JP3340563B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、移動体通信機器などの
フィルタとして使用される弾性表面波装置の素子構造に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波装置によるフィルタは、小
型、軽量、高性能なため移動体通信などの通信機器、放
送機器、測定装置などに多く使用されている。従来、ア
ナログ通信方式で使用される中間周波フィルタは狭帯域
特性が要求され、加えて、中心周波数の温度変化が小さ
く、帯域外減衰特性にも厳しいものが要求される。この
ような用途には、ＳＴカット水晶基板上に３ｄＢ比帯域
幅（以後、比帯域幅と略す）が０．０３〜０．１％程度
を持つトランスバ−サル型弾性表面波フィルタなどが使
用されていた。

【０００３】ところが、周波数の有効利用や秘話性など
のため、移動体通信などにおいてアナログ通信方式から
デジタル通信方式への移行が検討されている。この方式
に用いられる中間周波フィルタは、比帯域幅が０．３〜
０．５％程度と比較的広く、群遅延時間が平坦で、帯域
外減衰特性もアナログ通信方式用を超える値が要求され
る。特に、移動通信用の携帯機器では小型化が要求さ
れ、弾性表面波フィルタとしても小型で低挿入損失のも
のが必要である。

【０００４】従来の２つのくし型電極からなるトランス
バ−サル型弾性表面波フィルタは、所望の振幅特性と位
相特性を独立に設計できるという利点を有している。し
かしながら、トランスバーサル型弾性表面波フィルタ
は、挿入損失が大きく、０．３〜０．５％程度の帯域幅
を得るためには多数の電極指（多対のくし型電極）が必
要であり、素子が大きくなり、また帯域外減衰量も十分
でないという欠点があった。

【０００５】低損失で広帯域なフィルタを得る構成とし
て、ＬｉＮｂＯ₃ 基板上に４対のくし型電極を３個、近
接配置したフィルタが知られており、挿入損失が１０ｄ
Ｂ、比帯域幅２０％のものが得られている（M.F.Lewis,
Electron.Letters vol.8,no.23,p.553(1972））。しか
しながら、このフィルタは、挿入損失と比帯域幅が大き
すぎるという欠点があった。

【０００６】他方、低損失で小型な弾性表面波フィルタ
を得る方法として、共振子フィルタや多対くし型電極フ
ィルタが知られている。これらのフィルタは、従来、挿
入損失と帯域外減衰量を考慮してその構造を決めている
だけであり、所望の群遅延時間特性を得ることができな
かった。例えば、水晶基板上に、くし型電極の総対数７
００対を持つ３個のくし型電極を使用したフィルタは、
挿入損失５ｄＢ、比帯域幅０．０２％が得られている
（小山田、吉川、石原、電子通信学会論文誌 vol.J60-
A,no.9,pp.805(1977))。しかしながら、群遅延時間特性
及び帯域内振幅偏差は不明であり、また比帯域幅も狭か
った。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
構成による弾性表面波フィルタでは、デジタル通信方式
に使用される中間周波フィルタに必要とされるような、
比帯域幅が比較的広く、帯域外減衰量も大きく、小型、
低挿入損失で、加えて、群遅延時間が平坦な特性を達成
することはできなかった。

【０００８】本発明は上述した課題を解決したもので、
本発明の目的は、群遅延時間が平坦で、比帯域幅が比較
的広く、低挿入損失で、帯域外減衰量の大きい弾性表面
波装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述の特性を満足する弾
性表面波フィルタを構成するために、圧電基板として、
温度特性が優れ、電気機械結合係数が１％程度の新材料
である四ほう酸リチウム単結晶基板を用いた。この四ほ
う酸リチウム単結晶基板上に、３個の多数対の電極指を
持つくし型電極を弾性表面波の伝搬方向に沿って近接配
置した電極列を形成し、これらくし型電極の電極指によ
る弾性表面波の反射を利用する弾性表面波フィルタとし
て構成した。この弾性表面波フィルタの場合、比帯域幅
などの振幅特性と群遅延時間特性などの位相特性は独立
に設計できず、これら両特性の要求値を共に満足する電
極構成は知られていなかった。加えて、通過帯域外にス
プリアスが発生し、帯域外減衰量も充分でなかった。

【００１０】そこで、本願発明者は、比帯域幅が０．３
％以上であり、帯域内振幅偏差（以下、振幅偏差とい
う）と、帯域内群遅延時間偏差（以下、群遅延時間偏差
という）と、帯域内挿入損失と、通過帯域外のスプリア
スが小さい電気的特性を得るために、ＩＤＴ対数、電極
膜厚などによる影響を詳細に検討し本発明をなした。本
発明による弾性表面波装置は、図１に示すように、四ほ
う酸リチウムからなる基板と、基板上に配置された中央
のくし型電極と、弾性表面波の伝搬方向に沿って中央の
くし型電極の両側に近接配置された第１及び第２のくし
型電極とを含む電極列とを有し、中央のくし型電極の対
数Ｎｃと第１の及び第２のくし型電極の合計の対数Ｎｓ
との和Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 １１０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３２０−３００
０Ｈ／λ ただし、Ｈ／λは、くし型電極の膜厚Ｈをくし型電極の
周期λで規格化した規格化膜厚、を満足することを特徴
とする。

【００１１】特に、中央のくし型電極の対数Ｎｃと第１
の及び第２のくし型電極の合計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋
Ｎｓは、次式 １６０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦２６０−３００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。上述した弾性表面波装置の
電極列からなる第１の電極列と、上述した弾性表面波装
置の電極列からなり、第１の電極列と縦続接続されてい
る第２の電極列とを有することが望ましい。これら第１
の電極列と第２の電極列の接続形式として次の３つの態
様を採用することができる。

【００１２】第１の接続形式は、図２に示すように、第
１の電極列の中央のくし型電極と、第２の電極列の第１
及び第２のくし型電極とがそれぞれ入出力端子に接続さ
れ、第１の電極列の第１及び第２のくし型電極と、第２
の電極列の中央のくし型電極とが接続された接続形式で
あって、第１及び第２の電極列のそれぞれの中央のくし
型電極の対数Ｎｃと第１及び第２のくし型電極の合計の
対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 ２１０−６０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３２０−３００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。

【００１３】特に、中央のくし型電極の対数Ｎｃと第１
及び第２のくし型電極の合計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎ
ｓが、次式 ２２０−６０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３２０−６００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。第２の接続形式は、図３に
示すように、第１の電極列の中央のくし型電極と、第２
の電極列の中央のくし型電極とがそれぞれ入出力端子に
接続され、第１の電極列の第１及び第２のくし型電極
と、第２の電極列の第１及び第２のくし型電極とが接続
された接続形式であって、第１及び第２の電極列のそれ
ぞれの中央のくし型電極の対数Ｎｃと第１及び第２のく
し型電極の合計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 １４０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦２７０−３００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。

【００１４】特に、中央のくし型電極の対数Ｎｃと第１
及び第２のくし型電極の合計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎ
ｓが、次式 １５０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦２６０−３００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。第３の接続形式は、図４に
示すように、第１の電極列の第１及び第２のくし型電極
と、第２の電極列の第１及び第２のくし型電極とがそれ
ぞれ入出力端子に接続され、第１の電極列の中央のくし
型電極と、第２の電極列の中央のくし型電極とが接続さ
れた接続形式であって、第１及び第２の電極列のそれぞ
れの中央のくし型電極の対数Ｎｃと第１及び第２のくし
型電極の合計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 １６０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３１０−３００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。

【００１５】特に、中央のくし型電極の対数Ｎｃと第１
及び第２のくし型電極の合計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎ
ｓが、次式 １７０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３１０−６００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。上述した弾性表面波装置に
おいて、中央のくし型電極の対数Ｎｃと第１及び第２の
くし型電極の合計の対数Ｎｓとの比Ｎｓ／Ｎｃが、次式 １．０≦Ｎｓ／Ｎｃ≦１．６ 又は、２．５≦Ｎｓ／Ｎ
ｃ≦３．１ を満足することが望ましい。

【００１６】上述した弾性表面波装置において、中央の
くし型電極と第１及び第２のくし型電極の最も近接して
いる電極指の中心間距離Ｌｉが、次式 ０．４０λ＋ｎλ≦Ｌｉ≦０．５４λ＋ｎλ ただし、ｎは零を含む正の整数を満足することが望まし
い。

【００１７】特に、電極指の中心間距離Ｌｉが、次式 ０．４３λ＋ｎλ≦Ｌｉ≦０．４７λ＋ｎλ を満足することが望ましい。上述した弾性表面波装置に
おいて、基板上にくし型電極の電極指が形成されてい
る、弾性表面波の伝搬方向における割合であるメタライ
ズ比が、０．５０以上０．７５以下であることが望まし
い。

【００１８】上述した弾性表面波装置において、くし型
電極がアルミニウムを主成分とする金属からなり、くし
型電極の膜厚Ｈをくし型電極の周期λで規格化した規格
化膜厚Ｈ／λが、０．００５以上０．０３以下であるこ
とが望ましい。上述した弾性表面波装置において、基板
のカット面および弾性表面波の伝搬方向が、オイラ角表
示で（０〜４５°，９０±１０°，９０±１０°）及び
それと等価の範囲内であることが望ましい。

【００１９】特に、基板のカット面および弾性表面波の
伝搬方向が、オイラ角表示で（４５±５°，９０±５
°，９０±５°）及びそれと等価の範囲内であることが
望ましい。雰囲気温度による電気特性の変化が少なくな
り温度特性が向上する。また、くし型電極の開口長は、
弾性表面波装置の入出力インピ−ダンスが外部終端イン
ピ−ダンスに整合するように決められる。

【００２０】

【作用】本発明による弾性表面波装置の電極構成の一例
の概略を図１に示す。四ほう酸リチウムからなり圧電性
を有する基板１０の表面に中央のくし型電極２１が配置
され、中央のくし型電極２１の両側に第１及び第２のく
し型電極２２、２３が配置されている。これら第１及び
第２のくし型電極２２、２３は配線２４、２５により並
列に接続されている。それぞれのくし型電極２１、２
２、２３は、組み合わされた２組の電極指２６ａ、２６
ｂと、各電極指２６ａ、２６ｂ間をその端部で電気的に
接続しているバスバー部２７ａ、２７ｂとから構成され
る。電極指２６ａ、２６ｂは弾性表面波の伝搬方向にほ
ぼ垂直な方向に延びており、バスバー部２７ａ、２７ｂ
は弾性表面波の伝搬方向にほぼ平行な方向に延びてい
る。くし型電極２１、２２、２３の電極指はアルミニウ
ムから構成されている。なお、並列に接続される配線２
４、２５は基板１０上以外に配置されてもよい。

【００２１】図５は、本発明による弾性表面波装置にお
ける中央のくし型電極２１と右側の第２のくし型電極２
３の近接部分を弾性表面波伝搬方向に切断した断面図で
ある。くし型電極２１、２３の周期λは、一つの電極指
２６ａとそれと同じ組の最も近い電極指２６ａ′との距
離として定義され、通常、電極指２６ａと電極指２６
ａ′の中心間距離である。

【００２２】くし型電極（ＩＤＴ）の対数は、組み合わ
された電極指２６ａ、２６ｂをそれぞれ１本ずつで１対
と数え、片方のみの場合は０．５対と数える。ＩＤＴ間
隔Ｌｉは、各くし型電極２１、２３の最も外側の電極指
２６ａ、２６ｂ′の中心間距離として定義される。な
お、ＩＤＴ間隔Ｌｉは、ｎを零を含む正の整数として、
Ｌｉ＋ｎλとしてもよい。

【００２３】くし型電極内の弾性表面波伝搬方向での基
板上に電極指が形成されている比率を示すメタライズ比
は、電極指の幅Ｌｆとして、２×Ｌｆ／λで定義され
る。以上の電極構成において、まず、ＩＤＴ総対数、す
なわち中央のくし型電極２１の対数Ｎｃと第１及び第２
のくし型電極２２、２３の合計の対数Ｎｓの和Ｎｃ＋Ｎ
ｓを変化させた場合の比帯域幅、振幅偏差、群遅延時間
偏差を数値シミュレーションにより求めた。その条件を
表１にまとめ、そのシミュレーション結果を図６乃至図
９に示す。図６乃至図９において、比帯域幅を△、振幅
偏差を▽、群遅延時間偏差を●で示す。なお、ＩＤＴ対
数比Ｎｓ／Ｎｃは、中央のくし型電極の対数Ｎｃと前記
第１及び第２のくし型電極の合計との対数Ｎｓの比であ
る。

【００２４】

【表１】 以上の結果から、比帯域幅を０．３％以上、振幅偏差を
６ｄＢ以下、群遅延時間偏差を１．５μＳ以下とするた
めには、規格化膜厚０．９％程度の場合には、総対数を
９０〜２８０対と、また、規格化膜厚１．７％程度の場
合には、総対数を９０〜２４０対の範囲に設定すればよ
いことがわかる。

【００２５】さらに、比帯域幅を０．４％以上、振幅偏
差を３ｄＢ以下、群遅延時間偏差を１．０μＳ以下とす
るためには、規格化膜厚０．９％程度の場合には、総対
数１２０〜２４０と、また、規格化膜厚１．７％程度の
場合には、総対数を１１０〜２１０対の範囲に設定すれ
ばよいことがわかる。また、ＩＤＴ間隔Ｌｉは、０．４
０λ〜０．５５λ程度を用いることが望ましいが、特
に、０．４４λ程度とすれば、比帯域幅を広く、また
は、群遅延時間偏差を少なくすることができる。

【００２６】上述した適切な範囲をＩＤＴ総対数Ｎｃ＋
Ｎｓと規格化膜厚Ｈ／λの関係として図１０にまとめ
る。適切なＩＤＴ総対数Ｎｃ＋Ｎｓの範囲を破線で、さ
らに望ましいＩＤＴ総対数Ｎｃ＋Ｎｓの範囲を実線で示
す。この関係から明らかなように、ＩＤＴ総対数Ｎｃ＋
Ｎｓは、次式 １１０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３２０−３００
０Ｈ／λ を満足している。

【００２７】特に、ＩＤＴ総対数Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 １６０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦２６０−３００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。次に、本発明による弾性表
面波装置の電極構成の他の例として、四ほう酸リチウム
からなる基板１０上に、同じ構成の第１の電極列２０
と、第２の電極列３０とが配置され、これら第１の電極
列２０と第２の電極列３０とが縦続接続された構造につ
いて検討した。

【００２８】第１の電極列２０として、中央のくし型電
極２１が配置され、それをはさんで第１及び第２のくし
型電極２２、２３が配置されている。それぞれのくし型
電極２１、２２、２３は、組み合わされた２組の電極指
２６ａ、２６ｂ、および、各電極指間をその端部で電気
的に接続しているバスバー部２７ａ、２７ｂから構成さ
れている。電極指２６ａ、２６ｂは弾性表面波の伝搬方
向にほぼ垂直な方向に延びており、バスバー部２７ａ、
２７ｂは弾性表面波の伝搬方向にほぼ平行な方向に延び
ている。

【００２９】第２の電極列３０も、第１の電極列２０と
同様の構成である。中央のくし型電極３１が配置され、
それをはさんで第１及び第２のくし型電極３２、３３が
配置されている。それぞれのくし型電極３１、３２、３
３は、組み合わされた２組の電極指３６ａ、３６ｂ、お
よび、各電極指間をその端部で電気的に接続しているバ
スバー部３７ａ、３７ｂから構成されている。電極指３
６ａ、３６ｂは弾性表面波の伝搬方向にほぼ垂直な方向
に延びており、バスバー部３７ａ、３７ｂは弾性表面波
の伝搬方向にほぼ平行な方向に延びている。

【００３０】このような２つの電極列２０、３０の接続
形式としては３つの態様がある。これら３つの接続形式
による弾性表面波装置の概略を図２、図３、図４にそれ
ぞれ示す。第１の接続形式による弾性表面波装置を図２
に示す。第１の接続形式においては、第１の電極列２０
の中央のくし型電極２１が入力端子４１に接続され、第
１の電極列２０の第１及び第２のくし型電極２２、２３
は配線２４、２５により並列に接続されている。配線２
５は、縦続配線４２により第２の電極列３０の中央のく
し型電極３１に接続され、第２の電極列３０の第１及び
第２のくし型電極３２、３３は配線３５により並列に接
続され、出力端子４３に接続されている。

【００３１】第２の接続形式による弾性表面波装置を図
３に示す。第２の接続形式においては、第１の電極列２
０の中央のくし型電極２１が入力端子４１に接続され、
第１の電極列２０の第１及び第２のくし型電極２２、２
３は配線２４により接続され、縦続配線４２ａ、４２ｂ
により第２の電極列３０の第１及び第２のくし型電極３
２、３３にそれぞれ接続され、第２の電極列３０の第１
及び第２のくし型電極３２、３３は配線３５により接続
されている。第２の電極列３０の中央のくし型電極３１
は出力端子４３に接続されている。なお、縦続配線４２
ａ、４２ｂ間が他の配線により相互に接続されていても
よい。また、配線２４、３５を用いず、第１の電極列２
０の第１及び第２のくし型電極２２、２３と第２の電極
列３０の第１及び第２のくし型電極３２、３３が他の配
線により直接接続されていてもよい。

【００３２】第３の接続形式による弾性表面波装置を図
４に示す。第３の接続形式においては、第１の電極列２
０の第１及び第２のくし型電極２２、２３は配線２４に
より並列に接続されると共に入力端子４１に接続され、
第１の電極列２０の中央のくし型電極２１は縦続配線４
２により第２の電極列３０の中央のくし型電極３１に接
続され、第２の電極列３０の第１及び第２のくし型電極
３２、３３は配線３５により並列に接続されると共に出
力端子４３に接続されている。

【００３３】なお、上述した第１乃至第３の接続形式の
弾性表面波装置において、配線２４、２５、３４、３５
および縦続配線４２は、基板１０上以外に配置されても
よい。また、第１及び第２の電極列２０、３０は、それ
ぞれ別個の基板１０上に形成されていてもよい。

【００３４】更に、入力端子４１、出力端子４３は、非
平衡入出力の場合を示しており、各くし型電極の他端は
共通電位に接続され、接地されているが、入出力端子の
一方または両方を平衡入出力として、縦続接続の配線の
一方を共通電位に接続しないようにしてもよい。上述し
た第１乃至第３の接続形式において、ＩＤＴ総対数（中
央のくし型電極２１の対数Ｎｃと第１及び第２のくし型
電極２２、２３の合計の対数Ｎｓの和Ｎｃ＋Ｎｓ）を変
化させた場合の比帯域幅、振幅偏差、群遅延時間偏差を
数値シミュレーションにより求めた。その条件を表２に
示し、そのシミュレーション結果を図１１乃至図２８に
示す。図１１乃至図２８において、比帯域幅を△、振幅
偏差を▽、群遅延時間偏差を●で示す。なお、ＩＤＴ対
数比Ｎｓ／Ｎｃは、中央のくし型電極の対数Ｎｃと第１
及び第２のくし型電極の合計の対数Ｎｓとの比である。
くし型電極の電極指はアルミニウムから構成され、メタ
ライズ比は０．５である。第１の電極列２０と第２の電
極列３０の各くし型電極は同じ構成である。

【００３５】

【表２】 第１の接続形式を用いた場合には、図１１乃至図１８に
示すシミュレーション結果からわかるように、比帯域幅
を０．３％以上、振幅偏差を６ｄＢ以下、群遅延時間偏
差を３μＳ以下とするためには、規格化膜厚０．９％程
度の場合には総対数を１６５〜２８５対と、規格化膜厚
１．２％程度の場合には総対数を１４５〜２８０対と、
また、規格化膜厚１．６％程度の場合には総対数を１１
５〜２７０対の範囲に設定すればよいことがわかる。さ
らに、規格化膜厚０．９％程度の場合には総対数を１６
５〜２５０対の範囲に、規格化膜厚１．２％程度の場合
には総対数を１４５〜２４０対の範囲に、また、規格化
膜厚１．６％程度の場合には総対数を１１５〜１９５対
の範囲に設定すれば、群遅延時間偏差が２μＳ以下とな
る。

【００３６】上述した適切な範囲をＩＤＴ総対数Ｎｃ＋
Ｎｓと規格化膜厚Ｈ／λの関係として図２９にまとめ
る。適切なＩＤＴ総対数Ｎｃ＋Ｎｓの範囲を破線で、さ
らに望ましいＩＤＴ総対数Ｎｃ＋Ｎｓの範囲を実線で示
す。この関係から明らかなように、ＩＤＴ総対数Ｎｃ＋
Ｎｓが、次式 ２１０−６０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３２０−３００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。

【００３７】特に、ＩＤＴ総対数Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 ２２０−６０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３２０−６００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。第２の接続形式を用いた場
合には、図１９乃至図２４に示すシミュレーション結果
からわかるように、比帯域幅を０．３％以上、振幅偏差
を６ｄＢ以下、群遅延時間偏差を３μＳ以下とするため
には、規格化膜厚０．９％程度の場合には総対数を１２
０〜２４５対と、また、規格化膜厚１．６％程度の場合
には総対数を９０〜２１０対の範囲に設定すればよいこ
とがわかる。さらに、規格化膜厚０．９％程度の場合に
は総対数１２０〜２３５と、また、規格化膜厚１．６％
程度の場合には総対数を９５〜２１０対の範囲に設定す
れば群遅延時間偏差が２μＳ以下となる。

【００３８】上述した適切な範囲をＩＤＴ総対数Ｎｃ＋
Ｎｓと規格化膜厚Ｈ／λの関係として図３０にまとめ
る。適切なＩＤＴ総対数Ｎｃ＋Ｎｓの範囲を破線で、さ
らに望ましいＩＤＴ総対数Ｎｃ＋Ｎｓの範囲を実線で示
す。この関係から明らかなように、ＩＤＴ総対数Ｎｃ＋
Ｎｓが、次式 １４０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦２７０−３００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。

【００３９】特に、ＩＤＴ総対数Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 １５０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦２６０−３００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。第３の接続形式を用いた場
合には、図２５乃至図２８に示すシミュレーション結果
からわかるように、比帯域幅を０．３％以上、振幅偏差
を６ｄＢ以下、群遅延時間偏差を３μＳ以下とするため
には、規格化膜厚０．９％程度の場合には総対数を１４
０〜２７０対と、また、規格化膜厚１．６％程度の場合
には総対数を１１０〜２６０対の範囲に設定すればよい
ことがわかる。さらに、規格化膜厚０．９％程度の場合
には総対数１４０〜２５０対と、また、規格化膜厚１．
６％程度の場合には総対数を１１０〜２００対の範囲に
設定すれば群遅延時間偏差を２μＳ以下とすることがで
きる。

【００４０】上述した適切な範囲をＩＤＴ総対数Ｎｃ＋
Ｎｓと規格化膜厚Ｈ／λの関係として図３１にまとめ
る。適切なＩＤＴ総対数Ｎｃ＋Ｎｓの範囲を破線で、さ
らに望ましいＩＤＴ総対数Ｎｃ＋Ｎｓの範囲を実線で示
す。この関係から明らかなように、ＩＤＴ総対数Ｎｃ＋
Ｎｓが、次式 １６０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３１０−３００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。

【００４１】特に、ＩＤＴ総対数Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 １７０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３１０−６００
０Ｈ／λ を満足することが望ましい。また、第１の電極列２０と
第２の電極列３０を２段縦続接続した場合でも、ＩＤＴ
間隔Ｌｉは、０．４０λ〜０．５４λ程度の範囲を用い
ることが望ましいが、特に、０．４５λ程度（０．４３
λ〜０．４７λの範囲）とすると比帯域幅の範囲を広く
できるので更に望ましいことがわかる。

【００４２】加えて、対数比（中央のくし型電極２１の
対数Ｎｃと第１及び第２のくし型電極２２、２３の合計
の対数Ｎｓとの比Ｎｓ／Ｎｃ）が通過帯域よりも低周波
側のスプリアス（不要な低減衰量の周波数域）の特性に
大きく影響していることに着目した。図３２に弾性表面
波装置の典型的な通過特性を示す。必要とする通過帯域
の低周波側にスプリアスを示すピークがあることがわか
る。このスプリアスを通過帯域に近い側からスプリアス
１、スプリアス２、スプリアス３、スプリアス４と呼
び、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４で示す。

【００４３】そして、第１の電極列２０における対数比
Ｎｓ／Ｎｃを変化させた場合のその通過特性を数値シミ
ュレーションにより種々の条件で求めた。その条件を表
３に示し、各スプリアス強度との関係を図３３乃至図３
７にまとめる。なお、電極指はアルミニウムから構成さ
れ、メタライズ比は０．５０である。

【００４４】

【表３】 図３３乃至図３７からわかるように、対数比Ｎｓ／Ｎｃ
が１．３近傍または２．８近傍でスプリアスが極小とな
る。対数比Ｎｓ／Ｎｃが １．０≦Ｎｓ／Ｎｃ≦１．６ または、２．５≦Ｎｓ／
Ｎｃ≦３．１ を満足する範囲では、スプリアスが小さくなる。

【００４５】特に、対数比Ｎｓ／Ｎｃが １．１≦Ｎｓ／Ｎｃ≦１．４ または、２．７≦Ｎｓ／
Ｎｃ≦２．９ の範囲では、さらに優れたスプリアス減衰が得られる。
この場合、第１の電極列２０と第２の電極列３０を縦続
接続すると、５０ｄＢ以上の優れたスプリアス減衰を得
ることができる。

【００４６】さらに、本願発明者は、メタライズ比を適
切な範囲に設定することにより、通過帯域幅をより広く
することが可能なことを見出した。このメタライズ比に
よる通過帯域幅の変化を図３８に示す。図３８では、規
格化膜厚Ｈ／λが０．８９％と１．６７％の場合のメタ
ライズ比による通過帯域幅の変化を示している。両方の
場合とも、メタライズ比が０．５以上０．７５以下にお
いて通過帯域幅が広くなっている。特に、メタライズ比
が０．６以上０．７以下であることが望ましい。

【００４７】なお、この場合の電極構造はともに図１に
示した構造であり、規格化膜厚が０．８９％の場合はＩ
ＤＴ間隔０．４４λ、中央のＩＤＴ対数８６、第１及び
第２のＩＤＴ対数７６である。また、規格化膜厚Ｈ／λ
が１．６７％の場合はＩＤＴ間隔０．４６λ、中央のＩ
ＤＴ対数６６、第１及び第２のＩＤＴ対数４４である。

【００４８】

【実施例】実施例１〜５として、図１に示す構造の弾性
表面波フィルタを作製して評価した。実施例１〜５の構
造などを表４にまとめ、その通過特性を図３９乃至図４
３に示す。実施例１〜５では、基板１０として、４５°
もしくは４３°Ｙ回転Ｘ板の四ほう酸リチウム単結晶基
板を用い、弾性表面波の伝搬方向はＺ方向とした。ま
た、くし型電極２１、２２、２３は対となる電極指の重
なっている長さがほぼ等しい、いわゆる正規型であり、
その開口長は６．８８λである。

【００４９】なお、くし型電極、配線などのパターンの
形成は、周知のフォトリソグラフィにより形成したレジ
ストパターン上にアルミニウム金属膜を真空蒸着した後
リフトオフすることで行った。通過特性などの評価は、
終端インピーダンスを５２０Ω＋ｊ２３０Ωとして行な
った。なお、周波数ｆは通過帯域の中心周波数ｆｏで規
格化した規格化周波数ｆ／ｆｏで示している。

【００５０】

【表４】 実施例１では、図３９に示す通過特性が得られ、３ｄＢ
比帯域幅０．５０％、最小挿入損失４．０ｄＢ、振幅偏
差（振幅リップル）０．８ｄＢ、群遅延時間偏差（ディ
レーリップル）０．５μＳの優れた通過帯域内特性が得
られ、低域側スプリアスも３０ｄＢ以下となり、優れた
減衰特性が得られた。

【００５１】実施例２では、図４０に示す通過特性が得
られ、３ｄＢ比帯域幅０．４２％、最小挿入損失４．３
ｄＢ、振幅偏差０ｄＢ（単峰特性のため）、群遅延時間
偏差０．４μＳの優れた通過帯域内特性が得られ、低域
側スプリアスも３０ｄＢ以下となり、優れた減衰特性が
得られた。実施例３では、図４１に示す通過特性が得ら
れ、３ｄＢ比帯域幅０．３９％、最小挿入損失４．５ｄ
Ｂ、振幅偏差０ｄＢ（単峰特性のため）、群遅延時間偏
差０．３μＳの優れた通過帯域内特性が得られ、低域側
スプリアスも２５ｄＢとなった。

【００５２】実施例４では、図４２に示す通過特性が得
られ、３ｄＢ比帯域幅０．３６％、最小挿入損失２．０
ｄＢ、振幅偏差０ｄＢ（単峰特性のため）、群遅延時間
偏差０．４９μＳの通過帯域内特性が得られた。しか
し、低域側スプリアスは１８ｄＢと大きかった。実施例
５では、図４３に示す通過特性が得られ、３ｄＢ比帯域
幅０．５２％、最小挿入損失２．４ｄＢ、振幅偏差０．
６ｄＢ、群遅延時間偏差１．２６μＳの通過帯域内特性
が得られた。しかし、低域側スプリアスは１６ｄＢと大
きかった。

【００５３】次に、実施例６〜１１として、図２乃至図
４に示す構造の弾性表面波フィルタを作成し、評価し
た。実施例６〜１１の構造などを表５にまとめ、その通
過特性を図４４乃至図４９に示す。実施例６〜１１で
は、基板１０として、４５°もしくは４３°Ｙ回転Ｘ板
の四ほう酸リチウム単結晶基板を用い、弾性表面波の伝
搬方向はＺ方向とした。くし型電極２１、２２、２３、
３１、３２、３３は正規型であり、開口長は、６．８８
λである。

【００５４】なお、周波数ｆは通過帯域の中心周波数ｆ
ｏで規格化した規格化周波数ｆ／ｆｏで示している。

【００５５】

【表５】 実施例６は、図２に示す第１の接続形式の弾性表面波フ
ィルタであり、図４４に示す通過特性が得られ、３ｄＢ
比帯域幅０．４７％、最小挿入損失４ｄＢ、振幅偏差
０．５ｄＢ、群遅延時間偏差２μＳの優れた通過帯域内
特性が得られ、帯域外減衰量６０ｄＢの優れた減衰特性
が得られた。

【００５６】実施例７は、図２に示す第１の接続形式の
弾性表面波フィルタであり、図４５に示す通過特性が得
られ、３ｄＢ比帯域幅０．５４％、最小挿入損失４ｄ
Ｂ、振幅偏差０．５ｄＢ、群遅延時間偏差２μＳの優れ
た通過帯域内特性が得られ、帯域外減衰量６０ｄＢの優
れた減衰特性が得られた。実施例８は、図３に示す第２
の接続形式の弾性表面波フィルタであり、図４６に示す
通過特性が得られ、３ｄＢ比帯域幅０．３９％、最小挿
入損失４ｄＢ、振幅偏差０ｄＢ（単峰特性のため）、群
遅延時間偏差０．８μＳの優れた通過帯域内特性が得ら
れ、帯域外減衰量４８ｄＢが得られた。

【００５７】実施例９は、図３に示す第２の接続形式の
弾性表面波フィルタであり、図４７に示す通過特性が得
られ、３ｄＢ比帯域幅０．４％、最小挿入損失４ｄＢ、
振幅偏差０ｄＢ（単峰特性のため）、群遅延時間偏差１
μＳの優れた通過帯域内特性が得られ、帯域外減衰量６
０ｄＢの優れた減衰特性が得られた。実施例１０は、図
３に示す第２の接続形式の弾性表面波フィルタであり、
図４８に示す通過特性が得られ、３ｄＢ比帯域幅０．４
３％、最小挿入損失４ｄＢ、振幅偏差０ｄＢ（単峰特性
のため）、群遅延時間偏差１．３μＳの優れた通過帯域
内特性が得られ、帯域外減衰量５８ｄＢの優れた減衰特
性が得られた。

【００５８】第１の接続形式及び第２の接続形式は、通
過帯域外の減衰特性の立上がりであるシェイプファクタ
がすぐれている。特に、第１の接続形式は、シェイプフ
ァクタがすぐれており望ましい。第２の接続形式の弾性
表面波フィルタの他の電極構造の例を図５０に示す。図
３に示した構造との違いは、第１の電極列２０の第１及
び第２のくし型電極２２、２３は配線２４、２５により
それぞれ並列に接続され、また、第２の電極列３０の第
１及び第２のくし型電極３２、３３も配線３４、３５に
よりそれぞれ並列に接続され、この配線２５、３４間が
縦続配線４２により接続されていることである。この電
極構造によっても実施例８〜１０と同等の通過特性が得
られた。

【００５９】実施例１１は、図４に示す第３の接続形式
の弾性表面波フィルタであり、図４９に示す通過特性が
得られ、３ｄＢ比帯域幅０．４％、最小挿入損失４ｄ
Ｂ、振幅偏差０．５ｄＢ、群遅延時間偏差２μＳの通過
帯域内特性が得られた。以上の実施例から明らかなよう
に、本発明によれば、優れた特性の弾性表面波フィル
タ、特にデジタル通信用のフィルタとして優れた特性を
得ることができる。

【００６０】本発明は上記実施例に限らず種々の変形が
可能である。例えば、上記実施例では、電極の構成とし
て、本発明によるフィルタをさらに複数縦続接続して用
いてもよい。また、くし型電極の材料として、アルミニ
ウムに銅、シリコンなどを添加してもよいし、他の導電
性の材料を用いてもよい。

【００６１】さらに、くし型電極や配線を形成する際
に、リフトオフによらずエッチングによりパターニング
してもよい。また、配線は、アルミニウム金属膜により
形成されているが、金属ワイヤ、ストリップなどの他の
電気的接続手段によって形成してもよい。また、中央の
くし型電極の両側に近接配置された第１及び第２のくし
型電極の対数は通常同数であるが、若干異なってもよ
い。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明による弾性
表面波装置は、四ほう酸リチウムからなる基板上に配置
された中央のくし型電極および弾性表面波の伝搬方向に
沿って中央のくし型電極の両側に近接配置された第１及
び第２のくし型電極とから構成される電極列を含み、中
央のくし型電極の対数Ｎｃと第１及び第２のくし型電極
の合計の対数Ｎｓとの和を適切な範囲に設定したもので
あり、帯域外減衰量が大きく、比帯域幅が広く、群遅延
時間偏差、振幅偏差ならびに帯域内挿入損失を小さくす
ることができる。

【００６３】また、中央のくし型電極の対数Ｎｃおよび
第１及び第２のくし型電極の合計の対数Ｎｓの比を、適
切な範囲に設定すれば、帯域内挿入損失が小さく、通過
帯域の低域側スプリアスが低減される。したがって、本
発明によれば通過帯域内での群遅延時間が平坦で、比帯
域幅が比較的広く、低挿入損失で、帯域外減衰量も大き
いという優れた特性の、特にデジタル通信方式に適した
特性の弾性表面波フィルタを得ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による弾性表面波装置の電極構成の一例
を示す図である。

【図２】本発明による弾性表面波装置の電極構成の他の
例であって、第１の接続形式による電極構成を示す図で
ある。

【図３】本発明による弾性表面波装置の電極構成の他の
例であって、第２の接続形式による電極構成を示す図で
ある。

【図４】本発明による弾性表面波装置の電極構成の他の
例であって、第３の接続形式による電極構成を示す図で
ある。

【図５】本発明による弾性表面波装置の電極構成の一例
の断面図である。

【図６】本発明による弾性表面波装置の電極構成の一例
において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合の数値シミュ
レーション結果を示すグラフである。

【図７】本発明による弾性表面波装置の電極構成の一例
において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合の数値シミュ
レーション結果を示すグラフである。

【図８】本発明による弾性表面波装置の電極構成の一例
において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合の数値シミュ
レーション結果を示すグラフである。

【図９】本発明による弾性表面波装置の電極構成の一例
において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合の数値シミュ
レーション結果を示すグラフである。

【図１０】本発明による弾性表面波装置における、適切
な総対数Ｎｃ＋Ｎｓと規格化膜厚Ｈ／λの関係を示すグ
ラフである。

【図１１】本発明による弾性表面波装置の第１の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図１２】本発明による弾性表面波装置の第１の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図１３】本発明による弾性表面波装置の第１の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図１４】本発明による弾性表面波装置の第１の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図１５】本発明による弾性表面波装置の第１の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図１６】本発明による弾性表面波装置の第１の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図１７】本発明による弾性表面波装置の第１の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図１８】本発明による弾性表面波装置の第１の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図１９】本発明による弾性表面波装置の第２の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図２０】本発明による弾性表面波装置の第２の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図２１】本発明による弾性表面波装置の第２の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図２２】本発明による弾性表面波装置の第２の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図２３】本発明による弾性表面波装置の第２の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図２４】本発明による弾性表面波装置の第２の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図２５】本発明による弾性表面波装置の第３の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図２６】本発明による弾性表面波装置の第３の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図２７】本発明による弾性表面波装置の第３の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図２８】本発明による弾性表面波装置の第３の接続形
式の電極構成において、ＩＤＴ総対数を変化させた場合
の数値シミュレーション結果を示すグラフである。

【図２９】第１の接続形式の電極構成の弾性表面波装置
において、適切な総対数Ｎｃ＋Ｎｓと規格化膜厚Ｈ／λ
の関係を示す図である。

【図３０】第２の接続形式の電極構成の弾性表面波装置
において、適切な総対数Ｎｃ＋Ｎｓと規格化膜厚Ｈ／λ
の関係を示す図である。

【図３１】第３の接続形式の電極構成の弾性表面波装置
において、適切な総対数Ｎｃ＋Ｎｓと規格化膜厚Ｈ／λ
の関係を示す図である。

【図３２】弾性表面波装置の典型的な通過帯域を示すグ
ラフである。

【図３３】対数比Ｎｓ／Ｎｃを変化させた場合の低域ス
プリアスの数値シミュレーション結果を示すグラフであ
る。

【図３４】対数比Ｎｓ／Ｎｃを変化させた場合の低域ス
プリアスの数値シミュレーション結果を示すグラフであ
る。

【図３５】対数比Ｎｓ／Ｎｃを変化させた場合の低域ス
プリアスの数値シミュレーション結果を示すグラフであ
る。

【図３６】対数比Ｎｓ／Ｎｃを変化させた場合の低域ス
プリアスの数値シミュレーション結果を示すグラフであ
る。

【図３７】対数比Ｎｓ／Ｎｃを変化させた場合の低域ス
プリアスの数値シミュレーション結果を示すグラフであ
る。

【図３８】本発明による弾性表面波装置において、通過
帯域幅とメタライズ比の関係を示すグラフである。

【図３９】実施例１の弾性表面波フィルタの通過特性を
示す図である。

【図４０】実施例２の弾性表面波フィルタの通過特性を
示す図である。

【図４１】実施例３の弾性表面波フィルタの通過特性を
示す図である。

【図４２】実施例４の弾性表面波フィルタの通過特性を
示す図である。

【図４３】実施例５の弾性表面波フィルタの通過特性を
示す図である。

【図４４】実施例６の弾性表面波フィルタの通過特性
（挿入損失、群遅延時間）を示すグラフである。

【図４５】実施例７の弾性表面波フィルタの通過特性
（挿入損失、群遅延時間）を示すグラフである。

【図４６】実施例８の弾性表面波フィルタの通過特性
（挿入損失、群遅延時間）を示すグラフである。

【図４７】実施例９の弾性表面波フィルタの通過特性
（挿入損失、群遅延時間）を示すグラフである。

【図４８】実施例１０の弾性表面波フィルタの通過特性
（挿入損失、群遅延時間）を示すグラフである。

【図４９】実施例１１の弾性表面波フィルタの通過特性
（挿入損失、群遅延時間）を示すグラフである。

【図５０】本発明による弾性表面波装置の電極構成の他
の例であって、第２の接続形式による電極構成の他の例
を示す図である。

【符号の説明】

１０…基板 ２０…第１の電極列 ３０…第２の電極列 ２１、３１…中央のくし型電極 ２２、３２…第１のくし型電極 ２３、３３…第２のくし型電極 ２５、３５…配線 ２６、３６…電極指 ２７、３７…バスバー部 ４１…入力端子 ４２…縦続配線 ４３…出力端子

Claims (14)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 四ほう酸リチウムからなる基板と、 前記基板上に配置された中央のくし型電極と、弾性表面
   波の伝搬方向に沿って前記中央のくし型電極の両側に近
   接配置された第１及び第２のくし型電極とを含む電極列
   とを有し、 前記中央のくし型電極の対数Ｎｃと前記第１及び第２の
   くし型電極の合計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 １１０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３２０−３０００Ｈ／λ ただし、Ｈ／λは、前記くし型電極の膜厚Ｈを前記くし
   型電極の周期λで規格化した規格化膜厚を満足し、 前記電極指の中心間距離Ｌｉが、次式 ０．４３λ＋ｎλ≦Ｌｉ≦０．４７λ＋ｎλ を満足 することを特徴とする弾性表面波装置。
2. 【請求項２】 四ほう酸リチウムからなる基板と、 前記基板上に配置された中央のくし型電極と、弾性表面
   波の伝搬方向に沿って前記中央のくし型電極の両側に近
   接配置された第１及び第２のくし型電極とを含む電極列
   とを有し、 前記中央のくし型電極の対数Ｎｃと前記第１及び第２の
   くし型電極の合計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 １１０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３２０−３０００Ｈ／λ ただし、Ｈ／λは、前記くし型電極の膜厚Ｈを前記くし
   型電極の周期λで規格化した規格化膜厚を満足し、 前記基板上に前記くし型電極の電極指が形成されてい
   る、弾性表面波の伝搬方向における割合であるメタライ
   ズ比が、０．６以上０．７以下である ことを特徴とする
   弾性表面波装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載の弾性表面波装置に
   おいて、 前記中央のくし型電極の対数Ｎｃと前記第１及び第２の
   くし型電極の合計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 １６０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦２６０−３０００Ｈ／λ を満足することを特徴とする弾性表面波装置。
4. 【請求項４】 請求項１又は２記載の電極列からなる第
   １の電極列と、請求項１又は２記載の電極列からなり、
   前記第１の電極列と縦続接続されている第２の電極列と
   を有することを特徴とする弾性表面波装置。
5. 【請求項５】 請求項４記載の弾性表面波装置におい
   て、 前記第１の電極列の中央のくし型電極と、前記第２の電
   極列の第１及び第２のくし型電極とがそれぞれ入出力端
   子に接続され、 前記第１の電極列の第１及び第２のくし型電極と、前記
   第２の電極列の中央のくし型電極とが接続され、 前記第１及び第２の電極列のそれぞれの前記中央のくし
   型電極の対数Ｎｃと前記第１及び第２のくし型電極の合
   計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 ２１０−６０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３２０−３０００Ｈ／λ を満足することを特徴とする弾性表面波装置。
6. 【請求項６】 請求項５記載の弾性表面波装置におい
   て、 前記中央のくし型電極の対数Ｎｃと前記第１及び第２の
   くし型電極の合計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 ２２０−６０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３２０−６０００Ｈ／λ を満足することを特徴とする弾性表面波装置。
7. 【請求項７】 請求項４記載の弾性表面波装置におい
   て、 前記第１の電極列の中央のくし型電極と、前記第２の電
   極列の中央のくし型電極とがそれぞれ入出力端子に接続
   され、 前記第１の電極列の第１及び第２のくし型電極と、前記
   第２の電極列の第１及び第２のくし型電極とが接続さ
   れ、 前記第１及び第２の電極列のそれぞれの前記中央のくし
   型電極の対数Ｎｃと前記第１及び第２のくし型電極の合
   計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 １４０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦２７０−３０００Ｈ／λ を満足することを特徴とする弾性表面波装置。
8. 【請求項８】 請求項７記載の弾性表面波装置におい
   て、 前記中央のくし型電極の対数Ｎｃと前記第１及び第２の
   くし型電極の合計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 １５０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦２６０−３０００Ｈ／λ を満足することを特徴とする弾性表面波装置。
9. 【請求項９】 請求項４記載の弾性表面波装置におい
   て、 前記第１の電極列の第１及び第２のくし型電極と、前記
   第２の電極列の第１及び第２のくし型電極とがそれぞれ
   入出力端子に接続され、 前記第１の電極列の中央のくし型電極と、前記第２の電
   極列の中央のくし型電極とが接続され、 前記第１及び第２の電極列のそれぞれの前記中央のくし
   型電極の対数Ｎｃと前記第１及び第２のくし型電極の合
   計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 １６０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３１０−３０００Ｈ／λ を満足することを特徴とする弾性表面波装置。
10. 【請求項１０】 請求項９記載の弾性表面波装置におい
    て、 前記中央のくし型電極の対数Ｎｃと前記第１及び第２の
    くし型電極の合計の対数Ｎｓとの和Ｎｃ＋Ｎｓが、次式 １７０−３０００Ｈ／λ≦Ｎｃ＋Ｎｓ≦３１０−６０００Ｈ／λ を満足することを特徴とする弾性表面波装置。
11. 【請求項１１】 請求項１乃至１０のいずれかに記載の
    弾性表面波装置において、 前記中央のくし型電極の対数Ｎｃと前記第１及び第２の
    くし型電極の合計の対数Ｎｓとの比Ｎｓ／Ｎｃが、次式 １．０≦Ｎｓ／Ｎｃ≦１．６ 又は、２．５≦Ｎｓ／Ｎｃ≦３．１ を満足することを特徴とする弾性表面波装置。
12. 【請求項１２】 請求項１乃至１１のいずれかに記載の
    弾性表面波装置において、 前記くし型電極がアルミニウムを主成分とする金属から
    なり、 前記くし型電極の膜厚Ｈを前記くし型電極の周期λで規
    格化した規格化膜厚Ｈ／λが、０．００５以上０．０３
    以下であることを特徴とする弾性表面波装置。
13. 【請求項１３】 請求項１乃至１２のいずれかに記載の
    弾性表面波装置において、 前記基板のカット面および弾性表面波の伝搬方向が、オ
    イラ角表示で（０〜４５°，９０±１０°，９０±１０
    °）及びそれと等価の範囲内であることを特徴とする弾
    性表面波装置。
14. 【請求項１４】 請求項１３記載の弾性表面波装置にお
    いて、前記基板のカット面および弾性表面波の伝搬方向
    が、オイラ角表示で（４５±５°，９０±５°，９０±
    ５°）及びそれと等価の範囲内であることを特徴とする
    弾性表面波装置。