JP3344556B2 - High cleanliness polyvinyl acetal resin porous body and its storage method - Google Patents

High cleanliness polyvinyl acetal resin porous body and its storage method

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ポリビニルアセタール
樹脂多孔質体およびその製造方法、保存方法に関し、有
機物質や溶存イオン類、微粒子状物質による汚染がな
、しかも前記ポリビニルアセタール樹脂多孔質体を製
造するにあたり工程上添加された副原料および主原料で
あるポリビニルアルコールの遊離物や,前記ポリビニル
アセタール樹脂多孔質体の殺菌および防黴の目的で付加
された薬剤による汚染や残留もない状態にて、多孔質体
を湿潤状態にて製造および保存する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polyvinyl acetal resin porous material and a method for producing and storing the same, which is free from contamination by organic substances, dissolved ions and fine particles.
In addition, in the production of the polyvinyl acetal resin porous material, it is added for the purpose of disinfecting the polyvinyl acetal resin porous material and free substances of polyvinyl alcohol which is an auxiliary material and a main material added in the process, and for preventing the polyvinyl acetal resin porous material. The present invention relates to a method for producing and storing a porous body in a wet state without contamination or residue by a drug.

【0002】[0002]

【従来の技術】ポリビニルアセタール樹脂多孔質体は吸
水性、保水性に優れると共に湿潤時に好ましい柔軟性や
反発弾性を有する素材としてよく知られている。ポリビ
ニルアセタール樹脂多孔質体は、かかる性質を利用し
て、洗浄用具、拭浄材、に最適な素材として広く用いら
れている。とくに、親水性を有し、洗浄能力が極めて優
れており、それでありながら擦過対象物に対して傷を与
えにくくなお且つ強度的にも優れているといった事から
工業面でも数多く利用されており、クリーンルーム内の
洗浄用途、半導体関連、電子部品関連の洗浄、吸水用部
材として重要な役割を担っている。
2. Description of the Related Art A polyvinyl acetal resin porous material is well known as a material which is excellent in water absorption and water retention and has favorable flexibility and rebound resilience when wet. By utilizing such properties, a polyvinyl acetal resin porous body is widely used as an optimal material for a cleaning tool and a wiper. In particular, it has a hydrophilic property, is extremely excellent in cleaning ability, and yet it is hardly damaged by the object to be rubbed and is also used in many industrial fields because of its excellent strength. It plays an important role as a member for cleaning applications in clean rooms, cleaning related to semiconductors and electronic components, and water absorption.

【0003】ここでいうポリビニルアセタール樹脂多孔
質体は、ポリビニルアセタールスポンジとも呼ばれてお
り、以下、「PVAtスポンジ」と略す。
[0003] The porous polyvinyl acetal resin referred to herein is also called a polyvinyl acetal sponge, and is hereinafter abbreviated as "PVAt sponge".

【0004】このように、PVAtスポンジは、クリー
ンルーム内の洗浄用途等に最適な素材であるが、PVA
tスポンジは、乾燥時に硬化し、その柔軟性および弾力
性が失われるという性質があり、上記効果を発揮するた
めには、一般には湿潤状態にて使用することが必要とな
る。また、PVAt多孔質体の吸水速度は乾燥状態と湿
潤状態では大きな差があり、乾燥状態での吸水速度は湿
潤時のそれに比べ著しく遅いものである。また、乾燥状
態のものを湿潤状態に移行させることは手間のかかるも
あり、乾燥させないように常に湿潤状態を保つこと
が実用上好ましい。
[0004] As described above, PVAt sponge is a material that is most suitable for use in cleaning in a clean room.
The t-sponge hardens when dried and loses its flexibility and elasticity. In order to exhibit the above effects, it is generally necessary to use the t-sponge in a wet state. Further, the water absorption rate of the PVAt porous body has a large difference between the dry state and the wet state, and the water absorption rate in the dry state is much lower than that in the wet state. Furthermore, it shifts the ones dry wet are those time-consuming, it is practically preferable to keep constantly wet so as not to dry.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、PVAt系
多孔質体は湿潤状態で長期間保管すると黴が発生し易い
という問題がある。黴の発生は、衛生上、外観上及び取
り扱い上で問題があり、PVAt系多孔質体に、防黴性
を付与せしめることが必要である。
However, there is a problem that the PVAt-based porous body is liable to generate mold when stored in a wet state for a long period of time. The occurrence of mold is problematic in terms of hygiene, appearance, and handling, and it is necessary to impart a fungicidal property to the PVAt-based porous body.

【0006】かかるPVAtスポンジの保存方法におい
て問題となるのは、有機物質、イオン物質、微粒子物、
微生物類等による該PVAtスポンジの汚染であり、特
に半導体用途にて使用する際、これら汚染物質は極限に
まで低減されていなければならないものである。これに
対し、従来より行なわれているPVAtスポンジの保存
方法としては、防黴性および殺菌性を有する薬剤を製品
に含浸付着させる方法が一般的に行なわれている。例え
ば、デヒドロ酢酸ナトリウム、4−クロロ3,5−ジメ
チルフェノール、塩化ベンザルコニウム、ベンズイミダ
ゾール、などの水溶液が使用されている。
[0006] In the method of preserving such a PVAt sponge, problems are caused by organic substances, ionic substances, fine particles,
Contamination of the PVAt sponge by microorganisms and the like, and particularly when used in semiconductor applications, these contaminants must be reduced to the limit. On the other hand, as a conventional method of preserving a PVAt sponge, a method of impregnating and adhering a product having a fungicidal and bactericidal property to a product is generally performed. For example, aqueous solutions of sodium dehydroacetate, 4-chloro-3,5-dimethylphenol, benzalkonium chloride, benzimidazole and the like have been used.

【0007】しかしながら、このように、薬剤を含む水
溶液にて処理保存したPVAtスポンジを、その状態に
て半導体の洗浄用途等に用いると、洗浄水である超純水
中にこれら薬剤が混入し、洗浄水および洗浄対象物が汚
染されてしまう。よって通常薬剤を含む水溶液にて処理
保存したPVAtスポンジからこれら薬剤を除去するた
めには、使用に先立って、PVAtスポンジに対し、前
洗浄といわれる洗浄が長時間をかけて施される。しか
も、PVAtスポンジを薬剤にて処理して保存した場
合、用いる薬剤の種類によってはその薬剤の影響により
該多孔質体が変質、劣化することも問題となっていた。
However, when the PVAt sponge treated and stored with the aqueous solution containing the chemicals is used for cleaning semiconductors in that state, the chemicals are mixed into the ultrapure water as the cleaning water, The cleaning water and the object to be cleaned are contaminated. Therefore, in order to remove these chemicals from the PVAt sponge which has been treated and stored with an aqueous solution containing a chemical, the PVAt sponge is subjected to a cleaning process called pre-cleaning for a long time before use. Moreover, when the PVAt sponge is treated with a drug and stored, there is a problem that the porous body is deteriorated or deteriorated due to the effect of the drug depending on the type of the drug used.

【0008】特に、PVAtスポンジを半導体関連の洗
浄用部材や電子関連の吸水部材の様な用途にて使用する
場合、たとえば、シリコンウェハー、フォトマスクの精
密洗浄、プリント基盤、リードフレームの洗浄、吸水用
途として使用する場合、PVAtスポンジから溶出する
夾雑物は製品の品質を低下させるだけでなく、製造シス
テム、環境自体の汚染につながり、多大な損害を発生さ
せることになる。このように、クリーンルーム内や清浄
度が高く管理された環境下で使用される場合などでは多
孔質体から発生する夾雑物を極度に低減することが要求
されており、上述薬剤による保存方法ではこれを満足す
るものは得られなかった。
[0008] In particular, when the PVAt sponge is used in applications such as semiconductor-related cleaning members and electronic-related water absorbing members, for example, precision cleaning of silicon wafers and photomasks, cleaning of printed boards and lead frames, and water absorption. When used as an application, contaminants eluted from the PVAt sponge not only reduce the quality of the product, but also lead to contamination of the production system and the environment itself, resulting in great damage. As described above, it is required to extremely reduce impurities generated from the porous body when used in a clean room or in an environment with a high degree of cleanliness. Was not obtained.

【0009】このような、問題点に対処するために、加
熱加圧によるオートクレーブ殺菌、エチレンオキサイド
やオゾンといった酸化性のガスを利用した殺菌、製品を
密閉容器に入れ内部のガスを不活性ガスで置換する方
法、紫外線による殺菌等を挙げることが出来、PVAt
スポンジ以外の素材についてはこれら方法の中から適宜
選択され利用されている。しかしながら、PVAtスポ
ンジに対してはいずれも効果的ではなく、例えばオート
クレーブ殺菌では加熱処理により素材自身が収縮してし
まい、PVAtスポンジ特有の性質である柔軟な弾力性
が失われてしまう。また、酸化性のガスによる殺菌では
多孔質体の内部深層部までガスを浸透させることが難し
いとともに素材自身も酸化による変質を受けやすい。密
閉容器にて不活性ガスによる置換を行なう方法について
も多孔質体に付着する水および素材自身に溶存する酸素
までを除去することは容易でなく、黴の発生を完全に防
止することは出来ない。紫外線を利用した方法について
も紫外線では多孔質体の表層にしか作用せず実用化は難
しかった。
[0009] In order to deal with such problems, autoclave sterilization by heating and pressurizing, sterilization using an oxidizing gas such as ethylene oxide or ozone, putting the product in a closed container, and replacing the gas inside with an inert gas. Substitution method, sterilization by ultraviolet rays, etc.
Materials other than the sponge are appropriately selected from these methods and used. However, none of them is effective for PVAt sponge. For example, in autoclave sterilization, the material itself shrinks due to heat treatment, and the flexible elasticity which is a characteristic property of PVAt sponge is lost. Further, in sterilization using an oxidizing gas, it is difficult to allow the gas to penetrate deep into the inner portion of the porous body, and the material itself is susceptible to deterioration due to oxidation. Even with the method of performing replacement with an inert gas in a closed container, it is not easy to remove water adhering to the porous body and oxygen dissolved in the material itself, and it is not possible to completely prevent the generation of mold. . Also in the method using ultraviolet rays, ultraviolet rays only act on the surface layer of the porous body, and it has been difficult to put them to practical use.

【0010】本発明者は上述の事情に鑑み鋭意研究した
結果、PVAtスポンジを湿潤状態で保存する際、黴の
発生を長期にわたって防止するとともに、保管後に使用
する場合にもPVAtスポンジからの溶出物や発塵がな
く、使用前の前洗浄の短縮もしくは省略ができる事を見
いだしたものであって、本発明の目的は、高清浄度PV
Atスポンジおよびその製造方法、さらには、高清浄度
PVAtスポンジの清浄度を高精度に維持することがで
きるとともに取り扱いが非常に簡便である保存方法を提
供することにある。
The present inventor has conducted intensive studies in view of the above circumstances. As a result, the present inventors have found that, when a PVAt sponge is stored in a wet state, the generation of mold is prevented for a long period of time, and even when used after storage, the eluate from the PVAt sponge is used. The present invention has been found to be capable of shortening or omitting pre-cleaning before use without any dust or dust generation.
An object of the present invention is to provide an At sponge and a method for producing the same, and a storage method that can maintain the cleanliness of a high-purity PVAt sponge with high accuracy and is very easy to handle.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、清浄度の高い
PVAtスポンジ、および水中に溶存、浮遊する粒子、
イオン、有機物等の夾雑物を除去した純水にてPVAt
スポンジを洗浄する清浄度の高いPVAtスポンジの製
造方法、さらに、そのようにして製造した高清浄度なP
VAtスポンジを酸素遮断性フィルムにて全体を密閉包
装し、該密閉包装袋内に酸素吸収剤を内蔵した保存方法
を特徴とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention comprises a highly clean PVAt sponge, and particles dissolved and suspended in water.
PVAt with pure water from which impurities such as ions and organic substances have been removed
A method for producing a highly clean PVAt sponge for cleaning a sponge, and a highly clean PAt sponge thus produced.
The storage method is characterized in that the whole of the VAt sponge is hermetically sealed with an oxygen-blocking film, and an oxygen absorbent is incorporated in the sealed packaging bag.

【0012】本発明の高清浄度PVAtスポンジは、清
浄度としてのCOD値が5ppm以下であること、さら
には、導電率が5μS/cm未満、2.5μm以上の粒
子の粒子数が50000個/cc以下であることを特徴
とするものである。本発明の高清浄度スポンジを用いれ
ば、クリーンルーム内での洗浄工程等での使用に際し、
従来必要とされていた前処理,たとえば不純物が溶出し
ないように予め充分に洗浄しておくといった処理が短縮
もしくは省略できる。さらに、より高い清浄度とするこ
とで、半導体製造工程等の厳しい環境条件の下でも使用
できる。
The high cleanliness PVAt sponge of the present invention has a COD value of 5 ppm or less as a cleanliness, and further has a conductivity of less than 5 μS / cm and a particle number of 50,000 / 2.5 μm or more. cc or less. If the high cleanness sponge of the present invention is used, when used in a cleaning process in a clean room, etc.
It is possible to shorten or omit the conventionally required pretreatment, for example, a treatment of sufficiently washing beforehand so that impurities do not elute. Furthermore, by setting the cleanliness higher, it can be used under severe environmental conditions such as a semiconductor manufacturing process.

【0013】また、高清浄度PVAtスポンジの製造方
法においては、PVAtスポンジを、水中に溶存あるい
は浮遊する粒子,イオン,有機物等の夾雑物を除去した
純水にて洗浄すること、さらには、前記洗浄に使用する
純水の導電率が0.1μS/cm以下で且つCOD値が
1ppm以下であることを特徴とするものである。さら
に、前記純水による洗浄を、米国連邦規格FS209D
にて規定されるクラス100より高い清浄度が維持され
た環境において行なうことはより好ましい。
[0013] In the method for producing a high-purity PVAt sponge, the PVAt sponge is washed with pure water from which impurities such as particles, ions, and organic substances dissolved or suspended in water have been removed. The conductivity of pure water used for cleaning is 0.1 μS / cm or less and the COD value is 1 ppm or less. Further, the cleaning with pure water is performed according to US Federal Standard FS209D.
It is more preferable to carry out in an environment where the cleanliness higher than the class 100 defined by the above is maintained.

【0014】本発明の製造方法によれば、高い清浄度の
PVAtスポンジを製造することができる。さらに、製
造に使用する純水の清浄度を高めることで、半導体製造
工程等の厳しい環境条件の下でも使用することのできる
高い清浄度のPVAtスポンジを製造することができ
る。また、洗浄する環境の清浄度を高めることで、さら
に厳しい品質条件を要求される場合でも使用することの
できる、高い清浄度のPVAtスポンジを製造すること
ができる。
According to the production method of the present invention, a PVAt sponge with high cleanliness can be produced. Further, by increasing the cleanliness of pure water used for the manufacture, a PVAt sponge having a high cleanliness that can be used even under severe environmental conditions such as a semiconductor manufacturing process can be manufactured. Further, by increasing the cleanliness of the environment to be cleaned, it is possible to produce a PVAt sponge having a high cleanliness that can be used even when more stringent quality conditions are required.

【0015】また高清浄度PVAtスポンジの保存方法
においては、高清浄度に製造されたPVAtスポンジ
を、酸素遮断性フィルムにて全体を密閉包装し、さらに
該密閉包装袋内に酸素吸収剤を内蔵することを特徴とす
るものである。
[0015] In the method of storing a high-purity PVAt sponge, the whole of the PVAt sponge manufactured with high cleanliness is hermetically sealed with an oxygen barrier film, and an oxygen absorbent is incorporated in the hermetically sealed bag. It is characterized by doing.

【0016】本発明の保存方法によれば、高清浄度PV
Atスポンジを,酸素遮断性を有する密閉包装内に酸素
吸収剤とともに保存することによって、密閉包装内を無
酸素状態あるいは無酸素状態に近い低酸素濃度の状態を
保つことで、防黴剤を用いる必要がなく、高清浄度PV
Atスポンジ清浄度を高精度に維持することができる
とともに、使用時においても前処理の時間を短縮もしく
は省略することができる。
According to the storage method of the present invention, high cleanliness PV
The anti-fungal agent is used by storing the At sponge in an oxygen-blocking hermetically sealed package together with an oxygen absorbent, thereby keeping the hermetically sealed package in an oxygen-free state or a low oxygen concentration state close to an oxygen-free state. No need, high cleanliness PV
The cleanliness of the At sponge can be maintained with high accuracy, and the time for pretreatment can be shortened or omitted even during use.

【0017】また、前記酸素遮断性フィルムの酸素透過
度が200cc/m2 ・atm・24hr以下であるこ
とを特徴とするものである。このような酸素遮断性に優
れた素材を用いることで、無酸素状態に近い、酸素濃度
の低い状態をつくり出すことができる。
Further, the oxygen barrier film has an oxygen permeability of 200 cc / m 2 · atm · 24 hr or less. By using such a material having excellent oxygen barrier properties, it is possible to create a state having a low oxygen concentration, which is close to an anoxic state.

【0018】また、密閉包装内に酸素検知剤を内蔵する
ことはより好ましい。このような包装方法によれば、も
し、包装が一部破れたりして密閉性を失った場合等、包
装内に酸素の存在を検知する事が出来、誤って不良品を
使用してしまうことを未然に防ぐことができる。
It is more preferable to incorporate an oxygen detector in the hermetically sealed package. According to such a packaging method, the presence of oxygen in the package can be detected if the package is partially torn or loses hermeticity. Can be prevented beforehand.

【0019】また高清浄度のPVAtスポンジ保存方法
において、より清浄度を高める方法として、高清浄度P
VAtスポンジを密閉包装したのち、これに電子線また
はγ線照射を行うことを特徴とするものである。このよ
うにすれば、防黴剤を用いる必要がなく、高清浄度PV
Atスポンジの清浄度を高精度に維持することができ
る。また、電子線またはγ線照射によりPVAtスポン
ジが滅菌されることにより、酸素の存在下にあっても黴
が発生しにくい。したがって、保存のための包装は、密
閉できるものであればよい。また、使用時における前処
理を極めて簡便に行うだけで使用が可能な高清浄度PV
Atスポンジの保存方法が提供できる。
In the method of preserving a sponge with high cleanliness, as a method of further increasing cleanliness, a high cleanliness P
After the VAt sponge is hermetically packaged, it is irradiated with an electron beam or γ-ray. By doing so, it is not necessary to use a fungicide, and high cleanliness PV
The cleanness of the At sponge can be maintained with high accuracy. In addition, since the PVAt sponge is sterilized by irradiation with an electron beam or γ-ray, mold is hardly generated even in the presence of oxygen. Therefore, the packaging for preservation should just be a thing which can be closed. Further, high cleanliness PV which can be used only by performing pretreatment at the time of use very simply.
A method for storing At sponge can be provided.

【0020】ここで、電子線またはγ線照射の照射線量
を10kGy以下とすることで、スポンジの物性変化を
極めて小さく抑えることができる。照射線量が多くなる
と、例えば、圧縮応力が大きくなる、すなわち、スポン
ジとしては硬いものとなってしまう。
Here, when the irradiation dose of the electron beam or the γ-ray irradiation is set to 10 kGy or less, the change in the physical properties of the sponge can be extremely suppressed. When the irradiation dose increases, for example, the compressive stress increases, that is, the sponge becomes hard.

【0021】さらに、電子線またはγ線照射を行うにあ
たっては、密閉包装内の酸素濃度を低くしておく事が好
ましい。これは、電子線あるいはγ線の照射によって酸
素が活性化され、活性化された酸素がスポンジを劣化さ
せるおそれがあるためである。そこで、酸素遮断フィル
ムで密閉包装し、この密閉包装内に酸素吸収剤を内蔵さ
せる、さらには酸素遮断フィルムの酸素透過度を200
cc/m2 ・atm・24hr以下にすることが好まし
い。このようにすることで密閉包装内の酸素濃度を極め
て低く維持することができ、スポンジの物性変化をさら
に小さく抑えることができる。。
Further, when performing electron beam or gamma ray irradiation, it is preferable to lower the oxygen concentration in the sealed package. This is because oxygen is activated by irradiation with an electron beam or γ-ray, and the activated oxygen may deteriorate the sponge. Therefore, the package is hermetically sealed with an oxygen barrier film, and an oxygen absorbent is incorporated in the hermetically sealed package.
It is preferable to set the cc / m 2 · atm · 24 hr or less. By doing so, the oxygen concentration in the sealed package can be kept extremely low, and the change in the physical properties of the sponge can be further suppressed. .

【0022】そして、さらに、密閉包装する際、予めシ
ート成形体にて被覆することが好ましい。このようにす
れば、酸素吸収剤によって、包装内が減圧状態となって
も高清浄度PVAtスポンジが変形することを防止でき
る。また、外圧によって変形することも防止できる。ま
た、密閉包装をさらにフィルム素材にて被覆密封し、二
重に包装すればなお好ましい。このようにすれば、使用
時に外装のみ破棄すれば、使用環境の汚染をさらに低減
できる。
Further, when the package is hermetically sealed, it is preferable to cover the sheet with a sheet molding in advance. In this case, the oxygen absorbent can prevent the high cleanliness PVAt sponge from being deformed even if the inside of the package is in a reduced pressure state. In addition, deformation due to external pressure can be prevented. Further, it is more preferable that the hermetically sealed package is further covered and sealed with a film material and packaged twice. In this way, if only the exterior is discarded at the time of use, contamination of the use environment can be further reduced.

【0023】また、密閉包装することを、米国連邦規格
FS209Dにて規定される浄度としてクラス100
より高い清浄度が維持された環境において行うことはよ
り好ましい。このような環境で包装することで、さらに
厳しい環境条件においても、使用することのできる、高
い清浄度が維持できる。
[0023] In addition, the class 100 to be sealed packaging, as Kiyoshi Kiyoshido which is defined by the US Federal Standard FS209D
It is more preferable to perform in an environment where higher cleanliness is maintained. By packaging in such an environment, high cleanliness that can be used can be maintained even under severer environmental conditions.

【0024】また、PVAtスポンジは、前述したよう
にクリーンルーム内の洗浄用途、半導体関連、電子部品
関連の洗浄、吸水用部材として、多く用いられており、
これらの用途、およびそのうちの一つの用途である洗浄
用スポンジローラに、本発明の高清浄度のPVAtスポ
ンジおよびその製造方法、保存方法を適用することは有
用である。
As described above, the PVAt sponge is widely used for cleaning in a clean room, cleaning for semiconductors and electronic parts, and a member for absorbing water.
It is useful to apply the high-cleanliness PVAt sponge of the present invention and the method for producing and storing the same to these uses and one of the uses, i.e., the cleaning sponge roller.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】本発明の方法において用いる純水
は、25℃における導電率が0.1μS/cm以下、CO
Dが1ppm以下、0.3μ以上の粒子数が100個/
ml以下、生菌数が10個/ml以下なる水質を有する
ことがこのましく、さらには25℃における導電率が
0.055μS/cm以下、CODが1ppm以下、0.
1μ以上の粒子が1個/ml以下、生菌数が0.01個
/ml以下なる水質を有することが好ましい。かかる水
質の超純水を用いて、PVAtスポンジを洗浄すること
によって、該多孔質体に付着する夾雑物が高精度に除去
される。このような水質の超純水は、一般濾過、精密濾
過膜、限外濾過膜、逆浸透膜、透析膜、イオン交換、等
が適用でき、これらの任意の組合せによっても得ること
ができるものである。
Pure water used in the method of the embodiment of the present invention, 25 conductivity at ℃ is 0.1 .mu.S / cm or less, CO
D is 1 ppm or less, and the number of particles of 0.3 μ or more is 100 particles /
ml or less, the number of viable bacteria Preferably to have the following becomes water 10 / ml, more has electrical conductivity at 25 ℃ 0.055μS / cm or less, COD is 1ppm or less, 0.
It is preferable to have a water quality in which the number of particles of 1 μ or more is 1 / ml or less and the number of viable bacteria is 0.01 / ml or less. By washing the PVAt sponge using such water-quality ultrapure water, impurities adhering to the porous body are removed with high precision. Ultrapure water of such quality can be applied to general filtration, microfiltration membrane, ultrafiltration membrane, reverse osmosis membrane, dialysis membrane, ion exchange, etc., and can be obtained by any combination of these. is there.

【0026】前述の超純水を使用して洗浄し、得られた
PVAtスポンジの清浄度は、導電率が5μS/cm
、COD値が5ppm以下、ナトリウムイオン(Na
+)濃度が1ppm以下、2.5μm以上の粒子の粒子
数が50千個/cc以下となる。この値は、半導体製造
工程にも適用可能な値である。なお、導電率およびナト
リウムイオン(Na+)濃度の値は、スポンジ付着水自
体の値である。また、COD値は、純水中でPVAtス
ポンジを揉み出した後、その純水を測定した値である。
各測定値および測定方法の詳細については、後述する。
The washed using the above ultra-pure water, the cleanliness of the resulting PVAt sponge, conductivity 5 [mu] S / cm Not
Full , COD value is 5 ppm or less, sodium ion (Na
+) The number of particles having a concentration of 1 ppm or less and 2.5 μm or more is 50,000 / cc or less. This value is a value applicable to the semiconductor manufacturing process. The values of the electrical conductivity and the sodium ion (Na +) concentration are values of sponge-adhered water itself . The COD value is a value obtained by rubbing out a PVAt sponge in pure water and then measuring the pure water.
Details of each measurement value and measurement method will be described later.

【0027】本発明に用いる酸素遮断性のフィルムとし
ては、ポリ塩化ビニリデン、ナイロン、ポリ酢酸ビニ
ル、ポリビニルアルコール、アルミ箔、アルミ蒸着フィ
ルムが好適に利用できるが、更に好ましくは酸素透過度
が10cc/m2 ・atm・24hrs(20〜25
℃)以下であるものが良好である。また、これら酸素遮
断性の高いフィルムを数種積層したものもしくは、ポリ
エチレン、ポリエステル、ポリプロピレン等のフィルム
に上述酸素遮断性フィルムを組み合わせたものが強度的
にも更に好適である。
As the oxygen-barrier film used in the present invention, polyvinylidene chloride, nylon, polyvinyl acetate, polyvinyl alcohol, aluminum foil, and aluminum-deposited film can be suitably used, and more preferably, the oxygen permeability is 10 cc / cm. m 2 · atm · 24 hrs (20-25
C) or less is good. Further, a film obtained by laminating several kinds of films having high oxygen barrier properties or a film obtained by combining the above-described oxygen barrier film with a film of polyethylene, polyester, polypropylene or the like is more preferable in terms of strength.

【0028】また、二重包装を行なうための外装として
は、内装と同じく酸素遮断性のフィルムを利用してもよ
いが、酸素透過性のものでも使用可能であり、たとえ
ば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ナ
イロンといった汎用素材を利用することが出来る。この
外装の目的は、PVAtスポンジをクリーンルーム外に
て搬送する際、包袋表面が汚染された場合にも二重包装
が施されていれば再度クリーンルーム内に持ち込むとき
に外装袋を取りのぞくだけでその汚染を除去でき、クリ
ーンルームが汚染されることを避けることができるもの
である。
As an exterior for performing double packaging, an oxygen barrier film may be used as in the interior, but an oxygen permeable film may also be used. For example, polyethylene, polypropylene, polyester General-purpose materials such as nylon and nylon can be used. The purpose of this exterior is to remove the exterior bag when transporting the PVAt sponge outside the clean room, and if the double wrapping is applied even if the surface of the wrapper is contaminated, when bringing it back into the clean room. The contamination can be removed and the clean room can be prevented from being contaminated.

【0029】また、上述酸素遮断性の高い素材からなる
包袋内に内蔵させる酸素吸収剤としては、化学的に酸化
され易い物質を利用することができ、例えばアスコルビ
ン酸、活性金属粉末、亜硫酸塩等を利用することができ
るが、取り扱い性、酸素吸収速度、酸素吸収容量等を考
慮すると鉄系のものが好適である。さらに、酸素吸収剤
は微粉末であるほうが酸素との反応性が高まり、効果的
であるが、保存対象物である多孔質体に直接接触させな
い様にする必要がある。一般的には酸素吸収剤微粉末の
粒子系よりも細かい孔を有し、なおかつ通気性のある素
材にて該微粉末を密閉して利用する。
As the oxygen absorbent incorporated in the above-mentioned wrapper made of a material having a high oxygen barrier property, a substance which is easily oxidized chemically can be used. For example, ascorbic acid, active metal powder, sulfite Although iron and the like can be used, an iron-based material is preferable in consideration of handleability, oxygen absorption rate, oxygen absorption capacity, and the like. Further, the oxygen absorbent is more effective when it is a fine powder because it has higher reactivity with oxygen and is effective. However, it is necessary to prevent the oxygen absorbent from coming into direct contact with the porous body to be stored. Generally, the fine powder is closed and used with a material having air holes finer than the particle system of the oxygen absorbent fine powder and having air permeability.

【0030】上述の保存方法によれば、包装内のPVA
tスポンジは、純水で洗浄した直後の清浄度を長期間に
わたり、維持することが可能になる。
According to the storage method described above, the PVA in the package
The t sponge can maintain the cleanliness immediately after being washed with pure water for a long time.

【0031】包装内の酸素ガスを簡便に除去する方法と
しては、真空包装や包装内部のガスを脱気してさらにチ
ッソ、アルゴンといった不活性ガスで置換する方法も挙
げられるが、多孔質材料内部に存在する酸素を完全に除
去することは難しいので、本法と併用するのがより好ま
しい。
As a method for easily removing the oxygen gas in the package, there is a method in which the gas inside the package is degassed and further replaced with an inert gas such as nitrogen or argon. Since it is difficult to completely remove the oxygen present in the solution, it is more preferable to use this method together.

【0032】また、包装内の酸素有無を確認するため
に、酸素の濃度によって色が変化する可逆性の呈色剤を
酸素検知剤として包袋内に内蔵させることも有効であ
る。これにより、包袋内の酸素濃度を容易に確認できる
ためより確実な製品保存が達成される。
In order to check the presence or absence of oxygen in the package, it is also effective to incorporate a reversible colorant whose color changes depending on the concentration of oxygen as an oxygen detector in the package. Thereby, since the oxygen concentration in the wrapper can be easily confirmed, more reliable product storage is achieved.

【0033】また、密閉包装したPVAtスポンジに電
子線またはγ線を照射することによって、PVAtスポ
ンジが滅菌され、多少の酸素が存在しても、黴の発生を
防止することができる。このことにより、包装は密閉で
きるものであればよく、酸素遮断フィルムである必要が
なくなる。したがって、包装および包装作業を簡便にす
ることができる。
Further, by irradiating an electron beam or γ-ray to the hermetically packaged PVAt sponge, the PVAt sponge is sterilized, and the generation of mold can be prevented even if some oxygen is present. This suffices if the package can be hermetically sealed and does not need to be an oxygen barrier film. Therefore, packaging and packaging operations can be simplified.

【0034】本発明の方法によれば、先ず、PVAとホ
ルマリンとの反応によって形成されたPVAtスポンジ
を一般用水にて十分に洗浄して、反応残存物、未反応
物、添加剤等を洗い落としたあと、さらに、上述した水
質を有する純水に浸漬させて機械的に屈伸を与えたの
ち、スポンジに含まれる水分を十分に絞りだし再度純水
を吸水させる工程を繰り返す。
According to the method of the present invention, first, a PVAt sponge formed by a reaction between PVA and formalin is sufficiently washed with general water to remove reaction residues, unreacted materials, additives and the like. Then, after immersing in the pure water having the above-mentioned water quality to mechanically bend and stretch, the process of sufficiently squeezing out the water contained in the sponge and absorbing the pure water again is repeated.

【0035】次いで、この洗浄後のPVAtスポンジが
純水にて湿潤状態にあるまま、酸素遮断性のフィルムに
て全体を被覆し、完全に密封する。この際、酸素吸収剤
を同封し、PVAtスポンジとともに内蔵させる。ま
た、このとき酸素検知剤を同時に内蔵させてもよいし、
シート成形体を利用してPVAtスポンジ全体を被覆し
たのちに酸素遮断性フィルムにて全体を被覆密閉しても
よい。
Next, while the PVAt sponge after the washing is kept wet with pure water, the whole is covered with an oxygen-barrier film and completely sealed. At this time, an oxygen absorbent is enclosed and incorporated together with the PVAt sponge. At this time, an oxygen detector may be incorporated at the same time,
After covering the entire PVAt sponge using a sheet molded body, the entire PVAt sponge may be covered and sealed with an oxygen barrier film.

【0036】酸素吸収剤によって、包袋内の酸素が吸収
されると包袋内部が減圧状態となり、内蔵するPVAt
スポンジ製品が変形を受け、この変形が長期にわたって
保持された場合など変形箇所が復元しないなどの問題を
生じることがあったが、PVAtスポンジ全体を比較的
硬質な上述シート成形体等にて全体を被覆することによ
ってこの問題は回避できる。
When oxygen in the wrapper is absorbed by the oxygen absorbent, the inside of the wrapper is depressurized, and the built-in PVAt
Deformation of the sponge product may cause a problem that the deformed portion is not restored, for example, when the deformation is held for a long time, but the entire PVAt sponge is entirely formed by the relatively hard sheet molding or the like. This problem can be avoided by coating.

【0037】更に、酸素遮断性フィルムにて包装された
PVAtスポンジをさらに全体をフィルム体にて被覆包
装し、二重密閉包装すれば、PVAtスポンジ使用時に
外装体のみ破棄すれば使用環境の汚染をさらに低減する
こと出来る。
Further, if the PVAt sponge wrapped with the oxygen barrier film is further entirely covered and wrapped with a film, and the package is double hermetically sealed, if the outer body alone is discarded when using the PVAt sponge, contamination of the use environment is reduced. It can be further reduced.

【0038】また、上述酸素吸収剤および酸素検知剤
等、PVAtスポンジとともに包袋内に内蔵するものか
らのPVAtスポンジへの逆汚染を考慮すると、これら
部材をPVAtスポンジと直接接触しないように位置さ
せることがより好ましく、例えば、シート成形体の一部
にそれら部材を固定させるような構造を設けることも可
能である。
In consideration of reverse contamination of the PVAt sponge from the oxygen absorber and the oxygen detector, etc., which are contained in the wrapper together with the PVAt sponge, these members are positioned so as not to come into direct contact with the PVAt sponge. More preferably, for example, it is also possible to provide a structure for fixing those members to a part of the sheet molded body.

【0039】さらに、本発明による方法では乾燥状態で
硬化する様な多孔質のみならず、その他の高分子からな
る素材の保存に際して適用できるものである。例えば、
NBRやSBRといったゴム系の素材ものや不織布の
ように繊維質のものからなる素材についても、それら素
材自身の酸化による劣化を防ぐためや、それらに添加さ
れた薬剤類の性能維持を目的としても利用可能である。
Further, the method according to the present invention is applicable not only to storage of a porous material that cures in a dry state, but also to storage of a material composed of other polymers. For example,
For even materials consist of fibrous like NBR or those rubber-based materials such as SBR or nonwoven fabric, and to prevent deterioration due to oxidation thereof material itself, for the purpose of maintaining the performance thereof to be added drug compound Is also available.

【0040】以上のように、本発明に従って、PVAt
スポンジを洗浄して、保存することによって、微粒子や
有機物質、イオン等による汚染がなく、しかも、防黴の
ための薬剤による汚染、残留もなしに、該多孔質体を湿
潤状態にて長期に渡って保存することが出来る。
As described above, according to the present invention, PVAt
By washing and storing the sponge, the porous body is kept in a wet state for a long time without contamination by fine particles, organic substances, ions, etc. Can be saved across.

【0041】さらに、本発明の方法によれば、PVAt
スポンジの使用に際して、従来おこなっていた前洗浄を
短縮もしくは省略することができる。また、PVAtス
ポンジを長期にわたり無酸素状態にて保持できるため、
防黴効果だけでなく、多孔質材自身の酸化による変質も
防止することができる。さらに、多孔質材料や湿潤状態
にあるものに限らず、酸化による劣化、変質を防止する
必要のある部材に幅広く利用することもできる。
Further, according to the method of the present invention, PVAt
When using a sponge, the pre-cleaning conventionally performed can be shortened or omitted. Also, since the PVAt sponge can be maintained in an oxygen-free state for a long time,
Not only the antifungal effect but also the deterioration of the porous material itself due to oxidation can be prevented. Further, the present invention is not limited to a porous material or a material in a wet state, and can be widely used for members that need to prevent deterioration and deterioration due to oxidation.

【0042】なお、清浄度をあらわす各測定項目の検査
方法について、以下に説明する。 (COD、単位:ppm) 測定対象物: スポンジ100ccを蒸留水400cc
中で、100回揉み出し作業を行い、蒸留水でトータル
500ccに調整した水。 測定方法 : 電量滴定法;液中の有機物質を過マンガン
酸カリウムにて酸化させた時の、過マンガン酸カリウム
の量を、当量酸素量に換算して表す。 測定機器 : 携帯・迅速型CODメーター(HC−50
7)セントラル科学(株)製 (導電率、単位:μS/cm) 測定対象物: スポンジに、DI水(イオン交換水:deio
nized)を十分に含ませた状態で、約3分間静置した後
のスポンジの絞り液 測定方法 : 交流2極法;液中に電極を入れ、電気伝導
度を測定する。 測定機器 : コンパクト導電率計(B−173型)
(株)堀場製作所製 (パーティクル数、単位:千個/cc) 測定対象物: スポンジ10ccをDI水800cc中
で、100回揉み出し作業を行い、DI水でトータル10
00ccに調整した水。 測定方法 : 光遮断方式のパーティクルカウンター;測
定対象液10cc中に存在する直径2.5μm以上の粒
子一つ一つの大きさをハロゲン光が遮断されることによ
る電圧降下値によって測定し、数量をカウントする。 測定機器 : HIAC/ROYCO(MODEL410
0) (Naイオン濃度、単位:ppm) 測定対象物: スポンジに、DI水を十分に含ませた状
態で、約3分間静置した後のスポンジの絞り液測定方法
: ナトリウムイオン電極法;フラットなセンサ部にサ
ンプル液を滴下する。 測定機器 : コンパクトイオンメーター(CANDY
C−122)(株)堀場製作所製
An inspection method for each measurement item representing cleanliness will be described below. (COD, unit: ppm) Measurement target: 100 cc of sponge and 400 cc of distilled water
Water that was rubbed out 100 times and adjusted to a total of 500 cc with distilled water. Measurement method: Coulometric titration method: The amount of potassium permanganate when an organic substance in a liquid is oxidized with potassium permanganate is expressed in terms of an equivalent oxygen amount. Measuring equipment: Portable and quick COD meter (HC-50
7) Central Science Co., Ltd. (conductivity, unit: μS / cm) Object to be measured: DI water (ion-exchanged water: deio)
The sponge squeezed liquid after being allowed to stand for about 3 minutes in a state in which nized) is sufficiently contained. Measurement method: AC bipolar method: An electrode is placed in the liquid, and the electric conductivity is measured. Measuring equipment: Compact conductivity meter (B-173 type)
Manufactured by HORIBA, Ltd. (the number of particles, Unit: thousand / cc) the object to be measured: the sponge 10cc in DI water 800cc, performs a work out rubbing 100 times, total with DI water 10
Water adjusted to 00cc. Measuring method: Light-blocking particle counter; Measure the size of each particle having a diameter of 2.5 μm or more in 10 cc of the liquid to be measured by the voltage drop value caused by blocking the halogen light, and count the quantity. I do. Measuring equipment: HIAC / ROYCO (MODEL410
0) (Na ion concentration, unit: ppm) Object to be measured: Sponge liquid contained sufficiently in sponge, allowed to stand for about 3 minutes, and then measured for sponge squeezed liquid: sodium ion electrode method; flat The sample liquid is dropped on the appropriate sensor section. Measuring equipment: Compact ion meter (CANDY
C-122) manufactured by Horiba, Ltd.

【0043】以下に実施例をあげて本発明を説明する
が、本発明はこれら実施例により何ら限定されるもので
はない。
Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0044】(実施例1) ポリビニルアセタール(PVAt)からなるスポンジロ
ーラー1(サイズ:外径60mm×内径30mm×長さ25
4mm)を、COD値1ppm、25°Cにおける導電率
0.06μS/cm、2.5μ以上の粒子数0個/ml
なる水質を有する純水に浸漬し、水中にて機械的に強制
屈伸を施したのちスポンジに含まれていた水分を絞りだ
し、洗浄水を排出したのち再度新鮮な純水にて同操作を
繰り返すことによりPVAtスポンジローラーを洗浄し
た。次に、この洗浄後、湿潤状態にあるスポンジローラ
ーを、図1に示すように、酸素遮断性のフィルムからな
る包装2(サイズ:450mm×170mm)に収納し、同
時に酸素吸収剤3と酸素検知剤4を導入して開口部を加
熱シールし、完全に密閉する。使用する酸素遮断性フィ
ルムは図2に示すように、4層構造となったものを使用
した。構成としては、外層からポリ塩化ビニリデン5、
ナイロン6、ポリエチレン7、直鎖状低密度ポリエチレ
ン8となっており、それぞれの厚みは、5μ、10μ、
25μ、60μであった。酸素吸収剤には三菱ガス化学
社製(エージレス FX−400)を使用し、酸素検知
剤としては、同じく三菱ガス化学社製(エージレスアイ
KS)を使用した。また、このスポンジローラー1
は、アルミディスク等の精密洗浄用に用いられるもので
あり、図3に示すように、表面に多数の突起9を有して
いる。そして、図4に示すように、スポンジローラー1
の回転により、この突起9がアルミディスク等の被洗浄
物10を水などの存在下で擦過しながら洗浄するのであ
る。
Example 1 A sponge roller 1 made of polyvinyl acetal (PVAt) (size: outer diameter 60 mm × inner diameter 30 mm × length 25)
4 mm) with a COD value of 1 ppm, an electrical conductivity of 0.06 μS / cm at 25 ° C., and 0 particles / ml of 2.5 μ or more.
Immersed in pure water having the same water quality as above, mechanically bends and stretches mechanically in water, squeezes out the water contained in the sponge, drains the washing water, and repeats the same operation with fresh pure water again Thus, the PVAt sponge roller was washed. Next, after this washing, the sponge roller in a wet state is housed in a package 2 (size: 450 mm × 170 mm) made of an oxygen barrier film as shown in FIG. Agent 4 is introduced and the opening is heat-sealed and completely closed. As shown in FIG. 2, the oxygen barrier film used had a four-layer structure. As the composition, from the outer layer, polyvinylidene chloride 5,
Nylon 6, polyethylene 7, and linear low-density polyethylene 8, each having a thickness of 5μ, 10μ,
They were 25μ and 60μ. Mitsubishi Gas Chemical Company (Ageless FX-400) was used as an oxygen absorbent, and Mitsubishi Gas Chemical Company (Ageless Eye KS) was also used as an oxygen detector. Also, this sponge roller 1
Is used for precision cleaning of an aluminum disk or the like, and has a large number of projections 9 on the surface as shown in FIG. Then, as shown in FIG.
With this rotation, the projections 9 clean the object 10 such as an aluminum disk while rubbing it in the presence of water or the like.

【0045】(実施例2) 実施例1と同様に、PVAtスポンジローラーを洗浄し
た。次に、この洗浄後、湿潤状態にあるスポンジローラ
ーを、ポリエチレンフィルムからなる包装(サイズ:4
50mm×170mm)に収納し、酸素吸収剤および酸素検
知剤は入れずに、開口部を加熱シールし、完全に密閉す
る。その後、この包装全体に、電子線を照射した。照射
エネルギーは5MeVで、照射線量は4kGyであっ
た。
(Example 2) In the same manner as in Example 1, the PVAt sponge roller was washed. Next, after this washing, the sponge roller in a wet state is packed with a polyethylene film package (size: 4).
(50 mm x 170 mm), heat-sealed the opening, and completely sealed without the oxygen absorber and oxygen detector. Thereafter, the entire package was irradiated with an electron beam. The irradiation energy was 5 MeV and the irradiation dose was 4 kGy.

【0046】(比較例1) PVAtからなるスポンジローラー(サイズ:外径60
mm×内径30mm×長さ254mm)を上述純水にて湿潤状
態としただけで、洗浄は行なわない。これを酸素遮断性
のフィルムからなる包袋(サイズ:450mm×170m
m)に収納し、酸素素吸収剤は入れずに酸素検知剤のみ
入れて開口部を加熱シールして密閉した。酸素遮断性フ
ィルムは実施例1と同じものを使用した。
Comparative Example 1 A sponge roller made of PVAt (size: outer diameter 60)
mm × 30 mm in inner diameter × 254 mm in length) were merely wetted with the above-described pure water, but were not washed. This is a wrapper made of oxygen barrier film (size: 450mm × 170m
m), and only the oxygen detector was added without the oxygen absorber, and the opening was heated and sealed. The same oxygen barrier film as in Example 1 was used.

【0047】(比較例2) PVAtからなるスポンジローラー(サイズ:外径60
mm×内径30mm×長さ254mm)を上述純水にて湿潤状
態としただけで、洗浄は行なわない。これをポリエチレ
ンフィルムからなる包袋(サイズ:450mm×170m
m)に収納し、酸素吸収剤及び酸素検知剤を入れて開口
部を加熱シールし完全密閉した。酸素吸収剤、酸素検知
剤は実施例1と同じものを使用した。
Comparative Example 2 Sponge roller made of PVAt (size: outer diameter 60)
mm × 30 mm in inner diameter × 254 mm in length) were merely wetted with the above-described pure water, but were not washed. This is a wrapper made of polyethylene film (size: 450 mm x 170 m
m), an oxygen absorbent and an oxygen detector were charged, and the opening was heat-sealed and completely closed. The same oxygen absorber and oxygen detector as in Example 1 were used.

【0048】(比較例3) PVAtからなるスポンジローラー(サイズ:外径60
mm×内径30mm×長さ254mm)をデヒドロ酢酸ナトリ
ウム0.3重量%水溶液を3,000cc、及びシュウ酸
0.3重量%水溶液を3,000ccとの混合液に浸漬
し、実施例1と含水率を同じにした。次にこれをポリエ
チレンフィルムからなる包袋(比較例2と同一)に収納
し、酸素吸収剤は入れずに酸素検知剤のみ同封して完全
に密閉した。酸素検知剤は実施例1と同じものを使用し
た。
Comparative Example 3 A sponge roller made of PVAt (size: outer diameter 60)
mm × 30 mm inner diameter × 254 mm length) was immersed in a mixture of 3,000 cc of a 0.3% by weight aqueous solution of sodium dehydroacetate and 3,000 cc of a 0.3% by weight aqueous solution of oxalic acid. The rates were the same. Next, this was housed in a wrapper made of a polyethylene film (same as Comparative Example 2), and only the oxygen detector was enclosed without adding an oxygen absorbent and completely sealed. The same oxygen detector as in Example 1 was used.

【0049】(比較例4) PVAtからなるスポンジローラー(サイズ:外径60
mm×内径30mm×長さ254mm)を上述純水にて湿潤状
態としただけで、洗浄は行なわない。これを酸素遮断性
のフィルムからなる包袋(サイズ:450mm×170m
m)に収納し、包装内の空気を真空吸引したのちチッソ
ガスを導入し酸素吸収剤は入れずに酸素検知剤を入れて
完全に密閉した。酸素遮断性フィルムは実施例1と同じ
ものを使用した。
Comparative Example 4 A sponge roller made of PVAt (size: outer diameter 60)
mm × 30 mm in inner diameter × 254 mm in length) were merely wetted with the above-described pure water, but were not washed. This is a wrapper made of oxygen barrier film (size: 450mm × 170m
m), the air in the package was evacuated to a vacuum, nitrogen gas was introduced, an oxygen detector was added, and no oxygen absorber was added. The same oxygen barrier film as in Example 1 was used.

【0050】(比較例5) PVAtからなるスポンジローラー(サイズ:外径60
mm×内径30mm×長さ254mm)を実施例1と同様に洗
浄した。次に、この洗浄後、湿潤状態にあるスポンジロ
ーラーを、ポリエチレンフィルムからなる包装(サイ
ズ:450mm×170mm)に収納し、同時に酸素吸収剤
と酸素検知剤を導入して開口部を加熱シールし、完全に
密閉する。ポリエチレンフィルムは比較例2と同じもの
を使用した。
Comparative Example 5 A sponge roller made of PVAt (size: outer diameter 60)
mm × 30 mm in inner diameter × 254 mm in length) were washed in the same manner as in Example 1. Next, after this washing, the wet sponge roller is stored in a polyethylene film package (size: 450 mm × 170 mm), and at the same time, an oxygen absorbent and an oxygen detector are introduced, and the opening is heat-sealed. Completely seal. The same polyethylene film as in Comparative Example 2 was used.

【0051】(比較例6) PVAtからなるスポンジローラー(サイズ:外径60
mm×内径30mm×長さ254mm)を実施例1と同様に洗
浄した。次に、この洗浄後、湿潤状態にあるスポンジロ
ーラーを、ポリエチレンフィルムからなる包装(サイ
ズ:450mm×170mm)に収納し、酸素吸収剤は入れ
ずに酸素検知剤のみ入れて開口部を加熱シールし、完全
に密閉した。ポリエチレンフィルムは比較例2と同じも
のを使用した。
Comparative Example 6 A sponge roller made of PVAt (size: outer diameter 60)
mm × 30 mm in inner diameter × 254 mm in length) were washed in the same manner as in Example 1. Next, after this washing, the sponge roller in a wet state is housed in a polyethylene film package (size: 450 mm × 170 mm), and only the oxygen detector is put without the oxygen absorbent, and the opening is heat-sealed. , Completely sealed. The same polyethylene film as in Comparative Example 2 was used.

【0052】以上のように処理した、PVAtスポンジ
ローラーそれぞれを、23℃に一定に保った恒温室に置
き経時的に外観変化を観測し、200日間保存した。
孔質ローラーの外観状態,すなわち黴の発生状況は、次
の表1に示すとおりであった。
[0052] was treated as described above, respectively PVAt sponge roller, observed over time changes in appearance placed in a thermostatic chamber kept constant at 23 ° C., and stored for 200 days. The appearance of the porous roller, that is, the state of mold generation, was as shown in Table 1 below.

【0053】[0053]

【表1】 − : 黴の発生が認められない + : 黴のコロニーを1箇所以上認めた ++ : 黴のコロニーを3箇所以上認めた +++ : 黴のコロニーを10箇所以上認めた[Table 1] -: No mold was found. +: One or more mold colonies were found. ++: Three or more mold colonies were found. +++: Ten or more mold colonies were found.

【0054】本発明のPVAtスポンジからなるスポン
ジローラー、およびその製造方法、保存方法による実施
例1では、表1に示すように少なくとも200日間は黴
の発生を防止することができた。
In Example 1 of the sponge roller made of the PVAt sponge of the present invention, and its production method and storage method, as shown in Table 1, the generation of fungi could be prevented for at least 200 days.

【0055】また、実施例2においても、包装したスポ
ンジローラーに電子線を照射することによって、実施例
1と同様に、少なくとも200日間は黴の発生を防止す
ることができた。これは、電子線の照射によりスポンジ
ローラーが滅菌され、多少の酸素が存在しても、黴の発
生を防止することができるからである。このことによ
り、包装は密閉できるものであればよく、酸素遮断フィ
ルムである必要はない。また、包装および包装作業も簡
便にすることができる。
Also in Example 2, by irradiating the wrapped sponge roller with an electron beam, it was possible to prevent mold generation for at least 200 days, as in Example 1. This is because the sponge roller is sterilized by electron beam irradiation, and even if some oxygen is present, the generation of mold can be prevented. As a result, the package only needs to be able to be sealed, and need not be an oxygen barrier film. Also, packaging and packaging operations can be simplified.

【0056】表1の比較例3は従来の防黴剤を添加する
という従来の方法であって、黴は発生しないが、本発明
の目的は達成できない。
Comparative Example 3 in Table 1 is a conventional method in which a conventional fungicide is added, and no mold is generated, but the object of the present invention cannot be achieved.

【0057】これに対して、その他の比較例は、防黴剤
を添加しない方法であり、比較例1,2および4は純水
による洗浄を行っていない。比較例1では、酸素吸収剤
を入れていないため、包装内に残留している酸素によっ
て、黴が発生する。また比較例2では、包装のフィルム
が酸素遮断性を有していないため、酸素の透過量が、酸
素吸収剤の能力を超えた場合には、黴が発生してしま
う。また比較例4では、最初に包装内の空気をチッソガ
スで置換し、且つ酸素遮断性フィルムで包装しているこ
とから、黴の発生は、比較例1,2に対して遅くはなる
が、酸素吸収剤を入れていないため、徐々に酸素が包装
内に透過するため、黴が発生する。
On the other hand, other comparative examples are methods in which no fungicide is added, and comparative examples 1, 2 and 4 are not washed with pure water. In Comparative Example 1, since no oxygen absorbent was added, molds were generated by the oxygen remaining in the package. In Comparative Example 2, since the packaging film does not have oxygen barrier properties, if the amount of permeated oxygen exceeds the capacity of the oxygen absorbent, mold will be generated. In Comparative Example 4, since the air in the package was first replaced with nitrogen gas and packaged with an oxygen-barrier film, the generation of mold was slower than in Comparative Examples 1 and 2. Since no absorbent is added, oxygen gradually permeates into the package, and molds are generated.

【0058】また、比較例5および6は、純水による洗
浄を行った例であるが、どちらも酸素遮断フィルムは用
いず、ポリエチレンフィルムを用いている。比較例5
は、酸素吸収剤を入れており、比較例の中では良い結果
となっているが、実施例には及ばない。比較例6は酸素
吸収剤を入れていないので、比較例5より悪い結果とな
っている。
Further, Comparative Examples 5 and 6 are examples in which cleaning with pure water was performed, but in both cases, an oxygen barrier film was not used, and a polyethylene film was used. Comparative Example 5
Has an oxygen absorber, which is a good result in the comparative example, but is inferior to the example. Comparative Example 6 did not include an oxygen absorbent, and thus had worse results than Comparative Example 5.

【0059】このように、PVAtスポンジを黴を発生
させないで、かつ湿潤状態で保存するためには、保存の
ための包装内を無酸素状態,あるいは無酸素状態に近い
酸素濃度の低い状態にすることが必要であり、そのため
には、本発明のように、PVAtスポンジを酸素吸収剤
とともに、酸素遮断性のフィルムで密閉包装することが
必要なのである。
As described above, in order to store the PVAt sponge in a wet state without generating mold, the inside of the package for storage must be in an oxygen-free state or a state having a low oxygen concentration close to the oxygen-free state. For this purpose, as in the present invention, it is necessary to hermetically seal the PVAt sponge together with the oxygen absorbent in an oxygen-barrier film.

【0060】このように、実施例によれば、PVAtス
ポンジを湿潤状態で保存する場合、PVAtスポンジを
純水で洗浄したのち、無酸素状態,あるいは無酸素状態
に近い酸素濃度の低い状態で保存することにより、長期
にわたって、黴の発生を抑制する事ができる。
As described above, according to the embodiment, when the PVAt sponge is stored in a wet state, the PVAt sponge is washed with pure water and then stored in an oxygen-free state or a state having a low oxygen concentration close to the oxygen-free state. By doing so, the generation of mold can be suppressed for a long period of time.

【0061】次に、上記した200日間保存後のローラ
ーの酸素遮断性包装を開封し、ローラーを取り出し、導
電率を上記検査法に従って測定した。次に、ローラー使
用前に行われる前洗浄を常法に従って行い、前洗浄時間
ごとの導電率を測定した。その結果は表2に示す通りで
あった。
Next, the roller after storage for 200 days as described above.
-Open the oxygen-barrier packaging of the
The electrical conductivity was measured according to the test method described above. Next, use a roller
Perform pre-cleaning before use according to the usual method, pre-cleaning time
The conductivity of each was measured. The results were as shown in Table 2.

【0062】このように、実施例においては、短い前洗
浄時間で、溶出成分が使用可能な範囲に入っている。と
ころが、比較例1,2および4においては、純水による
洗浄を行っていないため、長い前洗浄時間が必要であ
る。さらに、比較例3では、防黴剤が溶出するため、導
電率が高い値となっている。
As described above, in the examples, the eluted components are within the usable range with a short pre-washing time. However, in Comparative Examples 1, 2, and 4, cleaning with pure water was not performed, so that a long pre-cleaning time was required. Furthermore, in Comparative Example 3, since the fungicide elutes, the electrical conductivity has a high value.

【0063】なお、比較例5および6は、純水による洗
浄を行っており、実施例1,2と同様となる。
In Comparative Examples 5 and 6, cleaning with pure water was performed, and the results were the same as in Examples 1 and 2.

【0064】[0064]

【表2】 [Table 2]

【0065】さらに、内蔵する酸素検知剤にて包袋内の
酸素有無を確認した結果は、表3に示す通りであった。
表3においては、酸素濃度が0.1%以下に達した状態
を『無』と表示した。
Further, the result of confirming the presence / absence of oxygen in the wrapper with the oxygen detector incorporated therein was as shown in Table 3.
In Table 3, the state where the oxygen concentration reached 0.1% or less was indicated as "absent".

【0066】[0066]

【表3】 [Table 3]

【0067】このように、実施例1においては、長時間
にわたって包装内は酸素の無い状態に保たれる。これに
対し、比較例においては、短時間では酸素濃度を低い状
態に保ことができる例もあるが、長時間にわたっては保
つことができない。このように、実施例1によれば、ポ
リビニルアセタールスポンジを湿潤状態で保存する場
合、無酸素状態,あるいは無酸素状態に近い酸素濃度の
低い状態で保存することにより、長期にわたって、黴の
発生を抑制する事ができる。
Thus, in Example 1, the inside of the package is kept free of oxygen for a long time. On the other hand, in the comparative example, there is an example in which the oxygen concentration can be kept low in a short time, but cannot be kept for a long time. As described above, according to Example 1, when polyvinyl acetal sponge is stored in a wet state, it is stored in an oxygen-free state or in a state with a low oxygen concentration close to the oxygen-free state, so that the generation of mold can be prevented for a long time. Can be suppressed.

【0068】また、本発明によれば、多孔質体を長期に
わたり無酸素状態に保持できるため、防黴効果だけでな
く、多孔質材自身の酸化による変質も防止することがで
きる。さらに、多孔質体や湿潤状態にあるものに限ら
ず、酸化による劣化、変質を防止する必要のある部材の
保存に幅広く利用することができる。
Further, according to the present invention, since the porous body can be maintained in an oxygen-free state for a long time, not only the antifungal effect but also the deterioration of the porous material itself due to oxidation can be prevented. Further, the present invention can be widely used for storage of not only a porous body and a material in a wet state but also members that need to prevent deterioration and deterioration due to oxidation.

【0069】また、実施例2においては、電子線の照射
によって、スポンジを滅菌していることから、酸素の存
在する環境であっても、密閉包装がなされていれば,黴
の発生を防止できる。
In the second embodiment, since the sponge is sterilized by the irradiation of the electron beam, even in an environment where oxygen is present, generation of mold can be prevented if the sponge is sealed. .

【0070】[0070]

【発明の効果】本発明のPVAtスポンジおよびその製
造方法、保存方法によれば、PVAtスポンジからの溶
出物や発塵が極度に低減され、使用に際して前洗浄を
縮もしくは省略出来るような方法であって、湿潤状態に
てPVAtスポンジを保存する場合にも長期に渡って防
黴効果を有し、無酸素状態で該多孔質体を保持するた
め、酸化による変質、劣化もなく、実用上極めて有用で
ある。
EFFECTS OF THE INVENTION According to the PVAt sponge of the present invention and the method for producing and storing the same, the eluate and dust generation from the PVAt sponge are extremely reduced, and the pre-cleaning can be shortened or omitted before use. In such a method, even when the PVAt sponge is stored in a wet state, it has an antifungal effect over a long period of time, and since the porous body is kept in an oxygen-free state, there is no deterioration or deterioration due to oxidation. It is extremely useful in practice.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明における保存方法の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a storage method according to the present invention.

【図2】密閉包装に用いられる酸素遮断性フィルムの構
造を示す説明図である
FIG. 2 is an explanatory view showing the structure of an oxygen-barrier film used for hermetic packaging.

【図3】実施例1のスポンジローラーの説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a sponge roller according to the first embodiment.

【図4】図3のブラシローラーでの洗浄の様子の説明図
である。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a state of cleaning with a brush roller of FIG. 3;

【符号の説明】 1 スポンジローラ 2 包装 3 酸素吸収剤 4 酸素検知剤 5 ポリ塩化ビリニデン 6 ナイロン 7 ポリエチレン 8 直鎖状低密度ポリエチレン 9 突起[Description of Signs] 1 Sponge roller 2 Packaging 3 Oxygen absorber 4 Oxygen detector 5 Polyvinylidene chloride 6 Nylon 7 Polyethylene 8 Linear low-density polyethylene 9 Projection

Claims (16)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 清浄度としてのCOD値が5ppm以
、かつ導電率5μS/cm未満であることを特徴とす
る高清浄度ポリビニルアセタール樹脂多孔質体。
1. A high-purity polyvinyl acetal resin porous body characterized by having a COD value as a cleanness of 5 ppm or less and a conductivity of less than 5 μS / cm .
【請求項2】 清浄度としての導電率が5μS/cm未
満で、かつCOD値が5ppm以下、2.5μm以上の
粒子の粒子数が50000個/cc以下である請求項1
記載の高清浄度ポリビニルアセタール樹脂多孔質体。
2. The method according to claim 1, wherein the conductivity as cleanliness is less than 5 μS / cm, and the number of particles having a COD value of 5 ppm or less and 2.5 μm or more is 50,000 / cc or less.
The high-purity polyvinyl acetal resin porous body described in the above.
【請求項3】 高清浄度に製造されたポリビニルアセタ
ール樹脂多孔質体を、酸素遮断性フィルムにて密閉包装
したことを特徴とする高清浄度ポリビニルアセタール樹
脂多孔質体の保存方法。
3. A method for preserving a polyvinyl acetal resin porous body having high cleanliness, wherein a porous body of polyvinyl acetal resin produced with high cleanliness is hermetically packaged with an oxygen barrier film.
【請求項4】 酸素遮断性フィルムによる密閉包装内に
酸素吸収剤を内蔵したことを特徴とする請求項記載の
高清浄度ポリビニルアセタール樹脂多孔質体の保存方
法。
4. The method for preserving a high-purity polyvinyl acetal resin porous body according to claim 3 , wherein an oxygen absorbent is incorporated in the hermetically sealed package formed of the oxygen-barrier film.
【請求項5】 酸素遮断性フィルムの酸素透過度が20
0cc/m2 ・atm・24hr以下である請求項
たは記載の高清浄度ポリビニルアセタール樹脂多孔質
体の保存方法。
5. The oxygen barrier film having an oxygen permeability of 20.
The method for preserving a high-purity polyvinyl acetal resin porous body according to claim 3 or 4, which is 0 cc / m 2 · atm · 24 hr or less.
【請求項6】 密閉包装内に酸素検知剤を内蔵したこと
を特徴とする請求項のいずれかに記載の高清浄度
ポリビニルアセタール樹脂多孔質体の保存方法。
6. A storage method of a high cleanliness polyvinyl acetal resin porous body according to any one of claims 3 to 5, characterized in that a built-in oxygen detecting agent in the sealed package.
【請求項7】 高清浄度に製造されたポリビニルアセタ
ール樹脂多孔質体を密閉包装し、その後電子線またはγ
線照射を行うことを特徴とする高清浄度ポリビニルアセ
タール樹脂多孔質体の保存方法。
7. A polyvinyl acetal resin porous body produced with high cleanliness is hermetically packaged, and then electron beam or γ.
A method for preserving a porous body of polyvinyl acetal resin having high cleanliness, which comprises irradiating with radiation.
【請求項8】 電子線またはγ線照射の照射線量が10
kGy以下であることを特徴とする請求項記載の高清
浄度ポリビニルアセタール樹脂多孔質体の保存方法。
8. The irradiation dose of electron beam or gamma ray irradiation is 10
The method for preserving a porous polyvinyl acetal resin having a high degree of cleanliness according to claim 7, which is not more than kGy.
【請求項9】 酸素遮断性フィルムにて密閉包装し、か
つ該密閉包装内に酸素吸収剤を内蔵することを特徴とす
る請求項または記載の高清浄度ポリビニルアセター
ル樹脂多孔質体の保存方法。
9. A sealed package in an oxygen blocking film, and preservation of high cleanliness polyvinyl acetal resin porous body according to claim 7 or 8, wherein the incorporating the oxygen absorbent into the sealed packaging Method.
【請求項10】 酸素遮断性フィルムの酸素透過度が2
00cc/m2 ・atm・24hr以下である請求項
記載の高清浄度ポリビニルアセタール樹脂多孔質体の保
存方法。
10. The oxygen barrier film having an oxygen permeability of 2
00cc / m 2 · atm · 24hr or less claim 9
The method for preserving the high-purity polyvinyl acetal resin porous body described in the above.
【請求項11】 密閉包装することを、米国連邦規格F
S209Dにて規定される清浄度としてクラス100よ
り高い清浄度が維持された環境において行なうことを特
徴とする請求項10のいずれかに記載の高清浄度ポ
リビニルアセタール樹脂多孔質体の保存方法。
11. The method of claim 1, wherein the hermetically sealed package is a US federal standard F.
The method for preserving a high-purity polyvinyl acetal resin porous body according to any one of claims 3 to 10 , wherein the method is performed in an environment in which a degree of cleanliness higher than class 100 is maintained as the degree of cleanliness specified in S209D. .
【請求項12】 高清浄度に製造されたポリビニルアセ
タール樹脂多孔質体を密閉包装する際、予めシート成形
体にてポリビニルアセタール樹脂多孔質体を被覆したこ
とを特徴とする請求項11のいずれかに記載の高清
浄度ポリビニルアセタール樹脂多孔質体の保存方法。
12. When sealing packaging high cleanliness were produced in polyvinyl acetal resin porous body, of claims 3 to 11, wherein the coated polyvinyl acetal resin porous body in advance the shaped sheet The method for storing a high-purity polyvinyl acetal resin porous body according to any one of the above.
【請求項13】 密閉包装を、さらにフィルム素材にて
被覆密封し、二重に包装したことを特徴とする請求項
12のいずれかに記載の高清浄度ポリビニルアセター
ル樹脂多孔質体の保存方法。
13. A sealed package, coated sealed with further film material, according to claim 3, characterized in that packed double
13. The method for preserving a high-purity polyvinyl acetal resin porous body according to any one of claims 12 to 12 .
【請求項14】 ポリビニルアセタール樹脂多孔質体が
洗浄用スポンジローラであることを特徴とする請求項1
または2に記載の高清浄度ポリビニルアセタール樹脂多
孔質体。
14. The method according to claim 1, wherein the polyvinyl acetal resin porous body is a cleaning sponge roller.
Or the high-purity polyvinyl acetal resin porous body according to 2.
【請求項15】 ポリビニルアセタール樹脂多孔質体が
洗浄用スポンジローラであることを特徴とする請求項
13のいずれかに記載の高清浄度ポリビニルアセター
ル樹脂多孔質体の保存方法。
15. The cleaning device according to claim 3, wherein the polyvinyl acetal resin porous body is a cleaning sponge roller.
14. The method for storing a high-purity polyvinyl acetal resin porous material according to any one of items 13 to 13 .
【請求項16】ナトリウムイオン濃度が1ppm以下で
ある事を特徴とする請求項1〜2のいずれか一つに記載
の高清浄度ポリビニルアセタール樹脂多孔質体。
16. The high-purity polyvinyl acetal resin porous body according to claim 1, wherein a sodium ion concentration is 1 ppm or less.
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