JP3343379B2 - Preform rod etching equipment - Google Patents

Preform rod etching equipment

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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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    • C03C25/00Surface treatment of fibres or filaments made from glass, minerals or slags
    • C03C25/66Chemical treatment, e.g. leaching, acid or alkali treatment
    • C03C25/68Chemical treatment, e.g. leaching, acid or alkali treatment by etching

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバの製造に使
用されるプリフォームロッドの表面を処理するための、
プリフォームロッドエッチング装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for treating a surface of a preform rod used for manufacturing an optical fiber.
The present invention relates to a preform rod etching apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ファイバは、従来より、プリフォーム
ロッドを紡糸することにより製造される。図4の(a)
にプリフォームロッドの斜視図を示し、(b)に紡糸装
置の断面図を示す。図に示すように、プリフォームロッ
ド1は、導光部となるコア部2及びクラッド部3を有す
る石英の母材から構成される。このプリフォームロッド
1は、電気炉等から構成された紡糸炉4において、図の
(b)に示すように、所定の外径まで加熱延伸される。
2. Description of the Related Art Optical fibers are conventionally manufactured by spinning a preform rod. FIG. 4 (a)
2 shows a perspective view of the preform rod, and FIG. 2B shows a cross-sectional view of the spinning device. As shown in the figure, the preform rod 1 is composed of a quartz base material having a core 2 and a clad 3 serving as a light guide. The preform rod 1 is heated and drawn to a predetermined outer diameter in a spinning furnace 4 composed of an electric furnace or the like, as shown in FIG.

【0003】光ファイバ用プリフォームロッド1は、V
AD法等公知の方法で作られたものである。このプリフ
ォームロッド1を製造するにあたり、出来上がったロッ
ドのカットオフ波長、分散等の特性にばらつきが生じて
しまう。従って、出来上がったロッドの特性を調整する
必要がある。その手段として、フッ酸によりプリフォー
ムロッドの外周面を化学的に研磨するエッチング処理が
ある。
The preform rod 1 for an optical fiber has a V
It is made by a known method such as the AD method. In manufacturing the preform rod 1, variations occur in characteristics of the finished rod, such as cutoff wavelength and dispersion. Therefore, it is necessary to adjust the characteristics of the finished rod. As means therefor, there is an etching treatment for chemically polishing the outer peripheral surface of the preform rod with hydrofluoric acid.

【0004】図5に、上記のようなプリフォームロッド
1のエッチングのための従来の装置を図示した。図は従
来のエッチング装置の一例を示す斜視図である。図のよ
うに、従来のエッチング装置は、タンク5の中にフッ酸
6のようなエッチング液を満たし、ここに処理対象とな
るプリフォームロッド1を多数本浸漬して一定時間放置
する。
FIG. 5 shows a conventional apparatus for etching the preform rod 1 as described above. FIG. 1 is a perspective view showing an example of a conventional etching apparatus. As shown in the drawing, in the conventional etching apparatus, a tank 5 is filled with an etching solution such as hydrofluoric acid 6, and a number of preform rods 1 to be treated are immersed in the tank 5 and left for a certain period of time.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な従来のエッチング装置は、処理すべきプリフォームロ
ッドの数に関わりなく比較的多量のフッ酸6をタンク5
の中に収容しておく必要がある。フッ酸6はよく知られ
ているように劇薬であって、作業者に危険を及ぼすおそ
れがあり、特に慎重な取扱いを必要とする。また、フッ
酸6は繰り返し使用するとエッチング効果が次第に低下
する。従って定期的に廃棄を必要とするが、廃液処理は
容易でないため、できるだけ使用量が少ないことが望ま
しい。さらに、プリフォームロッドはその形状や半径そ
の他各種の条件によって、エッチングすべき時間等にそ
れぞればらつきがある。従って、上記のように多数のプ
リフォームロッド1をタンク5の中にまとめて収容した
場合、個々のプリフォームロッド1を適切なタイミング
で引き抜いて取り出す作業は容易でなく、またフッ酸6
が飛び散る危険性もあった。
In the conventional etching apparatus as described above, a relatively large amount of hydrofluoric acid 6 is stored in the tank 5 regardless of the number of preform rods to be processed.
Need to be housed inside. Hydrofluoric acid 6, as is well known, is a powerful drug and can pose a danger to workers, and requires particularly careful handling. When hydrofluoric acid 6 is used repeatedly, the etching effect gradually decreases. Therefore, it is necessary to periodically dispose of the waste liquid. However, since the treatment of the waste liquid is not easy, it is desirable that the used amount be as small as possible. Further, the preform rod has a variation in the time to be etched or the like depending on its shape, radius and other various conditions. Therefore, when a large number of preform rods 1 are collectively accommodated in the tank 5 as described above, it is not easy to pull out and take out each of the preform rods 1 at an appropriate timing.
There was also the danger of splashing.

【0006】本発明は以上の点に着目してなされたもの
で、エッチングのための多量の廃液発生を防止し、さら
に各プリフォームロッド毎に、個別にそのエッチング処
理時間等を管理しやすいプリフォームロッドエッチング
装置を提供することを目的とするものである。
The present invention has been made in view of the above points, and prevents the generation of a large amount of waste liquid for etching, and furthermore, it is easy to manage the etching time etc. individually for each preform rod. It is an object of the present invention to provide a reform rod etching apparatus.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のプリフォームロ
ッドエッチング装置は、それぞれプリフォームロッドと
エッチング液とを収容する複数の筒状容器と、前記筒状
容器を前記プリフォームロッドと共に運動させる容器駆
動部とを有し、前記筒状容器内部には、前記プリフォー
ムロッドを支持するホルダ部材と、容器内壁面に形成さ
れたエッチング液攪拌部材を備えたことを特徴とするも
のである。
A preform rod etching apparatus according to the present invention comprises a plurality of cylindrical containers each containing a preform rod and an etching solution, and a container for moving the cylindrical container together with the preform rod. And a holder for supporting the preform rod and an etching solution stirring member formed on the inner wall surface of the container.

【0008】[0008]

【作用】この装置は、例えば1本のプリフォームロッド
を収容できるそのプリフォームロッドよりやや大きな内
径を持つ筒状容器を備えている。筒状容器の内部には必
要最小限のエッチング液が収容され、さらに筒状容器は
容器駆動部によってプリフォームロッドを軸として回転
させられる。エッチング液は筒状容器の内壁面に形成さ
れた突起によって攪拌され、エッチング効果が高められ
る。容器駆動部を用いてそれぞれプリフォームロッドを
収容した複数の筒状容器を回転させるようにすれば、個
別にプリフォームロッドのエッチング時間が管理でき
る。
This apparatus has a cylindrical container capable of accommodating, for example, one preform rod and having an inner diameter slightly larger than that of the preform rod. A minimum required amount of etching liquid is contained in the cylindrical container, and the cylindrical container is rotated by a container driving unit about a preform rod. The etching solution is stirred by the projections formed on the inner wall surface of the cylindrical container, and the etching effect is enhanced. If a plurality of cylindrical containers each containing a preform rod are rotated using the container driving unit, the etching time of the preform rod can be individually controlled.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明を図の実施例を用いて詳細に説
明する。図1は本発明のプリフォームロッドエッチング
装置実施例を示す斜視図で、その左側に1本の筒状容器
の断面図が記載されている。図に示すように、本発明の
装置では、例えば1本のプリフォームロッド10を収容
する筒状容器11を多数使用する。この筒状容器11
は、内径がプリフォームロッド10の外径よりもやや大
きく選定されており、そこには必要最小限のエッチング
液12が収容されている。このエッチング液12はフッ
酸等から構成される。また、筒状容器11の内壁面に
は、プリフォームロッド10をその内部に支持するホル
ダ部材13と、エッチング液攪拌用の突起14が設けら
れている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a preform rod etching apparatus according to the present invention, and a cross-sectional view of one cylindrical container is described on the left side thereof. As shown in the figure, the apparatus of the present invention uses a large number of cylindrical containers 11 for accommodating, for example, one preform rod 10. This cylindrical container 11
The inner diameter of the preform rod 10 is selected to be slightly larger than the outer diameter of the preform rod 10, and a minimum necessary amount of the etching liquid 12 is stored therein. This etching solution 12 is composed of hydrofluoric acid or the like. The inner wall surface of the cylindrical container 11 is provided with a holder member 13 for supporting the preform rod 10 therein and a projection 14 for stirring the etchant.

【0010】ホルダ部材13は、筒状容器の上部と下部
にそれぞれ1個ずつ設けられており、プリフォームロッ
ド10をつかんで、プリフォームロッド10の外表面が
筒状容器11の内壁面に衝突しないようにしている。こ
のホルダ部材13は、例えば、筒状容器11の内壁面に
一部を固定されたリング状のものから構成される。ま
た、本発明の装置においては、プリフォームロッド10
が筒状容器11の内部で必要最小限のエッチング液12
の中に浸漬されている。従って、エッチング液12が筒
状容器11の内部で十分に対流し、さらによく攪拌され
る必要がある。このためプリフォームロッド10の両端
は、予めテーパ状に成形しておく。さらに、筒状容器1
1の内面に多数の突起を設け、筒状容器11が回転した
場合にエッチング液12が十分攪拌され常に新しいエッ
チング液12がプリフォームロッド10の表面に接触す
るよう構成しておく。一方、上記のような筒状容器11
は、それぞれ容器駆動部15の回転皿16の上に固定さ
れ、この例の場合プリフォームロッド10を軸として回
転させられる構成となっている。
One holder member 13 is provided at each of the upper and lower portions of the cylindrical container, and the outer surface of the preform rod 10 collides with the inner wall surface of the cylindrical container 11 by grasping the preform rod 10. I try not to. The holder member 13 is formed of, for example, a ring-shaped member partially fixed to the inner wall surface of the cylindrical container 11. In the apparatus of the present invention, the preform rod 10
Is the minimum required amount of the etching solution 12 inside the cylindrical container 11.
Is immersed in. Therefore, it is necessary that the etching liquid 12 sufficiently convects inside the cylindrical container 11 and is further stirred well. For this reason, both ends of the preform rod 10 are previously formed in a tapered shape. Furthermore, the cylindrical container 1
A large number of projections are provided on the inner surface of the preform rod 10 so that when the cylindrical container 11 rotates, the etching solution 12 is sufficiently stirred and the new etching solution 12 always contacts the surface of the preform rod 10. On the other hand, the cylindrical container 11 as described above
Are fixed on the rotating plate 16 of the container drive unit 15, respectively, and in this case, are configured to be rotated around the preform rod 10.

【0011】図2に、上記の本発明の装置の具体的な実
施例を示す図を図示した。(a)は容器駆動部の内部構
成図、(b)はエッチング液入れ替え構造を示す断面図
である。図において、(a)に示すように、容器駆動部
15にはそれぞれ図1に示す筒状容器11を支持する回
転皿16と同軸に連結された大径平歯車17Aと、各大
径平歯車17Aの間を連結する小径平歯車17Bが設け
られている。図に示すように、各平歯車17A、17B
はそれぞれ互いに連結しており、モータ18の駆動軸1
9を回転させることによって1つの大径平歯車17Aが
回転し、その回転が伝達されて全ての平歯車17A、1
7Bが回転するよう構成されている。これによって、図
1に示すように、容器駆動部15の全ての回転皿16が
矢印方向に回転する。
FIG. 2 is a diagram showing a specific embodiment of the apparatus of the present invention. (A) is an internal configuration diagram of a container driving unit, and (b) is a cross-sectional view showing an etching liquid replacement structure. In the figure, as shown in (a), a large-diameter spur gear 17A and a large-diameter spur gear, each of which is coaxially connected to a rotating plate 16 that supports the cylindrical container 11 shown in FIG. A small-diameter spur gear 17B connecting between 17A is provided. As shown, each spur gear 17A, 17B
Are connected to each other, and the drive shaft 1 of the motor 18 is
9 rotates one large-diameter spur gear 17A, and the rotation is transmitted to all spur gears 17A, 1A.
7B is configured to rotate. Thereby, as shown in FIG. 1, all the rotating plates 16 of the container driving unit 15 rotate in the direction of the arrow.

【0012】また、図2の(b)に示すように、図1に
示す筒状容器11にはその蓋と底の部分にそれぞれ注入
口11Aと排出孔11Bを設けることができ、例えばフ
ッ酸等のエッチング液12を入れ替える場合、ポンプ等
を用いて自動的にその入れ替えが行えるよう構成しても
よい。これは、作業者がエッチング液に触れる危険を防
止し、作業の安全性を高めるために効果の高い構成であ
る。
As shown in FIG. 2B, the cylindrical container 11 shown in FIG. 1 can be provided with an inlet 11A and an outlet 11B at its lid and bottom, respectively. When the etching liquid 12 such as is replaced, a configuration may be adopted in which the replacement can be automatically performed using a pump or the like. This is a configuration that is highly effective for preventing the danger of the operator coming into contact with the etching solution and improving the safety of the operation.

【0013】図3に上記のようなエッチング処理を行な
った場合の反応式を示す。即ち、図に示すように、プリ
フォームロッドは石英から構成され、その表面がフッ酸
により処理されると、水を含む廃液が生成される。予め
プリフォームロッド表面の処理されるべき部分の質量を
求めておけば、必要最小限のエッチング液12の量もこ
の反応式を用いて算出できる。従って、1本のプリフォ
ームロッドを処理する毎にエッチング液12を交換して
も良いし、また計算によって複数本のプリフォームロッ
ドを処理した後エッチング液12を入れ替える用にして
も差し支えない。
FIG. 3 shows a reaction formula in the case where the above-described etching process is performed. That is, as shown in the figure, the preform rod is made of quartz, and when its surface is treated with hydrofluoric acid, a waste liquid containing water is generated. If the mass of the portion to be treated on the preform rod surface is determined in advance, the necessary minimum amount of the etching solution 12 can be calculated using this reaction formula. Therefore, the etching liquid 12 may be replaced every time one preform rod is processed, or the etching liquid 12 may be replaced after processing a plurality of preform rods by calculation.

【0014】上記の構成の本発明のプリフォームロッド
エッチング装置は、それぞれ各プリフォームロッド10
を個別に筒状容器11に収容し、必要最小限のエッチン
グ液に浸漬すると共に、容器駆動部15を用いてこれら
の筒状容器11を一斉に回転させるため、従来よりも十
分少ない量のエッチング液を用いてエッチング処理を実
行することができる。従って実際の廃液の量も従来より
大幅に減少させることができる。
The preform rod etching apparatus according to the present invention having the above-described structure is provided for each of the preform rods 10.
Are individually housed in the cylindrical container 11 and immersed in the minimum necessary amount of etching solution, and simultaneously rotating these cylindrical containers 11 using the container driving unit 15, the etching amount is sufficiently smaller than in the conventional case. The etching process can be performed using the liquid. Therefore, the actual amount of waste liquid can be greatly reduced as compared with the conventional case.

【0015】さらに、上記のようにプリフォームロッド
毎に容器が異なるため、プリフォームロッド毎に処理時
間を自由に選定して、安全に個別に各プリフォームロッ
ドのエッチング処理を停止させることが可能である。こ
の場合、筒状容器11を容器駆動部15から取り外すよ
うにしてもよいし、また、図2(b)に示したような機
構によって内部のエッチング液を排出したり洗浄用の液
を注入するようにしてエッチング処理を自動停止させて
もよい。これによって、それぞれのプリフォームロッド
のカットオフ波長や分散特性を自由に選定できるという
効果がある。
Furthermore, since the container is different for each preform rod as described above, the processing time can be freely selected for each preform rod, and the etching process for each preform rod can be safely and individually stopped. It is. In this case, the cylindrical container 11 may be detached from the container driving unit 15, or the internal etching solution may be discharged or a cleaning solution may be injected by a mechanism as shown in FIG. The etching process may be automatically stopped as described above. This has the effect that the cutoff wavelength and dispersion characteristics of each preform rod can be freely selected.

【0016】本発明は以上の実施例に限定されない。上
記実施例では、筒状容器にプリフォームロッドを1本ず
つ収容する例を説明したが、筒状容器に例えば2本ない
し3本程度プリフォームロッドを収容するような構成に
しても差し支えない。また筒状容器の断面形状は必ずし
も円筒状でなく、例えば多角形の構造であっても差し支
えない。エッチング液を攪拌するための攪拌部材は、容
器の内部構造にあわせて、突起、凹溝、ひれ、攪拌棒
等、種々の変形が可能である。また、容器は回転運動の
みならず振動や揺動、反転等の運動をする構成でもよ
い。
The present invention is not limited to the above embodiment. In the above-described embodiment, the example in which the preform rods are accommodated in the cylindrical container one by one has been described. Further, the cross-sectional shape of the cylindrical container is not necessarily cylindrical, and may be, for example, a polygonal structure. The stirring member for stirring the etching solution can be variously deformed, such as a projection, a groove, a fin, and a stirring rod, according to the internal structure of the container. Further, the container may be configured to perform not only a rotational motion but also a motion such as a vibration, a swing, and an inversion.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上説明した本発明のプリフォームロッ
ドエッチング装置は、筒状容器にプリフォームロッドと
必要最小限のエッチング液を収容し、そのような筒状容
器を複数本、容器駆動部によって運動させるようにした
ので、従来よりも十分に少ない量のエッチング液を用い
てプリフォームロッドのエッチング処理ができる。ま
た、プリフォームロッドを筒状容器の内部にホルダ部材
を用いて支持し、攪拌用の突起等を用いてエッチング液
を攪拌するため、プリフォームロッドを少量のエッチン
グ液で効率よくエッチング処理できる。
According to the preform rod etching apparatus of the present invention described above, a preform rod and a minimum necessary etching solution are stored in a cylindrical container, and a plurality of such cylindrical containers are operated by a container driving unit. Because of the movement, the preform rod can be etched using a much smaller amount of etchant than in the prior art. In addition, since the preform rod is supported inside the cylindrical container by using a holder member and the etching solution is stirred by using a stirring projection or the like, the preform rod can be efficiently etched with a small amount of etching solution.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のプリフォームロッドエッチング装置の
実施例を示す斜視図及び主要部縦断面図である。
FIG. 1 is a perspective view and a main part longitudinal sectional view showing an embodiment of a preform rod etching apparatus of the present invention.

【図2】本発明の装置の具体的な構成を示し、(a)は
容器駆動部の具体的な平面図、(b)は筒状容器のエッ
チング液入れ替え機構を示す断面図である。
FIGS. 2A and 2B show a specific configuration of the apparatus of the present invention, wherein FIG. 2A is a specific plan view of a container driving unit, and FIG.

【図3】エッチング液の反応式とその内容を示す説明図
である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a reaction formula of an etching solution and its contents.

【図4】光ファイバの製造工程を示すもので、(a)が
プリフォームロッドの斜視図、(b)が紡糸装置の断面
図である。
4A and 4B show a manufacturing process of an optical fiber, wherein FIG. 4A is a perspective view of a preform rod, and FIG. 4B is a cross-sectional view of a spinning device.

【図5】従来のプリフォームロッドエッチング装置の斜
視図である。
FIG. 5 is a perspective view of a conventional preform rod etching apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 プリフォームロッド 11 筒状容器 12 エッチング液 13 ホルダ部材 14 突起(エッチング液攪拌部材) 15 容器駆動部 16 回転皿 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Preform rod 11 Cylindrical container 12 Etching liquid 13 Holder member 14 Projection (etching liquid stirring member) 15 Container drive part 16 Rotating dish

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C03B 37/014 C03B 20/00 B08B 3/00 - 3/14 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) C03B 37/014 C03B 20/00 B08B 3/00-3/14

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 それぞれプリフォームロッドとエッチン
グ液とを収容する複数の筒状容器と、 前記筒状容器を前記プリフォームロッドと共に運動させ
る容器駆動部とを有し、 前記筒状容器内部には、 前記プリフォームロッドを支持するホルダ部材と、 容器内壁面に形成されたエッチング液攪拌部材を備えた
ことを特徴とするプリフォームロッドエッチング装置。
1. A plurality of cylindrical containers each containing a preform rod and an etching solution, and a container drive unit for moving the cylindrical container together with the preform rod, wherein the inside of the cylindrical container is An apparatus for etching a preform rod, comprising: a holder member for supporting the preform rod; and an etchant stirring member formed on an inner wall surface of the container.
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