Ｔb
ＦeＣo Ｐt ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｔi ，或いはＴb Ｆe
Ｃo Ｃｒ，或いはＴb ＦeＣo Ｎi Ｃｒ，或いはＴb Ｆ
e Ｃo Ｔa ，或いはＴb Ｆe Ｃo Ｎb である。The film material of the first magneto-optical layer 63 is Gd Fe C
and the film material of the second magneto-optical layer 64 is Tb Dy Fe
It is Pt. The film material of the third magneto-optical layer 65 is Tb.
FeCo Pt, or Tb Fe Co Ti, or Tb Fe
Co Cr or Tb Fe Co Ni Ni or Tb F
e Co Ta or Tb Fe Co Nb.
【００９２】第１の光磁気層６３と第２の光磁気層６４
と第３の光磁気層６５との関係は、第１の光磁気層６３
は、膜厚が１００〜４００オングストロームであり、２
５０〔℃〕以上のキュリー温度を有し、１０〔℃〕以上
９０〔℃〕以下で０．５キロエルステッド未満の低保磁
力で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示す非晶質
合金であり、第２の光磁気層６４は、膜厚が１００〜２
００オングストロームであり、１００〔℃〕以上１６０
〔℃〕以下のキュリー温度を有し、１０〔℃〕以上９０
〔℃〕以下で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示
す垂直磁化状態の非晶質合金である。First magneto-optical layer 63 and second magneto-optical layer 64
And the relationship between the third magneto-optical layer 65 and the first magneto-optical layer 63
Has a film thickness of 100 to 400 angstroms, and
An amorphous alloy having a Curie temperature of 50 ° C. or higher and a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a low coercive force of less than 0.5 kilo Oersted at 10 ° C. or higher and 90 ° C. or lower. , The second magneto-optical layer 64 has a thickness of 100 to 2
00 angstrom, 100 [° C] or more 160
Curie temperature of [° C] or lower and 10 [° C] or higher of 90
It is an amorphous alloy in the perpendicular magnetization state showing ferrimagnetism of iron group transition metal dominant at [° C] or less.
【００９３】また、第３の光磁気層６５は、膜厚が２５
０〜１４００オングストロームであり、１９０〔℃〕以
上のキュリー温度を有し、１００〔℃〕以上１６０
〔℃〕以下で１．０キロエルステッド以上の高保磁力で
鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化状
態であり、１０〔℃〕以上９０〔℃〕以下でも垂直磁化
状態の非晶質合金である。The thickness of the third magneto-optical layer 65 is 25
0 to 1400 angstroms, having a Curie temperature of 190 [° C] or higher, and 100 [° C] or higher of 160
Amorphous alloy in a perpendicular magnetization state exhibiting a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant at a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or more at [° C.] or less, and a perpendicular magnetization state even at 10 [° C.] or more and 90 [° C.] or less Is.
【００９４】第１の光磁気層６３と第２の光磁気層６４
と第３の光磁気層６５とは、１０〔℃〕以上９０〔℃〕
以下で交換結合し、第２の光磁気層６４の磁化がほとん
ど失われている温度では、第１の光磁気層６３と第３の
光磁気層６５とは再生時外部磁界で静磁結合しないよう
に構成する。First magneto-optical layer 63 and second magneto-optical layer 64
And the third magneto-optical layer 65 have a temperature of 10 [° C.] or more and 90 [° C.]
At the temperature at which the second magneto-optical layer 64 is exchange-coupled below and the magnetization of the second magneto-optical layer 64 is almost lost, the first magneto-optical layer 63 and the third magneto-optical layer 65 are not magnetostatically coupled by an external magnetic field during reproduction. To configure.
【００９５】なお、第３の光磁気層の膜材料は、上述の
材料に加えてＧd 或いはＮｄを添加してもよい。The film material of the third magneto-optical layer may contain Gd or Nd in addition to the above materials.
【００９６】この光磁気記録媒体への信号記録方法は、
図１の実施例のところで述べた光変調方式でもよいが、
磁界変調方式でもよい。磁界変調記録方式とは、集束し
た記録用レーザー光を透明基板を通して第１の光磁気層
に照射することにより第３の光磁気層をキュリー温度近
傍に上昇させ、この状態のときにこの部分を含む領域に
情報に対応させた極性の磁界を印加することにより情報
に対応した反転磁区パターンを形成するものである。The signal recording method on this magneto-optical recording medium is as follows:
Although the optical modulation method described in the embodiment of FIG. 1 may be used,
A magnetic field modulation method may be used. In the magnetic field modulation recording method, the focused recording laser light is irradiated onto the first magneto-optical layer through the transparent substrate to raise the third magneto-optical layer to near the Curie temperature. A reversed magnetic domain pattern corresponding to information is formed by applying a magnetic field having a polarity corresponding to information to the area including the information.
【００９７】[0097]
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明によると、光磁気層の材質を特定するとともに、各層
の性質を前述したように限定したので、高い記録密度で
かつビットエラーレイトが良好でかつ耐候性を著しく強
化することができるという従来にない優れた光磁気記録
媒体を提供することができる。As is apparent from the above description, according to the present invention, the material of the magneto-optical layer is specified and the properties of each layer are limited as described above, so that the recording density is high and the bit error rate is high. It is possible to provide an unprecedented excellent magneto-optical recording medium in which the heat resistance is excellent and the weather resistance can be remarkably enhanced.
【図１】本発明の第１実施例における光磁気記録媒体の
基本構造を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing a basic structure of a magneto-optical recording medium in a first embodiment of the invention.
【図２】本発明の一実施例の光磁気記録媒体の記録再生
特性を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing recording / reproducing characteristics of a magneto-optical recording medium according to an embodiment of the present invention.
【図３】第２実施例における光磁気記録媒体の基本構造
を示す概略断面図である。FIG. 3 is a schematic sectional view showing a basic structure of a magneto-optical recording medium in a second example.
【図４】第３実施例における光磁気記録媒体の基本構造
を示す概略断面図である。FIG. 4 is a schematic sectional view showing the basic structure of a magneto-optical recording medium in a third embodiment.
【図５】第４実施例における光磁気記録媒体の基本構造
を示す概略断面図である。FIG. 5 is a schematic sectional view showing a basic structure of a magneto-optical recording medium in a fourth example.
【図６】第５実施例における光磁気記録媒体の基本構造
を示す概略断面図である。FIG. 6 is a schematic sectional view showing the basic structure of a magneto-optical recording medium in a fifth embodiment.
【図７】第６実施例における光磁気記録媒体の基本構造
を示す概略断面図である。FIG. 7 is a schematic sectional view showing a basic structure of a magneto-optical recording medium in a sixth example.
【図８】従来例の光磁気記録媒体の基本構造を示す概略
断面図である。FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing the basic structure of a conventional magneto-optical recording medium.
【図９】他の従来例の光磁気記録媒体の基本構造を示す
概略断面図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing the basic structure of another conventional magneto-optical recording medium.
【図１０】第１の光磁気層の反転磁区パターンを第３の
光磁気層の反転磁区パターンとは独立に再生時外部磁界
で変形させて高密度再生を可能にする方法を説明するた
めの光磁気記録媒体の模式的な概略断面図である。FIG. 10 is a view for explaining a method for enabling high density reproduction by deforming the reversed magnetic domain pattern of the first magneto-optical layer independently of the reversed magnetic domain pattern of the third magneto-optical layer by an external magnetic field during reproduction. FIG. 3 is a schematic schematic cross-sectional view of a magneto-optical recording medium.
【図１１】記録後の第１の光磁気層の反転磁区パターン
を示す模式図である。FIG. 11 is a schematic diagram showing an inverted magnetic domain pattern of the first magneto-optical layer after recording.
【図１２】再生時のレーザー光照射による温度分布を示
す図である。FIG. 12 is a diagram showing a temperature distribution due to laser light irradiation during reproduction.
【図１３】図１１における場合の磁化状態を模式的に示
した断面図である。13 is a sectional view schematically showing a magnetized state in the case of FIG.
【図１４】再生時の第１の光磁気層の反転パターンを示
す模式図である。FIG. 14 is a schematic diagram showing an inversion pattern of the first magneto-optical layer during reproduction.
１ 透明基板 ２ 透明干渉層 ６ 誘電体保護層 １３，２３，３３，４３，５３，６３ Ｇd Ｆe Ｃo の
第１の光磁気層 １４ Ｔb Ｄy Ｆe Ｔi の第２の光磁気層 １５ Ｔb Ｆe Ｃo Ｔi の第３の光磁気層 ２４ Ｔb Ｄy Ｆe Ｃｒの第２の光磁気層 ２５ Ｔb Ｆe Ｃo Ｃｒの第３の光磁気層 ３４ Ｔb Ｄy Ｆe Ｎi Ｃｒの第２の光磁気層 ３５ Ｔb Ｆe Ｃo Ｎi Ｃｒの第３の光磁気層 ４４ Ｔb Ｄy Ｆe Ｔa の第２の光磁気層 ４５ Ｔb Ｆe Ｃo Ｔa の第３の光磁気層 ５４ Ｔb Ｄy Ｆe Ｎb の第２の光磁気層 ５５ Ｔb Ｆe Ｃo Ｎb の第３の光磁気層 ６４ Ｔb Ｄy Ｆe Ｐt の第２の光磁気層 ６５ Ｔb Ｆe Ｃo Ｐt の第３の光磁気層 １０６ 誘電体保護層1 Transparent Substrate 2 Transparent Interference Layer 6 Dielectric Protective Layer 13, 23, 33, 43, 53, 63 Gd Fe Co First Magneto-Optical Layer 14 Tb Dy Fe Ti Second Magneto-Optical Layer 15 Tb Fe Co Ti Third magneto-optical layer 24 Tb Dy Fe Cr second magneto-optical layer 25 Tb Fe Co Co Cr third magneto-optical layer 34 Tb Dy Fe Ni Cr second magneto-optical layer 35 Tb Fe Co Ni Cr Third magneto-optical layer 44 Tb Dy Fe Ta second magneto-optical layer 45 Tb Fe Co Ta Ta third magneto-optical layer 54 Tb Dy Fe Ne N second magneto-optical layer 55 Tb Fe Co Nb second Third magneto-optical layer 64 Tb Dy Fe Pt second magneto-optical layer 65 Tb Fe Co Co Pt third magneto-optical layer 106 Dielectric protective layer
Claims (12)
気層，第２の光磁気層，第３の光磁気層および誘電体保
護層とが順次積層され、前記第１の光磁気層は、膜厚が
１００〜４００オングストロームに形成され，５０
〔℃〕以上のキュリー温度を有し，同時に１０〜９０
〔℃〕で且つ０．５キロエルステッド未満の低保磁力で
鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示すＧd Ｆe Ｃ
o を必須構成元素とする非晶質合金からなり、集束され
たレーザ光を相対的に移動させながら前記透明基板を通
して前記第１の光磁気層に照射するとともに，外部磁界
を印加することによって情報の再生を行い得るように構
成された光磁気記録媒体において、 前記第２の光磁気層は、膜厚が１００〜２００オングス
トロームに形成され，１００〜１６０〔℃〕のキュリー
温度を有し，同時に１０〜９０〔℃〕で鉄族遷移金属ド
ミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化状態を維持するＴ
b Ｄy Ｆe Ｔiを必須構成元素とする非晶質合金からな
り、 前記第３の光磁気層は、膜厚が２５０〜１４００オング
ストロームに形成され，１９０〔℃〕以上のキュリー温
度を有し，１００〜１６０〔℃〕で１．０キロエルステ
ッド以上の高保磁力で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ
磁性を示す垂直磁化状態であり，且つ１０〜９０〔℃〕
で垂直磁化状態を維持するＴb Ｆe Ｃoを含む少なくと
も四つの元素を必須構成元素とする非晶質合金からな
り、 前記第１の光磁気層と前記第２の光磁気層と前記第３の
光磁気層とは１０〜９０〔℃〕で交換結合し、前記第２
の光磁気層の磁化がほとんど失われている温度では，前
記第１の光磁気層と第３の光磁気層とが前記再生時の外
部磁界で静磁結合しない性質を備えていることを特徴と
した光磁気記録媒体。1. A transparent interference layer, a first magneto-optical layer, a second magneto-optical layer, a third magneto-optical layer and a dielectric protective layer are sequentially laminated on a transparent substrate, and the first optical layer is formed. The magnetic layer is formed to have a film thickness of 100 to 400 angstroms.
It has a Curie temperature of [℃] or more, and at the same time 10 to 90
Gd Fe C exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant at a low coercive force of [° C.] and less than 0.5 kilo Oersted
It is made of an amorphous alloy containing o as an essential constituent element, and while irradiating the first magneto-optical layer through the transparent substrate while moving the focused laser beam relatively, the information is obtained by applying an external magnetic field. In the magneto-optical recording medium configured so that the reproduction can be performed, the second magneto-optical layer is formed to have a film thickness of 100 to 200 angstrom and has a Curie temperature of 100 to 160 [° C.]. T maintaining the perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of the iron group transition metal dominant at 10 to 90 [° C.]
b An amorphous alloy containing Dy Fe Ti as an essential constituent element, and the third magneto-optical layer is formed to have a film thickness of 250 to 1400 angstroms and has a Curie temperature of 190 [° C.] or higher. A perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or more at ˜160 [° C.], and 10 to 90 [° C.]
And an amorphous alloy containing at least four elements including TbFeCo that maintain a perpendicular magnetization state as an essential constituent element, the first magneto-optical layer, the second magneto-optical layer, and the third photo-magnetic layer. Exchange-coupled with the magnetic layer at 10 to 90 [° C.],
At a temperature at which the magnetization of the magneto-optical layer is almost lost, the first magneto-optical layer and the third magneto-optical layer are not magnetostatically coupled to each other by the external magnetic field during reproduction. And a magneto-optical recording medium.
気層，第２の光磁気層，第３の光磁気層および誘電体保
護層とが順次積層され、前記第１の光磁気層は、膜厚が
１００〜４００オングストロームに形成され，５０
〔℃〕以上のキュリー温度を有し，同時に１０〜９０
〔℃〕で且つ０．５キロエルステッド未満の低保磁力で
鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示すＧd Ｆe Ｃ
o を必須構成元素とする非晶質合金からなり、集束され
たレーザ光を相対的に移動させながら前記透明基板を通
して前記第１の光磁気層に照射するとともに，外部磁界
を印加することによって情報の再生を行い得るように構
成された光磁気記録媒体において、 前記第２の光磁気層は、膜厚が１００〜２００オングス
トロームに形成され，１００〜１６０〔℃〕のキュリー
温度を有し，同時に１０〜９０〔℃〕で鉄族遷移金属ド
ミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化状態を維持するＴ
b Ｄy Ｆe Ｃrを必須構成元素とする非晶質合金からな
り、 前記第３の光磁気層は、膜厚が２５０〜１４００オング
ストロームに形成され，１９０〔℃〕以上のキュリー温
度を有し，１００〜１６０〔℃〕で１．０キロエルステ
ッド以上の高保磁力で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ
磁性を示す垂直磁化状態であり，且つ１０〜９０〔℃〕
で垂直磁化状態を維持するＴb Ｆe Ｃoを含む少なくと
も四つ以上の元素を必須構成元素とする非晶質合金から
なり、 前記第１の光磁気層と前記第２の光磁気層と前記第３の
光磁気層とは１０〜９０〔℃〕で交換結合し、前記第２
の光磁気層の磁化がほとんど失われている温度では，前
記第１の光磁気層と第３の光磁気層とが前記再生時の外
部磁界で静磁結合しない性質を備えていることを特徴と
した光磁気記録媒体。2. A transparent interference layer, a first magneto-optical layer, a second magneto-optical layer, a third magneto-optical layer and a dielectric protective layer are sequentially laminated on a transparent substrate, and the first optical layer is formed. The magnetic layer is formed to have a film thickness of 100 to 400 angstroms.
It has a Curie temperature of [℃] or more, and at the same time 10 to 90
Gd Fe C exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant at a low coercive force of [° C.] and less than 0.5 kilo Oersted
It is made of an amorphous alloy containing o as an essential constituent element, and while irradiating the first magneto-optical layer through the transparent substrate while moving the focused laser beam relatively, the information is obtained by applying an external magnetic field. In the magneto-optical recording medium configured so that the reproduction can be performed, the second magneto-optical layer is formed to have a film thickness of 100 to 200 angstrom and has a Curie temperature of 100 to 160 [° C.]. T maintaining the perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of the iron group transition metal dominant at 10 to 90 [° C.]
It is made of an amorphous alloy containing b Dy Fe Cr as an essential constituent element, and the third magneto-optical layer is formed to have a film thickness of 250 to 1400 angstrom and has a Curie temperature of 190 [° C.] or higher. A perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or more at ˜160 [° C.], and 10 to 90 [° C.]
And an amorphous alloy containing at least four or more elements including TbFeCo that maintain a perpendicular magnetization state as an essential constituent element, the first magneto-optical layer, the second magneto-optical layer, and the third magneto-optical layer. Exchange coupling with the magneto-optical layer of 10 to 90 [° C.],
At a temperature at which the magnetization of the magneto-optical layer is almost lost, the first magneto-optical layer and the third magneto-optical layer are not magnetostatically coupled to each other by the external magnetic field during reproduction. And a magneto-optical recording medium.
気層，第２の光磁気層，第３の光磁気層および誘電体保
護層とが順次積層され、前記第１の光磁気層は、膜厚が
１００〜４００オングストロームに形成され，５０
〔℃〕以上のキュリー温度を有し，同時に１０〜９０
〔℃〕で且つ０．５キロエルステッド未満の低保磁力で
鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示すＧd Ｆe Ｃ
o を必須構成元素とする非晶質合金からなり、集束され
たレーザ光を相対的に移動させながら前記透明基板を通
して前記第１の光磁気層に照射するとともに，外部磁界
を印加することによって情報の再生を行い得るように構
成された光磁気記録媒体において、 前記第２の光磁気層は、膜厚が１００〜２００オングス
トロームに形成され，１００〜１６０〔℃〕のキュリー
温度を有し，同時に１０〜９０〔℃〕で鉄族遷移金属ド
ミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化状態を維持するＴ
b Ｄy Ｆe ＮiＣr を必須構成元素とする非晶質合金か
らなり、 前記第３の光磁気層は、膜厚が２５０〜１４００オング
ストロームに形成され，１９０〔℃〕以上のキュリー温
度を有し，１００〜１６０〔℃〕で１．０キロエルステ
ッド以上の高保磁力で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ
磁性を示す垂直磁化状態であり，且つ１０〜９０〔℃〕
で垂直磁化状態を維持するＴb Ｆe Ｃoを含む少なくと
も四つの元素を必須構成元素とする非晶質合金からな
り、 前記第１の光磁気層と前記第２の光磁気層と前記第３の
光磁気層とは１０〜９０〔℃〕で交換結合し、前記第２
の光磁気層の磁化がほとんど失われている温度では，前
記第１の光磁気層と第３の光磁気層とが前記再生時の外
部磁界で静磁結合しない性質を備えていることを特徴と
した光磁気記録媒体。3. A transparent substrate, a transparent interference layer, a first magneto-optical layer, a second magneto-optical layer, a third magneto-optical layer and a dielectric protective layer are sequentially stacked, the first optical layer. The magnetic layer is formed to have a film thickness of 100 to 400 angstroms.
It has a Curie temperature of [℃] or more, and at the same time 10 to 90
Gd Fe C exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant at a low coercive force of [° C.] and less than 0.5 kilo Oersted
It is made of an amorphous alloy containing o as an essential constituent element, and while irradiating the first magneto-optical layer through the transparent substrate while moving the focused laser beam relatively, the information is obtained by applying an external magnetic field. In the magneto-optical recording medium configured so that the reproduction can be performed, the second magneto-optical layer is formed to have a film thickness of 100 to 200 angstrom and has a Curie temperature of 100 to 160 [° C.]. T maintaining the perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of the iron group transition metal dominant at 10 to 90 [° C.]
It is made of an amorphous alloy containing b Dy Fe NiCr as an essential constituent element, and the third magneto-optical layer is formed to have a film thickness of 250 to 1400 Å, and has a Curie temperature of 190 ° C. or higher. A perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or more at ˜160 [° C.], and 10 to 90 [° C.]
And an amorphous alloy containing at least four elements including TbFeCo that maintain a perpendicular magnetization state as an essential constituent element, the first magneto-optical layer, the second magneto-optical layer, and the third photo-magnetic layer. Exchange-coupled with the magnetic layer at 10 to 90 [° C.],
At a temperature at which the magnetization of the magneto-optical layer is almost lost, the first magneto-optical layer and the third magneto-optical layer are not magnetostatically coupled to each other by the external magnetic field during reproduction. And a magneto-optical recording medium.
気層，第２の光磁気層，第３の光磁気層および誘電体保
護層とが順次積層され、前記第１の光磁気層は、膜厚が
１００〜４００オングストロームに形成され，５０
〔℃〕以上のキュリー温度を有し，同時に１０〜９０
〔℃〕で且つ０．５キロエルステッド未満の低保磁力で
鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示すＧd Ｆe Ｃ
o を必須構成元素とする非晶質合金からなり、集束され
たレーザ光を相対的に移動させながら前記透明基板を通
して前記第１の光磁気層に照射するとともに，外部磁界
を印加することによって情報の再生を行い得るように構
成された光磁気記録媒体において、 前記第２の光磁気層は、膜厚が１００〜２００オングス
トロームに形成され，１００〜１６０〔℃〕のキュリー
温度を有し，同時に１０〜９０〔℃〕で鉄族遷移金属ド
ミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化状態を維持するＴ
b Ｄy Ｆe Ｔaを必須構成元素とする非晶質合金からな
り、 前記第３の光磁気層は、膜厚が２５０〜１４００オング
ストロームに形成され，１９０〔℃〕以上のキュリー温
度を有し，１００〜１６０〔℃〕で１．０キロエルステ
ッド以上の高保磁力で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ
磁性を示す垂直磁化状態であり，且つ１０〜９０〔℃〕
で垂直磁化状態を維持するＴb Ｆe Ｃoを含む少なくと
も四つの元素を必須構成元素とする非晶質合金からな
り、 前記第１の光磁気層と前記第２の光磁気層と前記第３の
光磁気層とは１０〜９０〔℃〕で交換結合し、前記第２
の光磁気層の磁化がほとんど失われている温度では，前
記第１の光磁気層と第３の光磁気層とが前記再生時の外
部磁界で静磁結合しない性質を備えていることを特徴と
した光磁気記録媒体。4. A transparent substrate, a transparent interference layer, a first magneto-optical layer, a second magneto-optical layer, a third magneto-optical layer and a dielectric protective layer are sequentially laminated, the first optical layer. The magnetic layer is formed to have a film thickness of 100 to 400 angstroms.
It has a Curie temperature of [℃] or more, and at the same time 10 to 90
Gd Fe C exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant at a low coercive force of [° C.] and less than 0.5 kilo Oersted
It is made of an amorphous alloy containing o as an essential constituent element, and while irradiating the first magneto-optical layer through the transparent substrate while moving the focused laser beam relatively, the information is obtained by applying an external magnetic field. In the magneto-optical recording medium configured so that the reproduction can be performed, the second magneto-optical layer is formed to have a film thickness of 100 to 200 angstrom and has a Curie temperature of 100 to 160 [° C.]. T maintaining the perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of the iron group transition metal dominant at 10 to 90 [° C.]
b An amorphous alloy containing Dy Fe Ta as an essential constituent element, and the third magneto-optical layer is formed to have a film thickness of 250 to 1400 angstroms and has a Curie temperature of 190 [° C.] or higher. A perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or more at ˜160 [° C.], and 10 to 90 [° C.]
And an amorphous alloy containing at least four elements including TbFeCo that maintain a perpendicular magnetization state as an essential constituent element, the first magneto-optical layer, the second magneto-optical layer, and the third photo-magnetic layer. Exchange-coupled with the magnetic layer at 10 to 90 [° C.],
At a temperature at which the magnetization of the magneto-optical layer is almost lost, the first magneto-optical layer and the third magneto-optical layer are not magnetostatically coupled to each other by the external magnetic field during reproduction. And a magneto-optical recording medium.
気層，第２の光磁気層，第３の光磁気層および誘電体保
護層とが順次積層され、前記第１の光磁気層は、膜厚が
１００〜４００オングストロームに形成され，５０
〔℃〕以上のキュリー温度を有し，同時に１０〜９０
〔℃〕で且つ０．５キロエルステッド未満の低保磁力で
鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示すＧd Ｆe Ｃ
o を必須構成元素とする非晶質合金からなり、集束され
たレーザ光を相対的に移動させながら前記透明基板を通
して前記第１の光磁気層に照射するとともに，外部磁界
を印加することによって情報の再生を行い得るように構
成された光磁気記録媒体において、 前記第２の光磁気層は、膜厚が１００〜２００オングス
トロームに形成され，１００〜１６０〔℃〕のキュリー
温度を有し，同時に１０〜９０〔℃〕で鉄族遷移金属ド
ミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化状態を維持するＴ
b Ｄy Ｆe Ｎbを必須構成元素とする非晶質合金からな
り、 前記第３の光磁気層は、膜厚が２５０〜１４００オング
ストロームに形成され，１９０〔℃〕以上のキュリー温
度を有し，１００〜１６０〔℃〕で１．０キロエルステ
ッド以上の高保磁力で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ
磁性を示す垂直磁化状態であり，且つ１０〜９０〔℃〕
で垂直磁化状態を維持するＴb Ｆe Ｃoを含む少なくと
も四つの元素を必須構成元素とする非晶質合金からな
り、 前記第１の光磁気層と前記第２の光磁気層と前記第３の
光磁気層とは１０〜９０〔℃〕で交換結合し、前記第２
の光磁気層の磁化がほとんど失われている温度では，前
記第１の光磁気層と第３の光磁気層とが前記再生時の外
部磁界で静磁結合しない性質を備えていることを特徴と
した光磁気記録媒体。5. A transparent interference layer, a first magneto-optical layer, a second magneto-optical layer, a third magneto-optical layer and a dielectric protective layer are sequentially laminated on a transparent substrate, and the first optical layer is formed. The magnetic layer is formed to have a film thickness of 100 to 400 angstroms.
It has a Curie temperature of [℃] or more, and at the same time 10 to 90
Gd Fe C exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant at a low coercive force of [° C.] and less than 0.5 kilo Oersted
It is made of an amorphous alloy containing o as an essential constituent element, and while irradiating the first magneto-optical layer through the transparent substrate while moving the focused laser beam relatively, the information is obtained by applying an external magnetic field. In the magneto-optical recording medium configured so that the reproduction can be performed, the second magneto-optical layer is formed to have a film thickness of 100 to 200 angstrom and has a Curie temperature of 100 to 160 [° C.]. T maintaining the perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of the iron group transition metal dominant at 10 to 90 [° C.]
It is made of an amorphous alloy containing b Dy Fe Nb as an essential constituent element, and the third magneto-optical layer is formed to have a film thickness of 250 to 1400 Å, and has a Curie temperature of 190 ° C. or higher. A perpendicular magnetization state exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or more at ˜160 [° C.], and 10 to 90 [° C.]
And an amorphous alloy containing at least four elements including TbFeCo that maintain a perpendicular magnetization state as an essential constituent element, the first magneto-optical layer, the second magneto-optical layer, and the third photo-magnetic layer. Exchange-coupled with the magnetic layer at 10 to 90 [° C.],
At a temperature at which the magnetization of the magneto-optical layer is almost lost, the first magneto-optical layer and the third magneto-optical layer are not magnetostatically coupled to each other by the external magnetic field during reproduction. And a magneto-optical recording medium.
気層，第２の光磁気層，第３の光磁気層および誘電体保
護層とが順次積層され、前記第１の光磁気層は、膜厚が
１００〜４００オングストロームに形成され，５０
〔℃〕以上のキュリー温度を有し，同時に１０〜９０
〔℃〕で且つ０．５キロエルステッド未満の低保磁力で
鉄族遷移金属ドミナントのフェリ磁性を示すＧd Ｆe Ｃ
o を必須構成元素とする非晶質合金からなり、集束され
たレーザ光を相対的に移動させながら前記透明基板を通
して前記第１の光磁気層に照射するとともに，外部磁界
を印加することによって情報の再生を行い得るように構
成された光磁気記録媒体において、 前記第２の光磁気層は、膜厚が１００〜２００オングス
トロームに形成され，１００〜１６０〔℃〕のキュリー
温度を有し，同時に１０〜９０〔℃〕で鉄族遷移金属ド
ミナントのフェリ磁性を示す垂直磁化状態を維持するＴ
b Ｄy Ｆe Ｐtを必須構成元素とする非晶質合金からな
り、 前記第３の光磁気層は、膜厚が２５０〜１４００オング
ストロームに形成され，１９０〔℃〕以上のキュリー温
度を有し，１００〜１６０〔℃〕で１．０キロエルステ
ッド以上の高保磁力で鉄族遷移金属ドミナントのフェリ
磁性を示す垂直磁化状態であり，且つ１０〜９０〔℃〕
で垂直磁化状態を維持するＴb Ｆe Ｃoを含む少なくと
も四つの元素を必須構成元素とする非晶質合金からな
り、 前記第１の光磁気層と前記第２の光磁気層と前記第３の
光磁気層とは１０〜９０〔℃〕で交換結合し、前記第２
の光磁気層の磁化がほとんど失われている温度では，前
記第１の光磁気層と第３の光磁気層とが前記再生時の外
部磁界で静磁結合しない性質を備えていることを特徴と
した光磁気記録媒体。6. A transparent substrate, a transparent interference layer, a first magneto-optical layer, a second magneto-optical layer, a third magneto-optical layer and a dielectric protective layer are sequentially laminated, the first optical layer. The magnetic layer is formed to have a film thickness of 100 to 400 angstroms.
It has a Curie temperature of [℃] or more, and at the same time 10 to 90
Gd Fe C exhibiting ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant at a low coercive force of [° C.] and less than 0.5 kilo Oersted
The information is obtained by irradiating the first magneto-optical layer through the transparent substrate while moving the focused laser light relatively while being made of an amorphous alloy containing o as an essential constituent element, and applying an external magnetic field. In the magneto-optical recording medium configured so that the reproduction can be performed, the second magneto-optical layer is formed to have a film thickness of 100 to 200 angstrom and has a Curie temperature of 100 to 160 [° C.]. T which maintains the perpendicular magnetization state exhibiting the ferrimagnetism of the iron group transition metal dominant at 10 to 90 [° C.]
It is made of an amorphous alloy containing b Dy Fe Pt as an essential constituent element, and the third magneto-optical layer is formed to have a film thickness of 250 to 1400 angstroms, has a Curie temperature of 190 [° C.] or more, It is a perpendicular magnetization state exhibiting a ferrimagnetism of an iron group transition metal dominant with a high coercive force of 1.0 kilo Oersted or more at ˜160 [° C.], and 10 to 90 [° C.]
And an amorphous alloy containing at least four elements including TbFeCo that maintain a perpendicular magnetization state as an essential constituent element, the first magneto-optical layer, the second magneto-optical layer, and the third photo-magnetic layer. Exchange-coupled with the magnetic layer at 10 to 90 [° C.],
At a temperature at which the magnetization of the magneto-optical layer is almost lost, the first magneto-optical layer and the third magneto-optical layer have the property of not being magnetostatically coupled by the external magnetic field during the reproduction. And a magneto-optical recording medium.
Ｆe Ｃo Ｔi を含む非晶質合金により構成されているこ
とを特徴とする請求項１，２，３，４，５又は６記載の
光磁気記録媒体。7. The third magneto-optical layer is at least Tb
7. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the magneto-optical recording medium is composed of an amorphous alloy containing Fe Co Ti.
Ｆe Ｃo Ｃr を含む非晶質合金により構成されているこ
とを特徴とする請求項１，２，３，４，５又は６記載の
光磁気記録媒体。8. The third magneto-optical layer is at least Tb
7. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the magneto-optical recording medium is composed of an amorphous alloy containing Fe Co Cr.
Ｆe Ｃo Ｎi Ｃr を含む非晶質合金により構成されてい
ることを特徴とする請求項１，２，３，４，５又は６記
載の光磁気記録媒体。9. The third magneto-optical layer is at least Tb
7. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the magneto-optical recording medium is composed of an amorphous alloy containing FeCoNiCr.
b Ｆe Ｃo Ｔa を含む非晶質合金により構成されている
ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５又は６記載
の光磁気記録媒体。10. The third magneto-optical layer comprises at least T
7. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein the magneto-optical recording medium is composed of an amorphous alloy containing b Fe Co Ta.
b Ｆe Ｃo Ｎb を含む非晶質合金により構成されている
ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５又は６記載
の光磁気記録媒体。11. The third magneto-optical layer comprises at least T
7. The magneto-optical recording medium according to claim 1, which is composed of an amorphous alloy containing b Fe Co Nb.
b Ｆe Ｃo Ｐt を含む非晶質合金により構成されている
ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５又は６記載
の光磁気記録媒体。12. The third magneto-optical layer comprises at least T
7. The magneto-optical recording medium according to claim 1, which is composed of an amorphous alloy containing b Fe Co Pt.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11427294A JP2809100B2 (en) | 1994-04-30 | 1994-04-30 | Magneto-optical recording medium |
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|---|---|---|---|
| JP11427294A JP2809100B2 (en) | 1994-04-30 | 1994-04-30 | Magneto-optical recording medium |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07302444A true JPH07302444A (en) | 1995-11-14 |
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